DE19581894C2 - Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung von ICs - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf eine Vorrichtung zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen (allgemein als IC-Handhabungsvorrichtung bezeichnet), die in einem IC-Testgerät (üblicherweise als IC-Tester bezeichnet) zum Testen von Halbleiterbauelementen, insbesondere von typische Beispiele für Halbleiterbauelemente darstellenden ICs bzw. Chips (integrierten Halbleiterschaltungen), zum Transportieren der ICs für den Test und zum Aussortieren und Handhaben der getesteten ICs eingesetzt wird. Die vorliegende Erfindung bezieht sich noch spezieller auf eine IC-Transportvorrichtung und auf eine Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung von ICs, wobei die Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung eines ICs in eine andere Haltung (üblicherweise eine horizontale Ausrichtung) dient und zum Transport der zu testenden ICs zu einem Test- oder Testerabschnitt in dem IC-Tester eingesetzt wird. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf eine Vorrichtung zum Herausnehmen bzw. Herausgreifen von ICs, die zum Herausnehmen von ICs aus einem Magazin eingesetzt wird.

In der anfänglichen Stufe der in der Praxis verwendeten ICs waren die meisten ICs von dem sogenannten DIP-Typ (dual-in-line package = Gehäuse mit in zwei Reihen ausgerichteten Anschlüssen), bei denen Anschlüsse eines in dem Gehäuse untergebrachten ICs von den längeren, entgegengesetzt angeordneten Seiten des Gehäuses, das in der Draufsicht eine rechteckförmige Gestalt besitzt, vorstehen und im wesentlichen im rechten Winkel derart nach unten gebogen sind, daß die gesamte Anordnung, im Querschnitt des ICs gesehen, eine Form in der Gestalt des Buchstabens "U" aufweist. Aus diesem Grund wurde als IC-Behälter für die Aufnahme solcher ICs ein quadratförmiger, röhrenartiger IC-Behälter eingesetzt, der im Querschnitt eine im wesentlichen rechteckförmige Gestalt aufweist und als "stabförmiges Magazin" bzw. "stangenförmiges Magazin" bezeichnet wird. Die IC-Transportvorrichtung für den Transport von zu testenden ICs zu dem Testabschnitt ist daher derart aufgebaut, daß sie das stabförmige Magazin in einem gegenüber seiner horizontalen Ausrichtung geneigten Zustand halten kann. In einer solchen IC-Transportvorrichtung wird das stabförmige Magazin bei dem Transport von in dem Magazin aufgenommenen ICs in dem geneigten Zustand gehalten, so daß die ICs aufgrund ihres Eigengewichts aufeinanderfolgend nach unten rutschen.

Aufgrund der erhöhten Anzahl von Anschlüssen, die dem erhöhten Integrationsausmaß eines ICs zuzuschreiben sind, und aufgrund der verschiedenen Arten von Gestaltungen der Anschlüsse ist es jedoch schwierig, den sanften Transport durch Ausnutzen des natürlichen Herabfallens zu erreichen. Aus diesem Grund besteht bei den jüngeren Trends die Tendenz, bei den meisten IC- Handhabungsvorrichtungen ein horizontales Transportsystem bzw. ein System mit Horizontaltransport einzusetzen. Eine in Form eines horizontalen Transportsystems ausgelegte IC- Handhabungsvorrichtung ist derart ausgestaltet, daß ICs in einem servierplattenförmigen Tablett untergebracht werden bzw. sind, aus dem jeder IC durch einen Aufnahmekopf mit Hilfe einer Unterdruckansaugung angesaugt bzw. abgenommen wird, wonach der Aufnahmekopf dann in der Richtung X-Y durch die horizontale Transporteinrichtung bewegt wird, um hierdurch die jeweiligen ICs zu einem Testabschnitt eines IC-Tester zu transportieren, der in der IC- Handhabungsvorrichtung vorgesehen ist.

Wenn das horizontale Transportsystem eingesetzt wird, läßt sich ein IC-Gehäuse beliebiger Gestalt leicht und unabhängig von der Gestaltung der Anschlüsse des IC-Gehäuses transportie­ ren, sofern das IC-Gehäuse eine flache Gestalt aufweist, so daß es durch eine Aufnahmeeinrichtung unter der Wirkung der Unterdruckansaugung leicht abgegriffen werden kann, und zwar auch in einem Fall, wenn das IC-Gehäuse eine Gestaltung aufweist, bei der Anschlüsse von seinen vier Seiten herausgeführt sind, wie es zum Beispiel bei einem QFP- Gehäuse bzw. -Chip der Fall ist. Somit läßt sich eine starke generalisierte IC-Handhabungsvor­ richtung aufbauen.

Wenn eine IC-Handhabungsvorrichtung in Form des horizontalen Transportsystems in der Praxis betrieben wird, werden alle ICs in demjenigen Zustand gehandhabt, mit dem sie in einem Tablett aufgenommen sind. Dies bedeutet, daß die ICs selbst außerhalb der Vorrichtung in demjenigen Zustand umlaufen und gespeichert bzw. gelagert werden, den sie in einem für die Benutzer ausgelegten Tablett (Kunden-Tablett) besessen haben. Da die obere Fläche des Tabletts offen ist, kann es leicht sein, daß ICs von dem Tablett herabfallen, und es ist somit die Handhabung des Tabletts mühsam.

Da andererseits ein stabförmiges Magazin ein Rohr mit quadratischer Form ist, kann das Herausfallen von ICs durch Verschließen der beiden Enden des Magazins leicht verhindert werden. Während des Stadiums der Umlaufbewegung ist somit ein stabförmiges Magazin einfacher zu handhaben. Daher ist es angebracht und zuverlässig, ICs soweit wie möglich in ihrem in einem Magazin aufgenommenen Zustand zu handhaben, sofern die ICs Formen aufwei­ sen, die in dem Magazin aufgenommen werden können.

In Anbetracht dieses Hintergrunds wird seit kurzem damit begonnen, eine IC-Handhabungsvor­ richtung in Form des horizontalen Transportsystems in der Praxis zu verwenden, wie es in der DE 195 23 969 A1 vorgeschlagen ist, und das sowohl ICs, die in einem Magazin aufgenommen sind, als auch ICs, die auf einem Tablett aufgenommen sind, für einen Test transportieren und handhaben kann. Bei einer IC-Handhabungsvorrichtung in Form des horizontalen Transportsystems muß aufgrund der Notwendigkeit der Verwendung einer horizontalen Transporteinrichtung in der IC-Handhabungsvorrichtung eine Umsetzungseinrichtung bzw. Querbewegungseinrichtung zum Umsetzen der in dem Magazin aufgenommenen ICs auf ein Tablett vorgesehen sein, um hierdurch eine IC-Handhabungsvorrichtung zu schaffen, die sowohl ICs, die in einem Magazin aufgenommen sind, als auch ICs, die in einem Tablett aufgenommen sind, transportieren und testen kann.

Es ist allgemeine Praxis zum Herausnehmen von ICs aus einem Magazin, das Magazin derart zu neigen, daß die in dem Magazin aufgenommenen ICs aus diesem herausrutschen können. Die aus dem Magazin herausgenommenen ICs werden dann auf ein Tablett übertragen. Es ist daher notwendig, die in einer geneigten Position oder Haltung vorliegenden ICs zu dem Tablett in horizontaler Position oder Haltung zu übertragen bzw. umzusetzen, wobei diese Änderung der Ausrichtung der ICs ein großes Problem darstellt.

Fig. 15 zeigt den Aufbau eines Magazin-Tablett-Umsetzungsabschnitts für das Umsetzen von ICs von einem Magazin auf ein Tablett. Dabei ist ein Abschnitt zum Ändern der Ausrichtung der ICs gezeigt, der in einer IC-Handhabungsvorrichtung in Form des horizontalen Transportsystems, das gemeinsam sowohl für Magazine als auch Tabletts eingesetzt werden kann, verwendet wird.

In dem Fall des Testens von in einem Tablett aufgenommenen ICs wird ein Benutzer-Tablett 21, das mit zu testenden ICs bestückt ist, von einem Tablettzufuhrabschnitt 20 zu einem Tablett­ wechselabschnitt 30 transportiert, bei dem die ICs von dem Benutzer-Tablett 21 zu einem Test- Tablett 31 übertragen werden. Diese Übertragung oder Umsetzung der ICs wird durch eine horizontale Transporteinrichtung 40 bewirkt. Die horizontale Transporteinrichtung 40 weist einen Aufnehmer 41 auf, der einen IC durch Unterdruck ansaugt (im folgenden als ein "Unterdrucksaugkopf" bezeichnet), und transportiert die ICs von dem Benutzer-Tablett 21 auf das Test-Tablett 31 durch Bewegung des Unterdrucksaugkopfes 41 mit Hilfe eines Luftzylinders bzw. luftbetätigten Zylinders 42 nach oben und nach unten sowie durch Bewegung des Unterdrucksaugkopfes 41 in eine beliebige Position in der horizontalen Ebene mit Hilfe einer X-Y- Antriebseinrichtung (nicht gezeigt).

Der Grund, weshalb die ICs von dem Benutzer-Tablett 21 zu dem Test-Tablett 31 transportiert werden, wird im folgenden kurz erläutert. Das Benutzer-Tablett 21 ist ein Tablett, das zum Aufnehmen von ICs in ihm sowie zum Transportieren der auf ihm aufgebrachten ICs innerhalb einer Fabrik oder einer Anlage oder eines Markts eingesetzt wird. Zu diesem Zweck ist das Benutzer-Tablett 21 aus einem Kunststoffmaterial oder dergleichen hergestellt, und es ist die Form jeder der ausgenommenen bzw. vertieften Abschnitte für die Aufnahme der ICs mit einer größeren Größe als ein jeweils aufzunehmender IC ausgebildet, damit die ICs leicht in die vertieften Abschnitte eingebracht und aus diesen herausgenommen werden können.

Jedoch werden die zu testenden ICs einer thermischen Belastung durch Einwirkung einer hohen Temperatur oder einer niedrigen Temperatur auf ihrem Weg zu dem Testabschnitt 10 des IC- Testers ausgesetzt, so daß das Test-Tablett 31 aus einem Material hergestellt ist, das gegenüber der thermischen Beanspruchung beständig ist. Im allgemeinen ist das Test-Tablett 31 derart aufgebaut, daß 16 bis 64 IC-Träger, von denen jeder einen vertieften Abschnitt für die Aufnahme eines ICs aufweist, an einem metallischen Rahmen montiert sind. Jeder der IC-Träger ist aus einem thermisch beständigen Harzmaterial hergestellt und weist eine Vorrichtung zum exakten Positionieren, Halten und Verriegeln eines zu testenden ICs, sobald der IC in den IC-Träger eingesetzt ist, sowie eine zusätzliche Funktion zum Freilegen der Anschlüsse des verriegelten ICs auf der Rückseite des IC-Trägers und zum Kontaktieren der freigelegten Anschlüsse mit den für den Test vorgesehenen Kontakten auf, die mit dem IC-Tester in dem Testabschnitt 10 verbunden sind.

Da das Test-Tablett 31 verschiedene Funktionen aufweist, werden die zu testenden ICs von dem Benutzer-Tablett 21 zu dem Test-Tablett 31 übertragen. Das Bezugszeichen 22 bezeichnet hierbei eine Tablett-Transporteinrichtung zum Herausnehmen eines Benutzer-Tabletts 21 aus dem Tablettzufuhrabschnitt (Tablettvorratsabschnitt) 20 und zum Transportieren des Benutzer- Tabletts 21 zu dem Tablettwechselabschnitt 30.

Das Bezugszeichen 50 bezeichnet einen Magazinvorratsabschnitt. Eine Mehrzahl von stabförmi­ gen Magazinen 51 ist in dem Magazinvorratsabschnitt 50 in aufeinandergestapelter Form gelagert. Das oberste Magazin 51 der in dem Magazinvorratsabschnitt 50 gelagerten, gestapelten Magazine wird herausgenommen und auf einer Lifteinrichtung 52 angeordnet. Die Lifteinrichtung 52 ist drehbar gelagert und übt die Funktion der Anhebung eines Endes des auf der Lifteinrichtung 52 angeordneten Magazins 51 (bei dem in Fig. 5 gezeigten Beispiel das an der rechten Seite befindliche Ende) aufgrund ihres Drehvorgangs sowie die Funktion des Festhaltens des Magazins 51 in der geneigten Haltung aus. An dem unteren Endabschnitt der Lifteinrichtung 52, bezogen auf deren gezeigten, geneigten Zustand, ist ein beweglicher Anschlag 52A vorgesehen, der dazu dient, bis zu dem Drehen des Magazins 51 und dessen Anhalten in der vorbestimmten, geneigten Position zu verhindern, daß die ICs aus dem Magazin 51 herauswandern. Wenn das Magazin 51 in die vorbestimmte geneigte Position gebracht ist und mit einer Pufferschiene 53 verbunden ist, die an einer geeigneten, stromab gelegenen Position des Magazins 51 vorgesehen ist, wird der bewegliche Anschlag 52A freigegeben (nach unten gezogen), so daß die ICs aus dem Magazin 51 auf die Pufferschiene 53 herausbewegt werden.

Ein weiterer beweglicher Anschlag 53A ist an dem unteren Endabschnitt der Pufferschiene 53 in deren geneigten Zustand vorgesehen. Dieser bewegliche Anschlag 53A bewirkt ein Festhalten des ICs, der an der untersten Stelle der Pufferschiene 53 positioniert ist. An der stromab gelegenen Seite der Pufferschiene 53 ist eine Entnahmeschiene 54 vorgesehen, die in derjenigen Richtung (seitliche Richtung) beweglich ist, die rechtwinklig zu der Richtung der Bewegung der ICs verläuft. An der Entnahmeschiene 54 sind zum Beispiel vier Rillen im wesentlichen parallel vorgesehen, die nebeneinander liegen und zum Aufnehmen von ICs dienen. Die Entnahmeschiene 54 bewegt sich jedesmal dann, wenn ein IC in einer der Rillen aufgenommen ist, in der seitlichen Richtung, so daß insgesamt vier ICs in den vier Rillen aufgenommen werden. Die Länge jeder Rille für die Aufnahme eines ICs ist gleich groß wie die Länge eines IC-Gehäuses, in dem der IC untergebracht ist. Ein IC wird in einer der Rillen an der Entnahmeschiene 54 dadurch aufgenommen, daß der IC von der Pufferschiene 53 in die Entnahmeschiene 54 bewegt wird. Da derjenige IC, der an der untersten Stelle der Pufferschiene 53 positioniert ist, in diesem Zustand durch den an der Pufferschiene 53 vorgesehenen beweglichen Anschlag 53A angehalten und in dieser Position festgehalten wird, kann die Entnahmeschiene 54 in der seitlichen Richtung bewegt werden. Durch die Bewegung der Entnahmeschiene 54 in der seitlichen Richtung können der in der Entnahmeschiene 54 aufgenommene IC und der auf der Pufferschiene befindliche IC zuverlässig voneinander getrennt werden, selbst wenn diese Gehäuse durch Grate oder Rippen, die an den beiden Gehäusen gebildet sind, miteinander verbunden sein sollten. Wenn jeweils in allen Rillen der Entnahmeschiene 54 ICs aufgenommen worden sind, bewegt sich die Entnahmeschiene 54 noch weiter in seitlicher Richtung und transportiert die ICs zu einer Vorrichtung 60 zur Änderung der Ausrichtung bzw. Haltung.

Die Vorrichtung 60 zur Änderung der Ausrichtung kann durch einen Arm 61, dessen oberes Ende derart schwenkbar gelagert ist, daß sich der Arm 61 in einer vertikalen, als die Drehebene dienenden Ebene drehen kann, durch eine Antriebseinrichtung 63, die an dem unteren Ende des Arms 61 gelagert ist, durch einen Unterdrucksaugkopf 62, der an der bodenseitigen Fläche der Antriebseinrichtung 63 derart abgestützt ist, daß er linear sowie hin- und herbeweglich ist, und durch eine Einrichtung wie etwa durch einen drehbaren Luftzylinder zum Drehen des Arms 61 in hin- und herbeweglicher Weise über den Bereich eines Drehwinkels θ gebildet sein. Die Antriebseinrichtung 63 kann zum Beispiel ein pneumatischer Zylinder sein und treibt den Unterdrucksaugkopf 62 linear derart an, daß sich dieser entlang der Achse des Arms 61 hin- und herbewegt.

Der Drehwinkel θ ist derart ausgewählt, daß er gleich groß ist wie der Winkel, der von einer Winkelposition, bei der die Fläche des internen Endes des Unterdrucksaugkopfs 62 in parallele Ausrichtung mit der oberen Fläche des an der Entnahmeschiene 54 gehaltenen IC-Gehäuses gelangt, bis zu der Winkelposition reicht, bei der die Oberfläche des internen Endes des Unterdrucksaugkopfs 62 in parallele Ausrichtung mit der Oberfläche der Plattform 65 gelangt, die sich in der horizontalen Ebene in Bereitschaftsstellung befindet. Der Unterdrucksaugkopf 62 saugt einen IC in der winkligen Position, in der der Unterdrucksaugkopf 62 dem an der Entnahmeschiene 54 gehaltenen IC zugewandt ist, an, und es wird dann der Arm 61 zusammen mit dem durch den Saugkopf 62 angesaugten IC um den Winkel θ mit Hilfe des drehenden Luftzylinders 64 gedreht. Aufgrund dieser Drehbewegung wird die Haltung des ICs in die horizontale Ausrichtung geändert. In diesem Zustand der horizontalen Ausrichtung wird der Unterdrucksaugkopf 62 durch den Antriebsvorgang der Antriebseinrichtung 63 nach unten bewegt, um hierdurch den IC auf die Plattform 65 zu übertragen.

In der oberen Oberfläche der Plattform 65 ist ein zur Positionierung dienender ausgenommener bzw. vertiefter Abschnitt ausgebildet, der an vier Seiten von nach oben und nach außen geneigten Wänden umgeben ist. Durch Herabfallenlassen eines ICs in den zur Positionierung dienenden vertieften Abschnitt wird die Position des ICs für eine horizontale Transporteinrichtung 70 definiert, die an der nächsten Position, bezogen auf die Bewegung des ICs angeordnet ist. Dies bedeutet, daß sich die Plattform 65 nach dem Empfang eines ICs von der Vorrichtung 60 in der Richtung eines Pfeils X bewegt und an der Position A anhält, die den Startpunkt für den Transport durch die horizontale Transporteinrichtung 70 darstellt. Ein Unterdrucksaugkopf 71 befindet sich oberhalb des Startpunkts A für den Transport in Bereitschaftsstellung. Dieser Unterdrucksaugkopf 71 saugt den IC an und transportiert ihn zu dem Tablettwechselabschnitt 30, bei dem man den IC in ein Test-Tablett 31 hineinfallen läßt. Es ist daher zur Verbesserung des betrieblichen Wirkungsgrads oder der Betreibbarkeit sehr nützlich, die Position des ICs durch den zur Positionierung dienenden, vertieften Abschnitt der tragenden Plattform 65 zu definieren.

Die Entnahmeschiene 54, die an der stromab befindlichen Seite der Pufferschiene 53 angeordnet ist, weist zum Beispiel vier bis acht IC-Aufnahmerillen auf, die in ihr in der seitlichen Richtung der Entnahmeschiene (in der Richtung der Bewegung der Entnahmeschiene) jeweils benachbart zueinander angeordnet sind. Man läßt ICs jeweils einen nach dem anderen in jede dieser vier bis acht Rillen von der Pufferschiene 53 hineinfallen. Jedesmal, wenn ein IC in eine Rille hineingerutscht ist, wird die Entnahmeschiene 54 seitlich um eine Rille in Form eines jeweils einem Teilungsabstand entsprechenden schrittweisen Transports bewegt. Wenn alle IC- Aufnahmerillen mit ICs gefüllt sind, wird die Entnahmeschiene 54 noch weiter in seitlicher Richtung bewegt und es wird die Vorrichtung 60 aktiviert. An der Vorrichtung 60 sind vier bis acht Unterdrucksaugköpfe angebracht, so daß die Ausrichtung der vier bis acht ICs gleichzeitig geändert werden kann. Darüberhinaus weist auch die horizontale Transporteinrichtung 70 vier bis acht Unterdrucksaugköpfe 71 auf und ist derart ausgestaltet, daß sie vier bis acht ICs jeweils gleichzeitig zu dem Test-Tablett 31 transportieren kann. Die Anzahl von ICs ist jedoch nicht auf vier bis acht beschränkt.

Wie vorstehend beschrieben, dienen die Plattform 65 und die horizontale Transporteinrichtung 70 bei der früheren, vorgeschlagenen IC-Handhabungsvorrichtung des kombinierten Tablett/Magazin- Typs als Vorrichtung zum Transportieren von zu testenden und von dem Magazin 51 bereitgestellten ICs mit Hilfe der Pufferschiene 53 und der Entnahmeschiene 54 zu dem Test- Tablett 31. Folglich besteht hierbei der Nachteil, daß die Anzahl der Komponenten der Vorrichtung erhöht ist und daß deren Kosten hoch sind. Da ferner der Transportpfad für die von dem Magazin 51 zugeführten ICs lang ist, ist die für den Transport der ICs erforderliche Zeit­ spanne gleichfalls lang. Als Ergebnis ergibt sich der Nachteil, daß die Zeitdauer für den Test der in dem Magazin aufgenommenen ICs lang ist.

Aus der US 4,953,749 ist eine Chiptrenn- und -ausrichtungseinrichtung bekannt, bei der eine Vielzahl von Chips in einer Kassette untergebracht ist. Die Chips werden unter Einwirkung von pulsierenden Luftstößen in einen schräg verlaufenden Kanal eingeführt, an dessen unterem Ende sie dann vereinzelt und abtransportiert werden.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung einer Vorrichtung zur Änderung der Ausrichtung von Halbleiterbauelementen, durch die die Ausrichtung der Halbleiterbauelemente von einer geneigten Ausrichtung in eine horizontale Ausrichtung mit relativ hoher Geschwindigkeit geändert werden kann.

Diese Aufgabe wird jeweils mit den in einem der Patentansprüche 1 bis 8 genannten Merkmale gelöst.

Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht, in der der Umriß des Aufbaus eines ersten Ausführungsbei­ spiels eines in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung dargestellt ist, der bei einer IC-Handhabungsvorrichtung des kombinierten Magazin/Tablett-Typs eingesetzt wird;

Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der die Beziehung zwischen den Anordnungen des Magazins, der Pufferschiene, der Entnahmeschiene und der Schiene zum Ändern der Ausrichtung, die in Fig. 1 gezeigt sind, in Einzelheiten dargestellt ist;

Fig. 3 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau eines zweiten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schema­ tisch dargestellt ist;

Fig. 4 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der die Beziehung zwischen den Anordnungen des Magazins, der Pufferschiene, der Entnahmeschiene und der beweglichen Schiene zur Änderung der Ausrichtung, die in Fig. 3 gezeigt sind, in Einzelheiten dargestellt ist;

Fig. 5 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau eines dritten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schema­ tisch dargestellt ist;

Fig. 6 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau eines vierten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schema­ tisch dargestellt ist;

Fig. 7 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau eines fünften Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schema­ tisch dargestellt ist;

Fig. 8 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau eines sechsten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schema­ tisch dargestellt ist;

Fig. 9 zeigt eine Draufsicht auf Fig. 8, wobei ein Teil ausgeschnitten ist;

Fig. 10 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau eines siebten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schema­ tisch dargestellt ist;

Fig. 11 zeigt eine von rechts gesehene Seitenansicht der Fig. 10, wobei ein Teil weggeschnit­ ten ist;

Fig. 12 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau eines achten Ausführungsbeispiel des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schema­ tisch dargestellt ist;

Fig. 13 zeigt eine Draufsicht auf Fig. 12, wobei ein Teil weggeschnitten ist;

Fig. 14 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau einer Vorrichtung zum Herausnehmen bzw. Herausgreifen von ICs schematisch dargestellt ist; und

Fig. 15 zeigt eine Seitenansicht, in der der Aufbau einer herkömmlichen IC-Handhabungsvor­ richtung des kombinierten Magazin/Tablett-Typs schematisch dargestellt ist.

Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen im einzelnen beschrieben.

Fig. 1 zeigt den Aufbau eines ersten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung bei seinem Einsatz bei einer IC- Handhabungsvorrichtung des kombinierten Magazin/Tablett-Typs in Form eines horizontalen Transportsystems. Gemäß Fig. 1 ist die Ausgestaltung dahingehend, daß ein Benutzer-Tablett 21 von einem Tablettvorratsabschnitt 20 zu einem Tablettwechselabschnitt 30 mit Hilfe einer Tablett-Transporteinrichtung 22 transportiert wird und zu testende, in dem Benutzer-Tablett 21 aufgenommene ICs von dem Benutzer-Tablett 21 zu einem Test-Tablett 31 übertragen oder umgesetzt werden, die gleiche wie bei der herkömmlichen, vorstehend unter Bezugnahme auf Fig. 15 beschriebenen Vorrichtung, so daß die Erläuterung dieser Ausgestaltung weggelassen wird.

Bei der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung 160 zum Ändern der Ausrichtung in der Nähe des Tablettwechselabschnitts 30 vorgesehen. Durch die Vorrichtung 160 zum Ändern der Ausrichtung wird die Lage eines zu testenden, in einem geneigten Zustand befindlichen ICs direkt in die horizontale Ausrichtung geändert, und es wird dann der IC zu dem Test-Tablett 31 durch eine horizontale Transporteinrichtung transportiert. Die vorliegende Erfindung zeichnet sich insbesondere durch den vorstehend angegebenen Punkt und den Aufbau der Vorrichtung 160 zum Ändern der Ausrichtung aus.

Bei dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Vorrichtung 160 zum Ändern der Ausrichtung durch eine Schiene 161 zum Ändern der Ausrichtung gebildet. Diese Schiene 161 zum Ändern der Ausrichtung weist eine Ausgestaltung auf, bei der der Neigungswinkel in ihrem mittleren Bereich allmählich derart verringert wird, daß die Schiene 161 zum Ändern der Ausrichtung die gleiche Neigung bzw. Schräge wie das Magazin 51 und folglich diejenige einer Entnahmeschiene 54 aufweist, die einen Entnahmemechanismus an derjenigen Seite (stromauf befindliche Seite) der Schiene zum Ändern der Ausrichtung bildet, die an der Entnahmeschiene 54 anliegt, wobei die Schiene 161 an ihrer entgegengesetzten Seite (stromab befindliche Seite), die an dem Test-Tablett 31 anliegt, eine horizontale Ausrichtung besitzt.

Fig. 2 zeigt die Beziehung zwischen der Entnahmeschiene 54, dem Magazin 51, einer Puffer­ schiene 53 und der Schiene 161 zum Ändern der Ausrichtung im Detail. Fig. 2 zeigt ein Beispiel, bei dem vier IC-Aufnahmerillen 54B in der Entnahmeschiene 54 jeweils benachbart zueinander vorgesehen sind. Ein beweglicher Anschlag 54A ist an dem unteren Endabschnitt jeder der IC- Aufnahmerillen vorgesehen. Ein zu testender und von der Pufferschiene 53 übertragener bzw. zugeführter IC wird durch den beweglichen Anschlag 54A in jeder Rille 54B der Entnahmeschiene 54 gehalten. Synchron mit der Einführung eines ICs in eine der IC-Aufnahmerillen wird die Entnahmeschiene 54 in der durch einen Pfeil X angegebenen Richtung, zum Beispiel durch einen Schrittmotor PM, um einen Teilungsabstand der IC-Aufnahmerillen 54B bewegt, so daß ICs jeweils IC für IC in jeder der IC-Aufnahmerillen 54B aufgenommen werden. Wenn in allen IC- Aufnahmerillen 54B ICs aufgenommen sind, wird die Entnahmeschiene 54 weiter in der durch den Pfeil X angegebenen Richtung bewegt und gelangt mit dem oberen Ende der Schiene 161 zum Ändern der Ausrichtung in Anlage, die die Vorrichtung 160 zum Ändern der Ausrichtung bildet. In demjenigen Zustand, bei dem die Entnahmeschiene 54 an dem oberen Ende der Schiene 161 zum Ändern der Ausrichtung anliegt, werden die beweglichen Anschläge 54A nach unten und aus den IC-Aufnahmerillen herausgezogen. Die zu testenden und auf der Entnahmeschiene 54 gehaltenen ICs bewegen sich daher aufgrund ihres Eigengewichts in das obere Ende der Schiene 161 zum Ändern der Ausrichtung hinein. Die ICs, die in der Schiene zum Ändern der Ausrichtung laufen, ändern ihre Ausrichtung allmählich von der geneigten Position in die horizontale Lage entsprechend der Steigung der Schiene 161, während die ICs aufgrund ihres Eigengewichts entlang der Schiene 161 gleiten.

Das untere Ende der Schiene 161 ist geschlossen, und es gelangen somit die vorderen Enden der aufgrund ihres Eigengewichts gleitenden Gehäuse der ICs mit diesem geschlossenen Ende in Anlage. Durch dieses geschlossene Ende kann somit die Position jedes ICs, dessen Lage geändert worden ist, exakt festgelegt werden.

Da, wie vorstehend erläutert, die Position des ICs an dem unteren Ende der Schiene 161 festgelegt ist, ist es möglich, als horizontale Transporteinrichtung zum Transportieren von ICs von dem unteren Ende der Schiene 161 zu dem Test-Tablett 31 (siehe Fig. 1) die horizontale Transporteinrichtung 40 zum Transportieren von ICs von dem Benutzer-Tablett 21 auf das Test- Tablett 31 an dem Tablettwechselabschnitt 30 zu benutzen, wie es in Fig. 1 gezeigt ist. Dies bedeutet, daß die horizontale Transporteinrichtung 40 gemeinsam als die Transporteinrichtung zum Transportieren von ICs, die von dem Benutzer-Tablett 21 zugeführt werden, und auch zum Transportieren von ICs, die von dem Magazin 51 zugeführt werden, benutzt werden kann, da die Vorrichtung 160 in der Nähe des Test-Tabletts 31, das an dem Tablettwechselabschnitt 30 angehalten ist, positioniert ist. Da ferner der Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 einen IC, der an dem unteren Endabschnitt der Schiene 161 angehalten ist, in einem Zustand ansaugen kann, bei dem die Position des Schwerpunkts eines ICs mit der Achse des Unterdrucksaugkopfs 41 ausgerichtet ist, kann der IC aufgrund seiner Festlegung oder Ausrichtung seiner Position an dem unteren Ende der Schiene 161 zuverlässig auf das Test- Tablett 31 aufgebracht werden.

Fig. 3 zeigt den Aufbau eines zweiten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Da die Ausgestaltung des Tablett-Transportab­ schnitts nicht mit dem Gegenstand der vorliegenden Erfindung zusammenhängt, ist hier deren Aufbau in den Zeichnungen gemäß Fig. 3 und den nachfolgenden Zeichnungen nicht dargestellt. Bei dem zweiten, in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel weist die Vorrichtung 160 eine bewegliche Schiene 162 und einen Luftzylinder bzw. luftbetätigten Zylinder 163 zum Drehen der beweglichen Schiene 162 auf. Die bewegliche Schiene 162 ist an der stromab befindlichen Seite der Entnahmeschiene 54 vorgesehen. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die stromab befindliche Seite der beweglichen Schiene 162 um eine Achse derart schwenkbar gelagert, daß sich ihre stromauf befindliche Seite in der nach oben und unten weisenden Richtung drehen kann. Die Drehung der stromauf befindlichen Seite der Schiene 162 in der Aufwärts- und Abwärtsrichtung wird durch den luftbetätigten Zylinder 163 derart betrieben, daß sich die stromauf befindliche Seite der beweglichen Schiene 162 zwischen der geneigten Position, die in der Zeichnung dargestellt ist und in der sie an dem unteren Endabschnitt der Entnahmeschiene 54 anliegt, und der horizontalen Position bewegt, die durch Phantomlinien (strichpunktierte Linie) angezeigt ist. Dies bedeutet, daß ein IC auf der beweglichen Schiene 162 von der Entnahmeschiene 54 an der geneigten, an dem unteren Endabschnitt der Entnahmeschiene 54 anliegenden Position aufgenommen wird, und daß dann die bewegliche Schiene 162 durch die von dem luftbetätigten Zylinder 163 ausgeübte Antriebskraft in die horizontale Position gedreht wird, um hierdurch den auf der Schiene 162 aufgenommenen IC in die horizontale Lage zu bringen. Folglich wird die Ausrichtung des ICs ausgehend von der geneigten Stellung in die horizontale Lage geändert oder gewechselt.

Fig. 4 zeigt die Beziehung zwischen der Entnahmeschiene 54, dem Magazin 51, der Puffer­ schiene 53 und der beweglichen Schiene 162 in Einzelheiten. Wie bei dem vorstehend erläuterten ersten Ausführungsbeispiel weisen die Entnahmeschiene 54 und die bewegliche Schiene 162 auch bei diesem Ausführungsbeispiel vier IC-Aufnahmerillen 54B bzw. vier IC-Aufnahmeschienen auf. Wenn ein IC von jeder der IC-Aufnahmerillen 54B der Entnahmeschiene 54 aufgenommen ist, wird die Entnahmeschiene 54 in der stromauf gerichteten Position der beweglichen Schiene 162 bewegt, und es rutschen dann aufgrund einer Entfernung der beweglichen Anschläge 54A die ICs auf der Entnahmeschiene nach unten und bewegen sich von der Entnahmeschiene 54 in die bewegliche Schiene 162 hinein. Das untere Ende der beweglichen Schiene 162 ist durch eine Verschlußplatte 162A geschlossen, mit der das vordere Ende des Gehäuses jedes ICs in Anlage gelangt. Als Ergebnis werden die Positionen aller ICs in gleichförmigen Zustand gebracht (die Ränder aller ICs sind miteinander ausgerichtet). In diesem Zustand, bei dem die Position der ICs gleichförmig definiert sind, wird der luftbetätigte Zylinder 163 angesteuert, um hierdurch die stromauf befindliche Seite der beweglichen Schiene 162 nach unten zu bewegen. Wenn die stromauf befindliche Seite bzw. Einlaufseite der beweglichen Schiene 162 nach unten in die horizontale Position bewegt ist, wird der Antrieb des luftbetätigten Zylinders 163 beendet. Auf diese Weise wird die bewegliche Schiene 162 in der horizontalen Lage gehalten. In dieser horizontalen Position wird der Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 zu dem oberen Abschnitt der beweglichen Schiene 162 bewegt, um hierdurch den IC anzusaugen, wonach der an den Saugkopf 41 angesaugte IC zu dem Test-Tablett 31 transpor­ tiert wird.

Bei diesem zweiten Ausführungsbeispiel ist die Position des oder der zu testenden ICs ebenfalls definiert und an dem unteren Endabschnitt der beweglichen Schiene 162 registriert bzw. ausgerichtet, so daß auch hier die horizontale Transporteinrichtung 40 für den Transport von ICs von dem Benutzer-Tablett 21 zu dem Test-Tablett 31 an dem Tablettwechselabschnitt 30 als die horizontale Transporteinrichtung zum Transportieren der ICs von dem unteren Endabschnitt der beweglichen Schiene 162 zu dem Test-Tablett 31 verwendet werden kann (siehe Fig. 1). Da darüberhinaus der Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 einen IC, der an dem unteren Endabschnitt der beweglichen Schiene 162 angehalten ist, in einem Zustand ansaugen kann, bei dem die Position des Schwerpunkts des ICs mit der Mittelachse des Saugkopfs 41 ausgerichtet ist, kann der IC aufgrund der gleichförmigen Festlegung der Positionen der ICs an dem unteren Endabschnitt der beweglichen Schiene 162 zuverlässig auf das Test-Tablett 31 aufgebracht werden.

Fig. 5 zeigt den Aufbau eines dritten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Vorrichtung 160 die bewegliche Schiene 162 und den Luftzylinder bzw. luftbetätigten Zylinder 163 zum Drehen der beweglichen Schiene 162, eine tragende Plattform bzw. Trägerplattform 164, auf der die bewegliche Schiene 162 angeordnet ist, und einen Luftzylinder bzw. luftbetätigten Zylinder 164A zum Antreiben der Plattform 164 in Richtung zu dem Tablettwechselabschnitt 30 auf, wobei sowohl die bewegliche Schiene 162 als auch der luftbetätigte Zylinder 163 jeweils die gleiche Ausgestaltung wie bei dem zweiten Ausführungsbeispiel aufweisen. Die bewegliche Schiene 162 ist an der Plattform 164 angebracht und nimmt einen zu testenden IC von der Entnahmeschiene 54 auf, wenn sich die Schiene 162 in der geneigten Position befindet. Nach dem Drehen der beweglichen Schiene 162 bis herab in die horizontale Lageposition wird die Plattform 164 geringfügig in Richtung zu dem Tablettwechselabschnitt 30 bewegt. Im Anschluß hieran wird der Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 zu dem oberen Abschnitt der beweglichen Schiene 162 zum Ansaugen des ICs an den Unterdrucksaugkopf 41 bewegt, und es wird der an den Saugkopf 41 angesaugte IC zu dem Test-Tablett 31 transportiert.

Wie vorstehend erwähnt, ergibt sich bei einem Aufbau, bei dem die bewegliche Schiene 162 geringfügig in Richtung zu dem Tablettwechselabschnitt 30 bewegt wird, nachdem die Lage der Schiene 162 in die horizontale Lage gebracht worden ist, ein Vorteil dahin gehend, daß der Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 nach unten bis nahe zu der vorbestimmten Position des zu testenden ICs auf der beweglichen Schiene 162 bewegt werden kann. Bei dem in den Fig. 3 und 4 gezeigten zweiten Ausführungsbeispiel ist nämlich die Ausgestaltung derart getroffen, daß dann, wenn die bewegliche Schiene 162 nach unten bis in die horizontale Lageposition gedreht worden ist, ein Abschnitt der stromauf befindlichen Seite der beweglichen Schiene 162 in die Unterseite der Entnahmeschiene 54 eintritt bzw. mit dieser in Anlage gelangt. Daher kann in diesem Fall die Möglichkeit bestehen, daß die Entnahmeschiene 54 zu einem Hindernis für die horizontale Transporteinrichtung 40 bei deren Annäherung an die obere Fläche der beweglichen Schiene 162 wird. Bei der Ausgestaltung gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel wird demgegenüber die Entnahmeschiene 54 überhaupt nicht zu einem Hindernis für die horizontale Transporteinrichtung 40 bei deren Annäherung an die obere Oberfläche der beweglichen Schiene 162. Da der übrige Teil des Aufbaus und der Betriebsweise des dritten Ausführungsbeispiels gleich ist wie der Aufbau und die Betriebsweise bei dem zweiten Ausführungsbeispiel, entfällt deren Erläuterung.

Fig. 6 zeigt den Aufbau eines vierten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Vorrichtung 160 in gleicher Weise wie bei dem zweiten Ausführungsbeispiel die bewegliche Schiene 162 und den luftbetätigten Zylinder 163 zum Drehen der beweglichen Schiene 162 auf. Jedoch ist die Vorrichtung 160 gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel im Unterschied zu dem zweiten Ausführungsbeispiel derart ausgelegt, daß die stromauf befindliche Seite der beweglichen Schiene 162 um eine Achse schwenkbar gelagert ist, und daß die stromab befindliche Seite der Schiene mit Hilfe des luftbetätigten Zylinders 163 in die nach oben und unten gerichtete Richtung bzw. aufwärts und abwärts gedreht wird. Wenn die bewegliche Schiene 162 bei diesem Aufbau nach unten in die der horizontalen Lage entsprechende Position gedreht wird, gelangt ein Abschnitt der stromauf befindlichen Seite der beweglichen Schiene 162 nicht mit der Unterseite der Entnahmeschiene 54 in Kontakt. Auch wenn hier keine Plattform 164 wie bei dem in Fig. 5 gezeigten dritten Ausführungsbeispiel vorgesehen ist, kann der Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 dennoch nach unten bis nahe zu der vorbestimmten Position des oberen Abschnitts der beweglichen Schiene 162 bewegt werden, ohne daß er durch die Entnahmeschiene 54 behindert wird. Da der übrige Teil des Aufbaus und der Betriebsweise des vierten Ausführungsbeispiels gleich ist wie der Aufbau und die Betriebsweise bei dem zweiten Ausführungsbeispiel, entfällt daher deren Erläuterung.

Fig. 7 zeigt den Aufbau eines fünften Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Vorrichtung 160 eine feststehende Schiene 165, einen Arm 61, dessen oberes Ende schwenkbar derart angebracht ist, daß der Arm 61 in der vertikalen, die Drehungsebene bildenden Ebene gedreht werden kann, und eine Antriebseinrichtung, zum Beispiel einen luftbetätigten Zylinder 64 des drehenden Typs, für den Antrieb des Arms 61 für eine hin- und hergehende Drehung innerhalb eines vorbestimmten Drehwinkels auf. Ferner ist ein Luftzylinder bzw. luftbetätigter Zylinder 42 für die lineare Hin- und Herbewegung des Unterdrucksaugkopfs 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 an dem unteren Ende des Arms 61 angebracht. Anders ausgedrückt, ist die Vorrichtung 160 derart ausgestaltet, daß der luftbetätigte Zylinder 42 und der Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 in drehender Weise innerhalb des vorbestimmten Drehwinkels hin- und herbewegt werden können.

Die feststehende Schiene 165 ist an der stromab befindlichen Seite der Entnahmeschiene 54 in einer geneigten Lage befestigt, wobei die geneigte Lage im wesentlichen die gleiche Steigung wie diejenige der Entnahmeschiene 54 aufweist. Der untere Endabschnitt der feststehenden Schiene 165 ist geschlossen, so daß die feststehende Schiene die Funktion der gleichförmigen Ausrichtung der Position eines in sie von der Entnahmeschiene 54 hineingerutschten ICs ausübt. Der Unterdrucksaugkopf 41, der an der horizontalen Transporteinrichtung 40 abgestützt ist und durch diese bewegt wird, wird zwischen derjenigen Position, die in der Zeichnung mit einer durchgezogenen Linie dargestellt ist, und derjenigen Position, die in der Zeichnung durch eine gestrichelte Linie angegeben ist, in Übereinstimmung mit der Drehung des luftbetätigten Zylinders 42 für die lineare Hin- und Herbewegung des Kopfs 41 hin- und hergedreht, weil der luftbetätigte Zylinder 42 an der horizontalen Transporteinrichtung 40 mit Hilfe des Arms 61 und des drehenden luftbetätigten Zylinders 64 derart schwenkbar angebracht ist, daß der luftbetätigte Zylinder 42 innerhalb eines vorbestimmten Winkels zwischen der der durchgezogenen Linie entsprechenden Position und der der strichpunktierten Linie entsprechenden Position gedreht werden kann.

Bei dem vorstehend erläuterten Aufbau wird der Unterdrucksaugkopf 41 durch die horizontale Transporteinrichtung 40 in eine Position, zum Beispiel in die Nähe der stromab befindlichen Seite der feststehenden Schiene 165, bewegt. In dieser Position wird der Zylinder 64 angetrieben, um hierdurch den Unterdrucksaugkopf 41 in der im Gegenuhrzeigersinn gerichteten Richtung (nach oben) zu drehen, so daß die Vorderfläche (Saugfläche) des Unterdrucksaugkopfs 41 in eine Lage gelangt, bei der sie parallel zu der Oberfläche des Gehäuses des auf der feststehenden Schiene 165 gehaltenen ICs ausgerichtet ist. Wenn die Saugfläche des Unterdrucksaugkopfs 41 und die Oberfläche des Gehäuses des ICs jeweils parallel zueinander verlaufen, wird der luftbetätigte Zylinder 42 angesteuert, um hierdurch den Unterdrucksaugkopf 41 nach außen zu drücken, wodurch der auf der geneigten, feststehenden Schiene 165 befindliche IC angezogen wird. Nach dem Ansaugen des ICs durch den Unterdrucksaugkopf 41 wird der luftbetätigte Zylinder 42 erneut angesteuert, um hierdurch den Unterdrucksaugkopf 41 um eine vorbestimmte Strecke zurückzuziehen. Der Zylinder 64 wird dann zur Drehung des Unterdrucksaugkopfs 41 in der im Uhrzeigersinn gerichteten Richtung angesteuert, wodurch die Ausrichtung des Unterdrucksaug­ kopfs 41 in die vertikale Lage zurückgeführt wird. Als Ergebnis ist die Ausrichtung des ICs, der an den Unterdrucksaugkopf 41 angesaugt ist, in die horizontale Lage gebracht.

In einem Zustand, bei dem der Unterdrucksaugkopf 41 den IC in horizontaler Ausrichtung angesaugt hat, wird der Unterdrucksaugkopf 41 in der horizontalen Richtung durch die horizon­ tale Transporteinrichtung 40 bewegt und wird an der vorbestimmten Position oberhalb des Tablettwechselabschnitts 30 angehalten.

An dieser vorbestimmten angehaltenen Position wird der luftbetätigte Zylinder 42 angesteuert, um hierdurch den Unterdrucksaugkopf 41 nach außen zu drücken, wobei der IC hierbei von dem Unterdrucksaugkopf 41 freigegeben wird und nach unten in das Test-Tablett 31 fällt, das an dem Tablettwechselabschnitt 30 angehalten ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel können daher die Änderung der Ausrichtung eines ICs und der Transport des ICs zu dem Test-Tablett 31 zur gleichen Zeit durchgeführt werden, und es kann somit der IC effizient auf das Test-Tablett 31 aufgebracht werden. Der weitere Aufbau und die sonstige Betriebsweise sind die gleichen wie bei dem vorstehend erläuterten, zweiten Ausführungsbeispiel, und es entfällt daher deren Beschreibung.

In den Fig. 8 und 9 ist der Aufbau eines sechsten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Bei diesem Ausführungs­ beispiel weist die Vorrichtung 160 eine Dreheinrichtung zum Ändern der Ausrichtung, die in der Draufsicht im wesentlichen die Form eines Kreuzes aufweist, und einen Schrittmotor 167 zum Drehen der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung um einen vorbestimmten Winkel zu einem jeweiligen Zeitpunkt bzw. bei einer jeweiligen Ansteuerung (90° bei diesem Ausführungsbeispiel) auf. Die die Ausrichtung ändernde Dreheinrichtung weist vier drehende bzw. drehbare Arme 166A, 166B, 166C und 166D auf, die in Winkelabständen von 90° um die als Mitte dienende Drehachse herum vorgesehen sind und in der radialen Richtung von der Drehachse nach außen vorstehen, wie es in Fig. 9 gezeigt ist. Wie in Fig. 8 dargestellt ist, sind die Dreharme mit dem gleichen Winkel mit einer aufwärtsgerichteten Neigung versehen, derart, daß, wenn ein Arm (166A in Fig. 8) aus den beiden Dreharmen 166A und 166B oder den beiden anderen Dreharmen 166C und 166D, die einander jeweils radial gegenüberliegen und mit einem Winkel von 180° um die Drehachse herum winkelmäßig beabstandet sind, mit der Pufferschiene 53 ausgerichtet ist, die den gleichen Winkel der aufwärtsgerichteten Neigung wie dieser eine Dreharm besitzt, der andere Dreharm (166B in Fig. 8) sich dann in der horizontalen Lage befindet. Dies bedeutet, daß jeder Dreharm mit dem gleichen, nach oben gerichteten Neigungswinkel derart versehen ist, daß die Neigung bzw. Ausrichtung eines Arms von einem Paar einander diametral gegenüberliegender Dreharme mit der Verlängerungslinie der Pufferschiene 53 ausgerichtet ist, während der andere Dreharm in der horizontalen Lage gehalten ist. Damit diese Bedingung oder Anforderung erfüllt wird, ist die Ebene oder die Oberfläche des Hauptkörpers der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung um die Drehachse herum daher derart gelagert, daß, wie in Fig. 8 gezeigt ist, sich die Ebene des Hauptkörpers in einer gegenüber der horizontalen Ebene geneigten Lage dreht bzw. befindet.

Jeder der Dreharme 166A, 166B, 166C und 166D weist eine IC-Aufnahmevertiefung auf, die in ihm ausgebildet ist und zum Aufnehmen eines zu testenden ICs in ihr dient. Wenn ein jeweiliger Dreharm in die mit der Pufferschiene 53 ausgerichtete Position durch den Schrittmotor 167 gedreht ist, rutscht ein IC von der Pufferschiene 53 in die IC-Aufnahmevertiefung dieses Dreharms herab. Folglich kann ein IC in jedem Dreharm untergebracht werden. An derjenigen Position, bei der der jeweilige Dreharm um 180° gegenüber der den IC aufnehmenden Position gedreht ist, ist der in der IC-Aufnahmevertiefung untergebrachte IC in die horizontale Lage gebracht, und es ist somit möglich, den IC durch den Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 (siehe Fig. 3) anzusaugen. Als Ergebnis kann der IC zu dem Test-Tablett 31 durch die horizontale Transporteinrichtung 40 transportiert werden. Ferner ist eine Führung 168 an einem Umfangsabschnitt der Dreharme 166A bis 166D vorgesehen, die zum Verhindern eines Herausfallens des ICs aufgrund der Zentrifugalkraft während der Drehung der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung dient. Da in der IC-Aufnahmevertiefung jedes Dreharms der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung kein IC mehr vorhanden ist, nachdem der IC durch den Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 angesaugt worden ist, wie es in Fig. 9 gezeigt ist, ist es ausreichend, die Führung 168 lediglich innerhalb des Winkelbereichs von im wesentlichen 180° ausgehend von einer Position in der Nähe der Pufferschiene 53 bis zu einer Position vorzusehen, bei der der IC in die horizontale Lage gebracht ist und durch den Unterdrucksaugkopf 41 der horizontalen Transporteinrichtung 40 angesaugt wird, wobei der Winkelbereich auf die Drehrichtung der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung bezogen ist.

Auf diese Weise ist es unter Verwendung der Dreharme 166A bis 166D, die jeweils den gleichen, vorbestimmten Neigungswinkel aufweisen, möglich, den Dreharmen 166A bis 166D zusätzlich zu der Funktion der Änderung der Ausrichtung eine Funktion zu verleihen, die gleichwirkend mit der Entnahmeschiene 54 ist. Falls hierbei die Länge der IC- Aufnahmevertiefung, die in jedem der Dreharme 166A bis 166D ausgebildet ist, derart gewählt ist, daß sie gleich groß ist wie die Länge eines ICs, muß lediglich ein beweglicher Anschlag 53A an der Pufferschiene 53 zum Anhalten des ICs an der untersten Position auf der stromab befindlichen Seite der Pufferschiene 53 vorgesehen sein. Wenn der bewegliche Anschlag 53A nach unten bewegt wird, um hierdurch den angehaltenen IC freizugeben, rutscht der IC in die IC- Aufnahmevertiefung desjenigen Dreharms nach unten, der der Pufferschiene 53 gegenüberlie­ gend angeordnet ist. Wenn die nach unten gerichtete Rutschbewegung des ICs beendet ist, wird der bewegliche Anschlag 53A wieder in seine ursprüngliche Position zurückgebracht, wodurch verhindert wird, daß der an der untersten Position auf der stromab befindlichen Seite der Pufferschiene 53 befindliche IC nach unten rutscht. In diesem Zustand kann der in einem Dreharm aufgenommene IC durch die Drehung der Dreharme mit Hilfe des Schrittmotors 57 gedreht werden. Selbst wenn zum Beispiel der in dem Dreharm aufgenommene IC und der unmittelbar nachfolgende IC, der auf der Pufferschiene 53 zurückbleibt, mechanisch miteinander gekoppelt sein sollten (die beiden Gehäuse, die jeweils die entsprechenden ICs enthalten, sind durch Grate usw. jeweils miteinander gekoppelt), kann die zwischen ihnen vorhandene mechani­ sche Kopplung beseitigt werden.

Wie vorstehend beschrieben, kann die Führungsschiene 54, die zum Vereinzeln der jeweiligen ICs vorgesehen ist, bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weggelassen werden. Daher kann auch das Zeitintervall entfallen, während dessen sich ein IC durch die Entnahmeschiene 54 bewegt. Darüberhinaus ist der Aufbau der Vorrichtung vereinfacht. Da ferner die Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung vom drehenden Typ ist, kann die Lage eines ICs mit hoher Geschwindigkeit in die gewünschte horizontale Ausrichtung für den Transport des ICs zu einem Test-Tablett 31 gebracht werden. Folglich ist der Betrieb oder die Arbeitseffizienz verbessert.

In den Fig. 10 und 11 ist der Aufbau eines siebten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Bei diesem Ausführungs­ beispiel weist die Vorrichtung 160 eine die Ausrichtung ändernde Dreheinrichtung, die eine im wesentlichen gleichschenklige, trapezförmige Gestalt besitzt (ein Trapez mit gleichen Schenkeln), eine Positioniereinrichtung 170 zum Aufnehmen eines ICs, dessen Ausrichtung durch diese die Ausrichtung ändernde Dreheinrichtung in die horizontale Lage gebracht worden ist, und zum Positionieren des aufgenommenen ICs an der gewünschten Stelle, und einen luftbetätigten Zylinder 172 des drehenden Typs auf, der zum hin- und hergehenden Drehen der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung innerhalb eines vorbestimmten Winkelbereichs (180° bei diesem Ausführungsbeispiel) dient. Die die Ausrichtung ändernde Dreheinrichtung weist ein Paar Dreharme 166A und 166B auf, die an den entgegengesetzt zueinander angeordneten Schenkeln (geneigten Oberflächen) der Dreheinrichtung angebracht sind. Diese Dreharme 166A und 166B weisen IC-Aufnahmeabschnitte für die Aufnahme jeweiliger ICs in ihnen auf, die jeweils an den Dreharmen entlang der jeweiligen Schenkel ausgebildet sind (entlang der von der oberen Basis des Trapezes zu dessen unterer Basis gerichteten Richtung).

Die entgegengesetzt zueinander angeordneten Schenkel der die Ausrichtung ändernden Drehein­ richtung, das heißt ein Paar von einander gegenüberliegenden Dreharmen 166A und 166B, drehen sich entlang einer konischen Fläche. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist demzufolge die Drehachse der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung, das heißt die Drehachse der Dreharme 166A und 166B, auf einer Winkelhalbierenden angeordnet, die denjenigen Winkel in zwei gleiche Teile unterteilt, die das Magazin 51 mit der horizontalen Ebene einschließt, und es ist jeder der Neigungswinkel der Dreharme 166A und 166B auf die Hälfte (1/2) desjenigen Winkels eingestellt, den das Magazin 51 mit der horizontalen Ebene einschließt, derart, daß dann, wenn die geneigte Oberfläche eines Dreharms (166A in Fig. 10) mit der Verlängerungslinie der Pufferschiene 53, das heißt mit der Verlängerungslinie des Magazins 51, ausgerichtet ist, die geneigte Oberfläche des anderen Dreharms (166B in Fig. 10) in der horizontalen Lage gehalten ist. Bei diesem Aufbau ist, wie in Fig. 10 gezeigt ist, der Dreharm (166A), der an der oberen Seite angeordnet ist, mit der gleichen, geraden Linie wie die Verlängerungslinie des Magazins 51 ausgerichtet, und es ist der andere Dreharm (166B) an der unteren Seite in einer Lage angeordnet, die parallel zu der horizontalen Ebene verläuft.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ferner ein IC aus dem Magazin 51 derart ausgegeben, daß die Anschlußfläche des ICs (diejenige Oberfläche, von der Anschlüsse des ICs vorstehen) nach oben gerichtet ist und die rückseitige Oberfläche des ICs (diejenige Oberfläche, von der keine Anschlüsse des ICs vorstehen) nach unten gerichtet ist, und der IC dann durch die Pufferschiene 53 zu dem IC-Aufnahmeabschnitt des Dreharms 166A oder 166B geführt wird. Unterdrucksaug­ köpfe 169A und 169B sind jeweils an den IC-Aufnahmeabschnitten der Dreharme 166A bzw. 166B angebracht. Jeder der Unterdrucksaugköpfe saugt die rückseitige Oberfläche des in den IC- Aufnahmeabschnitt bewegten ICs an und hält diese fest. Bei diesem Aufbau wird der IC durch den Unterdrucksaugkopf fest bzw. stabil gehalten und fliegt während des Zeitintervalls der Drehung der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung nicht nach außen heraus.

In demjenigen Zustand, bei dem jeder der Dreharme 166A und 166B einen IC angesaugt hat, werden die Dreharme 166A und 166B durch die drehende Antriebskraft des drehenden, luftbetätigten Zylinders 172 um 180° gedreht, wodurch die Ausrichtung des ICs, der mit der rückseitigen Fläche nach unten von der Pufferschiene 53 an der oberen Seite aufgenommen worden ist, in die horizontale Lage gebracht wird, wobei die Anschlußfläche an der unteren Seite nach unten weist. Die Positioniereinrichtung 170 ist an der unteren Seite angeordnet, zu der der Dreharm, an dem der IC angesaugt ist, um 180° gedreht worden ist, und es wird der IC, dessen Ausrichtung in die horizontale Lage gebracht worden ist, in einem Zustand gehalten, bei dem er der Positioniereinrichtung 170 gegenüberliegt und von dieser mit einem vorbestimmten Abstand beabstandet ist. In diesem Zustand wird die von dem Unterdrucksaugkopf (169B in der Zeich­ nung), an den der IC angezogen ist, ausgeübte Anziehungskraft zeitweilig freigegeben, so daß der IC nach unten in die Ausnehmung 171 der Positioniereinrichtung 170 fällt.

Die Positioniereinrichtung 170 weist, wie in Fig. 11 gezeigt ist, eine Mehrzahl von Ausnehmun­ gen bzw. Vertiefungen 171 auf, die in einer nebeneinander liegenden Beziehung in der Richtung der Tangente an den Umdrehungskreis der Drehung der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung ausgebildet sind, wobei die Positioniereinrichtung derart abgestützt ist, daß sie sich in der Richtung der Anordnung bzw. Aufeinanderfolge dieser Ausnehmungen 171, das heißt in der Richtung der tangentialen Linie bewegen kann. Da die Dreharme 166A und 166B durch die von dem drehenden, luftbetätigten Zylinder 172 erzeugte drehende Antriebskraft hin- und hergehend um 180° gedreht werden, werden die ICs alternierend zu den Ausnehmungen 171 der Positioniereinrichtung 170 von den Dreharmen 166A und 166B zugeführt. Jedesmal, wenn ein IC zu der Positioniereinrichtung 170 gebracht wird bzw. worden ist, bewegt sich die Positioniereinrichtung 170 um eine Strecke, die der lateralen Länge (Breite) einer Ausnehmung 171 entspricht, so daß eine leere Ausnehmung an derjenigen Position unterhalb des Dreharms 166A oder 166B angeordnet wird, an der er ankommt. Wenn alle Ausnehmungen 171 mit den ICs gefüllt sind, bewegt sich die Positioniereinrichtung 170 zu einer Position (in der Zeichnung nicht gezeigt), die von dieser Position unterhalb des Dreharms 166A oder 166B beabstandet angeordnet ist und bei der die ICs zu der horizontalen Transporteinrichtung 40 (siehe Fig. 3) transportiert werden. Die horizontale Transporteinrichtung 40 transportiert die von den Ausnehmungen 171 der Positioniereinrichtung 170 übertragenen ICs zu einem Test-Tablett. Die in Fig. 10 gezeigten Bezugszeichen 173A und 173B bezeichnen hierbei Schläuche bzw. Leitungen für die jeweilige Verbindung der Unterdrucksaugköpfe 169A und 169B mit einer Unterdrucksaugquelle. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel werden die Dreharme 166A und 166B durch die von dem Zylinder 172 ausgeübte drehende Antriebskraft hin- und hergehend um 180° gedreht. Jedoch können die Dreharme 166A und 166B auch in jeder Richtung um 180°, zum Beispiel durch einen Schrittmotor, gedreht werden.

Bei diesem Ausführungsbeispiel kann die Entnahmeschiene 54, die zum jeweiligen Vereinzeln der ICs vorgesehen ist, entfallen. Daher kann das Zeitintervall, während dessen sich ein IC durch die Führungsschiene 54 bewegt, weggelassen werden. Darüberhinaus ist der Aufbau der Vorrichtung vereinfacht. Da die die Ausrichtung ändernde Vorrichtung vom drehenden Typ ist, kann ferner die Ausrichtung eines ICs mit hoher Geschwindigkeit in eine gewünschte horizontale Lage für die Übertragung des ICs für zu einem Test-Tablett 31 gebracht werden. Folglich ist die Betriebs- oder Arbeitseffizienz verbessert.

In den Fig. 12 und 13 ist der Aufbau eines achten Ausführungsbeispiels des Abschnitts zum Ändern der Ausrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt. Das dargestellte achte Ausführungsbeispiel stellt einen Fall dar, bei dem die Vorrichtung 160 durch eine Positioniereinrichtung 170 zur direkten Aufnahme des ICs von der geneigten Entnahmeschiene 54 und zum Ändern der Ausrichtung des ICs in die horizontale Lage sowie zum Positionieren des ICs gebildet ist. Darüberhinaus weist die Entnahmeschiene 54 bei dem achten Ausführungsbeispiel verlängerte, vorstehende Stücke 54C auf, die von den beweglichen Anschlägen 54A der Entnahmeschiene 54 jeweils in Richtung zu der stromab weisenden Seite vorstehen. Hierbei befindet sich der IC, der von der Pufferschiene 53 in die Entnahmeschiene 54 aufgenommen wird, in einer geneigten Haltung. Dieser in der geneigten Lage befindliche IC wird zum Herabfallen in eine Ausnehmung 171 der Positioniereinrichtung 170 gebracht, wobei seine Ausrichtung unverändert beibehalten wird. In diesem Fall bewegt sich der IC auf dem verlänger­ ten, vorstehenden Stück 54C, das in Richtung zu der stromab befindlichen Seite des beweglichen Anschlages 54A der Entnahmeschiene 54 vorsteht, und fällt dann in die Ausnehmung 171 der Positioniereinrichtung 170 hinein. Wenn folglich, wie in Fig. 12 gezeigt ist, das vordere Ende des ICs eine Positionierwand an der vorderen Seite der Ausnehmung 171 der Positioniereinrichtung 170 erreicht, verbleibt das rückseitige Ende des ICs noch auf dem verlängerten, vorstehenden Stück 54C. Daher wird die Positioniereinrichtung 170 in demjenigen Zustand, bei dem sich das vordere Ende des ICs in Berührung mit der vorderseitigen Positionierwand der Ausnehmung 171 befindet, in der Richtung eines in den Fig. 12 und 13 gezeigten Pfeils X bewegt, wodurch das rückseitige Ende des ICs von dem verlängerten, vorstehenden Stück 54C des beweglichen Anschlags 54A in die Ausnehmung 171 hineinfällt. Als Ergebnis ist der IC vollständig in die Öffnung 171 hineingefallen, und es ist somit die Ausrichtung des ICs in die horizontale Lage gebracht und es ist der IC durch die Ausnehmung 171 positioniert.

Bei diesem Ausführungsbeispiel sind, wie in Fig. 13 gezeigt ist, an der Entnahmeschiene 54, die an der stromab befindlichen Seite der Pufferschiene 53 angeordnet ist, IC-Aufnahmerillen 54B vorgesehen, die zum Aufnehmen von acht ICs in jeweils nebeneinander liegender Lage imstande sind. Jedesmal, wenn ein IC in einer der IC-Aufnahmerillen 54B von der Pufferschiene 53 aufgenommen worden ist, wird die Entnahmeschiene 54 um einen Teilungsabstand (eine Strecke, die dem Intervall zwischen zwei benachbarten Rillen entspricht) in seitlicher Richtung bewegt. Wenn alle IC-Aufnahmerillen 54B mit ICs gefüllt sind, wird die Entnahmeschiene 54 über die Positioniereinrichtung 170 bewegt und es werden die aufgenommenen ICs jeweils IC für IC durch aufeinanderfolgendes Herabziehen der beweglichen Anschläge 54A, die in den jeweiligen IC- Aufnahmerillen vorgesehen sind, zum Herabfallen gebracht. Aufgrund dieses Vorgangs fällt, wie vorstehend angegeben, jeder der ICs mit einer solchen Ausrichtung nach unten, daß sein vorderes Ende an der vorderen Seitenwand der entsprechenden Ausnehmung 171 der Positioniereinrichtung 170 aufgrund des Vorhandenseins des verlängerten, vorstehenden Stücks 54C anschlägt. Wenn das vordere Ende des ICs an der vorderen Seitenwand der entsprechenden Ausnehmung 171 zur Anlage kommt, ist das rückseitige Ende des ICs noch auf dem verlängerten, vorstehenden Stück 54C verblieben, und es hält folglich der IC in der schrägen Lage an (in dem in Fig. 12 gezeigten Zustand). In diesem Zustand kann der IC durch Bewegung der Positioniereinrichtung 170 in der durch den Pfeil X angezeigten Richtung zum vollständigen Hineinfallen in die Ausnehmung 171 gebracht werden. Alternativ kann der IC auch zum vollständigen Hineinfallen in die Ausnehmung 171 gebracht werden, wenn die Entnahmeschiene 54 oder das verlängerte, vorstehende Stück 54C in derjenigen Richtung bewegt wird, die entgegengesetzt zu der Richtung des Pfeils X verläuft, anstatt die Positioniereinrichtung 170 in der Richtung des Pfeils X zu bewegen. Nachdem die Positioniereinrichtung 170 in der Richtung des Pfeils X bewegt worden ist, werden die ICs in den Ausnehmungen 171 durch die nicht gezeigte, horizontale Transporteinrichtung zu einem Test-Tablett transportiert. Da der Vorgang des Transportierens von acht ICs jeweils gleichzeitig von der Positioniereinrichtung 170 durch die horizontale Transporteinrichtung zu dem Test-Tablett der gleiche Vorgang ist wie derjenige bei jedem der vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiele, entfällt hier dessen Beschreibung.

Fig. 14 zeigt den Aufbau einer Vorrichtung zum Herausnehmen bzw. Herausgreifen von ICs. Die Vorrichtung ist derart aufgebaut, daß sie zwei IC-Antriebsstücke bzw. IC-Antriebselemente 173 aufweist, die jeweils für die Einführung in ein Magazin 51, das in horizontaler Lage angeordnet ist, durch einen an der oberen Fläche des Magazins 51 entlang der Längsrichtung des Magazins ausgebildeten Schlitz ausgelegt sind, wobei eines der IC-Antriebselemente 173, das in das Magazin 53 eingeführt ist, in der durch einen Pfeil X angegebenen Richtung bewegt wird, wodurch die in dem Magazin 51 befindlichen ICs in der Richtung des Pfeils X bewegt werden und somit die ICs aus dem Magazin 51 ausgegeben werden.

Eine Pufferschiene 53 ist an der vorderen Seite des Magazins 51 angeordnet, und es ist eine Entnahmeschiene 54 an der Auslaßseite der Pufferschiene 53 positioniert. Darüberhinaus ist ein beweglicher Anschlag 53A in der Nähe des Auslasses der Pufferschiene 53 in üblicher Weise vorgesehen, wodurch verhindert wird, daß die in der Pufferschiene 53 aufgenommenen ICs aus dem Umgebungsbereich des Auslasses ausgetragen werden. Wie bei den vorstehend erläuterten Ausführungsbeispielen weist die Entnahmeschiene 54 eine Mehrzahl von IC- Aufnahmeabschnitten auf, die in seitlicher Richtung (in derjenigen Richtung, die rechtwinklig zu der Richtung verläuft, mit der ein IC aus der Pufferschiene 53 in die Entnahmeschiene 54 transportiert wird) nebeneinander liegend vorgesehen sind. Die Entnahmeschiene 54 bewegt sich in seitlicher Richtung um eine Strecke, die einer lateralen Länge (Breite) jedes ICs entspricht, jedesmal dann, wenn ein IC in ihr aufgenommen wird bzw. worden ist. Aufgrund dieser seitlichen Bewegung der Entnahmeschiene 54 kann jeder mechanische, durch Grate oder ähnliches hervorgerufene Eingriff zwischen dem aufgenommenen IC und dem unmittelbar nachfolgenden, auf der Pufferschiene 53 verbleibenden IC beseitigt werden. Wenn ein IC von der Pufferschiene 53 in die Entnahmeschiene 54 geleitet wird, gerät der IC mit dem geschlossenen Ende der Entnahmeschiene 54 in Anlage, und es werden folglich die Positionen der ICs in der Transportrichtung der ICs durch dieses geschlossene Ende gleichförmig angeordnet bzw. ausgerichtet. Als Ergebnis kann in einem Fall, daß nach der Aufnahme von zum Beispiel acht (8) ICs in der Entnahmeschiene 54 diese Entnahmeschiene 54 in eine vorbestimmte Position bewegt wird, an der die in der Entnahmeschiene 54 aufgenommenen ICs zu einem Test-Tablett durch Ansaugen der ICs durch die Unterdrucksaugköpfe 41 der horizontalen Transporteinrichtung transportiert werden, dieser Vorgang sanft und zuverlässig durchgeführt werden, da die Positionen von allen ICs bereits gleichförmig angeordnet sind.

Bei dem in Fig. 14 dargestellten Beispiel sind die IC-Antriebselemente 173 an einem Band 175 montiert, das durch einen Schrittmotor 174 angetrieben wird. Durch intermittierende Ansteue­ rung des Schrittmotors 174 können die ICs in dem Magazin 51 jeweils IC für IC aus dem Magazin ausgegeben werden. Bei diesem Beispiel sind die beiden IC-Antriebselemente 173 an dem Band 175 derart angebracht, daß sie mit nahezu gleichem Abstand jeweils voneinander beabstandet sind. Zu einem Zeitpunkt, zu dem alle ICs aus dem Magazin 51 auf die Pufferschiene 53 ausgegeben sind, wird das geleerte Magazin 51 gegen ein anderes ausgetauscht. Zu einem Zeitpunkt, zu dem ein neues, ICs in sich aufnehmendes Magazin 51 mit der Pufferschiene 53 verbunden ist, nachdem das geleerte Magazin 51 entfernt worden ist, tritt das andere IC- Antriebselement 173, das an dem Band 175 angebracht ist, in den Schlitz des neuen Magazins 51 ein. Als Ergebnis wird mit der Ausgabe der ICs aus dem neuen Magazin 51 begonnen.

Wie vorstehend beschrieben, ist es durch Einsatz der IC-Transportvorrichtung und der IC- Ausrichtungsänderungsvorrichtung bei einer IC-Handhabungsvorrichtung möglich, in der IC- Handhabungsvorrichtung die von einem geneigten Magazin mit schräger Lage zugeführten ICs in horizontale Lage zu bringen und diese zu einem Test-Tablett zu transportieren. Folglich können ICs, die in einem stabförmigen Magazin aufgenommen sind, zu einem Testabschnitt eines IC- Testers durch eine IC-Handhabungsvorrichtung transportiert werden, bei der ein horizontales Transportsystem eingesetzt wird. Als Ergebnis kann ein IC-Tester des kombinierten Magazin/Tablett-Typs aufgebaut werden, der es ermöglicht, sowohl ICs, die in einem Magazin enthalten sind, als auch ICs, die in einem Tablett vorhanden sind, zu testen, wobei das Magazin und das Tablett jeweils als Behälter zum Aufnehmen von ICs eingesetzt werden. Da ferner ICs von der Position, bei der die Ausrichtung der ICs durch die Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung in die horizontale Lage gebracht wird, direkt auf das Test-Tablett transportiert werden, ist die Zeitdauer, die für den Transport der ICs erforderlich ist, verringert, und es kann folglich die für den Test der in einem Magazin enthaltenen ICs erforderliche Zeitdauer im Vergleich zu derjenigen bei der früher vorgeschlagenen IC-Handhabungsvorrichtung des kombinierten Tablett/Magazin-Typs verringert werden. Ferner können die Kosten der Vorrichtung gesenkt werden, da der Transportmechanismus zwischen der Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung und dem Test-Tablett vereinfacht werden kann.

Bei jedem der vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiele ist der Fall beschrieben, daß ICs, die ein typisches Beispiel für Halbleiterbauelemente darstellen, aus einem Magazin herausgenommen werden, transportiert werden und dann die Ausrichtung der ICs geändert wird. Die vorliegende Erfindung kann selbstverständlich auch in einem Fall eingesetzt werden, bei dem andere Halbleiterbauelemente als ICs aus einem Magazin herausgenommen werden, transportiert werden und dann die Ausrichtung der ICs geändert wird.

Claims (8)

1. Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung von Halbleiterbauelementen, mit
einer beweglichen Stützeinrichtung (52), die zum Halten eines stabförmigen, zur Aufnahme von Halbleiterbauelementen dienenden Magazins (51) in einer geneigten Lage ausgelegt ist, derart, daß die Halbleiterbauelemente aufgrund ihres Eigengewichts aus dem Magazin herausrutschen können,
einer Ausrichtungsänderungsvorrichtung, die zum Ändern der Ausrichtung jedes der aus dem Magazin (51) ausgegebenen Halbleiterbauelemente aus dem geneigten Zustand in die horizontale Lage dient und eine an der stromab befindlichen Seite des Magazins (51) angeordnete Entnahmeschiene (54) zum Vereinzeln der aus dem Magazin (51) ausgegebenen Halbleiterbau­ elemente sowie eine Lageänderungseinrichtung umfaßt, durch die die Ausrichtung der Halbleiter­ bauelemente, die von der Entnahmeschiene (54) im geneigten Zustand zugeführt werden, in die horizontale Lage gebracht wird,
einer Bauelementansaugeinrichtung (41) zum Ansaugen eines in der horizontalen Lage befindlichen Bauelements, und
einer Transporteinrichtung (40) zum Transportieren des durch die Bauelementansaugein­ richtung (41) angesaugten Halbleiterbauelements unter Beibehaltung der horizontalen Ausrich­ tung auf ein Test-Tablett (31),
dadurch gekennzeichnet, daß die Lageänderungseinrichtung (160) eine Schiene (161) umfaßt, der von der Entnahmeschiene (54) mindestens eines der durch die Entnahmeschiene (54) jeweils vereinzelten Halbleiterbauelemente zugeführt wird und die mindestens eine Rille aufweist, deren Neigung sich allmählich aus der geneigten Lage in die horizontale Lage ändert.

2. Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Lageänderungseinrichtung
eine bewegliche Schiene (162), deren unterer Endabschnitt schwenkbar angebracht ist und die sich normalerweise in einem geneigten Zustand befindet, wobei mindestens eines der Halbleiterbauelemente, die durch die Entnahmeschiene (54) jeweils vereinzelt sind, von der Entnahmeschiene zu der beweglichen Schiene zum Ändern der Ausrichtung transportiert wird; und
eine Einrichtung (163) zum Drehen der beweglichen Schiene (162) zum Ändern der Ausrichtung von dem geneigten Zustand in die horizontale Ausrichtung umfaßt, um hierdurch die Ausrichtung der Halbleiterbauelemente von dem geneigten Zustand in die horizontale Ausrichtung jedesmal dann zu ändern, wenn eine vorbestimmte Anzahl von Halbleiterbauelementen von der Entnahmeschiene zu der beweglichen Schiene gefördert worden sind,
und daß die Bauelementansaugeinrichtung (41) ein Halbleiterbauelement, das sich in der horizontalen Ausrichtung auf der beweglichen Schiene befindet, ansaugt.

3. Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Lageänderungseinrichtung
eine bewegliche Schiene (162) zum Ändern der Ausrichtung, deren unterer Endabschnitt schwenkbar angebracht ist und die sich normalerweise in einem geneigten Zustand befindet, wobei mindestens eines der Bauelemente, die durch die Entnahmeschiene (54) vereinzelt wurden, von der Entnahmeschiene zu der beweglichen Schiene gefördert wird,
eine Einrichtung (163) zum Drehen der beweglichen Schiene aus dem geneigten Zustand in die horizontale Ausrichtung jeweils dann, wenn eine vorbestimmte Anzahl von Halbleiterbauelementen von der Entnahmeschiene zu der beweglichen Schiene gefördert wurden, um hierdurch die Ausrichtung der Halbleiterbauelemente aus dem geneigten Zustand in die horizontale Ausrichtung zu bringen, und
eine Einrichtung (164, 164A) zum Bewegen der beweglichen Schiene in horizontaler Richtung weg von der Entnahmeschiene aufweist, und
daß die Bauelementansaugeinrichtung (41) ein in der horizontalen Ausrichtung auf der beweglichen Schiene (162) befindliches Halbleiterbauelement ansaugt.

4. Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Lageänderungseinrichtung
eine bewegliche Schiene (162) zum Ändern der Ausrichtung der Halbleiterbauelemente, deren oberer Endabschnitt schwenkbar montiert ist und die sich normalerweise in einem geneigten Zustand befindet, wobei mindestens eines der Halbleiterbauelemente, die durch die Entnahmeschiene (54) jeweils vereinzelt wurden, von der Entnahmeschiene zu der beweglichen Schiene (162) geleitet wird, und
eine Einrichtung (163) zum Drehen der beweglichen Schiene (162) von dem geneigten Zustand in die horizontale Ausrichtung jedesmal dann, wenn eine vorbestimmte Anzahl von Halbleiterbauelementen von der Entnahmeschiene (54) zu der beweglichen Schiene (162) geleitet wurde, um hierdurch die Ausrichtung der Halbleiterbauelemente von dem geneigten Zustand in die horizontale Lage zu ändern, umfaßt, und
daß die Bauelementansaugeinrichtung (41) ein Halbleiterbauelement, das sich in horizon­ taler Lage auf der beweglichen Schiene befindet, ansaugt.

5. Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, mit einer Bauelementan­ saugeinrichtung (41), die in einer vertikalen Ebene drehbar gelagert ist und zum Ansaugen von in geneigter Lage befindlichen Halbleiterbauelementen dient, und
einer Einrichtung (61, 64) zum Drehen der Bauelementansaugeinrichtung (41), um hier­ durch deren Haltung in eine rechtwinklig zu der horizontalen Ebene verlaufende Ausrichtung zu ändern und damit das durch die Bauelementansaugeinrichtung angesaugte Halbleiterbauelement in die horizontale Lage zu bringen, dadurch gekennzeichnet, daß die Lageänderungseinrichtung eine stromab der Entnahmeschiene (54) in einer geneigten Lage fest angeordnete Schiene (165) umfaßt, die zum jeweils einzelnen Aufnehmen der durch die Entnahmeschiene (54) separierten Halbleiterbauelemente jeweils Bauelement für Bauelement, sowie zum exakten Positionieren der Position der aufgenommenen Halbleiterbauelemente dient, und daß die Bauelementansaugeinrich­ tung (41) Halbleiterbauelemente von der Schiene (165) ansaugt.

6. Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, mit einer Pufferschiene (53), die sich in einer geneigten Lage befindet und an der stromab befindlichen Seite des Magazins angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Lageänderungseinrichtung
einen beweglichen Anschlag (53A), der an dem unteren Endabschnitt der Pufferschiene (53) vorgesehen ist und zum Anhalten eines an dem unteren Endbereich angeordneten, aus der Pufferschiene auszugebenden Halbleiterbauelements sowie zum Freigeben des Abtransports des Halbleiterbauelements von der Pufferschiene dient;
eine die Ausrichtung ändernde Dreheinrichtung (166A, 166B, 166C, 166D), die an der stromab befindlichen Seite der Pufferschiene (53) angeordnet ist und um ihre Drehachse drehbar ist, wobei die Dreheinrichtung mindestens ein Paar Dreharme (116A, 166B, 166C, 166D) aufweist, die einander diametral gegenüber liegen, wobei das Paar Dreharme den gleichen Neigungswinkel aufweisen, der derart vorgegeben ist, daß sich dann, wenn einer der Dreharme mit der in der geneigten Lage befindlichen Pufferschiene ausgerichtet ist, der andere Dreharm in der horizontalen Ebene befindet, wobei ein von der Pufferschiene in der geneigten Lage abgege­ benes Halbleiterbauelement in dem einen Dreharm aufgenommen wird, der mit der stromab befindlichen Seite der Pufferschiene unter Ausrichtung mit dieser gekoppelt ist; und
eine Einrichtung (167) zum Drehen der Dreheinrichtung derart aufweist, daß die Aus­ richtung des Halbleiterbauelements, das an dem einen Dreharm in der geneigten Lage gehalten wird, aufgrund einer Drehung dieses Dreharms um 180° in die horizontale Lage gebracht wird, und
daß die Bauelementansaugeinrichtung (41) derart ausgelegt ist, daß sie ein sich in der horizontalen Lage auf einem Dreharm befindliches Halbleiterbauelement ansaugt.

7. Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, mit einer Pufferschiene (53), die in einer geneigten Lage an der stromab befindlichen Seite des Magazins (51) angeordnet ist und zum Halten einer Mehrzahl von Halbleiterbauelementen dient, die aus dem Magazin (51) ausgegeben worden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Lageänderungseinrichtung
einen beweglichen Anschlag (53A), der an dem unteren Endabschnitt der Pufferschiene (53) vorgesehen ist und zum Halten des an dem untersten Ende der Pufferschiene angeordneten Halbleiterbauelements sowie zum Ermöglichen eines Abtransports der Halbleiterbauelemente von der Pufferschiene (53) dient,
eine die Ausrichtung ändernde Dreheinrichtung (166A, 166B), die an der stromab befindlichen Seite der Pufferschiene (53) angeordnet ist und um ihre Drehachse drehbar ist, die auf einer Halbierenden angeordnet ist, die den Winkel, den die Achse des Magazins und die Pufferschiene mit der horizontalen Ebene einschließen, in zwei gleiche Teile unterteilt, wobei die Dreheinrichtung ein Paar Dreharme (166A, 166B) aufweist, die einander diametral gegenüberlie­ gen und den gleichen Neigungswinkel aufweisen, der derart festgelegt ist, daß dann, wenn einer der Dreharme mit der in der geneigten Lage befindlichen Pufferschiene (53) ausgerichtet ist, der andere Dreharm in einer Ausrichtung angeordnet ist, die parallel zu der horizontalen Ebene verläuft,
Bauelementansaugeinrichtungen (169A, 169B), die an den Dreharmen vorgesehen sind und zum Ansaugen der Innenseite eines Halbleiterbauelements dienen, wenn dieses Halbleiter­ bauelement, das in einer geneigten Lage von der Pufferschiene abtransportiert wird, in einem Dreharm aufgenommen wird, der mit dem unteren Endabschnitt der Pufferschiene unter Ausrich­ tung mit diesem gekoppelt ist,
eine Einrichtung (172) zum Drehen der die Ausrichtung ändernden Dreheinrichtung derart, daß die Lage des in dem geneigten Zustand befindlichen, durch eine der Bauelementan­ saugeinrichtungen angesaugten Halbleiterbauelements durch eine Drehung dieses Dreharms um 180° in die horizontale Lage gebracht wird; und
eine Positioniereinrichtung (170) aufweist, die unterhalb des in der horizontalen Lage befindlichen Halbleiterbauelements vorgesehen ist und zum Aufnehmen des von der Bauelement­ ansaugeinrichtung freigegebenen Halbleiterbauelements unter Beibehaltung der horizontalen Lage und zum Festlegen der Position der Aufnahme des Halbleiterbauelements dient.

8. Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Lageänderungseinrichtung
einen beweglichen Anschlag (54A), der an der Entnahmeschiene (54) vorgesehen ist und zum Festhalten eines durch die Entnahmeschiene vereinzelten und von der Entnahmeschiene abzutransportierenden Halbleiterbauelements dient;
eine Positioniereinrichtung (170), die an einer Position stromab der Entnahmeschiene (54) vorgesehen ist und in der horizontalen Lage angeordnet ist, wobei die Entnahmeschiene und die Positioniereinrichtung in einer solchen positionsmäßigen Beziehung angeordnet sind, daß das vordere Ende eines von der Entnahmeschiene durch Freigabe des beweglichen Anschlags ausgegebenen Halbleiterbauelements an der Endwand einer Positionierausnehmung (171) anliegt, die in der Positioniereinrichtung ausgebildet ist, wodurch das Halbleiterbauelement in einer geneigten Lage verbleibt;
eine Antriebseinrichtung zum Bewegen der Entnahmeschiene oder der Positioniereinrich­ tung in einer eine gegenseitige Abstandsvergrößerung bewirkenden Richtung; und
eine Einrichtung zum Ansteuern der Antriebseinrichtung umfaßt, um hierdurch das in der geneigten Lage befindliche Halbleiterbauelement in die Positionierausnehmung (171) herabfallen zu lassen, wodurch die Ausrichtung des Halbleiterbauelements von der geneigten Lage in die horizontale Lage geändert wird.