DE19632123A1 - Kryopumpe - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Kryopumpe mit während ihres
Betriebs auf unterschiedlichen Temperaturen gehaltenen
Pumpflächen, die in einem Gehäuse mit einem Flansch zum
Anschluß der Pumpe an einen Rezipienten angeordnet sind.
Kryopumpen für die Erzeugung von Hoch- und Ultrahochva
kuum werden in der Regel mit einem zweistufigen Refrige
rator betrieben, der einen zweistufigen Kaltkopf umfaßt.
Sie weisen drei Pumpflächenbereiche auf, die zur Anlage
rung von verschiedenen Gasarten bestimmt sind. Der erste
Flächenbereich steht mit der ersten Stufe des Kaltkopfes
in gut wärmeleitendem Kontakt und hat je nach Art und
Leistung des Refrigerators eine Temperatur von etwa 80
K. Zu diesen Flächenbereichen gehören üblicherweise ein
Strahlungsschirm und ein Baffle. Diese Bauteile schützen
die Pumpflächen tieferer Temperatur vor einfallender
Wärmestrahlung. Außerdem bilden sie die Pumpflächen der
ersten Stufe und dienen bevorzugt der Anlagerung von re
lativ leicht kondensierbaren Gasen, wie Wasserdampf und
Kohlendioxyd, durch Kryokondensation.
Der zweite Pumpflächenbereich steht mit der zweiten
Stufe des Kaltkopfes in wärmeleitendem Kontakt. Diese
Stufe hat während des Betriebs der Pumpe eine Temperatur
von etwa 20 K und weniger. Der zweite Flächenbereich
dient bevorzugt der Entfernung von erst bei tieferen
Temperaturen kondensierbaren Gasen, wie Stickstoff, Ar
gon oder dergleichen, durch Kryokondensation sowie zum
Trapping leichterer Gase, wie H₂ oder He, in einer Majo
rität der genannten kondensierbaren Gase. Der dritte
Pumpenflächenbereich liegt ebenfalls auf der Temperatur
der zweiten Stufe des Refrigerator-Kaltkopfes (bei einem
Kaltkopf mit drei Stufen entsprechend tiefer) und ist
mit einem Adsorptionsmaterial belegt. An diesen Pumpflä
chen findet im wesentlichen die Kryosorption leichter
Gase, wie Wasserstoff, Helium oder dergleichen statt.
Beim Einsatz von Kryopumpen in der Beschichtungstechnik,
bei Sputterprozessen oder bei der Ionenimplantation,
reicht das durch die Größe des Hochvakuumflansches und
der zugehörigen Pumpflächen vorgegebene Wasserdampfsaug
vermögen nicht mehr aus. In solchen Fällen wird das zu
sätzlich benötigte Wasserdampfsaugvermögen durch weitere
Pumpflächen erreicht, die in der Prozeßkammer instal
liert werden. Die Kühlung dieser Pumpflächen erfolgt mit
flüssigem Stickstoff (Meißnerfalle), mit Frigen, mit
Frigenersatzmaschinen oder mit einstufigen Refrigerato
ren, zum Beispiel nach dem Gifford-McMahon-Prinzip. Die
Kühlung der zusätzlich benötigten Pumpflächen mit flüs
sigem Stickstoff ist mit relativ hohen Betriebskosten
verbunden; das Handling des flüssigen Stickstoffes ist
aufwendig. Die Frigen-Kühler sind groß und teuer; selbst
die Frigen-Ersatzstoffe sind nicht bedenkenlos für die
Umwelt. Schließlich sind auch zusätzliche Refrigeratoren
aufwendig und teuer.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
eine Kryopumpe der eingangs erwähnten Art mit zusätzli
chen Pumpflächen für Wasserdampf auszurüsten, ohne die
geschilderten Nachteile in Kauf nehmen zu müssen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß
die Kryopumpe mit weiteren für die Anlagerung von Was
serdampf bestimmten Pumpflächen ausgerüstet ist, die
sich außerhalb ihres Gehäuses befinden und mit der er
sten Stufe des Kaltkopfes über eine Kältebrücke in Ver
bindung stehen. Durch diese Maßnahmen wird erreicht, daß
nur eine Kühlmaschine, nämlich der Refrigerator der be
reits vorhandenen Kryopumpe, für die Pumpflächen der
Kryopumpe und für das zusätzlich installierte Wasser
dampfsaugvermögen nötig ist. Die außerhalb des Gehäuses
der Kryopumpe angeordneten Wasserdampf-Pumpflächen sind
zweckmäßig unmittelbar in der Prozeßkammer angeordnet
und können deren Geometrie angepaßt werden. Separate
Kühlmaschinen oder Kältequellen sind nicht mehr erfor
derlich.
Um die zusätzlichen Pumpflächen für Wasserdampf mit op
timaler Wirkung betreiben zu können, ist es zweckmäßig,
sie mit einem Sensor und mit einer Heizung auszurüsten.
Dadurch ist es möglich, ihre Temperatur auf optimale
Werte einstellen zu können.
Der Refrigerator der Kryopumpe muß derart ausgebildet
sein, daß die Kälteleistung der ersten Stufe des Kalt
kopfes ausreicht, um sowohl den Strahlungsschirm und das
Baffle der Kryopumpe als auch die zusätzlichen Wasser
dampfpumpflächen ausreichend zu kühlen. Refrigeratoren
dieser Art sind bekannt. Diese sind nicht größer in der
Abmessung sowohl des Kaltkopfes als auch des Kom
pressors. Wegen der erhöhten Kälteleistung der ersten
Stufe ist es für einen optimalen Betrieb der Kryopumpe
von Vorteil, wenn die für die zusätzlichen Pumpflächen
abgezweigte Kälteleistung ein- und ausschaltbar ist.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen
anhand von in den Fig. 1 bis 6 dargestellten Ausfüh
rungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen
Fig. 1 eine an eine Prozeßkammer angeschlossene
Kryopumpe mit zusätzlich installiertem Wasser
dampfsaugvermögen,
Fig. 2 eine Kryopumpe nach Fig. 1 mit einem
Hochvakuumventil und
Fig. 3 bis 6 Kryopumpen mit verschiedenen
Kältebrücken für zusätzliche
Wasserdampf-Pumpflächen.
Bestandteile der in den Figuren dargestellten Kryopumpen
1 sind das Gehäuse 2 mit dem die Einlaßöffnung 3 umge
benden Flansch 4 sowie der im Gehäuse 2 untergebrachte
zweistufige Kaltkopf 5 mit den Stufen 6 und 7. Mit der
ersten Stufe 6 des Refrigerators 5 ist der Strahlungs
schirm 8 gekoppelt, der seinerseits das im Einlaßbereich
befindliche Baffle 9 trägt. Die zweite Stufe 7 des Kalt
kopfes 5 befindet sich innerhalb des Strahlungsschirmes
8 und trägt Blechabschnitte, die den zweiten Pumpflä
chenbereich 12 und dritten Pumpflächenbereich 13 bilden.
Der zweistufige Kaltkopf 5 ist Bestandteil eines Gif
ford-McMahon-Refrigerators, zu dem der Kompressor 14 für
das Arbeitsgas (Helium) und der Antriebsmotor 15 für ein
nicht dargestelltes Ventilsystem gehören. Mit 16 ist ei
ne an das Gehäuse 2 angeschlossene Vorvakuumpumpe be
zeichnet. Der Steuerung des Refrigerators dient eine
Steuereinheit 17, die mit Druckmeßgeräten 21, 22 sowie
im einzelnen nicht dargestellten Druck- und Temperatur
sensoren im Gehäuse 2, an beiden Stufen 6, 7 des Kalt
kopfes und/oder an den Pumpflächen 12, 13 in Verbindung
steht. Sie dienen der Steuerung des Betriebs und der Re
generation der Kryopumpe 1.
Die Kryopumpe 1 ist an einen Rezipienten 25 angeschlos
sen, dessen Druck vom Meßgerät 21 überwacht wird und in
dem ein Verfahren mit erhöhtem Wasserdampfanfall durch
geführt wird. Um auf zusätzliche Kältemaschinen mit Was
serdampfkondensationsflächen verzichten zu können, ist
die Kryopumpe 1 selbst mit zusätzlichen Pumpflächen 26
ausgerüstet, die in der Nähe des Einlasses 3 im Rezi
pienten 25 angeordnet sind. Zweckmäßig bildet ein kreis
ringförmiges, den Einlaß 3 umgebendes Blech 27 aus gut
wärmeleitendem Metall (z. B. Cu) die zusätzlichen Pump
flächen 26, welches über eine oder mehrere Kältebrücken
28 mit dem Strahlungsschirm 8 oder direkt mit der ersten
Stufe 6 des Kaltkopfes 5 in Verbindung steht. Zur Ein
stellung einer optimalen Betriebstemperatur sind die
Pumpflächen 26 mit einem Temperatursensor 31 und einer
Heizung 32 ausgerüstet, die über nur zum Teil darge
stellte Leitungen mit der Steuereinheit 17 in Verbindung
stehen.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 bestehen die Käl
tebrücken 28 aus Stäben oder Metallstreifen 33, die am
Strahlungsschirm 8 mit gutem thermischen Kontakt lösbar
befestigt sind, durch die Einlaßöffnung 3 hindurchge
führt wird und die Pumpflächen 26 bzw. das z. B. kreis
ringförmige Blech 27 tragen.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 befindet sich zwi
schen der Kryopumpe 1 mit ihrem Flansch 4 und dem Rezi
pient 25 mit seinem Flansch 30 ein separates Hochvakuum
ventil 35. Um die Kältebrücken 28 aus dem Innenraum der
Kryopumpe 1 in den Rezipienten 25 hineinführen zu kön
nen, sind die Flansche des Ventils 35 außerhalb des Öff
nungsquerschnittes des Ventils 35 mit thermischen Durch
führungen 36 ausgerüstet. Der Innendurchmesser des Flan
sches 4 der Kryopumpe 1 und des Flansches 30 des Rezi
pienten 25 ist zweckmäßig derart groß gewählt, daß sich
in Höhe dieser Flansche die Kältebrücke (u) 28 im Rezi
pienten 25 bzw. im Gehäuse 2 der Kryopumpe 1 befinden.
Ist das Ventil 35 in der Kryopumpe 1 integriert, dann
ist eine Lösung dieser Art ebenfalls zweckmäßig.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 stehen stab- oder
streifenförmige Kältebrücken 28 bzw. 33 unmittelbar mit
der ersten Stufe 6 des Kaltkopfes 5 in wärmeleitender
Verbindung. Sowohl der Flansch 4 der Kryopumpe 1 als
auch der Flansch 30 des Rezipienten sind mit thermischen
Durchführungen 36 ausgerüstet. Mit "thermische Durchfüh
rungen" sollen Durchführungen gemeint sein, die die Wär
mebrücke 28 gegenüber dem Flansch 4 bzw. 30 thermisch
isoliert.
Wie bereits erwähnt, ist es zweckmäßig, wenn die den zu
sätzlichen Pumpflächen 26 zugeführte Kälteleistung
schaltbar ist. Ein mechanischer Thermoschalter 41, wie
er in Fig. 3, links, beispielsweise dargestellt ist,
kann dazu eingesetzt werden. Die Kältebrücke 28 ist an
der Stelle des Thermoschalters 41 unterbrochen und weist
zwei einander überlappende Abschnitte 42 und 43 auf.
Mindestens der Abschnitt 43 ist beweglich (biegsam, fle
xibel, schwenkbar o. dgl.) ausgebildet und steht mit dem
Anker 44 eines Magnetantriebes 45 in Verbindung. Der An
ker 44 steht unter der Wirkung einer Feder 46. Anker 44
und Feder 46 befinden sich in einem rohrförmigen Gehäu
seansatz 47. Die Spule 48 umgibt diesen Gehäuseansatz
47. Durch Betätigung des Magnetantriebes 45 kann die
Kältezuführung zu den zusätzlichen Pumpflächen 26 zu-
oder abgeschaltet werden. Je nachdem, ob die Feder 46
eine Zug- oder Druckfeder ist, ist der Schalter 41 im
stromlosen Zustand offen oder geschlossen. Anstelle des
Magnetantriebes kann auch ein pneumatischer Antrieb vor
gesehen sein.
Fig. 4 zeigt eine weitere Ausführung für einen Thermo
schalter, der als Gasthermoschalter 61 ausgebildet ist.
Er umfaßt einen in die Kältebrücke 28 integrierten Hohl
raum 62 mit einem zylindrischen Gehäuse 63. Die Stirn
seiten des Gehäuses 63 bestehen aus gut wärmeleitendem,
sein zylindrischer Abschnitt aus schlecht wärmeleitendem
Werkstoff. Der Hohlraum 62 steht über ein Ventil 64 mit
einem Gasvorratsgefäß 65 in Verbindung. Ist der Hohlraum
62 mit Gas gefüllt, ist der Schalter 61 geschlossen. Zur
Unterbrechung des thermischen Kontaktes wird das Kon
taktgas nach dem Öffnen des Ventils 64 in das Vorratsge
fäß 65 geleitet. Dieses kann mit Hilfe eines im Vorrats
gefäß 65 befindlichen Adsorptionsmittel geschehen, das
auf die Temperatur der ersten Stufe 6 des Kaltkopfes 5
gekühlt wird. Mit Hilfe einer nicht dargestellten Hei
zung kann das Gas wieder aus dem Vorratsgefäß 65 heraus
getrieben werden.
Bei den Ausführungsbeispielen nach Fig. 5 und 6 sind
die zusätzlichen Pumpflächen 26 mit einem Wärmetauscher
51 ausgerüstet, der während des Betriebs von kaltem Gas
durchströmt ist. Als Gas kann kaltes Arbeitsgas (Helium)
aus der ersten Stufe 6 des Kaltkopfes 5 verwendet wer
den. Die Kältebrücken 28 sind deshalb als Rohrleitungen
52, 53 ausgebildet, die den Wärmetauscher 51 mit der er
sten Stufe 6 des Kaltkopfes 5 verbinden. Um die Kältezu
fuhr schalten und/oder regeln zu können, sind die Rohr
leitungen 52, 53 mit Ventilen 54, 55 ausgerüstet. Kälte
mittelrückführungen sind im einzelnen nicht dargestellt.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 ist die Rohrlei
tung 52 durch die Flansche 4, 30 hindurchgeführt. Eine
schematisch dargestellte Schraubverbindung 56 ermöglicht
die Trennung der im Rezipienten 25 befindlichen Pumpflä
chen 26 von den übrigen Bestandteilen der Kryopumpe 1.
Die Ausführung nach Fig. 6 ist mit einem die Flansche
4, 30 umgehenden Bypass 57 ausgerüstet. Diese Lösung ist
zweckmäßig, wenn - wie bei der Kryopumpe 1 nach Fig. 2
- ein Ventil 35 vorhanden ist. Der Bypass 57 besteht aus
einem Anschlußstutzen 58 am Gehäuse 2 der Kryopumpe 1
und einem Anschlußstutzen 59 am Rezipienten 25. Diese
sind mit Hilfe einer Flanschverbindung 61 lösbar mitein
ander verbunden. Die Rohrleitung 53 mit ihrer Schraub
verbindung 67 ist durch den Bypass 57 hindurchgeführt.
Der Innenraum des Bypasses 57 steht unter Vakuum, so daß
die erste Stufe 6 des Kaltkopfes 5 ohne die Gefahr von
Wärmeverlusten mit dem Wärmetauscher 51 verbunden werden
kann.
Alternativ zur Lösung nach Fig. 6 kann anstelle des By
passes 57 eine Schaumstoffisolation vorgesehen sein, so
daß das Ventil - durch Schaumstoff isoliert - frei zu
gänglich ist. Bei dieser Lösung werden nur zwei dünne
Durchführungen für die Helium-Leitung 52 bzw. 53 benö
tigt.
Claims (20)
1. Kryopumpe (1) mit während ihres Betriebs auf unter
schiedlichen Temperaturen gehaltenen Pumpflächen
(8, 9, 12, 13), die in einem Gehäuse (2) mit einem
Flansch (4) zum Anschluß der Pumpe (1) an einem Re
zipienten (25) angeordnet sind, dadurch gekenn
zeichnet, daß sie mit weiteren für die Anlagerung
von leicht kondensierbaren Gasen bestimmten Pump
flächen (26) ausgerüstet ist, die sich außerhalb
ihres Gehäuses (2) befinden und mit der ersten
Stufe des Kaltkopfes (6) eines mindestens zweistu
figen Refrigerators (5)) über mindestens eine Käl
tebrücke (28) in Verbindung stehen.
2. Kryopumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die weiteren Pumpflächen (26) innerhalb des Re
zipienten (25) angeordnet sind.
3. Kryopumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Pumpflächen (26) von einem Blech (27) ge
bildet werden, das die Einlaßöffnung (3) der Kryo
pumpe (1) umgibt.
4. Kryopumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Pumpflächen (26) mit einem
Temperatursensor (31) und/oder mit einer Heizung
(32) ausgerüstet sind.
5. Kryopumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kältebrücke (28)
durch das Innere der Flansche (4, 30) von Kryopumpe
(1) und Rezipient (25) hindurchgeführt ist.
6. Kryopumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kältebrücke (28) durch in
den Flanschrändern befindliche thermische Durchfüh
rungen (36) hindurchgeführt ist.
7. Kryopumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4 mit ei
nem Hochvakuumventil (35), dadurch gekennzeichnet,
daß die Kältebrücke durch die Ränder der Flansche
eines Hochvakuumventils (35) hindurchgeführt ist.
8. Kryopumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kältebrücke durch einen die
Flansche (4, 30) umgehenden Bypass (57) hindurchge
führt ist.
9. Kryopumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß der Bypass (57) von zwei Anschlußstutzen (58,
59) gebildet wird, die an der Kryopumpe (1) bzw. am
Rezipienten (25) angeordnet und über eine Flansch
verbindung (61) miteinander verbindbar sind.
10. Kryopumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kältebrücke (28)
aus Stäben oder Streifen (33) aus gut wärmeleiten
dem Material bestehen, die die zusätzlichen Pum
pflächen (26) mit einer Pumpfläche (8) der ersten
Stufe (6) des Kaltkopfes (5) oder unmittelbar mit
der Stufe (6) des Kaltkopfes (5) verbinden.
11. Kryopumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kältebrücke (28, 33) mit einem mechanischen
Thermoschalter (41) ausgerüstet ist.
12. Kryopumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kältebrücke (33) zwei einander überlappende
Abschnitte (42, 43) aufweist, von denen mindestens
einer beweglich ausgebildet ist.
13. Kryopumpe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
daß der bewegliche Abschnitt (43) mit einem Magnet
antrieb oder pneumatischem Antrieb (45) in Verbin
dung steht.
14. Kryopumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß der Magnetantrieb (45) einen Anker (44) und ei
ne Spule (48) umfaßt und daß sich der Anker (44)
innerhalb eines rohrförmigen Gehäuseansatzes (47)
befindet.
15. Kryopumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kältebrücke (28, 33) mit einem Gasthermo
schalter (61) ausgerüstet ist.
16. Kryopumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß die zusätzlichen Pumpflächen
mit einem Wärmetauscher (51) ausgerüstet sind und
daß die Kältebrücke (28) als Rohrleitung (52, 53)
für ein Kältemittel ausgebildet ist.
17. Kryopumpe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Stufe (6) des Refrigerators (5) über
die Rohrleitung (52, 53) in Verbindung stehen, und
daß als Kühlmittel das kalte Arbeitsgas der ersten
Stufe (6) des Kaltkopfes (5) verwendet wird.
18. Kryopumpe nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Rohrleitung (52, 53) mit einem
Ventil (54, 55) ausgerüstet ist.
19. Kryopumpe nach Anspruch 16, 17 oder 18, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein Teilabschnitt der Rohrleitung
(52, 53) außerhalb der Flansche (4, 30) geführt
ist.
20. Kryopumpe nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,
daß der außerhalb der Flansche (4, 30) geführte Ab
schnitt mit Hilfe eines evakuierbaren Bypasses (57)
oder mit Hilfe von Schaumstoff thermisch isoliert
ist.
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