DE19680913C2 - Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungseinrichtung - Google Patents

Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungseinrichtung

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Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiter-Transport- und Handhabungs- oder Bearbeitungseinrichtung (üblicherweise als Handhabungseinrichtung bezeichnet), die an einem Halbleiterbauelement-Testgerät (üblicherweise als IC-Tester bezeichnet) angebracht ist, das zum Testen von Halbleiterbauelementen wie etwa von typische Beispiele für Halbleiterbauelemente darstellenden integrierten Halbleiterschaltungen (im folgenden als IC bzw. ICs) ausgelegt ist.
STAND DER TECHNIK
Eine Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungseinrichtung nach dem Oberbegriff das Patentanspruchs 1 ist aus der DE 31 23 543 A1 bekannt.
Viele Halbleiterbauelement-Testgeräte (im folgenden als IC-Tester bzw. IC-Testgeräte bezeichnet), die zum Messen oder Ermitteln der elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen durch Anlegen eines ein vorbestimmtes Muster aufweisenden Testsignals an die zu testenden Bauelemente ausgelegt sind, weisen eine Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungs- oder -Bearbeitungseinrichtung (im folgenden als Handhabungseinrichtung bezeichnet) auf, die integral bzw. einstückig mit ihnen verbunden ist. Die Handhabungseinrichtung ist dazu ausgelegt, zu testende Halbleiterbauelemente zu einem Test- oder Untersuchungsabschnitt zu trans­ portieren, in dem die Bauelemente in elektrischen Kontakt mit einem Testkopf des IC-Testers zur Durchführung des Tests gebracht werden, und die getesteten Bauelemente nach dem Abschluß des Tests in dem Testabschnitt aus dem Testabschnitt herauszutransportieren und die getesteten Bauelemente auf der Grundlage der Testergebnisse zu sortieren. Zum Zweck der klareren Erläuterung wird in der nachfolgenden Beschreibung auf ICs Bezug genommen, die typische Beispiele für Halbleiterbauelemente darstellen. Es erübrigt sich jedoch, anzugeben, daß die vorliegende Erfindung auch bei anderen Halbleiterbauelementen als ICs eingesetzt werden kann.
Zunächst wird unter Bezugnahme auf die Fig. 5 und 6 die Grundlage des Aufbaus und der Arbeitsweise eines Beispiels einer herkömmlichen Handhabungseinrichtung beschrieben, die als sogenanntes "horizontales Transportsystem" bzw. "Horizontal-Transportsystem" bezeichnet wird. Eine Anordnung gemäß Fig. 5 ist aus der JP 6-300816 A bekannt. Wie in Fig. 5 in Form eines Flußbilds gezeigt ist, weist die dargestellte Handhabungseinrichtung 30 einen Ladeabschnitt bzw. Beschickungsabschnitt 3, bei dem zu testende ICs 33, die von einem Benutzer bereits zuvor auf ein Kundentablett (für allgemeinen Einsatz ausgelegtes Tablett) 31 aufgebracht wurden, zu einem Test-Tablett 32, das hohen/niedrigen Temperaturen widerstehen kann, transportiert und auf dieses aufgebracht werden, eine Konstanttemperatur- oder thermostatische Kammer (Thermostatkammer) 34, die einen Testabschnitt 2 zum Aufnehmen und Testen der ICs von dem Beschickungsabschnitt 3 enthält, und einen Entladeabschnitt 4 auf, bei dem die getesteten ICs 33, die auf dem Test-Tablett 32 aus der Konstanttemperaturkammer 34 für einen nachfolgenden Test in dem Testabschnitt 2 heraustransportiert wurden, von dem Test-Tablett 32 zu dem Kundentablett 31 für eine Umsetzung auf das Kundentablett transportiert werden (generell werden die getesteten ICs oftmals auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse in Kategorien bzw. Klassen sortiert bzw. klassifiziert und zu den entsprechenden Kundentabletts transportiert). Abhängig von der Art der zu testenden ICs (zum Beispiel in dem Fall von oberflächenmontierbaren ICs oder dergleichen, die jeweils in einem flachen DIL-Gehäuse (mit in zwei Reihen angeordneten Anschlüssen) untergebracht sind), kann jeder IC auf einen IC-Träger aufgebracht werden, und es kann dann der mit dem IC bestückte IC-Träger auf einem Kundentablett angeordnet werden.
Das Test-Tablett 32 wird von dem Beschickungsabschnitt 3 aufeinanderfolgend durch die Konstanttemperaturkammer 34 und den Entladeabschnitt 4 zu dem Beschickungsabschnitt 3 zurück in umlaufender Weise bewegt. Genauer gesagt wird das Test-Tablett 32, das mit den zu testenden ICs 33 bestückt ist, von dem Beschickungsabschnitt 3 zu einer als Durchwärmungs­ kammer bezeichneten Heiz-/Kühl-Kammer 35 in der Konstanttemperaturkammer 34 transportiert, in der die auf dem Tablett 32 angeordneten ICs 33 auf eine vorbestimmte, konstante Temperatur aufgeheizt oder abgekühlt werden. Im allgemeinen ist die Durchwärmungskammer 35 dazu ausgelegt, eine Mehrzahl von (zum Beispiel 9) Test-Tabletts 14 aufzunehmen, die eines auf dem anderen derart gestapelt werden, daß ein Test-Tablett 32, das neu von dem Be­ schickungsabschnitt 3 zugeführt wird, auf der Oberseite des Stapels gelagert wird, wohingegen das unterste Test-Tablett zu dem Testabschnitt 2 ausgegeben wird. Die zu testenden ICs 33 werden auf eine vorbestimmte, konstante Temperatur erwärmt oder abgekühlt, während das Test-Tablett 32 von der Oberseite bis zu der Unterseite des Stapels innerhalb der Durchwär­ mungskammer 35 bewegt wird. Die erwärmten oder abgekühlten ICs 33 werden anschließend zusammen mit dem Test-Tablett 32 unter Beibehaltung der konstanten Temperatur von der Durchwärmungskammer 35 zu dem Testabschnitt 2 transportiert, bei dem die zu testenden ICs in elektrischen Kontakt mit IC-Sockeln bzw. IC-Buchsen (nicht gezeigt), die in dem Testabschnitt 2 angeordnet sind, zur Messung ihrer elektrischen Eigenschaften gebracht werden. Nach dem Abschluß des Tests werden die getesteten ICs 33 aus dem Testabschnitt 2 zu einer Auslaßkammer 36 transportiert, in der sie auf die Umgebungstemperatur zurückgeführt werden. Ähnlich wie die Durchwärmungskammer 35 ist auch die Auslaßkammer 36 dazu ausgelegt, Test- Tabletts in der Form eines Stapels aufzunehmen. Die Ausgestaltung kann zum Beispiel derart getroffen sein, daß die getesteten ICs 33 auf die Umgebungstemperatur zurückgeführt werden, während das zugehörige Test-Tablett aufeinanderfolgend von der Unterseite bis zu der Oberseite des Stapels innerhalb der Auslaßkammer 36 bewegt wird. Anschließend werden die getesteten, auf dem Test-Tablett 32 gehaltenen ICs 33 zu dem Entladeabschnitt 4 geleitet, bei dem die getesteten ICs auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse in Kategorien bzw. Gruppen sortiert und zu den entsprechenden Kundentabletts 31 transportiert werden. Das in dem Entladeabschnitt 4 geleerte Test-Tablett 32 wird zu dem Beschickungsabschnitt 3 zurück­ transportiert, in dem es erneut mit zu testenden ICs 33 von dem Kundentablett 31 bestückt wird, um hiermit die gleichen Arbeitsschritte zu wiederholen.
Während die in Fig. 5 dargestellte Handhabungseinrichtung 30 von einer Ausführungsform ist, die derart ausgelegt ist, daß zu testende ICs transportiert werden, die auf einem Tablett ange­ ordnet sind, sind gegenwärtig auch Handhabungseinrichtungen mit einer Ausführungsform im Einsatz, die dazu ausgelegt ist, zu testende ICs einzeln zu transportieren.
Wie in Fig. 6 gezeigt ist, weist der Beschickungsabschnitt 3 einen Speicher- bzw. Lager- oder Gestellabschnitt 3a (im folgenden als Regal- oder Gestellabschnitt bezeichnet), der zum Lagern einer Mehrzahl von jeweils mit zu testenden ICs 33 bestückten Kundentabletts 31, die in- bzw. aufeinandergestapelt sind, dient, einen Tablett-Transportabschnitt 3c zum Transportieren eines mit auf ihm befindlichen, zu testenden ICs bestückten Kundentabletts 31 von dem Gestellab­ schnitt 3a zu einer Übertragungs- bzw. Umsetzungsstufe in dem Beschickungsabschnitt 3, und einen Bauelement-Umsetzungsabschnitt 3b auf, der zum Transportieren und Umsetzen der auf dem Kundentablett 31 aufgebrachten, zu testenden ICs 33 auf ein Test-Tablett 32 in der Umsetzungsstufe dient. Der Entladeabschnitt 4 weist einen Bauelement-Umsetzungsabschnitt 4b zum Umsetzen der auf dem Test-Tablett 32 angeordneten und von dem Testabschnitt 2 zu einer Übertragungs- bzw. Umsetzungsstufe in dem Entladeabschnitt 4 transportierten, getesteten ICs auf ein Kundentablett 31, einen Lager- bzw. Speicher- oder Gestellabschnitt 4a (im folgenden als Gestell- bzw. Regalabschnitt bezeichnet) zum Lagern einer Mehrzahl von Kundentabletts 31, die jeweils mit getesteten, auf ihnen befindlichen ICs bestückt und in- bzw. aufeinandergestapelt sind, und einen Tablett-Transportabschnitt 4c auf, der zum Transportieren eines mit auf ihm befindlichen, getesteten ICs bestückten Kundentabletts 31 von der Umsetzungsstufe zu dem Gestellabschnitt 4a dient.
Es ist anzumerken, daß in dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt 3b, der zum Umsetzen von zu testenden ICs von dem Kundentablett 31 auf das Test-Tablett 32 in dem Beschickungsabschnitt 3 dient, und in dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt 4b, der zum Umsetzen der getesteten ICs von dem Test-Tablett 32 auf das Kundentablett 31 in dem Entladeabschnitt 4 dient, Saug- Transporteinrichtungen eingesetzt werden, die mit einer Vakuum- bzw. Saugpumpe arbeiten, die zu einem jeweiligen Zeitpunkt einen bis zu mehreren ICs für die Umsetzung herausgreifen kann.
Darüberhinaus werden die zu testenden ICs 33 in dem Testabschnitt 2 in Verbindung mit IC- Sockeln (Kontaktstiften) gebracht, an die ein Testsignal mit einem vorbestimmten Muster von dem IC-Tester 1 angelegt wird, um hierdurch die zu testenden ICs 33 einer Überprüfung ihrer elektrischen Eigenschaften zu unterziehen. Der Testabschnitt 2 der Handhabungseinrichtung ist im Inneren der Konstanttemperaturkammer 34 angeordnet, um hierdurch die Anforderung zu erfüllen, daß zu testende ICs in einer Atmosphäre bzw. einer Umgebung bei einer speziellen, vorbestimmten Temperatur getestet werden, und es sind die IC-Sockel im Inneren der Konstant­ temperaturkammer 34 in einem thermisch isolierenden Zustand angeordnet.
Bei dem dargestellten Beispiel ist der Testabschnitt 2 derart ausgelegt, daß zunächst zum Beispiel diejenigen ICs, die sich in den ungeradzahligen Reihen der zu testenden, auf dem Test-Tablett 32 angebrachten ICs befinden, getestet werden, woran sich der Test der ICs in den geradzahligen Reihen anschließt. Aus diesem Grund sind in dem Testabschnitt 2 zwei Test-Tabletts 32 gezeigt. Dies liegt daran, daß die Anzahl von zu testenden ICs, die durch einen IC-Tester zu einem jeweiligen Zeitpunkt getestet werden können, begrenzt ist (beispielsweise auf bis zu 32 ICs), wohingegen bei diesem Beispiel eine größere Anzahl von ICs (zum Beispiel 64 ICs), die höher ist als die zu einem jeweiligen Zeitpunkt testbaren ICs, auf einem Test-Tablett transportiert werden.
Ein Test-Tablett 32 ist bei diesem Beispiel derart ausgebildet, daß es insgesamt 64 ICs aufneh­ men kann, die in 4 Linien bzw. Zeilen und 16 Reihen (Spalten) angeordnet sind. Demgemäß sind IC-Sockel in zwei Gruppen in dem Testabschnitt 2 angeordnet, wobei eine der Gruppen aus 32 Sockeln besteht, die in 4 Zeilen × 8 Reihen für den Test von ICs in ungeradzahligen Reihen angeordnet sind, und die andere Gruppe aus 32 Sockeln besteht, die in 4 Zeilen × 8 Reihen für die in geradzahligen Reihen befindlichen, zu testenden ICs angeordnet sind. Der Testkopf 1a kann auch 16 IC-Sockel aufweisen, die an ihm angebracht und in 4 Zeilen × 4 Reihen derart angeordnet sind, daß dann, wenn die zu testenden ICs auf einem Test-Tablett 32 mit 4 Zeilen × 16 Reihen gemäß der Darstellung in Fig. 7 aufgebracht sind, die ICs jeder Zeile und jeder vierten Reihe (das heißt alle 16 ICs einer Zeile und der ersten Reihe, der fünften Reihe, der neunten Reihe und der dreizehnten Reihe gemäß der Darstellung mittels schräger Linien in Fig. 7) mit den 16 IC-Sockeln jeweils zu einem Zeitpunkt verbunden werden können. Dies bedeutet, daß ein erster Test bezüglich 16 ICs in den Reihen 1, 5, 9 und 13 jeder Zeile durchgeführt wird, anschließend ein zweiter Test bezüglich 16 ICs in den Reihen 2, 6, 10 und 14 jeder Zeile nach einer Bewegung des Test-Tabletts 32 um eine Reihe vorgenommen wird und die nachfolgenden Tests in gleichartiger Weise bezüglich der übrigen ICs durchgeführt werden.
Es ist weiterhin anzumerken, daß es noch eine weitere Ausführungsform einer Handhabungsein­ richtung gibt, bei der zu testende ICs von dem Test-Tablett in einen Sockel bzw. eine Aufnahme für den Test umgesetzt werden und nach dem Abschluß des Tests die ICs von dem Sockel auf das Test-Tablett in dem Testabschnitt 2 zurückgebracht werden.
Der allgemeine Trend in den letzten Jahren geht in Richtung auf den Einsatz von Handhabungs­ einrichtungen in Form des vorstehend beschriebenen horizontalen Transportsystems, wobei zu testende ICs 33, die auf dem Test-Tablett 32 aufgebracht sind, durch die Handhabungseinrich­ tung 30 zu dem Testabschnitt 2 transportiert werden, und die getesteten, auf dem Test-Tablett 32 angeordneten ICs 33 nach dem Abschluß des Tests von dem Testabschnitt 2 zu dem Entla­ deabschnitt 4 transportiert werden, in dem die getesteten ICs auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse in Kategorien sortiert und von dem Test-Tablett 32 zu den entsprechenden Kundentabletts 31 für die Lagerung in diesen transportiert werden. Bei dem Testen der elektri­ schen Eigenschaften von ICs kann es nach dem Abschluß des ersten, regulären Tests bezüglich aller zu testenden ICs in einer Charge oder einem Stapel erwünscht sein, eine gewisse Kategorie oder mehrere Kategorien hinsichtlich der Eigenschaften der ICs sofort erneut zu testen oder diese zu einem späteren, geeigneten Zeitpunkt nochmals zu testen, und zwar abhängig von den Ergebnissen des ersten Tests.
Jedoch sind bei den herkömmlichen Handhabungseinrichtungen keine anderen Alternativen oder Vorrichtungen als ein manueller Transport der getesteten ICs, bezüglich derer ein nochmaliger Test gewünscht ist, von dem Entladeabschnitt 4 zu dem Beschickungsabschnitt 3 vorhanden. Es ist somit ersichtlich, daß es bislang dann, wenn ein nochmaliger Test von getesteten ICs der gleichen Charge gewünscht ist, die bereits den ersten, regulären Testlauf bis zum Ende durch­ laufen haben und die anschließend im Hinblick auf ihre Eigenschaften auf der Grundlage der Testergebnisse in Kategorien klassifiziert und in einem Gestell 4a zusammen mit den Kunden­ tabletts 31 in dem Entladeabschnitt 4 gespeichert wurden, nicht möglich ist, den erneuten Test automatisch auszuführen, ohne daß eine Zwischenschaltung eines manuellen Transports seitens des Benutzers stattfindet.
Beispiele für die Fälle, bei denen der Benutzer den Wunsch nach einem nochmaligen Test von getesteten ICs haben kann, können folgende Fälle umfassen:
  • 1. den Fall, daß es im Hinblick auf die Ergebnisse, die anhand der Standards für den Test der Eigenschaften bei dem ersten Test klassifiziert sind, erwünscht ist, den Test im Hinblick auf noch weiter unterteilte Aspekte des Standards für den Test der Eigenschaften durchzuführen;
  • 2. den Fall, daß es gewünscht ist, ICs anhand von Test-Standards bezüglich einer bestimmten Gruppe von Eigenschaften während des ersten Tests zu testen und zu sortieren, und anschließend die ICs im Hinblick auf Teststandards bezüglich einer weiteren Gruppe von Eigen­ schaften während des zweiten Tests zu testen und zu sortieren; und
  • 3. den Fall, daß ein erneuter Test lediglich deswegen gewünscht ist, weil der Test- und Sortier­ vorgang auf der Grundlage von fehlerhaft festgelegten Test-Standards durchgeführt wurde, oder weil einige zweifelhafte oder nicht überzeugende Aspekte hinsichtlich der Testergebnisse vorhanden sind.
Wie vorstehend erläutert, werden die ICs, die dem ersten Test unterzogen worden sind, übli­ cherweise in zwei bis acht Kategorien auf der Grundlage der Testergebnisse in dem Entladeab­ schnitt 4 sortiert. Im allgemeinen steht es im Belieben der Bedienungspersonen der verschiedenen IC-Hersteller, die Anzahl von Kategorien in Abhängigkeit von dem Zweck festzulegen. Wenn zwei Kategorien vorhanden sind, sind dies die Kategorien "auslegungskonformes oder akzeptables Bauelement" und "nicht auslegungskonformes oder nicht akzeptables Bauelement". Es ist allerdings üblich, eine Klassifizierung im Hinblick auf mehr als vier Kategorien vorzunehmen. Als Beispiel können diejenigen ICs von den getesteten ICs, die die besten Testdaten im Hinblick auf die Spezifikation des Leistungsvermögens zeigen, in die Kategorie B1 einsortiert werden, wohingegen diejenigen getesteten ICs, die gute Ergebnisse zeigen, die Kategorie B2 bilden, diejenigen, die im untersten akzeptablen Bereich der Spezifikation für das Leistungsvermögen liegen, die Kategorie B3 bilden, und diejenigen ICs, die als fehlerhaft ermittelt wurden, die Kategorie B4 bilden. Die ICs in den Kategorien B1 und B2 können als akzeptable Bauelemente etikettiert werden, bei denen ein nochmaliger Test nicht erforderlich ist, wohingegen die ICs in den Kategorien B3 und B4 als nicht auslegungskonformes Bauelement bzw. nicht auslegungs­ konforme Bauelemente etikettiert werden können, bei denen ein nochmaliger Test erforderlich ist. Wenn die Klassifizierung im Hinblick auf acht Kategorien durchgeführt wird, ist eine beträchtlich lange Zeitdauer zur Durchführung der Klassifizierung erforderlich, da die Spezifikation des Leistungsvermögens in acht Stufen unterteilt werden muß.
Es ist bislang übliche Praxis, diejenigen getesteten ICs, die als akzeptable Bauelemente erkannt wurden, unverändert zu versenden bzw. auszuliefern, wohingegen diejenigen ICs, die als nicht akzeptable Bauelemente etikettiert wurden, sämtlich einem erneuten Test unterzogen werden. Der zweite Test wird im Hinblick auf unterschiedliche Testmerkmale oder in Abhängigkeit von anderen Klassifikationskategorien oder mit den gleichen Meßbedingungen wie bei dem ersten Test durchgeführt, um hierdurch nicht akzeptable Bauelemente abschließend zu ermitteln. Aus diesem Grund befinden sich üblicherweise alle diejenigen ICs, die bei dem ersten Test als nicht akzeptable Bauelemente erkannt wurden, in einer Gruppe, die dem zweiten Test unterzogen wird. Wenn als Beispiel die vorstehend erläuterte Klassifizierung in vier Kategorien aufgegriffen wird, werden alle getesteten ICs, die in die Kategorien B3 und B4 einsortiert wurden, gemeinsam einem neuen Test unterzogen. Dies bedeutet, daß es eine Zeitvergeudung und eine nicht notwendige Verlängerung der Testzeitdauer darstellen würde, die nicht akzeptablen Bauelemente in dem Entladeabschnitt 4 nach dem ersten Test in Kategorien zu sortieren. Demgemäß besteht ein Bedürfnis hinsichtlich der Verbesserung der Wirksamkeit des Testgeräts, das eine teure Gerätschaft darstellt, sowie hinsichtlich der Verringerung der Betriebskosten durch Verringerung der Testzeit in bestmöglichem Ausmaß.
In dem Testabschnitt 2 werden andererseits gemäß der vorstehenden Beschreibung die zu testenden ICs 33 einem Test hinsichtlich ihrer elektrischen Eigenschaften unterzogen, während sie elektrisch mit IC-Sockeln (nicht gezeigt) verbunden sind, die an dem in dem Testabschnitt 2 angeordneten Testkopf 1a des IC-Testers 1 angebracht sind. Aufgrund der Zunahme der Kapazi­ tät bzw. des Leistungsvermögens und des Integrationsausmaßes bei ICs in den letzten Jahren wird die Zeitdauer, die zum Testen eines ICs erforderlich ist, immer länger, was dazu führt, daß eine ausgedehnte Gesamtzeit zum Testen aller zu testenden ICs einer Charge oder eines Stapels erforderlich ist. Bei einem Ansatz zur Verringerung der gesamten Testzeit ist es eine bekannte Methode, ein Verfahren zum Testen einer großen Anzahl von ICs zu einem jeweiligen Zeitpunkt einzusetzen. Zu diesem Zweck sind zahlreiche Sockel (zum Beispiel 16 oder 32 Sockel) an dem Testkopf 1a des IC-Testers 1 gemäß der vorstehenden Erläuterung angebracht. In diesem Zusammenhang ist anzumerken, daß die Kontaktstifte jedes der Sockel an dem Testkopf 1a in mechanischen Kontakt mit den zu testenden ICs mit einer so großen Häufigkeit gebracht werden, daß sie möglicherweise deformiert werden, und daß die Kontakteigenschaften der Kontaktstifte der Sockel unmittelbar vor dem Beginn des Tests gemessen werden, da die Möglichkeit besteht, daß irgendwelche im Test befindlichen ICs lediglich aufgrund eines schlechten Kontakts zwischen den Leitungen des ICs und den Kontaktstiften des Sockels als nicht akzeptable Bauelemente eingestuft werden.
In dem Fall, daß alle ICs in jeder Charge unter Einsatz der vorstehend beschriebenen Handha­ bungseinrichtung 30 getestet werden, ist es notwendig, in der Handhabungseinrichtung bereits vorab (1) die grundlegenden Betriebsbedingungen, (2) die Klassifizierungsbedingungen, (3) die Bedingungen für die Sockelauswahl, (4) die Temperaturbedingungen und (5) weitere Bedingun­ gen einzustellen. Hierbei wird überlegt, daß die grundlegenden Betriebsbedingungen (a) eine Bedingung für die Erzeugung eines Alarm, (b) die Festlegung der äußeren Form und der Kapazität eines eingesetzten Tabletts, (c) die Festlegung des Typs oder der Art und einer äußeren Form eines zu testenden ICs und dergleichen enthalten können, und daß die Bedingungen für die Klassifizierung die Festlegung der Art und Weise der Klassifizierung der getesteten ICs auf der Grundlage der Testergebnisse enthalten können. Als Beispiel wird überlegt, die getesteten ICs hauptsächlich in die beiden Gruppen "auslegungskonforme Bauelemente (akzeptable Bauelemente)" und "nicht auslegungskonforme Bauelemente (fehlerhafte Bauelemente)" einzu­ sortieren, oder die ICs feiner in "auslegungskonforme Bauelemente A", "auslegungskonforme Bauelemente B", "auslegungskonforme Bauelemente C" und "nicht auslegungskonforme Bauelemente" usw. zu sortieren, wie es vorstehend erläutert ist. Es kann weiterhin davon ausgegangen werden, daß die Bedingungen für die Auswahl der Sockel die Festlegung eines Sockels (Kontaktstifts) enthalten können, der nicht mehr benutzt werden darf, was beispiels­ weise der Festlegung eines fehlerhaften Sockels unter den 16 oder 32 Sockeln entspricht. Ferner kann überlegt werden, daß die Temperaturbedingungen eine Mehrzahl von unterschiedlichen Temperaturzyklen enthalten können, die in der Konstanttemperaturkammer bei dem Testvorgang eingestellt sind, oder ähnliche Bedingungen enthalten können. Fig. 8 zeigt die Klassifizierung (Parameter) für diese Testbedingungen in der Form einer Tabelle.
Damit die vorstehend angegebenen Testbedingungen in der Handhabungseinrichtung 30 einge­ stellt werden und weiterhin die jeweiligen Abschnitte und Teile der Handhabungseinrichtung gesteuert werden, sind der Testabschnitt 2, der Beschickungsabschnitt 3 und der Entladeab­ schnitt 4 der Handhabungseinrichtung 30 mit einem Eingabe/Ausgabe-Schnittstellenabschnitt (I/O-Schnittstelle) 5 gemäß der Darstellung in Fig. 6 verbunden. Weiterhin ist der IC-Tester 1 mit dieser I/O-Schnittstelle 5 verbunden. Darüberhinaus sind ein Steuerabschnitt (CPU bzw. Zentraleinheit) 6 zum Steuern von unterschiedlichen Betriebsabläufen und Funktionen der Hand­ habungseinrichtung 30 und des IC-Testers 1, ein Festwertspeicher ROM 7 zum Speichern eines Systemprogramms und dergleichen, und ein Direktzugriffsspeicher RAM 8 mit der I/O-Schnitt­ stelle 5 über einen Bus 9 verbunden. Ferner sind mit der I/O-Schnittstelle 5 eine Tastatur 10, die als Eingabeeinrichtung dient, über die ein Benutzer die vorstehend erläuterten Testbedingungen, ein Programm usw. eingeben kann, ein externer Speicherabschnitt 11 wie etwa eine Festplatte, eine Diskette oder dergleichen, eine Anzeige 12 und ein Drucker 13 verbunden.
Bei der in dieser Weise aufgebauten, herkömmlichen Handhabungseinrichtung, sind durch einen Benutzer unter Verwendung der Tastatur 10 bereits vorab die Testbedingungen für jede Charge unter Bezugnahme auf eine Prozeßtabelle in dem externen Speicherabschnitt 11 (zum Beispiel einer Diskette) eingeschrieben worden, wobei die Testbedingungen eine Daten-Datei bilden. Bevor ein Test hinsichtlich der ICs jeder Charge begonnen wird, lädt der Benutzer eine entspre­ chende Daten-Datei von der Diskette 11 in den Direktzugriffsspeicher 8 der Handhabungsein­ richtung 30, wonach der Test ausgeführt wird. Als Alternative gibt der Benutzer ohne vorher­ gehende Speicherung der eingegebenen Daten in einer Diskette unterschiedliche Testbedingungen für eine Charge, die einem Test zu unterziehen ist, direkt in den Direktzugriffsspeicher 8 unter Verwendung der Tastatur 10 ein, wonach dann der Test ausgeführt wird.
Die Anzahl der Testbedingungen kann bis zu 20 hauptsächlichen Einheiten betragen, wenn andere oder weitere Bedingungen als die fünf vorstehend beschriebenen Bedingungen (5) enthalten sind. Da ein Benutzer die Testbedingungen für jede Charge unter Verwendung der Tastatur 10 eingibt, besteht das Problem, daß die Gefahr des Auftretens von Eingabefehlern gegeben ist. Wenn zum Beispiel ein Fehler bei der Festlegung der Temperatur in der Konstant­ temperaturkammer 34 auftritt (eine diesbezügliche Eingabe fehlerhafterweise nicht erfolgt), kann die Temperatur, die durch die Temperaturbedingung spezifiziert werden sollte, nicht eingestellt werden, und es wird ein nutzloser Test ausgeführt. Ebenso muß der Benutzer dann, wenn ein erneuter Test von dem IC-Tester 1 auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse angefordert wird, oder dann, wenn dem Benutzer die fehlerhaft unterbliebene Eingabe gewärtig wird und er einen erneuten Test wünscht, einen Plan (Prozedur oder Programm) für den erneuten Test aufgrund seiner (ihrer) eigenen Einschätzung erstellen, und der Benutzer muß dann diesen Plan in die Handhabungseinrichtung 30 eingeben, wenn der erneute Test auszuführen ist. Weiterhin muß der Benutzer hierbei zur gleichen Zeit ein Kundentablett 31, das mit erneut zu testenden, auf ihm befindlichen ICs bestückt ist, aus dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts herausnehmen und dieses in den Gestellabschnitt 3a für den Beschickungsabschnitt einbringen. Demzufolge ergeben sich die Nachteile, daß die Arbeitsbelastung des Benutzers erhöht ist und der Testwirkungsgrad des Systems verringert ist.
Aus der EP 0 432 292 A1 ist ein IC-Logiktester bekannt, bei dem zu testende ICs mit vorbestimmten Testmustersignalen beaufschlagt werden. Die Testmustersignale werden von einem Testmustergenerator erzeugt, der einen Testmusterspeicher enthält. In den Testmusterspeicher können für verschiedene Arten von ICs entsprechende Testmuster von einem Massenspeicher, z. B. einer Diskette, eingeschrieben werden. Diese Druckschrift befaßt sich lediglich mit den Signalen, die zum Testen an den IC angelegt werden, nicht aber mit den Testbedingungen unter denen dieses erfolgt.
KURZFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Handhabungseinrichtung zu schaffen, bei der ein Benutzer die Testbedingungen für die ICs der jeweiligen Chargen leicht eingegeben kann.
Diese Aufgabe wird mit einer Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungseinrichtung gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird eine Handhabungseinrichtung bereitge­ stellt, die umfaßt: einen Testparameter-Speicherabschnitt zum Speichern mindestens von Para­ metern bezüglich grundlegender Bedingungen des Betriebs, von Parametern für die Klassifizie­ rungsbedingungen hinsichtlich der getesteten Bauelemente, zumindest eines Parameters für die Bedingungen bei der Auswahl eines Sockels (Kontaktstifts), und von Parametern für die Tempe­ raturbedingungen, wobei die gespeicherten Parameter die Testbedingungen für die zu testenden Bauelemente (ICs) jeder Charge bzw. einer jeweiligen Charge darstellen; einen Parametersatz- Speicherabschnitt zum Speichern einer Mehrzahl von Parametersätzen, wobei jeder Parameter­ satz eine Kombination aus Parametern ist, von denen jeweils einer für eine in dem Testparameter- Speicherabschnitt gespeicherte Bedingung vorgesehen ist; einen Planspeicherabschnitt zum Speichern eines Namens für jede Charge sowie eines Parametersatzes und eines Status (einer aus den Status-Zuständen "für Test reserviert", "im Test befindlich", "Test abgeschlossen" und "im nochmaligen Test befindlich"), die jeweils einem Chargennamen in der Testreihenfolge entsprechen; einen Chargendaten-Speicherabschnitt zum Speichern von Testergebnisdaten für jede Charge, die von einem IC-Tester ausgegeben wird; einen Nachtestdaten-Speicherabschnitt zum Speichern von Daten bezüglich des Nachtests bzw. erneuten Tests, die einen Parametersatz für nochmals zu testende Bauelemente enthalten; und einen Steuerabschnitt zum Steuern von verschiedenen Abschnitten und Teilen der Handhabungseinrichtung.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung weist der Steuerabschnitt auf: einen Chargenstatus-Steuerabschnitt zum Definieren des Status jeder Charge und zum Steuern der Arbeitsweise jedes Teils oder Abschnitts in Übereinstimmung mit einem entsprechenden Plan, der in dem Planspeicherabschnitt gespeichert ist; und einen Planverwal­ tungsabschnitt zur Durchführung einer Registrierung, Aktualisierung und einer Löschung eines Plans in dem Planspeicherabschnitt sowie einer Registrierung und einer Unterbrechung einer nochmals zu testenden Charge, sowie einer Aufbereitung der den Parametersatz enthaltenden Daten für den nochmaligen Test zum Einschreiben der Daten in den Nachtestdaten-Speicherab­ schnitt, wobei die vorgenannten Vorgänge von dem Planverwaltungsabschnitt unter der Steue­ rung durch den Chargenstatus-Steuerabschnitt durchgeführt werden. Dies ermöglicht, ein automatisches Planen eines nochmaligen Tests zu realisieren.
Darüberhinaus weist die Handhabungseinrichtung weiterhin einen Tablett-Transportabschnitt auf, der die Funktion des Transportierens eines Tabletts, das mit auf ihm aufgebrachten, zu testenden Bauelementen bestückt ist, von dem Gestellabschnitt des Beschickungsabschnitts zu einem Bauelement-Umsetzungsabschnitt des Beschickungsabschnitts, die Funktion des Transportierens eines Tabletts, das mit auf ihm aufgebrachten, getesteten Bauelementen bestückt ist, die auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse sortiert sind, von einem Bauelement-Umset­ zungsabschnitt des Entladeabschnitts zu dem Gestellabschnitt des Entladeabschnitts, und die Funktion des Transportierens eines Tabletts, das mit auf ihm befindlichen, entsprechend gete­ steten Bauelementen bestückt ist, von dem Gestellabschnitt des Entladeabschnitts zu dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt des Beschickungsabschnitts umfaßt. Somit kann ein Tablett, das mit ICs beschickt ist, die nochmals getestet werden müssen, automatisch aus dem Gestellabschnitt des Entladeabschnitts zu dem Beschickungsabschnitt gebracht weden.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass eine Handhabungseinrichtung geschaf­ fen wird, die einen Eingriff seitens des Benutzers verringern und den Testwirkungsgrad des Systems erhöhen kann.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Fig. 1 zeigt ein Blockschaltbild, in dem ein Ausführungsbeispiel der Handhabungseinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt ist;
Fig. 2A ist ein Schaubild, in dem ein Beispiel eines Parametersatzes dargestellt ist, der in dem Parametersatz-Speicherabschnitt 8b gemäß Fig. 1 gespeichert ist;
Fig. 2B ist ein Schaubild, in dem ein Beispiel für einen Plan dargestellt ist, der in den Plan­ speicherabschnitt 8c gemäß Fig. 1 eingegeben ist;
Fig. 3 zeigt ein Ablaufdiagramm zur Erläuterung der Arbeitsweise des Status-Steuerab­ schnitts 6b und des Planverwaltungsabschnitts 6c gemäß Fig. 1;
Fig. 4A ist ein Schaubild, das ein Beispiel für einen Plan für eine Unterbrechung veranschau­ licht, der in dem Planspeicherabschnitt 8c gemäß Fig. 1 gespeichert ist;
Fig. 4B ist ein Schaubild, das ein Beispiel für den Plan eines nochmaligen Testvorgangs veranschaulicht, der in dem Planspeicherabschnitt 8c gemäß Fig. 1 gespeichert ist;
Fig. 5 ist eine Darstellung, die in Form eines Ablaufdiagramms eine herkömmliche Handha­ bungseinrichtung in der Form eines horizontalen Transportsystems zeigt;
Fig. 6 ist ein Blockschaltbild, das einen Aufbau der herkömmlichen, in Fig. 5 gezeigten Handhabungseinrichtung veranschaulicht;
Fig. 7 zeigt eine Draufsicht, in der ein Beispiel für ein Test-Tablett dargestellt ist, das in der Handhabungseinrichtung eingesetzt wird;
Fig. 8 ist ein Schaubild, in dem ein Beispiel für unterschiedliche Testbedingungen und jewei­ lige Klassifizierungstypen veranschaulicht ist; und
Fig. 9 ist ein Schaubild, das ein Beispiel für eine Testdaten-Datei veranschaulicht, die in dem in Fig. 6 gezeigten Direktzugriffsspeicher RAM 8 für jede zu testende Charge einge­ schrieben ist.
BESTE AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ein bevorzugtes Ausfüh­ rungsbeispiel der Erfindung im einzelnen beschrieben.
Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Handhabungseinrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung. Zum Zwecke der Klarheit der Erläuterung sind bei denjenigen, in Fig. 1 gezeigten Abschnitten, die den Abschnitten gemäß den Fig. 5 und 6 entsprechen, die gleichen Bezugszeichen hinzugefügt, und es erfolgt, soweit nicht erforderlich, keine Erläuterung dieser Abschnitte. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Handhabungseinrichtung einen Tablett- Transportabschnitt 21 auf, der drei Funktionen (oder Mechanismen bzw. Einrichtungen) in Kombination enthält, wobei eine der Funktionen eine Tablett-Transportfunktion (oder Einrich­ tung) ist, bei der ein Kundentablett von dem Gestellabschnitt 3a des Beschickungsabschnitts, in dem eine Mehrzahl von jeweils mit zu testenden ICs bestückten Kundentabletts zum Beispiel in der Form eines Stapels gelagert sind, herausgegriffen wird, wobei zum Beispiel das Tablett an der Oberseite des Stapels von Kundentabletts herausgegriffen und dieses zu einem Bauelement- Umsetzungsabschnitt 3b des Beschickungsabschnitts 3 transportiert wird. Die zweite Funktion ist eine Tablett-Transportfunktion (oder -Einrichtung), bei der ein Kundentablett, das mit gete­ steten, auf ihm befindlichen ICs bestückt ist, die auf der Grundlage der Daten der Testergeb­ nisse in einem Bauelement-Umsetzungsabschnitt 4b des Entladeabschnitts 4 sortiert worden sind, von dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt zu dem Gestellabschnitt 4a des Entladeab­ schnitt transportiert wird, und die dritte Funktion ist eine Tablett-Transportfunktion (oder - Einrichtung), bei der ein Kundentablett, das mit auf ihm befindlichen, getesteten ICs bestückt ist, von dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts zu dem Bauelement-Umsetzungsab­ schnitt 3b des Beschickungsabschnitts 3 transportiert wird.
Die I/O-Schnittstelle 5 ist mit einem Wirt-Computer bzw. Host-Computer 20 verbunden. Ferner sind ein Testparameter-Speicherabschnitt 8a, ein Parametersatz-Speicherabschnitt 8b, ein Plan­ speicherabschnitt 8c, ein Chargendaten-Speicherabschnitt 8d und ein Speicherabschnitt 8e für Daten bezüglich des nochmaligen Tests mit der I/O Schnittstelle 5 über den Bus 9 verbunden. Der Steuerabschnitt 6 weist einen Temperatursteuerabschnitt 6a, einen Status-Steuerabschnitt 6b und einen Planverwaltungsabschnitt 6c auf.
Bei der vorliegenden Erfindung wird eine Mehrzahl von Kombinationsarten von Kombinationen aus üblicherweise verwendeten Parametern für unterschiedliche Testbedingungen vorab erzeugt, wobei jede Kombination (ein Parametersatz) aus einer Mehrzahl von üblicherweise verwendeten Parametern besteht, wobei jeweils ein Parameter für eine Testbedingung vorgese­ hen ist. Diese Mehrzahl von Arten von Parametersätzen wird bereits vorab in dem Parameter­ satz-Speicherabschnitt 8b als Parametersätze S1, S2, S3, ... gespeichert, wie es in Fig. 2A gezeigt ist.
Dies stellt einen Unterschied gegenüber der herkömmlichen Handhabungseinrichtung dar, bei der beim Testen von ICs für jede zu testende Charge bzw. Gruppe eine Testdatendatei (Testda­ ten-File) für jede Charge dadurch erzeugt wird, daß unterschiedliche, in Fig. 8 gezeigte Testbe­ dingungen verknüpft werden, und ein Benutzer jede Testdaten-Datei in den externen Speicher­ abschnitt 11 oder in den Direktzugriffsspeicher 8 unter Verwendung der Tastatur 10 eingibt, wodurch eine Testdaten-Datei für jede Charge erzeugt wird, wie es in Fig. 9 gezeigt ist.
Demgegenüber gibt die Bedienungsperson bei der vorliegenden Erfindung gemäß der Darstellung in Fig. 2B beim Testen von ICs jeder zu testenden Charge lediglich den Namen jeder Charge, einen Status (wird im weiteren Text beschrieben), eine Testbedingung (ein Zeichen bzw. ein Buchstaben oder eine Adresse eines Parametersatzes Si usw.), die Anzahl von Bauelementen (zu testenden ICs) und so weiter, in den Planspeicherabschnitt 8c in der Reihenfolge der Tests ein. Folglich kann die Eingabe der Testbedingung sehr einfach durchgeführt werden. Darüber­ hinaus sind die in Fig. 8 gezeigten Parameter für die Testbedingungen bereits vorab in dem Testparameter-Speicherabschnitt 8a gespeichert worden, so daß eine Bedienungsperson diese stets verwenden kann.
Bei der vorliegenden Erfindung ist der Status jeder Charge in (1) "für den Test reserviert", (2) "im Test befindlich", (3) "Test abgeschlossen" oder (4) "im nochmaligen Test befindlich" unter­ teilt, wobei dieser Status in einem Plan eingegliedert ist. Jeder Chargen-Status wird durch den Status-Steuerabschnitt 6b des Steuerabschnitts 6 gesteuert. Dies bedeutet, daß der Status- Steuerabschnitt 6b des Steuerabschnitts 6 den Status jeder Charge definiert und den Betrieb jedes Teils oder Abschnitts der Handhabungseinrichtung in Übereinstimmung mit dem entspre­ chenden Plan steuert, der in dem Planspeicherabschnitt 8c gespeichert ist.
Darüberhinaus führt der Planverwaltungsabschnitt 6c unter der Steuerung durch den Status- Steuerabschnitt 6b die Aktualisierung, die Modifizierung, die Korrektur oder dergleichen des Planspeicherabschnitts 8c durch. Diese Arbeitsabläufe werden unter Bezugnahme auf Fig. 3 beschrieben.
Wenn ein Startbefehl durch einen Benutzer bzw. eine Bedienungsperson über die Tastatur 10 oder den mit der I/O-Schnittstelle 5 verbundenen Wirt-Computer 20 eingegeben wird, gibt der Status-Steuerabschnitt 6b ein Startsignal für den Beginn des Chargentests an die verschiedenen Abschnitte und/oder Sektionen der Handhabungseinrichtung über die I/O-Schnittstelle 5 (Schritt B1). Somit wird ein Test hinsichtlich der ICs einer Charge begonnen (Schritt H1).
Als nächstes steuert der Status-Steuerabschnitt 6b die Arbeitsweise aller jeweiligen Teile und/oder Abschnitte derart, daß diese an den Status jeder Charge in Übereinstimmung mit dem Plan, der in dem Planspeicherabschnitt 8c gespeichert ist, angepaßt ist (Schritt B2).
Der Planverwaltungsabschnitt 6c aktualisiert den Plan, der in dem Planspeicherabschnitt 8c gespeichert ist, sequentiell auf der Grundlage der Status-Steuerung seitens des Status-Steuer­ abschnitts 6b. Dies bedeutet, daß der Planverwaltungsabschnitt 6c den Status des Plans für jede Charge, zum Beispiel auf den Status "für den Test reserviert", "im Test befindlich", "Test abgeschlossen" oder "im nochmaligen Test befindlich", aktualisiert (Schritt C1).
Wenn der Test bezüglich der ICs aller Chargen abgeschlossen ist, werden die getesteten ICs in entsprechende Kategorien einsortiert und auf entsprechende Kundentabletts in dem Entladeab­ schnitt 4 aufgebracht. Die Kundentabletts, die jeweils die auf ihnen aufgebrachten, getesteten ICs tragen, werden dann in dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts untergebracht (Schritt H2), und es gibt der Status-Steuerabschnitt 6b ein das Ende des Chargentests angeben­ des Endsignal ab (Schritt B3). Auf die Ausgabe des das Ende des Chargentests anzeigenden Endsignals hin ändert der Planverwaltungsabschnitt 6c den Status der Pläne für alle Chargen, die in dem Planspeicherabschnitt 8c gespeichert sind, in den Status "Test abgeschlossen" (getestet). Weiterhin werden die Daten der Testergebnisse der ICs jeder Charge, die von dem IC-Tester 1 übertragen werden, in dem Chargendaten-Speicherabschnitt 8d gespeichert.
Wenn in dem Fall, das nach dem Abschluß des Tests einer Charge ein erneuter Test hinsichtlich der getesteten ICs dieser Charge zum Beispiel von dem Temperatursteuerabschnitt 6a des Steuerabschnitts 6 zur Steuerung der Temperatur der Konstanttemperaturkammer 34 angefor­ dert wird, oder nach dem Abschluß der Tests hinsichtlich aller Chargen ein erneuter Test hinsichtlich der nicht auslegungskonformen, getesteten ICs seitens des IC-Testers angefordert wird (Schritt H3), gibt der Status-Steuerabschnitt 6b ein Nachtestsignal bzw. ein Signal für nochmaligen Test aus (Schritt B4). Der Planverwaltungsabschnitt 6c führt dann gemäß der Darstellung in Fig. 4B eine Unterbrechungs-Registrierung bzw. Interrupt-Speicherung eines Plans (Nummer 5 in Fig. 4B) hinsichtlich der nochmals zu testenden Charge in den Plänen, die in dem Planspeicherabschnitt 8c gespeichert sind, durch und bereitet weiterhin Daten (Parametersatz usw.), die für den nochmaligen Test erforderlich sind, in Abhängigkeit von dem Inhalt oder dem Ausmaß des Fehlers der getesteten ICs auf, wobei die aufbereiteten Daten in den Nachtest- Speicherabschnitt 8e eingeschrieben werden (Schritt C2). Dies bedeutet, daß eine automatische Planerstellung bewirkt wird. Der Status-Steuerabschnitt 6b steuert die Arbeitsweise jedes Teils und/oder Abschnitts in Übereinstimmung mit den Inhalten, die in den Nachtest-Speicherab­ schnitt 8e eingeschrieben sind (Schritt B5).
Wenn von einem Benutzer über die Tastatur 10 eine Unterbrechungsanforderung (Interrupt- Anforderung) eingegeben wird, die angibt, daß ein Test hinsichtlich der ICs einer neuen Charge durchgeführt werden soll, (Schritt H5), gibt der Status-Steuerabschnitt 6b ein Unterbrechungs­ signal (Interrupt-Signal) (Schritt B6) aus. Wie in Fig. 4A gezeigt, führt der Planverwaltungsab­ schnitt 6c eine zusätzliche Registrierung bzw. Speicherung eines angeforderten Plans (Nummer 4 in Fig. 4A) der neuen Charge in bzw. zu den Plänen des Planspeicherabschnitts 8c durch (Schritt C3), und es steuert dann der Status-Steuerabschnitt 6b den Status jeder Charge auf der Grundlage des Unterbrechungs-Plans, der zusätzlich registriert worden ist (Schritt B7). Dies bedeutet, daß ein Test bezüglich einer neuen Charge durchgeführt wird. Der vorstehend beschriebene Unterbrechungsablauf wird auch in dem Fall durchgeführt, daß eine Anforderung eines nochmaligen Tests mitten während des vorstehend erläuterten Chargentests ausgegeben wird, so daß hierbei die Unterbrechungs-Speicherung eines Plans für den nochmaligen Test in den bzw. zusätzlich zu den gespeicherten Plänen für die nochmals zu testende Charge gemäß der Darstellung in Fig. 4B aufgrund einer Beurteilung seitens des Planverwaltungsabschnitts 6c durchgeführt wird.
Ferner dient der Planverwaltungsabschnitt 6c dazu, die Anzeige einer Chargennummer der sich im Test befindlichen Charge auf der Anzeige 12 zu veranlassen und/oder den Wirt-Computer 20 über die Chargennummer zu informieren (Schritt C4).
Im Fall des erneuten Testens muß eine Bedienungsperson bei der herkömmlichen Handhabungs­ einrichtung ein Kundentablett, das mit den entsprechenden, getesteten ICs beladen ist, von Hand aus dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts herausnehmen und dieses zu dem Gestellabschnitt 3a des Beschickungsabschnitts bewegen. Bei der vorliegenden Erfindung ist demgegenüber ein Tablett-Transportabschnitt 21 vorgesehen, der ein Kundentablett von dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts, der zur Aufnahme von Kundentabletts mit jeweils darauf aufgebrachten, entsprechenden getesteten ICs dient, zu dem Bauelement-Umsetzungs­ abschnitt 3b des Beschickungsabschnitts 3 transportiert, wobei das Kundentablett, das durch den Tablett-Transportabschnitt 21 gefördert wird, mit den getesteten ICs bestückt ist, die auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse sortiert worden sind.
Auf der Basis der durch den Status-Steuerabschnitt 6b bewirkten Steuerung der Arbeitsweise jedes Teils und/oder Abschnitts in Übereinstimmung mit den Inhalten, die bei dem vorstehend erläuterten Schritt B5 in den Nachtest-Speicherabschnitt 8e eingeschrieben worden sind, wählt der Tablett-Transportabschnitt 21 das entsprechende Kundentablett in dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts aus (falls zum Beispiel ein nicht auslegungskonformes Tablett A, ein nicht auslegungskonformes Tablett B, ein nicht auslegungskonformes Tablett C, usw. vorhanden sind, wird lediglich das nicht auslegungskonforme Tablett A ausgewählt), und transportiert dieses zu dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt 3b des Beschickungsabschnitts. Der Bauele­ ment-Umsetzungsabschnitt 3b des Beschickungsabschnitts fördert die getesteten ICs von dem zu ihm transportierten Kundentablett auf ein Test-Tablett 32. Folglich werden die getesteten ICs, die auf das Test-Tablett aufgebracht worden sind, erneut in den Testabschnitt 2 in der Konstanttemperaturkammer 34 für den Testvorgang transportiert. Demgemäß können die getesteten ICs bei der vorliegenden Erfindung automatisch von dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts zu dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt 3b des Beschickungsabschnitts 3 transportiert werden, und es ist folglich nicht notwendig, daß eine Bedienungsperson ein Kundentablett, das mit den entsprechenden, getesteten ICs bestückt ist, von Hand aus dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts herausnimmt und dieses zu dem Gestellabschnitt 3a des Beschickungsabschnitts bewegt.
Auf diese Weise ist der Tablett-Transportabschnitt 21 bei der vorliegenden Erfindung somit dahingehend verbessert, daß er nicht nur die Funktionen aufweist, die sowohl der Tablett- Transportabschnitt 3c des Beschickungsabschnitts als auch der Tablett-Transportabschnitt 4c des Entladeabschnitts bei der herkömmlichen Handhabungseinrichtung besitzt, sondern auch die Funktionen aufweist, ein Kundentablett, das mit den getesteten ICs beladen ist, automatisch von dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts zu dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt 3b des Beschickungsabschnitts unter Steuerung durch den Status-Steuerabschnitt 6b transpor­ tieren zu können, ohne daß irgendein Eingriff einer Bedienungsperson erforderlich ist. Somit läßt sich das Ausmaß der Arbeitsbelastung der Bedienungsperson verringern und es kann auch der Wirkungsgrad hinsichtlich des Tests seitens des Systems verbessert werden.
Ferner sind bei der vorliegenden Erfindung unterschiedliche Kombinationen von Parametern wie etwa Bedingungen für den grundlegenden Betrieb, Klassifizierungsbedingungen, Bedingungen für die Auswahl der Sockel, Temperaturbedingungen usw. vorab in dem Parametersatz- Speicherabschnitt 8b als Parametersätze (S1 bis Sn) gespeichert. Folglich gibt eine Bedienungs­ person bei dem Test von zu testenden ICs für alle Chargen lediglich die Namen der Chargen, den Status, die Namen der Parametersätze (Buchstaben bzw. Zeichen oder Adressen der Para­ metersätze Si), die Anzahl von Bauelementen (zu testenden ICs) usw. bei der Testfolge, in den Planspeicherabschnitt 8c ein. Daher muß die Bedienungsperson keine Datei für die Testbedin­ gungen für jede Charge unter Verwendung der Tastatur 10 jedesmal dann erzeugen, wenn ein Test hinsichtlich einer Charge durchzuführen ist, wie es bei der herkömmlichen Handhabungs­ einrichtung der Fall ist. Als Folge hiervon kann der Vorgang der Eingabe der Testbedingungen sehr einfach vorgenommen werden und es können auch Eingabefehler in starkem Umfang redu­ ziert werden. Darüberhinaus gibt der Benutzer aufgrund der vorhergehenden Speicherung eines Testplans wie etwa des Namens, des Status, der Anzahl von zu testenden ICs usw. bezüglich jeder Charge in dem Planspeicherabschnitt 8c lediglich den Namen des Parametersatzes oder der Adresse jeder Charge ein, um hiermit die Durchführung aller Testpläne zu bewirken, die in dem Planspeicherabschnitt 8c gespeichert sind. Somit ist der Vorgang der Eingabe der Testbe­ dingungen noch weiter vereinfacht.
Ferner erzeugt eine Bedienungsperson bei der herkömmlichen Handhabungseinrichtung einen Plan bzw. Ablaufplan für den nochmaligen Test und Daten für den nochmaligen Test, und gibt diese in die Handhabungseinrichtung ein. Bei der vorliegenden Erfindung kann der Planverwal­ tungsabschnitt 6c automatisch einen Ablaufplan für den nochmaligen Test sowie Daten für den nochmaligen Test unter Steuerung durch den Status-Steuerabschnitt 6b erzeugen und kann eine Korrektur oder eine Abänderung eines in dem Planspeicherabschnitt 8c gespeicherten Plans automatisch durchführen, und kann weiterhin den Plan bzw. Ablauf für den nochmaligen Test sowie die Daten für den nochmaligen Test automatisch in dem Speicherabschnitt 8e für die Daten für den nochmaligen Test speichern. Dies bedeutet, daß eine automatische Planerstellung bewirkt werden kann. Damit läßt sich die Arbeitsbelastung der Bedienungsperson in beträchtli­ chem Ausmaß verringern und es kann der Wirkungsgrad hinsichtlich des Tests in dem System verbessert werden.
Da der Tablett-Transportabschnitt 21 ein Kundentablett, auf dem nochmals zu testende ICs aufgebracht sind, von dem Gestellabschnitt 4a des Entladeabschnitts zu dem Bauelement- Umsetzungsabschnitt 3b des Beschickungsabschnitts unter Steuerung durch den Status-Steuer­ abschnitt 6b transportieren kann, kann ein erneutes Testen durchgeführt werden, ohne daß ein Eingriff seitens einer Bedienungsperson erforderlich ist. Demgemäß ist die Notwendigkeit eines Eingriffs einer Bedienungsperson bei der Handhabungseinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung beträchtlich verringert, verglichen mit der herkömmlichen Handhabungseinrichtung, und es läßt sich eine Einsparung an Arbeitsaufwand erzielen und der Testwirkungsgrad aufgrund der automatisierten Handhabung verbessern.
In der vorstehenden Beschreibung ist die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf ICs erläu­ tert, die typische Beispiele von Halbleiterbauelementen darstellen. Es erübrigt sich jedoch, fest­ zustellen, daß die vorliegende Erfindung auch bei anderen Halbleiterbauelementen als ICs einge­ setzt werden kann und daß hierbei die gleichen Funktionen und Wirkungen erzielt werden können.

Claims (4)

1. Halbleiterbauelement-Transport- und -Handhabungseinrichtung, die zum Transportie­ ren von zu testenden Halbleiterbauelementen (33) von einem Beschickungsabschnitt (3) zu einem Testabschnitt (2), bei dem die Bauelemente in elektrischen Kontakt mit Sockeln eines Halbleiterbauelement-Testgeräts für einen Test gebracht werden, sowie zum Transportieren der getesteten Bauelemente nach dem Abschluß des Tests in dem Testabschnitt (2) aus dem Testabschnitt heraus zu einem Entladeabschnitt (4), und zum Sortieren der getesteten Bauelemente in auslegungskonforme Bauteile und nicht auslegungskonforme Bauteile auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse ausgelegt ist, gekennzeichnet durch:
eine Konstanttemperaturkammer (34), in der sich der Testabschnitt (2) befindet,
einen Testparameter-Speicherabschnitt (8a) zum Speichern mindestens von Parametern für grundlegende Betriebsbedingungen, Parameter für die Klassifizierungsbedingungen hinsichtlich der getesteten Bauelemente, mindestens eines Parameters für Bedingungen für die Sockelaus­ wahl in dem Testabschnitt, und Parametern hinsichtlich Temperaturbedingungen bezüglich der Konstanttemperaturkammer, wobei die gespeicherten Parameter als Testbedingungen für zu testende Bauelemente jeder Charge dienen,
einen Parametersatz-Speicherabschnitt (8b) zum Speichern einer Mehrzahl von Parametersätzen, wobei jeder Parametersatz eine Kombination aus Parametern ist, die in dem Testparameter-Speicherabschnitt gespeichert sind und von denen jeweils einer für eine Bedingung vorgesehen ist,
einen Planspeicherabschnitt (Sc) zum Speichern eines Namens jeder Charge sowie eines Parametersatzes und eines Status entsprechend jedem Chargenname bei der Testfolge,
einen Chargendaten-Speicherabschnitt (18d) zum Speichern von Testergebnisdaten für jede Charge,
einen Nachtest-Daten-Speicherabschnitt (8e) zum Speichern von Daten für einen nochmaligen Test einschließlich eines Parametersatzes für nochmals zu testende Bauelemente, und
einen Steuerabschnitt (6) zum Steuern von verschiedenen Abschnitten und Teilen der Handhabungseinrichtung.
2. Transport- und -Handhabungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, dass der Steuerabschnitt (6) aufweist:
einen Chargenstatus-Steuerabschnitt (6b) zum Festlegen des Status jeder Charge auf den Status "für den Test reserviert", "im Test befindlich", "Test abgeschlossen" oder "im noch­ maligen Test befindlich" und zum Steuern des Betriebs jedes Teils oder Abschnitts in Überein­ stimmung mit einem entsprechenden Plan, der in dem Planspeicherabschnitt (8c) gespeichert ist, und
einen Planverwaltungsabschnitt (6c) für die Durchführung einer Speicherung, einer Aktualisierung und einer Löschung eines Plans in dem Planspeicherabschnitt unter Steuerung durch den Chargenstatus-Steuerabschnitt, sowie zur Durchführung einer Speicherung und einer Unterbrechung einer nochmals zu testenden Charge, sowie zur Aufbereitung der Daten für den nochmaligen Test einschließlich des Parametersatzes zum Einschreiben der Daten in den Nachtest-Daten-Speicherabschnitt.
3. Transport- und -Handhabungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, dass der Steuerabschnitt weiterhin einen Temperatursteuerabschnitt (6a) zur Steuerung der Temperatur der Konstanttemperaturkammer (34) aufweist.
4. Transport- und -Handhabungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, weiterhin gekennzeichnet durch:
einen Beschickungs-Gestellabschnitt (3a) zum Lagern von Tabletts, die jeweils mit zu testenden Bauelementen (33) bestückt sind,
einen Entlade-Gestellabschnitt (4a) zum Lagern von Tabletts, die jeweils mit getesteten Bauelementen bestückt sind, die auf der Grundlage der Testergebnisdaten sortiert worden sind, und
einen Tablett-Transportabschnitt (21), der eine Funktion des Transportierens eines Tabletts, das mit zu testenden Bauelementen bestückt ist, von dem Beschickungs- Gestellabschnitt (3a) zu einem Bauelement-Umsetzungsabschnitt (3b) des Beschickungs­ abschnitts, eine Funktion zum Transportieren eines Tabletts, das mit getesteten Bauelementen bestückt ist, die auf der Basis der Testergebnisdaten sortiert sind, von einem Bauelement- Umsetzungsabschnitt (4b) des Entladeabschnitts zu dem Entlade-Gestellabschnitt (4a), und eine Funktion zum Transportieren eines Tabletts, das mit entsprechenden, getesteten Bauelementen bestückt ist, von dem Entlade-Gestellabschnitt zu dem Bauelement-Umsetzungsabschnitt des Beschickungsabschnitts aufweist.
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