DE19821244A1 - Direct optical diagnosis of atmospheric and near atmospheric pressure plasmas in micro-plasma cell for e.g. gas analysis - Google Patents
Direct optical diagnosis of atmospheric and near atmospheric pressure plasmas in micro-plasma cell for e.g. gas analysisInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren zur unmittelbaren optischen Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen, einem Verfahren jeweils zur Regelung eines Plasmas und zur Gasanalyse, die das Verfahren zur optischen Diagnose verwenden, sowie einer zur Durchführung des optischen Diagnoseverfahrens von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei Atmosphärendruck geeigneten Mikroplasmazelle bzw. eines Mikroplasmaarrays.The invention is concerned with a method for direct optical Diagnosis of atmospheric plasmas and plasmas at Atmospheric pressure in micro plasma cells, a process for each Regulation of a plasma and gas analysis, the process for optical Use diagnosis, as well as one to carry out the optical Diagnostic procedure for atmospheric plasmas and plasmas at Atmospheric pressure suitable micro plasma cell or a micro plasma array.
Plasmabeschichtungsverfahren sind von großer Bedeutung für Oberflächen- und Stoffmodifizierungen. Schwer zugängliche Bereiche sind mit konventio nellen makroskopischen Verfahren nur selten in genügender Qualität beschichtbar. Mikroplasmazellen in Form von Einzelzellen, Arrays von Mikroplasmazellen und spezielle Zellengeometrien erlauben hier gezielt schwer zugängliche Bereiche zu beschichten der Körper zu erreichen. Der Betrieb von definierten Plasmen an Atmosphärendruck und Raumtemperatur ist ohne direktes Feedback kaum möglich.Plasma coating processes are of great importance for surface and Fabric modifications. Areas difficult to access are with konventio nell macroscopic procedures rarely of sufficient quality coatable. Micro plasma cells in the form of single cells, arrays of Microplasma cells and special cell geometries make it difficult to target here to coat accessible areas to reach the body. Operation of defined plasmas at atmospheric pressure and room temperature is without direct feedback hardly possible.
Befindet sich ein zu behandelnder Gegenstand in einem typischen Abstand von 1-1000 µm, so daß keine konventionelle Methode zur Online-Diagnose eingesetzt werden kann, sind Betriebszustände nur schwer zu optimieren oder einzuhalten, da der Abstand zur Probe, Gase und die Umweltbedingungen, wie Druck und Temperatur auf das Plasma einwirken. An object to be treated is at a typical distance of 1-1000 µm, so that no conventional method for online diagnosis operating conditions are difficult to optimize or to be observed as the distance to the sample, gases and environmental conditions such as Apply pressure and temperature to the plasma.
Somit benötigt man eine direkte Diagnose der Plasmaemission bei Beschichtungs- oder Oberflächenmodifikationsvorgängen mit Hilfe von Mikroplasmazellen, um damit die günstigsten Betriebsparameter zu erkennen und reproduzierbare Qualitäten bei der Anwendung zu erhalten.So you need a direct diagnosis of the plasma emission Coating or surface modification processes using Micro plasma cells to identify the most favorable operating parameters and maintain reproducible qualities when used.
Erste Ansätze von Mikroplasmazellen wurden vorgestellt von K.H. Schoenbach, M. Ciocca, A. El-Habachi, W. Shi, F.E. Peterkin, T. Tessnow in Microhollow Electrode Discharges, Gas Discharges and their Applications, 7.9.-12.9.1997, Greifswald, 1997, 280.First approaches of micro plasma cells were presented by K.H. Schoenbach, M. Ciocca, A. El-Habachi, W. Shi, F.E. Peterkin, T. Tessnow in Microhollow Electrode Discharges, Gas Discharges and their Applications, 7.9.-12.9.1997, Greifswald, 1997, 280.
Es ist somit Aufgabe dieser Erfindung, ein Verfahren zur unmittelbaren (Online) optischen Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen ,sowie eine speziell zur Durchführung des Verfahrens geeignete Mikroplasmazelle oder ein Mikroplasmaarray zu ermöglichen, die bzw. das einen einfachen, kostengünstigen und unmittelbaren Zugang zum emittierten Spektrum eines atmosphärennahen Plasmas in einer Mikroplasmazelle ermöglichen bzw. ermöglicht.It is therefore the object of this invention to provide a method for direct (online) optical diagnosis of near-atmospheric plasmas and plasmas Atmospheric pressure in micro plasma cells, as well as one specifically for carrying out suitable microplasma cell or a microplasma array enable that a simple, inexpensive and immediate Access to the emitted spectrum of a near-atmospheric plasma in one Enable or enable micro plasma cell.
Das Verfahren soll außerdem die Möglichkeit zur Analyse der durch die Mikroplasmazelle strömenden Gase sowie zur Regelung eines in der Mikroplasmazelle vorhandenen Plasmas ermöglichen.The method is also intended to provide the ability to analyze the through the Gases flowing in the micro plasma cell and for regulating one in the Enable micro plasma cell existing plasma.
Ein die obige Aufgabe lösendes Verfahren zur unmittelbaren optischen
Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei
Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen ist gemäß einem wesentlichen Aspekt
der Erfindung gekennzeichnet durch folgende Schritte:
A method for the immediate optical diagnosis of near-atmospheric plasmas and plasmas at atmospheric pressure in micro plasma cells, which achieves the above object, is characterized according to an essential aspect of the invention by the following steps:
- - Integration wenigstens einer zur direkten Erfassung der Emission des Plasmas geeigneten integrierten optischen Komponente in oder auf einem Substrat einer Mikroplasmazelle; - Integration of at least one for direct detection of the emission of the Suitable integrated plasma component in or on a plasma Micro plasma cell substrate;
- - Vorsehen eines mit der optischen Komponente gekoppelten Lichtdetektors; und- Provide one coupled to the optical component Light detector; and
- - Diagnose von durch die optische Komponente aus dem Plasma abgeleiteten und dem Lichtdetektor zugeleiteten Spektrallinien der erfaßten Plasmaemission.- Diagnosis of the optical component from the plasma derived and fed to the light detector spectral lines of the detected Plasma emission.
Die in dem Substrat der Mikroplasmazelle integrierte optischen Komponente oder die optischen Komponenten, wie Lichtleiter, Filter und Koppler, bieten eine vorteilhafte und kostengünstige Lösung an, die im Plasma emittierten Spektrallinien mit Hilfe eines Lichtdetektors, z. B. einer Photodiode zu erfassen.The optical component integrated in the substrate of the micro plasma cell or the optical components, such as light guides, filters and couplers, offer one advantageous and inexpensive solution that emitted in the plasma Spectral lines using a light detector, e.g. B. to detect a photodiode.
Das von der Photodiode erzeugte Signal kann auch für eine Regelung des Plasmas herangezogen werden.The signal generated by the photodiode can also be used to control the Plasmas are used.
Das erfindungsgemäße Verfahren bietet eine Diagnosemöglichkeit mit Hilfe eines einzigen Lichtdetektors, wenn viele array-förmig angeordnete Mikroplasmazellen sequentiell betrieben werden und die durch die in ihnen integrierte optische Komponente erfaßten Emissionslinien des Plasmas über die Zellen hinweg kombiniert werden.The method according to the invention offers a possibility of diagnosis with the help of a single light detector, if many arrayed Micro plasma cells are operated sequentially and by the ones in them integrated optical component detected emission lines of the plasma the cells are combined.
Ferner läßt sich das erfindungsgemäße Verfahren vorteilhaft zur Regelung des Plasmas verwenden.Furthermore, the method according to the invention can advantageously be used to regulate the Use plasma.
Weiterhin besteht die Möglichkeit, mit Hilfe einer Mikroplasmazelle mit der erfindungsgemäßen optischen Diagnose die durch die Zelle strömenden Gase (Abgase) zu analysieren.There is also the possibility of using a micro plasma cell with the optical diagnosis according to the invention the gases flowing through the cell (Exhaust gases) to be analyzed.
In der erfindungsgemäßen Mikroplasmazelle kann die auf dem Substrat derselben integrierte optische Komponente oder die integrierten optischen Komponenten wenigstens einen Lichtwellenleiter enthalten. Optionell sind zusätzlich Verzweiger und wellenlängenselektive Elemente, wie z. B. einbelichtete Gitter, auf dem Substrat der Mikroplasmazelle integriert, um damit einzelne charakteristische Linien oder Spektralbereiche des Plasmas in der Mikroplasmazelle auszufiltern.In the micro plasma cell according to the invention, that on the substrate the same integrated optical component or the integrated optical Components contain at least one optical waveguide. Are optional additionally branching and wavelength-selective elements, such as B. exposed grid, integrated on the substrate of the micro plasma cell in order to individual characteristic lines or spectral ranges of the plasma in the To filter out the micro plasma cell.
Bevorzugt weist eine insbesondere zur Durchführung des Verfahrens geeignete Mikroplasmazelle auch eine Gaszuführung auf.Preferably, one particularly suitable for carrying out the method Micro plasma cell also has a gas supply.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden nachstehend in einer anhand der einzigen Zeichnungsfigur erläuterten Ausführungsform einer erfindungsgemäß gestalteten Mikroplasmazelle näher beschrieben.Further features and advantages of the invention are described in a based on the only drawing figure embodiment of a Micro plasma cell designed according to the invention is described in more detail.
Die Figur zeigt einen schematischen Querschnitt des Aufbaus einer allgemein mit der Bezugszahl 1 bezeichneten, zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens besonders geeigneten Mikroplasmazelle, in der ein Lichtwellenleiter integriert ist.The FIGURE shows a schematic cross section of the structure of a micro plasma cell, generally designated by reference number 1 , which is particularly suitable for carrying out the method according to the invention and in which an optical waveguide is integrated.
Auf einem Substrat 10 befindet sich optional eine Isolationsschicht 11 und darüber eine als Grundelektrode fungierende Metallschicht 12. Über der metallischen Elektrodenschicht 12 befindet sich ein Dielektrikum 13 bzw. eine Kombination von optisch transparenten Dielektrika 17, 15, 16, in denen ein Lichtwellenleiter ausgebildet ist. Optional können weitere (nicht gezeigte) optische Strukturen in die Dielektrikumsschichten 15, 16, 17 integriert sein. Über diesen Schichten 13, bzw. 17, 15, 16 ist eine Gegenelektrode 14 entweder ganzflächig oder, was nicht gezeigt ist, zur Einzelansteuerung strukturiert aufgebracht. Eine Gaszuführung 18 führt von unten durch das Grundsubstrat 10, die Isolationsschicht 11 und die Grundelektrode 12 in das Innere der Mikroplasmazelle 1.An insulation layer 11 is optionally located on a substrate 10 and, above it, a metal layer 12 functioning as a base electrode. A dielectric 13 or a combination of optically transparent dielectrics 17 , 15 , 16 , in which an optical waveguide is formed, is located above the metallic electrode layer 12 . Optionally, further optical structures (not shown) can be integrated into the dielectric layers 15 , 16 , 17 . Above these layers 13 and 17 , 15 , 16 , a counter electrode 14 is either applied over the entire surface or, what is not shown, in a structured manner for individual control. A gas supply 18 leads from below through the base substrate 10 , the insulation layer 11 and the base electrode 12 into the interior of the micro plasma cell 1 .
Über die Gaszuführung 18 können neben Gasen für Beschichtungs anwendungen auch zu analysierende Gase bei einem die erfindungsgemäße Mikroplasmazelle verwendenden Gasanalyseverfahren eingeleitet werden. In addition to gases for coating applications, gases to be analyzed can also be introduced via the gas supply 18 in a gas analysis method using the micro plasma cell according to the invention.
Die Auswertung der Plasmaemission erfolgt mit einem Spektrometer, dessen optischer Eingang an den Lichtwellenleiter 15, 16, 17 angekoppelt ist.The plasma emission is evaluated with a spectrometer, the optical input of which is coupled to the optical waveguide 15 , 16 , 17 .
Bei einer alternativen Ausführungsform werden vorzugsweise durch integrierte optische Komponenten, wie Verzweiger und wellenlängenselektive Elemente, einbelichtete Gitter sowie Koppler, einzelne charakteristische Linien oder Spektralbereiche des diagnostizierenden Plasmas herausgefiltert, so daß die Detektion charakteristischer Emissionen preiswert auch mit Hilfe einer Photodiode durchgeführt werden kann.In an alternative embodiment, preferably by integrated optical components, such as splitters and wavelength-selective elements, exposed grids and couplers, individual characteristic lines or Filtered spectral ranges of the diagnostic plasma, so that the Detection of characteristic emissions is also inexpensive with the help of a Photodiode can be carried out.
Bei einer alternativen Ausführung werden mehrere Mikroplasmazellen array förmig angeordnet und z. B. sequentiell betrieben. Die Information aus den mehreren Mikroplasmazellen kann mit gleichfalls integrierten optischen Verknüpfungsgliedern analysiert werden.In an alternative embodiment, several micro plasma cells are arrayed arranged in a shape and z. B. operated sequentially. The information from the several micro plasma cells can also be integrated with optical Links are analyzed.
Bei einem sequentiellen Betrieb der einzelnen Mikroplasmazellen ist eine Analyse des Plasmas der einzelnen Plasmazellen möglich.In the case of sequential operation of the individual micro plasma cells, one is Analysis of the plasma of the individual plasma cells possible.
Mit den oben beschriebenen Merkmalen bietet die Erfindung insbesondere
folgende Vorteile:
With the features described above, the invention offers the following advantages in particular:
- - Sie ermöglicht eine unmittelbare optische Diagnose (Online-Diagnose) von atmosphärennahen Plasmen in Mikroplasmazellen bei typischen Betriebszuständen.- It enables immediate visual diagnosis (online diagnosis) of atmospheric plasmas in micro plasma cells in typical Operating states.
- - Die kostengünstige und einfache Integration optischer Komponenten ermöglicht eine preiswerte Diagnose charakteristischer Emissionslinien des Plasmas mittels einzelner Photodioden.- The cost-effective and simple integration of optical components enables an inexpensive diagnosis of characteristic emission lines of the Plasmas using individual photodiodes.
- - Es bietet sich die Möglichkeit, eine unmittelbare optische Diagnose bei sequentiellem Betrieb vieler Zellen in einem Array mit einem einzigen Detektor auszuführen. - There is the possibility of an immediate optical diagnosis sequential operation of many cells in an array with a single detector to execute.
- - Das erfindungsgemäße Verfahren eröffnet die Möglichkeit, ein Plasma zu regeln.- The method according to the invention opens up the possibility of a plasma to regulate.
- - Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht ferner, durch die Mikroplasmazelle strömende Gase (Abgase) zu analysieren.- The method according to the invention also enables through Micro plasma cell to analyze flowing gases (exhaust gases).
Claims (10)
- - Integration wenigstens einer zur direkten Erfassung der Emission des Plasmas geeigneten integrierten optischen Komponente in bzw. auf einem Substrat einer Mikroplasmazelle;
- - Vorsehen eines mit der optischen Komponente gekoppelten Lichtdetektors oder Spektrometers; und
- - Diagnose von durch die optische Komponente aus dem Plasma abgeleiteten und dem Lichtdetektor oder Spektrometer zugeleiteten Spektral linien der erfaßten Plasmaemission.
- - Integration of at least one integrated optical component suitable for direct detection of the emission of the plasma in or on a substrate of a micro plasma cell;
- - Providing a light detector or spectrometer coupled to the optical component; and
- - Diagnosis of spectral lines derived from the plasma by the optical component and supplied to the light detector or spectrometer of the detected plasma emission.
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|---|---|
| DE (1) | DE19821244A1 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10259831A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-07-08 | Imt Innovative Messtechnik Gmbh | Miniaturized plasma generator for atom spectroscopy has electrodes at least partly embedded in electrically insulating body with volume for generating plasma by coupling in electromagnetic energy |
| DE102005002142A1 (en) * | 2005-01-12 | 2006-07-20 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Microplasma array |
| DE102006047047A1 (en) * | 2006-10-05 | 2008-04-10 | Gesellschaft zur Förderung der Analytischen Wissenschaften e.V. | Plasma generator for spectroscopic gas analysis, has optical units provided for guiding and decoupling light emitted by plasma, and carrier substrate consisting of translucent material, where optical units are integrated into substrate |
| EP2153221A1 (en) * | 2007-03-26 | 2010-02-17 | Harry E. Ruda | Measuring air quality using a micro-optical mechanical gas sensor |
| DE102016200517A1 (en) * | 2016-01-18 | 2017-07-20 | Robert Bosch Gmbh | Microelectronic component arrangement and corresponding production method for a microelectronic component arrangement |
| DE102022208770A1 (en) | 2022-08-24 | 2024-02-29 | Hochschule Reutlingen, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Device for detecting at least one gaseous component in a gas |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4256404A (en) * | 1979-09-28 | 1981-03-17 | Phillips Petroleum Company | Optoelectronic feedback control for a spectrometer |
| US5353113A (en) * | 1993-07-15 | 1994-10-04 | Cetac Technologies Incorporated | Single and multiple radiation transparent afterglow electric discharge detector systems |
-
1998
- 1998-05-12 DE DE1998121244 patent/DE19821244A1/en not_active Ceased
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4256404A (en) * | 1979-09-28 | 1981-03-17 | Phillips Petroleum Company | Optoelectronic feedback control for a spectrometer |
| US5353113A (en) * | 1993-07-15 | 1994-10-04 | Cetac Technologies Incorporated | Single and multiple radiation transparent afterglow electric discharge detector systems |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Applied Optics, 36, 1997, S. 4349-4353 * |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10259831A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-07-08 | Imt Innovative Messtechnik Gmbh | Miniaturized plasma generator for atom spectroscopy has electrodes at least partly embedded in electrically insulating body with volume for generating plasma by coupling in electromagnetic energy |
| DE10259831B4 (en) * | 2002-12-19 | 2005-06-09 | Imt Innovative Messtechnik Gmbh | plasma generator |
| DE102005002142A1 (en) * | 2005-01-12 | 2006-07-20 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Microplasma array |
| WO2006075008A1 (en) | 2005-01-12 | 2006-07-20 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Microplasma array |
| US8545764B2 (en) | 2005-01-12 | 2013-10-01 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Microplasma array |
| DE102006047047A1 (en) * | 2006-10-05 | 2008-04-10 | Gesellschaft zur Förderung der Analytischen Wissenschaften e.V. | Plasma generator for spectroscopic gas analysis, has optical units provided for guiding and decoupling light emitted by plasma, and carrier substrate consisting of translucent material, where optical units are integrated into substrate |
| DE102006047047B4 (en) * | 2006-10-05 | 2009-04-16 | Gesellschaft zur Förderung der Analytischen Wissenschaften e.V. | Plasma generator for spectroscopic gas analysis |
| EP2153221A1 (en) * | 2007-03-26 | 2010-02-17 | Harry E. Ruda | Measuring air quality using a micro-optical mechanical gas sensor |
| EP2153221A4 (en) * | 2007-03-26 | 2011-01-19 | Harry E Ruda | Measuring air quality using a micro-optical mechanical gas sensor |
| DE102016200517A1 (en) * | 2016-01-18 | 2017-07-20 | Robert Bosch Gmbh | Microelectronic component arrangement and corresponding production method for a microelectronic component arrangement |
| DE102022208770A1 (en) | 2022-08-24 | 2024-02-29 | Hochschule Reutlingen, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Device for detecting at least one gaseous component in a gas |
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