DE19881989B4 - Luftmessermündungsanordnung zum Betrieb in einer Luftmesseranordnung und Luftmesseranordnung - Google Patents

Luftmessermündungsanordnung zum Betrieb in einer Luftmesseranordnung und Luftmesseranordnung Download PDF

Info

Publication number
DE19881989B4
DE19881989B4 DE19881989T DE19881989T DE19881989B4 DE 19881989 B4 DE19881989 B4 DE 19881989B4 DE 19881989 T DE19881989 T DE 19881989T DE 19881989 T DE19881989 T DE 19881989T DE 19881989 B4 DE19881989 B4 DE 19881989B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
air knife
mouth
lips
movement
lip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19881989T
Other languages
English (en)
Other versions
DE19881989T1 (de
Inventor
Glen Wallace
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hatch Ltd
Original Assignee
Industrial Automation Services Pty Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Industrial Automation Services Pty Ltd filed Critical Industrial Automation Services Pty Ltd
Publication of DE19881989T1 publication Critical patent/DE19881989T1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19881989B4 publication Critical patent/DE19881989B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C2/00Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
    • C23C2/14Removing excess of molten coatings; Controlling or regulating the coating thickness
    • C23C2/16Removing excess of molten coatings; Controlling or regulating the coating thickness using fluids under pressure, e.g. air knives
    • C23C2/18Removing excess of molten coatings from elongated material
    • C23C2/20Strips; Plates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/06Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface with a blast of gas or vapour
    • DTEXTILES; PAPER
    • D21PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
    • D21HPULP COMPOSITIONS; PREPARATION THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASSES D21C OR D21D; IMPREGNATING OR COATING OF PAPER; TREATMENT OF FINISHED PAPER NOT COVERED BY CLASS B31 OR SUBCLASS D21G; PAPER NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D21H25/00After-treatment of paper not provided for in groups D21H17/00 - D21H23/00
    • D21H25/08Rearranging applied substances, e.g. metering, smoothing; Removing excess material
    • D21H25/16Rearranging applied substances, e.g. metering, smoothing; Removing excess material with a blast of vapour or gas, e.g. air knife

Abstract

Luftmessermündungsanordnung zum Betrieb in einer Luftmesseranordnung mit einer sich lateral erstreckenden langgestreckten Mündung (16), durch die unter Druck stehendes Fluid passiert, um eine auf eine Oberfläche eines blattförmigen, relativ zu der Mündung (16) in Längsrichtung vorbeigeführten Materials (11) aufgebrachte Beschichtung zur Regelung der Dicke der Beschichtung einzuwirken, wobei die Luftmessermündungsanordnung ein Paar die Mündung (16) definierender sich gegenüberstehender Lippen (17, 18) umfasst, die relativ zu einem Körper (14) der Luftmesseranordnung bewegbar sind; dadurch gekennzeichnet, dass die beiden sich gegenüberstehenden Lippen (17, 18) lateral zueinander verschiebbar und zum Zusammenwirken miteinander derart konfiguriert und angepasst sind, dass bei einer relativen lateralen Verschiebung der Lippen (17, 18) der Abstand zwischen den Lippen (17, 18) entlang wenigstens eines Teils der Länge der Mündung (16) variiert wird.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Diese Erfindung betrifft eine Luftmessermündungsanordnung sowie eine Luftmesseranordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 6 und bezieht sich auf die Regelung der Dicke einer Beschichtung, welche auf die Oberfläche eines blattförmigen Materials aufgebracht wird.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Die genaue und kontinuierliche Regelung der Dicke einer Beschichtung, welche auf die Oberfläche eines blattförmigen Materials aufgebracht wird, wird in einer Zahl von Industrien benötigt. So ist es zum Beispiel oft nötig, die Dicke von Beschichtungen, die auf Papier oder ähnlichen Materialien in Form einer kontinuierlich vorlaufenden Bahn aufgebracht werden, zu regeln. Ein weiteres Feld, in welchem die Dicke einer kontinuierlich aufgebrachten Beschichtung geregelt werden muß, ist die heiße Tauchbadgalvanisierung von Metallblech. Die vorliegende Erfindung ist im besonderen für die Regelung der Beschichtungsdicke in heißen Tauchbadgalvanisierungsvorgängen entwickelt worden, und es wird vorteilhaft sein die Erfindung besonders mit Bezug auf dieses Anwendungsgebiet zu beschreiben. Jedoch sollte es zur Kenntnis genommen werden, daß die Vorrichtung und das Verfahren der vorliegenden Erfindung auf andere Beschichtungen und die Beschichtung anderer blattförmiger Materialien angewandt werden kann.
  • Der heiße Tauchbadgalvanisierungsprozeß zielt darauf ab, eine kontrollierte Menge einer schützenden Beschichtung, typischerweise Zink und/oder eine Zinklegierung, auf die Oberfläche eines metallischen Werkstücks aufzubringen, um eine angemessene Korrosionshaltbarkeit des beschichteten Gegenstands zu erreichen. Im Falle des Metallbleches zur Verwendung bei Kraftfahrzeugen, Dächern und ähnlichen Anwendungen wird eine kontinuierliche heiße Tauchbadgalvanisierungsanlage zur Beschichtung der Bleche eingesetzt. Die grundlegenden Teile einer solchen Galvansierungsanlage sind in 1 dargestellt. Die Galvanisierungsanlage 1 weist Eingangsspulen 2 auf, welche eine Rolle Metallblech 3 tragen. Das Metallblech 3 wird in einen Speicher 4 eingeführt und anschließend durch einen Ofen 5 (nicht gezeigt) hindurchgeführt. Nach dem Verlassen des Ofens wird das Metallblech durch ein Bad der schützenden Beschichtung 6, wie zum Beispiel geschmolzenes Zink, geführt. Das beschichtete Blech 11 wird dann zwischen einem Paar von auf gegenüberliegenden Seiten des Bleches angeordneten Luftmessern 15 hindurch geführt. Abtastende Röntgensonden 47 sind zur Überwachung der resultierenden Dicke der schützenden Beschichtung weiter hinten in der Anlage nach den Luftmessern 15 angeordnet.
  • Für in einer solchen Anlage verarbeitetes Metallblech wird die Korrosionshaltbarkeit des endgültigen Produktes durch die Dicke der aufgebrachten Beschichtung und im besonderen durch die dünnste Beschichtung an irgendeiner Stelle der aufgebrachten Beschichtung bestimmt. Dies spiegelt sich in den Standardmaßnahmen zur Klassifizierung des beschichteten Blechs wieder, welche sich auf die minimale Dicke an einzelnen Stellen in der Beschichtung konzentrieren. Aufgrund solcher eine minimale Beschichtungserfordernis spezifizierenden Standards müssen die Hersteller von galvanisierten Blechen an allen Stellen des Blechs eine Beschichtungsdicke sicherstellen, welche oberhalb des erforderlichen Minimums für das in Frage kommende Produkt liegt.
  • Die Beschichtungsdicke wird durch die Anwendung eines Hoch druckwischstrahls geregelt, welcher aus einem jeder Oberfläche der Metallbleche benachbarten Luftmesser austritt, während das Metallblech aus dem Bad mit geschmolzenem Zink herausgezogen wird. Ein typisches Luftmesser 15 wird schematisch in 2 dargestellt. Die Menge der Beschichtung, die auf der Oberfläche des Bleches nach Passierung des Wischstrahls verbleibt, wird hauptsächlich durch die folgenden Parameter bestimmt:
    • – Fließbandgeschwindigkeit,
    • – Abstand der Luftmessermündung zur Blechoberfläche,
    • – Druck innerhalb des Luftmesserkopfs, und
    • – Abmessungen der Mündung.
  • Der Abstand von der Luftmessermündung zur Oberfläche des Bleches wird durch die horizontale Anordnung der Luftmesservorrichtung geregelt und ist auch vom Querschnitt, welcher von dem Blech angenommen wird während es die Luftmesser passiert, abhängig. In dem in 3a gezeigten horizontalen Abschnitt kann ein gebogenes Blechprofil auftreten, während das Blech das Zinkbad verläßt und die Luftmesser passiert. Dies reduziert den Abstand der Messermündung zum Blech im mittleren Abschnitt der oberen oder distalen Blechoberfläche 31 relativ zum Abstand der Messermündung zum Blech in den Randregionen der Blechoberfläche 31. Das umgekehrte trifft auf die untere oder proximale Blechoberfläche 32 zu. Dies hat den Effekt der Erzeugung einer Abweichung in der Dicke der Beschichtung in Querrichtung des Blechs. 3b illustriert einen typischen Beschichtungsquerschnitt auf der oberen oder distalen Blechoberfläche 31, während 3c einen typischen Beschichtungsquerschnitt auf der unteren oder proximalen Blechoberfläche 32 illustriert. Dieser Beschichtungsfehler ist als "Querbogen" bekannt.
  • Dieser Querbogenfehler in dem Beschichtungsquerschnitt zwingt Anlagenbetreiber, die durchschnittliche Menge des Beschichtungsmaterials, welche auf die Blechoberflächen aufgebracht wird, zu erhöhen, um sicherzustellen, daß die minimalen Einzelstellenerfordernisse entlang der gesamten Breite des Bleches eingehalten werden. Typische Größen des Querbogenfehlers liegen in der Größenordnung von 10% der durchschnittlich aufgebrachten Beschichtung. Die zur Vermeidung querbogenabhängiger Abweichungen der minimalen Einzel stellenbeschichtungserfordernisse erforderliche Überbeschichtung stellt einen signifikanten Kostenpunkt für die Betreiber von kontinuierlich arbeitenden Galvanisierungsanlagen dar.
  • Viele Systeme sind vorgeschlagen oder nachgerüstet worden, um die Beschichtungsdicke zu regeln, insbesondere in den Fällen, wo die Biegung des blattförmigen Materials Abweichungen in der Beschichtungsdicke in der Breite des Blatts hervorruft. Solche Systeme umfassen typischerweise die Modifizierung der Gestalt oder anderer Parameter des Luftmessers. Zum Beispiel sind Systeme zum Verändern der Gestalt der Mündung des Luftmessers, durch welche das unter Druck gesetzte Gas austritt, durch Deformation einer der die Mündung definierenden Lippen vorgeschlagen worden, wobei die Deformation der Lippen entlang ihrer Länge ungleichmäßig ist, so daß die Breite der Mündungsöffnung an verschiedenen Stellen entlang ihrer Länge variiert. Die Beschränkung der Breite der Mündung reduziert den Gasfluß an der Stelle, so daß der Wischeffekt an diesem Punkt reduziert und somit eine erhöhte Beschichtungsdicke erreicht wird, und umgekehrt. Beispiele solcher Systeme, die selektives Öffnen und Schließen der Breite der Mündung beinhalten sind in den veröffentlichten Patentschriften US 5423913 A , und AU 37005 93 A gezeigt.
  • In der Patentschrift AU 50750 85 A wird ein System zur Modifizierung des Gasflusses durch die Mündung des Luftmessers durch selektive Öffnung von Flüssigkeitsauslaßkanälen vorgeschlagen, welche sich in die Mündung öffnen, um dadurch die Flußrate durch die Mündung lokal zu reduzieren.
  • Die US 4524716 A offenbart ein Luftmesser, in welchem bewegliche Hindernisse innerhalb der Mündung angeordnet sind, um selektiv den Fluidstrom durch die Mündung zu verändern und dadurch unterschiedliche Flußraten an verschiedenen Stellen über die Breite des zu beschichtenden Bleches oder der Materialbahn herzustellen.
  • Aus der EP 0 692 549 A1 ist eine Luftmesseranordnung bekannt, bei der Bewegungsmittel eine von zwei Lippen, die eine Mündung für den Austritt unter Druck stehenden Fluids bilden, senkrecht zur Mündung verformt. Hierzu wirkt eine Kurbelwelle auf Stößel, um diese senkrecht nach oben oder unten auszulenken. Die Stößel verformen bei ihrer senkrecht gerichteten Bewegung die elastische Lippe.
  • Aus der DE 693 03 316 T2 ist eine Luftmesseranordnung bekannt, bei der entlang einer von zwei Lippen gebildeten Mündung eine Reihe von Mechanismen angeordnet sind, die an der jeweiligen Stelle die Lippe senkrecht zur Mündung in Richtung auf die gegenüberliegende Lippe verformen.
  • Die DD 152 143 A beschreibt eine Luftmesseranordnung mit zwei einander gegenüberliegenden Lippen, die dazwischen eine Mündung bilden. Die Lippen sind durch einen Mechanismus senkrecht zur Mündung verformbar.
  • All diese früher vorgeschlagenen Systeme sind mechanisch relativ komplex, da sie eine Vielzahl von entlang der Länge der Mündung angeordneten regelbaren Betriebsbauteilen benötigen. Dies kann das ganze System des Luftmesserzusammenbaus und seiner Regelung in Konstruktion und Betrieb kompliziert gestalten und für mechanisches Versagen oder Fehlfunktionen empfänglich machen, und es ist schwierig, teuer oder zeitaufwendig zu installieren, zu kallibrieren oder zu reparieren.
  • Entsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Luftmessermündungsanordnung sowie eine Luftmesseranordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 6 zum Gebrauch in der Beschichtungsdickenregelung bereitzustellen, welche mindestens einen Mangel der früheren Luftmessermündungs anordnungen bzw. Luftmesseranordnungen überwindet oder verbessert oder wenigstens eine nützliche Alternative zu früheren Luftmessermündungsanordnungen bzw. Luftmesseranordnungen darstellt.
  • Diese Aufgabe wird entsprechend den Merkmalen der Ansprüche 1 bzw. 6 gelöst.
  • Obwohl die Termini "Luftmesser", "Luftmesseranordnung", und "Luftmesservorrichtung" in der Beschreibung und den Ansprüchen benutzt werden, sollten solche Termini nicht als die Erfindung auf ein Anwendungsgebiet, in welchem unter Druck stehende Luft benutzt wird, begrenzend angesehen werden. Andere Gase oder sogar Flüssigkeiten können benutzt werden und sind in die Erfindung eingeschlossen.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Entsprechend stellt die Erfindung eine Luftmessermündungsanordnung sowie eine Luftmesseranordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. 6 bereit.
  • Vorteilhafterweise kann durch die Bereitstellung einer Mündung mit einem Paar sich gegenüberstehender Lippen, die zum Zusammenwirken miteinander konfiguriert und angepaßt sind, eine Veränderung der Breite der Mündungsöffnung und somit eine Variation des an unterschiedlichen Stellen entlang der Länge der Mündung aus der Mündung austretenden Fluidstroms durch eine relative laterale Verschiebung der zwei Lippen erreicht werden. Dies ermöglicht es zum Beispiel, mit einer einzigen linearen lateralen Bewegung einer Lippe oder simultanen einander entgegengesetzt gerichteten lateralen Bewegungen der beiden Lippen entlang einer Linie, eine Änderung im Querschnitt der Mündung und insbesondere an verschiedenen Stellen entlang der Länge der Mündung vorbestimmte Änderungen in der Breite der Mündung zu erreichen .
  • Es ist weiterhin vorteilhaft, daß die seitlich verschiebende Bewegung der zwei die Mündung des Luftmessers bildenden Lippen eingesetzt werden kann, um kleine Klumpen des Beschichtungsmaterials, die sich in der flüssigen Phase abgesetzt und nachfolgend auf der Düse festgesetzt haben, loszulösen und somit zu entfernen. Daher kann die relative laterale Bewegung der Lippen dazu beitragen, die Düse in einem sauberen Zustand zu halten, frei von Hindernissen, wodurch die Notwendigkeit, zur Säuberung der Düse auf andere Mittel, wie mechanische Mittel, die die Qualität der Beschichtung nachteilig beeinflussen können, zurückzugreifen, verringert werden kann. Die Fähigkeit der relativen lateralen Verschiebung der Lippen, festgewordene Hindernisse von der Düse loszubrechen, wird weiter durch eine superfeine Oberflächenappretur auf der Innenseite der Ober fläche der Düse gefördert.
  • Vorzugsweise besitzt jede der sich gegenüberstehenden Lippen in der Vorderansicht entlang wenigstens eines Teils ihrer Länge eine gebogene Form, wobei die gebogenen Formen der Lippen sich gegenüberstehen.
  • Vorzugsweise wird die gebogene Form jeder Lippe im wesentlichen entlang der ganzen Länge der Mündung bereitgestellt, so daß die relative laterale Verschiebung der Lippen eine Mündungsbreitenveränderung im wesentlichen entlang der gesamten Länge der Mündung erzeugt.
  • Vorzugsweise wird die Form jeder Lippe durch eine mathematische Funktion definiert, welche, wenn als Nullpunkt des Koordinatensystems der Mittelpunkt der Mündung in Längsrichtung und die Längsrichtung und die seitliche Richtung als Achsen genommen werden, eine Form definiert, die in bezug auf beide Achsen nicht symmetrisch ist, sondern Antisymmetrie bezüglich der beiden Achsen aufweist.
  • Vorzugsweise wird die Form jeder Lippe in der Vorderansicht durch eine ungerade polynomische Funktion oder durch eine trigonometrische Funktion definiert.
  • Vorzugsweise besitzt jede Lippe eine mit der anderen Lippe übereinstimmende Form, jedoch kann für einige Zwecke oder Anwendungsgebiete eine entlang ihrer Länge anfänglich ungleichförmige Mündung vonnöten sein.
  • Vorzugsweise dienen die Bewegungsmittel der Luftmesservorrichtung zur gleichzeitigen Bewegung beider Lippen in entgegengesetzten Richtungen. Auf diese Weise kann der entlang der Längsrichtung der zwischen den Lippen definierten Mündung gelegene Mittelpunkt relativ zu der Breite des das Luftmesser passierenden blattförmigen Materials im wesentlichen in der gleichen Position bleiben.
  • Vorzugsweise arbeiten die Bewegungsmittel in Abhängigkeit von Signalen eines Reglers, der Sensoren umfaßt, welche nach dem Luftmesser angeordnet sind und zur Wahrnehmung der auf der Oberfläche des blattförmigen Materials erreichten Beschichtungsdicke dienen.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind die Bewegungsmittel betätigbar, um das Paar der sich gegenüberliegenden Lippen bezüglich des Körpers des Luftmessers nach vorwärts und rückwärts zu bewegen und den mittleren Abstand zwischen der Mündung und der Oberfläche des blattförmigen Materials zu verändern.
  • Vorteilhafterweise kann diese Ausführungsform der vorliegenden Erfindung benutzt werden, um die mittlere Dicke der Beschichtung auf der Oberfläche des blattförmigen Materials zu regeln.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dienen die Bewegungsmittel zur Bewegung des Paares der sich gegenüberliegenden Lippen an einer Seite vorwärts und an der anderen Seite rückwärts bezüglich des Körpers des Luftmessers zu bewegen.
  • Vorteilhafterweise kann dieser Aspekt der vorliegenden Erfindung zum Ausgleich einer Fehlausrichtung zwischen der Mündung des Luftmessers und der Oberfläche des blattförmigen Materials dienen.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dienen die Bewegungsmittel zur Bewegung eines Keilbauteils zwischen einer der Lippen und dem Körper des Luftmessers, um die Position der Lippe relativ zu der anderen Lippe und somit den mittleren Abstand zwischen den Messerlippen entlang der Länge der Lippen einzustellen.
  • Alle erwähnten Betriebsarten können von Hand und/oder von einem automatischen Regelsystem durch Einsatz eines stromabwärts liegenden Beschichtungsrückmeldungsmeßgerätes gesteuert werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die bevorzugten Merkmale der vorliegenden Erfindung worden nunmehr unter besonderer Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Es sei jedoch darauf hingewiesen, daß die unter Bezugnahme auf die Zeichnungen dargestellten und beschriebenen Merkmale nicht als den Umfang der Erfindung beschränkend verstanden werden können. Es ist in den Zeichnungen:
  • 1 eine schematische Ansicht einer typischen Tauch-Heißgalvanisieranlage zur Beschichtung von Blech in einem kontinuierlichen Streifen oder einer solchen Bahn;
  • 2 eine schematische perspektivische Ansicht eines üblichen Luftmessers;
  • 3a ein horizontaler Teilschnitt von zwei Luftmessern, die auf ein gewölbtes zwischen den Luftmessern hindurchgeführtes Blech einwirken;
  • 3b & 3c stellen ein typisches Profil der Beschichtungsdicke dar, wie es entsteht, wenn das Blech beim Durchgang zwischen den Luftmessern gewölbt ist.
  • 4 ist eine schematische perspektivische Ansicht einer bevorzugten Ausführungsform einer Luftmesseranordnung entsprechend der vorliegenden Erfindung;
  • 5 stellt die Mündungsform und die Mündungsbreitenveränderung einer bevorzugten Ausführungsform eines Luftmessers entsprechend der vorliegenden Erfindung dar, wobei sich die Lippen der Mündung in einer zentralen oder neutralen Position befinden;
  • 6 stellt die Mündungsform und die Mündungsbreitenveränderung einer bevorzugten Ausführungsform des Luftmessers entsprechend der vorliegenden Erfindung dar, wobei sich die Lippen der Mündung in einer lateral verschobenen ersten Position befinden;
  • 7 stellt die Mündungsform und die Mündungsbreitenveränderung einer bevorzugten Ausführungsform des Luftmessers entsprechend der vorliegenden Erfindung dar, wobei sich die Lippen der Mündung in einer entgegengesetzten, lateral verschobenen zweiten Position befinden;
  • 8a bis 8c stellen eine schematische Draufsicht von weiteren bevorzugten Ausführungsformen eines Luftmessers entsprechend der vorliegenden Erfindung dar, wobei die Vor- und Rückwärtsbewegungen des Luftmessermundes relativ zu dem Körper des Luftmessers illustriert werden; und
  • 9 stellt schematisch eine weitere bevorzugte Ausführungsform eines Luftmessers entsprechend der vorliegenden Erfindung dar, wobei eine Keilanordnung zum Einstellen des mittleren Abstands zwischen den Lippen der Luftmessermündung illustriert wird.
  • Bevorzugte Ausführungsform der Erfindung
  • Auf die 1, 2 und 3 ist in dem einleitenden Teil dieser Patentschrift Bezug genommen worden und sie stellen eine bekannte heiße Tauchbadgalvanisierungsanlage, eine Luftmesserkonfiguration und Anordnung und Beschichtungsfehler durch Krümmung des Metallbleches hervorgerufen (der Querbogenfehler) dar.
  • Gemäß 4, bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Luftmessermündungsanordnung 20 zum Gebrauch in einer Luftmesservorrichtung 15 mit einer sich seitlich erstreckenden Mündung 16, durch die unter Druck stehendes Fluid zur Einwirkung auf einer auf der Oberfläche eines blattförmigen Materials 11 aufgebrachten Beschichtung fließt, welches die Mündung in einer Längsrichtung passiert, um die Dicke der Beschichtung zu regeln. In der gezeigten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, umfaßt die Luftmessermündungsanordnung 20 eine durch ein Paar sich gegenüberstehender Lippen 17, 18 definierte Mündung 16, wobei jede Lippe in der Vorderansicht eine gebogene Form entlang ihrer Länge besitzt. Die gebogenen Formen der beiden Lippen 17, 18 stehen sich gegenüber. Die Lippen 17, 18 der Luftmessermündungsanordnung sind in bezug zueinander durch Bewegungsmittel 41 selektiv lateral verschiebbar, um dadurch den Abstand der Lippen und somit die Breite der Mündung entlang der Länge der Mündung 16 zu variieren. Es sollte zur Kenntnis genommen werden, daß der Term "Länge" sich auf das Ausmaß der Mündung in der lateralen Richtung (durch die X-Achse angedeutet) bezieht, während der Term "Breite" sich auf das Ausmaß der Mündung in der Längsrichtung (durch die Y-Achse angedeutet) bezieht.
  • Die vorliegende Erfindung stellt auch eine Luftmesservorrichtung 15 bereit, mit einem Körper 14 zur Anbringung in der Nähe des blattförmigen Materials 11, welches im Betrieb an dem Körper 14 in Längsrichtung vorbeigeführt wird. Auf dem Körper 14 ist die Mündungsanordnung 20 angebracht mit einer von einem Paar sich gegenüberstehende eine gebogene Form aufweisender Lippen 17, 18 definierter Mündung 16.
  • Mittel 12 werden zur Verteilung eines unter Druck stehenden Fluids durch den Körper 14 bereitgestellt, um es in die Mündung 16 ein- und aus ihr austreten zu lassen, wodurch aus der Mündung austretendes unter Druck stehendes Fluid auf eine auf der Oberfläche des das Luftmesser passierenden blattförmigen Materials 11 aufgebrachten Beschichtung einzuwirken, um somit die Dicke der Beschichtung zu regeln. Die Bewegungsmittel 41 verschieben die sich gegenüberstehenden Lippen 17, 18 selektiv lateral oder seitwärts gegeneinander, um dadurch den Abstand der Lippen und somit die Breite der Mündung an verschiedenen Stellen entlang der Länge der Mündung zu variieren.
  • In der bevorzugten Ausführungsform zur Erreichung einer Mündungsbreitenvariation, um einem Querbogenfehler in dem Beschichtungsquerschnitt entgegenzutreten oder zu kompensieren, wird die Form jeder Lippe 17, 18 vorzugsweise durch eine mathematische Funktion definiert, welche, wenn als Nullpunkt des Koordinatensystems der Mittelpunkt der Mündung in Längsrichtung und die Längsrichtung und die seitliche Richtung als Achsen genommen werden, eine Form definiert, die in bezug zu keiner der beiden Achsen symmetrisch ist, sondern Antisymmetrie bezüglich beider Achsen aufweist. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform, wie dargestellt, ist die Form jeder Lippe in der Vorderansicht durch eine ungerade polynomische Funktion oder durch eine trigonometrische Funktion definiert.
  • Die mathematische Funktion, die die Form oder den Querschnitt der Lippen 17, 18 definiert, kann eine ungerade polynomische Funktion oder eine trigonometrische Funktion wie folgt sein: y = Ax + Bx3 + Cx5 + Dx7,oder y = Asin(Bπx)wobei:
    y = Längs-(vertikal)-Koordinate
    x = seitliche (transverse) Koordinate, mit einem wie in 4 dargestellten Nullpunkt
    A, B, C, D = abstimmende Konstanten, entsprechend zur Erreichung der angestrebten Breitenvariation und zur Minimierung der vollständigen Breitenvariation ausgewählt.
  • Wie in 5 dargestellt, (wobei der Maßstab der Achsen zur Übertreibung der Amplitude der Krümmung jeder Lippe gewählt wurde), ist es vorzuziehen, daß wenn die oberen und unteren Lippen sich in einer zentralen oder neutralen Position befinden, sie eine Mündung mit einer konstanten Breite entlang ihrer gesamten Länge definieren, wie durch die Linie 50 illustriert, welche eine konstante Breite von 0.001 m repräsentiert. Obwohl die Form der Mündung nicht eine gerade Linie ist und somit die Form des austretenden unter Druck stehenden Fluids nicht in einer flachen Ebene liegt, ist der Wischblatteffekt des austretenden, unter Druck stehenden Fluids nichtsdestotrotz im wesentlichen über die gesamte Breite der Mündung gleichförmig. Falls die Oberfläche des die Mündung passierenden blattförmigen Materials vollkommen eben ist, wird der Wischeffekt und somit die erreichte Dicke der Beschichtung im wesentlichen über die ganze Breite des blattförmigen Materials gleichförmig sein.
  • Jedoch, falls das Material wie in 3a dargestellt, gebogen ist, wird die Dicke der auf der einen Oberfläche aufgebrachten Beschichtung im Querschnitt entlang der Breite des Bleches konkav und im Querschnitt entlang der Breite der anderen Oberfläche des Bleches konvex sein, wie vorhergehend mit Bezug auf die 3b und 3c dargestellt. Durch die Wahrnehmung von Abweichungen in der Beschichtungsdicke entlang der Breite des Bleches an einer Stelle hinter (stromabwärts von) den Luftmessern, kann ein Regler zur Erzeugung von geeigneten Signalen eingesetzt werden, um die Form der Mündung jedes Luftmessers durch laterale oder seitwärtige Verschiebung der entsprechenden sich gegenüberstehenden Lippen zu verändern. Laterale oder seitwärtige Verschiebung der Lippen in der durch die Pfeile B in den 4 und 6 gezeigten Richtung, wird die Breite der Mündung auf dem halben Weg entlang der Länge der Mündung verschmälern und entsprechenderweise die Breite der Mündung an ihren Enden erhöhen. Somit wird die Breite der Mündungsöffnung, wie durch die Kurve 60 in 6 dargestellt, entlang der Länge der Mündung variieren. Dies wird den Strom des unter Druck stehenden Fluids im Zentrum der Mündung verringern und den Fluidstrom an den entgegengesetzten Enden der Mündung erhöhen, wodurch ein Ausgleich für den Querbogenfehler ermöglicht wird, welcher in der Beschichtungsdicke eine Wölbung nach innen über die Breite der Beschichtung erzeugt.
  • Entgegengesetzterweise, wie in 7 dargestellt, erzeugt eine laterale oder seitwärtige Verschiebung der oberen und unteren Lippen in Richtung der Pfeile C eine Verbreiterung der Mündung in der mittleren Region entlang seiner Länge und eine Verschmälerung der Breite der Mündung an den entgegengesetzten Enden, wie durch die Kurve 70 gezeigt wird. Dies erzeugt einen verstärkten Strom des unter Druck stehenden Fluids in der Mitte mit einem größeren Wischeffekt oder Wischstärke in der mittleren Region, wodurch ein Ausgleich eines Querbogenfehlers mit einem konvexen Querschnitt der Beschichtungsdicke entlang der Breite des blattförmigen Materials ermöglicht wird.
  • Die Amplitude der Variation in der Breite der Mündung wird in Abhängigkeit von dem Ausmaß der lateralen oder seitwärtigen Verschiebung der Lippen variieren. Vorsichtige Auswahl der besonderen ungeraden polynomischen Funktion oder der trigonometrischen Funktion und vorsichtige Auswahl der Abstimmungskonstanten in der die Form oder den Querschnitt jeder Lippe definierenden Funktion wird es der besonderen Art der Mündungsbreitenvariation es ermöglichen, sich den typischen blattförmigen Materialstreifen- oder Materialwarenbahnabweichungen anzupassen. Die typische durch Krümmung des blattförmigen Materials hervorgerufene Abweichung des Streifens in der Nähe der Luftmesser ist untersucht worden und kann empirisch untersucht werden. Und, als Ergebnis kann die Auswahl der besonderen mathematischen Funktion und der Abstimmungskonstanten aus solchen Studien geschätzt werden und/oder können effektive Lippenquerschnitte durch empirische Methoden der Untersuchung von verschiedenen Lippenquerschnitten, bestimmt werden.
  • Die Bewegungsmittel 41 zur lateralen Verschiebung der Lippen können alle geeigneten Mittel umfassen. Zum Beispiel kann eine mechanische Vorrichtung wie ein Getriebe eingesetzt werden. Alternativ kann ein hydraulischer oder pneumatischer Stellkolben eingesetzt werden. Die in 4 illustrierten Bewegungsmittel 41 dienen zur gleichzeitigen Bewegung beider Lippen in entgegengesetzte laterale Richtungen. In der dargestellten Ausführungsform umfassen die Bewegungsmittel Zahnstangen 42, 43, die mit der entsprechenden oberen und unteren Lippe 17, 18 verbunden sind, wobei diese wiederum lateral gleitend beweglich auf dem Körper 14 des Luftmessers angebracht sind. Mit den Zahnstangen 42 und 43 zusammenwirkend, befindet sich auf einer Antriebswelle 45 ein Ritzel 44. Die Anordnung ist so, daß die Rotation der Antriebswelle 45 in Richtung des Pfeiles A eine laterale oder seitwärtige Bewegung der oberen und unteren Lippen in entgegengesetzte durch die Pfeile B dargestellte Richtungen erzeugt. Die Bewegungsmittel 41 können in Abhängigkeit von Signalen des Reglers 46 wirken, wobei der Regler Sensoren 47 umfaßt, die nach dem Luftmesser angeordnet sind und zur Wahrnehmung der auf der Oberfläche des blattförmigen Materials 11 erzeugten Beschichtungsdicke dienen.
  • Es wird festgestellt werden, daß diese bevorzugte Ausführungsform der Luftmessermündungsanordnung und der Luftmesservorrichtung die selektive Regelung der Breite der Mündung an verschiedenen Stellen entlang der gesamten Länge der Mündung ermöglichen. Dies ermöglicht die Einstellung des Wischeffekts in einer geregelten Art. Die Mündungsanordnung kann in Konstruktion und Betrieb relativ einfach gehalten werden, so daß sie im Betrieb zuverlässig arbeitet. Es wird geglaubt, daß es möglich ist, die Luftmessermündungsanordnung in vorhandene Luftmesser nachträglich einzubauen, so daß die Luftmessermündungsanordnung per se, sowie die gesamte Vorrichtung mit der installierten in einem Luftmesser in Betrieb genommenen Luftmessermündungsanordnung ein neues und wertvolles Erzeugnisgut darstellen.
  • Gemäß 8a bis 8c, ermöglicht eine weitere bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Einstellung des mittleren Abstandes zwischen der Mündung des Luftmessers und dem Blech und die Einstellung der Ausrichtung zwischen der Mündung des Luftmessers und der Ebene des Blechs. Das Luftmesser 15 wird schematisch in einer Draufsicht dargestellt. An jedem Ende der Luftmessermündungsanordnung 20 wird zur Vorwärts- und Rückwärtsbewegung der Lippen der Mündung ein Bewegungsmittel 86 bezüglich des Körpers 14 des Luftmessers bereitgestellt. 8a zeigt das Luftmesser 15 mit den Lippen der Luftmessermündung 20 in einer bezüglich des Luftmesserkörpers 14 zurückgezogenen Position. In 8b sind die Lippen der Luftmessermündung von dem Körper 14 aus ausgefahren. In dieser Weise kann der mittlere Abstand zwischen der Mündung des Luftmessers und der Oberfläche des beschichteten Blechs eingestellt werden.
  • In 8c können die Bewegungsmittel 86 zur Bewegung der einen Seite der Mündung vorwärts und der entgegengesetzten Seite rückwärts eingesetzt werden. In einer besonders bevorzugten Anordnung können die entgegengesetzten Seiten der Mündung gleich weit aber in verschiedene Richtungen bewegt werden, so daß die Ausrichtung der Luftmessermündung in bezug zu der Oberfläche des Bleches verändert wird. In dieser Weise ist es möglich, den Schräglauf des Bleches während es die Mündung des Luftmessers passiert, auszugleichen.
  • Gemäß 9, kann in einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die Einstellung des mittleren Abstands zwischen den Lippen 17, 18 der Luftmessermündung 16 durch den Einsatz eines lateral verschiebbaren Keilbauteils 92 erreicht werden. Das Keilbauteil 92 ist zwischen der oberen Lippe 17 und dem Körper 14 des Luftmessers angeordnet und wirkt auf diese, so daß, wenn der Keil lateral in die durch den Pfeil 94 gezeigte Richtung bewegt wird die obere Lippe entweder in Richtung oder weg von der unteren Lippe 18 bewegt wird. Es sollte beachtet werden, daß ein Keilbauteil 92 so angeordnet sein kann, daß es entweder auf eines oder auf beide Lippenbauteile 17, 18 einwirken kann. In dieser Weise kann der durchschnittliche Abstand zwischen den Lippen der Mündung entweder unabhängig oder in Verbindung mit den anderen erwähnten Positionsmöglichkeiten verändert werden.
  • Die Gewalt über den mittleren Abstand zwischen der Mündung des Luftmessers und der Oberfläche des beschichteten Blechs, der durchschnittlichen Luftmesserbreite, und dem Maß der Fehlausrichtung zwischen der Oberfläche des beschichteten Blechs und der Luftmessermündung, entweder einzeln oder mit der lateralen Bewegung der die Mündung des Luftmessers definierenden Lippen gekoppelt, ermöglicht die Korrektur aller Hauptbeschichtungsmängel durch Feineinstellung der Luftmessermündung. Mit dieser Möglichkeit kann die luftmessertragende Struktur zur groben Positionierung des Luftmessers benutzt werden, während die Feinbewegung, die zur genauen Regelung der Beschichtung benötigt wird, durch die Bewegung der Luftmessermündung alleine erreicht werden kann. Dies erscheint außerordentlich wünschenswert im Vergleich mit der gewöhnlichen Vorgehensweise, bei der versucht wird, die gesamte luftmessertragende Struktur genau zu positionieren, da die bewegten Teile einen viel direkteren Bezug zu der geregelten Streifenoberfläche aufweisen.
  • Es sollte zur Kenntnis genommen werden, daß unterschiedlichste Veränderungen, Modifikationen und/oder Zusätze zu den Eigenschaften der möglichen und bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung gemacht werden können, ohne daß von dem hier beschriebenen Geist und dem Umfang der Erfindung abgewichen wird.

Claims (11)

  1. Luftmessermündungsanordnung zum Betrieb in einer Luftmesseranordnung mit einer sich lateral erstreckenden langgestreckten Mündung (16), durch die unter Druck stehendes Fluid passiert, um eine auf eine Oberfläche eines blattförmigen, relativ zu der Mündung (16) in Längsrichtung vorbeigeführten Materials (11) aufgebrachte Beschichtung zur Regelung der Dicke der Beschichtung einzuwirken, wobei die Luftmessermündungsanordnung ein Paar die Mündung (16) definierender sich gegenüberstehender Lippen (17, 18) umfasst, die relativ zu einem Körper (14) der Luftmesseranordnung bewegbar sind; dadurch gekennzeichnet, dass die beiden sich gegenüberstehenden Lippen (17, 18) lateral zueinander verschiebbar und zum Zusammenwirken miteinander derart konfiguriert und angepasst sind, dass bei einer relativen lateralen Verschiebung der Lippen (17, 18) der Abstand zwischen den Lippen (17, 18) entlang wenigstens eines Teils der Länge der Mündung (16) variiert wird.
  2. Luftmessermündungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Lippe (17, 18) des Paares der sich gegenüberstehenden Lippen (17, 18) in der Vorderansicht eine gebogene Form entlang wenigstens eines Teils seiner Länge aufweist und die gebogenen Formen der Lippen (17, 18) sich gegenüberstehen.
  3. Luftmessermündungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die gebogene Form jeder Lippe (17, 18) im Wesentlichen entlang der gesamten Länge der Mündung (16) vorliegt, sodass die relative laterale Verschiebung der Lippen (17, 18) eine Mündungsbreitenvariation im Wesentlichen über die gesamte Länge der Mündung (16) hervorruft.
  4. Luftmessermündungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Form jeder Lippe (17, 18) durch eine mathematische Funktion definiert wird, welche, wenn als Nullpunkt (0) des Koordinatensystems der Mittelpunkt der Mündung (16) in Längsrichtung und die Längsrichtung und die seitliche Richtung als Achsen (X, Y) genommen werden, eine Form definiert, die in Bezug auf beide Achsen (X, Y) nicht symmetrisch ist, sondern Antisymmetrie bezüglich der beiden Achsen (X, Y) aufweist.
  5. Luftmessermündungsanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Form jeder Lippe (17, 18) in der Vorderansicht durch eine ungerade polynomische Funktion oder durch eine trigonometrische Funktion definiert ist.
  6. Luftmesseranordnung umfassend: einen Körper (14) zur Anbringung in der Nähe eines blattförmigen Materials (11), welches im Betrieb in Längsrichtung an dem Körper (14) vorbeigeführt wird; eine dem blattförmigen Material (11) gegenüberstehende und sich seitlich erstreckende Mündung (16); Mittel (12) zur Verteilung eines unter Druck stehenden Fluids durch den Körper (14), um es in die Mündung (16) ein- und aus ihr austreten zu lassen, wobei aus der Mündung (16) austretendes unter Druck stehendes Fluid auf eine auf eine Oberfläche des den Körper (14) passierenden blattförmigen Materials (11) aufgebrachte Beschichtung einwirkt, um somit die Dicke der Beschichtung zu regeln; gekennzeichnet durch eine Luftmessermündungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 sowie durch Bewegungsmittel (41) zur gegenseitigen lateralen Verschiebung der Lippen (17, 18), um den Abstand der Lippen (17, 18) und somit die Breite der Mündung (16) an verschiedenen Stellen entlang wenigstens eines Teils der Länge der Mündung (16) zu variieren.
  7. Luftmesseranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsmittel (41) zur gleichzeitigen Bewegung beider Lippen (17, 18) in entgegengesetzte Richtungen dienen.
  8. Luftmesseranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsmittel (41) in Abhängigkeit von Signalen eines Reglers betätigbar sind, wobei der Regler (46) Sensoren (47) umfasst, die in Bewegungsrichtung des Materials (11) nach der Mündung (16) angeordnet sind und zur Wahrnehmung der auf der Oberfläche des blattförmigen Materials (11) erreichten Beschickungsdicke dienen.
  9. Luftmesseranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsmittel zur Bewegung des Paares der sich gegenüberstehenden Lippen (17, 18) bezüglich des Körpers (14) nach vorwärts und rückwärts dienen, um den mittleren Abstand zwischen der Mündung (16) und der Oberfläche des blattförmigen Materials (11) zu verändern.
  10. Luftmesseranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsmittel (41) an einer Seite zur Vorwärtsbewegung und an der anderen zur Rückwärtsbewegung des Paares der sich gegenüberstehenden Lippen (17, 18) relativ zum Körper (14) dienen.
  11. Luftmesseranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsmittel (41) zur lateralen Bewegung eines Keilbauteils (12) zwischen einer (17) der Lippen (17, 18) und dem Körper (14) dienen, um so die Position der Lippe (17) relativ zu der anderen Lippe (18) und somit den durchschnittlichen Abstand zwischen den Lippen (17, 18) entlang der Länge der Lippen (17, 18) einzustellen.
DE19881989T 1997-01-22 1998-01-22 Luftmessermündungsanordnung zum Betrieb in einer Luftmesseranordnung und Luftmesseranordnung Expired - Fee Related DE19881989B4 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AUPO4732 1997-01-22
AUPO4732A AUPO473297A0 (en) 1997-01-22 1997-01-22 Coating thickness control
PCT/AU1998/000030 WO1998032890A1 (en) 1997-01-22 1998-01-22 Coating thickness control

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19881989T1 DE19881989T1 (de) 2000-02-10
DE19881989B4 true DE19881989B4 (de) 2009-05-14

Family

ID=3799036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19881989T Expired - Fee Related DE19881989B4 (de) 1997-01-22 1998-01-22 Luftmessermündungsanordnung zum Betrieb in einer Luftmesseranordnung und Luftmesseranordnung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6199301B1 (de)
JP (1) JP4020217B2 (de)
AU (1) AUPO473297A0 (de)
DE (1) DE19881989B4 (de)
GB (1) GB2336377B (de)
WO (1) WO1998032890A1 (de)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6921467B2 (en) * 1996-07-15 2005-07-26 Semitool, Inc. Processing tools, components of processing tools, and method of making and using same for electrochemical processing of microelectronic workpieces
US6752584B2 (en) * 1996-07-15 2004-06-22 Semitool, Inc. Transfer devices for handling microelectronic workpieces within an environment of a processing machine and methods of manufacturing and using such devices in the processing of microelectronic workpieces
US6749390B2 (en) 1997-12-15 2004-06-15 Semitool, Inc. Integrated tools with transfer devices for handling microelectronic workpieces
US6749391B2 (en) 1996-07-15 2004-06-15 Semitool, Inc. Microelectronic workpiece transfer devices and methods of using such devices in the processing of microelectronic workpieces
US6565729B2 (en) * 1998-03-20 2003-05-20 Semitool, Inc. Method for electrochemically depositing metal on a semiconductor workpiece
TW593731B (en) * 1998-03-20 2004-06-21 Semitool Inc Apparatus for applying a metal structure to a workpiece
US6497801B1 (en) * 1998-07-10 2002-12-24 Semitool Inc Electroplating apparatus with segmented anode array
CN1217034C (zh) * 1999-04-13 2005-08-31 塞米用具公司 具有改进的处理流体流的处理腔的工件处理装置
US6916412B2 (en) * 1999-04-13 2005-07-12 Semitool, Inc. Adaptable electrochemical processing chamber
US6368475B1 (en) * 2000-03-21 2002-04-09 Semitool, Inc. Apparatus for electrochemically processing a microelectronic workpiece
US20030038035A1 (en) * 2001-05-30 2003-02-27 Wilson Gregory J. Methods and systems for controlling current in electrochemical processing of microelectronic workpieces
US7585398B2 (en) * 1999-04-13 2009-09-08 Semitool, Inc. Chambers, systems, and methods for electrochemically processing microfeature workpieces
US7020537B2 (en) * 1999-04-13 2006-03-28 Semitool, Inc. Tuning electrodes used in a reactor for electrochemically processing a microelectronic workpiece
US7189318B2 (en) * 1999-04-13 2007-03-13 Semitool, Inc. Tuning electrodes used in a reactor for electrochemically processing a microelectronic workpiece
US7160421B2 (en) * 1999-04-13 2007-01-09 Semitool, Inc. Turning electrodes used in a reactor for electrochemically processing a microelectronic workpiece
US6623609B2 (en) 1999-07-12 2003-09-23 Semitool, Inc. Lift and rotate assembly for use in a workpiece processing station and a method of attaching the same
AU2001259504A1 (en) * 2000-05-24 2001-12-03 Semitool, Inc. Tuning electrodes used in a reactor for electrochemically processing a microelectronic workpiece
US7102763B2 (en) * 2000-07-08 2006-09-05 Semitool, Inc. Methods and apparatus for processing microelectronic workpieces using metrology
KR20030018175A (ko) * 2001-08-27 2003-03-06 주식회사 포스코 에어나이프 노즐과 강판사이의 간격측정장치
US6630360B2 (en) 2002-01-10 2003-10-07 Advanced Micro Devices, Inc. Advanced process control (APC) of copper thickness for chemical mechanical planarization (CMP) optimization
US6991710B2 (en) * 2002-02-22 2006-01-31 Semitool, Inc. Apparatus for manually and automatically processing microelectronic workpieces
US20030159921A1 (en) * 2002-02-22 2003-08-28 Randy Harris Apparatus with processing stations for manually and automatically processing microelectronic workpieces
US6893505B2 (en) * 2002-05-08 2005-05-17 Semitool, Inc. Apparatus and method for regulating fluid flows, such as flows of electrochemical processing fluids
US20040031167A1 (en) * 2002-06-13 2004-02-19 Stein Nathan D. Single wafer method and apparatus for drying semiconductor substrates using an inert gas air-knife
US7114903B2 (en) * 2002-07-16 2006-10-03 Semitool, Inc. Apparatuses and method for transferring and/or pre-processing microelectronic workpieces
KR20040048263A (ko) * 2002-12-02 2004-06-07 주식회사 포스코 폭방향 에어 송풍량이 조절이 가능한 에어나이프 장치
US20050092611A1 (en) * 2003-11-03 2005-05-05 Semitool, Inc. Bath and method for high rate copper deposition
KR100903180B1 (ko) * 2006-05-22 2009-06-17 주식회사 엘지화학 리튬이온 폴리머 전지용 분리막의 코팅량 조절방법
WO2007142396A1 (en) * 2006-06-05 2007-12-13 Posco Gas wiping apparatus
CN1928147B (zh) * 2006-09-12 2012-09-19 攀钢集团攀枝花钢铁研究院 用于控制镀锌层厚度的气刀
EP2140944A1 (de) * 2008-07-03 2010-01-06 Linde AG Anpassbare Prallplatten für Gasabstreifer
DE102008058513B4 (de) * 2008-11-21 2011-03-10 Berger, Bernd, Dr.-Ing. Vorrichtung zum Entfernen von Flüssigkeit von der Oberfläche eines bewegten Bandes und Bandbearbeitungsanlage mit solch einer Vorrichtung
DE102010008989B4 (de) 2009-03-06 2018-07-26 Primetals Technologies Japan, Ltd. Gasabstreifvorrichtung
JP5602371B2 (ja) * 2009-03-06 2014-10-08 三菱日立製鉄機械株式会社 ガスワイピング装置
KR101125649B1 (ko) * 2010-05-24 2012-03-27 삼성에스디아이 주식회사 활물질 코팅 장치 및 이를 이용한 코팅 방법
JP5857577B2 (ja) * 2011-09-22 2016-02-10 日本電気株式会社 塗工ダイヘッド
CN103510032B (zh) * 2012-06-20 2015-12-02 鞍钢股份有限公司 冷轧热镀锌镀层均匀度的偏差值控制方法
KR102362174B1 (ko) * 2018-10-01 2022-02-10 주식회사 엘지에너지솔루션 슬롯 다이 코터의 상부 토출구와 하부 토출구 간의 거리를 조절하는 슬롯 다이 코터 조정 장치 및 이를 포함하는 전극 활물질 코팅 시스템

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD152143A1 (de) * 1980-07-22 1981-11-18 Lothar Werk Vorrichtung zur erzeugung gleichmaessig dicker metallschichten auf feuermetallisiertem bandstahl
EP0692549A1 (de) * 1994-07-14 1996-01-17 Unitas S.A. Vorrichtung und Verfahren zum Kontrollieren der Beschichtungsgewicht eines metallüberzuges mittels Blasdüsen
DE69303316T2 (de) * 1992-04-17 1996-12-19 Clecim Sa Düsenmesser zur Steuerung der Beschichtungsdicke eines Metallüberzugs

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2568492A (en) 1949-04-16 1951-09-18 Gen Aniline & Film Corp Adjustable nozzle
US3272176A (en) * 1964-04-13 1966-09-13 Du Pont Air knife
BE758803A (fr) * 1969-11-12 1971-04-16 Jones & Laughlin Steel Corp Procede pour controler le revetement d'un substrat
FR2090313B1 (de) * 1970-05-27 1974-04-26 Italsider Spa
US4041895A (en) * 1975-09-29 1977-08-16 Republic Steel Corporation Coating thickness and distribution control
US4106429A (en) * 1977-05-23 1978-08-15 Beloit Corporation Air knife with adjustable lip
US4270702A (en) 1978-04-26 1981-06-02 Albany International Corp. Adjustable orifice air knife
US4359964A (en) * 1981-05-20 1982-11-23 Beloit Corporation Air knife coater with pivoted lip
US4697542A (en) * 1985-05-13 1987-10-06 The Kohler Coating Machinery Corporation Adjustable nozzle for coating equipment
ATE45390T1 (de) 1986-06-12 1989-08-15 Duma Konstruktionsbuero Abblasvorrichtung zum kontinuierlichen beidseitigen beschichten von metallband.
DE4024229C1 (de) 1990-07-31 1991-07-18 Heinrich 4100 Duisburg De Pannenbecker
US5221345A (en) * 1990-10-12 1993-06-22 National Galvanizing Inc. Method and apparatus for coating a strip
GB9106925D0 (en) 1991-04-03 1991-05-22 Air Controls Installations Cha Air knife
FR2726288B1 (fr) * 1994-10-27 1997-01-17 Clecim Sa Dispositif a lame d'air pour le reglage de l'epaisseur d'un depot

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD152143A1 (de) * 1980-07-22 1981-11-18 Lothar Werk Vorrichtung zur erzeugung gleichmaessig dicker metallschichten auf feuermetallisiertem bandstahl
DE69303316T2 (de) * 1992-04-17 1996-12-19 Clecim Sa Düsenmesser zur Steuerung der Beschichtungsdicke eines Metallüberzugs
EP0692549A1 (de) * 1994-07-14 1996-01-17 Unitas S.A. Vorrichtung und Verfahren zum Kontrollieren der Beschichtungsgewicht eines metallüberzuges mittels Blasdüsen

Also Published As

Publication number Publication date
US6199301B1 (en) 2001-03-13
GB2336377B (en) 2001-07-25
GB9916682D0 (en) 1999-09-15
DE19881989T1 (de) 2000-02-10
JP4020217B2 (ja) 2007-12-12
WO1998032890A1 (en) 1998-07-30
JP2001508358A (ja) 2001-06-26
GB2336377A (en) 1999-10-20
AUPO473297A0 (en) 1997-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19881989B4 (de) Luftmessermündungsanordnung zum Betrieb in einer Luftmesseranordnung und Luftmesseranordnung
EP0937568B1 (de) Vorrichtung zur veränderlichen Begrenzung eines flachen Fliesskanals und Verfahren zum Austragen einer Massebahn mit veränderlicher Geometrie
CH637552A5 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen aufbringen einer beschichtung konstanter dicke auf eine materialbahn.
EP0761877A2 (de) Auftragswerk zum direkten oder indirekten Auftragen eines flüssigen oder pastösen Mediums auf eine laufende Materialbahn
EP0906797B1 (de) Verfahren und Anlage zum Umformen von Metallband in einer Warmbandwalzanlage
DE3117303C2 (de)
EP3504352A1 (de) Verfahren und beschichtungseinrichtung zum beschichten eines metallbandes
DE19651739A1 (de) Auftragwerk zum direkten oder indirekten Auftragen eines flüssigen oder pastösen Streichmediums auf eine laufende Materialbahn, insbesondere aus Papier oder Karton
WO1997009163A1 (de) Extrusionsdüse mit verstellbarer wellenmembran
EP0639239A1 (de) Strahlgeschwindigkeitsbeeinflussung im mehrschichtenstoffauflauf
DE10239351B4 (de) Vorrichtung zum Auftragen eines Beschichtungsmittels
WO2022053559A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur elektrostatischen beschichtung von metallbändern
EP0406529B1 (de) Streicheinrichtung
EP1691950B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum stumpfschweissen von blechen unterschiedlicher dicke mit hilfe mindestens einer in der höhe verstellbaren unterhalb der bleche angeordneten spannrolle
DE19532920A1 (de) Auftragswerk zum direkten oder indirekten Auftragen eines flüssigen oder pastösen Mediums auf eine laufende Materialbahn
DE3710058C1 (de) Stoffauflauf fuer eine Papiermaschine o.dgl.
WO1997041967A1 (de) Abstützsystem für das dosierelement einer beschichtungsvorrichtung
DE10159608B4 (de) Walzverfahren für ein Band mit einer Schweißnaht
DE3942590A1 (de) Streicheinrichtung
DE102013206283A1 (de) Verfahren zum Applizieren von Beschichtungsmaterial und Appliziervorrichtung
AU721545B2 (en) Coating thickness control
EP0876978B1 (de) Vorrichtung zur Krümmung von Lagenmaterial, insbesondere Papier
EP1797966A2 (de) Vorhangbeschichter mit seitlich verstellbarer Abkantung
DE3710735C2 (de)
EP3536413B1 (de) Walzgerüst für ein warmwalzwerk

Legal Events

Date Code Title Description
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: GROSSE, BOCKHORNI, SCHUMACHER, 45133 ESSEN

8110 Request for examination paragraph 44
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: GROSSE, SCHUMACHER, KNAUER, VON HIRSCHHAUSEN, 4513

8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: HATCH LTD., MISSISSAUGA, ONTARIO, CA

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20140801