DE19923979C2 - Ferroelectric memory with split word line structure and without plate lines - Google Patents

Ferroelectric memory with split word line structure and without plate lines

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Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher und insbesondere auf einen ferroelektrischen Speicher mit SWL(Split-Wortleitungs-)-Struktur ohne Plattenleitungen.The present invention relates to a non-volatile ferroelectric memory and in particular to a ferroelectric memory with SWL (split word line) structure without plate lines.

SWL(Split-Wortleitungs-)-Strukturen sind bereits von klassischen DRAM- Speicheranordnungen bekannt. Ein Beispiel hierfür ist in der US 5.148.401 beschrieben. Hier werden erste und zweite Speicherzellenarrays durch eine Mehrzahl von Wortleitungen, die alle in zwei Sektionen aufgeteilt sind, die sich über die ersten und zweiten Speicherzellenarrays erstrecken, angesprochen, wobei die Wortleitungstreiber in drei Blöcke aufgeteilt sind.SWL (split word line) structures are already from classic DRAM Storage arrangements known. An example of this is in US 5,148,401 described. Here, first and second memory cell arrays are replaced by a plurality of Word lines, all of which are divided into two sections, over the first and second Memory cell arrays extend, addressed, the word line drivers in three blocks are divided.

Ferroelektrische Speicher als nichtflüchtige Speicher sind z. B. von der US 5.373.463 bekannt. In diesem Dokument wird ein ferroelektrischer nichtflüchtiger Speicher beschrieben, ber dem Treiberleitungssegmente parallel zu den Wortleitungen angeordnet sind, wobei ein Treiberleitungssegment an eine vorbestimmte Anzahl von Speicherzellen einer Reihe ankoppelbar ist. Ferroelectric memories as non-volatile memories are e.g. B. from US 5,373,463 known. This document describes a ferroelectric non-volatile memory Above the driver line segments are arranged parallel to the word lines, with a Driver line segment to a predetermined number of memory cells in a row can be coupled.  

Des weiteren ist aus der US 5.680.344 ein ferroelektrischer statischer Speicher bekannt, der zu Testzwecken als dynamischer Speicher betrieben werden kann. Dieser Speicher weist ein Paar von Bitleitungen auf, die über Zugriffstransistoren an die ferroelektrischen Kondensatoren ankoppelbar sind.Furthermore, a ferroelectric static memory is known from US Pat. No. 5,680,344 Test purposes can be operated as dynamic memory. This memory has a pair of Bit lines that can be coupled to the ferroelectric capacitors via access transistors.

Ferroelektrische Speicher mit wahlfreiem Zugriff (FRAM's) werden als Speicher der nächsten Generation angesehen, da ihre Zugriffsgeschwindigkeit genauso groß ist wie die eines herkömmlichen DRAM's, sie darüber hinaus aber in der Lage sind, Daten zu halten, auch wenn ihre Spannungsversorgung abgeschaltet wird. Ähnlich wie bei einem DRAM kommen auch bei einem FRAM Kondensatoren als Speicherzellen zum Einsatz, jedoch enthalten bei einem FRAM die Kondensatoren eine ferroelektrische Substanz, die eine hohe Restpolarisation aufweist. Infolge dieser Eigenschaft der ferroelektrischen Substanz werden Daten nicht gelöscht, auch wenn das an den Kondensator angelegte elektrische Feld verschwindet. Ferroelectric random access memories (FRAM's) are considered to be the next ones Generation because their access speed is just as fast as that of one conventional DRAMs, but they are also able to hold data, even if their Power supply is switched off. Similar to a DRAM also come with a FRAM Capacitors are used as memory cells, however, with a FRAM they contain the capacitors a ferroelectric substance that has a high residual polarization. As a result of this property the ferroelectric substance, data is not erased even if that is applied to the capacitor electric field disappears.  

Fig. 1a zeigt die herkömmliche Hystereseschleife einer ferroelektrischen Sub­ stanz, während Fig. 1b einen ferroelektrischen Kondensator eines her­ kömmlichen ferroelektrischen Speichers darstellt. Fig. 1a shows the conventional hysteresis loop of a ferroelectric substance, while Fig. 1b shows a ferroelectric capacitor of a conventional ferroelectric memory.

Entsprechend der Fig. 1a verschwindet beim Abschalten eines elektrischen Fel­ des die durch das elektrische Feld induzierte Polarisation nicht, sondern ver­ bleibt auf dem Wert "d" oder "a", und zwar infolge der spontanen Polarisation. Die­ se Werte "d" und "a" können als Zustände für die logischen Werte "1" und "0" inter­ pretiert werden. Somit sind die Grundlagen für den Aufbau einer Speicherzelle ge­ schaffen. Liegt mit anderen Worten gemäß Fig. 1b eine positive Spannung am Knoten 1 an, so wird der in Fig. 1a gezeigte Zustand "c" eingenommen. Wird dage­ gen die Spannung am Knoten 1 in Fig. 1b abgeschaltet, geht also das elektrische Feld E auf den Wert 0, so wird in Fig. 1a der Zustand d eingenommen. Wird demge­ genüber an den Knoten 1 von Fig. 1b eine negative Spannung angelegt, so wird der in Fig. 1a gezeigte Zustand "f" erreicht. Wird diese negative Spannung wieder auf den Wert 0 zurückgeführt, so nimmt das System in den Fig. 1a gezeigten Zustand "a" ein. Wird dann im Anschluß daran erneut eine positive Spannung an den Kno­ ten 1 in Fig. 1b angelegt, so wird über den Zustand "b" in Fig. 1 wiederum der Zu­ stand "c" in Fig. 1 eingenommen, usw. Auch dann, wenn also keine Spannung an beiden Enden des Kondensators anliegt, werden in ihm die Zustände "a" und "d" eingenommen. Entlang der Hystereseschleife entsprechen die Zustän­ de "c"-"d" dem logischen Wert "1", während die Zustände "a"-"f" dem logischen Wert "0" entsprechen.According to FIG. 1a, when an electric field is switched off, the polarization induced by the electric field does not disappear, but remains at the value "d" or "a", due to the spontaneous polarization. These values "d" and "a" can be interpreted as states for the logical values "1" and "0". This creates the basis for the construction of a memory cell. In other words, if a positive voltage is present at node 1 according to FIG. 1b, state "c" shown in FIG. 1a is assumed. If, on the other hand, the voltage at node 1 in FIG. 1b is switched off, ie if the electric field E goes to the value 0, state d is assumed in FIG . On the other hand, if a negative voltage is applied to node 1 of FIG. 1b, state "f" shown in FIG. 1a is reached. If this negative voltage is returned to the value 0, the system assumes state "a" shown in FIG. 1a. Is then subsequently again a positive voltage to the bone th 1 in Fig. 1b applied, so 1 to the stand is transferred to state "b" in Fig. Occupied in turn "c" in Fig. 1, etc. Also, If there is no voltage at both ends of the capacitor, the states "a" and "d" are assumed in it. Along the hysteresis loop, the states "c" - "d" correspond to the logical value "1", while the states "a" - "f" correspond to the logical value "0".

Um ein Datum aus dem Kondensator auslesen zu können, wird der "d"-Zustand beseitigt, um im Kondensator gespeicherte Daten zu lesen. Herkömmlicherweise wird zum Lesen eines Datums ein Leseverstärker verwendet, der eine von einem Referenzspannungsgenerator erzeugte Referenzspannung mit einer in einem Hauptzellenarray erzeugte Spannung vergleicht. In einer ferroelektrischen Refe­ renzzelle werden zwei Moden zur Erzeugung einer Referenzspannung auf einer Referenzbitleitung verwendet, nämlich eine "1"-Polarität und eine "0"-Polarität. Demzufolge vergleicht der Leseverstärker eine Bitleitungsspannung einer Haupt­ zelle mit einer Referenzbitleitungsspannung einer Referenzzelle, um in der Hauptzelle gespeicherte Information zu lesen. Wird im selben Zyklus das gelesene Datum neu eingeschrieben, so läßt sich das gelöschte Datum erneuern.To be able to read a data from the capacitor, the "d" state fixed to read data stored in the capacitor. traditionally, a sense amplifier is used to read a datum which is one of one Reference voltage generator generated reference voltage with one in one Main cell array compares generated voltage. In a ferroelectric ref Reference cell are two modes for generating a reference voltage on one Reference bit line used, namely a "1" polarity and a "0" polarity. As a result, the sense amplifier compares a bit line voltage of a main cell with a reference bit line voltage of a reference cell in order to Main cell to read stored information. Is the read in the same cycle  If the date is re-registered, the deleted date can be renewed.

Ein herkömmlicher FRAM wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es gibt sogenannte 1T/1C FRAM's mit einem Transistor und einem Kondensator pro Einheitszelle und sogenannte 2T/2C FRAM's mit zwei Transistoren und zwei Kondensatoren. Die Fig. 2 zeigt ein herkömmliches 1T/1C FRAM-Zellenarray.A conventional FRAM is described below with reference to the drawing. There are so-called 1T / 1C FRAMs with one transistor and one capacitor per unit cell and so-called 2T / 2C FRAMs with two transistors and two capacitors. Figure 2 shows a conventional 1T / 1C FRAM cell array.

Entsprechend der Fig. 2 enthält das herkömmliche 1T/1C FRAM-Zellenarray eine Mehrzahl von Wortleitungen W/L, die sich in einer Richtung erstrecken und unter festen Abständen parallel zueinanderliegend angeordnet sind. Mehrere Platten­ leitungen P/L liegen zwischen den Wortleitungen und parallel zu diesen. Eine Mehrzahl von Bitleitungen B1, . . ., Bn verläuft in einer Richtung senkrecht zu den Wortleitungen W/L und den Plattenleitungen P/L, wobei auch die Bitleitungen im festen Abstand parallel zueinander angeordnet sind. Jeder Transistor in einer Einheitszelle weist eine Gateelektrode auf, die mit einer der Wortleitungen W/L verbunden ist, eine Sourceelektrode, die mit einer benachbarten Bitleitung B/L verbunden ist, und eine Drainelektrode, die mit einer ersten Elektrode des Kon­ densators verbunden ist. Die zweite Elektrode des Kondensators ist mit einer be­ nachbarten Plattenleitung P/L verbunden.According to the Fig. 2 includes the conventional 1T / 1C FRAM cell array, a plurality of word lines W / L extending in one direction and are arranged parallel to one another lying at fixed intervals. Several plate lines P / L are between the word lines and parallel to them. A plurality of bit lines B1,. , ., Bn runs in a direction perpendicular to the word lines W / L and the plate lines P / L, the bit lines also being arranged parallel to one another at a fixed distance. Each transistor in a unit cell has a gate electrode connected to one of the word lines W / L, a source electrode connected to an adjacent bit line B / L, and a drain electrode connected to a first electrode of the capacitor. The second electrode of the capacitor is connected to a neighboring plate line P / L.

Eine Treiberschaltung und der Betrieb des vorerwähnten herkömmlichen 1T/1C FRAM's werden nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen die Fig. 3a und 3b zusam­ men die Treiberschaltung für den herkömmlichen 1T/1C FRAM, während die Fig. 4a den zeitlichen Ablauf von Signalen erläutert, die beim Einschreiben von Daten in eine herkömmliche 1T/1C FRAM-Zelle angelegt werden. Dagegen zeigt die Fig. 4b den zeitlichen Ablauf von Signalen, die beim Lesen aus einer herkömmlichen 1T/1C FRAM-Zelle angelegt werden.A driver circuit and the operation of the aforementioned conventional 1T / 1C FRAM are described below. Here, FIGS. 3a and 3b together men, the driving circuit for the conventional 1T / 1C FRAM, while Fig. 4a illustrates the timing of signals, the FRAM cell are created when writing data in a conventional 1T / 1C. In contrast, FIG. 4b shows the timing of signals which are applied when reading from a conventional 1T / 1C FRAM cell.

Eine Schaltung zum Ansteuern des herkömmlichen 1T/1C FRAM's besitzt ein Re­ ferenzspannungsgenerator 1 zur Erzeugung einer Referenzspannung; ei­ nen Referenzspannungs-Stabilisierungsteil 2 mit einer Mehrzahl von Transisto­ ren Q1-Q4 und einem Kondensator C1 zur Stabilisierung einer Referenzspan­ nung auf zwei benachbarten Bitleitungen B1 und B2, da die Referenzspannung vom Referenzspannungs-Erzeugungsteil 1 nicht direkt zu einem Leseverstärker geliefert werden kann; einen ersten Referenzspannungs-Speicherteil 3 mit einer Mehrzahl von Transistoren Q6-Q7 und Kondensatoren C2-C3 zur Speicherung eines logischen Wertes "1" und eines logischen Wertes "0" auf benachbarten Bit­ leitungen; einen ersten Ausgleichsteil 4 mit einem Transistor Q5 zum Ausgleichen benachbarter Bitleitungen (spannungsmäßig); einen ersten Hauptzellen-Array­ teil 5 mit einer Mehrzahl von Transistoren Q8, Q9, . . . und ferroelektrischen Kon­ densatoren C5, C6, . . ., die mit Wortleitungen W/L und Plattenleitungen P/L zur Speicherung von Daten verbunden sind; einen ersten Leseverstärker 6 mit ei­ ner Mehrzahl von Transistoren Q10-Q15 und P-Leseverstärkern PSA zum Lesen von Daten in einer Zelle, die durch eine Wortleitung aus einer Mehrzahl von Zellen des Hauptzellen-Arrayparts 5 ausgewählt worden ist; einen zweiten Hauptzellen- Arraypart 7 mit einer Mehrzahl von Transistoren Q26, Q27, . . . und Kondensatoren C7, C8, . . ., die zur Speicherung von Daten mit voneinander unterschiedlichen Wortleitungen und Plattenleitungen verbunden sind; einen zweiten Referenz­ spannungs-Speicherteil 8 mit einer Mehrzahl von Transistoren Q28-Q29 und Kondensatoren C9-C10 zur Speicherung eines logischen Wertes "1" und eines lo­ gischen Wertes "0" auf benachbarten Bitleitungen; sowie einen zweiten Lesever­ stärkerteil 9 mit einer Mehrzahl von Transistoren Q16-Q25 und N-Leseverstär­ kern NSA zum Lesen von Daten im zweiten Hauptzellen-Arrayteil 7.A circuit for driving the conventional 1T / 1C FRAM has a reference voltage generator 1 for generating a reference voltage; a reference voltage stabilizing part 2 with a plurality of transistors Q1-Q4 and a capacitor C1 for stabilizing a reference voltage on two adjacent bit lines B1 and B2, since the reference voltage cannot be supplied directly from the reference voltage generating part 1 to a sense amplifier; a first reference voltage storage part 3 with a plurality of transistors Q6-Q7 and capacitors C2-C3 for storing a logic value "1" and a logic value "0" on adjacent bit lines; a first equalization part 4 with a transistor Q5 for equalizing adjacent bit lines (in terms of voltage); a first main cell array part 5 with a plurality of transistors Q8, Q9,. , , and ferroelectric capacitors C5, C6,. , . connected to word lines W / L and plate lines P / L for storing data; a first sense amplifier 6 having a plurality of transistors Q10-Q15 and P sense amplifiers PSA for reading data in a cell selected from a plurality of cells of the main cell array part 5 by a word line; a second main cell array part 7 with a plurality of transistors Q26, Q27,. , , and capacitors C7, C8,. , . connected to different word lines and plate lines for storing data; a second reference voltage storage part 8 with a plurality of transistors Q28-Q29 and capacitors C9-C10 for storing a logic value "1" and a logic value "0" on adjacent bit lines; and a second sense amplifier part 9 with a plurality of transistors Q16-Q25 and N sense amplifiers NSA for reading data in the second main cell array part 7 .

Nachfolgend soll der Betrieb des zuvor erwähnten herkömmlichen 1T/1C FRAM's erläutert werden. Dazu werden ein Schreibmodus und ein Lesemodus vorgestellt.The following is the operation of the aforementioned conventional 1T / 1C FRAM are explained. A write mode and a read mode are presented.

Entsprechend der Fig. 4a wird beim Schreiben ein CSBpad-Signal, das ein Chip- Enablesignal ist, extern von "high" auf "low" gelegt. Der Ausdruck "high" bezeich­ net hier hohen logischen Pegel, während der Ausdruck "low" niedrigen logischen Pegel bezeichnet. Dabei geht auch ein Schreibmodus-Enablesignal WEBpad von "high" auf "low", so daß der Schreibmodus beginnen kann. Jetzt startet eine Adreßdecodierung, um eine ausgewählte Leitung von "low" auf "high" zu legen, um auf diese Weise eine Zelle auszuwählen. Während die Wortleitung auf "high" ge­ halten wird, wird eine zugehörige Plattenleitung P/L in einem Intervall auf "high" und in einem anderen Intervall auf "low" gelegt, und zwar in dieser Reihenfolge. Zum Einschreiben einer logischen "1" oder "0" in eine ausgewählte Zelle wird ein Signal "high" oder "low" an die entsprechende Bitleitung angelegt, und zwar syn­ chron mit dem Schreib-Enablesignal. Liegt ein Signal "high" an der Bitleitung an, um den logischen Wert "1" einschreiben zu können, so wird der logische Wert "1" in den ferroelektrischen Kondensator innerhalb eines Intervalls eingeschrieben, in welchem die Wortleitung auf "high" liegt und das Plattensignal auf "low" gezo­ gen wird. Soll dagegen eine logische "0" eingeschrieben werden, so wird bei Anle­ gen eines Signals "low" an der Bitleitung der logische Wert "0" in den ferroelektri­ schen Kondensator eingeschrieben, wenn das Plattenleitungssignal auf "high" liegt. Auf diese Weise läßt sich also entweder der logische Wert "1" oder der logi­ sche Wert "0" einschreiben bzw. speichern.According to FIG. 4a, a CSBpad signal, which is a chip enable signal, is set externally from "high" to "low" when writing. The expression "high" here denotes a high logic level, while the expression "low" denotes a low logic level. A write mode enable signal WEBpad also goes from "high" to "low" so that the write mode can begin. Now address decoding starts to set a selected line from "low" to "high" in order to select a cell in this way. While the word line is kept at "high", an associated plate line P / L is set to "high" in one interval and to "low" in another interval, in that order. To write a logic "1" or "0" into a selected cell, a "high" or "low" signal is applied to the corresponding bit line, in sync with the write enable signal. If there is a "high" signal on the bit line in order to be able to write the logic value "1", the logic value "1" is written into the ferroelectric capacitor within an interval in which the word line is at "high" and that Disk signal is pulled to "low" conditions. If, on the other hand, a logic "0" is to be written, the logic value "0" is written into the ferroelectric capacitor when a signal "low" is applied to the bit line when the plate line signal is at "high". In this way, either the logical value "1" or the logical value "0" can be written or saved.

Nachfolgend wird der Lesebetrieb erläutert.The reading operation is explained below.

Wird gemäß Fig. 4b das Signal CSBpad, also das Chip-Enablesignal (Chip-Freiga­ besignal) extern von "high" auf "low" gelegt, so werden vor Auswahl einer entspre­ chenden Wortleitung alle Bitleitungen spannungsmäßig ausgeglichen, und zwar dadurch, daß sie auf "low" gezogen werden, was durch ein Ausgleichssignal er­ folgt. Wird also in Fig. 3 ein Signal "high" an den Ausgleichsteil 4 angelegt, und wird außerdem ein Signal "high" an die Transistoren Q19 und Q20 angelegt, so werden die Bitleitungen durch die Transistoren Q19 und Q20 geerdet, also gleich­ mäßig auf "low" gezogen. Die Transistoren Q5, Q19 und Q20 werden ausgeschal­ tet, um die entsprechenden Bitleitungen abzuschalten. Dabei wird eine Adresse decodiert, um die entsprechende Wortleitung von "low" auf "high" zu ziehen, um auf diese Weise die entsprechende Zelle auswählen zu können. Sodann wird ein Signal "high" an die Plattenleitung der ausgewählten Zellen angelegt, um ein Da­ tum, das dem logischen Wert "1" entspricht und im FRAM gespeichert ist, zu lö­ schen. Ist im FRAM ein Datum entsprechend dem logischen Wert "0" gespeichert, so wird dieses Datum nicht gelöscht. Eine Zelle mit einem gelöschten Datum und eine Zelle, in welchem ein Datum nicht gelöscht worden ist, liefert voneinander unterschiedliche Signale in Übereinstimmung mit dem zuvor erwähnten Hystere­ seschleife-Prinzip. Ein über die Bitleitung geliefertes Datum wird durch den Lese­ verstärker gelesen, der also entweder den logischen Wert "1" oder "0" erfaßt. Ent­ sprechend der Fig. 1 betrifft der Fall eines gelöschten Datums den Fall, bei dem sich der Zustand von "d" zu "f" ändert. Dagegen betrifft der Fall eines nicht ge­ löschten Datums den Fall, bei dem sich der Zustand von "a" zu "f" ändert. Wird der Leseverstärker nach einer vorbestimmten Zeit aktiviert, so wird im Falle des ge­ löschten Datums das Datum verstärkt, um einen logischen Wert "1" zu erhalten. Dagegen wird im Fall des nicht gelöschten Datums das Datum verstärkt, um einen logischen Wert "0" zu erhalten. Nachdem der Leseverstärker das Signal verstärkt und ausgegeben hat, wird, da die Zelle mit einem Originaldatum erneuert werden soll, während "high" an der entsprechenden Bitleitung liegt, die Plattenleitung von "high" auf "low" gezogen, um inaktiv zu werden.As shown in FIG. 4b, the signal CSBpad, so the chip Enablesignal (chip Release Certificates besignal) externally of "high" set to "low", then all the bit lines before selection of a entspre sponding word line voltage moderately balanced, namely the fact that they pulled to "low", which he follows by a compensation signal. Thus, in FIG. 3, if a "high" signal is applied to the compensation part 4 and a "high" signal is also applied to the transistors Q19 and Q20, the bit lines are grounded by the transistors Q19 and Q20, that is to say evenly to " pulled low. The transistors Q5, Q19 and Q20 are switched off in order to switch off the corresponding bit lines. An address is decoded in order to pull the corresponding word line from "low" to "high" in order to be able to select the corresponding cell in this way. A "high" signal is then applied to the plate line of the selected cells in order to delete a data which corresponds to the logic value "1" and is stored in the FRAM. If a date corresponding to the logical value "0" is saved in the FRAM, this date is not deleted. A cell with a deleted date and a cell in which a date has not been deleted provide different signals from each other in accordance with the hysteresis loop principle mentioned above. A data supplied via the bit line is read by the sense amplifier, which therefore detects either the logical value "1" or "0". Corresponding to FIG. 1, the case of a deleted date relates to the case in which the state changes from "d" to "f". On the other hand, the case of an undeleted date concerns the case where the state changes from "a" to "f". If the sense amplifier is activated after a predetermined time, the date is amplified in the case of the deleted date in order to obtain a logic value "1". On the other hand, in the case of the undeleted date, the date is amplified to obtain a logical value "0". After the sense amplifier has amplified and outputted the signal, since the cell is to be renewed with an original date while "high" lies on the corresponding bit line, the plate line is pulled from "high" to "low" in order to become inactive.

Beim herkömmliche 1T/1C FRAM wird allerdings die Referenzzelle sehr viel häufi­ ger benutzt als die Hauptspeicherzelle, so daß sich der Zustand der Referenzzelle schnell verschlechtert. Dies führt zu einem unstabilen Referenzsignal bzw. zu ei­ ner unstabilen Referenzspannung. Außerdem ist auch die Regulierung der Refe­ renzspannung unter Verwendung einer Spannungsregulierungsschaltung nicht stabil genug, da diese Schaltung durch externe Spannungsschwankungen und Rauschen beeinflußt werden kann. Um diese Probleme zu überwinden, wurde vor­ geschlagen, anstelle des herkömmlichen 1T/1C FRAM's den bereits oben kurz vorgestellten 2T/2C FRAM einzusetzen. Er weist verbesserte Eigenschaften hin­ sichtlich der Elektrodenmaterialien, der Packungsdichte, der Stabilität der fer­ roelektrischen Dünnfilme und der Betriebszuverlässigkeit auf.With the conventional 1T / 1C FRAM, however, the reference cell is very often used ger used as the main memory cell, so that the state of the reference cell deteriorated quickly. This leads to an unstable reference signal or egg ner unstable reference voltage. In addition, the regulation of the refe not using the voltage regulation circuit stable enough because this circuit due to external voltage fluctuations and Noise can be influenced. To overcome these problems, has been proposed beaten, instead of the conventional 1T / 1C FRAM's already briefly above featured 2T / 2C FRAM. It indicates improved properties obviously the electrode materials, the packing density, the stability of the fer roelectric thin films and operational reliability.

Die Fig. 5 zeigt ein Feld von herkömmlichen 2T/2C FRAM-Zellen, während die Fig. 6a den zeitlichen Ablauf verschiedener Signale zeigt, die beim Schreiben im her­ kömmlichen 2T/2C FRAM benutzt werden. Dagegen zeigt die Fig. 6b den zeitli­ chen Ablauf verschiedener Signale zur Erläuterung der Lesebetriebsart bei der herkömmlichen 2T/2C FRAM-Zelle. Fig. 5 shows an array of conventional 2T / 2C FRAM cells, while Fig. 6a shows the timing of various signals used in writing in the conventional 2T / 2C FRAM. In contrast, FIG. 6b shows the temporal course of various signals to explain the reading mode in the conventional 2T / 2C FRAM cell.

Entsprechend der Fig. 5 besteht ein Feld aus herkömmlichen 2T/2C FRAM-Zellen aus einer Mehrzahl von Wortleitungen W/L, die in einer Richtung in vorbestimm­ ten Abständen parallel zueinander angeordnet sind. Eine Mehrzahl von Platten­ leitungen P/L verläuft jeweils zwischen benachbarten Wortleitungen W/L, wobei auch diese Plattenleitungen P/L parallel zueinander und parallel zu den Wortlei­ tungen liegen. Eine Mehrzahl von Bitleitungen und Zusatz-Bitleitungen B1, BB1, B2, BB2, . . . liegen in dieser Reihenfolge parallel nebeneinander und erstrecken sich in einer Richtung, die senkrecht zur Richtung der Wortleitungen W/L und der Plattenleitungen P/L verläuft. Dabei liegen auch die Bitleitungen bzw. Zusatz- Bitleitungen in festem Abstand zueinander. Die Gateelektroden von zwei Transis­ toren einer Einheitsspeicherzelle sind gemeinsam mit einer benachbarten Wort­ leitung W/L verbunden, während die Sourceelektroden dieser Transistoren je­ weils mit einer benachbarten Bitleitung B und einer benachbarten Zusatz-Bitlei­ tung BB verbunden sind. Jede der Drainelektroden der beiden Transistoren ist mit jeweils einer ersten Elektrode eines von zwei Kondensatoren der Einheitszelle verbunden, während die zweiten Elektroden dieser Kondensatoren gemeinsam mit einer benachbarten Plattenleitung P/L verbunden sind.According to the Fig. 5 is an array of conventional 2T / 2C FRAM cells from a plurality of word lines W / L, which are arranged in a direction in parallel to each other vorbestimm th intervals. A plurality of plate lines P / L each run between adjacent word lines W / L, these plate lines P / L also being parallel to one another and parallel to the word lines. A plurality of bit lines and additional bit lines B1, BB1, B2, BB2,. , , are parallel in this order and extend in a direction perpendicular to the direction of the word lines W / L and the plate lines P / L. The bit lines or additional bit lines are also at a fixed distance from one another. The gate electrodes of two transistors of a unit memory cell are connected together to an adjacent word line W / L, while the source electrodes of these transistors are each connected to an adjacent bit line B and an adjacent additional bit line BB. Each of the drain electrodes of the two transistors is connected to a first electrode of one of two capacitors of the unit cell, while the second electrodes of these capacitors are connected to an adjacent plate line P / L.

Nachfolgend soll eine Treiberschaltung und deren Betrieb zur Steuerung des Ar­ rays der herkömmlichen 2T/2C FRAM-Zellen näher beschrieben werden.A driver circuit and its operation for controlling the Ar rays of the conventional 2T / 2C FRAM cells are described in more detail.

Unterschiedlich vom Array der herkömmlichen 1T/1C FRAM-Zellen ist beim Ar­ ray der herkömmlichen 2T/2C FRAM-Zellen, daß im zuletzt genannten Fall die Zellen einen logischen Wert "1" oder "0" schreiben und lesen. Wird gemäß Fig. 6a im Schreibmodus ein Signal CSBpad, also ein Chip-Enablesignal, extern von "high" auf "low" gelegt, so wird das Array aktiviert und zur selben Zeit geht ein Schreibmodus-Enablesignal WEBpad von "high" auf "low", um "high" und "low" oder "low" und "high" Signale an die Bitleitung und die Zusatz-Bitleitung zu legen, und zwar in Übereinstimmung mit einem logischen Wert, der eingeschrieben wer­ den soll. Sodann beginnt eine Adressendecodierung, um eine Wortleitung zur Auswahl einer Zelle von "low" auf "high" zu legen, um die Zelle auszuwählen. In­ nerhalb eines Intervalls, in welchem die Wortleitung auf "high" gehalten wird, wird eine zugeordnete Plattenleitung P/L für ein festes Intervall auf "high" gelegt sowie für ein festes Intervall auf "low", und zwar in dieser Reihenfolge. Zum Ein­ schreiben des logischen Wertes "1" wird ein Signal "high" an eine Bitleitung B-n gelegt und ein Signal "low" an eine benachbarte Zusatz-Bitleitung BB-n. Dagegen wird zum Einschreiben eines logischen Wertes "0" ein Signal "low" an eine Bitlei­ tung B-n gelegt und ein Signal "high" auf eine benachbarte Zusatz-Bitleitung BB-n. Somit können entweder ein logischer Wert "1" oder ein logischer Wert "0" geschrieben werden.Different from the array of conventional 1T / 1C FRAM cells in the Ar ray of conventional 2T / 2C FRAM cells is that in the latter case the cells write and read a logical value "1" or "0". If, in accordance with FIG. 6a, a signal CSBpad, that is to say a chip enable signal, is set externally from “high” to “low”, the array is activated and at the same time a write mode enable signal WEBpad goes from “high” to “low” "to apply" high "and" low "or" low "and" high "signals to the bit line and the additional bit line, in accordance with a logical value to be written in. Address decoding then begins to set a word line for selecting a cell from "low" to "high" to select the cell. Within an interval in which the word line is kept "high", an assigned plate line P / L is set to "high" for a fixed interval and to "low" for a fixed interval, in this order. To write the logical value "1", a signal "high" is applied to a bit line Bn and a signal "low" to an adjacent additional bit line BB-n. In contrast, for writing a logic value "0", a signal "low" is applied to a bit line Bn and a signal "high" to an adjacent additional bit line BB-n. This means that either a logical value "1" or a logical value "0" can be written.

Im folgenden soll das Lesen von Daten näher beschrieben werden.Reading data is described in more detail below.

Wird gemäß Fig. 6b ein CSBpad-Signal, also ein Chip-Enablesignal, extern von "high" auf "low" gelegt, so wird ein Lesemodus gestartet. Gleichzeitig mit der Ände­ rung dieses Signals geht ein Schreibmodus-Enablesignal WEBpad von "low" auf "high", was zur Beendigung des Schreibmodus führt und zum Start des Lesemo­ dus.If, according to FIG. 6b, a CSBpad signal, ie a chip enable signal, is set externally from "high" to "low", a read mode is started. Simultaneously with the change of this signal, a write mode enable signal WEBpad goes from "low" to "high", which leads to the end of the write mode and to the start of the reading mode.

Vor Auswahl einer gewünschten Wortleitung werden alle Bitleitungen ausgegli­ chen und auf "low" gelegt, und zwar durch ein Ausgleichssignal identisch zum Betrieb beim 1T/1C FRAM gemäß Fig. 3b. Nach Beendigung des Ausgleichs auf "low" erfolgt eine Adressendecodierung zur Änderung des Signals der gewünschten Wortleitung von "low" auf "high", so daß auf diese Weise die gewünschte Zelle aus­ gewählt wird. Ein Signal "high" wird auch an eine Plattenleitung der ausgewählten Zelle angelegt, um die Daten auf der Bitleitung und der Zusatz-Bitleitung zu lö­ schen. Wird der logische Wert "1" geschrieben, wird also ein Datum in einem mit der Bitleitung verbundenen Kondensator gelöscht. Wird dagegen der logische Wert "0" geschrieben, wird ein Datum in einem mit der Zusatz-Bitleitung verbun­ denen Kondensator gelöscht. Abhängig von dem auf der Bitleitung oder der Zu­ satz-Bitleitung gelöschten Datum werden also voneinander unterschiedliche Werte erhalten, und zwar in Übereinstimmung mit dem Verlauf der Hysterese­ schleife. Werden die über die Bitleitung oder die Zusatz-Bitleitung gelieferten Da­ ten durch den Leseverstärker gelesen, so wird der Datenwert entweder logisch "1" oder logisch "0" sein. Nachdem der Leseverstärker die Daten verstärkt und ausge­ geben hat, wird, da die Daten in der Zelle erneuert werden sollen, und zwar wäh­ rend die zugeordnete Wortleitung auf "high" liegt, die Plattenleitung von "high" auf "low" gezogen, also disabled bzw. deaktiviert.Before a desired word line is selected, all bit lines are equalized and set to "low", specifically by means of a compensation signal identical to the operation with the 1T / 1C FRAM according to FIG. 3b. After the equalization to "low" has been completed, address decoding takes place to change the signal of the desired word line from "low" to "high", so that the desired cell is selected in this way. A "high" signal is also applied to a plate line of the selected cell to clear the data on the bit line and the auxiliary bit line. If the logical value "1" is written, a date in a capacitor connected to the bit line is deleted. If, on the other hand, the logical value "0" is written, a data item in a capacitor connected to the additional bit line is deleted. Depending on the data deleted on the bit line or the additional bit line, values that are different from one another are thus obtained, namely in accordance with the course of the hysteresis loop. If the data supplied via the bit line or the additional bit line is read by the sense amplifier, the data value will be either logic "1" or logic "0". After the sense amplifier has amplified and outputted the data, since the data in the cell are to be renewed, and that while the associated word line is at "high", the plate line is pulled from "high" to "low", ie disabled or deactivated.

Die herkömmlichen FRAM's und Schaltungen zu ihrer Ansteuerung weisen jedoch einige Nachteile auf. Unabhängig vom Vorteil des Datenerhalts bei Abschaltung der Versorgungsspannung sind separate Zellenplattenleitungen im FRAM erfor­ derlich, was zu einem komplizierten Layout und Herstellungsprozeß führt. Dies ist ungünstig für die Massenproduktion. Andererseits erfolgt der Empfang der Steuersignale der Wortleitungen und der Plattenleitungen auf unterschiedliche Weise beim Lesen und Schreiben von Daten infolge der Verwendung separater Plattenleitungen, was die Effizienz der Speichereinrichtung aufgrund unter­ schiedlicher Signalwege verringert. Die Referenzzelle wird zudem im Vergleich zum Hauptspeicher sehr viel häufiger ausgelesen, so daß sich ihr Zustand ver­ hältnismäßig schnell verschlechtert. Dies führt zur Erzeugung einer unstabilen Referenzspannung und zu einem verschlechterten Betriebsverhalten des Spei­ chers. Die Erzeugung einer Referenzspannung durch eine Spannungsregulie­ rungsschaltung stellt einen weiteren Nachteil dar, weil diese Referenzspannung infolge des Einflusses externer Spannungscharakteristika sowie infolge des Ein­ flusses von Rauschen gestört werden kann. Nicht zuletzt kann ein schneller Zu­ griff auf einen ferroelektrischen Speicher nicht erfolgen, wenn zu dessen Aktivie­ rung nur ein CSBpad-Signal (Chip-Auswahlsignal) verwendet wird.However, the conventional FRAMs and circuits for their control have some drawbacks. Regardless of the benefit of data retention when switched off the supply voltage, separate cell plate cables are required in the FRAM derlich, which leads to a complicated layout and manufacturing process. This is unfavorable for mass production. On the other hand, the reception of the Control signals of the word lines and the plate lines to different Way when reading and writing data due to the use of separate Plate lines, which is due to the efficiency of the storage device different signal paths reduced. The reference cell is also compared read to the main memory much more often, so that their state ver deteriorated relatively quickly. This leads to the generation of an unstable Reference voltage and deteriorated operating behavior of the memory chers. The generation of a reference voltage by a voltage regulator circuit is another disadvantage because of this reference voltage due to the influence of external voltage characteristics and due to the on flow can be disturbed by noise. Last but not least, a quick to resorted to a ferroelectric memory does not take place when it is activated only a CSBpad signal (chip selection signal) is used.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, den ferroelektrischen Speicher mit Split-Wortlei­ tungsstruktur so zu modifizieren, daß keine Zellenplattenleitungen mehr erforderlich sind.The invention is therefore based on the object the ferroelectric memory with split wording tion structure so that cell plate lines are no longer required.

Die Lösung dieser Aufgabe ist Im Anspruch 1 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.The solution to this problem is specified in claim 1. Advantageous embodiments of the Invention can be found in the subclaims.

In Übereinstimmung mit der Erfindung enthält ein ferroelektrischer Speicher mit Split-Wortleitungsstruktur (SWL-Struktur bzw. Teil-Wortleitungsstruktur) folgendes:
ein Zellenarray mit einer Mehrzahl von Teil-Wortleitungen (SWL- bzw. Split-Wortleitungen) und eine Mehrzahl von Bitleitungen zur Speicherung von Daten; einen SWL-Treiber (Teil-Wortleitungstreiber) zum Treiben jeder der Teil-Wortleitungen im Zellenarray; eine Mehrzahl von Leseverstärkerblöcken zum Detektieren von Daten auf jeder der Bitleitungen im Zellenarray; eine Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung als Interface zwischen den Leseverstärkerblöcken und Datenbussen zur Ausgabe der in jedem der Leseverstärkerblöcken enthaltenen Daten sowie zur Eingabe von zu schreibenden Daten, wobei jede der Zellen im Zellenarray mit einem Paar von ersten und zweiten Teil-Wortleitungen und einem Paar von ersten und zweiten Bitleitungen verbunden ist und jede der Zellen im Zellenarray einen ersten Transistor aufweist, dessen Gateelektrode mit einer ersten Teil-Wortleitung verbunden ist und dessen Sourceelektrode mit einer ersten Bitleitung verbunden ist, einen zweiten Transistor, dessen Gateelektrode mit einer zweiten Teil-Wortleitung verbunden ist und dessen Sourceelektrode mit einer zweiten Bitleitung verbunden ist, einen ersten Kondensator, dessen erster Anschluß mit der Drainelektrode des ersten Transistors verbunden ist und dessen zweiter Anschluß mit der zweiten Teil-Wortleitung verbunden ist, einen zweiten Kondensator dessen erster Anschluß mit der Drainelektrode des zweiten Transistors verbunden ist und dessen zweiter Anschluß mit der ersten Teil-Wortleitung verbunden ist.
In accordance with the invention, a ferroelectric memory with a split word line structure (SWL structure or partial word line structure) contains the following:
a cell array with a plurality of sub-word lines (SWL or split word lines) and a plurality of bit lines for storing data; a SWL driver (sub-word line driver) for driving each of the sub-word lines in the cell array; a plurality of sense amplifier blocks for detecting data on each of the bit lines in the cell array; an input / output bus controller as an interface between the sense amplifier blocks and data buses for outputting the data contained in each of the sense amplifier blocks and for inputting data to be written, each of the cells in the cell array having a pair of first and second partial word lines and a pair of is connected to the first and second bit lines and each of the cells in the cell array has a first transistor, the gate electrode of which is connected to a first partial word line and the source electrode of which is connected to a first bit line, a second transistor, the gate electrode of which is connected to a second partial word line and the source electrode is connected to a second bit line, a first capacitor, the first terminal of which is connected to the drain electrode of the first transistor and the second terminal of which is connected to the second partial word line, a second capacitor of which first terminal is connected to the drain Nelectrode of the second transistor is connected and the second terminal is connected to the first partial word line.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigen:Embodiments of the invention are described below with reference to the drawing in individual explained. Show it:

Fig. 1a eine Hystereseschleife einer ferroelektrischen Substanz; FIG. 1a is a hysteresis loop of a ferroelectric substance;

Fig. 1b den Aufbau eines Einheitskondensators bei einem herkömmlichen ferroelektrischen Speicher; 1b shows the structure of a unit capacitor in the conventional ferroelectric memory.

Fig. 2 ein herkömmliches 1T/1C FRAM-Zellenarray; Figure 2 shows a conventional 1T / 1C FRAM cell array;

Fig. 3a und 3b zusammen eine Treiberschaltung für den herkömmlichen 1T/1C FRAM; Figures 3a and 3b together are a driving circuit for the conventional 1T / 1C FRAM.

Fig. 4a ein Signaldiagramm zur Erläuterung des Einschreibbetriebs bei einer herkömmlichen 1T/1C FRAM-Zelle; FIG. 4a is a signal diagram for explaining the Einschreibbetriebs in a conventional 1T / 1C FRAM cell;

Fig. 4b ein Signaldiagramm zur Erläuterung des Lesebetriebs bei einer her­ kömmlichen 1T/1C FRAM-Zelle; FIG. 4b is a signal diagram for explaining the reading operation in a conventional forth 1T / 1C FRAM cell;

Fig. 5 ein Array von herkömmlichen 2T/2C FRAM-Zellen; Figure 5 shows an array of conventional 2T / 2C FRAM cells;

Fig. 6a ein Signaldiagramm zur Erläuterung des Einschreibbetriebs bei her­ kömmlichen 2T/2C FRAM-Zellen; FIG. 6a is a waveform diagram for explaining the Einschreibbetriebs forth in conventional 2T / 2C FRAM cells;

Fig. 6b ein Signaldiagramm zur Erläuterung des Lesebetriebs bei herkömmli­ chen 2T/2C FRAM-Zellen; Fig. 6b is a signal diagram for explaining the reading operation in conventional 2T / 2C FRAM cells;

Fig. 7 ein Systemblockdiagramm eines Arrays von Zellen eines ferroelektri­ schen SWL-Speichers in Übereinstimmung mit einem bevorzugten Aus­ führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; Fig. 7 is a system block diagram of an array of cells of a ferroelectric memory rule SWL in accordance with a preferred imple mentation of the present invention;

Fig. 8 ein Schaltungssystem eines Arrays von Zellen eines ferroelektrischen SWL-Speichers in Übereinstimmung mit einem ersten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung; Fig. 8 is a circuit system of an array of cells of a ferroelectric memory SWL in accordance with a first Ausführungsbei game of the present invention;

Fig. 9 ein Schaltungssystem eines Arrays von Zellen eines ferroelektrischen SWL-Speichers in Übereinstimmung mit einem zweiten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung; Fig. 9 is a circuit system of an array of cells of a ferroelectric memory SWL in accordance with a second Ausführungsbei game of the present invention;

Fig. 10 ein Systemblockdiagramm einer Treiberschaltung für einen ferroelektri­ schen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfin­ dung; FIG. 10 is a system block diagram dung a driver circuit for a ferroelectric memory rule SWL in accordance with the present OF INVENTION;

Fig. 11 ein Systemblockdiagramm eines globalen Steuerpulsgenerators in Über­ einstimmung mit dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er­ findung; FIG. 11 is a system block diagram of a global control pulse generator in match with the first embodiment of the present invention;

Fig. 12 ein Systemblockdiagramm eines globalen Steuerpulsgenerators in Über­ einstimmung mit dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er­ findung; FIG. 12 is a system block diagram of a global control pulse generator in match with the second embodiment of the present invention;

Fig. 13 ein Betriebszeitdiagramm des ersten Ausführungsbeispiels des globalen Steuerpulsgenerators nach der vorliegenden Erfindung; FIG. 13 is an operation timing chart of the first embodiment of the global control pulse generator according to the present invention;

Fig. 14 ein Betriebszeitdiagramm in Übereinstimmung mit dem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel des globalen Steuerpulsgenerators nach der vorliegenden Erfindung; FIG. 14 is an operation timing chart in accordance with the second exporting approximately example of the global control pulse generator according to the present invention;

Fig. 15 ein Betriebszeitdiagramm eines dritten Ausführungsbeispiels des globa­ len Steuerpulsgenerators nach der vorliegenden Erfindung; Figure 15 is an operation timing chart of a third embodiment of the globa len control pulse generator according to the present invention.

Fig. 16 ein Betriebszeitdiagramm eines vierten Ausführungsbeispiels des globa­ len Steuerpulsgenerators nach der vorliegenden Erfindung; FIG. 16 is an operation timing chart of a fourth embodiment of the globa len control pulse generator according to the present invention;

Fig. 17 ein Schaltungssystem eines lokalen Steuerpulsgenerators in Überein­ stimmung mit dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung gemäß Fig. 8; Fig. 17 is a circuit system of a local control pulse generator in accordance with the first embodiment of the present inven tion shown in FIG. 8;

Fig. 18 ein Schaltungssystem einer Spaltensteuerung in Übereinstimmung mit dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung nach Fig. 8; Fig. 18 shows a circuit system of column control in accordance with the first embodiment of the present invention shown in Fig. 8;

Fig. 19 ein Schaltungssystem eines ersten Ausführungsbeispiels eines Lesever­ stärkers und einer Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nach Fig. 8; Fig. 19 is a circuit system of a first embodiment of a Lesever stärkers and an input / output controller in accordance with the present invention shown in Fig. 8;

Fig. 20 ein Schaltungssystem eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Lese­ verstärkers und einer Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstim­ mung mit der vorliegenden Erfindung nach Fig. 8; Fig. 20 shows a circuit system of a second embodiment of a sense amplifier and an input / output controller in accordance with the present invention shown in Fig. 8;

Fig. 21 ein Schaltungssystem eines dritten Ausführungsbeispiels eines Lesever­ stärkers und einer Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nach Fig. 8; Fig. 21 shows a circuit system of a third embodiment of a sense amplifier and an input / output controller in accordance with the present invention of Fig. 8;

Fig. 22 ein Schaltungssystem eines vierten Ausführungsbeispiel seines Lesever­ stärkers und einer Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nach Fig. 8; Fig. 22 shows a circuit system of a fourth embodiment of its sense amplifier and an input / output controller in accordance with the present invention of Fig. 8;

Fig. 23 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Schreibmodus für den Fall, daß eine Y-Adresse in Fig. 8 geändert wird; Fig. 23 is a timing chart of the local control pulse generator in a write mode in the event that a Y address is changed in Fig. 8;

Fig. 24 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Lese­ modus für den Fall, daß eine Y-Adresse in Fig. 8 geändert wird; Fig. 24 is a timing chart of the local control pulse generator in a read mode in case a Y address is changed in Fig. 8;

Fig. 25 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Schreibmodus für den Fall, daß X,Z-Adressen in Fig. 8 geändert werden; Fig. 25 is a timing chart of the local control pulse generator in a write mode when X, Z addresses are changed in Fig. 8;

Fig. 26 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Lese­ modus für den Fall, daß X,Z-Adressen in Fig. 8 geändert werden; Fig. 26 is a timing chart of the local control pulse generator in a read mode in case X, Z addresses are changed in Fig. 8;

Fig. 27 ein Schaltungssystem des lokalen Steuerpulsgenerators in Übereinstim­ mung mit dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung nach Fig. 9; Fig. 27 shows a circuit system of the local control pulse generator in accordance with the second embodiment of the present invention shown in Fig. 9;

Fig. 28 ein Schaltungssystem eines ersten Ausführungsbeispiels eines Lesever­ stärkers und einer Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nach Fig. 9; Fig. 28 shows a circuit system of a first embodiment of a sense amplifier and an input / output controller in accordance with the present invention of Fig. 9;

Fig. 29 ein Schaltungssystem eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Lese­ verstärkers und einer Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstim­ mung mit der vorliegenden Erfindung nach Fig. 9; Fig. 29 is a circuit system of a second embodiment of a sense amplifier and an input / output controller in accordance with the present invention of Fig. 9;

Fig. 30 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Schreibmodus für den Fall, daß eine Y-Adresse in Fig. 27 geändert wird; Fig. 30 is a timing chart of the local control pulse generator in a write mode when a Y address is changed in Fig. 27;

Fig. 31 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Lese­ modus für den Fall, daß eine Y-Adresse in Fig. 27 geändert wird; Fig. 31 is a timing chart of the local control pulse generator in a read mode when a Y address is changed in Fig. 27;

Fig. 32 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Schreibmodus für den Fall, daß X,Z-Adressen in Fig. 27 geändert wer­ den; Fig. 32 is a timing chart of the local control pulse generator in a write mode in case X, Z addresses in Fig. 27 are changed;

Fig. 33 ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuerpulsgenerators in einem Lese­ modus für den Fall, daß X,Z-Adressen in Fig. 27 geändert werden; Fig. 33 is a timing chart of the local control pulse generator in a read mode when X, Z addresses are changed in Fig. 27;

Fig. 34 ein Systemblockdiagramm eines Eingabe/Ausgabe-Arrays eines ferroe­ lektrischen SWL-Speichers in Übereinstimmung mit dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; FIG. 34 is a system block diagram of an input / output array a Ferroe lektrischen SWL memory in accordance with the preferred embodiment of the present invention;

Fig. 35 ein Systemblockdiagramm eines ersten Ausführungsbeispiels eines Le­ severstärkers in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstim­ mung mit der Erfindung; FIG. 35 is a system block diagram of a first embodiment of a Le sever stärkers in a ferroelectric memory SWL, in conformity with the invention;

Fig. 36 ein Systemblockdiagramm eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Le­ severstärkers in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstim­ mung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 36 is a system block diagram of a second embodiment of a Le sever stärkers in a ferroelectric memory SWL, in conformity with the present invention;

Fig. 37 ein Systemblockdiagramm eines dritten Ausführungsbeispiels eines Le­ severstärkers in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstim­ mung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 37 is a system block diagram of a third embodiment of a Le sever stärkers in a ferroelectric memory SWL, in conformity with the present invention;

Fig. 38 ein Systemblockdiagramm eines vierten Ausführungsbeispiels eines Le­ severstärkers in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstim­ mung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 38 is a system block diagram of a fourth embodiment of a Le sever stärkers in a ferroelectric memory SWL, in conformity with the present invention;

Fig. 39 ein Schaltungssystem eines ersten Ausführungsbeispiels einer Eingabe/­ Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 39 is a circuit system of a first embodiment of an input / output bus controller in a SWL ferroelectric memory in accordance with the present invention;

Fig. 40 ein Schaltungssystem eines zweiten Ausführungsbeispiels einer Einga­ be/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; Fig. 40 is a circuit system of a second embodiment of a entranc be / output bus controller in a SWL ferroelectric memory in accordance with the present invention;

Fig. 41 ein Schaltungssystem eines dritten Ausführungsbeispiels einer Einga­ be/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 41 is a circuit system of a third embodiment of a entranc be / output bus controller in a SWL ferroelectric memory in accordance with the present invention;

Fig. 42 ein Schaltungssystem eines vierten Ausführungsbeispiels einer Einga­ be/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; Fig. 42 is a circuit system of a fourth embodiment of a entranc be / output bus controller in a SWL ferroelectric memory in accordance with the present invention;

Fig. 43 ein Schaltungssystem eines fünften Ausführungsbeispiels einer Einga­ be/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 43 is a circuit system of a fifth embodiment of a entranc be / output bus controller in a SWL ferroelectric memory in accordance with the present invention;

Fig. 44 ein Schaltungssystem eines sechsten Ausführungsbeispiels einer Einga­ be/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; Fig. 44 is a circuit system of a sixth embodiment of a entranc be / output bus controller in a SWL ferroelectric memory in accordance with the present invention;

Fig. 45 ein System eines ersten Ausführungsbeispiels eines Datenbusses in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 45 is a system of a first embodiment of a data bus in accordance with the present invention;

Fig. 46 ein System eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Datenbusses in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; Fig. 46 is a system of a second embodiment of a data bus in accordance with the present invention;

Fig. 47 ein System eines dritten Ausführungsbeispiels eines Datenbusses in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 47 is a system of a third embodiment of a data bus in accordance with the present invention;

Fig. 48 ein System eines vierten Ausführungsbeispiels eines Datenbusses in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; FIG. 48 is a system of a fourth embodiment of a data bus in accordance with the present invention;

Fig. 49 ein Betriebszeitdiagramm der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung in Über­ einstimmung mit einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; FIG. 49 is an operation timing chart of the input / output bus controller in keeping with a first preferred embodiment of the present invention;

Fig. 50 ein Betriebszeitdiagramm der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung in Über­ einstimmung mit einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; und Fig. 50 is an operation timing chart of the input / output bus controller in conformity with a second embodiment of the present invention; and

Fig. 51 ein Betriebszeitdiagramm der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung in Über­ einstimmung mit einem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 51 is an operation timing diagram of the input / output bus controller in keeping with a third embodiment of the present invention.

Nachfolgend werden die bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er­ findung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigt die Fig. 7 ein Blockdiagramm eines Gesamtsystems eines ferroelektrischen Spei­ chers in Übereinstimmung mit einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung in schematischer Weise.The preferred embodiment of the present invention will be explained in more detail with reference to the drawing. The Fig. 7 shows a block diagram of an overall system of a ferroelectric memory into SpeI accordance with a preferred embodiment of the present invention in a schematic way.

Gemäß Fig. 7 enthält der ferroelektrische Speicherchip nach der vorliegenden Er­ findung in vergrößerter Darstellung SWL-Treiber 300 (Split- bzw. Teil-Wortlei­ tungs-Treiber) zum Treiben von Split- bzw. Teil-Wortleitungen, Zellenarrays 400 zur Speicherung von Daten und sogenannte Kerne 500, die jeweils einen Lesever­ stärkerblock zum Lesen von Daten und eine Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung als Interface zwischen einer externen Datenleitung und einem Leseverstärkerblock aufweisen. Die Zellenarrays 400 liegen dabei an linken und rechten Seiten eines SWL-Treibers 300, so daß sich der SWL-Treiber 300 im Zentrum zwischen zwei Zellenarrays 400 befindet. Dagegen befindet sich oberhalb und unterhalb eines jeweiligen Zellenarrays 400 jeweils einer der genannten Kerne 500. Ein Zellenar­ ray 400 liegt also in Vertikalrichtung gesehen zwischen zwei dieser Kerne 500.According to Fig. 7, the ferroelectric memory chip of the present contains He invention in an enlarged representation SWL driver 300 (split or sub-wordline tung driver) for driving split or sub-word lines, cell array 400 for storing data and so-called cores 500 , each having a read amplifier block for reading data and an input / output bus control as an interface between an external data line and a sense amplifier block. The cell arrays 400 are located on the left and right sides of a SWL driver 300 , so that the SWL driver 300 is located in the center between two cell arrays 400 . In contrast, one of the nuclei 500 mentioned is located above and below a respective cell array 400 . A cellar ray 400 is therefore seen between two of these cores 500 in the vertical direction.

Der SWL-Speicher wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 8 näher erläu­ tert. Diese Fig. 8 zeigt eine Schaltung eines Teilblockarrays von Zellen eines fer­ roelektrischen SWL-Speichers in Übereinstimmung mit einem ersten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.The SWL memory is explained in more detail below with reference to FIG. 8. This Fig. 8 shows a circuit of a sub-block arrays of cells of a fer roelektrischen SWL memory in accordance with a first exporting approximately example of the present invention.

Entsprechend der Fig. 8 enthält ein Zellenarray eines ferroelektrischen SWL- Speichers in Übereinstimmung mit dem ersten Ausführungsbeispiel der vorlie­ genden Erfindung eine Mehrzahl von Teil- bzw. Split-Wortleitungen SWL1-n, SWL2-n, . . ., SWL2-n + 3, die sich in einer Richtung erstrecken und unter festen Ab­ ständen parallel zueinander angeordnet sind. Ferner ist eine Mehrzahl von Bitlei­ tungen Bit-n, Bit-n + 1 . . ., RBit-n, RBit-n + 1 vorhanden, die sich in einer Richtung erstrecken, die vertikal zur Richtung der SWLs liegt, und die ebenfalls unter fe­ stem Abstand parallel zueinander angeordnet sind. Eine Einheitszelle wird je­ weils gebildet durch ein Paar benachbarter SWLs und zweier benachbarter Bitlei­ tungen. Mit anderen Worten enthält eine Einheitszelle einen ersten Transistor, dessen Gateelektrode mit einer ersten SWL eines Paars von SWLs verbunden ist, und dessen Sourceelektrode mit einer ersten Bitleitung eines Paars von Bitleitun­ gen verbunden ist, einen zweiten Transistor, dessen Gate mit einer zweiten SWL des einen Paars von SWLs verbunden ist, und dessen Sourceelektrode mit einer zweiten Bitleitung des einen Paars von Bitleitungen verbunden ist, einen ersten Kondensator, dessen erste Elektrode mit einer Drainelektrode des ersten Transis­ tors verbunden ist, dessen zweite Elektrode mit der zweiten SWL verbunden ist, und einen zweiten Kondensator, dessen erste Elektrode mit der Drainelektrode des zweiten Transistors verbunden ist, und dessen zweite Elektrode mit der er­ sten SWL verbunden ist. Das Zellenarray enthält tatsächlich einen Hauptzellen­ bereich 401 zum Schreiben von Daten sowie einen Referenzzellenbereich 402 zur Speicherung von Referenzwerten beim Lesen von Daten. Eine Mehrzahl von Bitlei­ tungen für Hauptzellen bildet daher einen Hauptzellen-Teilblock, während ein Paar von Referenzzellen-Bitleitungen RBit-n, Rbit-n + 1 für jeden Hauptzellen- Teilblock einen Referenzzellen-Teilblock bildet. Dabei sind eine Mehrzahl von Hauptzellen-Teilblöcken und eine Mehrzahl von Referenzzellen-Teilblöcken vor­ handen, um ein Zellenfeld bzw. Zellenarray aufzubauen. Diese Blöcke wechseln sich gegenseitig ab. Wie zu erkennen ist, können die Hauptzellen-Teilblöcke vier Spalteneinheiten umfassen und die Referenzzellen-Teilblöcke zwei Spaltenein­ heiten. In Abweichung davon können die Hauptzellen-Teilblöcke aber auch 2n Spalteneinheiten umfassen (n ist eine natürliche Zahl größer 2), während die Re­ ferenzzellen-Teilblöcke jeweils zwei Spalteneinheiten aufweisen. Nicht zuletzt weist ein sogenannter Kern 500 einen Hauptzellen-Bitleitungs-Steuerblock 501 und einen Referenzzellen-Bitleitungs-Steuerblock 502 auf. Der Hauptzellen-Bit­ leitungs-Steuerblock 501 enthält einen Leseverstärkerblock zum Lesen von Da­ ten der Hauptspeicherzellen sowie eine Schreibsteuerschaltung. Die Hauptzel­ len-Bitleitungs-Steuerblöcke 501 und die Referenzzellen-Bitleitungs-Steuer­ blöcke 502 am Boden des Zellenfeldes steuern jeweils ungeradzahlige Spalten B_n, B_n + 2, RB_n des Zellenarrays. Dagegen steuern die Hauptzellen-Bitlei­ tungs-Steuerblöcke 501 und die Referenzzellen-Bitleitungs-Steuerblöcke 502, die sich am oberen Ende des Zellenfeldes befinden, geradzahlige Spalten B_n + 1, B_n + 3, RB_n + 1 des Zellenarrays.According to the Fig. 8 includes a cell array of a ferroelectric memory SWL in accordance with the first embodiment of the invention vorlie constricting n-SWL1 a plurality of partial or split word lines, SWL2-n. , ., SWL2-n + 3, which extend in one direction and are arranged at fixed distances from each other in parallel. Furthermore, a plurality of bit lines are bit-n, bit-n + 1. , ., RBit-n, RBit-n + 1 are present, which extend in a direction that is vertical to the direction of the SWLs, and which are also arranged parallel to each other at a distance. A unit cell is each formed by a pair of adjacent SWLs and two adjacent bit lines. In other words, a unit cell includes a first transistor whose gate electrode is connected to a first SWL of a pair of SWLs and whose source electrode is connected to a first bit line of a pair of bit lines, a second transistor whose gate is connected to a second SWL of the one Pair of SWLs is connected, and the source electrode is connected to a second bit line of the one pair of bit lines, a first capacitor, the first electrode is connected to a drain electrode of the first transistor, the second electrode is connected to the second SWL, and one second capacitor, the first electrode of which is connected to the drain electrode of the second transistor, and the second electrode of which is connected to the most SWL. The cell array actually contains a main cell area 401 for writing data and a reference cell area 402 for storing reference values when reading data. A plurality of bit lines for main cells therefore form a main cell sub-block, while a pair of reference cell bit lines RBit-n, Rbit-n + 1 form a reference cell sub-block for each main cell sub-block. A plurality of main cell sub-blocks and a plurality of reference cell sub-blocks are present in order to build up a cell array or cell array. These blocks alternate with each other. As can be seen, the main cell sub-blocks can comprise four column units and the reference cell sub-blocks can comprise two column units. In deviation from this, the main cell sub-blocks can also comprise 2n column units (n is a natural number greater than 2), while the reference cell sub-blocks each have two column units. Last but not least, a so-called core 500 has a main cell bit line control block 501 and a reference cell bit line control block 502 . The main cell bit line control block 501 includes a sense amplifier block for reading data of the main memory cells and a write control circuit. The main cell bit line control blocks 501 and the reference cell bit line control blocks 502 at the bottom of the cell array each control odd columns B_n, B_n + 2, RB_n of the cell array. In contrast, the main cell bit line control blocks 501 and the reference cell bit line control blocks 502 located at the top of the cell array control even numbered columns B_n + 1, B_n + 3, RB_n + 1 of the cell array.

Die Fig. 9 zeigt ein Zellenarray eines ferroelektrischen SWL-Speichers in Überein­ stimmung mit dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 9 shows a cell array of a ferroelectric SWL memory in accordance with the second embodiment of the present invention.

Entsprechend der Fig. 9 enthält ein Zellenarray eines ferroelektrischen SWL- Speichers in Übereinstimmung mit dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorlie­ genden Erfindung eine Mehrzahl von Split- bzw. Teil-Wortleitungen SWL1-n, SWL2-n, . . ., SWL2-n + 3, die nachfolgend als "SWLs" bezeichnet werden. Sie er­ strecken sich in einer Richtung und liegen unter festen Abständen parallel zuein­ ander. Ferner ist eine Mehrzahl von Bitleitungen B-n, B-n + 1 und Zusatz-Bitlei­ tungen BB-n, BB-n + 1 vorhanden, die abwechselnd in einer Richtung unter festen Abständen parallel zueinander angeordnet sind und sich in Richtung vertikal zu den jeweiligen SWLs erstrecken. Eine Einheitszelle wird durch jeweils ein Paar von benachbarten SWLs und ein Paar von benachbarten Bitleitungen B und Zu­ satz-Bitleitungen BB gebildet. Die Einheitszelle enthält einen ersten Transistor, dessen Gateelektrode mit einer ersten SWL eines Paars von SWLs verbunden ist und dessen Sourceelektrode mit der Bitleitung B verbunden ist, einen zweiten Transistor, dessen Gateelektrode mit einer zweiten SWL des einen Paars von SWLs verbunden ist und dessen Sourceelektrode mit der Zusatz-Bitleitung BB verbun­ den ist, einen ersten Kondensator, dessen erste Elektrode mit einer Drainelektro­ de des ersten Transistors verbunden ist, wobei die zweite Elektrode des Konden­ sators mit der zweiten SWL verbunden ist, und einen zweiten Kondensator, des­ sen erste Elektrode mit der Drainelektrode des zweiten Transistors verbunden ist und dessen zweite Elektrode mit der ersten SWL verbunden ist. Das Zellenarray des ferroelektrischen SWL-Speichers in Übereinstimmung mit dem zweiten Aus­ führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist ähnlich aufgebaut wie das Zel­ lenarray des ferroelektrischen SWL-Speichers nach dem ersten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung, unterscheidet sich jedoch darin, daß nunmehr die geradzahligen Bitleitungen B beim ersten Ausführungsbeispiel durch die Zu­ satz-Bitleitungen BB ersetzt sind und daß alle Referenzzellen-Teilblöcke beim er­ sten Ausführungsbeispiel durch Hauptzellen ersetzt sind.According to the Fig. 9 includes a cell array of a ferroelectric memory SWL in accordance with the second embodiment of the invention vorlie constricting n-SWL1 a plurality of split or sub-word lines, SWL2-n. , ., SWL2-n + 3, hereinafter referred to as "SWLs". They extend in one direction and are parallel to each other at fixed distances. Furthermore, there are a plurality of bit lines Bn, Bn + 1 and additional bit lines BB-n, BB-n + 1, which are alternately arranged in a direction at fixed intervals parallel to one another and extend in the direction vertical to the respective SWLs. A unit cell is formed by a pair of adjacent SWLs and a pair of adjacent bit lines B and bit lines BB, respectively. The unit cell includes a first transistor whose gate electrode is connected to a first SWL of a pair of SWLs and whose source electrode is connected to bit line B, a second transistor whose gate electrode is connected to a second SWL of the one pair of SWLs and whose source electrode is connected to the additional bit line BB is connected to a first capacitor, the first electrode of which is connected to a drain electrode of the first transistor, the second electrode of the capacitor being connected to the second SWL, and a second capacitor, the first electrode of which the drain electrode of the second transistor is connected and the second electrode is connected to the first SWL. The cell array of the ferroelectric SWL memory in accordance with the second embodiment of the present invention is constructed similarly to the cell array of the ferroelectric SWL memory according to the first embodiment of the present invention, but differs in that now the even bit lines B at first embodiment are replaced by the set bit lines BB and that all reference cell sub-blocks in the first embodiment are replaced by main cells.

Eine Schaltung zum Treiben eines ferroelektrischen Speichers nach der Erfin­ dung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 10 näher beschrieben. Die­ se Schaltung ist so ausgebildet, daß sie sowohl den ferroelektrischen Speicher nach dem ersten Ausführungsbeispiel als auch nach dem zweiten Ausführungs­ beispiel der vorliegenden Erfindung steuern kann.A circuit for driving a ferroelectric memory according to the inven tion is described in more detail below with reference to FIG. 10. This circuit is designed so that it can control both the ferroelectric memory according to the first embodiment and the second embodiment of the present invention.

Entsprechend der Fig. 10 enthält die Treiberschaltung folgendes: einen X-Puffer 11 zum Puffern einer X-Adresse von X-, Y- und Z-Adressen; einen X-Vordecodierer 12 zum Vordecodieren eines Signals vom X-Puffer 11; einen Z-Puffer 13 zum Puf­ fern einer Z-Adresse von X-, Y- und Z-Adressen; einen Z-Vordecodierer 14 zum Vordecodieren eines Signals vom Z-Puffer 13; einen X,Z-ATD-Generator 15 zum Detektieren von Adressenübergangspunkten der X-Adressen- und der Z-Adres­ sensignale vom X-Puffer 11 und vom Z-Puffer 13; einen globalen Steuerpulsgene­ rator 16 zum Empfang eines Signals vom X,Z-ATD-Generator 15 sowie zum Emp­ fang eines externen CSBpad-Signals, der ein Leistungsanstiegs-Sensorsignal für sich selbst erzeugt und einen Basispuls zur Speichersteuerung liefert, und zwar in Übereinstimmung mit dem X,Z-ATD-Signal, dem CSBpad-Signal und dem Lei­ stungsanstiegs-Sensorsignal; einen Y-Puffer 17 zur Pufferung einer Y-Adresse von X-, Y- und Z-Adressen, die von außen empfangen werden; einen Y-Vordeco­ dierer 18 zum Vordecodieren eines Signals vom Y-Puffer 17; einen Y-ATD-Genera­ tor 19 zum Detektieren eines Adressenübergangspunkts des Y-Adressensignals vom Y-Puffer 17; einen lokalen Steuerpulsgenerator 20 zum Verbinden eines Signals vom globalen Steuerpulsgenerator 16 mit einem Z-Vordecodierungs­ signal vom Z-Vordecodierer 14 sowie mit einem Signal vom Y-ATD-Generator 19 zu einem in jedem Speicherblock erforderlichen Puls; einen X-Nachdecodierer 21 zum Verbinden des X-Vordecodierungssignals mit dem Z-Vordecodierungssignal vom X-Vordecodierer 12 bzw. vom Z-Vordecodierer 14 zwecks Selektion eines Zel­ lenblocks; einen SWL-Treiber 22 zum Verbinden von Signalen vom X-Nachdeco­ dierer 21 sowie vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 zum Treiben von Split- bzw. Teil-Wortleitungen eines jeden der SWL-Zellenblöcke 23; eine Spaltensteuerung 24 zum Verbinden von Signalen vom Y-Vordecodierer 18 sowie vom lokalen Steu­ erpulsgenerator 20 zur Auswahl einer Bitleitung (oder einer Zusatz-Bitleitung); eine Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 zum Verbinden eines Signals vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 mit einem Signal von der Spalten­ steuerung 24 zur Steuerung des Betriebs des Leseverstärkers und der Eingabe/­ Ausgabe; und eine Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung 26 zur Bildung einer Schnittstelle zwischen einem externen Datenbus einerseits und der Leseverstär­ ker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25. . According to the Figure 10 includes the driver circuit comprises: a X buffer 11 for buffering an X address of X, Y and Z addresses; an X predecoder 12 for predecoding a signal from the X buffer 11 ; a Z buffer 13 for puffing a Z address from X, Y and Z addresses; a Z predecoder 14 for predecoding a signal from the Z buffer 13 ; an X, Z ATD generator 15 for detecting address transition points of the X address and Z address signals from the X buffer 11 and the Z buffer 13 ; a global control pulse generator 16 for receiving a signal from the X, Z-ATD generator 15 and for receiving an external CSBpad signal, which generates a power increase sensor signal for itself and supplies a base pulse for memory control, in accordance with that X, Z-ATD signal, the CSBpad signal and the power increase sensor signal; a Y buffer 17 for buffering a Y address from X, Y and Z addresses received from the outside; a Y predecoder 18 for predecoding a signal from the Y buffer 17 ; a Y-ATD generator 19 for detecting an address transition point of the Y address signal from the Y buffer 17 ; a local control pulse generator 20 for connecting a signal from the global control pulse generator 16 to a Z predecode signal from the Z predecoder 14 and a signal from the Y-ATD generator 19 to a pulse required in each memory block; an X post-decoder 21 for connecting the X pre-decode signal to the Z pre-decode signal from the X pre-decoder 12 and the Z pre-decoder 14, respectively, for the selection of a cell block; a SWL driver 22 for connecting signals from the X post-decoder 21 and from the local control pulse generator 20 for driving split word lines of each of the SWL cell blocks 23 ; a column controller 24 for connecting signals from the Y predecoder 18 and from the local control pulse generator 20 to select a bit line (or an additional bit line); a sense amplifier and input / output controller 25 for connecting a signal from the local control pulse generator 20 to a signal from the column controller 24 for controlling the operation of the sense amplifier and the input / output; and an input / output bus controller 26 for forming an interface between an external data bus on the one hand and the sense amplifier and input / output controller 25 .

Nachfolgend wird der globale Steuerpulsgenerator unter Bezugnahme auf die Fig. 11 näher beschrieben. Dabei zeigt die Fig. 11 ein Blockdiagramm des globa­ len Steuerpulsgenerators nach dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.The global control pulse generator is described in more detail below with reference to FIG. 11. The Fig. 11 shows a block diagram of globa len control pulse generator according to the first embodiment of the present invention.

Gemäß Fig. 11 enthält der globale Steuerpulsgenerator 16 nach dem ersten Aus­ führungsbeispiel der Erfindung folgendes: einen Empfangspuffer 31 zum Emp­ fang eines Signals, das wenigstens ein CSBpad-Signal, das X,Z-ATD-Signal vom X,Z-ATD-Generator 15 und das Leistungsanstiegs-Detektorsignal umfaßt, wobei der Empfangspuffer ein erstes Synchronisationssignal und ein zweites Synchro­ nisationssignal ausgibt; eine Schaltung 32 zur Verhinderung eines Betriebs bei niedriger Spannung sowie zur Verhinderung von Rauschen, wobei die Schaltung 32 ein Niedrigspannungs-Detektorsignal ausgibt, um einen Betrieb bei nie­ driger Spannung zu verhindern, sowie ein Rauschunterdrückungssignal ausgibt, um Rauschen im ersten Synchronisationssignal zu filtern, und wobei ferner die Schaltung 32 einen Voraktivierungspuls zum Voraufladen der Bitleitungen und dergleichen in Antwort auf das erste Synchronisationssignal vom Empfangspuf­ fer 31 ausgibt und ein Rückkopplungssignal (viertes Steuersignal von der zweiten Steuerung) empfängt; eine erste Steuerung 33, die für den Fall, daß eine normale Versorgungsspannung von der Schaltung 32 geliefert wird, ein Signal ohne Rau­ schen von der Schaltung 32 empfängt und ein erstes Steuersignal zur Steuerung des Aktivierungszeitpunkts des Leseverstärkers, ein zweites Steuersignal zur Steuerung des Spaltenselektions-Aktivierungszeitpunkts und des Bitleitungs- Hochziehvorgangs einer Referenzzelle sowie ein drittes Steuersignal zur Bereit­ stellung eines Signals für den SWL-Treiber und weitere Steuersignale ausgibt; ei­ ne zweite Steuerung 34 zum Empfang des dritten Steuersignals von der ersten Steuerung 33, wobei die zweite Steuerung 34 ein Signal S1 für die SWL1 und ein Basiswellenform-Erzeugungssignal S2 für die SWL2 in einem Paar von SWLs für den SWL-Treiber erzeugt, ein viertes Steuer­ signal ausgibt, das ein Basispulssignal zur Steuerung der Aktivierungszeitperio­ den der Signale S1 und S2 sowie zur Steuerung eines Pulssignals P2 ist, das auf­ grund des vierten Steuersignals eine verbesserte Treiberfähigkeit aufweist, sowie das vierte Steuersignal als Rückkopplungssignal zur Schaltung 32 liefert und das Pulssignal P2 zum lokalen Steuerpulsgenerator 20 ausgibt; eine dritte Steuerung 35 zum Empfang der ersten und der zweiten Synchronisationssignale vom Emp­ fangspuffer 31 sowie zum Empfang des vierten Steuersignals von der zweiten Steuerung 34, zur Lieferung eines fünften Steuersignals synchron mit dem SCBpad-Signal, wenn alle Signale mit Ausnahme des Signals S1 für die SWL1 und des Signals S2 für SWL2 disabled bzw. deaktiviert sind, und zur Lieferung eines sechsten Steuer­ signals zur Unterbrechung des deaktivierten Zustands des CSBpad-Signals, wenn das CSBpad-Signal unter der Bedingung disabled bzw. deaktiviert ist, daß das Basiswellenform-Erzeugungssignal S1 für die SWL1 und das Basiswellen­ form-Erzeugungssignal S2 für die SWL2 enabled bzw. aktiviert sind und den akti­ vierten Zustand beibehalten, bis der normale Betrieb des Basiswellenform-Akti­ vierungssignals S1 für die SWL1 und des Aktivierungssignals S2 für SWL2 beendet ist; und eine vierte Steuerung 36 zum Empfang des fünften und des sechsten Steuersignals von der dritten Steuerung 35, des ersten, zweiten und dritten Steuersignals von der ersten Steuerung 33 sowie zum Empfang des Voraktivierungspulses von der einen Betrieb bei niedriger Spannung und Rau­ schen verhindernden Schaltung 32, wobei die vierte Steuerung ein Enable- bzw. Aktivierungssignal SAN für eine n-MOS-Einrichtung und ein Enable- bzw. Akti­ vierungssignal SAP für eine p-MOS-Einrichtung im Leseverstärker ausgibt, und ferner folgende Steuersignale liefert: ein Steuersignal C1 zur Verbindung einer Bitleitung eines Hauptzellenblocks mit einem ersten Eingabe/Ausgabeknoten des Leseverstärkers, ein Steuersignal C2 zur Verbindung einer Bitleitung eines Referenzzellenblocks mit einem zweiten Eingabe/Ausgabeknoten des Lesever­ stärkers, ein Steuersignal C3 zur Steuerung einer mit niedriger Spannung durch­ geführten Voraufladung einer Bitleitung einer Hauptzelle, einer Bitleitung einer Referenzzelle und eines Knotens des Lesesverstärkers, und ein viertes Steuer­ signal C4 zur Steuerung des Enable- bzw. Aktivierungszeitpunkts einer Spalten­ selektion und eines Bitleitungs-Hochziehvorgangs einer Referenzzelle.Referring to FIG. 11, the global control pulse generator 16 contains, after the first imple mentation of the invention comprises: a receiving buffer 31 to the Emp catch a signal that at least one CSBpad signal, the X, Z-ATD signal from the X, Z-ATD Generator 15 and the power increase detector signal, wherein the reception buffer outputs a first synchronization signal and a second synchronization signal; 32 to an operation to prevent a circuit to prevent operation at low voltage as well as for preventing noise, the circuit 32 outputs a low-voltage detection signal when never Driger voltage, and outputs a noise cancellation signal, to filter noise in the first synchronization signal, and wherein circuit 32 further outputs a preactivation pulse for precharging the bit lines and the like in response to the first synchronization signal from the reception buffer 31 and receives a feedback signal (fourth control signal from the second controller); a first controller 33, which in the event that a normal supply voltage is supplied from the circuit 32, a signal with no rough rule of the circuit 32 receives, and a first control signal for controlling the activation timing of the sense amplifier, a second control signal for controlling the Spaltenselektions- Activation time and the bit line pull-up process of a reference cell and a third control signal to provide a signal for the SWL driver and other control signals; a second controller 34 for receiving the third control signal from the first controller 33 , the second controller 34 generating a signal S1 for the SWL1 and a basic waveform generation signal S2 for the SWL2 in a pair of SWLs for the SWL driver, a fourth Control signal outputs that a basic pulse signal for controlling the activation period of the signals S1 and S2 and for controlling a pulse signal P2, which has an improved driver capability due to the fourth control signal, and the fourth control signal as a feedback signal to the circuit 32 and the pulse signal P2 outputs to the local control pulse generator 20 ; a third controller 35 for receiving the first and second synchronization signals from the reception buffer 31 and for receiving the fourth control signal from the second controller 34 , for supplying a fifth control signal in synchronization with the SCBpad signal if all signals except the signal S1 for the SWL1 and the signal S2 for SWL2 are disabled, and to provide a sixth control signal to interrupt the deactivated state of the CSBpad signal when the CSBpad signal is disabled under the condition that the basic waveform generation signal S1 are enabled for the SWL1 and the basic waveform generation signal S2 for the SWL2 and maintain the activated state until the normal operation of the basic waveform activation signal S1 for the SWL1 and the activation signal S2 for SWL2 has ended; and a fourth controller 36 for receiving the fifth and sixth control signals from the third controller 35 , the first, second and third control signals from the first controller 33, and for receiving the pre-activation pulse from the low voltage and noise preventing circuit 32 , wherein the fourth controller outputs an enable signal SAN for an n-MOS device and an enable signal SAP for a p-MOS device in the sense amplifier, and also supplies the following control signals: a control signal C1 for connecting one Bit line of a main cell block with a first input / output node of the sense amplifier, a control signal C2 for connecting a bit line of a reference cell block with a second input / output node of the sense amplifier, a control signal C3 for controlling a low-voltage precharge of a bit line of a main cell, a bit line a reference number Elle and a node of the sense amplifier, and a fourth control signal C4 for controlling the enable or activation time of a column selection and a bit line pull-up process of a reference cell.

Sind die von außen angelegten Signale (das CSBpad-Signal, das A,Z-ATD-Signal und das Leistungsanstiegs-Detektorsignal) zum globalen Steuerpulsgenerator beim ersten Ausführungsbeispiel stabil, so kann die Schaltung zum Verhindern eines Betriebs bei niedriger Spannung sowie zur Verhinderung von Rauschen fortgelassen werden. Dies wird unter Bezugnahme auf ein zweites Ausführungs­ beispiel der Erfindung nachfolgend erläutert. Die Fig. 12 zeigt ein Blockdiagramm eines globalen Steuerpulsgenerators nach diesem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung.If the externally applied signals (the CSBpad signal, the A, Z-ATD signal and the power rise detector signal) to the global control pulse generator are stable in the first embodiment, the low voltage operation preventing circuit and the noise preventing circuit can be used be omitted. This is explained below with reference to a second embodiment of the invention. Fig. 12 shows a block diagram of a global control pulse generator according to this second embodiment of the invention.

Die Fig. 12 zeigt den schematischen Aufbau des globalen Steuerpulsgenerators nach dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Dieser globale Steuerpulsgenerator enthält folgendes: einen Empfangspuffer 31 zum Empfang eines Signals, das wenigstens ein CSBpad-Signal, das X,Z-ATD- Signal vom X,Z-ATD-Generator 15 und ein Leistungsanstiegs-Detektorsignal um­ faßt, sowie zur Ausgabe eines ersten und eines zweiten Synchronisationssignals; eine erste Steuerung 33 zum Empfang des ersten Synchronisationssignals vom Empfangspuffer 31 sowie zur Ausgabe eines ersten Steuersignals zur Steuerung eines Aktivierungszeitpunkts des Leseverstärkers, eines zweiten Steuersignals zur Steuerung eines Spaltenselektions-Einschaltzeitpunkts und eines Bitlei­ tungs-Hochziehvorgangs einer Referenzzelle, sowie zur Ausgabe eines dritten Steuersignals zur Lieferung eines Signals für den SWL-Treiber und anderer Steuersignale; eine zweite Steuerung 34 zum Empfang des dritten Steuersignals von der ersten Steuerung 33, die ein Generatorsignal S1 für die SWL1 und ein Generatorsignal S2 für die SWL2 in einem Paar von SWLs für den SWL-Treiber erzeugt, ein viertes Steuersignal ausgibt, das ein Basispulssignal zur Steuerung der Einschaltzeitperioden der Signale S1 und S2 ist, und die ferner ein Pulssignal P2 ausgibt, das infolge des vierten Steuersignals eine verbesserte Treiberfähigkeit aufweist, wobei das Pulssignal P2 von der zwei­ ten Steuerung 34 zum lokalen Steuerpulsgenerator 20 geliefert wird; eine dritte Steuerung 35 zum Empfang des ersten und des zweiten Synchronisationssignals vom Empfangspuffer 31 sowie zum Empfang des vierten Steuersignals vom der zweiten Steuerung 34, wobei die dritte Steuerung 35 ein fünftes Steuersignal syn­ chron mit dem SCBpad-Signal ausgibt, wenn alle Signale mit Ausnahme des Generatorsignals S1 für die SWL1 und das Gene­ ratorsignal S2 für die SWL2 disabled bzw. abgeschaltet sind, und die ferner eine sechstes Steuersignal ausgibt, und zwar zur Unterbrechung des abgeschalteten Zustands des CSBpad-Signals, wenn das CSBpad-Signal abgeschaltet bzw. dis­ abled ist unter der Bedingung, daß das Generatorsignal S1 für die SWL1 und das Generatorsignal S2 für die SWL2 enabled bzw. eingeschaltet sind, wobei das sechste Steuersignal den eingeschalteten Zu­ stand so lange hält, bis der Normalbetrieb des Generatorsignals S1 für die SWL1 und des Generatorsignals S2 für die SWL2 be­ endet ist; sowie eine vierte Steuerung 36 zum Empfang des fünften und des sech­ sten Steuersignals von der dritten Steuerung 35, des ersten, zweiten und dritten Steuersignals von der ersten Steuerung 33 und des ersten Synchronisations­ signals vom Empfangspuffer 31, wobei die fünfte Steuerung 36 ein Aktivierungs­ signal SAN für eine n-MOS-Einrichtung und ein Aktivierungssignal SAP für eine p-MOS-Einrichtung im Leseverstärker ausgibt, und ferner weitere Signale aus­ gibt: ein Steuersignal C1 zur Verbindung einer Bitleitung auf einem Hauptzellen­ block mit einem ersten Eingabe/Ausgabeknoten des Leseverstärkers, ein zweites Steuersignal C2 zur Verbindung einer Bitleitung auf einem Referenzzellenblock mit einem zweiten Eingabe/Ausgabeknoten des Leseverstärkers, ein drittes Steu­ ersignal C3 zur Steuerung einer mit niedriger Spannung erfolgenden Voraufla­ dung einer Bitleitung einer Hauptzelle, einer Bitleitung einer Referenzzelle und eines Knotens des Leseverstärkers, und ein viertes Steuersignal C4 zur Steuerung des Einschalt- bzw. Aktivierungszeitpunkts einer Spaltenselektion und eines Bit­ leitungs-Hochziehvorgangs einer Referenzzelle. Fig. 12 shows the schematic structure of the global control pulse generator according to the second preferred embodiment of the present invention. This global control pulse generator contains the following: a receive buffer 31 for receiving a signal which comprises at least one CSBpad signal, the X, Z-ATD signal from the X, Z-ATD generator 15 and a power increase detector signal, and for outputting one first and a second synchronization signal; a first controller 33 for receiving the first synchronization signal from the reception buffer 31 and for outputting a first control signal for controlling an activation time of the sense amplifier, a second control signal for controlling a column selection switch-on time and a bit line pull-up process of a reference cell, and for outputting a third control signal for Providing a signal for the SWL driver and other control signals; a second controller 34 for receiving the third control signal from the first controller 33 , which generates a generator signal S1 for the SWL1 and a generator signal S2 for the SWL2 in a pair of SWLs for the SWL driver, outputs a fourth control signal that provides a basic pulse signal Is control of the turn-on periods of the signals S1 and S2, and which further outputs a pulse signal P2 which, as a result of the fourth control signal, has an improved driver capability, the pulse signal P2 being supplied by the second controller 34 to the local control pulse generator 20 ; a third controller 35 for receiving the first and second synchronization signals from the reception buffer 31 and for receiving the fourth control signal from the second controller 34 , the third controller 35 outputting a fifth control signal in synchronism with the SCBpad signal when all signals except the Generator signal S1 for the SWL1 and the generator signal S2 for the SWL2 are disabled and switched off, and which also outputs a sixth control signal to interrupt the switched-off state of the CSBpad signal when the CSBpad signal is switched off or dis abled under the condition that the generator signal S1 for the SWL1 and the generator signal S2 for the SWL2 are enabled or switched on, the sixth control signal holding the switched on until the normal operation of the generator signal S1 for the SWL1 and the generator signal S2 for the SWL2 has ended; and a fourth controller 36 for receiving the fifth and sixth control signals from the third controller 35 , the first, second and third control signals from the first controller 33 and the first synchronization signal from the receive buffer 31 , the fifth controller 36 an activation signal SAN outputs for an n-MOS device and an activation signal SAP for a p-MOS device in the sense amplifier, and also outputs further signals: a control signal C1 for connecting a bit line on a main cell block to a first input / output node of the sense amplifier second control signal C2 for connecting a bit line on a reference cell block to a second input / output node of the sense amplifier, a third control signal C3 for controlling a low-voltage precharge of a bit line of a main cell, a bit line of a reference cell and a node of the sense amplifier, and a fourth control signal C4 for controlling the switch-on or activation time of a column selection and a bit line pull-up process of a reference cell.

Obwohl nicht dargestellt, kann die Schaltung zur Verhinderung eines Betriebs bei niedriger Spannung und zur Verhinderung von Rauschen im globalen Steuer­ pulsgenerator des ersten Ausführungsbeispiels durch eine Schaltung ersetzt werden, die entweder nur den Betrieb bei niedriger Spannung oder nur das Rau­ schen verhindert.Although not shown, the circuit may prevent operation low voltage and to prevent noise in global control pulse generator of the first embodiment replaced by a circuit be either only operating at low voltage or just the harsh prevented.

Ein Verfahren zum Betrieb des zuvor erwähnten globalen Steuerpulsgenerators im ferroelektrischen SWL-Speicher wird nachfolgend näher beschrieben. Die Fig. 13 zeigt ein Betriebsablaufdiagramm des ersten Ausführungsbeispiels des globa­ len Steuerpulsgenerators in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung, während die Fig. 14 ein Betriebsablaufdiagramm des zweiten Ausführungsbei­ spiels des globalen Steuerpulsgenerators in Übereinstimmung mit der vorliegen­ den Erfindung zeigt. Die Fig. 15 zeigt ein Betriebsablaufdiagramm eines dritten Ausführungsbeispiels des globalen Steuerpulsgenerators in Übereinstimmung mit der Erfindung, während die Fig. 16 ein Betriebsablaufdiagramm eines vierten Ausführungsbeispiels des globalen Steuerpulsgenerators nach der Erfindung zeigt.A method for operating the aforementioned global control pulse generator in the ferroelectric SWL memory is described in more detail below. Fig. 13 shows an operation flowchart of the first embodiment of the global control pulse generator in accordance with the present invention, while Fig. 14 shows an operation flowchart of the second embodiment of the global control pulse generator in accordance with the present invention. FIG. 15 shows an operational flowchart of a third embodiment of the global control pulse generator in accordance with the invention, while FIG. 16 shows an operational flowchart of a fourth embodiment of the global control pulse generator according to the invention.

Der Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators nach der vorliegenden Erfindung ist abhängig vom Zellenarraysystem, von der X,Z-Adressenumschaltung oder von der Y-Adressenumschaltung. Nachfolgend wird zunächst der Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators des ersten Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Fig. 13 beschrieben. Hier kommt ein Zellenarraysystem gemäß Fig. 8 zum Ein­ satz, wobei die Y-Adresse umgeschaltet wird. Da der Chip eingeschaltet (enabled) wird, wenn das Chip-Aktivierungssignal CSBpad extern auf "low" gezogen wird, wird der Chip in den eingeschalteten Zustand gebracht, wenn das CSBpad-Signal von "high" auf "low" wechselt. Es ist daher immer ein Abschaltintervall auf "high" erforderlich, um einen neuen Lese- oder Schreibvorgang durchzuführen. Gemäß Fig. 13 reicht ein kompletter Betriebszyklus vom Zeitpunkt t1 bis zum Zeitpunkt t15. Zunächst sei angenommen, daß das CSBpad-Signal aktiviert wird, also auf "low" wechselt, und zwar zum Startpunkt des t1 Intervalls bis zum Endpunkt des t14 Intervalls. Deaktiviert wird das CSBpad-Signal, indem es auf "high" wechselt, und zwar zum Startpunkt des t15 Intervalls. Es sei angenommen, daß es keinen Übergang in den X- und Z-Adressen gibt und die Y-Adresse am Startpunkt des In­ tervalls t7 und am Startpunkt des Intervalls t11 jeweils wechselt, während das CSBpad-Signal im eingeschalteten Zustand ist. Ein Y-ATD detektiert eine Änderung einer Y-Adresse und erzeugt einen hohen Puls in den Intervallen t7 und t8 einerseits sowie in den Intervallen t11 und t12 andererseits. S1 und S2 sind Pulse zur Verwendung bei der Bildung der Basiswellenformen für Wortleitungen SWL1 und SWL2 einer SWL-Zelle. Zunächst wechselt das CSBpad-Signal von "high" auf "low" zu Beginn des Intervalls t1, um den Chip zu aktivieren. Dabei werden die X-, Y- und Z-Adressen in dem Zustand gehalten, der vor t1 eingenommen wurde. Das Y-ATD-Signal wechselt auf "high" vom Intervall t7 bis zum Intervall t8, wenn die Y- Adresse zum Startzeitpunkt des Intervalls t7 wechselt. Wechselt die Y-Adresse zum Startzeitpunkt des Intervalls t11 erneut, so wechselt das Y-ATD-Signal er­ neut auf "high" vom Startzeitpunkt des Intervalls t11 bis zum Ende des Intervalls t12. Das Signal S1 wird auf "low" im Intervall t1, auf "high" vom Intervall t2 bis einschließlich des Intervalls t3, auf "low" im Intervall t4, auf "high" im Intervall t5 und auf "low" vom Beginn des Intervalls t6 bis zum Beginn des Intervalls t15 ge­ halten, und darüber hinaus. Dagegen wird das Signal S2 auf "high" gehalten, und zwar vom Beginn des Intervalls t2 bis zum Ende des Intervalls t4. Ansonsten ver­ bleibt es auf "low". Das Signal C1, das ein Basissignal zur Steuerung des Signal­ flusses zwischen einer Hauptzellen-Bitleitung und einem Eingabe/Ausgabean­ schluß auf dem Leseverstärker ist, wird nur vom Beginn des Intervalls t3 bis zum Ende dieses Intervalls t3 auf "low" gehalten und ist sonst auf "high". Durch dieses Signal wird der Signalfluß zwischen der Hauptzellen-Bitleitung und dem Einga­ be/Ausgabeanschluß des Leseverstärkers nur im Intervall t3 unterbrochen. Das Signal C2 ist ein Basissignal zur Steuerung eines Signalflusses zwischen einer Referenzzellen-Bitleitung und dem anderen Eingabe/Ausgabeanschluß des Lese­ verstärkers und liefert einen Puls, der auf "low" gehalten wird vom Intervall t3 bis zum Intervall t14 einschließlich, um den Signalfluß zwischen einer Referenzzel­ len-Bitleitung und dem anderen Eingabe/Ausgabeanschluß des Leseverstärkers zu unterbrechen, und zwar vom Beginn des Intervalls t3 bis zum Ende des Inter­ valls t14. Das Signal C4 steuert eine Signalübertragung zwischen einer Hauptzel­ len-Bitleitung und einem externen Datenbus und steuert ferner einen Hochzieh­ vorgang einer Referenzzellen-Bitleitung. Es wird auf "high" vom Intervall t4 bis zum Intervall t14 gehalten und wechselt wieder auf "low" zu einem Zeitpunkt, zu dem das CSBpad-Signal disabled bzw. abgeschaltet wird (Endzeitpunkt des Inter­ valls t14), um eine Steuerung einer Signalübertragung zwischen einer Hauptzel­ len-Bitleitung und dem externen Datenbus sowie eine Steuerung des Hochzieh­ vorgangs auf einer Referenzzellen-Bitleitung zu ermögliche, und zwar nur vom Beginn des Intervalls t4 bis zum Ende des Intervalls t14. Das Signal P2 wird auf "high" gehalten, und zwar vom Beginn des Intervalls t2 bis zum Ende des Inter­ valls t5, wobei in dieser Zeitperiode auch die Signale S1 und S2 auf "high" gehal­ ten werden, um die Signale S1 und S2 gegen externe Einflüsse zu schützen, wobei das Signal P2 auf "low" wechselt, und zwar zu Beginn des Intervalls t6. Das Signal C3 dient zur Voraufladung der Hauptzellen-Bitleitung und der Referenzzellen- Bitleitung auf eine niedrige Spannung vor Einschalten der Signal S1 und S2 und wird zu diesem Zweck auf "high" gehalten, und zwar bis zum Ende des Intervalls t1. Dann wechselt das Signal C3 auf "low" zum Beginn des Intervalls t2 und wird auf "low" gehalten bis zum Ende des Intervalls t14, um die Voraufladung auszu­ schalten. Mit Beginn des Intervalls t15 wechselt das Signal C3 wieder auf "high", also dann, wenn das CSBpad-Signal abgeschaltet wird. Das Signal SAN (ein vor­ läufiges Signal zur Erzeugung eines SAN_C-Signals, das ein Signal zur Steuerung von NMOS-Transistoren zum Betrieb des Leseverstärkers in der Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung ist) wird zunächst auf "low" gehalten und wech­ selt auf "high" zu Beginn des Intervalls t3 und wiederum auf "low", wenn das CSBpad-Signal abgeschaltet wird. Das SAP-Signal (ein vorläufiges Signal zur Er­ zeugung eines SAP_P-Signals, das PMOS-Transistoren zum Betrieb des Lesever­ stärkers in der Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung steuert) verhält sich umgekehrt wie das SAN-Signal. Dabei wird das SAP-Signal auf "high" bis zum Ende des Intervalls t2 gehalten und wechselt dann mit Beginn des Intervalls t3 auf "low". Es wechselt erneut auf "high", wenn das CSBpad-Signal abgeschaltet wird. Ist das CSBpad-Signal abgeschaltet, wechselt die Y-Adresse und erscheint das Signal Y-ATD, so wird im Schreibmodus eine logische "0" in die relevante Zelle eingeschrieben, und zwar in den Intervallen, in denen sowohl S1 und S2 auf "high" liegen. Die Einschreibung der logischen "0" erfolgt also vom Intervall t2 bis zum Intervall t3. Dagegen wird eine logische "1" in die Zelle eingeschrieben, wenn nur eines der Signale S1 und S2 auf "high" liegt, also hier vom Beginn des Inter­ valls t4 bis zum Ende des Intervalls t5.The operation of the global control pulse generator according to the present invention depends on the cell array system, on the X, Z address switching or on the Y address switching. The operation of the global control pulse generator of the first embodiment will be described below with reference to FIG. 13. Here, a cell array system according to FIG. 8 is used, the Y address being switched over. Since the chip is switched on (enabled) when the chip activation signal CSBpad is pulled externally to "low", the chip is brought into the switched-on state when the CSBpad signal changes from "high" to "low". A switch-off interval to "high" is therefore always required in order to carry out a new read or write operation. Referring to FIG. 13 reaches a complete cycle of operation from time t1 to time t15. First of all, it is assumed that the CSBpad signal is activated, that is to say changes to "low", specifically from the start point of the t1 interval to the end point of the t14 interval. The CSBpad signal is deactivated by changing to "high", namely at the starting point of the t15 interval. It is assumed that there is no transition in the X and Z addresses and that the Y address changes at the start point of interval t7 and at the start point of interval t11, respectively, while the CSBpad signal is in the on state. A Y-ATD detects a change in a Y address and generates a high pulse in the intervals t7 and t8 on the one hand and in the intervals t11 and t12 on the other hand. S1 and S2 are pulses for use in forming the base waveforms for word lines SWL1 and SWL2 of a SWL cell. First, the CSBpad signal changes from "high" to "low" at the beginning of the interval t1 in order to activate the chip. The X, Y and Z addresses are kept in the state they were in before t1. The Y-ATD signal changes to "high" from the interval t7 to the interval t8 when the Y address changes at the start time of the interval t7. If the Y address changes again at the start time of the interval t11, the Y-ATD signal changes again to "high" from the start time of the interval t11 to the end of the interval t12. The signal S1 goes to "low" in the interval t1, to "high" from the interval t2 up to and including the interval t3, to "low" in the interval t4, to "high" in the interval t5 and to "low" from the beginning of the interval t6 hold until the beginning of the interval t15, and beyond. In contrast, the signal S2 is kept "high", specifically from the beginning of the interval t2 to the end of the interval t4. Otherwise it remains at "low". The signal C1, which is a basic signal for controlling the signal flow between a main cell bit line and an input / output terminal on the sense amplifier, is only kept "low" from the beginning of the interval t3 to the end of this interval t3 and is otherwise on "high". This signal interrupts the signal flow between the main cell bit line and the input / output terminal of the sense amplifier only in the interval t3. The signal C2 is a base signal for controlling a signal flow between a reference cell bit line and the other input / output terminal of the sense amplifier and supplies a pulse which is kept "low" from the interval t3 to the interval t14 inclusive, to the signal flow between one Interrupt reference cell bit line and the other input / output terminal of the sense amplifier, from the beginning of the interval t3 to the end of the interval t14. The signal C4 controls a signal transmission between a main cell bit line and an external data bus and also controls a pull-up process of a reference cell bit line. It is held at "high" from interval t4 to interval t14 and changes back to "low" at a time at which the CSBpad signal is disabled or switched off (end time of interval t14) in order to control signal transmission between to enable a main cell bit line and the external data bus and control of the pull-up process on a reference cell bit line, and only from the beginning of the interval t4 to the end of the interval t14. The signal P2 is kept "high", namely from the beginning of the interval t2 to the end of the interval t5, in which time the signals S1 and S2 are also kept "high" to counter the signals S1 and S2 To protect external influences, with the signal P2 changing to "low" at the beginning of the interval t6. The signal C3 is used for precharging the main cell bit line and the reference cell bit line to a low voltage before switching on the signals S1 and S2 and for this purpose is kept "high" until the end of the interval t1. Then the signal C3 changes to "low" at the beginning of the interval t2 and is kept at "low" until the end of the interval t14 in order to switch off the precharging. At the beginning of the interval t15, the signal C3 changes back to "high", that is, when the CSBpad signal is switched off. The signal SAN (a prior signal for generating a SAN_C signal, which is a signal for controlling NMOS transistors for operating the sense amplifier in the sense amplifier and input / output control) is initially kept at "low" and changed to "high" at the beginning of the interval t3 and again to "low" when the CSBpad signal is switched off. The SAP signal (a preliminary signal for generating a SAP_P signal that controls PMOS transistors for operating the sense amplifier in the sense amplifier and input / output control) behaves in the opposite way to the SAN signal. The SAP signal is kept "high" until the end of the interval t2 and then changes to "low" at the beginning of the interval t3. It changes to "high" again when the CSBpad signal is switched off. If the CSBpad signal is switched off, the Y address changes and the signal Y-ATD appears, a logical "0" is written into the relevant cell in write mode, in the intervals in which both S1 and S2 are at "high"" lie. Logical "0" is written from interval t2 to interval t3. In contrast, a logical "1" is written into the cell if only one of the signals S1 and S2 is at "high", ie here from the beginning of the interval t4 to the end of the interval t5.

Nachfolgend wird der Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators nach dem zwei­ ten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 14 beschrieben. Hier kommt ein Zellenarraysystem gemäß Fig. 8 zum Einsatz, wobei die X,Z-Adressen umgeschaltet werden. Ein vollständiger Betriebszyklus ist in Intervalle t1 bis t21 unterteilt, wobei beide Adressen X, Z zu Beginn der In­ tervalle t7 und t14 wechseln. Da der Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators für den Fall der X,Z-Adressenumschaltung ähnlich zum Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators für den Fall der Y-Adressenumschaltung ist, werden nur Vorgänge beschrieben, die sich gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel un­ terscheiden. Während das Signal Y-ATD gemäß Fig. 13 bei einem Y-Adressen­ wechsel auf "high" umschaltet, sei angenommen, daß beim zweiten Ausführungs­ beispiel der Erfindung die X,Z-Adressen zu Beginn der Intervalle t7 und t14 wech­ seln. Die X,Z-ATD-Signale werden somit in den Intervallen t7 und t14 auf "high" gehalten und befinden sich ansonsten in sämtlichen anderen Intervallen auf "low". Wechseln die X,Z-Adressen, so verbindet der globale Steuerpulsgenerator die X,Z-ATD-Signale mit dem CSBpad-Signal. Liegen mit anderen Worten die X,Z- ATD-Signale auf "high" (t7 und t14), so stellt der globale Steuerpulsgenerator fest, daß das CSBpad-Signal wieder im Intervall eingeschaltet ist. Der globale Steuer­ pulsgenerator liefert somit erneut alle Signale, um einen normalen Zugriff auf die X,Z-Adressen zu ermöglichen. Beide Signale S1 und S2 starten nach einem vorbe­ stimmten Intervall (t1), nachdem das Signal CSBpad auf "low" gewechselt hat und, starten nach einem vorbestimmten Intervall (t8 und t15), nachdem die Signale X,Z-ATD auf "low" gewechselt haben. Das bedeutet, daß das Signal S1 auf "high" gehalten wird, und zwar in den Intervallen t2-t3, im Intervall t5, in den In­ tervallen t9-t10, im Intervall t12, in den Intervallen t16-t17 und im Intervall t19. Dagegen wird das Signal S1 auf "low" gehalten im Rest der Intervalle. Das Signal S2 wird auf "high" gehalten in den Intervallen t2-t4, in den Intervallen t9-t11 und in den Intervallen t16-t18. Ansonsten verbleibt es auf "low". Das Signal C1 wechselt und wird auf "low" gehalten jeweils in den Intervallen t3, t10 und t17, in welchen sowohl das Signal S1 als auch das Signal S2 auf "high" liegen (t1-t3, t9- t10 und t16-t17), und wechselt danach wieder auf "high". Das Signal C2 wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal C1 auf "low" wechselt, und geht von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, wenn das X,Z-ATD-Signal auf "high" wechselt. Das Signal C4 wechselt von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal C1 auf "high" wechselt, und wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal X,Z-ATD auf "high" wechselt. Das Signal P2 wech­ selt von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem beide Signale S1 und S2 auf "high" wechseln, und wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem der jeweils zweite Puls von S1 auf "low" wechselt. Das Signal C3 wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem beide Signale S1 und S2 auf "high" wechseln, und wechselt von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal X,Z-ATD auf "high" wechselt. Die Signale SAN und SAP verlaufen entgegengesetzt zueinan­ der, wobei das Signal SAN von "low" auf "high" wechselt zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal C1 auf "low" wechselt, und wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeit­ punkt, zu dem das Signal X,Z-ATD auf "high" wechselt. Das bedeutet, daß eine lo­ gische "0" in eine relevante Zelle dann eingeschrieben wird, wenn beide Signale S1 und S2 "high" sind, also in den Intervallen von t1-t3, t9-t10 und t16-t17. Dage­ gen wird eine logische "1" in eine relevante Zelle in Intervallen eingeschrieben, in denen nur eines der Signale S1 und S2 auf "high" liegt, also in den Intervallen t4- t5, t11-t12 und t18-t19.The operation of the global control pulse generator according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 14. A cell array system according to FIG. 8 is used here, the X, Z addresses being switched over. A complete operating cycle is divided into intervals t1 to t21, with both addresses X, Z changing at the beginning of intervals t7 and t14. Since the operation of the global control pulse generator in the case of the X, Z address switchover is similar to the operation of the global control pulse generator in the case of the Y address switchover, only processes which differ from the first exemplary embodiment are described. Alternately while the Y-ATD signal of FIG. 13 at a Y address switches to "high", it is assumed that during the second execution of the invention, X, Z, for example addresses at the beginning of the intervals t7 and t14 clauses wech. The X, Z-ATD signals are thus kept "high" in the intervals t7 and t14 and are otherwise "low" in all other intervals. If the X, Z addresses change, the global control pulse generator connects the X, Z ATD signals with the CSBpad signal. In other words, if the X, Z ATD signals are high (t7 and t14), the global control pulse generator determines that the CSBpad signal is switched on again in the interval. The global control pulse generator thus again delivers all signals to enable normal access to the X, Z addresses. Both signals S1 and S2 start after a predetermined interval (t1) after the signal CSBpad has changed to "low" and start after a predetermined interval (t8 and t15) after the signals X, Z-ATD at "low" have changed. This means that the signal S1 is kept "high", namely in the intervals t2-t3, in the interval t5, in the intervals t9-t10, in the interval t12, in the intervals t16-t17 and in the interval t19. In contrast, the signal S1 is kept "low" in the rest of the intervals. The signal S2 is kept "high" in the intervals t2-t4, in the intervals t9-t11 and in the intervals t16-t18. Otherwise it remains at "low". The signal C1 changes and is kept "low" in the intervals t3, t10 and t17, in which both the signal S1 and the signal S2 are "high" (t1-t3, t9-t10 and t16-t17) , and then changes back to "high". The signal C2 changes from "high" to "low" at the time when the signal C1 changes to "low" and goes from "low" to "high" at the time when the X, Z-ATD signal changes to "high". The signal C4 changes from "low" to "high" at the time when the signal C1 changes to "high" and changes from "high" to "low" at the time when the signal X, Z-ATD changes to "high". The signal P2 changes from "low" to "high" at the point in time at which both signals S1 and S2 change to "high", and changes from "high" to "low" at the point in time at which the second pulse occurs changes from S1 to "low". The signal C3 changes from "high" to "low" at the time at which both signals S1 and S2 change to "high", and changes from "low" to "high" at the time at which the signal X, Z -ATD changes to "high". The signals SAN and SAP run opposite to each other, the signal SAN changing from "low" to "high" at the time the signal C1 changes to "low" and changing from "high" to "low" to that Time at which the signal X, Z-ATD changes to "high". This means that a logical "0" is written into a relevant cell when both signals S1 and S2 are "high", ie in the intervals of t1-t3, t9-t10 and t16-t17. In contrast, a logical "1" is written into a relevant cell at intervals in which only one of the signals S1 and S2 is at "high", that is to say in the intervals t4-t5, t11-t12 and t18-t19.

Nachfolgend wird der Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators für den Fall be­ schrieben, daß ein Zellenarray gemäß Fig. 9 aufgebaut ist und eine Y-Adresse um­ geschaltet wird. Die Beschreibung erfolgt unter Bezugnahme auf die Fig. 15. Ein kompletter Operationszyklus ist wiederum in Intervalle t1 bis t15 unterteilt. Das Zellenarray nach Fig. 9 erfordert keine C1- und C2-Signale, da das Zellenarraysy­ stem Bitleitungen und Zusatz-Bitleitungen aufweist, jedoch keine Referenzzel­ len. Es sei angenommen, daß das CSBpad-Signal vom Beginn des Intervalls t1 bis zum Ende des Intervalls t14 auf "low" liegt, wenn es eingeschaltet ist, und sonst auf "high", wenn es abgeschaltet ist. Während das CSBpad-Signal eingeschaltet ist, werden die X,Z-Adressen nicht verändert, während die Y-Adresse zu Beginn der Intervalle t7 und t11 umgeschaltet wird. Bei Detektierung einer Y-Adressen­ umschaltung wird das Y-ATD-Signal ausgegeben und auf "high" gelegt, und zwar vom Beginn des Intervalls t7 bis zum Ende des Intervalls t8 sowie vom Beginn des Intervalls t11 bis zum Ende des Intervalls t12. Die Signale S1 und S2 sind Signale zur Bildung der Basiswellenformen für die SWL1 und die SWL2 Teil-Wortleitun­ gen der SWL-Speicherzelle. Das Signal S1 bildet einen Puls und liegt auf "high" in den Intervallen t2-t3 sowie im Intervall t5, während das Signal S2 ebenfalls einen Puls bildet und auf "high" liegt in den Intervallen t2-t4. Ansonsten liegen die Signale S1 und S2 auf "low". Das Signal C4 ist ein Signal zur Steuerung einer Signalübertragung zwischen einer Hauptzellen-Bitleitung und einem externen Datenbus sowie zur Steuerung eines Hochziehbetriebs für die Hauptzellen-Bitlei­ tung und die Zusatz-Bitleitung. Dabei wechselt das Signal C4 von "low" auf "high" zu Beginn des Intervalls t4, und wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem das CSBpad-Signal abgeschaltet wird (zu Beginn des Intervalls t15). Da­ durch wird eine Signalübertragung zwischen einer Hauptzellen-Bitleitung und ei­ ner Datenleitung möglich. Das Signal P2 wird in den Intervallen t2-t5 auf "high" gehalten, in denen beide Signale S1 und S2 die normalen Pulse (auf "high") bilden. Das Signal P2 verriegelt die Signale S1 und S2 um zu verhindern, daß sie durch andere Signale gestört werden. Wird also P2 in den Intervallen t2 bis t5 auf "high" gehalten, in denen die Signale S1 und S2 normale Pulse bilden, so schützt P2 die Signale S1 und S2 gegen Störungen durch äußere Signale in diesen Intervallen. C3 ist ein Signal zum Abschalten der Voraufladung in den Intervallen t2-t4 und zum Einschalten der Voraufladung in den verbleibenden Intervallen. C3 wird so­ mit auf "high" gehalten, und zwar bis zum Ende des Intervalls t1, und wechselt dann zu Beginn des Intervalls t2 auf "low". Es wechselt wieder von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem das CSBpad-Signal abgeschaltet wird. Das Signal SAN, das ein vorläufiges Signal zur Erzeugung eines SAN_C-Signals ist, welches zur Steuerung von NMOS-Transistoren zum Betrieb des Leseverstärkers in der Lese­ verstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung dient, wird auf "low" gehalten, und zwar bis zum Ende des Intervalls t2, und steigt auf "high" an zu Beginn des Inter­ valls t3. Es wechselt wieder auf "low", wenn das CSBpad-Signal abgeschaltet wird. Das SAP-Signal, das ein vorläufiges Signal zur Erzeugung eines SAP_P-Signals ist, welches zur Steuerung von PMOS-Transistoren zum Betrieb des Leseverstär­ kers in der Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung dient, verhält sich entgegengesetzt zum SAN-Signal. Mit anderen Worten wird das SAP-Signal auf "high" gehalten bis zum Ende des Intervalls t2 und wechselt dann mit Beginn des Intervalls t3 auf "low". Es wechselt wieder auf "high", wenn das CSBpad-Signal abgeschaltet wird. Mit anderen Worten wird jetzt eine logische "0" in eine relevan­ te Zelle eingeschrieben, und zwar in Intervallen, in denen sowohl das Signal S1 als auch das Signal S2 auf "high" liegen, also in den Intervallen t2-t3. Dagegen wird eine logische "1" in eine relevante Zelle eingeschrieben, und zwar in Intervallen, in denen nur eines der Signale S1 und S2 auf "high" liegt, also in den Intervallen t4- t5.The operation of the global control pulse generator will be described in the event that a cell array as shown in FIG. 9 is constructed and a Y address is switched. The description is given with reference to FIG. 15. A complete operating cycle is again subdivided into intervals t1 to t15. The cell array of FIG. 9 does not require the C1 and C2 signals because the stem Zellenarraysy bit lines and bit lines having additional, but not Referenzzel len. It is assumed that the CSBpad signal is from the beginning of the interval t1 to the end of the interval t14 at "low" when it is switched on and otherwise at "high" when it is switched off. While the CSBpad signal is on, the X, Z addresses are not changed, while the Y address is switched at the beginning of the intervals t7 and t11. When a Y address changeover is detected, the Y-ATD signal is output and set to "high", specifically from the beginning of the interval t7 to the end of the interval t8 and from the beginning of the interval t11 to the end of the interval t12. The signals S1 and S2 are signals for forming the basic waveforms for the SWL1 and the SWL2 partial word lines of the SWL memory cell. The signal S1 forms a pulse and is "high" in the intervals t2-t3 and in the interval t5, while the signal S2 also forms a pulse and is "high" in the intervals t2-t4. Otherwise the signals S1 and S2 are "low". The signal C4 is a signal for controlling a signal transmission between a main cell bit line and an external data bus and for controlling a pull-up operation for the main cell bit line and the additional bit line. The signal C4 changes from "low" to "high" at the beginning of the interval t4, and changes from "high" to "low" at the point in time at which the CSBpad signal is switched off (at the beginning of the interval t15). Since a signal transmission between a main cell bit line and egg ner data line is possible. The signal P2 is kept "high" in the intervals t2-t5, in which both signals S1 and S2 form the normal pulses (on "high"). Signal P2 latches signals S1 and S2 to prevent other signals from interfering with them. Thus, if P2 is held high in the intervals t2 to t5 in which the signals S1 and S2 form normal pulses, P2 protects the signals S1 and S2 against interference from external signals in these intervals. C3 is a signal to turn off precharge in intervals t2-t4 and turn on precharge in the remaining intervals. C3 is thus kept at "high" until the end of the interval t1, and then changes to "low" at the beginning of the interval t2. It changes from "low" to "high" again at the time when the CSBpad signal is switched off. The signal SAN, which is a preliminary signal for generating a SAN_C signal, which is used to control NMOS transistors for operating the sense amplifier in the sense amplifier and input / output control, is kept at "low", namely until at the end of the interval t2, and rises to "high" at the beginning of the interval t3. It changes back to "low" when the CSBpad signal is switched off. The SAP signal, which is a preliminary signal for generating a SAP_P signal, which is used to control PMOS transistors for operating the sense amplifier in the sense amplifier and input / output control, behaves in the opposite way to the SAN signal. In other words, the SAP signal is kept "high" until the end of the interval t2 and then changes to "low" at the beginning of the interval t3. It changes back to "high" when the CSBpad signal is switched off. In other words, a logical "0" is now written into a relevant cell, in intervals in which both the signal S1 and the signal S2 are "high", ie in the intervals t2-t3. On the other hand, a logical "1" is written into a relevant cell, in intervals in which only one of the signals S1 and S2 is "high", that is in the intervals t4-t5.

Nachfolgend wird der Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators für den Fall be­ schrieben, daß ein Zellenarraysystem nach Fig. 9 zum Einsatz kommt und die X,Z-Adressen umgeschaltet werden. Die Beschreibung erfolgt anhand der Fig. 16, die ein viertes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung betrifft. Da der Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators bei der Umschaltung der X,Z-Adres­ sen ähnlich ist zum Betrieb des globalen Steuerpulsgenerators bei der Umschal­ tung der Y-Adressen, werden nur Schritte beschrieben, die unterschiedlich sind.The operation of the global control pulse generator will be described in the event that a cell array system shown in FIG. 9 is used and the X, Z addresses are switched. The description is based on FIG. 16, which relates to a fourth exemplary embodiment of the present invention. Since the operation of the global control pulse generator when switching the X, Z addresses is similar to the operation of the global control pulse generator when switching the Y addresses, only steps that are different are described.

In Fig. 15 wechselte das Signal A-ATD auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem die Y- Adresse verändert wurde. Im vorliegenden Fall geht demgegenüber das Signal X,Z-ATD auf "high", wenn sich die X,Z-Adressen verändern. Der globale Steuer­ pulsgenerator verbindet die X,Z-ATD-Signale mit dem CSBpad-Signal im Falle des Übergangs der X,Z-Adressen. Liegen die X,Z-ATD-Signale auf "high" (t7 und t14), so detektiert der globale Steuerpulsgenerator, daß das CSBpad-Signal im In­ tervall erneut eingeschaltet worden ist. Demzufolge liefert der globale Steuerpuls­ generator alle Signale erneut, um einen normalen Zugriff auf die X,Z-Adressen zu ermöglichen. Sowohl das Signal S1 als auch das Signal S2 starten nach Ablauf ei­ nes vorbestimmten Intervalls (t1) nach dem Übergang des CSBpad-Signals auf "low" und nach dem Ablauf eines vorbestimmten Intervalls (t8 und t15) nach Übergang der X,Z-ATD-Signale auf "low". Das Signal C4 wechselt von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal S1 auf "low" wechselt und das Signal S2 auf "high" verbleibt, und wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem die X,Z-ATD-Signale auf "high" wechseln. Das Signal P2 wechselt von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem beide Signale S1 und S2 auf "high" wechseln, und wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeitpunkt, wenn beide Signale S1 und S2 auf "low" gefallen sind. Das Signal C3 wechselt von "high" auf "low" zu dem Zeit­ punkt, zu dem beide Signale S1 und S2 auf "high" wechseln, und wechselt von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem die X,Z-ATD-Signale auf "high" wech­ seln. Die Signale SAN und SAP wechseln nach einer vorbestimmten Verzögerung gegenüber dem Zeitpunkt, zu dem beide Signale S1 und S2 auf "high" gewechselt haben, und wechseln zu entgegengesetzten Zuständen zu dem Zeitpunkt, wenn die X,Z-ATD-Signale auf "high" wechseln. Mit anderen Worten wird eine logische "0" in eine relevante Zelle eingeschrieben, und zwar in Intervallen, in denen beide Signale S1 und S2 auf "high" liegen, also in den Intervallen t2-t3, t9-t10 und t16 -t17. Dagegen wird eine logische "1" in eine relevante Zelle in einem Intervall ein­ geschrieben, in welchem nur eines der Signale S1 und S2 auf "high" liegt, und zwar in den Intervallen t4-t5, t11-t12 und t18-t19.In Fig. 15, the signal A-ATD changed to "high" at the time when the Y address was changed. In the present case, on the other hand, the signal X, Z-ATD goes "high" when the X, Z addresses change. The global control pulse generator connects the X, Z-ATD signals with the CSBpad signal in the event of the transition of the X, Z addresses. If the X, Z-ATD signals are "high" (t7 and t14), the global control pulse generator detects that the CSBpad signal has been switched on again in the interval. As a result, the global control pulse generator delivers all signals again to enable normal access to the X, Z addresses. Both the signal S1 and the signal S2 start after the expiration of a predetermined interval (t1) after the transition of the CSBpad signal to "low" and after the expiration of a predetermined interval (t8 and t15) after the transition of the X, Z-ATD Signals at "low". The signal C4 changes from "low" to "high" at the time when the signal S1 changes to "low" and the signal S2 remains at "high", and changes from "high" to "low" at the time to which the X, Z-ATD signals change to "high". Signal P2 changes from "low" to "high" at the point in time at which both signals S1 and S2 change to "high" and changes from "high" to "low" at the point in time when both signals S1 and S2 go up fell low. The signal C3 changes from "high" to "low" at the point in time at which both signals S1 and S2 change to "high", and changes from "low" to "high" at the point in time at which the X, Z Change ATD signals to "high". The signals SAN and SAP change after a predetermined delay from the time at which both signals S1 and S2 have switched to "high" and change to opposite states at the time when the X, Z-ATD signals are at "high" switch. In other words, a logical "0" is written into a relevant cell, namely in intervals in which both signals S1 and S2 are "high", ie in the intervals t2-t3, t9-t10 and t16 -t17. In contrast, a logic "1" is written into a relevant cell in an interval in which only one of the signals S1 and S2 is "high", namely in the intervals t4-t5, t11-t12 and t18-t19.

Nachdem zuvor Aufbau und Wirkungsweise des globalen Steuerpulsgenerators beschrieben worden sind, sollen jetzt Aufbau und Wirkungsweise des lokalen Steuerpulsgenerators 20 beschrieben werden, der in Abhängigkeit von Signalen des globalen Steuerpulsgenerators arbeitet. Ferner sollen die Spaltensteuerung 24 und die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 näher beschrie­ ben werden sowie deren Arbeitsweise. Da System und Betriebsweise davon ab­ hängen, ob das Zellenarray des ferroelektrischen SWL-Speichers gemäß Fig. 8 oder Fig. 9 ausgebildet ist, erfolgt die Erläuterung jeweils separat. Having previously described the structure and mode of operation of the global control pulse generator, the structure and mode of operation of the local control pulse generator 20 , which operates as a function of signals from the global control pulse generator, will now be described. Furthermore, the column controller 24 and the sense amplifier and input / output controller 25 are described in more detail ben and their operation. Since the system and mode of operation depend on whether the cell array of the ferroelectric SWL memory is designed according to FIG. 8 or FIG. 9, the explanation is made separately in each case.

Die Fig. 17 zeigt ein Schaltungssystem des lokalen Steuerpulsgenerators in Über­ einstimmung mit dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gemäß Fig. 8. Die Fig. 18 zeigt ein Schaltungssystem der Spaltensteuerung in Übereinstimmung mit dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung gemäß Fig. 8. Die Fig. 19 zeigt ein Schaltungssystem eines ersten Ausfüh­ rungsbeispiels einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Über­ einstimmung mit der vorliegenden Erfindung gemäß Fig. 8. Die Fig. 20 zeigt ein Schaltungssystem eines zweiten Ausführungsbeispiels einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfin­ dung gemäß Fig. 8. Die Fig. 21 zeigt ein Schaltungssystem eines dritten Ausfüh­ rungsbeispiels einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Über­ einstimmung mit der vorliegenden Erfindung gemäß Fig. 8 und die Fig. 22 zeigt ein Schaltungssystem eines vierten Ausführungsbeispiels einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Er­ findung nach Fig. 8. Fig. 17 shows a circuit system of the local control pulse generator in accordance with the first embodiment of the present invention shown in Fig. 8. Fig. 18 shows a circuit system of column control in accordance with the first embodiment of the present invention shown in Fig. 8. Die Fig. 19 shows a circuit system of a first embodiment of a sense amplifier and input / output control in accordance with the present invention shown in Fig. 8. Fig. 20 shows a circuit system of a second embodiment of a sense amplifier and input / output control 8 in accordance with the present invention . FIG. 21 shows a circuit system of a third embodiment of a sense amplifier and input / output controller in accordance with the present invention shown in FIG. 8, and FIG. 22 shows one Circuit system of a fourth embodiment e iner sense amplifier and input / output control in accordance with the present invention of FIG. 8.

Die Signale S1, S2, P2, C1, C3, C4, SAN und SAP zum lokalen Steuerpulsgenera­ tor sind Signale vom globalen Steuerpulsgenerator. Darüber hinaus wird ein Adreßübergangs-Detektorsignal (Adreßumschaltungs-Detektorsignal) erzeugt, wenn eine Y-Adresse umgeschaltet wird. Als Adreßumschaltungs-Detektorsignal erscheint dann das auf hohem Pegel liegende Y-ATD-Signal (Pulssignal). Als Signal zum Einschreiben dient ein WEBpad-Signal, welches dann auf niedrigem logischem Pegel liegt und eingeschaltet ist, wenn eine Schreibbetriebsart (Schreibmodus) ausgeführt wird. Die Signale Z_Add1, Z_Add2, Z_Add3 und Z_Add4 sind Signale vom Z_Vordecodierer 14. Der lokale Steuerpulsgenerator der vorliegenden Erfindung gemäß Fig. 17 ist ein Beispiel zur Lieferung eines Signals zur Steuerung eines oberen Blocks in Fig. 8. In identischer Weise ist ein Betriebs­ steuerpuls für einen unteren Block vorgesehen. Der lokale Steuerpulsgenerator 20 enthält wenigstens einen ersten Steuerpulsgenerator 200 zur Erzeugung eines Signals, das zur Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 übertragen wird, einen zweiten Steuerpulsgenerator 201 zur Erzeugung eines Signals, das zur Spaltensteuerung 24 übertragen wird, sowie einen dritten Steuerpulsgenera­ tor 202 zur Erzeugung eines Signals, das zum SWL-Treiber 22 übertragen wird. Der erste Steuerpulsgenerator 200 enthält einen ersten logischen Operator 203 zum Empfang der Signale SAP, SAN, Z_Add3, Z_Add4 und eines dritten Steuer­ signals zur Steuerung eines oberen Blocks und eines unteren Blocks, und einen zweiten logischen Operator 204 zum Empfang erster und zweiter Steuersignale C1, C2, Z_Add1 und Z_Add2 für die Lieferung der Steuerpulse C1P_T, C1N_T, C2P_T, C2N_T und C3N_T.The signals S1, S2, P2, C1, C3, C4, SAN and SAP to the local control pulse generator are signals from the global control pulse generator. In addition, an address transition detection signal (address switching detection signal) is generated when a Y address is switched. The Y-ATD signal (pulse signal), which is at a high level, then appears as the address switching detector signal. A WEBpad signal serves as a write-in signal, which signal is then at a low logic level and is switched on when a write mode (write mode) is executed. The signals Z_Add1, Z_Add2, Z_Add3 and Z_Add4 are signals from the Z_ predecoder 14 . The local control pulse generator of the present invention shown in FIG. 17 is an example of providing a signal for controlling an upper block in FIG. 8. In an identical manner, an operation control pulse is provided for a lower block. The local control pulse generator 20 includes at least a first control pulse generator 200 for generating a signal that is transmitted to the sense amplifier and input / output controller 25 , a second control pulse generator 201 for generating a signal that is transmitted to the column controller 24 , and a third control pulse generator 202 for generating a signal that is transmitted to the SWL driver 22 . The first control pulse generator 200 contains a first logical operator 203 for receiving the signals SAP, SAN, Z_Add3, Z_Add4 and a third control signal for controlling an upper block and a lower block, and a second logical operator 204 for receiving first and second control signals C1, C2, Z_Add1 and Z_Add2 for the delivery of the control pulses C1P_T, C1N_T, C2P_T, C2N_T and C3N_T.

Im nachfolgenden wird der lokale Steuerpulsgenerator im einzelnen erläutert.The local control pulse generator is explained in detail below.

Der erste Logikoperator 203 des ersten Steuerpulsgenerators 200 enthält folgen­ des: ein erstes NAND-Gatter 203-1 zur logischen Verknüpfung von Signalen Z_Add3 und Z_Add4 zur Lieferung eines Signals zwecks Erzeugung von Steuer­ signalen, die zu einem Bodenblock zu liefern sind; ein zweites NAND-Gatter 203-2 zur logischen Verknüpfung eines Signals vom ersten NAND-Gatter 203-1 mit NAND-verknüpften Signalen Z_Add1 und Z_Add2; ein drittes NAND-Gatter 203-3 zur logischen Verknüpfung eines externen Signals SAP mit einem Signal vom zweiten NAND-Gatter 203-2; einen ersten Inverter 203-4 zur Invertierung des Signals vom dritten NAND-Gatter 203-2 zwecks Lieferung eines Signals SAP_C; ein viertes NAND-Gatter 203-5 zur logischen Verknüpfung eines SAN-Signals mit einem Signal vom zweiten NAND-Gatter 203-2; einen zweiten Inverter 203-6 zur Invertierung eines Signals vom vierten NAND-Gatter 203-5 zwecks Erzeugung ei­ nes Signals SAN_C; einen dritten Inverter 203-7 zur Invertierung des dritten Steuersignals C3; ein fünftes NAND-Gate 203-8 zur logischen Verknüpfung des Ausgangssignals des dritten Inverters 203-7 mit einem Signal vom zweiten NAND- Gate 203-2; einen vierten Inverter 203-9 zur Invertierung des Signals vom fünften NAND-Gate 203-8 zwecks Erzeugung eines Signals C3P_C; und einen fünften In­ verter 203-10 zur Invertierung des Signals vom vierten Inverter 203-9 zur Liefe­ rung eines Signals C3N_C.The first logic operator 203 of the first control pulse generator 200 contains the following: a first NAND gate 203-1 for the logic combination of signals Z_Add3 and Z_Add4 for the delivery of a signal for the purpose of generating control signals which are to be delivered to a floor block; a second NAND gate 203-2 for logically combining a signal from the first NAND gate 203-1 with NAND-linked signals Z_Add1 and Z_Add2; a third NAND gate 203-3 for logically combining an external signal SAP with a signal from the second NAND gate 203-2 ; a first inverter 203-4 for inverting the signal from the third NAND gate 203-2 to provide a signal SAP_C; a fourth NAND gate 203-5 for logically combining a SAN signal with a signal from the second NAND gate 203-2 ; a second inverter 203-6 for inverting a signal from the fourth NAND gate 203-5 to generate a signal SAN_C; a third inverter 203-7 for inverting the third control signal C3; a fifth NAND gate 203-8 for logically combining the output signal of the third inverter 203-7 with a signal from the second NAND gate 203-2 ; a fourth inverter 203-9 for inverting the signal from the fifth NAND gate 203-8 to generate a signal C3P_C; and a fifth inverter 203-10 for inverting the signal from the fourth inverter 203-9 for supplying a signal C3N_C.

Der zweite Logikoperator 204 im ersten Steuerpulsgenerator 200 enthält folgen­ des: ein erstes NAND-Gate 204-1 zur logischen Verknüpfung von Signalen Z_Add1 und Z_Add2 zur Ausgabe eines Signals zwecks Erzeugung von Steuersignalen für den oberen Block; einen ersten Inverter 204-2 zur Invertierung des Signals vom ersten NAND-Gate 204-1; ein zweites NAND-Gate 204-3 zur logischen Verknüp­ fung eines Signals vom ersten Inverter 204-2 mit einem ersten Steuersignal C1 zwecks Durchführung einer NAND-Operation; zweite und dritte Inverter 204-4 und 204-5 zur Verstärkung eines Signals vom zweiten NAND-Gate 204-3 in ein C1P_T-Signal; einen vierten Inverter 204-6 zur Invertierung eines Signals vom zweiten NAND-Gate 204-3 zwecks Lieferung eines Signals C1N_T; ein drittes NAND-Gate 204-7 zur logischen NAND-Verknüpfung eines Signals vom ersten In­ verter 204-2 mit einem zweiten Steuersignal C2; fünfte und sechste Inverter 204-8 und 204-9 zur Verstärkung eines Signals vom dritten NAND-Gate 204-7 in ein C2P_T-Signal; einen siebten Inverter 204-10 zur Invertierung eines Signals vom dritten NAND-Gate 204-7 in ein Signal C2N_T; ein viertes NAND-Gate 204-11 zur logischen NAND-Verknüpfung eines Signals vom ersten Inverter 204-2 mit ei­ nem dritten Steuersignal C3; und neunte und zehnte Inverter 204-12 und 204-13 zur Verstärkung eines Signals vom vierten NAND-Gate 204-11 in ein C3N_T- Signal.The second logic operator 204 in the first control pulse generator 200 contains the following: a first NAND gate 204-1 for the logic combination of signals Z_Add1 and Z_Add2 for outputting a signal to generate control signals for the upper block; a first inverter 204-2 for inverting the signal from the first NAND gate 204-1 ; a second NAND gate 204-3 for logically combining a signal from the first inverter 204-2 with a first control signal C1 to perform a NAND operation; second and third inverters 204-4 and 204-5 for amplifying a signal from the second NAND gate 204-3 into a C1P_T signal; a fourth inverter 204-6 for inverting a signal from the second NAND gate 204-3 to provide a signal C1N_T; a third NAND gate 204-7 for logically NANDing a signal from the first inverter 204-2 with a second control signal C2; fifth and sixth inverters 204-8 and 204-9 for amplifying a signal from the third NAND gate 204-7 into a C2P_T signal; a seventh inverter 204-10 for inverting a signal from the third NAND gate 204-7 into a signal C2N_T; a fourth NAND gate 204-11 for logically NANDing a signal from the first inverter 204-2 with a third control signal C3; and ninth and tenth inverters 204-12 and 204-13 for amplifying a signal from the fourth NAND gate 204-11 into a C3N_T signal.

Ferner enthält der zweite Steuerpulsgenerator 201 folgendes: einen ersten Inver­ ter 201-1 zur Invertierung eines WEBpad-Signals; einen zweiten Inverter 201-2 zur Invertierung eines Signals vom ersten Inverter 201-1; einen dritten Inverter 201-3 zur Invertierung eines vierten Steuersignals C4; ein NAND-Gate 201-4 zur logischen NAND-Verknüpfung von Signalen vom zweiten und dritten Inverter 201-2 und 201-3; einen vierten Inverter 201-5 zur Invertierung eines Signals vom NAND-Gate 201-4; ein NOR-Gatter 201-6 zur logischen NOR-Verknüpfung eines dritten Steuersignals C3, eines Signals vom vierten Inverter 201-5 und eines Signals vom ersten NAND-Gate 204-1, wobei sich letzteres im zweiten Logikopera­ tor des ersten Steuerpulsgenerators 200 befindet; einen fünften Inverter 201-7 zur Invertierung eines Signals vom NOR-Gatter 201-6 in ein C4P_T-Signal; und ei­ nen sechsten Inverter 201-8 zur Invertierung eines Signals vom fünften Inverter 201-7 in ein C4N_T-Signal.Furthermore, the second control pulse generator 201 contains the following: a first inverter 201-1 for inverting a WEBpad signal; a second inverter 201-2 for inverting a signal from the first inverter 201-1 ; a third inverter 201-3 for inverting a fourth control signal C4; a NAND gate 201-4 for logically NANDing signals from the second and third inverters 201-2 and 201-3 ; a fourth inverter 201-5 for inverting a signal from the NAND gate 201-4 ; a NOR gate 201-6 for the logical NOR combination of a third control signal C3, a signal from the fourth inverter 201-5 and a signal from the first NAND gate 204-1 , the latter being located in the second logic operator of the first control pulse generator 200 ; a fifth inverter 201-7 for inverting a signal from NOR gate 201-6 into a C4P_T signal; and a sixth inverter 201-8 for inverting a signal from the fifth inverter 201-7 into a C4N_T signal.

Der dritte Steuerpulsgenerator 202 enthält folgendes: einen ersten Inverter 202-1 zur Invertierung eines P2-Signals; ein erstes NAND-Gate 202-2 zur logischen NAND-Verknüpfung eines Y_ATD-Signals, eines Signals vom ersten Inverter 202-1, eines vierten Steuersignals C4 und des invertierten WEBpad-Signals; ei­ nen zweiten Inverter 202-3 zur Invertierung eines Signals vom ersten NAND-Gate 202-2, dritte, vierte, fünfte und sechste Inverter 202-4, 202-5, 202-6 und 202-7 zur Verzögerung eines Signals vom zweiten Inverter 202-3; ein erstes NOR-Gate 202-8 zur NOR-Verknüpfung eines S1-Signals mit einem Signal vom zweiten In­ verter 202-3; ein zweites NOR-Gatter 202-9 zur NOR-Verknüpfung eines Signals vom ersten NOR-Gatter 202-8 mit einem Signal vom ersten NAND-Gatter 204-1, welches sich im zweiten Logikoperator 204 befindet; einen siebten Inverter 202-10 zur Invertierung eines Signals vom zweiten NOR-Gatter 202-9 in ein PS1_T-Signal; ein drittes NOR-Gatter 202-11 zur NOR-Verknüpfung eines zwei­ ten Steuersignals S2 mit einem Signal vom sechsten Inverter 202-7; ein viertes NOR-Gatter 202-12 zur logischen NOR-Verknüpfung eines Signals vom dritten NOR-Gatter 202-11 mit einem Signal vom ersten NAND-Gate 204-1 im zweiten Lo­ gikoperator 204; und einen siebten Inverter 202-13 zur Invertierung eines Signals vom vierten NOR-Gatter 202-12 in ein PS2_T-Signal.The third control pulse generator 202 includes: a first inverter 202-1 for inverting a P2 signal; a first NAND gate 202-2 for logically NANDing a Y_ATD signal, a signal from the first inverter 202-1 , a fourth control signal C4 and the inverted WEBpad signal; a second inverter 202-3 for inverting a signal from the first NAND gate 202-2 , third, fourth, fifth and sixth inverters 202-4 , 202-5 , 202-6 and 202-7 for delaying a signal from the second inverter 202-3 ; a first NOR gate 202-8 for NOR operation of an S1 signal with a signal from the second inverter 202-3 ; a second NOR gate 202-9 for NOR-linking a signal from the first NOR gate 202-8 with a signal from the first NAND gate 204-1 , which is located in the second logic operator 204 ; a seventh inverter 202-10 for inverting a signal from the second NOR gate 202-9 into a PS1_T signal; a third NOR gate 202-11 for NOR operation of a second control signal S2 with a signal from the sixth inverter 202-7 ; a fourth NOR gate 202-12 for the logical NOR combination of a signal from the third NOR gate 202-11 with a signal from the first NAND gate 204-1 in the second logic operator 204 ; and a seventh inverter 202-13 for inverting a signal from the fourth NOR gate 202-12 into a PS2_T signal.

Beim zuvor erwähnten lokalen Steuerpulsgenerator der vorliegenden Erfindung ist der erste Logikoperator 203 im ersten Steuerpulsgenerator 200 ein Block, in welchem ein Steuerpuls zur Verwendung für den oberen Block und den unteren Block gemeinsam erzeugt wird, während der zweite Logikoperator 204 im ersten Steuerpulsgenerator 200 und der zweite sowie der dritte Steuerpulsgenerator 201 und 202 Blöcke sind, die einen Puls zur Steuerung des oberen Blocks erzeugen.In the aforementioned local control pulse generator of the present invention, the first logic operator 203 in the first control pulse generator 200 is a block in which a control pulse for use for the upper block and the lower block is generated together, while the second logic operator 204 in the first control pulse generator 200 and the second and the third control pulse generator 201 and 202 are blocks that generate a pulse for controlling the upper block.

Nachfolgend wird die Erzeugung der Steuerpulse im lokalen Steuerpulsgenerator nach der vorliegenden Erfindung näher erläutert.The generation of the control pulses in the local control pulse generator follows explained in more detail according to the present invention.

Zunächst wird der Schreibmodus beschrieben. Ist das WEBpad-Signal "low", so passiert ein auf "low" liegendes Signal den ersten Inverter 201-1 und den zweiten Inverter 201-2 im zweiten Steuerpulsgenerator 201, was dazu führt, daß das erste NAND-Gatter 201-4 abgeschaltet wird. Das erste NAND-Gatter 201-4 liefert somit an seinem Ausgang ein Signal auf dem Pegel "high", was zur Einschaltung des NOR-Operators 201-6 führt. Ist der NOR-Operator 201-6 aktiviert bzw. einge­ schaltet, so erzeugt das dritte Steuersignal C3 ein C4P_T-Signal über den fünften Inverter 201-7 und ebenso ein C4N_T-Signal über den sechsten Inverter 201-8. Das dritte Steuersignal C3 erzeugt einen Zustand, bevor die Teil-Wortleitungen SWL1 und SWL2 enabled bzw. aktiviert werden, also einen Zustand, in welchem alle Spaltenselektionssignale deaktiviert sind, und zwar in einem Vorladeinter­ vall einer Speicherzellen-Bitleitung und einer Referenzzellen-Bitleitung. Das de­ aktivierte Spaltenselektionssignal blockiert einen Signalfluß zwischen einem Da­ tenbus und einer Bitleitung und verhindert eine Kollision von Daten auf einer Bit­ leitung mit Daten auf einem Eingabe/Ausgabe-Datenbus beim Voraufladen der Bitleitung im Schreibmodus. Ist das WEBpad-Signal auf "low" im Schreibmodus, so ist ein Signal vom ersten Inverter 201-1 im zweiten Steuerpulsgenerator 201 auf "high", was zur Aktivierung des NAND-Gatters 202-2 im dritten Steuerpulsge­ nerator 202 führt. Demzufolge ist das NAND-Gatter 202-2 im dritten Steuerpulsgenerator 202 unter Steuerung des Signals Y-ATD, des Signals P2 und des Signals C4. Arbeiten also die Signale S1 und S2 unter regulären Bedingungen, wenn das Signal P2 auf "high" ist, so wird das NAND-Gatter 202-2 im dritten Steuerpulsge­ nerator 202 deaktiviert, und zwar zur Sicherung des Betriebs der Signale S1 und S2 im Falle der regulären Bedingungen. Wechselt das Signal P2 auf "low" nach Be­ endigung der regulären Arbeitsbedingungen der Signale S1 und S2, so wechselt ein Ausgang des ersten Inverters 202-1 im dritten Steuerpulsgenerator 202 auf "high", was zur Aktivierung des NAND-Gatters 202-2 im dritten Steuerpulsgene­ rator 202 führt. Unter dieser Bedingung arbeitet das NAND-Gatter 202 im dritten Steuerpulsgenerator 202 abhängig vom Zustand des Signals Y-ATD oder des Signals C4. Wechselt in diesem Fall ein Ausgang des ersten Inverters 202-1 im zweiten Steuerpulsgenerator 201 auf "high", und liegt das Signal C4 ebenfalls auf "high", so wird das NAND-Gate 202-2 im dritten Steuerpulsgenerator 202 akti­ viert, so daß das Y-ATD-Signal zum SWL-Treiberblock 70 geliefert wird. Im einzel­ nen aktivieren die Signale S1 und S2 das erste und das dritte NOR-Gatter 202-8 und 202-11 im dritten Steuerpulsgenerator 202 in einem Intervall, in welchem sich die Y-Adresse ändert. Dadurch gelangt das Y-ATD-Signal über das NAND-Ga­ te 202-2 und den zweiten Inverter 202-3 im dritten Steuerpulsgenerator 202 zum NOR-Gatter 202-8 im dritten Steuerpulsgenerator 202, während das Ausgangs­ signal des zweiten Inverters 202-3 über den dritten, vierten, fünften und sechsten Inverter 202-4, 202-5, 202-6 und 202-7 verzögert wird und schließlich zum drit­ ten NOR-Gatter 202-11 gelangt. Das Y-ATD-Signal passiert das erste und das zweite NOR-Gatter 202-8 und 202-9 sowie den siebten Inverter 202-10 im dritten Steuerpulsgenerator 202, an dessen Ausgang schließlich ein invertiertes und auf "low" liegendes PS1_T-Signal erhalten wird. Das verzögerte Y-ATD-Signal am Aus­ gang des Inverters 202-7 passiert das dritte und das vierte NOR-Gatter 202-11 und 202-12 sowie den siebten Inverter 202-13 im dritten Steuerpulsgenerator 202, an dessen Ausgang schließlich ein invertiertes und auf "low" liegendes PS2_T-Signal anliegt. Demzufolge weist sowohl das PS1_T-Signal als auch das PS2_T-Signal eine Phase auf, die gegenüber dem Y-ATD-Signal invertiert ist. Die Überlappungszeitperiode des PS1_T-Signals mit dem PS2_T-Signal im Zustand "low" kann dadurch eingestellt werden, daß die Größen des dritten, vierten, fünf­ ten und sechsten Inverters 202-4, 202-5, 202-6 und 202-7, die ein Signal vom zweiten Inverter 202-3 im dritten Steuerpulsgenerator 202 verzögern, entspre­ chend gewählt werden. Im Lesemodus ist das NAND-Gatter 201-4 im zweiten Steuerpulsgenerator 201 aktiviert, um das Signal C4 in das Signal C4P_T zu konvertieren, und zwar über den dritten Inverter 201-3, da 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002019923979 00004 99880s NAND-Gatter 201-4, den vierten Inverter 201-5, das NOR-Gatter 201-6 und den fünften Inverter 201-7 im zweiten Steuerpulsgenerator 201. Dabei wird auch ein Signal vom fünften Inver­ ter 201-7 in das C4N_T-Signal umgewandelt, und zwar über den sechsten Inverter 201-8. Die Signale C4P_T und C4N_T liefern Signale, die durch den Leseverstär­ ker verstärkt werden und schließlich zum Datenbus gelangen. Im vorliegenden Lesemodus deaktiviert ein auf "low" liegendes Signal vom ersten Inverter 201-1 im zweiten Steuerpulsgenerator 201 das NAND-Gatter 202-2 im dritten Steuerpuls­ generator 202 und blockiert somit die Übersendung des Signals Y-ATD, des Signals P2 und des Signals C4. Ein Signal vom zweiten Inverter 202-3 im dritten Steuerpulsgenerator 202 wechselt auf "low", um das erste NOR-Gatter 202-8 im dritten Steuerpulsgenerator 202 zu aktivieren. Der zuvor erläuterte Betrieb der Erzeugung der Steuerpulse führt dazu, daß das Signal PS1_T und das Signal PS2_T, die zum SWL-Treiber 22 gelangen, Wellenformen aufweisen, die jeweils Phasen besitzen, die denen der Signale S1 und S2 entgegengesetzt sind.The write mode is first described. If the WEBpad signal is "low", a signal lying at "low" passes the first inverter 201-1 and the second inverter 201-2 in the second control pulse generator 201 , which leads to the first NAND gate 201-4 being switched off becomes. The first NAND gate 201-4 thus supplies a "high" signal at its output, which leads to the activation of the NOR operator 201-6 . If the NOR operator 201-6 is activated or switched on, the third control signal C3 generates a C4P_T signal via the fifth inverter 201-7 and likewise a C4N_T signal via the sixth inverter 201-8 . The third control signal C3 generates a state before the sub-word lines SWL1 and SWL2 are enabled or activated, that is, a state in which all column selection signals are deactivated, specifically in a precharge interval of a memory cell bit line and a reference cell bit line. The de-activated column selection signal blocks a signal flow between a data bus and a bit line and prevents a collision of data on a bit line with data on an input / output data bus when the bit line is precharged in write mode. If the WEBpad signal is "low" in write mode, then a signal from the first inverter 201-1 in the second control pulse generator 201 is "high", which leads to the activation of the NAND gate 202-2 in the third control pulse generator 202 . Accordingly, the NAND gate 202-2 in the third control pulse generator 202 is under the control of the Y-ATD signal, the P2 signal and the C4 signal. So if the signals S1 and S2 work under regular conditions when the signal P2 is "high", the NAND gate 202-2 in the third control pulse generator 202 is deactivated, to ensure the operation of the signals S1 and S2 in the case the regular conditions. If the signal P2 changes to "low" after the regular working conditions of the signals S1 and S2 have ended, an output of the first inverter 202-1 in the third control pulse generator 202 changes to "high", which in turn activates the NAND gate 202-2 third control pulse generator 202 leads. Under this condition, the NAND gate 202 in the third control pulse generator 202 operates depending on the state of the Y-ATD signal or the C4 signal. In this case, an output of the first inverter 202-1 in the second control pulse generator 201 changes to "high" and the signal C4 is also "high", the NAND gate 202-2 in the third control pulse generator 202 is activated, so that the Y-ATD signal is provided to the SWL driver block 70 . Specifically, the signals S1 and S2 activate the first and third NOR gates 202-8 and 202-11 in the third control pulse generator 202 at an interval in which the Y address changes. As a result, the Y-ATD signal passes through the NAND gate 202-2 and the second inverter 202-3 in the third control pulse generator 202 to the NOR gate 202-8 in the third control pulse generator 202 , while the output signal of the second inverter 202-3 is delayed via the third, fourth, fifth and sixth inverters 202-4 , 202-5 , 202-6 and 202-7 and finally reaches the third NOR gate 202-11 . The Y-ATD signal passes through the first and second NOR gates 202-8 and 202-9 as well as the seventh inverter 202-10 in the third control pulse generator 202 , at the output of which an inverted and "low" PS1_T signal is finally received becomes. The delayed Y-ATD signal at the output of the inverter 202-7 passes through the third and fourth NOR gates 202-11 and 202-12 and the seventh inverter 202-13 in the third control pulse generator 202 , at the output of which is finally an inverted and PS2_T signal present at "low". As a result, both the PS1_T signal and the PS2_T signal have a phase that is inverted with respect to the Y-ATD signal. The overlap period of the PS1_T signal with the PS2_T signal in the "low" state can be set by the sizes of the third, fourth, fifth and sixth inverters 202-4 , 202-5 , 202-6 and 202-7 , delaying a signal from the second inverter 202-3 in the third control pulse generator 202, entspre be selected accordingly. In read mode, the NAND gate 201-4 in the second control pulse generator 201 is activated in order to convert the signal C4 into the signal C4P_T via the third inverter 201-3 , since 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002019923979 00004 99880s NAND gate 201- 4 , the fourth inverter 201-5 , the NOR gate 201-6 and the fifth inverter 201-7 in the second control pulse generator 201 . A signal from the fifth inverter 201-7 is also converted into the C4N_T signal, specifically via the sixth inverter 201-8 . The signals C4P_T and C4N_T deliver signals which are amplified by the sense amplifier and finally reach the data bus. In the present reading mode, a "low" signal from the first inverter 201-1 in the second control pulse generator 201 deactivates the NAND gate 202-2 in the third control pulse generator 202 and thus blocks the transmission of the Y-ATD signal, the P2 signal and the signal C4. A signal from the second inverter 202-3 in the third control pulse generator 202 changes to "low" to activate the first NOR gate 202-8 in the third control pulse generator 202 . The previously explained operation of generating the control pulses results in the signal PS1_T and the signal PS2_T, which arrive at the SWL driver 22 , having waveforms which each have phases which are opposite to those of the signals S1 and S2.

Nachfolgend wird die Spaltensteuerung des ferroelektrischen SWL-Speichers nach der vorliegenden Erfindung näher erläutert.Below is the column control of the ferroelectric SWL memory explained in more detail according to the present invention.

Die Fig. 18 zeigt als Beispiel einen Block zur Steuerung eines oberen Arrays von Speicherzellen. Die Spaltensteuerung empfängt Adreßsignale und Steuersignale vom Y-Vordecodierer 18 und vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 zwecks Ausga­ be eines Spaltenselektionssignals zur Auswahl einer beliebigen Zelle bei der Da­ teneingabe/Datenausgabe. Fig. 18 shows an example of a block for control of an upper array of memory cells. The column controller receives address signals and control signals from the Y predecoder 18 and from the local control pulse generator 20 for the purpose of outputting a column selection signal to select any cell in data input / data output.

Im einzelnen enthält die Spaltensteuerung 24 eine Mehrzahl von NAND-Gattern 230, 231, 232 und 233, von denen jeweils eines eine Adresse Ypre_n, Ypre_n + 1, Ypre_n + 2 und Ypre_n + 3, . . ., empfängt. Diese Adressen sind vordecodiert im Y- Vordecodierer 18. Ferner empfängt jedes der NAND-Gatter 230, 231, 232, 233 das C4N_T-Signal vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 zur Durchführung der jeweils logischen NAND-Funktionen. Mit dem Ausgang der NAND-Gatter sind jeweils In­ verter 234, 235, 236 und 237 verbunden, deren Ausgänge auf jeweilige Ausgangs­ anschlüsse geführt sind. Darüber hinaus sind die Ausgänge der NAND-Gatter 230, 231, 232 und 233 jeweils noch direkt auf getrennte Ausgangsanschlüsse ge­ führt. Die Ausgangssignale der NAND-Gatter 230, 231, 232 und 233, die über die jeweiligen Inverter geleitet werden, bilden die Y-Adressen Y_n_T, Y_n + 1_T, Y_n + 2_T und Y_n + 3_T, . . .. Dagegen bilden die Ausgangssignale der NAND-Gatter 230, 231, 232 und 233, die nicht über die jeweiligen Inverter zu den Ausgangsan­ schlüssen geleitet werden, die Referenz/Y-Adressen YB_n_T, YB_n + 1_T, YB_n + 2_T und YB_n + 3_T, . . .. Im Falle weiterer Adressen bzw. Referenzadressen sind natürlich mehrere NAND-Gatter bzw. Inverter vorhanden. Im Aktivierungs­ fall liegt nur eine der Y-Adressen Y_n_T, Y_n + 1_T, Y_n + 2_T, Y_n + 3_T, . . . auf "high" und nur eine der Referenz/Y-Adressen YB_n_T, YB_n + 1_T, YB_n + 2_T und YB_n + 3_T, . . . auf "low". Diese aktivierten Signale steuern den Einschalt/Aus­ schalt-Zustand der Transistoren, die mit den Datenbussen in der Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 verbunden sind, oder die Schaltblöcke mit Übertragungsgates.Specifically, the column controller 24 contains a plurality of NAND gates 230 , 231 , 232 and 233 , each of which an address Ypre_n, Ypre_n + 1, Ypre_n + 2 and Ypre_n + 3,. , ., receives. These addresses are predecoded in the Y predecoder 18 . Furthermore, each of the NAND gates 230 , 231 , 232 , 233 receives the C4N_T signal from the local control pulse generator 20 to perform the respective logical NAND functions. Inverters 234 , 235 , 236 and 237 are connected to the output of the NAND gates, the outputs of which are connected to respective output connections. In addition, the outputs of the NAND gates 230 , 231 , 232 and 233 each lead directly to separate output connections. The output signals of the NAND gates 230 , 231 , 232 and 233 , which are passed via the respective inverters, form the Y addresses Y_n_T, Y_n + 1_T, Y_n + 2_T and Y_n + 3_T,. , In contrast, the output signals of the NAND gates 230 , 231 , 232 and 233 , which are not routed to the output terminals via the respective inverters, form the reference / Y addresses YB_n_T, YB_n + 1_T, YB_n + 2_T and YB_n + 3_T ,. , .. In the case of further addresses or reference addresses, of course, there are several NAND gates or inverters. In the activation case there is only one of the Y addresses Y_n_T, Y_n + 1_T, Y_n + 2_T, Y_n + 3_T,. , , to "high" and only one of the reference / Y addresses YB_n_T, YB_n + 1_T, YB_n + 2_T and YB_n + 3_T,. , , to "low". These activated signals control the on / off switching state of the transistors connected to the data buses in the sense amplifier and input / output controller 25 , or the switching blocks with transmission gates.

Nachfolgend wird ein erstes Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Ein­ gabe/Ausgabe-Steuerung nach der vorliegenden Erfindung für ein System nach Fig. 8 näher beschrieben.A first exemplary embodiment of a sense amplifier and input / output control according to the present invention for a system according to FIG. 8 is described in more detail below.

Die Fig. 19 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Einga­ be/Ausgabe-Steuerung nach der Erfindung. Sie enthält einen Leseverstärker 210 mit einer willkürlichen Bitleitung BIT_T, die mit einer oberen Speicherzelle ver­ bunden ist, einer willkürlichen Bitleitung RBIT_T die mit einer oberen Referenz­ zelle verbunden ist, einer willkürlichen Bitleitung BIT_T, die mit einer unteren Speicherzelle verbunden ist und einer willkürlichen Bitleitung RBIT_T, die mit ei­ ner unteren Referenzzelle verbunden ist. Das erste Ausführungsbeispiel der Lese­ verstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung nach der vorliegenden Erfindung für das System nach Fig. 8 enthält mit anderen Worten folgendes: den Lesever­ stärker 210 zum Lesen und Verstärken von Daten auf entsprechenden Bitleitun­ gen in Antwort auf Leseverstärker-Enablesignale SAP_C und SAN_C vom lokalen Steuerpulsgenerator 20; eine Ausgleichseinrichtung 211 zum Ausgleichen von Spannungen auf Bitleitungen BIT_T und RBIT_T oder BIT_B und RBIT_B in Ant­ wort auf Ausgleichssignale C3N_C oder C3P_C; erste und zweite Übertragungsga­ tes 212 und 213, von denen jedes schaltbar ist in Antwort auf obere Zellenarray- Verbindungssignale C1P_T und C1N_T oder C2P_T und C2N_T vom lokalen Steu­ erpulsgenerator 20 zur selektiven Verbindung der Bitleitungen BIT_T oder RBIT_T, verbunden mit der oberen Hauptzelle oder der Referenzzelle, mit einer Eingabe/Ausgabeleitung des Leseverstärkers 210; dritte und vierte Übertra­ gungsgates 214 und 215, von denen jedes schaltbar ist in Antwort auf untere Zellenarray-Verbindungssignale C1P_B und C1N_B oder C2P_B und C2N_B zur se­ lektiven Verbindung der Bitleitungen BIT_B oder RBIT_B, verbunden mit der un­ teren Hauptzelle oder der Referenzzelle, mit einer Eingabe/Ausgabeleitung des Leseverstärkers 210; ein fünftes Übertragungsgate 216, verbunden mit einer Bit­ leitung BIT_T zwischen dem ersten Übertragungsgate 212 und der oberen Spei­ cherzelle zur Steuerung der Verbindung zu einem Datenbusanschluß D_BUS in Antwort auf Spaltenselektionssignale Y_n_T und YB_n_T; ein sechstes Übertra­ gungsgate 217, verbunden mit einer Bitleitung BIT_B zwischen dem dritten Über­ tragungsgate 214 und der unteren Speicherzelle zur Steuerung der Verbindung zu einem Datenanschluß D_ in Antwort auf Spaltenselektionssignale Y_n_B und YB_n_B; einen ersten Bitleitungspegeleinsteller 218, dessen eine Elektrode mit einer Bitleitung BIT_T zwischen erstem Übertragungsgate 212 und fünftem Über­ tragungsgate 216 verbunden ist und dessen andere Elektrode mit einem Span­ nungsversorgungsanschluß verbunden ist, um einen Pegel der Bitleitung BIT_T in Antwort auf ein Herabzieh-Steuersignal C3N_T einzustellen, das an das Gate des Pegeleinstellers 218 angelegt wird; und einen zweiten Bitleitungspegelein­ steller 219, dessen eine Elektrode mit einer Bitleitung BIT_B zwischen dem drit­ ten Übertragungsgate 214 und einem unteren Speicherzellenarrayblock verbun­ den ist und dessen andere Elektrode mit dem Spannungsversorgungsanschluß zur Einstellung eines Pegels der Bitleitung BIT_B in Antwort auf ein Herabzieh- Steuersignal C3N_B verbunden ist, das an das Gate des Bitleitungspegeleinstel­ lers 219 angelegt wird. Der Datenanschluß D_ wird sowohl für den Betrieb im Le­ semodus als auch für den Betrieb im Schreibmodus gemeinsam verwendet. Das bedeutet, daß der Datenanschluß D_ als Übertragungsweg eines Signals vom Le­ severstärker im Lesemodus und als Übertragungsweg von Daten verwendet wird, die in eine Speicherzelle eingeschrieben werden sollen. Fig. 19 shows a first embodiment of a sense amplifier and entranc be / output control according to the invention. It contains a sense amplifier 210 with an arbitrary bit line BIT_T which is connected to an upper memory cell, an arbitrary bit line RBIT_T which is connected to an upper reference cell, an arbitrary bit line BIT_T which is connected to a lower memory cell and an arbitrary bit line RBIT_T connected to a lower reference cell. In other words, the first embodiment of the sense amplifier and input / output controller of the present invention for the system of FIG. 8 includes: the sense amplifier 210 for reading and amplifying data on corresponding bit lines in response to sense amplifier enable signals SAP_C and SAN_C from the local control pulse generator 20 ; an equalizer 211 for equalizing voltages on bit lines BIT_T and RBIT_T or BIT_B and RBIT_B in response to equalization signals C3N_C or C3P_C; first and second transfer gates 212 and 213 , each of which is switchable in response to upper cell array connection signals C1P_T and C1N_T or C2P_T and C2N_T from the local control pulse generator 20 for selectively connecting the bit lines BIT_T or RBIT_T connected to the upper main cell or the reference cell , with an input / output line of the sense amplifier 210 ; third and fourth transmission gates 214 and 215 , each of which is switchable in response to lower cell array connection signals C1P_B and C1N_B or C2P_B and C2N_B for selectively connecting the bit lines BIT_B or RBIT_B connected to the lower main cell or the reference cell with one Input / output line of sense amplifier 210 ; a fifth transmission gate 216 connected to a bit line BIT_T between the first transmission gate 212 and the upper memory cell for controlling the connection to a data bus terminal D_BUS in response to column selection signals Y_n_T and YB_n_T; a sixth transfer gate 217 connected to a bit line BIT_B between the third transfer gate 214 and the lower memory cell to control the connection to a data terminal D_ in response to column selection signals Y_n_B and YB_n_B; a first bit line level adjuster 218 , one electrode of which is connected to a bit line BIT_T between the first transmission gate 212 and fifth transmission gate 216 , and the other electrode of which is connected to a power supply terminal for adjusting a level of the bit line BIT_T in response to a pull-down control signal C3N_T, that is applied to the gate of level adjuster 218 ; and a second bit line level adjuster 219 whose one electrode is connected to a bit line BIT_B between the third transfer gate 214 and a lower memory cell array block and whose other electrode is connected to the power supply terminal for setting a level of the bit line BIT_B in response to a pull-down control signal C3N_B is applied to the gate of the bit line level adjuster 219 . The data connection D_ is used both for the operation in the reading mode and for the operation in the writing mode. This means that the data connection D_ is used as the transmission path of a signal from the reading amplifier in the reading mode and as the transmission path of data which are to be written into a memory cell.

Ein zweites Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe- Steuerung nach der vorliegenden Erfindung für das System nach Fig. 8 wird nach­ folgend erläutert.A second embodiment of a sense amplifier and input / output controller according to the present invention for the system of Fig. 8 will be explained below.

Die Fig. 20 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Ein­ gabe/Ausgabe-Steuerung nach der Erfindung für das System nach Fig. 8. Diese Steuerung enthält: einen Leseverstärker 220, der mit Bitleitungen BIT_T, RBIT_T, BIT_B und RBIT_B zum Detektieren und Verstärken von Daten auf jeweiligen Lei­ tungen in Antwort auf Leseverstärker-Enablesignale SAP_C und SAN_C vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 verbunden ist; eine Ausgleichseinrichtung 221 zum Ausgleich von Spannungen auf Bitleitungen BIT_T und RBIT_T oder auf Bitleitun­ gen BIT_B und RBIT_B in Antwort auf Ausgleichssignale C3N_C oder C3P_C; erste und zweite NMOS-Transistoren 222 und 223, jeweils umschaltbar in Antwort auf obere Zellenarray-Verbindungssignale C1N_T oder C2N_T vom lokalen Steuer­ pulsgenerator 20 zur selektiven Verbindung der Bitleitungen BIT_T oder RBIT_T, verbunden mit der oberen Hauptzelle oder der Referenzzelle, mit einer Eingabe/­ Ausgabeleitung des Leseverstärkers 220; dritte und vierte NMOS-Transistoren 224 und 225, jeweils umschaltbar in Antwort auf untere Zellenarray-Verbin­ dungssignale C1N_B oder C2N_B zur selektiven Verbindung der Bitleitungen BIT_B oder RBIT_B, verbunden mit der unteren Hauptzelle oder der Referenzzelle, mit einer Eingabe/Ausgabeleitung des Leseverstärkers 220; einen fünften NMOS- Transistor 226, verbunden mit einer Bitleitung BIT_T zwischen erstem NMOS- Transistor 222 und der oberen Speicherzelle zur Steuerung der Verbindung zu ei­ nem Datenbusanschluß D_ in Antwort auf Spaltenselektionssignale Y_n_T; einen sechsten NMOS-Transistor 227, verbunden mit einer Bitleitung BIT_B zwischen dem dritten NMOS-Transistor 224 und der unteren Speicherzelle zur Steuerung der Verbindung zu einem Datenanschluß D_BUS in Antwort auf ein Spaltenselek­ tionssignal Y_n_B; einen ersten Bitleitungspegeleinsteller 228, dessen eine Elek­ trode mit einer Bitleitung BIT_T zwischen dem ersten NMOS-Transistor 222 und dem fünften NMOS-Transistor 226 zur Einstellung eines Pegels der Bitleitung BIT_T in Antwort auf ein Herabzieh-Steuersignal C3N_T verbunden ist, das an dessen Gate angelegt wird; und einen zweiten Bitleitungspegeleinsteller 229, des­ sen eine Elektrode mit einer Bitleitung BIT_B zwischen dem dritten NMOS-Tran­ sistor 224 und dem unteren Speicherzellenarrayblock zur Einstellung eines Pe­ gels der Bitleitung BIT_B in Antwort auf ein Herabzieh-Steuersignal C3N_B ver­ bunden ist, das an dessen Gate angelegt wird. Fig. 20 shows a second embodiment of a sense amplifier and input / output control according to the invention for the system of Fig. 8. This control includes: a sense amplifier 220 , which has bit lines BIT_T, RBIT_T, BIT_B and RBIT_B for detection and Amplifying data on respective lines in response to sense amplifier enable signals SAP_C and SAN_C from the local control pulse generator 20 ; an equalizer 221 for equalizing voltages on bit lines BIT_T and RBIT_T or on bit lines BIT_B and RBIT_B in response to equalization signals C3N_C or C3P_C; first and second NMOS transistors 222 and 223 , each switchable in response to upper cell array connection signals C1N_T or C2N_T from local control pulse generator 20 for selectively connecting bit lines BIT_T or RBIT_T, connected to the upper main cell or the reference cell, with an input / output line sense amplifier 220 ; third and fourth NMOS transistors 224 and 225 , each switchable in response to lower cell array connection signals C1N_B or C2N_B for selectively connecting the bit lines BIT_B or RBIT_B, connected to the lower main cell or the reference cell, with an input / output line of the sense amplifier 220 ; a fifth NMOS transistor 226 connected to a bit line BIT_T between the first NMOS transistor 222 and the upper memory cell for controlling the connection to a data bus connection D_ in response to column selection signals Y_n_T; a sixth NMOS transistor 227 connected to a bit line BIT_B between the third NMOS transistor 224 and the lower memory cell for controlling the connection to a data terminal D_BUS in response to a column selection signal Y_n_B; a first bit line level adjuster 228 having one electrode connected to a bit line BIT_T between the first NMOS transistor 222 and the fifth NMOS transistor 226 for adjusting a level of the bit line BIT_T in response to a pull-down control signal C3N_T applied to its gate becomes; and a second bit line level adjuster 229 , an electrode having a bit line BIT_B between the third NMOS transistor 224 and the lower memory cell array block for adjusting a level of the bit line BIT_B in response to a pull down control signal C3N_B connected to the gate thereof is created.

Nachfolgend werden verschiedene Steuersignale für die Leseverstärker- und Ein­ gabe/Ausgabe-Steuerung näher beschrieben, und zwar zusammen mit dem Be­ trieb der Blöcke.Below are various control signals for the sense amplifiers and on sabe / output control described in detail, together with the Be drove the blocks.

Das SAN_C-Signal wird an das Gate des NMOS-Transistors gelegt, dessen eine Elektrode mit dem Leseverstärker verbunden ist und dessen andere Elektrode mit einem Erdanschluß Vss verbunden ist, um einerseits den Leseverstärker 210 auf "high" zu enabeln oder in andererseits auf "low" zu disabeln. Ferner wird das SAP_C-Signal an das Gate des PMOS-Transistors gelegt, dessen eine Elektrode mit dem Leseverstärker verbunden ist und dessen andere Elektrode mit einem Spannungsversorgungsanschluß Vcc verbunden ist, um den Leseverstärker 210 auf "low" zu enabeln oder den Leseverstärker 210 auf "high" zu disabeln. Die Aus­ gleichssignale C3N_C und C3P_C zur Ausgleichseinrichtung 211 dienen zum Aus­ gleich von Spannungen auf den Bitleitungen BIT_T, RBIT_T BIT_B und RBIT_B auf den Haupt- und Referenzzellen und dem Leseverstärker 210, bevor die Teil- Wortleitungen SWL1 und SWL2 aktiviert werden. Das Herabzieh-Steuersignal C3N_T schaltet den ersten Bitleitungspegeleinsteller 218 bei der Selektion der oberen Hauptzellenspalte und der Referenzzellenspalte ein, um einen Herabzieh­ betrieb durchzuführen, derart, daß die Bitleitungen BIT_T und RBIT_T, die mit der oberen Hauptspeicherzelle und der Referenzzelle verbunden sind, auf "low" gezogen werden (niedriger logischer Pegel). Dagegen schaltet das Herabzieh-Steu­ ersignal C3N_B den zweiten Bitleitungspegeleinsteller 219 ein, und zwar bei der Selektion der unteren Hauptzellenspalte und der Referenzzellenspalte, um einen Herabziehbetrieb zu ermöglichen, bei dem die Bitleitungen BIT_T und RBIT_T die mit der unteren Hauptspeicherzelle und der Referenzzelle verbunden sind, auf "low" gelegt werden (niedriger logischer Pegel).The SAN_C signal is applied to the gate of the NMOS transistor, one electrode of which is connected to the sense amplifier and the other electrode of which is connected to a ground connection Vss, on the one hand to enable the sense amplifier 210 to be "high" or on the other hand to "low""to disabel. Furthermore, the SAP_C signal is applied to the gate of the PMOS transistor, one electrode of which is connected to the sense amplifier and the other electrode of which is connected to a voltage supply connection Vcc in order to enable the sense amplifier 210 to be "low" or the sense amplifier 210 to " high "to disabel. The equalization signals C3N_C and C3P_C to the equalization device 211 serve to equalize voltages on the bit lines BIT_T, RBIT_T BIT_B and RBIT_B on the main and reference cells and the sense amplifier 210 before the partial word lines SWL1 and SWL2 are activated. The pulldown control signal C3N_T turns on the first bit line level adjuster 218 upon selection of the upper main cell column and the reference cell column to perform a pull down operation such that the bit lines BIT_T and RBIT_T connected to the upper main memory cell and the reference cell are low "are pulled (low logic level). On the other hand, the pull-down control signal C3N_B turns on the second bit line level adjuster 219 when selecting the lower main cell column and the reference cell column to enable a pull-down operation in which the bit lines BIT_T and RBIT_T connected to the lower main memory cell and the reference cell. be set to "low" (low logic level).

Ein drittes Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe- Steuerung der vorliegenden Erfindung für das System nach Fig. 8 wird nachfol­ gend im einzelnen erläutert.A third embodiment of a sense amplifier and input / output controller of the present invention for the system of FIG. 8 will be explained in detail below.

Die Fig. 21 zeigt das dritte Ausführungsbeispiel der Leseverstärker- und Einga­ be/Ausgabe-Steuerung nach der vorliegenden Erfindung für ein System gemäß Fig. 8. Diese Steuerung enthält folgendes: einen Leseverstärker 260, verbunden mit Bitleitungen BIT_T, RBIT_T, BIT_B und RBIT_B zum Detektieren und Verstär­ ken von Daten auf entsprechenden Leitungen in Antwort auf Leseverstärker-Akti­ vierungssignale SAP_C und SAN_C vom lokalen Steuerpulsgenerator; eine Aus­ gleichseinrichtung 261 zum Ausgleichen von Spannungen auf Bitleitungen BIT_T und RBIT_T oder BIT_B und RBIT_B in Antwort auf Ausgleichssignale C3N_C oder C3P_C; erste und zweite Übertragungsgatter 262 und 263, die jeweils umschalt­ bar sind in Antwort auf obere Zellenarray-Verbindungssignale C1P_T und C1N_T oder C2P_T und C2N_T vom lokalen Steuerpulsgenerator zwecks selektiver Ver­ bindung der Bitleitungen BIT_T oder RBIT_T, verbunden mit der oberen Hauptzel­ le oder der Referenzzelle, mit einer Eingabe/Ausgabeleitung des Leseverstärkers 260; vierten und fünften Übertragungsgattern 264 und 265, jeweils umschaltbar in Antwort auf untere Zellenarray-Verbindungssignale C1P_B und C1N_B oder C2P_B und C2N_B zur selektiven Verbindung der Bitleitungen BIT_B oder RBIT_B, verbunden mit der unteren Hauptzelle oder der Referenzzelle, mit einer Eingabe/Ausgabeleitung des Leseverstärkers 260; ein fünftes Übertragungsgat­ ter 266 verbunden mit dem Eingabe/Ausgabeanschluß des Leseverstärkers 260 zur Steuerung der Verbindung zu einem Datenterminal D_ in Antwort auf Spal­ tenselektionssignale Y_n und YB_n; ein sechstes Übertragungsgatter 267 ver­ bunden mit dem Eingabe/Ausgabeanschluß des Leseverstärkers 260 zur Steue­ rung der Übertragung zu einem invertierten Datenterminal DB_ (Databar-Termi­ nal) in Antwort auf Spaltenselektionssignale Y_n und YB_n; einen ersten Bitlei­ tungseinsteller 268 verbunden mit einer Bitleitung BIT_T zwischen dem ersten Übertragungsgatter 262 und der oberen Speicherzelle zur Einstellung eines Pe­ gels der Bitleitung BIT_T in Antwort auf ein Herabzieh-Steuersignal C3N_T, ange­ legt an das Gate des Pegeleinstellers 268; sowie einen zweiten Bitleitungspegel­ einsteller 269 mit einer Elektrode verbunden mit einer Bitleitung BIT_B zwischen dem dritten Übertragungsgatter 264 und dem unteren Speicherzellenarrayblock zwecks Einstellung eines Pegels der Bitleitung BIT_B in Antwort auf ein Herab­ zieh-Steuersignal C3N_B, angelegt an das Gate des zweiten Pegeleinstellers 269. Die jeweils anderen Elektroden der Pegeleinsteller 268 und 269 sind an Vss ange­ legt (Erdpotential). FIG. 21 shows the third embodiment of the sense amplifier and input / output control according to the present invention for a system according to FIG. 8. This control includes the following: a sense amplifier 260 connected to bit lines BIT_T, RBIT_T, BIT_B and RBIT_B for Detecting and amplifying data on corresponding lines in response to sense amplifier activation signals SAP_C and SAN_C from the local control pulse generator; an equalizer 261 for equalizing voltages on bit lines BIT_T and RBIT_T or BIT_B and RBIT_B in response to equalization signals C3N_C or C3P_C; first and second transmission gates 262 and 263 , each switchable in response to upper cell array connection signals C1P_T and C1N_T or C2P_T and C2N_T from the local control pulse generator for the purpose of selectively connecting the bit lines BIT_T or RBIT_T, connected to the upper main cell or the reference cell, with an input / output line of sense amplifier 260 ; fourth and fifth transmission gates 264 and 265 , each switchable in response to lower cell array connection signals C1P_B and C1N_B or C2P_B and C2N_B for selectively connecting the bit lines BIT_B or RBIT_B, connected to the lower main cell or the reference cell, with an input / output line of the sense amplifier 260 ; a fifth transmission gate 266 connected to the input / output terminal of sense amplifier 260 for controlling the connection to a data terminal D_ in response to column selection signals Y_n and YB_n; a sixth transmission gate 267 connected to the input / output terminal of the sense amplifier 260 for controlling the transmission to an inverted data terminal DB_ (Databar-Termi nal) in response to column selection signals Y_n and YB_n; a first bit line adjuster 268 connected to a bit line BIT_T between the first transfer gate 262 and the upper memory cell for adjusting a level of the bit line BIT_T in response to a pull-down control signal C3N_T applied to the gate of the level adjuster 268 ; and a second bit line level adjuster 269 having an electrode connected to a bit line BIT_B between the third transfer gate 264 and the lower memory cell array block for adjusting a level of the bit line BIT_B in response to a pull down control signal C3N_B applied to the gate of the second level adjuster 269 . The other electrodes of the level adjusters 268 and 269 are applied to Vss (earth potential).

Das SAN_C-Signal wird an das Gate des NMOS-Transistors angelegt, dessen eine Elektrode mit dem Leseverstärker und dessen andere Elektrode mit Erdpotential Vss verbunden ist, um den Leseverstärker 260 auf "high" zu schalten bzw. zu ena­ beln, oder um den Leseverstärker 260 auf "low" zu schalten bzw. zu disabeln. Fer­ ner wird das SAP_C-Signal an das Gate des PMOS-Transistors gelegt, dessen eine Elektrode mit dem Leseverstärker und dessen andere Elektrode mit einem Versor­ gungsspannungsanschluß Vcc verbunden ist, um den Leseverstärker 260 auf "low" zu legen bzw. zu enabeln, oder um den Leseverstärker 260 auf "high" zu le­ gen bzw. zu disabeln. Die Ausgleichssignale C3N_C und C3P_C für die Ausgleich­ seinrichtung 261 gleichen Spannungen auf den Bitleitungen BIT_T, RBIT_T, BIT_B und RBIT_B auf den Haupt- und Referenzzellen und auf dem Leseverstär­ ker 260 aus, bevor die Teil-Wortleitungen SWL1 und SWL2 aktiviert bzw. enabled werden. Das Herabzieh-Steuersignal C3N_T schaltet den ersten Bitleitungspegel­ einsteller 268 bei der Selektion der oberen Hauptzellenspalte und der Referenzzellenspalte ein, um einen Herabziehbetrieb auszuführen und um dadurch die Bitleitungen BIT_T und RBIT_T, verbunden mit der oberen Hauptspeicherzelle und der Referenzzelle, auf "low" zu ziehen (niedrigen logischen Pegel). Das Herab­ zieh-Steuersignal C3N_B schaltet dagegen den zweiten Bitleitungseinsteller 269 bei der Selektion der unteren Hauptzellenspalte und der Referenzzellenspalte ein, um einen Herabziehbetrieb auszuführen und um dadurch die Bitleitungen BIT_T und RBIT_T, verbunden mit der unteren Hauptspeicherzelle und der Referenzzel­ le, auf "low" zu ziehen (auf niedrigen logischen Pegel).The SAN_C signal is applied to the gate of the NMOS transistor, one electrode of which is connected to the sense amplifier and the other electrode of which is connected to ground potential Vss in order to switch the sense amplifier 260 to "high" or to enable the sense amplifier 260 to switch to "low" or to disabble. Furthermore, the SAP_C signal is applied to the gate of the PMOS transistor, one electrode of which is connected to the sense amplifier and the other electrode of which is connected to a supply voltage connection Vcc in order to set the sense amplifier 260 to "low", or to enable it to set or disable the sense amplifier 260 to "high". The compensation signals C3N_C and C3P_C for the compensation device 261 equalize voltages on the bit lines BIT_T, RBIT_T, BIT_B and RBIT_B on the main and reference cells and on the sense amplifier 260 before the partial word lines SWL1 and SWL2 are activated or enabled. The pulldown control signal C3N_T turns on the first bit line level adjuster 268 when selecting the upper main cell column and the reference cell column to perform a pull down operation and thereby pull the bit lines BIT_T and RBIT_T connected to the upper main memory cell and the reference cell to "low" (low logic level). The pull-down control signal C3N_B, on the other hand, turns on the second bit line adjuster 269 when selecting the lower main cell column and the reference cell column in order to carry out a pull-down operation and thereby thereby the bit lines BIT_T and RBIT_T, connected to the lower main memory cell and the reference cell, to "low" to pull (at low logic level).

Nachfolgend wird ein viertes Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Ein­ gabe/Ausgabe-Steuerung gemäß der vorliegenden Erfindung für das System nach Fig. 8 näher beschrieben.A fourth embodiment of a sense amplifier and input / output control according to the present invention for the system of FIG. 8 is described in more detail below.

Die Fig. 22 Zeit das vierte Ausführungsbeispiel der Leseverstärker- und Eingabe/­ Ausgabe-Steuerung gemäß der folgenden Erfindung für das System nach Fig. 8. Diese Steuerung enthält folgendes: einen Leseverstärker 270, verbunden mit Bit­ leitungen BIT_T, RBIT_T, BIT_B und RBIT_B zum Lesen und Verstärken von Daten auf entsprechenden Leitungen in Antwort auf Leseverstärker-Aktivierungssigna­ le SAP_C und SAN_C vom lokalen Steuerpulsgenerator; eine Ausgleichseinrich­ tung 271 in Form eines NMOS-Transistors zum Ausgleich von Spannungen auf Bitleitungen BIT_T und RBIT_T oder BIT_B und RBIT_B in Antwort auf Aus­ gleichssignale C3N_C oder C3P_C; erste und zweite NMOS-Transistoren 272 und 273, jeweils umschaltbar in Antwort auf obere Zellenarray-Verbindungssignale C1N_T oder C2N_T vom lokalen Steuerpulsgenerator zur selektiven Verbindung der Bitleitungen BIT_T oder RBIT_T, verbunden mit der oberen Hauptzelle oder der Referenzzelle, mit einer Eingabe/Ausgabeleitung des Leseverstärkers 270, dritte und vierten NMOS-Transistoren 274 und 275, jeweils schaltbar in Antwort auf untere Zellenarray-Verbindungssignale C1N_B oder C2N_B zur selektiven Verbindung der Bitleitungen BIT_B oder RBIT_B, verbunden mit der unteren Hauptzelle und der Referenzzelle, mit einer Eingabe/Ausgabeleitung des Lesever­ stärkers 270; einen fünften NMOS-Transistor 276 verbunden mit dem Eingabe/­ Ausgabeanschluß des Leseverstärkers 270 zur Steuerung der Verbindung zu ei­ nem Datenterminal D_ in Antwort auf ein Spaltenselektionssignal Y_n; einen sechsten NMOS-Transistor 277 verbunden mit dem Eingabe/Ausgabeanschluß des Leseverstärkers 270 zur Steuerung der Verbindung zu einem invertierten Da­ tenterminal DB_ (Databar-Terminal) in Antwort auf ein Spaltenselektionssignal Y_n; einen ersten Bitleitungspegeleinsteller 278 aus einem NMOS-Transistor mit einer ersten Elektrode verbunden zu einer Bitleitung BIT_T zwischen dem ersten NMOS-Transistor 272 und dem Speicherzellenblock zur Einstellung eines Pegels der Bitleitung BIT_T in Antwort auf ein Herabzieh-Steuersignal C3N_T, das an dessen Gate angelegt wird; und einen zweiten Bitleitungspegeleinsteller 279 in Form eines NMOS-Transistors mit einer Elektrode verbunden zu einer Bitleitung BIT_B zwischen dem dritten NMOS-Transistor 274 und dem unteren Speicherzel­ lenarrayblock zur Einstellung eines Pegels der Bitleitung BIT_B in Antwort auf ein Herabzieh-Steuersignal C3N_B, das an dessen Gate angelegt wird. Fig. 22 shows the fourth embodiment of the sense amplifier and input / output controller according to the following invention for the system of Fig. 8. This controller includes the following: a sense amplifier 270 connected to bit lines BIT_T, RBIT_T, BIT_B and RBIT_B for Reading and amplifying data on corresponding lines in response to sense amplifier activation signals SAP_C and SAN_C from the local control pulse generator; a compensation device 271 in the form of an NMOS transistor for compensating voltages on bit lines BIT_T and RBIT_T or BIT_B and RBIT_B in response to compensation signals C3N_C or C3P_C; first and second NMOS transistors 272 and 273 , each switchable in response to upper cell array connection signals C1N_T or C2N_T from the local control pulse generator for selectively connecting the bit lines BIT_T or RBIT_T, connected to the upper main cell or the reference cell, with an input / output line of the sense amplifier 270 , third and fourth NMOS transistors 274 and 275 , each switchable in response to lower cell array connection signals C1N_B or C2N_B for selectively connecting the bit lines BIT_B or RBIT_B, connected to the lower main cell and the reference cell, with an input / output line of the sense amplifier 270 ; a fifth NMOS transistor 276 connected to the input / output terminal of the sense amplifier 270 for controlling the connection to a data terminal D_ in response to a column selection signal Y_n; a sixth NMOS transistor 277 connected to the input / output terminal of sense amplifier 270 for controlling the connection to an inverted data terminal DB_ (Databar terminal) in response to a column selection signal Y_n; a first bit line level adjuster 278 made of an NMOS transistor having a first electrode connected to a bit line BIT_T between the first NMOS transistor 272 and the memory cell block for adjusting a level of the bit line BIT_T in response to a pull-down control signal C3N_T applied to its gate ; and a second bit line level adjuster 279 in the form of an NMOS transistor having an electrode connected to a bit line BIT_B between the third NMOS transistor 274 and the lower memory cell array block for setting a level of the bit line BIT_B in response to a pull-down control signal C3N_B, the other Gate is created.

Nachfolgend wird die Dateneingabe/Ausgabe zum bzw. vom zuvor erwähnten fer­ roelektrischen SWL-Speicher nach der Erfindung näher erläutert. Die Fig. 23 zeigt ein Zeitablaufdiagramm für den lokalen Steuerpulsgenerator in einer Schreibbetriebsart, wenn in Fig. 17 eine Y-Adresse geändert wird. Da der Kern­ block die Leseverstärker- und Dateneingabe/Ausgabe-Steuerschaltung enthält und diese durch zum Kernblock oben und unten benachbarte Zellenblöcke ge­ meinsam benutzt werden, soll sich die Erläuterung nachfolgend nur auf die Ver­ wendung des oberen Speicherzellenblocks beziehen. Der zeitliche Betrieb gemäß Fig. 23 wird in Intervallen beschrieben, die die Periode des CSBpad-Slgnals unter­ teilen. Dieses Signal ist ein Chip-Enablesignal (Chip-Aktivierungssignal), das im Zustand "low" aktiviert und im Zustand "high" deaktiviert. Das CSBpad-Signal umfaßt die Zeitperioden t1 bis t14 und wechselt vor t1 auf "low" und zu Beginn der Zeitperiode t15 auf "high".The data input / output to or from the aforementioned ferroelectric SWL memory according to the invention is explained in more detail below. FIG. 23 shows a timing chart for the local control pulse generator in a write mode when a Y address is changed in FIG. 17. Since the core block contains the sense amplifier and data input / output control circuit and these are used together by cell blocks adjacent to the core block above and below, the explanation below is intended to relate only to the use of the upper memory cell block. The time operation according to FIG. 23 is described in intervals which divide the period of the CSBpad signal. This signal is a chip enable signal (chip activation signal) which is activated in the "low" state and deactivated in the "high" state. The CSBpad signal comprises the time periods t1 to t14 and changes to "low" before t1 and to "high" at the beginning of the time period t15.

Im t1 Intervall ist das CSBpad-Signal aktiviert und auf "low" gehalten, während auch das WEBpad-Signal aktiviert und auf "low" gehalten wird. Beide Signale bleiben auf "low" bis zum Ende der Periode t14. Die Adressen X, Y und Z werden zunächst unverändert gehalten, während ebenso die Signale PS1_T, PS2_T, C1N_T, C2N_T, C4N_T, C3N_C, SAP_C und SAN_C vom lokalen Steuerpulsgenera­ tor ebenfalls so verbleiben wie sie sind. Das PS1_T-Signal liegt auf "high" im Inter­ vall t1, auf "low" in den Intervallen t2 und t3, auf "high" im Intervall t4, auf "low" im Intervall t5 und auf "high" im Intervall t6. Sodann wird das PS1_T-Signal ge­ halten auf "low" in den Intervallen t7, t8, auf "high" in den Intervallen t9, t10, auf "low" in den Intervallen t11 und t12, und geht dann mit dem Beginn des Intervalls t13 auf "high" und verbleibt auf diesem Pegel. Die Signale SWL1 und SWL2 vom SWL-Treiber 300 sind im Intervall t1 auf "low" und im Intervall t2 auf "high". Das SWL1-Signal hat eine Phase entgegengesetzt zum PS1_T-Signal, jedoch dasselbe Übergangszeitverhalten. Dagegen weist das SWL2-Signal eine entgegengesetzte Phase zum Signal PS2_T auf, besitzt aber auch dasselbe Übergangszeitverhalten. Das Signal PS2_T ist im Intervall t1 auf "high", in den Intervallen t2-t4 auf "low", in den Intervallen t5-t7 auf "high", in den Intervallen t8, t9 auf "low", in den Inter­ vallen t10, t11 auf "high", in den Intervallen t12, t13 auf "low" und in den Interval­ len t14, t15 wiederum auf "high". Nachfolgend werden die Wellenformänderungen der Signale C1N_T und C2N_T beschrieben. Es handelt sich hier um Steuersignale zur elektrischen Verbindung der Eingabe/Ausgabeleitung des Leseverstärkers, einer Bitleitung im Speicherzellenblock und einer Bitleitung im Referenzzellen­ block. Das C1N_T-Signal ist nur auf "low" im Intervall t3 und liegt ansonsten auf "high". Das Intervall t3 ist eine Zeitperiode, in der die Signale SWL1 und SWL2 vor Umschaltung des Y-Adreßsignals auf "high" gehalten werden. Das Signal C2N_T unterliegt ebenfalls der Umschaltung und wechselt von "high" auf "low" zu Beginn des Intervalls t3, und zwar zum selben Zeitpunkt, zu dem auch das Signal C1N_T auf "low" wechselt. Danach bleibt das Signal C2N_T auf "low" und wechselt zum selben Zeitpunkt wieder auf "high", zu dem auch das CSBpad-Signal auf "high" wechselt, also am Ende der Periode t14. Das Signal C4N_T wechselt von "low" auf "high" zu Beginn der Zeitperiode t2, also zur selben Zeit, zu der auch die Signale SWL1 und SWL2 auf "high" wechseln. Dabei wechselt das Signal C4N_T wieder auf "low" zur selben Zeit, zu der auch das CSBpad-Signal auf "high" wechselt bzw. de­ aktiviert (disabled) wird. Das Signal P2 liegt während der Zeitperioden t2 bis t5 auf "high", wechselt also zu Beginn der Periode t2 zum selben Zeitpunkt auf "high", zu dem auch die Signale SWL1 und SWL2 auf "high" wechseln. P2 wechselt dann zu Beginn der Zeitperiode t6 wieder auf "low" und verbleibt dann auf diesem Pegel. Das Signal C3N_C liegt bis zum Ende des Intervalls t1 auf "high" und wech­ selt dann auf "low" zu Beginn des Intervalls t2, wenn auch die SWL1- und SWL2- Signale auf "high" wechseln. Das Signal C3N_C wechselt von "low" auf "high" erst wieder dann, wenn das CSBpad-Signal auf "high" wechselt. Mit anderen Worten weist das C3N_C-Signal dieselbe Wellenform wie das C4N_T-Signal auf, besitzt ge­ genüber diesem aber die entgegengesetzte Phase. Das Signal SAN_C wechselt von "low" auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem die Signale C1N_T und C2N_T auf "low" wechseln, und wird dann auf dann "high" gehalten, bis das CSBpad-Signal deakti­ viert wird bzw. auf "high" geht. Das SAP_C-Signal weist dieselbe Wellenform wie das SAN_C-Signal auf, hat jedoch gegenüber diesem die entgegengesetzte Phase. Wird beim oben beschriebenen ferroelektrischen SWL-Speicher ein Y-ATD-Signal in Übereinstimmung mit einer Änderung einer Y-Adresse erzeugt, so generiert der lokale Steuerpulsgenerator die Signale PS1_T und PS2_T um den SWL-Treiber­ block 70 zu veranlassen, die Signale SWL1 und SWL2 zu erzeugen. Eine logische "0" wird dabei in eine SWL-Speicherzelle in Intervallen der beiden Signale SWL1 und SWL2 eingeschrieben, wenn sich diese Signale auf "high" befinden, also in den Intervallen t2-t3, t8 und t12. Dagegen wird eine logische "1" in die SWL-Spei­ cherzelle eingeschrieben, und zwar in Intervallen, in denen nur eines der beiden Signale SWL1 und SWL2 auf "high" liegt, also in den Intervallen t4-t5, t7, t9, t11 und t13.In the t1 interval, the CSBpad signal is activated and kept at "low", while the WEBpad signal is also activated and kept at "low". Both signals remain "low" until the end of period t14. The addresses X, Y and Z are initially kept unchanged, while the signals PS1_T, PS2_T, C1N_T, C2N_T, C4N_T, C3N_C, SAP_C and SAN_C also remain as they are from the local control pulse generator. The PS1_T signal is "high" in the interval t1, "low" in the intervals t2 and t3, "high" in the interval t4, "low" in the interval t5 and "high" in the interval t6. Then the PS1_T signal is kept at "low" at intervals t7, t8, at "high" at intervals t9, t10, at "low" at intervals t11 and t12, and then goes to the beginning of interval t13 to "high" and remains at this level. The signals SWL1 and SWL2 from the SWL driver 300 are "low" in the interval t1 and "high" in the interval t2. The SWL1 signal has a phase opposite to the PS1_T signal, but the same transition time behavior. In contrast, the SWL2 signal has an opposite phase to the signal PS2_T, but also has the same transition time behavior. The signal PS2_T is in the interval t1 to "high", in the intervals t2-t4 to "low", in the intervals t5-t7 to "high", in the intervals t8, t9 to "low", in the intervals t10 , t11 to "high", in the intervals t12, t13 to "low" and in the intervals len t14, t15 again to "high". The waveform changes of the signals C1N_T and C2N_T are described below. These are control signals for the electrical connection of the input / output line of the sense amplifier, a bit line in the memory cell block and a bit line in the reference cell block. The C1N_T signal is only "low" in the interval t3 and is otherwise "high". The interval t3 is a time period in which the signals SWL1 and SWL2 are kept "high" before the Y address signal is switched. The signal C2N_T is also subject to the changeover and changes from "high" to "low" at the beginning of the interval t3, at the same time as the signal C1N_T also changes to "low". Thereafter, the signal C2N_T remains at "low" and changes back to "high" at the same time at which the CSBpad signal also changes to "high", ie at the end of the period t14. The signal C4N_T changes from "low" to "high" at the beginning of the time period t2, that is to say at the same time that the signals SWL1 and SWL2 also change to "high". The signal C4N_T changes back to "low" at the same time that the CSBpad signal changes to "high" or is deactivated (disabled). The signal P2 is "high" during the time periods t2 to t5, ie it changes to "high" at the beginning of the period t2 at the same time as the signals SWL1 and SWL2 change to "high". P2 then changes back to "low" at the beginning of the time period t6 and then remains at this level. The signal C3N_C is "high" until the end of the interval t1 and then changes to "low" at the beginning of the interval t2 when the SWL1 and SWL2 signals also change to "high". The signal C3N_C changes from "low" to "high" only when the CSBpad signal changes to "high". In other words, the C3N_C signal has the same waveform as the C4N_T signal, but has the opposite phase to it. The SAN_C signal changes from "low" to "high" at the time the signals C1N_T and C2N_T change to "low", and is then held high until the CSBpad signal is deactivated or on "high" goes. The SAP_C signal has the same waveform as the SAN_C signal, but has the opposite phase to it. If a Y-ATD signal is generated in accordance with a change in a Y address in the ferroelectric SWL memory described above, the local control pulse generator generates the signals PS1_T and PS2_T in order to cause the SWL driver block 70 to generate the signals SWL1 and SWL2 to create. A logical "0" is written into an SWL memory cell at intervals of the two signals SWL1 and SWL2 when these signals are at "high", that is, at intervals t2-t3, t8 and t12. In contrast, a logical "1" is written into the SWL memory cell, in intervals in which only one of the two signals SWL1 and SWL2 is "high", ie in the intervals t4-t5, t7, t9, t11 and t13.

Der Betrieb der nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichereinrichtung nach der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend im Zusammenhang mit einem Lesemo­ dus beschrieben. Die Fig. 24 zeigt Wellenformen des lokalen Steuerpulsgenera­ tors gemäß Fig. 17 im Lesemodus bei Änderung einer Y-Adresse.The operation of the non-volatile ferroelectric memory device according to the present invention is described below in connection with a reading mode. FIG. 24 shows waveforms of the local control pulse generator according to FIG. 17 in the read mode when a Y address is changed.

Im Lesemodus wird das Signal WEBpad auf "high" gehalten. Wie auch beim Schreibmodus wird das Signal Y-ATD nur dann auf "high" gelegt, wenn die Y- Adresse geändert wird. Ändert sich die Y-Adresse am Beginn des Intervalls t7, so wechselt das Signal Y-ATD auf "high" und wird in den Intervallen t7 und t8 auf "high" gehalten. Es wechselt dann wieder auf "low" und erneut zu Beginn des In­ tervalls t11 auf "high" und verbleibt auf "high" während der Intervalle t11 und t12. In den restlichen Intervallen verbleibt es dann auf "low". Das PS1_T-Signal liegt auf "low" in den Intervallen t2, t3 und t5 und sonst auf "high". Das Signal PS2_T wird auf "low" gehalten vom Beginn des Intervalls t2 bis zum Ende des Intervalls t4 und sonst auf "high". Das SWL1-Signal hat dieselben Übergangszeitpunkte wie das Signal PS1_T, jedoch eine zu ihm entgegengesetzte Phase. Dagegen weist das SWL2-Signal dieselben Übergangszeitpunkte wie das Signal PS2_T auf, jedoch zu diesem eine entgegengesetzte Phase. Die Signale C1N_T und C2N_T sind Steuer­ signale zur elektrischen Verbindung der Eingabe/Ausgabeleitung des Lesever­ stärkers, einer Bitleitung eines Speicherzellenblocks und einer Bitleitung eines Referenzzellenblocks. Dabei liegt das Signal C1N_T nur im Intervall t3 auf "low". also während einer Zeitperiode, in der die Signale SWL1 und SWL2 vor Umschal­ tung des Y-Adressensignals auf "high" gehalten sind. Das Signal C1N_T wird für den Rest der Intervalle auf "high" verbleiben. Das Signal C2N_T wechselt von "high" auf "low" zum selben Zeitpunkt, zu dem auch das Signal C1N_T auf "low" geht, und wird dann auf "low" gehalten und ist dann wieder auf "high" gelegt, wenn auch das WEBpad-Signal auf "high" geht. Das Signal C4N_T wechselt von "low" auf "high" zu Beginn des Intervalls t4, wenn auch das Signal C1N_T auf "high" wechselt, und wird erst zu dem Zeitpunkt wieder auf "low" gelegt, zu dem das CSBpad-Signal auf "high" geht. Das Signal P2 liegt auf "high" während der Zeitpe­ rioden t2 bis t5 und wechselt auf "high" zum selben Zeitpunkt, zu dem auch die Signale SWL1 und SWL2 auf "high" gehen, also zu Beginn des Intervalls t2. Es wechselt wieder auf "low" zu dem Zeitpunkt, an dem das Signal SWL1 letztmalig auf "low" wechselt, also unmittelbar vor Umschaltung des Y-Adressensignals. Das Signal C3N_C wird im Intervall t1 auf "high" gehalten und wechselt auf "low" zu Beginn des Intervalls t2, wenn auch die Signale SWL1 und SWL2 auf "high" wech­ seln, und wird so lange auf "low" gehalten, bis das CSBpad-Signal wieder auf "high" geht. Das Signal SAN_C wechselt von "low" auf "high" zu Beginn des Inter­ valls t3, und zwar zum selben Zeitpunkt, zu dem die Signale C1N_T und C2N_T auf "low" gehen, und wird auf "high" gehalten, bis das CSBpad-Signal wieder auf "high" geht. Das Signal SAP_C hat eine Phase entgegengesetzt zum Signal SAN_C, jedoch dieselben Übergangszeitpunkte. Ändert sich also nur die Y-Adresse in ei­ nem Zustand, in welchem sich das CSBpad-Signal auf "low" befindet, so zeigt der Ausgang des globalen Steuerpulsgenerators keinen Unterschied zu seinem Ein­ gang. Die Signale PS1_T und PS2_T vom lokalen Steuerpulsgenerator ändern sich nicht im Lesemodus, auch wenn das Signal Y-ATD auf "high" wechselt, und zwar infolge der Änderung einer Y-Adresse, so daß die Signale SWL1 und SWL2 im de­ aktivierten Zustand (disabled) verbleiben. Demzufolge wird das Spaltendecodie­ rer in Übereinstimmung mit der Änderung einer Y-Adresse aktiviert, um im Lese­ verstärker gehaltene Daten zum Datenbus zu liefern. Im vorliegenden Fall ändert sich zu Beginn des Intervalls t7 die Y-Adresse das erste Mal. Daten gelangen daher vom Leseverstärker zum Datenbus, um den Lesebetrieb auszuführen. Zu Beginn des Intervalls t11 ändert sich die Y-Adresse erneut, so daß auch hier Daten vom Leseverstärker zum Datenbus übertragen werden, um den Lesebetrieb durchzu­ führen. Im Leseverstärker gehaltene Daten können also nur dadurch weitergelei­ tet werden, daß bei der Umschaltung der Y-Adresse die Spaltengateselektion ge­ ändert wird.In reading mode, the WEBpad signal is kept at "high". As with the Write mode, the signal Y-ATD is only set to "high" if the Y- Address is changed. If the Y address changes at the beginning of the interval t7, see above the signal Y-ATD changes to "high" and turns up in the intervals t7 and t8 kept "high". It then changes back to "low" and again at the beginning of the In tervalls t11 is "high" and remains "high" during intervals t11 and t12. It then remains "low" in the remaining intervals. The PS1_T signal is present to "low" in the intervals t2, t3 and t5 and otherwise to "high". The signal PS2_T is kept "low" from the beginning of the interval t2 to the end of the interval t4 and otherwise "high". The SWL1 signal has the same transition times as the signal PS1_T, but a phase opposite to it. On the other hand, that shows SWL2 signal the same transition times as the signal PS2_T on, but to this an opposite phase. The signals C1N_T and C2N_T are control signals for the electrical connection of the input / output line of the reader amplifier, a bit line of a memory cell block and a bit line of a Reference cell block. The signal C1N_T is only "low" in the interval t3. So during a period in which the signals SWL1 and SWL2 before switching direction of the Y address signal are kept "high". The signal C1N_T is used for remain high for the rest of the intervals. The signal C2N_T changes from "high" to "low" at the same time as the signal C1N_T to "low" goes, and is then held at "low" and is then set to "high" again when  the WEBpad signal also goes "high". The signal C4N_T changes from "low" to "high" at the beginning of the interval t4, even if the signal C1N_T to "high" changes, and is only set to "low" again at the time when the CSBpad signal goes "high". The signal P2 is "high" during the time pe periods t2 to t5 and changes to "high" at the same time as the Signals SWL1 and SWL2 go "high", ie at the beginning of the interval t2. It changes back to "low" at the time when the signal SWL1 last changes to "low", ie immediately before the Y address signal is switched. The Signal C3N_C is held at "high" in interval t1 and changes to "low" Start of the interval t2 when the signals SWL1 and SWL2 also change to "high" seln, and is kept "low" until the CSBpad signal on again "high" goes. The signal SAN_C changes from "low" to "high" at the beginning of the inter valls t3, at the same time as the signals C1N_T and C2N_T on go "low" and is held high until the CSBpad signal is on again "high" goes. The signal SAP_C has a phase opposite to the signal SAN_C, however, the same transition times. So only the Y address changes to egg The state in which the CSBpad signal is at "low" shows the Output of the global control pulse generator makes no difference to its on gear. The signals PS1_T and PS2_T from the local control pulse generator change not in read mode, even if the signal Y-ATD changes to "high", namely due to the change of a Y address, so that the signals SWL1 and SWL2 in de activated state (disabled) remain. As a result, the column decode rer activated in accordance with the change of a Y address to read in to deliver amplifier-held data to the data bus. In the present case changes the Y address at the beginning of interval t7 for the first time. Therefore data arrive from the sense amplifier to the data bus to carry out the read operation. At the start of the interval t11, the Y address changes again, so that data from Sense amplifiers are transmitted to the data bus in order to carry out the read operation to lead. Data held in the sense amplifier can only pass on as a result Tet that the column gate selection ge when switching the Y address will change.

Bisher wurde der Dateneingabe-/Ausgabebetrieb beim ferroelektrischen SWL- Speicher im Schreibmodus und im Lesemodus im Falle der Änderung einer Y- Adresse beschrieben. Nachfolgend werden die Betriebswellenformen erläutert, wenn nur X- und Z-Adressen im Schreibmodus und im Lesemodus geändert werden. Beim Betrieb des ferroelektrischen SWL-Speichers im Schreibmodus bei Um­ schaltung der X- und Z-Adressen sei in 21 Intervalle t1 bis t21 unterteilt. Die Fig. 25 zeigt die jeweiligen Betriebswellenformen im Schreibmodus des ferroelektri­ schen SWL-Speichers nach der Erfindung beim Umschaltung der X,Z-Adressen in Fig. 17.So far, the data input / output operation in the ferroelectric SWL memory in the write mode and in the read mode in the case of changing a Y address has been described. The operating waveforms when only X and Z addresses are changed in write and read modes are explained below. When the ferroelectric SWL memory is operated in write mode when the X and Z addresses are switched, it is divided into 21 intervals t1 to t21. Fig. 25 shows the respective operation waveforms in the write mode of the ferroelectric rule SWL memory according to the invention, in the switching of the X, Z addresses in Fig. 17.

Zunächst wird das CSBpad-Signal dadurch aktiviert, daß es zu Beginn des Inter­ valls t1 von "high" auf "low" wechselt und bis zum Beginn des Intervalls t21 auf "low" verbleibt und dann deaktiviert wird, indem es zu Beginn des Intervalls t21 auf "high" wechselt. Zur selben Zeit wie das CSBpad-Signal wechselt auch das WEBpad-Signal, das als Schreibaktivierungssignal angesehen werden kann, so daß also das WEBpad-Signal zu Beginn des Intervalls t1 von "high" auf "low" wechselt und damit aktiviert wird, und zum Ende des Intervalls t20 wieder auf "high" wechselt und damit deaktiviert wird. Sowohl das CSBpad-Signal als auch das WEBpad-Signal sind externe Signale. Ändern sich die X- und Z-Adressen zu Beginn der Intervalle t7 und t14, so werden in den Intervallen t7 und t14 die Signale X-ATD und Z-ATD, also das Signal X,Z-ATD auf "high" gehalten. In allen anderen Intervallen sind diese Signale "low". Zu Beginn des Intervalls t1 werden nur die Signale CSBpad und WEBpad aktiviert bzw. auf "low" gesetzt, während al­ le anderen Signale zunächst so verbleiben wie sie sind. Im Intervall t2 verbleiben die Signale CSBpad und WEBpad so wie sie sind, während die Signale PS1_T, PS2_T und C3N_C von "high" auf "low" wechseln. Zu diesem Zeitpunkt wechseln auch die Signale SWL1, SWL2, C4N_T und P2 von vorher "low" auf jetzt "high". Wird das Signal C4N_T jetzt aktiviert, indem es von "low" auf "high" geht, werden extern zur Verfügung gestellte Daten auf eine Bitleitung einer Speicherzelle sowie auf eine Bitleitung einer Referenzzelle gegeben. Im Intervall t3 werden alle zuvor erwähnten Signale (CSBpad, WEBpad, PS1_T, PS2_T, SWL1, SWL2, C3N_C, C4N_T und P2) in dem Zustand gehalten, in dem sie sich auch im Intervall t2 be­ funden hatten. Dagegen wechselt zu Beginn des Intervalls t3 das Signal SAN_C von "low" auf "high", während zu diesem Zeitpunkt das Signal SAP_C von "high" auf "low" wechselt. Die Wellenformen der Signale PS1_T und PS2_T wechseln dann wiederholt von "high" auf "low" wie folgt. Das PS1_T-Signal wird auf "high" gehal­ ten in den Intervallen t1, t4, t6, t7, t8, t11, t13, t14, t15, t18 und t20 und im Rest der Intervalle auf "low". Dagegen wird das Signal PS2_T auf "high" gehalten in den Intervallen t1, t5-t8, t12-t15 und t19-t21 und in den restlichen Intervallen auf "low". Das SWL1-Signal wechselt zu denselben Zeitpunkten wie das Signal PS1_T, hat jedoch gegenüber diesem die entgegengesetzte Phase. Das SWL2-Signal wech­ selt zum selben Zeitpunkt wie das Signal PS2_T, hat jedoch ebenfalls gegenüber diesem die entgegengesetzte Phase. Das Signal C1N_T liegt auf "low" in einigen In­ tervallen t3, t10 und t17, in welchen sich die Signale SWL1 und SWL2 zur selben Zeit auf "high" befinden. Das Signal C2N_T wechselt auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal C1N_T auf "low" wechselt, und wechselt auf "high" zu dem Zeit­ punkt, zu dem die X- und Z-ATD-Signale auf "high" wechseln. Das Signal C4N_T wechselt auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem zur selben Zeit die Signale SWL1 und SWL2 auf "high" wechseln, und wechselt auf "low" wieder zu dem Zeitpunkt, zu dem die X- und Z-ATD-Signale auf "high" wechseln. Das P2-Signal wechselt auf "high" zu dem Zeitpunkt, zu dem die Signale SWL1 und SWL2 zur selben Zeit auf "high" wechseln, und wechselt wieder auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem die Signale SWL1 und SWL2 beide zur selben Zeit den Zustand "low" einnehmen. Das Signal SAN_C hat eine Phase entgegengesetzt zum Signal C2N_T, während das Signal SAP_T eine Phase aufweist, die identisch ist zu der des Signals C2N_T.First the CSBpad signal is activated by the fact that at the beginning of the Inter valls t1 changes from "high" to "low" and up to the beginning of the interval t21 "low" remains and is then deactivated by t21 at the beginning of the interval changes to "high". This changes at the same time as the CSBpad signal WEBpad signal, which can be regarded as a write activation signal, see above that the WEBpad signal at the beginning of the interval t1 from "high" to "low" changes and is thus activated, and again at the end of the interval t20 "high" changes and is deactivated. Both the CSBpad signal as well the WEBpad signal are external signals. The X and Z addresses change to Start of the intervals t7 and t14, so in the intervals t7 and t14 Signals X-ATD and Z-ATD, ie the signal X, Z-ATD kept at "high". In all at other intervals, these signals are "low". At the beginning of the interval t1 only the signals CSBpad and WEBpad activated or set to "low", while al The other signals initially remain as they are. Remain in the interval t2 the signals CSBpad and WEBpad as they are, while the signals PS1_T, Change PS2_T and C3N_C from "high" to "low". Switch at this time also the signals SWL1, SWL2, C4N_T and P2 from previously "low" to now "high". The signal C4N_T is now activated by going from "low" to "high" externally provided data on a bit line of a memory cell as well given to a bit line of a reference cell. In the interval t3, all are previously mentioned signals (CSBpad, WEBpad, PS1_T, PS2_T, SWL1, SWL2, C3N_C, C4N_T and P2) kept in the state in which they are also in the interval t2 had found. In contrast, the signal SAN_C changes at the beginning of the interval t3 from "low" to "high", while at this point the signal SAP_C from "high" changes to "low". The waveforms of the signals PS1_T and PS2_T then change repeated from "high" to "low" as follows. The PS1_T signal is set to "high" ten in the intervals t1, t4, t6, t7, t8, t11, t13, t14, t15, t18 and t20 and in the rest the intervals to "low". In contrast, the signal PS2_T is kept "high" in the Intervals t1, t5-t8, t12-t15 and t19-t21 and in the remaining intervals "Low". The SWL1 signal changes at the same times as the signal PS1_T,  but has the opposite phase to this. The SWL2 signal change selt at the same time as the signal PS2_T, but also opposite this is the opposite phase. The signal C1N_T is "low" in some In tervallen t3, t10 and t17, in which the signals SWL1 and SWL2 to the same Time is high. The signal C2N_T changes to "low" at the time at which the signal C1N_T changes to "low" and changes to "high" at the time point at which the X and Z ATD signals change to "high". The signal C4N_T changes to "high" at the same time as the signals SWL1 and SWL2 change to "high", and change to "low" again at the time to which the X and Z ATD signals change to "high". The P2 signal changes to "high" at the time when the signals SWL1 and SWL2 on at the same time change to "high" and change back to "low" at the time the Signals SWL1 and SWL2 both assume the "low" state at the same time. The Signal SAN_C has a phase opposite to signal C2N_T, while that Signal SAP_T has a phase that is identical to that of signal C2N_T.

Die Betriebswellenformen werden nachfolgend Intervall für Intervall erläutert.The operating waveforms are explained interval by interval below.

Im Intervall t4 wechseln die Signale PS2_T und C1N_T auf "high", und das Signal SWL1 von "high" auf "low". Im Intervall t5 wechselt das Signal PS1_T von seinem vorhergehenden hohen Zustand auf "low", so daß das Signal SWL1 von "low" auf "high" wechselt. Das Signal PS2_T wechselt von "low" auf "high" mit Beginn des In­ tervalls t5, so daß das Signal SWL2 von "high" auf "low" wechselt. Beginnt das In­ tervall t6, so wechselt das Signal PS1_T von "low" auf "high", so daß das Signal SWL1 von "high" auf "low" wechselt. Auch das Signal P2 wechselt vom vorherigen Zustand "high" dann auf "low". Im Intervall t7 wechseln die X- und Z-Adressen von "low" auf "high". Das Signal C2N_T wechselt von "low" auf "high", das Signal C4N_T und das Signal SAN_C von "high" auf "low" sowie das Signal C3N_C und das Signal SAP_C von "low" auf "high". Beginnt das Intervall t8, so ändern sich nur die X- und Z-ATD-Signale von ihren vorherigen Zuständen "high" auf "low" und alle anderen Signale verbleiben so, wie sie im Intervall t7 waren. Die Wellenformände­ rungen vom Beginn des Intervalls t9 an sind dann dieselben wie die Wellenform­ änderungen in den Intervallen t2 bis t8. Schließlich beginnt das Intervall t21, und die Signale CSBpad und WEBpad wechseln auf "high" und verbleiben dort, so daß der Schreibmodus deaktiviert wird. Das Signal C4N_T wechselt von "high" auf "low", während das Signal SAN_C von "high" auf "low" wechselt und das Signal SAP_C von "low" auf "high". Im Schreibmodus des ferroelektrischen SWL-Spei­ chers nach der vorliegenden Erfindung wird also bei einer Änderung der X- und der Z-Adressen das Signal C4N_T aktiviert, und zwar zu einem Zeitpunkt, zu dem auch die Signale SWL1 und SWL2 aktiviert werden. Jetzt gelangen Daten zur Bit­ leitung, bevor der Leseverstärker aktiviert wird.In the interval t4, the signals PS2_T and C1N_T change to "high", and the signal SWL1 from "high" to "low". The signal PS1_T changes from its in the interval t5 previous high state to "low", so that the signal SWL1 from "low" to "high" changes. The signal PS2_T changes from "low" to "high" at the beginning of the In tervalls t5, so that the signal SWL2 changes from "high" to "low". The In begins tervall t6, the signal PS1_T changes from "low" to "high", so that the signal SWL1 changes from "high" to "low". Signal P2 also changes from the previous one State "high" then to "low". In the interval t7, the X and Z addresses change from "low" to "high". The signal C2N_T changes from "low" to "high", the signal C4N_T and the SAN_C signal from "high" to "low" as well as the C3N_C signal and that Signal SAP_C from "low" to "high". If the interval t8 begins, only those change X and Z ATD signals from their previous states "high" to "low" and all other signals remain as they were in the interval t7. The waveform edges The beginning of the interval t9 is the same as the waveform changes in the intervals t2 to t8. Finally, the interval t21 begins the signals CSBpad and WEBpad change to "high" and remain there, so that write mode is deactivated. The signal C4N_T changes from "high" to "low" while the SAN_C signal changes from "high" to "low" and the signal  SAP_C from "low" to "high". In the write mode of the ferroelectric SWL memory chers according to the present invention is thus when the X and of the Z addresses activates the signal C4N_T at a time when the signals SWL1 and SWL2 are also activated. Now data get to the bit line before the sense amplifier is activated.

Nachfolgend werden Betriebswellenformen für den ferroelektrischen SWL-Spei­ cher im Lesemodus beschrieben, wenn sich X- und Z-Adressen ändern. Die Be­ triebsintervalle bzw. Wellenformintervalle sind dabei die Intervalle t1 bis t21. Fig. 26 zeigt die entsprechenden Betriebswellenformen im Falle der Umschaltung der X- und der Z-Adressen im Lesemodus des ferroelektrischen SWL-Speichers ge­ mäß Fig. 17. Wellenformen im Lesemodus werden verglichen mit denjenigen im Schreibmodus, um deutlich zu machen, daß ein Unterschied im Übergangszeit­ punkt des Signals C4N_T vorhanden ist. Das WEBpad-Signal ist deaktiviert im Zustand "high" im Lesemodus. Das Signal C4N_T wird in den Intervallen t1 bis t3 auf "low" gehalten. Mit Beginn des Intervalls t4 wird das Signal C4N_T aktiviert und vom Zustand "low" auf den Zustand "high" gelegt. Dies hat zur Folge, daß durch den Leseverstärker verstärkte Daten auf die Bitleitung gelangen. Das zu Beginn des Intervalls t4 auf "high" gelegt Signal C4N_T wird auf "high" gehalten bis zum Ende des Intervalls t6 und geht dann zu Beginn des Intervalls t7 in den Zustand "low" über und wird auf "low" gehalten bis zum Ende des Intervalls t10, wonach es zu Beginn des Intervalls t11 wieder auf "high" geht. Wechselt das Signal C4N_T von "low" auf "high", werden durch den Leseverstärker verstärkte Daten zur Dateneingabe/Ausgabeleitung gegeben. Nachdem im Lesemodus der Leseverstärker zuvor Daten detektiert hat, wird das Signal C4N_T aktiviert (ena­ bled), um die detektierten Daten zur Dateneingabe/Ausgabeleitung übertragen zu können. Auf diese Weise wird der Lesebetrieb ausgeführt.Operating waveforms for the ferroelectric SWL memory in the read mode when X and Z addresses change are described below. The operating intervals or waveform intervals are the intervals t1 to t21. Fig. 26 shows the corresponding operating waveforms in the case of switching the X and Z addresses in the read mode of the ferroelectric SWL memory shown in Fig. 17. Waveforms in the read mode are compared with those in the write mode to make it clear that there is a difference is present at the transition point of the signal C4N_T. The WEBpad signal is deactivated in the "high" state in read mode. The signal C4N_T is kept at "low" in the intervals t1 to t3. At the beginning of the interval t4, the signal C4N_T is activated and switched from the "low" state to the "high" state. The result of this is that data amplified by the sense amplifier reach the bit line. The signal C4N_T which is set to "high" at the beginning of the interval t4 is kept "high" until the end of the interval t6 and then changes to the "low" state at the beginning of the interval t7 and is kept at "low" until the end of the interval t10, after which it goes back to "high" at the beginning of the interval t11. If the signal C4N_T changes from "low" to "high", data amplified by the sense amplifier are given for data input / output line. After the read amplifier has previously detected data in the read mode, the signal C4N_T is activated (ena bled) in order to be able to transmit the detected data to the data input / output line. The reading operation is carried out in this way.

Im nachfolgenden sollen der lokale Steuerpulsgenerator, die Spaltensteuerung und die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung für den Fall beschrie­ ben werden, daß das Speicherzellenarray den Aufbau nach Fig. 9 aufweist. Die Fig. 27 zeigt den lokalen Steuerpulsgenerator für den Fall des Systems nach Fig. 9. Die Fig. 28 illustriert ein System eines ersten Ausführungsbeispiels einer Lese­ verstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorlie­ genden Erfindung gemäß Fig. 9, während die Fig. 29 ein System eines zweiten Ausführungsbeispiels einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung nach Fig. 9 zeigt. Die Fig. 30 zeigt ein Zeitablaufdiagramm für einen Schreibmodus bei Änderung einer Y- Adresse in Fig. 27, die Fig. 31 zeigt ein Zeitablaufdiagramm eines Lesemodus bei Änderung einer Y-Adresse in Fig. 27, die Fig. 32 zeigt ein Zeitablaufdiagramm bei einem Schreibmodus im Falle der Änderung von X,Z-Adressen in Fig. 27 und die Fig. 33 zeigt ein Zeitablaufdiagramm bei einem Lesemodus im Falle der Änderung von X,Z-Adressen in Fig. 27.In the following, the local control pulse generator, the column control and the sense amplifier and input / output control will be described for the case that the memory cell array has the structure shown in FIG. 9. FIG. 27 shows the local control pulse generator for the case of the system of FIG. 9. FIG. 28 illustrates a system of a first embodiment of a sense amplifier and input / output control in accordance with the present invention according to FIG. 9, while FIG. 29 shows a system of a second embodiment of a sense amplifier and input / output controller in accordance with the present invention of FIG. 9. FIG. 30 shows a timing chart for a write mode when a Y address is changed in FIG. 27, FIG. 31 shows a timing chart of a read mode when a Y address is changed in FIG. 27, and FIG. 32 shows a timing chart for a Write mode when X, Z addresses are changed in FIG. 27, and FIG. 33 shows a timing chart in a read mode when X, Z addresses are changed in FIG. 27.

Entsprechend der Fig. 27 empfängt der lokale Steuerpulsgenerator im Falle des Speicherzellensystems nach Fig. 9 ein Signal vom globalen Steuerpulsgenerator 16 sowie das Y-ATD-Signal und ein Signal vom Z-Vordecodierer 74 zur Erzeugung von Steuersignalen zum Teil-Wortleitungstreiber 22, zur Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 und zur Spaltensteuerung 24. Insbesondere werden die Signale S1, S2, P2, C3, C4, SAN und SAP vom globalen Steuerpulsge­ nerator 16 geliefert sowie das Y-ATD-Signal, wie zuvor beschrieben, und nicht zu­ letzt ein Adressenübergangs-Detektorsignal, das dann erzeugt wird, wenn sich die Y-Adresse ändert. Ein WEBpad-Signal, das ein Schreib-Enable-Padsignal bzw. Schreibaktivierungssignal ist, definiert beim Schreibmodus den aktivierten Zustand dann, wenn es sich im Zustand "low" befindet. Mit "low" wird ein niedri­ ger logischer Pegel bezeichnet und mit "high" ein hoher logischer Pegel.According to the Fig. 27 receives the local control pulse generator in the case of the memory cell system according to FIG. 9, a signal from the global control pulse generator 16 and the Y-ATD signal and a signal from the Z-predecoder 74 for generating control signals for part-word line driver 22 to the sense amplifier and input / output control 25 and for column control 24 . In particular, the signals S1, S2, P2, C3, C4, SAN and SAP are supplied by the global control pulse generator 16 , as well as the Y-ATD signal, as previously described, and last but not least an address transition detector signal, which is generated when the Y address changes. A WEBpad signal, which is a write enable pad signal or write activation signal, defines the activated state in the write mode when it is in the "low" state. "Low" denotes a low logic level and "high" denotes a high logic level.

Der lokale Steuerpulsgenerator nach der Erfindung und dargestellt in Fig. 27 ent­ hält folgendes: eine erste Logikschaltung 100 zur Erzeugung eines Signals, das zur Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 geliefert wird, eine zwei­ te Logikschaltung 101 zur Erzeugung eines Signals, das zur Spaltensteuerung 24 geliefert wird, und eine dritte Logikschaltung 102 zur Erzeugung eines Signals, das zum Teil-Wortleitungstreiber 22 geliefert wird. Die erste Logikschaltung 100 enthält einen ersten Logikoperator 100a zur Lieferung der Signale BS_T, BSB_T, BS_B und BSB_B, einen zweiten Logikoperator 100b zur Lieferung der Signale SAP_C und SAN_C und einen dritten Logikoperator 100c zur Lieferung des Signals C3_C. Die dritte Logikschaltung 102 enthält einen vierten Logikoperator 102a zur Lieferung eines Signals PS2 und einen fünften Logikoperator 102b zur Lieferung eines Signals PS1.The local control pulse generator according to the invention and shown in FIG. 27 contains the following: a first logic circuit 100 for generating a signal which is supplied to the sense amplifier and input / output controller 25 , a second logic circuit 101 for generating a signal which is provided to column controller 24 , and a third logic circuit 102 for generating a signal which is provided to partial word line driver 22 . The first logic circuit 100 contains a first logic operator 100 a for the delivery of the signals BS_T, BSB_T, BS_B and BSB_B, a second logic operator 100 b for the delivery of the signals SAP_C and SAN_C and a third logic operator 100 c for the delivery of the signal C3_C. The third logic circuit 102 contains a fourth logic operator 102 a for supplying a signal PS2 and a fifth logic operator 102 b for supplying a signal PS1.

Nachfolgend wird der lokale Steuerpulsgenerator im einzelnen erläutert. The local control pulse generator is explained in detail below.  

Der erste Logikoperator 100a dient zur Verarbeitung der Signale Z-Add1, Z-Add2, Z-Add3 und Z-Add4. Dabei enthält der erste Logikoperator 100a ein erstes NAND- Gatter NAND1 zur logischen Verarbeitung der Signale Z-Add1 und Z-Add2, ein zweites NAND-Gatter NAND2 zur logischen Verarbeitung der Signale Z-Add3 und Z-Add4; ein drittes NAND-Gatter NAND3 zur logischen Verarbeitung der Signale vom ersten und zweiten NAND-Gatter NAND1 und NAND2; einen ersten Inverter INV1 zur Invertierung eines Signals vom ersten NAND-Gatter NAND1; einen zwei­ ten Inverter INV2 zur Invertierung eines Signals vom ersten Inverter INV1; einen dritten Inverter INV3 zur Invertierung eines Signals vom zweiten NAND-Gatter NAND2; und einen vierten Inverter INV4 zur Invertierung eines Signals vom drit­ ten Inverter INV3. Im vorliegenden Fall ist das Signal vom ersten Inverter INV1 ein Signal BS_T für die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25, wäh­ rend das Signal vom zweiten Inverter INV2 ein Signal BSB_T ist, und zwar eben­ falls für die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25. Das Signal BS_T und das Signal BSB_T für die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steue­ rung 25 sind Steuersignale zur Steuerung eines Übertragungsgatters, welches se­ lektiv einen Eingangs/Ausgangsanschluß des Leseverstärkers in der Lesever­ stärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 mit einer Bitleitung und einer in­ vertierten Bitleitung (Bitbarleitung) des oberen Hauptzellenblocks verbindet. Die Signale vom dritten Inverter INV3 und vom vierten Inverter INV4 werden ebenfalls zur Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 geliefert, und zwar als Signal BS_B und als Signal BSB_B. Die Signale BS_B und BSB_B sind Steuer­ signale zur Steuerung zweier Übertragungsgatter zur Verbindung einer Bitleitung und einer invertierten Bitleitung (Bitbarleitung) des unteren Hauptzellenblocks mit einem Eingabe/Ausgabeanschluß des Leseverstärkers. Der zweite Logikope­ rator 100b, der das Signal vom dritten NAND-Gatter NAND3 und die Signale SAP und SAN vom globalen Steuersignalgenerator 76 logisch verarbeitet, um ein Signal zur Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 85 zu liefern, ent­ hält ein viertes NAND-Gatter NAND4 zur logischen Verarbeitung des Signals SAP mit dem Signal vom dritten NAND-Gatter NAND3; einen fünften Inverter INV5 zur Invertierung des Ausgangssignals vom vierten NAND-Gatter NAND4; ein fünftes NAND-Gatter NAND5 zur logischen Verarbeitung des Signals SAN mit dem Signal vom dritten NAND-Gatter NAND3; und einen sechsten Inverter INV6 zur Invertie­ rung des Ausgangssignals vom fünften NAND-Gatter NAND5. Das Signal vom fünften Inverter INV5 ist ein Signal SAP_C, und das Signal vom sechsten Inverter INV6 ist ein Signal SAN_C. Der dritte Logikoperator 100c, der das Signal vom dritten NAND-Gatter NAND3 mit dem Signal C3 vom globalen Steuersignalgenerator 76 kombiniert, um ein Signal C3_C zur Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe- Steuerung 25 zu liefern, enthält einen siebten Inverter INV7 zur Invertierung des Signals C3, ein sechstes NAND-Gatter NAND6 zur logischen Verarbeitung des Signals vom dritten NAND-Gatter NAND3 mit dem Signal vom siebten Inverter INV7; einen achten Inverter INV8 zur Invertierung des Signals vom sechsten NAND-Gatter NAND6; und einen neuenten Inverter INV9 zur Invertierung des Signals vom achten Inverter INV8. Das Signal C3_C ist ein Steuersignal für die Le­ severstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 zum Herabziehen der Bitlei­ tung und der invertierten Bitleitung (Bitbarleitung) sowie zur Steuerung der nicht dargestellten Ausgleichseinrichtung, die gemeinsam für eine Mehrzahl von Bitlei­ tungen und invertierten Bitleitungen benutzt wird.The first logic operator 100 a is used for processing the signals Z-Add1, Add2 Z, Z and Z Add3 Add4. The first logic operator 100 a contains a first NAND gate NAND1 for the logical processing of the signals Z-Add1 and Z-Add2, a second NAND gate NAND2 for the logical processing of the signals Z-Add3 and Z-Add4; a third NAND gate NAND3 for logically processing the signals from the first and second NAND gates NAND1 and NAND2; a first inverter INV1 for inverting a signal from the first NAND gate NAND1; a second inverter INV2 for inverting a signal from the first inverter INV1; a third inverter INV3 for inverting a signal from the second NAND gate NAND2; and a fourth inverter INV4 for inverting a signal from the third inverter INV3. In the present case, the signal from the first inverter INV1 is a signal BS_T for the sense amplifier and input / output controller 25 , while the signal from the second inverter INV2 is a signal BSB_T, specifically for the sense amplifier and input / output Control 25 . The signal BS_T and the signal BSB_T for the sense amplifier and input / output control 25 are control signals for controlling a transmission gate which selectively amplifies an input / output connection of the sense amplifier in the sense amplifier and input / output control 25 with a bit line and one connected in vertical bit line (bit bar line) of the upper main cell block. The signals from the third inverter INV3 and from the fourth inverter INV4 are also supplied to the sense amplifier and input / output controller 25 , specifically as signal BS_B and as signal BSB_B. The signals BS_B and BSB_B are control signals for controlling two transmission gates for connecting a bit line and an inverted bit line (bit bar line) of the lower main cell block with an input / output connection of the sense amplifier. The second logic operator 100 b, which processes the signal from the third NAND gate NAND3 and the signals SAP and SAN from the global control signal generator 76 to supply a signal to the sense amplifier and input / output controller 85 , contains a fourth NAND Gate NAND4 for the logical processing of the signal SAP with the signal from the third NAND gate NAND3; a fifth inverter INV5 for inverting the output signal from the fourth NAND gate NAND4; a fifth NAND gate NAND5 for logically processing the signal SAN with the signal from the third NAND gate NAND3; and a sixth inverter INV6 for inverting the output signal from the fifth NAND gate NAND5. The signal from the fifth inverter INV5 is a signal SAP_C, and the signal from the sixth inverter INV6 is a signal SAN_C. The third logic operator 100 c which combines the signal from the third NAND gate NAND3 to the signal C3 from the global control signal generator 76 to deliver a signal C3_C to the sense amplifier and input / output controller 25 includes a seventh inverter INV7 for inverting the Signals C3, a sixth NAND gate NAND6 for logically processing the signal from the third NAND gate NAND3 with the signal from the seventh inverter INV7; an eighth inverter INV8 for inverting the signal from the sixth NAND gate NAND6; and a new inverter INV9 for inverting the signal from the eighth inverter INV8. The signal C3_C is a control signal for the read amplifier and input / output controller 25 for pulling down the bit line and the inverted bit line (bit bar line) and for controlling the compensation device, not shown, which is used jointly for a plurality of bit lines and inverted bit lines becomes.

Die zweite Logikschaltung 101, die zur logischen Verarbeitung des Signals C4 vom globalen Steuerpulsgenerator 16, des Signals WEBpad und des Signals vom drit­ ten NAND-Gatter NAND3 dient, um ein Signal C4N für die Spaltensteuerung 24 zu erhalten, enthält folgendes: einen zehnten Inverter INV10 zur Invertierung des Signals WEBpad; einen elften Inverter INV11 zur Invertierung des Signals vom zehnten Inverter INV10; einen zwölften Inverter INV12 zur Invertierung des Signals C4; ein siebtes NAND-Gatter NAND7 zur logischen Verarbeitung des Signals vom elften Inverter INV11 mit dem Signal vom zwölften Inverter INV12; ei­ nen dreizehnten Inverter INV13 zur Invertierung des Signals vom siebten NAND- Gatter NAND7; einen vierzehnten Inverter INV14 zum Invertieren eines Signals vom dritten NAND-Gatter NAND3; ein erstes NOR-Gatter NOR1 zur logischen Ver­ arbeitung eines Signals vom vierzehnten Inverter INV14 mit einem Signal vom dreizehnten Inverter INV13, wobei das NOR-Gatter NOR1 als Eingangssignal auch das Signal C3 empfängt; einen fünfzehnten Inverter INV15 zur Invertierung eines Signals vom ersten NOR-Gatter NOR1; und einen sechszehnten Inverter INV16 zur Invertierung eines Signals vom fünfzehnten Inverter INV15. Das Signal C4N von der zweiten Logikschaltung 101 ist ein Signal zur Überlagerung einer Mehrzahl von vordecodierten Y-Adressensignalen vom Y-Vordecodierer 78.The second logic circuit 101 , which is used for the logical processing of the signal C4 from the global control pulse generator 16 , the signal WEBpad and the signal from the third NAND gate NAND3 in order to obtain a signal C4N for the column controller 24 , contains the following: a tenth inverter INV10 to invert the signal WEBpad; an eleventh inverter INV11 for inverting the signal from the tenth inverter INV10; a twelfth inverter INV12 for inverting the signal C4; a seventh NAND gate NAND7 for logically processing the signal from the eleventh inverter INV11 with the signal from the twelfth inverter INV12; a thirteenth inverter INV13 for inverting the signal from the seventh NAND gate NAND7; a fourteenth inverter INV14 for inverting a signal from the third NAND gate NAND3; a first NOR gate NOR1 for the logical processing of a signal from the fourteenth inverter INV14 with a signal from the thirteenth inverter INV13, the NOR gate NOR1 also receiving the signal C3 as an input signal; a fifteenth inverter INV15 for inverting a signal from the first NOR gate NOR1; and a sixteenth inverter INV16 for inverting a signal from the fifteenth inverter INV15. The signal C4N from the second logic circuit 101 is a signal for superimposing a plurality of predecoded Y address signals from the Y predecoder 78 .

Der dritte Logikschaltungsteil 102 enthält einen vierten Logikoperator 102a und einen fünften Logikoperator 102b. Der vierte Logikoperator 102a zur Erzeugung des Signals PS2 für den SWL-Treiber 22 enthält folgendes: einen siebzehnten In­ verter INV17 zur Invertierung des Signals P2 vom globalen Steuerpulsgenerator 16; ein achtes NAND-Gatter NAND8 zur logischen Verarbeitung des Signals Y-ATD, des Signals C4 und des Signals vom zehnten Inverter INV10; einen acht­ zehnten Inverter INV18 zur Invertierung eines Signals vom achten NAND-Gatter NAND8; eine Verzögerungsstrecke D zur Verzögerung eines Signals vom acht­ zehnten Inverter INV18 über eine vorbestimmte Zeitperiode; ein zweites NOR-Gat­ ter NOR2 zur logischen Verarbeitung des Signals S2 mit einem Signal von der Ver­ zögerungsstrecke D; ein drittes NOR-Gatter NOR3 zur logischen Verarbeitung ei­ nes Signals vom zweiten NOR-Gatter NOR2 mit einem Signal vom vierzehnten In­ verter INV14; und einen neunzehnten Inverter INV19 zur Invertierung eines Signals vom dritten NOR-Gatter NOR3. Die Verzögerungsstrecke D enthält eine geradzahlige Anzahl von Invertern. Der fünfte Logikoperator 102b zur Erzeugung des Signals PS1 für den SWL-Treiber 22 enthält ein viertes NOR-Gatter NOR4 zur logischen Verarbeitung des Signals S1 vom globalen Steuerpulsgenerator 16 und eines Signals vom achtzehnten Inverter INV18; ein fünftes NOR-Gatter NOR5 zur logischen Verarbeitung eines Signals vom vierzehnten Inverter INV14 und eines Signals vom vierten NOR-Gatter NOR4; und einen zwanzigsten Inverter INV20 zur Invertierung des Signals vom fünften NOR-Gatter NOR5. Beim zuvor erwähnten lokalen Steuerpulsgenerator 20 kommen die Signale S1, S2, P2, C4, C3, SAN und SAP vom globalen Steuerpulsgenerator 16. Die Signale Z-Add1, Z-Add2, Z-Add3 und Z-Add4 werden vom Z-Vordecodierer 14 geliefert. Das Signal BS_T und das Signal BSB_T für die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 sind Signale zum Zugriff auf Bitleitungen und invertierte Bitleitungen im oberen Hauptzellenblock. Dagegen sind die Signale BS_B und BSB_B solche zum jeweili­ gen Zugriff auf Bitleitungen und invertierte Bitleitungen des unteren Hauptzel­ lenblocks.The third logic circuit part 102 contains a fourth logic operator 102 a and a fifth logic operator 102 b. The fourth logic operator 102 a for generating the signal PS2 for the SWL driver 22 contains the following: a seventeenth inverter INV17 for inverting the signal P2 from the global control pulse generator 16 ; an eighth NAND gate NAND8 for logically processing the signal Y-ATD, the signal C4 and the signal from the tenth inverter INV10; an eighth tenth inverter INV18 for inverting a signal from the eighth NAND gate NAND8; a delay line D for delaying a signal from the eighth inverter INV18 for a predetermined period of time; a second NOR gate NOR2 for logic processing of the signal S2 with a signal from the delay line D; a third NOR gate NOR3 for logically processing a signal from the second NOR gate NOR2 with a signal from the fourteenth inverter INV14; and a nineteenth inverter INV19 for inverting a signal from the third NOR gate NOR3. The delay line D contains an even number of inverters. The fifth logic operator 102 b to generate the signal PS1 for the SWL driver 22, a fourth NOR gate NOR4 contains the logical processing of the signal S1 from the global control pulse generator 16 and a signal from the eighteenth inverter INV18; a fifth NOR gate NOR5 for logically processing a signal from the fourteenth inverter INV14 and a signal from the fourth NOR gate NOR4; and a twentieth inverter INV20 for inverting the signal from the fifth NOR gate NOR5. In the aforementioned local control pulse generator 20 , the signals S1, S2, P2, C4, C3, SAN and SAP come from the global control pulse generator 16 . The signals Z-Add1, Z-Add2, Z-Add3 and Z-Add4 are supplied by the Z predecoder 14 . The BS_T signal and the BSB_T signal for the sense amplifier and input / output controller 25 are signals for accessing bit lines and inverted bit lines in the upper main cell block. In contrast, the signals BS_B and BSB_B are those for accessing bit lines and inverted bit lines of the lower main cell block.

Nachfolgend wird der Betrieb des zuvor erwähnten lokalen Steuersignalgenera­ tors näher beschrieben, und zwar im Hinblick auf den Lesemodus und den Schreibmodus.The following is the operation of the aforementioned local control signal generator tors described in more detail, with regard to the reading mode and Write mode.

Zunächst sei erwähnt, daß im Schreibmodus das WEBpad-Signal, das den zehn­ ten Inverter INV10 und den elften Inverter INV11 durchläuft und zum siebten NAND-Gatter NAND7 gelangt, auf "low" liegt, so daß das siebte NAND-Gatter NAND7 deaktiviert wird. Das siebte NAND-Gatter NAND7 liefert daher an seinem Ausgang ein Signal auf logisch "high". Dieses auf "high" liegende Ausgangssignal des siebten NAND-Gatters NAND7 aktiviert das erste NOR-Gatter NOR1 und erlaubt dem Signal C3, den fünfzehnten Inverter INV15 und den sechszehnten In­ verter INV16 zu passieren, wonach es das Signal C4N darstellt. Das Signal C3 be­ wirkt, daß das Signal C4N den Zustand "low" annimmt, und zwar in Intervallen, in denen die Bitleitung und die invertierte Bitleitung voraufgeladen werden, bevor SWL1 und SWL2 enabled bzw. aktiviert werden. Da alle Spaltenselektionssignale deaktiviert sind, wenn sich das Signal C4N im Zustand "low" befindet, ist der Signalfluß zwischen dem Ausgangsdatenbus und den Bitleitungen unterbrochen, wodurch eine Kollision von Daten auf den Bitleitungen mit den Daten auf dem Ausgangsdatenbus beim Voraufladen der Bitleitungen im Schreibmodus verhin­ dert wird. Da ferner im Schreibmodus das Signal vom zehnten Inverter INV10 auf "high" liegt, wird das achte NAND-Gatter NAND8 aktiviert. Demzufolge steht das achte NAND-Gatter NAND8 unter Steuerung des Signals Y-ATD, des Signals P2 und des Signals C4. Sind die Signale S1 und S2 enabled, um unter regulären Be­ dingungen mit dem Signal P2 im Zustand "high" aktiv zu sein, so ist das achte NAND-Gatter NAND8 deaktiviert, um den regulären Betrieb der Signale S1 und S2 sicherzustellen. Nach Beendigung des regulären Betriebs der Signale S1 und S2 wechselt das Signal P2 auf logisch "low", so daß das Signal vom siebzehnten Inver­ ter INV17 auf "high" wechselt und das achte NAND-Gatter NAND8 aktiviert. Der Betrieb des achten NAND-Gatters NAND8 hängt vom Zustand des Signals Y-ATD oder vom Zustand des Signals C4 ab. Hat auch das Signal C4 den Zustand "high" angenommen, während das Signal vom zehnten Inverter INV10 auf "high" liegt, so wird schließlich das achten NAND-Gatter NAND8 aktiviert, um das Signal Y-ATD zum SWL-Treiber 82 hindurchzulassen. Aktivieren mit anderen Worten die Signa­ le S1 und S2 das zweite NOR-Gatter NOR2 und das vierte NOR-Gatter NOR4 in ei­ nem Intervall, in welchem sich die Y-Adresse ändert, so wird das Y-ATD-Signal zum vierten NOR-Gatter NOR4 über das achte NAND-Gatter NAND8 und den acht­ zehnten Inverter INV18 geleitet, während das Ausgangssignal des achtzehnten Inverters INV18 gleichzeitig durch die Verzögerungsstrecke D verzögert zum zwei­ ten NOR-Gatter NOR2 gelangt. Das Y-ATD-Signal passiert dann das vierte NOR- Gatter NOR4, das fünfte NOR-Gatter NOR5 und den zwanzigsten Inverter INV20, um schließlich ein invertiertes und auf "low" liegendes PS1-Signal zu bilden. Das verzögerte Y-ATD-Signal passiert das zweite NOR-Gatter NOR2, das dritte NOR- Gatter NOR3 und den neunzehnten Inverter INV19 und wird schließlich das inver­ tierte und auf "low" liegende Signal PS2. Demzufolge weist jedes der Signale PS1 und PS2 eine Phase auf, die gegenüber dem Y-ATD-Signal invertiert ist. Anzahl und Größe der Inverter in der Verzögerungsstrecke D können geeignet gewählt werden, um die Dauer der Überlappung der Signale PS1 und PS2 einzustellen, wenn diese "low" sind.First of all, it should be mentioned that in the write mode the WEBpad signal, which passes through the tenth inverter INV10 and the eleventh inverter INV11 and reaches the seventh NAND gate NAND7, is at "low", so that the seventh NAND gate NAND7 is deactivated. The seventh NAND gate NAND7 therefore provides a logic "high" signal at its output. This "high" output signal of the seventh NAND gate NAND7 activates the first NOR gate NOR1 and allows the signal C3 to pass through the fifteenth inverter INV15 and the sixteenth inverter INV16, after which it represents the signal C4N. The signal C3 acts that the signal C4N assumes the "low" state, namely at intervals in which the bit line and the inverted bit line are precharged before SWL1 and SWL2 are enabled or activated. Since all column selection signals are deactivated when the signal C4N is in the "low" state, the signal flow between the output data bus and the bit lines is interrupted, preventing a collision of data on the bit lines with the data on the output data bus when the bit lines are precharged in write mode is changed. Furthermore, since the signal from the tenth inverter INV10 is high in the write mode, the eighth NAND gate NAND8 is activated. As a result, the eighth NAND gate NAND8 is under the control of the Y-ATD signal, the P2 signal and the C4 signal. If the signals S1 and S2 are enabled to be active with the signal P2 in the "high" state under regular conditions, the eighth NAND gate NAND8 is deactivated in order to ensure the regular operation of the signals S1 and S2. After completion of the regular operation of the signals S1 and S2, the signal P2 changes to logic "low", so that the signal from the seventeenth inverter INV17 changes to "high" and activates the eighth NAND gate NAND8. The operation of the eighth NAND gate NAND8 depends on the state of the Y-ATD signal or on the state of the C4 signal. If the signal C4 also has the "high" state while the signal from the tenth inverter INV10 is "high", then the eighth NAND gate NAND8 is finally activated in order to pass the signal Y-ATD to the SWL driver 82 . In other words, if the signals S1 and S2 activate the second NOR gate NOR2 and the fourth NOR gate NOR4 in an interval in which the Y address changes, the Y-ATD signal becomes the fourth NOR gate NOR4 passed through the eighth NAND gate NAND8 and the eighth inverter INV18, while the output signal of the eighteenth inverter INV18 is simultaneously delayed through the delay path D to the second NOR gate NOR2. The Y-ATD signal then passes through the fourth NOR gate NOR4, the fifth NOR gate NOR5 and the twentieth inverter INV20 in order to finally form an inverted and low-lying PS1 signal. The delayed Y-ATD signal passes through the second NOR gate NOR2, the third NOR gate NOR3 and the nineteenth inverter INV19 and finally becomes the inverted and "low" signal PS2. As a result, each of the signals PS1 and PS2 has a phase that is inverted from the Y-ATD signal. The number and size of the inverters in the delay line D can be selected appropriately in order to set the duration of the overlap of the signals PS1 and PS2 when they are "low".

Im Lesemodus ist das siebte NAND-Gatter NAND7 deaktiviert, so daß das Signal C4 den zwölften Inverter INV12, das siebte NAND-Gatter NAND7, den dreizehnten Inverter INV13, das erste NOR-Gatter NOR1, den fünfzehnten Inverter INV15 und den sechszehnten Inverter INV16 der Reihe nach passiert, um das Signal C4N zu bilden. Das Signal C4N dient somit zur Lieferung eines durch den Leseverstärker verstärkten Signals zum Datenbus. Da bei diesem Lesemodus das Signal vom zehnten Inverter INV10 im Zustand "low" das achte NAND-Gatter NAND8 deakti­ viert, wird eine Übertragung der Signale Y-ATD, P2 und C4 abgeschnitten, was da­ zu führt, daß das Signal vom achtzehnten Inverter INV18 auf "low" wechselt. Da­ durch ist das vierte NOR-Gatter NOR4 immer aktiviert. Dies führt dazu, daß das Signal PS1 und das Signal PS2 jeweils entgegengesetzte Wellenformen zu den Signalen S1 und S2 haben.In read mode, the seventh NAND gate NAND7 is deactivated, so that the signal C4 the twelfth inverter INV12, the seventh NAND gate NAND7, the thirteenth Inverter INV13, the first NOR gate NOR1, the fifteenth inverter INV15 and passes through the sixteenth inverter INV16 in order to signal C4N form. The signal C4N thus serves to supply one through the sense amplifier amplified signal to the data bus. Since in this reading mode the signal from tenth inverter INV10 in the "low" state deactivates the eighth NAND gate NAND8 Fourth, a transmission of the signals Y-ATD, P2 and C4 is cut off, which there results in the signal changing from the eighteenth inverter INV18 to "low". because the fourth NOR gate NOR4 is always activated by. This leads to the fact that Signal PS1 and signal PS2 are waveforms opposite to each other Have signals S1 and S2.

Die Spaltensteuerung weist ein System gemäß Fig. 18 auf, auch wenn der lokale Steuerpulsgenerator gemäß Fig. 27 aufgebaut ist.The column control has a system according to FIG. 18, even if the local control pulse generator is constructed according to FIG. 27.

Ein erstes Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe- Steuerung für den Fall eines lokalen Steuerpulsgenerators nach Fig. 27 wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 28 näher beschrieben.A first exemplary embodiment of a sense amplifier and input / output control for the case of a local control pulse generator according to FIG. 27 is described in more detail below with reference to FIG. 28.

Die Fig. 28 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Einga­ be/Ausgabe-Steuerung für den Fall eines lokalen Steuerpulsgenerators nach Fig. 27. Sie enthält eine Bitleitung BIT_T und eine invertierte Bitleitung BITB_T (Bit­ barleitung), die jeweils mit dem oberen Hauptzellenblock verbunden sind, sowie eine Bitleitung BIT_B und eine invertierte Bitleitung BITB_B (Bitbarleitung), die jeweils mit dem unteren Hauptzellenblock verbunden sind. Obwohl nicht darge­ stellt, gibt es eine Mehrzahl von Bitleitungen und Bitbarleitungen (bzw. invertier­ ten Bitleitungen), die in Spaltenrichtung verlaufen. Fig. 28 shows a first embodiment of a sense amplifier and input / output control for the case of a local control pulse generator according to Fig. 27. It contains a bit line BIT_T and an inverted bit line BITB_T (bit bar line), each with the upper main cell block are connected, and a bit line BIT_B and an inverted bit line BITB_B (bit bar line), which are each connected to the lower main cell block. Although not shown, there are a plurality of bit lines and bit bar lines (or inverted bit lines) that run in the column direction.

Das erste Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe- Steuerung enthält folgendes: einen Leseverstärker 85a zum Detektieren und Ver­ stärken von Daten auf der Bitleitung und der invertierten Bitleitung sowie zur Lie­ ferung der Daten zu einer Datenleitung und zu einer invertierten Datenleitung (Databarleitung); eine Herabzieh- und Ausgleichseinrichtung 85b zur Span­ nungsherabziehung sowie zum Ausgleich von Spannungen auf der Bitleitung und der invertierten Bitleitung; erste und zweite Übertragungsgatter 131a und 131b zur selektiven Verbindung der Bitleitung und der invertierten Bitleitung der obe­ ren Hauptzelle mit den Eingangs/Ausgansanschlüssen des Leseverstärkers; drit­ te und vierte Übertragungsgatter 131c und 131d zur selektiven Verbindung der Bitleitung und der invertierten Bitleitung der unteren Hauptzelle mit den Ein­ gangs/Ausgangsanschlüssen des Leseverstärkers; und fünfte und sechste Über­ tragungsgatter 131e und 131f zur selektiven Verbindung der Datenleitung und der invertierten Datenleitung mit den Eingangs/Ausgangsanschlüssen des Lese­ verstärkers. Der Leseverstärker 85a kann ferner einen PMOS-Transistor PM10 und einen NMOS-Transistor NM10 zur Aktivierungs- und Deaktivierungssteue­ rung enthalten. Das Signal SAP_C sowie das Signal SAN_C zur Steuerung des PMOS-Transistors PM10 und des NMOS-Transistors NM10 kommen vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 und werden für eine Mehrzahl von Bitleitungen und in­ vertierten Bitleitungen gemeinsam verwendet. Soll bei der zuvor erwähnten Lese­ verstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 der Leseverstärker 85a Daten der oberen Hauptzelle detektieren, so werden das erste und das zweite Übertra­ gungsgatter 131a und 131b eingeschaltet, während das dritte und das vierte Übertragungsgatter 131c und 131d ausgeschaltet werden. Soll im Gegensatz da­ zu der Leseverstärker 85a Daten der unteren Hauptzelle detektieren, so werden das erste und das zweite Übertragungsgatter 131a und 131b ausgeschaltet und das dritte und vierte Übertragungsgatter 131c und 131d eingeschaltet. Jedes der Übertragungsgatter 131a, 131b, 131c und 131d enthält parallel zueinander lie­ gend den PMOS-Transistor PM und den NMOS-Transistor NM, wobei die Signale BS_T und BSB_T jeweils zum Einschalten und Ausschalten des ersten und des zweiten Übertragungsgatters 131a und 131b verwendet werden und vom lokalen Steuersignalgenerator 20 kommen. Dagegen werden die Signale BS_B und BSB_B zum Einschalten und Ausschalten der jeweiligen dritten und vierten Übertra­ gungsgatter 131c und 131d verwendet, wobei auch diese Signale vom lokalen Steuersignalgenerator 20 kommen. Das Y-Adreßsignal und das invertierte Y- Adreßsignal (Y-Adressen-bar-Signal), die jeweils von der Spaltensteuerung 24 kommen, werden als Signale Y_n und YB_n verwendet, wobei beide Signale Steu­ ersignale sind, mit deren Hilfe jeweils die fünften und sechsten Übertragungsgat­ ter 131e und 131f eingeschaltet bzw. ausgeschaltet werden. The first embodiment of a sense amplifier and input / output control contains the following: a sense amplifier 85 a for detecting and amplifying data on the bit line and the inverted bit line and for supplying the data to a data line and to an inverted data line (data bar line) ; a pull-down and equalizer 85 b for voltage pull-down and for balancing voltages on the bit line and the inverted bit line; first and second transmission gates 131 a and 131 b for the selective connection of the bit line and the inverted bit line of the upper main cell to the input / output connections of the sense amplifier; third and fourth transmission gates 131 c and 131 d for the selective connection of the bit line and the inverted bit line of the lower main cell to the input / output connections of the sense amplifier; and fifth and sixth transmission gates 131 e and 131 f for selectively connecting the data line and the inverted data line to the input / output terminals of the sense amplifier. The sense amplifier 85 a may further include a PMOS transistor PM10 and an NMOS transistor NM10 for activation and deactivation control. The signal SAP_C and the signal SAN_C for controlling the PMOS transistor PM10 and the NMOS transistor NM10 come from the local control pulse generator 20 and are used jointly for a plurality of bit lines and in vertical bit lines. If in the aforementioned sense amplifier and input / output control 25 of the sense amplifier 85 a to detect data of the upper main cell, the first and second transmission gates 131 a and 131 b are switched on, while the third and fourth transmission gates 131 c and 131 d can be switched off. In contrast, if the sense amplifier 85 a is to detect data from the lower main cell, then the first and second transmission gates 131 a and 131 b are switched off and the third and fourth transmission gates 131 c and 131 d are switched on. Each of the transmission gates 131 a, 131 b, 131 c and 131 d contains the PMOS transistor PM and the NMOS transistor NM lying parallel to one another, the signals BS_T and BSB_T each for switching the first and second transmission gates 131 a on and off and 131 b are used and come from the local control signal generator 20 . In contrast, the signals BS_B and BSB_B be supply gate for turning on and off of the respective third and fourth Übertra 131 c and 131 d is used, whereby these signals come from the local control signal generator 20th The Y address signal and the inverted Y address signal (Y address bar signal), each coming from the column controller 24 , are used as signals Y_n and YB_n, both signals being control signals, with the aid of which the fifth and sixth transmission gate 131 e and 131 f are switched on and off.

Die Fig. 29 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel einer Leseverstärker- und Ein­ gabe/Ausgabe-Steuerung für den Fall, daß der lokale Steuerpulsgenerator gemäß Fig. 27 aufgebaut ist. Hier sind NMOS-Transistoren 140a, 140b, 140c, 140d, 140e und 140f anstelle der in Fig. 28 gezeigten Übertragungsgatter 131a, 131b, 131c, 131d, 131e und 131f vorhanden. Die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe- Steuerung 25 mit den Übertragungsgattern nach Fig. 28 wird bevorzugt bei einem Betrieb mit niedriger Spannung verwendet, und zwar im Vergleich zur Lesever­ stärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 mit NMOS-Transistoren gemäß Fig. 29. Die zuvor erwähnte Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 empfängt Signale vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 sowie von der Spaltensteu­ erung 24, um Daten zu detektieren und diese von der Speicherzelle zur Datenbus­ leitung bzw. invertierten Datenbusleitung in der Lesebetriebsart zu liefern und um Daten im Schreibmodus zu speichern, die über die Datenbusleitung und die invertierte Datenbusleitung erhalten worden sind. FIG. 29 shows a second exemplary embodiment of a sense amplifier and input / output control in the event that the local control pulse generator according to FIG. 27 is constructed. Here are NMOS transistors 140 a, 140 b, 140 c, 140 d, 140 e and 140 f in place of the transfer gates 131 a, 131 b, 131 c, 131 d, 131 e and 131 f shown in FIG. 28. The sense amplifier and input / output controller 25 with the transfer gates according to FIG. 28 is preferably used in a low voltage operation, in comparison to the sense amplifier and input / output controller 25 with NMOS transistors according to FIG. 29 The aforementioned sense amplifier and input / output controller 25 receives signals from the local control pulse generator 20 and from the column controller 24 to detect data and to supply it from the memory cell to the data bus line or inverted data bus line in the read mode and to supply data in the write mode, which have been obtained via the data bus line and the inverted data bus line.

Die Fig. 30 zeigt Eingangs- und Ausgangswellenformen zur Erläuterung des Be­ triebs des lokalen Steuerpulsgenerators für den Fall eines Speicherzellenarrays nach Fig. 9. Es handelt sich hier um ein Zeitablaufdiagramm für die Schreibbe­ triebsart bei Änderung einer Y-Adresse für den Fall, daß das CSBpad-Signal ena­ bled ist, sich also im Zustand "low" befindet. Die Zeitperiode, in welcher sich das CSBpad-Signal auf "low" befindet, also das Chip-Enablesignal, ist in Intervalle t1 bis t15 unterteilt. Mit Beginn des Intervalls t15 bzw. am Ende des Intervalls t14 geht das CSBpad-Signal wieder auf "high", so daß es deaktiviert bzw. disabled ist. Fig. 30 shows input and output waveforms for explaining the operation of the local control pulse generator in the case of a memory cell array shown in Fig. 9. It is a timing chart for the write mode when changing a Y address in the event that CSBpad signal is ena bled, ie is in the "low" state. The time period in which the CSBpad signal is at "low", that is to say the chip enable signal, is divided into intervals t1 to t15. At the beginning of the interval t15 or at the end of the interval t14, the CSBpad signal goes back to "high", so that it is deactivated or disabled.

Im Intervall t1 ist das CSBpad-Signal aktiviert und liegt auf logisch "0", während auch das WEBpad-Signal aktiviert ist und auf logisch "0" liegt. In diesem Fall sind die X-, Y- und Z-Adressen dieselben wie zuvor, und auch die Signale PS1 und PS2 sowie die Signale C4N, C3_C, SAP_C und SAN_C behalten die Zustände, die sie zu­ vor hatten. Das PS1-Signal wird im Intervall t1 auf "high" gehalten, auf "low" vom Beginn des Intervalls t2 bis zum Ende des Intervalls t3, auf "high" im Intervall t4, auf "low" im Intervall t5, auf "high" im Intervall t6, auf "low" in den Intervallen t7 und t8, auf "high" in den Intervallen t9 und t10, auf "low" in den Intervallen t11 und t12, sowie auf "high" in den Intervallen t13, t14 und t15. Das Signal PS2 wird bis zum Ende des Intervalls t1 auf "high" gehalten und wechselt dann für die In­ tervalle t2 bis t4 auf "low". Danach geht es mit Beginn des Intervalls t5 auf "high" und verbleibt auf "high" bis zum Ende des Intervalls t7. In den Intervallen t8 und t9 ist das Signal PS2 auf "low", in den Intervallen t10, t11 auf "high", in den Inter­ vallen t12, t13 auf "low" und im Intervall t14 und danach wieder auf "high". Die Signale SWL1 und SWL2 vom SWL-Treiber 22 bleiben im Intervall t1 auf "low" und nehmen daher denselben Zustand wie zuvor ein. Sie wechseln beide zu Beginn des Intervalls t2 auf "high". Im vorliegenden Fall weist das Signal SWL1 die entgegen­ gesetzte Phase zum Signal PS1 auf, hat aber dieselben Übergangszeiten. Das Signal SWL2 weist eine entgegengesetzte Phase zum Signal PS2 auf, hat aber ebenfalls dieselben Übergangszeiten wie dieses. Das Signal C4N vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 wechselt auf "high" zum Beginn des Intervalls t2 und da­ nach wieder auf "low" zu dem Zeitpunkt, zu dem das CSBpad-Signal deaktiviert wird. Das Signal P2 wechselt zunächst von "low" auf "high" zu Beginn des Inter­ valls t2 und wird auf "high" bis zum Ende des Intervalls t5 gehalten und wechselt dann auf "low", wenn das Intervall t6 beginnt. Es ändert sich dann nicht mehr. Das Signal C3_C wird auf "high" gehalten, und zwar bis zum Ablauf des Intervalls t1 und wechselt auf "low" mit Beginn des Intervalls t2 und bleibt dort so lange, bis das CSBpad-Signal deaktiviert wird. Mit diesem zusammen wird das C3_C-Signal wieder auf "high" gelegt. Das Signal SAN_C wird bis zum Ende des Intervalls t2 auf "low" gehalten und wechselt zu Beginn des Intervalls t3 auf "high" und bleibt dort so lange, bis das CSBpad-Signal deaktiviert wird. Das SAP_C-Signal und das SAN_C-Signal haben zueinander entgegengesetzte Phasen, jedoch dieselben Übergangszeiten. Das zuvor erwähnte Betriebsablaufdiagramm des lokalen Steu­ erpulsgenerators gemäß Fig. 13 zeigt, daß dann, wenn sich nur die Y-Adresse än­ dert, während das CSBpad-Signal im Zustand "low" verbleibt, keine Änderung des Signals auftritt, das zum globalen Steuerpulsgenerator 16 geliefert werden soll, wobei auch keine Änderung im Signal erfolgt, das schließlich vom globalen Steu­ erpulsgenerator 16 geliefert wird. Wird im Schreibmodus das Signal Y-ATD durch Änderung der Y-Adresse erzeugt, so liefert der lokale Steuerpulsgenerator 22 die Signals PS1 und PS2 zwecks Erzeugung der Signale SWL1 und SWL2 im SWL-Trei­ ber 22.In the interval t1, the CSBpad signal is activated and is at logic "0", while the WEBpad signal is also activated and at logic "0". In this case, the X, Y and Z addresses are the same as before, and the signals PS1 and PS2 as well as the signals C4N, C3_C, SAP_C and SAN_C retain the states that they had before. The PS1 signal is held at "high" in interval t1, at "low" from the beginning of interval t2 to the end of interval t3, at "high" at interval t4, at "low" at interval t5, at "high" in the interval t6, to "low" in the intervals t7 and t8, to "high" in the intervals t9 and t10, to "low" in the intervals t11 and t12, and to "high" in the intervals t13, t14 and t15 , The signal PS2 is held "high" until the end of the interval t1 and then changes to "low" for the intervals t2 to t4. Then it goes to "high" at the beginning of the interval t5 and remains at "high" until the end of the interval t7. In the intervals t8 and t9, the signal PS2 is at "low", in the intervals t10, t11 at "high", in the intervals t12, t13 at "low" and in the interval t14 and then again at "high". The signals SWL1 and SWL2 from the SWL driver 22 remain "low" in the interval t1 and therefore assume the same state as before. They both change to "high" at the beginning of interval t2. In the present case, the signal SWL1 has the opposite phase to the signal PS1, but has the same transition times. The signal SWL2 has an opposite phase to the signal PS2, but also has the same transition times as this. The signal C4N from the local control pulse generator 20 changes to "high" at the beginning of the interval t2 and then again to "low" at the point in time at which the CSBpad signal is deactivated. The signal P2 first changes from "low" to "high" at the beginning of the interval t2 and is held at "high" until the end of the interval t5 and then changes to "low" when the interval t6 begins. Then it doesn't change anymore. The signal C3_C is kept at "high" until the interval t1 has elapsed and changes to "low" at the beginning of the interval t2 and remains there until the CSBpad signal is deactivated. Together with this, the C3_C signal is set to "high" again. The signal SAN_C is kept "low" until the end of the interval t2 and changes to "high" at the beginning of the interval t3 and remains there until the CSBpad signal is deactivated. The SAP_C signal and the SAN_C signal have opposite phases, but the same transition times. The above-mentioned operation flow diagram of the local STEU erpulsgenerators FIG. 13 shows that if only the Y address changed AEN while the CSBpad signal remains in the "low" state, no change of the signal occurs, the global control pulse generator 16 is to be supplied, with no change in the signal that is finally supplied by the global control pulse generator 16 . If the Y-ATD signal is generated in write mode by changing the Y address, then the local control pulse generator 22 supplies the signals PS1 and PS2 for the purpose of generating the signals SWL1 and SWL2 in the SWL driver 22 .

Beginnt sich gemäß dem Diagramm nach Fig. 30 die Y-Adresse das erste Mal zu ändern, so wird in den Intervallen t7 und t9 jeweils eine logische "1" ("high") in die Speicherzelle eingeschrieben und im Intervall t8 eine logische "0" ("low") in die Speicherzelle eingeschrieben. Ändert sich die Y-Adresse zu Beginn des Intervalls t11 ein zweites Mal, so wird in den Intervallen t11 und t13 eine logische "1" ("high") in die Speicherzelle eingeschrieben, während im Intervall t12 eine logische "0" ("low") in die Speicherzelle eingeschrieben wird.Begins according to the chart of FIG. 30 to change the Y address for the first time, so in the intervals t7 and t9, respectively, a logic "1" ( "high") is written into the memory cell and in the interval t8 a logic "0 "(" low ") written into the memory cell. If the Y address changes a second time at the beginning of the interval t11, a logical "1"("high") is written into the memory cell in the intervals t11 and t13, while a logical "0"("low") is written into the memory cell.

Nachfolgend wird das Zeitablaufdiagramm für die Lesebetriebsart des lokalen Steuersignalgenerators nach der Erfindung näher beschrieben. Wie beim Schreibmodus wird das Verfahren Intervall für Intervall vorgestellt, wobei insge­ samt die Intervalle t1 bis t15 vorhanden sind. Die Fig. 31 zeigt das Betriebsablauf­ diagramm des lokalen Steuerpulsgenerators für die Lesebetriebsart, wenn sich nur die Y-Adresse ändert und das Speicherzellensystem nach Fig. 9 ausgebildet ist.The timing diagram for the reading mode of the local control signal generator according to the invention is described in more detail below. As with the write mode, the procedure is presented interval by interval, with the total of intervals t1 to t15 being available. FIG. 31 shows the operating sequence diagram of the local control pulse generator for the read mode when only the Y address changes and the memory cell system according to FIG. 9 is formed.

Im Unterschied zum Schreibmodus wird gemäß Fig. 31 das WEBpad-Signal vom Beginn des Intervalls t1 an auf "high" gehalten, während das CSBpad-Signal akti­ viert ist bzw. auf "low" liegt. Dies liegt daran, daß hier der Lesemodus betroffen ist. Ähnlich wie beim Schreibmodus wechselt das Y-ATD-Signal nur dann auf "high", wenn sich die Y-Adresse ändert. Ändert sich also die Y-Adresse zum Beginn des Intervalls t7, so wird das Signal Y-ATD auf "high" gehalten, und zwar während der Perioden t7 und t8. Ändert sich die Y-Adresse erneut zu Beginn des Intervalls t11, so wird auch jetzt wieder das Signal Y-ATD auf "high" gehalten, und zwar vom Be­ ginn des Intervalls t11 bis zum Ende des Intervalls t12. Ansonsten verbleibt das Signal Y-ATD auf "low". Das Signal PS1 liegt auf "low" vom Beginn des Intervalls t2 bis zum Ende des Intervalls t3 sowie im Intervall t5 und wird ansonsten in den an­ deren Intervallen auf "high" gehalten. Das Signal PS2 wird vom Beginn des Inter­ valls t2 bis zum Ende des Intervalls t4 auf "low" gehalten und liegt ansonsten im Rest der Intervalle auf "high". Das Signal SWL1 weist Übergangszeiten identisch zum Signal PS1 auf, jedoch eine zu ihm entgegengesetzte Phase. Das Signal C4N liegt auf "high" vom Beginn des Intervalls t4 bis zum Intervall t15 und geht dann auf "low", wenn das Signal CSBpad deaktiviert wird. Im Rest der Intervalle t1 bis t3 liegt das Signal C4N auf "low". Da die Signale P2, C3_C, SAN_C und SAP_C die­ selben Übergangszeitpunkte und Phasen wie die entsprechenden Signale im Schreibmodus haben, wird auf deren nochmalige Beschreibung verzichtet. Wie anhand des Zeitablaufdiagramms zu erkennen ist, erfolgt keine Änderung eines Eingangs zum globalen Steuersignalgenerator, wenn sich nur die Y-Adresse än­ dert, während das CSBpad-Signal aktiviert ist bzw. auf "low" liegt. Demzufolge gibt es auch keine Änderung im Ausgang vom globalen Steuersignalgenerator. Das Signal PS1 und das Signal PS2 vom lokalen Steuerpulsgenerator 20 ändern sich im Lesemodus nicht, auch wenn das Signal Y-ATD auf "high" wechselt, und zwar infolge der Änderung der Y-Adresse, so daß die Signale SWL1 und SWL2 de­ aktiviert bleiben. Daher ist die Spaltensteuerung 24 in Übereinstimmung mit der Änderung der Y-Adresse aktiviert, um die im Leseverstärker gehaltenen Daten zum Datenbus zu übertragen. Ändert sich zu Beginn des Intervalls t7 die Y-Adres­ se, so werden im Leseverstärker vorhandene Daten zum Datenbus geliefert, um den Lesebetrieb auszuführen. Ändert sich darüber hinaus zu Beginn des Inter­ valls t11 die Y-Adresse erneut, so werden auch hier Daten im Leseverstärker zum Datenbus geliefert, um den Lesebetrieb durchzuführen.In contrast to the write mode, the WEBpad signal is held at "high" from the beginning of the interval t1, as shown in FIG. 31, while the CSBpad signal is activated or is at "low". This is because the reading mode is affected here. Similar to the write mode, the Y-ATD signal only changes to "high" when the Y address changes. If the Y address changes at the beginning of the interval t7, the signal Y-ATD is kept at "high", specifically during the periods t7 and t8. If the Y address changes again at the beginning of the interval t11, the signal Y-ATD is now held high again, namely from the beginning of the interval t11 to the end of the interval t12. Otherwise the Y-ATD signal remains at "low". The signal PS1 is "low" from the beginning of the interval t2 to the end of the interval t3 and in the interval t5 and is otherwise kept "high" in the other intervals. The signal PS2 is kept from the beginning of the interval t2 to the end of the interval t4 at "low" and is otherwise at "high" in the rest of the intervals. The signal SWL1 has transition times identical to the signal PS1, but a phase opposite to it. The signal C4N is "high" from the beginning of the interval t4 to the interval t15 and then goes to "low" when the signal CSBpad is deactivated. In the rest of the intervals t1 to t3, the signal C4N is "low". Since the signals P2, C3_C, SAN_C and SAP_C have the same transition times and phases as the corresponding signals in write mode, they will not be described again. As can be seen from the timing diagram, there is no change to an input to the global control signal generator if only the Y address changes while the CSBpad signal is activated or is "low". As a result, there is no change in the output from the global control signal generator. The signal PS1 and the signal PS2 from the local control pulse generator 20 do not change in the read mode, even if the signal Y-ATD changes to "high" because of the change in the Y address, so that the signals SWL1 and SWL2 de remain activated , Therefore, the column controller 24 is activated in accordance with the change in the Y address to transmit the data held in the sense amplifier to the data bus. If the Y address changes at the beginning of the interval t7, data present in the sense amplifier are supplied to the data bus in order to carry out the read operation. In addition, if the Y address changes again at the beginning of the interval t11, data is also supplied to the data bus in the sense amplifier in order to carry out the reading operation.

Bisher wurden Zeitablaufdiagramme für einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher im Schreibmodus und Lesemodus erläutert, wenn sich nur die Y-Adres­ se ändert. Nachfolgend sollen Zeitablaufdiagramme für einen nichtflüchtigen fer­ roelektrischen Speicher im Schreibmodus und Lesemodus beschrieben werden, wenn sich nur die X- und Z-Adresse ändert. Die Fig. 32 zeigt ein Betriebsablauf­ diagramm des lokalen Steuerpulsgenerators im Schreibmodus, bei dem sich nur die X- und Z-Adresse ändert. Der Betriebsablauf ist in Zeitintervalle t1 bis t21 un­ terteilt.So far, timing diagrams for a nonvolatile ferroelectric memory in the write mode and read mode have been explained when only the Y address changes. In the following, timing diagrams for a non-volatile ferroelectric memory in the write mode and read mode will be described when only the X and Z addresses change. Fig. 32 shows an operational flowchart of the local control pulse generator in the write mode in which only the X and Z address changes. The operating sequence is divided into time intervals t1 to t21.

Zunächst wird das CSBpad-Signal aktiviert, indem es zu Beginn des Intervalls t1 von "high" auf "low" wechselt. Zu Beginn des Intervalls t21 wechselt es dann wie­ der auf "high", um deaktiviert zu werden. Zur selben Zeit wird auch das WEBpad- Signal, also das Schreib-Enablesignal, von "high" auf "low" gelegt, also zu Beginn des Intervalls t1, wobei es zur selben Zeit wieder auf "high" wechselt wie das CSBpad-Slgnal. Sowohl das CSBpad-Signal als auch das WEBpad-Signal sind ex­ terne Signale. Gemäß Fig. 32 sind im Intervall t1 nur die Signale CSBpad und WEBpad aktiviert, während alle anderen Signale so bleiben, wie sie zuvor waren. Im Intervall t2 bleiben die Signale CSBpad und WEBpad aktiviert, wie zuvor, wo­ bei jetzt aber zu Beginn des Intervalls t2 die Signale PS1, PS2 und C3_C von "high" auf "low" wechseln. Auch die Signale SWL1, SWL2, C4N und P2 wechseln zum Be­ ginn des Intervalls t2, und zwar vom "low" auf "high". Wechselt das Signal C4N von "low" auf "high", wird es also aktiviert, so werden Daten von außen auf die Bitlei­ tung BL und die invertierte Bitleitung BBL gegeben. Im Intervall t3 behalten alle Signale CSBpad, WEBpad, PS1, PS2, SWL1, SWL2, C3_C, C4N und P2 ihre in t2 bereits vorhandenen Pegel, während das Signal SAN_C zu Beginn des Intervalls t3 von "low" auf "high" wechselt und zum selben Zeitpunkt das Signal SAP_C von "high" auf "low" wechselt. Wie zu erkennen ist, weisen die Signale SAN_C und SAP_C dieselben Übergangszeiten auf, sind jedoch einander in ihrer Phase entge­ gengesetzt. Sie sind also zueinander invertiert. Zu Beginn des Intervalls t4 wech­ seln nur die Signale PS1 und SWL1 ihre vorhergehenden Zustände, wobei das Signal PS1 von "low" auf "high" wechselt und das Signal SWL1 von "high" auf "low". Zu Beginn des Intervalls t5 wechseln nur die Signale PS1, PS2, SWL1 und SWL2 ihre Zustände, während der Rest der Signale auf dem Pegel gemäß Intervall t4 verbleibt. Mit anderen Worten wechselt das Signal PS1 von "high" auf "low", wo­ nach das Signal SWL1 von "low" auf "high" wechselt. Das Signal PS2 wechselt von "low" auf "high", und nachfolgend wechselt das Signal SWL2 von "high" auf "low". Mit Beginn des Intervalls t6 verbleiben alle Signale mit Ausnahme der Signale PS1, SWL1 und P2 auf den vorherigen Pegeln. Das Signal PS1 wechselt von "low" auf "high" und danach das Signal SWL1 von "high" auf "low". Ferner wechselt das Signal P2 von "high" auf "low". Zu Beginn des Intervalls t7 beginnen sich die X- und Z-Adressen zu ändern. Demzufolge wechseln die Signale X- und Z-ATD von "low" auf "high". Auch wechseln die Signale C4N und SAN_C von "high" auf "low", während die Signale C3_C und SAP_C von "low" auf "high" wechseln. Mit Beginn des Intervalls t8 wechseln nur die X- und Z-ATD-Signale von "high" auf "low", während alle anderen Signale mit Ausnahme der X- und Z-ATD-Signale auf ihren Pegeln im Intervall t7 verbleiben. Beginnt das Intervall t9, so behalten nur die Signale X- und Z-ATD, SAN_C und SAP_C ihre zuvor eingenommenen Pegel, wäh­ rend sich alle anderen Signale ändern. Mit anderen Worten wechseln die Signale PS1 und PS2 von zuvor "high" auf jetzt "low", die Signale SWL1 und SWL2 von zu­ vor "low" auf jetzt "high" und die Signale C4N und P2 von zuvor "low" auf "high". Auch das Signal C3_C wechselt von "high" auf "low". Da das Signal C4N aktiviert wird, indem es vom Zustand "low" auf "high" wechselt, können jetzt Daten von ex­ tern auf die Bitleitung BL und die invertierte Bitleitung BBL geladen werden. Zu Beginn des Intervalls t10 wechselt das Signal SAN_C von "low" auf "high", und das Signal SAP_C wechselt von "high" auf "low". Alle anderen Signale verbleiben in den Zuständen, die sie im Intervall t9 bereits eingenommen hatten. Mit Beginn des In­ tervalls t11 wechselt das Signal PS1 von zuvor "low" auf jetzt "high", und das Signal SWL1 wechselt von zuvor "high" auf jetzt "low". Alle anderen Signale ver­ bleiben in den Zuständen, die sie bereits im Intervall t10 eingenommen hatten. Mit Beginn des Intervalls t12 wechselt das Signal PS1 von zuvor "high" auf jetzt "low", und das Signal PS2 wechselt von zuvor "low" auf jetzt "high". Dies führt zum Wechsel des Signals SWL1 von zuvor "low" auf jetzt "high" sowie zum Wechsel des Signals SWL2 von zuvor "high" auf jetzt "low". Alle anderen Signale verbleiben auf dem Pegel, den sie bereits im Intervall t11 eingenommen hatten. Beginn das Inter­ vall t13, so werden nur die Signale PS1, SWL1 und P2 geändert, während alle an­ deren Signale auf den Pegeln verbleiben, die sie bereits im Intervall t12 hatten. Mit anderen Worten wird jetzt das Signal PS1 von "low" auf "high" geändert und das Signal SWL1 von "high" auf "low". Das Signal P2 ändert sich von zuvor "high" auf jetzt "low". Danach beginnt das Intervall t14, und zu diesem Zeitpunkt ändern sich die X- und Z-Adressen das zweite Mal. Demzufolge wechseln die X- und Z- ATD-Signale von zuvor "low" auf jetzt "high", während die Signale C4N und SAN_C von zuvor "high" auf jetzt "low" wechseln. Zudem ändern sich die Signale C3_C und SAP_C von zuvor "low" auf jetzt "high". Zu Beginn des Intervalls t15 ändern sich nur die X- und Z-ATD-Signale von zuvor "high" auf jetzt "low", während alle anderen Signale auf den Pegeln verbleiben, die sie bereits im Intervall t14 hatten. Zu Beginn des Intervalls t16 wechseln die Signale PS1 und PS2 von. "high" auf "low", so daß sich die Signale SWL1 und SWL2 von zuvor "low" auf "high" ändern. Da die Phasen und Übergangszeitpunkte vom Intervall t17 bis zum Intervall t20 identisch sind mit denen vom Intervall t10 bis zum Intervall t13, wird auf eine nochmalige Beschreibung verzichtet. Mit Beginn des Intervalls t21 werden dann die Signale CSBpad und WEBpad von "low" auf "high" gelegt, so daß der Schreib­ betriebsmodus deaktiviert bzw. disabled wird. Das Signal C4N wechselt von "high" auf "low", während das Signal SAN_C von "high" auf "low" wechselt und das Signal SAP_C von "low" auf "high". Ändern sich somit die X- und Z-Adressen im Schreibmodus, so wird der lokale Steuersignalgenerator nach der Erfindung zu denselben Zeitpunkten aktiviert, zu denen auch die Signale SWL1 und SWL2 akti­ viert werden. Somit können Daten zu den Bitleitungen geliefert werden, bevor der Leseverstärker aktiviert wird.First, the CSBpad signal is activated by changing from "high" to "low" at the beginning of the interval t1. At the beginning of the interval t21, it then changes to "high" in order to be deactivated. At the same time the WEBpad signal, ie the write enable signal, is set from "high" to "low", ie at the beginning of the interval t1, and at the same time it changes back to "high" like the CSBpad signal. Both the CSBpad signal and the WEBpad signal are external signals. Referring to FIG. 32, only the signals CSBpad and WEBpad are in the interval t1 activated, while all other signals remain as they were before. The signals CSBpad and WEBpad remain activated in the interval t2, as before, but where at the beginning of the interval t2 the signals PS1, PS2 and C3_C change from "high" to "low". The signals SWL1, SWL2, C4N and P2 also change at the beginning of the interval t2, namely from "low" to "high". Changes the signal C4N from "low" to "high", so it is activated, data from the outside on the bit line BL and the inverted bit line BBL are given. In the interval t3, all signals CSBpad, WEBpad, PS1, PS2, SWL1, SWL2, C3_C, C4N and P2 retain their levels already present in t2, while the signal SAN_C changes from "low" to "high" at the beginning of the interval t3 and to at the same time the signal SAP_C changes from "high" to "low". As can be seen, the signals SAN_C and SAP_C have the same transition times, but are opposite in phase. So they are inverted to each other. At the beginning of the interval t4, only the signals PS1 and SWL1 change their previous states, the signal PS1 changing from "low" to "high" and the signal SWL1 changing from "high" to "low". At the beginning of the interval t5, only the signals PS1, PS2, SWL1 and SWL2 change their states, while the rest of the signals remain at the level according to interval t4. In other words, the signal PS1 changes from "high" to "low", after which the signal SWL1 changes from "low" to "high". The signal PS2 changes from "low" to "high", and subsequently the signal SWL2 changes from "high" to "low". At the beginning of the interval t6, all signals except for the signals PS1, SWL1 and P2 remain at the previous levels. The signal PS1 changes from "low" to "high" and then the signal SWL1 from "high" to "low". Furthermore, the signal P2 changes from "high" to "low". At the beginning of the interval t7, the X and Z addresses begin to change. As a result, the signals X- and Z-ATD change from "low" to "high". The signals C4N and SAN_C also change from "high" to "low", while the signals C3_C and SAP_C change from "low" to "high". At the beginning of the interval t8, only the X and Z-ATD signals change from "high" to "low", while all other signals with the exception of the X and Z-ATD signals remain at their levels in the interval t7. If the interval t9 begins, only the signals X- and Z-ATD, SAN_C and SAP_C keep their previously assumed levels, while all other signals change. In other words, the signals PS1 and PS2 change from previously "high" to now "low", the signals SWL1 and SWL2 from before to "low" to now "high" and the signals C4N and P2 from previously "low" to "high"". The signal C3_C also changes from "high" to "low". Since the signal C4N is activated by changing from the "low" state to "high", data can now be loaded from external to the bit line BL and the inverted bit line BBL. At the beginning of the interval t10 the signal SAN_C changes from "low" to "high" and the signal SAP_C changes from "high" to "low". All other signals remain in the states that they had already assumed in the interval t9. At the beginning of the interval t11, the signal PS1 changes from previously "low" to now "high", and the signal SWL1 changes from previously "high" to now "low". All other signals remain in the states that they had already assumed in the interval t10. At the beginning of the interval t12, the signal PS1 changes from previously "high" to now "low", and the signal PS2 changes from previously "low" to now "high". This leads to the change of the signal SWL1 from previously "low" to now "high" and to the change of the signal SWL2 from previously "high" to now "low". All other signals remain at the level they had already reached in the interval t11. At the beginning of the interval t13, only the signals PS1, SWL1 and P2 are changed, while all of their signals remain at the levels they already had in the interval t12. In other words, the signal PS1 is now changed from "low" to "high" and the signal SWL1 from "high" to "low". The signal P2 changes from previously "high" to now "low". The interval t14 then begins, and at this point the X and Z addresses change the second time. As a result, the X and Z ATD signals change from previously "low" to now "high", while the signals C4N and SAN_C change from previously "high" to now "low". In addition, the signals C3_C and SAP_C change from previously "low" to now "high". At the beginning of the interval t15, only the X and Z ATD signals change from previously "high" to now "low", while all other signals remain at the levels they already had in the interval t14. At the beginning of the interval t16, the signals PS1 and PS2 change from. "high" to "low", so that the signals SWL1 and SWL2 change from previously "low" to "high". Since the phases and transition times from the interval t17 to the interval t20 are identical to those from the interval t10 to the interval t13, no further description is given. At the beginning of the interval t21, the signals CSBpad and WEBpad are set from "low" to "high", so that the write operating mode is deactivated or disabled. The signal C4N changes from "high" to "low", while the signal SAN_C changes from "high" to "low" and the signal SAP_C changes from "low" to "high". If the X and Z addresses change in write mode, the local control signal generator according to the invention is activated at the same times as the signals SWL1 and SWL2 are activated. Thus, data can be delivered to the bit lines before the sense amplifier is activated.

Nachfolgend wird der Betrieb des lokalen Steuersignalgenerators nach der vorlie­ genden Erfindung für den Fall erläutert, bei dem sich die X- und Z-Adressen im Lesemodus ändern. Die Fig. 33 zeigt ein Zeitablaufdiagramm des lokalen Steuer­ pulsgenerators im Lesemodus bei Änderung der X,Z-Adressen, wobei erkannt werden kann, daß der Übergangszeitpunkt des Signals C4N im Lesemodus nach Fig. 33 unterschiedlich ist zu dem gemäß Fig. 32. Ebenfalls ist zu erkennen, daß beim Zeitablaufdiagramm gemäß Fig. 32 für den Schreibmodus das WEBpad- Signal auf "low" aktiviert ist, während beim Lesemodus nach Fig. 33 das WEBpad- Signal auf "high" aktiviert ist. Da mit Ausnahme des Signals C4N in Fig. 33 alle an­ deren Signale in derselben Weise ausgebildet sind und verlaufen wie beim Schreibmodus bei Änderung der X- und Z-Adressen, wird nachfolgend nur das C4N-Signal näher erläutert. Entsprechend der Fig. 33 wird das Signal C4N auf "low" gehalten, und zwar vom Beginn des Intervalls t1 bis zum Ende des Intervalls t3. Mit Beginn des Intervalls t4 wechselt das Signal C4N von "low" auf "high", so daß durch den Leseverstärker verstärkte Daten auf die Datenleitung bzw. die in­ vertierte Datenleitung gegeben werden können. Das C4N-Signal bleibt auf "high" vom Beginn des Intervalls t4 bis zum Ende des Intervalls t6 und wechselt dann auf "low" vom Beginn des Intervalls t7 bis zum Ende des Intervalls t10. Mit Beginn des Intervalls t11 wechselt das Signal C4N wieder auf "high", so daß jetzt durch den Leseverstärker verstärkte Daten auf die Bitleitung und die invertierte Bitleitung (Bitbarleitung) gegeben werden können. Nachdem also zuvor der Leseverstärker die Daten detektiert hat, wird im Lesemodus das Signal C4N aktiviert, um die de­ tektierten Daten zur Datenleitung und invertierten Datenleitung ausgeben zu können, um auf diese Weise den Lesebetrieb durchzuführen.The operation of the local control signal generator according to the present invention is explained below for the case where the X and Z addresses change in the read mode. FIG. 33 shows a timing diagram of the local control pulse generator in the read mode when the X, Z addresses change, it being possible to recognize that the transition time of the signal C4N in the read mode according to FIG. 33 is different from that according to FIG. 32 32 that the WEBpad signal is activated to "low" for the write mode in the timing diagram according to FIG. 32, while the WEBpad signal is activated to "high" in the read mode according to FIG. 33. Since, with the exception of the signal C4N in FIG. 33, all other signals are designed and run in the same way as in the write mode when the X and Z addresses are changed, only the C4N signal is explained in more detail below. According to FIG. 33, the signal C4N is kept "low", namely from the beginning of the interval t1 to the end of the interval t3. At the beginning of the interval t4, the signal C4N changes from "low" to "high", so that data amplified by the sense amplifier can be fed onto the data line or into the vertical data line. The C4N signal remains "high" from the beginning of the interval t4 to the end of the interval t6 and then changes to "low" from the beginning of the interval t7 to the end of the interval t10. At the beginning of the interval t11, the signal C4N changes back to "high", so that data amplified by the sense amplifier can now be applied to the bit line and the inverted bit line (bit bar line). After the sense amplifier has previously detected the data, the signal C4N is activated in the read mode in order to be able to output the detected data to the data line and inverted data line in order to carry out the reading operation in this way.

Die Leseverstärker- und Eingabe/Ausgabe-Steuerung 25 sowie der Betrieb der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung 26 zur Verbindung mit einem externen Daten­ bus, die beide in Fig. 10 gezeigt werden, wird nachfolgend näher beschrieben. Die Fig. 34 zeigt ein Zellenarrayblocksystemdiagramm mit Kernen von ferroelektri­ schen SWL-Spelchern in Übereinstimmung mit einem bevorzugten Ausführungs­ beispiel der vorliegenden Erfindung, identisch zum Zellenarray gemäß Fig. 7. Ge­ nauer gesagt zeigen die Fig. 19 bis 22 und 28 bis 29 einen Leseverstärker, wäh­ rend die Fig. 34 eine Mehrzahl von Kernblöcken 601 zeigt, von denen so viele wie externe Datenbusse vorhanden sind. Jeder dieser Kernblöcke 601 weist eine Mehrzahl von Leseverstärkern auf. Die Fig. 35 zeigt ein Systemblockdiagramm ei­ nes ersten Ausführungsbeispiels eines Leseverstärkers in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung. Die Fig. 36 zeigt ein Systemblockdiagramm eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Leseverstärkers in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung und die Fig. 37 zeigt ein Systemblockdiagramm eines dritten Ausführungsbeispiels eines Leseverstärkers in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung. Die Fig. 38 zeigt weiterhin ein Systemblockdiagramm ei­ nes vierten Ausführungsbeispiels eines Leseverstärkers nach der vorliegenden Erfindung. Die Fig. 35 und 36 beziehen sich auf ein System von Leseverstärkern für den Fall, daß ein Speicherzellen-Unterblock eine Hauptspeicherzelle und eine Referenzspeicherzelle gemäß Fig. 8 enthält. Dagegen beziehen sich die Fig. 37 und 38 jeweils auf ein System von Leseverstärkern für den Fall, daß ein Speicherzellen-Unterblock eine Bitleitung und eine invertierte Bitleitung (Bitbarleitung) auf­ weist. Jeder der Leseverstärkerblöcke 301 nach der vorliegenden Erfindung ent­ hält ein System mit einem Leseverstärker entsprechend dem System von Spalten von Teil-Speicherzellenblöcken gemäß den Fig. 8 oder 9. Obwohl jeder der Lese­ verstärker ein System nach den Fig. 19 bis 22 und 28 bis 29 aufweist, sind zur Vereinfachung nur Hauptzellen-Bitleitungen BIT_T_n, BIT_T_n + 1, BIT_T_n + 2, BIT_T_n + 3 und invertierte Bitleitungen (Bitbarleitungen) BITB_T_n, BITB_T_n + 1, BITB_T_n + 2, BITB_T_n + 3 oder Referenzzellen-Bitleitungen RBIT_T_n und RBIT_T_n + 1 sowie ein Datenanschluß D_ oder ein invertierter Da­ tenanschluß DB_ gezeigt. Das erste Ausführungsbeispiel eines Leseverstärker­ blocks 301 nach der vorliegenden Erfindung enthält zwei Leseverstärker 302, vor­ gesehen für den Fall, daß es vier Spalten von Hauptspeicher-Zellenblöcken gibt, wie die Fig. 8 zeigt. Da in Fig. 8 vier Spalten von Hauptspeicher-Zellenblöcken und zwei Spalten von Referenzspeicher-Zellenblöcken vorhanden sind, sind vier Lese­ verstärker für die vier Spalten von Hauptspeicher-Zellenblöcken erforderlich. Da die Leseverstärker jedoch sowohl oben und unter bezüglich des Hauptspeicher- Zellenblocks vorhanden sind, also jeweils zwei oben und unten, weist ein Lesever­ stärkerblock 301 eine Struktur nach Fig. 35 auf. Das zweite Ausführungsbeispiel eines Leseverstärkerblocks 301 nach der vorliegenden Erfindung ist identisch zum ersten Ausführungsbeispiel, jedoch sind jetzt vier Leseverstärker 302 gemäß Fig. 36 vorhanden. Dies ist erforderlich für einen Fall, bei dem acht Spalten von Hauptspeicher-Zellenblöcken und zwei Spalten von Referenzspeicher-Zellen­ blöcken vorhanden sind. Das dritte Ausführungsbeispiel eines Leseverstärker­ blocks nach der vorliegenden Erfindung gilt für einen Fall, bei dem Speicherzellen Bitleitungen und invertierte Bitleitungen ohne Referenzspeicherzellen aufwei­ sen, wie dies in Fig. 9 gezeigt ist, wobei dieses Ausführungsbeispiel zwei Lesever­ stärker gemäß Fig. 37 aufweist. Das vierte Ausführungsbeispiel eines Lesever­ stärkerblocks nach der vorliegenden Erfindung ist identisch zum dritten Ausfüh­ rungsbeispiel, enthält jedoch vier Leseverstärker gemäß Fig. 38. Die Lesever­ stärkerblöcke nach den ersten bis vierten Ausführungsbeispielen haben jeweils Bitleitungen und invertierte Bitleitungen, und zwar in Richtung nach oben und unten verlaufend zum Auslesen von Speicherzellen in oberen und unteren Rich­ tungen, wobei Datenanschlüsse D_ in den Fig. 35 und 36 jeweils mit jedem der Le­ severstärker 302 in oberen und unteren Richtungen verbunden sind, um die Spei­ cherzellen in oberen und unteren Richtungen auslesen zu können. Entsprechend den Fig. 37 und 38 sind Datenanschlüsse D_ und invertierte Datenanschlüsse DB_ mit den Leseverstärkern 302 verbunden.The sense amplifier and input / output controller 25 as well as the operation of the input / output bus controller 26 for connection to an external data bus, both of which are shown in FIG. 10, will be described in more detail below. Fig. 34 shows a cell array block system diagram with cores of ferroelectric SWL memory in accordance with a preferred embodiment of the present invention, identical to the cell array of Fig. 7. More specifically, Figs. 19 to 22 and 28 to 29 show a sense amplifier , currency rend the Fig. 34 shows a plurality of core blocks 601, of which as many as external data buses are provided. Each of these core blocks 601 has a plurality of sense amplifiers. Fig. 35 shows a system block diagram of a first embodiment of a sense amplifier in accordance with the present invention. Fig. 36 shows a system block diagram of a second embodiment of a sense amplifier in accordance with the present invention, and Fig. 37 shows a system block diagram of a third embodiment of a sense amplifier in accordance with the present invention. The Fig. 38 further shows a system block diagram ei nes fourth embodiment of a sense amplifier according to the present invention. Figs. 35 and 36 relate to a system of sense amplifiers in the event that a memory cell sub-block includes a main memory cell and a reference memory cell of FIG. 8. In contrast, FIGS. 37 and 38 each relate to a system of sense amplifiers in the event that a memory cell sub-block has a bit line and an inverted bit line (bit bar line). Each of the sense amplifier blocks 301 according to the present invention includes a system with a sense amplifier corresponding to the system of columns of sub-memory cell blocks shown in FIGS. 8 or 9. Although each of the sense amplifiers has a system according to FIGS. 19 to 22 and 28 to 29 for simplification, there are only main cell bit lines BIT_T_n, BIT_T_n + 1, BIT_T_n + 2, BIT_T_n + 3 and inverted bit lines (bit bar lines) BITB_T_n, BITB_T_n + 1, BITB_T_n + 2, BITB_T_n + RB + 1 + RBITT-T + 1 or RBIT cells and a data connection D_ or an inverted data connection DB_ are shown. The first embodiment of a sense amplifier block 301 according to the present invention includes two sense amplifiers 302 , provided that there are four columns of main memory cell blocks, as shown in FIG. 8. Since there are four columns of main memory cell blocks and two columns of reference memory cell blocks in Fig. 8, four sense amplifiers are required for the four columns of main memory cell blocks. However, since the sense amplifiers are present both at the top and at the bottom with respect to the main memory cell block, ie two at the top and at the bottom, a sense amplifier block 301 has a structure as shown in FIG . The second embodiment of a sense amplifier block 301 according to the present invention is identical to the first embodiment, but there are now four sense amplifiers 302 according to FIG. 36. This is necessary in a case where there are eight columns of main memory cell blocks and two columns of reference memory cell blocks. The third exemplary embodiment of a sense amplifier block according to the present invention applies to a case in which memory cells have bit lines and inverted bit lines without reference memory cells, as shown in FIG. 9, this exemplary embodiment having two read amplifiers according to FIG. 37. The fourth embodiment of a sense amplifier block according to the present invention is identical to the third embodiment, but includes four sense amplifiers as shown in FIG. 38. The sense amplifier blocks according to the first to fourth embodiments have bit lines and inverted bit lines, respectively, in the up and down directions Gradient obligations for reading memory cells in the upper and lower Rich, said data terminals D_ sever more are connected in upper and lower directions 302 in FIGS. 35 and 36 with each of the Le to the SpeI cherzellen in upper and lower directions read to. According to FIGS. 37 and 38, data D_ terminals and inverted data terminals DB_ are connected to the sense amplifiers 302nd

Eine Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung im zuvor erwähnten Leseverstärkerblock wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Die Fig. 39 zeigt ein Schaltungssystem eines ersten Ausführungsbeispiels einer Eingabe/­ Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Überein­ stimmung mit der vorliegenden Erfindung, während die Fig. 40 ein Schaltungssy­ stem eines zweiten Ausführungsbeispiels einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher nach der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Fig. 41 zeigt ein Schaltungssystem eines dritten Ausführungsbeispiels einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher nach der vorliegenden Erfindung, während die Fig. 42 ein Schaltungssystem eines vier­ ten Ausführungsbeispiels einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroe­ lektrischen SWL-Speicher nach der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Fig. 43 zeigt ein Schaltungssystem eines fünften Ausführungsbeispiels einer Eingabe/Ausga­ be-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung, während die Fig. 44 ein Schaltungssystem eines sechsten Ausführungbeispiels einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung in einem ferroelektrischen SWL-Speicher nach der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Da­ tenbus und die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung weisen unterschiedliche Syste­ me auf, abhängig davon, ob die Dateneingabe/Ausgabe eines Leseverstärkers über denselben Datenbus (Fig. 39 und 40) erfolgt oder nicht (Fig. 41, 42, 43 und 44) und ob das Speicherzellenarray Speicherzellen-Unterblöcke und Referenzzel­ len-Unterblöcke (Fig. 39, 41 und 43) aufweist oder Bitleitungen und invertierte Bitleitungen bzw. Bitbarleitungen (Fig. 40, 42 und 44).An input / output bus control in the aforementioned sense amplifier block is explained in more detail below with reference to the drawing. Fig. 39 shows a circuit system of a first embodiment of an input / output bus control in a ferroelectric SWL memory in accordance with the present invention, while Fig. 40 shows a circuit system of a second embodiment of an input / output bus control in a ferroelectric SWL memory according to the present invention shows. Fig. 41 shows a circuit system of a third embodiment of an input / output bus control in a ferroelectric SWL memory according to the present invention, while Fig. 42 shows a circuit system of a fourth embodiment of an input / output bus control in a ferroelectric SWL- Memory according to the present invention shows. Fig. 43 shows a circuit system of a fifth embodiment of an input / output bus control in a ferroelectric SWL memory in accordance with the present invention, while Fig. 44 shows a circuit system of a sixth embodiment of an input / output bus control in a ferroelectric SWL Memory according to the present invention. The data bus and the input / output bus control have different systems, depending on whether the data input / output of a sense amplifier takes place via the same data bus ( FIGS. 39 and 40) or not ( FIGS. 41, 42, 43 and 44) and whether the memory cell array has memory cell sub-blocks and reference cell sub-blocks (FIGS . 39, 41 and 43) or bit lines and inverted bit lines or bit bar lines (FIGS . 40, 42 and 44).

Beim ersten Ausführungsbeispiel einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung nach der vorliegenden Erfindung seien vier Leseverstärkerblöcke in jedem der Zellen­ arrayblöcke vorhanden, wobei das Zellenarraysystem nach Fig. 8 ausgebildet ist, wobei die Dateneingabe und -ausgabe des Leseverstärkers über denselben Daten­ bus erfolgt. Das bedeutet, wie in Fig. 39 gezeigt, daß das erste Ausführungsbei­ spiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung folgendes enthält: vier erste Schaltein­ heiten 303 zum Schalten von Daten vom Datenanschluß D_ des Leseverstärker­ blocks in Antwort auf ein Halteaktivierungssignal LED (Latch Enable Signal); vier Puffereinheiten 304 zum Puffern bzw. Speichern der Daten von den ersten Schalt­ einheiten in Antwort auf das Halteaktivierungssignal LED; vier zweite Schalteinheiten 305 zum Leiten der in den Puffereinheiten 304 gespeicherten Daten zurück in die Puffereinheiten 304, um sie dort zu speichern, und zwar in Antwort auf das Halteaktivierungssignal LED; vier dritte Schalteinheiten 306 zur Übertragung der in den Puffereinheiten 304 gespeicherten Daten zu externen Datenbussen Dinout_Bus_0, Dinout_Bus_1, Dinout_Bus_2 und Dinout_Bus_3 in Antwort auf ein Schreib/Lese-Signal WRS; und vier vierte Schalteinheiten 307 zur Lieferung von Daten von den externen Datenbussen Dinout_Bus_0, Dinout_Bus_1, Dinout_Bus_2 und Dinout_Bus_3 zu den jeweiligen Datenanschlüssen D_ der Le­ severstärkerblöcke in Antwort auf die Schreib/Lese-Signale WRS. Jede der er­ sten, zweiten, dritten und vierten Schalteinheiten 303, 305, 306 und 307 enthält ein Übertragungsgatter, wobei die Puffereinheit 304 zwei oder mehr als zwei In­ verter aufweist, in jedem Fall aber eine geradzahlige Anzahl von Invertern, wobei Ausgangsdaten im Pufferspeicher 304 sowie durch die zweite Schalteinheit 305 gehalten werden.In the first exemplary embodiment of an input / output bus control according to the present invention, there are four sense amplifier blocks in each of the cell array blocks, the cell array system being designed according to FIG. 8, the data input and output of the sense amplifier taking place via the same data bus. That is, as shown in Fig. 39, that the first embodiment of the input / output bus control includes the following: four first switching units 303 for switching data from the data terminal D_ of the sense amplifier block in response to a hold enable signal LED (Latch Enable Signal) ; four buffer units 304 for buffering or storing the data from the first switching units in response to the hold activation signal LED; four second switching units 305 for routing the data stored in the buffer units 304 back to the buffer units 304 in order to store them there, in response to the hold activation signal LED; four third switching units 306 for transmitting the data stored in the buffer units 304 to external data buses Dinout_Bus_0, Dinout_Bus_1, Dinout_Bus_2 and Dinout_Bus_3 in response to a read / write signal WRS; and four fourth switching units 307 for supplying data from the external data buses Dinout_Bus_0, Dinout_Bus_1, Dinout_Bus_2 and Dinout_Bus_3 to the respective data connections D_ of the amplifier blocks in response to the read / write signals WRS. Each of the first, second, third and fourth switching units 303 , 305 , 306 and 307 contains a transmission gate, the buffer unit 304 having two or more than two inverters, but in each case an even number of inverters, with output data in the buffer memory 304 as well as held by the second switching unit 305 .

Das zweite Ausführungsbeispiel einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung nach der vorliegenden Erfindung ist gemäß Fig. 40 aufgebaut. Diese Eingabe/Ausgabe- Bussteuerung ist identisch zu der nach dem ersten Ausführungsbeispiel mit der Ausnahme, daß das Zellenarray Bitleitungen und Bitbarleitungen (invertierte Bitleitungen) gemäß Fig. 9 enthält und die Busleitung folgendes System aufweist: Datenbusse Dinout_Bus_0 und Dinout_Bus_1 sowie invertierten Datenbusse (Busse für invertierte Daten) DBinout_Bus_0 und DBinout_Bus_1. Weist demzu­ folge ein Zellenarrayblock vier Leseverstärkerblöcke auf, die jeweils einen Daten­ anschluß und einen invertierten Datenanschluß besitzen, so ist das aus der er­ sten, zweiten, dritten und vierten Schaltungseinheit 303, 305, 306 und 307 und aus den Pufferteilen 304 bestehende System identisch zum ersten Ausführungs­ beispiel mit der Ausnahme, daß acht von ihnen jeweils erforderlich sind, da sie mit den Datenanschlüssen und den invertierten Datenanschlüssen eines jeden Leseverstärkerblocks verbunden sein sollten.The second embodiment of an input / output bus controller according to the present invention is constructed as shown in FIG. 40. This input / output bus control is identical to that according to the first exemplary embodiment, with the exception that the cell array contains bit lines and bit bar lines (inverted bit lines) according to FIG. 9 and the bus line has the following system: data buses Dinout_Bus_0 and Dinout_Bus_1 and inverted data buses (buses for inverted data) DBinout_Bus_0 and DBinout_Bus_1. Accordingly, a cell array block has four sense amplifier blocks, each having a data connection and an inverted data connection, so this is the system consisting of the first, second, third and fourth circuit units 303 , 305 , 306 and 307 and the buffer parts 304 the first embodiment, except that eight of them are required because they should be connected to the data ports and the inverted data ports of each sense amplifier block.

Nachfolgend wird das dritte Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bus­ steuerung nach der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 41 er­ läutert. Das dritte Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung ist für den Fall vorgesehen, daß das Zellenarray ein System nach Fig. 8 aufweist, wo­ bei jeder der Zellenarrayblöcke vier Leseverstärkerblöcke sowie Eingabe- und Ausgabedatenbusse separat besitzt. The third embodiment of the input / output bus control according to the present invention is explained below with reference to FIG. 41. The third embodiment of the input / output bus control is provided in the event that the cell array has a system as shown in Fig. 8, where each of the cell array blocks has four sense amplifier blocks and input and output data buses separately.

Bei diesem dritten Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung sind vier fünfte Schalteinheiten 308 zur Lieferung von Daten von externen Daten­ bussen_Din_Bus_0, Din_Bus_1, Din_bus_2 und Din_Bus_3 zu den Leseverstärk­ erblöcken 301 in Antwort auf ein Schreibaktivierungssignal WE vorgesehen, vier sechste Schalteinheiten 309 zur Ausgabe von Daten von den Datenanschlüssen D_ der Leseverstärkerblöcke 301 in Antwort auf ein Halteaktivierungssignal LED, vier Puffereinheiten 310 zur Pufferung der Daten von den sechsten Schalteinhei­ ten 309 in Antwort auf das Halteaktivierungssignal LED, vier siebte Schalteinhei­ ten 311 zur Rückführung der in den Puffereinheiten 310 gepufferten Daten in die Puffereinheiten 310 in Antwort auf das Halteaktivierungssignal LED, und vier achte Schalteinheiten 312 zur endgültigen Ausgabe der in den Puffereinheiten 310 gespeicherten Daten zu externen Datenbussen Dout_Bus_0, Dout_Bus_1, Dout_Bus_2 und Dout_Bus_3 in Antwort auf ein Ausgabeaktivierungssignal OE. Die fünften, sechsten, siebten und achten Schalteinheiten 308, 309, 311 und 312 besitzen jeweils ein Übertragungsgatter, wobei die Puffereinheit 310 zwei oder mehr Inverter besitzt, jedoch eine geradzahlige Anzahl von Invertern.In this third exemplary embodiment of the input / output bus control, four fifth switching units 308 are provided for supplying data from external data bussen_Din_Bus_0, Din_Bus_1, Din_bus_2 and Din_Bus_3 to the sense amplifier blocks 301 in response to a write activation signal WE, four sixth switching units 309 for outputting data from the data connections D_ of the sense amplifier blocks 301 in response to a hold activation signal LED, four buffer units 310 for buffering the data from the sixth switching units 309 in response to the hold activation signal LED, four seventh switching units 311 for returning the data buffered in the buffer units 310 into the Buffer units 310 in response to the hold activation signal LED, and four eighth switching units 312 for the final output of the data stored in the buffer units 310 for external data buses Dout_Bus_0, Dout_Bus_1, Dout_Bus_2 and Dout_Bus_3 in response to an output activation signal OE. The fifth, sixth, seventh and eighth switching units 308 , 309 , 311 and 312 each have a transmission gate, the buffer unit 310 having two or more inverters, but an even number of inverters.

Nachfolgend wird das vierte Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bus­ steuerung nach der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 42 be­ schrieben. Das vierte Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung ist für einen Fall vorgesehen, bei dem das Zellenarray einen Aufbau nach Fig. 9 hat und Dateneingabe- und -ausgabebusse separat vorhanden sind. Obwohl das vierte Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung identisch zu dem in Fig. 41 gezeigten Ausführungsbeispiel ist, da jeder der Leseverstärker­ blöcke 301 im vierten Ausführungsbeispiel einen Datenanschluß D_ und einen invertierten Datenanschluß DB_ aufweist, besitzt das vierte Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung zweimal mehr Schalteinheiten als das dritte Ausführungsbeispiel, da jeder der Datenanschlüsse und der invertierten Daten­ anschlüsse mit Schalteinheiten zur Steuerung von Daten auf jedem der Anschlüs­ se ausgestattet sein sollte.Hereinafter, the fourth embodiment of the input / output bus control according to the present invention will be described with reference to FIG. 42. The fourth embodiment of the input / output bus control is provided for a case in which the cell array has a structure as shown in Fig. 9 and data input and output buses are provided separately. Although the fourth embodiment of the input / output bus control is identical to the embodiment shown in Fig. 41, since each of the sense amplifier blocks 301 in the fourth embodiment has a data terminal D_ and an inverted data terminal DB_, the fourth embodiment has the input / output bus control twice more switching units than the third embodiment, since each of the data connections and the inverted data connections should be equipped with switching units for controlling data on each of the connections.

Ein fünftes Ausführungsbeispiel einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung nach der vorliegenden Erfindung ist in Fig. 43 gezeigt. Das fünfte Ausführungsbeispiel ist für den Fall vorgesehen, daß das Zellenarray nach Fig. 8 aufgebaut ist und Daten­ eingabebusse und Datenausgabebusse zur einfacheren Dateneingabe/Daten­ ausgabe getrennt vorgesehen sind. Das fünfte Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung enthält neunte Schalteinheiten 313 zur Lieferung von Daten von den Datenbussen Din_Bus_0, Din_Bus_1, Din_Bus_2 und Din_Bus_3 zu den Datenanschlüssen D_ in jedem der Leseverstärkerblöcke in Antwort auf ein Schreibaktivierungssignal WE, wenn es ein externes Schreibaktivierungs­ signal gibt und ein Ausgabeaktivierungssignal verfügbar ist, sowie zehnte Schalt­ einheiten 314 zur Lieferung von Daten von den Datenterminals D_ eines jeden Le­ severstärkerblocks zu den Datenbussen Dout_Bus_0, Dout_Bus_1, Dout_Bus_2 und Dout_Bus_3 in Antwort auf das Ausgangsaktivierungssignal OE.A fifth embodiment of an input / output bus controller according to the present invention is shown in FIG. 43. The fifth exemplary embodiment is provided for the case in which the cell array according to FIG. 8 is constructed and data input buses and data output buses are provided separately for easier data input / data output. The fifth embodiment of the input / output bus control includes ninth switching units 313 for supplying data from the data buses Din_Bus_0, Din_Bus_1, Din_Bus_2 and Din_Bus_3 to the data connections D_ in each of the sense amplifier blocks in response to a write activation signal WE when there is an external write activation signal and an output activation signal is available, as well as tenth switching units 314 for supplying data from the data terminals D_ of each amplifier block to the data buses Dout_Bus_0, Dout_Bus_1, Dout_Bus_2 and Dout_Bus_3 in response to the output activation signal OE.

Das sechste Ausführungsbeispiel der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung nach der vorliegenden Erfindung ist in Fig. 44 gezeigt. Dieses sechste Ausführungsbeispiel ist identisch zum fünften Ausführungsbeispiel mit der Ausnahme, daß das Zel­ lenarray gemäß Fig. 9 ausgebildet ist und Bitleitungen sowie invertierte Bitleitun­ gen einschließt. Das bedeutet, daß ein Datenanschluß D_ und ein invertierter Da­ tenanschluß DB_ für jeden der Leseverstärkerblöcke vorhanden sind und daß ei­ ne Schaltungseinheit zur Eingabe/Ausgabe von Daten zu jedem Anschluß bzw. von jedem Anschluß vorgesehen ist.The sixth embodiment of the input / output bus control according to the present invention is shown in FIG. 44. This sixth embodiment is identical to the fifth embodiment with the exception that the cell array is formed in accordance with FIG. 9 and includes bit lines and inverted bit lines. This means that a data connection D_ and an inverted data connection DB_ are provided for each of the sense amplifier blocks and that a circuit unit is provided for input / output of data to each connection or each connection.

Systeme von Datenbussen in Übereinstimmung mit den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen werden nachfolgend vorgestellt. Die Fig. 45 zeigt ein Sy­ stem eines ersten Ausführungsbeispiels eines Datenbusses in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung, während die Fig. 46 ein System eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Datenbusses in Übereinstimmung mit der vorliegen­ den Erfindung zeigt. Die Fig. 47 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel eines Da­ tenbusses nach der Erfindung, während die Fig. 48 ein viertes Ausführungsbei­ spiel eines erfindungsgemäßen Datenbusses zeigt.Systems of data buses in accordance with the previously described embodiments are presented below. The Fig. 45 shows a Sy stem of a first embodiment of a data bus in accordance with the present invention, while Figure 46 is a system of a second embodiment of a data bus in accordance with the present displays. The invention. Fig. 47 shows a third embodiment of a data bus according to the invention, while Fig. 48 shows a fourth exemplary embodiment of a data bus according to the invention.

Das erste Ausführungsbeispiel eines Datenbusses gemäß Fig. 45 ist für den Fall vorgesehen, daß die Dateneingabe/Ausgabe über denselben Bus erfolgt, wie in Fig. 39 angegeben. Sind also für einen Zellenarrayblock vier Kernblöcke 601 vor­ handen, so sind vier gemeinsame Eingabe/Ausgabe-Datenbusleitungen erforder­ lich. Enthält ein Zellenarrayblock vier Hauptzellen-Unterblöcke, so enthält jeder Leseverstärkerblock zwei Leseverstärker und die Dateneingabe/Ausgabe zu oder von einem Leseverstärker in jedem der Leseverstärkerblöcke erfolgt über einen Datenbus. The first exemplary embodiment of a data bus according to FIG. 45 is provided in the event that the data input / output takes place via the same bus as indicated in FIG. 39. Thus, if there are four core blocks 601 for a cell array block, four common input / output data bus lines are required. If a cell array block contains four main cell sub-blocks, each sense amplifier block contains two sense amplifiers and data input / output to or from a sense amplifier in each of the sense amplifier blocks is via a data bus.

Das zweite Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Datenbusses gemäß Fig. 46 dient für den Fall, bei dem die Dateneingabe/Ausgabe über denselben Bus erfolgt, jedoch mit separaten Datenbussen und invertierten Datenbussen gemäß Fig. 40.The second exemplary embodiment of a data bus according to the invention according to FIG. 46 serves for the case in which the data input / output takes place via the same bus, but with separate data buses and inverted data buses according to FIG. 40.

Das dritte Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Datenbusses gemäß Fig. 47 für einen ferroelektrischen SWL-Speicher dient für den Fall, daß die Da­ teneingabe/Datenausgabe über separate Busse erfolgt, wie in den Fig. 41 und 43 gezeigt.The third embodiment of a data bus according to the invention shown in FIG. 47 for a ferroelectric SWL memory is used in the event that the data input / data output takes place via separate buses, as shown in FIGS . 41 and 43.

Die Fig. 48 zeigt das vierte Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Daten­ busses für einen ferroelektrischen SWL-Speicher, wobei dieses Ausführungsbei­ spiel für den Fall dient, daß die Dateneingabe/Datenausgabe über separate Da­ teneingangsbusse Din_Bus und DBin_Bus sowie Datenausgangsbusse Dout_Bus und DBout_Bus erfolgt, wie in den Fig. 42 und 44 gezeigt. Fig. 48 shows the fourth embodiment of a data bus according to the invention for a ferroelectric SWL memory, this exemplary embodiment serving for the case that the data input / data output via separate data input buses Din_Bus and DBin_Bus and data output buses Dout_Bus and DBout_Bus, as in the FIGS. 42 and 44 shown.

Nachfolgend wird der Betrieb der erfindungsgemäßen Eingabe/Ausgabe-Bus­ steuerung nach der vorliegenden Erfindung erläutert. Die Fig. 49 zeigt ein Signal­ ablaufdiagramm zur Erläuterung des Betriebs der Eingabe/Ausgabe-Bussteue­ rung nach dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung, die Fig. 50 ein Signal­ ablaufdiagramm zur Erläuterung des Betriebs der Eingabe/Ausgabe-Bussteue­ rung nach dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung und die Fig. 51 ein Signalablaufdiagramm zur Erläuterung des Betriebs der Eingabe/Ausgabe-Bus­ steuerung nach dem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung.The operation of the input / output bus control according to the present invention is explained below. Fig. 49 shows a signal flow chart for explaining the operation of the input / output bus control according to the first embodiment of the invention, Fig. 50 shows a signal flow chart for explaining the operation of the input / output bus control according to the second embodiment of the invention and FIG. 51 is a signal flow chart for explaining the operation of the input / output bus control according to the third embodiment of the invention.

Bei einem System mit Cache-Speicher erfolgt ein wahlfreier Zugriff durch eine CPU auf den Hauptspeicher, der in Verbindung mit einem derartigen Cache-Spei­ cher benutzt wird, in der Regel durch den Cache-Speicher, der Information in Blockeinheiten vom RAM empfängt. Um Daten in Blockeinheiten übertragen zu können, kann auf Daten zugegriffen werden, wenn die Spaltenadresse verändert wird, wobei die Zeilenadresse fixiert bleibt, oder es wird auf wenige Bits von Spal­ tenadressen nacheinander zugegriffen. Einer schnellen Spaltenzugriffsfunktion wird daher hohe Aufmerksamkeit geschenkt, wobei auf Daten mit hoher Ge­ schwindigkeit zugegriffen wird, und zwar bei Veränderung der Spaltenadresse und fester Zeilenadresse. Es gibt dabei "m" Bitleitungen, von denen jede einen Le­ severstärker aufweist. Während die Signale SAN und SAP, die Leseverstärker-Aktivierungssignale sind, aktiviert sind, werden m Bits von Daten verstärkt und ge­ halten, und zwar in Leseverstärkern, die mit den Bitleitungen verbunden sind. Die längste Zeit beim Lesen wird für das Anlegen der Zeilenadresse und für das Detektieren der Daten benötigt. Werden daher beim Lesen der Daten m Bit zur sel­ ben Zeit detektiert, während nur die Spaltenadresse geändert wird, läßt sich die Zugriffszeitperiode signifikant reduzieren, was zu einer schnelleren Leseopera­ tion führt. Das Lesen von Daten nach Aktivierung einer Spaltenselektionsleitung einer bestimmten Adresse und das Lesen von Daten anderer Adressen bei fester Zeilenadresse kann dabei bis herauf zu "m" Datenbits erfolgen.In a system with a cache memory, random access is provided by a CPU to the main memory, which in connection with such a cache memory cher is used, usually by the cache, the information in Receive block units from RAM. To transfer data in block units too data can be accessed when the column address changes the row address remains fixed, or it is limited to a few bits of Spal ten addresses accessed one after the other. A quick column access function great attention is therefore paid to data with high Ge speed is accessed when the column address changes and fixed line address. There are "m" bit lines, each of which has a Le has stronger. While the SAN and SAP signals, the sense amplifier activation signals  are activated, m bits of data are amplified and ge hold in sense amplifiers connected to the bit lines. The longest time in reading is for creating the row address and for the Detection of the data needed. Therefore, when reading the data, m bits become sel ben time detected while only the column address is changed, the Significantly reduce the access time period, resulting in a faster read opera tion leads. Reading data after activating a column selection line a specific address and reading data from other addresses at fixed Row address can be up to "m" data bits.

Die Fig. 49 zeigt Wellenformen für einen Fall, wenn nur eine Spalte in einer Zeile ausgewählt wird. Werden nach Ende einer Leseverstärkeroperation Daten von den Leseverstärkern zu den Datenbussen D_Bus_0, D_Bus_1, D_Bus_2 und D_Bus_3 geladen, so wird ein auf "high" liegender Puls ausgegeben, um ein Aus­ gangshaltesignal LED zu enabeln bzw. zu aktivieren. Dadurch werden die Daten des Leseverstärkers gehalten, und zwar im Haltespeicher, wodurch die Daten wei­ terhin zur Verfügung stehen, auch wenn die Leseverstärker deaktiviert werden. Fig. 49 shows waveforms for a case when only one column in a row is selected. If data is loaded from the sense amplifiers to the data buses D_Bus_0, D_Bus_1, D_Bus_2 and D_Bus_3 after the end of a sense amplifier operation, a pulse which is high is output in order to enable or disable an output hold signal LED. As a result, the data of the sense amplifier are held in the latch, which means that the data are still available even if the sense amplifiers are deactivated.

Das Betriebszeitdiagramm der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung nach Fig. 50 ak­ tiviert Spaltenadressensignale Y_T_0, Y_T_1, Y_T_2 und Y_T_3 in dieser Reihen­ folge nach Ausdehnung einer Aktivierungszeitperiode des Leseverstärkers im Le­ semodus. In diesem Fall bleibt das Zeilenadressensignal fixiert auf Eins, und das Ausgabehaltesignal LED bleibt enabled bzw. aktiviert.The operating timing chart of the input / output bus controller of FIG. 50 ak tivated column address signals Y_T_0, Y_T_1, Y_T_2 Y_T_3 and in these rows follow expansion by an activation period of the sense amplifier in Le semodus. In this case, the row address signal remains fixed at one, and the output hold signal LED remains enabled.

Beim Betriebszeitdiagramm der Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung nach Fig. 51 werden Spaltenadressensignale Y_T_0, Y_T_1, Y_T_2 und Y_T_3 in dieser Reihen­ folge aktiviert, und zwar nach Ausdehnung einer Aktivierungszeitperiode des Le­ severstärkers im Lesemodus, wenn das Ausgangshaltesignal LED nur für eine Zeitperiode aktiviert ist, die ausreicht, um Daten im Haltepufferteil des Kern­ blocks 601 zu speichern, und deaktiviert ist, bis die folgenden Daten geliefert wer­ den. Die folgenden Spaltenadressensignale Y_T_0, Y_T_1, Y_T_2 und Y_T_3 kön­ nen somit sehr schnell aktiviert werden, was zu einer hohen Spaltenzugriffsge­ schwindigkeit führt.In the operation timing chart of the input / output bus controller of FIG. 51 are column address signals Y_T_0, Y_T_1, Y_T_2 and Y_T_3 in these rows follow activated, after expansion of an activation time period of the Le sever stärkers in the read mode, when the output holding signal LED is activated only for a period of time, sufficient to store data in the hold buffer portion of core block 601 and is disabled until the following data is provided. The following column address signals Y_T_0, Y_T_1, Y_T_2 and Y_T_3 can thus be activated very quickly, which leads to a high column access speed.

Der zuvor erwähnte ferroelektrische SWL-Speicher sowie dessen Ansteuerschal­ tung weisen einige Vorteile auf. The previously mentioned ferroelectric SWL memory and its control scarf tion have several advantages.  

Da Teil-Wortleitungen verwendet werden, die auch als Zellenplatte in einem fer­ roelektrischen Speicher dienen, läßt sich die Packungsdichte des Speichers erhö­ hen sowie dessen Effizienz, da jetzt beim Lesen von Daten sowie beim Schreiben von Daten kein separates Plattenleitungs-Steuersignal mehr erforderlich ist.Because partial word lines are used, which are also used as a cell plate in a fer serve electrical storage, the packing density of the memory can be increased hen and its efficiency, since now when reading data and when writing of data no longer requires a separate plate line control signal.

Es wurde bereits erwähnt, daß beim herkömmlichen ferroelektrischen Speicher nur eine Referenzzelle verwendet wird, wenn der Hauptspeicher einige hundert­ mal gelesen wird und daß sich unter Umständen die ferroelektrischen Eigen­ schaften der Referenzzelle ändern können. Wird die Referenzzelle noch häufiger benutzt, so können sich dabei ihre Eigenschaften stark verschlechtern, was zu ei­ ner unstabilen Referenzspannung führen würde. Beim erfindungsgemäßen Spei­ cher ist dies nicht der Fall, da hier wesentlich mehr Referenzzellen vorhanden sind. Verschlechterungen der Eigenschaften der Referenzzellen im Laufe des Be­ triebs des Speichers können somit weitestgehend vermieden werden.It has already been mentioned that in the conventional ferroelectric memory only one reference cell is used when the main memory is a few hundred times read and that under certain circumstances the ferroelectric Eigen properties of the reference cell. The reference cell becomes even more common used, their properties can deteriorate greatly, resulting in egg ner unstable reference voltage would lead. In the Spei invention Certainly this is not the case since there are significantly more reference cells are. Deterioration in the properties of the reference cells in the course of loading drive of the memory can thus be largely avoided.

Ferner wird das CSBpad-Signal beim erfindungsgemäßen Speicher nur als Signal zur Aktivierung des Speichers verwendet, da bei der Erfindung die Signale X-, Y- und Z-ATD zusammen mit dem CSBpad-Signal benutzt werden. Dies führt zu ei­ nem effektiveren Management der Speicheroperation, derart, daß sich eine ver­ größerte Chip-Zugriffsgeschwindigkeit ergibt, und zwar durch Aktivierung der schnellen Spalten-Zugriffsbetriebsart. Bei der Adressenänderung werden entwe­ der nur die X- und Z-Adressen oder nur die Y-Adresse geändert und bei Fortfüh­ rung des Betriebs nach Empfang des CSBpad-Signals werden die X-, Y- und Z- ATD-Signale unterdrückt, auch wenn sie empfangen werden. Werden nur die X- und Z-Adressen geändert, läuft der Betrieb bei aktiviertem CSBpad-Signal unter Verwendung der X- und Z-ATD-Signale ab, da keine gültigen Daten im Lesever­ stärker gehalten sind. Wird dagegen nur die Y-Adresse geändert, werden im Lese­ verstärker gehaltene Daten gelesen, da die Teil-Wortleitungen SWL1 und SWL2 bzw. deren Signale für die Zeilenadresse fixiert sind. Der reguläre Schreibbetrieb kann ausgeführt werden unter Verwendung des Y-ATD-Signals im Schreibmodus.Furthermore, the CSBpad signal in the memory according to the invention is only used as a signal used to activate the memory, since in the invention the signals X-, Y- and Z-ATD can be used together with the CSBpad signal. This leads to egg nem more effective management of the storage operation, such that a ver results in greater chip access speed by activating the fast column access mode. When changing the address, either who only changed the X and Z addresses or only the Y address and continued operation after receiving the CSBpad signal, the X, Y and Z ATD signals are suppressed even when they are received. If only the X- and Z addresses changed, the operation undercuts when the CSBpad signal is activated Use of the X and Z ATD signals since no valid data in the read ver are held stronger. If, on the other hand, only the Y address is changed, the read will read more data, since the sub-word lines SWL1 and SWL2 or whose signals are fixed for the row address. The regular writing operation can be executed using the Y-ATD signal in write mode.

Nach der Erfindung können die Dateneingabe und die Datenausgabe für eine Mehrzahl von Spalten unter Verwendung desselben Datenbusses ausgeführt wer­ den, und zwar unter Ausnutzung der schnellen Spalten-Zugriffsfunktion, bei der schnell auf Daten zugegriffen werden kann, wenn sich die Spaltenadresse ändert und die Zeilenadresse konstant bleibt. According to the invention, the data input and the data output for a A plurality of columns are executed using the same data bus using the fast column access function where Data can be accessed quickly when the column address changes and the row address remains constant.  

Die Datenei 00751 00070 552 001000280000000200012000285910064000040 0002019923979 00004 00632ngabe/Datenausgabe für eine Mehrzahl von Spalten über denselben Datenbus führt darüber hinaus zu einer Vereinfachung des Layouts der Speicher­ einrichtung sowie zu einer Verringerung der Chipfläche.The data 00751 00070 552 001000280000000200012000285910064000040 0002019923979 00004 00632 output / data output for a plurality of columns over the same Data bus also leads to a simplification of the layout of the memories device and a reduction in the chip area.

Wie oben bereits erläutert, werden bei der Erfindung die Daten vom Leseverstär­ ker ausgegeben, jedoch nicht zu einem Datenbus, der gemeinsam mit anderen verschiedenen Zellenarrayblöcken direkt verbunden ist. Die Daten passieren viel­ mehr den Kernblock 601, was zu einer Verringerung der Ausgangslast am Aus­ gangsanschluß des Leseverstärkers führt und zu einer Erhöhung der Eingangs/­ Ausgangsraten.As already explained above, in the invention, the data are output from the sense amplifier, but not to a data bus that is directly connected to other different cell array blocks. Rather, the data passes through core block 601 , resulting in a reduction in the output load on the sense amplifier's output port and an increase in input / output rates.

Claims (18)

1. Ferroelektrischer Speicher mit:
einem Zellenarray (400) mit einer Mehrzahl von Teil-Wortleitungen (SWL- bzw. Split- Wortleitungen) und einer Mehrzahl von Bitleitungen zur Speicherung von Daten;
einem SWL-Treiber (300) (Teil-Wortleitungstreiber) zum Treiben jeder der Teil- Wortleitungen (SWL) im Zellenarray (400);
einer Mehrzahl von Leseverstärkerblöcken (301) zum Detektieren von Daten auf jeder der Bitleitungen im Zellenarray (400);
einer Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) als Interface zwischen den Leseverstärkerblöcken (301) und Datenbussen zur Ausgabe der in jedem der Leseverstärkerblöcken (301) enthaltenen Daten sowie zur Eingabe von zu schreibenden Daten, dadurch gekennzeichnet, daß
jede der Zellen im Zellenarray (400) mit einem Paar von ersten und zweiten Teil-Wortleitungen und einem Paar von ersten und zweiten Bitleitungen verbunden ist und
jede der Zellen im Zellenarray (400) aufweist:
einen ersten Transistor, dessen Gateelektrode mit einer ersten Teil-Wortleitung verbunden ist und dessen Sourceelektrode mit einer ersten Bitleitung verbunden ist,
einen zweiten Transistor, dessen Gateelektrode mit einer zweiten Teil-Wortleitung verbunden ist und dessen Sourceelektrode mit einer zweiten Bitleitung verbunden ist,
einen ersten Kondensator, dessen erster Anschluß mit der Drainelektrode des ersten Transistors verbunden ist und dessen zweiter Anschluß mit der zweiten Teil-Wortleitung verbunden ist,
einen zweiten Kondensator, dessen erster Anschluß mit der Drainelektrode des zweiten Transistors verbunden ist und dessen zweiter Anschluß mit der ersten Teil-Wortleitung verbunden ist.
1. Ferroelectric memory with:
a cell array ( 400 ) with a plurality of sub-word lines (SWL or split word lines) and a plurality of bit lines for storing data;
a SWL driver ( 300 ) (partial word line driver) for driving each of the partial word lines (SWL) in the cell array ( 400 );
a plurality of sense amplifier blocks ( 301 ) for detecting data on each of the bit lines in the cell array ( 400 );
an input / output bus controller ( 26 ) as an interface between the sense amplifier blocks ( 301 ) and data buses for outputting the data contained in each of the sense amplifier blocks ( 301 ) and for entering data to be written, characterized in that
each of the cells in the cell array ( 400 ) is connected to a pair of first and second partial word lines and a pair of first and second bit lines and
each of the cells in the cell array ( 400 ) has:
a first transistor whose gate electrode is connected to a first partial word line and whose source electrode is connected to a first bit line,
a second transistor whose gate electrode is connected to a second partial word line and whose source electrode is connected to a second bit line,
a first capacitor, the first connection of which is connected to the drain electrode of the first transistor and the second connection of which is connected to the second partial word line,
a second capacitor, the first terminal of which is connected to the drain electrode of the second transistor and the second terminal of which is connected to the first partial word line.
2. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) folgendes enthält:
  • - eine Mehrzahl von ersten Schalteinheiten (303) zum Schalten von Daten von Datenanschlüssen (D_) der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf ein Halteaktivierungssignal (LE);
  • - eine Mehrzahl von Puffereinheiten (304) zur Pufferung bzw. Zwischenspeicherung der Daten von den ersten Schalteinheiten (303);
  • - eine Mehrzahl von zweiten Schalteinheiten (305) zur Rückführung und Speicherung der in den Puffereinheiten (304) gespeicherten Daten in Antwort auf das Halteaktivierungssignal (LE);
  • - eine Mehrzahl von dritten Schalteinheiten (306) zur endgültigen Ausgabe der durch die zweiten Schalteinheiten (305) und die Puffereinheiten (304) gespeicherten Daten zu einem externen Datenbus (Dinout_Bus) in Antwort auf ein Schreib/Lesesignal (WRS); und
  • - eine Mehrzahl von vierten Schalteinheiten (307) zur Übertragung von Daten vom externen Datenbus (Dinout_Bus) zu einem Datenanschluß (D_) auf jedem der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf das Schreib/Lesesignal (WRS).
2. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that the input / output bus control ( 26 ) contains the following:
  • - a plurality of first switching units ( 303 ) for switching data from data connections (D_) of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to a hold activation signal (LE);
  • - a plurality of buffer units ( 304 ) for buffering or temporarily storing the data from the first switching units ( 303 );
  • - a plurality of second switching units ( 305 ) for returning and storing the data stored in the buffer units ( 304 ) in response to the hold activation signal (LE);
  • - a plurality of third switching units ( 306 ) for the final output of the data stored by the second switching units ( 305 ) and the buffer units ( 304 ) to an external data bus (Dinout_Bus) in response to a read / write signal (WRS); and
  • - A plurality of fourth switching units ( 307 ) for transmitting data from the external data bus (Dinout_Bus) to a data connection (D_) on each of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to the read / write signal (WRS).
3. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten, zweiten, dritten und vierten Schalteinheiten (303, 305, 306 und 307) Übertragungsgatter enthalten. 3. Ferroelectric memory according to claim 2, characterized in that the first, second, third and fourth switching units ( 303 , 305 , 306 and 307 ) contain transmission gates. 4. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Puffereinrichtung (304) zwei oder mehr Inverter enthält, vorzugsweise eine geradzahlige Anzahl von Invertern.4. Ferroelectric memory according to claim 2, characterized in that the buffer device ( 304 ) contains two or more inverters, preferably an even number of inverters. 5. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Halteaktivierungssignal (LE) Spaltenadreßsignale (Y_T_0; Y_T_1; Y_T_2 und Y_T_3) nacheinander aktiviert, und zwar nach Ausdehnung der Aktivierungszeitperiode des Leseverstärkers im Lesemodus.5. Ferroelectric memory according to claim 2, characterized in that the Hold activation signal (LE) Column address signals (Y_T_0; Y_T_1; Y_T_2 and Y_T_3) activated one after the other, namely after extending the activation period of the Sense amplifier in read mode. 6. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) folgendes enthält:
  • - eine Mehrzahl von ersten Schalteinheiten (303) zum Schalten von Daten von Datenanschlüssen (D_) und invertierten Datenanschlüssen (DB_) der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf ein Halteaktivierungssignal (LE);
  • - eine Mehrzahl von Puffereinheiten (304) zur Pufferung bzw. Zwischenspeicherung der Daten von den ersten Schalteinheiten (303);
  • - eine Mehrzahl von zweiten Schalteinheiten (305) zur Rückführung der in den Puffereinheiten (304) gespeicherten Daten zu den Puffereinheiten (304) sowie zur erneuten Speicherung in den Puffereinheiten (304), und zwar in Antwort auf das Halteaktivierungssignal (LE);
  • - eine Mehrzahl von dritten Schalteinheiten (306) zur endgültigen Ausgabe der durch die zweiten Schalteinheiten (305) und die Puffereinheiten (304) gespeicherten Daten zu einem externen Datenbus (Dinout_Bus) und einem invertierten Datenbus (DBinout_Bus) in Antwort auf ein Schreib/Lesesignal (WRS); und
  • - eine Mehrzahl von vierten Schalteinheiten (307) zur Lieferung von Daten vom externen Datenbus (Dinout_Bus) sowie zur Lieferung von Daten vom invertierten Datenbus (DBinout_Bus) jeweils zu einem Datenanschluß (D_) und invertierten Datenanschluß (DB_) auf jedem der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf das Schreib/Lesesignal (WRS).
6. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that the input / output bus control ( 26 ) contains the following:
  • - a plurality of first switching units ( 303 ) for switching data from data connections (D_) and inverted data connections (DB_) of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to a hold activation signal (LE);
  • - a plurality of buffer units ( 304 ) for buffering or temporarily storing the data from the first switching units ( 303 );
  • - A plurality of second switching units ( 305 ) for returning the data stored in the buffer units ( 304 ) to the buffer units ( 304 ) and for re-storage in the buffer units ( 304 ) in response to the hold activation signal (LE);
  • - a plurality of third switching units ( 306 ) for the final output of the data stored by the second switching units ( 305 ) and the buffer units ( 304 ) to an external data bus (Dinout_Bus) and an inverted data bus (DBinout_Bus) in response to a read / write signal ( WRS); and
  • - A plurality of fourth switching units ( 307 ) for supplying data from the external data bus (Dinout_Bus) and for supplying data from the inverted data bus (DBinout_Bus) each to a data connection (D_) and inverted data connection (DB_) on each of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to the read / write signal (WRS).
7. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) folgendes enthält:
  • - eine Mehrzahl von fünften Schalteinheiten (308) zur Lieferung von Daten von einem externen Datenbus (Din_Bus) zu einem Datenanschluß (D_) auf jedem der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf ein Schreibaktivierungssignal (WE);
  • - eine Mehrzahl von sechsten Schalteinheiten (309) zur Weiterleitung von Daten auf den Datenanschlüssen (D_) der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf ein Halteaktivierungssignal (LE);
  • - eine Mehrzahl von Puffereinheiten (310) zur Pufferung bzw. Zwischenspeicherung der Daten von den sechsten Schalteinheiten (309);
  • - eine Mehrzahl von siebten Schalteinheiten (311) zur Rückführung der in den Puffereinheiten (310) gespeicherten Daten zu den Puffereinheiten (310) sowie zur Speicherung dieser Daten in den Puffereinheiten (310) in Antwort auf das Halteaktivierungssignal (LE); und
  • - eine Mehrzahl von achten Schalteinheiten (312) zur endgültigen Weiterleitung der durch die siebten Schalteinheiten (311) und die Puffereinheiten (310) gespeicherten Daten zu einem externen Datenbus (Dout-Bus) in Antwort auf ein Ausgabeaktivierungssignal (OE).
7. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that the input / output bus control ( 26 ) contains the following:
  • - a plurality of fifth switching units ( 308 ) for supplying data from an external data bus (Din_Bus) to a data connection (D_) on each of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to a write activation signal (WE);
  • - A plurality of sixth switching units ( 309 ) for forwarding data on the data connections (D_) of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to a hold activation signal (LE);
  • - a plurality of buffer units ( 310 ) for buffering or temporarily storing the data from the sixth switching units ( 309 );
  • - a plurality of seventh switching units ( 311 ) for returning the data stored in the buffer units ( 310 ) to the buffer units ( 310 ) and for storing this data in the buffer units ( 310 ) in response to the hold activation signal (LE); and
  • - A plurality of eighth switching units ( 312 ) for the final forwarding of the data stored by the seventh switching units ( 311 ) and the buffer units ( 310 ) to an external data bus (Dout bus) in response to an output activation signal (OE).
8. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) folgendes enthält:
  • - eine Mehrzahl von fünften Schalteinheiten (308) zur Weiterleitung von Daten von einem externen Datenbus (Din_Bus) und von einem invertierten Datenbus (DB!n-Bus) jeweils zu einem Datenanschluß (D_) und einem invertierten Datenanschluß (DB_) auf jedem der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf ein Schreibaktivierungssignal (WE);
  • - eine Mehrzahl von sechsten Schalteinheiten (309) zur Weiterleitung von Daten von den Datenanschlüssen (D_) und den invertierten Datenanschlüssen (DB_) auf den Leseverstärkerblöcken (301) in Antwort auf ein Halteaktivierungssignal (LE);
  • - eine Mehrzahl von Puffereinheiten (310) zur Pufferung bzw. Zwischenspeicherung der Daten von den sechsten Schalteinheiten (309);
  • - eine Mehrzahl von siebten Schalteinheiten (311) zur Rückführung der in den Puffereinheiten (310) gespeicherten Daten zurück zu den Puffereinheiten (310) sowie zur erneuten Speicherung in diesen in Antwort auf das Halteaktivierungssignal (LE); und
  • - eine Mehrzahl von achten Schalteinheiten (312) zur endgültigen Weiterleitung der durch die siebten Schalteinheiten (311) und die Puffereinheiten (310) gespeicherten Daten zu einem externen Datenbus (Dout-Bus) und einem externen invertierten Datenbus (DBout_Bus) in Antwort auf ein Ausgabeaktivierungssignal (OE).
8. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that the input / output bus control ( 26 ) contains the following:
  • - A plurality of fifth switching units ( 308 ) for forwarding data from an external data bus (Din_Bus) and from an inverted data bus (DB! n bus) each to a data connection (D_) and an inverted data connection (DB_) on each of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to a write enable signal (WE);
  • - A plurality of sixth switching units ( 309 ) for forwarding data from the data connections (D_) and the inverted data connections (DB_) on the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to a hold activation signal (LE);
  • - a plurality of buffer units ( 310 ) for buffering or temporarily storing the data from the sixth switching units ( 309 );
  • - a plurality of seventh switching units ( 311 ) for returning the data stored in the buffer units ( 310 ) back to the buffer units ( 310 ) and for storing them again in response to the hold activation signal (LE); and
  • - A plurality of eighth switching units ( 312 ) for the final forwarding of the data stored by the seventh switching units ( 311 ) and the buffer units ( 310 ) to an external data bus (Dout bus) and an external inverted data bus (DBout_Bus) in response to an output activation signal (OE).
9. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) folgendes enthält:
  • - eine Mehrzahl von neunten Schalteinheiten (313) zur Lieferung von Daten von einem externen Datenbus (Din_Bus) zu einem Datenanschluß (D_) des Leseverstärkerblocks (301) in Antwort auf ein Schreibaktivierungssignal (WE); und
  • - eine Mehrzahl von zehnten Schalteinheiten (314) zur endgültigen Weiterleitung der Daten vom Datenanschluß (D_) eines jeden der Sensorverstärkerblöcke (301) zu einem externen Datenbus (Dout_Bus) in Antwort auf ein Ausgabeaktivierungssignal (OE).
9. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that the input / output bus control ( 26 ) contains the following:
  • - a plurality of ninth switching units ( 313 ) for supplying data from an external data bus (Din_Bus) to a data connection (D_) of the sense amplifier block ( 301 ) in response to a write activation signal (WE); and
  • - A plurality of tenth switching units ( 314 ) for the final forwarding of the data from the data connection (D_) of each of the sensor amplifier blocks ( 301 ) to an external data bus (Dout_Bus) in response to an output activation signal (OE).
10. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) folgendes enthält:
  • - eine Mehrzahl von neunten Schalteinheiten (313) zur Weiterleitung von Daten von einem externen Datenbus und einem externen invertierten Datenbus jeweils zu einem Datenanschluß und einem invertierten Datenanschluß auf jedem der Leseverstärkerblöcke (301) in Antwort auf ein Schreibaktivierungssignal (WE); und
  • - eine Mehrzahl von zehnten Schalteinheiten (314) zur endgültigen Weiterleitung der Daten vom Datenanschluß (D_) sowie vom invertierten Datenanschluß (DB_) eines jeden der Leseverstärkerblöcke (301) jeweils zu einem externen Datenbus (Dout_Bus) und zu einem externen invertierten Datenbus (DBout_Bus) in Antwort auf ein Ausgabeaktivierungssignal (OE).
10. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that the input / output bus control ( 26 ) contains the following:
  • - a plurality of ninth switching units ( 313 ) for relaying data from an external data bus and an external inverted data bus to a data terminal and an inverted data terminal on each of the sense amplifier blocks ( 301 ) in response to a write enable signal (WE); and
  • - A plurality of tenth switching units ( 314 ) for the final forwarding of the data from the data connection (D_) and from the inverted data connection (DB_) of each of the sense amplifier blocks ( 301 ) to an external data bus (Dout_Bus) and to an external inverted data bus (DBout_Bus) in response to an output enable signal (OE).
11. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Fall, daß das Zellenarray eine Anzahl von "m" Zellenarrayblöcken aufweist, von denen jeder eine Anzahl von "n" Leseverstärkerblöcken besitzt, die jeweils zur Eingabe/Ausgabe von Daten dienen, "n" Datenleitungen vorgesehen sind, derart, daß jeweils eine dieser Datenleitungen zur Datenübertragung mit einem solchen zu jedem Zellenarrayblock gehörenden Leseverstärkerblock verbunden ist, der dieselbe Nummer trägt.11. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that that in the event that the cell array has a number of "m" cell array blocks, of which each has a number of "n" sense amplifier blocks, each for input / output of Data are used, "n" data lines are provided such that one of each of these data lines for data transmission with one belonging to each cell array block Sense amplifier block is connected, which has the same number. 12. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Datenleitungen eine Anzahl von "n" exklusiven Eingangsdatenleitungen und eine Anzahl von "n" exklusiven Ausgangsdatenleitungen aufweisen.12. Ferroelectric memory according to claim 11, characterized in that the Data lines a number of "n" exclusive input data lines and a number of "n" have exclusive output data lines. 13. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Datenleitungen eine Anzahl von "n" Eingangs/Ausgangs-Datenleitungen und eine Anzahl von "n" invertierten Eingangs/Ausgangs-Datenleitungen aufweisen.13. Ferroelectric memory according to claim 11, characterized in that  that the data lines have a number of "n" input / output data lines and a number of "n" inverted input / output data lines. 14. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Datenleitungen eine Anzahl von "n" exklusiven Eingangsdatenleitungen und eine Anzahl von "n" exklusiven Ausgangsdatenleitungen aufweisen sowie eine Anzahl von "n" exklusiven invertierten Eingangsdatenleitungen und eine Anzahl von "n" exklusiven invertierten Ausgangsdatenleitungen besitzen.14. Ferroelectric memory according to claim 11, characterized in that the Data lines a number of "n" exclusive input data lines and a number of "n" have exclusive output data lines and a number of "n" exclusive inverted Input data lines and a number of "n" exclusive inverted output data lines have. 15. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dann, wenn die Daten von den Leseverstärkern auf jeden der Datenbusse nach Beendigung des Leseverstärkerbetriebs geladen worden sind, die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) die Daten weiter hält, auch wenn die Leseverstärker deaktiviert sind, und zwar in Antwort auf ein Halteaktivierungssignal (LE).15. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that when the data from the sense amplifiers have been loaded onto each of the data buses after completion of the sense amplifier operation, the input / output bus controller ( 26 ) continues to hold the data even if the sense amplifiers are deactivated in response to a hold activation signal (LE). 16. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) Spaltenadreßsignale (Y_T_0; Y_T_1; Y_T_2 und Y_T_3) nacheinander aktiviert, und zwar nach Verlängerung einer Aktivierungszeitperiode des Leseverstärkers im Lesemodus.16. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that the input / output bus control ( 26 ) column address signals (Y_T_0; Y_T_1; Y_T_2 and Y_T_3) are activated one after the other, namely after extending an activation period of the sense amplifier in read mode. 17. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgabehaltesignal aktiviert bleibt, während das Zeilensignal fixiert ist.17. Ferroelectric memory according to claim 16, characterized in that the output hold signal remains activated while the line signal is fixed. 18. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dann, wenn die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) Spaltenadreßsignale (Y_T_0; Y_T_1; Y_T_2 und Y_T_3) nacheinander aktiviert, nachdem eine Aktivierungszeitperiode des Leseverstärkers im Lesemodus verlängert worden ist, die Eingabe/Ausgabe-Bussteuerung (26) die Spaltenadreßsignale nur für eine Zeitperiode aktiviert, die ausreicht, um Daten in Haltepuffereinrichtungen eines Kernblocks zu speichern, bis nachfolgende Daten zur Verfügung stehen.18. Ferroelectric memory according to claim 1, characterized in that when the input / output bus control ( 26 ) column address signals (Y_T_0; Y_T_1; Y_T_2 and Y_T_3) are activated in succession after an activation period of the sense amplifier has been extended in the read mode, the input / Output bus control ( 26 ) activates the column address signals only for a period of time sufficient to store data in core buffer hold buffers until subsequent data is available.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR101215494B1 (en) 2010-06-29 2012-12-26 삼성중공업 주식회사 Quay assembly

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5148401A (en) * 1989-02-02 1992-09-15 Oki Electric Industry Co., Ltd. DRAM with split word lines
US5373463A (en) * 1993-07-06 1994-12-13 Motorola Inc. Ferroelectric nonvolatile random access memory having drive line segments
US5680344A (en) * 1995-09-11 1997-10-21 Micron Technology, Inc. Circuit and method of operating a ferrolectric memory in a DRAM mode

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5148401A (en) * 1989-02-02 1992-09-15 Oki Electric Industry Co., Ltd. DRAM with split word lines
US5373463A (en) * 1993-07-06 1994-12-13 Motorola Inc. Ferroelectric nonvolatile random access memory having drive line segments
US5680344A (en) * 1995-09-11 1997-10-21 Micron Technology, Inc. Circuit and method of operating a ferrolectric memory in a DRAM mode

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DE19923979A1 (en) 1999-12-02
KR100268874B1 (en) 2000-10-16

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