DE20114545U1 - Spannfutter zum Halten einer zu testenden Vorrichtung - Google Patents

Spannfutter zum Halten einer zu testenden Vorrichtung

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DE20114545U1
DE20114545U1 DE20114545U DE20114545U DE20114545U1 DE 20114545 U1 DE20114545 U1 DE 20114545U1 DE 20114545 U DE20114545 U DE 20114545U DE 20114545 U DE20114545 U DE 20114545U DE 20114545 U1 DE20114545 U1 DE 20114545U1
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air duct
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Description

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Claims (77)

1. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen; und
  • b) einen Spannfutterbeabstandungsmechanismus, welcher mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist und genau drei voneinander unabhängige Auflagen zeigt, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegen.
2. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei der Spannfutterbeabstandungsmechanismus das erste Spannfuttervorrichtungselement und das weitere Spannfuttervorrichtungselement in starrer Anordnung relativ zueinander hält.
3. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei die Auflagen im wesentlichen im jeweils selben Abstand voneinander angebracht sind.
4. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei eine jede der Auflagen nicht direkt im elektrischen Kontakt mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem weiteren Spannfuttervorrichtungselement steht.
5. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement elektrisch mit einem Signalpfad verbunden ist.
6. Spannfutter nach Anspruch 5, wobei das weitere Spannfuttervorrichtungselement elektrisch mit einem Abschirmungspfad verbunden ist.
7. Spannfutter nach Anspruch 1, welches weiterhin umfaßt:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche, wobei das Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftpfad hierin hin zur oberen Oberfläche festgelegt;
  • b) wobei das andere Spannfuttervorrichtungselement einer obere Oberfläche aufweist, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, und wobei das zweite Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen zweiten Luftkanal hierin festlegt; und
  • c) ein Zwischenverbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solch einer Weise miteinander verbindet, daß ein Vakuum bereitgestellt zwischen dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal werden kann, wobei das Zwischenverbindungselement bewegbar ist relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.
8. Spannfutter nach Anspruch 1, welches weiterhin umfaßt:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche, welche zumindest eine Ausnehmung hierin festlegt; und
  • b) eine Deckplatte, welche die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift und zusammen mit diesem zumindest einen Teil eines Luftkanals hin zur oberen Oberfläche festlegt, welcher in der Lage ist, ein Vakuum an den Wafer anzulegen, welcher auf der oberen Oberfläche aufliegt.
9. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal hierin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
  • b) wobei das weitere Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal hierin festlegt; und
  • c) ein Zwischenverbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum zwischen dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal bereitgestellt wird.
10. Spannfutter nach Anspruch 9, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist, als ein nächstliegendes Element, wodurch zumindest zum Teil der Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festgelegt wird.
11. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
  • b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
  • c) eine Deckplatte, welche zumindest einen Hauptteil der unteren Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements überdeckt und in der Nähe des Spannfutterabstandsmechanismuselement liegt.
12. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
  • b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
  • c) zumindest eine Auflage, welche einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welches zumindest einen Teil von zumindest einer Auflage zwischen der oberen und unteren Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements umgibt, wobei zumindest ein erster Bereich der ersten Oberfläche des Isolators an einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement angepreßt ist, und zumindest ein zweiter Bereich einer zweiten Oberfläche des Isolators an zumindest einer weiteren Auflage angepreßt ist.
13. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei der erste Bereich der ersten Oberfläche und der zweite Bereich der zweiten Oberfläche einander überlappen und zwar zumindest größeren Teil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden.
14. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
  • b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
  • c) wobei zumindest eine der Auflagen einen im wesentlichen U-förmig ausgebildeten Isolator umfaßt, welcher eine erste Oberfläche aufweist, die an die obere Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters an der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist.
15. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
  • b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und das zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen den ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselementen festlegt; und
  • d) wobei zumindest eine der Auflagen einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche mit der Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements in Preßkontakt steht, und einer zweiten Oberfläche, welche mit einer ersten Oberfläche eines ersten Abstandshalters in Preßkontakt steht, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters in Preßkontakt steht mit der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche mit der oberen Oberfläche in Preßkontakt steht, im wesentlichen der zweiten Oberfläche gegenüberliegt und sich ebenso weit wie diese erstreckt und zwar im Preßkontakt mit dem leitenden Abstandshalter.
16. Spannfutter nach Anspruch 1, welches weiter umfaßt:
  • a) das erste Spannufuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
  • b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
  • c) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und einer zweiten Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators angepreßt ist an die untere Oberfläche mit weniger als einem Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters, welcher an die zweite Oberfläche angepreßt ist.
17. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer aufzunehmen, wobei das Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
  • c) ein Verbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solch eine Weise miteinander verbindet, daß ein Vakuum zwischen dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal angelegt werden kann, wobei das Verbindungselement bewegbar ist relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.
18. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiter umfaßt:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement, welches eine erste Öffnung in der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements festlegt; und
  • b) wobei das Verbindungselement mit der ersten Öffnung verbunden ist.
19. Spannfutter nach Anspruch 17, wobei:
  • a) das zweite Spannfuttervorrichtungselement eine zweite Öffnung in der oberen Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements aufweist; und
  • b) das Verbindungselement mit der zweiten Öffnung verbunden ist.
20. Spannfutter nach Anspruch 18, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine erste Öffnung in der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements aufweist; und
  • b) das Verbindungselement mit der ersten Öffnung verbunden ist.
21. Spannfutter nach Anspruch 20, wobei das Zwischenelement mit der ersten und der zweiten Öffnung auf solch eine Weise verbunden ist, daß eine Vakuumabdichtung vorliegt.
22. Spannfutter nach Anspruch 21, wobei das Verbindungselement eine längliche Öffnung aufweist, welche mit dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbunden ist, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal angelegt werden kann.
23. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus umfaßt, welcher mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist mit genau drei voneinander unabhängigen Auflagen, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegen.
24. Spannfutter nach Anspruch 17, wobei:
  • a) die untere Oberfläche des Spannfuttervorrichtungselements zumindest eine Ausnehmung darin festlegt; und
  • b) eine Deckplatte in übergreifender Weise mit der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements zusammen zumindest einen Teil eines Luftkanals hin zur oberen Oberfläche festlegt, welcher geeignet ist, ein Vakuum an einen Wafer anzulegen, welcher auf der oberen Oberfläche aufgesetzt ist.
25. Spannfutter nach Anspruch 17, wobei:
  • a) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • b) eine Deckplatte in übergreifender Weise zumindest den Hauptteil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung in der Nähe des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus überdeckt.
26. Spannfutter nach Anspruch 16, welches weiterhin umfaßt:
  • a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen ersten Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus umfassen zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und wobei zumindest ein erster Bereich einer ersten Oberfläche des Isolators an das zweite Spannfuttervorrichtungselement angepreßt ist, wobei zumindest ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus angepreßt ist, wobei der erste Teil der ersten Oberfläche und der zweite Teil der zweiten Oberfläche zumindest einen Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden überlappen.
27. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin umfaßt:
  • a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U- förmigen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist.
28. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin umfaßt:
  • a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche, im wesentlichen der zweiten Oberfläche des Isolators direkt gegenüberliegt und sich ebenso weit wie dieser erstreckt, wobei der Isolator an den leitenden Abstandshalter angepreßt ist.
29. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin umfaßt:
  • a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepreßt ist weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, welche an die zweite Oberfläche angepreßt ist.
30. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche,
  • b) wobei die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements zumindest eine Ausnehmung aufweist; und
  • c) eine Deckplatte, welche die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift, wobei die Deckplatte und das erste Spannfuttervorrichtungselement zusammen zumindest einen Teil eines Luftkanals hin zur oberen Oberfläche festlegen, welcher geeignet ist, ein Vakuum an den Wafer anzulegen, welcher auf der oberen Oberfläche aufliegt.
31. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die obere Oberfläche geeignet ist, einen Wafer aufzunehmen.
32. Spannfutter nach Anspruch 30, welches weiterhin ein zweites Spannfuttervorrichtungselement umfaßt, wobei das zweite Spannfuttervorrichtungselement geeignet ist, einen Wafer darauf aufzunehmen.
33. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die Deckplatte wesentlich dünner ist als das erste Spannfuttervorrichtungselement.
34. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die Deckplatte im wesentlichen koplanar ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement.
35. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die Deckplatte einen Hauptteil der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift.
36. Spannfutter nach Anspruch 30, welches weiterhin umfaßt eine untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, welche eine Vielzahl von Ausnehmungen aufweist, wobei eine jede konzentrisch relativ zu den anderen angeordnet ist.
37. Spannfutter nach Anspruch 30, welches weiterhin umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche darauf, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen; und
  • b) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement bei genau drei Auflagen verbunden ist, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegen.
38. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei
  • a) das erste Spannftittervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer aufzunehmen, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welches der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
  • c) ein Verbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solche Weise verbindet, daß ein Vakuum angelegt werden kann vom ersten Luftkanal zum zweiten Luftkanal, wobei das Verbindungselement bewegbar ist hin zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.
39. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) eine Deckplatte zumindest einen Hauptteil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung in der Nähe des Spannfutterabstandshalterungsmechanismuselements übergreift.
40. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements umgibt, wobei zumindest ein erster Teil der ersten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an das zweite Spannfuttervorrichtungselement, wobei ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, wobei der erste Bereich der ersten Oberfläche und der zweite Bereich der zweiten Oberfläche zumindest den Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden übergreifen.
41. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche an die erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements.
42. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die zweite Oberfläche des Isolators, dieser im wesentlichen direkt gegenüberliegt und sich genauso weit erstreckt wie diese, und wobei die zweite Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den leitenden Abstandshalter.
43. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche darauf aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus vorgesehen ist, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators angepreßt ist an die obere Oberfläche und weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, welcher an die zweite Oberfläche angepreßt ist.
44. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal hin zur oberen Oberfläche festlegt;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin einschließt; und
  • c) ein Zwischenverbindungselement, welches den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf so verbindet, das ein Vakuum vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal bereitgestellt werden kann, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des ersten Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist als ein nächstliegendes Element, welches zumindest teilweise den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt.
45. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darin, welche dazu geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) eine Deckplatte, welche zumindest den größten Teil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung übergreift und dem Spannfutterabstandshalterungsmechanismuselement benachbart ist.
46. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist und exakt drei voneinander unabhängige Auflagen umfaßt, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegen.
47. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche umfaßt;
  • b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
  • c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal bereitgestellt wird, wobei das Zwischenverbindungselement relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden bewegbar ist.
48. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
  • b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
  • c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum bereitgestellt werden kann vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des ersten Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist als ein nächstliegendes Element, welches zumindest teilweise den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt.
49. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus zwischen der oberen Oberfläche und der unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements umfaßt, wobei zumindest ein erster Teil einer ersten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an das zweite Spannfuttervorrichtungselement, und wobei zumindest ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, wobei der erste Teil der ersten Oberfläche und der zweite Teil der zweiten Oberfläche zumindest einen Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden übergreifen.
50. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt, der eine erste Oberfläche aufweist, die angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche des im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements.
51. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, die angepreßt ist an die obere Oberfläche im wesentlichen der zweiten Oberfläche des Isolators direkt gegenüberliegt und sich ebenso weit wie diese erstreckt, wobei der Isolator angepreßt ist an den leitenden Abstandshalter.
52. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei die zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, welche an die zweite Oberfläche angepreßt ist.
53. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darin, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten dem und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements umfaßt, wobei zumindest ein erster Teil einer ersten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an das zweite Spannfuttervorrichtungselement, und wobei zumindest ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, wobei der erste Bereich der ersten Oberfläche und der zweite Bereich der zweiten Oberfläche zumindest den Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden übergreifen.
54. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei der Bereich des Isolators zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements nicht in Kontakt steht mit dem Spannfutterabstandshalterungsmechanismus und im wesentlichen eine gegenüberliegende Oberfläche umfaßt, welche nicht mit dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement in Kontakt steht.
55. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus verbunden ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und genau drei unabhängige Auflagen umfaßt, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegt.
56. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
  • b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
  • c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal zum zweiten Luftkanal hin angelegt werden kann, wobei das Zwischenverbingungselement bewegbar ist relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.
57. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin:
  • a) die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements zumindest eine Ausnehmung darin festlegt; und
  • b) eine Deckplatte, welche die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift und gemeinsam mit diesem zumindest einen Teil eines Luftkanals zu der oberen Oberfläche hin festlegt, welcher geeignet ist zum Anlegen eines Vakuums an den Wafer, welcher auf der oberen Oberfläche aufliegt.
58. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin:
  • a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
  • b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
  • c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal so verbindet, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal an den zweiten Luftkanal angelegt werden kann, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des ersten Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist als ein nächstgelegenes Element, welches zumindest teilweise, den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt.
59. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin eine Deckplatte zumindest einen Hauptteil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung in der Nähe des Spannfutterabstandshalterungsmechanismuselements übergreift.
60. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt, der eine erste Oberfläche aufweist, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements.
61. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, die angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und ein zweite Oberfläche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepreßt, der zweiten Oberfläche des Isolators direkt gegenüberliegt und sich genauso weit wie diese ausdehnt, und wobei der Isolator an den leitenden Abstandshalter angepreßt ist.
62. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt, welcher eine erste Oberfläche aufweist, die an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist, und eine zweite Oberfläche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepaßt ist, weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, der an die zweite Oberfläche angepreßt ist.
63. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und das zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U- förmigen Isolator umfaßt, der eine erste Oberfläche hat, die an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist, und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist.
64. Spannfutter nach Anspruch 63, wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus ein zentrales Element umfaßt, welches sich durch ihn hindurch erstreckt.
65. Spannfutter nach Anspruch 64, wobei das zentrale Element starr verbindbar ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement.
66. Spannfutter nach Anspruch 65, wobei das zentrale Element vom zweiten Spannfuttervorrichtungselement elektrisch isoliert ist.
67. Spannfutter nach Anspruch 66, wobei das zentrale Element das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement mit dem U-förmigen Isolator sowie dem U-förmigen leitenden Abstandshalter fest verbindet, wobei der U-förmige leitende Abstandshalter den Abstand festlegt.
68. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darauf, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegend angebracht ist;
  • c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche der zweiten Oberfläche des Isolators im wesentlichen direkt gegenüberliegt und sich genauso weit erstreckt wie diese, und wobei der Isolator an den leitenden Abstandshalter angepreßt ist.
69. Spannfutter nach Anspruch 68, wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus ein zentrales Element umfaßt, welches sich direkt durch ihn hindurch erstreckt.
70. Spannfutter nach Anspruch 69, wobei das zentrale Element starr verbindbar ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement.
71. Spannfutter nach Anspruch 70, wobei das zentrale Element elektrisch isoliert ist vom zweiten Spannfuttervorrichtungselement.
72. Spannfutter nach Anspruch 71, wobei das zentrale Element das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement mit dem Isolator und dem den Abstand festlegenden leitenden Abstandshalter fest verbindet.
73. Spannfutter für ete Meßstation, welches umfaßt:
  • a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darin, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
  • b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
  • c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
  • d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepreßt ist, weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, wobei der leitende Abstandshalter an die zweite Oberfläche angepreßt ist.
74. Spannfutter nach Anspruch 73, wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus ein zentrales Element umfaßt, welches sich durch ihn hindurch erstreckt.
75. Spannfutter nach Anspruch 74, wobei das zentrale Element starr an dem ersten Spannfuttervorrichtungselement anbringbar ist.
76. Spannfutter nach Anspruch 75, wobei das zentrale Element elektrisch vom zweiten Spannfuttervorrichtungselement isoliert ist.
77. Spannfutter nach Anspruch 76, wobei das zentrale Element das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement mit dem Isolator und dem den Abstand festlegenden leitenden Abstandshalter fest verbindet.
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