DE202012102765U1 - Replaceable treatment basin for wet-chemical processes - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung zur nasschemischen Behandlung von Substraten mit einer Behandlungsflüssigkeit (F), umfassend ein austauschbares Behandlungsbecken (1) mit einer Außenwand (2), einen unterhalb des Behandlungsbeckens (1) angeordneten Behälter zur Aufnahme (5) der aus dem Behandlungsbecken (1) ausgetretenen Behandlungsflüssigkeit (F), sowie mindestens zwei Exzenterwellen (9), mit denen das Behandlungsbecken (1) durch Anheben vom Behälter zur Aufnahme (5) trennbar ist.Device for the wet chemical treatment of substrates with a treatment liquid (F), comprising an exchangeable treatment basin (1) with an outer wall (2), a container arranged below the treatment basin (1) for receiving (5) the treatment liquid which has emerged from the treatment basin (1) (F), as well as at least two eccentric shafts (9) with which the treatment basin (1) can be separated by lifting it from the receptacle (5).

Description

Einleitungintroduction

Die Erfindung betrifft ein Behandlungsbecken zur nasschemischen Behandlung von Substraten mit einer Behandlungsflüssigkeit. Genauer betrifft die Erfindung ein austauschbares Behandlungsbecken.The invention relates to a treatment basin for the wet-chemical treatment of substrates with a treatment liquid. More specifically, the invention relates to an exchangeable treatment basin.

Stand der Technik und NachteileState of the art and disadvantages

Zur nasschemischen Behandlung von Gegenständen wie z. B. Siliziumsubstraten (Wafern), die beispielsweise das Abtragen (Ätzen), das Beschichten oder auch das Reinigen derartiger Substrate betrifft, werden gewöhnlich Behandlungsbecken verwendet, welche die entsprechenden Behandlungsflüssigkeiten aufnehmen. Je nach gewünschter Behandlung sind dies Ätzflüssigkeiten, Beschichtungsflüssigkeiten (z. B. Elektrolyte), oder Reinigungsflüssigkeiten. Die Substrate werden dann entweder stapelweise in ein Becken eingebracht, wo sie während der Behandlungszeit verbleiben (”Batch-Processing”), oder sie werden im Durchlaufverfahren durch oder entlang der Behandlungsflüssigkeit transportiert (”Inline-Processing”).For wet-chemical treatment of objects such. As silicon substrates (wafers), for example, the removal (etching), the coating or the cleaning of such substrates, usually treatment tanks are used, which receive the corresponding treatment liquids. Depending on the desired treatment, these are etching liquids, coating liquids (eg electrolytes), or cleaning liquids. The substrates are then either stacked in a basin, where they remain during the treatment time ("batch processing"), or they are transported in a continuous process through or along the treatment liquid ("inline processing").

Beispiele für Anlagen, die zur stapelweisen Behandlung von Substraten geeignet sind, sind z. B. aus der US 5,000,827 und DE 10 2007 020 449 bekannt. Diese zeigen einen so genannten Überlaufreaktor zur Behandlung eines oberhalb des Reaktorgehäuses angeordneten Substrates. Mittels einer Pumpe geförderte Behandlungsflüssigkeit strömt aufwärts durch das Reaktorgehäuse, wobei zwischen dem Substrat und dem oberen Ende des Reaktorgehäuses ein Abstand vorgesehen ist, so dass ein ringförmiger Spalt entsteht, der als Überlauf ausgebildet ist.Examples of equipment suitable for the batchwise treatment of substrates are, for. B. from the US 5,000,827 and DE 10 2007 020 449 known. These show a so-called overflow reactor for treating a substrate arranged above the reactor housing. By means of a pump conveyed treatment liquid flows upwardly through the reactor housing, wherein between the substrate and the upper end of the reactor housing, a distance is provided, so that an annular gap is formed, which is formed as an overflow.

Da die Behandlungsflüssigkeit bei der Verwendung derartiger Behandlungsbecken über den oberen Rand des Reaktorgehäuses aus demselben austritt, befindet sich unterhalb des Beckens gewöhnlich ein Behälter zur Aufnahme der übergetretenen Flüssigkeit.Since the treatment liquid emerges from the same via the upper edge of the reactor housing when such treatment tanks are used, a container for receiving the transferred liquid is usually located below the basin.

Aufgrund einer Änderung der Prozessreihenfolge, aufgrund von regelmäßigen Inspektionsarbeiten, oder aufgrund von kurzfristig durchzuführenden Wartungsarbeiten kann es nötig sein, ein Behandlungsbecken auszutauschen. Hierzu sind für gewöhnlich eine ganze Reihe von Maßnahmen erforderlich, von denen insbesondere das Lösen des Behandlungsbeckens vom Behälter zur Aufnahme, und das sichere Anheben des Beckens hervorzuheben sind. Hierbei wären ein exaktes und vorsichtiges Anheben des Beckens wünschenswert.Due to a change in the process sequence, due to periodic inspection work, or due to short-term maintenance, it may be necessary to replace a treatment tank. For this purpose, a whole series of measures are usually required, of which in particular the release of the treatment tank from the container for receiving, and the safe lifting of the pelvis are emphasized. In this case, a precise and careful lifting of the pelvis would be desirable.

Aufgabe der Erfindung und LösungObject of the invention and solution

Die Erfindung hat demnach die Aufgabe, eine Vorrichtung bereitzustellen, welche ein einfaches und sicheres Auswechseln eines Behandlungsbeckens für nasschemische Prozesse ermöglicht. Dabei ist insbesondere das zeitsparende, sichere und möglichst positionsgenaue Anheben des Beckens bzw. Absetzen eines (Austausch-)Beckens erwünscht. Zudem soll die Lösung möglichst kostengünstig sein.The invention therefore has the object to provide a device which allows a simple and safe replacement of a treatment tank for wet-chemical processes. In particular, the time-saving, safe and positionally accurate as possible lifting the pelvis or discontinuation of a (replacement) basin is desired. In addition, the solution should be as inexpensive as possible.

Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind den Unteransprüchen sowie der Figur zu entnehmen.The object is achieved by a device according to claim 1. Further advantageous embodiments are given in the dependent claims and the figure.

Beschreibungdescription

Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient der nasschemischen Behandlung von Substraten mit einer Behandlungsflüssigkeit. Definitionsgemäß umfasst eine derartige Behandlung nicht nur das chemische Abtragen oder Beschichten, sondern auch das Reinigen oder den bloßen Transport der Substrate durch oder entlang der Behandlungsflüssigkeit.The device according to the invention is used for the wet-chemical treatment of substrates with a treatment liquid. By definition, such treatment includes not only chemical removal or coating, but also cleaning or merely transporting the substrates through or along the treatment liquid.

Die Vorrichtung umfasst erfindungsgemäß ein austauschbares Behandlungsbecken mit einer Außenwand, einen unterhalb des Behandlungsbeckens angeordneten Behälter zur Aufnahme der aus dem Behandlungsbecken ausgetretenen Behandlungsflüssigkeit, sowie mindestens zwei Exzenterwellen, mit denen das Behandlungsbecken durch Anheben vom Behälter zur Aufnahme trennbar ist.According to the invention, the device comprises an exchangeable treatment basin with an outer wall, a container arranged below the treatment basin for receiving the treatment liquid leaked from the treatment basin, and at least two eccentric shafts with which the treatment basin can be separated by lifting from the container for receiving.

Bevorzugt ist das Behandlungsbecken auf den mindestens zwei Exzenterwellen in angehobener Stellung verschiebbar.Preferably, the treatment tank is displaceable on the at least two eccentric shafts in the raised position.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform ist in einem Übergangsbereich zwischen der Außenwand des Behandlungsbeckens und dem Behälter zur Aufnahme eine flüssigkeitsbasierte Dichtung angeordnet, deren Ausbildung durch Bereitstellung eines Flüssigkeits-Auffangvolumens im Übergangsbereich ermöglicht ist. Zur Erläuterung einer solchen Dichtung wird auf die Figurenbeschreibung verwiesen.According to a preferred embodiment, in a transition region between the outer wall of the treatment basin and the container for receiving a liquid-based seal is arranged, the formation of which is made possible by providing a liquid collecting volume in the transition region. For an explanation of such a seal, reference is made to the description of the figures.

Besonders bevorzugt weist das Flüssigkeits-Auffangvolumen eine (vertikal zu bestimmende) Tiefe auf, welche kleiner als die Exzentrizität der Exzenterwellen ist. Durch Anheben des Behandlungsbeckens um das Maß der Exzentrizität kann dieses ausreichend hoch aus dem Eingriffsbereich des Flüssigkeits-Auffangvolumens gehoben werden, um es ohne Anstoßen oder Verkanten sicher entfernen zu können. Dies wäre dann nicht möglich, wenn die Tiefe des Flüssigkeits-Auffangvolumens größer als die Exzentrizität wäre; dann wäre ein zusätzliches Anheben aus dem Eingriffsbereich nötig.Particularly preferably, the liquid collecting volume has a depth (to be determined vertically) which is smaller than the eccentricity of the eccentric shafts. By raising the treatment tank by the amount of eccentricity, this can be raised sufficiently high from the engagement area of the liquid collecting volume to be able to safely remove it without bumping or jamming. This would not be possible if the depth of the liquid collecting volume is greater than that Eccentricity would be; then an additional lifting out of the engagement area would be necessary.

Ferner ist bevorzugt, dass die Exzenterwellen von einer Entnahmeseite der Vorrichtung zu einer dieser gegenüberliegenden Rückseite hin geneigt verlaufen. Somit wird das Behandlungsbecken beim Herausziehen auf den dann als Gleitschienen oder Führungen dienenden Exzenterwellen weiter angehoben. Hierzu sei auch auf die Figurenbeschreibung verwiesen. Auf diese Weise ist ein werkzeugloser (oder zumindest werkzeugarmer) Wechsel des Behandlungsbeckens möglich, der zudem in kürzerer Zeit abläuft.Furthermore, it is preferred that the eccentric shafts extend inclined from a removal side of the device to a rear side which faces this opposite side. Thus, the treatment basin is further raised when pulling on the then serving as slides or guides eccentric. For this purpose, reference is also made to the description of the figures. In this way, a tool-free (or at least low-tool) change of the treatment basin is possible, which also takes place in a shorter time.

Nachfolgend wird der zum Austausch eines Behandlungsbeckens zur nasschemischen Behandlung von Substraten mit einer Behandlungsflüssigkeit unter Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben. Zur Vermeidung von Wiederholungen sei auf die obigen Ausführungen verwiesen.The following will be described for the replacement of a treatment tank for the wet-chemical treatment of substrates with a treatment liquid using the device according to the invention. To avoid repetition, reference is made to the above statements.

Eine solche Verwendung umfasst den auf den Austausch des Beckens bezogenen Schritt des Trennens des Behandlungsbeckens unter Verwendung von mindestens zwei Exzenterwellen durch Anheben vom Behälter zur Aufnahme, und das nachfolgende Verschieben des Behandlungsbeckens in angehobener Stellung.Such use includes the pelvic replacement step of separating the treatment basin using at least two eccentric shafts by lifting from the receptacle receptacle, and then shifting the treatment basin in the raised position.

Zum Austausch des Behandlungsbeckens wird dasselbe zunächst an mit dem Behandlungsbecken verbundenen Gegenflächen durch Rotation von mit diesen Gegenflächen zusammenwirkenden Exzenterwellen angehoben.For the replacement of the treatment basin, the same is first raised against mating surfaces connected to the treatment basin by rotation of eccentric shafts interacting with these mating surfaces.

Alsdann wird das Behandlungsbecken nach dem Anheben mittels Rotation der Exzenterwellen auf denselben in angehobener Stellung verschoben. Es ist klar, dass das Verschieben dergestalt erfolgt, dass sich das auszutauschende Behandlungsbecken aus dem Bereich einer Behandlungsstation entfernt. Bevorzugt kann es nach dem ausreichenden Verschieben auf einer Becken-Transportvorrichtung abgelegt werden.Then the treatment tank is moved after lifting by means of rotation of the eccentric shafts on the same in the raised position. It is clear that the displacement takes place in such a way that the treatment tank to be exchanged moves away from the area of a treatment station. Preferably, it can be stored after sufficient displacement on a pelvic transport device.

Es ist ebenso klar, dass auf umgekehrte Weise ein Einbau des selben oder eines anderen Behandlungsbeckens in die Behandlungsstation erfolgt. Auf eine entsprechende Beschreibung wird daher verzichtet.It is also clear that in the reverse manner, the same or another treatment basin is installed in the treatment station. An appropriate description is therefore omitted.

Die Erfindung stellt somit eine Vorrichtung bereit, mit der aufgrund des Anhebens mittels Exzenterwellen ein einfacher, sicherer, schneller und kostengünstiger Austausch eines Behandlungsbeckens zur nasschemischen Behandlung von Substraten ermöglicht wird.The invention thus provides a device with which, due to the lifting by means of eccentric shafts, a simple, safe, quick and cost-effective replacement of a treatment basin for the wet-chemical treatment of substrates is made possible.

Figurenbeschreibungfigure description

In der 1 ist eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur nasschemischen Behandlung in einer Schnittansicht dargestellt. Diese weist in ihrem oberen Bereich ein Behandlungsbecken 1 für Gegenstände wie insbesondere flache Substrate (nicht dargestellt) auf. In dem Behandlungsbecken 1 befindet sich die Behandlungsflüssigkeit F, aus der fortlaufend, insbesondere jedoch während der Behandlung, Behandlungsflüssigkeit F austreten kann, die in der 1 durch entsprechende Pfeile angedeutet ist (nur teilweise mit Bezugszeichen versehen).In the 1 a preferred embodiment of the apparatus according to the invention for wet chemical treatment is shown in a sectional view. This has a treatment basin in its upper area 1 for objects such as in particular flat substrates (not shown). In the treatment basin 1 is the treatment liquid F, from the continuous, but especially during the treatment, treatment liquid F can escape, which in the 1 indicated by corresponding arrows (only partially provided with reference numerals).

Das Behandlungsbecken 1 ist in dieser Ausführungsform doppelwandig ausgestaltet. Seine Außenwand 2 und Innenwand 3 sind unter Ausbildung eines Zwischenraumes 4 voneinander beabstandet. Durch diesen Zwischenraum 4 ist überlaufende oder überspritzende Behandlungsflüssigkeit nach unten hin ableitbar, um nicht in die Umgebungsluft zu entweichen bzw. die Umgebung U zu verunreinigen.The treatment basin 1 is designed double-walled in this embodiment. His outer wall 2 and inner wall 3 are under formation of a gap 4 spaced apart. Through this gap 4 Overflowing or over-spraying treatment liquid can be diverted downwards in order not to escape into the ambient air or contaminate the environment U.

Unterhalb des Behandlungsbeckens 1 ist ein Behälter zur Aufnahme 5 der Behandlungsflüssigkeit F angeordnet. Dieser trägt in der dargestellten Ausführungsform das Behandlungsbecken 1 und ist ähnlich einem Gestell mit im Wesentlichen gasdichten Wänden (incl. Boden und Deckplatte) ausgestaltet. Im Grenzbereich zur Unterseite des Behandlungsbeckens weist der Behälter zur Aufnahme 5 jedoch Durchgangsöffnungen 6 auf (nur die linke mit Bezugszeichen versehen). Durch diese Durchgangsöffnungen 6 kann die Behandlungsflüssigkeit F in den Innenraum 7 des Behälters zur Aufnahme 5 gelangen.Below the treatment basin 1 is a container for holding 5 the treatment liquid F arranged. This carries in the illustrated embodiment, the treatment basin 1 and is similar to a frame with substantially gas-tight walls (including the bottom and cover plate) designed. In the border area to the bottom of the treatment tank, the container for recording 5 however, through holes 6 on (only the left provided with reference numerals). Through these passage openings 6 can the treatment liquid F in the interior 7 of the container for holding 5 reach.

Aus dem Behandlungsbecken 1 überlaufende Behandlungsflüssigkeit F läuft aufgrund der Schwerkraft S im Zwischenraum 4 herunter und sammelt sich im Grenzbereich zwischen Unterseite des Behandlungsbeckens 1 und Oberseite des Behälters zur Aufnahme 5. Dort, genauer im Übergangsbereich zwischen der Außenwand 2 des Behandlungsbeckens 1 und dem Behälter zur Aufnahme 5, ist eine Dichtung 8 zum Abschirmen der Behandlungsflüssigkeit F gegenüber der Umgebung U angeordnet. Diese Dichtung 8 ist nötig, damit die übergelaufene Behandlungsflüssigkeit F weiterhin im Inneren der Vorrichtung bleibt und nicht in die Umgebung U gelangen kann. Die Dichtung 8 ist flüssigkeitsdicht.From the treatment basin 1 Overflowing treatment liquid F runs in the space due to gravity S 4 down and collects in the border area between the bottom of the treatment tank 1 and top of the container for reception 5 , There, more precisely in the transition area between the outer wall 2 of treatment basin 1 and the container for holding 5 , is a seal 8th for shielding the treatment liquid F from the environment U arranged. This seal 8th is necessary so that the overflowed treatment liquid F remains inside the device and can not get into the environment U. The seal 8th is liquid-tight.

In der 1 ist die Dichtung 8 lediglich in dem Detailkreis K angedeutet. Besonders bevorzugt ist sie als flüssigkeitsbasierte Dichtung ausgebildet, deren Ausbildung durch Bereitstellung eines Flüssigkeits-Auffangvolumens (nicht dargestellt) im Übergangsbereich zwischen der Außenwand 2 des Behandlungsbeckens 1 und dem Behälter zur Aufnahme 5 ermöglicht ist.In the 1 is the seal 8th indicated only in the detail circle K. It is particularly preferably designed as a liquid-based seal whose formation is provided by providing a liquid collecting volume (not shown) in the transition region between the outer wall 2 the treatment basin 1 and the container for holding 5 is possible.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist zwei Exzenterwellen 9 auf, mit denen das Behandlungsbecken 1 durch Anheben von dem Behälter zur Aufnahme 5 trennbar ist, und auf denen es in angehobener Stellung in Richtung einer Entnahmeseite der Vorrichtung verschiebbar ist. In der dargestellten Ansicht ist die Entnahmeseite dem Betrachter zugewandt.The device according to the invention has two eccentric shafts 9 on, with which the treatment basin 1 by lifting from the container to the receptacle 5 is separable, and on which it is displaceable in the raised position in the direction of a removal side of the device. In the illustrated view, the removal side faces the viewer.

Das Anheben geschieht, indem die Exzenterwellen 9 aus einer abgesenkten Position um einen Winkel von bevorzugt 180 Grad in eine angehobene Position rotiert werden. Aufgrund der Exzentrizität der Exzenterwellen 9 verändert sich dabei auch der Abstand der jeweils nach oben weisenden Berührungslinie, welche in Kontakt mit einer entsprechenden Gegenfläche 10 des Behandlungsbeckens 1 steht, zu der Dichtung 8 bzw. zur Oberseite des Behälters zur Aufnahme 5.The lifting happens by the eccentric shafts 9 be rotated from a lowered position by an angle of preferably 180 degrees in a raised position. Due to the eccentricity of the eccentric shafts 9 In this case, the distance between the upward-pointing contact line, which is in contact with a corresponding counter-surface, also changes 10 the treatment basin 1 stands, to the seal 8th or to the top of the container for receiving 5 ,

Nach der dargestellten, bevorzugten Ausführungsform weisen die Exzenterwellen 9 eine Exzentrizität auf, welche mindestens der Tiefe des bevorzugt vorhandenen Flüssigkeits-Auffangvolumens entspricht (nicht dargestellt). Somit ist sichergestellt, dass bei einem Wechsel von der abgesenkten in die angehobene Position die Außenwand 2 soweit abgehoben wird, dass das Behandlungsbecken 1 tatsächlich frei verschiebbar ist.According to the illustrated, preferred embodiment, the eccentric shafts 9 an eccentricity which corresponds at least to the depth of the preferably present liquid collecting volume (not shown). This ensures that when changing from the lowered to the raised position, the outer wall 2 as far as is lifted, that the treatment basin 1 is actually freely movable.

Ebenfalls erkennbar ist, dass die Exzenterwellen 9 von der Entnahmeseite zu einer dieser gegenüberliegenden (dem Betrachter abgewandten) Rückseite hin geneigt verlaufen. Somit wird das Behandlungsbecken 1 während des in Richtung des Betrachters ablaufenden Gleitens auf den Exzenterwellen 9 weiter nach oben angehoben. Auf diese Weise können auch andere, in der Figur nicht gezeigte Anschlüsse (z. B. Zu- und/oder Abfluss des Behandlungsbeckens 1) leichter von entsprechenden Gegenstücken getrennt werden. Besonders bevorzugt gleiten diese in- bzw. auseinander, so dass beim Austausch des Behandlungsbeckens 1 ein manuelles An- bzw. Abkoppeln entfällt.It can also be seen that the eccentric shafts 9 extend inclined from the removal side to one of these opposite (the viewer facing away) back. Thus, the treatment basin 1 during sliding in the direction of the observer on the eccentric shafts 9 further raised to the top. In this way, other connections, not shown in the figure (eg inflow and / or outflow of the treatment basin 1 ) are more easily separated from corresponding counterparts. Particularly preferably, they slide in and out, so that when replacing the treatment tank 1 a manual connection or disconnection is omitted.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Behandlungsbeckentreatment tank
22
Außenwandouter wall
33
Innenwandinner wall
44
Zwischenraumgap
55
Behälter zur AufnahmeContainer for holding
66
DurchgangsöffnungenThrough openings
77
Innenrauminner space
88th
Dichtungpoetry
99
Exzenterwelleeccentric shaft
1010
Gegenflächecounter surface
FF
Behandlungsflüssigkeit, FlüssigkeitTreatment liquid, liquid
UU
UmgebungSurroundings
SS
Schwerkraftgravity
KK
Detailkreisdetail circle

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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  • DE 102007020449 [0003] DE 102007020449 [0003]

Claims (5)

Vorrichtung zur nasschemischen Behandlung von Substraten mit einer Behandlungsflüssigkeit (F), umfassend ein austauschbares Behandlungsbecken (1) mit einer Außenwand (2), einen unterhalb des Behandlungsbeckens (1) angeordneten Behälter zur Aufnahme (5) der aus dem Behandlungsbecken (1) ausgetretenen Behandlungsflüssigkeit (F), sowie mindestens zwei Exzenterwellen (9), mit denen das Behandlungsbecken (1) durch Anheben vom Behälter zur Aufnahme (5) trennbar ist.Apparatus for the wet-chemical treatment of substrates with a treatment liquid (F), comprising an exchangeable treatment basin ( 1 ) with an outer wall ( 2 ), one below the treatment basin ( 1 ) arranged container for receiving ( 5 ) from the treatment tank ( 1 ) leaked treatment liquid (F), as well as at least two eccentric shafts ( 9 ), with which the treatment basin ( 1 ) by lifting from the container to the receptacle ( 5 ) is separable. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Behandlungsbecken (1) auf den mindestens zwei Exzenterwellen (9) in angehobener Stellung verschiebbar ist.Device according to claim 1, wherein the treatment basin ( 1 ) on the at least two eccentric shafts ( 9 ) is displaceable in the raised position. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei in einem Übergangsbereich zwischen der Außenwand (2) des Behandlungsbeckens (1) und dem Behälter zur Aufnahme (5) eine flüssigkeitsbasierte Dichtung (8) angeordnet ist, deren Ausbildung durch Bereitstellung eines Flüssigkeits-Auffangvolumens im Übergangsbereich ermöglicht ist.Apparatus according to claim 1 or 2, wherein in a transition region between the outer wall ( 2 ) of the treatment basin ( 1 ) and the container for receiving ( 5 ) a liquid-based seal ( 8th ) is arranged, the formation of which is made possible by providing a liquid collecting volume in the transition region. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei das Flüssigkeits-Auffangvolumen eine Tiefe aufweist, welche kleiner als die Exzentrizität der Exzenterwellen (9) ist.Device according to claim 3, wherein the liquid collecting volume has a depth which is smaller than the eccentricity of the eccentric shafts (FIG. 9 ). Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Exzenterwellen (9) von einer Entnahmeseite der Vorrichtung zu einer dieser gegenüberliegenden Rückseite hin geneigt verlaufen.Device according to one of the preceding claims, wherein the eccentric shafts ( 9 ) extend inclined from a removal side of the device to a reverse side opposite this.
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