DE20202297U1 - Flacher Aktor oder Sensor mit interner Vorspannung - Google Patents

Flacher Aktor oder Sensor mit interner Vorspannung

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    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders

Description

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Claims (5)

1. Flaches mehrschichtiges Bauelement (1) zum Einsatz als Aktor oder Sen­ sor, mit einer elektrisch aktivierbaren Materialschicht (2), vorzugsweise ei­ ner Piezokeramik, und einer passiven Mittellage (3) sowie einer weiteren passiven Materialschicht (4), wobei die Mittellage (3) einen größeren linea­ ren thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist als die Materialien der beiden benachbarten Schichten (2, 4).
2. Bauelement nach Anspruch 1, wobei die beiden inaktiven Schichten (3, 4) ein metallisches Verbundelement (5), insbesondere ein Thermobimetall, sind.
3. Bauelement nach Anspruch 1 oder 2, wobei auf der aktivierbaren Material­ schicht (2) eine zusätzliche Metallschicht (7) angebracht ist.
4. Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die aktivierbare Ma­ terialschicht (2) eine innerer Struktur in Form mehrerer Lagen aufweist.
5. Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die aktivierbare Ma­ terialschicht (2) eine Piezokeramik ist, deren zumindest eine Oberfläche (2a, 2b) zumindest teilweise mit einer Metallschicht (9) bedeckt ist.
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