DE2164838C3 - Verfahren zum Aufbringen von planaren Schichten - Google Patents

Verfahren zum Aufbringen von planaren Schichten

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Solche Verfahren sind bereits bekannt (DE-OS 20 26 321), jedoch wurde durch das bloße Überlagern der beiden Vorgänge die gewünschte Schichtqualität nicht voll erreicht
Es ist auch allgemein bekannt, Isolierschichten oder andere Schutzschichten mit Hilfe der Kathodenzerstäubung auf Isoliermaterialien oder Kietallschichten aufzubringen, wie aus der DE-OS 16 90 685 hervorgeht.
Bei der Herstellung von mikrominiaturisierten Schaltkreisen treten beim Aufbringen von Schutzschichten auf die Metalleiter insofern größere Probleme auf, als die Schutzschichten im wesentlichen den aufgebrachten Leiterzügen in ihrer Form und in ihrer Oberflächenausdehnung folgen. Das heißt mit anderen Worten, daß dort Erhöhungen auftreten, wo metallische Leiter darunterliegen, und dort Vertiefungen auftreten, wo nur der Grundträger ohne aufgebrachte metallische Schicht darunterliegt. Das Ergebnis ist eine gewölbte und ungleichmäßige, d. h. nicht planare Oberfläche der aufgebrachten Schutzschicht, die sich nachteilig bei der weiteren Verarbeitung der Halbleiterplättchen in nachfolgenden Prozeßschritten auswirkt.
Man hat deshalb bisher versucht, diese Erhebungen durch chemisches Ätzen wegzubringen. Dies hat jedoch den Nachteil, daß die Ätztiefe bei chemischen Ätzverfahren schlecht bestimmbar ist und somit sich beim chemischen Ätzen gewisse Vertiefungen nicht vermeiden lassen, so daß mit diesen chemischen Verfahren auch keine reinen planaren Oberflächen erzielt werden konnten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Aufbringen von planaren Schichten der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß sich eine wesentlich bessere Schichtqualität und eine planare Oberfläche der aufgebrachten Schutzschichten erzielen läßt. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 beschriebenen Maßnahmen gelöst.
Dadurch ergeben sich vorteilhafterweise äußerst genaue planare Oberflächen der Schutzschicht Außerdem ist für die Herstellung dieser planaren Oberflächen nur eine geringe Zeit erforderlich.
Im folgenden sind Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert Es zeigt
Fig. 1 eine vergrößerte Schnittdarstellung einer Dünnschicht-Anordnung, bei der der durch Kathodenzerstäubung aufgebrachte Isolationsfilm genau dem darunterliegenden Metallfilm in seiner räumlichen Ausbildung folgt;
F i g. 2 eine ähnliche Anordnung wie in F i g. 1, nur mit dem Unterschied, daß hier die Wirkung einer zu starken Abtragung durch Kathodenzerstäubung an den Ecken der Metalleiter gezeigt ist;
F i g. 3 eine ähnliche Anordnung wie in den F i g. 1 und 2, nur mit dem Unterschied, daß die Kanten des Metalleiters scharf ausgebildet sind und die aufgebrachte Schutzschicht im wesentlichen den Konturen des Metalifilms folgt;
Fig.4 die Anordnung nach Fig.3 mit teilweiser abgeätzter Schutzschicht;
F i g. 5 die Anordnung nach F i g. 4 nach dem völligen Abätzen der Erhebung über dem Metalleiter mit Hilfe des Kathoden-Ätzverfahrens;
F i g. 6 eine ähnliche Anordnung wie in F i g. 3, nur mit dem Unterschied, daß hier der Metalleiter besonders breit ausgebildet ist und
Fig.7 die Anordnung nach Fig.6 mit einem chemisch ausgeätzten Teil in der Schutz- bzw. Isolationsschicht
Die in F i g. 1 dargestellte Anordnung zeigt ein Substrat 56, das auf dem ein Metalleiter 54 aufgebracht ist Die gesamte Anordnung ist mit einer Silicium-Dioxydschicht 52 mit Hilfe eines Kathodenzerstäubungsprozesses überzogen. Wie aus dieser Anordnung zu ersehen ist, folgen die Konturen der aufgebrachten Siliciumdioxydschicht 52 im wesentlichen den Konturen des Metalleiters 54. Diese Konturen werden erreicht, wenn die aufgebrachte Siliciumdioxydschicht einen maximalen Schutz der darunterliegenden Metalleitung erzielen soll. An dieser Stelle soll erwähnt sein, daß das Ätzen mit Hilfe der Kathodenzerstäubung durch ein positives Ionenbombardement der Siliciumdioxydschicht während des Niederschiagens der Schicht erreicht wird.
In F i g. 2 ist eine Anordnung gezeigt, bei der während des Aufbringens des Filmes 52 ein relativ großes positives Ionenbombardement angewendet wurde. Die Ecken der Metalleiter 54 werden hier abgeätzt, bevor sie von der Siliciumdioxydschicht 52 überzogen sind. Die Regionen, die dabei an den Ecken des Metalleiters 54 abgetragen werden, sind mit 58 bezeichnet. Außerdem werden dabei die schrägen Kanten 60 der Siliciumdioxydschicht 52 abgetragen, während an den Stellen 62, 64 und 66 glatte, d.h. planare Schichten des Siliciumdioxydfilms niedergeschlagen werden.
Die in F i g. 3 dargestellte Anordnung soll nun in eine bekannte Kathodenzerstäubungsanlage eingebracht werden, um die Erhebung auf der Anordnung mit Hilfe des Kathodenzerstäubungsverfahrens abzuätzen und auf den glatten Flächen 62, 64 und 66 keine weiteren Schichten bzw. Teile abzulagern. Es erfolgt dann eine sehr schnelle Abätzung des Siliciumdioxydfilms 52 mit Hilfe des Kathodenzerstäubungsverfahrens an den hervorstehenden schrägen Flächen 60. In F i g. 4 ist die Anordnung nach F i g. 3 dargestellt, nachdem sie schon eine bestimmte Dauer dem Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß unterzogen wurde.
Dieser Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß wird so lange fortgesetzt, bis die Siliciumdioxydschicbt 52 glatt bzw. planar ist, wie es in F i g. 5 dargestellt ist
Bei der Ausführung des Abtragungsprozesses kann zunächst die Siliciumdioxydschicht auf das Substrat aufgebracht werden und danach können in einem weiteren Prozeß die Erhebungen mit Hilfe des Kathodenzerstäubungs-Ätzverfahrens abgeätzt werden.
Alternativ dazu ist es auch möglich, diese beiden ·ο Prozeßschritte miteinander zu kombinieren. Die Kombination dieser beiden Prozeßschritte kann z. B. so erfolgen, daß nach Erreichen einer Dicke der Siliciumdioxydschicht von in etwa der Dicke des Metalleiters der Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß wesentlich er- is höht wird, so daß die Niederschlagsrate auf den Flächen 62,64 und 66 der Oberfläche der Siliciumdioxydschicht nach Null geht und die Abätzung der Erhebungen an den schrägen Flächen relativ schnell erfolgt
Es kann nun in der Praxis vorkommen, daß die Metalleiter eine relativ große Breite aufweisen und die gesamte Dünnfilmanordnung relativ große Dimensionen aufweist Bei einer solchen Anordnung würde die komplette Planarisation der Siliciumdioxydschicht-Oberfläche unverhältnismäßig lang dauern, weshalb in einem solchen Falle dem Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß ein chemischer Ätzprozeß überlagert ist
In Fig,6 ist eine derartige Halbleiteranordnung gezeigt, die aus einem Substrat 74 besteht, auf das ein relativ breiter Metalleiter 72 niedergeschlagen ist Die gesamte Anordnung wurde dann mit einer Siliciumdioxydschicht 70 überzogen. Um nun bei der Planarisierung des Siliciumdioxydfilms 70 Zeit einzusparen, wird diese Anordnung nach Fig.6 zunächst einem chemischen Ätzbad ausgesetzt, das in die Siliciumdioxydschicht 70 eine Vertiefung einätzt von einer Größe, wie sie in Fig.7 in der Region 76 dargestellt ist Als Ätzmittel kann z. B. eine aus sieben Teilen einer 40prozentigen wäßrigen Ammoniumcloridlösung und einem Teil konzentrierter Hydrofluorsäure bestehende Ätzlösung verwendet werden. Die Ätzrate für diese Lösung beträgt ca. 1000 A pro Minute. Da ein derartig chemischer Ätzprozeß hinreichend bekannt ist, wird auf eine detaillierte Beschreibung verzichtet
Nach dem chemischen Ätzprozeß bleiben auf der Siüciumdioxydschicht-Oberfläche Ze, Teils 78 und 80 stehen, die entweder anschließend Offer während des chemischen Ätzprozesses mit Hilfe der Kathodenzerstäubung abgeätzt werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. Patentansprüche;
    1. Verfahren zum Aufbringen von planaren Schichten, insbesondere von Schutzschichten oder Isolierschichten auf metallische Leiter von mikrominiaturisierten Schaltkreisen mit Hilfe bekannter Kathodenzerstäubungsverfahren, bei dem zum Aufbringen der Schutz- bzw. Isolierschicht dem erforderlichen Kathodenzerstäubungsnieder-
    schlagsprozeß ein Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß überlagert ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß dann einsetzt, wenn die niedergeschlagene Dicke der Schutz- bzw. Isolierschicht (52) in etwa der Dicke eines auf einem Substrat (56) angeordneten Metalleiters (54) entspricht
    Z Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß ein chemischer Ätzprozeß zeitlich überlagert ist.
    3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der chemische Ätzprozeß beendet ist, bevor der Kathodenzerstäubungs-Ätzprozeß einsetzt
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