DE2746105A1 - Drucksensor mit mehreren funktionen - Google Patents

Drucksensor mit mehreren funktionen

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Junuthula Nirdosh Reddy
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    • F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
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    • F02D2200/70—Input parameters for engine control said parameters being related to the vehicle exterior
    • F02D2200/703—Atmospheric pressure

Description

BENDIX-Parisfile 5477-A
TIiE BENDIX CORPORATION, Executive Offices, Bendix Center, Southfield, Michigan 48075, USA
Drucksensor mit mehreren Funktionen
Die Erfindung betrifft Drucksensoren, insbesondere einen mehrere Funktionen aufweisenden'Drucksensor zur Erzeugung von Signalen, die den atmosphärischen, einen zweiten veränderlichen und einen dritten Druck anzeigen, der vom atmosphärischen und vom zweiten Druck abhängt.
In Betriebssystemen, etwa elektronischen KraftstoffSteuersystemen für Brennkraftmaschinen, beruhen die Kraftstoffbedarf srechnungen häufig auf mehr als einer Druckmessung. Diese Systeme benötigen sehr häufig Eingänge, die den Druck (Saugrohrdruck) im Luftansaugrohr der Brennkraftmaschine, den atmosphärischen Druck und die Differenz zwischen den beiden Anzeigen. Bei einem typischen elektronischen Geschwindigkeit-Dichte-Kraftstoffsteuersystem werden die drei gemessenen Drücke wie folgt verwendet:
1. Der absolute Saugrohrdruck wird zum Berechnen der von der ! Brennkraftmaschine angesaugten Luftmenge verwendet, die die in die Brennkraftmaschine unter normalen Betriebsbedingungen einzuspritzende Kraftstoffmenge bestimmt.
2. Der atmosphärische Druck wird zur Erzeugung einer Korrektur für die Höhe verwendet, die die Menge des eingespritzten Kraftstoffs in Abhängigkeit vom atmosphärischen Druck einstellt
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3. Die Druckdifferenz zwischen dem Saugrohrdruck und dem atmosphärischen Druck wird bei der Berechnung der Vollastanreicherung bei Beschleunigungs- und HochdrehzahlbeCrieb der Brennkraftmaschine verwendet.
Normalerweise werden diese Messungen durch voneinander unabhängige Drucksysteme gemacht. Es sind verschiedene Arten von Drucksensoren bekannt, etwa elektromagnetische Drucksensoren, bei denen die Stellung eines magnetisch durchlässigen Metallkerns in einer Magnetspule in Abhängigkeit vom Druck verändert wird. Die durch die Stellung des Metallkerns bestimmte Induktion der Spule zeigt den gemessenen Druck an. Eine weitere Art von Drucksensor verwendet eine als Elektrode eines Kondensators wirkende biegsame Membran., Die Durchbiegung der Membranelektrode in Abhängigkeit vom abgefühlten Druck ändert die Kapazität des Kondensators, die zur Erzeugung eines den abgefühlten Druck anzeigenden Signals verwendet werden kann. Eine weitere Art von Drucksensor ist ein Aneroidsensor, bei dem die Durchbiegung einer Membran eine mechanische Bewegung erzeugt, die den abgefühlten Druck anzeigt. Eine weitere Art von Drucksensor verwendet einen Dehnmeßstreifen, der längs der Oberfläche einer biegsamen Membran angeordnet ist, die bei ihrer Durchbiegung durch eine ausgeübte Druckdifferenz belastet wird. Bei einer weiteren Form dieses Sensors ist die biegsame Membran ein Silikonplättchen mit einem Dehnmeßstreifen und integrierten Verstärkerkreisen, die in die Oberfläche des Silikonplättchens verteilt (diffundiert) sind.
Die oben beschriebenen Sensoren sind grundsätzlich Vorrichtungen mit einer einzigen Funktion, die voneinander unabhängig irgendeinen der gewünschten Druckparameter messen können. Derzeitige elektronische Kraftstoffeinspritzsysteme und für die Zukunft geplante erfordern abgefühlte Druckeingänge von wenigstens zwei der oben angegebenen Parameter und vorzugsweise auch den dritten Meßeingang. Zur Erfüllung dieses Erfordernisses müssen wenigstens zwei gesonderte Drucksensoren in
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die Steuersysteme eingebaut werden zur Lieferung der gewünschten Eingangssignale zur elektronischen Steuereinheit für die Kraftstoffeinspritzung.
Die Erfindung vermeidet das Erfordernis von vielfachen Sensoren durch Kombinieren zweier voneinander unabhängiger Druckfühlelemente, die verschiedene Parameter in einem Gehäuse abfühlen und die Ausgänge der beiden Abfühlelemente elektronisch kombinieren zur Erzeugung des dritten geforderten Drucksignals. Dies vermindert die Anzahl und Kosten der erforderlichen Sensoren und vermindert auch die Komplexität und Kosten des Systems. Diese Kostenersparnis wird bei Gegenständen der Massenproduktion, wie solchen für den Kraftfahrzeugmarkt hergestellten, bedeutend.
Die Erfindung ist ein Drucksensor mit mehreren Funktionen zur Erzeugung von wenigstens drei Druckausgangssignalen, die von elektronischen Kraftstoffeinspritzsystemen für Brennkraftmaschinen erforderlich sind bei der Berechnung des Kraftstoffbedarfs der Brennkraftmaschine unter verschiedenen Betriebsbedingungen. Der angegebene Sensor enthält zwei Drucksensorelemente in einem einzigen Gehäuse, von denen das eine den Druck im Luftansaugrohr der Brennkraftmaschine und das andere einen abwechselnden Druck mißt, der entweder der Atmosphärendruck oder die Differenz zwischen dem Atmosphärendruck und dem Saugrohrdruck sein kann, wobei die zugehörige elektronische
Schaltung ein den ungemessenen Parameter angebendes Signal j
j erzeugt.
J Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die
j beiden Drucksensorelemente in einem einzigen Gehäuse mit einem Kanal angebracht, der den Saugrohrdruck zu einer Seite eines der beiden Drucksensorelemente leitet. Das Gehäuse ent-
j hält ferner eine Öffnung, die eine Seite des anderen druck-' empfindlichen Elements dem Atmosphärendruck aussetzt. Das Gehäuse weist auch eine geschlossene Kammer mit einem gegebenen
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Innendruck auf, der auf die gegenüberliegende Seite beider Drucksensorelemente ausgeübt wird. Die druckempfindlichen Elemente sprechen auf die auf ihre gegenüberliegenden Seiten ausgeübte Druckdifferenz an und erzeugen jeweils Signale, die den Wert für den absoluten Saugrohrdruck und den Wert des atmosphärischen Drucks anzeigen. Ein Differenzverstärker subtrahiert den Wert des Saugrohrdrucks vom Wert des atmosphärischen Drucks und erzeugt ein die Differenz anzeigendes Signal.
Ein Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines Drucksensors mit mehreren Funktionen zur Erzeugung von Signalen, die den Absolutwert eines ersten Drucks, den Wert eines zweiten Drucks und die Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten
Druck anzeigen.
j Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines Druck-' sensors mit mehreren Funktionen, der die beiden Drücke mißt und aus den beiden gemessenen Drücken einen dritten Druck berechnet.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist ein Drucksensor mit mehreren Funktionen und mit zwei druckempfindlichen Elementen, wobei eine Seite beider druckempfindlichen Elemente einem gemeinsamen gegebenen Druck und die gegenüberliegenden Seiten der druckempfindlichen Elemente unterschiedlichen Drücken ausgesetzt sind.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines einzigen Sensors zur Erzeugung von drei Druckeingangssignalen, die von einem elektronischen Kraftstoffsteuersystem benötigt werden, zur Berechnung des Kraftstoffbedarfs einer Brennkraftmaschine.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines einzigen Drucksensors mit mehreren Funktionen, der billig und
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in der Lage ist, zwei oder mehrere Drucksensoren in einem elektronischen Steuersystem zu ersetzen.
Die Erfindung betrifft kurz zusammengefaßt einen Drucksensor mit mehreren Funktionen zur Verwendung in Kombination mit einem elektronischen Kraftstoffeinspritzsystem für eine Brennkraftmaschine. Die bevorzugte Ausführungsform weist in einem einzigen Gehäuse zwei druckempfindliche Elemente auf, die Signale erzeugen, die den absoluten Druck im Ansaugrohr der Brennkraftmaschine und den absoluten Druck der Umgebung oder den atmosphärischen Druck anzeigen. Eine zugehörige elektronische Schaltung subtrahiert den Saugrohrdruck vom Wert des atmosphärischen Drucks und erzeugt ein drittes Drucksignal, das die Differenz zwischen dem Saugrohrdruck und dem atmosphärischen Druck anzeigt. Diese drei Drucksignale werden im elektronischen Kraftstoffeinspritzsystem zur Berechnung des Kraftstoffbedarfs der Brennkraftmaschine unter verschiedenen Betriebsbedingungen verwendet.
Die Erfindung wird anhand der Zeichnung beschrieben. Darin zeigt:
Fig. 1 einen Querschnitt der bevorzugten Ausführungsform des Drucksensors mit mehreren Funktionen;
Fig. 2 eine Draufsicht des in Fig. 1 gezeigten Drucksensors mit entferntem Deckel;
Fig. 3 eine Seitenansicht des in Fig. 1 gezeigten Drucksensors;
Fig. 4 ein Schaltschema der zugehörigen elektronischen Schaltung der bevorzugten Ausführungsform von Fig. 1;
Fig. 5 einen Querschnitt einer alternativen Ausführungsform des Drucksensors mit mehreren Funktionen;
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Fig. 6 ein Schaltschema der zugehörigen elektronischen Schaltung der alternativen Ausführungsform von Fig. 5.
Die bevorzugte Ausführungsfomi des Drucksensors mit mehreren Funktionen ist in Fig. 1, 2 und 3 gezeigt. Fig. 4 ist ein elektrisches Schema der elektrischen Schaltung. Gemäß Fig. enthält der Drucksensor mit mehreren Funktionen zwei Drucksensoren 10 und 12, die jeweils voxi einem Unterteil 14 getragen werden. Der Zwischenraum zwischen den Drucksensoren 10 und 12 und dem Unterteil 14 ist unter Verwendung bekannter Techniken, etwa der Silberlötung, vakuumdicht gemacht. Ein Deckel 16 ist auch am Unterteil 14 abgedichtet und bildet eine Vakuumkammer 18. Es ist eine nicht gezeigte Einrichtung vorgesehen zum Luftleermachen der Vakuumkammer 18 bis auf einen gegebenen niedrigen Druck. Diese Einrichtung kann ein Kupferrohr sein, das am Unterteil 14 oder am Deckel 16 befestigt ist und einen Einlaß zur Vakuumkammer 18 bildet. Die Vakuumkammer wird durch das Kupferrohr luftleer gemacht, das in bekannter Weise abgeklemmt wird, wenn der Druck in der Va- ! kuumkammer sich auf den gegebenen niedrigen Druck stabilisiert.
Alternativ sind das Unterteil mit den daran abgedichteten (gesiegelten) beiden Druckfühlelemente und der Deckel in einer größeren Vakuumkammer mit einer Einrichtung angeordnet zum befestigen des Deckels am Unterteil und zum Abdichten (Siegeln) des Deckels am Unterteil im Vakuum. Dieses Verfahren beseitigt die Notwendigkeit für das oben angegebene Kupferabzugrohr.
Bei der bevorzugten Ausführungsform ist der Druck innerhalb der Vakuumkammer 18 eine Anzeige für den Nulldruck gegenüber dem zu messenden niedrigsten Druck. Bei einem Sensor, der ι Drücke im Bereich von atmosphärischem Druck bis hinab zu j 100 Torr mißt, kann ein Druck von 10 Torr oder weniger in i
! der Vakuumkammer angemessen sein. Wenn jedoch der zu ermittelnde minimale Druck 10 Torr beträgt, sollte der Druck
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In der Vakuumkammer 18 kleiner als 0,1 Torr sein bei einer Genauigkeit von wenigstens 1% bei den niedrigeren Drücken.
Die Drucksensoren 10 und 12 haben dieselbe Grundkonstruktion. Der Drucksensor 10 enthält als druckempfindliches Glied ein dünnes Silikonplättchen 20 mit Widerstandselement, die in Form einer elektrischen Brücke angeordnet sind, die auf der Oberseite 22 des Silikonplättchens "20 verteilt (diffundiert) sind. Eine aufgrund einer Druckdifferenz an den gegenüberliegenden Flächen des Silikonplättchens in dieses eingeleij tete Spannung oder Belastung erzeugt eine Änderung des Wi-, derstands der ausgewählten und auf der Oberfläche des Silikonplättchens verteilten Widerstandselemente. Bekanntlich ' ist der Widerstand der ausgewählten verteilten (diffundierten) Widerstandselemente eine Anzeige für die Spannung im Silikonj plättchen, die auch von der an den gegenüberliegenden Flächen j des Silikonplättchens wirkenden Druckdifferenz abhängt. Da ι der Druck in der Vakuumkammer 18 konstant ist, ist der Ausgang ! der elektrischen Brücke vom auf die Unterseite 24 des SiIi konplättchens ausgeübten Druck abhängig.
; Das Silikonplättchen 2O ist an ein Ende eines Glasrings 26 ' mit einem verträglichen Ausdehnungskoeffizienten unter Ver- ! Wendung bekannter Siegeltechniken gesiegelt. Ein übliches Verfahren besteht im Abdichten mit Silberchlorid. Jedoch sind Lötgläser der Firma Corning Glass, Corning, New York, oder j Indiumlötroitte1 der Indium Corporation of America in gleicher Weise zum Abdichten anwendbar. Der Glasring 26 wird an einem Metallrohr 28 mit ebenfalls einem verträglichen Ausdehnungskoeffizienten unter Verwendung von üblichen Glas-Metall-Abdichttechniken abgedichtet. Das Rohr 28 des Drucksensors 10 erstreckt sich durch das Unterteil 14. Der durch das Rohr 28 verlaufende Kanal 30 dient als Einlaßöffnung zum mehrere Funktionen aufweisenden Drucksensor und der zu messenden Druckquelle mit unbekanntem oder veränderlichem Druck.
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Die Bestandteile des Drucksensors 12 sind grundsätzlich dieselben wie die beim Drucksensor IO besprochenen. Jedoch ist das Metallrohr 32 kürzer und kann bündig mit der Unterseite des Unterteils 14 enden oder sich um eine kurze Strecke über die Unterseite des Unterteils 14 hinaus erstrecken, vgl. Fig. 1. Der durch den mittleren Teil des Metallrohrs hindurch verlaufende Kanal 34 ist eine Einlaßöffnung für Atmosphärendruck und setzt die Unterseite des Silikonplättchens dem Atmösphärendruck aus.
Fig. 2 zeigt eine Draufsicht des Drucksensors für mehrere Funktionen bei entferntem Deckel 16. Die Drucksensoren 10 und 12 haben jeweils zwei Eingangsklemmeh und zwei Ausgangsklemmen, die mit den auf ihren Flächen verteilten (diffundierten) elektrischen Brücken verbunden sind. Die Eingangs- und Ausgangsklemmen sind an am Unterteil 14 befestigte elektrische Durchgänge 36 bis 46 angeschlossen. Die Eingangsklemmen zu beiden Drucksensoren sind gemeinsam an die Durchführungen 4O und 42 angeschlossen, vgl. Fig. 2. Die beiden Ausgangsklemmen des Drucksensors IO sind an die Durchführungen 36 bzw. 38 angeschlossen, während die beiden Ausgangsklemmen des Drucksensors 12 an die Durchführungen 44 bzw. 46 angeschlossen sind.
Fig. 3 ist eine Seitenansicht des Drucksensors mit mehreren Funktionen und zeigt ein Gehäuse 48, das unter Verwendung von Befestigungsmitteln, etwa Schrauben 5O, an der Unterseite des Unterteils 14 befestigt ist. Lin fünflitziges Kabel 52 überträgt die Eingangsenergie zum Sensor und die drei Ausgangssignale.
Fig. 4 ist ein elektrischer Schaltplan mit einer Darstellung der Widerstandselemente, die auf der Oberfläche des Silikonplättchens 20 der Drucksensoren IO und 12 diffundiert sind, und zeigt die zugehörige elektronische Schaltung. Die Drucksensoren 10 und 12 haben jeweils vier Widerstandselemente,
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die, wie gezeigt, in Reihe und parallel geschaltet sind und eine übliche elektrische Brüpke bilden, deren Arbeitsweise allgemein bekannt ist. Kurz ausgedrückt, wird elektrische Energie vpn den, Durchführungen 40 und 42 auf die gegenüberliegenden Anschlüsse beider Brücken übertragen. Die beiden Widerstandselemente in jeder Brücke, d.h. die Widerstandselemente 54 und 60 im Drucksensof IO und die WiderStandselemente 62 und 68 im Drucksensor 12, sind so angeordnet, daß sie auf die in das Silikonplättchen eingeleitete Spannung ansprechen, wobei sich ihr Widerstand in Abhängigkeit von der eingeleiteten Spannung ändert, die durch die Druckdifferenz zwischen dem Innendruck und dem auf die Außenseite ausgeübten Druck bedingt ist. Die Änderung des Wert der beiden gegenüberliegenden Widerstände erzeugt ej-ne Potentialdifferenz an den dazwischenliegenden Anschlüssen, die an die Durchführungen 36 und, 38 sowie 44 und 46 für die Drucksensoren IQ bzw. 12 angeschlossen sind. Die Potentialdifferenz an den Zwischenanschlüssen des Drucksensor? IO wJlrd an einen Verstärker angelegt« der ein. Signal erzeugt, das den durch die Einlaßöffnung 3O auf den Drucksensor 10 ausgeübten Druck anzeigt. Die Potentialdifferenz an den Zw^schenanschlüssen des Drucksensors 12 wird an einen Verstärker 72 angelegt, der ein Signal erzeugt, das den durch die Atmosphärendrucköffnung 34 auf den Drucksensor 12 ausgeübten Umgebungs- oder Atmosphärendruck anzeigt, Wenn die Schaltungen der Verstärker 70 und 72 auf die ,Oberflächen der Silikonplättchen 2O diffundiert sind, sind nur zwei Durchführungen 38 bzw. 34 erforderlich. Sin J Differenzverstärker 74 subtrahiert das voe Verstärker 70 erzeugte Signal von durch den Verstärker 72 erzeugten Signal : und erzeugt ein Signal, das die Differenz zwischen dem Umgebungs- oder Atmosphärendruck und den Druck in der Einlaß- öffnung 3O anzeigt«
; Der Differenzverstärker 74 kann in einem an der Unterseite des Unterteils 14 befestigten Gehäuse untergebracht werden. ■ Wenn der Druck in der Vakuumkammer 18 ausreichend hoch ist
und die Gasabgabe der den Differenzverstärker 74 enthaltenden integrierten Schaltung niedrig ist, kann der Dif ferenzyer'-stärker 74 innerhalb der Vakuumkammer 19 auf dem Unterteil 14 befestigt werden. Alternativ kann der Differenzverstärker auf die Oberfläche eines Silikonplättchens mit niedrigen Gasabgabeeigenschaften diffundiert und daher innerhalb,der Vakuumkammer 18 angebracht werden, und zwar unabhängig: v<jea Innendruck des Sensors. ....'-.. ~ -
Eine alternative Ausführungsform des Drucksensors mit reren Funktionen ist in Fig. 5 gezeigt. Diese Ausführungsform weist auch zwei Drucksensoren 110 und 112 auf, die- de» in Fig. 1 gezeigten Drucksensoren IQ und 12, ähnlich sind. Die Drucksensoren 110 und 112 sind an einem Unterteil 114 befestigt. Ein Deckel 116 ist am Unterteil 114 abgedichtet und bildet eine einstückige Kammer IiB. Der Drucksensor IK) enthält ein Silikonplättchen 20 mit Wider standsei ementetl, die, wie zu Fig. 1 erläutert, als elektrische Brücke angeordnet sind. Der Unterschied zwischen den Drucksensoren; IO und HO besteht darin, daß anstelle des Metallrohrs 28 mithin«» offenen Ende ein Metallrohr 128 des Drucksensor« HQ evakuiert und, wie gezeigt, abgedichtet wird. Der Innendruck des abgedichteten Drucksensors 110 stellt eine Anzeige für dest Nurllr druck gegenüber dem durch den Sensor zu messenden &ledr;ig?s**n Druck dar. Der Drucksensor 112 ist für alle praktische«^. Zwecke identisch mit dem Drucksensor 12 von Fig. 1.-y
Die alternative Ausführungsforjn enthält zusätzlich ein einen., Kanal 132 aufweisendes Metallrohr 130« das aw Unterteil 114 befestigt ist und einen Druckeinlaß zyr InnenkararoerHß vonder zu messenden Druckquelle; tiIdet. Dieser Druck-wisch, auf die gegenüberliegenden Seiten des Silikonplättcheas der Drucksensor en 110 und 112 ausgeübt.
Ein elektrisches Schaltschema der auf der Oberfläche der ; _ ■ Silikonplättchen 12 der Druck sensor en 110 und 4.12, diffundierten
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Widerstandselemente und der zugehörigen Schaltung sind in Fig. 6 gezeigt. Die Dehnmeßstreifen sind wieder als elektrische Brücken mit vier in Reihe bzw. parallel geschalteten Widerstandselementen gezeigt, wie oben bezüglich Fig. 4 angegeben. Die in das Silikonplättchen des Drucksensors 110 eingeleitete Spannung erzeugt eine Potentialdifferenz an den Anschlüssen 136 und 138. Diese Potentialdifferenz wird durch einen Verstärker 170 zur Erzeugung eines elektrischen Signals verstärkt, das den absoluten Druck in der Eingangsöffnung 132 anzeigt.
In ähnlicher Weise erzeugt die in das Silikonplättchen des Drucksensors 112 eingeleitete Spannung eine Potentialdifferenz an den Durchführungen 144 und 146, die durch einen Verstärker 172 verstärkt wird und ein Ausgangssignal erzeugt, das die Differenz zwischen dem Druck in der Einlaßöffnung 132 und dem Atmosphärendruck anzeigt.
Die Ausgänge der Verstärker 17O und 172 werden in einem Addierkreis 174 erzeugt, der ein den Atmosphärendruck anzeigendes Signal erzeugt.
Wenn auch der Drucksensor für mehrere Funktionen in Verbindung mit den dargestellten Ausführung»formen und einer besonderen Art von druckempfindlichen Elementen offenbart und beschrieben wurde, ist es ersichtlich, daß abgeänderte Aus bildungen und druckempfindliche Elemente ohne Abweichen vom
ί Wesen der Erfindung verwendet werden können. Zum Beispiel können kapazitive oder aneroidartige druckempfindliche Elemente gegen die dargestellten Silikonplättchen-Dehnmeßstreifen ausgetauscht werden, oder es können andere strukturelle Ände-
! rungen vorgenommen werden. Es 1st ferner ersichtlich, daß in einer abgeänderten Ausbildung die druckempfindlichen Elemente den Atmosphärendruck und die Differenz zwischen dem Atmosphärendruck und dem Druck in der Einlaßöffnung messen und auf
j elektronische Weise ein Signal erzeugen können, das den Druck
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in der Einlaßöffnung anzeigt. Es ist nicht beabsichtigt, daß die Erfindung auf die dargestellten und erläuterten Konstruktionen beschränkt wird.
Alle in der Beschreibung und Zeichnung angegebenen technischen Einzelheiten sind für die Erfindung von Bedeutung.
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Le
e r s e ι ί e

Claims (10)

  1. BROSE0 "BROSE
    Kar1A.OF^^NOC 0 Karl DH^CC Diplom
    Ingenieure
    D-8023 Müncheri-Pullacti, Wiener Str. 2; Tel (C89) 7 93 30 71; Telex 5212:47 bros d; Cables: -Palentibus» München
    Ihr Zeichen: Tag: ft, . . ., n-_
    i BENDIX-Parisfile 5477-A oate 13· Oktober 1977
    THK BENDIX CORPORATION, Executive Offices, Bendix Center, Southfield, Michigan 48O75,'USA
    Patentansprüche
    [ 1. jDrucksensor mit mehreren Funktionen, g e k e η η ^— ζ e i c h η e t durch einen ersten Sensor (10; 110) zur Erzeugung eines ersten Drucksignals, wobei der erste Sensor (10; 110) ein erstes druckempfindliches Glied (2O) und eine Einrichtung (28; 128) zur Ausübung eines ersten Drucks auf eine Seite des ersten druckempfindlichen Glieds (20) enthält, durch einen zweiten Sensor (12; 112) zur Erzeugung eines zweiten Drucksignals, wobei der zweite Sensor (12; 112) ein zweites druckempfindliches Glied (20) und eine Einrichtung zur Ausübung eines zweiten Drucks auf eine Seite des zweiten druckempfindlichen Glieds (20) enthält, durch ein Gehäuse (14, 16; 114, 116) mit einer inneren Kammer (18; 118), wobei das Gehäuse (14, 16; 114, 116) den ersten und den zweiten Sensor (10, 12; 110, 112) trägt, wobei die
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    ORIGINAL INSPECTED
    gegenüberliegenden Seiten ces ersten und des zweiten druckempfindlichen Glieds (20) eier inneren Kammer (18; 118) ausgesetzt sind, die einen dritten Druck auf die gegenüberliegenden Seiten des ersten und des zweiten druckempfindlichen Glieds (20) leitet, und durch eine Schaltung (54-74; 54-174) zum Kombinieren des ersten und des zweiten ürucksignals zur Erzeugung eines dritten Drucksignals, das vom ersten und vom zweiten Drucksignal abhängt.
  2. 2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Druck ein veränderlicher und der zweite Druck ein atmosphärischer Druck ist, wobei die innere Kammer (18) ein abgedichteter Raum mit einem gegebenen Innendruck ist, der auf die gegenüberliegenden Seiten des ersten und des zweiten druckempfindlichen Glieds (20) ausgeübt wird, und wobei der gegebene Innendruck der dritte Druck ist.
  3. 3. Drucksensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltung (54-74; 54-174) einen Differenzverstärker (70, 72, 74; 170, 172, 174) enthält, der vom ersten und vom zweiten Drucksignal abhängt zur Erzeugung eines Drucksignals als MaB für die Differenz zwischen dem den veränderlichen Druck anzeigenden ersten Drucksignal und dem den atmosphärischen Druck anzeigenden zweiten Drucksignal.
  4. 4. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Differenzverstärker (70, 72, 74; 170,172, 174) folgendes enthält: einen ersten Verstärker (70), der ein verstärktes Signal erzeugt, das den absoluten Wert des veränderlichen Drucks in Abhängigkeit vom ersten Drucksignal anzeigt, einen zweiten Verstärker (72), der ein verstärktes Signal erzeugt, das den absoluten Wert des atmosphärischen Drucks in Abhängigkeit vom zweiten Drucksignal anzeigt, und einen Differenzverstärker (74), der das vom ersten Verstärker (70) erzeugte Signal von dem vom zweiten Verstärker (72) erzeugten Signal subtrahiert zur Erzeugung
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    des Differenzsignals.
  5. 5. Drucksensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die geschlossene Kanuner (18) einen Innendruck aufweist, der wenigstens um den Faktor 10 kleiner als der Mindestwert des veränderlichen Drucks ist.
  6. 6. Drucksensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die eingeschlossene Kammer (18) eine Vakuumkammer ist, und daß der Innendruck ein Vakuum ist, dessen Druck etwa gleich Null ist.
  7. 7. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und das zweite druckempfindliche Glied (20) jeweils folgendes enthalten: ein dünnes Substrat (20), mit gegenüberliegenden Oberflächen, wobei das Substrat in Abhängigkeit von der auf den gegenüberliegenden Oberflächen ausgeübten Druckdifferenz eine eingeleitete Spannung aufweist, und einen Dehnmeßstreifen (54-60; 62-68) , der längs einer (22) der gegenüberliegenden Oberflächen angeordnet ist und ein Signal erzeugt, das die durch den Differenzdruck in das Substrat (20) eingeleitete Spannung anzeigt, wobei das durch den Dehnmeßstreifen (54-60) am ersten druckempfindlichen Glied (20) erzeugte Signal das erste Drucksignal ist und wobei das vom Dehnmeßstreifen (62-68) am zweiten druckempfindlichen Glied (20) erzeugte Signal das zweite Drucksignal ist.
  8. 8. Drucksensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das dünne Substrat (20) ein Silikonplättchen (20) mit gegenüberliegenden Oberflächen ist, und daß der Dehnmeßstreifen (54-60; 62-68) ein elektrischer Brückenkreis (54-60; 62-68) ist, der auf einer (22) der gegenüberliegenden Oberflächen des Silikonplättchens (2O) verteilt ist und ein Signal erzeugt, das die in Abhängigkeit von der Druckdifferenz im
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    Silikonplättchen (20) erzeugte Spannung anzeigt, wobei der elektrische Brückenkreis (54-60; 62-68) wenigstens vier Widerstandselemente (54-60; 62-68) enthält, die zur Bildung einer geschlossenen Schleife in Reihe geschaltet sind, wobei zwei abwechselnde Widerstandselemente (54, 60; 62, 68) in der Schleife auf die im Silikonplättchen (20) eingeleitete Spannung empfindlich sind, während die anderen beiden Widerstandselemente (56, 68; 64, 66) in der Schleife auf die eingeleitete Spannung empfindlich sind.
  9. 9. Drucksensor nach Anspruch 4 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß eier erste und der zweite Verstärker (70, 72; 170, 172) Verstärkerkreise (70, 72; 17O, 172) sind, die auf einer Oberfläche (22) der jeweiligen Silikonplättchen (20) verteil! sind zur Verstärkung der von den elektrischen Brückenkreisen (54-60, 62-68) erzeugten Signale.
  10. 10. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Druck ein gegebener, der zweite Druck der atmosphärische und der dritte Druck ein veränderlicher Druck ist, und daß die Kreise (17O, 172, 174) folgendes enthalten: einen ersten Verstärker (170) zur Erzeugung eines Signals, das die Differenz zwischen dem veränderlichen Druck und dem gegebenen Druck in Abhängigkeit vom ersten Drucksignal anzeigt, einen zweiten Verstärker (172) zur Erzeugung eines Signals, das die Differenz zwischen dem veränderlichen Druck und dem atmosphärischen Druck in Abhängigkeit vom zweiten Drucksignal anzeigt, und einen Addierkreis (174) zur Addierung des vom ersten Verstärker (170) erzeugten Signals zum vom zweiten Verstärker (172) erzeugten Signal zur Erzeugung eines Summensignals, das den Absolutwert des atmosphärischen Drucks anzeigt.
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