DE2751221A1 - Verfahren zur aufbringung eines reflexionsvermindernden belages auf unterlagen aus organischem material - Google Patents
Verfahren zur aufbringung eines reflexionsvermindernden belages auf unterlagen aus organischem materialInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 title claims description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 8
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 3
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 2
- LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxyethane Chemical compound CCOCCOCC LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000009533 lab test Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
-
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- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00865—Applying coatings; tinting; colouring
-
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
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Description
BALZERS HOCHVAKUUM GMBH
Siemensstrasse 11
Siemensstrasse 11
6201 Wiesbaden-Nordenstadt
Verfahren zur Aufbringung eines reflexionsvermindernden Belages
auf Unterlagen aus organischem Material.
Es besteht das Problem, auf Unterlagen aus Kunststoff z.B. auf Brillengläsern reflexionsvermindernde Beläge aufzubringen, die
genügend hart und haftfest sind und Witterungs- und chemischen Einflüssen
zu widerstehen mögen. Insbesondere war bisher eine hinreichende Beständigkeit gegenüber Salzwasser, wie sie z.B. bei Brillengläsern
oft verlangt wird, schwer zu erreichen. Umfangreiche Laborversuche haben gezeigt, dass für Glas übliche, reflexionsvermindernde
Beläge, wenn sie auf Kunststoff aufgebracht werden, keine genügende Beständigkeit aufweisen.
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Die vorliegende Erfindung hat sich nun zur Aufgabe gestellt, ein Verfahren zu finden, das widerstandsfähige reflexionsvermindernde
Beläge auf Unterlagen aus organischem Material, vorzugsweise auf Brillengläsern aus Kunststoff durch Aufdampfen im Vakuum
herzustellen gestattet.
Dieses erfinduncsßemässe Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass
1. Chrom in einer Sauerstoffatmosphäre unter einem Druck zwischen
k bis 8 χ 10~^ Torr mit einer Rate von 0,01 bis 0,05 nm pro
Sekunde und einer Dicke von 1 bis 10 nm aufgedampft wird;
2. darauffolgend SiO2 mittels einer Elektronenstrahlverdampfungsquelle
bei einem Druck von weniger als 5 · 10 Torr, gemessen mit einem an einem Seitenstutzen der Aufdampfkammer angebrachten
Ionisationsmanometer, mit einer Rate von 0,5 bis 1,5 nm pro
Sekunde und einer Dicke von 50 bis 150 nm aufgedampft wird;
3. darauffolgend der Belag in einer Sauerstoffatmosphäre bei einem
Druck von 0,1 bis 0,01 Torr bei einer Glimmspannung von weniger als 3000 Volt 1 bis zu 10 Minuten lang nachgeglimmt wird.
Auf diese Weise erhält man überraschenderweise Beläge, deren Haftfestigkeit
auf Kunststoff ausserordentlich hoch ist und die auch
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nach starker Klimawechselbeanspruchung keine Abblätterungserscheinungen
oder sonstige Zerstörungen aufweisen.
Im folgenden soll die Erfindung noch an Hand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben werden.
Unter dem Handelsnamen CR 39 (Polymere von Diaethylglykol-bis-Allylkarbonat)
erhältliche Kunststoffglaser wurden zuerst im Ultraschallbad gereinigt. Nach Auspumpen einer üblichen Vakuumaufdampfanlage
auf einen Druck unterhalb 10 Torr wurde Sauerstoff in die Anlage eingeführt bis darin ein Druck von 6 χ 10 Torr
erreicht war. Darauf wurde Chrom mit der angegebenen Rate verdampft, bis eine Schichtdicke von 3 nm erreicht war. Bei dem angegebenen
Sauerstoffpartialdruck und bei Einhaltung einer Aufdampfrate von 0,02 - 0,03 nm pro Sekunde ergab sich für die angegebene Schichtdicke
eine Absorption der durch reaktives Aufdampfen erhaltenen Chromoxidschicht von 0,5 ^.
Anschliessend wurde die Anlage von neuem auf unterhalb 10 Torr
evakuiert und sodann mittels einer Elektronenkanone SiO« verdampft
und auf der Chromoxidschicht eine SiOp-Schlcht als zweite Schicht
niedergeschlagen. Die Aufdampfung von SiOp wurde solange fortgesetzt, bis eine Schichtdicke erreicht war, die ein Minimum der Reflexion
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ergab, was durch laufende Messung der Reflexion eines Testglases, das gleichzeitig in der Aufdampfanlage mitbedampft wurde, überprüft
werden konnte.
Für die auf die beschriebene Weise hergestellten reflexionsvermindernden
Beläge ergab sich eine Salzwasserbeständigkeit von 1000 Stunden, d.h., sie konnten 1000 Stunden in 4 #-igem Salzwasser
liegen, ohne dass sich irgendwelche Zerstörungserscheinungen zeigten. Ferner wurde zur Prüfung der sogenannten Wechselklimabeständigkeit
der folgende Test ausgeführt (der den genormten Abnahmebedingungen
für besonders anspruchsvolle Anwendungen entspricht): Die beschichteten Gläser wurden in eine Klimakammer eingebracht, in
der eine anfängliche Temperatur von 20° C und eine relative Feuchigkeit von 45 % herschte. Dann wurden im Verlaufe von 2 Stunden die genannten
Werte auf 70° C bzw. 95 % relative Feuchtigkeit erhöht, und
die Oläser nachfolgend 8 Stunden lang unter diesen Bedingungen gehalten.
In den folgenden 14 Stünden wurde dann die Temperatur lang-
saa wieder auf 20° und die relative Feuchigkeit auf 45 % abgesenkt.
Der beschriebene Zyklus wurde dreimal wiederholt. Nach dem insgesamt 72 Stunden dauernden Test konnten an den Gläsern keinerlei Abnützungserscheinungen
oder anderweitige Beschädigungen des Belages festgestellt werden.
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Manchmal ist ein höherer Absorptionsgrad der Schichten erwünscht, z.B. für (unter der Bezeichnung "Filtergläser" bekannte) Augenschutzgläser.
Dies kann man durch zwei Massnahmen erreichen; es kann die Dicke der Chromoxidschicht vergrössert werden oder es
wird die reaktive Aufdampfung der Chromoxidschicht bei einer veränderten Einstellung der Sauerstoffatmosphäre vorgenommen.
Ueberrraschenderweise hat sich jedoch gezeigt, dass die nachfolgende
SiO2-Schicht auf jeden Fall mittels Elektronenstrahlverdampfungsquelle
aufgebracht werden muss, um die gewünschte hohe Schichtqualität zu erreichen. Die Verdampfung aus einer üblich thermischen
Verdampfungsquelle würde zu Schichten führen, die weder optisch noch beständigkeitsmässig den Anforderungen genügen. Schliesslich
ist auch der dritte angeführte Schritt, dass Nachglimmen in einer Sauerstoffatmosphäre bei einem Druck von 0,1 bis 0,01 Torr erforderlich
und kann erfahrungsgemäss nicht durch andere oxidierende Verfahrensachritte ersetzt werden.
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Claims (3)
1. Chrom in einer Sauerstoffatmosphäre unter einem Druck zwischen
4 bis 8 χ 10"^ Torr mit einer Rate von 0,01 bis 0,05 nm pro
Sekunde und einer Dicke von 1 bis 10 nm aufgedampft wird;
2. darauffolgend SiOp mittels einer Elektronenstrahlverdampfungs-
quelle bei einem Druck von weniger als 5 · ΙΟ"·5 Torr, gemessen
mit einem an einem Seitenstutzen der Aufdampfkammer angebrachten
Ionisationsmanometer, mit einer Rate von 0,5 bis 1»5 nm pro Sekunde und einer Dicke von 50 bis 150 nm aufgedampft wird;
3. darauffolgend der Belag in einer Sauerstoffatmosphäre bei einem
Druck von 0,1 bis 0,01 Torr bei einer Glimmspannung von weniger als 3000 Volt 1 bis zu 10 Minuten lang nachgeglimmt wird.
PR 7665
80982*^/0603
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1634176A CH625054A5 (de) | 1976-12-27 | 1976-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2751221A1 true DE2751221A1 (de) | 1978-07-06 |
| DE2751221C2 DE2751221C2 (de) | 1983-03-10 |
Family
ID=4416471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2751221A Expired DE2751221C2 (de) | 1976-12-27 | 1977-11-16 | Verfahren zur Aufbringung eines reflexionsvermindernden Belages auf Unterlagen aus organischem Material |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4172156A (de) |
| AT (1) | AT351284B (de) |
| CH (1) | CH625054A5 (de) |
| DE (1) | DE2751221C2 (de) |
| FR (1) | FR2375343B1 (de) |
| GB (1) | GB1538826A (de) |
| IT (1) | IT1088925B (de) |
| NL (1) | NL169521C (de) |
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Legal Events
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| OD | Request for examination | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
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