DE2753684A1

DE2753684A1 - Rotatable table for automatic tester - holds semiconductor wafers which can be electronically heated or cooled and subjected to pressure or vacuum

Info

Publication number: DE2753684A1
Application number: DE19772753684
Authority: DE
Inventors: Erich Reitinger
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1977-12-02
Filing date: 1977-12-02
Publication date: 1979-06-07
Also published as: DE2753684C2

Abstract

The rotatable table holds semiconductor wafers etc., and consists of a stationary and a rotatable part, with a bearing plate. It has a heater for the water and a pneumatic device generating pressure or vacuum in recesses in the bearing plate. The wafer heater is in the rotatable part, and can be switched to a cooling operation. The rotatable part has a cable connecting the electric heating/cooling device with the stationary part. The rotatable part can also have a pneumatic connector coupled to the recesses in the bearing plate and the pneumatic device.

Description

Drehbarer Auflagetisch Rotatable support table

Die Erfindung betrifft einen drehbaren Auflagetisch, insbesondere fur automatische Prober, gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.The invention relates to a rotatable support table, in particular for automatic probers, according to the preamble of the main claim.

Zur Uberprufung von elektrischen Schaltungs-Chips dienen sogenannte Wafer-Prober, mit denen mit Hilfe von Nadeln die Anschlußpunkte der Chips kontaktiert werden und die Eigenschaft der Chips gemessen werden. Das Testen der Chips eines Wafers wird mit solchen Probern vorzugsweise automatisch ausgeführt; zur Aufnahme der Wafer dienen Auflagetische, die in der X- und Y-Richtung verstellbar sein müssen, um eine Bewegung der Wafer bzw. Chips in die jeweilige Meßstellung bewirken zu können.So-called Wafer probes with which the connection points of the chips are contacted with the aid of needles and the properties of the chips are measured. Testing the chips of a Wafers is preferably carried out automatically with such probers; to record the wafers are used for supporting tables, which must be adjustable in the X and Y directions, in order to be able to bring about a movement of the wafers or chips into the respective measuring position.

Es ist bereits ein Auflagetisch für Prober bekannt, der in der X- und Y-Richtung verschiebbar und außerdem drehfähig ist.A support table for probers is already known, which is used in the X- and Y-direction is displaceable and also rotatable.

Die Eigenerwörmung des Probers führt zu einer beachtlichen Erhöhung der Umgebungstemperatur und führt zu Schwierigkeiten, da die meisten t:eßdaten für integrierte Schaltungen auf 25 0C bezogen sind. Durch die Eigenerwarmung der Prober wird die Umgebungstemperatur, bei der die Fiessungen ausgeführt werden können, auf ca. 36 0C erhöht. Darüber hinaus sind Schwankungen der Umgebungstemperatur bei den Messungen unvermeidbar, so daß die llessungen eine schlechte Reproduzierbarkeit zeigen.The self-accession of the prober leads to a considerable increase the ambient temperature and leads to difficulties, since most of the eating dates for integrated circuits are related to 25 0C. Due to the self-warming of the probers the ambient temperature at which the measurements can be carried out increased approx. 36 0C. In addition, there are fluctuations in the ambient temperature Measurements are unavoidable, so that the results have poor reproducibility demonstrate.

Zur Halterung der hafer ist die obere Fläche des bekannten Auflagetisches mit Aussparungen versehen, die an eine einen Druck oder ein Vakuum erzeugende Einrichtung Uber eine Verbindungsleitung angeschlossen sind. Die Verbindungsleitung hängt dabei zwischen dem Auflagetisch und der den Druck bzw. das Vakuum liefernden Einrichtung, ist somit störanföllig und muß unter Berücksichtigung des Drehwinkels des Auflagetisches entsprechend lang gewählt sein.The upper surface of the known support table is used to hold the oats provided with recesses that connect to a pressure or vacuum generating device Are connected via a connecting line. The connection line is hanging between the support table and the device supplying the pressure or vacuum, is therefore susceptible to interference and must take into account the angle of rotation of the support table be chosen accordingly long.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Auflagetisch insbesondere für automatische Prober zur Halterung von Wafern zu schaffen, der heiz- und kühlbar ist und die vorstehend angegebenen Schwierigkeiten und Probleme vermeidet. Diese Aufgabe wird erfindungsgemöß durch den Gegenstand des Hauptanspruchs gelöst.The invention is based on the object of a support table in particular for automatic probers for holding wafers, which can be heated and cooled and avoids the difficulties and problems noted above. These The object is achieved according to the invention by the subject matter of the main claim.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteran spruchen.Further refinements of the invention emerge from the sub-statements say.

Der erfindungsgemöße Auflagetisch ermöglicht eine Temperaturregelung der zu testenden Hafer derart, daß die am Auflagetisch befindlichen Hafer durch eine Heiz- und Kühleinrichtung konstant auf Temperaturwerten innerhalb eines bestimmten Temperaturbereichs gehalten werden können. Der Temperaturbereich, innerhalb welchem die Hafer getestet werden können, liegt vorzugsweise zwischen 15 C und 125 C und laßt sich mit Schritten von 1 C ändern; die .Reproduzierbarkeit ist kleiner als 0,3 C.The support table according to the invention enables temperature control the oats to be tested in such a way that the oats on the support table through a heating and cooling device constant on temperature values within a certain Temperature range can be held. The temperature range, within which the oats can be tested is preferably between 15 C and 125 C and can be changed in steps of 1 C; the .reproducibility is less than 0.3 C.

Die Oberflächentemperatur des Auflagetisches und somit der aufgelegten Wafer läßt sich schnell und exakt nachregeln. Der Auflagetisch läßt sich mit Drehtischen vorhandener Prober ohne weiteres kombinieren; insbesondere laßt sich ein schneller Anschluß zwischen dem Drehtisch und dem Auflagetisch herstellen, wobei einfache Anschlüsse und Zuleitungen vorgesehen sind, die eine schnelle Montage am Prober ermöglichen. Insbesondere gehen die Zuleitungen wie elektrische Leitungen und Druck/Vakuumschlauch, nicht direkt von der drehfdhigen oberen Flache oder Platte des Auflagetisches zu den entsprechenden Anschlüssen am Prober, sondern sind zwischen dem drelifahigen Teil und dem stationaren Teil innerhalb des Auflagetisches angeordnet; ein am stationaren Teil angeordneter Stecker nimmt diese Zuleitungen auf, so daß die Steckverbindungen zwischen Prober und Auflagetisch schnell und einfach herstellbar sind und darüber hinaus keinem Verschleiß infolge der Relativdrehung zwischen der Auflageplatte des Auflagetisches und dem Prober unterliegen. Die Gesamthöhe des Auflagetisches ist relativ klein und entspricht dem zwischen dem Montagering des Auflagetisches und dem die Testnadeln tragenden Kranz des Probers liegenden kleinen Raum. Die lasse des Auflagetisches ist vergleichbar gering und daher dem Testrhythmus von Wafern, der vergleichbar schnell ausgführt wird, angepaßt.The surface temperature of the support table and thus the one placed on it Wafer can be readjusted quickly and precisely. The support table can be equipped with rotary tables easily combine existing probers; in particular, let a faster Establish connection between the turntable and the support table, simple Connections and leads are provided that allow quick assembly on the prober enable. In particular, the supply lines such as electrical cables and pressure / vacuum hose, not directly from the rotating upper surface or plate of the support table the corresponding connections on the prober, but are between the drelifahigen Part and the stationary part arranged within the support table; one at the stationary Partly arranged connector takes on these leads, so that the plug connections can be quickly and easily produced between the prober and the support table and above In addition, there is no wear as a result of the relative rotation between the support plate of the The support table and the prober. The total height of the support table is relatively small and corresponds to that between the mounting ring of the support table and the small space of the prober carrying the test needles. The let of the support table is comparably small and therefore the test rhythm of wafers, which is carried out comparably quickly.

Der Auflagetisch läßt sich wenigstens um 360°, vorzugsweise sogar um 370 ° um seine Achse drehen. Die Oberflächengüte des Auflagetisches ist derart gewählt, daß Temperaturänderungen praktisch keinen Einfluß auf die Cberflächengüte haben, bzw. daß sich die Planparallelität mit Werten um höchstens 10 tan verändern kann.The support table can be at least 360 °, preferably even Rotate 370 ° around its axis. The surface quality of the support table is like this chosen that temperature changes practical no influence on have the surface quality, or that the plane parallelism with values of at most 10 tan can change.

Die an der Oberflache der Auflageplatte ausgebildeten Aussparungen ermöglichen die Zufuhrung einerseits von Druckluft und damit einen ßn- und Abtransport der hafer auf einem Luftpolster, und andererseits die Erzeugung eines Vakuum zum Festhalten der Wafer auf dem Auflagetisch.The recesses formed on the surface of the platen enable the supply of compressed air on the one hand and thus an in and out transport the oats on an air cushion, and on the other hand the creation of a vacuum for Holding the wafer on the support table.

Der stationäre Teil des Auflagetisches wird durch einen a.ußeren kiontagering gebildet, der fest auf dem Probertisch befestigt wird und die stationären elektrischen Anschlüsse und Anschlüsse für die Zufuhrung von Druckluft bzw. Vakuum aufweist. Der nicht stationäre Teil des Aurlcgetisches besteht aus mehreren, flachen und vorzugsweise vollständig planparallelen Bauelementen, die in Schichten übereinanderliegend angeordnet und einfach gegeneinander verschraubt sind, so daß ein Austausch einzelner derartiger Elemente mit geringem Au wand möglich ist. Die Heiz-und Kühleinrichtung besteht vorzugsweise aus Peltierelementen, die aufgrund ihrer Größe und Genauigkeit bei der Temperaturregelung zu einer guten Reproduzierbarkeit der Meßergebnisse fuhren. Die Peltierelemente liegen mit ihrer einen Seite an der Auflageplatte des Auflagetisches an, wobei diese Seite die Erwarmung bzw. Kühlung der hafer bewirkt, während die andere Seite der Peltierelemente auf einer Kuhlplatte angeordnet ist; dadurch laßt sich die Verlustwärme der Peltierelemente, die bei deren Betrieb erzeugt wird, durch einen an der Kuhiplatte vorbeigeführten Luftstrom ableiten. Die Konstanthaltung der Temperatur der Peltierelemente an der Kühlplatte ermöglicht einen Kühleffekt der Peltierelemente an der gegenüberliegenden Seite, d.h. an der Auflageplatte. Zu diesem Zweck ist am stationdren Teil ein Lüfter montiert, der den Luftstromerzeugt.The stationary part of the support table is secured by an external kiontagering formed, which is firmly attached to the rehearsal table and the stationary electrical Has connections and connections for the supply of compressed air or vacuum. The non-stationary part of the table consists of several, flat and preferably completely plane-parallel components, which are arranged in layers one above the other and are simply screwed against each other, so that an exchange of individual such Elements with little expenditure is possible. The heating and cooling device consists preferably from Peltier elements, which due to their size and accuracy the temperature control lead to a good reproducibility of the measurement results. One side of the Peltier elements is on the support plate of the support table on, whereby this side causes the heating or cooling of the oats, while the the other side of the Peltier elements is arranged on a cooling plate; let through it the heat loss of the Peltier elements, which is generated during their operation, through divert an air stream that is led past the cooling plate. Keeping constant the temperature of the Peltier elements on the cooling plate enables a cooling effect the Peltier elements on the opposite side, i.e. on the support plate. For this purpose, a fan is mounted on the stationary part, which generates the air flow.

Die elektrischen Verbindungen und Luftverbindungen im Auflagetisch sind derart ausgebildet, daß der drehfähige Teil des Jwflagetisches gegenüber dem stationären Teil einen Drehbereich von 360°, vorzugsweise 370°, hat. Die im Auflagetisch vorgeschene elektrische Verbindung umfaßt ein Kabel aus einem Leiter mit flacher Form, an dessen einen Seite mehrere gegenüber dem Träger isolierte Adern oder Leiter vorgesehen sind. Die Umhüllung des Kabels besteht aus einem vorzugsweise schrumpffahigen Haterial, beispielsweise einem Teflonschlauch, der den festen Zusammenhalt der einzelnen Adern und des Tragerelementes gewährleistet. Das Kabel ist mit seinem einen Ende am stationaren Teil des Auflagetisches befestigt und steht mit seinem inneren Ende mit einem Ring in Verbindung, von dem ein oder mehrere Anschlußstifte in Vertikalrichtung zu den Peltierelementen und wenigstens einem Temperaturfühler fuhren. Das kabel ist spiralförmig aufgewickelt und ist über den Drehwinkel von 360° oder 370° verlagerbar. Der Auflagetisch weist ferner als druck-oder vakuumführende Leitung einen Schlauch auf, dessen eines Ende mit dem stationären Teil in fester Verbindung steht, wöhrend dessen anderes Ende am Außenumfang einer Platte fest angeordnet ist; in dem zwischen der Platte und dem stationären Teil definierten Ringraum liegt der Schlauch nach Art einer Schleife und läßt sich auf den Umfang der Platte über den Winkel von O bis 360 , vorzugsweise bis 370 0 auf- oder abwickeln. Die Platte zur Aufnahme des Druck/Vakuum-Schlauchs ist ferner mit schlitzförmigen Öffnungen versehen und ermöglicht eine Schnellmontage am Probertisch. Zu diesem Zweck ist der Probertisch mit tragenden Stiften ausgerüstet, die in die schlitzförmigen Öffnungen der Platte einsetzbar und durch Drehung der Platte in letzterer arretierbar sind. Die Platte und die Stifte mit den Federelementen, vorzugsweise in Form von Tellerfedern, ermöglichen damit bei der Montage des Auflagetisches am Probertisch neben der befestigung auch eine gegenseitige Ausrichtung zwischen letzteren.The electrical connections and air connections in the support table are designed such that the rotatable part of the Jwflagetisches opposite the stationary part has a range of rotation of 360 °, preferably 370 °. The one in the support table previous electrical connection comprises a cable from a conductor with flat Shape with several wires or conductors isolated from the carrier on one side are provided. The sheath of the cable consists of a preferably shrinkable one Material, for example a Teflon hose, which holds the individual together firmly Veins and the support element guaranteed. The cable is at one end attached to the stationary part of the support table and stands with its inner end with a ring in connection, of which one or more connecting pins in the vertical direction lead to the Peltier elements and at least one temperature sensor. The cable is wound up in a spiral shape and can be moved over an angle of rotation of 360 ° or 370 °. The support table also has a hose as a pressure or vacuum line on, one end of which is firmly connected to the stationary part, while the other end of which is fixedly arranged on the outer periphery of a plate; in the between The tube lies behind the plate and the stationary part defined by the annular space Kind of a loop and can be applied to the circumference of the plate via the angle of O wind up or unwind up to 360, preferably up to 370 0. The plate to accommodate the Pressure / vacuum hose is also provided with slot-shaped openings and enables quick assembly on the trial table. For this purpose, the rehearsal table is load-bearing Equipped with pins that can be inserted into the slot-shaped openings in the plate and by rotating the plate in the latter are lockable. the Plate and the pins with the spring elements, preferably in the form of disc springs, allow for the mounting of the support table on the trial table in addition to the attachment also a mutual alignment between the latter.

Im folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungs gemäßen Auflagetisches zur Erläuterung weiterer terkmale anhand von Zeichnungen beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 eine teilweise im Schnitt gehaltene Ansicht des Auflagetisches, Fig. 2 eine SchnittansicM des Auflagetisches, Fig. 3 eine Aufsicht auf die Auflageplatte, Fig. 4 eine kückseitenansicht der Auflageplatte mit Temperaturfühler, Fig. 5 eine Teil-Aufsicht entsprechend der Linie 5-5 in Fig.1 zur Darstellung der Anordnung des Anschluß-Kabels, + Fig. 6a und 6b Teilaufsichten entlang der Linie 6-6 in Fig. 1 zur Erläuterung der Anordnung des Druck/Vakuum-Schlauchs in verschiedenen Drehlagen und der eine Schnellmontage am Probertisch ermöglichenden Platte, und Fig. 7a, 7b Teilschnittcnsichten der in Fig. 6 gezeigten Platte zur Ausführung einer Schnellmontage des Auflagetisches am Probertisch.The following is a preferred embodiment of the fiction, contemporary Support tables for explaining further features described with reference to drawings. 1 shows a partially sectioned view of the support table, FIG. 2 shows a sectional view of the support table, FIG. 3 shows a plan view of the support plate, FIG. 4 shows a rear view of the support plate with temperature sensor, FIG. 5 shows a Partial plan view according to the line 5-5 in Figure 1 to illustrate the arrangement of the connection cable, + Fig. 6a and 6b partial views along the line 6-6 in Fig. 1 to explain the arrangement of the pressure / vacuum hose in different rotational positions and the plate that enables rapid assembly on the sample table, and Fig. 7a, 7b partial sectional views of the plate shown in FIG. 6 for the execution of a Quick assembly of the support table on the trial table.

Der Auflagetisch besteht nach den Fig. 1 und 2 aus einem stationähren und einem drehfunigen Teil. bas stationäre Teil ist mit 1 bezeichnet und weist einen Montagering und einen daran angesetzten Flansch 2 auf. bew iontasering 1 wird fest auf dem in Fig. 1 und 2 dargestellten Tisch eines Probers befestigt und umfaßt die stationären AuBenanschlüsse, vorzugsweise einen Stecker für die Strom- und Druck/Vakuumspeisung. Die übrigen, in Fig. 1 und 2 gezeigten Elemente sind dem drehrähigen Teil zugeordnet. Das drehfähige Teil umfaßt somit eine Auflageplatte 3, die an ihrer oberen Flache mit Aussparungen 4, vorzugsweise in Form von kreisförmig verlaufenden Rillen 4 versehen ist. Die Aussparungen 4 ermöglichen das Anlegen eines Druckluftpolsters zum An- und Abtransport von auf die Oberfläche der Auflageplatte 3 aufzulegenden sofern bzw.According to FIGS. 1 and 2, the support table consists of a stationary one and a rotating part. bas stationary part is denoted by 1 and has a Mounting ring and a flange 2 attached to it. bew iontasering 1 will solidify mounted on the table of a prober shown in FIGS. 1 and 2 and comprises the stationary external connections, preferably a plug for power and pressure / vacuum supply. The remaining elements shown in FIGS. 1 and 2 are assigned to the rotatable part. The rotatable part thus comprises a support plate 3 on its upper surface provided with recesses 4, preferably in the form of circular grooves 4 is. The recesses 4 enable the creation of a compressed air cushion for and removal of those to be placed on the surface of the support plate 3 if respectively.

die Erzeugung eines Vakuums zur Halterung von aufgelegten liefern.the creation of a vacuum to hold the applied supply.

Die Aussparungen 4 stehen über einen in Fig. 2 gezeigten Luftkanal 5 untereinander sowie mit Haupt-Luftkanalen 6, 7 in Verbindung, wobei der Luftkanal 7 zumindest teilweise aus einem Schlauch gebildet ist. Die Luftkanäle 6, 7 sind an einem noch beschriebenen Druck/Vakuum-Schlauch 23 angeschlossen.The recesses 4 are above an air duct shown in FIG. 2 5 with one another and with main air ducts 6, 7 in connection, the air duct 7 is at least partially formed from a hose. The air channels 6, 7 are connected to a pressure / vacuum hose 23 to be described.

Als Heiz- und Kühleinrichtung sind bei der dargestellten AusfUhrungsform mehrere, vorzugsweise drei Peltierelemente 10 vorgesehen, deren eine Seite an der Auflageplatte 3 anliegt, während die andere Seite der Peltierelemente 10 mit einer Kühlplatte 11 in Kontakt steht. Der durch die Peltierelemente 10 festgelegte Abstand zwischen der Auflageplatte 3 und der Kuhlplatte 11 ist seitlich durch einen Kuhlkranz 12 mit Kühlrippen abgeschlossen.As a heating and cooling device in the embodiment shown several, preferably three Peltier elements 10 are provided, one side of which on the Support plate 3 rests, while the other side of the Peltier elements 10 with a Cooling plate 11 is in contact. The determined by the Peltier elements 10 distance between the support plate 3 and the cooling plate 11 is laterally by a cooling rim 12 completed with cooling fins.

An die Kühlplatte 11 schließt sich - in Richtung nach unten -ein Luftkanal 13 an, in den durch einen fest am Teil 1 befestigten Lüfter8Kühlluft eingeführt wird, die zur Abführung der von den Peltierelementen 10 abgegebenen Verluatwörme dient. Durch die Umpolung der Peltierelemente 10 wird der Heiz- bzw. Kühlbetrieb je nach Bedarf ermöglicht. t'eben dem Luftkanal 13 ist ein Distanzelement 14 mit einer Trennwand 15 angeordnet. Die Trennwand 15 legt zwischen dem Distanzstück 14 und dem Montagering 1 eine ringförmige Aussparung fest, in der ein Ringelement 16 aus Hartgewebematerial und radial nach außen von dem Ringelement 16 weg ein oder mehrere Kabel 17 angeordnet sind. Das Kabel 17 ist spiralförmig auf das Ringelement 16 aufgewickelt. Das Ringelement 16 trägt mehrere Anschlußstifte 18; außerdem ist an dem Ringelement 16 ein Ende des Kabels 17 über eine in Fig. 5 angedeutete Zugentlastung 19 befestigt. Das andere Ende des Kabels 17 ist am Montagering 1 fest angeordnet und mit dem nicht dargestellten Steckanschluß verbunden.An air duct closes on the cooling plate 11 - in the downward direction 13, into which cooling air is introduced by a fan 8 firmly attached to part 1 which is used to carry away the Verluatwörme emitted by the Peltier elements 10 serves. By reversing the polarity of the Peltier elements 10, the heating or cooling mode is activated as required. Next to the air duct 13 is a spacer element 14 a partition 15 is arranged. The partition 15 lies between the spacer 14 and the mounting ring 1 has an annular recess in which a ring element 16 made of hard tissue material and radially outwardly away from the ring element 16 or a plurality of cables 17 are arranged. The cable 17 is helical on the ring element 16 wound. The ring element 16 carries a plurality of connecting pins 18; moreover is one end of the cable 17 on the ring element 16 via a strain relief indicated in FIG. 5 19 attached. The other end of the cable 17 is fixedly arranged on the mounting ring 1 and connected to the connector, not shown.

Nach dem Distanzstück 14 schließt sich in der beschriebenen schichtweisen Anordnung der Elemente 3, 10, 11 und 14 eine Montageplatte 22 an, die T-förmigen Querschnitt hat, wie aus den Fig. 1 und 2 ersichtlich ist. Der durch den T-förmigen Querschnitt gebildete Ringraum am radial außen liegenden Teil der Ebntaeplatte 22 nimmt einen Druck»fakuum-Schlauch 23 und ein ringförmiges Führungselement 24 (Fig. 6) für den Schlauch 23 auf. An der Oberseite des Schlauches 23 und des Führungselements 24 liegt der T-förmige Teil der Montageplatte 22, während an der unteren Seite im Bereich der durch die Kotangeplatte 22 gebildeten Aussparung ein Schutzring 25 eingesetzt ist. Aus Fig. 2 ist ferner ersichtlich, daß die Montageplatte 22 mit OfZnungen 26 versehen ist, die gomtiß Fig. 6 und 7 schlitzförmig ausgebildet sind und zur Aufnahme von an dem Probertisch 27 nach oben abstehenden Führungseler.lenten 28 dienen. An dem oberen Ende der Führungselemente sind nach Fig. 7 Tellerfedern 40 befestigt, die nach dem Einschieben der Fuhrungs elemente 20 in die Öffnungen 26 einen festen Sitz der Montage platte 22 am Probertisch 27 gewährleisten.After the spacer 14 closes in the described layer by layer Arrangement of the elements 3, 10, 11 and 14 to a mounting plate 22, the T-shaped Has cross-section, as can be seen from FIGS. 1 and 2. The one through the T-shaped Annular space formed in cross section on the radially outer part of the flat plate 22 takes a pressure vacuum hose 23 and an annular guide element 24 (Fig. 6) for the hose 23. At the top of the hose 23 and the guide element 24 is the T-shaped part of the mounting plate 22, while on the lower side in area the recess formed by the Kotangeplatte 22 a Protective ring 25 is used. From Fig. 2 it can also be seen that the mounting plate 22 is provided with openings 26 which, in accordance with FIGS. 6 and 7, are slit-shaped are and for receiving on the sample table 27 upwardly protruding guide elements 28 serve. At the upper end of the guide elements are 7 disc springs according to FIG 40 attached, after the insertion of the guide elements 20 in the openings 26 ensure a tight fit of the mounting plate 22 on the sample table 27.

Fig. 3 zeigt eine Aufsicht auf die Auflageplatte 3 mit den Aussparungen 4 für die Erzeugung eines Luftdruckpolsters bzw. eines Vakuums. In der unteren Fläche der Auflageplatte 3 ist ein Temperaturfuhler 30 angeordnet, der über einen der Leiter 18 und der Kabel 17 mit dem nicht gezeigten Steckeranschluß an dem stationären Teil bzw. dem iViontagering 1 des Auflagetisches in Verbindung steht. Der Temperaturfühler 30 ermittelt die Temperasur der Auflageplatte 3 und somit der auf die Auflageplatte 3 aufgelegten, nicht dargestellten hafer und ist ein Glied eines nicht weiter erläuterten Temperatur-Regelkreises.Fig. 3 shows a plan view of the support plate 3 with the recesses 4 for generating an air pressure cushion or a vacuum. In the lower face the support plate 3, a temperature sensor 30 is arranged, the over one of the conductors 18 and the cable 17 with the plug connection, not shown, on the stationary part or the iViontagering 1 of the support table is in connection. The temperature sensor 30 determines the temperature of the platen 3 and thus that of the platen 3 placed oats, not shown, and is a member of one not explained further Temperature control circuit.

In Fig. 5 ist ein Kabelpaar 17 dargestellt, die spiralförmig und parallel zueinander verlaufen. Eines der beiden Kabel 17 liefert eine elektrische Verbindung zwischen dem Stecker und den Peltierelementen 10 bzw. dem Temperaturfühler 30, während das andere Kabei vom Stecker zur Auflageplatte 3 führt, um letzterer ein elektrisches Potential zu verleihen, wobei sie dann gegenüber den anderen Elementen des drehfähigen Teils isoliert sein muß. Die Kabel in Fig. 5 sind in der Dreh-Fiittelstellung (180 °) gezeigt und sind spiralförmig und lose auf das Ringelement 16 aufgewikkelt. Zugentlastungen 19 halten die Kabel 17 an dem Ringelement 16. Das Ringelement 16 besteht vorzugsweise aus einem tlartgewebe und ist mit Schlitzen zur Aufnahme von Klemmen und einem Kabelende versehen. Ferner nimmt das Ringelement 16 die Anschlußstifte oder Leiter 18 auf, mit welchen die einzelnen Adern des Kabels 17 verbunden, beispielsweise verlötet sind. Die Zugentlastung 19 ist dadurch gebildet, daß ein Ende des Trägers 31 des Kabels 17 in einen Schlitz des Ringelements 16 eingesetzt und vorteilhafterweise mit einer Kunststoffgießharzmasse vergossen ist.In Fig. 5, a pair of cables 17 is shown, the spiral and parallel run towards each other. One of the two cables 17 provides an electrical connection between the plug and the Peltier elements 10 or the temperature sensor 30, while the other cable leads from the plug to the support plate 3, to the latter an electrical To give potential, then compared to the other elements of the rotatable Must be partially isolated. The cables in Fig. 5 are in the pivoting center position (180 °) shown and are helical and loose on the ring member 16 wound up. Strain relief 19 hold the cable 17 on the ring element 16. The Ring element 16 is preferably made of a flat fabric and is slotted to accommodate clamps and a cable end. Furthermore, the ring element takes 16, the connecting pins or conductors 18, with which the individual wires of the cable 17 connected, for example soldered. The strain relief 19 is formed by that one end of the carrier 31 of the cable 17 is inserted into a slot in the ring element 16 and is advantageously cast with a plastic casting resin compound.

Nach Fig. 1 und 2 besteht das Kabel 17 aus dem Träger 31, der flache Gestalt hat und an seiner einen Fläche mit mehreren, beispielsweise vier, Leitern oder Adern 32 versehen ist. Die Leiter 32 sind gegenüber dom Träger 31 isoliert; Träger und Leiter sind von einem Schlauch 33 umgeben. Als bbterial fur den Schlauch 33 wird ein aufschrumpffähiges Material verwendet, so daß nach Plerstellung des Kabels, d.h. nach Einbringen des Trägers 31 und der Leiter 32 in den Schlauch 33 letzterer durch Hitze zum Schrumpfen gebracht wird und den Träger und die Leiter fest zusammenhält. Der Troger 31, vorzugsweise eine Spiralfeder wird vorteilhafterweise aus Beryllium-Bronze hergestellt, wobei dieses zlateriol einen relativ hohen Innenwiderstand bildet.According to FIGS. 1 and 2, the cable 17 consists of the carrier 31, the flat one Has shape and on its one surface with several, for example four, ladders or veins 32 is provided. The conductors 32 are insulated from the support 31; The carrier and conductor are surrounded by a hose 33. As bbterial for the hose 33 a shrinkable material is used, so that after Plerstellung des Cable, i.e. after the carrier 31 and the conductors 32 have been introduced into the hose 33 the latter is shrunk by heat and the beam and ladder holds tight together. The trough 31, preferably a spiral spring, is advantageously Made from beryllium bronze, this zlateriol having a relatively high internal resistance forms.

Der Träger 31 kann selbst als Leiter verwendet werden, muß jedoch in diesem Fall wegen seines hohen Innenwiderstandes mit einem oder mehreren der Leiter 32 parallel geschaltet werden.The carrier 31 can itself be used as a conductor, but must in this case because of its high internal resistance with one or more of the Conductor 32 can be connected in parallel.

Um den Reibungswiderstand zwischen dem oder den spiralförmig verlaufenden Kabel bzw. Kabeln 17 und der Trennwand 15 einerseits und der Platte 22 zu reduzieren, werden die dem Kabel 17 gegenöberliegenden Flöchen der Trennwand und der Platte mit einer Teflonschicht versehen. Das Kabel 17 hat eine hohe Biegsamkeit bei hoher mechanischer Festigkeit. Die außere isolierung des Kabels 17 besteht vorzugsweise aus strahlungsvernetztem, extrudiertem Polyvinylidenfluorid und die innere Isolierung der Leiter 32 aus strahlungsvernetztem, extrudiortem Polyalken. Die Leiter 32 werden aus einer versilberten Litze aus einer Kupferlegierung hoher Festigkeit gebilde-..To the frictional resistance between the spiral or spiral To reduce cables or cables 17 and the partition 15 on the one hand and the plate 22, are connected to the cable 17 opposite surfaces of the partition and the plate is provided with a Teflon layer. The cable 17 has a high flexibility with high mechanical strength. The external insulation of the cable 17 is preferably made made of radiation-crosslinked, extruded polyvinylidene fluoride and the inner insulation the conductor 32 made of radiation-crosslinked, extruded polyalkene. The ladder 32 will be formed from a silver-plated strand made of a high-strength copper alloy- ..

Die lockere Anordnung des Kabels 117 in dem dafür vorgesehenen Raum ermöglicht eine ,si-en.)ewegung zwischen dem ein kabelende haltenden Montagering , der an einen. ontagering 29 des Probers befestigt ist, und dem oos andere Kabelende haltenden Ringelement 16 über einen Drehbereich von O bis 360 , vorzugsweise O bis 370 0. Der am ;ontagering 1 vorgesehene Stecker ist in Fig. 5 durch das Bezugszeichen 34 angedeutet. In dem Distanzstück 14 nach Fig. 5 vosesehene, nicht bezeichnete Öffnungen bilden teilweise den Luftkanal, teIlweise Durchführungen zur schichtweisen Befestigung der einzelnen Elemente des drehfätlligen Teils.The loose arrangement of the cable 117 in the space provided enables movement between the mounting ring holding one end of the cable who to one. ontagering 29 of the prober is attached, and the other end of the cable holding ring element 16 over a range of rotation from 0 to 360, preferably 0 to 370 0. The plug provided on the mounting ring 1 is indicated in FIG. 5 by the reference symbol 34 indicated. In the spacer 14 of FIG. 5 provided, not designated Openings partly form the air channel, partly lead-throughs for layering Attachment of the individual elements of the rotating part.

In den Fig. 6a und 6b ist die Anordnung des Druck/Vakuum-Schlauchs 23 verdeutlicht. Der Schlauch 23, der mit einer Stützspirale 35 versehen sein kann, ist mit einen. Ende, das mit 36 bezeichnet ist, am tiontagering 1 fest angeordnet, während das andere Ende 27 an einem an der ;;ontageplatte 22 fest angeordneten Nippel 38 angeschlossen ist. Die Fig. 6a und 6b zeigen, daß der Schlauch in Form einer Schleife in den Auflagetisch eingesetzt ist. Bei Einnahme einer dem Drehwinkel O @ entsprechenden Stellung des Auflagetisches ist nur ein kleiner Teil des Schlauches auf den Außenumfang der Montageplatte 22 aufgewickelt, während der größte Teil des Schlauches am innenumfang des Dlontagerings 1 zur Auflage kommt. Fig. 6b zeigt dagegen eine dem Drehwinkel 370 ° entsprechende Stellung und es ist ersichtlich, daß der Schlauch vom Innenumfang des Liontagerings 1 abgewickelt und auf den Aussenumfang der Llontageplatte 22 aufgewickelt ist. Auf diese Weise läßt sich ein Drehwintcel von 370 ohne mechanische Verbindung zwischen dem stationären und drehfähigem Teil des Auilagetisches erreichen. Der Anschluß 38 des Schlauches 23 an der tSontageplatte 22 ist durch eine Dohrung mit einer Axialbohrung in der l,ontageplatte verbunden, die in Fig. 2 gezeigt ist, wobei die Axialbohrung mit dem Luftkanal 7 in Verbindung steht.In Figs. 6a and 6b is the arrangement of the pressure / vacuum hose 23 clarified. The hose 23, which can be provided with a support spiral 35, is with one. End, which is denoted by 36, fixedly arranged on the tiontagering 1, while the other end 27 is attached to a nipple which is fixedly arranged on the mounting plate 22 38 is connected. 6a and 6b show that the hose in the form of a Loop is inserted into the support table. When taking an angle of rotation O @ corresponding position of the Support table is only a small one Part of the hose wound onto the outer periphery of the mounting plate 22 while Most of the hose comes to rest on the inner circumference of the donut ring 1. In contrast, FIG. 6b shows a position corresponding to the angle of rotation 370 ° and it is it can be seen that the hose unwound from the inner circumference of the Liontag ring 1 and is wound onto the outer circumference of the mounting plate 22. That way lets a rotary wintcel of 370 with no mechanical connection between the stationary and the rotatable part of the support table. The connection 38 of the hose 23 on the mounting plate 22 is through a dohrung with an axial bore in the l, ontageplatte, which is shown in Fig. 2, the axial bore with the air duct 7 is in communication.

Der Schlauch 23 muß aus einem literial bestehen, welches hohe Knickfestigkeit und große Elastizität hat, so daß auch nach längeremGebrauchkeine Verhärtung des Schlauchmaterials zu erwarten ist. Die Stützspirale, beispielsweise eine Stahifederspirale, die den Schlauch 23 umgibt, reduziert vorteilhafterweise die Reibung zwischen dem Schlauch und dessen Auflagefli:ichen und verhindert außerdem eine Reibungsbelastung des Schlauches 23 selbst. Das Führungselement 24, welches zur Führung des Schlauchs 23 in der aus den Fig. 6a, 6b gezeigten Schleife vorgesehen ist, besteht vorzugsweise aus einem Teflonring mit einer radialen Aussparung 39. Das ringförmige Führungselement 24 sitzt lose zwischen beiden Schlauchwindungen und hat ein an Krummungsradius des Schlauches an dessen Wendepunkt entsprechend gebogenes bzw. abgerundetes Ende 24a. Die den Wendeabschnitt des Schlauches aufnehmende Aussparung 39 gewährieistet, daß der Schlauch 23 den in den Fig. 6a, 6b gezeigten schleifenförmigen Verlauf einhält. Durch siasc Anordnung ist gewährleistet, daß der Schlauch 23 vom Montagering 1 weg an dessen Innenperipherie verläuft, bis sich die Richtung des Schlauches umkchrt und der Schlauch durch die aussparung 39 des ,-ü'n.ungselements 24 wieder zurück verläuft, wobei er dann am \ußenrand der Platte 22 anliegt. Die eine Schleife des Schlauches 23 liegt daher zwischen der Innenfläche des ,;on.aQarings 1 und dem Führungselement 24, während die andere Schleife zwischen dem Führungselement und der äußeren Flucl1e der Montageplatte 22 angeordnet ist, wobei an der oberen Seite dieser Fläche der Montageplatte 22 ein Plattenteil oder Flanschansatz 22' als radiale Verlängerung ausgebildet ist; die Stärke der Trennznd ist kleiner als die Stärke oder Mohe des zentralen Teils der Montageplatte, wodurch der Raum zur Aufnahme des Schlauches festgelegt ist.The hose 23 must consist of a literial, which has high buckling strength and has great elasticity, so that no hardening of the Hose material is to be expected. The support spiral, for example a steel spring spiral, surrounding the hose 23, advantageously reduces the friction between the Hose and its support surfaces and also prevents frictional loads of the hose 23 itself. The guide element 24, which is used to guide the hose 23 is provided in the loop shown in FIGS. 6a, 6b, preferably consists from a Teflon ring with a radial recess 39. The annular guide element 24 sits loosely between the two hose windings and has a radius of curvature of the Tube at its turning point correspondingly curved or rounded end 24a. The recess 39 receiving the turning portion of the hose ensures that the Hose 23 the loop-shaped shown in FIGS. 6a, 6b Adheres to the course. By siasc arrangement it is ensured that the hose 23 from Mounting ring 1 runs away on its inner periphery until the direction of the The hose and the hose through the recess 39 of the opening element 24 runs back again, wherein it then rests on the outer edge of the plate 22. the a loop of the hose 23 therefore lies between the inner surface of the,; on.aQarings 1 and the guide element 24, while the other loop between the guide element and the outer Flucl1e of the mounting plate 22 is arranged, with the upper Side of this surface of the mounting plate 22 a plate part or flange extension 22 ' is designed as a radial extension; the strength of the separating ignition is less than the thickness or mohe of the central part of the mounting plate, which allows the space to Recording of the hose is set.

Die Fig. 7a, 7b zeigen Einzelheiten der Funktion der Schnellverschlußeinheit. Wie den Fig. 6a, 6b entnehmbar ist, sind die Öffnungen 26 in der lontageplat.e 22 auf einer Seite schlitzförmig ausgebildet. Die in Fig. 7a und 7b gezeigten Führungselemente 28 mit an ihrem oberen Teil ausgebildeten Federelementen, vorzugsweise Tellerfedern 40, werden zum !montieren des Auflagetisches an einem Probertisch 27 in die kreisförmigen Bereiche der Öffnungen 26 eingesetzt. Durch Drehung der Montageplatte 22 gegenüber den Führungselementen 28 rasten die Führungselemente in den schlitzförmigen bereich der Uffnungen 26 ein. Durch die Bewegung der Führungselemente 28 in den schlitzförmigen Bereich der Öffnungen 26 erfolgt nach Fig. 7 dadurch ein Zusammenpressen der Tellerfedern 40, daß die Öffnungsschlitze ansteigende FUhrungsflächen kl und in der Horizonfalen liegende Aufnahmeflächen 42 haben, so daß nac'.'-:ineinschiaben der Fuhrungselemonte 28 in die kreisförraigen Abschnitte der Uffnungen 26 die Federn durch die .-ührungs.lächen 41 hochgedrückt werden. Wenn die Tellerfedern 40 vollständig auf den Aufnahmeflächen 42 zu ließen kommen, wird durch die Tellerfedern ein Druck auf diese Aufnahmeflächen 42 ausgeübt, was zu einer festen Anordnung der Montageplatte 22 und somit des gesamten Auflagetisches auf dem Probortisch 27 führt. GleichzeItig mit der .'-.õntage der Montageplatte 22 auf den. Probertisch 27 erfolgt aufgrund einer kreisförmigen Anordnung der Uffnungon 26 in der .:ontageplotte 26 eine Justierung zwischen dem Auflagetisch und dem Probertisch 27. Der Auo lagetisch ist aufgrund einer Bewegung des Probertisches in X-und Y-Richtung zusammen mit dem Probertisch in diesen Richtungen bewegbar und außerdem drehfähig, wobei alle Anschlüsse zwischen dem Probertisch und dem stationären Teil des Auflagetisches ebenfalls stationär ausgeführt werden Icbnnen. Die wegen der Dreh'arkeit des Auflagetisches bzw. dessen drehfähigen Teils errorde,lichen Verbindungen sind sehr einfach, und unterliegen praktisch keinem Verschleiß, so daß der Auflagetisch praktisch wartungsfrei ist.7a, 7b show details of the function of the quick release unit. As can be seen in FIGS. 6a, 6b, the openings 26 are in the lontageplat.e 22 slit-shaped on one side. The guide elements shown in FIGS. 7a and 7b 28 with spring elements, preferably disc springs, formed on their upper part 40, are used to assemble the support table on a trial table 27 in the circular Areas of the openings 26 used. By rotating the mounting plate 22 opposite the guide elements 28 latch the guide elements in the slot-shaped area of openings 26 a. By moving the guide elements 28 in the slot-shaped In the area of the openings 26, according to FIG. 7, the plate springs are pressed together 40 that the opening slits rising guide surfaces kl and have receiving surfaces 42 lying in the horizontal plane, so that nac '.'-: are inserted the Fuhrungselemonte 28 in the circular sections of the openings 26 the springs be pushed up by the.-guide surfaces 41. When the disc springs 40 are completely To let come on the receiving surfaces 42 is a pressure by the disc springs exerted on these receiving surfaces 42, resulting in a fixed arrangement of the mounting plate 22 and thus the entire support table on the rehearsal table 27 leads. Simultaneously with the .'-. õntage of the mounting plate 22 on the. Trial table 27 takes place due to a circular arrangement of the opening 26 in the.: ontageplotte 26 an adjustment between the support table and the trial table 27. The Auo position table is due to a movement of the sample table in the X and Y directions together with the sample table movable in these directions and also rotatable, with all connections between the sample table and the stationary part of the support table are also stationary can be carried out. Because of the rotatability of the support table or its rotatable part errorde, union connections are very simple and subject practically no wear, so that the support table is practically maintenance-free.

Die einzelnen Bauelemente des in den Figuren gezeigten Auflagetisches, beispielsweise die Auflageplatte 3, die Kühlplatte 11, das Distanzstück 14 mit der Trennwand 15 und die Montageplatte 22 sind goläppt, wodurch eine exakte Planparallelität zwischen den einzelnen Bauelementen und somit der oberen Fläche der Auflagerplatte 3 gegenüber dem Probertisch 27 erreicht wird. Die Oberfläche der Auflageplatte 3 kann darüber hinaus poliert und vergoldet sein. Die einzelnen Elemente des drehfähigen Teils des Auflagetisches sind gegeneinander verschraubt oder anderweitig gegeneinander bc--astigt; zu dIesem Zweck sind in den einzelnen Elementen des drchfühigen Teils miteinander fluchtonde Bohrungen oder Öffnungen vo,zuse51cn.The individual components of the support table shown in the figures, For example, the support plate 3, the cooling plate 11, the spacer 14 with the Partition 15 and the mounting plate 22 are lapped, creating an exact plane parallelism between the individual components and thus the upper surface of the support plate 3 compared to the trial table 27 is reached. The surface of the platen 3 can also be polished and gold-plated. The individual elements of the rotatable Part of the support table are screwed against each other or otherwise opposed to one another; for this purpose are in the individual elements of the applicable Partly aligned holes or openings in front of, zuse51cn.

Dein Anschlußstecker 34, der am stationören Teil 1 fest montiert ist, ist vorzugsweise ein Kupplur.gsssück zugeordnet, welches am Probertisch befestigt ist, infolgedessen bezüglich des Elektroanschlusses Kabelverbindungen zwischen dem Auflagetisch bzw.Your connector 34, which is permanently mounted on the stationary part 1, A coupling element is preferably assigned, which is attached to the trial table is, as a result, with regard to the electrical connection, cable connections between the Support table or

dessen stationärem Teil 1 und dem Teil Probertisches entfallen, an welchem das stationäre Teil 1 befestigt wird.its stationary part 1 and the sample table part are omitted which the stationary part 1 is attached.

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Claims

Potent claims 1. Rotatable support table, especially for automatic ones prober for holding If o. The like., Consists of a stationary and a rotatable part, which contains a support plate, with a device for Heating the delivery and with a device for generating a pressure or Vacuum at recesses formed in the support plate, d a d u r c h g e k It is noted that the device (10) for heating the wafer in the rotatable Part is provided and can be switched to a cooling mode and that the rotatable Part of a device (17, 18) for: electrical connection of the heating and cooling device with the stationary part (1, 2).

2. Support table according to claim 1, characterized in that the rotatable part has a pressure / vacuum connection (23) with the recesses (4) the support plate (3) and the device delivering the pressure or vacuum connected is.

3. Support table according to claim 1 or 2, characterized in that the heating and cooling device (io) consists of Peltier elements.

4. Support table according to any one of claims 1 to 3, characterized in that that a snap lock unit (22, 28) for connection to the table (27) of the Probers is provided.

5. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that the heating and cooling device (10) is on a cooling plate (12) is arranged.

6. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that the electrical connection device (17, 18) is off at least one spiral-shaped inserted cable (17) and fixed in the rotatable part arranged electrical conductors (18).

7. Support table according to claim 6, characterized in that the cable (17) a metal support element (31) and conductors that are insulated from the support element (32).

8. Support table according to claim 7, characterized in that the carrier element and the conductors are surrounded by a sheath (33).

9. Support table according to claim 7 or 8, characterized in that at least one conductor t32) is provided in parallel with the support element (31) is.

10. Support table according to at least one of claims 7 to 9, characterized characterized in that the carrier element (31) is made of deryllium bronze.

11. Support table according to claim 8, characterized in that the Sheath (33) can be shrunk onto the carrier element (31) and the conductor (32).

12. Support table according to claim 11, characterized in that the Sheath (33) is a Teflon tube.

13. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that the end of the cable associated with the rotatable part (17) is made on a ring element (16).

14. Support table according to claim 13, characterized in that the Ring element (16) has a cable strain relief (19).

15. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that the conductors (18) of the electrical connection connecting pins are and are attached to the ring member.

16. Support table according to one of claims 13 to 15, characterized in that that the connecting pins (18) are arranged on the ring element (16) and that at least a connector pin a connection between the cable (17) and one on the platen (3) arranged temperature sensor (30) produces.

17. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that a plate (22) connected to the rotatable part is provided.

18. Support table according to claim 17, characterized in that the Plate (22) and the stationary part (1, 2) define an annular recess, in which the pressure / vacuum connection (23) is inserted.

19. Auflagetisci, according to claim ia, characterized in that the Connection (23) is formed by a hose in the annular recess the plate (22) is inserted displaceably and that the hose with one end (36) ani stationary part (1, 2) for connection to the pressure resp.

the vacuum supplying device is connected while the other End (37) on the periphery of the plate (22) is in communication with a connection (38).

20. Support table according to claim 19, characterized in that the Connection (38) of the plate (22) to one passing through the rotatable part Channel (5, 6, 7) leads.

21. Connection table according to claim 20, characterized in that the Channel (5, 6, 7) leads to the recesses (4) in the support plate (3).

22. Support table according to one of claims 100, characterized in that that the hose (23) is inserted in the form of a loop.

23. Support table according to one of claims 18, 22, characterized in that that the hose (23) is surrounded by a spiral spring (35).

24. Support table according to one of the preceding claims, characterized in that that a.-ührunssele.; ent (24) is provided for the hose (23).

25. Support table according to claim 24, characterized in that the Guide lugs (24) are ring-shaped and have a radial recess (39) having.

26. Support table according to claim 4, characterized in that the Quick release unit (22, 23) has pins (23) with springs 40) on the sample table (27) are attached and that the guide elements (23 openings (26) in the plate (22) of the Auflagetisc, associated therewith, with the plate (22) on the underside of the support table is provided and the openings in the middle section of the plate are in a circular arrangement.

27. Support table according to claim 26, characterized in that the Openings (26) have closed zvörnige sections.

28. Support table according to claim 26 or 27, characterized in that that the plate (22) provided with the openings (26) is in the region of the slot-shaped Sections (41, 42) has different disturbances.

29. Support table according to Arspruch 26, characterized in that the Springs (40) are disc springs.

30. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that a cooling ring to the side of the heating and cooling device (10) (12) is arranged.

31. Support table nac 'claim 5, characterized in that an air duct (13) connects to the cooling plate (11).

32. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that the ring element (16) carrying the connecting pins (18) a disk-shaped spacer (14) surrounds and that the spacer between the lower plate (22) and the Löftkanal (is) is arranged.

33. Support table according to claim 32, characterized in that the Spacer (14) has a radially extending partition (13;).

34. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized gekennzelchnat that the stationary part consists of a ring (1) with attached Ring flange (2).

35. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that the rotatable part has at least one further cable (17) having.

36. Support table according to claim 35, characterized in that the another lsabel (17) is in electrical connection with the support plate (3).

37. Support table according to at least one of the preceding claims, characterized in that on the stationary part (1) an air device (8) is appropriate.