DE2803653B2 - Ausrichtvorrichtung - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art.
Vorrichtungen dieser Art werden auf vielen Gebieten der industriellen Massenfertigung angewendet, auf
denen das Problem besieht, daß gleiche Objekte von kleinen Abmessungen zur Vornahme bestimmter
Manipulationen der Reihe nach in eine Arbeitsstellung gebracht und in dieser in bezug auf eine vorgegebene
Bezugsposition genau ausgerichtet werden müssen. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet solcher Ausrichtvorrichtungen
ist die Fertigung von Halbleitervorrichtungen, wie Transistoren oder integrierten Schaltungen, die
in Form kleiner rechteckiger Plättchen, »Chips« genannt, in großen Stückzahlen hergestellt werden und
dann montiert und mit Anschlüssen versehen werden müssen.
Eine Vorrichtung der eingangs angegebenen Art, die speziell für das Ausrichten von Halbleiter-Chips
bestimmt ist, ist in der DE-AS 22 25 011 beschrieben. Bei
dieser bekannten Ausrichtvorrichtung entsprechen die Datenfenstergruppen zusammenhängenden flächenhaften
Bereichen des Videobildes, die sich in vertikaler Richtung über mehrere Zeilen des Abtastrasters
erstrecken und an zwei oder vier Kanten des Bildes des Objekts so angeordnet sind, daß im Fall einer
Fehlausrichtung eine Überlappung mit dem Bild des Objekts besteht. Die digitalen Videosignale werden in
mehreren aufeinanderfolgenden Abtastrastern analysiert, und wenn in einer Datenfenstergruppe Videosignale
des ersten Signalwerts festgestellt werden, wird der Träger des Objekts, der durch einen Kreuztisch
gebildet ist, in der Richtung verstellt, in welcher das Objekt von dem der Datenfenstergruppe entsprechenden
Videobildbereich wegbewegt wird. Dieser Vorgang wird so lange wiederholt, bis in der betreffenden
Datenfenstergruppe keine digitalen Videosignale des ersten Signalwerts mehr festgestellt werden, was
bedeutet, daß keine Überlappung mehr besteht. Das Objekt ist dann auf die Bezugsposition ausgerichtet.
Diese bekannte Ausrichtvorrichtung arbeitet nach dem Prinzip der Stellungsregelung im Sinne der
Beseitigung eines Fehlersignals. Die Ausrichtung erfolgt daher im Verlauf von mehreren aufeinanderfolgenden
Abtastrastern, in denen jeweils überprüft wird, ob noch eine Überlappung besteht, und zutreffendenfalls eine
weitere Verstellung des Trägers erfolgt. Das System ist daher verhältnismäßig langsam. Es setzt ferner voraus,
daß rings um jedes Objekt ein freier Raum vorhanden ist, dessen Breite mindestens dem doppelten Ausrichtbereich
entspricht, damit bei der größten vorkommenden Fehlausrichtung noch keine Überlappung eines
einer Datenfenstergruppe entsprechenden Videobildbereichs mit einem anderen Objekt erfolgt. Diese
bekannte Ausrichtvorrichtung eignet sich daher nicht für das Ausrichten von Gegenständen, die mit sehr
kleinen Zwischenräumen eng nebeneinander auf dem Träger angeordnet sind.
Im wesentlichen nach dem gleichen Prinzip arbeitet eine in der US-PS 39 88 535 beschriebene Ausrichtvorrichtung,
jedoch mit dem Unterschied, daß die Datenfenster verhältnismäßig kleinen Bereichen des
Videobildes entsprechen, die seitlich neben oder zwischen dem Abbild von Anschlußleitern liegen, die
von den Kanten des Chips in Abständen nach außen ragen. Für diesen Sonderfall der Form des Objekts
besteht nicht mehr die Bedingung, daß rings um das Objekt ein freier Raum vorhanden sein muß, dessen
Breite mindestens dem doppelten Ausrichtbereich entspricht. Dagegen bleibt der Nachteil bestehen, daß
das Ausrichten nach dem Prinzip der Stellungsregelung in einer verhältnismäßig großen Anzahl von aufeinanderfolgenden
Abtastrastern des Videobildes erfolgt
In der DE-OS 24 09 478 ist eine Weiterbildung dieser bekannten Ausrichtvorrichtungen beschrieben, die
darin besteht, daß das Objekt die den Datenfenstern entsprechenden Videobildbereiche auch im ausgerichteten
Zustand noch geringfügig überlappt, wobei das Objekt dann ausgerichtet ist, wenn der Grad der
Überlappung mit zwei auf entgegengesetzten Seiten des Objekts liegenden Datenfensterbereichen gleich groD
ist. Die in jedem Datenfenster festgestellten digitalen Videosignale des ersten Signalwerts werden in Stufenladungsschaltungen
summiert. Durch Vergleich der Stufenladungen, die von zwei auf entgegengesetzten
Seiten des Objekts liegenden Datenfensterbereichen
ίο stammen, wird ein die Fehlausrichtung anzeigendes
analoges Fehlersignal gebildet, das als Regelabweichungssignal für die Stellungsregelung verwendet wird.
Die Stellungsregelung erfolgt wieder im Sinne einer Beseitigung dieses Fehlersignals; wenn es zu Null
■ή gemacht ist, besteht eine gleich große Überlappung des
Bildes des Objekts mit den auf entgegengesetzten Seiten liegenden Datenfensterbereichen. Hinsichtlich
der Geschwindigkeit und des Abstands zwischen benachbarten Objekten bestehen die gleichen Einschränkungen
wie bei der erstgenannten Ausrichtvorrichtung.
Nach einem ähnlichen Prinzip arbeitet eine aus der DE-OS 25 23 858 bekannte Ausrichtvorrichtung, bei
welcher ebenfalls der Grad der Überlappung des Bildes des Objekts mit Datenfensterbereichen festgestellt und
eine Stellungsregelung vorgenommen wird, bis eine gleich große Überlappung auf entgegengesetzten
Seiten besteht. In diesem Fall erfolgt die Feststellung des Grades der Überlappung durch Aufladung von
Kondensatoren mit Impulsen während der Zeitdauer, in der eine Koinzidenz zwischen den dem Bild des Objekts
entsprechenden digitalen Videosignalen und den verschiedenen Datenfenstern besteht.
Es sind andererseits Lageerkennungssysteme bekannt, die nach dem Prinzip der sogenannten »Bildmustererkennung« (»pattern recognition«) arbeiten. Ein Beispiel für ein solches Lageerkennungssystem ist in der DE-OS 27 22 567 beschrieben. Bei diesem System werden die in den Datenfenstern analysierten digitalen
Es sind andererseits Lageerkennungssysteme bekannt, die nach dem Prinzip der sogenannten »Bildmustererkennung« (»pattern recognition«) arbeiten. Ein Beispiel für ein solches Lageerkennungssystem ist in der DE-OS 27 22 567 beschrieben. Bei diesem System werden die in den Datenfenstern analysierten digitalen
■ίο Videosignale mit Signalwerten verglichen, die entsprechend
einem vorgegebenen Bildmuster im Speicher eines Computers registriert sind, um eine Übereinstimmung
festzustellen. Die Abweichung der Lage des durch den Vergleich erkannten Bildmusters von einer
Sollstellung zeigt die Größe und Richtung der Fehlausrichtung an. Solche Systeme sind aufwendig,
weil sie einen leistungsfähigen Computer und erheblichen Speicherplatz erfordern.
Aufgabe der Erfindung ist demgegenüber die Schaffung einer Ausrichtvorrichtung der eingangs
angegebenen Art, die mit geringem Aufwand ein sehr genaues und schnelles Ausrichten von Objekten auch
dann ermöglicht, wenn diese mit sehr kleinen Zwischenräumen eng nebeneinander angeordnet sind.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1 gelöst
Bei der Ausrichtvorrichtung nach der Erfindung werden die die Größe und die Richtung der Fehlausrichtung
anzeigenden Informationen im Verlauf einer einzigen Abtastung des Zeilenrasters erhalten, und die
Verstellung des Trägers erfolgt entsprechend diesen Informationen anschließend in einem Zuge. Dies
entspricht der größtmöglichen Ausrichtgeschwindigkeit, die mit einer Fernsehabtastung erzielbar ist. Die
Zwischenräume zwischen den Bildern der Objekte können dabei sehr viel kleiner als die der. Ausrichtbereich
bestimmende Breite der den Datenfenstergruppen entsprechenden Bildbereiche sein, denn es ist lediglich
erforderlich, daß der einem einzigen Datenfenster der Gruppe entsprechende Bildbereich in einem Zwischenraum
liegt. Die den einzelnen Datenfenstern innerhalb der Gruppe entsprechenden Bildbereiche können sehr
schmal gehalten werden, beispielsweise in der Breite einer einzigen Fernsehzeile. Die Ausrichtgenauigkeit ist
durch den Abstand zwischen zwei Datenfenster-Bildbereichen gegeben. Der maximale Ausrichtbereich entspricht
dagegen der Anzahl der Datenfenster in jeder Gruppe.
Der erforderliche Schaltungsaufwand ist gering, denn es ist lediglich die Feststellung einer verhältnismäßig
kleinen Zahl von Datenfenstern erforderlich, was beispielsweise mit einfachen Zählern erfolgen kann. Da
ferner die Feststellung des Ausrichtfehlers und die Ausrichtung rein digital erfolgt, weist die Vorrichtung
alle Vorteile der Digitaltechnik auf; insbesondere können alle Schaltungen aus handelsüblichen digitalen
Bausteinen aufgebaut werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird an Hand der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigt
F i g. 1 ein Überschichtschema einer Ausricht- und Erkennungsvorrichtung nach der Erfindung,
F i g. 2 einen Träger mit Halbleiter-Chips als Beispiel für Objekte, die mit der Vorrichtung von F i g. 1
ausgerichtet werden können,
F i g. 3 die mit der Vorrichtung von F i g. 1 auf dem Bildschirm erzeugten Markierungen,
Fig.4 drei verschiedene Beispiele für die Ausrichtung
eines Objekts in bezug auf die Markierungen,
F i g. 5A und 5B zusammen Zeitdiagramme von Signalen, die in der Vorrichtung von F i g. 1 erzeugt
werden,
F i g. 6 ein genaueres Schaltbild einiger Bestandteile der Vorrichtung von F i g. 1,
F i g. 7 ein genaueres Schaltbild der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung,
Fig.8 ein genaueres Schaltbild des Ausrichtdetektors,
Fig.9 das Blockschema der Vorschubsteueranordnungund
eines Fehler-Detektors,
Fig. 10 ein genaueres Schaltbild des Markierungs-Generators,
F i g. 11 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform
des Video-Digitalisierers,
Fig. 12 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform
des Zeilenzählers der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung,
Fig. 13 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform
verschiedener Bestandteile der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung, des Ausricht-Detektors und des
Markierungs-Generators und
Fig. 14A und 14B das Schaltbild einer praktischen
Ausführungsform verschiedener weiterer Bestandteile des Ausricht-Detektors.
Die in F i g. 1 dargestellte Einstell- und Ausrichtvorrichtung ist dazu bestimmt, ein Objekt 1 in einer
horizontalen Ebene in bezug auf einen festen Bezugspunkt, der durch einen vertikalen Pfeil R angedeutet ist,
genau auszurichten. Zu diesem Zweck enthält die Einstell- und Ausrichtvorrichtung einen Kreuztisch 2,
auf dessen Oberseite das Objekt 1 angebracht ist und der durch zwei Motoren 3 und 4 in zwei zueinander
senkrechten Richtungen verstellbar ist, die als X-Richtung
und V-Richtung bezeichnet werden. Die Motoren 3 und 4 sind vorzugsweise elektrische Schrittmotoren, die
bei jedem Schritt eine genau festgelegte Verstellung des Kreuztisches 2 in der zugeordneten Richtung bewirken,
die beispielsweise 10 μιη beträgt. Der Schrittmotor 3 ist
der A"-Motor, und der Schrittmotor 4 ist der V-Motor.
Das Objekt 1 kann beispielsweise ein Werkstück sein, an welchem im Verlauf der Fertigung bestimmte
Manipulationen vorgenommen werden müssen, für welche die genaue Ausrichtung auf den Bezugspunkt R
erforderlich ist. Da es sich gewöhnlich um die Massenbearbeitung sehr kleiner Werkstücke mit gleichen
Abmessungen handelt, kann eine größere Anzahl dieser Werkstücke gleichzeitig auf dem Kreuztisch 2
angebracht werden, die dann der Reihe nach auf den Bezugspunkt R ausgerichtet werden.
Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet findet die Einstell- und Ausrichtvorrichtung bei der Fertigung von
Halbleiterbauelementen. Es ist dort bekanntlich üblich, eine große Anzahl von Bauelementen, wie Transistoren
oder integrierte Schaltungen, gleichzeitig auf einer einzigen Halbleiterscheibe geringer Dicke zu bilden und
diese Scheibe anschließend in die einzelnen Bauelemente zu zertrennen, welche die Form von rechteckigen
Plättchen haben, die »Chips« genannt werden. Eine größere Anzahl solcher Chips ist dann beispielsweise in
der in F i g. 2 dargestellten Weise auf einem Träger 50 angeordnet.
F i g. 2 zeigt die ursprüngliche kreisrunde Halbleiterscheibe 51, auf der eine größere Anzahl von
gleichartigen Halbleitervorrichtungen 52 mit rechteckigem Umriß gebildet sind. Die Halbleitervorrichtungen
52 haben alle die gleiche Größe und sind in regelmäßigen Spalten und Reihen angeordnet. Die
Halbleiterscheibe 51 wird auf eine Unterlage 54 geklebt, die beispielsweise eine elastische Kunststoffolie ist,
deren Rand in einen Rahmen 55 eingespannt ist. Anschließend wird die Scheibe 51 in die einzelnen Chips
52 getrennt, beispielsweise durch Zersägen entlang den Rändern der Chips 52, so daß zwischen den Chips
Zwischenräume 53 bestehen, in denen das Material der Unterlage 54 sichtbar ist
Die Größe der Chips 52 ist relativ zur Größe der Halbleiterscheibe 51 in F i g. 2 übertrieben dargestellt,
weshalb die Anzahl der Chips in jeder Reihe und Spalte nur klein ist. In Wirklichkeit kann die Anzahl der auf
einer Halbleiterscheibe gebildeten Chips sehr groß sein und mehrere Hundert betragen. Die Größe der Chips
kann, je nach Art der Halbleitervorrichtung, sehr verschieden sein, doch liegt die Länge der Kanten im
allgemeinen in der Größenordnung von einigen Millimetern.
Wie aus F i g. 2 weiter zu erkennen ist, sind die am
Rand der Scheibe liegenden Chips, d. h. die letzten Chips in jeder Reihe und Spalte, gewöhnlich unvollständig und
daher nicht verwendbar. Es kann auch vorkommen, daß im Innern einer Reihe ein Chip unvollständig ist oder
ganz fehlt
Ferner ist in Fig.2 eine weitere Maßnahme angedeutet, die in der Halbleiterfertigung üblich ist
Nach der Bildung der Halbleitervorrichtungen auf der Halbleiterscheibe 51, jedoch vor dem Zertrennen in die
einzelnen Chips, werden die Halbleitervorrichtungen auf ihre Brauchbarkeit geprüft Alle Chips, welche die
für die weitere Verarbeitung festgelegten Bedingungen nicht erfüllen, werden an einer vorbestimmten Stelle mit
einem Farbfleck 56 markiert, der in F i g. 2 bei einigen Chips dargestellt ist Der Farbfleck bedeckt einen
verhältnismäßig großen Teil der Fläche des Chips, so daß er von anderen dunklen Oberflächenstellen, die auf
einem verwendbaren Chip vorhanden sein können, deutlich unterscheidbar ist
Zur Vornahme weiterer Manipulationen an den Chips 52, die eine genaue Ausrichtung jedes Chips erfordern,
wird der Träger 50 auf dem Kreuztisch 2 (Fig. 1) befestigt und winkelmäßig genau ausgerichtet, so daß
die Reihen in der X-Richtung und die Spalten in der V-Richtung liegen. Der Kreuztisch 2 wird absatzweise
in der V-Richlung derart verschoben, daß die Chips einer Reihe nacheinander in Deckung mit dem
Bezugspunkt R gebracht werden. Zu diesem Zweck wird jeweils der Λ'-Schrittmotor 3 für eine Anzahl von
Schritten angetrieben, die einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um den Abstand JX zwischen den
Mittelpunkten zweier Chips 52 in der X- Richtung entspricht (F i g. 2). Wenn eine vollständige Reihe auf
diese Weise durchlaufen ist, wird der V-Schrittmotor 4 für eine Anzahl von Schritten betätigt, die einer
Verschiebung des Kreuztisches 2 in der V-Richtung um den Abstand JY zwischen zwei Chips 52 entspricht;
dann wird die nächste Reihe in der entgegengesetzten Vorschubrichtung durchlaufen.
Diese absatzweise Verschiebung des Kreuztisches 2 ergibt jedoch nur eine ungefähre Einstellung der Chips
52 auf den Bezugspunkt R; insbesondere kann sich ein Vorschubfehler bei einer größeren Anzahl von Chips zu
einem beträchtlichen Betrag summieren. Für viele Manipulationen ist es jedoch notwendig, daß jedes
einzelne Chip sehr genau auf den Bezugspunkt R ausgerichtet wird, beispielsweise so, daß sein Mittelpunkt
(Schnittpunkt der Diagnonalen) in genauer Deckung mit dem Bezugspunkt R steht. Diese
Ausrichtung wird von der in F i g. 1 dargestellten Anordnung im Anschluß an die absatzweise Verschiebung
des Kreuztisches 2 vorgenommen.
Für diesen Ausrichtvorgang wird der über dem Bezugspunkt R liegende Teil der Oberfläche des
Trägers 50 durch ein Objektiv 5 auf die Fotokatode einer Fernsehkamera 6 projiziert. Vorzugsweise ist die
Vergrößerung des Objektivs 5 zur Anpassung an verschiedene Chipgrößen einstellbar; beispielsweise
können die Vergrößerungen 20 :1, 40 :1 und 80 :1
vorgesehen sein. Die Vergrößerung wird jeweils so gewählt, daß außer dem auszurichtenden Chip ein
beträchtlicher Umgebungsbereich abgebildet wird, der beispielsweise mehrere vollständige Chips enthält.
Zusätzlich zu der stufenweisen Umschaltung der Vergrößerung ist das Objektiv 5 ferner vorzugsweise so
ausgebildet, daß in jedem Vergrößerungsbereich eine stufenlose Änderung der Vergrößerung (ZOOM-Effekt)
möglich ist
Die Fernsehkamera 6 kann eine handelsübliche, netzsynchronisierte Fernsehkamera sein, die mit Zeilensprung
arbeitet und an ihrer Ausgangsleitung 7 die die abgebildete Fläche darstellenden analogen Videosignale
zusammen mit den für die Wiedergabe erforderlichen Teilbild- und Zeilensynchronimpulsen liefert Diese
normalen Videosignale werden über eine Leitung 8 zu einem Video-Wähler und -Mischer 100 übertragen, der
sie bei entsprechender Einstellung über eine Leitung 9 zu einem Monitor 10 liefert, so daß ein Fernsehbild der
vom Objektiv 5 erfaßten Fläche auf dem Bildschirm des Monitors 10 wiedergegeben wird.
Die Ausgangsleitung 7 der Fernsehkamera 6 ist ferner
mit dem Eingang 201 eines Video-Digitalisierers 200 verbunden, der die analogen Videosignale mit zwei
einstellbaren Schwellenwerten vergleicht, die mit Hilfe von Potentiometern 202, 203 unabhängig voneinander
einstellbar sind. Der Digitalisierer 200 gibt an seinem Ausgang 204 digitale Videosignale DIGVIDA ab, die
einen hohen Pegel (weiß) haben, wenn das analoge Eingangssignal den am Potentiometer 202 eingestellten
Schwellenwert überschreitet, und einen niedrigen Pegel (schwarz), wenn das analoge Eingangssignal unter dem
Schwellenwert liegt. Der Digitalisierer 200 hat einen zweiten Ausgang 205, an dem er ein anderes digitales
Videosignal DICVIDB abgibt, das einen hohen Pegel
(weiß) hat, wenn das analoge Eingangssignal den am Potentiometer 203 eingestellten Schwellenwert überschreitet,
und einen niedrigen Pegel (schwarz), wenn das analoge Eingangssignal unter diesem Schwellenwert
liegt. Die Ausgänge 204 und 205 des Video-Digitalisierers 200 sind mit weiteren Eingängen des Video-Wählers
und -Mischers 100 verbunden, der mittels einer Einstellvorrichtung 101 so einstellbar ist, daß er
wahlweise das digitale Videosignal DIG VlD A oder das digitale Videosignal DIGVIDB zum Monitor 10
überträgt, wobei in jedem Fall gleichzeitig das über die Leitung 8 zugeführte normale Videosignal unterdrückt
wird. Der Monitor 10 gibt dann auf seinem Bildschirm ein digitales Videobild wieder, das nur aus weißen und
schwarzen Bildelementen besteht.
Der Schwellenwert für das digitale Videosignal DIGVIDA wird mittels des Potentiometers 202 so
eingestellt, daß die von der Unterlage 54 und somit auch von den Zwischenräumen 53 stammenden Videosignale
durchwegs unter diesem Schwellenwert bleiben, während die von den Chips 52 stammenden Videosignale
zum größten Teil den Schwellenwert überschreiten. In dem mittels des Signals DIGVIDA wiedergegebenen
digitalen Fernsehbild erscheinen somit die Chips 52 überwiegend weiß, während die Zwischenräume 53 und
der die Scheibe 51 umgebende Träger 54 vollkommen schwarz wiedergegeben werden.
Der Schwellenwert für das digitale Videosignal DIGVlDB wird mittels des Potentiometers 203 so
eingestellt, daß die von den Farbflecken 56 stammenden Videosignale überwiegend unter diesem Schwellenwert
bleiben, während die von den freien Flächen der Chips 52 stammenden Videosignale diesen Schwellenwert
zum größten Teil übersteigen. Somit werden in dem mittels des Signals DIG VID B wiedergegebenen digitalen Videosignal die Farbflecke 56 schwarz auf einem
überwiegend weißen Hintergrund dargestellt Da die Kontrastbedingungen zwischen den Chips 52 und der
Unterlage 54 einerseits und zwischen den Farbflecken 56 und den Chips 52 andererseits verschieden sein
können, ist es günstig, mit zwei verschiedenen Schwellenwerten zu arbeiten.
Die Ausgangsleitung 7 der Fernsehkamera 6 ist ferner mit dem Eingang 301 einer Synchron-Trennstufe 300
verbunden. Diese trennt die Teilbild- und Zeilensynchronimpulse von den analogen Videosignalen und gibt
die Teilbildsynchronimpulse FR und die Zeilensynchronimpulse LN an zwei getrennten Ausgängen ab.
Die Synchron-Trennstufe 300 hat einen dritten Ausgang, an welchem sie ein zusammengesetztes Synchronsignal
SYNCabgibt, das sowohl die Teilbildsynchronimpulse
als auch die Zeilensynchronimpulse enthält Dieser dritte Ausgang ist mit einem weiteren Eingang des
Video-Wählers und -Mischers 100 verbunden, damit die für die Bildwiedergabe auf dem Monitor 10 benötigten
Synchronsignale auch dann zur Verfugung stehen, wenn anstelle des normalen Videosignals eines der digitalen
Videosignale DIGVIDA oder DIGVIDB für die
Bildwiedergabe benutzt wird.
Die Synchron-Trennstufe 300 hat einen vierten Ausgang, an dem sie ein Signal TOP abgibt, das für die
ganze Dauer eines gewählten Teilbildes einert hohen Pegel und während der Dauer des anderen Teilbildes
einen niedrigen Pegel hat. Mittels einer Einstellvorrichtung 302 können entweder die geraden oder die
ungeraden Teilbilder für die Abgabe des Signals TOP gewählt werden; das jeweils gewählte Teilbild wird für
die später ausführlich erläuterte Markierung und Auswertung des Fernsehbildes verwendet. An einem
fünften Ausgang wird ein kurzer Impuls CLR abgegeben, der mit der Vorderflanke des Signals TOP, also mit
dem Beginn des gewählten Teilbilds zusammenfällt.
Der das Zeilensynchronsignal LN führende Ausgang der Synchron-Trennstufe 300 ist mit dem Steuereingang
eines Bildelementgenerators 11 verbunden, der an seinem Ausgang eine Folge von Bildelementimpulsen
PE abgibt, die einzelne Bildelemente entlang jeder Fernsehzeile definieren. Der Bildelementgenerator 11
wird durch die Zeilensynchronimpulse ZJV so synchronisiert,
daß die Bildelementimpulse PE im Verlauf der Abtastung jeder Fernsehzeile in genau definierter, stets
gleicher Lage in bezug auf den Anfang der Fernsehzeile auftreten und somit Bildelemente definieren, die in den
verschiedenen Fernsehzeilen vertikal untereinander liegen. Die Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE
beträgt annähernd 93 MHz, sie ist aber mittels einer
Einstellvorrichtung 12 zum Zweck einer später noch erläuterten Justierung einstellbar.
Die Ausgänge der Synchron-Trennstufe 300 sowie der Ausgang des Bildelementgenerators 11 sind mit
entsprechenden Eingängen einer Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 verbunden. Weitere Eingänge 401 der
Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400, die zur Vereinfachung als eine einzelne Leitung dargestellt sind, sind mit
einer Eingabevorrichtung 402 verbunden. Die Ausricht-Ablaufsteuerschaltung
400 erzeugt aufgrund der ihr zugeführten Eingangssignale an acht Ausgängen Signale
LNXi, LNX2, PEXX, PEX2, LNGA, LNGB,
PEG A und PEG B, die in bestimmten Zeitpunkten und für eine festgelegte Dauer in jedem ausgewählten
Teilbild auftreten und einerseits einem Ausrichtdetektor 450 und andererseits einem Markierungsgenerator 500
zugeführt werden. Der Markierungsgenerator 500 erzeugt aufgrund der ihm zugeführten Signale Markierungssignale
MKA, MKB, MKC, MKD, die zwei
Signalpegel (weiß und schwarz) haben. Er vereinigt diese Markierungssignale mit einem weiteren Markierungssignal
MKE, das ihm vom Ausgang einer Schaltung 600 zugeführt wird, und bildet daraus ein
zusammengesetztes Markierungssignal MKA-E, das mittels des Video-Wählers und -Mischers 100 dem auf
dem Monitor 10 wiedergegebenen Videosignal überlagert werden kann, so daß auf dem wiedergegebenen
Fernsehbild weiße Markierungslinien oder Markierungsflächen erzeugt werden. Dem Video-Wähler und
-Mischer 100 wird vom Ausgang einer Schaltung 700 direkt ein weiteres Markierungssignal MK F zugeführt,
das gleichfalls dem wiedergegebenen Videosignal überlagert werden kann.
Die mittels der Markierungssignale MKA, MKB,
MKQ MKD, MKE, MKFaul dem Fernsehschirm
wiedergegebenen Markierungen sind in F i g. 3 genauer dargestellt Die Markierungssignale MKA erzeugen
eine Gruppe A von acht Markierungslinien A 7 bis A 0, von denen jede einen mittleren Abschnitt einer
Fernsehzeile einnimmt Zwei aufeinanderfolgende Markierungslinien der Gruppe A sind durch einen
Zwischenraum getrennt, der einer Fernsehzeile des Teilbildes (also drei Fernsehzeilen des vollständigen
Bildes) entspricht. In gleicher Weise erzeugen die Markierungssignale MK B eine Gruppe B von acht
horizontalen Markierungslinien Bl bis BO, die den Markierungslinien der Gruppe A völlig gleich sind,
jedoch im Abstand unterhalb der Gruppe A liegen. Die Markierungssignale MK Cerzeugen eine Gruppe Cvon
acht vertikalen Markierungslinien Cl bis CO, die sich in vertikaler Richtung über den Zwischenraum zwischen
der untersten Markierungslinie A 0 der Gruppe A und
ίο der obersten Markierungslinie Bl der Gruppe B
erstrecken, jedoch links außerhalb des von den horizontalen Markierungslinien der Gruppen A und B
bedeckten Flächenbereichs liegen. Jede Markierungslinie Chat die Breite eines durch einen Bildelementimpuls
PE definierten Bildelements, und zwei aufeinanderfolgende vertikale Markierungslinien C haben einen
Abstand, der zwei Perioden der Bildelementimpulse PE entspricht. In gleicher Weise erzeugen die Markierungssignale MKD eine Gruppe D von acht vertikalen
Markierungslinien Dl bis DO, die den Markierungslinien der Gruppe C völlig gleich sind, von diesen aber in
einem horizontalen Abstand liegen, welcher der Länge der Markierungslinien A und B entspricht. Die vier
Markierungsliniengruppen A, B, C, D bilden somit einen Rahmen, der eine rechteckige Fläche umschließt. Die
Fernsehkamera 6 ist so ausgerichtet, daß die Zeilenrichtung des Fernsehbildes der X- Richtung des Kreuztisches
2 entspricht Demzufolge liegen die Ränder des jeweils auszurichtenden Chips 52 parallel zu den
horizontalen Markierungslinien A, B bzw. den vertikalen Markierungslinien C, D. Die Längen der Markierungslinien
und die Abstände zwischen den Markierungsliniengruppen werden in einer später noch
erläuterten Weise so eingestellt, daß die von den Markierungslinien umschlossene rechteckige Fläche
gerade der Größe des Fernsehbildes eines Chips entspricht. Ferner nehmen die Markierungslinien auf
dem Fernsehschirm in bezug auf das gedachte Bild des Bezugspunktes R eine solche Lage ein, daß der Chip
genau auf den Bezugspunkt R ausgerichtet ist, wenn sein Bild die von den Markierungslinien umschlossene
Fläche einnimmt, ohne die innersten Markierungslinien zu berühren. Beispielsweise liegt das Bild des Bezugspunktes
R genau in der Mitte des von den Markierungslinien umschlossenen Rechtecks.
Wenn dagegen der Chip 52 nicht richtig in bezug auf den Bezugspunkt R ausgerichtet ist, ist sein Bild
gegenüber den Markierungslinien A, B, C, D verschoben, so daß es eine oder mehrere der Markierungslinien
von einer Gruppe oder von zwei im rechten Winkel aneinanderstoßenden Gruppen überdeckt. Aus der
Anzahl der von innen nach außen überdeckten Markierungslinien ist die Größe der erforderlichen
Korrektur erkennbar, und aus der Gruppe, zu der die überdeckten Markierungslinien gehören, ergibt sich die
Richtung der durchzuführenden Korrektur. Dies wird von dem Ausrichtdetektor 450 festgestellt, der zu
diesem Zweck außer den Ausgangssignalen der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 die Markierungssignale
MK A, MK B, MK C, MK D vom Markierungsgenerator 500 sowie die digitalen Videosignale DIG-
VID A empfängt
In Fig.4 sind drei Fälle der Lage des Bildes eines
Chips 52 in bezug auf die Markierungslinien dargestellt In der Darstellung von F i g. 4a liegt das Bild des Chips
52 genau in dem von den Markierungslinien umschlossenen Rechteck, ohne eine der Markierungslinien zu
überdecken. Die Markierungslinien befinden sich also in
den Zwischenräumen 53 zwischen den Chips 52 (F i g. 2), in denen infolge der Einstellung des Schwellenwerts am
Potentiometer 202 im digitalen Videosignal DIGVIDA
keine weißen Bildelementen entsprechenden hohen Signalwerte enthalten sind.
Der Ausrichtdetektor 450 enthält Detektorschaltungen,
die jeweils während der Zeiten, in denen die Markierungssignale MKA, MKB, MKC, MKD im
Verlauf der Abtastung eines Teilbildes erzeugt werden, das digitale Videosignal DIGVIDA analysieren und
ansprechen, wenn in dem einer Markierungslinie entsprechenden Bildbereich ein weißes Bildelement
erscheint. Ferner enthält der Ausrichtdetektor 450 für jede der Markierungsliniengruppen A, B, Q D einen
Zähler, dessen Zählerstand die Anzahl derjenigen Markierungslinien der betreffenden Gruppe angibt, die,
in ununterbrochener Folge von innen nach außen gezählt, weiße Bildelemente im Signal DIGVIDA
enthalten. Die Zählung wird beendet, sobald in der von innen nach außen gezählten Folge der Markierungslinien
wenigstens eine Markierungslinie erscheint, die nur schwarze Bildelemente enthält; wenn weiter außen
liegende Markierungslinien wieder weiße Bildelemente enthaiten, werden sie bei der Zählung nicht berücksichtigt.
Wenn das Bild des Chips 52 die in F i g. 4a dargestellte Lage einnimmt, haben alle vier den Markierungsliniengruppen
A, B, Q D zugeordneten Zähler des Ausrichtdetektors 450 nach Beendigung der Analyse
den Zählerstand Null, weil alle Markierungslinien (oder zumindest die innersten Markierungslinien) jeder
Gruppe keine weißen Bildelemente enthalten, da sie nicht vom Bild des Chips 52 bedeckt sind. Dies bedeutet,
daß der Chip 52 richtig auf den Bezugspunkt R ausgerichtet ist und keine Korrektur erforderlich ist.
In der Darstellung von Fig.4b ist angenommen, daß
das Bild des Chips 52 gegenüber der richtigen Lage derart nach oben (in der positiven V-Richtung)
verschoben ist, daß der obere Rand zwischen der dritten und der vierten Markierungslinie der Gruppe A liegt. In
diesem Fall zeigt nach Beendigung der Analyse der der Gruppe A zugeordnete Zähler des Ausrichtdetektors
450 den Zählerstand 3, während die drei übrigen Zähler den Zählerstand Null haben. Dadurch wird angezeigt,
daß zum Ausrichten des Chips der Kreuztisch 2 in der negativen V-Richtung um eine Strecke verschoben
werden muß, die auf dem Bildschirm des Monitors 10 einer Verschiebung des Bildes des Chips 52 um drei
Markierungslinienabstände entspricht.
Je nach dem gewählten Abbildungsmaßstab entspricht der Abstand zwischen zwei Markierungslinien
jeder Gruppe einer genau definierten mechanischen Verschiebung des Kreuztisches 2. Beispielsweise kann
bei einer Vergrößerung von 20 :1 der Abstand zwischen zwei Markierungslinien einer Verschiebung des Kreuztisches
2 um 20 μπι entsprechen. Bei dem zuvor angegebenen Zahlenbeispiel, bei welchem jeder Verstellschritt
eines der Schrittmotorer 3 und 4 einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um 10 μπι entspricht,
müßte also für den Fall von F i g. 4b der V-Motor 4 sechs Schritte in dem der negativen V-Richtung entsprechenden
Drehsinn ausführen, um den Chip 52 richtig auf den Bezugspunkt R auszurichten. Die genaue Kalibrierung
kann in der V-Richtung durch Feineinstellung der optischen Vergrößerung mittels des ZOOM-Effekts des f>5
Objektivs 5 erfolgen, in der X-Richtung durch Änderung der Frequenz des Bildelementgenerators 11 mittels der
Einstellvorrichtung 12, da diese Frequenz die Periode der Bildelementin.pulse Pfund damit den Abstand de
Bildelemente entlang den Zeilen bestimmt
Fig.4c zeigt den Fall, daß das Bild des Chips 52
sieben Markierungslinien der Gruppe B und sieben Markierungslinien der Gruppe D überdeckt In diesem
Fall zeigen am Ende der Analyse die den Gruppen ßunc D zugeordneten Zähler des Ausrichtdetektors 450
jeweils den Zählerstand 7, während die den Gruppen und Czugeordneten Zählerden Zählerstand Null haben
Dadurch wird angezeigt, daß eine Verschiebung de; Kreuztisches 2 um 140 μΐη in der negativen AT-Richtun,
und um 140 μπι in der positiven Y-Richtung notwendig
ist, und daß demzufolge jeder der beiden Schrittmotoren 3 und 4 vierzehn Schritte mit dem entsprechenden
Drehsinn ausführen muß.
Die Darstellung von F i g. 4c zeigt die größtmöglich
Ausrichtlcorrektur, die mit der beschriebenen Vorrichtung noch durchführbar ist Wenn das Bild des Chips 52
noch stärker verschoben ist, so daß es alle ach
Markierungslinien von wenigstens einer Gruppe überdeckt, ist ein Ausrichten nicht mehr möglich; in diesem
Fall gibt der zugeordnete Zähler ein Oberschreitungs signal ab.
Der Ausrichtdetektor 450 hat vier Ausgangsgrupper
451A, 451 B, 451C und 451 D, die den vier zuvo
erwähnten Zählern zugeordnet sind. Jede Ausgangsgruppe überträgt eine dreistellige Binärzahl, die der
Zählerstand des betreffenden Zählers anzeigt sowie eii Überschreitungsbit und ein Richtungsbit Das Über
schreitungsbit zeigt den zuvor erwähnten Überschrei tungszustand an, in dem eine Korrektur in de
betreffenden Richtung nicht mehr möglich ist und da Richtungsbit zeigt die Richtung (±A, ± Y) an, it
welcher die Ausrichtkorrektur erforderlich ist In den Fall von F i g. 4b würde somit die Ausgangsgruppe 451Λ
die Binärzahl 010 (3) liefern, sowie ein Richtungsbit, da
anzeigt, daß eine Verschiebung des Kreuztisches 2 ii der negativen V-Richtung erforderlich ist Im Fall voi
F i g. 4c würden die beiden Ausgangsgruppen 451 B um
451 D jeweils die Binärzahl Hl (7) sowie eir
Richtungsbit liefern; das Richtungsbit der Ausgangs gruppe 4515 zeigt an, daß eine Verschiebung in de
positiven V-Richtung erforderlich ist und das Rieh tungsbit der Ausgangsgruppe 451 D zeigt an, daß ein
Verschiebung in der negativen A'-Richtung erfordernd
ist.
Die Ausgangsgruppen 451Λ bis 451 D sind mi
entsprechenden Eingängen einer Vorschubsteueranord nung 14 verbunden, welche die ihr zugeführtei
Eingangssignale decodiert und daraus Steuersignal erzeugt, die über eine Leitung 15 dem X-Motor 3 bzw
über eine Leitung 16 dem V-Motor 4 zugeführt werder und die Drehung dieser Motoren um die erforderlich*
Anzahl von Schritten in der betreffenden Richtunj bewirken. Die Vorschubsteueranordnung 14 steuert dii
Schrittmotoren 3 und 4 auch für die Ausführung de Verstellungen JX und JY, deren Größe mittels eine
Einstellvorrichtung 17 zur Anpassung an die jeweil bearbeiteten Chips einstellbar ist.
Die Größe und Lage der Markierungslinien mul natürlich auch jeweils an die Form und Größe de
auszurichtenden Chips (oder sonstigen Werkstücke angepaßt werden. Dies geschieht mit Hilfe digitale
Daten, die mittels der Eingabevorrichtung 402 den Eingang 401 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 4Oi
zugeführt werden. Die Eingabevorrichtung 402 kam eine handbetätigte Tastatur sein, oder auch eine Quell
gespeicherter oder programmierter informationen.
dem Eingang 401 zugeführten digitalen Daten bestimmen
die Bildzeilen bzw. Bildelemente des Fernsehbildes, die für die Erzeugung der Markierungslinien verwendet
werden.
Der bisher beschriebene Teil der Anordnung von
F i g. 1 bewirkt die Ausrichtung des Chips oder eines beliebigen sonstigen, auf dem Kreuztisch 2 angeordneten
Objektes in bezug auf den Bezugspunkt R.
Bei dem in Fig.2 dargestellten Fertigungszustand
von Halbleitervorrichtungen besteht die nächste Manipulation, die normalerweise mit den Chips 52 vorzunehmen
ist, darin, daß alle brauchbaren Chips von der Unterlage 54 abgehoben, auf einen Leiterrahmen (»lead
frame«) fiberführt und auf diesem befestigt werden. Diese Manipulation wird beispielsweise mit Hilfe eines
Saugkopfes durchgeführt, der zwischen zwei Arbeitsstellen hin- und herbeweglich ist und eine steuerbare
Saugdüse aufweist, welche jeweils einen Chip an der einen Arbeitsstelle ansaugt und diesen Chip an der
anderen Arbeitsstelle losläßt Die Chips werden der Reihe nach an die erste Arbeitsstelle und die
Leiterrahmen der Reihe nach an die zweite Arbeitsstelle gebracht Das Ausrichten jedes Chips auf den
Bezugspunkt R ist in diesem Fall notwendig, damit jeder Chip nach der Oberführung eine genau definierte Lage
auf seinem Leiterrahmen einnimmt
Darüber hinaus wird gefordert, daß unbrauchbare Chips, also insbesondere die am Rand liegenden
unvollständigen Chips sowie die mit einem Farbfleck gekennzeichneten Chips, erkannt und nicht überführt
werden, so daß sie auf der Unterlage 54 verbleiben.
Ferner sollte das System selbsttätig feststellen, wenn eine Reihe vollständig durchlaufen worden ist, damit
durch eine Verschiebung in der y-Richtung um die Strecke JY auf die nächste Reihe übergegangen wird.
Schließlich muß auch erkannt werden, wenn das Ende der Scheibe 51 erreicht ist, also keine Chips mehr
vorhanden sind, damit ein Austausch des bearbeiteten Trägers 50 gegen einen neuen Träger erfolgt
Diese Funktionen werden von den weiteren, in F i g. 1 dargestellten Schaltungen ausgeübt
Die Feststellung des Vorhandenseins eines Farbflecks 56 auf dem in der Ausrichtung befindlichen Chip
geschieht mit Hilfe einer Farbfleck-Ablaufsteuerschaltung 600 und eines Farbfleck-Detektors 650. Die
Farbfleck-Ablaufsteuerschaltung 600 erzeugt das bereits erwähnte Markierungssignal MKE, das im
Markierungsgenerator 500 den dort erzeugten Markierungssignalen MK A bis MK D hinzugefügt wird, so daß
es zusammen mit diesen Markierungssignalen auf dem so Bildschirm des Monitors 10 wiedergegeben wird, wenn
der Video-Wähler und -Mischer entsprechend eingestellt ist
Das Markierungssignal MK E hat zwei Signalwerte (schwarz und weiß) und erzeugt auf dem Bildschirm des
Monitors 10 ein rechteckiges Feld E1 das im Innern des
von den Markierungslinien A, B, Q D umschlossenen Rechtecks liegt (F i g. 3). Zu diesem Zweck nehmen die
Markierungssignale MK E in einer bestimmten Anzahl von aufeinanderfolgenden Fernsehzeilen jeweils für die eo
gleiche vorbestimmte Anzahl von aufeinanderfolgenden Bildelementen den hohen Signalwert (weiß) an. Die
Lage des Feldes E wird so eingestellt, daß es den Bereich überdeckt, in welchem ein Farbfleck, falls er auf
dem Chip vorhanden ist, liegen muß. Die Größe des Feldes E wird so eingestellt, daß ein beträchtlicher
Anteil seiner Fläche von einem vorhandenen Farbfleck eingenommen wird. Die Größe und Lage des Feldes E
wird durch digitale Daten bestimmt, die einem Eingang
601 der Farbfleck-Abiaufsteuerschaltung 600 von einer
Eingabevorrichtung 602 zugeführt werden.
Die Markierungssignale MKE werden außerdem dem Farbfleck-Detektor 650 zugeführt, der an einem
zweiten Eingang die digitalen Videosignale DIGVID B empfangt Er enthält einen Zähler, der durch das
Markierungssignal MK E so gesteuert wird, daß er alle schwarzen Bildelemente zählt, die in der vom Feld E
bedeckten Fläche des digitalen Bildes des Chips vorhanden sind. Wenn der Zählerstand eine vorbestimmte
Schwellenzahl übersteigt, liefert der Farbfleck-Detektor 650 an seinem Ausgang ein Signal DOT,
welches das Vorhandensein eines Farbflecks anzeigt Die Schwellenzahl kann mit Hilfe einer Einstellvorrichtung
651 zur Anpassung an die vorkommenden Größen der Farbflecke eingestellt werden. Das am Ausgang des
Farbfleck-Detektors 650 erscheinende Signal DOT-mrd
gleichfalls der Vorschubsteueranordnung 14 zugeführt,
die beim Erscheinen dieses Signals den X-Motor 3 so steuert, daß er den Kreuztisch 2 um die Strecke JX
(F i g. 2) in der A'-Rkhtung verschiebt und damit den
nächsten Chip zum Ausrichten unter die Fernsehkamera 6 bringt, gleichzeitig sperrt die Vorschubsteueranordnung
14 die Ausübung der am Chip vorzunehmenden Manipulation, bei dem zuvor erwähnten Beispiel also
das Entnehmen des Chips mittels des Saugkopfes. Wenn dagegen der Farbfleck-Detektor 650 kein Ausgangssignal
OOnief ert, wird die erforderliche Manipulation an
dem ausgerichteten Chip vorgenommen, und nach Beendigung dieser Manipulation wird der Vorschubsteueranordnung
14 ein Anzeigesignal geliefert, das dann den Vorschub des Kreuztisches 2 um die Strecke
JXm der X-Richtung bewirkt, damit der nächste Chip in
die Ausrichtstellung gebracht wird. Diese Vorgänge wiederholen sich so lange, wie Chips in der betreffenden
Reihe auf dem Träger 50 (F i g. 2) vorhanden sind.
Eine Chip-Ablaufsteuerschaltung 700 und ein Chip-Detektor 750 stellen fest ob ein Chip unvollständig ist
oder vollkommen fehlt Dies kann manchmal im Innern einer Reihe vorkommen, trifft aber regelmäßig auf das
Ende der Reihe am Rand der Scheibe 51 (Fig.2) zu. Beim Erreichen des Endes der Reihe wird gewöhnlich
zuerst ein unvollständiger Chip festgestellt und beim weiteren Vorschub in der .^-Richtung um die Strecke JX
ein fehlender Chip. Diese Tatsache kann dazu benutzt werden, einen Vorschub in der V-Richtung um die
Strecke JY und anschließend einen Vorschub in der entgegengesetzten ^f-Richtung bis zum Auffinden eines
vollständigen Chips in der nächsten Reihe auszulösen.
In Fig. 1 ist angedeutet, daß die Zeilensynchronimpulse
LN und die Bildelementimpulse PE auch der Farbfleck-Ablaufsteuerschaltung 600 und der Chip-Ablaufsteuerschaltung
700 zugeführt werden, in denen sie zur Bildung der Markierungssignale MK E bzw. MK F
gezählt werden. Die gleichen Impulse, wie auch Ausgangssignale der Ausricht-Abiaul steuerschaltung,
werden auch zu weiteren Schaltungen übertragen, doch sind die betreffenden Verbindungen in F i g. 1 der
besseren Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt.
Zu diesem Zweck erzeugt die Chip-Ablaufsteuerschaltung 700 das Markierungssignal MK F. das über
den Video-Wähler und -Mischer 100 dem Monitor 10 zugeführt wird und, falls dieser entsprechend eingestellt
ist, die Wiedergabe von einer oder mehreren Markierungsflächen >m Innern des von den Markierungslinien
A, B, Q D umschlossenen Rechtecks bewirken. Das gleiche Markierungssignal MK F wird außerdem einem
Eingang des Chip-Detektors 750 zugeführt, der an
einem zweiten Eingang das digitale Videosignal DIGVIDA empfängt. Der Chip-Detektor 750 enthält
einen Zähler, der durch das Markierungssigna! MK Fsa gesteuert wird, daß er alle weißen Bauelemente zählt,
die in den Abschnitten des digitalen Videobilde« vorhanden sind, die von den mittels des Markierungssignals MKF erzeugten Markiemngsfiächen bedeckt
sind Im einfachsten Fall kann diese Markierungsfläche ein Rechteck sein, das nahezu die gesamte Fläche des
richtig ausgerichteten Chips einnimmt; in diesem Fall würde der Chip-Detektor 750 alle in dieser Fläche
erscheinenden weißen Bildelemente des digitalen Videobildes des Chips zählen. Bei einer bevorzugten
Ausführungsform, die in F i g. 3 dargestellt ist, erzeugen
jedoch die Markierungssignale MKF vier kleine
rechteckige oder quadratische Markierungsfelder Fl, F2, F3, F4, die in den vier Ecken der vom Bild des
richtig ausgerichteten Chips, eingenommenen Fläche liegen. In diesem Fall zählt der Chip-Detektor 750 die
weißen Bildelemente in allen vier Rechtecken. In jedem
Fall gibt der Chip-Detektor 750 an seinem Ausgang ein Signal BAR ab, wenn der Zählerstand einen mit Hilfe
einer Einstellvorrichtung 751 eingestellten Mindestwert übersteigt
Wenn dagegen der Zählerstand diesen fest eingestellten Mindestwert nicht erreicht, bedeutet dies, daß
wenigstens eine der vier Ecken des Chips nicht vorhanden ist, der Chip also zumindest unvollständig ist
oder sogar ganz fehlt Der Chip-Detektor 750 Hefen
dann am Ende des vollständigen Teilbildes kein Signal BAR, wodurch angezeigt wird, daß der Chip fehlt oder
unvollständig ist Das Signal BAR wird der Vorschubsteueranordnung 14 zugeführt; wenn dieses Signal fehlt
wird der X-Motor 3 so gesteuert daß er den Kreuztisch
2 um die Strecke JX (Fig.2) in der A"-Richtung
verschiebt um den nächsten Chip in die Ausrichtstellung unter die Fernsehkamera 6 zu bringen. Wenn auch dann
kein Signal BAR erscheint kann dies als Kriterium dafür genommen werden, daß das Ende der Reihe erreicht ist;
der V-Motor 4 wird dann so gesteueii, daß er den
Kreuztisch 2 um die Strecke JYm einer vorbestimmten K-Richtung (positiv oder negativ) verschiebt und die
Vorschubrichtung des X-Motors 3 wird umgekehrt
Die Feststellung des Endes der Scheibe 51 geschieht durch einen Ende-Detektor 800, der an seinem Eingang
das digitale Videosignal DIGVIDA empfängt und alle weißen Bildelemente zählt die in dem gesamten
Fernschteilbild erscheinen. Wenn der Zählerstand unter einer vorbestimmten festen Schwellenzahl bleibt die
mittels einer Einstellvorrichtung 801 einstellbar ist bedeutet dies, daß das Fernsehbild im wesentlichen von
dem dunklen Hintergrund der Unterlage 54 eingenommen ist also das Ende der Scheibe 51 erreicht ist In
diesem Fall erzeugt der Ende-Detektor 800 an seinem Ausgang ein Signal EOS, das gleichfalls der Vorschubsteueranordnung 14 zugeführt wird. Aufgrund dieses
Signals wird beispielsweise die Maschine stillgesetzt und ein Alarm für die Bedienungsperson ausgelöst damit
diese den verbrauchten Träger 50 gegen einen neuen auswechselt
Der genauere Aufbau der verschiedenen in der Anordnung von F i g. 1 enthaltenen Schaltungen ist in
den F i g. 6 bis 13 dargestellt. Die Funktionsweise dieser
Schaltung und die Erzeugung der verschiedenen Signale soll insbesondere unter Bezugnahme auf die F i g. 3 und
5 erläutert werden.
Zeilenrichtung (Horizontalablenkrichtung) des Fernsehbildes der ^-Richtung, und die dazu senkrechte
Richtung (Vertikalablenkrichtung) entspricht der V-Richtung. Jeder Punkt des Fernsehbildes kann daher
s durch eine A*-Koordinate und eine K-Koordinate
eindeutig bestimmt werden. Dadurch ist es insbesondere möglich, die Begrenzungen der verschiedenen Markierungslinien und Markierungsflächen auf dem Bildschirm
eindeutig festzulegen.
In Fig.3 sind am oberen Rand in horizontaler
Richtung (^-Richtung) zehn X-Koordinaten Xi bis
ΛΊ0 eingetragen. Am Unken Rand sind in vertikaler
Richtung (K-Richtung) zehn !^Koordinaten Kl bis VlO eingetragen.
is Die Koordinate Xi gibt den Abstand der ersten
Markierungslinie Cl der Gruppe Cvom Unken Bildrand
(Zeilenanfang) an. Die Koordinate X 2 definiert die Lage der letzten Markierungslinie CO dieser Gruppe
sowie den Beginn aller horizontalen Markierungslinien
der beiden Gruppen A und fi Die Koordinate X 3
entspricht dem linken Rand der beiden Markierungsfelder Fl und F3, deren rechter Rand durch die
Koordinate X4 bestimmt ist Die beiden Koordinaten X5 und X6 entsprechen dem linken bzw. dem rechten
Rand des Markierungsfeldes £ Die Koordinaten X 7 und X 8 geben die Lage des linken bzw. des rechten
Randes der beiden Markierungsfelder F2 und F4 an. Die Koordinate X 9 entspricht dem Ende der horizontalen Markierungslinien A und B sowie der Lage der
ersten vertikalen Markierungslinien Dl der Gruppe D,
und schließlich gibt die Koordinate X10 die Lage der
letzten Markierungslinie DOder Gruppe Dan.
In gleicher Weise entspricht die Koordinate Y dem Abstand der ersten horizontalen Markierungslinie A 7
vom oberen Bildrand (Beginn des Teilbildes), und die Koordinate YI entspricht der Lage der letzten
Markierungslinie A 0 der Gruppe A sowie dem oberen Ende der vertikalen Markierungslinien der beiden
Gruppen C und D. Die Koordinaten Y3 und K 4 geben
den oberen bzw. den unteren Rand der beiden
Markierungsfelder Fl und F2 an, die Koordinaten YS
und Y6 den oberen bzw. den unteren Rand des Markierungsfeldes E und die Koordinaten Yl und YS
den oberen bzw. den unteren Rand der beiden
Markierungsfelder F3 und F4. Die Koordinate K9
entspricht dem unteren Ende der vertikalen Markierungslinien C und D sowie der horizontalen Markierungslinie B 7, und schließlich bezeichnet die Koordinate YW die Lage der letzten horizontalen Markierungsso linie BO.
Die Koordinaten X und Y bezeichnen nicht nur räumliche Punkte auf dem Fernsehbild, sondern auch
bestimmte Zeitpunkte im Verlauf der Abtastung des Fernsehbildes. Jede Koordinate Y kann daher durch
eine bestimmte Anzahl von Zeilensynchronimpulsen LN eindeutig definiert werden, die vom Beginn des
Teilbildes (Teilbildsynchronimpuls FR) oder von einer vorhergehenden K-Koordinate aus gezählt werden.
Ebenso kann jede Koordinate X eindeutig durch eine
bestimmte Anzahl von Bildelementimpulsen PE definiert werden, die vom Beginn der betreffenden
Fernsehzeile (Zeilensynchronimpuls LN) oder von einer vorhergehenden X-Koordinate aus gezählt werden.
Durch Abzählung von Zeilensynchronimpulsen LN und
Bildelementimpulsen PE ist es daher möglich, jeden
Punkt im Innern des Fernsehbildes eindeutig zu definieren.
gen insbesondere bestimmte Steuersignale in Zeitpunkten, die bestimmten zuvor definierten ^-Koordinaten
und V-Koordinaten entsprechen, und sie verwenden
diese Steuersignale zur Erzeugung der Markierungssignaie.
in Fig.5A und B, die entlang dein vertikalen Rand
zusammenzufügen sind, sind im Innern des kräftig gezeichneten Rahmens schematisch die Markierungssignale MKAMKB. MK D, MK fund MK Fin einer
Reihe von horizontalen Zeitachsen dargestellt, die ία
jeweils einer Fernsehzeile des für die Markierung verwendeten Teilbildes entsprechen. Am oberen Rand
sind verschiedene Steuersignale dargestellt, die im Verlauf der Abtastung aller oder einiger Fernsehzeilen
erzeugt werden und sich somit im wesentlichen mit der is Zeüenfrequenz wiederholen. Entlang dem vertikalen
linken Rand sind Steuersignale dargestellt, die im Verlauf der Abtastung des Teilbildes erzeugt werden
und sich also mit der Teilbildfrequenz wiederholen.
F ig. 6 zeigt nochmals die Bestandteile 6,10,11,100,
200, 300 der Anordnung von Fig. 1 und läßt insbesondere den Aufbau und die Funktionsweise des
Video-Wählers und -Mischers 100 deutlicher erkennen.
Dieser enthält einen Video-Mischverstärker 102 und einen Video-Wähler 104. Das über die Leitung 8
zugeführte normale Videosignal wird einem Eingang
103 des Video-Mischverstärkers 102 zugeführt und von diesem nach Verstärkung über die Leitung 9 zum
Monitor 10 übertragen, wenn nicht am Video-Wähler
104 ein digitales Videosignal angefordert wird. Die
digitalen Videosignale DlGVIDA und DIGVIDB
werden Eingängen 105 bzw. 106 des Video-Wählers 104 zugeführt, der außerdem an einem Eingang 107 das
zusammengesetzte Markierungssignal MKA-E und an einem Eingang 108 das Markierungssignal MK F
empfängt Der Video-Wähler 104 hat ferner vier Steuereingänge 109, 110, 111, 112, die mit der
Einstellvorrichtung 101 verbunden sind. Der Video-Wähler 104 is.t über drei Ausgangsleitungen 113, 114,
115 mit dem Video-Mischverstärker 102 verbunden, der außerdem an einem Eingang 116 das zusammengesetzte
Synchronsignal SYNC von der Synchrontrennstufe 300
empfängt
Wenn anstelle des normalen Videosignals das digitale Videosignal DIGVIDA auf dem Monitor 10 wiedergegeben werden soll, wird mittels der Einstellvorrichtung
101 ein Steuersignal SDIGVID A an den Steuereingang 109 angelegt Der Video-Wähler 104 überträgt dann das
digitale Videosignal DIGVIDA vom Eingang 105 über
die Ausgangsleitung 113 zum Video-Mischverstärker 102, und er gibt gleichzeitig auf der Ausgangsleitung 114
ein Austastsignal BLK ab, welches im Video-Mischverstärker 102 das dem Eingang 103 zugeführte normale
Videosignal sperrt In gleicher Weise wird das digitale Videosignal DIGVID B auf dem Monitor 10 wiedergegeben, wenn ein entsprechendes Steuersignal SDIG-VIDB von der Einstellvorrichtung 101 an den
Steuereingang 110 angelegt wird. Die für die Wiedergabe der digitalen Videobilder erforderlichen Synchronsignale stehen gleichzeitig am Eingang 116 des
Video-Mischverstärkers 102 zur Verfügung.
Durch Anlegen eines Steuersignals SMK A—E an den Steuereingang 111 des Video-Wählers 104 wird das
dem Eingang 107 zugeführte zusammengesetzte Markierungssignal MKA—Eüber die Ausgangsleitung 115
zum Video-Mischverstärker 102 übertragen und in diesem dem jeweils dargestellten Videosignal überlagert, also entweder dem a.m Eingang 103 zugeführten
normalen Videosignal oder dem über die Leitung 113
übertragenen digitalen Videosignal DlGVlDA oder DIGVIDB Die Markierungslinien A, B, Q D und das
Markierungsfeld E werden dann auf dem Bildschirm des Monitors 10 in Oberlagerung über das dargestelice
Videobild wiedergegeben. Durch Anlegen eines Steuersignals SMK Fan den Steuereingang 112 kann zu diesen
Markierungssignalen noch das dem Eingang 108 zugeführte Markierungssignal MK F hinzugefügt werden, so daß auch die vier Markierungsfelder Fl, F2, F3,
F4 auf dem Bildschirm des Monitors 10 wiedergegeben werden.
Die Einstellvorrichtung 101 kann beispielsweise Teil
einer handbetätigten Tastatur sein, welche bei Betätigung entsprechender Tasten die erforderlichen Steuersignale in Form von Signalpegeln abgibt
Der Video-Digitalisierer 200 enthält zwei Schwellenwert-Komparatoren 205 und 206 in Form von
Operationsverstärkern, die jeweils an ihrem nicht-invertierenden Eingang das von der Fernsehkamera 6
abgegebene normale Videosignal empfangen, während der invertierende Eingang des Schwellenwertkomparators 206 mit dem Abgriff des Potentiometers 202 und
der invertierende Eingang des Schwellenwert-Komparators 207 mit dem Abgriff des Potentiometers 203
verbunden sind. Entsprechend der üblichen Arbeitsweise solcher Schwellenwert-Komparatoren gibt jeder von
ihnen ein Ausgangssignal mit niedrigem Pegel (schwarz) ab, solange das dem nicht-invertierenden Eingang
zugeführte Analogsignal unter dem am invertierenden Eingang anliegenden Potential bleibt, während im
entgegengesetzten Fall ein Ausgangssignal mit hohem Pegel (weiß) abgegeben wird. Wie bereits erwähnt wird
das Potentiometer 202 so eingestellt daß der Schwellenwert für den Komparator 206 an den Kontrast zwischen
der stark reflektierenden Oberfläche des Chips 52 und der schwach reflektierenden Oberfläche der Unterlage
54 bzw, der Zwischenräume 53 zwischen den Chips angepaßt ist während der Schwellenwert tür den
Komparator 207 durch Einstellung des Potentiometers 203 an den Kontrast zwischen der stark reflektierenden
Oberfläche der Chips 52 und den schwach reflektierenden Farbflecken 56 angepaßt ist. Mittels der Potentiometer 202 und 203 können die Schwellenwerte
entsprechend dem jeweils vorliegenden Anwendungsfall optimal eingestellt werden.
F i g. 7 zeigt in näheren Einzelheiten das Blockschaltbild der Ausricht-Folgesteuerschaltung 400, an die sich
nach rechts der in F i g. 8 dargestellte Ausricht-Detektor 450 und daran wiederum die in Fig.9 gezeigte
Vorschub-Steueranordnung 14 anschließen. Die Funktionsweise dieser Schaltungen soll insbesondere unter
Bezugnahme auf die F i g. 5A und 5B erläutert werden.
Wie die F i g. 5A und 5B erkennen lassen, wird das erste, für die Darstellung der Markierungslinie A 7
verwendete Markierungssignal MK A 7 erzeugt wenn bei der Teilbildabtastung die durch die Koordinate Y1
bezeichnete Abtastzeile erreicht ist Im Verlauf der Abtastung dieser Zeile nimmt das Markierungssignal
MK A 7 in dem der Koordinate X 2 entsprechenden Zeitpunkt einen hohen Pegel an, den es bis zum
Zeitpunkt X 9 behält. Der gleiche Vorgang wiederholt sich für die übrigen Markierungssignale MK A 6 bis
MK Λ 0 in jeder zweiten Teilbildzeile bis zum Erreichen
der Koordinate Y2, während in den jeweils dazwischenliegenden Zeilen kein Markierungssignal MKA
erzeugt wird.
beginnt die Erzeugung der Markierungssignale MK C
und MK D für die Darstellung der vertikalen Markierungslinien C und D. Da diese Markierungslinien
senkrecht zur Zeilenrichtung verlaufen, kann von ihnen in jeder Zeile jeweils nur ein Bildelement dargestellt
werden. Die Markierungssignale MK C und MK D bestehen daher in jeder Teilbildzeile aus acht aufeinanderfolgenden kurzen Impulsen mit der halben Frequenz
der Bildelementimpulse PE, wobei die acht Impulse der
Markierungssignale MK C zwischen den Zeitpunkten X1 und X 2 und die acht Impulse der Markierungssignale MKD zwischen den Zeitpunkten X9 und XlO
erzeugt werden. Diese Impulse wiederholen sich in jeder Teilbildzeiie bis zum Erreichen der der Koordinate Y9 entsprechenden Teilbildzeile. Zwischen den
Koordinaten V9und YlO werden dann wieder in jeder
zweiten Teilbildzeile die Markierungssignale MK B in gleicher Weise wie die Markierungssignale MKA
erzeugt
In jeder der zwischen den Koordinaten YS und Y6
liegenden Fernsehzeüen wird außerdem das Markierungssignal MK E erzeugt, das vom Zeitpunkt XS bis
zum Zeitpunkt X6 einen hohen Pegel annimmt
Wenn auch die Markierungen Fl, F2, F3, FA
dargestellt werden, wird zusätzlich in den zwischen den Koordinaten Y3 und YA sowie in den zwischen den
Koordinaten Yl und YB liegenden Fernsehzeilen das Markierungssignal MK F erzeugt das in jeder Fernsehzeile vom Zeitpunkt X3 bis zum Zeitpunkt X4 und vom
Zeitpunkt X 7 bis zum Zeitpunkt X 8 einen hohen Pegel
annimmt
Die Erzeugung der Markierungssignale MK A, MK B, MK Q MK D geschieht in Abhängigkeit von Daten,
welche die Koordinaten X1, X9, Y\ und Y9 definieren
und in einem Speicher 403 (F i g. 7) aufgezeichnet sind, der eine Kapazität von vier Wörtern ä acht Bits hat
Diese Daten bestimmen die Abmessungen und die Lage des durch die Markierungslinien definierten Rechtecks
und werden zur Anpassung an den jeweils auszurichtenden Chip mit Hilfe der Eingabevorrichtung 402 in den
Eingang 401 des Speichers eingegeben. Das die Koordinate Xi definierende Speicherwort ist die
Anzahl der vom Zeilenanfang (Zeilensynchronimpuls LN) bis zur Koordinate X1 abgegebenen Bildelementimpulse PE; das die Koordinate XT. bestimmende
Speicherwort ist die Anzahl der zwischen den Zeitpunkten X1 und X2 abgegebenen Bildelementimpulse PE Das die Koordinate Y\ bestimmende
Speicherwort ist die Anzahl der vom Teilbildbeginn (Teilbildsynchronimpuls FR) bis zum Erreichen des
Zeitpunkts >'l abgegebenen Zeilensynchronimpulse LN; das die Koordinate Y9 bestimmende Speicherwort
ist die Anzahl der zwischen den Zeitpunkten Yi und
Y 2 abgegebenen Zeilensynchronimpulse LA'.
Der Speicher 403 hat einen Ausgang 404, einen Adressiereingang 405 und einen Aufrufeingang 406. Der
Ausgang 404, der in Wirklichkeit ein Mehrfachausgang ist, an welchem die acht Bits eines gespeicherten Worts
parallel abgegeben werden, ist mit den Voreinstelleingängen 409,410 von zwei voreinstellbaren Rückwärtszählern 407, 408 verbunden. Der Zähler 407 empfängt
an seinem Takteingang 411 die Zeilensynchronimpulse LiV und dient als Zeilenzähler; der Zähler 408 empfängt
an seinem Takteingang 412 die Bildelementimpulse PE und dient als Bildelementzähler. Der Zeilenzähler 407
hat ferner einen Voreinstellsteuereingang 413 und zwei Ausgänge 414,415; der Bildelementzähler 408 hat einen
Voreinstellsteuereingang 416 und zwei Ausgänge 417,
418.
Der Adressiereingang 405 und der Aufrufeingang 406 des Speichers 403 sind mit zwei Ausgängen einer
Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 verbunden, die an einem Auslöseeingang 420 die Teilbildsynchronimpulse FR an einem weiteren Auslöseeingang 421 die
Zeilenimpulse LN empfängt Ein weiterer Auslöseeingang 422 ist mit dem Ausgang 414 des Zeilenzählers 407
verbunden, und ein vierter Auslöseeingang 423 ist mit
ίο dem Ausgang 417 des Bildelementzählers 408 verbunden. Die Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 hat
zwei weitere Ausgänge 424 und 425, die mit dem Voreinstellsteuereingang 413 des Zeilenzählers 407
bzw. mit dem Vcrcinsteüsteuereingang 416 des
Die Ausgänge 414 und 415 des Zeilenzählers 407 sind mit zwei Eingängen einer A/B-Halteschaltung 426
verbunden, die zwei zueinander komplementäre Ausgänge 427, 428 hat, und die Ausgänge 417, 418 des
Bildelementzählers 408 sind mit zwei Eingängen einer C/D-Halteschaltung 429 verbunden, die zwei zueinander komplementäre Ausgänge 430,431 hat
Bei jedem dem Eingang 420 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 zugeführten Teilbildsynchron
impuls FR wird der Speicher 403 über seine Eingänge
405,406 so adressiert und angesteuert, daß er an seinem
Ausgang 404 das erste Speicherwort abgibt, das in der zuvor geschilderten Weise die Koordinate Yi in Form
einer bestimmten Zeilenzahl angibt Ein gleichzeitig
vom Ausgang 424 der Speicheradressier- und Aufrufschallung 419 abgegebener Freigabeimpuls, der dem
Voreinstellsteuereingang 413 des Zeilenzählers 407 zugeführt wird, bewirkt daß dieser Zähler auf die vom
Speicher abgegebene Zahl voreingestellt wird. Die
Vorderflanke des Teilbildsynchronimpulses FR bewirkt
die Adressierung des Speichers 403, während seine Hinterflanke die Übertragung des abgelesenen
Speicherworts in den Zähler auslöst Das gleiche gilt auch für die anderen, den Eingängen 421, 422, 423 der
Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 zugeführten Auslöseimpulse.
Der Zeilenzähler 407 wird durch die seinem Takteingang 411 zugeführten Zeilenimpulse LN fortgeschaltet so daß sich sein Inhalt bei jedem Zeilenimpuls
um eine Einheit verringert Sobald er den Zählerstand Null erreicht gibt er an seinem Ausgang 414 einen
Impuls LNXi ab. Dieser Impuls fällt also mit dem
Beginn der durch die Koordinate Yi bezeichneten Zeile zusammen (F i g. 5). Der Impuls LNX1 wird auch
so dem Auslöseeingang 422 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 zugeführt und bewirkt in der zuvor
geschilderten Weise die Adressierung und Ausgabe des Speicherworts aus dem Speicher 403, das die Koordinate Y2 durch die Anzahl der zwischen den Koordinater
Yi und Y 2 liegenden Zeilen angibt Der Zeilenzähler 407 wird auf diese Zahl voreingestellt und erneut durch
die seinem Takteingang 411 zugeführten Zeilensynchronimpulse LN im Sinne einer Abwärtszählung
fortgeschaltet Wenn er den Zählerstand Null erreicht
gibt er an seinem Ausgang 415 einen Impuls LNX 2 ab
der also mit dem Beginn der der Koordinate YI
entsprechenden Zeile zusammenfällt (Fig.5). Diesel
Vorgang wiederholt sich in jedem Teilbild, so daß im
Verlauf der Abtastung jedes Teilbilds ein Impuls LNA* 1
und ein Impuls LNX2 erscheint
Durch den ersten nach dem Teilbildsynchronimpuls FR erscheinenden Zeilensynchronimpuls LN wird der
Speicher 403 so adressiert und abgefragt daß er in der
Bildelementzähler 408 ein Speicherwort eingibt, das in der zuvor erläuterten Weise die Koordinate X1 durch
eine Anzahl von Bildelementen angibt. Der Bildelementzähler 408 wird durch die seinem Takteingang 412
zugeführten Bildelementimpulse PE im Sinne der Abwärtszählung fortgeschaltet, und er gibt beim
Erreichen des Zählerstands Null an seinem Ausgang 417 einen Impuls PEX \ ab, der somit während der
Abtastung einer Zeile in dem der Koordinate X1
entsprechenden Zeitpunkt auftritt (Fig.5). Der Impuls
PEX \ wird auch an den Auslöseeingang 423 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 angelegt
und bewirkt, daß aus dem Speicher 403 in den Bildelementzähler 408 das Speicherwort eingegeben
wird, das die Koordinate X 9 durch die Anzahl der zwischen Xi und X 9 liegenden Bildelemente definiert.
Der Bildelementzähler wird erneut durch die Bildelementimpulse PE im Sinne der Abwärtszählung fortgeschaltet,
und er gibt beim Erreichen des Zählerstands Null am Ausgang 418 einen Impuls PEXI ab, der im
Verlauf der Zeilenabtastung in dem der Koordinate X9 entsprechenden Zeitpunkt auftritt. Der gleiche Vorgang
wird durch jeden folgenden Zeilenimpuls LN ausgelöst, so daß in jeder Zeile des Teilbildes ein Impuls PEX1
und ein Impuls PEX 2 erzeugt wird.
Der vom Ausgang 414 des Zeilenzählers 407 an die A/B-Halteschaltung 426 angelegte Impuls LNX1 bringt
die A/B-Halteschaltung 426 in eine Stellung, in welcher das Potential am Ausgang 427 einen hohen Pegel
annimmt und gleichzeitig das Potential am Komplementärausgang 428 einen niedrigen Pegel annimmt. Der am
Ausgang 415 des Zeilenzählers 407 abgegebene Impuls LNX 2 bringt die A/B-Halteschahung 426 in die andere
Stellung, in welcher das Potential am Ausgang 427 niedrig und das Potential am Ausgang 428 hoch ist.
Somit gibt die A/B-Halteschaltung 426 am Ausgang 427 ein Signal LNG A ab, das in jedem Teilbild zwischen den
Koordinaten Yi und Y9 einen hohen Pegel und im
übrigen Teil des Teilbilds einen niedrigen Pegel hat. Dementsprechend hat das dazu komplementäre Signal
LNG B am Ausgang 428 von der Koordinate Y9 eines Teilbilds bis zur Koordinate Kl des nächsten Teilbilds
einen hohen Pegel, während es zwischen den Koordinaten YI und Y9 jedes Teilbildes einen niedrigen Pegel
hat
In gleicher Weise bewirken die der C/D-Halteschaltung
429 zugeführten Impulse PEXi und PEX 2, daß
das am Ausgang 430 abgegebene Signal PEG A (F i g. 5) in jeder Zeile zwischen den Koordinaten ΛΊ und X 9
einen hohen Pegel und im übrigen Teil der Zeile einen niedrigen Pegel hat, während das am Ausgang 431
abgegebene komplementäre Signal PEGB von der Koordinate X 9 einer Zeile bis zur Koordinate XX der
folgenden Zeile einen hohen Pegel und zwischen den Koordinaten X1 und X9 einen niedrigen Pegel hat
Der in Fig.8 dargestellte Ausrichtdetektor 450
enthält einen Zeilenadreßzähler 452 in Form eines dreistufigen Binärzählers mit zwei Voreinstelleingängen,
an welche die Signale LNXi bzw. LNX 2 von den
Ausgängen 414,415 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung
400 (Fig.7) angelegt werden. Der Takteingang des Zeilenadreßzählers 452 ist an den Ausgang eines
Frequenzteilers 453 angeschlossen, dem die Zeilensynchronimpulse
LN zugeführt werden und der an seinem Ausgang Impulse mit der halben Folgefrequenz
der Zeilensynchronimpulse L/V abgibt.
Der Zeilenadreßzähler 452 hat eine Ausgangsgruppe 454 mit drei Ausgängen, welche die Stufenausgänge der
drei Binärzählerstufen sind. An den Ausgängen 454 erscheint somit eine Gruppe von Binärsignalen, die den
jeweiligen Zählerstand des Zeilenadreßzählers 452 in Form einer dreistelligen Binärzahl zwischen 0 und 7
ausdrücken. Der Zeilenadreßzähler 452 ist so ausgebildet, daß er durch jeden einem Voreinstelleingang
zugeführten Impuls LNXi oder LNX2 auf den
Zählerstand 7 voreingestellt wird und dann durch die seinem Takteingang zugeführten Impulse mit der
ίο halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse im
Sinne einer Rückwärtszählung fortgeschaltet wird. Während der gesamten Dauer der Zählung vom Beginn
der Voreinstellung bis zum Erreichen des Zählerstands Null gibt der Zeilenadreßzähler 452 an einem weiteren
Ausgang 455 ein Signal L/VCThohen Pegeis ab (F i g. 5).
Dieses Signal L/VCTwird an einen Freigabeeingang des Frequenzteilers 453 angelegt, so daß dieser nur während
des Bestehens des Signals LNCT Ausgangsimpulse abgibt. Somit erscheint nach jeder Voreinstellung durch
ein Signal LNXi oder LNX 2 am Ausgang des
Frequenzteilers 453 eine Gruppe von acht Taktimpulsen AB-CLK mit der halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse
LN, und der Zeilenadreßzähler bleibt nach dem Erreichen des Zählerstandes Null bis zur
nächsten Voreinstellung durch ein Signal LNXi oder LNX 2 stehen. Das Signal LNCT und die während
seiner Dauer vom Ausgang des Frequenzteilers 453 abgegebenen Impulsgruppen AB-CLK werden auch
anderen Schaltungspunkten zugeführt, wie durch Pfeile angedeutet ist.
Das Signal LNCT erstreckt sich somit im Verlauf jedes Teilbilds von der Koordinate Vl bis zur
Koordinate Y2 (LNCTi) und von der Koordinate Y9
bis yiO (LNCT2). Die während des Bestehens dieses
Signals in jeder zweiten Teilbildzeile an den Ausgängen 454 erscheinenden Binärzahlen bezeichnen die Nummern
der Markierungslinien A 7 bis A 0 bzw. B 7 bis B 0, die in jeder zweiten Teilbildzeile erzeugt werden.
In entsprechender Weise enthält der Ausricht-Detektor 450 einen Bildelementadreßzähler 456 mit zwei Voreinstelleingängen, welche die Signale PEXi, PEX2 von den Ausgängen 417,418 der Ausricht-Ablaufsteuerschaitung 400 (F i g. 7) empfangen, und mit einem Takteingang, der an den Ausgang eines Frequenzteilers 466 angeschlossen ist der die Bildelementimpulse PE empfängt und Taktimpulse mit der halben Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE abgibt. Der Bildelementadreßzähler 456 ist in gleicher Weise wie der Zeilenadreßzähler 452 aufgebaut; er wird somit durch jeden der Impulse PEXi und PEX2 auf den Zählerstand 7 eingestellt und anschließend durch die Taktimpulse mit der halben Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE im Sinne einer Rückwärtszählung bis zum Erreichen des Zählerstandes Null fortgeschaltet Während dieser Zählung gibt er an einer Gruppe 458 von drei Ausgängen, welche die Ausgänge der binären Zählerstufen sind, Binärimpulsgruppen ab, die den jeweiligen Zählerstand in Form einer dreistelligen Binärzahl angeben. An einem weiteren Ausgang 459
In entsprechender Weise enthält der Ausricht-Detektor 450 einen Bildelementadreßzähler 456 mit zwei Voreinstelleingängen, welche die Signale PEXi, PEX2 von den Ausgängen 417,418 der Ausricht-Ablaufsteuerschaitung 400 (F i g. 7) empfangen, und mit einem Takteingang, der an den Ausgang eines Frequenzteilers 466 angeschlossen ist der die Bildelementimpulse PE empfängt und Taktimpulse mit der halben Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE abgibt. Der Bildelementadreßzähler 456 ist in gleicher Weise wie der Zeilenadreßzähler 452 aufgebaut; er wird somit durch jeden der Impulse PEXi und PEX2 auf den Zählerstand 7 eingestellt und anschließend durch die Taktimpulse mit der halben Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE im Sinne einer Rückwärtszählung bis zum Erreichen des Zählerstandes Null fortgeschaltet Während dieser Zählung gibt er an einer Gruppe 458 von drei Ausgängen, welche die Ausgänge der binären Zählerstufen sind, Binärimpulsgruppen ab, die den jeweiligen Zählerstand in Form einer dreistelligen Binärzahl angeben. An einem weiteren Ausgang 459
eo wird während der gesamten Dauer der Zählung ein Signal PECT abgegeben, das als Freigabesignal an den
Frequenzteiler 457 angelegt wird, der somit nach jeder Voreinstellung durch ein Signal PEXi oder PEX2 eine
Gruppe von 8 Taktimpulsen CD-CLK liefert Das Signal PECT ist in jeder Bildzeile zwischen den Koordinaten
Xi und X2 (PECTi) und zwischen den Koordinaten
X9 und X10 (PECT2) vorhanden. Die an den
Ausgängen 458 erscheinenden Binärzahlen geben die
Nummern der Markierungslinien Cl bis CO bzw. Dl
bis DO an, zu denen die in jeder Teilbildzeile durch die
Markierungssignale MK C bzw. MK D erzeugten Bildelemente gehören.
Die drei Ausgänge 454 des Zeilenadreßzählers 452 sind mit drei zugeordneten Adreßeingängen einer 8
Bit-Hatteschaltung 460 verbunden, die außerdem an einem Signaleingang die digitalen Videosignale DIG VID
A, an einem Löscheingang das Signal CLR und an einem Freigabeeingang die Markierungssignale MK A
(MKA 7 bis MKAO) empfängt. Die 8 Bit-Halteschaltung
460 wird am Beginn der für die Markierung und Analyse verwendeten Teilbilder durch den Impuls CLR
gelöscht und anschließend im Verlauf des Teilbilds jeweils für die Dauer der Markierungssignale MK A zur
Analyse der digitalen Videosignale DiGVID A freigegeben. Sie hat eine Gruppe von acht Ausgängen, die
jeweils einer der acht möglichen Kombinationen von Eingangssignalen an den drei Adreßeingängen und
somit einer der Markierungslinien Al bis AO zugeordnet sind. Wenn im Verlauf der Abtastung einer
Markierungslinie A, deren Nummer durch die an den Ausgängen 454 des Zeilenadreßzählers 452 bestehende
Binärzahl angegeben ist, ein weißes Bildelement erscheint, nimmt der zugeordnete Ausgang der 8
Bit-Halteschaltung 460 den Zustand »1« an, und er hält diesen Zustand fest, bis die 8 Bit-Halteschaltung durch
einen neuen Löschimpuls CLR gelöscht wird. Nach Beendigung aller Markierungssignale MK A 7 bis
MKAO hat somit die 8 Bit-Halteschaltung 460 einen
Zustand angenommen, in welchen an denjenigen Ausgängen ein Zustand »1« besteht, die den Markierungslinien
A zugeordnet sind, in deren Verlauf wenigstens ein weißes Bildelement im Signal DIG-
VIDA aufgetreten ist. Die 8 Bit-Halteschaltung 460
behält diesen Zustand bei, bis sie durch den nächsten Impuls CLR gelöscht wird.
Die drei Ausgänge 454 des Zeilenadreßzählers 452 sind ferner mit drei Adreßeingängen einer Abfrageschaltung
461 verbunden, die außerdem acht Dateneingänge hat und so ausgebildet ist, daß sie an einem
Ausgang 462 jeweils das Signa! abgibt, das an dem Dateneingang anliegt, dessen Nummer durch die an den
drei Adreßeingängen anliegende dreistellige Binärzahl angegeben ist Die acht Dateneingänge der Abfrageschaltung
461 sind mit den acht Ausgängen der 8 Bit-Halteschaltung 460 in umgekehrter Reihenfolge
verbunden, wie in der Zeichnung durch gekreuzte Pfeile angedeutet ist; d. h., der Ausgang Nr. 0 der 8
Bit-Halteschaltung ist mit dem Dateneingang Nr. 7 der Abfrageschaltung verbunden, der Ausgang Nr. 1 mit
dem Dateneingang Nr. 6 usw., bis schließlich zum Ausgang Nr. 7, der mit dem Dateneingang Nr. 0
verbunden ist Die Abfrageschaltung 461 hat ferner zwei Freigabeeingänge, an welche die Signale LNCT bzw.
LNG B angelegt werden, so daß sie nur während des gleichzeitigen Vorhandenseins dieser beiden Signale
arbeitet, also während des Signals LNCTX in dessen Dauer die Bildung und Analyse der Markierungslinien
B 7 bis BO erfolgt
Während also die Analyse der digitalen Videosignale DIGVIDA in der 8 Bit-Halteschaltung 460 unter der
Steuerung durch die Zeilenadressen erfolgt, die vom Zeilenadreßzähler 452 im Anschluß an das Signal
LNX1 abgegeben werden und die Nummern der Markierungslinien Al bis AO im Verlauf ihrer
Wiedergabe angeben, erfolgt die Abfragung der in der 8 Bit-Halteschaltung gespeicherten und an ihren Ausgängen
verfügbaren Informationen in der Abfrageschaltung 461 unter Steuerung durch die Zeilenadressen, die vom
Zeilenadreßzähler 452 im Anschluß an das Signal LNX2 abgegeben werden und die Nummern der
Markierungslinien Bl bis ßOi im Verlauf ihrer
Wiedergabe angeben. Ferner erfolgt die Abfragung in umgekehrter Reihenfolge: Bei der Wiedergabe der
ersten Markierungslinie Bl erscheint am Ausgang 462 der Abfrageschaltung 461 infolge der an den Adreßeingangen
anliegenden Adresse 7 das am Dateneingang Nr. 7 anliegende Signal, das wegen der gekreuzten
Verbindungen das Ausgangssignal am Ausgang Nr. 0 der 8 Bit-Halteschaltung 460 ist, also das durch die
Analyse des digitalen Videosignals DIG VID A während der Dauer der Markierungslinie AO erhaltene Signal.
Für die aufeinanderfolgenden Adressen 7 bis 0 erhält man somit am Ausgang 462 der Abfrageschaltung 461
nacheinander die in der 8 Bit-Halteschaltung für die Markierungslinien AO, A 1 Al gespeicherten Infor-
mationen.
Der Grund für die Analyse der Markierungslinien A in umgekehrter Reihenfolge während der Bildung der
Markierungslinien B ist darin zu sehen, daß die Markierungslinien Λ in der Reihenfolge Al bis AO
erzeugt werden (entsprechend der Rückwärtszählung des Zeilenadreßzählers 452), daß aber die Anzahl der
von weißen Bildelementen besetzten Markierungslinien von innen nach außen, also in der Reihenfolge A 0,
Λ 1... gezählt werden muß. Da diese Reihenfolge erst
nach der Abtastung aller Markierungslinien A zur Verfügung steht, kann die Auswertung nicht zugleich
mit der Abtastung der Markierungslinien A, sondern erst zu einem späteren Zeitpunkt erfolgen. Aus
Zweckmäßigkeitsgründen erfolgt diese Auswertung im Verlauf der Bildung und Auswertung der Markierungslinien
B, weil dann wieder die Zeilenadressen am Ausgang des Zeilenadreßzählers 452 zur Verfügung
stehen.
Die am Ausgang 462 der Abfrageschaltung 461 erscheinenden Signale werden als Steuersignale an
einen A-Ausrichtzähler 463 angelegt, der die Markierungssignale
MK Barn Takteingang und das Signal TOP an einem Freigabeeingang empfängt Der A-Ausrichtzähler
463 erhöht für jedes Markierungssignal MK B 7 bis MKBO seinen Zählerstand um eine Einheit, wenn
während der Dauer dieses Markierungssignals ein Signal »1« am Steuereingang erscheint Durch eine
geeignete Eingangs-Verknüpfungsschaltung wird erreicht, daß die Zählung beendet wird, wenn für ein
Markierungssignal MK B am Ausgang 462 der Abfrageschaltung 461 ein Signal »0« erscheint Nach Beendigung
der Zählung hat somit der A-Ausrichtzähler 463 einen Zählerstand angenommen, welcher der Anzahl
der in ununterbrochener Reihenfolge von innen nach außen gezählten Markierungslinien A entspricht in
deren Verlauf wenistens ein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DIGVIDA aufgetreten ist Der
A-Ausrichtzähler 463 hat eine Gruppe von fünf Ausgängen, die dem in F i g. 1 dargestellten Ausgang
45iA entsprechen. An drei Ausgängen erscheint eine Gruppe von drei Binärsignalen AA, AB, AQ welche den
erreichten Zählerstand in Form einer dreistelligen Binärzahl darstellen. Am vierten Ausgang erscheint ein
Überschreitungssignal AOVR, wenn bei der Zählung der Markierungslinien der Zählerstand 7 überschritten
worden ist weil dies bedeutet daß alle acht Markierungslinien der Gruppe A weiße Bildelemente enthalten
und somit eine Korrektur aufgrund der verfügbaren
Daten nicht möglich ist. Am fünften Ausgang erscheint ein Signal CORA, das angibt, daß im Bereich der
Markierungslinien A ein Zustand besteht, der eine Korrektur erfordert. Das Signal COR A gibt ferner an,
daß die Korrektur in der negativen V-Richtung (F i g. 4) erfolgen muß.
Da die Bildung der Markierungslinien B 7 bis BO in
der Reihenfolge erfolgt, in der diese Markierungslinien
auch gezählt werden müssen, ist keine Speicherung der durch die Analyse erhaltenen Informationen in einer 8
Bit-Halteschaltung und keine verschobene Abfragung durch eine Abfrageschaltung notwendig. Die digitalen
Videosignale DlGVlDA werden deshalb direkt an
einen B-Ausrichtzähler 464 angelegt, der außerdem die
Markierungssignale MK B und das Signal TOP emp- ,5
fängt. Der B-Ausrichlzähier 464 enthält eine Eingangsverknüpfungsschaltung, die bewirkt, daß der Zählerstand für jedes Markierungssignal MK B 7 bis MK BO
um eine Einheit erhöht wird, in dessen Verlauf das digitale Videosignal DlGVIDA wenigstens einmal den
hohen Signalwert (weiß) annimmt, daß aber die Zählung beendet wird, wenn für ein Markierungssignal
MK B7... MK BO im Signal DlGVlDA kein hoher
Signalwert erschienen ist, was bedeutet, daß in dem der
betreffenden Markierungslinie B7... BO entsprechen- 2s
den Abschnitt des digitalen Videobildes nur schwarze Bildelemente enthalten sind. Somit hat der B-Ausrichtzähler 464 nach Beendigung der Zählung einen
Zählerstand, welcher der Anzahl der in ununterbrochener Reihenfolge von innen nach außen gezählten
Markierungslinien B entspricht, in deren Verlauf
wenigstens ein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DIG VID A aufgetreten ist Der B-Ausrichtzähler 464 hat fünf Ausgänge 451 θ und liefert an drei
Ausgängen eine den Zählerstand darstellende Gruppe von drei Binärzahlen BA, BB, BC, am vierten Ausgang
ein Überschreitungssignal BOVR und am fünften Ausgang ein Signal COR B, das die Notwendigkeit einer
Korrektur und die Richtung dieser Korrektur (positive V-Richtung) anzeigt
Die Ausgänge 458 des Bildelementadreßzählers 456 sind mit je drei Adreßeingängen einer 8 Bit-Halteschaltung 465 und einer Abfrageschaltung 466 verbunden.
Die Schaltungen 465 und 466 sind in gleicher Weise aufgebaut und verbunden wie die Schaltungen 460 und
461. Insbesondere sind die Ausgänge der 8 Bit-Halteschaltung 465 in umgekehrter Reihenfolge mit den
Dateneingängen der Abfrageschaltung 466 verbunden, was offensichtlich notwendig ist, weil die Markierungslinien Cl bis CO in einer Reihenfolge erzeugt werden, die
entgegengesetzt zu der Reihenfolge ist, in der die besetzten Markierungslinien gezählt werden müssen.
Die 8 Bit-Halteschaltung 465 empfängt wieder am Signaleingang die digitalen Videosignale DlGVlDA
und am Löscheingang den Impuls CLÄ;im Unterschied
zu der 8 Bit-Halteschaitung 460 sind aber an den
Freigabeeingang die Markierungssignale MKC (MK Cl bis MK CO) angelegt, so daß die Feststellung
weißer Bildelemente im Signal DlGVIDA im Verlauf der Bildung der Markierungslinien C erfolgt Entsprechend der Bildung dieser Markierungslinien erfolgt die
Analyse auch nicht kontinuierlich für jede Markierungslinie, sondern es wird in aufeinanderfolgenden Teilbildzeilen jeweils ein Bildelement jeder Markierungslinie
untersucht Sobald aber für ein Bildelement jeder Markierungslinie C in einer beliebigen Teilbildzeile ein
hoher Signalwert (weiß) im Signal DlGVlDA festgestellt wird, nimmt der dieser Markierungslinie zugeord
nete Ausgang der 8 Bit-Halteschaltung 465 den Zustand »1« an, und er behält diesen Zustand bis zum nächsten
Löschimpuls CLR bei. Am Ende der vollständigen Wiedergabe der Markierungslinien C haben somit
diejenigen Ausgänge der 8 Bit-Halteschaltung 465 den Zustand »1« angenommen, die Markierungslinien C
zugeordnet sind, in deren Verlauf wenigstens ein weißes Bildelement im digitalen Videobild vorhanden ist.
Die Abfrageschaltung 466 empfängt als Freigabesignal die Signale PECT und PEG A, so daß sie nur
während des gleichzeitigen Bestehens dieser beiden Signale arbeitet, also während der Dauer des Signals
PECTl (Fig.5), in dessen Verlauf die Markierungslinien Cerzeugt werden.
Der Ausgang 467 der Abfrageschaltung 466 ist mit einem C-Ausrichizähler 46S verbunden, der die
Taktimpulsgruppen CD-CLK vom Ausgang des Frequenzteilers 453 am Takteingang und das Signal TOP
am Freigabeeingang empfängt. An einen zusätzlichen Steuereingang 473 ist ein Steuersignal 51 angelegt, das
durch eine nicht dargestellte Verknüpfung der Signale LN, LNX 2, PEG A, PECT und CD-CLK so gebildet ist
daß es den C-Ausrichtzähler 468 normalerweise sperrt und nur in der dem Signal LNX 2 entsprechenden
Teilbildzeile während der Dauer des Signals PECTX freigibt. Der C-Ausrichtzähler 468 registriert also die
am Ausgang 467 der Abfrageschaltung 466 erscheinenden Informationen im Verlauf eines Teilbildes nur ein
einziges Mal, und zwar erst nach Beendigung der Bildung der vollständigen Markierungslinien C. Nach
dieser Zählung hat der C-Ausrichtzähler 468 einen Zählerstand, der die Anzahl der in ununterbrochener
Reihenfolge von innen nach außen gezählten Markierungslinien C angibt, in deren Verlauf wenigstens ein
weißes Bildelement festgestellt worden ist. Er liefert an drei Ausgängen seiner Ausgangsgruppe 451 C eine den
Zählerstand darstellende Gruppe von drei Binärsignalen CA, CB, CC, am vierten Ausgang ein Überschreitungssignal COVR und am fünften Ausgang ein Signal
COR C, das die Notwendigkeit einer Korrektur und die Richtung dieser Korrektur (positive -Y-Richtung)
anzeigt.
Die Bildung der Markierungslinien D7 bis DO
erfolgt, ebenso wie diejenige der Markierungslinien B 7 bis BO, in der Reihenfolge, in der die besetzten
Markierungslinien gezählt werden müssen. Dennoch müssen im Fall der Markierungslinien D die Analyseergebnisse festgehalten werden, weil die Zählung erst
nach der vollständigen Bildung der Markierungslinien D möglich ist. Deshalb ist auch für die Markierungslinien
D eine 8 Bit-Halteschaltung 469 und eine Abfrageschaltung 470 vorgesehen, und die drei Adreßeingänge dieser
beiden Schaltungen sind, parallel mit denjenigen der Schaltungen 465 und 466, an die Ausgänge 458 des
Bildelementadreßzählers 456 angeschlossen. Die 8 Bit-Halteschaltung 469 empfängt, wie die Schaltung 465,
die digitalen Videosignale DIG VID A und den Löschimpuls CLR, am Freigabeeingang jedoch die Markierungssignale MK D (MK D 7 bis MK D 0) so daß die Analyse
der Signale DIGVIDA im Verlauf der Markierungslinien D erfolgt. Die Abfrageschaltung 470 wird durch die
Freigabesignale PECT und PEG B gesteuert so daß sie nur während der Dauer des Signals PECT2 arbeitet Die
Dateneingänge der Abfrageschaltung 470 sind aber nicht in vertauschter Reihenfolge, sondern in der
richtigen Reihenfolge mit den Ausgängen der 8 Bit-Halteschaltung 469 verbunden, so daß die Abfragung in der Reihenfolge der Markierungslinien D7,
D6...D0 erfolgt Der Ausgang 471 der Abfrageschaltung
470 ist mit dem Eingang eines D-Ausrichtzählers 472 verbunden, der die gleichen Taktsignale CD-CLK
und das gleiche Freigabesignal TOPwie der C-Ausrichtzähler
468 empfängt An einen zusätzlichen Steuereingang 474 ist ein Steuersignal 52 angelegt, das durch eine
nicht dargestellte Verknüpfung der Signale LN, LNX 2, PEG B, PECT und CD-CLK so gebildet ist, daß es den
D-Ausrichtzähler 472 normalerweise sperrt und nur in der dem Signal LNX 2 entsprechenden Teilbildzeile
während der Dauer des Signals PECT2 freigibt Der D-Ausrichtzähler 472 registriert also die am Ausgang
471 der Abfrageschaltung 470 erscheinenden Informationen im Verlauf eines Teilbildes nur ein einziges Mal,
und zwar erst nach Beendigung der Bildung der vollständigen Markierungslinien D. Nach dieser Zählung
hat der D-Ausrichtzähler 472 einen Zählerstand, der die Anzahl der in ununterbrochener Reihenfolge
von innen nach außen gezählten Markierungslinien D angibt, in deren Verlauf wenigstens ein weißes
Bildelement festgestellt worden ist Er hat eine Gruppe von fünf Ausgängen 451 D und liefert an drei
Ausgängen eine den Zählerstand darstellende Gruppe von drei Binärsignalen DA, DB, DC am vierten
Ausgang ein Überschreitungssignal COVT? und am fünften Ausgang ein Signal COR D, das die Notwendigkeit
einer Korrektur und die Richtung einer Korrektur (negative X-Richtung) anzeigt.
Es ist zu beachten, daß die 8 Bit-Halteschaltung 460 im Verlauf jedes Teilbildes nur einen Arbeitszyklus
ausführt, während der Arbeitszyklus der 8 Bit-Halteschaltung
465,469 in jeder Teilbildzeile wiederholt wird, in der Markierungssignale C und D erzeugt werden.
Sobald im Verlauf eines solchen Arbeitszyklus während der Erzeugung eines bestimmten Markierungssignals
MK C oder MK D zum ersten Mal ein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DIGVlDA erscheint,
wird es durch die zugeordnete 8 Bit-Halteschaltung 465 oder 469 registriert und bis zur Löschung durch
den nächsten Impuls CLR festgehalten.
In jedem Fall bilden die den 8 Bit-Halteschaltungen 460, 465, 469 zugeführten Markierungssignale MK A,
MKC, MKD und das dem Ausrichtzähler 464 zugeführte Markierungssignal MK B Datenfenster,
welche die Zeitabschnitte bestimmen, in denen das digitale Videosignal DlGVIDA auf das Vorhandensein
von weißen Bildelementen geprüft wird. Diese Markierungssignale, deren zeitlicher Verlauf in F i g. 5 dargestellt
ist, werden von den entsprechenden Ausgängen 504, 506, 508, 510 der Markierungsgeneratorschaltungen
501, 502 im Markierungsgenerator 500 (Fig. 10) abgenommen.
F i g. 9 zeigt die Vorschubsteueranordnung 14. Sie hat vier Gruppen mit je fünf Eingängen, die an die
Ausgänge der Ausrichtzähler 46.?, 464, 468, 472 angeschlossen sind und deren Ausgangssignale empfangen.
Die Vorschubsteueranordnung 14 ermittelt aufgrund der Signale COR A, COR B, COR C, COR D die
Richtung der durchzuführenden Korrekturverschiebung des Kreuztisches 2 und erzeugt aufgrund der Zahlenwerte, die durch eine oder zwei der Signalgruppen AA,
AB, AC; BA, BB, BC; CA, CB, CC; DA. DB, DC angegeben sind, die Steuersignale, die über die
Ausgangsleitungen 15, 16 an den Ä"-Motor 3 und/oder K-Motor 4 angelegt werden und veranlassen, daß diese
die erforderliche Anzahl von Verstellschritten in richtigen Drehsinn ausführen. Ferner sind die Eingänge
gezeigt, an denen die Vorschubsteueranordnung t4 das Ausgangssignal DOT des Farbfleckdetektors 650
(Fig. 11), das Ausgangssignal BAR des Chipdetektors
750 (Fig. 12) und das Ausgangssignal EOS des Ende-Detektors 800 (Fig. 13) empfängt An einem
weiteren Eingang wird der Vorschubsteueranordnung 14 das Signal TOP zugeführt, das bewirkt, daß die
Vorschubsteueranordnung 14 nur während des für die Markierung und Analyse ausgewählten Teilbildes in
jedem vollständigen Fernsehbild arbeitet Femer ist die
ίο Einstellvorrichtung 17 für die Verstellungen JX und JY
gezeigt
Die vier Signale COR A, COR B, COR C und COR D
werden auch vier Eingängen eines Fehler-Detektors 480 zugeführt, der eine digitale Verknüpfung der Form
ERROR = CORA ■ CORB +
COR
C
COR
D
durchführt und ein entsprechendes Fehlersignal ERROR am Ausgang abgibt Dieses Fehlersignal erscheint
also, wenn die Markierungen A und B oder die Markierungen C und D gleichzeitig eine Korrektur
erfordern, was offensichtlich nicht zulässig ist Das Fehlersignal ERROR kann die Maschine stillsetzen und
einen Alarm für die Bedienungsperson auslösen.
Wenn die Vorschubsteueranordnung 14 ein Oberschreitungssignal AOVR, BOVR, COVR, DOVR empfängt,
löst sie einen Vorschub des Kreuztisches 2 um die Strecke JX {Fig. 2) ans, um den nächsten Chip in die
Ausrichtstellung zu bringen. Wenn bei einer festgelegten Anzahl von aufeinanderfolgenden Chips (beispiels-
weise fünf) ein Überschreitungssignal auftritt wird gleichfalls die Maschine stillgesetzt und ein Alarm
ausgelöst Diese Maßnahme erweist sich als zweckmäßig, weil ein Überschreitungszustand oft nur bei
einzelnen Chips besteht; die Anzahl von Maschinenstillständen kann dadurch wesentlich verringert werden.
Der in Fig. 10 dargestellt: Markierungsgenerator
Der in Fig. 10 dargestellt: Markierungsgenerator
500 enthält eine A/B-Markierungsgeneratorschaltung
501 und eine C/D-Markieningsgeneratorschaltung 502.
Die A/B-Markierungsgeneratorschaltung 501 empfängt an fünf Eingängen die folgenden Signale:
AB-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 453,
Fig. 8)
CD-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 457, Fig.8)
PEG A (vom Ausgang 430 der C/D-Halteschaltung
CD-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 457, Fig.8)
PEG A (vom Ausgang 430 der C/D-Halteschaltung
429, F ig. 7)
PECT (vom Ausgang 450 des Bildeleir.entadreßzäh-
PECT (vom Ausgang 450 des Bildeleir.entadreßzäh-
lers456,Fig.8)
LNCT (vom Ausgang 455 des Zeilenadreßzählers
LNCT (vom Ausgang 455 des Zeilenadreßzählers
452, F ig. 8).
Aus diesen Signalen werden durch digitale Verknüpfungen Signale gebildet, die in jeder zweiten Teilbildzeile
der durch das Signal LNCT definierten Teilbildabschnitte zwischen den Koordinaten X 2 (Ende von
PfCTl) und X9 (Ende von PEG A) den hohen Signalwert (weiß) haben. Wenn das an einen ersten
Steuereingang 503 angelegte Signal LNG A den hohen Signalwert hat werden die durch die Verknüpfung
erhaltenen Signale nur an einem ersten Ausgang 504 abgegeben; an diesem Ausgang werden also die
Markierungssignale MK A erhalten. Wenn das an einen zweiten Steuereingang 505 angelegte Signal LNC B
den hohen Signalwert hat werden die durch die Verknüpfung erhaltenen Signale nur an einem zweiten
Ausgang 506 abgegeben; an diesem Ausgang werden somit die Markierungssignale MK Serhalten.
Die C/ö-Markierungsgeneratorscnaiiung 502 emp-
fängt an fünf Eingängen die folgenden Signale:
CD-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 457,
Fig. 8)
AB-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 453,
AB-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 453,
Fig.8)
LNCA (vom Ausgang 427 der A/B-Halteschaltung
426, F i g. 7)
LNCT (vom Ausgang 455 des Zeilenadreßzählers
LNCT (vom Ausgang 455 des Zeilenadreßzählers
452, Fig.8)
PECT (vom Ausgang 459 des Bildelementadreßzählers456,Fig.8).
PECT (vom Ausgang 459 des Bildelementadreßzählers456,Fig.8).
Aus diesen Signalen werden durch digitale Verknüpfungen Signale gebildet, die in jeder Teilbildzeile des
zwischen den Koordinaten V2 (Ende von LNCTi) und
K9 (Ende von LNG A) liegenden Teilbildabschnitts bei
jedem Taktimpuls der Taktimpulsgruppen CD-CLK den hohen Signalwert (weiß) haben. Wenn das an einen
ersten Steuereingang 507 angelegte Signal PEG A den hohen Signalwert hat, werden die durch die Verknüpfung
erhaltenen Signale nur an einem ersten Ausgang 508 abgegeben; an diesem Ausgang werden also die
Markierungssignale MK Cerhalten. Wenn das an einen zweiten Steuereingang 509 angelegte Signal PEG B den
hohen Signalwert hat, werden die durch die Verknüpfung erhaltenen Signale an einem zweiten Ausgang 510
abgegeben; an diesem Ausgang werden somit die Markierungssignale MK Derhalten.
Die Ausgänge 504, 506, 508, 510 der beiden Markierungsgeneratorschaltungen 501, 502 sind mit jo
vier Eingängen einer Oder-Schaltung 511 verbunden, die an einem fünften Eingang das Markierungssignal
MK E (vom Ausgang der Farbfleck-Ablaufsteuerschaltung 600 [Fig. 11]) empfängt. Am Ausgang der
Oder-Schaltung 511 wird somit ein zusammengesetztes Markierungssignal MKA-E erhalten, das über den
Video-Wähler und -Mischer 100 an den Monitor 10 zur Wiedergabe der Markierungslinien A, B, C, D und des
Markierungsfeldes Eangelegt werden kann.
Der Ausgang 604 ist mit den Voreinstelleingängen eines Zeilenzählers 607 und eines Bildelementzählers
608 verbunden. Der Zeilenzähler 607 empfängt an seinem Takteingang die Zeilensynchronimpuise LN, und
der Bildelementzähler 608 empfängt an seinem Takteingang die Bildelementimpulse PE. Der Adressiereingang
605 und der Abfrageeingang 606 des Speichers 603 sind mit zwei Ausgängen einer Speicheradressier- und
Abfrageschaltung 609 verbunden, die an zwei Auslöseeingär.gen die Signale LNCT und PECT und an zwei
Freigabeeingängen die Signale LNGA und PEGA
empfängt. Zwei weitere Auslöseeingänge der Speicheradressier- und Abfrageschaltung 609 sind mit dem
Ausgang 610 des Zeilenzählers 607 bzw. dem Ausgang 611 des Bildelementzählers 608 verbunden, und zwei
weitere Ausgänge der Speicheradressier- und Abfrageschaltung 609 sind mit den Voreinstellsteuereingängen
der beiden Zähler 607,608 verbunden.
Die beschriebenen Schaltungen 603,607,608,609 sind
den Schaltungen 403, 407, 408 bzw. 419 von Fig. 7 gleich, und sie sind in sehr ähnlicher Weise wie diese eo
miteinander verbunden. Auch die Wirkungsweise ist im wesentlichen die gleiche. Es bestehen lediglich folgende
Unterschiede: Die erste Eingabe eines Speicherworts in den Zeilenzähler 607 wird in jedem Teilbild durch das
Signal LNCT während des Bestehens des Signals LNG A ausgelöst, und dieses Speicherwort gibt die
Anzahl der von der Hinterflanke des Signals LNCTbh Zeilenzähler 607 zählt von dieser voreingestellten Zahl
rückwärts und gibt beim Erreichen des Zählerstandes NuIi am Ausgang 610 einen Impuls EMLN X ab. Dieser
Impuls gibt also die der Koordinate Y5 entsprechende Teilbildzeile an, in der die obere Begrenzung des
Markierungsfeldes E liegt Der gleiche Impuls wird einem Auslöseeingang der Speicheradressierungs- und
Abfrageschaltung 609 zugeführt und löst die Eingabe des zweiten Speicherworts in den Zeilenzähler 607 aus,
das die Anzahl der zwischen den Koordinaten K5 und Y6 zu zählenden Teilbildzeilen angibt. Der Zeilenzähler
607 zählt von dieser neuen Voreinstellung an rückwärts und gibt beim Erreichen des Zählerstandes Null am
Ausgang 610 einen weiteren Impuls EMLN2 ab, der die Teilbildzeile mit der Koordinate V6 angibt, in der die
untere Begrenzung des Markierungsfeldes fliegt.
In entsprechender Weise wird in jeder Teilbildzeile die Eingabe eines dritten Speicherworts in den
Bildelementzähler 608 durch das Signal PECTwährend
des Bestehens des Signals PECA ausgelöst, wobei
dieses Speicherwort die Anzahl der vom Ende des Signals PECT bis zur Koordinate X 5 zu zählenden
Bildelemente angibt. Beim Erreichen des Zählerstandes Null gibt der Bildelementzähler 608 am Ausgang 611
einen Impuls EMPEX ab, der mit der Koordinate X5
zusammenfällt und somit der linken Begrenzung des Markierungsfeldes E entspricht. Dieser Impuls löst die
Eingabe des vierten Speicherworts in den Bildelementzähler 608 aus, das die Anzahl der zwischen den
Koordinaten λ" 5 und X 6 zu zählenden Bildelemente
angibt. Beim Erreichen des Zählerstandes Null gibt der Bildelementzähler 608 einen weiteren Impuls EMPE 2
ab, der somit der rechten Begrenzung des Markieruiigsfeldes
f entspricht. Diese Operation wiederholt sich in jeder TeilbildVeile während des Bestehens des Signals
LNG A.
Es ist zu beachten, daß die beschriebenen Vorgänge in jedem Teilbild ablaufen, also nicht nur in jedem zweiten,
durch das Signal TOPausgewählten Teilbild.
Die beschriebene Maßnahme, die Zeilen- und Bildelemente von den Signalen LNCT bzw. PECT
anstatt vom Teilbildanfang und Zeilenanfang an zu wählen, ergibt den Vorteil, daß die im Speicher
aufzuzeichnenden Wörter für jeden Chip-Typ ein für allemal festgelegt werden können, unabhängig von der
Lage der Markierungen auf dem Fernsehbild. Es ist daher möglich, die Markierungen auf dem Fernsehbild
nach Wunsch zu verschieben, ohne daß dabei die Speicherwörter für das Markierungsfeld f verändert
werden müssen.
Die Ausgänge 610 und 611 des Zeilenzählers 607 bzw.
des Bildelementzählers 608 sind mit den beiden Eingängen 613,614 eines E-Markierungsgenerators 612
verbunden. Dieser isi so ausgebildet, daß er durch jeden dem Eingang 613 zugeführten Impuls EMLNX in die
Arbeitsstellung gebracht und durch jeden Impuls EMLN2 in die Ruhestellung zurückgestellt wird. In der
Arbeitsstellung bringt jeder an den Eingang 614 angelegte Impuls EMPEX das Ausgangssignal am
Ausgang 615 auf den hohen Signalwert (weiß), der auch nach dem Aufhören des Impulses EMPEX bestehen
bleibt, und jeder Impuls EMPE2 stellt das Ausgangssignal wieder auf den niedrigen Signalwert zurück. F i g. 5
läßt unmittelbar erkennen, daß die auf diese Weise am Ausgang 615 erhaltenen Signale die Markierungssignale
MK E sind. Diese werden einerseits dem Eingang des Farbfleckdetektors 650 zugeführt und andererseits zu
vier \_/\jcr-oCiiaiiUMg j»* ΐϊτϊ !»iSrixicrurigsgCMCraiGr ~»w
(Fig. 10) übertragen.
De» Farbfleckdetektor 650 enthält eine Farbfleckprüfschaltung 652, die an einem Eingang 653 die
Markierungssignale MK £f empfängt, an einem weiteren
Eingang 654 die digitalen Videosignale DIGVID B und an einem dritten Eingang 655 die Bildelementimpulse
PE. Die Farbfleckprüfschaltung 652 nimmt eine Und-Verknüpfung der drei Eingangssignale vor, wobei
das digitale Videosignal DIGVIDB am Eingang 654 invertiert wird. Sie gibt somit an ihrem Ausgang 656 für
jeden im Verlauf der Markierungssignale MK E zugeführten Impuls PE einen Ausgangsimpuls ab, wenn
gleichzeitig das digitale Videosignal DlGVIDB den niedrigen Signalpegel (schwarz) hat Die Ausgangsimpulse
der Farbfleckprüfschaltung 652 entsprechen somit den im Markierungsfeld E enthaltenen schwarzen
Bildelementen des mittels des Signais DiGVIDB
dargestellten digitalen Videobildes.
Der Ausgang 656 der Farbfleckprüfschaltung 652 ist mit dem Eingang eines Impulsfrequenzteilers 657 1»
verbunden, dessen Teilerfaktor mittels einer Einstellvorrichtung 658 auf verschiedene Werte einstellbar ist,
beispielsweise auf die Werte 1 :1, 5 :1, 10 :1, 50 :1. An
den Ausgang des Impulsfrequenzteilers 657 ist ein Zähler 659 angeschlossen; dieser zählt somit die Anzahl
der im Markierungsfeld E vorhandenen schwarzen Bildelemente des Signals DIBVID B, geteilt durch den
eingestellten Teilerfaktor des Impulsfrequenzteilers 657.
Die Stufenausgänge des Zählers 659 sind mit der einen Eingangsgruppe eines Komparators 660 verbun- jo
den, an dessen anderer Eingangsgruppe eine beliebige Binärzahl mit Hilfe der Einstellvorrichtung 651 eingestellt
werden kann. Sobald der Komparator 660 die Gleichheit des im Zähler 659 erreichten Zählerstands
mit der eingestellten Zahl feststellt, gibt er am Ausgang 661 ein Signal ab, das eine Farbfleckhalteschaltung 662
in den Arbeitszustand einstellt. Die Farbfleckhalteschaltung 662 bleibt im Arbeitszustand, bis sie durch den
nächsten Impuls CLR in den Ruhezustand zurückgestellt wird, und sie gibt im ArbeitszustKnd an ihrem
Ausgang das Signal DOT ab, das das Vorhandensein eines Farbflecks auf dem geprüften Chip anzeigt. Der
Zähler 659 wird jeweils durch das Signal TOP freigegeben und bei dessen Beendigung auf Null
zurückgestellt. 4r>
Die Empfindlichkeit des Farbfleckdetektors kann durch Einstellung des Teilerfaktors des Impulsfrequenzteilers
657 mittels der Einstellvorrichtung 658 eingestellt werden. Die Einstellung der Schwellenzahl mittels der
Einstellvorrichtung 651 erfolgt in Anpassung an die zu w erwartenden Größenschwankungen der Farbflecke so,
daß die Anzahl der gezählten schwarzen Bildelemente auch beim kleinsten vorkommenden Farbfleck mit
Sicherheit über der Schwellenzahl liegt.
Fig. 12 zeigt die Chip-Erkennungsschaltung mit der v,
Chip-Ablaufsteuerschaltung 700 und dem Chip-Detektor 750. Er enthält zwei Schaltungsgruppen, die den
gleichen Aufbau und die gleiche Funktionsweise wie die aus den Schaltungen 603, 607, 608 und 609 von F i g. 11
bestehende Schaltungsgruppe haben. Die erste Schal- wi
tungsgruppe besteht aus dem Speicher 703, dem Start-Zeilenzähler 704, dem Start-Bildelementzähler
705 und der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 706. Die zweite Schaltungsgruppe besteht aus dem Speicher
71 J, dem Stop-Zeilen/iihlcr 714, dem Stop-Bildelement- μ
zähler 715 und der Speicheradrcssier- und Aufrufschaltiing
716. Ein Unterschied in der Funktionsweise ergibt sich lediglich aus der Bedeutung der Wörter, die mittels
der Eingabevorrichtung 702 am Eingang 701 in die Speicher 703 und 713 eingegeben werden:
Das erste Speicherwort des Speichers 703, das in jedem Teilbild unter Steuerung durch die Signale
LNG A und LNCTzur Voreinstellung in den Start-Zeilenzähler
704 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstands Null die Abgabe eines
Impulses FMLNXA am Ausgang 707 des Zählers 704;
dieser Impuls (F i g. 5) definiert die Koordinate Y3 der
oberen Begrenzung der Markierungsfelder F1 und FZ
Das zweite Speicherwort des Speichers 703, das in jedem Teilbild unter Steuerung durch den Impuls
FMLNXA zur Voreinstellung in den Start-Zeilenzähler
704 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstandes Null die Abgabe eines Impulses
FMLNXB am Ausgang 707; dieser Impuls (Fig.5) definiert die Koordinate Yl der oberen Begrenzung
der Markierungsfelder F3 und F 4.
Das dritte Speächerwort des Speichers 703, das in jeder Teilbildzeile unter Steuerung durch die Signale
PEG A und PECTzur Voreinstellung in den Start-Bildelementzähler
707 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstandes Null die Abgabe eines
Impulses FMPEXA am Ausgang 708 des Zählers 705; dieser Impuls definiert die Koordinate X 3 der linken
Begrenzung der Markierungsfelder F1 und F3.
Das vierte Speicherwort des Speichers 703, das in jeder Teilbildzeile unter Steuerung durch das Signal
FMPEXA zur Voreinstellung in den Start-Bildelementzähler
705 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstandes Null die Abgabe eines Impulses
FMPEXBum Ausgang 708; dieser Impuls definiert die
Koordinate X 7 der linken Begrenzung der Markierungsfelder F2und F4.
Das erste Speicherwort des Speichers 713, das in jedem Teilbild unter Steuerung durch die Signale
LNG A und LNCT zur Voreinstellung in den Stop-Zeilenzähler
714 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstandes Null die Abgabe eines
Impulses FMLN2A am Ausgang 717 des Zählers 714; dieser Impuls definiert die Koordinate K 4 der unteren
Begrenzung der Markierungsfelder Fl und F2.
Das zweite Speicherwort des Speichers 713, das in jedem Teilbild unter Steuerung durch den Impuls
FMLN2A zur Voreinstellung in den Stop-Zeilenzähler
714 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstandes Null die Abgabe eines Impulses
FMLN2B am Ausgang 717; dieser Impuls definiert die Koordinate V8 der unteren Begrenzung der Markierungsfelder
F3 und F4.
Das dritte Speicherwort des Speichers 713, das in jeder Teilbildzeile unter Steuerung durch die Signale
PEG A und PETCzur Voreinstellung in den Stop-Bildelementzähler
715 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstandes Null die Abgabe eines
Impulses FMPE2A am Ausgang 718 des Zählers 715; dieser Impuls definiert die Koordinate X4 der rechten
Begrenzung der Markierungsfelder F1 und F3.
Das vierte Speicherwort des Speichers 713, das in jeder Teilbildzeile unter Steuerung durch den Impuls
FMPE2A zur Voreinstellung in den Stop-Bildelcmcntzählcr
7)5 eingegeben wird, verursacht beim Erreichen des Zählerstandes Null die Abgabe eines Impulses
f-'MPE21) am Ausgang 718; dieser Impuls definiert die
Koordinate X8 der rechten Begrenzung der Markierungsfelder
/'2 und F4.
Die Ausgänge 707, 708, 717, 718 der vier /äliler 704,
705, 714, 715 sind mit l'ingiingen eines I Markieriings-
3fr
generators 720 verbunden, der außerdem an weiteren
Eingängen die Signale LNG A, LNTC, LN, PEGA, PECT, PE empfängt, die als Steuersignale bei der
Bildung der Markierungssignale MK Fbimötigt werden.
Die Funktionsweise des F-Markierungsgenerators 720 läßt sich vereinfacht wie folgt beschreiben: Der
F-Markierungsgenerator wird durch jeden Impuls FMLN \ (FMLNtA oder FMLN IB) in einen Arbeitszustand
gebracht und durch jeden Impuls FMLN 2 (FMLN2A oder FMLN2B) in den Ruhezustand
zurückgestellt Im Ruhezustand bleibt das Ausgangssignal am Ausgang 721 stets auf dem niedrigen Signalwert
(schwarz). Im Arbeitszustand bringt jeder Impuls FMPE1 (FAfPfT IA oder FMPE1 ßjdas Ausgangssignal
auf den hohen Signalwert, den es auch nach dem Aufhören des Impulses FMPEX behält, und jeder
Impuls FMPE2 (FMPE2A oder FMPE2B) stellt das Ausgangssignal wieder auf den niedrigen Signalwert
zurück. Es ist unmittelbar zu erkennen, d.-ß die auf diese Weise am Ausgang 721 des F-Markierungsgenerators
720 erhaltenen Signale die gewünschten Markierungssignale MK F darstellen. Diese Signale werden einerseits
dem Video-Wähler und -Mischer 100 (Fig.6) zur
Wiedergabe der Markierungsfelder Fl bis F4 auf dem
Bildschirm zugeführt und andererseits an den Eingang 2s
des Chip-Detektors 750 angelegt
Der Chip-Detektor 750 enthält eine Chip Prüfschaltung
752, die an einem Eingang die Markierungssignale MK F und an einem weiteren Eingang das digitale
Videosignal DIG VID A empfängt An weitere Eingänge der Chip-Prüfschaltung 752 werden die Bildelementimpulse
PE und das Signal TOP angelegt. Die Chip-Prüfschaltung
752 nimmt eine Und-Verknüpfung ihrer Eingangssignale vor; sie liefert somit in jedem durch das
Signal TOP ausgewählten Teilbild während des Bestehens eines Markierungssignals MK F für jeden
Bildelementimpuls PE einen Ausgangsimpuls, wenn gleichzeitig das digitale Videosignal DIGVIDA einen
hohen Signalwert (weiß) hat Die von der Chip-Prüfschaltung 752 abgegebenen Impulse entsprechen also
der Anzahl der weißen Bildelemente, die in den von den Markierungsfeldern Fl bis F4 bedeckten Eckbereichen
des mittels des Signals DIGVIDA wiedergegebenen
digitalen Videobildes vorhanden sind.
Die Ausgangsimpulse der Chip-Prüfschaltung 752 werden einem Impulszähler 753 zugeführt, der durch
das Signal TOP in den für die Markierung und Analyse ausgewählten Teilbildern freigegeben und bei Beendigung
dieses Signals auf Null zurückgestellt wird. Der Impulszähler 753 hat mehrere Ausgänge, an denen er so
beim Erreichen bestimmter Zählerstände einen Impuls abgibt; beispielsweise kann ein Ausgang dem Zählerstand
50, ein weiterer Ausgang dem Zählerstand 250 und ein dritter Ausgang dem Zählerstand 2500 entsprechen.
Mittels der Einstellvorrichtung 751 kann wahlweise « einer dieser Ausgänge mit dem Eingang einer
Chip-Halteschaltung 754 verbunden werden, die durch den Ausgangsimpuls des Impulszählers 753 in die
Arbeitsstellung gebracht wird, die sie beibehält, bis sie durch den nächsten Impuls CLR in den Ruhestand w>
zurückgestellt wird. Im Arbeitszustand gib! die Chip-Halteschaltung
754 an ihrem Ausgang ein Signal BAR ab. Das Signal HAR zeigt somit an, daß clic Gesamtzahl
tier weißen Bildelemente in ilen den vier Markierungsfeldern Fl bis F4 entsprechenden Ixkbereiehen des ti'>
digitalen Videobildes die mittels der Einstellvorrichtung 751 eingestellte Schwelleivahl überschritten hat; diese
Tatsache wird als Kriterium ilafür anirescheii. dal) ein
vollständiger Chip vorhanden ist. Wenn nach der vollständigen Analyse des Teilbildes das Signal BAR
fehlt, bedeutet dies, daß der Chip beschädigt ist oder fehlt Wie zuvor erläutert wurde, bewirkt in diesem fall
die Vorschubsteueranordnung 14 das Aufsuchen eines neuen Chip durch Fortschaltung in der X- oder
V-Richtung.
Fig. 13 zeigt den Ende-Detektor 800. Dieser enthält
eine Ende-Prüfschaltung 802, die an einem Eingang die digitalen Videosignale DIGVIDA, an einem zweiten
Eingang die Bildelementimpulse P£ und an einem dritten invertierenden Eingang die Zeilensynchronimpulse
LN empfängt. Sie nimmt eine Und-Verknüpfung ihrer Eingangssignale vor, so daß sie für jeden Impuls
PE einen Impuls am Ausgang abgibt, wenn gleichzeitig das digitale Videosignal DIGVID A den hohen Signalwert (weiß) hat. Die Ausgangsimpulse der Ende-Prüfschaltung
802 entsprechen also der Gesamtzahl der weißen Bildelemente, die in dem gesamten digitalen
Videobild vorhanden sind, das mittels des Signals DIGVIDA wiedergegeben wird Diese Impulse werden
in einem Impulszähler 803 gezählt, der mehrere Ausgänge hat, an denen er beim Erreichen bestimmter
Zählerstände einen Impuls abgibt; beispielsweise kann ein Ausgang dem Zählerstand 2500 und ein weiterer
Ausgang dem Zählerstand 12 500 entsprechen. Der Impulszähler 803 wird durch das Signal TOP in den für
die Markierung und Analyse vorgesehenen Teilbildern freigegeben und bei Beendigung dieses Signals auf Null
zurückgestellt. Mittels der Einstellvorrichtung 801 kann wahlweise einer seiner Ausgänge mit dem Eingang
einer Ende-Halteschaltung 804 verbunden werden, die durch den beim Überschreiten des gewählten Zählerstandes
abgegebenen Impuls in die Arbeitsstellung gebracht wird, die sie behält, bis sie durch den nächsten
Impuls CLR in den Ruhestand zurückgestellt wird. Im Ruhezustand gibt die Ende-Halteschaltung an einem
negierten Ausgang ein Signal EOS ab, das verschwindet, wenn sie in den Arbeitszustand geht. Das Vorhandensein
des Signals EOS am Ende der vollständigen Abtastung des Teilbildes bedeutet also, daß die
eingestellte Anzahl von weißen Bildelementen im gesamten Teilbild nicht vorhanden ist; diese Tatsache
wird als Kriterium dafür gewertet, daß alle Reihen von Chips auf dem Träger 50 durchlaufen worden sind und
nur noch die leere Unterlage 54 abgetastet wird. Aufgrund des Signals EOS bewirkt die Vorschubsteueranordnung
14 das Stillsetzen der Maschine, und sie alarmiert die Bedienungsperson, damit diese den
verbrauchten Träger 50 gegen einen neuen austauscht.
Fig. 11 zeigt ein genaueres Schaltbild des Video-Digitalisierers
200 und läßt erkennen, wie ein durch Spitzengleichrichtung des Videosignals erhaltenes Signal
dazu verwendet wird, die Schwellenspannungen so nachzuregeln, daß die digitalen Videosignale DIG-
VID A und DIGVID ßim wesentlichen unabhängig von
Intensitatsschwankungen des Videobildes sind, von welchem sie abgeleitet sind.
Fig. 12 zeigt ein genaueres Schaltbild des Zeilenzählers
407 von Fig. 7. Der Bildelementzähler 408 ist in gleicher Weise aufgebaut, jedoch rrut dem Unterschied,
daß die Eingangssignale Ζ.Λ'ιιηΰ FR von Fig. 12 durch
die Eingangssignalc PE bzw. LN ersetzt sind, und daß
anstelle der Ausgangssignale LNX\ und LN X 2 von Fig. 12 die Ausgangssignale PEXi bzw. PEX 2
abgegeben werden.
I·'i g. I i zeigt verschiedene Bestandteile der Blockschaltbilder
\ on I i y.7,M und 10. Von der ΛιΐΜ'κ Iit-Ab-
laufsteuerschaltung 400 von Fig. 7 ist die A/B-Halteschaltung
426 dargestellt, die durch ein Flip-Flop des Typs SN 7474 gebildet ist, das an seinen beiden
zueinander komplementären Ausgängen Q und Q die Signale LNGA bzw. LNGB abgibt. Die C/D-Halte- s
schaltung 429 ist in gleicher Weise mit einem Flip-Flop des Typs SN 74S74 aufgebaut und gibt die Signale
PEG A und PEG B ab.
Der Zeilenadreßzähler 452 enthält einen synchronen 4 Bit-Vorwärts-Rückwärts-Zähler des Typs SN 74193,
der an drei Ausgängen A, B, Cdie drei Adressenbits und an einem vierten Ausgang ÖWdas Signal LNCTabgibl.
Der Frequenzteiler 453 ist ein Flip-Flop des Typs SN 7474, dessen Takteingang CLK (Klemme 3) die
Zeiiensynchronimpulse LN empfängt und an dessen ti
Löscheingang C das Signal LNCT mit Invertierung angelegt ist. In entsprechender Weise enthält der
Bildelementadreßzähler 456 einen 4 Bit-Vorwärts-Rückwärts-Zähler des Typs SN 74 193, der an drei
Ausgängen A, B, Cdie drei Adressenbits und an einem vierten Ausgang BW das Signal PECT abgibt. Der
Frequenzteiler 457 ist ein Flip-Flop des Typs SN 74S74 das am Takteingang CLK die Bildelementimpulse PE
empfängt und an dessen Löscheingang das Signal PECT mit Invertierung angelegt ist.
Fig. 13 zeigt ferner die Markierungsgeneratorschaltung
501 und 502. Die A/B-Markierungsgeneratorschaltung 501 enthält zwei Flip-Flops des Typs SN 7474 und
zwei NAND-Schaltungen des Typs SN 7420; die eine NAND-Schaltung empfängt an einem Eingang das
Signal LNG A und gibt am Ausgang (nach Invertierung) die Markierungssignale MK A ab, und die andere
NAND-Schaltung empfängt an einem Eingang das Signal LNG Bund gibt am Ausgang (nach Invertierung)
die Markierungssignale MK B ab. Die C/D-Markierungsgeneratorschaltung 502 enthält ebenfalls zwei
Flip-Fiops des Typs SN 74S74 und zwei NAND-Schaltungen des Typs SN 74S20; die eine NAND-Schaitung
empfängt an einem Eingang das Signal PEG A und gibt am Ausgang (nach Invertierung) die Markierungssignale
MK Cab, und die andere NAND-Schaltung empfängt
an einem Eingang das Signal PEG B und gibt am Ausgang (nach Invertierung) die Markierungssignale
MAC Dab.
Ferner ist in F i g. 13 die Oder-Schaltung 511 des Typs
SN 4931 gezeigt, welche die Markierungssignale MK A, MK B, MK C, MK D, MK E empfängt und daraus das
zusammengesetzte Markierungssignal MK A — Ebildet.
Die Fig. 14A und 14B zeigen weitere Bestandteile des Ausricht-Detektors 450 von Fig. 8. Die 8 Bit-Halteschaltung
460 ist durch eine Schaltung des Typs Am93L34 (= SN 74259) in Verbindung mit einem die
Verriegelung bewirkenden »8 zu !«-Multiplexer des Typs SN 74151 gebildet; ein zweiter »8 zu !«-Multiplexer
des Typs SN 74151 bildet die Abfrageschaltung 461. Der A-Ausrichtzähler 463 enthält einen 4 Bit-Zähler des
Typs SN 74193 und die zugehörige Eingangs-Verknüpfungsschaltung.
Der B-Ausrichtzähler 464 enthält gleichfalls einen 4 Bit-Zähler des Typs SN 74193 und die
zugehörige Eingangs-Verknüpfungsschaltung; er empfängt außerdem unmittelbar die digitalen Videosignale
DIGVIDA. Die 8 Bit-Halteschaltung 465 ist wieder durch eine Schaltung des Typs Am 93L34 (= SN 74259)
in Verbindung mit einem »8 zu !«-Multiplexer SN74S151 gebildet; ein zweiter »8 zu !«-Multiplexer
SN74S151 bildet die Abfrageschaltung 466. Der C-Ausrichtzähler 468 enthält einen 4 Bit-Zähler
SN 74193 und die zugehörige Eingangs-Verknüpfungsschaltung, die an einem zusätzlichen Eingang 473 das
Signal S1 empfängt Die 8 Bit-Halteschaltung 469 ist
ebenfalls durch eine Schaltung des Typs Am 93L34 (= SN 74259) in Verbindung mit einem »8 zu !«-Multiplexer
74S151 gebildet, der in diesem Fall zugleich als Abfrageschaltung 470 dient, was möglich ist, weil die
Reihenfolge der Verbindungen zwischen der 8 Bit-Halteschaltung und der Abfrageschaltung nicht umgekehrt
ist. Der D-Ausrichtzähler 472 enthält einen 4 Bit-Zähler SN 74 193 und die zugehörige Eingangsverknüpfungsschaltung,
die an einem zusätzlichen Eingang 474 das Signal 52 empfängt Die vier Ausrichtzähler des Typs
SA/74193 liefern jeweils an den drei Ausgängen A, B, C
die den Zählerstand anzeigende Signalkombination und am Ausgang BW das Signal CORA, CORB, CORC
bzw. COR D.
Hierzu 15 Blatt Zeichnungen
Claims (22)
1. Vorrichtung zum Ausrichten eines auf einem in zwei Achsrichtungen einstellbaren Träger im Blickfeld
einer Fernsehkamera angeordneten Objekts in bezug auf eine bekannte Bezugsposition, wobei die
Fernsehkamera eine Fläche des Objekts und einen das Objekt umgebenden Randbereich in einem
Zeilenraster abtastet und elektrische Videosignale erzeugt, die einem Bild des abgetasteten Bereichs
entsprechen, mit einer Digitalisieruagsanordnung, welche die Videosignale empfängt und daraus
digitale Videosignale mit zwei Signalwerten bildet, die für die vom Objekt stammenden Videosignale
überwiegend einen ersten Signalwert und für die vom Randbereich stammenden Videosignale den
zweite» Signalwert haben, Analyseanordnungen zur
Analyse der digitalen Videosignale in Datenfenstergruppen, die der einen bzw. der anderen Achsrichtung
zugeordnet sind und örtlichen Bereichen des Fernsehbildes entsprechen, welche eine definierte
Lage in bezug auf Kanten des Bildes des Objekts haben, wenn dieses auf die Bezugsposition ausgerichtet
ist, und mit einer Steueranordnung, die aufgrund der Ausgangssignale der Analyseanordnungen
die Verstellung des Trägers des Objekts so steuern, daß das Objekt auf die Bezugsposition
ausgerichtet wird, dadurch gekennzeichnet,
daß die Datenfenster (MK A 0 bis MK A 7; MKBQ bis MKBT; MKCO bis MKCT; MKDO
bis MKDl) jeder Datenfenstergruppe (MKA,
MK B, MK Q MK D) getrennten Bereichen (-4 0 bis AT; BO bis BT; CO bis CT; DO bis DT) des
Videobildes entsprechen, die vorbestimmte Abstände voneinander in der zugeordneten Achsrichtung
(X, Y)aer Verstellung des Trägers (2) haben, daß die
Analyseanordnungen (450) auf das Erscheinen von digitalen Videosignalen (DIGVIDA) des ersten
Signalwerts in jedem Datenfenster (MK A 0 bis MKAT; MK BO bis MKBT; MK CO bis MK CT;
MKDO bis MKDT) ansprechen und für jede
Datenfenstergruppe (MKA, MKB, MKC, MKD)
Ausgangssignale (AA, AB, AC; BA, BB, BC; CA, CB, CC; DA, DB, DC) liefern, welche die Anzahl der in
ununterbrochener Reihenfolge von der Innenseite des Videobildes des Objektes nach außen vorhandenen
Datenfenster angeben, in deren Verlauf der Anteil an digitalen Videosignalen des ersten
Signaiwerts einen vorbestimmten Mindestwert überschreitet, und daß die Steueranordnung (14) die
Stellung des Trägers (2) um einen von den Ausgangssignalen der Analyseanordnungen (450)
nach Größe und Richtung abhängigen Betrag in der zugeordneten Achsrichtung verändert.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Monitor (10) für die Sichtbarmachung
des Videobildes, das durch die von der Fernsehkamera (6) erzeugten Videosignale dargestellt ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Steueranordnung (14) die
Stellung des Trägers (2) in Schritten vorbestimmter Größe verstellt, die in vorbestimmter Beziehung zu
der Größe der vorbestimmten Abstände der Datenfenster (MKAO bis MKA 7; MKBO bis «
MK B7; MK CO bis MK C7; MK DO bis MK D7)
stehen.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die den Datenfenstergruppen
(MK A, MK B, MK C, MK D) entsprechenden Videobildbereiche (A, B, C, D) eine Fläche
abgrenzen, die den Abmessungen des Videobildes des Objekts (1; 52) derart entspricht, daß das Objekt
genau ausgerichtet ist, wenn sein Videobild Innerhalb
der Fläche liegt
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die den Datenfenstergruppen (AiJt A,
MK B, MK C MK D) entsprechenden Videobildbereiche (A, B, C, D) einen die Fläche umschließenden
Rahmen bilden.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die den Datenfenstergruppen
(MK A, MK B, MK C, MK D) entsprechenden Videobildbereiche Gruppen (A, B, C, D) von
parallelen Linien (A 0bis A 7; BObis B7; CObis C7;
DO bis D 7) sind, die paarweise parallel zu der einen
bzw. der anderen Achsrichtung zu beiden Seiten des Objektes liegen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch Generatorschaltungen (500) zur Erzeugung
von Markierungssignalen (MK A 0 bis MK A 7; MK BO bis MK B7; MK CO bis MK C7; MKDO
bis MK D 7), die als Datenfenster an die Analyseanordnung (450) angelegt werden und bei überlagerung
über die von der Fernsehkamel a (6) gelieferten Videosignale Markierungslinien (A 0 bis A 7; BO bis
B7; CG bis C7; DO bis D7) wiedergeben, die den
parallelen Linien entsprechen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Generatorschaltungen (500) zwei
erste Gruppen (MK A, MK B) von Markierungssignalen (MKAO bis MK A 7; MKBO bis MK B 7)
erzeugen, die sich jeweils über gleiche Abschnitte von Fernsehzeilen erstrecken und die Wiedergabe
von horizontalen Markierungslinien (A 0 bis A 7; BO bis BT) im Videobild ergeben, und zwei zweite
Gruppen (MK C, MK D) von Markierungssignalen (MKCO bis MK C 7; MK DO bis MKDT), die in
zwei Abschnitten jeder Fernsehzeile in Abständen liegende Impulse enthalten und die Wiedergabe von
vertikalen Markierungslinien (CO bis CT; DO bis D T) im Videobild ergeben.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer mit Zeilensprung
arbeitenden Fernsehkamera (6) die Markierungssignalgruppen (MK A, MK B, MK C. MK D) nur in
einem ausgewählten Teilbild jedes vollständigen Fernsehbildes erzeugt werden.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Synchrontrennstufe
(300), welche die Ausgangssignale der Fernsehkamera (6) empfängt, und an zwei getrennten
Ausgängen die Teilbildsynchronimpulse (FR) und die Zeilensynchronimpulse (LN) liefert, und
durch einen Impulsgenerator (11), der durch die Zeilensynchronimpulse derart synchronisiert ist, daß
er im Verlauf der Abtastung jeder Fernsehzeile eine Folge von Bildelementimpulsen (PE) liefert, deren
Frequenz groß gegen die Zeilenfrequenz ist und die definierte zeitliche Lagen in bezug auf den
entsprechenden Zeilensynchroniinpuls (LN)haben.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet
durch eine Ablaufsteuerschaltung (400), welche die Teilbildsynchronimpulse (FR), die Zeilensynchronimpulse
(LN) und die Bildelementimpulse (PE) empfängt und in der Zahlenwerte einstellbar sind
(bei 401,402), welche die Lage und Ausdehnung der
Datenfenster (MKAO bis MKAl; MKBO bis
MKBl; MK CO bis AiA: Cl; MK DO bis MKDl)
kennzeichnen, und welche durch Abzählung von Zeilensynchronimpulsen (LN) und Bildelementimpulsen
(PE) Steuersignale (WXX, LNX2, PEXi,
PEX 2, LNG A, LNG B, PEG A, PEG Bj erzeugt, die
durch die eingestellten Zahlenwerte bestimmte zeitliche Lagen und Ausdehnungen in jedem Teilbild
bzw. jeder Teilbildzeile haben. ι ο
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuersignale (LNXt,
LNX2, PEXX, PEX2, LNGA, LNGB, PEGA,
PEGB) an die Generatorschaltungen (500) zur Steuerung der Erzeugung der Markierungssignale
(MKA 0 bis MKA1; MK BO bis MK Bl; MK CO
bis MK C 7; MK D 0 bis MK D 7) angelegt sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet
durch einen Ausrichtdetektor (450), der die Steuersignale (LNXX, LNX2, PEXX, PEX2,
LNG A, LNG B, PEG A, PEG B), die Markierungssignale (MKAO bis MKAl; MKBO bis MKBl; MKCO bis MKCl; MKDO bis MKDl) und die
digitalen Videosignale (DlGVlDA) empfängt und Analyseschaltungen (460,461,463,464,465,466,468,
469, 470, 472) enthält, die durch die Markierungssignale (MK AO bis MKAl; MKBO bis MKBl; MKCO bis MKCl; MKDO bis MK Dl) einer
zugeordneten Markierungssignalgruppe (MK A, MKB, MKC, MKD) zur Analyse der digitalen to
Videosignale(DIGVID A)freigegeben werde;;.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens die einigen Markierungssignalgruppen
(MKA, MKB, MKC, MKD)
zugeordneten Analyseschaltungen eine Halteschaltung (460, 465, 469) enthalten, die für jedes einer
Markierungslinie (AO bis Al; CO bis Cl; DO bis Dl) entsprechende Markierungssignal (MK A 0 bis
MK A 7; MK CO bis MK Cl; MKDQ bis MK D1)
eine Haltestufe aufweist, die in einen vorbestimmten <to
Zustand gebracht wird, wenn der Anteil des ersten Signalwerts in den digitalen Videosignalen (DIG-
VID A) während des Bestehens dieses Markierungssignals den vorbestimmten Mindestwert überschreitet.
4Ϊ
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Halteschaltung (460, 465,
469) eine Abfrageschaltung (461, 466,470) zugeordnet
ist, die nach dem Ende der vollständigen Bildung aller Markierungssignale (MKA, MKB, MKC, w
MK D) die Ausgänge der Haltestufen in einer vorbestimmten Reihenfolge auf das Bestehen des
vorbestimmten Zustands abfragt.
16. Vorrichtung nach Anspruch i5, dadurch
gekennzeichnet, daß bei den der oberen horizonta- S5
len Markierungsliniengruppe (A) und der linken vertikalen Markierungsliniengruppe (C) zugeordneten
Halte- und Abfrageschaltungen (460, 461; 465, 466) die Reihenfolge der Abfragung umgekehrt zu
der Reihenfolge der Analyse der Markierungslinien *>"
ist.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis
16, gekennzeichnet durch einen im Takt der Bildung der horizontalen Markierungslinien (A 0 bis Λ 7; SO
bis Bl) fortgeschalteten Zeilenadreßzähler (452), <>·>
der eine die Nummer jeder Markierungslinie darstellende Gruppe von Ausgangssignalen erzeugt,
die an Adresseneingänge der den horizontalen Markierungslinien zugeordneten Holte- und Abfrageschaltungen
(460, 461) angelegt sind, und durch einen im Takt der Bildung der vertikalen Markierungslinien
(CO bis Cl; DO bis D 7) im Verlauf jeder Teilbildzeile fortgeschaltete!! Bildelementadreßzähler
(456), der eine die Nummer jeder Markierungslinie darstellende Gruppe von Ausgangssignalen
erzeugt, die an Adresseneingänge der den vertikalen Markierungslinien zugeordneten Halte- und Abfrageschaltungen
(465,466; 469,470) angelegt sind.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis
16, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausrichtdetektor (450) für jede Markierungsliniengruppe (A, B, C,
D) einen Ausrichtzähler (463, 464; 468, 472) enthält, der aufgrund der durch die Analyse der digitalen
Videosignale (DIGVID A) erhaltenen Signale einen Zählerstand annimmt, der der Anzahl der in
ununterbrochener Reihenfolge von innen nach außen gezählten Markierungslinien (A 0 bis A 1; BO
bis Bl; CO bis Cl, DO bis Dl) in der
entsprechenden Gruppe (A, B. C, D) entspricht, in deren Verlauf der Anteil des ersten Signalwerts in
den digitalen Videosignalen (DIGVIDA) einen vorbestimmten Mindestwert überschreitet.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die den horizontalen Markierungsliniengruppen
(A, B) zugeordneten Ausrichtzähler (463,464) durch die der unteren Markierungsliniengruppe
(B) zugeordneten Markierungssignale (MK ßjgleichzeitig getaktet werden.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der der oberen horizontalen
Markierungsliniengruppe ('^zugeordnete Ausrichtzähler
(463) die Ausgangssignale einer zugeordneten Abfrageschaltung (461) empfängt, und daß der der
unteren horizontalen Markierungsliniengruppe (B) zugeordnete Ausrichtzähler (464) die digitalen
Videosignale (DIGVID A)unmittelbar empfängt.
21. Vorrichtung nach den Ansprüchen 18 bis 20. dadurch gekennzeichnet, daß die den vertikalen
Markierungsliniengruppen (C, D) zugeordneten Ausrichtzähler (468, 472) die Ausgangssignale
zugeordneter Abfrageschaltungen (466, 470) empfangen und im Verlauf der letzten Teilbildzeile, dit
noch Bildelemente der vertikalen Markierungslinien enthält, oder einer späteren Teilbildzeile durch
Signale (CDCLK) getaktet werden, die mit den Impulsen der zweiten Markierungssignalgruppen
(MK C, MK D) synchron sind.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 18 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß an die Ausgänge
der Ausrichtzähler (463, 464; 468, 472) eine Vorschubsteueranordnung (14) angeschlossen ist, die
aufgrund der die Zählerstände anzeigenden Ausgangssignale der Ausrichtzähler Steuersignale für
die Verstellung des Trägers (2) bildet.
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH611059A5 (de) | 1979-05-15 |
PT69143A (en) | 1979-02-01 |
IT7947798A0 (it) | 1979-01-26 |
DE2803653A1 (de) | 1979-08-02 |
FR2434535B1 (fr) | 1986-06-27 |
US4364086A (en) | 1982-12-14 |
GB2013365A (en) | 1979-08-08 |
ES477151A1 (es) | 1979-07-01 |
DE2803653C3 (de) | 1986-05-28 |
JPS54148326A (en) | 1979-11-20 |
GB2013365B (en) | 1982-08-18 |
JPS641832B2 (de) | 1989-01-12 |
FR2434535A1 (fr) | 1980-03-21 |
US4352125A (en) | 1982-09-28 |
IT1114484B (it) | 1986-01-27 |
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OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
OI | Miscellaneous see part 1 | ||
OI | Miscellaneous see part 1 | ||
8281 | Inventor (new situation) |
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AH | Division in |
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