DE2818060A1 - Verfahren und vorrichtung zur optischen mass-pruefung - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur optischen mass-pruefung

Info

Publication number
DE2818060A1
DE2818060A1 DE19782818060 DE2818060A DE2818060A1 DE 2818060 A1 DE2818060 A1 DE 2818060A1 DE 19782818060 DE19782818060 DE 19782818060 DE 2818060 A DE2818060 A DE 2818060A DE 2818060 A1 DE2818060 A1 DE 2818060A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
photocells
pair
test
sum
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19782818060
Other languages
English (en)
Other versions
DE2818060C2 (de
Inventor
Nichtnennung Beantragt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Applications Techniques Industrielles Boos Fr
Original Assignee
D'OPTIQUE PRECISION ELECTRONIQUE ET MECANIQUE SOPELEM Ste
Societe dOptique Precision Electronique et Mecanique SOPELEM SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by D'OPTIQUE PRECISION ELECTRONIQUE ET MECANIQUE SOPELEM Ste, Societe dOptique Precision Electronique et Mecanique SOPELEM SA filed Critical D'OPTIQUE PRECISION ELECTRONIQUE ET MECANIQUE SOPELEM Ste
Publication of DE2818060A1 publication Critical patent/DE2818060A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2818060C2 publication Critical patent/DE2818060C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/08Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
    • G01B11/10Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving
    • G01B11/105Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving using photoelectric detection means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2433Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting

Description

2818Q60
SOCIETE D1OPTIQUE, PRECISION ELECTRONIQUE ET MECANIQUE - SOPELEM, Paris, Frankreich
Verfahren und Vorrichtung zur optischen Maß-Prüfung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Maß-Prüfung.
Bis jetzt wird die Maß-Prüfung von Prüflingen nach ihrer Herstellung durch stichprobenartige Aussonderung einiger Prüflinge aus einem Los durchgeführt. Es ist also unmöglich, eine systematische Prüfung aller Prüflinge durchzuführen, weil die verschiedenen Prüfschritte oft sehr lang und aufwendig sind, sobald eine größere Anzahl von Maßen ein und desselben Prüflings geprüft werden muß.
Es besteht daher seit langer Zeit ein großes Bedürfnis an einer systematischen Prüfung aller Prüflinge, um einerseits deren gegenseitige Austauschbarkeit und andererseits eine Neueinstellung der sie herstellenden Maschinen im Bedarfsfall zu ermöglichen.
809844/0936
-5- 28Ί8060
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, die bisher übliche Maß-Prüfung von Prüflingen mittels Stichprobennahme einiger Gegenstände aus einem Los durch eine systematische Prüfung aller Gegenstände des betreffenden Loses zu ersetzen, um eine Maß-Prüfung einer Serie von identischen Prüflingen schnell, kontinuierlich, berührungsfrei und ohne notwendige genaue Positionierung der Prüflinge zu ermöglichen.
Die Erfindung gibt deshalb ein automatisches Verfahren zur Maß-Prüfung von Prüflingen durch Projektion des von einem Parallel-Lichtbündel beleuchteten Prüfling-Profils auf eine Fläche an. Erfindungsgemäß wird das Profil auf einen Lichtempfänger-Block projiziert, der mindestens ein Paar Fotozellen aufweist, die in einer Ebene senkrecht zum Bündel angeordnet und voneinander um einen derartigen Abstand getrennt sind, daß, wenn der Prüfling das Lichtbündel mit einer kontinuierlichen Bewegung senkrecht zu diesem durchfährt, er in eine Zone gelangt, in der die beiden Fotozellen beide teilweise abgedeckt sind.
Während der Bewegung des Prüflings in diese Zone mißt man die Summe der beleuchteten Flächen beider Fotozellen und vergleicht sie mit einem Bezugswert. Vorzugsweise wird die Messung durchgeführt, wenn die Differenz der beleuchteten Flächen der beiden Fotozellen Null ist.
Die Erfindung weist zahlreiche Vorteile auf:
Zunächst erlaubt ihre optische Wirkungsweise eine sehr genaue und sehr zuverlässige Messung.
8098U/093S
Außerdem kann der Prüfling in Bewegung gemessen werden, weshalb er nicht arretiert werden muß, wie es bisher notwendig war. Wenn jedoch die Unrundheit eines Prüflings zu messen ist, kann man diesen im Zeitpunkt arretieren, zu dem die Differenz der beleuchteten Flächen der beiden Fotozellen Null ist, wonach er um sich selbst gedreht werden kann, um mehrere Messungen auszuführen. Man kann so auch Parallelitäts-Fehler zwischen Flächen messen. Anderere Prüfungen können vorgesehen werden, z. B. das Auftreten oder Fehlen von Löchern im Prüfling, das Auftreten von Fugen oder Nähten usw., um so die eigentlichen metrologischen Messungen zu vervollständigen.
Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet eine kontinuierliche Prüfung einer Serie schnell aufeinanderfolgender identischer Prüflinge, wobei der Abstand zwischen den Fotozellen ein für allemal für die betreffende Serie fixiert wird.
Die Erfindung gestattet auch eine Prüfung von Prüflingen ohne Abnutzung von Meßorganen und ohne Beeinflussung der Prüflinge bei der Prüfung, weil jede Berührung zwischen den Prüflingen und der Prüf-Einrichtung unterbleibt. Außerdem beeinflußt wegen der gewählten optischen Wirkungsweise eine Verschiebung des Prüflings vor dem Prüf-Organ, und zwar unabhängig von ihrer Größe, in der Richtung x, in der Richtung des Lichtbündels oder in einer Richtung senkrecht zu diesen beiden Richtungen nicht die Prüf-Genauigkeit. Die Prüflinge brauchen daher nicht genau vor den optischen Stationen positioniert zu werden, was die Organe zu ihrer Handhabung vereinfacht. +) (vgl. Fig. 1, 2O
809844/0936
Ύ
Ein zusätzlicher Vorteil des erfxndungsgemäßen Verfahrens ist die gleichzeitige Durchführung der Prüfung einer großen Anzahl von Durchmessern und Längen an ein und demselben Prüfling. Man sieht also so viele Fotozellen-Paare vor, wie zu messende Maße vorhanden sind. Bei Bedarf kann man sogar mehrere Beleuchtungs-Einrichtungen verwenden, die jeweils eine bestimmte Anzahl von Fotozellen-Paaren beleuchten.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 die Projektion des Profils eines von einem Parallel-Lichtbündel beleuchteten Prüflings auf zwei Fotozellen;
Fig. 2 einen Schnitt durch Fig. 1 in der. Fotozellen-Ebene ;
Fig. 3 ein Verfahren zur Fokussierung der die Fotozellen beleuchtenden Lichtstrahlen;
Fig. 4 die Änderungen der Ausgangssignale der Fotozellen, wenn der Prüfling das Lichtbündel durchwandert; und
Fig. 5 das Blockschaltbild eines AusfUhrungsbeispiels einer an die Fotozellen angeschlossenen Einrichtung zur Messung der Summe der beleuchteten Flächen und zu ihrem Vergleich mit einem Bezugswert.
Zunächst sei Fig. 1 erläutert:
8098U/093S
Eine auf konstante Leuchtstärke eingeregelte starke Punkt-Lichtquelle 1 ist im Brennpunkt einer Optik 2 angeordnet. Ein Prüfling 3 wird durch ein Parallel-Lichtbündel 4 beleuchtet und bildet einen Schatten mit unbeleuchteten Zonen 5 und 51 von zwei Fotozellen 6 und 61. Der Prüfling 3 bewegt sich durch das Lichtbündel 4 hindurch mit einer kontinuierlichen Bewegung senkrecht zu diesem entsprechend einem Pfeil J. Der Abstand D zwischen den beiden Fotozellen 6 und 6' ist einstellbar. Er ist so für jede Prüflings-Serie gewählt, daß Jeder sich durch das Lichtbündel 4 hindurchbewegende Prüfling in eine Zone gelangt, in der die beiden Fotozellen 6 und 6' beide teilweise abgedeckt sind. Fig. 2 zeigt deutlich die Schatten-Zonen 5 und 5' und die beleuchteten Flächen 8 und 8'.
Die Fotozellen 6 und 6' geben elektrische Signale proportional ihrer jeweils beleuchteten Fläche 8 bzw. 8' ab. In Fig. ist für jede Fotozelle die Änderung des elektrischen Signals i bzw. i1 in Abhängigkeit von der Lage χ des Prüflings 3 während seiner Querbewegung zum Lichtbündel 4 aufgetragen.
Die Vollinie i ist die Kurve für die Fotozelle 6, während die Strichlinie i1 die Fotozelle 6' betrifft. Es ist ersichtlich, daß in einer Zone d die Summe der Ausgangssignale beider Fotozellen 6 und 6' konstant ist.
Zur Prüfung des Durchmessers des Prüflings 3 bei bekanntem Abstand D zwischen den Fotozellen genügt eine Messung der Summe der beleuchteten Flächen beider Fotozellen 6 und 6T. Da die elektrischen Ausgangssignale der beiden Fotozellen 6 und 61 proportional deren beleuchteten Flächen 8 und 8'
809844/093S
sind, genügt also die Messung der Summe dieser elektrischen Ausgangssignale i und i'. Diese Messung kann durchgeführt werden, wenn sich der Prüfling 3 in der Zone d befindet. Es ist außerdem erkennbar, daß in der Mitte der Zone d die Differenz zwischen den Ausgangssignalen i und i' der beiden Fotozellen 6 und 6' Null ist. Der Nulldurchgang der Differenz der beiden Ausgangssignale i und i1 kann daher zum Auslösen der Messung der Summe der Ausgangssignale i und i' dienen.
Die Messung der Summe der Ausgangssignale i und i1 wird z. B. durch eine Einrichtung gemäß Fig. 5 durchgeführt. Ein Analogrechner (Operationsverstärker) 10 berechnet die Summe der AusgangsSignaIe i und i' der beiden Fotozellen 6 und 61, während ein Analogrechner (Operationsverstärker) 11 die Differenz i - i1 bildet, die kurzzeitig in einem Speicher 12 gespeichert wird. Das Differenz-Signal 1 - if ist ein Signal zur Freigabe des Signals i + i'; ein Feldeffekt-Transistor 13 läßt daher das Summen-Signal i + i! nur dann durch, wenn das Differenz-Signal i - i1 Null ist. Zu diesem Zeitpunkt wird das Summen-Signal i + i1 in einer Schaltung 14 kalibriert, die den Wert des zu messenden Maßes des Prüflings angibt. Dieser Wert wird dann in einem Vergleicher 15 auf entsprechende Toleranzen verglichen und anschließend in eines von drei Losen 16, IJ oder 18 klassiert, je nachdem, ob der Wert maßhaltig, zu klein oder zu groß ist. Auf diese Weise kann eine automatische Sortierung erfolgen.
Es sei jetzt Fig. 3 näher betrachtet, wo ein Verfahren veranschaulicht ist, um besser Störstrahlen von Nutzstrahlen des Lichtbündels 4 abzutrennen, insbesondere, wenn Prüflinge kleiner Abmessungen zu messen sind.
809844/093$
IB 18060
In dieser Figur werden diejenigen Lichtstrahlen des Lichtbündels 4, die nicht vom Prüfling 3 aufgefangen worden sind, nicht zur unmittelbaren Beleuchtung der Fotozellen 6 und 6' benutzt, sondern mittels eines Objektivs 19 fokussiert, so daß ein genaueres Abblenden des Lichts erhalten wird.
809844/093$
Leerseife

Claims (2)

  1. Ansprüche
    Verfahren zur optischen Maß-Prüfung eines Prüflings
    mittels Projektion des Profils des von einem Parallel-Lichtbündel beleuchteten Prüflings auf einen Licht-Empfänger,
    der mindestens ein Paar Fotozellen aufweist,
    die in einer Ebene senkrecht zum Lichtbündel angeordnet und um einen bestimmten Abstand voneinander getrennt sind,
    während der Prüfling sich durch das Lichtbündel in einer kontinuierlichen Bewegung senkrecht dazu bewegt und
    dabei in eine Zone gelangt, in der die beiden Fotozellen gleichzeitig teilweise abgedeckt sind, dadurch gekennzeichnet,
    daß die Summe der beleuchteten Flächen (8, 8') des Paars Fotozellen (6, 6') während der Bewegung des Prüflings (j5) in dieser Zone im Zeitpunkt gemessen wird,
    zu dem die Differenz der beleuchteten Flächen (8, 8') des Paars Fotozellen (6, 6') Null ist, und daß die Summe mit einem Bezugswert verglichen wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß die das Paar Fotozellen (6, 6') beleuchtenden Lichtstrahlen fokussiert werden (Fig. 3).
    310-(77/33)-HdHp
    8098U/Ö938
    ORlGfMAL INSPECTED
    -2- 28180S0
    Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
    daß der Prüfling (j5) im Zeitpunkt arretiert wird,
    zu dem die Differenz der beleuchteten Flächen (8, 8') des Paars Fotozellen (6, 6') Null ist, und
    daß der Prüfling um sich selbst gedreht wird, um mehrere Messungen zur Ermittlung seiner Unrundheit durchzuführen .
    Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    bei der sich die folgenden Einrichtungen, zwischen denen der Prüfling hindurchbewegbar ist, gegenüberliegen:
    ein Lichtsender (Lichtsender-Block) mit mindestens einer Punkt-Lichtquelle, die auf konstante Leuchtstärke eingeregelt ist und sich im Brennpunkt einer Optik befindet, und
    ein Licht-Empfänger (Lichtempfänger-Block) mit mindestens einem Paar Fotozellen (6, 6'), die in einer Ebene senkrecht zum aus der Optik austretenden Lichtbündel und in einem derartigen gegenseitigen Abstand voneinander angeordnet sind, daß der Prüfling bei kontinuierli· eher Bewegung durch das Lichtbündel senkrecht dazu in eine Zone gelangt in der
    die beiden Fotozellen gleichzeitig teilweise abgedeckt sind,
    gekennzeichnet durch
    eine an das Paar Fotozellen (6, 6") angeschlossene Einrichtung, die die Summe (i + i') der beleuchteten Flächen (8, 8') des Paars Fotozellen (6, 6') bildet und diese mit einem Bezugswert vergleicht, wenn die Differenz (i - i') der beleuchteten Flächen (8, 8') des Paars Fotozellen (6, 6') Null ist (Fig. 4, 5).
    809844/093«
    - 3 - 2813060
    Vorrichtung nach Anspruch 4,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die an das Paar Fotozellen (6, 6') angeschlossene Einrichtung aufweist:
    mindestens einen Analogrechner (10) zur Bildung der Summe der elektrischen Ausgangssignale (i, i') des Paars Fotozellen (6, 61},
    eine Schaltung (14) zur Kalibrierung dieser Summe, die den Wert des betreffenden Maßes des Prüflings abgibt,
    einen Vergleieher (15) zum Vergleich dieses Werts mit einem Bezugswert und
    einen zweiten Analogrechner (11), der die Differenz der elektrischen Ausgangssignale (i, i1) des Paars Fotozellen (6, 6!) abgibt,
    wobei diese Differenz (i - i') bei ihrem Nulldurehgang ein Freigabesignal für das Signal (i + iT) vom ersten Analogrechner (10) darstellt (Fig. 4, 5).
    Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, gekennzeichnet durch
    ein zwischen der Bewegungsbahn der Prüflinge (3) und dem paar Fotozellen (6, 6') angeordnetes Objektiv (19) zum Fokussieren der das Paar Fotozellen (6, 6') beleuchtenden Lichtstrahlen (Fig. 3).
    «098U/093«
DE2818060A 1977-04-25 1978-04-25 Vorrichtung zum optischen Prüfen von Werkstücken auf Maßhaltigkeit Expired DE2818060C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7712453A FR2389099A1 (fr) 1977-04-25 1977-04-25 Procede optique de controle dimensionnel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2818060A1 true DE2818060A1 (de) 1978-11-02
DE2818060C2 DE2818060C2 (de) 1983-08-11

Family

ID=9189871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2818060A Expired DE2818060C2 (de) 1977-04-25 1978-04-25 Vorrichtung zum optischen Prüfen von Werkstücken auf Maßhaltigkeit

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4260260A (de)
JP (1) JPS53133464A (de)
BE (1) BE866356A (de)
CH (1) CH623654A5 (de)
DE (1) DE2818060C2 (de)
FR (1) FR2389099A1 (de)
GB (1) GB1596457A (de)
IT (1) IT1107337B (de)
NL (1) NL7803568A (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2926140A1 (de) * 1978-09-11 1980-03-20 Ngk Insulators Ltd Vorrichtung zur ermittlung der umfangsausbildung eines gegenstandes
DE3334976A1 (de) * 1983-09-27 1985-04-18 Dr.-Ing. Wolfgang Schulz, Meßtechnik, 4020 Mettmann Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen ermittlung von rundlaufabweichungen eines rotationskoerpers

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58207254A (ja) * 1982-05-10 1983-12-02 Sumitomo Electric Ind Ltd 線条体表面の凹凸検出装置
DE3543993A1 (de) * 1985-12-10 1987-06-11 S & S Electronik Geraetebau Gm Verfahren und vorrichtung zum optischen pruefen der masshaltigkeit von teilen oder werkstuecken
IT1210741B (it) * 1987-05-18 1989-09-20 Artos Italia Dispositivo optoelettronico per la misurazione senza contatto delle dimensioni di oggetti
JPH01167604A (ja) * 1987-12-23 1989-07-03 Fuji Electric Co Ltd 光学式外径測定装置
JPH0235008U (de) * 1988-08-30 1990-03-06
JPH0312106U (de) * 1989-06-21 1991-02-07
FR2678727A1 (fr) * 1991-07-04 1993-01-08 Tabacs & Allumettes Ind Procede et dispositif de calibrage, en particulier de cigarettes, mettant en óoeuvre la determination du temps d'interception d'un faisceau laser.
CA2082790A1 (en) * 1991-12-02 1993-06-03 R. David Hemmerle Automated maintenance system for computer numerically controlled machines
EP0599126B1 (de) * 1992-11-20 1998-04-15 Nordson Corporation Methode zum Überwachen und/oder abgeben von Material auf ein Substrat
US5383021A (en) * 1993-04-19 1995-01-17 Mectron Engineering Company Optical part inspection system
US6285034B1 (en) 1998-11-04 2001-09-04 James L. Hanna Inspection system for flanged bolts
US6459494B1 (en) * 1999-02-18 2002-10-01 Fuji Photo Film Co., Ltd. Width measuring apparatus
US6252661B1 (en) 1999-08-02 2001-06-26 James L. Hanna Optical sub-pixel parts inspection system
US6313948B1 (en) 1999-08-02 2001-11-06 James I. Hanna Optical beam shaper
SE0401408D0 (sv) * 2004-06-02 2004-06-02 Astrazeneca Ab Diameter measuring device
JP2006038487A (ja) * 2004-07-22 2006-02-09 Mitsutoyo Corp 光学式測定装置
US7595893B2 (en) * 2006-09-20 2009-09-29 Mitutoyo Corporation Shape measurement method and shape measurement apparatus
WO2011108173A1 (ja) * 2010-03-03 2011-09-09 三菱電機株式会社 ロープ検査装置
JP6277890B2 (ja) * 2014-07-01 2018-02-14 株式会社デンソー 寸法測定装置
EP3450097A1 (de) 2017-09-05 2019-03-06 Renishaw PLC Otische vorrichtung und optisches verfahren zur kontaktlosen werkzeugeinrichtung

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE819461C (de) * 1949-09-15 1951-11-19 Askania Werke Ag Einrichtung an geodaetischen Geraeten
DE936827C (de) * 1950-08-31 1955-12-22 Licentia Gmbh Photoelektrische Einrichtung zur UEberwachung des Durchmessers von Werkstuecken bei der Bearbeitung auf Werkzeugmaschinen, insbesondere zur UEberwachung der Bearbeitung von Lochsteinen
US3365699A (en) * 1962-07-20 1968-01-23 North Atlantic Res Products Lt Apparatus for the automatic dimensional inspection of an object
US3563666A (en) * 1967-09-11 1971-02-16 North Atlantic Research Produc Automatic inspection of profiles

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3604940A (en) * 1969-08-04 1971-09-14 Laser Systems Corp Radiant energy inspection system for rotating objects
GB1395910A (en) * 1971-06-24 1975-05-29 Ti Group Services Ltd Method of and apparatus for gauging the sizes of articles
SE376966B (de) * 1973-10-12 1975-06-16 Aga Ab

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE819461C (de) * 1949-09-15 1951-11-19 Askania Werke Ag Einrichtung an geodaetischen Geraeten
DE936827C (de) * 1950-08-31 1955-12-22 Licentia Gmbh Photoelektrische Einrichtung zur UEberwachung des Durchmessers von Werkstuecken bei der Bearbeitung auf Werkzeugmaschinen, insbesondere zur UEberwachung der Bearbeitung von Lochsteinen
US3365699A (en) * 1962-07-20 1968-01-23 North Atlantic Res Products Lt Apparatus for the automatic dimensional inspection of an object
US3563666A (en) * 1967-09-11 1971-02-16 North Atlantic Research Produc Automatic inspection of profiles

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2926140A1 (de) * 1978-09-11 1980-03-20 Ngk Insulators Ltd Vorrichtung zur ermittlung der umfangsausbildung eines gegenstandes
DE3334976A1 (de) * 1983-09-27 1985-04-18 Dr.-Ing. Wolfgang Schulz, Meßtechnik, 4020 Mettmann Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen ermittlung von rundlaufabweichungen eines rotationskoerpers

Also Published As

Publication number Publication date
IT7867687A0 (it) 1978-03-28
BE866356A (fr) 1978-10-25
US4260260A (en) 1981-04-07
NL7803568A (nl) 1978-10-27
JPS6246801B2 (de) 1987-10-05
CH623654A5 (de) 1981-06-15
IT1107337B (it) 1985-11-25
FR2389099B1 (de) 1982-02-19
FR2389099A1 (fr) 1978-11-24
GB1596457A (en) 1981-08-26
JPS53133464A (en) 1978-11-21
DE2818060C2 (de) 1983-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2818060A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen mass-pruefung
EP0085951B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Messgrössen
DE2213963B2 (de) Werkstatt-Meßgerät
DE2620240A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur pruefung lichtundurchlaessiger werkstuecke
DE4439307A1 (de) 3D - Oberflächenmeßgerät mit hoher Genauigkeit
DE3333830C2 (de) Verfahren zur Laserentfernungsmessung mit hoher Auflösung für den Nahbereich
DE102010029133A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung von pyramidalen Oberflächenstrukturen auf einem Substrat
DE3311945C2 (de) Vorrichtung zur berührungslosen Messung von Winkeln
DE3020044A1 (de) Geraet und verfahren zur beruehrungslosen pruefung der oberflaechenguete und zur messung der oberflaechenrauheit
DE2211708A1 (de) Elektro-optisches system und verfahren zur untersuchung von gegenstaenden
DE2733285C2 (de)
DE1218169B (de) Vorrichtung zum Pruefen der Wandstaerke von Glasrohren
DE102016013550B3 (de) Profilmesssystem für eine Rauheits- und Konturmessung an einer Oberfläche eines Werkstücks
DE102013219436B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Analyse eines reflektierenden Prüflings
DE2100304C (de) Verfahren und Vorrichtung zum beruh rungslosen Messen der Oberflachenbeschaf fenheit, insbesondere Rauhigkeit einer im wesentlichen ebenen Flache
DE2718040C3 (de) Vorrichtung zum Darstellen und schnellen meßbaren Erfassen von in einem Streckenintervall eines Körpers vorhandenen Unebenheiten sowie deren statistische Verteilung im Streckenintervall
DE2622787B1 (de) Verfahren zur interferometrischen abstands-, dicken- oder ebenheitsmessung
DE1900924A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Faserstaerke
DE2301087C3 (de) lichtschnittprojektor zum Prüfen von Relais-Federankern
DE2039348C3 (de) Verfahren zur Bestimmung der Wolkigkeit diffus reflektierender flächiger Proben
DE102005032246B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung des Durchfahrtsprofils eines 3D-Objektes
DE383967C (de) Einrichtung zum Pruefen von Bolzengewinden
DE2613224A1 (de) Einrichtungen zur beruehrungslosen pruefung der geometrischen gewindebestimmungsgroessen an aussengewinden mittels beugungsoptischer methoden
DE102019002757A1 (de) Optische messvorrichtung, optisches messsystem und optisches messverfahren
DE1110913B (de) Anordnung zur Feststellung und Messung von durch Schlieren oder optische Fehler bedingten Strahlenaberrationen

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: APPLICATIONS TECHNIQUES INDUSTRIELLES, BOOS, FR

8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: BEETZ SEN., R., DIPL.-ING. BEETZ JUN., R., DIPL.-ING. DR.-ING. TIMPE, W., DR.-ING. SIEGFRIED, J., DIPL.-ING. SCHMITT-FUMIAN, W., PROF. DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT. MAYR, C., DIPL.-PHYS.DR.RER.NAT., PAT.-ANWAELTE, 8000 MUENCHEN

8339 Ceased/non-payment of the annual fee