DE3427411A1 - Messeinrichtung - Google Patents

Messeinrichtung

Info

Publication number
DE3427411A1
DE3427411A1 DE19843427411 DE3427411A DE3427411A1 DE 3427411 A1 DE3427411 A1 DE 3427411A1 DE 19843427411 DE19843427411 DE 19843427411 DE 3427411 A DE3427411 A DE 3427411A DE 3427411 A1 DE3427411 A1 DE 3427411A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
code
code mark
cnm
marks
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19843427411
Other languages
English (en)
Other versions
DE3427411C2 (de
Inventor
Walter Ing.(Grad.) 8225 Traunreut Schmitt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE19843427411 priority Critical patent/DE3427411A1/de
Priority to AT85106497T priority patent/ATE34043T1/de
Priority to EP85106497A priority patent/EP0172323B1/de
Priority to DE8585106497T priority patent/DE3562531D1/de
Priority to US06/755,928 priority patent/US4701615A/en
Priority to JP16308785A priority patent/JPS6138512A/ja
Publication of DE3427411A1 publication Critical patent/DE3427411A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3427411C2 publication Critical patent/DE3427411C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12—Analogue/digital converters
    • H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12—Analogue/digital converters
    • H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
    • H03M1/308—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental with additional pattern means for determining the absolute position, e.g. reference marks

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH · 17. Juli 1984
Meßeinrichtung
Die Erfindung betrifft eine Meßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei einer derartigen Meßeinrichtung können die an den Referenzmarken erzeugten elektrischen Steuerimpulse auf verschiedene Weise verwertet werden, z.B. zum Reproduzieren der Nullposition im Zähler, zum Anfahren einer bestimmten Position zu Beginn der Messung und zur Kontrolle von Störimpulsen sowie zur Beaufschlagung einer nachgeschalteten Steuereinrichtung.
Aus der DE-PS 24 16 212 ist eine inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung bekannt, bei der auf einem Maßstab neben der inkrementalen Teilung Referenzmarken auf einer gesonderten Spur vorgesehen sind. Die Absolutwerte dieser Referenzmarken bestimmen sich aus den unterschiedlichen Abstän- ·
den zwischen den einzelnen Referenzmarken; diese Abstände zwischen den Referenzmarken werden durch Abtastung der inkrementalen Teilung ermittelt. Zur Erkennung der absoluten Position einer Referenzmarke müssen daher immer zwei Referenzmarken abgetastet werden. Dieses Verfahren ist umständlich und zeitraubend, wenn beispielsweise zwei derartige Referenzmarken weit auseinander liegen. Zudem können bei einer fehlerhaften Zählung der Inkremente zwischen zwei Referenzmarken falsche Abstände und damit falsche Absolutwerte für die Referenzmarken ermittelt werden.
In der DE-PS 29 52 106 ist eine inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung beschrieben, bei der auf einem Maßstab neben der Teilung Referenzmarken mit jeweils unterschiedlichen Strichgruppenverteilungen vorgesehen sind. Die einzelnen Referenzmarken werden von Abtastfeldern in einer Abtasteinheit abgetastet, wobei jedes Abtastfeld einer Referenzmarke eindeutig zugeordnet ist, indem es die gleiche Strichgruppenverteilung aufweist. Diese Anordnung ist relativ aufwendig, da die Strichgruppenverteilungen der einzelnen Referenzmarken sich möglichst stark voneinander unterscheiden müssen, um eine eindeutige Identifizierung der einzelnen Referenzmarken zu ermöglichen. Die Abtasteinheit muß dabei für jede Referenzmarke ein identisches Abtastfeld aufweisen.
In der DE-OS 31 44 334 ist eine inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung offenbart, bei der auf einem Maßstab neben der inkrementalen Teilung identische Referenzmarken auf einer gesonderten Spur vorgesehen sind. Zur Identifizierung der identischen Referenzmarken ist jeder Referenzmarke seriell eine Codemarke auf der gesonderten Spur zugeordnet. Diese Codemarken bestehen jeweils aus Codemarkenteilen, die beispielsweise einen bestimmten Binärzustand darstellen; der andere Binärzustand wird durch nicht vorhandene Codemarkenteile, d.h. durch Lücken dargestellt. Bei der seriellen Abtastung der gesamten Codemarke in Form der Codemarkenteile und der Lücken ergibt die Reihenfolge der beiden Binärzustände die gesamte Codeinformation zur Identifizierung der zugehörigen Referenzmarke .
Bei derartigen Meßeinrichtungen sind die Absolutwerte der Referenzmarken im allgemeinen auf den Teilungsnullpunkt der inkrementalen Teilung des Maßstabs bezogen; die Referenzmarken können daher zur Überprüfung einer einwandfreien Zählung der Teilungsinkremente zwischen den Referenzmarken bei der Abtastung der Teilung durch eine Abtasteinheit herangezogen werden, da die Abstände der Referenzmarken zueinander bekannt sind. Zwischen den einzelnen Referenzmarken wäre aber eine solche Überprüfung einer einwandfreien Zählung der Teilungsinkremente der Teilung nur mittels der seriell den einzelnen Referenzmarken zugeordneten Codemarkenteile der Codemarken möglich. Da aber zwischen den einzelnen Codemarkenteilen der Codemarken mehrere benachbarte Lücken, d.h. nicht vorhandene Codemarkenteile, entsprechend den vorliegenden Binärzuständen der Codeinformationen der Codemarken
* .V-V*** 44«
auftreten können, kann innerhalb solcher größeren Lücken keine Überprüfung einer einwandfreien Zählung der Teilungsinkremente der Teilung stattfinden.
5
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Meßeinrichtung der genannten Gattung eine möglichst lückenlose Überprüfung einer einwandfreien Zählung der Teilungsinkremente der Teilung einer Maßverkörperung im Bereich der Codemarken zu ermöglichen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß durch die vorgeschlagene Anordnung der Codemarkenteile der Codemarken zwischen den Referenzmarken auf einfache Weise eine ständige nahezu lückenlose Überprüfung der Meßgenauigkeit der Meßeinrichtung erfolgen kann, so daß die Meßsicherheit der Meßeinrichtung und die Betriebssicherheit einer Bearbeitungsmaschine, an der die Meßeinrichtung zum Einsatz gelangt, weiter erhöht werden.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den Unteransprüchen.
Ein Ausführungsbeispiel wird anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen
Figur 1 schematisch eine inkrementale Längenmeßeinrichtung,
Figur 2a einen Maßstab,
Figur 2b eine Abtastplatte und
Figur 3 ein Signaldiagramm von Referenz- und Codesignalen.
In Figur 1 ist schematisch eine lichtelektrische inkrementale Längenmeßeinrichtung gezeigt, die aus einer Maßverkörperung in Form eines Maßstabs M und aus einer Abtasteinheit A besteht, die jeweils in nicht dargestellter Weise mit einem zu messenden Objekt in Form von Maschinenteilen einer Bearbeitungsmaschirie verbunden sind. Auf dem Maßstab M ist eine inkrementale Teilung T in Form eines Strichgitters (Figur 2a) aufgebracht, die im Auflicht photoelektrisch berührungsfrei von der Abtasteinheit A abgetastet wird. Entlang der Teilung T in Meßrichtung X ist auf dem Maßstab M eine Reihe von identischen Referenzmarken Rn (n = 1,2,3,...) vorgesehen, die in bekannter Weise jeweils identische Strichgruppen mit einer bestimmten, aber unregelmässigen Strichverteilung aufweisen und der Teilung T absolut zugeordnet sind. Gezeigt sind in Figur 2a nur zwei benachbarte Referenzmarken Ri und Rk. Für die bessere Verständlichkeit werden die Referenzmarken als einfache rechteckige Balken dargestellt.
Die durch die Abtastung der Teilung T erzeugten periodischen Abtastsignale, die in der Abtasteinheit A verstärkt und in Rechtecksignale Sl', S2' umgeformt werden, beaufschlagen eine Auswerteeinrichtung W und können in einem nachgeschalteten Zähler Z als Positionsmeßwerte für die Relativlage der zu messenden Objekte angezeigt werden. Zur Richtungserkennung wird die Teilung T in bekannter Weise von Abtastfeldern AT abgetastet, die in zwei Gruppen ATl und AT2 angeordnet sind, die um ein Viertel der Gitterkonstanten GK zueinander versetzt sind. Auf diese Weise werden zueinander phasenver-
schobene Abtastsignale erzeugt. An den Referenzmarken Rn werden Referenzsignale RSn erzeugt, in der Abtasteinheit A verstärkt, in Rechtecksignale RSn' umgeformt und ebenfalls der Auswerteeinrichtung W zugeleitet. Die Erzeugung der Referenzsignale RSn erfolgt durch ein Referenzmarken-Abtastfeld AR, das in der Abtastplatte AP eingearbeitet ist.
Mit den aus den Referenzmarken Rn gewonnenen Referenzsignalen RSn können verschiedene Funktionen ausgelöst werden. Durch entsprechende Auswertung der Referenzsignale RSn wird beispielsweise aus einer inkrementalen Meßeinrichtung eine quasi absolute Meßeinrichtung, wenn jeder Referenzmarke Rn eine Zahl zugeordnet wird, die deren absolute Position, bezogen beispielsweise auf den Teilungsnullpunkt der Teilung T, kennzeichnet. Ferner kann eine bestimmte Referenzmarke Ro (nicht gezeigt) aus der Gesamtheit der Referenzmarken Rn dazu dienen, den Zähler Z beim Auftreten des aus der bestimmten Referenzmarke Ro gewonnenen Referenzsignals RSo auf den Wert "Null" zu setzen. Diese Funktionen sind aber nur durchführbar, wenn die ausgewählte Referenzmarke Ro eindeutig identifiziert werden kann.
Zur Identifizierung ist gemäß Figur 2a jeder einzelnen Referenzmarke Rn seriell eine Codemarke Cn zugeordnet, die aus mehreren Codemarkenteilen Cnm (n,m = 1,2,3,...) besteht. Anhand der gezeigten Referenzmarke Ri und deren zugehöriger Codemarke Ci soll die Erläuterung erfolgen.Die Codemarkenteile CiI bis Ci5 sind von ihrer Konfiguration her identisch mit dem Muster der Referenzmarken Rn und werden durch dasselbe Referenzmarken-Abtastfeld AR abgetastet. Demgemäß sind auch sie hier vereinfacht als rechteckige Balken dargestellt.
• *
Innerhalb der Codemarke Ci kann jedes Codemarkenteil Cim eine von zwei möglichen Positionen PO oder Pl einnehmen. Welche der beiden möglichen Positionen PO oder Pl das jeweilige Codemarkenteil Cim einnimmt, ist durch die Information bestimmt, die durch die Codemarke Ci ausgedrückt werden soll. Bei der Auswertung der Codeinformation wird aus der Position PO eines Codemarkenteiles Cim der binäre Wert "O" abgeleitet, hat jedoch das Codemarkenteil Cim die Position Pl inne, so wird der binäre Wert "1" erkannt .
Im Ausführungsbeispiel besteht die gesamte Codemarke Ci aus fünf Codemarkenteilen; CiI hat die Position PO inne, Ci2 liegt auf Pl, Ci3 liegt ebenfalls auf Pl, Ci4 liegt wieder auf PO, ebenso wie Ci5 auf PO liegt. Daraus läßt sich der Binärcode 0-1-1-0-0 ableiten, was der Identifizierungsschlüssel für die Codemarke Ci ist. Zur Abtastung dient wieder die Abtastplatte AP, deren Abtastfelder ATl und AT2 die Teilung T, und deren Referenzmarken-Abtastfeld AR die Referenzmarken Rn und die Codemarken Cn abtastet. Dieser Abtastplatte AP sind Photoelemente in bekannter und daher nicht dargestellter Weise zugeordnet.
Die so gewonnenen Signale werden der Auswerteeinrichtung W zugeführt.
Bei der Abtastung des Maßstabs M gemäß Figur 2a in positiver Meßrichtung X von links nach rechts werden zuerst das Referenzsignal RSi, sodann die Codesignale CSiI bis CSi5 und anschließend das Referenzsignal RSk erzeugt (Figur 3). Zur Erkennung der richtigen Binärkombination 0-1-1-0-0 der bei der Abtastung von links nach rechts erzeugten Codesig-
*— VL J.· — · · *
nale CSiI bis CSi5 als Gesamtcodeinformation der Codemarke Ci zur eindeutigen Identifizierung der zugehörigen Referenzmarke Ri müssen der Abstand a zwischen den beiden möglichen Positionen PO, Pl jedes Codemarkenteils Cim, der Abstand b zwischen benachbarten Codemarkenteilen CiI und Ci2, Ci2 und Ci3 usw. und ein Restabstand r zwischen dem letzten Codemarkenteil Ci5 und der folgenden Referenzmarke Rk bekannt sein, wobei der Restabstand r erkannt wird, sobald er größer als die Summe der Abstände b + 2a ist. Die Abstände a, b werden bei der Herstellung des Maßstabs M festgelegt und als Abstandsraster in einem Speicher der Auswerteeinrichtung W abgespeichert. Bei der Abtastung der Referenzmarken Ri und Rk und der Codemarkenteile CiI bis Ci5 werden die zwischen den Referenzsignalen RSi und den Codesignalen CSiI bis CSi5 liegenden Abstände a, b, r mit Hilfe der Zählung der Teilungsstriche der Teilung T ermittelt und zur eindeutigen Erkennung der binären Codeinformation der einzelnen Codesignale CSiI bis CSi5 mit dem gespeicherten Abstandsraster in der Auswerteeinrichtung W verglichen.
Bei der Abtastung des Maßstabs M in Meßrichtung X nach den Figuren 2a und 3 werden zuerst das Referenzmarkensignal RSi, sodann im Abstand b das erste Codesignal CSiI mit der Codeinformation "O", im weiteren Abstand (a+b+a) das zweite Codesignal CSi2 mit der Codeinformation "1", im weiteren Abstand (b+a) das dritte Codesignal CSi3 mit der Codeinformation "1", im weiteren Abstand b das vierte Codesignal CSi4 mit der Codeinformation "O", im weiteren Abstand (a+b) das fünfte Codesignal CSi5 mit der Codeinformation "0" und anschließend im weiteren Abstand (a+r) das nächste Referenzsignal RSk ermittelt.
Wenn die Abtasteinheit A den Maßstab M in positiver Meßrichtung X von links nach rechts weiter abtastet, so folgen auf die Referenzmarke Rk die nächste Codemarke Ck mit den Codemarkenteilen Ckm und darauf die nächste Referenzmarke Rk+1 etc. (in Figur 2a nicht mehr dargestellt).
Ganz allgemein können die Codemarken Cn Anfangsund Endinformationen aufweisen. Mit der Anfangsinformation kann die Auswerteeinrichtung W darauf vorbereitet werden, daß im Anschluß an die Anfangsinformation eine Codeinformation ausgelesen wird. Die Endinformation dient zur Sicherstellung, daß die gesamte Codeinformation ausgelesen wurde; dadurch kann eine eventuelle Umkehrung der Meßrichtung X mitten in der Abtastung der Codeinformationen erkannt werden.
Bei der Bewegung der Abtasteinheit A in positiver Meßrichtung X von links nach rechts erfolgt die Abtastung der Codeinformationen der Codemarkenteile Cnm nach der Abtastung der zugehörigen Referenzmarke Rn. Bei der Abtastbewegung in negativer Meßrichtung (-X) von rechts nach links wird durch den Abstand r und die richtungsabhangige Auswertung der Codeinformationen erkannt, daß nach den Codemarkenteilen Cim die Referenzmarke Ri folgen muß.
Zweckmäßig werden die Codemarkenteile Cnm und die Referenzmarken Rn als ganzzahlige Teile und/oder als ganzzahlige Vielfache der Gitterkonstanten GK der inkrementalen Teilung T auf dem Maßstab M ausgebildet, so daß die Abtastung der Codemarkenteile Cnm und der Referenzmarken Rn im Takt der Abtastung der inkrementalen Teilung T erfolgen kann. Die Abstände a,b,r betragen vorzugsweise ganzzahlige Viel-
fache der Teilung T.
Die Auswertung der erzeugten Codesignale CSnm sowie der Vergleich der Abstände a,b,r mit dem Ab-Standsraster erfolgt in der Auswerteeinrichtung W, die eine Auswahleinrichtung aufweisen kann, mit deren Hilfe vorbestimmte Referenzmarken Rn ausgewählt und zur Wirkung gebracht werden können.
Xo Die erfindungsgemäße serielle Anordnung der Codemarkenteile Cnm der Codemarken Cn zwischen den Referenzmarken Rn erlaubt eine ständige nahezu lükkenlose Überprüfung einer einwandfreien Zählung der Teilungsinkremente der Teilung T des Maßstabs M auch im Bereich der Codemarken Cn, da durch die Zuordnung zweier möglicher Positionen PO, Pl für jeden Codemarkenteil Cnm entsprechend der jeweiligen Codeinformation keine größeren Lücken mehr zwischen den einzelnen Codemarkenteilen Cnm der Codemarken Cn auftreten können. Jedes erzeugte Referenzsignal RSn und jedes erzeugte Codesignal CSnm kann in der Auswerteeinrichtung W zu einem Vergleich zwischen der Lage der entsprechenden Referenzmarke Rn und des entsprechenden Codemarkenteils Cnm und dem zugehörigen Zählergebnis der Teilungsinkremente der Teilung T herangezogen werden, da die Lagen der Referenzmarken Rn der Teilung T absolut zugeordnet und die Lagen der einzelnen Codemarkenteile Cnm zwischen den Referenzmarken Rn durch die als Abstandsraster eingespeicherten Abstände a, b, r vorgegeben sind. Tritt bei diesem Vergleich eine Differenz zwischen den Zählergebnissen und dem Abstandsraster auf, wird von der Auswerteeinrichtung W ein Fehlersignal F ausgegeben, so daß eine fehlerhafte Messung sofort erkannt werden kann.
r t 4« M *·*
Als Speicher zur Abspeicherung des Abstandsrasters in der Auswerteeinrichtung W werden zweckmäßig Festwertspeicher (ROM oder PROM) verwendet. Die Anpassung der Auswerteeinrichtung W an die spezieilen Abstandsraster unterschiedlicher Maßstabstypen kann durch Umprogrammieren oder Austauschen des Festwertspeichers erfolgen. In einem Festwertspeicher mit großem Speicherinhalt können die Abstandsraster für mehrere verschiedene Maßstäbe abgespeichert und das jeweilige Abstandsraster für den benutzten Maßstab beispielsweise durch den zugehörigen Abstand r des Abstandsrasters ausgewählt werden.
Zusätzliche, von den beschriebenen Abständen a, b, r abweichende Abstände können als weitere Kennungsabstände - vorzugsweise zwischen Codemarkenteilen vorgesehen werden. Durch diese zusätzlichen Kennungsabstände kann die Auswertung synchronisiert, d.h.
die Auswertung der Codemarkenteil-Signale bereits nach dem nächsten zusätzlichen Abstand begonnen werden. Durch diese Maßnahme lassen sich die Verfahi>wege der Abtasteinheit A verkürzen, da nicht unbedingt der Abstand r gesucht und überfahren werden muß, sondern durch den nächstliegenden Abstand, sei es r oder einer der zusätzlichen Abstände, die Synchronisierung erfolgt.
Die Erfindung ist nicht auf das lichtelektrische Abtastprinzip beschränkt.
- AB -
- Leerseite -

Claims (9)

Ansprüche
1. Meßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte mit entlang der Teilung einer MaßVerkörperung in Meßrichtung vorgesehenen identischen Referenzmarken, die der Teilung absolut zugeordnet sind und denen zur Unterscheidung jeweils seriell eine individuelle Codemarke, die aus mehreren Codemarkenteilen besteht, zugeordnet ist, sowie mit einer Abtasteinheit zur Abtastung der Teilung, der Referenzmarken und der zugehörigen Codemarken, die mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Codemarkenteil (Cnm) von jeweils zwei möglichen Positionen (PO oder Pl) innerhalb einer Godemarke (Cn) entsprechend seiner Codeinformation eine Position (PO oder Pl) einnimmt und daß die Auswertung der Codemarken (Cn) in der Auswerteeinrichtung (W) mittels einer elektronischen Baueinheit erfolgt, in der ein Abstandsraster vorgegeben ist, das den zulässigen Positionen (PO und Pl) der Codemarkenteile (Cnm) entspricht, und daß die Codeinformation jeder Codemarke (Cn) in Form einer binären Zahlenkombination in der Auswerteeinrichtung (W) ansteht, wobei der Wert der binären Zahlenkombination von der tatsächlichen Position (PO oder Pl) der einzelnen Codemarkenteile (Cnm) abhängig ist.
2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Abstandsraster durch Einspei-
ehern des Abstandes (a) zwischen den zulässigen Positionen (PO und Pl) der Codemarkenteile (Cnm) und des Abstandes (b) zwischen benachbarten Codemarkenteilen (Cnm und Cnm+1) sowie eines Maßstabrspezifischen Kennungsabstandes (r) zwischen einer Referenzmarke (Rn) und dem nächstliegenden Codemarkenteil (Cnm) in vorzugsweise einen Festwertspeicher vorgegeben wird.
3. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur seriellen Abtastung der Referenzmarken (Rn) und der Codemarkenteile (Cnm) der Codemarken (Cn) die Abtastplatte (AP) ein gemeinsames Abtastfeld (AR) enthält, dem ein Photoelement zugeordnet ist.
4. Meßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die durch das Abstandsraster vorgegebenen Abstände (a, b, r) in der Auswerteeinrichtung (W) mit der Zählung der Teilungsinkremente der Teilung (T) der Maßverkörperung (M) vergleichbar sind.
5. Meßeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Differenz zwischen dem Zählergebnis der Teilungsinkremente und den durch das Abstandsraster vorgegebenen Abständen (a, b, r) von der Auswerteeinrichtung (W) ein Fehlersignal (F) erzeugbar ist.
6. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Codemarkenteile (Cnm) der Codemarken (Cn) außer den Codeinformationen zur Identifizierung der zugehörigen Referenzmarken (Rn) noch wenigstens Informationen zur Vollständigkeitserkennung aufweisen.
• -j* 3* -^
7. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Codemarkenteile (Cnm) der Codemarken (Cn) und die Referenzmarken (Rn) als ganzzahlige Teile oder als ganzzahlige Vielfaehe der Gitterkonstanten (GK) der Teilung (T) der Maßverkörperung (M) ausgebildet sind.
8. Meßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände (a, b, r) des Abstandsrasters ganzzahlige Teile oder ganzzahlige Vielfache der Gitterkonstanten (GK) der Teilung (T) der Maßverkörperung (M) bilden.
9. Meßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei mehreren in der Auswerteeinrichtung (W) abgespeicherten Abstandsrastern für verschiedene Maßverkorperperungen (M) das jeweilige Abstandsraster für die verwendete Maßverkörperung (M) anhand des Abstandes (r) auswählbar ist.
DE19843427411 1984-07-25 1984-07-25 Messeinrichtung Granted DE3427411A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19843427411 DE3427411A1 (de) 1984-07-25 1984-07-25 Messeinrichtung
AT85106497T ATE34043T1 (de) 1984-07-25 1985-05-25 Messeinrichtung.
EP85106497A EP0172323B1 (de) 1984-07-25 1985-05-25 Messeinrichtung
DE8585106497T DE3562531D1 (en) 1984-07-25 1985-05-25 Measuring apparatus
US06/755,928 US4701615A (en) 1984-07-25 1985-07-17 Measuring scale coding system for length or angle measuring instruments
JP16308785A JPS6138512A (ja) 1984-07-25 1985-07-25 測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19843427411 DE3427411A1 (de) 1984-07-25 1984-07-25 Messeinrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3427411A1 true DE3427411A1 (de) 1986-02-06
DE3427411C2 DE3427411C2 (de) 1987-01-08

Family

ID=6241530

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19843427411 Granted DE3427411A1 (de) 1984-07-25 1984-07-25 Messeinrichtung
DE8585106497T Expired DE3562531D1 (en) 1984-07-25 1985-05-25 Measuring apparatus

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8585106497T Expired DE3562531D1 (en) 1984-07-25 1985-05-25 Measuring apparatus

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4701615A (de)
EP (1) EP0172323B1 (de)
JP (1) JPS6138512A (de)
AT (1) ATE34043T1 (de)
DE (2) DE3427411A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4037545A1 (de) * 1990-11-26 1992-05-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2188805B (en) * 1986-03-27 1991-01-09 Duracell Int Device
DE8613887U1 (de) * 1986-05-22 1990-09-13 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Ok
JPS62278408A (ja) * 1986-05-28 1987-12-03 Tamagawa Seiki Co Ltd アナログ三角波出力エンコ−ダ
US5057686A (en) * 1988-10-12 1991-10-15 Mitutoyo Corporation Self-stabilizing photoelectric displacement detector
AT394781B (de) * 1989-02-03 1992-06-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
US5251013A (en) * 1989-03-27 1993-10-05 Danielson Glen C Vehicle straightener measuring unit, measuring apparatus reliant on reflected beam(s), and source, targets and method
FI91325C (fi) * 1992-04-07 1994-06-10 Partek Cargotec Oy Paikka-asteikko ja optinen lukuanturi tämän paikka-asteikon lukemiseksi
US5336884A (en) * 1992-07-01 1994-08-09 Rockwell International Corporation High resolution optical hybrid absolute incremental position encoder
BE1007404A3 (nl) * 1993-08-09 1995-06-06 Agfa Gevaert Nv Encoder element.
EP0662603B1 (de) * 1993-12-08 1997-03-12 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesssystem
FR2757628B1 (fr) * 1996-12-20 1999-02-26 Eaton Controls Procede et dispositif de mesure numerique de positions angulaires
EP1056989B1 (de) 1998-02-21 2002-12-18 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Verfahren zum betrieb eines positionsmesssystems und geeignetes positionsmesssystem hierzu
US6147342A (en) * 1998-06-02 2000-11-14 Caterpillar Inc. Encoding system for determining the position of a cylinder rod along a path of movement
JP3506613B2 (ja) * 1998-09-21 2004-03-15 株式会社ミツトヨ 原点検出方式
DE19962278A1 (de) 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US7552671B2 (en) * 2002-01-04 2009-06-30 Parker-Hannifin Corporation Cylinder with fiber optical position sensing device and method
EP1461585B1 (de) * 2002-01-04 2010-12-08 Parker Hannifin Corporation Zylinder mit optischer erfassungsvorrichtung und verfahren
US6765664B2 (en) * 2002-01-09 2004-07-20 Delaware Capital Formation, Inc. Laser scanner with parabolic collector
ITTO20030365A1 (it) * 2003-05-20 2004-11-21 Fiat Ricerche Dispositivo e procedimento per determinare la posizione
GB0413711D0 (en) * 2004-06-21 2004-07-21 Renishaw Plc Scale and readhead apparatus
JP4148194B2 (ja) * 2004-07-22 2008-09-10 村田機械株式会社 搬送台車システム
US7191943B2 (en) * 2004-07-28 2007-03-20 Caterpillar Inc Robust barcode and reader for rod position determination
DE102005047009A1 (de) * 2005-09-30 2007-04-05 Bosch Rexroth Mechatronics Gmbh Absolutes Positionsmesssystem
US7458309B2 (en) * 2006-05-18 2008-12-02 Simmons Tom M Reciprocating pump, system or reciprocating pumps, and method of driving reciprocating pumps
DE102007031218B4 (de) * 2006-07-05 2020-10-29 Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg Vorrichtung, Etikettiermaschine und Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung
DE102007045362A1 (de) * 2007-09-22 2009-04-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
WO2009140503A1 (en) 2008-05-16 2009-11-19 Parker Hannifin Corporation Probe for determining an absolute position of a rod of a cylinder
FI122500B (fi) 2009-11-11 2012-02-29 Andritz Oy Menetelmä ja laitteisto pyörivän sylinterimäisen laitteen mittaamiseksi ja linjaamiseksi
ATE534017T1 (de) * 2010-02-09 2011-12-15 Sick Stegmann Gmbh Messvorrichtung zur absolutwertbestimmung von längen oder winkeln mit aus einzelnen teilstücken zusammengesetzter aktiver massverkörperung
US9470556B2 (en) 2012-10-18 2016-10-18 Cnh Industrial Canada, Ltd. Method and apparatus for sensing position
EP2725325B1 (de) * 2012-10-26 2019-12-11 Robert Bosch Gmbh Positionsmesssystem
EP3892962B1 (de) * 2020-04-08 2023-03-08 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Anordnung für eine positionsmessung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3039483A1 (de) * 1980-10-18 1982-04-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE2952106C2 (de) * 1979-12-22 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3144334A1 (de) * 1981-11-07 1983-05-26 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmesseinrichtung mit referenzmarken

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2103196A1 (de) * 1971-01-23 1972-07-27 Ferranti Ltd Meßvorrichtung
US3982106A (en) * 1973-05-14 1976-09-21 Contraves Ag System for measuring the longitudinal or angular displacement of a movable component
FR2310549A1 (fr) * 1975-05-07 1976-12-03 Sagem Perfectionnements aux dispositifs optiques de determination de la position d'un organe mobile
JPS5925441B2 (ja) * 1976-02-20 1984-06-18 ソニー株式会社 磁気スケ−ル装置
JPS56159798A (en) * 1980-05-12 1981-12-09 Tokyo Shibaura Electric Co Length or angle measuring device
JPS56159794A (en) * 1980-05-12 1981-12-09 Tokyo Optical Length or angle measuring device
JPS6051650B2 (ja) * 1981-08-04 1985-11-15 株式会社 三豊製作所 光電型エンコ−ダの零点検出装置
JPS5829093A (ja) * 1981-08-13 1983-02-21 株式会社トプコン アブソリユ−トエンコ−ダ
JPS58204314A (ja) * 1982-05-24 1983-11-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> エンコ−ダ装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2952106C2 (de) * 1979-12-22 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3039483A1 (de) * 1980-10-18 1982-04-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3144334A1 (de) * 1981-11-07 1983-05-26 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmesseinrichtung mit referenzmarken

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4037545A1 (de) * 1990-11-26 1992-05-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE3562531D1 (en) 1988-06-09
JPS6138512A (ja) 1986-02-24
ATE34043T1 (de) 1988-05-15
DE3427411C2 (de) 1987-01-08
EP0172323A1 (de) 1986-02-26
US4701615A (en) 1987-10-20
EP0172323B1 (de) 1988-05-04
JPH0548841B2 (de) 1993-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0172323B1 (de) Messeinrichtung
EP0118673B1 (de) Messeinrichtung
DE3144334C2 (de) Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken
EP3645440B1 (de) Positionsbestimmungssystem und verfahren zur ermittlung einer kabinenposition einer aufzugkabine
DE3617254C2 (de)
EP0696722B1 (de) Positionsmesseinrichtung
EP0268558B1 (de) Längen- oder Winkelmesseinrichtung
EP0085787B1 (de) Messeinrichtung
EP1400778A2 (de) Positionsmesseinrichtung
EP0121658B1 (de) Messeinrichtung
EP0421024B1 (de) Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung
DE3611204C2 (de)
DE4021010A1 (de) Inkrementales laengenmesssystem
DE19513829C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Positionsbestimmung
EP0604722B1 (de) Längen- oder Winkelmesseinrichtung
EP0504336B1 (de) Verfahren zum messen von längen
DE4037545A1 (de) Messeinrichtung
DE4132942A1 (de) Messeinrichtung fuer zwei messrichtungen
EP0500860B1 (de) Verfahren zum messen von längen
DE2108765C3 (de) Zielkennzeichnungsvorrichtung für Förderbehälter, insbesondere für Rohrpostbüchsen
DE19541768A1 (de) Vorrichtung zur Positionsbestimmung
DE8307146U1 (de) Meßeinrichtung
DE2108765A1 (de) Zielkennzeichnungsvorrichtung für Förderbehälter, insbesondere für Rohrpostbüchsen
DE8307145U1 (de) Meßeinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee