DE3511179A1 - Messverfahren mit koordinaten-messinstrument und koordinaten-messinstrument - Google Patents

Messverfahren mit koordinaten-messinstrument und koordinaten-messinstrument

Info

Publication number
DE3511179A1
DE3511179A1 DE19853511179 DE3511179A DE3511179A1 DE 3511179 A1 DE3511179 A1 DE 3511179A1 DE 19853511179 DE19853511179 DE 19853511179 DE 3511179 A DE3511179 A DE 3511179A DE 3511179 A1 DE3511179 A1 DE 3511179A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring instrument
robot
robot device
data
coordinate measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19853511179
Other languages
English (en)
Other versions
DE3511179C2 (de
Inventor
Hideo Kawasaki Kanagawa Iwano
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Manufacturing Co Ltd filed Critical Mitutoyo Manufacturing Co Ltd
Publication of DE3511179A1 publication Critical patent/DE3511179A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3511179C2 publication Critical patent/DE3511179C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/42—Recording and playback systems, i.e. in which the programme is recorded from a cycle of operations, e.g. the cycle of operations being manually controlled, after which this record is played back on the same machine
    • G05B19/427—Teaching successive positions by tracking the position of a joystick or handle to control the positioning servo of the tool head, master-slave control
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/37—Measurements
    • G05B2219/37207—Verify, probe, workpiece

Description

Meßverfahren mit Koordinaten-Meßinstrument und Koordi-
naten-Meßinstrument
Die Erfindung betrifft ein Meßverfahren unter Verwendung eines Koordinaten-Meßinstruments und ein Koordinaten-Meßinstrument. Auch befaßt sich die Erfindung mit einem Meßverfahren, das Anwendung findet, wenn Abmessungen, die Kontur und dergleichen eines zu vermessenden Werkstücks durch ein Koordinaten-Meßinstrument schnell und mit hoher Genauigkeit gemessen werden.
Um Abmessungen, die Kontur eines Werkstücks und dergleichen zu messen, das eine komplizierte Gestalt hat, werden im allgemeinen häufig Koordinaten-Meßinstrumente verwendet.
Unter den Koordinaten-Meßinstrumenten gibt es beispielsweise die dreidimensionalen Meßinstrumente, die sich in die folgenden beiden Arten gliedern lassen. Insbesondere gibt es eine manuelle Art eines solchen Meßinstruments, bei dem eine Bedienungsperson einen Fühler oder einen nahe dem Fühler liegenden Abschnitt ergreift, den Fühler in Anlageberührung mit einer Meßfläche des Werkstücks nach Maßgabe vorbestimmter Meßschritte sukzessiv bringt und die Abmessungen, die Kontur des Werkstücks und dergleichen werden dann aus dem Verschiebungswert des Fühlers zum Kontaktzeitpunkt ermittelt. Eine andere Art eines solchen Meßinstruments ist beispielsweise ein CNC (Computer-numerische Steuerung) dreidimensionales Meßinstrument, bei dem ein Hauptkörper
des Meßinstruments mit Antriebseinrichtungen, wie einer Spindel und einem iMotor, versehen ist, um den Fühler jeweils in die Richtungen der X-, Y- und Z-Achsen zu bewegen. Der Fühler wird sukzessiv in Anlageberührung mit der Meßfläche des Werkstücks gebracht, während die Antriebseinrichtunaen automatisch nach Maßgabe von vorprogrammierten Schritten gesteuert werden.
Die zuerst genannte Bauart hat einen einfachen Aufbau und es sind einige Einflußgrößen, die die Meßgenauigkeit, infolge der Auslegung beeinflussen, so daß ein gemessener Wert mit hoher Genauigkeit und in vorteilhafter Weise erhalten werden kann. Andererseits ist diese Art jedoch mit den folgenden Nachteilen behaftet.
(1) Da die Bedienungsperson alle zu messenden Teile und alle Schritte bei jedem Werkstück im Gedächtnis behalten muß, können leicht Fehlmessungen auftreten. Darüberhinaus ändert sich diese Situation mit jedem Werkstück.
(2) Gleichzeitig mit dem vorstehend genannten Vorgang sind Arbeitsschritte in Verbindung mit einer Daten-Verarbeitungseinrichtung erforderlich, so daß die Bedienungsperson spezielle und technische Kenntnisse hiervon haben muß. Daher kann nicht jedermann die Arbeitsschritte ausführen. Im Hinblick auf die Meßart ist der Spezialist für das Meßinstrument zu Rate zu ziehen und er kann keine anderen Arbeiten ausführen. Ferner ist es schwierig, viele solcher Spezialisten zu haben.
(3) Bei einem groß bemessenen Meßinstrument/ das für einen großen Meßbereich geeignet ist, sollte die
die Messung ausführende Person sich um das Meßinstrument bewegen oder das Meßinstrument von einem Meßstativ aus bedienen können, wenn alle Meßpunkte des Werkstücks gemessen werden sollen, wobei die Meßeffizienz herabgesetzt wird und die Sicherheit beeinträchtigt ist.
(4) Wenn die Bedienuiigszeitdauer verlängert ist, wird -0 die Temperatur des Körpers von der Hand zum Fühler und dergleichen beeinflußt, was dazu führt, daß die Meßgenauigkeit infolge der Wärmeausdehnung des Fühlers und dergleichen vermindert ist.
im Gegensatz hierzu ist die letztgenannte, vorstehend geschilderte Bauart für wiederholte Messungen des Werkstücks geeignet, wobei es sich um übereinstimmende Werkstücke handelt. Um den Fühler in die Richtungen der X-, Y- und Z-Achsen automatisch zu bewegen, sind jedoch Antriebseinrichtungen, wie eine Spindel/ ein Motor und dergleichen erforderlich, die am Hauptkörper des Meßinstruments angebracht sind. Insbesondere ist ein Schlitten zum Tragen einer Fühlerwelle erforderlich sowie ein Träger zum Stützen des Schlittens. Die Stützkonstruktion für die vorstehend genannten Teile kann aber nicht groß bemessen werden. Deformationen und Durchbiegungen werden durch die Auslegung des Untergrunds verursacht, wenn das Gewicht der vorstehend angegebenen Teile größer wird, so daß die Meßgenauigkeit in nachteiliger Weise gesenkt wird.
Die vorstehend angegebenen Nachteile für beide Typen von Meßinstrumenten treffen sowohl auf zweidimensionale Meßinstrumente als auch auf dreidimensionale Meßinstrumen te zu.
BAD
Die Erfindung zielt darauf ab, die vorstehend genannten Nachteile der üblichen Auslegungsformen zu vermeiden und es sollen ein Meßverfahren unter Verwendung eines Koordinaten-Meßinstruments und ein Koordinanten-Meßinstruir.ent angegeben werden, die das Messen der Abmessungen, der Kontor eines Werkstücks oder dergleichen schnell und mit hoher Genauigkeit nach Maßgabe von vorbestimmten Schritten ermöglichen, wobei alle Schwierigkeiten und Nachteile der manuellen Bauart und der automatischen Bauart der Meßinstrumente überwunden sind.
Nach der Erfindung wird hierzu vorgesehen, daß die Bewegung eines Detektorelements, wie eines Berührungssignal-Meßfühlers, der zweidimensional oder dreidimensional bewegbar ist, durch eine Bewegungseinrichtung mit Hilfe einer ferngesteuerten Manipulatoreinrichtung (Robotereinrichtung) erfolgt, die unabhängig von einem Hauptkörper des Meßinstruments ist. Somit sind die Antriebseinrichtungen für die automatische Durchführung der Bewegung unabhängig vorgesehen, um die Nachteile und Schwierigkeiten der manuellen und automatischen Bauart der Meßinstrumente zu überwinden. Währenddem das Detektorelement durch die Robotereinrichtung nach Maßgäbe eines vorbestimmten Meßschrittprogramms einer Datenverarbeitungseinheit bewegt wird/ werden die Bewegungswegdaten der Robotereinrichtung zu diesem Zeitpunkt gespeichert und die Robotereinrichtung wird betätigt, während die so gespeicherten Bewegungswegdaten sukzessive nach Maßgabe des Meßschrittprogramms der Datenverarbeitungseinheit gelesen werden.
Insbesondere ist das Meßverfahren nach der Erfindung ein Meßverfahren unter Verwendung eines Koordinaten-Meßinstruments, das eine bewegbare Einrichtung zum Be-
BÄD OÄKäü
wegen eines Detektorelennents enthält, das in Berührung mit einem Werkstück bringbar ist/ und das auf einer Stütze aufliegt. Das Detektorelement ist zwei- oder δ dreidimensional in entsprechende Richtungen bewegbar.
Ein Verschiebungsdetektor zum Ermitteln eines Verschiebungswertes des Detektoreleir.ents und eine Datenverarbeitungseinheit zum Verarbeiten eines Ausgangssignals vom Verschiebungsdetektor in einer vorbestimmten Weise sind vorgesehen, um die Abmessungen des Werkstücks und dergleichen zu ermitteln. Diese Meßmethode weist auf:
ein Speicherverfahren für die Bewegungsschritte des Detektorelements, bei dem das Detektorelement durch die Robotereinrichtung unabhängig vom Hauptkörper des Meßinstruments durch den Bewegungsmechanismus nach Maßgabe eines Meßschrittprogramms bewegt wird, das mehrere, in der Datenverarbeitungseinheit vorgegebene Schritte enthält, während ein Bewegungsweg der Robotereinrichtung durch eine Roboterbetriebsbefehlseinheit gespeichert wird,
ein Suchverfahren für die gemessenen Daten, bei dem die Robotereinrichtung betätigt wird, um das Detektorelement in Berührung mit dem Werkstück nach Maßgabeder in der Roboterbedienungsbefehlseinheit gespeicherten Bewegungswegdaten in Abhängigkeit von einem Schritteinleitungsbefehl des Meßschrittprogramms zu bringen und bei dem gleichzeitig ein Ausgangssignal von dem Verschiebungsdetektor in der Datenverarbeitungseinrichtung gesucht wird, und
ein Verarbeitungsverfahren für die gemessenen Werte, bei dem Abmessungen eines Werkstücks oder dergleichen auf der Basis der gemessenen Daten bestimmt wird, die
BAD ORIGINAL
durch das Suchverfahren für die gemessenen Daten gesucht worden sind und bei dem nach Abschluß der Ermittlung ein Folgeschritteinleitungsbefehl der Roboterbetriebsbefehlseinheit geliefert wird. Dieses Meßverfahren zeichnet sich dadurch aus, daß das Suchverfahren für die gemessenen Daten und das Ermittlungsverfahren für die gemessenen Daten wiederholt und automatisch bei allen Schritten des Meßschrittprogramres gemessen werden.
Beim Koordinaten-Meßinstrument nach der Erfindung, das den Bewegungsmechanismus zum Bewegen des Detektorelements, das in Kontakt mit dem Werkstück zu bringen ist, enthält, das auf der Stütze aufliegt, und das in zwei oder drei Richtungen bewegbar ist, das ferner einen Verschiebungsdetektor zum Ermitteln eines Verschiebungswertes des Detektorelements und die Datenverarbeitungseinheit zum Verarbeiten eines Ausgangssignals von dem Verschiebungsdetektor in vorbestimmter Weise enthält, um Abmessungen des Werkstücks oder dergleichen zu erhalten, ist eine ferngesteuerte Manipulatoreinrichtung bzw. eine Robotereinrichtung vorgesehen, die mit dem Bewegungsmechanismus über einen Verbindungsarm verbunden und unabhängig von dem Hauptkörper des Meßinstruments zum Bewegen des Detektorelements in zwei oder drei Richtungen mit Hilfe des Bewegungsmechanismus ist. Eine Roboterbetätigungsbefehlseinheit hat die Aufgabe, einen Bewegungsweg der Robotereinrichtung zu speichern, wenn das Detektorelement nach Maßgabe des Meßschrittprogramms bewegt wird, das eine Vielzahl von in der Datenverarbeitungseinheit vorgegebenen Schritten enthält und die ferner die Aufgabe hat, die Robotereinrichtung nach Maßgabe der gespeicherten Bewegungswegdaten automatisch zu betreiben. Die Roboterbetätigungs-
BAD O3i3iNÄL
befehlseinheit ist derart beschaffen und ausgelegt, daß die Einheit automatisch die Robotereinrichtung durch die entsprechende Größe der Bewegungswegdaten entsprechend dem Schritt in Abhängigkeit vcn einem darauffolgenden Schritteinleitungsbefehlssignal bedienen kann, das bei der Ermittlung der Abmessungen und dergleichen durch die Datenverarbeitungseinheit erzeugt wird.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung. Darin zeigen:
Figuren 1 bis 5 eine Ausführungsform nach der Erfindung,
wobei:
Figur 1 eine perspektivische Gesamtansicht,
Figur 2 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung der
wesentlichen Teile der Robotereinrichtung/
Figur 3 eine vergrößerte Schnittansicht zur Verdeutlichung des Verbindungsteils zwischen einem Schwenkarm und einem Verbindungsarm,
Figur 4 ein Blockdiagramm zur Verdeutlichung der Schaltungsauslegung, und
Figur 5 ein Flußdiagramm zur Verdeutlichung der Verarbeitungsschritte der Datenverarbeitungseinheit und der Roboterbetätigungsbefehlseinheit ist, und
Figur 6 eine schematische perspektivische Ansicht
einer weiteren Ausführungsform nach der Erfindung.
BAD
Figur 1 zeigt das Süßere eines Meßsystems gemäß einer Ausführungsform nach der Erfindung unter Verwendung eines dreidimensionalen Meßinstruments. Nach dieser Figur sind auf der oberen Fläche einer Aufstellungsbasis
1 ein Hauptkörper eines dreidimensionalen Meßinstruments
2 und eine Robotereinrichtung bzw. eine ferngesteuerte Manipulatoreinrichtung 4 vorgesehen, die unabhängig von dem dreidimensionalen Meßinstrument 2 vorgesehen ist. Die Robotereinrichtung 4 ist in Abhängigkeit von einem Betätigungsbefehl einer Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 betreibbar. Zusätzlich werden die gemessenen Daten, die mittels des Kauptkörpers des dreidimensionalen Meßinstruments 2 gemessen werden, zu einer Daten-Verarbeitungseinheit 5 abgegeben, in der die gemessenen Daten auf eine vorbestimmte Weise verarbeitet werden. Anschließend werden sie als ein Wert ausgegeben, der die Abmessungen oder die Form eines zu messenden Werkstücks angibt.
Der Hauptkörper des dreidimensionalen Meßinstrumens weist an gegenüberliegenden Seiten einer Stütze 12, auf der das Werkstück 11 aufliegt, über Führungsschienen 13 jeweils Stützen 14 auf, die in Längsrichtung der Stütze 12 (in Richtung der Y-Achse) längs eines horizontalen Trägers 15 bewegbar sind, über die beiden Stützen 14 erstreckt sich ein Schlitten 16, der in Querrichtung der Stütze 12 (in Richtung der X-Achse) bewegbar ist. Am bodenseitigen Ende des Schlittens ist eine Fühlerwelle 18, die einen Signalmeßfühler als ein Detektorelement hat, in vertikaler Richtung der Stütze 12 (in Richtung der Z-Achse) bewegbar. Hierbei kann eine Bewegungseinrichtung 19, die aus den Stützen 147 dem Schlitten 16, der Fühlerwelle 18 und dergleichen besteht, den Berührungssignal-Meßfühler
BAD OSIGIMAL
■ /S-
in drei Richtungen mit einer relativ geringen Kraft unter Verwendung eines Luftlagers oder dergleichen beispielsweise bewegen. Wenn bei dieser Anordnung während der Eswegung des Berührungssignal-Meßfühlers 17 dieser in Berührung mit dem Werkstück 11 kommt, werden die Positionen der Stützen 17 in Richtung der Y-Achse, eine Position des Schlittens 16 in Richtung der X-Achse und eine Position der Fühlerwelle 18 in Richtung der X-Achse an die Datenverarbeitungseinheit 5 abgegeben, in der die gemessenen Daten in vorbestimmter Weise verarbeitet werden. Anschließend werden die gemessenen Werte digital angezeigt.
Nach Figur 2 enthält die Robotereinrichtung 4 folgendes: eine Z-Welle 21, die sich in vertikaler Richtung von einer Basis 20 nach oben erstreckt, die auf der oberen Fläche der Aufstellungsbasis 1 befestigt ist; einen vertikal beweglichen Block 23, der auf der Z-Achse derart vorgesehen ist, daß er durch Treiben des Z-Achsenantriebsmotors 22 in Richtung der Z-Achse bewegbar ist; zwei linear bewegliche stangenförmige Elemente 25, die als linear bewegliche Einrichtungen auf dem vertikal beweglichen Block 23 vorgesehen sind, die parallel zueinander angeordnet sind und die durch den Antrieb des Y-Achsen-Antriebsmotors 24 in Richtung der Y-Achse bewegbar sind; eine Drehwelle 27, die an den Enden der beiden linear beweglichen stangenförmigen Elemente 25 auf einer Seite parallel zur Z-Achse vorgesehen ist und durch den Antrieb eines schwenkbaren Antriebsmotors 26 drehbar ist; einen Schwenkarm 28, der an seinem proximalen Ende an der Drehwelle 27 befestigt ist; und einen Verbindungsarm 29, der das vordere Ende des Schwenkarms 28 und die Fühlerwelle 18 verbindet, die in der Nähe des Berührungssignal-Meßfühlers 17 angeordnet ist.
ι . J\(p.
Der Verbindungsarm 29 ist an einein Ende fest an einem Ende auf der Seite der Fühlerwelle 18 mit der Fühlerwelle 18 über eine Einstellschraube 30 verbunden und air. anderen Ende auf der Seite des Schwenkarns 28 drehbeweglich mit dem Schwenkarm 28 derart verbunden, daß er durch eine Verbindungswelle 31 und ein Lager 32 (s. Figur 3) drehbar ist. Bei dieser Auslegung kann der Berührungssignal-Meßfühler 17 in drei Richtungen durch die Betätigung der Robotereinrichtung 4 über die Bewegungseinrichtung 19 bewegt werden.
Figur 4 zeigt eine Schaltungsauslegung dieses Meßsystems. Unter Bezugnahme auf diese Figur ist mit 41 ein X-Achsen-Verschiebungsdetektor zum Ermitteln eines Verschiebungswertes des Schlittens 16 in Richtung der X-Achse, d.h. eines Verschiebungswertes des Berührungssignal-Meßfühlers 17 in Richtung der X-Achse bezeichnet. Mit 42 ist ein Y-Achsen-Verschiebungsdetektor zum Ermitteln eines Verschiebungswertes einer der Stützen 14 in Richtung der Y-Achse, d.h. eines Verschiebungswertes des Berührungssignal-Meßfühlers 17 in Richtung der Y-Achse vorgesehen. Ferner ist mit 43 ein Z-Achsen-Verschiebungsdetektor zum Ermitteln eines Verschiebungswertes der Fühlerwelle 18 in Richtung der Z-Achse, d.h. eines Verschiebungswertes des Berührungssignal-Meßfühlers 17 in Richtung der Z-Achse, bezeichnet. Die gemessenen Daten des Berührungssignal-Meßfühlers 17 in den Richtungen der X, Y- und Z-Achsen, wie diese durch die Verschiebungsdetektoren 41, 42 und 43 ermittelt wurden, erhält man auf eine solche Weise, daß ein Meßelement 17A des Berührungssignal-Meßfühlers 17 in Berührung mit dem Werkstück 11 kommt, und wenn ein Berührungssignal von dem Berührungssignal-Meßfühler 17 der Datenverarbeitungsein heit 5 geliefert wird/ werden die Daten in die Datenver-
BAD ORIGINAL
arbeitungseinheit 5 eingelesen.
Die Dater.verarbeitungseinheit 5 hat einen Meßschritt-Programmspeicher 44 zum Speichern eines MeßschrittprograrT" = , das nehrere Schritte vi^faßt, und in dem die Meßschritte vorgegeben sind. Z-;sützlich sind Speicher zum Speichern der von den Verschiehangscatektoren 41, 42 und 43 gelieferten Ms.3dat.en und ein Speicher zum Speichern des Errvitt lungsverf ahrensprogranuns vorgesehen, an1, die Ermittlungen nach Maßgabe einer Meßarbeitsweise auf der Basis der gemessenen Daten zu ermitteln, die in den vorstehend genannten Speichern gespeichert sind. Die Datenverarbeitungseinheit 5 führt die Arbeitsschritte gemäß dem Flußdiagramm, die links von der gebrochenen Linie in Figur 5 gezeigt sind, nach Maßgabe des Meßschrittprogramms aus, das im Meßschrittprogrammspeicher 44 gespeichert ist.
Insbesondere gibt die Datenverarbeitungseinheit 5 einen Schritteinleitungsbefehl SEC der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 1 in Abhängigkeit von dem Meßschrittprogramm, das im Meßschrittprogrammspeicher 44 gespeichert ist, wobei die Robotereinrichtung 4 eine vorbestimmte Betriebsweise in Abhängigkeit von dem Befehl von der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 ausführt. Wenn während dieses Arbeitsvorganges eine vorbestimmte Anzahl von Meßdaten von den Verschiebungsdetektoren 41, 42 und 43 eingegeben werden, dann führt die Datenverarbeitungseinheit 5 Ermittlungen auf der Basis dieser Meßdaten aus und anschließend wird ein Einleitungsbefehl für den darauffolgenden Schritt an die Roboterbetätigungsbef ehlseinheit 3 abgegeben. Diese Vorgehensweisen werden bei allen Schritten des Meßschrittprogramms wiederholt, das in dem Meßschrittprogrammspeicher 44 gespeichert ist.
BAD
Die Roboterbetatigungsbefehlseinheit 3 enthält folgende Teile: eine Motorantriebseinrichtung 51 zum Antreiben des Z-Achsenantriebsmotors 22, einen Y-Achsenantriebsmotor 24 und einen schwenkbaren Antriebsmotor 26; eine Bewegungswegspeichereinrichtung 52 zum Speichern eines Bevegungsweges der Robotereinrichtung 4, d.h. eines 3ewegungsweges des Berührungssignal-Meßfühlers 17; eine Betriebsbefehlseinrichtung 53 zum Antreiben des Z-Achsen-Antriebsmotors 22, des Y-Achsen-Antriebsraotors 24 und des schwenkbaren Antriebsmotors 26 auf der Basis der Bewegungswegdaten, die in der Bewegungswegspeichereinrichtung 52 gespeichert sind, wenn der Schritteinleitungsbefehl SEC von der Datenverarbeitungseinheit 5 geliefert wird; einen Steuerknüppel 50 zum manuellen Antreiben des Z-Achsenantriebsmotors 22, des Y-Achsenantriebsmotors 24 und des schwenkbaren Antriebsmotors 26 über die Motorantriebseinrichtung 51. In die Bewegungswegspeichereinrichtung 52 und die Betriebsbefehlseinrichtung 53 wird folgendes eingegeben: Positionsdaten von einem Z-Achsen-Positionsdetektor 54 zum Ermitteln einer Position in Richtung der Z-Achse des vertikal beweglichen Blocks 23, der in vertikaler Richtung durch den Z-Achsen-Antriebsmotor 22 bewegbar ist; Positionsdaten von einem Y-Achsen-Positionsdetektor 55 zum Ermitteln der Positionen in Richtung der Y-Achse der linear beweglichen stangenförmigen Elemente 25, die durch den Y-Achsen-Antriebsmotor 24 bewegbar sind; und Winkeldaten von einem Θ-Winkeldetektor 56 zum Ermitteln eines Schwenk- bzw. Drehwinkels des Schwenkarms 28, der durch den schwenkbaren Antriebsmotor 26 zur Ausführung einer Schwenkbewegung angetrieben ist.
Nachstehend wird das Meßverfahren gemäß dieser Ausführungsform erläutert. Bei der Durchführung der Messung
BAO
ι · Λ ·
unter Verwendung dieses Systems wird zuerst die Robotereinrichtung 4 unter Steuerung des Steuerknüppels der Poboterbetätigungsbefeh]seinheit 3 bedient und der Berührungssignal-Meßfühler 17 des Kauptkörpers des dreidimensionalen Meßinstruments 2 wird nach Maßgabe des Meßschrittprogrartrts bewegt/ das im Meßschrittprogrammspeicher 44 der Datenverarbeitungseinheit 5 vorgegeben ist. Dann werden in der Bewegur.gswsgspeichereinrichtung 5 2 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 sukzessiv die Positionsdaten der Robotereinrichtung 4 gespeichert, die rr.an zu den jeweiligen Bewegungszeiten des Berührungssignal-Meßfühlers 17 erhält, d.h. die Positionsdaten in Richtung der Z-Achse, detektiert durch den Z-Achsen-Positionsdetektor 54, die Positionsdaten in Richtung der Y-Achse, detektiert durch den Y-Achsen-Positionsdetektor 55 und die Winkeldaten, detektiert durch den Θ-Winkeldetektor 56. Kurz gesagt, wird der Bewegungsweg der Robotereinrichtung 4 bei der Bewegung des Be- rührungssignal-Meßfühlers 17 nach Maßgabe des Meßschrittprogramms in der Bewegungswegspeichereinrichtung 52 gespeichert. Wenn diese Vorgehensweise bei allen Schritten des Meßschrittprogramms durchgeführt wird, das im Meßschrittprogrammspeicher 44 gespeichert wird, dann ist in der Bewegungswegspeichereinrichtung 52 sukzessiv der Bewegungsweg der Robotereinrichtung 24 entsprechend den jeweiligen Schritten des Meßschrittprogramms gespeichert.
Wie vorstehend angegeben ist, ist der Bewegungsweg der Robotereinrichtung 4 entsprechend dem Meßschrittprogramm in der Bewegungsweg-Speichereinrichtung 52 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 gespeichert und anschließend erfolgt die Messung.
BAD
ι . «20.
Die Messung erfolgt entsprechend dem Programmablauf im Flußdiagramm nach Figur 5. Wenn insbesondere die Datenverarbeitungseinheit 5 auf eine Meßbetriebsweise eingestellt ist, erfolgt die Verarbeitungsvorbereitung sowohl für die Datenverarbeitungseinheit 5 als auch für die Roboterbe-ätigangsbefehIseinheit 3. Dann wird der Datenverarbeitungseinheit 5 ein erster Schritt des Me 3-schrittprogra.TjT.s, das im Meßschrittprogra.rr.speicher gespeichert ist, angewiesen, d.h. es wird eine erste Messung ausgeführt, und ein Schritteinleitungsbefehl SEC entsprechend dieser Meßaufgabe wird der Betriebsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 ermittelt.
Wenn der Schritteinleitungsbefehl SEC. von der Datenverarbeitungseinheit 5 abgegeben wird, liest die Funktionsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 die Bewegungswegdaten entsprechend dem Schritteinleitungsbefehl SEC. aus der Bewegungsweg- speichereinrichtung 52 aus und der Z-Achsen-Antriebsmotor 22, der Y-Achsen-Antriebsmotor 24 und der schwenkbare Antriebsmotor 26 werden über die Motorantriebseinrichtung 51 nach Maßgabe dieser Bewegungswegdaten angetrieben. Dann wird der Berührungssignal-Meßfühler über die Robotereinrichtung 4 bewegt. Wenn bei der Bewegung des Berührungssignal-Meßfühlers 17 der Berührungssignal-Meßfühler 17 in Berührung mit dem Werkstück 11 kommt, wird ein Berührungssignal von dem Berührungs signal-Meßfühler 17 an die Datenverarbeitungseinheit 5 abgegeben. Zu diesem Zeitpunkt befinden sich in der Datenverarbeitungseinheit 5 Positionsdaten in Richtung der X-Achse, detektiert durch den X-Achsen-Verschiebungsdetektor 41, Positionsdaten in Richtung der Y-Achse, detektiert durch den Y-Achsen-Verschiebungsdetektor 42,
und Pcsitionsdaten in Richtung der Z-Achse, detektiert durch den S-Achsen-Verschiebungsdetektor 43.
Wenn eine vorbestimmte Anzahl von Meßdaten angegeben durch die X-, Y- und Z-Achsen-Verschiebungsdetektoren 41, 42 und 43 eingegeben wird, ermittelt die Datenverarbeitungseinheit 5 eine Abmessung des Werkstücks 11 oder dergleichen auf der Basis dieser Me3daten und das Errdttlungsergebnis wird durch einen Drucker oder dergleichen beispielsweise ausgegeben. Nach Beendigung der Ermittlung wird ein zweiter Schritt aus dem Meßschrittprogramm ausgelesen, der in dem Meßschrittprogransr, speicher 44 gespeichert ist, d.h. es wird eine zweite Messung eingeleitet und es wird ein Schritteinleitungsbefehl SEC„ basierend auf dem zweiten Meßschritt der Funktionsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 übermittelt.
Wenn der Schritteinleitungsbefehl SEC2 von der Datenverarbeitungseinheit 5 ausgegeben wird, liest die Funktionsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 die Bewegungswegdaten entsprechend dem Schritteinleitungsbefehl SEC» aus der Bewegungswegspeichereinrichtung 52 aus und der Z-Achsen-Antriebsmotor 22, der Y-Achsen-Antriebsmotor 24 und der schwenkbare Antriebsmotor 26 werden über die Motorantriebseinrichtung 51 nach Maßgabe dieser Bewegungswegdaten angetrieben.
Wie vorstehend angegeben ist, erfolgt die Messung automatisch bei allen Schritten des Meßschrittprogramms.
Folglich wird bei dieser Ausführungsform der Berührungssignal-Meßfühler 17 durch die Robotereinrichtung 4 be-
BAD
- ψ-
wegt/ die unabhängig von dem Hai.otkörper des dreidimensionalen Meßinstruments 2 vorgesehen ist, so daß sowohl die Nachteile der rranuell arbeitenden Meßinstrumente als auch der automatisch arbeitende Meßinstrumente gleichzeitig überwunden werden können. Selbst wenn es sich um ein groß besessenes Meßinstrurr-ent handelt, kann die die Messung ausführende Bedienungsperson das Meßinstr\cent in einer vorbestimmten Stelle durch Fernsteuerung betätigen, so daß die Meßgenauigkeit verbessert werden kann und die Sicherheit beim Messen gewährleistet ist. Ferner braucht die die Messung durchführende Person nicht direkt den Fühler oder dergleichen zu ergreifen, so daß sich die Einflüsse von Temperaturänderungen minimalisieren lassen. Ferner braucht keine Spindel, ein Motor oder dergleichen zum Bewegen des Berührungssignal-Meßfühlers 17 auf dem Hauptkörper des dreidimensionalen Meßinstruments 2 vorgesehen zu sein, so daß sich die Auslegung des Meßinstruments vereinfacht, wobei sich gewichtsbedingte Verformungen und Durchbiegungen vermeiden lassen, um eine Messung mit hoher Genauigkeit zu erreichen.
Ferner wird die Robotereinrichtung 4 nach Maßgabe der Bewegungswegdaten betätigt, die in der Bewegungswegspeichereinrichtung 52 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 gespeichert sind, so daß die die Messung durchführende Person nicht die Teile der Messung und die Schritte bei jedem zu messenden Werkstück wie bei dem manuell betreibbaren Meßinstrument im Gedächtnis zu behalten braucht, um hierdurch die Möglichkeit von Fehlbedienungen auszuschalten. Wenn ferner einmal ein Spezialist die Schablonenbetätigung der Robotereinrichtung 4 ausgeführt hat und wenn der so erhaltene Bewegungsweg in der Bewegungswegspeichereinrichtung 52 ge-
BAB CSJG'
speichert ist, dann kann die Arbeitsweise automatisch durchgeführt werden, so daß der Spezialist von dieser Aufgabe befreit ist, um so eine schnelle Verbreitung des Instruments zu erreichen.
Ferner ist zur Erregung der Robotereinrichtung 4 nur erforderlich, daß die Datenverarbeitungseinheit 5 den Schritteinleitungsbefehl SEC der Funktionsbefehlseinrichtung 5 3 der Poboterbetäticungsbefehlseinheit 3 liefert. Kurz gesagt, brauchen nur die Datenverarbeitungseinheit 5 und die Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 miteinander über den Schritteinleitungsbefehl SEC verbunden zu sein, so daß diese Auslegung leicht und wirtschaftlich selbst dann getroffen werden kann, wenn die Verfahrensweise an ein übliches, manuell betreibbares dreidimensionales Meßinstrument angepaßt wird.
Ferner reicht es aus, die Robctereinrichtung 4 mit einer Genauigkeit eines zulässigen Überhubs (= 10 bis 5 mm) des Berührungssignal-Meßfühlers 17 zu positionieren, so daß nicht die Notwendigkeit besteht, eine hochwertige Robotereinrichtung oder dergleichen zu haben. Kurz gesagt, ist der Berührungssignal-Meßfühler 17 derart beschaffen und ausgelegt, daß ein Überhub in dem vorstehend angegebenen Bereich zulässig ist und daß der Berührungssignal-Meßfühler 17 automatisch unter den freien Bedingungen zu einer vorbestimmten Lage zurückkehrt. Ein solcher, dem Meßinstrument eigener Vorteil ist selbst dann vorhanden, wenn der Berührungssignal-Meßfühler 17 vorbestimmte Grenzwerte überfährt- und es tritt kein Meßfehler ohne die Verwendung einer hochwertigen Robotereinrichtung auf, da die Meßdaten in Abhängigkeit von einem Berührungssignal gesammelt werden, das zum Berührungszeitpunkt erzeugt wird. Diese Tat-
ι Al
sache bringt ferner den Vorteil mit sich/ daß die Passungen nicht so eng gehandhabt zu werden brauchen.
Zusätzlich braucht die Bewegungseinrichtung 19 auf der Seite des Hauptkörpers des dreidimensionalen Meßinstruments 2 nicht notwendigerweise die vorstehend.beschriebene und gezeigte Ausbildung zu haben. Diese Bewegungseinrichtung braucht nur den Berührungssignal-Meßfühler 17 rr-it einer relativ leichten Kraft in drei Richtungen zu bewegen. Ähnlich wie bei der Robotereinrichtung 4 kann ir.an auch irgendeine Einrichtung vorsehen, die die Bewegungseinrichtung 19 in drei Richtungen bewegen kann.
Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform ist eine Nadel am vorderen Ende der Robotereinrichtung 4 in Eingriff mit einem Abschnitt der Fühlerwelle 18 in der Nähe des Berührungssignal-Meßfühlers 17. Jedoch kann der Eingriffszustand auch durch den Berührungssignal-Meßfühler 17 oder mit einer beliebigen Position der Fühlerwelle 18 verwirklicht werden. Wenn beispielsweise nach Figur 6 ein Ende des Verbindungsarms 2 9 am vorderen Ende der Robotereinrichtung 4 in Eingriff mit dem oberen Ende der Fühlerwelle 18 ist, dann liegen die zugeordneten Arme der Robotereinrichtung 4 nicht gegen das Werkstück 11 an, so daß der effektive Meßbereich nicht eingeschränkt ist. Bei dieser Auslegung kann die Robotereinrichtung 4 an der Seite des Hauptkörpers des Meßinstrumens 2 angeordnet werden, so daß der Raum an der Stutze 12 in Längsrichtung konstant gehalten werden kann.
Die Robotereinrichtung 4 ist vollständig gesondert vom Hauptkörper des dreidimensionalen Meßinstrumens 2 ausgebildet. Wenn jedoch kein schweres Gewicht auf den be-
BAD O
weglichen Teil des Berührungssignal-Meßfühlers 17 einwirkt, dann kann die Robotereiηrichtung 4 auch fest mit der Stütze 12 verbunden werden oder sie kann zusätzlich die Aufgabe der Stütze beispielsweise übtrnehiren. Diese vorstehend beschriebene Auslegung ist dahingehend ;-:weckrräßig, daß das System als Car.zes hinsichtlich den Abmessungen v^/Tipakt ausgelegt werden kann.
Die jeweiligen Antriebseinrichtungen für die Fobotereinrichtung 4 brauchen nicht notwendigerweise auf die beim vorstehenden Beispiel angegebenen Motore beschränkt zu sein, sondern es können auch andere Antriebe, wie hydraulische oder pneumatische beispielsweise zur Anwendung 5 konunen.
Ferner braucht das Detektorelerr;ent nicht notwendigerweise auf einen Berührungssignal-Meßfühler 17 bei dem zuvor angegebenen Beispiel beschränkt zu sein, sondern es kann auch ein berührungsloser optischer Detektor beispielsweise verwendet werden.
Ferner ist die vorliegende Erfindung nicht notwendigerweise auf ein dreidimensionales Meßinstrument der zuvor beschriebenen Ausführungsform beschränkt/ sondern die Erfindung kann auch bei einem zweidimensionalen Meßinstrument angewandt werden.
Wie sich aus der vorstehenden Beschreibung ergibt, las- sen sich alle Schwierigkeiten bei den manuell und automatisch arbeitenden Meßinstrumenten vermeiden und insbesondere werden ein Meßverfahren unter Verwendung des Koordinaten-Meßinstruments und ein Koordinaten-Meßinstrument angegeben, die eine schnelle und äußerst genaue Messung ermöglichen.
BAD

Claims (13)

  1. Patentansprüche
    Meßverfahren mit Hilfe eines Koordinaten-Meßinstruments / das eine Bewegungseinrichtung zum Bewegen eines Detektorelements in zwei oder drei Richtungen enthält, um dasselbe in Berührung mit einem zu messenden Werkstück zu bringen, das auf einer Stütze aufliegt, mit einem Verschiebungsdetektor zum Ermitteln eines Verschiebungswertes des Detektorelements und einer Datenverarbeitungseinheit zum Verarbeiten eines Ausgangssignals des Verschiebungsdetektors auf eine vorbestimmte Weise, um Abmessungen des Werkstücks oder dergleichen zu bestimmten, g e kennzeichnet durch:
    ein Bewegungsschrittspeicherverfahren für das Detektorelement, bei dem das Detektoreleinent durch eine Robotereinrichtung unabhängig von einem Hauptkörper des !Meßinstruments über die Bewegungseinrichtung nach Maßgabe eines Meßschrittprogramms bewegt wird, das mehrere in der Datenverarbeitungseinheit vorgegebene Schritte umfaßt, während ein Bewegungsweg der Robotereinrichtung durch eine Roboterbetätigungsbefehlseinheit gespeichert wird,
    ein Meßdaten-Ermittlungsverfahren zum Betreiben der Robotereinrichtung derart, daß das Detektorelement in Berührung mit dem Werkstück in Abhängigkeit von den Bewegungsdaten ist, die in der Roboterbetätigungsbefehlseinheit gespeichert werden und zwar in Abhängigkeit von einem Schritteinleitungsbefehl des Meßschrittprogramms, wobei gleichzeitig ein Ausgangssignal des Verschiebungsdetektors in der Datenverarbeitungseinheit ermittelt wird, und
    ein Meßwertermittlungsverfahren zum Ermitteln der Abmessung des Werkstücks oder dergleichen auf der Basis der Meßdaten, die man durch das Meßdatenbestimmungsverfahren erhalten hat, welches den Folgeschritteinleitungsbefehl der Roboterbetätigungsbefehlseinheit nach Beendigung der Ermittlung liefert,
    wobei das Meßdatenbestimmungsverfahren und das Meßdatenermittlungsverfahren wiederholt automatisch bei allen Schritten des MeßSchrittprogramms ausgeführt werden.
  2. 2. Meßverfahren unter Verwendung eines Koordinaten-Meßinstruments nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Bewegungsweg der Roboter- einrichtung von den Positionsdaten abgeleitet wird/ die man von den Detektoren zum Ermitteln der Positionen der Robotereinrichtung erhält.
  3. 3. Meßverfahren unter Verwendung eines Koordinaten-
    Meßinstruments nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Folgeschritteinleitungsbefehl des Meßschrittprogramms am Ende der Ermittlung einer vorbestimmten Anzahl von Daten abgegeben wird, die sich in der Datenverarbeitungseinheit befinden.
  4. 4. Meßverfahren unter Verwendung eines Koordinaten-Meßinstruments nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Meßergebnis, das man in dem Meßwertermittlungsverfahren erhält, als Ausdruck ausgegeben wird.
  5. 5. Koordinaten-Meßinstrument mit einer Bewegungseinrichtung zum Bewegen eines Detektorelements in zwei oder drei Richtungen, um dasselbe in Berührung mit einem zu messenden Werkstück zu bringen, das auf einer Stütze aufliegt, einem Verschiebungsdetektor zum Ermitteln eines Verschiebungswertes des Detektorelements und mit einer Datenverarbeitungseinheit zum Verarbeiten eines Ausgangssignals von dem Verschiebungsdetektor auf eine vorbestimmte Weise, um Abmessungen des Werkstücks oder dergleichen zu ermitteln, gekennzeichnet durch:
    eine Robotereinrichtung (4), die mit der Bewegungseinrichtung (19) über einen Verbindungsarm (29) ver-
    bunden ist und unabhängig vom Hauptkörper des Meßinstruments (2) ausgebildet ist, um das Detektorelement (17) in zwei oder drei Richtungen über die Bewegungseinrichtung (19) zu bewegen, und
    eine Roboterbetätigungsbefehiseinheit (3), die die Aufgabe hat, einen Bewegungsweg der Robotereinrichtung (4) zu speichern, wenn das Detektorelement (17) nach Maßgabe eines Meß sehr ittprograrons bewegt wird, das eine Mehrzahl von in der Datenverarbeitungseinheit (5) vorgegebener Schritte umfaßt, und die die Aufgabe hat, die Robotereinrichtung (4) nach Maßgabe der gespeicherten Bewegungswegdaten automatisch zu betreiben,
    wobei die Roboterbetätigungsbefehlseinheit (3) derart beschaffen und ausgelegt ist, daß sie durch einen Wert der Bewegungswegdaten entsprechend dem Schritt in Abhängigkeit von dem Folgeschritteinleitungsbefehl(SEC)betrieben wird, der bei Ermittlung der Abmessungen oder dergleichen durch die Datenverarbeitungseinheit (5) erzeugt wird.
  6. 6. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Robotereinrichtung (4) von der Bewegungseinrichtung (19) lösbar ist und derart beschaffen und ausgelegt ist, daß das Detektorelement (17) in zwei oder drei Richtungen bewegbar ist.
  7. 7. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Robotereinrichtung (4) enthält:
    eine Welle (21), die an einer Stelle an der Stütze
    (12) vorgesehen ist/ die den Meßbereich nicht einschränkt,
    SAD GSlGiNAL
    einen Block (23), der auf der Welle (21) vertikal beweglich ist,
    eine linear bewegliche Einrichtung (25), die derart vorgesehen ist, daß sie senkrecht zur Welle (21) bewegbar ist,
    einen Schwenkarm (28), der schwenkbeweglich an den linear beweglichen Einrichtungen (25) gelagert ist, und
    einen Verbindungsarm (29), der den Schwenkarm (28) mit der Bewegungseinrichtung (19) verbindet.
  8. 8. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Robotereinrichtung (4) durch einen Motorantrieb angetrieben ist.
  9. 9· Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 5 , dadurch gekennzeichnet, daß die Roboterbetätigungsbefehlseinheit (3) enthält:
    eine Bewegungswegspeichereinrichtung (52) zum Speiehern des Bewegungsweges der Robotereinrichtung (4) , und
    eine Funktionsbefehlseinheit (53), die die Antriebseinrichtung (51) auf der Basis der gespeicherten Bewegungswegdaten antreibt, wenn ein Schritteinleitungsbefehl fSEC^ von der Datenverarbeitungseinheit (5) geliefert wird.
  10. 10. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Roboterbetätigungsbefehlseinheit (3) ferner einen Steuerknüppel (50) zum manuellen Antreiben der Robotereinrichtung (4) enthält.
  11. 11. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungseinrichtung (19) enthält:
    ein Paar Stützen (14), die derart vorgesehen sind, daß sie in Richtung der Y-Achse bewegbar sind,
    einen Schlitten (16), der derart vorgesehen ist, daß er in Richtung der X-Achse längs eines Trägers (15) bewegbar ist, der sich über die Stützen (14) erstreckt, und
    eine Fühlerwelle (18), die im Schlitten (16) derart vorgesehen ist, daß sie in Richtung der Z-Achse bewegbar ist.
  12. 12. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das vordere Ende des Verbindungsarms (29) fest mit einer Stelle verbunden ist, die relativ nahe zum Detektorelement (17) liegt und vom Träger (15) nach unten sich befindet.
  13. 13. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Funktionsbefehlseinheit (53) die Positionsdaten der Bewegungswegspeichereinrichtung (52) mit Positionen der Robotereinrichtung (4) und mit Positionsdaten der Detektoren (41, 42, 43) zur Ermittlung der Positionen der Robotereinrichtung (4) vergleicht und die Robotereinrichtung (4) aufgrund der Differenz zwischen den Werten antreibt.
    BAD
DE19853511179 1984-10-29 1985-03-27 Messverfahren mit koordinaten-messinstrument und koordinaten-messinstrument Granted DE3511179A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59227532A JPS61105411A (ja) 1984-10-29 1984-10-29 多次元測定機の測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3511179A1 true DE3511179A1 (de) 1986-04-30
DE3511179C2 DE3511179C2 (de) 1987-05-27

Family

ID=16862380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19853511179 Granted DE3511179A1 (de) 1984-10-29 1985-03-27 Messverfahren mit koordinaten-messinstrument und koordinaten-messinstrument

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4653011A (de)
JP (1) JPS61105411A (de)
DE (1) DE3511179A1 (de)
GB (1) GB2166266B (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4027466A1 (de) * 1990-08-30 1992-03-05 Hoesch Ag Messverfahren
CN109341609A (zh) * 2018-08-27 2019-02-15 重庆斯凯迪轴瓦有限公司 基于三坐标测量仪的测量方法

Families Citing this family (96)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8423023D0 (en) * 1984-09-12 1984-10-17 Short Brothers Ltd Ultrasonic scanning system
GB2174216B (en) * 1985-03-19 1988-10-26 Mitutoyo Mfg Co Ltd Method of operating a coordinate measuring instrument
DE3523188A1 (de) * 1985-06-28 1987-01-08 Zeiss Carl Fa Steuerung fuer koordinatenmessgeraete
DE3679622D1 (de) * 1985-08-01 1991-07-11 Brown & Sharpe Mfg Verfahren und vorrichtung zum dreidimensionalen messen eines objektes.
GB8605324D0 (en) * 1986-03-04 1986-04-09 Rank Taylor Hobson Ltd Metrological apparatus
GB8614539D0 (en) * 1986-06-14 1986-07-23 Renishaw Plc Coordinate positioning apparatus
DE3623602A1 (de) * 1986-07-12 1988-01-14 Zeiss Carl Fa Steuerung fuer koordinatenmessgeraete
GB8618152D0 (en) * 1986-07-25 1986-09-03 Renishaw Plc Co-ordinate measuring
US4977512A (en) * 1987-02-05 1990-12-11 Shibuya Kogyo Co., Ltd. Three dimensional simultaneous machining and measuring system
US4745681A (en) * 1987-04-22 1988-05-24 International Business Machines Corporation Controlled pin insertion using airflow sensing and active feedback
GB8713715D0 (en) * 1987-06-11 1987-07-15 Renishaw Plc Workpiece inspection method
US4979093A (en) * 1987-07-16 1990-12-18 Cavro Scientific Instruments XYZ positioner
WO1989000725A1 (en) * 1987-07-16 1989-01-26 Cavro Scientific Instruments, Inc. Xyz positioner
IT1211390B (it) * 1987-10-06 1989-10-18 Dea Spa Sistema grafico interattivo per la matematizzazione di modelli fisici
US4882527A (en) * 1987-10-16 1989-11-21 Nissan Motor Co., Ltd. Three-dimensional measuring robot
DE3806686A1 (de) * 1988-03-02 1989-09-14 Wegu Messtechnik Mehrkoordinatenmess- und -pruefeinrichtung
IL86514A0 (de) * 1988-05-26 1988-11-15
US5198990A (en) * 1990-04-23 1993-03-30 Fanamation, Inc. Coordinate measurement and inspection methods and apparatus
FR2662793B1 (fr) * 1990-05-30 1994-03-18 Renault Installation de mesure en continu des defauts de forme d'une piece, et procede de mesure mis en óoeuvre dans cette installation.
US5152070A (en) * 1991-09-09 1992-10-06 Dresser Industries, Inc. Position validator device
US5402582A (en) * 1993-02-23 1995-04-04 Faro Technologies Inc. Three dimensional coordinate measuring apparatus
US5611147A (en) * 1993-02-23 1997-03-18 Faro Technologies, Inc. Three dimensional coordinate measuring apparatus
US6535794B1 (en) 1993-02-23 2003-03-18 Faro Technologoies Inc. Method of generating an error map for calibration of a robot or multi-axis machining center
EP0615110B1 (de) * 1993-03-11 1997-04-16 Institut Für Fertigungstechnik Der Tu Graz Mobile koordinatenmessmaschine und kalibrierverfahren
US6437771B1 (en) * 1995-01-18 2002-08-20 Immersion Corporation Force feedback device including flexure member between actuator and user object
US5805140A (en) * 1993-07-16 1998-09-08 Immersion Corporation High bandwidth force feedback interface using voice coils and flexures
US5734373A (en) * 1993-07-16 1998-03-31 Immersion Human Interface Corporation Method and apparatus for controlling force feedback interface systems utilizing a host computer
US5767839A (en) * 1995-01-18 1998-06-16 Immersion Human Interface Corporation Method and apparatus for providing passive force feedback to human-computer interface systems
US5701140A (en) * 1993-07-16 1997-12-23 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for providing a cursor control interface with force feedback
US5721566A (en) 1995-01-18 1998-02-24 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for providing damping force feedback
US5724264A (en) * 1993-07-16 1998-03-03 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for tracking the position and orientation of a stylus and for digitizing a 3-D object
US5731804A (en) * 1995-01-18 1998-03-24 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for providing high bandwidth, low noise mechanical I/O for computer systems
US5739811A (en) * 1993-07-16 1998-04-14 Immersion Human Interface Corporation Method and apparatus for controlling human-computer interface systems providing force feedback
US5625576A (en) 1993-10-01 1997-04-29 Massachusetts Institute Of Technology Force reflecting haptic interface
US5623582A (en) 1994-07-14 1997-04-22 Immersion Human Interface Corporation Computer interface or control input device for laparoscopic surgical instrument and other elongated mechanical objects
US5821920A (en) * 1994-07-14 1998-10-13 Immersion Human Interface Corporation Control input device for interfacing an elongated flexible object with a computer system
US5510977A (en) * 1994-08-02 1996-04-23 Faro Technologies Inc. Method and apparatus for measuring features of a part or item
DE4433917A1 (de) * 1994-09-23 1996-03-28 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Messung von Werkstücken mit einem handgeführten Koordinatenmeßgerät
US5642469A (en) 1994-11-03 1997-06-24 University Of Washington Direct-drive manipulator for pen-based force display
US6850222B1 (en) 1995-01-18 2005-02-01 Immersion Corporation Passive force feedback for computer interface devices
US5691898A (en) * 1995-09-27 1997-11-25 Immersion Human Interface Corp. Safe and low cost computer peripherals with force feedback for consumer applications
US7113166B1 (en) 1995-06-09 2006-09-26 Immersion Corporation Force feedback devices using fluid braking
US6166723A (en) * 1995-11-17 2000-12-26 Immersion Corporation Mouse interface device providing force feedback
US6697748B1 (en) * 1995-08-07 2004-02-24 Immersion Corporation Digitizing system and rotary table for determining 3-D geometry of an object
US5959613A (en) 1995-12-01 1999-09-28 Immersion Corporation Method and apparatus for shaping force signals for a force feedback device
USD377932S (en) * 1995-10-31 1997-02-11 Immersion Human Interface Corporation Mechanical digitizing arm used to input three dimensional data into a computer
US6704001B1 (en) * 1995-11-17 2004-03-09 Immersion Corporation Force feedback device including actuator with moving magnet
US7027032B2 (en) * 1995-12-01 2006-04-11 Immersion Corporation Designing force sensations for force feedback computer applications
US8508469B1 (en) 1995-12-01 2013-08-13 Immersion Corporation Networked applications including haptic feedback
US6219032B1 (en) * 1995-12-01 2001-04-17 Immersion Corporation Method for providing force feedback to a user of an interface device based on interactions of a controlled cursor with graphical elements in a graphical user interface
US6028593A (en) * 1995-12-01 2000-02-22 Immersion Corporation Method and apparatus for providing simulated physical interactions within computer generated environments
US6147674A (en) 1995-12-01 2000-11-14 Immersion Corporation Method and apparatus for designing force sensations in force feedback computer applications
US6859819B1 (en) 1995-12-13 2005-02-22 Immersion Corporation Force feedback enabled over a computer network
US6078308A (en) * 1995-12-13 2000-06-20 Immersion Corporation Graphical click surfaces for force feedback applications to provide user selection using cursor interaction with a trigger position within a boundary of a graphical object
DE19604354A1 (de) 1996-02-07 1997-08-14 Zeiss Carl Fa Verfahren zur koordinatenmäßigen Vermessung von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen
US6084587A (en) * 1996-08-02 2000-07-04 Sensable Technologies, Inc. Method and apparatus for generating and interfacing with a haptic virtual reality environment
US5828197A (en) 1996-10-25 1998-10-27 Immersion Human Interface Corporation Mechanical interface having multiple grounded actuators
US6191796B1 (en) 1998-01-21 2001-02-20 Sensable Technologies, Inc. Method and apparatus for generating and interfacing with rigid and deformable surfaces in a haptic virtual reality environment
US6417638B1 (en) 1998-07-17 2002-07-09 Sensable Technologies, Inc. Force reflecting haptic interface
US6552722B1 (en) 1998-07-17 2003-04-22 Sensable Technologies, Inc. Systems and methods for sculpting virtual objects in a haptic virtual reality environment
US6421048B1 (en) * 1998-07-17 2002-07-16 Sensable Technologies, Inc. Systems and methods for interacting with virtual objects in a haptic virtual reality environment
US6195618B1 (en) 1998-10-15 2001-02-27 Microscribe, Llc Component position verification using a probe apparatus
US7084854B1 (en) * 2000-09-28 2006-08-01 Immersion Corporation Actuator for providing tactile sensations and device for directional tactile sensations
US6867770B2 (en) 2000-12-14 2005-03-15 Sensable Technologies, Inc. Systems and methods for voxel warping
US6958752B2 (en) 2001-01-08 2005-10-25 Sensable Technologies, Inc. Systems and methods for three-dimensional modeling
US20030048448A1 (en) * 2001-03-19 2003-03-13 Fleming Timothy J. Automated apparatus for testing optical filters
WO2002090878A1 (en) * 2001-05-10 2002-11-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Precision measuring apparatus provided with a metrology frame with a thermal shield consisting of at least two layers
WO2002093408A1 (en) * 2001-05-11 2002-11-21 Wildseed, Ltd. Method and system for collecting and displaying aggregate presence information for mobile media players
KR100418178B1 (ko) * 2001-06-07 2004-02-11 지엠대우오토앤테크놀로지주식회사 이중 경로 구조를 갖는 다축 3차원 측정기 및 구동 방법
US6937033B2 (en) * 2001-06-27 2005-08-30 Immersion Corporation Position sensor with resistive element
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
JP2005517909A (ja) * 2002-02-14 2005-06-16 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド 多関節アームを有する可搬式座標測定器
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7519493B2 (en) * 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7246030B2 (en) * 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
USRE42082E1 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
US6671651B2 (en) 2002-04-26 2003-12-30 Sensable Technologies, Inc. 3-D selection and manipulation with a multiple dimension haptic interface
US7498796B2 (en) * 2002-05-09 2009-03-03 The Boeing Company Magnetic indexer for high accuracy hole drilling
US7095418B2 (en) * 2003-10-30 2006-08-22 Sensable Technologies, Inc. Apparatus and methods for texture mapping
US7382378B2 (en) * 2003-10-30 2008-06-03 Sensable Technologies, Inc. Apparatus and methods for stenciling an image
US7411576B2 (en) 2003-10-30 2008-08-12 Sensable Technologies, Inc. Force reflecting haptic interface
DE10351049B3 (de) * 2003-10-31 2005-08-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmesssystem
US7626589B2 (en) * 2003-12-10 2009-12-01 Sensable Technologies, Inc. Haptic graphical user interface for adjusting mapped texture
US7889209B2 (en) * 2003-12-10 2011-02-15 Sensable Technologies, Inc. Apparatus and methods for wrapping texture onto the surface of a virtual object
US7149596B2 (en) * 2004-01-13 2006-12-12 Sensable Technologies, Inc. Apparatus and methods for modifying a model of an object to enforce compliance with a manufacturing constraint
US7420381B2 (en) * 2004-09-13 2008-09-02 Cascade Microtech, Inc. Double sided probing structures
US7825903B2 (en) * 2005-05-12 2010-11-02 Immersion Corporation Method and apparatus for providing haptic effects to a touch panel
FR2889308B1 (fr) * 2005-07-28 2007-10-05 Snecma Controle des aubes de turbomachine
JP4372759B2 (ja) * 2006-02-10 2009-11-25 株式会社ミツトヨ 形状測定装置、形状測定方法及び形状測定プログラム
US8585464B2 (en) 2009-10-07 2013-11-19 Dresser-Rand Company Lapping system and method for lapping a valve face
US9802364B2 (en) 2011-10-18 2017-10-31 3D Systems, Inc. Systems and methods for construction of an instruction set for three-dimensional printing of a user-customizableimage of a three-dimensional structure
CN102830285B (zh) * 2012-04-02 2014-07-09 福耀玻璃(湖北)有限公司 一种后挡风玻璃电阻和球面检测设备
CN106052609B (zh) * 2016-08-08 2019-07-09 浙江坤博机械制造有限公司 一种止回阀密封槽检测装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2744687A1 (de) * 1976-09-30 1978-04-06 Olivetti Controllo Numerico Praezisionsmessgeraet der portalart
US4168576A (en) * 1977-02-07 1979-09-25 Rolls-Royce Limited Method and apparatus for use in co-ordinate measuring machines
DE3213046C1 (de) * 1982-03-15 1988-10-20 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, 8023 Zürich Wegerfassungsanordnung fuer mehrachsige Messsysteme

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3840993A (en) * 1969-04-25 1974-10-15 Shelton Metrology Labor Inc Coordinate measuring machine
US3727119A (en) * 1971-02-01 1973-04-10 Information Dev Corp Servo controlled automatic inspection apparatus
JPS51139354A (en) * 1975-04-30 1976-12-01 Hitachi Ltd Industrial robot
US4365301A (en) * 1980-09-12 1982-12-21 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Positional reference system for ultraprecision machining
IT1144709B (it) * 1981-05-15 1986-10-29 Dea Spa Sistema di misura dimensionale servito da una pluralita di bracci operativi e controllato da un sistema a calcolatore
JPS586406A (ja) * 1981-07-06 1983-01-14 Hitachi Ltd ロボツトに依る検査方式
US4428055A (en) * 1981-08-18 1984-01-24 General Electric Company Tool touch probe system and method of precision machining
US4485453A (en) * 1982-03-29 1984-11-27 International Business Machines Corporation Device and method for determining the location and orientation of a drillhole
US4437151A (en) * 1982-04-16 1984-03-13 Deere & Company Coordinate measuring machine inspection and adjustment method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2744687A1 (de) * 1976-09-30 1978-04-06 Olivetti Controllo Numerico Praezisionsmessgeraet der portalart
US4138822A (en) * 1976-09-30 1979-02-13 Ing. C. Olivetti & C., S.P.A. Portal-type precision measuring apparatus
US4168576A (en) * 1977-02-07 1979-09-25 Rolls-Royce Limited Method and apparatus for use in co-ordinate measuring machines
DE3213046C1 (de) * 1982-03-15 1988-10-20 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, 8023 Zürich Wegerfassungsanordnung fuer mehrachsige Messsysteme

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4027466A1 (de) * 1990-08-30 1992-03-05 Hoesch Ag Messverfahren
CN109341609A (zh) * 2018-08-27 2019-02-15 重庆斯凯迪轴瓦有限公司 基于三坐标测量仪的测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
US4653011A (en) 1987-03-24
GB8518120D0 (en) 1985-08-21
DE3511179C2 (de) 1987-05-27
GB2166266A (en) 1986-04-30
GB2166266B (en) 1988-03-16
JPS61105411A (ja) 1986-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3511179A1 (de) Messverfahren mit koordinaten-messinstrument und koordinaten-messinstrument
DE3609246A1 (de) Verfahren zum messen mittels eines koordinatenmessinstruments
DE3530576C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Abmessungen eines Werkstücks
DE4238139C2 (de) Koordinatenmeßgerät
DE2934347C2 (de) Verfahren und Prüfgerät zum Prüfen des Zahnflankenprofils von Zahnrädern großen Durchmessers
DE3208412A1 (de) Dimensionsmesssystem mit einer anzahl von betaetigungsarmen, gesteuert von einem computersystem
DE102018221628B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur der räumlichen Genauigkeit
DE3037553A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum gesteuerten bewegen eines beweglichen elementes in einer werkzeugmaschine
DE19508861A1 (de) Koordinatenmeßgerät mit einer Einrichtung für die Rauheitsmessung
DE102020119684A1 (de) Profilmessmaschine und profilmessverfahren
DE2649641A1 (de) Maschine zur messung der abmessungen von werkstuecken
DE3604470A1 (de) Bearbeitungsstation fuer grosse werkstuecke
DE1945017B2 (de) Vorrichtung zum einstellen des arbeitspunktes eines in einem werkzeugtraeger befestigten werkzeuges
DE102014112396B4 (de) Verfahren zur Einzelpunktantastung eines Werkstücks und Koordinatenmessgerät
CH673612A5 (en) Key cutting machine allowing automatic key copying - with central processor receiving data obtained from original key to control orthogonal stepping motors
DE10250326A1 (de) Werkzeugmaschine und Verfahren zur Justage der Spindelposition dieser Werkzeugmaschine
DE4030994A1 (de) Pruefeinrichtung fuer rotationssymmetrische werkstuecke
DE2728395A1 (de) Verfahren und geraet zur erzeugung eines steuerprogramms fuer positioniersysteme
DE4411263A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Überprüfung der Führungsgenauigkeit einer Brennschneidmaschine
DE102007019453B4 (de) Koordinatenmessgerät mit zwei Schlitten auf gemeinsamer Führung
DE19942980A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen von Maschinenwerkzeugen
EP0289528B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum tiefschleifen
DE19851411A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Fräs- oder Bohrwerkzeugen und zur Geometriekompensation im Automatikbetrieb an Werkzeugmaschinen
EP0613573B1 (de) Verfahren zur überprüfung der arbeitsgenauigkeit einer nc-maschine
DE4444787A1 (de) Vorrichtung zur Vermessung von Werkstücken

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee