DE3524978A1 - Verfahren zum beidseitigen abtragenden bearbeiten von scheibenfoermigen werkstuecken, insbesondere halbleiterscheiben - Google Patents
Verfahren zum beidseitigen abtragenden bearbeiten von scheibenfoermigen werkstuecken, insbesondere halbleiterscheibenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum beidseitigen abtra
genden Bearbeiten von scheibenförmigen Werkstücken, insbe
sondere Halbleiterscheiben, bei welchem die Werkstücke,
welche in die Öffnungen einer durch eine an ihrem Außenumfang
angreifende Antriebseinheit in Drehung versetzten, gerin
gere Dicke als das Werkstück aufweisenden Trägerscheibe ein
gelegt sind, unter Zusatz einer abtragend wirkenden Suspension
einer kreisenden Bewegung zwischen über ihre Ober- und Unter
seite bewegten Flächengebilden unterworfen werden.
Ein solches Verfahren, welches beispielsweise beim beidsei
tigen Polieren oder Läppen von Halbleiterscheiben eingesetzt
werden kann, ist z. B. in der US-PS 36 91 694 oder in einem
im IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol. 15, No. 6, Novem
ber 1972, Seite 1760-1761 veröffentlichten Artikel (Verfasser:
F. E. Goetz und J. R. Hause) beschrieben. Dabei kommen Träger
scheiben zum Einsatz, die entweder ganz aus Metall, z. B.
Stahlblech, gefertigt sind oder aber ganz aus Kunststoff be
stehen.
Die Trägerscheiben aus Metall zeichnen sich zwar durch lange
Standzeiten aus, verursachen aber im Verlauf des Bearbeitungs
vorganges insbesondere bei den vielfach spröden und gegenüber
mechanischen Belastungen empfindlichen Halbleiterscheiben
Beschädigungen am Scheibenrand wie etwa Randausbrüche, so daß
ein großer Teil der bearbeiteten Scheiben nicht mehr weiter
verwendet werden kann. Solche Probleme treten bei den aus
Kunststoff gefertigten Trägerscheiben nicht auf. Dafür
sind aber die Standzeiten gering, da insbesondere der
Außenumfang der Trägerscheiben den mechanischen Belastungen
durch die Antriebseinheit, z. B. ein Planetengetriebe nicht
lange standzuhalten vermag.
Aufgabe der Erfindung war es daher, ein Verfahren anzugeben,
welches eine beidseitig abtragende Behandlung wie Läppen
oder Polieren von scheibenförmigen Werkstücken unter ge
ringer mechanischer Beanspruchung des Werkstückrandes bei
gleichzeitiger hoher Standzeit der eingesetzten Träger
scheiben gestattet.
Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren, welches dadurch
gekennzeichnet ist, daß Trägerscheiben eingesetzt werden,
bei denen zumindest der Außenumfang aus einem Werkstoff mit
einer Zugfestigkeit von mindestens 100 N/mm2 gefertigt ist,
während im mit dem Außenumfang des Werkstückes in Kontakt
kommenden Bereich ein Kunststoff mit einem Elastizitätsmodul
von 1,0 bis 8 × 104 N/mm2 vorgesehen ist.
Dieses Verfahren kann in den üblichen, beispielsweise zum
beidseitigen Polieren oder Läppen von scheibenförmigen
Werkstücken gebräuchlichen Maschinen unter den dem Fach
mann geläufigen Bedingungen durchgeführt werden. Es eignet
sich insbesondere das abtragende Bearbeiten von Scheiben aus
kristallinem Material wie Halbleiterscheiben aus beispiels
weise Silizium, Germanium, Galliumarsenid, Galliumphosphid,
Indiumphosphid oder Scheiben aus oxydischem Material wie
z. B. Gallium-Gadolinium-Granat. Daneben kann es auch für
das abtragende Bearbeiten von scheibenförmigen Werkstücken
aus anderen spröden Werkstoffen wie z. B. Glas angewendet
werden.
Geeignete Werkstoffe sind dabei solche, die eine gegenüber den durch den
Antrieb verursachten mechanischen Beanspruchungen, vor allem Zug- und
Druckbelastungen, ausreichende mechanische Stabilität aufweisen. Geeig
nete Materialien, wie z.. Metalle wie Aluminium oder insbesondere ver
schiedene Stähle, besitzen allgemein eine Zugfestigkeit von mindestens
100 N/mm2, vorzugsweise mindestens 1000 N/mm2. In diesem Zusammenhang ist
darauf zu achten, daß der gewählte Werkstoff von der jeweils eingesetzten
abtragend wirkenden Suspension, d. h. in der Regel von dem Polier- oder
Läppmittel, möglichst wenig angegriffen wird, um die Lebensdauer der
Trägerscheiben zu erhöhen und eine Kontamination der zu bearbeitenden
Werkstücke weitestgehend auszuschließen. Grundsätzlich ist auch die Ver
wendung von Kunststoffen ausreichender Zugfestigkeit, also z. B. mancher
Bakelitarten oder faserverstärkter Materialien, nicht ausgeschlossen.
Als Kunststoffe, die mit dem Außenumfang des Werkstückes in
Kontakt kommen, können solche Materialien eingesetzt werden,
die durch ihre Elastizität eine geringe mechanische Belastung
des Werkstückumfanges und durch ihre mechanische Stabilität
zugleich während des Bearbeitungsvorganges eine sichere
Lagerung des Werkstückes gewährleisten. Grundsätzlich geeig
net sind daher Kunststoffe mit einem Elastizitätsmodul von
1,0 bis 8 × 104 N/mm2, also insbesondere Materialien auf Poly
vinylchlorid-, Polypropylen-, Polyethylen- oder Polytetra
fluorethylenbasis. Dabei sind jedoch auch gegebenenfalls aus
der Geometrie des aus Kunststoff bestehenden Bereiches der
Trägerscheibe resultierende Einflüsse auf die mechanische
Stabilität zu berücksichtigen.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignete
Trägerscheiben, welche beispielsweise für das abtragende
Bearbeiten von Halbleiterscheiben je nach Dicke des Werk
stückes typisch eine Dicke von etwa 150-850 µm aufweisen,
können in verschiedener Weise gestaltet sein. Eine mögliche
Ausführungsform, welche sich insbesondere für das beidseitige
Polieren eignet, besteht beispielsweise aus einer aus Metall,
vorzugsweise Stahlblech, gefertigten runden Grundplatte.
Diese besitzt kreisförmige Öffnungen, in welche Flächen
gebilde aus Kunststoff eingelegt werden können, welche ihrer
seits zur Aufnahme des zu bearbeitenden Werkstoffes geeignete
Öffnungen aufweisen. Solche Flächengebilde können beispiels
weise Ringe aus Kunststoff mit einer Breite von günstig 1 bis
10 mm sein, deren Außendurchmesser zweckmäßig geringfügig
kleiner gewählt wird als der Innendurchmesser der Träger
scheibenöffnungen, so daß sie aufgrund dieses geringen Spiels
drehbar sind. Gegebenenfalls kann auch die Führung der Ringe
bei der Drehbewegung beispielsweise dadurch verbessert wer
den, daß die innere Umfangsfläche der Öffnungen nicht eben,
sondern konisch nach innen zulaufend ausgebildet wird. Der
Innendurchmesser der Ringe wird im Falle runder Werkstücke
im allgemeinen geringfügig größer gewählt als deren Außen
durchmesser, so daß auch diese einen Spielraum für Eigenbe
wegungen, z. B. Rotation, besitzen. Sowohl die Metall-, als
auch die Kunststoffteile dieser Trägerscheiben lassen sich
günstig in der gewünschten Form durch Stanzen aus Metall-,
bevorzugt Stahlblechen und Kunststoff-, bevorzugt Polyvinyl
chloridfolien entsprechender Dicke herstellen.
Mit besonderem Vorteil werden die genannten Trägerscheiben
bei der Bearbeitung von Werkstücken eingesetzt, die von
einer kreisförmigen Geometrie abweichen. Beispiele hierfür
sind Scheiben mit quadratischem Querschnitt aus gegossenem,
gerichtet erstarrtem Silicium, welche vorzugsweise als
Solarzellengrundmaterial eingesetzt werden, oder Scheiben
aus nach dem Bootziehverfahren gewonnenen Halbleitermateria
lien, wie etwa Gallium- oder Indiumphosphid. Für solche
werden anstelle von Kunststoffringen günstig runde Kunst
stoffscheiben mit quadratischen, rechteckigen oder poly
gonalen bzw. elliptischen bis ovalen Öffnungen eingesetzt.
Die in die Öffnungen eingelegten Werkstücke werden dann
während des Bearbeitungsvorganges zwar in einer gegenüber
der drehbaren Kunststoffscheibe festgelegten und nur
innerhalb des jeweiligen Spielraumes variierbaren Position
gehalten, bleiben aber zusammen mit der Kunststoffscheibe
innerhalb der Öffnung der Trägerscheibe drehbar. Damit
läßt sich bei diesen Materialien eine im Vergleich zu den
herkömmlichen Verfahren verbesserte Geometrie erreichen.
Eine weitere mögliche Ausführungsform einer Trägerscheibe
zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, welche
mit Vorteil auch beim beidseitigen Läppen eingesetzt werden
kann, besteht aus einer mit kreisförmigen bis polygonalen
Öffnungen versehenen Grundplatte mit in diesen Öffnungen
fixierten Flächengebilden aus Kunststoff, welche mit
Öffnungen zur Aufnahme des oder der abtragend zu bearbei
tenden Werkstücke versehen sind. Die Fixierung kann dabei
beispielsweise dadurch erreicht werden, daß die paßgerecht
ausgestanzten Kunststoffteile mit der metallenen Grundplatte
verklebt werden. Eine andere Möglichkeit besteht darin, die
Öffnungen der Grundplatte zunächst z. B. nach dem Spritzguß
verfahren mit einer Kunststoffolie, bevorzugt aus Polypro
pylen, auszugießen und aus dieser Folie dann die gewünschte
Öffnung auszustanzen. Gegebenenfalls kann die Fixierung durch
in die Öffnungen der Grundplatte eingearbeitete, beispiels
weise nut- oder zackenförmige Ausnehmungen weiterverbessert
werden. Desweiteren können diese Öffnungen auch polygonalen,
beispielsweise prismatischen, quadratischen oder hexagonalen
Querschnitt aufweisen. Für die Maße der in den Kunststoff
eingearbeiteten Öffnungen gilt wie bei der Ausführungsform
mit beweglichen Kunststoffeinlagen der Grundsatz, daß zweck
mäßig ein Spielraum für das eingelegte Werkstück belassen
wird. Allgemein hat es sich z. B. bei runden Werkstücken be
währt, wenn diese in Ruhelage von einem Spalt von 0,1-2 mm
Breite umgeben sind.
Eine weitere mögliche Ausführungsform einer Trägerscheibe
zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht
aus einer runden Grundplatte aus Kunststoff, welche zur
Aufnahme der abtragend zu bearbeitenden Werkstücke geeignete
Öffnungen besitzt und von einem Ring aus Metall umgeben ist,
auf den die Antriebseinheit einwirkt. Bei solchen Träger
scheiben hat sich eine feste Verbindung zwischen Metall-
und Kunststoffteil bewährt, um eine zuverlässige Übertra
gung der durch den Antrieb vorgegebenen Drehbewegung auf
den Innenbereich der Trägerscheibe zu gewährleisten. Die
Verbindung kann beispielsweise durch Verkleben und/oder die
Gestaltung des inneren Randes des Metallringes unterstützt
werden, beispielsweise indem über z. B. nut- oder zacken
förmige Ausnehmungen der Metallring und die Kunststoffgrund
platte miteinander verzahnt werden. Auch ein polygonartiger,
z. B. hexagonaler Innenumfang des Metallringes und ein ent
sprechend geformter Außenumfang der Grundplatte aus Kunst
stoff sind denkbar.
Für die Herstellung kommt z. B. die Methode in Frage, den
Innenraum des vorgegebenen, aus beispielweise Stahlblech
gestanzten, umgebenden Ringes mit Hilfe des Spritzgußver
fahrens mit einer Kunststoffplatte aus beispielsweise
Polypropylen auszufüllen und aus dieser dann die Öffnungen
für die Werkstücke in der geeigneten Größe, d. h. mit Spiel
raum auszustanzen. Eine andere Möglichkeit besteht darin,
den Ring und die Grundplatte getrennt vorzufertigen und
die Einzelteile erst bei Bedarf zu der gewünschten Träger
scheibe zusammenzufügen.
Die hier beispielhaft beschriebenen möglichen Ausführungsfor
men von Trägerscheiben lassen sich problemlos in den ge
bräuchlichen Maschinen zum beidseitigen Polieren oder Läppen
einsetzen, wobei für den eigentlichen Bearbeitungsvorgang
die üblichen, dem Fachmann geläufigen Bedingungen, z. B.
was die eingesetzte abtragende Suspension, Temperatur,
Bearbeitungsdruck und dergleichen betrifft, beibehalten
oder angepaßt werden können. Gegebenenfalls sind vor dem
ersten Einsatz die Trägerscheiben einer vergleichmäßigenden
Behandlung, beispielsweise durch Läppen, zu unterziehen, um
etwaige Dickeunterschiede zwischen Metall- und Kunststoff
bestandteilen auszugleichen. Zumeist können jedoch Dicke
unterschiede bis zu ± 5 % der Gesamtdicke toleriert werden.
Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens gelingt es beim
beidseitigen Läppen und/oder Polieren, insbesondere von Halb
leiterscheiben, Verluste an im Randbereich beschädigten Scheiben
deutlich verringern und dabei Standzeiten für Trägerscheiben
zu erreichen, die denen von Ganzmetallträgerscheiben entspre
chen.
Im folgenden wird das Verfahren anhand von Vergleichsbeispielen
näher erläutert:
Eine handelsübliche Apparatur zum beidseitigen Polieren von
Halbleiterscheiben wurde mit 27 Siliciumscheiben (Durchmesser
76,2 mm, Scheibendicke 450 µm) beladen, wobei jeweils 3 Schei
ben in die Öffnungen je einer von insgesamt 9 aufgelegten, außen
verzahnten, und mittels Planetengetriebe angetriebenen Träger
scheiben aus Stahlblech (Dicke 380 µm, Zugfestigkeit 2000 N/mm2)
eingelegt wurden.
Während des 30-minütigen Poliervorganges wurde als Poliermittel
ein handelsübliches SiO2-Sol zugeführt und eine Temperatur von
ca. 40°C eingehalten; derPolierdruck betrug 0,5 bar (bezogen auf cm2
Scheibenfläche). Die beiden mit Poliertüchern aus Polyester
filz belegten Polierplatten rotierten gegensinnig mit je 50 UPM;
die Drehzahl der Trägerscheiben betrug 20 UPM.
Nach Beendigung des Polierens wurden die Scheiben entnom
men und im Randbereich mikroskopisch bei 40- bis 100facher
Vergrößerung untersucht. Sämtliche Scheiben wiesen deutliche
Beschädigungen auf und konnten nicht mehr weiter verwendet
werden.
Nach 50 Polierfahrten wurde die Trägerscheibe wegen des
Verschleißes der Außenverzahnung ausgewechselt.
In derselben Apparatur wurden erneut 27 Siliciumscheiben
derselben Spezifikation poliert. Dabei wurden in der erfin
dungsgemäßen Weise Trägerscheiben eingesetzt, die aus Stahl
blech (Dicke 380 µm, Zugfestigkeit 2000 N/mm2) gefertigt
waren, und in deren runde, ausgestanzte Öffnungen (Innen
durchmesser 85 mm) zur Aufnahme der Scheiben zusätzlich ein
aus 380 µm dicker PVC-Folie ausgestanzter Ring (Außen
durchmesser 84,8 mm, Innendurchmesser 77 mm, Elastizitäts
modul 1,5 × 103 N/mm2) eingelegt war. Damit stand sowohl den
Scheiben als auch dem Ring ein ausreichender Spielraum für
Eigenbewegungen zur Verfügung.
Nach dem unter ansonsten genau gleichen Bedingungen durch
geführten Poliervorgang wurden die Scheiben ebenfalls ent
nommen und unter dem Mikroskop im Randbereich untersucht.
Bei 40- bis 100facher Vergrößerung konnten keinerlei Be
schädigungen festgestellt werden, so daß sich sämtliche
Scheiben weiterverwenden ließen.
Nach 50 Polierfahrten ohne Wechsel der PVC-Ringe machte der
Verschleiß an der Außenverzahnung einen Wechsel der Träger
scheibe erforderlich.
Claims (7)
1.) Verfahren zum beidseitigen abtragenden Bearbeiten von
scheibenförmigen Werkstücken, insbesondere Halbleiter
scheiben, bei welchem die Werkstücke, welche in die
Öffnungen einer durch eine an ihrem Außenumfang angrei
fende Antriebseinheit in Drehung versetzten, geringere
Dicke als das Werkstück aufweisenden Trägerscheibe ein
gelegt sind, unter Zusatz einer abtragend wirkenden Sus
pension einer kreisenden Bewegung zwischen über ihre
Ober- und Unterseite bewegten Flächengebilden unterwor
fen werden, dadurch gekennzeichnet, daß Trägerscheiben
eingesetzt werden, bei denen zumindest der Außenumfang
aus einem Werkstoff mit einer Zugfestigkeit von mindestens
100 N/mm2 gefertigt ist, während im mit dem Außenumfang
des Werkstückes in Kontakt kommenden Bereich ein Kunst
stoff mit einem Elastizitätsmodul von 1,0 bis 8 × 104 N/mm2
vorgesehen ist.
2.) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als
Werkstoff mit einer Zugfestigkeit von mindestens 100 N/mm2
ein Metall eingesetzt wird.
3.) Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeich
net, daß als Werkstoff Stahl ausgewählt wird.
4.) Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß der Kunststoff ausgewählt
wird aus der Gruppe Polyvinylchlorid, Polyethylen, Poly
propylen, Polytetrafluorethylen.
5.) Trägerscheibe zur Durchführung des Verfahrens nach einem
oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch
eine mit kreisförmigen Öffnungen versehene runde Grund
platte aus Metall sowie in diese Öffnungen nahezu paßge
recht eingelegte, drehbare, mit zur Aufnahme des abtra
gend zu bearbeitenden Werkstückes geeigneten Öffnungen
versehene Flächengebilde aus Kunststoff mit kreisförmigem
Außenumfang.
6.) Trägerscheibe zur Durchführung des Verfahrens nach einem
oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch
eine mit kreisförmigen bis polygonalen Öffnungen versehene
runde Grundplatte aus Metall sowie in diesen Öffnungen
fixierte, mit zur Aufnahme des abtragend zu bearbeitenden
Werkstückes geeigneten Öffnungen versehene Flächengebilde
aus Kunststoff.
7.) Trägerscheibe zur Durchführung des Verfahrens nach einem
oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch
eine aus Kunststoff bestehende runde Grundplatte mit zur
Aufnahme der abtragend zu bearbeitenden Werkstücke geeig
neten Öffnungen sowie einen die Grundplatte umgebenden
Ring aus Metall.
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