DE3617741A1 - Handling device - Google Patents

Handling device

Info

Publication number
DE3617741A1
DE3617741A1 DE19863617741 DE3617741A DE3617741A1 DE 3617741 A1 DE3617741 A1 DE 3617741A1 DE 19863617741 DE19863617741 DE 19863617741 DE 3617741 A DE3617741 A DE 3617741A DE 3617741 A1 DE3617741 A1 DE 3617741A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
handling device
pulley
handling
height
threaded spindle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19863617741
Other languages
German (de)
Other versions
DE3617741C2 (en
Inventor
Helmuth Dr Ing Heigl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19863617741 priority Critical patent/DE3617741A1/en
Publication of DE3617741A1 publication Critical patent/DE3617741A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE3617741C2 publication Critical patent/DE3617741C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0008—Balancing devices
    • B25J19/002—Balancing devices using counterweights
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Abstract

A handling device, which can be used in particular for handling test heads, has a compact design by virtue of the fact that the weight counterbalance which is provided for the test head attached in each case is carried out via a pulley block arrangement, a superimposed fine adjustment in height being possible by means of a threaded spindle without additional guiding expenditure. On account of the low design of the supporting housing, the centre of gravity of the entire arrangement is very low. A swivelling movement of the receiving device over the supporting column is possible through a swivelling angle of 360 DEG .

Description

Handhabungsvorrichtungen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 werden vorzugsweise zur Handhabung von Testköpfen verwendet. Diese Testköpfe sind in vollautomatischen Prüfanlagen zur Prüfung und Klassifizierung von elektronischen Bauelementen, wie z. B. integrierten Schaltungen in PLLC-, CLCC-, SO- oder SMD-Bauweise eingesetzt.Handling devices according to the preamble of claim 1 preferably used for handling test heads. These test heads are in fully automatic test systems for testing and classifying electronic components, such as. B. integrated circuits in PLLC, CLCC, SO or SMD construction used.

Diese Testköpfe werden nun mit den besagten Handhabungsvorrichtungen in den Prüfanlagen placiert oder es können die Testköpfe damit in eine ergonomisch günstige Lage für Reparaturen gebracht werden. Eine weitere Verwendung finden die Handhabungsvorrichtungen auch zur Placierung von Testköpfen an sog. Wafer-Probern.These test heads are now in use with said handling devices placed in the test systems or the test heads can be placed in one ergonomically convenient location for repairs. Another The handling devices are also used for the placement of Test heads on so-called wafer probers.

Für die jeweilige Positionierung des Testkopfes ist es notwendig, daß die Handhabungsvorrichtung sowohl eine schnelle als auch eine sehr genaue Höheneinstellung zuläßt, wobei auch in einer horizontalen Ebene Bewe­ gungen in zwei Koordinatenrichtungen und eine Kippbewegung um eine hori­ zontale Achse notwendig sind. Eine Drehbewegung um die Mittelachse des Standgehäuses zum schnellen Wegschwenken des Testkopfes von der Prüfein­ richtung ist erwünscht.For the respective positioning of the test head, it is necessary that the Handling device both fast and very accurate Allows height adjustment, whereby also be in a horizontal plane movements in two coordinate directions and a tilting movement around a hori central axis are necessary. A rotation around the central axis of the Stand housing for swiveling the test head away from the test unit direction is desired.

Eine bekannte Ausführung einer derartigen Handhabungsvorrichtung ist so gestaltet, daß in einem auf Spreizstützen aufgestellten Standgehäuse in Rechteck-Hohlkastenbauweise eine Parallelführung mit zwei Rundsäulen und eine Gewindespindel zur Höheneinstellung eines angeschlossenen Testkopfes vorgesehen sind. Die Gewindespindel ist dabei starr mit einem Querhaupt der Handhabungsvorrichtung verbunden, wobei eine Gewichtsentlastung des Testkopfes, der in einer Aufnahmevorrichtung des Querhauptes aufgenommen ist, nicht erfolgt. Infolge der starren Koppelung ist bei einer Bodener­ schütterung die Übertragung von vertikal wirkenden Beschleunigungskräften auf die Kontaktierungsstelle zwischen Testkopf und Prüfeinrichtung mög­ lich.A known embodiment of such a handling device is like this designed that in a stand housing placed on expansion supports in Rectangular hollow box construction, a parallel guide with two round columns and a threaded spindle for height adjustment of a connected test head are provided. The threaded spindle is rigid with a crosshead connected to the handling device, wherein a weight relief of the Test head, which is recorded in a cradle of the crosshead did not happen. As a result of the rigid coupling is with a Bodener vibration the transmission of vertically acting acceleration forces possible on the contact point between the test head and test facility Lich.

Eine andere bekannte Ausführung eines solchen Handhabungsgerätes (US 45 27 942) ist zur Höheneinstellung in einem einseitig offenen Standgehäuse in C-Form mit einer Rundsäule mit klemmbar daran höhenver­ schiebbaren Testkopfträger ausgestattet. Zur Gewichtsentlastung wird die Gewichtskraft des Testkopfes über eine Umlenkrolle und Gegengewichte aufgefangen. Eine feinfühlige Höhenjustierung ist nicht möglich.Another known version of such a handling device (US 45 27 942) is for height adjustment in an open on one side  Free-standing housing in C-shape with a round column with a height-adjustable clamp sliding test head carrier. For weight relief, the Weight of the test head via a deflection roller and counterweights caught. A sensitive height adjustment is not possible.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Handhabungsvorrichtung der eingangs beschriebenen Bauart so weiterzuentwickeln, daß sowohl eine genaue als auch schnelle Höheneinstellung bei gewichtsentlastetem Testkopf möglich ist.The object of the invention is to provide a handling device to further develop the design described above so that both a precise as well as quick height adjustment with weight-relieved Test head is possible.

Diese Aufgabe wird mit einer Handhabungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This task is performed with a handling device with the features of Claim 1 solved.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous embodiments of the invention are in the subclaims specified.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der Gewichtsausgleich über eine Flaschenzuganordnung mit Gewichtsstücken, die in dem Gehäuse des Standgehäuses angeordnet sind, durchgeführt. Durch die Anordnung des Flaschenzugs (Umlenkung um eine feste und um eine lose Rolle) ist es möglich, bei gleichem Gewicht von Testkopf und Ausgleichsgewichten die Höhe der Standsäule um die Hälfte des erwünschten Höhenverfahrwegs für den Testkopf zu verkürzen. In dem nachfolgend beschriebenen Beispiel ist dieser Flaschenzug als Kettenzug mit Rollenketten ausgeführt. Es ist selbstverständlich auch die Verwendung von z. B. Drahtseilen oder Stahl­ bändern mit entsprechenden Seil- bzw. Bandrollen möglich.In the device according to the invention, the weight balance is about a pulley assembly with weights that are in the housing of the Stand housing are arranged performed. By arranging the It is pulley system (deflection around a fixed and a loose roller) possible with the same weight of test head and counterweights Height of the pedestal by half of the desired height travel for shorten the test head. In the example described below is this pulley is designed as a chain hoist with roller chains. It is of course, the use of z. B. wire ropes or steel tapes with appropriate rope or tape reels possible.

Die fest angeordnete Flaschenzugrolle ist über eine Klemmvorrichtung sperrbar.The fixed pulley is via a clamping device lockable.

Die beweglich angeordnete Flaschenzugrolle ist mit einer Gewindespindel mit dem Querhaupt der Aufnahmeeinrichtung an der Oberseite der Standsäule verbunden. Hiermit ist eine Feinverstellung des Testkopfes in der Höhe möglich.The movably arranged pulley is with a threaded spindle with the crosshead of the receiver on the top of the pedestal connected. This is a fine adjustment of the test head in height possible.

Durch die erfindungsgemäße Kombination von Gewichtsausgleich mittels Flaschenzugprinzip und Gewindespindel zur Feineinstellung in Höhe sind zwei vorteilhafte Betriebsweisen möglich:The combination of weight balancing according to the invention means Pulley principle and threaded spindle for fine adjustment in height two advantageous modes of operation possible:

  • a) Die Testkopfhalterung kann bei nicht geklemmtem Flaschenzug infolge des ausgeglichenen Gewichts durch einfaches Herausziehen oder Hinein­ schieben in das Standgehäuse grob in der Höhe verfahren werden. Danach wird der Flaschenzug an der festen Rolle geklemmt und der Testkopf mittels der Gewindespindel, die an der beweglichen Rolle über eine Füh­ rungsplatte befestigt ist, fein in der Höhe eingestellt werden, ohne daß weitere Führungsmittel in der Handhabungsvorrichtung angeordnet werden müssen.a) The test head holder can result if the pulley is not clamped  the balanced weight by simply pulling it out or in slide into the stand housing to be moved roughly in height. After that the pulley is clamped to the fixed roller and the test head by means of the threaded spindle, which is attached to the movable roller via a guide tion plate is fixed, can be adjusted in height without further guide means can be arranged in the handling device have to.
  • b) Für bestimmte Anwendungszwecke ist es notwendig, den Testkopf schnell in die Höhe heben zu können, wobei aber trotzdem eine genau eingestellte Ausgangslage wieder erreicht werden soll. Hierbei wird die Voreinstellung wie unter a) durchgeführt. Danach kann durch Öffnen der Flaschenzugklemme der Testkopf schnell gehoben und gesenkt werden, wobei das Gewicht des Testkopfes durch entsprechende Gegengewichtsstücke ausgeglichen ist.b) For certain applications, it is necessary to move the test head quickly to be able to lift up, but still a precisely set one Starting position should be reached again. This is the default as under a). Then you can open the pulley clamp the test head can be quickly raised and lowered, the weight of the Test head is balanced by appropriate counterweight pieces.

Als weiterer wesentlicher Vorteil der hier angewendeten kompakten Bau­ weise ist es möglich, die Aufnahmeeinrichtung über der Standsäule in der horizontalen Ebene um 360° schwenkbar zu gestalten. Der Testkopf läßt sich dadurch z. B. für Reparaturzwecke sehr leicht von der Anschlußstelle in einer Prüfeinrichtung nach hinten weg schwenken und ist dadurch sehr gut zugänglich.Another major advantage of the compact construction used here as it is possible, the receiving device in the column above to make the horizontal plane pivotable by 360 °. The test head leaves thereby z. B. for repair purposes very easily from the junction swivel backwards in a test facility and is therefore very easily accessible.

Zugleich ist bei der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung eine tiefe Schwerpunktlage erreicht, was die Standsicherheit der Anordnung erhöht und bei der Handhabung der bis zu 1500 N schweren Testköpfe sehr erwünscht ist.At the same time in the handling device according to the invention low center of gravity reached what the stability of the arrangement increased and when handling the test heads weighing up to 1500 N very much is desired.

Die Anwendung eines zusätzlichen Federausgleichs zwischen dem Querhaupt der Aufnahmeeinrichtung und der Gewindespindel für Feineinstellung ist je nach Handhabungsaufgabe möglich.The application of an additional spring balance between the crosshead the mounting device and the threaded spindle for fine adjustment is each possible after handling task.

Weitere Einzelheiten einer erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung wer­ den im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen an einem Ausfüh­ rungsbeispiel erläutert. Further details of a handling device according to the invention the following with reference to the accompanying drawings on a Ausfü Example explained.  

Fig. 1 zeigt eine räumliche Darstellung einer Handhabungsvorrichtung, Fig. 1 shows a perspective view of a handling device,

Fig. 2 und Fig. 3 zeigen den Aufriß bzw. den Seitenriß des Oberteils der Handhabungsvorrichtung nach Fig. 1. FIG. 2 and FIG. 3 show the elevation and the side elevation of the upper part of the handling device according to FIG. 1.

In der räumlichen Darstellung nach Fig. 1 ist der Aufbau der Handha­ bungsvorrichtung erkennbar.In the spatial representation of FIG. 1, the structure of the handling device can be seen.

Ein vertikales Standgehäuse 1 ist auf dem Boden mit Spreizfüßen 2, die zur vertikalen Justierung mit Stütztellern 3 ausgestattet sind, auf­ stellbar. In dem Standgehäuse ist ein Rundsäulenpaar 4 zur Parallel­ führung längsverschieblich aufgenommen. An das Rundsäulenpaar ist am oberen Ende eine Aufnahmeeinrichtung mit Querhaupt 5, Gelenkarmen 6, 7 und eine Aufnahme 8 mit Kippvorrichtung 9 für einen Testkopf angebaut. Eine Gewindespindel 10 ist mit einem Handrad 11 in dem Querhaupt 5 dreh­ beweglich gelagert. Mit einer Klemme 12 ist die Gewindespindel im Quer­ haupt klemmbar.A vertical stand housing 1 is adjustable on the floor with spreading feet 2 , which are equipped with support plates 3 for vertical adjustment. In the standing housing, a pair of round columns 4 for parallel guidance is slidably received. At the upper end of the pair of round columns, a holding device with a crosshead 5 , articulated arms 6, 7 and a holding device 8 with a tilting device 9 for a test head are attached. A threaded spindle 10 is rotatably mounted with a handwheel 11 in the crosshead 5 . With a clamp 12 , the threaded spindle can be clamped in the cross at all.

Der weitere Aufbau ist aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich:The further structure can be seen from FIGS. 2 and 3:

Das Rundsäulenpaar zur Parallelführung ist in dem Standgehäuse über die Lagerböcke 13 höhenverschieblich gelagert. Zur Lagerung sind Kugelum­ laufbuchsen oder Kunststoffgleitlager 14 geeignet. Die Flaschenzugrollen 15, 16 sind zweirollig symmetrisch ausgebildet. Die bewegliche Rolle 15 ist über eine Führungsplatte 17 auf den Rundsäulen höhenverschieblich gelagert. Die Gewindespindel ist zwischen Führungsplatte 17 und Querhaupt 5 befestigt, wobei die Gewindespindel in einer in der Führungsplatte befestigten Mutter schraubbar ist.The pair of round columns for parallel guidance is mounted in a height-adjustable manner in the standing housing via the bearing blocks 13 . Ball bearings or plastic plain bearings 14 are suitable for storage. The pulley blocks 15, 16 are symmetrical in two rollers. The movable roller 15 is mounted on the round columns in a height-displaceable manner via a guide plate 17 . The threaded spindle is fastened between the guide plate 17 and the crosshead 5 , the threaded spindle being screwable in a nut fastened in the guide plate.

Die feste Führungsrolle 16 ist ebenfalls zweirollig ausgeführt und mittels Achse 18 in dem Standgehäuse aufgenommen. Diese Achse ist mit den Klemmschrauben 19 in dem Standgehäuse klemmbar.The fixed guide roller 16 is also designed with two rollers and is received in the standing housing by means of axis 18 . This axis can be clamped with the clamping screws 19 in the standing housing.

In dem Standgehäuse sind Gegengewichte 20 vertikal beweglich angeordnet. Zum Auflegen oder Abnehmen der Gewichte ist in dem Standgehäuse eine Türe vorgesehen.Counterweights 20 are arranged so that they can move vertically in the standing housing. A door is provided in the stand housing for placing or removing the weights.

Die Gewichte sind über die feste Flaschenzugrolle und die lose Flaschen­ zugrolle mit einer doppelt angeordneten Rollenkette mit einem Justier­ schloß 21 an der Standsäule angelenkt. Das Justierschloß enthält eine Anordnung zur genauen Abstimmung der Kettenlänge. Die Aufhängung der Gewichte an der Rollenkette ist ebenfalls mittels Justierschlössern 21 in der Höhe korrigierbar.The weights are on the fixed pulley and the loose bottles zugrolle with a double roller chain with an adjustment lock 21 articulated on the pedestal. The adjustment lock contains an arrangement for precise adjustment of the chain length. The suspension of the weights on the roller chain can also be corrected in height by means of adjusting locks 21 .

Claims (9)

1. Handhabungsvorrichtung, insbesondere zur Handhabung von Testköpfen, mit einem Standgehäuse auf Spreizfüßen, in dem zwei Führungssäulen beweg­ lich gelagert sind, mit einer Aufnahmeeinrichtung mit Querhaupt und Gelenkarmen und einer Kippvorrichtung, die um eine horizontale Achse schwenkbar ist, mit einer per Handrad betätigbaren Gewindespindel zur Höheneinstellung, dadurch gekennzeichnet, das für den Gewichtsausgleich des Testkopfes und der Aufnahmeeinrichtung Gewichtsstücke (20) in dem Standgehäuse (1) höhenverschieblich über eine Flaschenzuganordnung mit einer Führungsplatte (17) verbunden sind, wobei die Aufnahmeeinrichtung mit der Gewindespindel (10) zur Festeinstellung in der Höhe gegenüber der Führungsplatte verstellbar ist.1.Handling device, in particular for handling test heads, with a stand housing on spreading feet, in which two guide columns are movably supported, with a receiving device with crosshead and articulated arms and a tilting device which can be pivoted about a horizontal axis, with a threaded spindle which can be actuated by handwheel for height adjustment, characterized in that for the weight compensation of the test head and the receiving device, weights ( 20 ) in the standing housing ( 1 ) are connected to a guide plate ( 17 ) such that they can be shifted in height by means of a pulley arrangement, the receiving device having the threaded spindle ( 10 ) for fixed adjustment in the height relative to the guide plate is adjustable. 2. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Flaschenzug eine über Zahnräder geführte Rollenkette verwendet wird.2. Handling device according to claim 1, characterized in that used a roller chain guided by gear wheels for the pulley system becomes. 3. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Flaschenzug ein über Seilrollen laufendes Drahtseil verwendet wird.3. Handling device according to claim 1, characterized in that a wire rope running over pulleys is used for the pulley system becomes. 4. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Flaschenzug ein über Scheibenrollen laufendes Stahlband verwendet wird.4. Handling device according to claim 1, characterized in that a steel belt running over pulley wheels is used for the pulley system becomes. 5. Handhabungsvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Flaschenzug mit Parallelrollen ausgeführt ist.5. Handling device according to claims 1 to 4, characterized records that the pulley system is designed with parallel rollers. 6. Handhabungsvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Justierung der Verbindungsmittel des Flaschenzuges (Kette, Seil, Band) ein entsprechendes Justierschloß 21 vorgesehen ist.6. Handling device according to claims 1 to 5, characterized in that a corresponding adjusting lock 21 is provided for adjusting the connecting means of the pulley block (chain, rope, band). 7. Handhabungsvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Flaschenzug feststellbar ist. 7. Handling device according to claims 1 to 6, characterized records that the pulley can be determined.   8. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Festlegung des Flaschenzuges durch eine Klemmung an der Achse der feststehenden Flaschenzugrolle (16) vorgenommen wird.8. Handling device according to claim 7, characterized in that the fixing of the pulley block is carried out by clamping on the axis of the fixed pulley block ( 16 ). 9. Handhabungsvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Aufnahmeeinrichtung mit Querhaupt, Gelenkarmen und Klemmvorrichtung über der Standsäule in der horizontalen Ebene um 360° schwenkbar ist.9. Handling device according to claims 1 to 8, characterized records that the recording device with crosshead, articulated arms and Clamping device above the pedestal in the horizontal plane by 360 ° is pivotable.
DE19863617741 1986-05-27 1986-05-27 Handling device Granted DE3617741A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863617741 DE3617741A1 (en) 1986-05-27 1986-05-27 Handling device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863617741 DE3617741A1 (en) 1986-05-27 1986-05-27 Handling device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3617741A1 true DE3617741A1 (en) 1987-12-03
DE3617741C2 DE3617741C2 (en) 1993-05-27

Family

ID=6301703

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863617741 Granted DE3617741A1 (en) 1986-05-27 1986-05-27 Handling device

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3617741A1 (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19517330A1 (en) * 1995-05-11 1996-11-14 Heigl Helmuth Handling device for tester heads of wafer testing machine
EP0918598A1 (en) * 1996-06-13 1999-06-02 Genmark Automation, Inc. Universally tiltable z axis drive arm
DE4007011C2 (en) * 1990-03-06 1999-11-18 Helmuth Heigl Positioning device
US6271657B1 (en) 1997-07-25 2001-08-07 Advantest Corporation Test head positioner for semiconductor device testing apparatus
FR2806022A1 (en) * 2000-03-13 2001-09-14 Abb Barras Provence Manipulator for aligning and docking a device for testing integrated circuits with a handling device containing the components under test has a servo-actuator to compensate for the mass of the test device
DE19847855C2 (en) * 1997-10-17 2003-07-10 Janome Sewing Machine Co Ltd Multi-joint robot
WO2004031782A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-15 Intest Ip Corp. Test head positioning apparatus
EP2114634A1 (en) * 2007-02-23 2009-11-11 Intest Corporation Test head manipulator
CN108927373A (en) * 2018-07-04 2018-12-04 安徽思源三轻智能制造有限公司 A kind of device gluing aluminium cleaning for hub mold
CN109142909A (en) * 2018-07-06 2019-01-04 安徽贝昂科技有限公司 A kind of electronic test equipment micromatic setting

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29709122U1 (en) * 1997-05-23 1998-09-24 Upat Max Langensiepen Kg Device for screwing in fasteners
DE102004026031B3 (en) * 2004-05-27 2005-08-11 Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. Handling device for positioning a test head on a testing device for testing integrated circuits comprises an adjusting unit which can be moved in the vertical direction by a drive spindle, and a counter plate
DE102007024949B3 (en) * 2007-05-30 2009-01-22 Hubertus Heigl Handling device for positioning a test head, in particular on a test device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3113185A1 (en) * 1981-04-01 1982-10-28 Zahnradfabrik Friedrichshafen Ag, 7990 Friedrichshafen Stop system, especially for handling devices
US4588346A (en) * 1982-08-25 1986-05-13 Intest Corporation Positioner for maintaining an object in a substantially weightless condition
DE3524348C2 (en) * 1985-07-08 1990-05-10 Helmuth Dr.-Ing. 8208 Kolbermoor De Heigl

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3113185A1 (en) * 1981-04-01 1982-10-28 Zahnradfabrik Friedrichshafen Ag, 7990 Friedrichshafen Stop system, especially for handling devices
US4588346A (en) * 1982-08-25 1986-05-13 Intest Corporation Positioner for maintaining an object in a substantially weightless condition
DE3524348C2 (en) * 1985-07-08 1990-05-10 Helmuth Dr.-Ing. 8208 Kolbermoor De Heigl

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DD-B.: Dr. Ludwig Otto, "Der Mikromanipulator und seine Hilfsgeräte", VEB Verlag Technik, Berlin, 1954, S. 57 u. 58 *

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4007011C2 (en) * 1990-03-06 1999-11-18 Helmuth Heigl Positioning device
DE19517330C2 (en) * 1995-05-11 2002-06-13 Helmuth Heigl handling device
DE19517330A1 (en) * 1995-05-11 1996-11-14 Heigl Helmuth Handling device for tester heads of wafer testing machine
EP1529607A1 (en) * 1996-06-13 2005-05-11 Genmark Automation, Inc. Universally tiltable elevator structure for positioning an apparatus for picking up an article
EP0918598A1 (en) * 1996-06-13 1999-06-02 Genmark Automation, Inc. Universally tiltable z axis drive arm
EP0918598A4 (en) * 1996-06-13 2000-02-23 Genmark Automation Inc Universally tiltable z axis drive arm
US6271657B1 (en) 1997-07-25 2001-08-07 Advantest Corporation Test head positioner for semiconductor device testing apparatus
DE19833500B4 (en) * 1997-07-25 2004-11-18 Advantest Corp. Test head positioning device for a semiconductor component test device
DE19847855C2 (en) * 1997-10-17 2003-07-10 Janome Sewing Machine Co Ltd Multi-joint robot
FR2806022A1 (en) * 2000-03-13 2001-09-14 Abb Barras Provence Manipulator for aligning and docking a device for testing integrated circuits with a handling device containing the components under test has a servo-actuator to compensate for the mass of the test device
WO2004031782A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-15 Intest Ip Corp. Test head positioning apparatus
EP2114634A1 (en) * 2007-02-23 2009-11-11 Intest Corporation Test head manipulator
EP2114634A4 (en) * 2007-02-23 2010-11-17 Intest Corp Test head manipulator
CN108927373A (en) * 2018-07-04 2018-12-04 安徽思源三轻智能制造有限公司 A kind of device gluing aluminium cleaning for hub mold
CN109142909A (en) * 2018-07-06 2019-01-04 安徽贝昂科技有限公司 A kind of electronic test equipment micromatic setting
CN109142909B (en) * 2018-07-06 2020-11-27 芜湖久尚机电科技有限公司 Fine adjustment device for electronic test equipment

Also Published As

Publication number Publication date
DE3617741C2 (en) 1993-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19517330C2 (en) handling device
DE3617741A1 (en) Handling device
DE4007011C2 (en) Positioning device
WO1991000472A1 (en) Stand equipped with accessory devices, for supporting freely orientable apparatus
EP0230236B1 (en) Apparatus for positioning data display units
DE3524348C2 (en)
EP0233507A1 (en) Supporting device for horizontally and vertically adjustable data display units
DE10132489B4 (en) Handling device for positioning a test head holding an integrated circuit or wafer relative to a testing device, has a positioning mechanism that ensures exactly reproducible and smooth movement of the test head
DE19718398A1 (en) Handling mechanism for semiconductor wafer testing system
DD152409A1 (en) DEVICE FOR COUPLING A MEASURING TABLE TO THE BASE OF A MEASURING MACHINE
DE3526137C2 (en) Test head manipulator
DE951307C (en) Teaching or measuring device
DE19626286A1 (en) MRI breast coil
DE102004026031B3 (en) Handling device for positioning a test head on a testing device for testing integrated circuits comprises an adjusting unit which can be moved in the vertical direction by a drive spindle, and a counter plate
CH425247A (en) Measuring device
EP0277304A1 (en) Mounting apparatus for a measuring cryostat
DE102018125405A1 (en) Device for arranging an object to be measured in a measuring position on a measuring machine
DE2649950A1 (en) Laboratory stand with pneumatically assisted height adjustment - esp. for rotary evaporators etc.
DE202016100883U1 (en) recording system
DE4236840C2 (en) Device for testing gear wheels
DE3813356A1 (en) Power sports training apparatus
DE692754C (en) Installation on portable field measuring devices
DE404290C (en) Deflector device for compasses
DE10023912C2 (en) Test bench for printing plates
DE202019002124U1 (en) Column stand with boom

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee