DE3620947A1

DE3620947A1 - Contact element for test boards

Info

Publication number: DE3620947A1
Application number: DE19863620947
Authority: DE
Inventors: Klaus Giringer
Original assignee: Feinmetall GmbH
Current assignee: Feinmetall GmbH
Priority date: 1986-06-23
Filing date: 1986-06-23
Publication date: 1988-01-07

Abstract

A contact element for test boards, for testing test devices which serve electrical or electronic items under test. It has a metallic shaft which can be mounted on the test board, a curved, metallic bending spring which is arranged firmly on this shaft, and a metallic needle which is arranged firmly on the bending spring. In order to reduce or alleviate the risk of the bending spring fracturing, that region of the bending spring which produces, or essentially produces, the springing of the needle (which is welded on or soldered on or is formed by a tapered region or an extension which is integral with the bending spring) has at least one curve which acts with the springing.

Description

Die Erfindung betrifft ein Kontaktelement für Prüfkarten gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.The invention relates to a contact element for Test cards according to the preamble of claim 1.

Solche Prüfkarten sind bekannt (KULLEN "Waferprüfung - ein mikrotechnisches Problem", Jahrbuch der Deutschen Gesellschaft für Chronometrie, Nr. 36/1985, S. 85-92b). Sie werden an Prüfköpfen von Waferprober oder sonstigen Prüfvorrichtungen zum Prüfen von elektrischen oder elektronischen Prüflingen, wie Chips, Chips auf Wafers, Leiterplatten oder dergl., angeordnet und weisen im allge meinen dem elektrischen Anschluß der Kontaktelemente dienende Leiterbahnen auf, wobei die Schäfte der Kontaktelemente an die Leiterbahnen elektrisch ange schlossen werden. Die langgestreckten, dünnen Kontakt elemente durchdringen ein mittiges Loch der Prüfkarte und ihre Nadeln enden in geringen Abständen von einander, wobei die Spitzen der Nadeln eine Anordnung haben, die der Anordnung von durch sie zu kontak tierenden Kontaktstellen, wie Pads oder dergl. der Prüflinge entspricht. Solche Prüfkarten bezeichnet man auch als Leiterkarten, Nadelkarten, Nadelträger oder Ringkarten. Such inspection cards are known (KULLEN "wafer inspection - a microtechnical problem", yearbook of the German Society for Chronometry, No. 36/1985, pp. 85-92b). They are arranged on test heads of wafer probers or other test devices for testing electrical or electronic test specimens, such as chips, chips on wafers, printed circuit boards or the like, and generally have conductor tracks serving for the electrical connection of the contact elements, the shafts of the contact elements indicating the conductor tracks are electrically connected. The elongated, thin contact elements penetrate a central hole in the test card and their needles end at short distances from one another, the tips of the needles having an arrangement which corresponds to the arrangement of contact points to be contacted by them, such as pads or the like . Such test cards are also referred to as circuit cards, needle cards, needle carriers or ring cards.

Ein bekanntes, von der Anmelderin hergestelltes und vertriebenes metallisches Kontaktelement 10 für Prüfkarten ist in Fig. 1 und 2 dargestellt. Es weist einen langen, rechtwinkligen Schaft 11 auf, dessen langer Schenkel 12 Sollbruchstellen 25 zu seinem Kürzen aufweist und welcher langer Schenkel 12 an einer Leiterbahn 13 einer eine mehr oder weniger große Anzahl solcher Kontaktelemente 10 tragenden, strichpunktiert angedeuteten Prüfkarte 14 befestigt ist und durch ein mittiges Loch 15 dieser Prüf karte 14 mit seinem kurzen, um 90° zum langen Schenkel 12 abgewinkelten Schenkel 16 hindurchragt. An dem unteren Ende dieses kurzen Schenkels 16 ist eine eine Blattfeder bildende, L-fömige, ge krümmte Biegefeder 17 einstückig mit dem Schaft 11 angeordnet, welche einen sehr kurzen, an den Schenkel 16 gerade anschließenden Schenkel 19 und anschließend einen parallel zum Schenkel 12 verlaufenden, geraden, langen Schenkel 20 aufweist. An diesen langen Schenkel 20 ist untenseitig eine sehr dünne, runde Nadel 21 angelötet, deren kurzer abgewinkelter freier Endbereich 22 schräg zum Schenkel 12 des Schaftes 11 geneigt ist. Die Kontakt nadel 21 ist auf dem gesamten Längsbereich, an dem sie an dem Schenkel 20 anliegt, an diesen angelötet, d.h. fast über die ganze Länge dieses Schenkels 20 auch bis unter eine Schraube 23, die in eine vom Schenkel 16 des Schaftes 11 abstehende Konsole 24 eingeschraubt ist und an den langen Schenkel 20 der Feder 17 zu dessen Justierung und auch ein Wider lager für ihn bildend angedrückt ist. Die an der Feder 17 anliegende Spitze der Schraube 23 sei als Widerlagerpunkt 9 bezeichnet. Hierdurch ist diese Biegefeder 17 praktisch nur auf ihrem rechtsseitig dieses Widerlagerpunktes 9 befindlichen geraden Bereich federwirksam, so daß sie die Federeigen schaften einer geraden Biegefeder hat, die maßgebend mit durch das die Nadel 10 an der Biegefeder haltende Lot bestimmt sind. Da diese Lötung für jedes Kontakt element 10 bei der Serienherstellung etwas anders ausfällt, werden relativ große Toleranzen der Fe derkennlinie der Biegefeder 17 bewirkt. Auch wirkt die einzige Krümmung 18 der Biegefeder 17 nicht an der Federung der Nadel 21 mit, da sie sich links von der Schraube 23 befindet. Die Biegefeder 17 hat eine Länge von ca. 10 mm und muß im Betrieb unter Umständen Millionen von Lastwechseln aushalten und Kontaktkräfte auf die Prüflinge von oft mehreren hundert cN ausüben, so daß wegen der starken Belastung Bruchgefahr durch Ermüdung besteht.A known metallic contact element 10 for test cards manufactured and sold by the applicant is shown in FIGS . 1 and 2. It has a long, right-angled shaft 11 , the long leg 12 of which has predetermined breaking points 25 for its shortening and which long leg 12 is attached to a conductor track 13 of a test card 14 , indicated by dash-dotted lines and carrying a more or less large number of such contact elements 10 , and by a central hole 15 of this test card 14 with its short, angled through 90 ° to the long leg 12 leg 16 protrudes. At the lower end of this short leg 16 is a leaf spring, L-shaped, ge curved spiral spring 17 is integrally arranged with the shaft 11 , which has a very short, straight to the leg 16 leg 19 and then a parallel to the leg 12 , straight, long leg 20 . A very thin, round needle 21 is soldered to the underside of this long leg 20 , the short angled free end region 22 of which is inclined at an angle to the leg 12 of the shaft 11 . The contact needle 21 is soldered to the entire longitudinal region on which it rests on the leg 20 , that is to say almost over the entire length of this leg 20 up to and including a screw 23 which projects into a bracket projecting from the leg 16 of the shaft 11 24 is screwed in and is pressed onto the long leg 20 of the spring 17 for its adjustment and also an opposing bearing for it. The tip of the screw 23 resting on the spring 17 is referred to as the abutment point 9 . As a result, this spiral spring 17 is practically spring-effective only on its right-hand side of this abutment point 9 , so that it has the spring properties of a straight spiral spring, which are largely determined by the solder holding the needle 10 on the spiral spring. Since this soldering is slightly different for each contact element 10 during series production, relatively large tolerances of the spring characteristic of the spiral spring 17 are brought about. Also, the only curvature 18 of the spiral spring 17 does not contribute to the suspension of the needle 21 , since it is located on the left of the screw 23 . The spiral spring 17 has a length of approx. 10 mm and may have to withstand millions of load changes during operation and exert contact forces on the test specimens, often of several hundred cN, so that there is a risk of fatigue breakage due to the heavy load.

Es ist deshalb eine Aufgabe der Erfindung, ein Kontaktelement gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 dahingehend zu verbessern, daß die Bruchgefahr der Biegefeder bei vorgegebenem Federweg und vorgegebener Anpreßkraft (Kontaktkraft) der Nadel an die Prüflinge verringert oder ganz ver mieden und engere Toleranzen der Federkennlinie bei in Serie hergestellten Kontaktelementen dieser Art problemlos eingehalten werden können. It is therefore an object of the invention to provide a Contact element according to the preamble of claim 1 to improve in that the risk of breakage the spiral spring with a given travel and predetermined contact pressure (contact force) of the Needle on the test specimens reduced or completely ver avoided and tighter tolerances of the spring characteristic in series-produced contact elements Art can be easily met.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Kontaktelement gemäß Anspruch 1 gelöst.This object is achieved by a Contact element according to claim 1 solved.

Bei diesem Kontaktelement ist die Bruchgefahr der Biegefeder bei gegebenem Federweg und ge gebener Anpreßkraft (Kontaktkraft) der Nadel an Prüflinge erheblich verringert oder ganz behoben, indem die federwirksame Länge des die Federung der Nadel bewirkenden oder im wesentlichen bewirkenden Bereiches der Biegefeder durch die mindestens eine Krümmung bei gegebenem linearen Abstand der freien Spitze der Nadel vom Fuß oder Widerlagerpunkt der Biegefeder vergrößert ist. Zwar muß hierbei dieser Bereich der Biege feder - der ein Teilbereich der Biegefeder sein oder diese im Ganzen bilden kann - zur Erzielung derselben Kontaktkraft bei gleich großem Federweg der Nadel mit vergrößertem Querschnitt oder Quer schnitten ausgeführt werden, doch ergibt sich dennoch eine erhebliche Verringerung der in ihr im Betrieb auftretenden Schubspannungen mit dem Ergebnis, daß sie nicht mehr oder langsamer er müdet und insgesamt die Bruchgefahr im Betrieb an ihr vermieden oder erheblich reduziert ist. Indem ferner dabei auch die Nadel entweder nicht mehr an die Biegefeder angelötet oder nur mit einem kurzen Endbereich von ihr an sie angelötet oder angeschweißt ist, lassen sich in der Serien herstellung problemlos engere Toleranzen der Federkennlinie des Kontaktelementes als bei dem in Fig. 1 und 2 dargestellten, vorbekannten Kontaktelement 10 einhalten. Bevorzugt kann im Falle des Anlötens oder Anschweißens der Nadel an einem freien Endbereich der Biegefeder die Maßnahme nach Anspruch 8 vorgesehen sein.With this contact element, the risk of breakage of the spiral spring for a given spring travel and given contact pressure (contact force) of the needle on test specimens is considerably reduced or completely eliminated by the spring-effective length of the region of the spiral spring causing or essentially effecting the spring due to the at least one curvature for a given linear distance of the free tip of the needle from the foot or abutment point of the spiral spring is increased. Although this area of the bending spring - which can be a partial area of the spiral spring or form it as a whole - must be cut to achieve the same contact force with the same travel of the needle with an enlarged cross-section or cross-section, there is nevertheless a considerable reduction in the shear stresses that occur in operation with the result that it does not tire him more or more slowly and overall the risk of breakage during operation is avoided or considerably reduced. Furthermore, since the needle is either no longer soldered to the spiral spring or is soldered or welded to it only with a short end region of it, tighter tolerances of the spring characteristic of the contact element can easily be achieved in series production than in the case of FIGS. 1 and 2 Comply with the known contact element 10 shown . In the case of soldering or welding the needle to a free end region of the spiral spring, the measure according to claim 8 can preferably be provided.

Die Ausbildung der Nadel als gesondertes Teil hat den Vorteil, daß für sie der Werkstoff und seine evtl. Vergütung so vorgesehen werden können, daß sie besonders günstige Eigenschaften, wie Härte und Verschleißfestigkeit aufweist. Für die Biege feder kann dann ein anderer geeigneter Werkstoff und ggf. dessen Vergütung vorgesehen sein, die zu besonders günstiger Federungscharakteristik und möglichst geringer Ermüdungsgefahr führt. Diese Biegefeder kann vorzugsweise einstückig mit dem Schaft sein. Jedoch ist auch möglich, sie als gesondertes Teil an dem Schaft anzuordnen. Auch ist es möglich, am Schaft erfindungsgemäßer Kontaktelemente eine Konsole, ähnlich wie bei dem Kontaktelement nach Fig. 1, 2 anzuordnen, die eine in einem Gewindeloch von ihr geführte Ein stellschraube zum Justieren der Biegefeder aufweist und einen Widerlagerpunkt für die Biegefeder bildet. In den Fig. 3 bis 7 sind Kontaktelemente gemäß Ausführungsbeispielen der Erfindung dargestellt. Es zeigen:The formation of the needle as a separate part has the advantage that the material and its possible remuneration can be provided for it so that it has particularly favorable properties, such as hardness and wear resistance. For the bending spring, another suitable material and, if necessary, its remuneration can then be provided, which leads to particularly favorable suspension characteristics and the lowest possible risk of fatigue. This spiral spring can preferably be in one piece with the shaft. However, it is also possible to arrange them as a separate part on the shaft. It is also possible to arrange a bracket on the shaft of contact elements according to the invention, similar to the contact element according to FIGS . 1, 2, which has a set screw guided in a threaded hole for adjusting the spiral spring and forms an abutment point for the spiral spring. In Figs. 3 to 7 contact elements of the invention are shown in accordance with embodiments. Show it:

Fig. 3 eine Seitenansicht eines Kontaktelementes gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, Fig. 3 is a side view of a contact element according to an embodiment of the invention,

Fig. 4 eine Draufsicht auf das Kontaktelement nach Fig. 3, Fig. 4 is a plan view of the contact element according to Fig. 3,

Fig. 5 eine Seitenansicht eines Kontaktelementes gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung, Fig. 5 is a side view of a contact element according to a second embodiment of the invention,

Fig. 6 eine vergrößerte Vorderansicht des freien geraden Endbereiches der Biegefeder mit Nadel des Kontaktelementes nach Fig. 5, Fig. 6 is an enlarged front view of the free straight end portion of the bending spring with needle of the contact element according to Fig. 5,

Fig. 7 eine Variante der Fig. 6, bei der die Nadel durch einen zugespitzten Bereich der Biege feder gebildet ist. Fig. 7 shows a variant of Fig. 6, in which the needle is formed by a tapered area of the bending spring.

Das metallische Kontaktelement 30 nach den Fig. 3 und 4 weist einen L-förmigen Schaft 31 auf, dessen langer, gerader Schenkel 32 zur Anordnung an einer strich punktiert angedeuteten Prüfkarte 14′ in elektrischer Ver bindung, vorzugsweise durch Löten, mit einer auf dieser Prüfkarte angeordneten Leiterbahn 13′ bestimmt ist. Er weist Sollbruchstellen 25′ auf, um ihn je nach Wunsch auf einfache Weise durch Abbrechen kürzen zu können. An den kurzen, um 90° abgewinkelten Schenkel 33 dieses Schaftes schließt einstückig mit ihm eine ser pentinenförmig - hier S-förmig oder schwanenhalsförmig - gewundene Biegefeder 34 an, die bei 35 beginnt und wesentlich geringere Dicke als der Schaft 31 aufweist und sich auf einem Teil ihrer Länge in Richtung auf ihr freies Ende zu verjüngt. Ein kurzer Endbereich 36 der Biege feder ist gerade und unter einem Winkel von ca. 73° zur Längsachse des langen Schenkels 32 des Schaftes 11 geneigt angeordnet. An diesen freien Endbereich ist eine kurze, gerade Nadel 37 runden Querschnittes, deren Durchmesser erheblich kleiner als die Breite dieses freien Endbereiches 36 der Biegefeder 34 ist, angelötet oder angeschweißt. Diese Löt- bzw. Schweißstelle stört wegen ihrer Kürze die Feder kennlinie der Biegefeder 34 nicht und wirkt sich so bei der Serienherstellung nicht toleranzvergrößernd auf sie aus.The metallic contact element 30 according to FIGS. 3 and 4 has an L-shaped shaft 31 , the long, straight leg 32 for arrangement on a dash-dotted test card 14 'in electrical connection, preferably by soldering, with one on this test card arranged conductor track 13 'is determined. It has predetermined breaking points 25 'in order to be able to shorten it easily by canceling it, if desired. At the short, 90 ° angled leg 33 of this shaft integrally integrates with it a serpentine-shaped - here S-shaped or gooseneck-shaped - spiral spiral spring 34 , which begins at 35 and has a much smaller thickness than the shaft 31 and is on one part tapered their length towards their free end. A short end portion 36 of the bending spring is straight and inclined at an angle of approximately 73 ° to the longitudinal axis of the long leg 32 of the shaft 11 . A short, straight needle 37 of round cross-section, the diameter of which is considerably smaller than the width of this free end region 36 of the spiral spring 34, is soldered or welded onto this free end region. This soldering or welding point does not interfere with the spring characteristic of the spiral spring 34 because of its brevity and thus does not have an increasing tolerance effect on it during series production.

Die rechteckförmige, flache Querschnitte aufweisen de Biegefeder 34 ist in diesem Ausführungsbeispiel dadurch eine gekrümmte Blattfeder, indem jeweils ge rade Bereiche der Biegefeder durch Krümmungen 39 bil dende, kurze Kreisbögen dieser Biegefeder wie dargestellt miteinander verbunden sind. Es ergibt sich so ein schwanenhals- oder S-förmiger, langgestreckter Verlauf der Biegefeder 34, der ihr besonders gute Federungs eigenschaften ergibt, insbesondere praktisch Ermüdungs freiheit, so daß diese Biegefeder 34 auch bei sehr großen Anzahlen von Prüfvorgängen noch keiner Bruch gefahr unterliegt, da sie federungsgemäßig nicht stark beansprucht wird und zwar bei gleichem Feder weg und gleicher Kontaktkraft viel weniger als das vorbekannte Kontaktelement nach Fig. 1 und 2.Vier der Krümmungen 39 bilden 90°-Kreisbögen.The rectangular, flat cross-sections have de spiral spring 34 is in this embodiment a curved leaf spring by ge straight regions of the spiral spring by curvatures 39 bil dende, short arcs of this spiral spring are connected to each other as shown. It arises as a gooseneck or S-shaped, elongated course of the spiral spring 34, which gives it particularly good suspension characteristics, in particular virtually fatigue freedom, so that this bending spring 34 danger, subject even with very large numbers of test procedures nor any break since it is not subjected to high stresses in terms of suspension, namely with the same spring gone and the same contact force much less than the previously known contact element according to FIGS . 1 and 2. Four of the curvatures 39 form 90 ° arcs.

Die Nadel 37 kann bspw. einen Durchmesser von vorzugsweise weniger als 0,2 mm aufweisen. Der Schaft 31 kann bspw. quadratischen Querschnitt mit 1 bis 1,6 mm Seitenlänge aufweisen. Die Dicke der Biegefeder 34 kann in diesem Ausführungsbei spiel bspw. 0,4 bis 0,7 mm und die Länge L bspw. 11 mm betragen. Die Nadel 37 durchdringt ein mittiges Loch 15′ der Prüfkarte 14′ wie dargestellt schräg zu deren vertikaler Längsachse. An dieser nur strichpunktiert angedeuteten Prüfkarte 14′ können eine Vielzahl solcher Kontakt elemente 30 in radialen Richtungen, also strahlen förmig angeordnet sein und die geraden Schenkel 32 dieser Kontaktelemente sind an zugeordnete Leiter bahnen, wie 13′, dieser Prüfkarte in elektrischem Kontakt mit ihnen fest angeordnet.For example, the needle 37 can have a diameter of preferably less than 0.2 mm. The shaft 31 can have, for example, a square cross section with a side length of 1 to 1.6 mm. The thickness of the spiral spring 34 can be in this embodiment, for example, 0.4 to 0.7 mm and the length L, for example, 11 mm. The needle 37 penetrates a central hole 15 'of the test card 14 ' as shown obliquely to the vertical longitudinal axis. On this only dash-dotted test card 14 ', a plurality of such contact elements 30 in radial directions, that is to say arranged in rays, and the straight legs 32 of these contact elements are on associated conductors, such as 13' , this test card in electrical contact with them fixedly arranged .

Anstelle der dargestellten Biegefeder 34 kommen auch andere gekrümmte Biege federn in Frage. Z. B. vorzugsweise ebenfalls serpentinenförmig gekrümmte Biegefedern.Instead of the bending spring 34 shown , other curved bending springs can also be used. For example, preferably also spiral springs bent in a serpentine shape.

Zum Beispiel können oft zweckmäßig U-förmig, V-förmig, M-förmig, W-förmig oder wellenförmig gekrümmte Biegefedern vorgesehen sein. Auch andere Biegungen kommen in Frage, durch die die Länge des die Biegefeder 34 bildenden Streifens 43 deutlich größer als der Abstand L des fußseitigenEndes 35 der Biegefeder 34 von ihrem freien Ende 42 wird. Vorzugsweise kann das Verhältnis der Länge dieses Streifens 43 zum Abstand L größer als 1,2, besonders zweckmäßig größer als 1,8 sein. Auch kann das Verhältnis der Länge dieses Streifens 43 zur Länge a des an dem geraden Endbereich 36 anliegenden Bereichs der Nadel zweck mäßig mindestens 3:1, vorzugsweise mindestens 6:1 betragen. Dieses Verhältnis beträgt in diesem Ausführungs beispiel ca. 11:1. For example, U-shaped, V-shaped, M-shaped, W-shaped or wavy curved spiral springs can often be provided expediently. Other bends are also possible, as a result of which the length of the strip 43 forming the bending spring 34 is significantly greater than the distance L of the foot-side end 35 of the bending spring 34 from its free end 42 . The ratio of the length of this strip 43 to the distance L can preferably be greater than 1.2, particularly advantageously greater than 1.8. The ratio of the length of this strip 43 to the length a of the region of the needle abutting the straight end region 36 can expediently be at least 3: 1, preferably at least 6: 1. This ratio is approximately 11: 1 in this embodiment.

Durch die Schrägstellung der Nadel 37 wird in bekannter Weise erreicht, daß sie beim Kontaktieren von Prüflingen auf den zu kontaktierenden Stellen etwas entlang gleitet,was günstig für guten elektrischen Kontakt ist.Due to the inclination of the needle 37 it is achieved in a known manner that it slides somewhat along the points to be contacted when contacting test specimens, which is favorable for good electrical contact.

Das Kontaktelement 30 nach Fig. 5 und 6 unterscheidet sich von dem nach Fig. 3 und 4 nur dadurch, daß die Nadel 37′ als mit der Biegefeder einstückige gerade Verlängerung des geraden Endbereiches 36 der Biege feder 34 ausgebildet ist. Diese Nadel 37′ ist im Querschnitt gegenüber dem Querschnitt des angrenzenden Endbereiches 36 der Biegefeder verringert und kann flache rechteckförmige oder auch runde oder sonstige geeignete Querschnitte aufweisen.The contact element 30 according to FIGS. 5 and 6 differs from that according to FIGS. 3 and 4 only in that the needle 37 'as a one-piece with the spiral spring straight extension of the straight end portion 36 of the bending spring 34 is formed. This needle 37 'is reduced in cross section compared to the cross section of the adjacent end portion 36 of the spiral spring and may have flat rectangular or round or other suitable cross sections.

Die Nadel 37′ kann auch durch eine Zuspitzung des freien Endes der Biegefeder 34 gebildet sein, wie es an einem Ausführungsbeispiel in Fig. 7 darge stellt ist, wo ein gerader Bereich des Endbereiches 36 der Biegefeder 34 die Nadel 37′ bildet, indem dieser Bereich 37′ in Vorderansicht zugespitzt ist, und zwar in diesem Ausführungsbeispiel keilförmig. Auch in der nichtdargestellten Seitenansicht kann dieser Bereich 37′ zugespitzt sein oder auch konstante Dicke aufweisen. The needle 37 'can also be formed by tapering the free end of the spiral spring 34 , as is shown in one embodiment in Fig. 7 Darge, where a straight portion of the end portion 36 of the spiral spring 34 forms the needle 37 ' by this area 37 'is tapered in front view, in this embodiment wedge-shaped. Also in the side view, not shown, this area 37 'can be tapered or have a constant thickness.

In den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 3 bis 7 sind die Nadeln 37. 37′ gerade, was besonders zweck mäßig ist. Doch kann die Nadel ggfs. auch eine ge bogene Nadel sein.In the exemplary embodiments according to FIGS. 3 to 7, the needles 37 . 37 'straight, which is particularly appropriate. However, the needle may also be a bent needle.

Alle Teile der dargestellten Kontaktelemente 30 bestehen aus elektrisch gut leitfähigen Metallen.All parts of the contact elements 30 shown consist of electrically highly conductive metals.

Alle in den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 3 bis 6 dargestellten Möglichkeiten, die Nadel 37 bzw. 37′ auszubilden, haben ihre Vorteile. Vorteile der ge sonderten Nadel 37 sind schon weiter oben beschrieben. Die mit der Biegefeder 34 einstückige Ausbildung der Nadel 37′ hat u. a. den Vorteil des Wegfalls der Lötung oder Schweißung und der kostengünstigeren Herstellung.All of the possibilities shown in the exemplary embodiments according to FIGS. 3 to 6 for forming the needle 37 or 37 'have their advantages. Advantages of the ge special needle 37 have already been described above. The one-piece design with the spiral spring 34 of the needle 37 'has the advantage, among other things, of the elimination of soldering or welding and of cheaper production.

Claims

1. Contact element for test cards from the testing of electrical or electronic test specimens, such as chips, chips on wafers, printed circuit boards or the like, serving test devices, which contact element has metallic electrical conductivity and a metal shaft to be fastened to the test card, one on the latter Shaft fixed, curved, metallic bending spring and a fixed to the spiral spring arranged metallic needle, the free end of which is used to come into contact with the test specimens, characterized in that the needle ( 37 ; 37 ') one with the spiral spring ( 34 ) forms an integral extension of the spiral spring or is formed by a tapered area of the bending spring or is soldered or welded to an end region ( 36 ) of the bending spring ( 34 ) and that the area of the bending spring causing or essentially effecting the spring of the needle has at least one has curvature ( 39 ) which acts on the suspension.

2. Contact element according to claim 1, characterized in that the spiral spring has a plurality of curvatures ( 39 ) connected by straight intermediate regions.

3. Contact element according to claim 1 or 2, characterized in that the spiral spring ( 34 ) has a serpentine, preferably approximately S-shaped or gooseneck-like shape.

4. Contact element according to one of the preceding claims, characterized in that the spiral spring ( 34 ) is formed out as a curved leaf spring.

5. Contact element according to one of the preceding claims, characterized in that the shaft ( 31 ) with the spiral spring ( 34 ) is integrally connected.

6. Contact element according to one of the preceding claims, characterized in that the needle ( 37 ; 37 ') with respect to the longitudinal axis of the test card ( 14 ') to be added to the straight region of the shaft ( 31 ) is inclined ge.

7. Contact element according to one of the preceding claims, characterized in that the spiral spring ( 34 ) tapers in the direction of its front end to at least part of its length.

8. Contact element according to one of the preceding claims, characterized in that the length of the bending spring ( 34 ) forming strip ( 43 ) to the length ( a ) of the area of the needle ( 37 ) adjacent to the bending spring, welded or soldered to it, at least 3 : 1, preferably at least 6: 1.

9. Contact element according to one of the preceding claims, characterized in that the needle ( 37 ; 37 ') is straight.