DE3744323C2 - Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren der Frequenz eines Laserstrahles - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren der Frequenz eines LaserstrahlesInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum
Stabilisieren der Frequenz eines Laserstrahles, insbesondere
eines Excimer-Lasers, mit den Merkmalen der
Patentansprüche 1 bzw. 4.
Ein ähnliches Verfahren bzw. eine
Vorrichtung sind aus der nicht vorveröffentlichten DE 38 32 636
A1 bekannt.
Der Laser entwickelt sich in zunehmenden Maße zu einem Instru
ment der Materialbearbeitung. Im Bereich kurzer Wellenlängen
gewinnt der gepulste UV-Strahlung abgebende Excimer-Laser an
Bedeutung.
Bei einer Vielzahl von Laser-Anwendungen wird eine stabile
(d. h. konstante) Frequenz des Laserstrahles gefordert. Sollen
Excimer-Laser z. B. bei einem photolithographischen Verfahren
zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen eingesetzt
werden, so müssen sie schmalbandig mit stabiler Frequenz
betrieben werden, da die erforderliche Optik nicht achromatisch
ist. Die Frequenzbreite soll maximal bei 0,5 cm-1 liegen,
verglichen mit ca. 50 cm-1 bei normalem Betrieb eines Excimer-
Lasers.
Verfahren zur Bandbreiteneinengung, insbesondere bei einem Ex
cimer-Laser, sind bekannt. Zum Beispiel kann die Bandbreite des
Laserstrahles durch Verwendung eines Reflexionsgitters in der
sogenannten Littrow-Anordnung eingeengt werden. Das
Reflexionsgitter dient als wellenlängenselektives Element,
welches zur Veränderung der Frequenz des Laserstrahles
einstellbar ist. Bekannt sind auch Prismen-Anordungen zur
Wellenlängenselektion und -einstellung (W. Demtröder,
"Grundlagen und Techniken der Laserspektroskopie",
Springer-Verlag, 1977, S. 108).
Bei der vorliegenden Erfindung werden die vorstehend genannten
Verfahren zur Wellenlängenselektion und Bandbreiteneinengung
des Laserstrahles als bekannt vorausgesetzt und verwendet.
Die Frequenz eines von einem Laser emittierten Strahles kann
z. B. aufgrund mechanischer oder thermischer Effekte schwanken.
Man unterscheidet Langzeitschwankungen und Kurzzeitschwankun
gen. Es sind auch bereits Verfahren bekannt, derartigen Schwan
kungen entgegenzuwirken und die Strahlfrequenz zu stabilisieren
(siehe z. B. W. Demtröder, "Grundlagen und Techniken der Laser
spektroskopie", Springer-Verlag, 1977, S. 113 bis 119). Dabei
werden unter anderem auch Spektralapparate, wie Fabry-Perot-
Interferometer verwendet, deren Funktion für das Verständnis
der Erfindung ebenfalls als bekannt vorausgesetzt wird.
Bei schmalbandig betriebenen Lasern ist es nicht nur wünschens
wert, die Frequenz stabil zu halten. Darüberhinaus ist es bei
einer Vielzahl von Anwendungen wünschenswert, den Absolutwert
der stabilen Frequenz des Laserstrahles genau zu kennen. Zur
Bestimmung der absoluten Wellenlänge eines Laserstrahles ist
unter anderem auch schon die Ausnutzung des sogenannten optogal
vanischen Effektes bekannt (siehe z. B. F. Babin, P. Camus, J. N.
Gagné, P. Pillet und J. Boulmer in "OPTICS LETTER", Vol. 12,
Juli 1987, S. 486-470; und N. J. Dovichi, D. S. Moore und R. A.
Keller in "APPLIED OPTICS", Vol. 21, 1982, S. 1468-1473).
Der optogalvanische Effekt wurde zunächst im sichtbaren und
IR-Bereich des elektromagnetischen Spektrums eingesetzt. Man
benutzt hierfür eine Glimmlampe oder Standard-Hohlkathodenlampe
und beleuchtet sie mit einem aus dem Laserstrahl ausgekoppelten
Teilstrahl. Es wird dann die Wellenlänge des Lasers mittels des
obengenannten wellenlängenselektiven Elementes geändert und in
Abhängigkeit von der Wellenlänge die Impedanz der Lampe gemes
sen. Auf diese Weise ergibt sich das sogenannte optogalvanische
Spektrum. Entspricht die Laser-Wellenlänge einem energetischen
Übergang in der Lampe (entweder entsprechend dem Spektrum des
Kathodenmaterials oder eines in der Lampe enthaltenen Pufferga
ses), so ändert sich die Impedanz erheblich. Bei einer solchen
Impedanzänderung entspricht die eingestellte Laser-Wellenlänge
dem bekannten, tabellierten Wert des spektralen Überganges in
der Lampe. Der optogalvanische Effekt ermöglicht eine sehr
große Genauigkeit bei der Wellenlängenbestimmung. Bei Wellen
längen unterhalb 300 nm ist der optogalvanische Effekt bei
Standard-Hohlkathodenlampen durch den Photoeffekt überdeckt.
Bei diesen Wellenlängen übersteigen die Photonenenergien die
Elektronen-Austrittsarbeit aus dem Kathodenmaterial, so daß
kaum noch optogalvanische Effekte meßbar sind. In der oben zi
tierten Veröffentlichung von F. Babin e. a. wird eine spezielle
Hohlkathodenanordnung (sogenannte "see-through"-Anordnung) vor
geschlagen, mit der auch UV-Laserstrahlen vermessen werden kön
nen, da der Photoeffekt unterdrückt ist.
Der Abstimmbereich eines schmalbandigen KrF-Excimerlasers liegt
im Wellenlängenbereich von 248 bis 249 nm. Als optogalvanisches
Kalibrierungsnormal zur Bestimmung der Laser-Wellenlänge ist
besonders das Eisen-I-Spektrum geeignet (siehe "HANDBOOK OF
CHEMISTRY AND PHYSICS", 67. Ausg. (1986/87), CRC. Press) be
sonders geeignet.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die
Aufgabe zugrunde, ein einfaches, wenig aufwendiges und meßge
naues Verfahren zum Stabilisieren der Frequenz eines Laser
strahles, insbesondere eines Excimer-Lasers, bereitzustellen.
Darüberhinaus soll auch der Absolutwert der stabilisierten Fre
quenz genau gemessen werden und die Frequenz auf einen gewünsch
ten, vorgegebenen Wert einstellbar sein.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Lösung dieser Aufgabe ist im
Patentanspruch 1 gekennzeichnet, und die erfindungsgemäße Vor
richtung in Anspruch 4.
Unter einem Spektralapparat ist eine Vorrichtung zu verstehen,
die einen elektromagnetischen Strahl wellenlängenabhängig abbil
det. Bekannt sind im wesentlichen Prismenspektrographen, Gitter
spektrographen und Interferenzspektroskope. Für die vorliegende
Erfindung als besonders geeignet haben sich die sogenannten
Fabry-Perot-Etalons erwiesen, die ein konzentrisches Ringsystem
erzeugen, bei dem der Ringdurchmesser von der Wellenlänge des
abgebildeten Lichtes abhängt (siehe W. Demtröder, a. a. O., S. 71,
72).
Es sind unterschiedliche Arten von Festkörper-Bildsensoren be
kannt, z. B. sogenannte Dioden-Arrays, CCD- und Halbleiter-Sen
soren mit statischen Induktionstransistoren. Mit derartigen
Festkörper-Bildsensoren kann ein auf der Empfangsfläche des
Bildsensors abgebildetes Bild direkt in ein entsprechendes
elektrisches Signal umgesetzt werden, welches alle Informationen
des Bildes enthält, also insbesondere dessen Struktur, Lage von
Intensitätsmaxima etc.
Das Verfahren sieht vor,
daß das elektrische Ausgangssignal
des Festkörper-Bildsensors einer Musteranalyse unterzogen wird,
bei der die Lage von Intensitätsmaxima des Bildes ermittelt
wird. Die Lage der aktuell ermittelten Intensitätsmaxima wird
mit zuvor als Bezugssignal gespeicherten Soll-Lagen bezüglich
der Intensitätsmaxima verglichen und entsprechend der Abwei
chung der Lage der aktuellen (momentanen) Intensitätsmaxima von
der Soll-Lage wird ein Stellsignal für das wellenlängenselektive
Element des Lasers abgeleitet, so daß das wellenlängenselektive
Element derart eingestellt wird, daß die Frequenz des Laser
strahles so abgeändert wird, daß die Lage der Intensitätsmaxima
wieder Ihrer Soll-Lage entspricht.
Das Bezugssignal,
welches, wie vorstehend beschrieben, die Soll-Lagen der Inten
sitätsmaxima wiedergibt, wird dadurch gewonnen, daß mittels
des oben beschriebenen optogalvanischen Effektes der Laser
mittels des wellenlängenselektiven Elementes so abgestimmt
wird, daß die Frequenz des Laserstrahles einem Maximum des
optogalvanischen Spektrums entspricht, so daß die Wellenlänge
genau bekannt ist, worauf dann das bei dieser Wellenlänge vom
Festkörper-Bildsensor erzeugte elektrische Signal in einem
Speicher abgespeichert wird, und für den nachfolgenden Betrieb
des Lasers als Bezugssignal dient, so daß der Laser dann bei
einer möglichen Drift der Strahl-Frequenz auf die bekannte Wel
lenlänge geregelt wird.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand
der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 schematisch eine Anordnung zum Stabilisieren der Fre
quenz eines Excimer-Laserstrahles einschließlich
einer Anordnung zum Bestimmen des Absolutwertes der
Strahl-Frequenz;
Fig. 2 ein Block-Diagramm der Steuerschaltung für die Fre
quenzstabilisierung;
Fig. 3 ein Schaltbild für die Messung des Absolutwertes der
Frequenz unter Verwendung des optogalvanischen Ef
fektes; und
Fig. 4 schematisch das von einem Fabry-Perot-Interferometer
erzeugte Bild.
Beim in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel wird ein gepulster
Excimer-Laser 10 beispielhaft mit KrF betrieben. Die Auskoppel
seite des Excimer-Lasers 10 liegt in Fig. 1 rechts. Der emittier
te Laserstrahl 12 hat also seine Zentral-Wellenlängen im Bereich von 248 bis
249 nm. Mittels eines Auskoppelspiegels 14 wird ein geringer
Anteil des Laserstrahles 12 in Form des Teil-Strahles 12'
ausgekoppelt und auf ein Fabry-Perot-Interferometer 16 gerichtet.
Das Fabry-Perot-Interferometer 16 erzeugt ein Bild B in Form
von konzentrischen Ringen aus Intensitätsmaxima I (siehe Fig.
4). Der Excimer-Laser 10 wird in an sich bekannter Weise
schmalbandig betrieben, wozu ein noch weiter unten zu beschrei
bendes optisches Reflexionsgitter dient.
Das vom Fabry-Perot-Interferometer 16 erzeugte Bild B wird auf
einen Festkörper-Bildsensor 18 gerichtet, der als solcher eben
falls bekannt ist und das Bild B in ein äquivalentes elektri
sches Signal 20 umsetzt. Das vom Festkörper-Bildsensor 18 gege
bene elektrische Signal 20 enthält also eine eindeutige Zuord
nung zwischen dem Informationsgehalt des Bildes B und insbeson
dere der Lage der Intensitätsmaxima I (siehe Fig. 4) und den
einzelnen Komponenten des elektrischen Signals 20, welches in
eine weiter unten anhand von Fig. 2 noch näher zu beschreibende
Steuer- und Vergleichsschaltung 30 für die Frequenzstabilisie
rung eingegeben wird.
In der Steuer- und Vergleichsschaltung 30 wird das dem Bild B
entsprechende elektrische Ausgangssignal 20 des Festkörper-
Bildsensors 18 mit einem zuvor abgespeicherten Bezugssignal
(welches weiter unten noch näher beschrieben wird) verglichen.
Wie oben bereits gesagt, ist die Lage der Intensitätsmaxima des
Bildes B und somit auch das vom Festkörper-Bildsensor 18
abgegebene elektrische Signal 20 abhängig von der Wellenlänge
des Laserstrahles 12. Das in der Steuer- und Vergleichsschal
tung 30 abgespeicherte Bezugssignal entspricht einer Soll-Fre
quenz (≘ Wellenlänge) des Laserstrahles 12. Ist das vom Fest
körper-Bildsensor 18 aus dem Bild B abgeleitete elektrische
Signal 20 gleich dem in der Steuer- und Vergleichsschaltung 30
abgespeicherten Bezugssignal, so braucht die Wellenlänge des
Lasers nicht verändert zu werden.
Ermittelt die Steuer- und Vergleichsschaltung aber (in der
weiter unten noch näher beschriebenen Weise) eine Abweichung
zwischen dem momentan gemessenen elektrischen Signal und dem
abgespeicherten Bezugssignal, so wird aus der Abweichung ein
entsprechendes Stellsignal 32 abgeleitet und von der Steuer-
und Vergleichsschaltung 30 an einen Stellmotor 34 abgegeben.
Der Stellmotor 34 beaufschlagt über ein Drehgelenk 36 ein
optisches Reflexionsgitter 38, welches je nach Betrag und
Richtung des Stellsignales 32 in Richtung der Pfeile P bewegt
wird, um die Frequenz (Wellenlänge) des Laserstrahles 12 zu
ändern. Das optische Reflexionsgitter 38 bildet mit einem
Strahlaufweiter 40 einen Teil des Laser-Resonators und dient
sowohl zur Bandbreiteneinengung auf eine Bandbreite von etwa
0,5 cm-1 als auch zur Änderung der Frequenz des Laserstrahls.
Gemäß Fig. 1 ist im Laserstrahl 12 noch ein weiterer Auskoppel
spiegel 42 angeordnet, der ebenfalls einen schwachen Teilstrahl
12" aus dem Laserstrahl 12 ausblendet. über einen Spiegel 44
wird der Teilstrahl 12" auf eine Hohlkathodenlampe 46 gerich
tet. Der Teil-Strahl 12' passiert die Hohlkathodenlampe und er
zeugt dort den obenbeschriebenen optogalvanischen Effekt.
Mittels einer Schaltung 48 wird ein optogalvanisches Spektrum
erzeugt, was weiter unten anhand der Fig. 3 noch näher beschrie
ben wird. Die Schaltung 48 zur Ermittlung eines optogalvani
schen Spektrums erzeugt auch ein Stellsignal 50, mit dem unab
hängig vom oben beschriebenen Stellsignal 32 ebenfalls der
Stellmotor 34 für das optische Reflexionsgitter 38 steuerbar
ist. Zur Aufzeichnung eines optogalvanischen Spektrums (also
der Abhängigkeit der Impedanz der Hohlkathodenlampe 46 von der
Wellenlänge des Laserstrahles 12) wird von der Schaltung 48 ein
sich kontinuierlich änderndes Stellsignal 50 erzeugt, so daß
die Frequenz des Laserstrahles 12 mittels des optischen Re
flexionsgitters 38 kontinuierlich geändert wird. Erreicht im
optogalvanischen Spektrum die Impedanz ein Intensitätsmaximum
(peak), so kann diesem Peak aufgrund des bekannten Spektrums
der Hohlkathodenlampe 46 eine exakte Wellenlänge zugeordnet
werden und das optische Reflexionsgitter 38 wird an dieser
Stelle festgehalten.
Gleichzeitig erzeugt das Fabry-Perot-Etalon 16 ein dieser be
kannten Wellenlänge des Laserstrahles 12 entsprechendes Bild B
auf dem Festkörper-Bildsensor 18. Daß diesem bestimmten Bild B
entsprechende elektrische Ausgangssignal 20 des Festkörper-Bild
sensors 18 wird in die Steuer- und Vergleichsschaltung 30 ein
gegeben und dort als Bezugssignal gespeichert.
Ändert sich durch z. B. thermische Effekte oder mechanische
Schwingungen die Frequenz des Laserstrahles 12, so ändert sich
auch das vom Fabry-Perot-Etalon 16 erzeugte Bild B und ent
sprechend auch das Ausgangssignal 20 des Festkörper-Bildsensors
18. Dies wird bei dem in der Steuer- und Vergleichsschaltung 30
durchgeführten Vergleich mit dem zuvor abgespeicherten Bezugs
signal festgestellt und entsprechend wird das Stellsignal 32
abgeleitet um über den Stellmotor 34 das optisches Reflexionsgit
ter 38 im Sinne eines der Pfeile P so zu verstellen, daß die
Frequenz des Laserstrahles 12 so geändert wird, daß sie wieder
dem mittels des optogalvanischen Effektes zuvor festgestellten
Absolutwert entspricht.
Fig. 2 zeigt Einzelheiten der Steuer- und Vergleichsschaltung
30 für die Frequenzstabilisierung des Laserstrahles 12.
Das Ausgangssignal 20 des Festkörper-Bildsensors 18 wird in ein
Filter 60 eingegeben. Im Filter 60 kann der arithmetische
Mittelwert über eine vorgebbare Anzahl von Laser-Pulsen gebil
det werden. Die Anzahl der Pulse zur Bildung eines Mittelwertes
kann zwischen 1 und 256 eingestellt werden.
Das Ausgangssignal des Filters 60 wird in eine Mustererkennungs
schaltung 62 eingegeben. In der Mustererkennungsschaltung 62
werden die Intensitätsmaxima der Fabry-Perot-Ringe (siehe Fig.
4) hinsichtlich ihrer wellenlängenabhängigen Lage und ihrer
Größe analysiert. Hierzu wird festgestellt, wie die Intensi
tätsmaxima (peaks) örtlich verteilt sind. Peaks werden nur dann
als solche registriert, wenn sie eine Mindesthöhe überschreiten,
eine Mindestbreite aufweisen und vollständig, d. h. sowohl mit
ihrer aufsteigenden als auch mit ihrer absteigenden Flanke in
einem vorgegebenen Intervall liegen. Die Mustererkennungsschal
tung 62 erzeugt somit im wesentlichen ein Abbild des Fabry-Pe
rot-Musters gemäß Fig. 4. Das von der Muster-Erkennungsschal
tung 62 erkannte Muster von Intensitätsmaxima wird dann als das
oben beschriebene Bezugssignal in einen Speicher 64 übernommen,
wenn von einer Steuerung 72 ein entsprechender Befehl an die
Muster-Erkennungsschaltung 62 gegeben wird. Aus dem oben Gesag
ten ergibt sich, daß dieser Befehl bei Verwendung des optogalva
nischen Effektes zur Absolutwertbestimmung der Frequenz des La
serstrahles dann erzeugt wird, wenn im optogalvanischen Spek
trum ein Intensitätsmaximum erreicht ist, dessen zugehörige
Wellenlänge genau bekannt ist und der gewünschten Wellenlänge
des Laserstrahles 12 entspricht. Es wird dann von der Schaltung
48 zur Ermittlung eines optogalvanisches Spektrums ein Steuer
signal 86 an die Steuerschaltung 72 abgegeben (siehe Fig. 1, 2
und 3) und bei dieser Wellenlänge das Bezugssignal (welches
auch als Referenzmuster bezeichnet werden könnte) aus der Mu
stererkennungsschaltung 62 in den Speicher 64 für das Bezugs
signal übernommen und dort abgespeichert. Das im Speicher 64
abgespeicherte Bezugssignal dient für die Regelung der Strahl
frequenz beim nachfolgenden Betrieb des Lasers als Kalibrie
rungsnormal. Hierzu werden im nachfolgenden Betrieb des Lasers
sowohl das im Speicher 64 permanent abgespeicherte Bezugssignal
als auch das aktuelle, von der Muster-Erkennungsschaltung 62
ermittelte Intensitätsmuster in einen Vergleicher 66 eingege
ben. Es versteht sich, daß das Bezugssignal bei der Übergabe in
den Vergleicher 66 im Speicher 64 nicht gelöscht wird. Im
Vergleicher 66 wird das als Bezugssignal dienende Referenzmu
ster (welches im Speicher 64 abgespeichert ist) mit dem aktuel
len, von der Mustererkennungsschaltung 62 ermittelten Muster
des Bildes B verglichen und die Abweichungen werden berechnet.
Ein Regler 68 leitet aus den berechneten Abweichungen ein
Stellsignal für den Stellmotor 34 ab, welches in einem Motor
treiber 70 so aufbereitet wird, daß der Stellmotor 34 direkt
angesteuert werden kann.
Die Steuerschaltung 72 steuert und überwacht die vorstehend be
schriebenen Abläufe und erzeugt gleichzeitig eine Schnittstelle
zum Benutzer, über die beispielsweise Daten bezüglich der ge
wünschten Strahl-Frequenz eingegeben werden können.
Fig. 3 zeigt Einzelheiten der Hohlkathodenlampe 46 und der
Schaltung 48 zur Ermittlung eines optogalvanischen Spektrums.
Die Lampe 46 wird aus einer stabilisierten Spannungsquelle 76
mit Gleichspannung von z. B. 400 Volt versorgt. Ein Vorwider
stand 78 begrenzt den Strom auf z. B. 30 mA. Die Impedanzände
rung der Hohlkathodenlampe 46 wird über einen Kondensator C
ausgekoppelt und mittels eines Impulsspitzendetektors (boxcar)
wird das optogalvanische Spektrum aufgenommen. Die Elektroden
der Hohlkathodenlampe 46 sind mit den Bezugszeichen 82, 84 an
gedeutet. Erreicht das optogalvanische Spektrum ein Intensi
tätsmaximum an einer gewünschten Stelle, deren zugehörige Wel
lenlänge bekannt ist, so wird ein Steuersignal 86 abgeleitet
und zur Erzeugung eines Kalibrierungsnormals in die Steuerschal
tung 72 eingegeben, wie oben beschrieben.
Claims (4)
1. Verfahren zum Stabilisieren der Frequenz eines Laserstrah
les (12) aus einem Laser mit einem einstellbaren wellenlängen
selektiven Element (38), welches Bestandteil des Laserresonators
ist und mit welchem die Frequenz des Laserstrahles veränderbar
ist, wobei
- 1. ein Teil (12') des Laserstrahles in einen Spektralapparat (16) eingegeben wird, um ein Stellsignal zum Einstellen des wellenlängenselektiven Elementes (38) abzuleiten,
- 2. mittels des Spektralapparates (16) ein von der Frequenz des Laserstrahles (12) abhängiges Bild (B) auf einem Festkör per-Bildsensor (18) abgebildet wird,
- 3. mittels des Festkörper-Bildsensors (18) ein von der Fre quenz des Laserstrahles (12) abhängiges elektrisches Signal (20) erzeugt wird,
- 4. dieses elektrische Ausgangssignal (20) des Festkörper-Bild sensors (18) einer Musteranalyse unterzogen wird, bei der die Lage von Intensitätsmaxima (I) des Bildes ermittelt wird und die Lage der Intensitätsmaxima (I) mit einer zuvor als Bezugssignal gespeicherten Soll-Lage der Intensitäts maxima verglichen wird,
- 5. das Stellsignal (32) für das wellenlängenselektive Element (38) entsprechend der Abweichung der Lage der Intensitäts maxima (I) von ihrer Soll-Lage abgeleitet wird, und
- 6. zur Bildung des Bezugssignals das elektrische Signal des Festkörper-Bildsensors (18) dann gespeichert wird, wenn der Laser mittels des wellenlängenselektiven Elementes (38) auf eine Frequenz mit bekanntem Absolutwert eingestellt ist, wobei
- 7. mittels eines optogalvanischen Effektes der Absolutwert der Frequenz des Laserstrahles (12) gemessen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Bezugssignal derart gebildet
wird, daß das elektrische Signal des Festkörper-Bildsensors (18)
über eine vorgegebene Anzahl von Laser-Pulsen gemittelt und abge
speichert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
wobei als wellenlängenselektives Element (38) ein Gitter und als
Spektralapparat (16) ein Fabry-Perot-Interferometer verwendet
wird.
4. Vorrichtung zum Stabilisieren der Frequenz eines Laserstrah
les (12) mit
- 1. einem einstellbaren wellenlängenselektiven Element (38), welches Bestandteil des Laserresonators ist und mit dem die Frequenz des Laserstrahles veränderbar ist, sowie mit einem Spektralapparat (16), in welchen ein Teil (12') des Laser strahles eingegeben wird und der ein von der Frequenz des Laserstrahles (12) abhängiges Bild (B) erzeugt,
- 2. einem Festkörper-Bildsensor, auf den das vom Spektralappa rat (16) erzeugte Bild (B) abgebildet wird, um ein dem Bild entsprechendes elektrisches Signal (20) zu erzeugen,
- 3. einer Vergleichsschaltung (66), in der das dem Bild (B) entsprechende elektrische signal (20) mit einem in einem Speicher (64) gespeicherten Bezugssignal verglichen wird, um ein Stellsignal (32) für das wellenlängenselektive Ele ment (38) abzuleiten,
- 4. einer optogalvanischen Hohlkathodenlampe (46) zur Bestim mung des Absolutwertes der Frequenz eines Excimer-Laser strahles (12), welche in einem ausgekoppelten Teil (121") des Laserstrahles (12) so angeordnet ist, daß der Strahl die Eisen enthaltende Hohlkathode (82) passiert, ohne auf deren Wände zu treffen, und
- 5. einer Einrichtung (48) zum Messen des vom Teil-Laserstrahl (12") erzeugten optogalvanischen Spektrums in Abhängigkeit von der Stellung des wellenlängenselektiven Elementes (38), welche
- 6. bei Erreichen eines einer bekannten Wellenlänge des Eisen spektrums entsprechenden, vorgegebenen Maximums des opto galvanischen Spektrums ein Signal (86) an eine der Ver gleichsschaltung (66) zugeordnete Steuerschaltung (72) ab gibt.
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