DE3832185A1 - Humidity (moisture) sensor and measuring arrangement for the measurement of humidity - Google Patents

Humidity (moisture) sensor and measuring arrangement for the measurement of humidity

Info

Publication number
DE3832185A1
DE3832185A1 DE3832185A DE3832185A DE3832185A1 DE 3832185 A1 DE3832185 A1 DE 3832185A1 DE 3832185 A DE3832185 A DE 3832185A DE 3832185 A DE3832185 A DE 3832185A DE 3832185 A1 DE3832185 A1 DE 3832185A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
refractive index
moisture sensor
light
moisture
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE3832185A
Other languages
German (de)
Other versions
DE3832185C2 (en
Inventor
Fedor Dipl Phys Dr Mitschke
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE3832185A priority Critical patent/DE3832185A1/en
Publication of DE3832185A1 publication Critical patent/DE3832185A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE3832185C2 publication Critical patent/DE3832185C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/78—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator producing a change of colour
    • G01N21/81—Indicating humidity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/7703—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides

Abstract

The invention relates to a humidity sensor which comprises an interferometric arrangement (6) which consists of at least one thin layer having at least one transparent layer (10), made of a material which has a humidity-dependent refractive index, and with which the refractive index and thus the humidity can be determined by a measurement of the reflectivity and/or the transmissivity. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft einen Feuchtesensor gemäß Ober­ begriff des Anspruchs 1 sowie eine Meßanordnung zur Messung der Feuchte.The invention relates to a moisture sensor according to Ober Concept of claim 1 and a measuring arrangement for measurement the damp.

Die Erfassung der Feuchte ist in vielen Anwendungs­ fällen von großem Interesse, beispielsweise in Klimaanlagen von Gebäuden oder in Trocknungsanlagen, beispielsweise in der Textil- oder Lebensmittelbranche.Moisture detection is used in many applications cases of great interest, for example in air conditioning systems of buildings or in drying plants, for example in the textile or food industry.

Es ist bekannt, die Feuchte nach dem aufwendigen psychrometrischen Prinzip zu bestimmen, bei dem die Tem­ peraturdifferenz eines feuchten und eines trockenen Thermo­ meters bestimmt wird, die beide von der zu untersuchenden Luft umströmt werden. Es ist ferner bekannt, die porösen Eigenschaften von Stoffen, in die sich Wasser einlagert, zur Bestimmung der Feuchte zu nutzen. So nutzt man beim Haar- Hygrometer die feuchteabhängige Längenänderung eines Haares und bei elektronischen Hygrometern die feuchteabhängige Kapazitätsänderung eines Kondensators mit porösem Dielek­ trikum zum Ermitteln der Feuchte.It is known that the moisture after the elaborate to determine the psychrometric principle in which the tem difference in temperature of a moist and a dry thermo meters is determined, both of which are to be examined Air flows around. It is also known to be the porous Properties of substances in which water is stored, to determine the moisture. How to use hair Hygrometer is the moisture-dependent change in length of a hair and for electronic hygrometers the moisture-dependent one Change in capacitance of a capacitor with porous Dielek Trikum to determine the moisture.

Bei all diesen Meßeinrichtungen sind die Meßsonden an sich relativ groß, gemessen an den Größenverhältnissen, wie sie heute in vielen technologischen Bereichen üblich sind.With all these measuring devices, the measuring probes are relatively large in itself, measured by the proportions, as is common in many technological areas today are.

Aus "Optical Fiber Sensors", 1988, Technical Digest Series, Vol. 2, Optical Society of America, Washington, D.C., (1988), S. 373-381, ist ein Vorschlag für einen faserop­ tischen Feuchtesensor bekannt geworden, bei dem in einer porösen optischen Faser ein Farbstoff eingelagert ist, der, wenn Wasser in seine Poren eindringt, mit dem Wasser reagiert und dabei seine Farbe ändert. Der Farbumschlag wird durch eine Absorptionsmessung erfaßt. Die Einstellzeit ist relativ groß, und der Sensorteil selbst ist relativ groß.From "Optical Fiber Sensors", 1988, Technical Digest Series, Vol. 2, Optical Society of America, Washington, D.C., (1988), pp. 373-381, is a proposal for a fiber top table moisture sensor become known, in which in a porous optical fiber, a dye is embedded, which,  when water penetrates its pores, with the water reacts and changes its color. The color change is detected by an absorption measurement. The response time is relatively large and the sensor part itself is relative large.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Feuchtesensor sehr geringer Größe, universeller Ein­ setzbarkeit, geringer Störanfälligkeit und hoher Widerstands­ fähigkeit zu schaffen. Ferner soll eine Meßanordnung unter Verwendung dieses Feuchtesensors angegeben werden.The object of the present invention is a very small size humidity sensor, universal on settability, low susceptibility to failure and high resistance ability to create. Furthermore, a measuring arrangement should Use of this moisture sensor can be specified.

Die Aufgabe wird hinsichtlich des Feuchtesensors durch die Merkmale gemäß Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst. Eine Meßanordnung ist im Anspruch 10 angegeben.The task is carried out with regard to the moisture sensor the features according to the characterizing part of claim 1 solved. A Measuring arrangement is specified in claim 10.

Der erfindungsgemäße Feuchtesensor kann sehr klein gebaut werden mit einem Meßvolumen im Kubikmikrometer- Bereich. Er ist weitgehend unempfindlich gegen elektro­ magnetische Einstreuungen, was beispielsweise die Erfassung der Feuchte in Mikrowellenöfen während des Garvorganges gestattet. Die Lichtzuleitung kann über eine Glasfaser erfolgen; dadurch kann der erfindungsgemäße Feuchtesensor auch an schwer zugänglichen Stellen, etwa an elektrischen Maschinen, die Feuchte überwachen. Im Gegensatz zum Psychro­ meter ist eine Gasumwälzung nicht erforderlich; daher kann der erfindungsgemäße Feuchtesensor auch in sehr kleinen Probe-Volumina eingesetzt werden, beispielsweise in Hohl­ räumen in Baustoffen, Lebensmitteln oder in der biologisch/ medizinischen Forschung in Körperhohlräumen.The moisture sensor according to the invention can be very small be built with a measuring volume in cubic micrometers Area. It is largely insensitive to electro magnetic interference, such as detection the humidity in microwave ovens during the cooking process allowed. The light supply can be via a glass fiber respectively; this allows the moisture sensor according to the invention even in places that are difficult to access, such as electrical ones Machines that monitor moisture. In contrast to the psychro gas recirculation is not required; therefore can the moisture sensor according to the invention also in very small Sample volumes are used, for example in hollow clear in building materials, food or in the biological / medical research in body cavities.

Die Adsorption des Wassers erfolgt reversibel, und die Einstellzeit, mit der der erfindungsgemäße Feuchtesensor auf Änderungen der Feuchte reagiert, ist relativ kurz. Die vorgesehene Schichtenstruktur bewirkt eine Verstärkung aufgrund von Vielstrahl-Interferenz, so daß die Wechsel­ wirkungslänge sehr klein gewählt werden kann.The adsorption of water is reversible, and the Response time with which the moisture sensor according to the invention reacting to changes in humidity is relatively short. The The layer structure provided provides reinforcement due to multi-beam interference, so the change effect length can be chosen very small.

Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen der er­ findungsgemäßen Aufgabenlösung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet. Advantageous and expedient further training of the he The task solution according to the invention are in the subclaims featured.  

Die Erfindung soll nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigtThe invention will now be described with reference to the accompanying Drawing will be explained in more detail. It shows

Fig. 1 schematisch im Schnitt den Aufbau eines Feuchtesensors, Fig. 1 shows schematically in section the structure of a humidity sensor,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Meßan­ ordnung unter Verwendung des Feuchtesensors nach Fig. 1, Fig. 2 is a schematic representation of a Messan order using the humidity sensor according to Fig. 1,

Fig. 3 eine graphische Darstellung der Abhängigkeit der Transmission I T /I 0 von der Wellenlänge, Fig. 3 is a graphical representation of the dependence of the transmittance I T / I 0 of the wavelength

Fig. 4 eine graphische Darstellung der Abhängigkeit des Brechungsindex der Abstandsschicht des Feuchtesensors nach Fig. 1 vom Wasserdampf­ partialdruck, und Fig. 4 is a graphical representation of the dependence of the refractive index of the spacer layer of the moisture sensor of Fig. 1 on the water vapor partial pressure, and

Fig. 5 Feuchte-Meßergebnisse mit dem Feuchtesensor nach Fig. 1 (Ordinate) im Vergleich mit den Meßergebnissen eines kommerziellen elektro­ nischen Feuchtesensors (Abszisse) in einer Klimakammer. Fig. 5 moisture measurement results with the moisture sensor of FIG. 1 (ordinate) in comparison with the measurement results of a commercial electronic moisture sensor (abscissa) in a climatic chamber.

Die Fig. 1 zeigt den grundsätzlichen Aufbau eines optischen Feuchtesensors 2. Auf einem Substrat 4 ist eine Mehrschichtenanordnung 6 vorgesehen, die aus einer ersten auf dem Substrat ausgebildeten Schichtenfolge 8, einer darauf aufgebrachten Schicht 10 und einer darauf aufge­ brachten zweiten Schichtenfolge 12 besteht. Die erste Schichtenfolge 8 ist als eine Folge von sich aufeinander­ folgend abwechselnden dünnen Schichten H aus einem Mate­ rial mit hohem Brechungsindex und dünnen Schichten L mit niedrigem Brechungsindex aufgebaut. Die eine Abstands­ schicht bildende Schicht 10 besteht aus einem Material mit hohem Brechungsindex. Die zweite Schichtenanordnung 12 ist aus einer Folge von sich aufeinanderfolgend abwechseln­ den, dünnen Schichten L mit niedrigem Brechungsindex und dünnen Schichten H mit hohem Brechungsindex aufgebaut. Die optische Dicke der Einzelschichten H und L in den Schichtenfolgen 8 und 12 beträgt ein Viertel der Designwel­ lenlänge λ d . Die optischeDicke der Schicht 10 beträgt ein Viertel, vorzugsweise ein Vielfaches eines Viertels der Designwellenlänge. Fig. 1 shows the basic structure of an optical moisture sensor 2. A multilayer arrangement 6 is provided on a substrate 4 and consists of a first layer sequence 8 formed on the substrate, a layer 10 applied thereon and a second layer sequence 12 applied thereon. The first layer sequence 8 is constructed as a sequence of successively alternating thin layers H made of a material with a high refractive index and thin layers L with a low refractive index. The layer 10 forming a spacer layer consists of a material with a high refractive index. The second layer arrangement 12 is constructed from a sequence of successively alternating thin layers L with a low refractive index and thin layers H with a high refractive index. The optical thickness of the individual layers H and L in the layer sequences 8 and 12 is a quarter of the design shaft length λ d . The optical thickness of layer 10 is a quarter, preferably a multiple of a quarter of the design wavelength.

Der Feuchtesensor kann kurz wie folgt beschrieben werden:The humidity sensor can be briefly described as follows will:

(Substrat) - erste Schichtenfolge 8 = (HL) k
- Abstandsschicht 10 = H l
- zweite Schichtenfolge 12 = (LH) m (Substrate) - first layer sequence 8 = (HL) k
- Spacer layer 10 = H l
- second layer sequence 12 = (LH) m

worin k, l, m ganze Zahlen sind und eine k-, l- und m-fache Wiederholung der Schichtenfolge bzw. der Schichten be­ deuten.where k, l, m are integers and are k, l and m times repetition of the layer sequence or layers.

Damit stellt die Mehrschichtenanordnung 6 einen Fabry-Perot-Resonator in Dünnschichttechnik dar, wo­ bei die erste und die zweite Schichtenanordnung 8 und 12 die Spiegel des Resonators bilden.The multilayer arrangement 6 thus represents a Fabry-Perot resonator in thin-film technology, where the first and second layer arrangements 8 and 12 form the mirrors of the resonator.

Vorzugsweise wird das Substrat durch eine Glasfaser gebildet, auf deren Schnittfläche die einzelnen Schichten H und L aufgedampft werden.The substrate is preferably formed by a glass fiber, on the cut surface of which the individual layers H and L are vapor-deposited.

Die dünnen Schichten bestehen aus einem porösen, wasseraufnehmenden, jedoch wasserunempfindlichen Material, beispielsweise Oxiden, in denen Wasser reversibel einge­ lagert werden kann und deren Brechungsindex sich mit dem Wassergehält ändert. Solche Oxide sind an sich bekannt und haben wegen ihrer großen Härte und guten chemischen Be­ ständigkeit eine große Verbreitung gefunden.The thin layers consist of a porous, water-absorbing but water-insensitive material, for example oxides in which water is reversibly turned on can be stored and their refractive index with the Water content changes. Such oxides are known per se and have because of their great hardness and good chemical loading Constantly found a wide spread.

So kann beispielsweise für die dünne Schicht H mit hohem Brechungsindex TiO2 und die dünne Schicht L mit nied­ rigem Brechungsindex SiO2 eingesetzt werden. Außer Glas­ faser eignet sich als Substrat bzw. Trägermaterial auch Glas, Keramik, Metall und Kunststoffe.For example, TiO 2 can be used for the thin layer H with a high refractive index and SiO 2 for the thin layer L with a low refractive index. In addition to glass fiber, glass, ceramics, metal and plastics are also suitable as substrates or substrates.

Im Idealfall geringer Absorptionsverluste und zweier Spiegel mit genau gleichen Reflexionseigenschaften erhält man für einen Fabry-Perot-Resonator für die transmittierte Intensität I T die BeziehungIn the ideal case, low absorption losses and two mirrors with exactly the same reflection properties give the relationship for a Fabry-Perot resonator for the transmitted intensity I T

I T = I₀ 1/(1+F sin² (δ/2)) I T = I ₀ 1 / (1+ F sin² ( δ / 2))

mit F = 4R/(1-R) ² und δ = 2π2nd/λ L +Φ with F = 4 R / (1- R) ² and δ = 2 π 2 nd / λ L + Φ

In dieser Gleichung bedeuten R das Reflexionsvermögen der Spiegel, I 0 die eingestrahlte Intensität und λ L die Lichtwellenlänge der verwendeten Lichtquelle. Mit δ ist die Umlauf-Phasenverschiebung bezeichnet, die außer einer Konstanten Φ, die mögliche Phasensprünge an den Spiegeln berücksichtigt, auch das Produkt aus geo­ metrischer Dicke d der Abstandsschicht 10 und deren Brechungsindex n enthält. Für die reflektierte Intensität I R giltIn this equation, R is the reflectivity of the mirror, I 0 is the incident intensity and λ L is the light wavelength of the light source used. With δ the circulation phase shift is designated, which, in addition to a constant Φ , which takes into account possible phase jumps at the mirrors, also contains the product of the geometric thickness d of the spacer layer 10 and its refractive index n . The following applies to the reflected intensity I R

I R = I₀ - I T = F sin² (δ/2) / (1+F sin² (δ/2)) I R = I ₀ - I T = F sin² ( δ / 2) / (1+ F sin² ( δ / 2))

Die obigen Ausdrücke lassen sich leicht auf Spiegel unterschiedlicher Reflektivität und den Fall nichtver­ schwindender Absorption verallgemeinern. Das ändert aber nichts am grundsätzlichen Verhalten, welches in der Fig. 3 dargestellt ist. Die Kurve I T /I 0 als Funktion von δ wird oft als Airyfunktion bezeichnet. Die Transmissions­ maxima treten bei 2nd = i g auf, wobei i eine ganze Zahl ist. Die Halbwertbreite ist Γ = (c/4 π d) (1-R) /√.The above expressions can easily be generalized to mirrors of different reflectivity and the case of non-vanishing absorption. However, this does not change the basic behavior, which is shown in FIG. 3. The curve I T / I 0 as a function of δ is often referred to as an Airy function. The transmission maxima occur at 2 nd = i g , where i is an integer. The full width at half maximum is Γ = (c / 4 π d) (1- R) / √.

Wählt man eine Lichtquelle, deren Wellenlänge λ L sich von der Designwellenlänge λ d um einen Betrag in der Größen­ ordnung der halben Halbwertsbreite des Transmissions­ maximums unterscheidet, so erhält man an der Flanke des Transmissionsmaximums eine empfindliche Umsetzung in eine Änderung der transmittierten oder reflektierten Intensität, was sich mit einem normalen Fotodetektor nachweisen läßt.If you choose a light source whose wavelength λ L differs from the design wavelength λ d by an amount in the order of half the half width of the half maximum of the transmission maximum, a sensitive conversion into a change in the transmitted or reflected intensity is obtained on the flank of the transmission maximum, which can be demonstrated with a normal photo detector.

Durch Wahl der Konstanten k, l, m läßt sich die Charak­ teristik steuern, denn kleine k und m erhöhen die Breite des Transmissionsmaximums und ein kleines l erhöht deren Ab­ stand auf der Frequenzachse (den "freien Spektralbereich"). Daher ergibt sich für kleine Werte von k, l und m ein weiter Bereich von erfaßten Werten der Feuchte, allerdings mit geringer differentieller Empfindlichkeit und bei größeren Werten ein schmalerer Bereich mit großer differentieller Empfindlichkeit. Dies ist beispielsweise für die Überwachung auf Über- bzw. Unterschreitung eines Feuchtegrenzwertes interessant.By choosing the constants k , l , m the characteristic can be controlled, because small k and m increase the width of the transmission maximum and a small l increases their distance from the frequency axis (the "free spectral range"). Therefore, for small values of k, l and m there is a wide range of detected values of the moisture, but with a low differential sensitivity and for larger values a narrower range with a large differential sensitivity. This is of interest, for example, for monitoring whether a moisture limit value is exceeded or not reached.

Die Fig. 2 zeigt eine Meßanordnung zur Ermittlung der Feuchte mit Hilfe des anhand der Fig. 1 beschriebenen Feuchtesensors. Licht einer Laserdiode 20 wird nach Durch­ laufen einer optischen Anordnung 22 auf ein Ende einer Glasfaser 24 fokussiert, an deren anderem Ende der Feuch­ tigkeitssensor 2 angeordnet ist. Die optische Anordnung 22 weist eine erste Linse 25 zur Erzeugung eines Parallel­ strahlbündels auf, das über einen Polarisationsstrahl­ teiler 26 und ein das einfallende Licht zirkular pola­ risierendes λ/4-Plättchen 28 auf eine zweite Linse 30 fällt, die das Laserlicht auf die Glasfaser fokussiert. Das vorzugsweise nach Mehrfachreflexion im Feuchtesensor 2 reflektierte Licht wird über die Glasfaser 24 zurückge­ führt, im λ/4-Plättchen linear polarisiert (orthogonal zum vom Laser ausgestrahlten Licht) und vom Strahlteiler 26 zu einem Fotodetektor 32 umgelenkt, dessen Ausgangssignale einem Differenzverstärker 34 zugeführt werden, der an eine Anzeige 36 angeschlossen ist. FIG. 2 shows a measuring arrangement for determining the moisture with the aid of the moisture sensor described with reference to FIG. 1. Light from a laser diode 20 is focused by running through an optical arrangement 22 on one end of an optical fiber 24 , at the other end of which the moisture sensor 2 is arranged. The optical arrangement 22 has a first lens 25 for generating a parallel beam, which splits via a polarization beam splitter 26 and a circular polarizing λ / 4 plate 28 which strikes the incident light onto a second lens 30 which focuses the laser light onto the glass fiber . The light, which is preferably reflected after multiple reflection in the moisture sensor 2 , is guided back via the glass fiber 24 , linearly polarized in the λ / 4 plate (orthogonal to the light emitted by the laser) and deflected by the beam splitter 26 to a photodetector 32 , the output signals of which are fed to a differential amplifier 34 which is connected to a display 36 .

Die Ermittlung der Feuchte geschieht dabei folgender­ maßen:The moisture is determined as follows measure:

Durch das eingelagerte Wasser ändert sich der Brechungs­ index der Abstandsschicht 10. Der Brechungsindex, der somit ein Maß für die Feuchte der Umgebung ist, kann über den Reflexionsgrad oder den Transmissionsgrad der Mehrschichten­ anordnung 6 gemessen werden, indem die Intensität I 0 des in die Glasfaser eingekoppelten Lichtes mit der Intensität I R des in der Glasfaser zurückreflektierten Lichtes, beispiels­ weise mit Hilfe des Fotodetektors 32, gemessen wird. Der Vergleicher 34, der hier als Differenzverstärker ausgebil­ det ist, dient zum Einstellen des Nullpunktes und even­ tuell zusätzlich zur Einstellung eines Skalenfaktors für die Anzeige 36.The refractive index of the spacer layer 10 changes due to the stored water. The refractive index, which is thus a measure of the humidity of the environment, can be measured via the reflectance or the transmittance of the multilayer arrangement 6 , by the intensity I 0 of the light coupled into the glass fiber with the intensity I R of the light reflected back in the glass fiber , for example with the help of the photodetector 32 , is measured. The comparator 34 , which is embodied here as a differential amplifier, is used to set the zero point and possibly additionally to set a scale factor for the display 36 .

Vorteilhaft kann man mit zwei Wellenlängen λ L+ und λ L- arbeiten, von denen beispielsweise die eine λ L+ größer und die andere λ L- kleiner als die Designwellenlänge λ d ist, derart, daß bei Änderung des Brechungsindex sich gegen­ sinnige Änderungen der Reflektivität und/oder Transmissi­ vität ergeben. Dadurch kann der Quotient der beiden den Wellenlängen zugeordneten Intensitäten ausgewertet werden. Dies hat den Vorteil, daß Störeinflüsse kompensiert werden.One can advantageously work with two wavelengths λ L + and λ L - , of which, for example, one λ L + is larger and the other λ L - is smaller than the design wavelength λ d , such that when the refractive index changes, sensible changes in the Reflectivity and / or transmissivity result. As a result, the quotient of the two intensities assigned to the wavelengths can be evaluated. This has the advantage that interference is compensated for.

Beispielexample

Es wurden Feuchtesensoren unter Verwendung der schon erwähnten Materialien TiO2 für die Schichten mit hohem Brechungsindex und SiO2 mit niedrigem Brechungsindex her­ gestellt. Die Schichten wurden im Vakuum auf Glasplättchen und Schnittflächen verschiedener Glasfasern aufgedampft. Die Zahl der Schichten für die erste und zweite Schichten­ folge 8 und 12, d.h. der Wert für k und m, lag bei 2 bis 5 und für die Abstandsschicht 10 d.h. der Wert für l, bei 16. Es ergab sich ein 15%iger Poren­ anteil in der TiO2-Abstandsschicht 10. Die Poren werden bei hoher Luftfeuchtigkeit und normaler Raumtemperatur etwa zu einem Viertel mit Wasser gefüllt. Die Adsorption läßt sich in sehr guter Nährung als Langmuir-Sorption be­ schreiben, vgl. Fig. 4, was bedeutet, daß das Wasser im wesent­ lichen eine monomolekulare Schicht auf der inneren Ober­ fläche des Materials bildet. Diese innere Oberfläche ist etwa 30mal so groß wie die äußere. Die Bindungsenergie liegt bei etwa 0,3 eV pro Molekül. Die Adsorption ist völlig rever­ sibel, denn auch nach Langzeittests mit Temperaturzyklen wurde keine Veränderung beobachtet. Erst bei Feuchtesensoren, die 20 Monate an Raumluft gelagert waren, fanden sich leichte Verschiebungen der Eigenschaften, die aber wiederum durch kurzes Erhitzen auf 350° für 15 Minuten rückgängig gemacht werden konnten. Selbst unter Wasser getauchte Feuchtesen­ soren ließen sich so regenerieren.Moisture sensors were produced using the materials already mentioned TiO 2 for the layers with a high refractive index and SiO 2 with a low refractive index. The layers were evaporated in a vacuum on glass plates and cut surfaces of various glass fibers. The number of layers for the first and second layers follow 8 and 12 , ie the value for k and m , was 2 to 5 and for the spacer layer 10, ie the value for 1 , 16. The result was a 15% pore proportion in the TiO 2 spacer layer 10 . At high air humidity and normal room temperature, about a quarter of the pores are filled with water. The adsorption can be described as Langmuir sorption in very good nutrition, cf. Fig. 4, which means that the water in wesent union forms a monomolecular layer on the inner surface of the material. This inner surface is about 30 times as large as the outer one. The binding energy is about 0.3 eV per molecule. The adsorption is completely reversible, because no change was observed even after long-term tests with temperature cycles. Only in the case of humidity sensors that had been stored in ambient air for 20 months were there slight changes in the properties, which in turn could be reversed by briefly heating to 350 ° for 15 minutes. Even moisture sensors submerged under water can be regenerated in this way.

Die Einstellzeit, mit der die Feuchtesensoren auf Ände­ rungen der Luftfeuchtigkeit reagieren, ist durch die Diffusion durch das Schichtensystem bestimmt und liegt im Bereich eini­ ger Sekunden bis etwa einer Minute.The response time with which the humidity sensors change air humidity is due to diffusion determined by the layer system and lies in the area eini seconds to about a minute.

Es sei noch darauf hingewiesen, daß bei größeren Glas­ faserlängen es erforderlich sein kann, polarisationserhaltende Fasern einzusetzen, wenn die Strahlteilung, wie anhand der Fig. 2 beschrieben, durch eine Polarisationsoptik erfolgt.It should also be pointed out that with longer glass fiber lengths it may be necessary to use polarization-maintaining fibers if the beam splitting, as described with reference to FIG. 2, is carried out by polarization optics.

Claims (14)

1. Feuchtesensor, gekennzeichnet durch eine interferometrische Anordnung (6), die aus mindestens einer dünnen Schicht mit wenigstens einer lichtdurchlässi­ gen Schicht (10) aus einem Material besteht, das einen feuchteabhängigen Brechungsindex aufweist, und mit der der Brechungsindex und damit die Feuchte über eine Messung der Reflektivität und/oder der Transmissivität bestimmbar ist.1. Moisture sensor, characterized by an interferometric arrangement ( 6 ), which consists of at least one thin layer with at least one light-permeable layer ( 10 ) made of a material that has a moisture-dependent refractive index, and with which the refractive index and thus the moisture over a Measurement of reflectivity and / or transmissivity can be determined. 2. Feuchtesensor nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die interferometrische An­ ordnung (6) eine zwischen zwei reflektierenden Einrich­ tungen (8, 12) angeordnete Abstandsschicht (10) aus einem Material umfaßt, das einen feuchteabhängigen Brechungsindex aufweist.2. Moisture sensor according to claim 1, characterized in that the interferometric arrangement ( 6 ) comprises between two reflective devices ( 8 , 12 ) arranged spacer layer ( 10 ) made of a material having a moisture-dependent refractive index. 3. Feuchtesensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die interferometrische Anordnung (6) einen ersten Schichtenstapel (8), der wenig­ stens eine Doppelschicht (HL) aus einer dünnen Schicht (H) aus einem Material mit hohem Brechungsindex und einer da­ rauf angeordneten dünnen Schicht (L) aus einem Material mit niedrigem Brechungsindex aufweist, eine auf dem ersten Schichtenstapel (8) aufgebrachte Abstandsschicht (10) aus einem Material mit hohem Brechungsindex sowie einen zwei­ ten, auf der Abstandsschicht (10) aufgebrachten Schichten­ stapel (12) umfaßt, der wenigstens eine Doppelschicht (LH) aus einer dünnen Schicht (L) aus einem Material mit nied­ rigem Brechungsindex und eine darauf angeordnete dünne Schicht (H) aus einem Material mit hohem Brechungsindex aufweist, wobei die einzelnen dünnen Schichten (H und L) eine optische Dicke von einer Viertel Wellenlänge des Lichtes mit der von der Wellenlänge λ L der vorgesehenen Lichtquelle abhängigen Designwellenlänge λ d aufweisen und die Abstands­ schicht (10) eine optische Dicke von einem Viertel der Designwellenlänge oder einem Vielfachen davon aufweist.3. Moisture sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the interferometric arrangement ( 6 ) a first layer stack ( 8 ), the least least a double layer (HL) made of a thin layer ( H ) made of a material with a high refractive index and one has a thin layer ( L ) made of a material with a low refractive index, a spacer layer ( 10 ) made of a material with a high refractive index applied to the first layer stack ( 8 ) and a second stack ( 12 ) applied to the spacer layer ( 10 ) ) which has at least one double layer (LH) made of a thin layer ( L ) made of a material with a low refractive index and a thin layer ( H ) arranged thereon made of a material with a high refractive index, the individual thin layers ( H and L ) an optical thickness of a quarter wavelength of the light with which depends on the wavelength λ L of the intended light source igen design wavelength λ d and the spacer layer ( 10 ) has an optical thickness of a quarter of the design wavelength or a multiple thereof. 4. Feuchtesensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die inter­ ferometrische Anordnung (6) auf einem Trägermaterial (4) angeordnet ist.4. Moisture sensor according to one of claims 1 to 3, characterized in that the inter ferometric arrangement ( 6 ) is arranged on a carrier material ( 4 ). 5. Feuchtesensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da­ durch gekennzeichnet, daß die einzel­ nen Schichten (H und L) durch Aufdampfen hergestellt sind.5. Moisture sensor according to one of claims 1 to 4, characterized in that the individual NEN layers ( H and L ) are produced by vapor deposition. 6. Feuchtesensor nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die interferometrische An­ ordnung (6) auf einer Oberfläche eines Trägermaterials (4) aus Glas, Keramik, Metall oder Kunststoff angeordnet ist.6. Humidity sensor according to claim 4, characterized in that the interferometric arrangement ( 6 ) on a surface of a carrier material ( 4 ) made of glass, ceramic, metal or plastic is arranged. 7. Feuchtesensor nach Anspruch 6, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die interferometrische An­ ordnung (6) auf einer Schnittfläche einer optischen Faser (4), beispielsweise aus Glas oder Kunststoff, angeordnet ist.7. Moisture sensor according to claim 6, characterized in that the interferometric arrangement ( 6 ) on an interface of an optical fiber ( 4 ), for example made of glass or plastic, is arranged. 8. Feuchtesensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ab­ standsschicht (10) und/oder die Schichten (H und L) aus einem porösen, Wasser reversibel aufnehmendem Material bestehen.8. Moisture sensor according to one of the preceding claims, characterized in that from the stand layer ( 10 ) and / or the layers ( H and L ) consist of a porous, water reversibly absorbing material. 9. Feuchtesensor nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die dünnen Schichten (H) mit hohem Brechungsindex aus TiO2 und die dünnen Schichten (L) mit niedrigem Brechungsindex aus SiO2 bestehen. 9. Moisture sensor according to claim 8, characterized in that the thin layers ( H ) with a high refractive index made of TiO 2 and the thin layers ( L ) with low refractive index consist of SiO 2 . 10. Meßanordnung zur Messung der Feuchte unterVerwendung des Feuchtesensors nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch
  • - eine Lichtquelle (20) zur Erzeugung eines mono­ chromatischen kohärenten Lichtbündels,
  • - eine Einrichtung (22) zur Einkopplung des Lichtes in den Feuchtesensor (2) und
  • - einen Detektor (32) zur Messung der Intensität des vom Feuchtesensor (2) reflektierten oder transmittier­ ten Lichtes.
10. Measuring arrangement for measuring the moisture using the moisture sensor according to one of the preceding claims, characterized by
  • a light source ( 20 ) for generating a mono-chromatic, coherent light beam,
  • - A device ( 22 ) for coupling the light into the moisture sensor ( 2 ) and
  • - A detector ( 32 ) for measuring the intensity of the moisture sensor ( 2 ) reflected or transmittier th light.
11. Meßanordnung nach Anspruch 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Einrichtung (22) zum Einkoppeln des Lichtes eine Linsenanordnung (25, 30) zum Einkoppeln des Lichtes in ein Ende einer optischen Glas­ faser (24) aufweist, an deren anderem Ende der Feuchte­ sensor (2) angeordnet ist, und daß ein g/4-Plättchen (28) und ein Polarisationsstrahler (26) vorgesehen sind, welcher das reflektierte Licht von dem von der Lichtquelle (20) kommenden Licht trennt und dem Detektor (32) zuführt.11. Measuring arrangement according to claim 10, characterized in that the device ( 22 ) for coupling the light has a lens arrangement ( 25 , 30 ) for coupling the light into one end of an optical glass fiber ( 24 ), at the other end of the moisture Sensor ( 2 ) is arranged, and that a g / 4 plate ( 28 ) and a polarization radiator ( 26 ) are provided, which separates the reflected light from the light coming from the light source ( 20 ) and feeds it to the detector ( 32 ). 12. Meßanordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle Licht mit einer Wellenlänge λ L erzeugt, das sich von der Design­ wellenlänge λ d um einen Betrag in der Größenordnung der halben Halbwertsbreite des Transmissionsmaximums des Feuchtesensors (2) unterscheidet.12. Measuring arrangement according to claim 10 or 11, characterized in that the light source generates light with a wavelength λ L , which differs from the design wavelength λ d by an amount in the order of half the full width at half maximum of the transmission maximum of the moisture sensor ( 2 ). 13. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, da­ durch gekennzeichnet, daß die Licht­ quelle (20) Licht mit zwei Wellenlängen erzeugt, von denen die eine im Bereich einer kurzwelligen Flanke und die andere im Bereich einer langwelligen Flanke eines Transmissions­ maximums liegt. 13. Measuring arrangement according to one of claims 10 to 12, characterized in that the light source ( 20 ) generates light with two wavelengths, one of which is in the region of a short-wave flank and the other in the region of a long-wave flank of a transmission maximum. 14. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterdrückung von Störungen der Quotient der den unter­ schiedlichen Wellenlängen zugeordneten, sich gegensinnig ändernden Intensitäten oder der Quotient der aus Reflexion und Transmission sich ergebenden, sich gegensinnig ändern­ den Intensitäten zur Messung des Brechungsindex gebildet wird.14. Measuring arrangement according to one of claims 10 to 13, characterized in that for Suppression of the quotient of the interference below assigned different wavelengths, in opposite directions changing intensities or the quotient of reflection resulting and transmission change in opposite directions the intensities for measuring the refractive index becomes.
DE3832185A 1988-09-22 1988-09-22 Humidity (moisture) sensor and measuring arrangement for the measurement of humidity Granted DE3832185A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3832185A DE3832185A1 (en) 1988-09-22 1988-09-22 Humidity (moisture) sensor and measuring arrangement for the measurement of humidity

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3832185A DE3832185A1 (en) 1988-09-22 1988-09-22 Humidity (moisture) sensor and measuring arrangement for the measurement of humidity

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3832185A1 true DE3832185A1 (en) 1990-03-29
DE3832185C2 DE3832185C2 (en) 1990-10-25

Family

ID=6363477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3832185A Granted DE3832185A1 (en) 1988-09-22 1988-09-22 Humidity (moisture) sensor and measuring arrangement for the measurement of humidity

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3832185A1 (en)

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0536656A1 (en) * 1991-10-05 1993-04-14 ULTRAKUST electronic GmbH Humidity sensor
DE4200088A1 (en) * 1992-01-04 1993-07-15 Nahm Werner Detecting physical chemical biochemical and biological processes - using light irradiated on sample of thin layer of at least partially optically transparent material.
US5262842A (en) * 1990-10-19 1993-11-16 IOT Entwicklungsgesellschaft fur integrierte Optiktechnologie mbH Optical sensor having a wave guide substrate with interferometer integrated therein
EP0598341A1 (en) * 1992-11-17 1994-05-25 Hoechst Aktiengesellschaft Optical sensor for detecting chemical species
WO1997021092A1 (en) * 1995-12-06 1997-06-12 Ultrakust Electronic Gmbh Optical sensor
DE19608428A1 (en) * 1996-03-05 1997-09-11 Forschungszentrum Juelich Gmbh Analysis method using porous silicon for detecting a substance or the concentration of a substance in solutions and an analysis device for such a method
EP0805970A1 (en) * 1994-10-21 1997-11-12 Protimeter, Inc. Cycling chilled mirror dewpoint hygrometer including a sapphire optical mirror
FR2813121A1 (en) * 2000-08-21 2002-02-22 Claude Weisbuch PERFECTED DEVICE FOR SUPPORTING CHROMOPHORIC ELEMENTS
DE10148778A1 (en) * 2001-10-02 2003-04-17 Univ Braunschweig Tech Apparatus to determine the composition of a tissue sample is a layered structure of dielectric materials with alternating refraction index values, with the sample in a sandwich between them, to be exposed to electromagnetic radiation
WO2005111588A1 (en) * 2004-03-24 2005-11-24 3M Innovative Properties Company Colorimetric sensor
WO2006042746A1 (en) * 2004-10-19 2006-04-27 Universität Tübingen Method for examining physical, chemical and biochemical interactions
WO2009123836A1 (en) * 2008-03-31 2009-10-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on mechanical membranes
US7767143B2 (en) 2006-06-27 2010-08-03 3M Innovative Properties Company Colorimetric sensors
US7787171B2 (en) 2008-03-31 2010-08-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US7787130B2 (en) 2008-03-31 2010-08-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US7929196B2 (en) 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of implementation of interferometric modulators for display mirrors
US8506902B2 (en) 2002-09-30 2013-08-13 3M Innovative Properties Company Colorimetric sensor
CN103822903A (en) * 2014-03-10 2014-05-28 天津理工大学 No-core fiber based relative air humidity measuring instrument
CN114649630A (en) * 2020-12-17 2022-06-21 保时捷股份公司 Battery housing for accommodating a high-voltage battery, motor vehicle and method for testing a battery

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4133125C1 (en) * 1991-10-05 1993-02-18 Ultrakust Electronic Gmbh, 8375 Gotteszell, De
DE19747343A1 (en) * 1997-10-27 1999-05-06 Jenoptik Jena Gmbh Partial pressure sensor
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US8077326B1 (en) 2008-03-31 2011-12-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US8711361B2 (en) 2009-11-05 2014-04-29 Qualcomm, Incorporated Methods and devices for detecting and measuring environmental conditions in high performance device packages
DE102015115657B3 (en) 2015-09-17 2017-02-09 Harting Ag & Co. Kg electrical contact element

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1983002327A1 (en) * 1981-12-30 1983-07-07 Kroo, Norbert Procedure for the production of a humidity-sensitive interference mirror, and procedure and equipment for the measurement of the humidity using said mirror
DE2112059C2 (en) * 1970-03-12 1984-08-16 Stanley Bennett Bedford Ohio Elliott Device for measuring the moisture content of gases and using the device as a thermometer
DE3619017A1 (en) * 1985-08-15 1987-02-26 Kms Fusion Inc OPTICAL-DIELECTRIC MOISTURE METER

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2112059C2 (en) * 1970-03-12 1984-08-16 Stanley Bennett Bedford Ohio Elliott Device for measuring the moisture content of gases and using the device as a thermometer
WO1983002327A1 (en) * 1981-12-30 1983-07-07 Kroo, Norbert Procedure for the production of a humidity-sensitive interference mirror, and procedure and equipment for the measurement of the humidity using said mirror
DE3619017A1 (en) * 1985-08-15 1987-02-26 Kms Fusion Inc OPTICAL-DIELECTRIC MOISTURE METER

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5262842A (en) * 1990-10-19 1993-11-16 IOT Entwicklungsgesellschaft fur integrierte Optiktechnologie mbH Optical sensor having a wave guide substrate with interferometer integrated therein
EP0536656A1 (en) * 1991-10-05 1993-04-14 ULTRAKUST electronic GmbH Humidity sensor
DE4200088A1 (en) * 1992-01-04 1993-07-15 Nahm Werner Detecting physical chemical biochemical and biological processes - using light irradiated on sample of thin layer of at least partially optically transparent material.
EP0598341A1 (en) * 1992-11-17 1994-05-25 Hoechst Aktiengesellschaft Optical sensor for detecting chemical species
US5563707A (en) * 1992-11-17 1996-10-08 Hoechst Aktiengesellschaft Interference enhanced optical sensor for detecting chemical species
EP0805970A1 (en) * 1994-10-21 1997-11-12 Protimeter, Inc. Cycling chilled mirror dewpoint hygrometer including a sapphire optical mirror
EP0805970A4 (en) * 1994-10-21 1998-11-04 Protimeter Inc Cycling chilled mirror dewpoint hygrometer including a sapphire optical mirror
US6007904A (en) * 1995-12-06 1999-12-28 Bartec Componenete Und Systeme Gmbh Optical sensor element
WO1997021092A1 (en) * 1995-12-06 1997-06-12 Ultrakust Electronic Gmbh Optical sensor
DE19608428A1 (en) * 1996-03-05 1997-09-11 Forschungszentrum Juelich Gmbh Analysis method using porous silicon for detecting a substance or the concentration of a substance in solutions and an analysis device for such a method
US6130748A (en) * 1996-03-05 2000-10-10 Forschungszentrum Julich Gmbh Chemical sensor based on porous silicon
DE19608428C2 (en) * 1996-03-05 2000-10-19 Forschungszentrum Juelich Gmbh Chemical sensor
US6867900B2 (en) 2000-08-21 2005-03-15 Genewave Support for chromophoric elements
FR2813121A1 (en) * 2000-08-21 2002-02-22 Claude Weisbuch PERFECTED DEVICE FOR SUPPORTING CHROMOPHORIC ELEMENTS
WO2002016912A1 (en) * 2000-08-21 2002-02-28 Genewave Device for supporting chromophoric elements
DE10148778A1 (en) * 2001-10-02 2003-04-17 Univ Braunschweig Tech Apparatus to determine the composition of a tissue sample is a layered structure of dielectric materials with alternating refraction index values, with the sample in a sandwich between them, to be exposed to electromagnetic radiation
DE10148778C2 (en) * 2001-10-02 2003-10-09 Univ Braunschweig Tech Method for determining the nature of a sample
US8506902B2 (en) 2002-09-30 2013-08-13 3M Innovative Properties Company Colorimetric sensor
US7449146B2 (en) 2002-09-30 2008-11-11 3M Innovative Properties Company Colorimetric sensor
WO2005111588A1 (en) * 2004-03-24 2005-11-24 3M Innovative Properties Company Colorimetric sensor
US7929196B2 (en) 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of implementation of interferometric modulators for display mirrors
WO2006042746A1 (en) * 2004-10-19 2006-04-27 Universität Tübingen Method for examining physical, chemical and biochemical interactions
US7767143B2 (en) 2006-06-27 2010-08-03 3M Innovative Properties Company Colorimetric sensors
US7787171B2 (en) 2008-03-31 2010-08-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US7787130B2 (en) 2008-03-31 2010-08-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US7852491B2 (en) 2008-03-31 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
WO2009123836A1 (en) * 2008-03-31 2009-10-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on mechanical membranes
CN103822903A (en) * 2014-03-10 2014-05-28 天津理工大学 No-core fiber based relative air humidity measuring instrument
CN114649630A (en) * 2020-12-17 2022-06-21 保时捷股份公司 Battery housing for accommodating a high-voltage battery, motor vehicle and method for testing a battery

Also Published As

Publication number Publication date
DE3832185C2 (en) 1990-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3832185C2 (en)
DE2851750C2 (en)
DE3814844A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE FRESH NUMBER OF A SUBSTANCE
DE2343869A1 (en) DEVICE FOR MEASURING A PROPERTY OF FILM-LIKE MATERIAL
EP0481440A2 (en) Sensor for the detection of a substance
DE3240234C2 (en) Surface profile interferometer
DE3039500A1 (en) SILVER HALIDE CONTAINING FILM FOR OPTICAL DATA STORAGE
DE3619017A1 (en) OPTICAL-DIELECTRIC MOISTURE METER
DE3723159C2 (en)
EP0604645B1 (en) Fibre-optic sensor based on the fabry-perot principle
DE19545414C2 (en) Optical sensor element
Abbate et al. The direct determination of the temperature dependence of the refractive index of liquids and solids
EP0487992A2 (en) Optical sensor
DE1810559C3 (en) Method for monitoring temperature changes in radiolucent substrates for thin layers to be applied in a vacuum
DE3814742A1 (en) ACHROMATIC PHASE RETARDER
DE19630181A1 (en) Compact optical fibre sensor for detecting chemical or biochemical substances
DE2539248A1 (en) FILTERS FOR GAS DETECTORS
DE19519975C1 (en) Moisture permeability measuring system for thin film
DE3808336C2 (en) Method for determining the fineness of textile fibers, especially flax fibers
EP1591750B1 (en) Method and apparatus for controlling the thickness of a coating on a ribbon moved in its longitudinal direction
EP0440577A1 (en) Interferometric measurement arrangement
DE3815260A1 (en) TEMPERATURE MEASURING DEVICE
DE2354307C2 (en) Device for measuring pressure
EP0183734A1 (en) Device for measuring a physical magnitude
DE19723729A1 (en) Determining layer properties during deposition or etching

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee