DE3922377A1 - Surface treating mechanically worked metallic components - using UV beam of excimer laser - Google Patents

Surface treating mechanically worked metallic components - using UV beam of excimer laser

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Abstract

Surfaces of mechanically worked metal parts are treated using an UV beam of a excimer laser. The surface is exposeq to the beam several times with the power beam flux density concentrated between +/- 10mJ/mm2 of the beam basic flux density so as to penetrate a depth of 0.01-1 micro-m. Pref. for cast Fe parts a power flux density of 1-30 power 102 W/cm2 pref. 5.10 power 7 W/cm2 with a wave length of 308 nm and a pulsed duration of 20-250 m sec. is used. The beam irradiates the part 1-40, pref. 1-10 times. For a casting esp. of AlSi alloy a flux density of 0.1-30.10W/cm2 0.5.107 0.1-30.10 power 7 W/cm2 esp. 0.5.10 power 7 W/cm2 with a wave length of 308 nm and pulsed duration of 20-250 n. sec is used. The beam irradiates the part 2-200 pref. 30-60 times. USE/ADVANTAGE - To stress relieve and/or remove surface cracks from a mechanically or electrochemically polished surface. To smooth a microporous surface structure to a roughness of below 1 micro m. Is relatively inexpensive method to improve beams, strength and surface finish properties.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Behandeln der Oberflächen von mechanisch vorbearbeiteten Bauteilen aus Metall mittels eines Lasers.The invention relates to a method for treating the Surfaces of mechanically pre-machined components Metal by means of a laser.

In neuerer Zeit werden Laser vermehrt zur Behandlung der Funktions-Oberflächen von metallischen Bauteilen einge­ setzt. Neben den bereits häufigeren Anwendungen, wie Schneiden und Schweißen wurden auch bereits das Um­ schmelzhärten und das Aufschmelzlegieren vorgeschlagen. Ferner hat man erkannt, daß mit Lasersystemen Oberflä­ chenveredelungen, wie Glätten, Ausheilen von Fehlstellen etc. möglich sind.In recent times, lasers are increasingly used to treat the Functional surfaces of metallic components inserted puts. In addition to the more common applications, such as Cutting and welding have already been the order melt hardening and smelting proposed. Furthermore, it has been recognized that with laser systems Oberflä refinements, such as smoothing, healing of imperfections etc. are possible.

Für die Elektronikfertigung zeichnet sich als besonders geeignet der Einsatz von UV-Licht emittierenden Excimer­ lasern ab, die zum einen eine Bearbeitung im Submikrome­ terbereich und zum anderen photoinduzierte Prozesse er­ möglichen, bei denen die Quantenenergie des Laserlichtes direkt in den Prozeß eingebracht wird und nicht zunächst in Wärme umgewandelt werden muß (vgl. z. B. Die Biblio­ thek der Technik 1987, Band 5 "Industrielaser" 87/00 916).For the electronics production stands out as special suitable is the use of UV-emitting excimer lasers, on the one hand, a processing in Submikrome and photo-induced processes possible, where the quantum energy of the laser light is introduced directly into the process and not first must be converted into heat (see, for example, The Biblio thek der Technik 1987, Volume 5 "Industrial Lasers" 87/00 916).

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines gattungs­ gemäßen Verfahrens, mit dem Bauteile bei relativ gerin­ gem Bearbeitungsaufwand hinsichtlich ihrer tribologi­ schen Eigenschaften und/oder Festigkeitseigenschaften und/oder ihre Fertigungsgüte verbessert werden. The object of the invention is to provide a generic proper method, with the components at relatively clotting gem processing costs in terms of their tribology properties and / or strength properties and / or their quality of production can be improved.  

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den kennzeichnen­ den Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst. Zweckmäßige Weiterbildungen des Verfahrens sind in den Patentansprü­ chen 2 bis 5 angeführt. Die Ansprüche 6 bis 10 kenn­ zeichnen bevorzugte Anwendungen des Verfahrens.This object is inventively characterize with the the features of claim 1. expedient Further developments of the method are in the patent claims 2 to 5. The claims 6 to 10 kenn draw preferred applications of the method.

Technische Metalloberflächen, die an der Atmosphäre ver­ arbeitet oder aufbewahrt werden, weisen häufig die im folgenden beschriebene Schichtstruktur auf:Technical metal surfaces verifying in the atmosphere working or being kept, are often referred to in the following layer structure described:

Das reine Metall ist mit einer oder mehreren Lagen von nichtmetallisch, anorganischen Verbindungen bedeckt (vorzugsweise Oberflächenoxyde). Es folgen organische Schichten (z. B. Schmiermittelrückstände, Staub, Fett usw.), die an der Oberfläche nur schwach gebunden sind. Werden die Bauteile während der Weiterverarbeitung ver­ formt, so kompliziert sich die Oberflächenstruktur noch weiter. Es kann zu Überwalzungen kommen, Teile der Ober­ flächenverunreinigungen werden eingewalzt und abgesplit­ terte Teilchen können in das Material hineingelangen (Trümmerschicht).The pure metal is with one or more layers of non-metallic, inorganic compounds covered (preferably surface oxides). Followed by organic Layers (eg lubricant residue, dust, grease etc.), which are only weakly bound on the surface. Are the components ver during further processing ver forms, so the surface structure is still complicated continue. It can come to Überwalzungen, parts of the upper Surface contaminants are rolled in and split off Particles can get into the material (Debris layer).

Bei mehrphasigen Werkstoffen werden weichere, leichter verformbare Gefügebestandteile sich über die härteren, verschleißbeständigeren Gefügebestandteile legen, so daß an der Oberfläche häufig ein völlig unerwünschtes Eigen­ schaftsprofil vorliegt. Wird der mechanischen Bearbei­ tung eine Oberflächenbehandlung nachgeschaltet (ther­ misch, chemisch, thermochemisch), so kann der Zustand der mechanisch behandelten Oberfläche aufgrund der hohen Defektdichte oder wegen eingeprägter Trümmer sich nega­ tiv auf die Oberflächenbehandlung auswirken. Beispiele sind Risse aufgrund eines zu hohen Verformungsgrades, Bindungsfehler aufgrund von Verunreinigungen sowie Ent­ stehung unerwünschter Phasen aufgrund von Fremdkeimwir­ kung. For multi-phase materials softer, lighter deformable microstructure components exceed the harder, wear more resistant structural components, so that on the surface often a completely undesirable property profile. Will the mechanical Bearbei tion a surface treatment downstream (ther mixed, chemical, thermochemical), so the condition the mechanically treated surface due to the high Defect density or due to impressed debris nega tively affect the surface treatment. Examples are cracks due to too high a degree of deformation, Binding error due to impurities and Ent Stagnation of unwanted phases due to Fremdkeimwir kung.  

Behandelt man mechanisch, insbesondere spanend bearbei­ tete Metalloberflächen erfindungsgemäß mit der UV-Strah­ lung eines Excimerlasers ein oder mehrmals, so können innerhalb der angegebenen Verfahrensparameter und der gewählten Beaufschlagung die Oberflächen geglättet, po­ liert, trocken geätzt oder nur von Rückständen gereinigt werden oder aber scharfkantige Formen entgratet werden.Treated mechanically, in particular machined machined tete metal surfaces according to the invention with the UV-Strah tion of an excimer laser one or more times, so can within the specified process parameters and the Selective loading the surfaces smoothed, po liert, dry etched or cleaned only from residues be deburred or sharp-edged forms.

So kann beispielsweise mit den Verfahrensparametern ge­ mäß Patentanspruch 2 bei einem Bauteil aus Gußeisen er­ reicht werden, daß die nach der mechanischen Bearbeitung ggf. durch Materialüberlappungen zugeschmierten Graphit­ nester im Oberflächenbereich freigelegt werden, so daß eine tribologisch besonders günstige Oberfläche geschaf­ fen ist.For example, with the process parameters ge according to claim 2 in a cast iron component he be enough, that after the mechanical processing possibly graphite smeared by material overlaps Nests be exposed in the surface area, so that a tribologically particularly favorable surface geschaf fen is.

Bei einem Bauteil aus einer Aluminium-Silicium-Legierung kann gemäß Patentanspruch 3 mit den angegebenen Parame­ tern das Aluminium gegenüber den ausgeschiedenen Primär­ silicium-Kristallen zurückgesetzt werden, wodurch eine harte, verschleißfeste Gleitschicht geschaffen ist.In a component made of an aluminum-silicon alloy may according to claim 3 with the specified Parame protect the aluminum from the excreted primary silicon crystals are reset, creating a Hard, wear-resistant sliding layer is created.

Gemäß den Merkmalen der Patentansprüche 4 und 5 soll die in den Patentansprüchen 1 bis 3 definierte Leistungs­ flußdichte entsprechend der angewendeten Wellenlänge des UV-Lichtes modifiziert werden. Wird beispielsweise mit einem Excimerlaser mit einer Wellenlänge von 193 nm ge­ arbeitet, so soll die Leistungsflußdichte insbesondere dreimal geringer als die angegebene Leistungsflußdichte sein.According to the features of claims 4 and 5, the In the claims 1 to 3 defined performance flux density according to the wavelength used UV light can be modified. For example, with an excimer laser with a wavelength of 193 nm ge works, so should the power flow density in particular three times less than the indicated power flux density his.

Mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung sind im fol­ genden näher beschrieben. Die schematische Zeichnung zeigt inSeveral embodiments of the invention are in fol described in more detail. The schematic drawing shows in

Fig. 1 in einer Kurve den Zusammenhang zwischen der Oberflächenrauhigkeit eines Bauteiles über der aufgebrachten Energiedichte mit einem UV-Licht emittierenden Excimerlaser; Fig. 1 shows the relationship between the surface roughness of a component on the deposited energy density emitting in a curve with a UV excimer laser light;

Fig. 2 Linien gleicher Oberflächenbehandlung bei verschiedenen Laserwellenlängen am Bei­ spiel eines Bauteiles aus CuSn6. Fig. 2 lines of the same surface treatment at different laser wavelengths in the case of a component of CuSn6.

Die Fig. 1 zeigt den im Patentanspruch 1 definierten Bereich der Energiedichte (schraffiert) von -10 bis +10 mJ/mm2 ausgehend von einer Leistungsflußdichte X, die bei einem spezifischen Werkstoff zur Entstehung des Me­ tallplasmas (laserinduziertes Plasma) erforderlich ist. In der Kurve entspricht der niedrig liegende Ast dem Be­ reich hoher Reflexion, in dem die Leistungseinkoppelung in das Werkstück relativ gering ist. Der steil anstei­ gende Ast entspricht dem engen Bereich der kritischen Intensität, dessen ungefähres Mittel die Leistungsfluß­ dichte X definiert. Der hochliegende Ast entspricht dem Bereich auftretenden Metallplasmas, bei dem bei einer hohen Leistungseinkoppelung die Eindringtiefe wesentlich steigerbar ist. Fig. 1 shows the defined in claim 1 range of energy density (hatched) from -10 to +10 mJ / mm 2, starting from a power flux density X, which is required for a specific material for the formation of Me tallplasmas (laser-induced plasma). In the curve, the low-lying branch corresponds to the Be rich high reflection, in which the power input into the workpiece is relatively low. The steeply rising branch corresponds to the narrow range of the critical intensity whose approximate mean defines the power flow density X. The high-lying branch corresponds to the area occurring metal plasmas, in which at a high power input, the penetration depth is significantly increased.

Die erfindungsgemäße Behandlung der Oberfläche soll im Bereich der kritischen Intensität bzw. bis 10 mJ/mm2 darunter oder darüber liegen, je nach Werkstoff, Bau­ teilkonfiguration und Anwendungsart.The surface treatment according to the invention should be in the range of the critical intensity or up to 10 mJ / mm 2 below or above, depending on the material, construction partial configuration and type of application.

Die Fig. 2 zeigt Linien zur Modifikation der Leistungs­ flußdichte bei gleicher Oberflächenbehandlung abhängig von der Wellenlänge nm des Laserlichts. Liegt bei­ spielsweise bei einem Bauteil aus CuSn6 der Wert X bei einer Wellenlänge von 308 nm bei 30 mJ/mm2, so ist dieser bei einer Wellenlänge von 193 nm auf 10 mJ/mm2 zu verschieben. Es versteht sich, daß auch die Pulsdauer in ns des Laserlichts die angegebenen Wert beeinflußt und dementsprechend auf die Anwendungsart anzupassen ist. Fig. 2 shows lines for modifying the power flow density with the same surface treatment depending on the wavelength nm of the laser light. If, for example, the value X at a wavelength of 308 nm is 30 mJ / mm 2 for a component made of CuSn 6, this must be shifted to 10 mJ / mm 2 at a wavelength of 193 nm. It is understood that the pulse duration in ns of the laser light affects the specified value and is accordingly adapted to the type of application.

Ausführungsbeispiel 1Embodiment 1

Bearbeitet wurden die Laufflächen eines Zylinderblockes einer Brennkraftmaschine aus GGG (sphärolithischer Grau­ guß), die vorhergehend in üblicher Weise gebohrt und me­ chanisch gehont wurden. Dabei waren in bekannter Weise durch die Einwirkung der Bearbeitungswerkzeuge ein gro­ ßer Anteil der Graphitsphärolithen zugeschmiert bzw. ein sogenannter Blechmantel entstanden.The treads of a cylinder block were processed an internal combustion engine made of GGG (spherulitic gray cast) previously drilled in the usual way and me honed chanically. It was in a known manner by the action of the processing tools a big The proportion of graphite spherulites smeared or embedded so-called metal jacket emerged.

Durch die UV-Belichtung der Laufflächen mit einem Exci­ merlaser konnten die Graphitsphärolithen freigelegt wer­ den. Die Verfahrensparameter waren hier:By UV exposure of the treads with an exci merlaser the graphite spherolites could be exposed the. The process parameters were here:

Wellenlänge|248 nmWavelength | 248 nm Pulszeitpulse time 30 ns30 ns Energiedichteenergy density 30 mJ/mm²30 mJ / mm² Pulszahlpulse rate 11 Leistungsflußdichtepower flux density 1 · 10⁸ W/cm²1 x 10⁸ W / cm²

Ausführungsbeispiel 2Embodiment 2

Bei einem Zylindergehäuse einer Brennkraftmaschine aus einer übereutektischen AlSi-Legierung wurden die Lauf­ flächen trocken geätzt, um die weichen Gefügebestandtei­ le gegenüber dem ausgeschiedenen Primär-Silicium-Gefüge zurückzusetzen. Dies erhöht den Traganteil der ver­ schleißfesteren Gefügebestandteile und schafft die zur Aufrechterhaltung eines Schmierölfilmes auf der Laufflä­ che notwendigen Grübchen.In a cylinder housing of an internal combustion engine a hypereutectic AlSi alloy were the run dry etched areas to the soft Gefüebestandtei le opposite the excreted primary silicon structure reset. This increases the carrying amount of ver more resistant structural components and creates the Maintaining a lubricating oil film on the Laufflä necessary dimples.

Bei herkömmlicher Verfahrensweise ist der ätztechnische Prozeß aufwendig und bedingt durch die anfallenden Ätz­ mittel einen entsprechenden Reinigungs- und Entsorgungs­ aufwand.In conventional procedure, the etching is Process consuming and due to the resulting etching Medium a corresponding cleaning and disposal expenditure.

Durch Belichtung mit einem Excimerlaser gelang es, die harten Gefügebestandteile freizulegen und die weichen Gefügebestandteile zurückzusetzen. Die Behandlung ent­ spricht einem quasi trockenem Ätzen. Die Verfahrenspara­ meter waren wie folgt eingestellt:By exposure with an excimer laser succeeded, the to expose hard structural components and the soft ones Reset structural components. The treatment ent  speaks a quasi-dry etching. The procedural para meters were set as follows:

Wellenlänge|308 nmWavelength | 308 nm Pulszeitpulse time 250 ns250 ns Energiedichteenergy density 10 mJ/mm²10 mJ / mm² Pulszahlpulse rate 100100 Leistungsflußdichtepower flux density 4 · 10⁶ W/cm²4 · 10⁶ W / cm²

Ausführungsbeispiel 3Embodiment 3

Bei der mechanischen Bearbeitung von metallischen Werk­ stoffen unterscheidet man verschiedene Arten der Zerspa­ nung, je nachdem, wie grob die mechanische Fertigung ausgelegt ist, z.B. Schruppen, Vordrehen, Feindrehen, Vorschleifen, Fertigschleifen, Honen, Läppen. Man kann erkennen, daß zur Erzielung von Rauhigkeiten unter 1 µm erheblicher Aufwand getrieben werden muß.In the mechanical processing of metallic work A distinction is made between different types of Zerspa depending on how rough the mechanical production is designed, e.g. Roughing, pre-turning, fine turning, Pre-grinding, finish grinding, honing, lapping. One can recognize that to achieve roughnesses below 1 micron considerable effort must be made.

Es wurde ein Bauteil aus dem Werkstoff CuFe2 durch Be­ lichtung mit einem Excimerlaser optisch poliert, wobei die Rauhigkeit deutlich unter 1 µm gesenkt werden konn­ te. Unter anderem ist ein Vorteil darin zu sehen, daß dieses optische Polieren auch bei einem nicht einge­ spannten Bauteil möglich ist.It was a component made of the material CuFe2 by Be Optically polished with an excimer laser, wherein the roughness can be lowered well below 1 μm te. Among other things, one advantage is that this optical polishing even with a not turned clamped component is possible.

Bearbeitungsdaten:Processing data: Wellenlängewavelength 308 nm308 nm Pulszeitpulse time 40 ns40 ns Energiedichteenergy density 8 mJ/mm²8 mJ / mm² Pulszahlpulse rate 44 Leistungsflußdichtepower flux density 2 · 10⁷ W/cm²2 x 10⁷ W / cm²

Als besonders vorteilhaft hat sich das erfindungsgemäße Verfahren zur Behandlung der Zylinderlauffläche von Brennkraftmaschinen zur Freilegung zugeschmierter Gra­ phitnester oder zum trockenen Ätzen erwiesen.Be particularly advantageous according to the invention Method for treating the cylinder surface of  Internal combustion engines for the release of smudged Gra phytnester or for dry etching.

Des weiteren konnten vorteilhaft scharfkantige Bauteile, wie z.B. im Abwälzverfahren hergestellte Zahnräder mit dem Excimerlaser entgratet werden.Furthermore, advantageously sharp-edged components, such as. in the rolling process produced gears with be deburred to the excimer laser.

Ferner wurden mit diesem Verfahren Oberflächen von Bau­ teilen auf Rauhigkeiten bis deutlich unter 1 µ geglättet und bei stark mechanisch verformten Bauteilen, z. B. Kurbelwellen von Brennkraftmaschinen, auftretende Mikrorisse ausgeheilt. Dadurch konnte die Festigkeit dieser Bauteile wesentlich verbessert werden.Furthermore, with this method surfaces of construction divide to roughness until well below 1 μ smoothed and in strongly mechanically deformed components, eg. B. Crankshafts of internal combustion engines, occurring Microcracks healed. This allowed the strength These components are significantly improved.

Schließlich wurden erfolgreich die Laufflächen von Wälzlagern sowie galvanisch z.B. nach dem Nicasil-Ver­ fahren beschichtete Bauteile mit dem Excimerlaser op­ tisch poliert.Finally, the treads of Rolling and galvanic, for. after the Nicasil Ver drive coated components with the excimer laser op polished table.

Claims (10)

1. Verfahren zum Behandeln der Oberflächen von mecha­ nisch vorbearbeiteten Bauteilen aus Metall mittels eines Lasers, dadurch gekennzeichnet, daß
  • a) die Oberfläche mit der UV-Strahlung eines Excimer­ lasers ein oder mehrmals belichtet wird, wobei
  • b) die Oberfläche in einer Tiefe zwischen 0,01 µm bis 1 µm mit einer Leistungsflußdichte zwischen 10 mJ/mm2 unterhalb bis 10 mJ/mm2 oberhalb der Lei­ stungsflußdichte beaufschlagt wird, die zur Bil­ dung eines entsprechenden Metallplasmas am Bauteil führt.
1. A method for treating the surfaces of mechanical pre-machined metal components by means of a metal, characterized in that
  • a) the surface is exposed to the UV radiation of an excimer laser one or more times, wherein
  • b) the surface at a depth between 0.01 .mu.m to 1 .mu.m with a power flow density between 10 mJ / mm 2 below to 10 mJ / mm 2 above the Lei stungsflußdichte is applied, which leads to Bil tion of a corresponding metal plasma on the component.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei Bauteilen aus Gußeisen eine Belichtung mit einer Leistungsflußdichte von 1-30 · 107 W/cm2, vor­ zugsweise von 5 · 107 W/cm2 bei einer Verwendung eines Lichtes mit 308 nm Wellenlänge und einer Puls­ dauer von 20 bis 250 ns durchgeführt wird, wobei ein- bis vierzigmal, insbesondere ein- bis zehnmal belich­ tet wird.2. The method according to claim 1, characterized in that in components made of cast iron, an exposure with a power density of 1-30 · 10 7 W / cm 2 , preferably before 5 · 10 7 W / cm 2 when using a light with 308 nm wavelength and a pulse duration of 20 to 250 ns is performed, wherein one to forty times, in particular one to ten times is illuminated tet. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei Bauteilen aus Gußwerkstoffen, insbesondere AlSi-Legierungen, eine Belichtung mit einer Lei­ stungsflußdichte von 0,1 bis 30 · 107 W/cm2, insbe­ sondere 0,5 · 107 W/cm2 bei Verwendung eines Lichtes mit 308 nm Wellenlänge und einer Pulsdauer von 20 bis 250 ns durchgeführt wird, wobei zwei- bis zweihun­ dertmal, vorzugsweise vier- bis einhundertmal, insbe­ sondere dreißig- bis sechzigmal belichtet wird. 3. The method according to claim 1, characterized in that in components made of cast materials, in particular AlSi alloys, an exposure with a Lei stungsflußdichte of 0.1 to 30 · 10 7 W / cm 2 , in particular special 0.5 · 10 7 W. / cm 2 when using a light having a wavelength of 308 nm and a pulse duration of 20 to 250 ns, wherein two to two hundredth times, preferably four to one hundred times, in particular thirty to sixty times, is exposed. 4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung eines Lichts mit einer von 308 nm abweichenden Wel­ lenlänge die Leistungsflußdichte entsprechend korri­ giert wird.4. The method according to one or more of claims 1 to 3, characterized in that when used a light with a 308 nm deviating Wel lenlänge the Leistungsflußdichte according korri is yawed. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung eines Lichts der Wellenlänge 193 nm eine zwei- bis viermal, insbesondere dreimal ge­ ringere Leistungsflußdichte gewählt wird.5. The method according to claim 4, characterized that when using a light of wavelength 193 nm one two to four times, in particular three times ge lower power flow density is selected. 6. Anwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche an einem Zylindergehäuse einer Brennkraftmaschine zur Behandlung der Zylinder­ laufflächen nach dem mechanischen oder elektrochemi­ schen Honen.6. Application of the method according to one or more of Previous claims on a cylinder housing an internal combustion engine for the treatment of the cylinder treads after mechanical or electrochemical honing. 7. Anwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche zum Entgraten von scharfkan­ tigen Bauteilen, wie beispielsweise Zahnrädern.7. Application of the method according to one or more of previous claims for deburring of sharp term components, such as gears. 8. Anwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche an Bauteilen mit mechanisch stark verformten Oberflächen zum Spannungabbau und/oder Ausheilen von Mikrorissen.8. Application of the method according to one or more of previous claims on components with mechanical strongly deformed surfaces for stress relief and / or curing microcracks. 9. Anwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche an Bauteilen mit galvanisch beschichteten Oberflächen zum Glätten der mikroporö­ sen Oberflächenstruktur.9. Application of the method according to one or more of preceding claims on components with galvanic coated surfaces for smoothing the mikroporö sen surface structure. 10. Anwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche an Bauteilen hoher Oberflä­ chengüte zum Polieren der Oberflächen auf eine Rau­ higkeit < 1 µm.10. Application of the method according to one or more of preceding claims on components of high Oberflä good quality for polishing surfaces on a rough surface <1 μm.
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