DE4214555A1

DE4214555A1 - Anordnung für einen elektrothermischen Tintendruckkopf

Info

Publication number: DE4214555A1
Application number: DE4214555A
Authority: DE
Inventors: Ernst Obermeier; Joachim Heinzl; Peter Krause; Bernhard Hochwind; Alfred Zollner
Original assignee: Mannesmann AG
Current assignee: Eastman Kodak Co
Priority date: 1992-04-28
Filing date: 1992-04-28
Publication date: 1993-11-11
Anticipated expiration: 2012-04-29
Also published as: GB9308819D0; US5502471A; GB2267255B; FR2691404B1; JPH0623990A; FR2691404A1; GB2267255A; DE4214555C2

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung für einen elektrothermischen Tintendruckkopf in Schichtbauweise, bei dem die Ausbreitungsrichtung der elektrothermisch erzeugten Dampfblase der Tintenausstoßrichtung entgegengesetzt ist.

Bekannte elektrothermische Tintendruckköpfe (Bubble-Jet-Prinzip) weisen eine Vielzahl von Einzeldüsen auf, aus denen unter Einwirkung einer elektronischen Steuerung Einzeltröpfchen definierter Größe erzeugt und in einem definierten Muster in Richtung eines Aufzeichnungsträgers ausgestoßen werden.

Die zu druckenden Zeichen werden durch jeweils mehrere Tintentröpfchen erzeugt, die matrixförmig aneinander gereiht sind.

Zweckmäßigerweise wird jeweils eine Spalte einer derartigen zeichenbezogenen Matrix gleichzeitig gedruckt, um die Forderungen nach hoher Druckgeschwindigkeit und gleichmäßigem Schriftbild zu erfüllen.

Ein Tintendruckkopf der sich für das geschilderte Druckverfahren eignet, muß also mehrere (gleiche) Elemente vereinigen, die in der Lage sind, Tintentröpfchen im Bedarfszeitpunkt auszustoßen ("drop-on-demand"-Prinzip). Charakteristisches Merkmal dieser Technologie ist, daß sich in einer mit Aufzeichnungsflüssigkeit, beispielsweise Tinte, gefüllten Kapillaren und zwar in der Nähe ihrer Öffnung ein als Heizelement ausgebildeter elektrischer Widerstand befindet. Wird diesem Heizelement mittels eines kurzen Stromimpulses eine bestimmte Wärmeenergie zugeführt, entsteht durch äußerst schnelle Wärmeübertragung auf die Tintenflüssigkeit zuerst eine sich rasch expandierende Tintendampfblase, die dann nach Wegfall der Energiezuführung und Abkühlung durch die Tintenflüssigkeit relativ schnell in sich zusammenfällt. Die durch die Dampfblase im Inneren der Kapillaren entstehende Druckwelle läßt einen Tintentropfen aus der Düsenöffnung auf die Oberfläche eines nahen Aufzeichnungsträgers austreten.

Ein Vorteil dieses Bubble-Jet-Prinzips ist der, daß durch Ausnutzung des Phasenwechsels flüssig-gasförmig-flüssig der Tintenflüssigkeit die zum Tintenausstoß notwendige, relativ große und schnelle Volumenänderung mittels einer sehr kleinen aktiven Wandlerfläche erzeugt wird. Die kleinen Wandlerflächen wiederum erlauben bei Anwendung moderner Herstellungsverfahren, wie hochpräzise fotolithographische Prozesse in Schichttechnik, einen relativ einfachen und kostengünstigen Aufbau von Tintendruckköpfen, die sich durch hohe Schreibspurendichte und geringe Abmessungen auszeichnen.

Aus der internationalen Anmeldung PCT/DE 91/00 364 ist ein Tintendruckkopf bekannt, der im wesentlichen aus einem Chip und einem Tintenvorratsbehälter besteht, wobei der Chip mittels Montageklammern auf den Tintenvorratsbehälter mechanisch arretiert ist. Dieser Chip weist dreiseitig geschlossene und zur vierten Seite hin offene Tintenkanäle auf, die durch dünne im wesentlichen trapezförmige Kanalzwischenwände voneinander getrennt sind. In Tintenausstoßrichtung besteht der Abschluß des jeweiligen Tintenkanals aus einer dünnen Membran, die ihrerseits die Ausstoßdüse des zugehörigen Tintenkanals aufweist. Eine Oberfläche des Tintenvorratsbehälters bildet den äußeren Abschluß der Tintenkanäle zur chipseitig offenen vierten Seite hin.

Wird ein Heizelement zur Erzeugung eines Tröpfchens angesteuert, führt dessen Erhitzung neben der Dampfblasenbildung zu einem lokalen Überdruck in dem jeweiligen Tintenkanal. Dieser Überdruck führt neben dem beabsichtigten Tröpfchenausstoß dazu, daß eine bestimmte Tintenmenge in Richtung der Versorgungskanäle zurückgedrückt wird. Das bedeutet, daß neben der zum Tröpfchenausstoß benötigten Energiemenge noch eine Verlustenergiemenge aufgebracht werden muß, die unter anderem beim Tintenrücktransport verbraucht wird. Diese Verlustenergiemenge verschlechtert den Gesamtwirkungsgrad des Tintendruckkopfes.

Darüber hinaus führt die rückgestoßene Tintenmenge zu einem lokalen Überdruck in den Versorgungskanälen und damit zur Beeinflussung benachbarter Tintenkanäle. Werden die benachbarten Tintenkanäle eines nicht angesteuerten Tintenkanals angesteuert, so kann es durch die entstehende Drucküberlagerung im nicht angesteuerten Kanal trotzdem zu einem unerwünschten Tröpfchenausstoß kommen.

Je nachdem, ob benachbarte Tintenkanäle angesteuert werden oder nicht, ändern sich die Druckverhältnisse im jeweiligen Tintenkanal und damit die resultierende Tropfenmasse und die Druckqualität.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Tintendruckkopf anzugeben, der die bauartgemäßen Vorteile des beschriebenen Tintendruckkopfes beibehält und dabei einen besseren Wirkungsgrad aufweist und geeignet ist, betriebsartunabhängig eine gleichbleibend hohe Druckqualität zu ermöglichen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß ausgehend von einem trapezförmigen Tintenkanallängsschnitt, in dessen spitzem Winkel die Tintenzufuhr mit symmetrisch angeordneten Versorgungskanälen vorgesehen ist, jeder Tintenkanal des Tintendruckkopfes über separate Strömungsdrosseln mit dem jeweiligen Versorgungskanal verbunden ist.

Dazu ist der Chip tintenvorratsbehälterseitig mit einer separaten Abschlußplatte abgedeckt, die Öffnungen zwischen ,den Tintenversorgungskanälen des Tintenvorratsbehälters und den Tintenkanälen des Chips aufweist. In einem der Elemente Chip und Abschlußplatte sind in der dem anderen Element zugewandten Oberfläche Ausnehmungen vorgesehen, die durch das jeweils andere Element abgedeckt werden, so daß kanalförmige Raumelemente entstehen. Diese kanalförmigen Raumelemente haben einen geringeren Querschnitt als alle anderen tintendurchflossenen Raumelemente, so daß sie wegen ihres Strömungswiderstandes als Drosselkanäle wirken.

Die Abschlußplatte besteht vorzugsweise aus Glas oder Kunststoffolie.

Die vorteilhafte Wirkung dieser Anordnung besteht darin, daß langsame Strömungsvorgänge, wie sie beim Befüllen oder Nachfüllen des Tintenkanals ablaufen, nahezu ungehindert vollzogen werden, aber hohen Druckspitzen wie sie während der Dampfblasenbildung entstehen ein hoher Widerstand entgegengesetzt ist.

Die durch die Aktivierung der Heizelemente im Tintenkanal hervorgerufene Druckwelle bleibt im wesentlichen auf den jeweiligen Tintenkanal begrenzt und wird in einem höheren Maße in Tropfenausstoßenergie umgesetzt. Damit erhöht sich einerseits der Wirkungsgrad des jeweiligen Tintenkanals wesentlich und andererseits wird vorteilhafterweise die Beeinflussung benachbarter Tintenkanäle reduziert. Dadurch wird die Abhängigkeit der Tropfenmasse und Tropfengeschwindigkeit von der Ansteuerung benachbarter Tintenkanäle minimiert.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die dazu erforderlichen Darstellungen zeigen:

Fig. 1 eine Prinzipdarstellung eines für die Anwendung der Erfindung besonders geeigneten Tintendruckkopfes,

Fig. 2 eine Schnittdarstellung durch den Chip eines solchen Tintendruckkopfes,

Fig. 3 eine Explosivdarstellung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung,

Fig. 4 eine Darstellung eines Chips mit erfindungsgemäß strukturierter Ätzmaske,

Fig. 5 eine Darstellung von aufeinanderfolgenden Prozeßschritten zur Herstellung von Drosselkanälen im Chip,

Fig. 5 eine weitere Darstellung von aufeinanderfolgenden Prozeßschritten zur Herstellung von Drosselkanälen im Chip,

Fig. 7a eine Darstellung der Ätzmaske für einen Tintenkanal,

Fig. 7b eine Schnittdarstellung durch den ätzbereiten Chip längs der Schnittlinie II-II,

Fig. 7c eine Ansicht eines geätzten Tintenkanals in Tröpfchenausstoßrichtung,

Fig. 8 eine Schnittdarstellung durch eine gefügte Chip/Abdeckplatte-Einheit mit Ausnehmungen in der Abdeckplatte,

Fig. 9 eine Schnittdarstellung durch eine gefügte Chip/Abdeckplatte-Einheit mit Ausnehmungen im Chip,

Fig. 10a eine Darstellung einer Ätzmaske für einen Tintenkanal,

Fig. 10b eine Darstellung teilweise geätzter Strukturen für einen Tintenkanal.

Die Fig. 1 zeigt in perspektivischer Darstellung den Aufbau eines Tintendruckkopfes. Dieser besteht im wesentlichen aus nur zwei miteinander zu verbindenden Teilen, nämlich einem Chip 11, der sowohl die Heizelemente, die elektrischen Zuleitungen und die Kontaktstellen für den elektrischen Anschluß als auch die Auslaßöffnungen (Düsen) beinhaltet und als Abschluß auf einem Tintenvorratsbehälter befestigt und kontaktiert wird. Die in diesem Prinzipbild nicht dargestellten Heizelemente, die elektrischen Zuleitungen, die Kontaktstellen und die Auslaßöffnungen 10 können dabei in einem einzigen, vorzugsweise aus Silizium bestehenden Chip 11 im Nutzen durch planare Bearbeitungsschritte erzeugt werden.

Der Tintenvorratsbehälter 12 weist eine quaderförmige Gestalt auf, in das ein mit Tintenflüssigkeit getränktes Medium, z. B. ein Schwamm 13, eingebracht ist. Der dem Chip 11 zugewandten Oberseite des Tintenvorratsbehälters 12 sind mit Filtern 14 versehene Auslaßöffnungen in Form von zwei Versorgungskanälen 15 vorgesehen. Diese Versorgungskanäle 15 verlaufen parallel zueinander in Längsrichtung des Tintenvorratsbehälters 12 derart, daß sie bei einem montierten Chip 11 über die Tintenkanäle 16 in Fließverbindung mit den Auslaßöffnungen 10 stehen. Die Montage des Chips 11 auf den Tintenvorratsbehälter geschieht auf einfache Weise durch an den Längsseiten des Tintenvorratsbehälter 12 angeordneten Montageklammern 17, die sowohl die mechanische Verbindung als auch über die Kontaktstellen 9 die elektrische Kontaktierung übernehmen.

Die Fig. 2 stellt einen Schnitt durch den Chip gemäß der Schnittlinie I-I in Fig. 1 dar. Insbesondere ist hier die geometrische Ausgestaltung eines Tintenkanals 16 zu erkennen, der parallele Wände mit schrägen Auslaufzonen 30 aufweist.

Wie auch aus Fig. 2 hervorgeht, ist dieser Tintenkanal 16 düsenseitig lediglich durch eine dünne Schicht des Chipsubstratmaterials membranartig abgeschlossen. In dieser Membran 3 ist die Auslaßöffnung 10 vorgesehen. Auf der dem Tintenkanal 16 abgewandten Seite der Membran 3 sind die Heizelemente angeordnet.

Gemäß Fig. 3 ist in einer ersten Ausführungsform der Erfindung der Chip 11 des Tintendruckkopfes 24, der die Tintenkanäle 16 mit den Auslaßöffnungen 10 aufweist, um eine Abschlußplatte 1 ergänzt, die die Tintenkanäle 16 tintenvorratsbehälterseitig begrenzt. Die Abschlußplatte 1 weist Ausnehmungen 25 auf, die jeweils mit einer durchgehenden Öffnung 2 verbunden sind. Die Ausnehmungen 25 sind länglich, rinnenförmig und parallel angeordnet und ein Teil ihrer Längsausdehnung ist durch den Chip 11 bedeckt. Der verbleibende Teil ihrer Längsausdehnung ist deckungsgleich mit einem Teil der zur Anschlußplatte in den offenen Tintenkanäle 16. Die Ausnehmungen 25 können eine geringere Breite als die Tintenkanäle 16 haben. Die Öffnungen 2 sind im montierten Zustand mit den Versorgungskanälen 15 im Tintenvorratsbehälter 12 verbunden.

Die Abschlußplatte besteht vorzugsweise aus Glas oder Kunststoffolie. Die Ausnehmungen 25 sind durch Ätzen oder Sandstrahlen eingebracht.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist gemäß Fig. 4 der Chip 11 in Vorbereitung auf den Ätzprozeß zur Herstellung der Tintenkanäle 16 mit einer Ätzmaske 18 versehen. Diese ätzmittelresistente Ätzmaske 18 weist Öffnungen 19 auf. Üblicherweise ist für jeden Tintenkanal 16 genau eine Ätzmaskenöffnung 19 vorgesehen, die die Grundrißgeometrie des Tintenkanals 16 aufweist, wobei nach dem Ätzprozeß die Ätzmaske 18 entfernt wird.

Erfindungsgemäß ist für jeden Tintenkanal 15 eine Mehrzahl von Ätzmaskenöffnungen 19 vorgesehen. Die Mechanismen des anisotropen Ätzens in 110-Silizium bewirken, daß die Tintenkanäle 16 trotzdem die gleiche Geometrie aufweisen, wie beim üblichen Ätzverfahren.

Erfindungsgemäß verbleibt die Ätzmaske 18 auf dem Chip 11. Zumindest ein Teil der einem Tintenkanal 16 zugeordneten Ätzmaskenöffnungen 19 ist im Bereich der Tintenversorgung angeordnet.

In einer ersten Variante ist die Tintenversorgung durch die Versorgungskanäle 15 im Tintenvorratsbehälter 12 gegeben. Das Maß der Drosselwirkung wird durch die Breite der Versorgungskanäle 15 sowie die Anzahl und Größe der im Bereich der Versorgungskanäle 15 angeordneten Ätzmaskenöffnungen 19 bestimmt.

In einer zweiten Variante ist zur Tintenversorgung zwischen dem Chip 11 und dem Tintenvorratsbehälter 12 eine Abschlußplatte 1 gemäß Fig. 3 vorgesehen. Die Abschlußplatte weist Öffnungen 2 auf, die den Versorgungskanälen 15 im Tintenvorratsbehälter 12 zugeordnet sind. An die Öffnungen 2 sind Ausnehmungen 25 angeschlossen, die den Tintenkanälen 16 im Chip 11 zugeordnet sind. Das Maß der Drosselwirkung wird durch die Anzahl und Größe der im Bereich der Ausnehmungen 25 gelegenen Ätzmaskenöffnungen 19 bestimmt.

In den Fig. 5a bis 5c sind aufeinanderfolgende Bearbeitungsstufen des Chips 11 dargestellt. Dabei zeigt Fig. 5a eine Schnittdarstellung durch den Chip 11 in Längsrichtung des zu strukturierenden Tintenkanals, der mit einer Ätzmaske bestehend aus einer Schicht Siliziumdioxid 28 und einer Schicht Siliziumnitrid 29 versehen ist. Im Bereich des zu strukturierenden Tintenkanals sind die Nitridschicht 29 und die Oxidschicht 28 geöffnet. An der der Ätzmaske gegenüberliegenden Chipseite ist eine Ätzstoppschicht 27 eingebracht.

Anschließend erfolgt ein erster anisotroper Ätzschritt zur teilweisen Strukturierung der Tintenkanäle 16. Dabei werden die Tintenkanäle 16 bis zu einer vorgegebenen Tiefe ×1 freigelegt. In einem nächsten Schritt wird die Ätzmaske an den Orten der zu strukturierenden Ausnehmungen 25 geöffnet. Dazu werden die Nitridschicht 29 und die Oxidschicht 28 an den vorgesehenen Stellen mit Hilfe eines Trockenätzprozesses beseitigt. Der darauf folgende Bearbeitungszustand ist in Fig. 5b dargestellt. Für eine Tiefe ×1 ist der Tintenkanal 16 gezeigt, dessen Umgebung in Längsrichtung von der Nitridschicht 29 und der Oxidschicht 28 befreit ist. Die Tiefe ×1 des Tintenkanals 16 hat die Ätzstoppschicht 27 noch nicht erreicht.

Anschließend erfolgt ein zweiter anisotroper Ätzschritt mit der Ätztiefe ×2 für den gesamten unmaskierten Bereich des Chips 11. Dabei werden die Tintenkanäle 16 bis zum automatischen Ätzstopp 27 strukturiert. Die Ätztiefe ×2 bestimmt bei vorgegebener Breite der Öffnungen in der Ätzmaske die Querschnittsfläche der Ausnehmungen 25.

Die Bearbeitungsstufe des Chips 11 nach dem zweiten anisotropen Ätzschritt ist in Fig. 5c dargestellt. Die Strukturierung des Tintenkanals 16 reicht bis zum Ätzstopp 27 und die Ausnehmungen 25 weisen eine Tiefe ×2 auf.

In Weiterbildung des Bearbeitungsprozesses nach Fig. 5a bis c wird gemäß Fig. 6a in Vorbereitung auf den ersten anisotropen Ätzschritt die Nitridschicht 29 sowohl für die Tintenkanäle 16 als auch für die Ausnehmungen 25 geöffnet. Die Oxidschicht 28 wird nur für die Tintenkanäle 16 geöffnet. An der der Ätzmaske gegenüberliegenden Seite des Chips 11 ist die Ätzstoppschicht 27 eingebracht.

Während des ersten anisotropen Ätzschrittes wird gemäß Fig. 6b der Tintenkanal 16 mit einer Ätztiefe ×1 strukturiert und gleichzeitig die Oxidschicht im Bereich der Ausnehmungen 25 bis auf eine Restoxidschicht 31 abgetragen.

Vor einem zweiten anisotropen Ätzschritt wird die Restooxidschicht 31 entfernt.

In dem zweiten anisotropen Ätzschritt werden die Ausnehmungen 25 auf eine Ätztiefe ×2 strukturiert und die Tintenkanäle 16 gemäß Fig. 6c, wenn diese die Ätzstoppschicht 27 im ersten Ätzschritt noch nicht erreicht haben, bis zur Ätzstoppschicht 27 vorangetrieben.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird in die Ätzmaske gemäß Fig. 7a, bestehend aus Oxidschicht 28 und Nitridschicht 29, eine Ätzmaskenöffnung 19 so eingebracht, daß sowohl die Fläche für den zu strukturierenden Tintenkanal 16 als auch die Fläche für die Ausnehmungen 25 freigelegt sind.

In Fig. 7b ist eine Schnittdarstellung durch den Chip 11 entlang der Schnittlinie II-II in Fig. 7a gezeigt, die die Lage der Nitridschicht 29 und der Oxidschicht 28 auf dem Chip 11 zeigt. An der der Ätzmaske gegenüberliegenden Seite des Chips 11 ist der Ätzstopp 27 eingebracht.

Der Bearbeitungszustand des Chips 11 nach dem anisotropen Ätzen ist in Fig. 7c als ätzmaskenseitige Ansicht dargestellt. Der Tintenkanal 16 und die Ausnehmungen 25 weisen die gleiche Tiefe auf. In Längsrichtung sind beide durch schräge Auslaufzonen 30 begrenzt.

Die Reduzierwirkung für den Tintendurchfluß wird mit der Breite der Ausnehmungen 25 dimensioniert.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird die Ätzmaske gemäß Fig. 10a mit drei Ätzmaskenöffnungen 19 pro Tintenkanal versehen, die durch Stege 20 voneinander getrennt sind. Die Ätzmaskenöffnungen 19 sind in Längsrichtung nacheinander angeordnet. Die mittlere Ätzmaskenöffnung 19 ist breiter als die beiden benachbarten und dient der Strukturierung des Tintenkanals. Durch die benachbarten schmalen Ätzmaskenöffnungen 19 werden die Ausnehmungen im Chip 11 strukturiert.

Durch anisotropes Ätzen werden gleichzeitig die Tintenkanäle 16 und die Ausnehmungen 25 aus dem Chip 11 herausgearbeitet. Dazu ist in Fig. 10b ein Bearbeitungszustand während des Ätzprozesses dargestellt. Durch Unterätzen der Stege 20 mit schrägen Auslaufzonen 30 verringert sich der tatsächliche Abstand des Tintenkanals 16 zu den Ausnehmungen 25 mit zunehmender Ätzdauer.

Die Breite der Stege 20 ist so dimensioniert, daß sie kurz vor Beendigung des Ätzprozesses soweit unterätzt sind, daß eine Verbindung zwischen dem Tintenkanal 15 und den zugehörigen Ausnehmungen 25 entsteht.

Der nach einem der Ausführungen gemäß den Fig. 5, 6, 7 oder 10 präparierte Chip 11 wird anschließend gemäß Fig. 8 mit einer Abschlußplatte 1 durch anodisches Bonden zusammengefügt. Die Abschlußplatte 1 weist Öffnungen 2 auf, die chipseitig im Bereich der Ausnehmungen 25 enden. Die Ausnehmungen 25 stehen in Verbindung mit dem Tintenkanal 15, der bis zum Ätzstopp 27 strukturiert ist.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 8 gezeigt. Ein gemäß Fig. 2 präparierter Chip 11 ist durch anodisches Bonden mit einer Abschlußplatte 1 zusammengefügt. Die Abschlußplatte 1 weist Öffnungen 2 auf, die in Ausnehmungen 25 für jeden Tintenkanal 16 fortgeführt und durch die Oberfläche des Chips 11 abgedeckt sind. Die Ausnehmungen 25 sind durch Sägeschnitte in die; aus Glas bestehende Abschlußplatte 1 eingearbeitet, sind teilweise durch die Oberfläche des Chips 11 bedeckt und versorgen alle Tintenkanäle 16.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist gemäß Fig. 11 jeder Tintenkanal 16 beidseitig seiner Längsausdehnung um einen im wesentlichen dreieckförmigen Bereich 33 erweitert, der jeweils mit dem zugehörigen Tintenkanal 16 über ein Raumelement mit geringem Querschnitt, als Drossel 32 bezeichnet, verbunden ist. Die Drosseln 32 und die Bereiche 33 sind wie die Tintenkanäle 16 in dem Chip 11 strukturiert. Der Chip 11 ist tintenvorratsbehälterseitig durch eine Abschlußplatte 1 abgedeckt. Die Abschlußplatte 1 weist Öffnungen 2 auf, die den Versorgungskanälen 15 sowie den erweiterten Bereichen 33 zugeordnet sind. Die Drosseln 32 sind mit der Abschlußplatte 1 abgedeckt. Das Maß der Drosselwirkung wird durch den Querschnitt der Drosseln 32 bestimmt.

Bezugszeichenliste

1 Abschlußplatte
2 Öffnungen
3 Membran
9 Kontaktstellen
10 Auslaßöffnungen
11 Chip
12 Tintenvorratsbehälter
13 Schwamm
14 Filter
15 Versorgungskanäle
16 Tintenkanäle
17 Montageklammern
18 Ätzmaske
19 Ätzmaskenöffnung
20 Stege
24 Tintendruckkopf
25 Ausnehmung
27 Ätzstopschicht
28 Oxidschicht
29 Nitridschicht
30 Schräge Auslaufzonen
31 Restoxidschicht
32 Drossel
33 Erweiterter Bereich

Claims

1. Anordnung für einen elektrothermischen Tintendruckkopf in Schichtbauweise mit einer Mehrzahl von Tintenkanälen mit Tintenauslaßöffnungen, bei denen die Heizelemente, die elektrischen Zuführleitungen die Kontaktstellen und die Tintenausstoßöffnungen auf einem einzigen Chip vereinigt sind, bei dem die Ausbreitungsrichtung jeder elektrothermisch erzeugten Dampfblase der Tintenausstoßrichtung entgegengesetzt ist und der mit einem Tintenvorratsbehälter über Versorgungskanäle verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß

- jeder Tintenkanal (16) des Tintendruckkopfes (24) über mindestens eine separate Strömungsdrossel definierten Querschnittes mit dem jeweiligen Versorgungskanal (15) des Tintenvorratsbehälters (12) verbunden ist und
- zwischen dem Chip und dem Tintenvorratsbehälter (12) eine Materialschicht vorgesehen ist und
- die Strömungsdrossel aus den Elementen Chip (11) und Materialschicht zusammengesetzt ist, von denen ein Element Ausnehmungen in mindestens der dem anderen Element zugewandten Oberfläche aufweist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialschicht eine perforierte Ätzmaske (18) ist, die Ätzmaskenöffnungen (19) aufweist.

3. Anordnung nach den Ansprüchen 1 und 2, wobei der Chip (11) aus Silizium besteht, das mit einer Ätzmaske (18) zur Strukturierung der Tintenkanäle (16) versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Ätzmaske (18) für jeden Tintenkanal (16) eine Mehrzahl von Ätzmasken Öffnungen (19) aufweist, die während des Ätzprozesses den Zugang des Ätzmittels zum Chip (11) freigeben und
- mindestens ein Teil der zu einem Tintenkanal (16) gehörenden Ätzmasken Öffnungen (19) im Bereich der Tintenversorgung angeordnet ist.

4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialschicht eine Abschlußplatte (1) mit Öffnungen (2) ist, wobei die Öffnungen (2) den Versorgungskanälen (15) zugeordnet sind.

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Abschlußplatte (1) aus einem der Materialien Glas und Silizium besteht.

6. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmungen (25, 33) in den im wesentlichen aus Silizium bestehenden Chip (11) geätzt sind.