DE4302555A1 - Excimerlampe mit einer Hochdruckfüllung - Google Patents
Excimerlampe mit einer HochdruckfüllungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine verbesserte Excimerlampe.
In den letzten Jahren sind viele industrielle Verfahren entwickelt worden, bei
denen Ultraviolett-Strahlung zur Materialbehandlung verwendet wird. Bei
solchen Verfahren weist das Material einen photobehandelbaren Belag auf, und
die Ultraviolett-Strahlung "behandelt" den Belag durch eine chemische Reaktion.
Solche photobehandelbaren Beläge können z. B. klar oder pigmentiert sein, und
sie werden bei verschiedenen Gegenständen einschließlich flacher Substrate und
gekrümmter Gegenstände wie Dosen verwendet. Photobehandelbare Beläge werden
auch bei der Ausführung der Halbleiter-Photolithographie verwendet, bei der es
sich um ein bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendetes Verfahren
handelt.
Bei der Ultraviolett-Lampe, die dazu verwendet wird, photobehandelbare Beläge
zu bestrahlen, wird typischerweise eine Kolbenfüllung verwendet, die Quecksil
ber enthält, wobei manchmal ein Zusatzstoff oder Zusatzstoffe vorgesehen sind,
um einen speziellen Bereich oder spezielle Bereiche des Spektrums herauszuhe
ben. Damit ist das Spektrum des Lichtes, das von der Lampe ausgestrahlt wird,
das Spektrum des Elements Quecksilber oder das von Quecksilber zuzüglich eines
speziellen Zusatzstoffes.
Das Spektrum von Quecksilber, wie es bei solchen Lampen erzeugt wird, besitzt
eine Strahlung, die über das ganze, relativ breite Spektralband von 200-400 nm
vorliegt. Da die Strahlung über das ganze Band verteilt ist, ist der Wirkungs
grad der Lampe in irgendeinem speziellen, schmaleren Teil des Gesamtbandes
relativ gering.
Für einige Anwendungsfälle ist es wünschenswert, daß der größte Teil der
Ausgangsstrahlung der Lampe innerhalb eines schmaleren Bandes liegt. So
reagieren z. B. einige photobehandelbare Materialien wesentlich stärker auf
Ultraviolett-Strahlung innerhalb des relativ schmalen Bandes von 250-300 nm
als auf Strahlung in anderen Teilen des Ultraviolett-Spektrums. Ein solches
Material würde durch eine Lampe, bei der der größte Teil ihrer Ausgangslei
stung innerhalb des Bandes von 250-300 nm konzentriert ist, schneller
behandelt werden.
In den letzten Jahren sind Entladungseinrichtungen bekannt geworden, die eine
Excimerstrahlung abgeben. Excimere sind instabile Komplexe aus Molekülen, die
unter normalen Bedingungen einen ungebundenen oder schwach gebundenen Grundzu
stand besitzen und damit nicht aus der klassischen Physik bekannt sind. Die
Excimerkomplexe existieren erst in dem erregten Zustand. Die Excimerkomplexe
lösen sich innerhalb weniger als einer Mikrosekunde auf und geben während
ihres Zerfalls ihre Bindungsenergie in Form von Strahlung in einem schmalen
Band ab.
Während die geläufigsten Excimereinrichtungen Laser sind, sind in jüngster
Zeit mikrowellenbetriebene Excimerlampen bekannt geworden. In dem Artikel "New
High-Efficiency Quasi-Continuous Qperation of A KrF (B → X) Excimer Lamp
Excited by Microwave Discharge" von Kumagai und Obara, Applied Physics
letters, Bd. 54, Nr. 26, 26. Juni 1989, Seiten 2619-2621, wird eine Lampe
erörtert, die Strahlung in einem sehr schmalen Band von einigen Nanometern bei
etwa 248 nm abgibt. Bei der Lampe wird eine Füllung mit kleineren Mengen von
Fluor und Krypton in einer Puffergasmischung von Helium und Neon verwendet.
Der Artikel lehrt, daß es erforderlich ist, die Lampe bei einem geringen Druck
zu betreiben, um einen hinreichenden Wirkungsgrad zu erreichen, wobei ein
Wirkungsgrad von 12,1 % bei einem gewünschten Gesamtdruck von 50 Torr und einem
Halogendruck von 1 Torr. Dieser Wirkungsgrad kann für bestimmte Anwendungs
fälle zu niedrig sein.
Gemäß dem breitesten Aspekt der Erfindung wird eine Excimerlampe geschaffen,
die eine Füllung besitzt, die ein Halogen bei einem Druck enthält, der bei
Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist. Erfindungsgemäß werden sogar
noch bessere Ergebnisse erzielt, wenn der Halogendruck während des Betriebs
größer als etwa 750 Torr ist, und noch bessere Ergebnisse werden erhalten,
wenn der Halogendruck größer als etwa 6 Atmosphären ist. Die Füllung kann ein
Halogen oder ein Halogen und ein Edelgas enthalten.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Excimerlampe geschaffen,
die eine Füllung besitzt, die ein Edelgas und ein Halogen enthält, wobei der
Gesamtfülldruck bei Betriebstemperatur größer als etwa 2,5 Atmosphären ist und
vorzugsweise über 10 Atmosphären liegt. Gemäß diesem Aspekt der Erfindung kann
der Partialdruck des Halogens größer oder geringer als 350 Torr sein.
Der Füllung können Substanzen hinzugefügt werden, um eine spektrale Anhebung
zu erzeugen.
So kann z. B. Zink in einer excimerhaltigen Füllung enthalten sein, um für eine
zusätzliche spektrale Anhebung in dem Bereich von 250-350 nm zu sorgen.
Darüber hinaus kann die Füllung Verbindungen von Halogenen, die Verbindung
eines Edelgases mit mehreren Halogenen, mehrere Edelgas/Halogen-Verbindungen
oder ein Halogen und mehrere Edelgase enthalten. Alternativ kann die Füllung
nur ein Halogen oder die Verbindung aus einem Halogen und einem Edelgas ent
halten.
Gemäß der mikrowellenangeregten Ausführung der Erfindung wird Mikrowellenener
gie von einem Magnetron oder einer anderen Einrichtung geliefert, während die
Füllung in einer geeigneten Hülle wie einer solchen, die aus Quarz hergestellt
ist, enthalten ist. Die Mikrowellenenergie wird mit der Füllung durch ein
Kopplungsmittel gekoppelt, das ein Gitter enthält, das für die Mikrowellen
energie undurchlässig ist, jedoch im wesentlichen durchlässig ist für die
Excimerstrahlung, die von der Füllung abgegeben wird, um zu ermöglichen, daß
die Strahlung aus der Lampe heraus gerichtet wird.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter
Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; in dieser zeigt:
Fig. 1 das zwischen 200 und 400 nm liegende Spektrum, das sich bei einer Mikro
wellenlampe mit einer Quecksilberfüllung ergibt,
Fig. 2 bis 5 eine Ausführungsform der Erfindung, bei der ein Linearkolben ver
wendet wird,
Fig. 6 das Ausgangsspektrum einer Lampe gemäß einer Ausführungsform der Erfin
dung,
Fig. 7 das Ausgangsspektrum einer Lampe gemäß einer anderen Ausführungsform der
Erfindung,
Fig. 8 eine weitere Ausführungsform der Erfindung, bei der ein kugelförmiger
Kolben verwendet wird, und
Fig. 9 und 10 weitere Ausführungsformen der Erfindung.
In Fig. 1 ist das Ultraviolett-Spektrum dargestellt, das von einer mikrowel
lenbetriebenen Lampe mit einer Quecksilberfüllung erzeugt wird. Hierbei ist
die Ultraviolett-Ausgangsleistung der Lampe über den Bereich von 200-400 nm
verteilt. Zuvor wurde bereits dargelegt, daß es wünschenswert sein kann, daß
die Leistung in einem schmaleren Bereich konzentriert ist, da dann, wenn eine
spezielle photobehandelbare Substanz nur innerhalb eines solchen schmalen
Bereiches reagiert, die restliche Leistung weitgehend verschwendet wird.
In den Fig. 2 bis 5 ist eine Lampe gemäß einer ersten Ausführungsform der
Erfindung gezeigt. Wie zu sehen ist, umfaßt die Lampe eine Hülle oder einen
Kolben 4, der die excimerbildende Füllung enthält, ein Magnetron 20 sowie
Kopplungsmittel, um die von dem Magnetron 20 erzeugte Mikrowellenenergie in
die Kolbenfüllung einzukoppeln.
Die Kopplungsmittel enthalten einen Mikrowellenhohlraum 2, der aus einem
Reflektor 6 und einem Gitter 8 besteht. Wie in Fig. 2 zu sehen ist, weist der
Reflektor 6 Schlitze 16 und 18 auf, durch die Mikrowellenenergie hindurchge
koppelt wird. Überdies ist das Gitter 8 für die Mikrowellenenergie im wesent
lichen undurchlässig, so daß diese in dem Hohlraum gehalten wird, während es
für die von der Füllung in dem Kolben 4 abgegebene Strahlung im wesentlichen
durchlässig ist.
Einen weiteren Teil der Mikrowellen-Kopplungsmittel der in den Fig. 1 bis 4
dargestellten speziellen Lampe bildet eine metallische, umgekehrte Kastenan
ordnung 22. Anhand der Fig. 2, 4 und 5 ist zu sehen, daß die Anordnung aus
einem Seitenwandteil 48 und winklig angeordneten Teilen 50 und 52 besteht. Die
Anordnung 22 ist über den Reflektor 6 gesetzt, wie dies in den Fig. 2 und 5
gezeigt ist, und die Anordnung bildet in Verbindung mit dem Reflektor ein
Mikrowelleneinschluß- oder Wellenführungsmittel für eine Übertragung von
Mikrowellenenergie zu den Kopplungsschlitzen. Der Magnetron-Ankopplungsteil
ist in einer Öffnung 24 angeordnet, die von den Kammerenden gleich weit
entfernt ist, und der Ankopplungsteil ist damit in dem Wellenführungsmittel
von den Kopplungsschlitzen gleich weit entfernt angeordnet. Der Boden der die
Form eines umgekehrten Kastens aufweisenden Anordnung 22 besitzt Flansche 24
und 26, die an damit zusammenwirkenden, sich von dem Reflektor weg
erstreckenden Flanschen 28 und 30 z. B. durch Verschrauben befestigt werden
können.
Die Anordnung 22 kann zusätzlich Teile 32 und 34 aufweisen, die in Fig. 5
gezeigt sind und über die Länge der Innenseite von Seitenwänden 40 und 42
verlaufen sowie diese Seitenwände mit dem Reflektor verbinden. Die Teile 32
und 34 führen zu einer Verringerung der Höhe des Wellenführungsmittels und
sorgen für eine effizientere Kopplung der Mikrowellenenergie an die Schlitze
16 und 18. Überdies besitzen die Seitenwände des Wellenführungsmittels Kühl
öffnungen 54, und der Reflektor 6 weist entlang der Oberseite Kühlöffnungen 56
auf, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. Die Lampe wird gekühlt, indem Luft oder
ein anderes Kühlgas durch das Wellenführungsmittel und die Mikrowellenkammer
an der Lampenhülle vorbei hindurchgepreßt oder hindurchgezogen wird.
Die Frequenz der von dem Magnetron 20 erzeugten Mikrowellenenergie und die
Längsabmessung der Kammer 2 sind so gewählt, daß während des Betriebs in der
Mikrowellenkammer eine symmetrische, stehende Welle vorliegt, die in der Mitte
der Kammer in Längsrichtung betrachtet ein Minimum oder eine Nullstelle
aufweist. Bei einer solchen Erregung wird durch die in den Fig. 1 bis 4
gezeigte Mikrowellen-Kopplungsanordnung Mikrowellenenergie derart mit der
Hülle 4 gekoppelt, daß die Hülle eine über ihre Länge ausgeglichene
Ausgangsleistung erzeugt.
Gemäß einem ersten und breitesten Aspekt der Erfindung enthält die Füllung in
dem Kolben 4 ein Halogen oder die Verbindung aus einem Halogen und einem
Edelgas, wobei das Halogen bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstempera
tur größer als etwa 350 Torr ist. Wie oben bereits erwähnt, werden bessere
Ergebnisse erhalten, wenn der Halogendruck größer als etwa 750 Torr ist, und
noch bessere Ergebnisse werden erhalten, wenn der Halogendruck während des
Betriebs größer als etwa 6 Atmosphären ist.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist in einem Kolben mit einer
Füllung, die die Verbindung aus einem Edelgas und einem Halogen enthält, der
Gesamtfüllungsdruck so gewählt, daß er bei Betriebstemperatur größer als etwa
2,5 Atmosphären ist und vorzugsweise über 10 Atmosphären liegt, während der
Halogendruck größer oder geringer als 350 Torr sein kann.
Zehn Edelgas/Halogen-Verbindungen liefern eine Excimerstrahlung, und zwar die
Verbindungen XeBr, KrBr, XeI, XeCI, KrCI, ArCI, XeF, KrF, ArF und NeF.
Überdies kann die Füllung mehrere Halogene und ein Edelgas, mehrere Edelgase
und ein Halogen oder mehrere Halogene und mehrere Edelgase enthalten. Überdies
kann es wünschenswert sein, der Füllung Substanzen hinzuzufügen, um für eine
spektrale Anhebung in verschiedenen Bereichen des Spektrums zu sorgen. So
können als Zusatzmittel für diesen Zweck z. B. Quecksilber, Zink, Kadmium oder
irgendeine Verbindung dieser Elemente verwendet werden.
Wird bei einer Lampe, wie sie in den Fig. 2 bis 5 beschrieben ist, eine
Hochdruckfüllung gemäß der Erfindung verwendet, wie sie oben beschrieben
wurde, so wird Excimerstrahlung mit einem geeigneten Wirkungsgrad abgegeben.
Die Strahlung wird durch den Reflektor 6 durch das Gitter 8 in den Bereich
außerhalb der Lampe reflektiert, wo die Strahlung ausgenutzt wird. Darüber
hinaus wurde bei Ausführungen, die aufgebaut wurden, herausgefunden, daß
innerhalb bestimmter Grenzen der Wirkungsgrad mit dem Füllungsdruck und
wiederum innerhalb bestimmter Grenzen mit der Leistungsdichte ansteigt. Die
Leistungsdichte ist so gewählt, daß sie über etwa 225 Watt/cm3 liegt und
vorzugsweise größer als etwa 1000 Watt/cm3 ist, womit sich bei geeigneter
Kühlung eine Betriebstemperatur (Wandtemperatur) zwischen etwa 750°C und 950°C
ergibt.
Bei einer speziellen, zu der in den Fig. 2 bis 5 gezeigten gleichartigen
Lampe wurde eine Füllung verwendet, die eine Mischung aus Xenon und Brom ent
hielt. Das Brom lag bei Betriebstemperatur bei einem Druck von etwa 7,2 Atmo
sphären vor, während das Xenon bei etwa 2,5 Atmosphären vorlag. Die Eingangs
leistung für die Lampe betrug 1482 Watt. Das Spektrum, das diese Lampe
lieferte, ist in Fig. 6 gezeigt. Es ist zu sehen, daß der größte Teil der
Strahlung über einem Bereich von etwa 50 nm (250-300 nm) konzentriert ist, im
Unterschied zu dem Spektrum der in Fig. 1 gezeigten Quecksilberlampe. Das
Spektrum enthält eine XeBr-Linie, auf die eine Br2-Linie folgt, und es ist
festzustellen, daß das sichtbare Spektrum (über 400 nm) flach und strukturlos
ist. Es wurde festgestellt, daß die Effizienz der Lampe tendenziell mit dem
Füllungsdruck ansteigt.
In einem anderen Fall wurde der Kolben wieder mit Xenon und Brom gefüllt,
wobei während des Betriebs der Bromdruck bei etwa 7,2 Atmosphären und der
Xenondruck bei etwa 5 Atmosphären lagen. Der Lampe wurde eine Leistung von
1168 Watt zugeführt, wobei sich das in Fig. 7 gezeigte Spektrum ergab. Der
Wirkungsgrad der Lampe lag bei 14,6% in dem Bereich von 250-300 nm und war
damit höher als der in der oben erörterten Kumagai- und Obara-Druckschrift zum
Stand der Technik.
Es ist festzustellen, daß bei den in den Fig. 6 und 7 dargestellten Spek
tren der größte Teil der Strahlung in einem Band von etwa 50 nm konzentriert
ist, das somit wesentlich breiter als bei den von Kumagai und Obara offenbarten
Ausführungen ist. Dies ist für bestimmte Anwendungen ein entscheidender
Vorteil. Es ist auch festzustellen, daß verschiedene spezielle Füllungen zu
Spektren führen können, bei denen die Strahlung in Bändern unterschiedlicher
Breite konzentriert ist.
Das Verfahren, das zum Füllen der oben erwähnten Kolben angewandt wurde,
bestand darin, eine Sammelleitung mit flüssigem Brom und Xenon unter festem
Druck zu füllen und dann unter Verwendung flüssigen Stickstoffs den größten
Teil des Inhalts der Mehrfachleitung in einem einzigen Kolben einzufrieren.
Der Verschlußteil wurde dem Ende des Kolbens hinzugefügt, während sein Inhalt
gefroren wurde. Natürlich kann das Halogen dem Kolben hinzugefügt werden,
indem eine Halogenidverbindung verwendet wird. Das zum Starten der Lampen
angewandte Verfahren bestand darin, flüssigen Stickstoff auf die Kolben zu
sprühen, um das Brom zum Gefrieren zu bringen, worauf eine Teslaspule nahe des
Kolbens angeordnet wurde, während dieser einer Mikrowellenerregung ausgesetzt
war, um die Lampe zu starten.
In Fig. 8 ist eine weitere Ausführungsform der Erfindung gezeigt, bei der eine
Mikrowellenlampe mit einem kugelförmigen Kolben eingesetzt wird. Bei dieser
Ausführungsform ist der Kolben 70 in einem Mikrowellenhohlraum angeordnet, der
aus einem Reflektor 72 und einem Gitter 74 besteht. Ein Magnetron 76 liefert
die Mikrowellenenergie, die über eine Wellenführung 78 durch den Schlitz 80 in
dem Reflektor 72 geliefert wird. Die von dem Kolben 70 abgegebene Ultraviolett-
Strahlung wird von dem Reflektor 72 durch das Gitter 74 hindurch reflektiert,
um so die Lampe zu erregen. Der Kolben wird gekühlt, indem er durch einen
Motor 82 gedreht wird, während unter inneren Überdruck gesetzte Luft auf den
Kolben gerichtet wird. Bei der in Fig. 8 gezeigten Lampe kann eine
Kolbenfüllung verwendet werden, wie sie zuvor beschrieben wurde, um eine
Excimerstrahlung zu erzeugen.
Obwohl die bevorzugte Ausführung der Füllung der Erfindung in Verbindung mit
einer mikrowellenbetriebenen Lampe steht, kann die Füllung auch dazu verwendet
werden, Excimerstrahlung in irgendeiner Art elektrisch angeregter Lampe ein
schließlich HF-betriebener Lampen und Bogenlampen zu erzeugen.
Hierzu zeigt Fig. 9 eine elektrodenlose Lampe 100 mit einer Füllung wie oben
beschrieben, die mit HF-Energie betrieben wird. Gemäß dieser Figur liefert ein
HF-Oszillator 102 elektromagnetische Energie in dem HF-Bereich, die der
Wicklung 104 zugeführt wird, die dazu ausgelegt und angeordnet ist, die
Energie bei einer geeignet hohen Leistungsdichte induktiv mit der Lampe 100 zu
koppeln. Bekanntlich kann anstatt einer induktiven Kopplung auch eine kapazi
tive Kopplung vorgesehen sein.
Fig. 10 zeigt eine Bogenlampe 110 mit Elektroden 112 und 114, die mit der
Füllung gemäß der Erfindung versehen ist. Eine Bogenlampenstromversorgung 112
führt der Lampe elektrische Energie zu, um eine Excimerstrahlung zu erzeugen.
Es wurde somit eine verbesserte Lampe zur Erzeugung von Excimerstrahlung
geschaffen, wobei die beschriebenen Ausführungsformen lediglich als Beispiele
zu verstehen sind und die Erfindung nicht auf diese Beispiele beschränkt ist.
Claims (25)
1. Elektrodenloser Lampenkolben, bestehend aus
einer Hülle, die weder innere noch äußere Elektroden aufweist und gegenüber Ultraviolett-Strahlung durchlässig ist, und
einer Füllung in der Hülle, die ein Halogen in einer solchen Menge enthält, die zu einem Halogendruck führt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist.
einer Hülle, die weder innere noch äußere Elektroden aufweist und gegenüber Ultraviolett-Strahlung durchlässig ist, und
einer Füllung in der Hülle, die ein Halogen in einer solchen Menge enthält, die zu einem Halogendruck führt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist.
2. Lampenkolben nach Anspruch 1, bei dem die Menge an Halogen in dem Kolben
derart gewählt ist, daß sich ein Druck ergibt, der bei Betriebstemperatur
größer als etwa 750 Torr ist.
3. Lampenkolben nach Anspruch 1, bei dem die Menge an Halogen in dem Kolben
derart gewählt ist, daß sich ein Druck ergibt, der bei Betriebstemperatur
größer als etwa 6 Atmosphären ist.
4. Lampenkolben nach Anspruch 1 oder 3, bei dem die Füllung auch ein Edelgas
enthält.
5. Lampenkolben nach Anspruch 1 oder 3 in Verbindung mit einer Energieversor
gungseinrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Energie und Mitteln, um die
elektromagnetische Energie mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen.
6. Lampenkolben nach Anspruch 5, bei dem die elektromagnetische Energie Mikro
wellenenergie ist.
7. Lampenkolben nach Anspruch 5, bei dem die elektromagnetische Energie HF-
Energie ist.
8. Lampenkolben nach Anspruch 6, bei dem die Mikrowellenenergie mit der
Füllung bei einer Leistungsdichte gekoppelt ist, die 225 Watt/cm3 über
schreitet.
9. Lampenkolben nach Anspruch 8, bei dem die Leistungsdichte größer als etwa
1000 Watt/cm3 ist.
10. Lampe nach Anspruch 6 oder 8, bei der das Halogen Brom ist.
11. Lampenkolben nach Anspruch 4, bei dem das Halogen Brom und das Edelgas
Xenon ist.
12. Mikrowellenbetriebene Excimerlampe mit
einer Hülle, die gegenüber Ultraviolett-Strahlung durchlässig ist und eine Füllung besitzt, die ein Halogen enthält, wobei das Halogen bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
einer Energieversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Energieversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Fül lung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
einer Hülle, die gegenüber Ultraviolett-Strahlung durchlässig ist und eine Füllung besitzt, die ein Halogen enthält, wobei das Halogen bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
einer Energieversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Energieversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Fül lung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
13. Lampe nach Anspruch 12, bei der die Füllung auch ein Edelgas enthält.
14. Lampe nach Anspruch 12 oder 13, bei der das Halogen bei einem Druck vor
liegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 750 Torr ist.
15. Lampe nach Anspruch 12 oder 13, bei der das Halogen bei einem Druck vor
liegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 6 Atmosphären ist.
16. Lampenkolben nach Anspruch 14, bei dem die Mikrowellenenergie mit der
Füllung bei einer Leistungsdichte gekoppelt wird, die 225 Watt/cm3
über
schreitet.
17. Lampenkolben nach Anspruch 16, bei dem die Leistungsdichte größer als etwa
1000 Watt/cm3 ist.
18. Mikrowellenbetriebene Excimerlampe mit
einer Hülle, die eine Füllung besitzt, die ein Halogen und ein Edelgas enthält, wobei die Füllung bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstem peratur größer als etwa 2,5 Atmosphären ist,
einer Leistungsversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Leistungsversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Füllung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
einer Hülle, die eine Füllung besitzt, die ein Halogen und ein Edelgas enthält, wobei die Füllung bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstem peratur größer als etwa 2,5 Atmosphären ist,
einer Leistungsversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Leistungsversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Füllung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
19. Lampe nach Anspruch 18, bei der die Füllung bei einem Druck vorliegt, der
bei Betriebstemperatur größer als etwa 10 Atmosphären ist.
20. Mikrowellenbetriebene Excimerlampe mit
einer Hülle, die eine Füllung enthält, die aus einem Halogen besteht, das bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
einer Leistungsversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Leistungsversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Füllung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
einer Hülle, die eine Füllung enthält, die aus einem Halogen besteht, das bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
einer Leistungsversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Leistungsversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Füllung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
21. Mikrowellenbetriebene Excimerlampe mit
einer Hülle, die eine Füllung enthält, die aus einem Edelgas und einem Halogen besteht, wobei das Halogen bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
einer Leistungsversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Leistungsversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Füllung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
einer Hülle, die eine Füllung enthält, die aus einem Edelgas und einem Halogen besteht, wobei das Halogen bei einem Druck vorliegt, der bei Betriebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
einer Leistungsversorgungseinrichtung zum Liefern von Mikrowellenenergie,
Mitteln, um Mikrowellenenergie von der Leistungsversorgungseinrichtung mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen, und
Gittermitteln, um Mikrowellenenergie zurückzuhalten, während von der Füllung abgegebene Strahlung aus der Lampe austreten kann.
22. Elektrisch betriebene Excimerlampe mit
einer Hülle, die für Ultraviolett-Strahlung durchlässig ist und eine Füllung besitzt, die ein Halogen bei einem Druck enthält, der bei Be triebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
Mitteln zum Liefern von elektrischer Energie, und
Mitteln, um die elektrische Energie mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen.
einer Hülle, die für Ultraviolett-Strahlung durchlässig ist und eine Füllung besitzt, die ein Halogen bei einem Druck enthält, der bei Be triebstemperatur größer als etwa 350 Torr ist,
Mitteln zum Liefern von elektrischer Energie, und
Mitteln, um die elektrische Energie mit der Hülle zu koppeln, um die Füllung anzuregen.
23. Lampe nach Anspruch 22, bei der das Halogen bei einem Druck vorliegt, der
bei Betriebstemperatur größer als etwa 750 Torr ist.
24. Lampe nach Anspruch 23, bei der das Halogen bei einem Druck vorliegt, der
bei Betriebstemperatur größer als etwa 6 Atmosphären ist.
25. Lampenkolben nach Anspruch 21, bei dem das Halogen Brom und das Edelgas
Xenon ist.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: FUSION UV SYSTEMS, INC., GAITHERSBURG, MD., US |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |