DE4336417A1 - Magnetische Struktur und diese verwendender Magnetkopf - Google Patents
Magnetische Struktur und diese verwendender MagnetkopfInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine magnetische Struktur, zum
Beispiel einen in einem magnetischen Aufzeichnungs-/
Wiedergabegerät montierten Magnetkopf, wie ein Video
kassettengerät, ein Tonbandgerät, und insbesondere
einen Mehrkanal-Magnetkopf, der für einen Auf
zeichnungs/Wiedergabevorgang mit hoher Dichte geeig
net ist, bei dem Daten gleichzeitig aufgezeichnet/
wiedergegeben werden in bzw. von einer Anordnung aus
einer Vielzahl von Kopfchips.
Ein magnetisches Aufzeichnungsgerät wie ein digitales
Videokassettengerät zur Aufzeichnung von Videosigna
len mittels eines PCM(Pulscodemodulations)-Verfahrens
oder ein hochwertiges Videokassettengerät zum Auf
zeichnen hochwertiger Videosignale muß eine große
Menge von Signalen aufzeichnen im Vergleich zu einem
herkömmlichen Haushalts-Videokassettengerät oder ei
nem digitalen Tonbandgerät. Daher müssen im Vergleich
mit den genannten bekannten Geräten Breitbandsignale
aufgezeichnet/wiedergegeben werden. Da ein Mehrspur-
Aufzeichnungsverfahren für die Aufzeichnung/Wieder
gabe der Breitbandsignale wirksam ist, wurde ein
Mehrkanal-Magnetkopf vorgeschlagen. Um die Größe und
das Gewicht des magnetischen Aufzeichnungsgeräts zu
verringern und die Aufzeichnungskapazität zu vergrö
ßern, muß die Spur enger gemacht werden und die rela
tiv Geschwindigkeit zwischen dem magnetischen Auf
zeichnungsmedium und dem Kopf muß herabgesetzt wer
den. Jedoch führt die vorbeschriebene Struktur zu dem
Problem, daß ein Wiedergabesignal mit einem ausrei
chenden Rauschabstand nicht leicht erhalten werden
kann. Daher wurde ein Magnetkopf mit einer Reihenpar
allelwicklung und ein Aufzeichnungs/Wiedergabekopf
vom Kombinationstyp vorgeschlagen, um ein Wiedergabe
signal mit einem ausreichenden Rauschabstand zu er
halten, selbst wenn die relative Geschwindigkeit
nicht ausreichend hoch ist.
Der Mehrkanal-Magnetkopf wird eingeteilt in einen
Magnetkopf, der ein einzelnes Kopfchip von einem
Mehrfachblock-Typ aufweist, das an dessen Basis befe
stigt ist, und einen Magnetkopf, bei dem eine Mehr
zahl von Dünnschicht-Kopfchips auf demselben Substrat
gebildet sind. Dieser Magnetkopf vom Dünnschichttyp
ist vorteilhaft dahingehend, daß die Spuren enger
gemacht und die relative Positionsgenauigkeit zwi
schen den magnetischen Spalten verbessert werden kön
nen. Der Mehrkanal-Dünnschicht-Magnetkopf wurde of
fenbart in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift
Nr. 4-186511, der japanischen Patent-Offenlegungs
schrift Nr. 4-188414, der japanischen Patent-Offenle
gungsschrift Nr. 2-179910, der japanischen Patent-
Offenlegungsschrift Nr. 62-310013, der japanischen
Patent-Offenlegungsschrift Nr. 61-39914 und der japa
nischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 58-94120. Der
Mehrkanal-Magnetkopf vom Aufzeichnungs/Wiedergabe-
Kombinationstyp wurde offenbart in der japanischen
Patent-Offenlegungsschrift Nr. 2-94014.
Der bekannte Mehrkanal-Dünnschicht-Magnetkopf wird
eingeteilt in einen Typ, der in Fig. 68A gezeigt ist
und ein magnetisches Kopfchip mit einer Mehrzahl von
spiralförmigen Spulen aufweist, und einen Typ, der in
Fig. 68B gezeigt ist und ein magnetisches Kopfchip
mit einer wendelförmigen Spule aufweist. In den Fig.
68A und 68B sind ein Substrat 1, eine spiralförmige
Spule 25, eine wendelförmige Spule 26 und ein magne
tischer Kern 31 dargestellt. Das magnetische Kopfchip
mit der spiralförmigen Spule hat den Vorteil, daß es
leicht hergestellt und die Isolierung der Spule
leicht realisiert werden können. Der Umstand, daß die
Fläche vergrößert wird, wenn die Anzahl der Windungen
erhöht wird, um ein zufriedenstellendes Wiedergabe
ausgangssignal zu erhalten, erweitert jedoch in un
erwünschter Weise die Intervalle zwischen den magne
tischen Kopfchips zur Zeit der Integration einer
Mehrzahl der magnetischen Kopfchips und daher ergibt
sich das Problem, daß die Spuren nicht auf einfache
Weise enger gemacht werden können.
Bei dem in Fig. 68B gezeigten magnetischen Kopfchip
mit der wendelförmigen Spule kann die Verengung der
Spur und die Erhöhung der Windungsanzahl leicht rea
lisiert werden. Jedoch verhindert die begrenzte Größe
des Magnetkopfes eine ausreichend große Anzahl von
Windungen und daher besteht das Problem, daß der
Rauschabstand im Wiedergabesignal herabgesetzt wird.
Weiterhin verhindert eine solche Struktur, bei der
die Spule 26 und der magnetische Kern 31 integral
durch eine lithographisches Verfahren gebildet wer
den, daß der magnetische Kern 31 zufriedenstellend
dick gemacht werden kann während der Zeit der Bildung
der Spule 26. In diesem Fall tritt ein Problem auf
dahingehend, daß die Aufzeichnungs/Wiedergabewirkung
nicht ohne weiteres verbessert werden kann.
Wenn die Verbindung zwischen der Spule des magneti
schen Kopfchips und einer äußeren elektrischen Schal
tung durch ein herkömmliches Verfahren hergestellt
wird, bei dem die Elektrodenanschlüsse an beiden En
den jeder Spule durch Steckverbinder verbunden sind,
ist die Anzahl von Verbindungen im Falle einer Mehr
kanalstruktur mit einigen zehn oder einigen hundert
Spuren extrem erhöht. In diesem Fall tritt ein Pro
blem dahingehend auf, daß die Zuverlässigkeit sinkt
und die Verbindungen nicht einfach hergestellt werden
können, da der Durchmesser des Verbindungsleiters
nicht reduziert werden kann. Noch schlechter ist, daß
die Größe des Elektrodenanschlusses manchmal die In
tervalle zwischen den magnetischen Kopfchips be
grenzt. Daher besteht ein Problem darin, daß die ma
gnetischen Kopfchips nicht leicht in Intervallen an
geordnet werden können, die kürzer als die Größe des
Elektrodenanschlusses sind.
Für den bekannten Mehrkanal-Dünnschicht-Magnetkopf
ergibt sich ein Problem dadurch, daß ein zufriedens
tellender Spurfolgevorgang nicht durchgeführt werden
kann, wenn sich die Spurbreite und der Spurwinkel
infolge einer Ausdehnung/Zusammenziehung des magneti
schen Aufzeichnungsmediums infolge der Einwirkung von
Wärme verändert haben.
Die vorliegende Erfindung ist darauf gerichtet, die
vorgenannten Probleme zu überwinden, und demgemäß ist
es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Ma
gnetstruktur und einen Magnetkopf zu schaffen, deren
Größe verringert werden kann und bei denen ein höhe
rer Integrationsgrad erreicht wird.
Nach einem Aspekt der Erfindung gemäß Anspruch 1 ist
eine magnetische Struktur vorgesehen, die ein Sub
strat mit einer nutförmigen Ausnehmung mit schrägen
Seitenflächen aufweist, wobei sich auf dem Substrat
befinden: ein erster leitender Durchgang bestehend
aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden
Durchgängen, die auf den beiden Seitenflächen und der
Bodenfläche der Ausnehmung gebildet sind; eine erste
isolierende Schicht, die auf dem ersten leitenden
Durchgang und dem Substrat angeordnet ist; ein aus
magnetischem Material bestehender magnetischer Kern,
der in der Ausnehmung eingeschlossen ist; eine zweite
isolierende Schicht auf dem magnetischen Kern; und
ein zweiter leitender Durchgang, der auf der zweiten
isolierenden Schicht gebildet ist zum aufeinanderfol
genden Verbindung von Enden des ersten leitenden
Durchgangs zur Bildung einer wendelförmigen Spule.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 2 ist eine magnetische Struktur vorgesehen,
die ein Substrat mit mehreren gradförmigen Vorsprün
gen mit jeweils schrägen Seitenflächen aufweist, wo
bei sich auf dem Substrat befinden: ein erster lei
tender Durchgang bestehend aus einer Mehrzahl von
parallelen und leitenden Durchgängen, von denen jeder
auf einander gegenüberliegenden schrägen Flächen be
nachbarter Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwi
schen den schrägen Flächen gebildet ist; eine erste
isolierende Schicht auf dem ersten leitenden Durch
gang und dem Substrat; ein aus magnetischem Material
bestehender magnetischer Kern, der in einer durch die
benachbarten Vorsprünge und die Bodenfläche gebilde
ten nutenförmigen Ausnehmung eingeschlossen ist; eine
zweite isolierende Schicht auf dem magnetischen Kern;
und ein zweiter leitender Durchgang, der auf der
zweiten isolierenden Schicht gebildet ist, um aufein
anderfolgend Enden des ersten leitenden Durchgangs
zur Bildung einer wendelförmigen Spule zu verbinden,
worin der magnetische Kern durch den Vorsprung ge
trennt ist, so daß mehrere Spulen integral auf dem
selben Substrat gebildet sind.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 3 ist ein magnetischer Kopf vorgesehen, wel
cher aufweist: ein Substrat, auf welchem eine Mehr
zahl von gradförmigen Vorsprüngen mit jeweils schrä
gen Seitenflächen und unterschiedlichen Längen zumin
dest in solcher Weise angeordnet sind, daß längere
Vorsprünge auf beiden Seiten jedes kurzen Vorsprungs
angeordnet sind; einen ersten leitenden Durchgang,
der aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden
Durchgängen besteht, von denen jeder auf einander
gegenüberliegenden schrägen Oberflächen eines kurzen
Vorsprungs und eines benachbarten langen Vorsprungs
und auf der Bodenfläche zwischen den schrägen Ober
flächen gebildet ist; eine erste isolierende Schicht
auf dem ersten leitenden Durchgang und dem Substrat;
ein magnetischer Kern aus magnetischem Material, das
in einer von den benachbarten Vorsprüngen und der
Bodenfläche gebildeten nutenförmigen Ausnehmung ein
geschlossen ist; ein aus magnetischem Material herge
stellter magnetischer Spalt, der im magnetischen Kern
auf der der Gleitfläche eines magnetischen Aufzeich
nungsmediums benachbarten Seite ausgebildet ist; eine
zweite isolierende Schicht auf dem magnetischen Kern;
und ein zweiter leitender Durchgang auf der zweiten
isolierenden Schicht zur aufeinanderfolgenden Verbin
dung von Enden des ersten leitenden Durchgangs für
die Umbildung des auf den beiden Seiten des kurzen
Vorsprungs gebildeten ersten leitenden Durchgangs in
eine wendelförmige Spule, worin der magnetische Kern
durch die langen Vorsprünge getrennt ist, so daß meh
rere magnetische Kopfchips integral auf demselben
Substrat gebildet sind.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 4 ist ein magnetischer Kopf vorgesehen, wel
cher aufweist: ein Substrat mit einer Mehrzahl von
gradförmigen Vorsprüngen mit jeweils schrägen Seiten
flächen; einen ersten leitenden Durchgang, der aus
einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgän
gen besteht, von denen jeder auf einander gegenüber
liegenden schrägen Oberflächen von benachbarten Vor
sprüngen und der Bodenfläche zwischen den schrägen
Oberflächen gebildet ist; eine erste isolierende
Schicht auf dem ersten leitenden Durchgang und dem
Substrat; einen ersten magnetischen Kern aus magneti
schem Material, das in einer von den benachbarten
Vorsprüngen und der Bodenfläche gebildeten nutförmi
gen Ausnehmung eingeschlossen ist, einen zweiten lei
tenden Durchgang, der auf dem ersten magnetischen
Kern gebildet ist, während er eine zweite isolierende
Schicht unterbricht, um aufeinanderfolgend Enden des
ersten leitenden Durchgangs zur Bildung wendelförmi
ger Spulen verbindet; eine nichtmagnetische isolie
rende Schicht auf dem ersten magnetischen Kern auf
der der Gleitfläche eines magnetischen Aufzeichnungs
mediums benachbarten Seite und auf dem zweiten lei
tenden Durchgang zur Bildung eines magnetischen Spal
tes; einen dritten leitenden Durchgang bestehend aus
einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgän
gen, die auf der nichtmagnetischen isolierenden
Schicht gebildet sind; eine dritte isolierende
Schicht auf dem dritten leitenden Durchgang; einen
zweiten magnetischen Kern aus magnetischem Material,
der so geschichtet ist, daß er gradförmige Vorsprünge
mit jeweils schrägen Oberflächen auf der nichtmagne
tischen isolierenden Schicht und der dritten isolie
renden Schicht bildet; eine vierte isolierende
Schicht, die auf den beiden Seitenflächen und der
oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns gebildet
ist, und einen vierten leitenden Durchgang, der auf
der vierten isolierenden Schicht angeordnet ist zur
Bildung wendelförmiger Spulen durch aufeinanderfol
gendes Verbinden der Enden des dritten leitenden
Durchgangs, worin mehrere magnetische Kopfchips inte
gral gebildet sind.
Nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung
gemäß Anspruch 5 ist ein magnetischer Kopf vorgese
hen, welcher aufweist: ein Substrat mit einer Mehr
zahl von gradförmigen Vorsprüngen mit jeweils schrä
gen Seitenflächen an im wesentlichen denselben Posi
tionen auf seiner oberen und seiner unteren Oberflä
che, wobei das Substrat Bodenflächen hat, von denen
jede zwischen benachbarten Vorsprüngen angeordnet
ist, deren Länge kürzer ist als die des Vorsprungs
und die jeweils Endflächen aufweisen, die von den
Endflächen des Vorsprungs zurücktreten; einen auf der
oberen Fläche des Substrats gebildeten ersten leiten
den Durchgang und einen auf der unteren Fläche des
selben gebildeten dritten leitenden Durchgang, wobei
der erste leitende Durchgang und der dritte leitende
Durchgang jeweils auf den einander zugewandten schrä
gen Oberflächen benachbarter Vorsprünge angeordnet
sind, welche auf der oberen Fläche und der unteren
Fläche und der Bodenfläche zwischen den schrägen
Oberflächen gebildet sind, und die aus einer Mehrzahl
von parallelen und leitenden Durchgängen; eine erste
isolierende Schicht auf dem ersten leitenden Durch
gang; eine dritte isolierende Schicht auf dem dritten
leitenden Durchgang; einen auf der oberen Fläche ge
bildeten ersten magnetischen Kern und einen auf der
unteren Fläche gebildeten zweiten magnetischen Kern,
wobei der erste magnetische Kern und der zweite ma
gnetische Kern aus magnetischem Material hergestellt
sind, das von der oberen Fläche der ersten und der
dritten isolierenden Schicht zu den beiden Endflächen
des Vorsprungs, der über die beiden Endflächen der
Bodenfläche vorsteht, eingeschlossen ist; einen ma
gnetischen Spalt aus nicht magnetischem Material, der
auf der der Gleitfläche eines magnetischen Aufzeich
nungsmediums benachbarten Seite auf dem magnetischen
Kern gebildet ist; eine zweite und eine vierte iso
lierende Schicht, die jeweils auf den ersten und
zweiten magnetischen Kern geschichtet sind; einen auf
der zweiten isolierenden Schicht gebildeten zweiten
leitenden Durchgang, um aufeinanderfolgend die Enden
des ersten leitenden Durchgangs zur Bildung einer
wendelförmigen Spule zu verbinden; und einen auf der
unteren Oberfläche der vierten isolierenden Schicht
gebildeten vierten leitenden Durchgang, um aufeinand
erfolgend die Enden des dritten leitenden Durchgangs
zur Bildung einer wendelförmigen Spule zu verbinden,
worin eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips inte
gral gebildet werden.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 6 ist ein magnetischer Kopf vorgesehen, der
einen zweiten magnetischen Kern aus magnetischem Ma
terial aufweist, der auf dem ersten und zweiten lei
tenden Durchgang gemäß Anspruch 2 gebildet ist, wäh
rend eine nichtmagnetische isolierende Schicht zur
Bildung eines magnetischen Spalts dazwischentritt,
worin mehrere magnetische Kopfchips integral auf dem
selben Substrat gebildet werden.
Nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung
gemäß Anspruch 7 ist ein magnetischer Kopf nach einem
der Ansprüche 1 bis 6 vorgesehen, worin der erste
leitende Durchgang von der Bodenfläche einer nuten
förmigen Ausnehmung zu den beiden Seitenflächen und
der oberen Fläche derselben gebildet ist.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 8 sind eine magnetische Struktur und ein Ma
gnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6 vorgesehen,
worin der erste leitende Durchgang von einer Ausneh
mung, die auf der oberen Fläche einer nutenförmigen
Ausnehmung gebildet ist, zu den beiden Seitenflächen
und der oberen Oberfläche derselben gebildet ist.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 9 sind eine magnetische Struktur und ein ma
gnetischer Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis 8 vor
gesehen, worin der erste leitende Durchgang zumindest
in einem Nutenabschnitt ausgebildet ist, der von der
Bodenfläche zu den Seitenflächen der nutenförmigen
Ausnehmung ausgebildet ist.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 10 ist ein magnetischer Kopf vorgesehen, der
auf einem gemeinsamen Substrat hiervon eine Mehrzahl
von magnetischen Kopfchips mit jeweils einem magneti
schen Kern, einer Spule und einen magnetischen Spalt
aufweist, worin eine Stromversorgungsleitung, eine
Vorrichtung zur Herstellung der elektrischen Verbin
dungen zwischen der Stromversorgungsleitung und jeder
Spule der magnetischen Kopfchips und eine Vorrichtung
zur Steuerung der elektrischen Verbindungen integral
mit dem Substrat gebildet sind.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 11 ist ein Magnetkopf mit einer Mehrzahl von
magnetischen Kopfchips auf einem gemeinsamen Substrat
hiervon vorgesehen, welcher eine integral mit dem
Substrat ausgebildete Wiedergabesignal-Verstärkungs
schaltung aufweist.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 12 ist ein magnetischer Kopf mit einer Mehr
zahl von jeweils eine Spule enthaltenden magnetischen
Kopfchips auf einem Substrat hiervon vorgesehen, wel
cher aufweist: eine Vorrichtung zum Hin- und Herbewe
gen des Substrats in einer Richtung, in der die Kopf
chips angeordnet sind, worin das Substrat mit einer
Amplitude, die kürzer als die kürzeste Aufzeichnungs
wellenlänge des magnetischen Aufzeichnungsmediums
ist, sowie mit einer Geschwindigkeit, die genügend
höher als die Geschwindigkeit, mit der das magneti
sche Aufzeichnungsmedium bewegt wird, so daß ein auf
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnetes
Signal wiedergegeben wird, in einer Richtung hin- und
herbewegt wird, in der die Kopfchips angeordnet sind.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 13 ist ein magnetischer Kopf mit einer Mehr
zahl von auf einem gemeinsamen Substrat hiervon ge
bildeten magnetischen Kopfchips vorgesehen, welcher
aufweist: eine Vorrichtung, die bewirkt, daß eine
Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem
Substrat angeordnet sind, diagonal in bezug zu einer
Richtung ist, in der das magnetische Aufzeichnungs
medium bewegt wird, und eine Vorrichtung zum Drehen
des Substrats um eine zur Aufzeichnungsfläche senk
rechte Achse, worin das Substrat durch diese Vorrich
tung gedreht wird, um ein auf dem magnetischen Auf
zeichnungsmedium aufgezeichnetes Signal wiederzuge
ben, während ein magnetischer Spalt von wenigstens
einem magnetischen Kopfchip mit jeder Spur des magne
tischen Aufzeichnungsmediums zusammentrifft.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 14 ist ein magnetischer Kopf mit einer Mehr
zahl von auf einem gemeinsamen Substrat hiervon ge
bildeten magnetischen Kopfchips vorgesehen, welcher
aufweist: eine Vorrichtung, die bewirkt, daß eine
Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem
Substrat angeordnet sind, diagonal in bezug zu einer
Richtung ist, in der das magnetische Aufzeichnungs
medium bewegt wird, eine Vorrichtung zum Drehen des
Substrats um eine zur Aufzeichnungsfläche senkrechte
Achse, und eine Vorrichtung zum Versetzen des Sub
strats in einer Richtung der Breite des magnetischen
Aufzeichnungsmediums, worin das Substrat versetzt und
gedreht wird, um ein auf dem magnetischen Aufzeich
nungsmedium aufgezeichnetes Signal wiederzugeben,
während ein magnetischer Spalt von wenigstens einem
magnetischen Kopfchip mit der Richtung jeder Spur des
magnetischen Aufzeichnungsmediums zusammentrifft.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 15 ist ein magnetischer Kopf vorgesehen, wel
cher aufweist: eine Mehrzahl von auf einem gemeinsa
men Substrat hiervon gebildeten magnetischen Kopf
chips, worin eine Richtung, in der die magnetischen
Kopfchips auf dem Substrat angeordnet sind, diagonal
in bezug auf eine Richtung ist, in der das magneti
sche Aufzeichnungsmedium bewegt wird, und eine Mehr
zahl der Substrate in einer Richtung der Breite des
magnetischen Aufzeichnungsmediums angeordnet ist,
wobei das Substrat in einer Richtung, in der die ma
gnetischen Kopfchips angeordnet sind, eine kürzere
Länge hat als die Breite des Aufzeichnungsmediums,
wenn die Länge auf eine Richtung der Breite des ma
gnetischen Aufzeichnungsmediums projiziert wird.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 16 ist ein magnetischer Aufzeichnungskopf vor
gesehen, welcher aufweist: eine Mehrzahl von auf ei
nem gemeinsamen Substrat hiervon gebildeten magneti
schen Kopfchips, worin eine Mehrzahl der Substrate,
auf welchen alle magnetischen Spalte der magnetischen
Kopfchips denselben Winkel aufweisen, in einer Rich
tung angeordnet sind, in der das magnetische Auf
zeichnungsmedium bewegt wird, und die Substrate sind
in der Weise angeordnet, daß wenigstens zwei Winkel
durch Richtungen, in denen die magnetischen Kopfchips
aus einer Richtung, in der das magnetische Aufzeich
nungsmedium bewegt wird, angeordnet sind, gebildet
werden, so daß zumindest zwei Azimuthwinkel entste
hen.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung gemäß An
spruch 17 ist ein magnetischer Aufzeichnungskopf vor
gesehen, welcher aufweist: eine Mehrzahl von magneti
schen Kopfchips auf einem gemeinsamen Substrat hier
von, worin die Gestalt des Substrats auf der der
Gleitfläche eines magnetischen Aufzeichnungsmediums
benachbarten Seite eine gekrümmte Oberfläche in einer
Richtung hat, in der die magnetischen Kopfchips an
geordnet sind, und worin die gekrümmte Oberfläche zum
magnetischen Aufzeichnungsmedium hin vorsteht.
Die magnetische Struktur nach Anspruch 1 umfaßt das
Substrat mit der nutenförmigen Ausnehmung mit schrä
gen Seitenflächen, wobei sich auf dem Substrat befin
den: den ersten leitenden Durchgang bestehend aus der
Mehrzahl der parallelen und leitenden Durchgänge, die
auf den beiden Seitenflächen und der Bodenfläche der
Ausnehmung gebildet sind; die erste isolierende
Schicht, die auf dem ersten leitenden Durchgang und
dem Substrat angeordnet ist; den magnetischen Kern
aus dem magnetischen Material, das in der Ausnehmung
eingeschlossen ist; die zweite isolierende Schicht
auf dem magnetischen Kern; und den zweiten leitenden
Durchgang, der auf der zweiten isolierenden Schicht
gebildet ist zum aufeinanderfolgenden Verbinden der
Enden des ersten leitenden Durchgangs zur Bildung der
wendelförmigen Spule. Daher kann die Anzahl von Win
dungen der Spule erhöht werden, während die Notwen
digkeit der Vergrößerung der Spurintervalle elimi
niert wird. Als Folge hiervon kann die Spule leicht
hergestellt werden, selbst wenn der magnetische Kern
dicker ausgebildet wird. Weiterhin können eine Mehr
zahl von wendelförmigen Spulen mit derselben oder
einer unterschiedlichen Anzahl von Windungen auf dem
gemeinsamen magnetischen Kern gebildet werden.
Die magnetische Struktur nach Anspruch 2 umfaßt das
Substrat mit der Mehrzahl von gratförmigen Vorsprün
gen mit jeweils schrägen Seitenflächen, wobei sich
auf dem Substrat befinden: der erste leitende Durch
gang bestehend aus der Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, von denen jeder auf den ein
ander gegenüberliegenden schrägen Flächen der benach
barten Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen
den schrägen Flächen gebildet ist; die erste isolie
rende Schicht auf dem ersten leitenden Durchgang und
dem Substrat; den magnetischen Kern aus dem magneti
schen Material, das in der durch die benachbarten
Vorsprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenförmi
gen Ausnehmung eingeschlossen ist; die zweite isolie
rende Schicht auf dem magnetischen Kern; und der
zweite leitende Durchgang, der auf der zweiten iso
lierenden Schicht gebildet ist, um aufeinanderfolgend
die Enden des ersten leitenden Durchgangs zu verbin
den zur Bildung der wendelförmigen Spule, worin der
magnetische Kern durch den Vorsprung getrennt ist, so
daß die mehreren Spulen integral auf demselben Sub
strat gebildet werden. Daher können die magnetischen
Kerne der vielfältigen magnetischen Struktur sicher
durch die auf dem Substrat gebildeten Vorsprünge ge
trennt werden. Da die Spulen durch den Gebrauch
schräger Oberflächen der Vorsprünge gebildet werden,
können die wendelförmigen Spulen sicher auf dem dic
ken magnetischen Kern gebildet werden. Da die magne
tischen Strukturen genau und integral auf demselben
Substrat gebildet werden können, können magnetische
Strukturen mit gleichförmigen Eigenschaften herge
stellt werden. Die Anzahl von Wicklungen der Spule
kann erhöht werden und die Spulen können selbst dann
gebildet werden, wenn der magnetische Kern dick ist.
Weiterhin kann eine Mehrzahl von magnetischen Struk
turen dicht angeordnet werden, während ein Überspre
chen verhindert wird.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 3 umfaßt: das Sub
strat, auf welchem die Mehrzahl von gratförmigen Vor
sprüngen mit jeweils den schrägen Seitenflächen und
den unterschiedlichen Längen zumindest in solcher
Weise angeordnet sind, daß die längeren Vorsprünge
auf den beiden Seiten jedes kurzen Vorsprungs ange
ordnet sind; den ersten leitenden Durchgang, der aus
der Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen
besteht, von denen jeder auf den einander gegenüber
liegenden schrägen Oberflächen des benachbarten kur
zen Vorsprungs und des langen Vorsprungs und auf der
Bodenfläche zwischen den schrägen Oberfläche gebildet
ist; die erste isolierende Schicht auf dem ersten
leitenden Durchgang und dem Substrat; den magneti
schen Kern aus dem magnetischen Material, das in ei
ner von den benachbarten Vorsprüngen und der Boden
fläche gebildeten nutenförmigen Ausnehmung einge
schlossen ist; den aus dem magnetischen Material her
gestellten magnetischen Spalt, der in dem magneti
schen Kern auf der der Gleitfläche des magnetischen
Aufzeichnungsmediums benachbarten Seite ausgebildet
ist; die zweite isolierende Schicht auf dem magneti
schen Kern; und den zweiten leitenden Durchgang, der
auf der zweiten isolierenden Schicht gebildet ist zur
aufeinanderfolgenden Verbindung der Enden des ersten
leitenden Durchgangs für die Umbildung des auf den
beiden Seiten des kurzen Vorsprungs gebildeten ersten
leitenden Durchgangs in die eine wendelförmige Spule,
worin der magnetische Kern durch die langen Vorsprün
ge getrennt ist, so daß die Mehrzahl der magnetischen
Kopfchips integral auf demselben Substrat gebildet
wird. Daher können Spulen vom Reihenparallelwick
lungs-Typ gebildet werden, während eine Vergrößerung
von Intervallen verhindert wird, und die Spulen kön
nen selbst gebildet werden, wenn der magnetische Kern
dicker ausgeführt wird. Da die Spulen für eine Mehr
zahl von Kanälen integral gebildet werden, kann die
relative Position zwischen den jeweiligen magneti
schen Spalten auf einfache Weise genau erhalten wer
den.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 4 umfaßt: das Sub
strat mit der Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen
mit jeweils schrägen Seitenflächen; den ersten lei
tenden Durchgang bestehend aus der Mehrzahl der
parallelen und leitenden Durchgänge, von denen jeder
auf den einander gegenüberliegenden schrägen Oberflä
chen der benachbarten Vorsprünge und der Bodenfläche
zwischen den schrägen Oberflächen gebildet ist; die
erste isolierende Schicht auf dem ersten leitenden
Durchgang und dem Substrat; den ersten magnetischen
Kern aus dem magnetischen Material, das in der von
den benachbarten Vorsprüngen und der Bodenfläche ge
bildeten nutenförmigen Ausnehmung eingeschlossen ist;
den zweiten leitenden Durchgang, der auf dem ersten
magnetischen Kern gebildet ist, während die zweite
isolierende Schicht dazwischenliegt, um aufeinander
folgend die Enden des ersten leitenden Durchgangs zur
Bildung der wendelförmigen Spulen zu verbinden; die
nichtmagnetische isolierende Schicht auf dem ersten
magnetischen Kern auf der der Gleitfläche des magne
tischen Aufzeichnungsmediums benachbarten Seite und
auf dem zweiten leitenden Durchgang zur Bildung des
magnetischen Spaltes; den dritten leitenden Durchgang
bestehend aus der Mehrzahl der parallelen und leiten
den Durchgänge, die auf der nichtmagnetischen isolie
renden Schicht gebildet sind; die dritte isolierende
Schicht auf dem dritten leitenden Durchgang; den
zweiten magnetischen Kern aus dem magnetischen Mate
rial, der so geschichtet ist, daß er die gratförmigen
Vorsprünge mit den jeweils schrägen Oberflächen auf
der nichtmagnetischen isolierenden Schicht und der
dritten isolierenden Schicht bildet; die vierte iso
lierende Schicht, die auf den beiden Seitenflächen
und der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns
gebildet ist; und den vierten leitenden Durchgang,
der auf der vierten isolierenden Schicht angeordnet
ist zur Bildung der wendelförmigen Spulen durch auf
einanderfolgendes Verbinden der Enden des dritten
leitenden Durchgangs, worin die Mehrzahl der magneti
schen Kopfchips integral gebildet wird. Daher kann
ein magnetischer Kopf vorgesehen werden, dessen Win
dungszahl leicht erhöht werden kann, in welchem die
Intervalle beträchtlich verkürzt werden können, und
der eine genaue Länge des magnetischen Spalts und
eine genauere relative Position wiedergibt.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 5 umfaßt: das Sub
strat mit der Mehrzahl der gratförmigen Vorsprünge
mit den jeweils schrägen Seitenflächen an im wesent
lichen denselben Positionen auf seiner oberen und
seiner unteren Oberfläche, wobei das Substrat die
Bodenflächen hat, von denen jede zwischen den benach
barten Vorsprüngen angeordnet ist, deren Länge kürzer
ist als die des Vorsprungs, und die jeweils Endflä
chen aufweisen, die von den Endflächen des Vorsprungs
zurücktreten; den auf der oberen Fläche des Substrats
gebildeten ersten leitenden Durchgang und den auf der
unteren Oberfläche desselben gebildeten dritten lei
tenden Durchgang, wobei der erste leitende Durchgang
und der dritte leitende Durchgang jeweils auf den
einander zugewandten schrägen Flächen der benachbar
ten Vorsprünge angeordnet sind, die auf der oberen
Fläche und der unteren Fläche und der Bodenfläche
zwischen den schrägen Flächen gebildet und aus der
Mehrzahl der parallelen und leitenden Durchgänge zu
sammengesetzt sind; die erste isolierende Schicht auf
dem ersten leitenden Durchgang; die dritte isolieren
de Schicht auf dem dritten leitenden Durchgang; den
auf der oberen Fläche gebildeten ersten magnetischen
Kern und den auf der unteren Fläche gebildeten zwei
ten magnetischen Kern, wobei der erste magnetische
Kern und der zweite magnetische Kern aus dem magneti
schen Material hergestellt sind, das von den oberen
Flächen der ersten und der dritten isolierenden
Schicht zu den beiden Endflächen des Vorsprungs, der
über die beiden Endflächen der Bodenfläche vorsteht,
eingeschlossen ist; den magnetischen Spalt aus nicht
magnetischem Material, der auf der der Gleitfläche
des magnetischen Aufzeichnungsmediums benachbarten
Seite auf dem magnetischen Kern gebildet ist; die
zweite und die vierte isolierende Schicht, die je
weils auf den ersten und den zweiten magnetischen
Kern geschichtet sind, den zweiten leitenden Durch
gang, der auf der zweiten isolierenden Schicht gebil
det ist, um aufeinanderfolgend die Enden des ersten
leitenden Durchgangs zur Bildung der wendelförmigen
Spule zu verbinden; und den auf der unteren Fläche
der vierten isolierenden Schicht gebildeten vierten
leitenden Durchgang zur aufeinanderfolgenden Verbin
dung der Enden des dritten leitenden Durchgangs zur
Bildung der wendelförmigen Spule, worin die Mehrzahl
von magnetischen Kopfchips integral gebildet wird.
Daher ermöglicht die Anordnung der Spulen auf der
oberen Fläche des Substrats sowie auf der unteren
Fläche desselben, daß der Abstand zwischen Spulen des
magnetischen Kopfes für die mehreren Kanäle verlän
gert werden kann. Daher kann der gegenseitige Einfluß
der Spulen beträchtlich eliminiert werden. Weiterhin
kann ein magnetischer Kopf vorgesehen werden, dessen
Windungsanzahl auf einfache Weise erhöht werden kann,
in welchem die Intervalle beträchtlich verkürzt wer
den können, und der eine genaue Länge des magneti
schen Spaltes und eine genauere relative Position
wiedergibt.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 6 umfaßt den zwei
ten magnetischen Kern aus dem magnetischen Material
der auf dem ersten und zweiten leitenden Durchgang
gemäß Anspruch 2 gebildet ist, während die nichtma
gnetische isolierende Schicht zur Bildung des magne
tischen Spaltes dazwischentritt, worin die Mehrzahl
der magnetischen Kopfchips integral auf demselben
Substrat gebildet wird. Daher sind magnetische Köpfe
für die mehreren Kanäle in einer Entspur-Struktur
gebildet, in welcher ein erregender Magnetpol und ein
zu erregender Magnetpol angeordnet sind, während die
Einfügung des magnetischen Spaltes leicht durchge
führt werden kann. Insbesondere können Mehrkanal-Ma
gnetköpfe vorgesehen werden, die für einen vertikalen
magnetischen Aufzeichnungsvorgang geeignet sind.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 7 und nach einem
der Ansprüche 1 bis 6 hat eine solche Anordnung, daß
der erste leitende Durchgang von der Bodenfläche der
nutenförmigen Ausnehmung zu den beiden Seitenflächen
und der oberen Fläche derselben gebildet ist. Daher
kann die Zulässigkeit des Positionsfehlers des Kon
taktlochs zur Zeit der Bildung der den Magnetkern
umgebenden wendelförmigen Spule vergrößert werden,
wodurch bewirkt wird, daß die Zuverlässigkeit erhöht
und die Herstellungskosten verringert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 8 und einem der
Ansprüche 1 bis 6 weist die Anordnung auf, daß der
erste leitende Durchgang von der Ausnehmung, die auf
der oberen Fläche der nutenförmigen Ausnehmung gebil
det ist, zu den beiden Seitenflächen und der oberen
Oberfläche derselben gebildet ist. Daher kann die
Zulässigkeit des Positionsfehlers des Kontaktlochs
zur Zeit der Bildung der den Magnetkern umgebenden
wendelförmigen Spule vergrößert werden, wodurch be
wirkt wird, daß die Zuverlässigkeit erhöht und die
Herstellungskosten gesenkt werden. Weiterhin können
die auf der oberen Fläche des Substrats gebildeten
leitenden Durchgänge sicher voneinander getrennt wer
den, und daher kann die Isolierung aufrechterhalten
werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 9 und einem der
Ansprüche 1 bis 8 hat die Anordnung, daß der erste
leitende Durchgang wenigstens in dem Nutenbereich
gebildet ist, der von der Bodenfläche zu den Seiten
flächen der nutenförmigen Ausnehmung gebildet ist.
Daher kann der magnetische Kern gebildet werden, wäh
rend die Bildung von Vorsprüngen und Löchern verhin
dert wird, und demgemäß kann ein magnetischer Kern
mit einem ausgezeichneten magnetischen Wirkungsgrad
erhalten werden. Weiterhin kann die Isolierung zwi
schen den leitenden Durchgängen, die durch den Nuten
bereich in der Ausnehmung gebildet sind, aufrechter
halten werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 10 umfaßt auf dem
gemeinsamen Substrat hiervon die Mehrzahl der magne
tischen Kopfchips mit jeweils dem magnetischen Kern,
der Spule und dem magnetischen Spalt, worin die
Stromversorgungsleitung, die Vorrichtung zur Herstel
lung der elektrischen Verbindungen zwischen der
Stromversorgungsleitung und jeder Spule der magneti
schen Kopfchips und die Vorrichtung zur Steuerung der
elektrischen Verbindungen integral mit dem Substrat
ausgebildet sind. Daher kann die Anzahl der Verbin
dungen zwischen den Spulen der magnetischen Kopfchips
und einer externen elektrischen Schaltung beträcht
lich herabgesetzt werden. Weiterhin können die Elek
trodenanschlüsse zur Verbindung der Spulen und der
externen elektrischen Schaltung weggelassen werden.
Daher kann die Spurteilung verkürzt werden, die Auf
zeichnungsdichte kann erhöht werden und die Zuverläs
sigkeit kann verbessert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 11 weist die Mehr
zahl der magnetischen Kopfchips auf dem gemeinsamen
Substrat hiervon auf und umfaßt die Wiedergabesignal-
Verstärkungsschaltung, die integral mit dem Substrat
ausgebildet ist. Daher kann der Rauschabstand des
Wiedergabesignal verbessert werden und die Anzahl der
Verbindungen zwischen den Spulen der magnetischen
Kopfchips und einer externen elektrischen Schaltung
kann beträchtlich herabgesetzt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 12 hat auf dem
Substrat von diesem die Mehrzahl der magnetischen
Kopfchips mit jeweils der Spule, wobei der magneti
sche Kopf umfaßt: die Vorrichtung zum Hin- und Herbe
wegen des Substrats in der Richtung, in der die Kopf
chips angeordnet sind, worin das Substrat mit der
Amplitude, die kürzer als die kürzeste Aufzeichnungs
wellenlänge des magnetischen Aufzeichnungsmediums
ist, sowie mit der Geschwindigkeit, die genügend hö
her als die Geschwindigkeit ist, mit der das magneti
sche Aufzeichnungsmedium bewegt wird, so daß das auf
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnete
Signal wiedergegeben wird, in der Richtung hin- und
herbewegt wird, in der die Kopfchips angeordnet sind.
Daher kann ein Wiedergabesignal mit einem ausreichend
hohen Spannungspegel erhalten werden, selbst wenn die
Anzahl der Windungen der Spule zu klein ist und
selbst wenn die Relativgeschwindigkeit zwischen dem
Aufzeichnungsmedium und dem magnetischen Kopf nicht
zufriedenstellend ist. Weiter kann die Größe des Be
tätigungsglieds, das in der Vorrichtung zur Hin- und
Herbewegung erforderlich ist, reduziert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 13 weist die Mehr
zahl der auf dem gemeinsamen Substrat von diesem ge
bildeten magnetischen Kopfchips auf und umfaßt: die
Vorrichtung, die bewirkt, daß die Richtung, in der
die magnetischen Kopfchips auf dem Substrat angeord
net sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in
der das magnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird;
und die Vorrichtung zum Drehen des Substrats um die
zur Aufzeichnungsfläche senkrechte Achse, worin das
Substrat durch diese Vorrichtung gedreht wird, um das
auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeich
nete Signal wiederzugeben, während der magnetische
Spalt von wenigstens einem magnetischen Kopfchip mit
jeder Spur des magnetischen Aufzeichnungsmediums zu
sammenfällt. Daher kann die Wiedergabe durchgeführt
werden, während ein Einfluß der Änderung der Spur
breite aufgrund einer Ausdehnung/Zusammenziehung der
Breite des Bandes, die durch eine Änderung der Tempe
ratur bewirkt wird, und der Einfluß der Änderung des
Spurwinkels eliminiert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 14 weist die auf
dem gemeinsamen Substrat hiervon gebildete Mehrzahl
von magnetischen Kopfchips auf und umfaßt: die Vor
richtung, die bewirkt, daß die Richtung, in der die
magnetischen Kopfchips auf dem Substrat angeordnet
sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in der
das magnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird; die
Vorrichtung zum Drehen des Substrats um die zur Auf
zeichnungsfläche senkrechte Achse; und die Vorrich
tung zum Versetzen des Substrats in der Richtung der
Breite des magnetischen Aufzeichnungsmediums, worin
das Substrat durch diese Vorrichtungen versetzt und
gedreht wird, um das auf dem magnetischen Aufzeich
nungsmedium aufgezeichnete Signal wiederzugeben, wäh
rend der magnetische Spalt von wenigstens einem ma
gnetischen Kopfchip mit der Richtung jeder Spur auf
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium zusammenfällt.
Daher kann die Wiedergabe durchgeführt werden, wäh
rend der Einfluß der Änderung der Spurbreite aufgrund
einer durch Temperaturänderungen bewirkten Ausdeh
nung/Zusammenziehung der Breite des Bandes und der
Einfluß der Änderung des Spurwinkels eliminiert wer
den. Selbst wenn eine Abweichung in der Richtung der
Breite des magnetischen Aufzeichnungsmediums in der
Positionsbeziehung zwischen dem magnetischen Auf
zeichnungsmedium und dem magnetischen Kopf stattfin
det, kann diese weiterhin abgeschwächt werden und die
Wiedergabe kann durchgeführt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 15 der Erfindung
umfaßt: die Mehrzahl von auf dem gemeinsamen Substrat
hiervon gebildeten magnetischen Kopfchips, worin die
Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem
Substrat angeordnet sind, diagonal in bezug auf die
Richtung, in der das magnetische Aufzeichnungsmedium
bewegt wird, ist und die Mehrzahl der Substrate in
der Richtung der Breite des magnetischen Aufzeich
nungsmediums angeordnet ist, wobei das Substrat in
der Richtung, in der die magnetischen Kopfchips an
geordnet sind, eine kürzere Länge hat als die Breite
des Aufzeichnungsmediums beträgt wenn die Länge auf
die Richtung der Breite des magnetischen Aufzeich
nungsmediums projiziert wird. Daher kann die Länge
des magnetischen Kopfes in der Richtung, in der das
magnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird, verkürzt
werden, die Kontaktfläche kann verringert werden und
der Bewegungswiderstand des magnetischen Aufzeich
nungsmediums kann herabgesetzt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 16 umfaßt die
Mehrzahl der auf dem gemeinsamen Substrat gebildeten
magnetischen Kopfchips, worin die Mehrzahl der Sub
strate, auf denen alle magnetischen Spalte der magne
tischen Kopfchips den gleichen Winkel aufweisen, in
der Richtung angeordnet sind, in der das magnetische
Aufzeichnungsmedium bewegt wird, und die Substrate
sind in der Weise angeordnet, daß wenigstens die zwei
Winkel durch Richtungen, in denen die magnetischen
Kopfchips aus der Richtung, in der das magnetische
Aufzeichnungsmedium bewegt wird, angeordnet sind,
gebildet werden, so daß zumindest die beiden Azimuth
winkel entstehen. Daher kann der magnetische Kopf
leicht mit einem gewünschten Azimuthwinkel versehen
und auf einfache Weise hergestellt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 17 umfaßt: die
Mehrzahl der auf dem gemeinsamen Substrat hiervon
gebildeten magnetischen Kopfchips, worin die Gestalt
des Substrats auf der der Gleitfläche des magneti
schen Aufzeichnungsmediums benachbarten Seite die
gekrümmte Oberfläche in der Richtung hat, in der die
magnetischen Kopfchips angeordnet sind, und worin die
gekrümmte Oberfläche zum magnetischen Aufzeichnungs
medium hin vorsteht. Daher kann ein ausgezeichneter
Kontakt des magnetischen Aufzeichnungsmediums in be
zug auf den magnetischen Kopf realisiert werden.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von in den
Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise geschnittene perspekti
vische Ansicht einer magnetischen
Struktur nach einem ersten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 2 eine seitliche Querschnittsansicht der
magnetischen Struktur nach dem ersten
Ausführungsbeispiel,
Fig. 3 eine senkrechte Querschnittsansicht
der magnetischen Struktur nach dem
ersten Ausführungsbeispiel,
Fig. 4 eine teilweise geschnittene horizonta
le Querschnittsansicht der magneti
schen Struktur nach dem ersten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 5 eine Draufsicht auf die magnetische
Struktur nach dem ersten Ausführungs
beispiel,
Fig. 6 eine Draufsicht auf eine magnetische
Struktur nach einem zweiten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 7 eine Draufsicht auf eine abgewandelte
magnetische Struktur nach dem zweiten
Ausführungsbeispiel,
Fig. 8 eine seitliche Querschnittsansicht
einer magnetischen Struktur nach einem
dritten Ausführungsbeispiel der Erfin
dung,
Fig. 9 eine seitliche Querschnittsansicht
einer magnetischen Struktur nach einem
vierten Ausführungsbeispiel der Erfin
dung,
Fig. 10 eine seitliche Querschnittsansicht
einer magnetischen Struktur nach einem
fünften Ausführungsbeispiel der Erfin
dung,
Fig. 11 eine seitliche Querschnittsansicht
einer magnetischen Struktur nach einem
sechsten Ausführungsbeispiel der Er
findung,
Fig. 12 eine Draufsicht auf die magnetische.
Struktur nach dem sechsten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 13 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem sieben
ten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 14 eine perspektivische Ansicht eines
Substrats und eines ersten leitenden
Durchgangs des magnetischen Kopfes
nach dem siebenten Ausführungsbei
spiel,
Fig. 15 eine Draufsicht auf den magnetischen
Kopf nach dem siebenten Ausführungs
beispiel,
Fig. 16 eine perspektivische Ansicht zur Illu
stration eines Verfahrens zur Bildung
eines magnetischen Spalts nach dem
siebenten Ausführungsbeispiel,
Fig. 17 eine horizontale Querschnittsansicht
eines magnetischen Kopfes nach einem
achten Ausführungsbeispiel der Erfin
dung,
Fig. 18 eine seitliche Querschnittsansicht des
magnetischen Kopfes nach dem achten
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 19 eine perspektivische Ansicht eines
Substrats und eines ersten leitenden
Durchgangs des magnetischen Kopfes
nach einem neunten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
Fig. 20A und 20B einen magnetischen Kopf nach einem
zehnten Ausführungsbeispiel der Erfin
dung, worin Fig. 20A eine perspektivi
sche Ansicht eines Substrats und eines
ersten leitenden Durchgangs und
Fig. 20B eine perspektivische Ansicht
eines Zustands, in welchem magneti
sches Material eingeschlossen ist,
darstellen,
Fig. 21 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem elften
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 22 eine seitliche Querschnittsansicht des
magnetischen Kopfes nach dem elften
Ausführungsbeispiel,
Fig. 23 eine vertikale Querschnittsansicht des
magnetischen Kopfes nach dem elften
Ausführungsbeispiel,
Fig. 24 eine perspektivische Ansicht, die Kon
taktlöcher zum Verbinden eines magne
tischen Kerns des magnetischen Kopfes
nach dem elften Ausführungsbeispiel
illustriert,
Fig. 25 eine seitliche Querschnittsansicht
eines magnetischen Kopfes nach einem
dreizehnten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 26 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem vier
zehnten Ausführungsbeispiel der Erfin
dung,
Fig. 27 eine perspektivische Ansicht eines
Substrats für den magnetischen Kopf
nach dem vierzehnten Ausführungsbei
spiel,
Fig. 28 eine seitliche Querschnittsansicht des
magnetischen Kopfes nach dem vierzehn
ten Ausführungsbeispiel,
Fig. 29 eine vertikale Querschnittsansicht des
magnetischen Kopfes nach dem vierzehn
ten Ausführungsbeispiel,
Fig. 30 eine seitliche Querschnittsansicht
eines magnetischen Kopfes nach einem
fünfzehnten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 31 eine vertikale Querschnittsansicht des
magnetischen Kopfes nach dem fünfzehn
ten Ausführungsbeispiel,
Fig. 32 eine seitliche Querschnittsansicht
eines magnetischen Kopfes nach einem
sechzehnten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 33 eine vertikale Querschnittsansicht des
magnetischen Kopfes nach dem sechzehn
ten Ausführungsbeispiel,
Fig. 34 eine teilweise geschnittene Draufsicht
auf einen magnetischen Kopf nach einem
achtzehnten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 35A und 35B seitliche Querschnittsansichten eines
wesentlichen Teils einer magnetischen
Struktur nach einem neunzehnten Aus
führungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 36 eine seitliche Querschnittsansicht
einer magnetischen Struktur nach einem
einundzwanzigsten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
Fig. 37 eine teilweise geschnittene perspekti
vische Ansicht einer magnetischen
Struktur nach einem dreiundzwanzigsten
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 38 eine seitliche Querschnittsansicht der
magnetischen Struktur nach dem drei
undzwanzigsten Ausführungsbeispiel,
Fig. 39 eine teilweise geschnittene perspekti
vische Ansicht einer magnetischen
Struktur nach einem vierundzwanzigsten
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 40 eine perspektivische Ansicht eines-Sub
strats für die magnetische Struktur
nach dem vierundzwanzigsten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 41 eine seitliche Querschnittsansicht der
magnetischen Struktur nach dem vier
undzwanzigsten Ausführungsbeispiel,
Fig. 42 eine horizontale Querschnittsansicht
der magnetischen Struktur nach dem
vierundzwanzigsten Ausführungsbei
spiel,
Fig. 43 eine teilweise geschnittene perspekti
vische Ansicht einer magnetischen
Struktur nach einem fünfundzwanzigsten
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 44 eine perspektivische Ansicht eines
Substrats für die magnetische Struktur
nach dem fünfundzwanzigsten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 45 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem sechs
undzwanzigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 46 eine erläuternde Darstellung eines
Schalterkreises nach dem sechsundzwan
zigsten Ausführungsbeispiel,
Fig. 47 eine erläuternde Darstellung eines
Schalterkreises nach einem siebenund
zwanzigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 48 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem acht
undzwanzigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 49 eine erläuternde Darstellung eines
Schalterkreises nach einem dreißigsten
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 50 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem einund
dreißigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 51A und 51B die Arbeitsweise des magnetischen Kop
fes nach dem einundreißigsten Ausfüh
rungsbeispiel erläuternde Diagramme,
Fig. 52 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem drei
unddreißigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung von der Vorderseite aus ge
sehen,
Fig. 53 eine perspektivische Ansicht des ma
gnetischen Kopfes nach dem dreiund
dreißigsten Ausführungsbeispiel von
der Rückseite aus gesehen,
Fig. 54 eine perspektivische Ansicht zur Illu
stration der Beziehung zwischen dem
magnetischen Kopf nach dem dreiund
dreißigsten Ausführungsbeispiel und
einem magnetischen Aufzeichnungsmedi
um,
Fig. 55 eine die Arbeitsweise des magnetischen
Kopfes nach dem dreiunddreißigsten
Ausführungsbeispiel erläuternde Dar
stellung,
Fig. 56 eine die Arbeitsweise des magnetischen
Kopfes nach dem dreiunddreißigsten
Ausführungsbeispiel erläuternde Dar
stellung,
Fig. 57 eine die Arbeitsweise des magnetischen
Kopfes nach dem dreiunddreißigsten
Ausführungsbeispiel erläuternde Dar
stellung,
Fig. 58 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem vier
unddreißigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 59 eine perspektivische Darstellung eines
magnetischen Kopfes nach einem fünf
unddreißigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 60 eine die Arbeitsweise des magnetischen
Kopfes nach dem fünfunddreißigsten
Ausführungsbeispiel erläuternde Dar
stellung,
Fig. 61 eine die Arbeitsweise des magnetischen
Kopfes nach dem fünfunddreißigsten
Ausführungsbeispiel erläuternde Dar
stellung,
Fig. 62 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem sechs
unddreißigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 63 eine Vorderansicht eines wesentlichen
Teils eines magnetischen Kopfes nach
einem einundvierzigsten Ausführungs
beispiel der Erfindung,
Fig. 64 eine Vorderansicht eines wesentlichen
Teils eines magnetischen Kopfes nach
einem zweiundvierzigsten Ausführungs
beispiel der Erfindung,
Fig. 65 eine perspektivische Ansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem drei
undvierzigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 66 eine vergrößerte perspektivische An
sicht eines wesentlichen Teils des
magnetischen Kopfes nach dem dreiund
vierzigsten Ausführungsbeispiel,
Fig. 67 eine vergrößerte perspektivische An
sicht eines wesentlichen Teils eines
magnetischen Kopfes nach einem vier
undvierzigsten Ausführungsbeispiel der
Erfindung, und
Fig. 68A und 68B perspektivische Ansichten eines we
sentlichen Teils eines bekannten ma
gnetischen Kopfes.
Ein Ausführungsbeispiel einer magnetischen Struktur
nach Anspruch 1 wird nun beschrieben. Fig. 1 ist eine
teilweise geschnittene Ansicht einer magnetischen
Struktur nach einem ersten Ausführungsbeispiel der
Erfindung. Fig. 2 ist eine seitliche Querschnittsan
sicht, Fig. 3 ist eine vertikale Querschnittsansicht,
Fig. 4 ist eine horizontale Querschnittsansicht und
Fig. 5 ist eine Draufsicht.
Die magnetische Struktur nach diesem Ausführungsbei
spiel weist gemäß Fig. 1 ein Substrat 1, erste lei
tende Durchgänge 21, zweite leitende Durchgänge 22,
magnetische Kerne 31, erste isolierende Schichten 41
und zweite isolierende Schichten 42 auf. Die Struktur
ist gemäß Fig. 2 in der Weise ausgebildet, daß eine
wendelförmige Spule mit einer Reihenparallelwicklung,
die aus den ersten und den zweiten leitenden Durch
gängen 21 und 22 zusammengesetzt ist, um den magneti
schen Kern 31 gewunden ist, während die ersten und
zweiten isolierenden Schichten 41 und 42 dazwischen
liegen.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das ein
Silizium-Einkristall-Substrat 1a und eine isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen aufweist, und
das eine Ausnehmung 11 enthält. Die Ausnehmung 11
wird durch Seitenflächen 11a, 11b und eine Bodenflä
che 11c gebildet, wobei die Seitenflächen 11a und 11b
in bezug auf eine obere Fläche 10 des Substrats dia
gonal angeordnet sind. Die Bodenfläche 11c liegt im
wesentlichen parallel zur oberen Fläche 10 des Sub
strats. Die in der Ausnehmung 11 gebildeten ersten
leitenden Durchgänge 21 weisen eine Mehrzahl von
parallelen und leitenden Durchgängen auf, die auf den
Seitenflächen 11a, 11b und der Bodenfläche 11c gebil
det sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen. Die
ersten isolierenden Schichten 41 werden zu dem Zweck
gebildet, daß ein Kurzschluß der ersten leitenden
Durchgänge 21 verhindert und die Wärmeabstrahlung von
denselben vergrößert wird. Die ersten isolierenden
Schichten 41 bestehen aus isolierendem Material wie
SiO2, und haben eine Dicke, die größer ist als die
von jedem ersten leitenden Durchgänge 21. Da die
Dicke der ersten isolierenden Schicht 41 größer als
die des ersten leitenden Durchgangs 21 ist, kann die
Zulässigkeit des Positions- und Dimensionsfehlers der
zweiten leitenden Durchgänge 22 und von
Kontaktlöchern 23 während der Zeit der Bildung der
zweiten leitenden Durchgänge 22 vergrößert werden.
Als Folge hiervon kann die Isolation des magnetischen
Kerns 31 leicht realisiert werden und die Herstel
lungskosten können herabgesetzt werden. Der magneti
sche Kern 31 besteht aus magnetischem Material wie
Permalloy oder Sendust, das in der Ausnehmung 11 ein
geschlossen ist, um eine Dicke aufzuweisen, die ge
ringer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11. Die zwei
te isolierende Schicht 42 besteht aus isolierendem
Material wie SiO2 und ist zu dem Zweck gebildet, daß
ein Kurzschluß in den zweiten leitenden Durchgängen
22 und leitenden Durchgängen 54, 55 und 56 verhindert
wird und die Wärmeabstrahlung von denselben vergrößert
wird. Die Kontaktlöcher 23 sind in den zweiten
isolierenden Schichten 41 zu dem Zweck gebildet, daß
die Verbindungen zwischen Endflächen 21a der ersten
leitenden Durchgänge 21 und den zweiten leitenden
Durchgängen 22 hergestellt werden. Die zweiten lei
tenden Durchgänge 22 weisen eine Mehrzahl von
parallelen und leitenden Durchgängen aus Aluminium
oder Kupfer auf, wobei die zweiten leitenden Durch
gänge 22 aufeinanderfolgend die Enden 21a der ersten
leitenden Durchgänge durch die in den zweiten isolie
renden Schichten 42 gebildeten Kontaktlöcher 23 ver
binden.
Da wenigsten ein Teil 22a der zweiten leitenden
Durchgänge 22, wie in Fig. 5 gezeigt, so gebildet
ist, daß sie aufeinanderfolgend jedes andere Ende 21a
der ersten leitenden Durchgänge verbinden, bildet der
Teil 22a des zweiten leitenden Durchgangs 22 einen
Reihenparallelwicklungs-Bereich. Daher werden eine
erste wendelförmige Spule 25 vom Reihenparallelwick
lungstyp und eine zweite Wicklung 56 mit einer rela
tiv kleinen Anzahl von Windungen von den leitenden
Durchgängen 21 und 22 gebildet. Als Folge kann elek
trische Leistung individuell zu den beiden Spulen 25
und 26 geliefert werden, derart, daß die Leistung zu
der ersten Spule 25 über die leitenden Durchgänge 54
und 55 und zu der zweiten Spule 26 durch die leiten
den Durchgänge 56 und 57 zugeführt wird. Weiterhin
können die Wiedergabesignale individuell von den bei
den Spulen 25 und 26 abgenommen werden. Durch Vergrö
ßerung eines Teils des ersten leitenden Durchgangs
21, der dem Teil 22a des zweiten leitenden Durchgangs
22 und der Querschnittsfläche des Teils 22a des zwei
ten leitenden Durchgangs 22 entspricht, kann der zu
lässige elektrische Strom für die zweite Spule 26
vergrößert werden. Als allgemeine Regel benötigt der
Wiedergabevorgang eine Spule, die im Vergleich zum
Aufzeichnungsvorgang eine größere Anzahl von Windun
gen benötigt, während der Aufzeichnungsvorgang eine
Spule benötigt, die im Vergleich zum Wiedergabevor
gang einen leitenden Durchgang mit einer größeren
Querschnittsfläche erfordert. Daher ermöglicht die
Anordnung der beiden Spulen 25 und 26 als Wiedergabe-
bzw. Aufzeichnungsspule die Bildung optimaler Spule
für die Wiedergabe und Aufzeichnung. Weiterhin kann
ein Vorgang derart durchgeführt werden, daß Leistung
zu der Aufzeichnungsspule zur Zeit eines Wiedergabe
vorgangs geliefert wird, um ein magnetisches Wechsel
feld zu erzeugen, das als Vorspannung zur Erhöhung
der Empfindlichkeit beim Wiedergabevorgang dient.
Weiterhin ermöglicht die Bildung der wendelförinigen
Spule, daß eine Mehrzahl magnetischer Strukturen vom
Reihenparallelwicklungs-Typ dicht angeordnet werden
kann.
Ein Ausführungsbeispiel der Struktur nach Anspruch 2
wird nun beschrieben. Die Beschreibung erfolgt nur
hinsichtlich solcher Merkmale, die sich vom ersten
Ausführungsbeispiel unterscheiden.
Obgleich das erste Ausführungsbeispiel in der Weise
ausgebildet ist, daß wenigstens der Teil 22a des
zweiten leitenden Durchgangs 22 aufeinanderfolgend
jedes andere Ende 21a des ersten leitenden Durchgangs
verbindet und wenigstens dieser Teil die Reihen
parallelwicklungs-Spule bildet, ist die Verbindungs
methode nicht hierauf begrenzt. Wenn beispielsweise
die aufeinanderfolgende Verbindung mit Intervallen
von zwei Enden 21a des ersten leitenden Durchgangs
hergestellt wird, können drei Spulen mit einer unter
schiedlichen Anzahl von Windungen gebildet werden.
Daher können die jeweiligen Spulen als optimale Spu
len für die Verwendung zum Aufzeichnen und Wiederge
ben von Informationen und zur Erzeugung eines magne
tischen Vorspannfeldes ausgebildet werden.
Die benachbarten Enden des ersten leitenden Durch
gangs können wie in den Draufsichten der Fig. 6 und
7 gezeigt aufeinanderfolgend verbunden werden. Fig. 6
stellt den Fall dar, daß eine Spule 25 gebildet ist,
während Fig. 7 den Fall darstellt, bei dem zwei Spu
len 25 und 26 gebildet sind. Als Ergebnis der vorge
nannten Struktur kann die in Fig. 6 gezeigte Spule
zum Beispiel als Induktivität verwendet werden, wäh
rend die in Fig. 7 gezeigte Spule beispielsweise als
Transformator verwendet werden kann.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der magnetischen
Struktur nach Anspruch 1 wird nun beschrieben. Fig. 8
enthält eine seitliche Querschnittsansicht. Die Be
schreibung erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkmale,
die gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel nach
Fig. 2 unterschiedlich sind. In diesem Ausführungs
beispiel ist die erste isolierende Schicht 41 einge
schlossen zum Ausfüllen der Ausnehmung 11, und der
magnetische Kern 31 ist in einer von der ersten iso
lierenden Schicht 41 gebildeten Ausnehmung 45 einge
schlossen. Als Folge dieser Struktur kann die Isolie
rung des magnetischen Kerns 31 durch die erste iso
lierende Schicht 41 sichergestellt werden. Daher kön
nen die Positions- und Dimensionstoleranzen der Kon
taktlöcher 23 vergrößert werden, wodurch sich eine
erhöhte Ausbeute ergibt. Als Folge hiervon können die
Herstellungskosten gesenkt werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der magnetischen
Struktur nach Anspruch 1 wird nun beschrieben. Fig. 9
enthält eine seitliche Querschnittsansicht. Die Be
schreibung erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkmale,
die gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel unter
schiedlich sind. In diesem Ausführungsbeispiel ist
eine Ätzsperrschicht 46 aus Aluminium, Gold, Kupfer,
Nickel, Titan oder dergleichen in der entsprechend
dem dritten Ausführungsbeispiel in der Ausnehmung 11
eingeschlossenen ersten isolierenden Schicht 41 ge
bildet. Durch Vorsehen der Ätzsperrschicht 46 kann
die Ausnehmung 45 durch einen Ätzvorgang genau herge
stellt werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der magnetischen
Struktur nach Anspruch 1 wird nun beschrieben.
Fig. 10 enthält eine seitliche Querschnittsansicht.
Die Beschreibung erfolgt nur hinsichtlich solcher
Merkmale, die gegenüber dem ersten Ausführungsbei
spiel unterschiedlich sind. In diesem Ausführungsbei
spiel ist die erste isolierende Schicht 41 in glei
cher Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel nach
Fig. 2 als dünne Schicht auf dem ersten leitenden
Durchgang 21 und dem Substrat 1 ausgebildet. Der ma
gnetische Kern 31 weist einen rechteckigen Quer
schnitt in einem Teil der Ausnehmung 11 mit einem
trapezförmigen Querschnitt auf, so daß er eine Dicke
hat, die geringer ist als die Tiefe der Ausnehmung
11. Weiterhin ist die zweite isolierende Schicht 42
im Unterschied zur Struktur nach Fig. 2 auf der er
sten isolierenden Schicht 41 und dem magnetischen
Kern 31 ausgebildet, um die Ausnehmung 11 auszufül
len. Als Folge dieser Struktur können die Positions-
und Dimensionstolereanzen der Kontaktlöcher vergrö
ßert werden. Daher können die Herstellungskosten ver
ringert werden.
Ein Ausführungsbeispiel einer magnetischen Struktur
nach Anspruch 1 wird nun beschrieben. Fig. 11 zeigt
eine seitliche Querschnittsansicht, die ein sechstes
Ausführungsbeispiel der magnetischen Struktur illu
striert und Fig. 12 enthält eine Draufsicht.
Die magnetische Struktur nach diesem Ausführungsbei
spiel wird gemäß Fig. 11 dadurch gebildet, daß eine
Mehrzahl von Strukturen integriert wird, von denen
jede das Substrat 1, den ersten leitenden Durchgang
21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den magneti
schen Kern 31, die erste isolierende Schicht 41 und
die zweite isolierende Schicht 42 aufweist, wobei
eine wendelförmige Reihenparallelwicklungs-Spule aus
dem ersten leitenden Durchgang 21 und dem zweiten
leitenden Durchgang 22 so gebildet ist, daß sie um
den magnetischen Kern 31 gewunden ist und die erste
isolierende Schicht 41 und die zweite isolierende
Schicht 42 hierzwischen angeordnet sind.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das ein
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und eine isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen umfaßt und an
seiner Oberfläche eine Mehrzahl von gratförmigen Vor
sprüngen 12 aufweist. Die Bereiche zwischen den grat
förmigen Vorsprüngen 12, d. h. die Bodenflächen 11c,
sind flach ausgebildet. Weiterhin verlaufen die bei
den Seitenflächen 11a und 11b eines gratförmigen Vor
sprungs 12 diagonal in bezug auf den flachen Bereich
11c, und die beiden Seitenflächen 11a, 11b und die
Bodenfläche 11c bilden die Ausnehmung 11. Der in der
Ausnehmung 11 angeordnete erste leitende Durchgang 21
weist eine Mehrzahl von parallelen und leitenden
Durchgängen auf, die auf den Seitenflächen 11a, 11b
und der Bodenfläche 11c ausgebildet sind und aus Alu
minium, Kupfer oder dergleichen bestehen. Der magne
tische Kern 31 ist aus magnetischem Material wie
Permalloy, Sendust oder dergleichen hergestellt und
in der Ausnehmung 11 eingeschlossen, so daß seine
Dicke geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Da
die mehreren magnetischen Kerne 31 durch die Vor
sprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind,
kann ein Übersprechen verhindert werden. Obgleich die
Strukturen der erste isolierenden Schichten 41, der
zweiten isolierenden Schichten 42, der Kontaktlöcher
23 und der leitenden Durchgänge 54 und 55 dieselben
sind wie beim ersten Ausführungsbeispiel, sind die
von den zweiten leitenden Durchgängen 22 und den er
sten leitenden Durchgängen 21 gebildeten Spulen nicht
auf eine Struktur vom Reihenparallelwicklungs-Typ
beschränkt. Es kann eine Einzelwindungsstruktur ver
wendet werden, wie in Fig. 12 gezeigt ist. Die Ein
zelwindungsstruktur kann beispielsweise als Indukti
vität verwendet werden, während die in Fig. 7 gezeig
te Wicklungsstruktur als Transformator eingesetzt
werden kann. Eine Wicklungsstruktur gemäß Fig. 5 kann
als magnetischer Aufzeichnungs-/Wiedergabekopf verwen
det werden.
Durch Bildung der Vorsprünge 12 auf dem Substrat 1
mit jeweils den diagonalen Seitenflächen können die
mehreren magnetischen Strukturen integral ausgebildet
werden. Weiterhin können die benachbarten magneti
schen Kerne 31 sicher voneinander getrennt werden.
Zusätzlich kann die wendelförmige Spule sicher herge
stellt werden, selbst wenn der magnetische Kern eine
große Dicke hat, wodurch eine magnetische Struktur
geschaffen wird, die in der Lage ist, gleichzeitig
die Anforderungen hinsichtlich der Erhöhung der Win
dungszahl der Spule, eines dickeren magnetischen
Kerns und einer dichten Anordnung zu erfüllen.
Ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
nach Anspruch 3 wird nun beschrieben. Fig. 13 enthält
eine perspektivische Ansicht, die den magnetischen
Kopf gemäß einem siebenten Ausführungsbeispiel illu
striert. Fig. 14 enthält eine perspektivische An
sicht, die ein Substrat und einen ersten leitenden
Durchgang des magnetischen Kopfes darstellt, Fig. 15
ist eine Draufsicht und Fig. 16 ist eine perspektivi
sche Ansicht, die das Verfahren zur Bildung magneti
scher Spalte illustriert.
Der magnetische Kopf gemäß diesem Ausführungsbeispiel
enthält, wie in den Fig. 13 und 14 gezeigt ist, das
Substrat 1, den ersten und den zweiten leitenden
Durchgang 21, 22, die magnetischen Kerne 31 sowie die
erste und die zweite leitende Schicht 41 und 42. Ob
gleich die Fig. 13 bis 16 zum besseren Verständnis
einen magnetischen Kopf für zwei Kanäle darstellen,
ist die Struktur selbstverständlich nicht auf zwei
Kanäle beschränkt.
Wie in Fig. 14 gezeigt ist, ist das Substrat 1 ein
isolierendes Substrat, das das Einkristall-Silizium-
Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO2
oder dergleichen umfaßt, und an dessen Oberfläche
mehrere Vorsprünge gebildet sind. Die Vorsprünge wer
den durch abwechselnde lange Vorsprünge 15 und kurze
Vorsprünge 16 gebildet. Die Seitenflächen eines lan
gen Vorsprungs 15 und die Seitenflächen eines kurzen
Vorsprungs 16 verlaufen diagonal in bezug auf den
flachen Bereich. Die Seitenflächen der langen Vor
sprünge 15, die Seitenflächen der kurzen Vorsprünge
16 und der flache Bereich 17 bilden die Ausnehmung
11. Die ersten leitenden Durchgänge 21 umfassen eine
Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen,
die auf den Seitenflächen der langen Vorsprünge, den
Seitenflächen der kurzen Vorsprünge 16 und dem fla
chen Bereich 17 gebildet sind und aus Aluminium, Kup
fer oder dergleichen bestehen, wobei die ersten lei
tenden Durchgänge 21 in zwei Gruppen aufgeteilt sind,
die auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16
gebildet sind. Der magnetische Kern 31 besteht aus
magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust und
ist in der Vertiefung 11 mit einer Dicke, die gerin
ger ist als die Höhen der Vorsprünge 15 und 16, ein
geschlossen. Der magnetische Kern 31 bildet einen
geschlossenen magnetischen Durchgang auf der der
Gleitfläche eines magnetischen Aufzeichnungsmediums
91 gegenüberliegenden Seite. Die benachbarten magne
tischen Kern 31 sind durch den langen Vorsprung 15
voneinander getrennt. Ein magnetischer Spalt 32 aus
nichtmagnetischem Material wie SiO2 ist von der
Gleitfläche des magnetischen Aufzeichnungsmediums 91
zum kurzen Vorsprung 16 hin gebildet. Zwei Spulen 27
und 28 sind, wie in Fig. 15 gezeigt ist, von den er
sten und zweiten leitenden Durchgängen 21 und 22 auf
den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 gebildet,
wobei die beiden Spulen durch einen leitenden Durch
gang 52 miteinander verbunden sind. Durch diese Ver
bindung der beiden Spulen 27 und 28 wird das externe
induktive Magnetfeld durch die beiden Spulen 27 und
28 aufgehoben. Daher kann ein Einfluß eines externen
magnetischen Feldes, das Rauschen verursacht, be
trächtlich verhindert werden. Elektrodenanschlüsse 51
sind durch leitende Durchgänge 54 und 57 mit den Spu
len verbunden. Durch Vergrößerung der Fläche für je
den der Elektrodenanschlüsse 51 kann die Verbindung
mit einer (nicht gezeigten) externen elektrischen
Schaltung oder dergleichen leicht hergestellt werden.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
verhindert eine Verlängerung der Intervalle zwischen
den magnetischen Köpfen selbst dann, wenn die Anzahl
der Windungen der Spule vergrößert wird. Weiterhin
können die benachbarten magnetischen Kerne 31 durch
die lange Vorsprünge 15 sicher voneinander getrennt
werden. Zusätzlich kann jeder der ersten leitenden
Durchgänge und der zweiten leitenden Durchgänge si
cher miteinander verbunden werden, da der erste lei
tende Durchgang 21 in einer schrägen Fläche verläuft.
Ein Beispiel für ein Verfahren zur Herstellung des
magnetischen Kopfes nach diesem Ausführungsbeispiel
wird nun beschrieben. Eine (100)-oberflächenorien
tierte Siliziumscheibe wird zur Bildung der Vorsprün
ge 15 und 16 einem anisotropen Ätzvorgang unterwor
fen. Da die Seitenflächen der so gebildeten Vorsprün
ge 15 und 16 der (111)-Ebene eines Silizium-Einkri
stalls entsprechen, sind die Seitenflächen schräge
Flächen mit einem Winkel von etwa 55° gegenüber dem
flachen Bereich 17. Nachdem die Vorsprünge 15 und 16
gebildet sind, wird die Siliziumscheibe oxidiert oder
isolierendes Material wie SiO2 wird aufgebracht, so
daß das isolierende Substrat 1 entsteht. Dann wird
das leitende Material wie Aluminium oder Kupfer auf
dem Substrat 1 aufgebracht, beispielsweise durch Gal
vanisieren oder Aufdampfen oder dergleichen, und dann
wird ein Muster des leitenden Materials durch Anwen
dung eines sogenannten lithographischen Verfahrens
hergestellt, so daß der erste leitende Durchgang 21
gebildet wird. Da die Seitenflächen der Vorsprünge 15
und 16 schräg sind, sind die Aufbringung eines Foto
lacks auf die Seitenflächen und deren Belichtung mög
lich. Dann wird das isolierende Material wie SiO2
durch ein Verfahren wie Aufdampfen oder dergleichen
aufgebracht, so daß die erste isolierende Schicht 41
gebildet wird. Dann wird das magnetische Material wie
Sendust oder Permalloy mit einer Dicke, die größer
ist als die Tiefe der Ausnehmung 11 durch ein Verfah
ren wie Aufdampfen aufgebracht, wie in Fig. 16 ge
zeigt ist, so daß die magnetischen Kerne 31a gebildet
werden. Dann wird ein Ätzvorgang durchgeführt, indem
Gebrauch von der Bestrahlung mit fokussierten Ionen
strahlen wie Gallium gemacht wird, oder es wird ein
Laser-unterstütztes Ätzen durchgeführt, so daß die
Seitenflächen 37 jedes der magnetischen Kerne 31a in
dem Teil, in welchem der magnetische Spalt 32 gebil
det wird, entfernt werden, so daß flache Ebenen mit
jeweils einem vorbestimmten Azimuthwinkel entstehen.
Dann wird das nichtmagnetische Material auf die so
gebildete flache Ebene aufgebracht mit einer dem ma
gnetischen Spalt entsprechenden Dicke, so daß die
magnetischen Spalte 32 gebildet werden. Dann wird das
magnetische Material wie Sendust oder Permalloy in
dem Bereich, in dem der magnetische Kern 31a nicht
gebildet ist, durch ein Verfahren wie Galvanisieren
oder Aufdampfen derart aufgebracht, daß es eine Dicke
hat, die größer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11.
Dann wird die Oberfläche des magnetischen Materials
beispielsweise durch eine mechanische Bearbeitungs
vorrichtung geschliffen, so daß es eine Dicke erhält,
die gleich der oder geringer als die Tiefe der Aus
nehmung 11 ist, so daß die magnetischen Kerne 31 ge
bildet werden. Als Folge hiervon sind die benachbar
ten magnetischen Kerne 31 sicher durch die langen
Vorsprünge 15 voneinander getrennt und die Endflächen
21a der ersten leitenden Durchgänge 21 erscheinen
außen. Dann werden die zweiten isolierenden Schichten
42 auf der gesamten Oberfläche aufgebracht, die ge
schliffen wird, um eine flache Fläche zu erhalten,
und dann werden die Kontaktlöcher 23 in den isolie
renden Schichten 42 über den Endflächen 21a der er
sten leitenden Durchgänge beispielsweise durch ein
lithographisches Verfahren hergestellt. Dann wird das
leitende Material wie Aluminium oder Kupfer zum Bei
spiel durch Galvanisieren oder Aufdampfen auf den
zweiten isolierenden Schichten 42 und in den Kontakt
löchern 23 niedergeschlagen, so daß der leitende Film
hergestellt wird. Der leitende Film erhält dann durch
ein lithographisches Verfahren ein Muster, so daß die
zweiten leitenden Durchgänge 22, die leitenden Durch
gänge 52, 54 und 57 sowie die Elektrodenanschlüsse 51
gebildet werden.
Obgleich die in Fig. 13 gezeigten Elektrodenanschlüs
se 51 in einer Zickzack-Form angeordnet sind, ist das
Aufbringungsverfahren nicht auf die Zickzack-Ausbil
dung beschränkt. Wenn jeder der magnetischen Kerne 31
eine geschichtete Struktur aus magnetischem Material
und nichtmagnetischem Material aufweist, können die
Wirbelstromverluste reduziert und dadurch die magne
tische Permeabilität verbessert werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 3 wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt nur in bezug auf gegenüber dem
siebenten Ausführungsbeispiel unterschiedliche Merk
male. Fig. 17 ist eine horizontale Querschnittsan
sicht, die einen magnetischen Kopf mit zwei Kanälen
gemäß dem achten Ausführungsbeispiel darstellt. Fig.
18 enthält eine seitliche Querschnittsansicht. Wie in
Fig. 18 dargestellt ist, ist jede Ausnehmung 45 mit
rechteckigem Querschnitt in der ersten isolierenden
Schicht 41 ausgebildet, die in der Ausnehmung 11 mit
trapezförmigem Querschnitt eingeschlossen ist. Der
magnetische Kern 31 besteht aus magnetischem Material
wie Permalloy oder Sendust und ist so in der Ausneh
mung 45 mit dem rechteckigen Querschnitt eingeschlos
sen, daß seine Dicke geringer ist als die Tiefe der
Ausnehmung 11. Als Folge dieser Struktur können die
Positions- und Dimensionstoleranzen der Kontaktlöcher
23 vergrößert und demgemäß die Herstellungskosten
verringert werden. Weiterhin können die magnetischen
Kerne benachbarter Kanäle sicher voneinander getrennt
werden und dadurch wird das Übersprechen herabge
setzt.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 3 wird nun beschrieben. Die Be
schreibung anhand der Fig. 19 erfolgt nur hinsicht
lich solcher Merkmale, die gegenüber dem siebenten
Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind. Das vorher
gehende siebente Ausführungsbeispiel ist gemäß den
Fig. 14 und 16 so ausgebildet, daß der magnetische
Spalt 32 durch nichtmagnetische Materialien herge
stellt wird. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird jede
der Endflächen der kurzen Vorsprünge 16 keilförmig
ausgebildet und erstreckt sich über die ganze Länge
der Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsme
diums, so daß der magnetische Spalt 32 gebildet wird.
Das Verfahren zur keilförmigen Ausgestaltung der End
fläche des kurzen Vorsprungs 16 wird durch mechani
sche Bearbeitung oder durch Ätzen durchgeführt. Durch
Anwendung dieses Verfahrens kann der magnetische
Spalt 32 während der Zeit der Bearbeitung des Sub
strats 1 gebildet werden. Daher kann die Herstellung
leicht durchgeführt werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 3 wird nun beschrieben. Anhand der
< 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002004336417 00004 99880BOL<Fig. 15, 20A und 20B erfolgt die Beschreibung nur
hinsichtlich solcher Merkmale, die gegenüber dem sie
benten Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind.
Obgleich das siebente Ausführungsbeispiel in der Wei
se ausgeführt ist, daß die langen Vorsprünge 15 und
die kurzen Vorsprünge 16 einander abwechselnd auf der
Oberfläche des Substrats 1 gebildet sind, ist die
Ausgestaltung nicht hierauf beschränkt. Die Notwen
digkeit liegt nur darin, daß die langen Vorsprünge 15
auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 ange
ordnet sind. Beispielsweise ist die Ausgestaltung in
den Fig. 20A und 20B dergestalt, daß zwei fortlau
fende lange Vorsprünge 15 auf der Oberfläche des Sub
strats 1 zwischen den kurzen Vorsprüngen 16 gebildet
sind. Die durch die schrägen Flächen der angrenzenden
langen Vorsprünge 15 und den flachen Bereich 18 zwi
schen den langen Vorsprüngen 15 gebildete Ausnehmung
ist mit dem magnetischen Material wie Permalloy oder
Sendust gefüllt, mit einer Dicke, die, geringer ist
als die Höhe des Vorsprungs 15, so daß die magneti
sche Schicht 33 gebildet wird. Die so ausgebildete
Struktur ist in der Lage, die benachbarten magneti
schen Kerne 31 durch den Vorsprung 15 voneinander zu
trennen. Weiterhin dient die magnetische Schicht 33
als eine magnetische Abschirmung. Daher entsteht ein
magnetischer Kopf, in welchem das Übersprechen her
abgesetzt werden kann.
Die Breite des langen Vorsprungs 15 und die des kur
zen Vorsprungs 16 brauchen selbstverständlich nicht
gleich zu sein. Wenn die Breite des kurzen Vorsprungs
16 groß ist, wird der Abstand zwischen den Spulen 27
und 28 auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16
gemäß Fig. 15 verlängert. In diesem Fall kann der
gegenseitige Einfluß der Spulen beträchtlich verrin
gert werden.
Ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
nach Anspruch 4 wird nun beschrieben. Fig. 21 enthält
eine perspektivische Ansicht, die den magnetischen
Kopf entsprechend einem elften Ausführungsbeispiel
darstellt. Fig. 22 enthält eine seitliche Quer
schnittsansicht und Fig. 23 eine vertikale Quer
schnittsansicht. Fig. 24 enthält eine perspektivische
Ansicht, die Kontaktlöcher für die Verbindung der
magnetischen Kerne des magnetischen Kopfes
illustriert.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist gemäß Fig. 21 und 22 das Substrat 1, den er
sten leitenden Durchgang 21, den zweiten leitenden
Durchgang 22, erste magnetische Kerne 35, einen drit
ten leitenden Durchgang 61, einen vierten leitenden
Durchgang 62, einen zweiten magnetischen Kern 36, den
magnetischen Spalt 32, die erste isolierende Schicht
41, die zweite isolierende Schicht 42, die dritte
isolierende Schicht 43, die vierte isolierende
Schicht 44 und die Elektrodenanschlüsse 51 auf. Ob
gleich die Fig. 21 bis 24 zum besseren Verständnis
die Struktur des magnetischen Kopfes für zwei Kanäle
darstellen, bezieht sich dieses Ausführungsbeispiel
selbstverständlich auf einen allgemeinen Mehrkanal-
Magnetkopf.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat mit dem
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und der isolierenden
Schicht 1b beispielsweise aus SiO2, und es hat eine
Mehrzahl von auf seiner Oberfläche gebildeten Vor
sprüngen 12. Der Raum zwischen den Vorsprüngen 12 ist
als flacher Bereich 13 ausgebildet. Die beiden Sei
tenflächen 11a und 11b des Vorsprungs 12 verlaufen
schräg in bezug auf den flachen Bereich 13, und die
Seitenflächen 11a, 11b sowie der flache Bereich 13
bilden die Ausnehmung 11. Der erste leitende Durch
gang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und lei
tenden Durchgängen, die auf den Seitenflächen 11a,
11b und der Bodenfläche 13 gebildet sind und aus Alu
minium oder Kupfer bestehen. Der erste magnetische
Kern 35 besteht aus magnetischen Materialien wie Per
malloy oder Sendust und ist in der Ausnehmung 11 ein
geschlossen, so daß seine Dicke geringer ist als die
Höhe des Vorsprungs 12. Da die mehreren ersten magne
tischen Kerne 35 durch die Vorsprünge 12 vollständig
voneinander getrennt sind, kann ein Übersprechen ver
hindert werden. Der zweite leitende Durchgang 22 um
faßt eine Mehrzahl von parallelen und leitenden
Durchgängen, die auf der zweiten isolierenden Schicht
42 gebildet sind und aus Aluminium oder Kupfer beste
hen, wobei der zweite leitende Durchgang 22 aufein
anderfolgend mit den enden des ersten leitenden
Durchgangs 21 über die Kontaktlöcher 23 verbunden
ist. Die ersten leitenden Durchgänge 21 und die zwei
ten leitenden Durchgänge 22 bilden eine Mehrzahl von
integrierten ersten Spulen, die um den ersten magne
tischen Kern 35 gewunden sind. Die Stromversorgung
und der Empfang des Wiedergabesignals zu bzw. von der
ersten Spule erfolgt übe den Elektrodenanschluß 51a.
Der magnetische Spalt 32 ist auf dem zweiten leiten
den Durchgang 22, dem leitenden Durchgang 24 und dem
ersten magnetischen Kern 35 gebildet. Der magnetische
Spalt 32 besteht aus nichtmagnetischen Materialien
und ist zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und
dem zweiten magnetischen Kern 36 gebildet.
Wie in Fig. 24 gezeigt ist, sind ein Kontaktloch 63
zur Herstellung der Verbindung zwischen dem zweiten
leitenden Durchgang 22 und dem vierten leitenden
Durchgang 62 und ein Kontaktloch 64 zur Herstellung
der Verbindung zwischen dem ersten magnetischen Kern
35 und dem zweiten magnetischen Kern 36 in der
Schicht, die aus dem nichtmagnetischem Material zur
Bildung des magnetischen Spaltes 32 besteht, und in
der fünften isolierenden Schicht angeordnet. Der
vierte leitende Durchgang 62 weist eine Mehrzahl von
parallelen leitenden Durchgängen aus Aluminium oder
Kupfer auf, und der vierte leitende Durchgang 62 ist
aufeinanderfolgend mit den Enden der dritten leiten
den Durchgänge 61 über die Kontaktlöcher 65 in der
vierten isolierenden Schicht 44 verbunden. Der zweite
magnetische Kern 36 besteht aus magnetischem Material
wie Permalloy oder Sendust und hat schräge Seitenflä
chen, wobei er so ausgebildet ist, daß er nicht das
Ende des vierten leitenden Durchgangs 62 erreicht.
Eine dritte isolierende Schicht 43 ist zumindest auf
den Seitenflächen und der oberen Fläche des zweiten
magnetischen Kerns 36 gebildet. Der dritte leitende
Durchgang 61 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, die auf den Seitenflächen und
der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns 36
gebildet sind, wobei die dritte isolierende Schicht
43 hierzwischen angeordnet ist. Jede von einer Mehr
zahl von zweiten Spulen ist integral durch den drit
ten leitenden Durchgang 61 und den vierten leitenden
Durchgang gebildet und um den zweiten magnetischen
Kern 36 gewunden. Die Stromzuführung und der Empfang
des Wiedergabesignals zu bzw. von der zweiten Spule
erfolgt über den Elektrodenanschluß 51b. Da die erste
Spule und die zweiten Spulen über das Kontaktloch 63
miteinander in Reihe verbunden sind, können die
Stromzuführung und der Empfang des Wiedergabesignals
über die Elektrodenanschlüsse 51a und 51b durchge
führt werden. Der erste magnetische Kern 35 und der
zweite magnetische Kern 36 sind durch den magneti
schen Spalt 32 benachbart der Gleitfläche des magne
tischen Aufzeichnungsmediums voneinander getrennt,
während sie auf der der Gleitfläche des magnetischen
Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite über das
Kontaktloch miteinander verbunden sind. Als Folge der
so ausgebildeten Struktur kann ein magnetischer Kopf
gebildet werden, dessen Reihenparallelwicklung leicht
realisiert werden kann, dessen Abstände beträchtlich
verkürzt werden können und bei dem die Genauigkeit
der magnetischen Spaltlänge und der relativen Posi
tion verbessert werden kann.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 4 wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt unter Bezug auf Fig. 24 nur hin
sichtlich der Merkmale, die gegenüber dem elften Aus
führungsbeispiel unterschiedlich sind.
Bei dem vorbeschriebenen elften Ausführungsbeispiel
ist die Anordnung derart, daß die fünfte isolierende
Schicht 45 das Kontaktloch 63 zur Herstellung der
Verbindung zwischen dem zweiten leitenden Durchgang
22 und dem vierten leitenden Durchgang 62 und das
Kontaktloch 64 zur Herstellung der Verbindung zwi
schen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten
magnetischen Kern 36 enthält. Dieses Ausführungsbei
spiel hat eine Anordnung derart, daß die fünfte iso
lierende Schicht 45 das Kontaktloch 63 zur Herstel
lung der Verbindung zwischen dem zweiten leitenden
Durchgang 22 und dem vierten leitenden Durchgang 62
nicht enthält, und daher sind die erste Spule und die
durch die fünfte isolierende Schicht 45 von dieser
getrennte zweite Spule nicht miteinander verbunden.
Als Alternative hierzu sind Elektrodenanschlüsse wei
terhin auf der zweiten isolierenden Schicht 42 und
der fünften isolierenden Schicht 45 für die erste und
die zweite Spule angeordnet. Da die Verbindung der
ersten Spule und der zweiten Spule über das Kontakt
loch 63 nicht hergestellt werden muß, kann die Zuver
lässigkeit erhöht werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 4 wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt unter Bezug auf Fig. 25 nur hin
sichtlich solcher Merkmale, die unterschiedlich ge
genüber dem elften Ausführungsbeispiel sind.
In diesem Ausführungsbeispiel ist bei dem magneti
schen Kopf gemäß dem elften Ausführungsbeispiel wei
terhin ein zweites Substrat 2 vorgesehen. Das zweite
Substrat 2 ist beispielsweise dadurch gebildet, daß
entsprechend dem ersten Substrat eine isolierende
Schicht 2b aus einem isolierenden Material wie SiO2
auf ein Einkristall-Silizium-Substrat 2a aufgebracht
ist. Das zweite Substrat 2 gibt die Möglichkeit, daß
die benachbarten zweiten magnetischen Kerne 36 sicher
voneinander getrennt sind, so daß das Übersprechen
verhindert werden kann. Weiterhin können die zweiten
magnetischen Kerne 36 und der dritte leitende Durch
gang 61 geschützt werden.
Ein Ausführungsbeispiel des magnetischen Kopfes nach
Anspruch 5 wird nun beschrieben. Fig. 26 enthält eine
perspektivische Ansicht, die einen magnetischen Kopf
nach einem vierzehnten Ausführungsbeispiel darstellt,
Fig. 27 enthält eine perspektivische Ansicht, die ein
Substrat des magnetischen Kopfes nach diesem Ausfüh
rungsbeispiel darstellt, Fig. 28 enthält eine seitli
che Querschnittsansicht des magnetischen Kopfes und
Fig. 29 enthält eine vertikale Querschnittsansicht.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist gemäß Fig. 28 das Substrat 1, den ersten lei
tenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang
22, den ersten magnetischen Kern 35, den dritten lei
tenden Durchgang 61, den vierten leitenden Durchgang
62, den zweiten magnetischen Kern 36, den magneti
schen Spalt 32, die erste isolierende Schicht 41, die
zweite isolierende Schicht 42, die dritte isolierende
Schicht 43 und die vierte isolierende Schicht 44 auf.
Obgleich die Fig. 26 bis 29 zum leichteren Verständ
nis den magnetischen Kopf für zwei Kanäle darstellen,
bezieht sich die Struktur selbstverständlich allge
mein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.
Wie Fig. 27 zeigt, ist das Substrat 1 ein isolieren
des Substrat, das das Einkristall-Silizium-Substrat
1a und isolierende Schichten 1b und 1c aus SiO2 um
faßt, wobei das Substrat 1 mehrere gratförmige Vor
sprünge 12 auf den beiden vertikalen Oberflächen an
entsprechenden Positionen besitzt. Der Raum zwischen
den gratförmigen Vorsprüngen ist als flacher Bereich
13 ausgebildet. Die beiden Seitenflächen des gratför
migen Vorsprungs 12 verlaufen schräg in bezug auf den
flachen Bereich 13. Die beiden Seitenflächen des
gratförmigen Vorsprungs 12 und der flache Bereich 13
bilden die Ausnehmung. Die Länge des flachen Bereichs
13 ist kürzer als die des gratförmigen Vorsprungs 12.
Weiterhin sind eine vordere Endfläche 93 und eine
hintere Endfläche 94 gegenüber Endflächen 91 und 92
der Vorsprünge zurückgesetzt. Wie in Fig. 28 gezeigt
ist, bildet eine Mehrzahl von parallelen und leiten
den Durchgängen auf den beiden Seitenflächen der
gratförmigen Vorsprünge 12 und den Bodenflächen 13,
die aus Aluminium oder Kupfer bestehen, den ersten
leitenden Durchgang 21 auf der oberen Fläche des Sub
strats 1. Weiterhin ist ein dritter leitender Durch
gang 61 in der unteren Fläche des Substrats 1 ausge
bildet. Der auf der oberen Fläche des Substrats 1
gebildete erste magnetische Kern 35 und der auf der
unteren Fläche desselben gebildete zweite magnetische
Kern 36 bestehen aus magnetischem Material wie Per
malloy oder Sendust und sind eingeschlossen, so daß
ihre Dicke geringer ist als die Höhe des Vorsprungs
12. Wie in Fig. 29 gezeigt ist, sind der erste magne
tische Kern 35 und der zweite magnetische Kern 36
benachbart der Gleitfläche 91 des magnetischen Auf
zeichnungsmediums durch den magnetischen Spalt 32
voneinander getrennt, während sie auf der der Gleit
fläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums ent
gegengesetzten Seite 92 miteinander verbunden sind.
Der magnetische Spalt 32 besteht aus nichtmagneti
schem Material und ist angrenzend an die Gleitfläche
91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums zwischen dem
ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magneti
schen Kern 36 ausgebildet. Da die mehreren ersten
magnetischen Kerne 35 und die zweiten magnetischen
Kerne 36 durch die Vorsprünge 12 vollständig vonein
ander getrennt sind, kann das Übersprechen verhindert
werden. Das Kontaktloch 23 ist in der zweiten isolie
renden Schicht 42 ausgebildet zur Herstellung der
Verbindung zwischen einem Ende des ersten leitenden
Durchgangs 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22.
Das Kontaktloch 65 ist in der vierten isolierenden
Schicht 44 ausgebildet zur Herstellung der Verbindung
zwischen dem Ende des dritten leitenden Durchgangs 61
und dem vierten leitenden Durchgang 62. Der zweite
leitende Durchgang 22 und der vierte leitende Durch
gang 62 werden durch parallele und leitende Durchgän
ge aus Aluminium oder Kupfer gebildet, wobei der
zweite leitende Durchgang 22 aufeinanderfolgend mit
den Enden der ersten leitenden Durchgänge 21 über die
Kontaktlöcher 23 verbunden ist. Der vierte leitende
Durchgang 62 ist aufeinanderfolgend mit den Enden der
dritten leitenden Durchgänge 61 über die Kontaktlö
cher 65 verbunden. Die ersten leitenden Durchgänge 21
und die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden mehre
re integrierte erste Spulen, die um den ersten magne
tischen Kern 35 gewunden sind. Die dritten leitenden
Durchgänge 61 und die vierten leitenden Durchgänge 62
bilden mehrere integrierte zweite Spulen, die um den
zweiten magnetischen Kern 36 gewunden sind. Als Folge
dieser Struktur kann der Abstand zwischen der ersten
Spule und der zweiten Spule verlängert werden. Daher
kann der gegenseitige Einfluß der Spulen beträchtlich
vermindert werden. Weiterhin ein magnetischer Kopf
gebildet werden, bei dem die Reihenparallelwicklung
leicht realisiert werden kann, die Abstände beträcht
lich verkürzt werden können und die Genauigkeit der
magnetischen Spaltlänge und der relativen Position
verbessert werden kann.
Ein Ausführungsbeispiel des magnetischen Kopfes nach
Anspruch 6 wird nun beschrieben. Fig. 30 enthält eine
seitliche Querschnittsansicht, die den magnetischen
Kopf nach einem fünfzehnten Ausführungsbeispiel dar
stellt, und Fig. 33 enthält eine vertikale Quer
schnittsansicht.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist das Substrat 1, den ersten leitenden Durchgang
21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den ersten
magnetischen Kern 35, den zweiten magnetischen Kern
36, den magnetischen Spalt 32, die erste isolierende
Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42 und die
dritte isolierende Schicht 43 auf. Obgleich die Fig.
30 und 31 zum leichteren Verständnis die Struktur
eines magnetischen Kopfes für zwei Kanäle darstellen,
bezieht sich dieses Ausführungsbeispiel selbstver
ständlich allgemein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.
Das Substrat ist ein .isolierendes Substrat, das das
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und die isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen umfaßt, und auf
seiner Oberfläche ist eine Mehrzahl von Vorsprüngen
12 gebildet. Der Raum zwischen den Vorsprüngen 12 ist
als flacher Bereich 13 ausgestaltet. Die beiden Sei
tenflächen des Vorsprungs 12 verlaufen schräg in be
zug auf den flachen Bereich 13, wobei die beiden Sei
tenflächen der Vorsprünge 12 und der flachen Bereich
13 die Ausnehmung 11 bilden. Der erste leitende
Durchgang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflä
chen der Vorsprünge 12 und der Bodenfläche 13 gebil
det sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen. Der
erste magnetische Kern 35 besteht aus magnetischem
Material wie Permalloy oder Sendust und ist in der
Ausnehmung 11 eingeschlossen mit einer Dicke, die
geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Das die
mehreren ersten magnetischen Kerne 35 durch die Vor
sprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind,
kann das Übersprechen verhindert werden. Das Kontakt
loch 23 ist in der zweiten isolierenden Schicht 42
ausgebildet für die Herstellung der Verbindung zwi
schen dem Ende des ersten leitenden Durchgangs 21 und
dem zweiten leitenden Durchgang 22. Der zweite lei
tende Durchgang 22 umfaßt eine Mehrzahl von paralle
len und leitenden Durchgängen, die auf der zweiten
isolierenden Schicht 42 gebildet sind und aus Alumi
nium oder Kupfer bestehen, wobei der zweite leitende
Durchgang 22 aufeinanderfolgend mit den Enden der
ersten leitenden Durchgänge 21 durch die Kontaktlö
cher 23 verbunden ist. Die ersten leitenden Durchgän
ge 21 und die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden
mehrere integrierte Spulen, die um den ersten magne
tischen Kern 35 gewunden sind. Der zweite magnetische
Kern 36 besteht aus magnetischem Material wie Permal
loy oder Sendust. Der magnetische Spalt 32 aus nicht
magnetischem Material ist an einer an die Gleitfläche
91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums angrenzenden
Stelle zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und
dem zweiten magnetischen Kern 36 ausgebildet. Der
zweite magnetische Kern 36 ist mit dem ersten magne
tischen Kern 35 auf der der Gleitfläche 91 des magne
tischen Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite
durch das magnetische Material verbunden. Die dritte
isolierende Schicht 43 ist zwischen dem leitenden
Durchgang, zum Beispiel dem zweiten leitenden Durch
gang 22, und dem zweiten magnetischen Kern vorgese
hen, so daß das Auftreten eines Kurzschlusses in dem
leitenden Durchgang, beispielsweise dem zweiten lei
tenden Durchgang 22, verhindert wird und die Wärme
abstrahlung von demselben vergrößert wird. Als Ergeb
nis der so ausgebildeten Struktur kann ein magneti
scher Kopf gebildet werden, bei dem die Reihenparal
lelwicklung leicht realisiert werden kann, die Ab
stände beträchtlich verkürzt werden können und die
Genauigkeit der magnetischen Spaltlänge und der rela
tiven Position verbessert werden kann.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 6 wird nachfolgend beschrieben.
Fig. 32 enthält eine seitliche Querschnittsansicht,
die den magnetischen Kopf entsprechend einem sieb
zehnten Ausführungsbeispiel darstellt, und Fig. 33
enthält eine vertikale Querschnittsansicht.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist das Substrat 1, den ersten leitenden Durchgang
21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den ersten
magnetischen Kern 35, den zweiten magnetischen Kern
36, den magnetischen Spalt 32, die erste isolierende
Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42 und die
dritte isolierende Schicht 43 auf. Obgleich Fig. 32
zum leichteren Verständnis die Struktur des magneti
schen Kopfes für zwei Kanäle wiedergibt, bezieht sich
dieses Ausführungsbeispiel selbstverständlich allge
mein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das das
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und die isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen umfaßt, und es
ist mit einer Mehrzahl von auf seiner Oberfläche ge
bildeten Vorsprüngen 12 versehen. Der Raum zwischen
den Vorsprüngen 12 ist als flacher Bereich 13 ausge
bildet. Die beiden Seitenflächen des Vorsprungs 12
verlaufen schräg in bezug auf den flachen Bereich 13,
wobei die beiden Seitenflächen der Vorsprünge 12 und
der flache Bereich 13 die Ausnehmung 11 bilden. Auf
der Bodenfläche 13 der Ausnehmung 11 befindet sich
der zweite magnetische Kern 36 aus magnetischem Mate
rial wie Permalloy oder Sendust. Der erste leitende
Durchgang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflä
chen des Vorsprungs 12 und der dritten isolierenden
Schicht 43 gebildet sind und aus Aluminium oder Kup
fer bestehen. Der erste magnetische Kern 35 besteht
aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust
und ist derart in der Ausnehmung 11 eingeschlossen,
daß seine Dicke geringer ist als die Höhe des Vor
sprungs 12. Da die mehreren ersten magnetischen Kerne
35 durch die Vorsprünge 12 vollständig voneinander
getrennt sind, kann das Übersprechen verhindert wer
den. Der zweite leitende Durchgang 22 umfaßt eine
Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen,
die auf der zweiten isolierenden Schicht 42 gebildet
sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen, wobei
der zweite leitende Durchgang 22 aufeinanderfolgend
mit den Enden der ersten leitenden Durchgänge 21 ver
bunden ist. Die ersten leitenden Durchgänge 21 und
die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden eine Spu
le, die um den ersten magnetischen Kern 35 gewunden
ist. Der magnetische Spalt 32 aus dem nichtmagneti
schen Material ist an einer an die Gleitfläche 91 des
magnetischen Aufzeichnungsmediums angrenzenden Posi
tion zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem
zweiten magnetischen Kern 36 gebildet. Der zweite
magnetische Kern 36 ist mit dem ersten magnetischen
Kern 31 auf der der Gleitfläche 91 des magnetischen
Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite durch
das magnetische Material verbunden. Als ein Ergebnis
der so ausgebildeten Struktur kann ein magnetischer
Kopf gebildet werden, in welchem eine Reihenparallel
wicklung leicht realisiert werden kann, die Abstände
beträchtlich verkürzt werden können und die Genauig
keit der magnetischen Spaltlänge und der relativen
Position verbessert werden kann.
Ein anderes Ausführungsbeispiel nach den Ansprüchen 1
bis 6 wird nun mit Bezug auf Fig. 1 erläutert. Ob
gleich jedes der vorhergehenden Ausführungsbeispiele
so wiedergegeben ist, daß das Substrat 1 ein isolie
rendes Substrat ist, das das Einkristall-Silizium-
Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO2
oder dergleichen umfaßt, kann das Substrat 1a aus
einem Material wie Metall, Glas oder Harz hergestellt
sein. Das Material der isolierenden Schicht 1b ist
nicht auf SiO2 beschränkt.
Das Substrat kann aus isolierendem Material bestehen
wie Saphir, Glas, Keramik oder einem Metalloxid. In
diesem Fall kann die isolierende Schicht 1b weggelas
sen werden und die Isolation zwischen dem Substrat
und dem zweiten leitenden Durchgang 22 kann stets
aufrechterhalten werden. Weiterhin kann eine ausge
zeichnete Wärmeleitfähigkeit erhalten werden, wodurch
sich eine ausgezeichnete Wärmeabstrahlungswirkung
ergibt. Weiterhin wird durch den Verzicht auf die
isolierende Schicht 1b der Herstellungsprozeß verein
facht, so daß die Herstellungskosten verringert wer
den können.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der Struktur nach den
Ansprüchen 1 bis 6 wird nachfolgend mit Bezug auf
Fig. 34 beschrieben.
Bei jedem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele
werden die Kontaktlöcher, von denen jedes in der
zweiten isolierenden Schicht zur Herstellung der Ver
bindung zwischen der Endfläche 21a des ersten leiten
den Durchgangs 21 und dem zweiten leitenden Durchgang
22 gebildet ist, jeweils in den Verbindungsbereichen
zwischen den Endflächen 21a des ersten leitenden
Durchgangs und den Enden des zweiten leitenden Durch
gangs 22 gebildet. In diesem Ausführungsbeispiel
stellt ein Kontaktloch 23 die Verbindungen der in
derselben Linie angeordneten Verbindungsbereiche dar.
Als Folge dieser Struktur können die Positions- und
Dimensionstoleranzen des Kontaktlochs 23 zur Zeit der
Bildung des Kontaktlochs 23 vergrößert werden. Daher
kann die Verbindung zwischen dem ersten leitenden
Durchgang 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22
sicher hergestellt und die Herstellungskosten können
verringert werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Struktur nach den Ansprü
chen 1 bis 6 wird nun mit Bezug auf die Fig. 35A und
35B beschrieben.
Die Vorsprünge 12, 15 und 16 und die Bodenfläche der
Ausnehmung 11 auf dem Substrat sind nicht auf die
flachen Oberflächen beschränkt, die in jedem der vor
hergehenden Ausführungsbeispiele gezeigt sind. Bei
spielsweise können gekrümmte Oberflächen mit schrägen
Oberflächen wie in Fig. 35A gezeigt verwendet werden,
um eine gleiche Wirkung zu erhalten. Eine andere, in
Fig. 35B gezeigte Struktur kann verwendet werden, bei
der Seitenflächen 11a, 11b sowie die Bodenflächen 11c
und 13c gekrümmt sind. In diesem Fall ist es bevor
zugt, daß das Substrat 1 aus einem nichtkristallinen
Material wie Glas oder Harz besteht, wie im siebzehn
ten Ausführungsbeispiel beschrieben ist.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der Struktur nach den
Ansprüchen 1 bis 6 wird nun beschrieben.
In jedem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele wur
de die Dicke der ersten isolierenden Schicht 41 oder
die der dritten isolierenden Schicht 43 so gewählt,
daß sie größer ist als die Dicke des ersten leitenden
Durchgangs 21 und die des dritten leitenden Durch
gangs 62. Die Dicke kann geringer sein als die des
ersten leitenden Durchgangs 21 und die des dritten
leitenden Durchgangs 62, um eine magnetische Struktur
und einen magnetischen Kopf zu schaffen, mit denen
gleiche Wirkungen wie bei jedem der vorhergehenden
Ausführungsbeispiele erhalten werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der Struktur nach den
Ansprüchen 1 bis 6 wird nun mit Bezug auf Fig. 36
beschrieben.
Die magnetische Schicht 1c aus magnetischem Material
wie Permalloy oder Sendust ist unterhalb der isolie
renden Schicht 1b des Substrats 1 gebildet. Da die
magnetische Schicht 1c als eine magnetische Abschir
mung dient, kann das Übersprechen zwischen den Kanä
len verhindert werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der Struktur nach den
Ansprüchen 1 bis 3, 5 und 6 wird nun beschrieben. Es
wird beispielsweise eine Schutzschicht aus isolieren
dem Material wie Glas oder Harz auf dem zweiten lei
tenden Durchgang 22 oder dem vierten leitenden Durch
gang 62 gebildet. Die Schutzschicht schützt die Ober
fläche des magnetischen Kopfes vor der Umgebung, und
daher kann die Zuverlässigkeit verbessert werden.
Ein Ausführungsbeispiel einer magnetischen Struktur
nach Anspruch 7 wird nun beschrieben. Die Beschrei
bung erfolgt nur hinsichtlich der Merkmale, die ge
genüber dem ersten Ausführungsbeispiel nach den Fig.
1 und 2 unterschiedlich sind. Fig. 37 enthält eine
teilweise geschnittene perspektivische Ansicht, die
die magnetische Struktur gemäß einem dreiundzwanzig
stens Ausführungsbeispiel darstellt, und Fig. 38 ent
hält eine seitliche Querschnittsansicht.
Im Gegensatz zum ersten Ausführungsbeispiel, bei dem
der erste leitende Durchgang 21 gemäß Fig. 1 durch
die beiden Seitenflächen der Ausnehmung 11 und die
Bodenfläche gebildet ist, ist dieses Ausführungsbei
spiel gemäß Fig. 37 und 38 so ausgebildet, daß der
erste leitende Durchgang 21a bis zur oberen Fläche 10
des Substrats 1 reicht. Weiterhin ist der zweite lei
tende Durchgang 22 mit dem auf der oberen Fläche 10
des Substrats 1 gebildeten Teil des leitenden Durch
gangs 21a verbunden. Als Folge hiervon kann die Posi
tion des Kontaktlochs auf der zweiten isolierenden
Schicht 42 über der oberen Fläche 10 des Substrats
liegen. Durch Positionierung des Kontaktlochs 23 über
der oberen Fläche 10 des Substrats kann die Isolie
rung des ersten leitenden Durchgangs 21 und des zwei
ten leitenden Durchgangs 22 gegenüber dem magneti
schen Kern 31 sicher hergestellt werden. Weiterhin
können die Positions- und Dimensionstoleranzen des
Kontaktlochs 23 vergrößert werden, wodurch die Her
stellungskosten verringert werden.
Obgleich das dreiundzwanzigste Ausführungsbeispiel so
ausgebildet ist, daß die Struktur nach Anspruch 7 der
magnetischen Struktur nach Anspruch 1 angepaßt ist,
kann die Struktur selbstverständlich auch an die ma
gnetische Struktur nach Anspruch 2 angepaßt sein, bei
dem mehrere Strukturen auf demselben Substrat inte
griert sind, oder sie kann auch an den magnetischen
Kopf nach den Ansprüchen 3 bis 6 angepaßt sein, um
eine gleiche Wirkung zu erhalten.
Es wird nun ein Ausführungsbeispiel der magnetischen
Struktur nach Anspruch 8 beschrieben. Die Beschrei
bung erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkmale, die
gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel unterschied
lich sind. Fig. 39 ist ein perspektivische Ansicht,
die die magnetische Struktur nach einem vierundzwan
zigsten Ausführungsbeispiel teilweise geschnitten
darstellt, Fig. 40 enthält eine perspektivische An
sicht, die ein Substrat der magnetischen Struktur
nach dem vierundzwanzigsten Ausführungsbeispiel dar
stellt, Fig. 41 enthält eine seitliche Querschnitts
ansicht der magnetischen Struktur und Fig. 42 enthält
eine horizontale Querschnittsansicht.
Im vierundzwanzigsten Ausführungsbeispiel ist eine
Ausnehmung, das heißt ein Nutenbereich 17 in der obe
ren Fläche 10 des Substrats 1 gebildet. Eine Mehrzahl
von Nutenbereichen 17 ist parallelverlaufend an die
schräge Fläche der Ausnehmung 11 des Substrats an
grenzend zu der oberen Fläche 10 des Substrats ausge
bildet.
Obgleich das erste Ausführungsbeispiel so ausgebildet
ist, daß der erste leitende Durchgang 21 nur in den
Seitenflächen und der Bodenfläche der Ausnehmung ge
bildet ist, ist das vierundzwanzigste Ausführungsbei
spiel in der Weise ausgestaltet, daß der erste lei
tende Durchgang 21 den Nutenbereich 17 in der oberen
Fläche des Substrats, die beiden Seitenflächen und
die Bodenfläche der Ausnehmung 11 bedeckt. Der erste
leitende Durchgang 21 und der zweite leitende Durch
gang 22 sind durch das auf dem Nutenbereich 17 gebil
dete Kontaktloch 23 in der zweiten isolierenden
Schicht 42 miteinander verbunden. Als Folge dieser
Struktur können der erste leitende Durchgang 21 und
der zweite leitende Durchgang 22 sicher gegenüber dem
magnetischen Kern 31 isoliert werden. Weiterhin kön
nen die Positions- und Dimensionstoleranzen des Kon
taktlochs vergrößert werden, wodurch die Herstel
lungskosten verringert werden können. Weiterhin kön
nen die mehreren ersten leitenden Durchgänge 21 auf
der Oberfläche 10 des Substrats durch die Nutenberei
che 17 sicher gegeneinander isoliert werden.
Obgleich das vierundzwanzigste Ausführungsbeispiel in
der Weise ausgestaltet ist, daß die Struktur nach
Anspruch 8 an die magnetische Struktur nach Anspruch
1 angepaßt ist, kann die Struktur natürlich auch an
die magnetische Struktur nach Anspruch 2 angepaßt
sein, bei welcher mehrere Strukturen auf demselben
Substrat integriert sind, oder sie kann an den magne
tischen Kopf nach den Ansprüchen 3 bis 6 angepaßt
sein, um eine gleiche Wirkung zu erhalten.
Ein Ausführungsbeispiel der magnetischen Struktur
nach Anspruch 9 wird nachfolgend beschrieben. Die
Beschreibung erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkma
le, die gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel un
terschiedlich sind. Fig. 43 enthält eine perspektivi
sche Ansicht, die eine magnetische Struktur nach ei
nem fünfundzwanzigsten Ausführungsbeispiel teilweise
geschnitten darstellt, und Fig. 44 enthält eine per
spektivische Ansicht eines Substrats der magnetischen
Struktur nach dem fünfundzwanzigsten Ausführungsbei
spiel.
Das fünfundzwanzigste Ausführungsbeispiel ist gemäß
Fig. 24 in der Weise ausgestaltet, daß ein Nutenbe
reich 18 von den beiden Seitenflächen und der Boden
fläche der Ausnehmung 11 gebildet wird. Es sind meh
rere Nutenbereiche 18 parallel in der Längsrichtung
der Ausnehmung ausgebildet. Im fünfundzwanzigsten
Ausführungsbeispiel ist der erste leitende Durchgang
21 in dem Nutenbereich 18 ausgebildet, wie in Fig. 43
gezeigt ist. Daher können die ersten leitenden Durch
gänge sicher gegeneinander isoliert werden. Die Decke
des ersten leitenden Durchgangs 21 ist im wesentli
chen gleich der Tiefe des Nutenbereichs 18. Als Folge
hiervon stellen die Bodenfläche und die beiden Sei
tenflächen der Ausnehmung 11 flache Oberflächen dar,
nachdem der erste leitende Durchgang 21 gebildet ist,
so daß Erhebungen und Löcher, die beim ersten Ausfüh
rungsbeispiel auftreten, vermieden werden. Als Folge
hiervon weisen die in der Ausnehmung 11 gebildete
erste isolierende Schicht 41 und der der Ausnehmung
im Substrat zugewandte magnetische Kern 31 flache
Oberflächen auf, nachdem der erste leitende Durchgang
21 gebildet ist. Als Folge dieser Struktur können
Erhebungen und Vertiefungen, die beim ersten Ausfüh
rungsbeispiel auftreten, bei dem magnetischen Kern 31
vermieden werden. Daher kann der Verlust des durch
den magnetischen Kern hindurchgehenden magnetischen
Flusses verringert werden, wodurch ein magnetischer
Kern mit einem ausgezeichneten magnetischen Wirkungs
grad erhalten wird.
Obgleich das fünfundzwangzigste Ausführungsbeispiel
so ausgestaltet ist, daß die Struktur nach Anspruch 9
an eine magnetische Struktur nach Anspruch 1 angepaßt
ist, kann diese Struktur selbstverständlich auch an
die magnetische Struktur nach Anspruch 2 angepaßt
sein, bei der mehrere Strukturen auf demselben Sub
strat integriert sind, oder sie kann an den magneti
schen Kopf nach den Ansprüche 3 bis 6 angepaßt sein,
um einen gleichen Effekt zu erzielen.
Obgleich das fünfundzwanzigste Ausführungsbeispiel in
der Weise ausgebildet ist, daß der Nutenbereich 18
wie in Fig. 44 von der Bodenfläche 11c zu den beiden
Seitenflächen 11a und 11b ausgebildet ist, kann er
selbstverständlich auf der oberen Oberfläche ausge
bildet sein.
Ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
nach Anspruch 10 wird nun beschrieben. Fig. 45 ent
hält eine perspektivische Ansicht, die den magneti
schen Kopf nach einem sechsundzwanzigsten Ausfüh
rungsbeispiel darstellt, und Fig. 46 enthält eine
erläuternde Darstellung eines Schalterkreises zur
Verwendung beim sechsundzwanzigsten Ausführungsbei
spiel.
Eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips 104, von
denen jedes aus einem magnetischen Kern 101, einer
Spule 102 und einem magnetischen Spalt 103 zusammen
gesetzt ist, ist integral auf einem Substrat 100 ge
bildet. Weiterhin hat das Substrat 100 eine Stromver
sorgungsleitung 110 mit einer Erdleitung, einer posi
tiven Leitung und einer negativen Leitung, sowie
Schalterkreise 120, wobei die Stromversorgungsleitung
110 und die Schalterkreise 120 integral ausgebildet
sind, um den jeweiligen magnetischen Kopfchips 104 zu
entsprechen. Der Schalterkreis 120 weist gemäß Fig.
46 eine elektrischen Ein/Ausschaltvorrichtung 121 in
bezug auf die Spule 102, Signalleitungen 122 und 123
zum Übertragen/Empfangen von Signalen zu bzw. zu dem
benachbarten Schalterkreis, und eine Signalverarbei
tungsvorrichtung 124 zum Steuern des vorhergehenden
elektrischen Schaltvorganges auf. Die Signalverarbei
tungsvorrichtung 124 betätigt die elektrische Ein-/
Ausschaltvorrichtung 121 in Abhängigkeit von einem
bestimmten Signal, das über die Signalleitung 122 von
einem benachbarten Schalterkreis geliefert wird, und
überträgt auch ein bestimmtes Signal zu einem anderen
benachbarten Schalterkreis. Durch integrierte Ausbil
dung der vorgenannten Schaltkreise auf dem Substrat
100 kann die Anzahl der Verbindungsleitungen, die für
die Herstellung der Verbindungen zwischen dem magne
tischen Kopf und einer externen elektrischen Schal
tung benötigt werden, herabgesetzt werden, selbst
wenn eine große Anzahl von beispielsweise einigen
zehn oder mehr magnetischen Kopfchips 104 vorhanden
ist. Weiterhin kann der Elektrodenanschluß bei dieser
Struktur weggelassen werden, und daher können die
Abstände zwischen den magnetischen Kopfchips 104 ver
kürzt werden.
Die auf dem Substrat 100 gebildete Stromversorgungs
leitung 110 ist nicht auf die in Fig. 46 gezeigte
Struktur beschränkt, in der sie aus drei Leitungen
einschließlich der Jetleitung besteht. Beispielsweise
kann eine Struktur verwendet werden, bei der die
elektrische Ein/Ausschaltvorrichtung durch einen
Schalterkreis in Abhängigkeit von einem Ausgangssi
gnal von dem Stromversorgungsbereich betätigt wird
und welche eine Stromversorgungsleitung aus zwei Lei
tungen einschließlich der Erdleitung aufweist, um
eine gleiche Wirkung wie beim zwanzigsten Ausfüh
rungsbeispiel zu erhalten.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 10 wird nachfolgend beschrieben.
Fig. 47 enthält eine erläuternde Darstellung eines
Schalterkreises zur Verwendung in einem siebenund
zwanzigsten Ausführungsbeispiel.
Eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips 104, von
denen jedes aus dem magnetischen Kern 101, der Spule
102 und dem magnetischen Spalt 103 zusammengesetzt
ist, ist integral auf dem Substrat 100 ausgebildet.
Weiterhin weist das Substrat 100 die Stromversor
gungsleitung 110, eine Adressenleitung 111 und den
Schalterkreis 120 auf, die integral ausgebildet sind,
um den magnetischen Kopfchips 104 zu entsprechen. Der
Schalterkreis 120 weist gemäß Fig. 47 die elektrische
Ein/Ausschaltvorrichtung 121 und die Signalverarbei
tungsvorrichtung 124 auf. Die Signalverarbeitungsvor
richtung 124 dekodiert ein Signal auf der Adressen
leitung 111, um die elektrische Ein/Ausschaltvorrich
tung 121 zu betätigen, wenn das Ergebnis der Dekodie
rung einer vorbestimmten Adresse entspricht. Durch
integrale Ausbildung der vorgenannten Schaltkreise
auf dem Substrat 100 kann die Anzahl von Verbindungs
leitungen, die benötigt werden zur Herstellung der
Verbindung zwischen dem magnetischen Kopf und einer
(nicht gezeigten) externen elektrischen Schaltung,
herabgesetzt werden, selbst wenn eine große Anzahl
von beispielsweise einigen zehn oder mehr magneti
schen Kopfchips 104 vorgesehen ist. Weiterhin kann
der Elektrodenanschluß bei der Struktur weggelassen
werden, und daher können die Abstände zwischen den
magnetischen Kopfchips 104 verkürzt werden.
Die auf dem Substrat 100 gebildeten Schalterkreise
120 sind nicht beschränkt auf solche, die jeweils auf
den magnetischen Kopfchips 104 gebildet sind. Es kann
eine andere Struktur verwendet werden, bei der eine
Mehrzahl von elektrischen Ein/Ausschaltvorrichtungen
für einen Schalterkreis vorgesehen ist, und die An
zahl der Schalterkreise wird herabgesetzt, so daß sie
kleiner ist als die der magnetischen Kopfchips. Auch
in diesem Fall kann eine gleiche Wirkung wie bei den
vorhergehenden Ausführungsbeispielen 26 und 27 erhal
ten werden.
Ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
nach Anspruch 11 wird nun beschrieben. Fig. 48 ent
hält eine perspektivische Ansicht des magnetischen
Kopfes nach einem achtundzwangzigsten Ausführungsbei
spiel.
Eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips 104 mit je
weils dem magnetischen Kern 101, der Spule 102 und
dem magnetischen Spalt 103 ist integral auf einem
gemeinsamen Substrat 100 gebildet. Weiterhin sind auf
dem Substrat 100 Verstärkungsschaltungen 130 integral
ausgebildet, um den magnetischen Kopfchips 104 zu
entsprechen. Die Verstärkungsschaltung 130 verstärkt
ein Wiedergabesignal, das in der Spule 102 erzeugt
wird. Durch integrale Ausbildung der Verstärkungs
schaltung mit dem magnetischen Kopfchip kann die Län
ge der Signalleitung verkürzt werden. Daher kann der
Rauschabstand des Wiedergabesignals verbessert wer
den. Wenn der Frequenzbandbereich der von den jewei
ligen magnetischen Kopfchips 104 wiedergegebenen Si
gnale beträchtlich variiert, wenn ein Magnetkopf 105
beispielsweise ein Videosignal, ein Tonsignal und ein
Spursteuersignal oder dergleichen wiedergibt, ist ein
magnetischer Kopf 105 in der Lage, sämtliche der ge
nannten Signale wiederzugeben, indem die Frequenzei
genschaften der Verstärkungsschaltung jedes magneti
schen Kopfchips verändert werden, um dem Wiedergabe
signal zu entsprechen.
Das Verfahren zur Anordnung der Verstärkungsschaltun
gen 130 auf dem Substrat ist nicht auf das vorherge
hende Verfahren, bei dem die Verstärkungsschaltung
130 jeweils für die magnetischen Kopfchips 104 vor
gesehen ist, beschränkt. Beispielsweise kann die fol
gende Struktur verwendet werden: der Schalterkreis
und dergleichen gemäß dem achtundzwanzigsten Ausfüh
rungsbeispiel ist für jedes magnetische Kopfchip vor
gesehen; die Gruppe von magnetischen Kopfchips ist
Einheiten unterteilt, die jeweils angepaßt sind zur
Wiedergabe des Videosignals, des Tonsignals und des
Spursteuersignals; und es ist eine Verstärkungsschal
tung vorgesehen, um jedem der Frequenzbandbereiche
der von den jeweiligen Einheiten wiedergegebenen Si
gnale zu entsprechen. In diesem Fall kann eine glei
che Wirkung wie beim achtundzwanzigsten Ausführungs
beispiel erhalten werden, selbst wenn die Anzahl der
Verstärkungsschaltungen verringert wird. Daher können
die Herstellungskosten reduziert werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach den Ansprüchen 10 und 11 wird nachfolgend
beschrieben.
Bei den sechsundzwanzigsten bis achtundzwanzigsten
Ausführungsbeispielen wurden entweder die Versor
gungsleitung und die Schalterkreise oder die aus den
Signalverstärkungsschaltungen bestehende Gruppe inte
gral mit den mehreren magnetischen Kopfchips gebil
det, jedoch ist dieses Verfahren der integrierten
Ausbildung nicht hierauf beschränkt. Beispielsweise
können die Stromversorgungsleitung, die Schalterkrei
se und die Signalverstärkungsschaltungen sämtlich
gemeinsam auf den jeweiligen magnetischen Kopfchips
gebildet werden, um einen gleichen Effekt zu erhal
ten. In diesem Fall verfügt jedes der magnetischen
Kopfchips sowohl über Aufzeichnungs- als auch Wieder
gabefunktionen durch Auswahl der Stromversorgungslei
tung und der Schalterkreise zur Zeit des Aufzeich
nungsvorgangs und durch Auswahl der Signalverstär
kungsschaltungen zur Zeit des Wiedergabevorgangs.
Durch Vorsehen der elektrischen Ein/Ausschaltvorrich
tungen kann die Anzahl der Signalverstärkungsschal
tungen selbstverständlich herabgesetzt werden, so daß
sie niedriger ist als die der magnetischen Kopfchips.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 11 wird nun beschrieben. Fig. 49
enthält eine erläuternde Darstellung eines Schalter
kreises nach einem dreißigsten Ausführungsbeispiel.
Eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips 104 mit je
weils dem magnetischen Kern 101, der Spule 102 und
dem magnetischen Spalt 103 ist integral auf einem
gemeinsamen Substrat 100 gebildet. Weiterhin sind auf
dem Substrat 100 Verstärkungsschaltungen 130, die
Schalterkreise 120 entsprechend den jeweiligen magne
tischen Kopfchips 104 und Signalleitungen zur Her
stellung der Verbindungen zwischen den Verstärkungs
schaltungen 130 und den Schalterkreisen 120 integral
ausgebildet.
Die Verstärkungsschaltung 130 verstärkt ein in der
Spule 102 erzeugtes Wiedergabesignal. Der Schalter
kreis 120 umfaßt gemäß Fig. 49 die elektrische Ein-/
Ausschaltvorrichtung 121, Signalleitungen 122 und 123
zum Übertragen/Empfangen von Signalen zu bzw. von den
benachbarten Schalterkreisen, und eine Signalverar
beitungsvorrichtung 124. Die Signalverarbeitungsvor
richtung 124 betätigt die elektrischen Ein/Ausschalt
vorrichtung in Abhängigkeit von einem bestimmten Si
gnal, das von einem der benachbarten Schalterkreise
zugeführt wird, und überträgt ein bestimmtes Signal
zu einem anderen benachbarten Schalterkreis. Durch
integrale Ausbildung der vorgenannten Schaltkreise
auf dem Substrat 100 kann die Länge der Signalleitung
verkürzt und der Rauschabstand des Wiedergabesignals
kann verbessert werden. Da die Wiedergabesignale von
den jeweiligen Spulen 102 durch eine Verstärkungs
schaltung 130 verstärkt werden, können stabile Ver
stärkungseigenschaften erhalten werden im Vergleich
mit dem Fall, in welchem sie durch die mehreren Ver
stärkungsschaltungen verstärkt werden. Daher können
die Herstellungskosten verringert werden.
Es wird nun ein Ausführungsbeispiel eines magneti
schen Kopfes nach Anspruch 12 beschrieben. Fig. 50
enthält eine perspektivische Ansicht des magnetischen
Kopfes nach einem einunddreißigsten Ausführungsbei
spiel und Fig. 51A und 51B enthalten Diagramme, die
die Arbeitsweise des magnetischen Kopfes illustrie
ren.
Eine Mehrzahl von magnetischen Köpfen 104 mit jeweils
dem magnetischen Kern 101, der Spule 102 und dem ma
gnetischen Spalt 103 ist integral auf dem gemeinsamen
Substrat 100 gebildet. Weiterhin ist piezoelektri
sches Betätigungsglied 140 für das Substrat 100 vor
gesehen, dessen eines Ende räumlich festliegt. Ein
anderes Ende des Betätigungsglieds 140 ist am Sub
strat 100 befestigt. Das Betätigungsglied 140 ermög
licht eine Hin- und Herbewegung der magnetischen Köp
fe 105 in der Richtung, in der die Kopfchips angeord
net sind. Auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium
ist ein magnetisches Signal aufgezeichnet, das bei
spielsweise die in Fig. 51A gezeigte Form hat. Durch
die Operation der Spule 102 kann ein Wiedergabesignal
gemäß Fig. 51B erhalten werden. Da die Wiedergabe
spannung e ein differenzierter Wert der Zeit ist, ist
sie proportional zur Relativgeschwindigkeit zwischen
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium und dem magneti
schen Kopf. Daher erhöht eine Hin- und Herbewegung
mit hoher Geschwindigkeit des magnetischen Kopfes 105
in der Richtung, in der die Kopfchips angeordnet
sind, die Wiedergabespannung e, obgleich eine Modula
tion durch die Hin- und Herbewegung bewirkt wird.
Obgleich die Amplitude der Hin- und Herbewegung etwa
gleich der Magnetisierungsumkehrbreite q sein kann,
ist es allgemein schwierig, die Magnetisierungsum
kehrbreite zu bestimmen. Daher wird die Amplitude so
festgelegt, daß sie kürzer ist als die kürzeste Auf
zeichnungswellenlänge des magnetischen Signals. Ein
magnetischer Kopf des vorhergehenden Typs ist in der
Lage, ein Signal mit einem hohen Spannungspegel und
einem hohen Rauschabstand wiederzugeben. Es ist fest
zustellen, daß x in Fig. 51A die Richtung der Spur,
Mx die Magnetisierung des Mediums in der Richtung der
Spur, Mr die Remanenzmagnetisierung und a den Ab
stand, bei dem die Remanenzmagnetisierung des Mediums
halbiert ist, darstellen.
Die Vorrichtung zum Hin- und Herbewegen des Substrats
100 ist nicht auf das piezoelektrische Betätigungs
glied nach dem einunddreißigsten Ausführungsbeispiel
beschränkt. Es können beispielsweise ein magneto
striktives Betätigungsglied oder ein Schwingspulen-
Betätigungsglied verwendet werden, um einen gleichen
Effekt zu erzielen. Weiterhin ist die Positionsbezie
hung zwischen dem Substrat und dem Betätigungsglied
nicht auf die im einunddreißigsten Ausführungsbei
spiel gezeigte beschränkt.
Es wird nachfolgend ein anderes Ausführungsbeispiel
des magnetischen Kopfes nach den Ansprüchen 11 und 12
beschrieben.
Wenn das auf dem Substrat 100 gebildete magnetische
Kopfchip 104 einen magnetischen Widerstandseffekt
oder einen Locheffekt hat, kann eine gleiche Wirkung
wie beim siebzehnten Ausführungsbeispiel erhalten
werden.
Ein Ausführungsbeispiel des magnetischen Kopfes nach
Anspruch 13 wird nun beschrieben. Die Fig. 52 und
53 enthalten jeweils perspektivische Ansichten, die
den magnetischen Kopf nach einem dreiunddreißigsten
Ausführungsbeispiel von der rechten Seite und von der
Rückseite aus gesehen darstellen. Fig. 54 ist eine
perspektivische Ansicht, die die Beziehung zwischen
dem magnetischen Kopf und dem magnetischen Aufzeich
nungsmedium illustriert. Die Fig. 55 und 56 enthal
ten erläuternde Darstellungen, die die Arbeitsweise
illustrieren. Zum leichteren Verständnis der Struktur
ist ein magnetischer Kopf mit zehn Kanälen in jeder
Figur dargestellt, wobei die Anzahl der Kanäle jedoch
nicht auf zehn beschränkt ist.
Das Substrat hat eine Mehrzahl von magnetischen Kopf
chips 104 mit jeweils dem magnetischen Kern, der Spu
le und dem magnetischen Spalt, die integral ausgebil
det sind, so daß der magnetische Kopf 105 gebildet
wird. Die magnetischen Köpfe 105 sind an einem Kopf
rahmen 150 in der Weise befestigt, daß die magneti
schen Kopfchips 104 unter einem Winkel utr in bezug
auf die Richtung, in der das magnetische Aufzeich
nungsmedium bewegt wird, angeordnet sind. Weiterhin
wird der Kopfrahmen 150 elastisch von einem Stützrah
men 151 mittels ausgeschnittener Platten 151a, 151b
und einer festen Welle 152 getragen. Die feste Welle
152 dient als Mitte für die Drehung des magnetischen
Kopfes 105 und sie hat eine Mittelachse, die mit der
Mitte der Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeich
nungsmediums des magnetischen Kopfes 105 zusammen
fällt. Drehbare piezoelektrische Betätigungsglieder
140a und 140b sind zwischen den ausgeschnittenen
Platten 151a, 151b und der inneren Bodenfläche 153
des Stützrahmens angeordnet. Weiterhin ist die Boden
fläche des Stützrahmens 151 an einem (nicht gezeig
ten) festen Teil befestigt. Es ist festzustellen, daß
ein magnetisches Aufzeichnungsmedium 170 und der ma
gnetische Kopf 105 die in Fig. 54 gezeigte Beziehung
haben.
Wenn gegenphasige Spannungen an die Betätigungsglie
der 140a und 140b der vorgenannten Struktur angelegt
werden, werden die ausgeschnittenen Platten 151a und
151b elastische verformt. Als Folge hiervon wird der
magnetische Kopf 105 zusammen mit dem Kopfrahmen 150
im bzw. entgegen dem Uhrzeigersinn um die feste Welle
152 gedreht.
Es wird nachfolgend die Beziehung zwischen der Spur
und dem magnetischen Kopf und dann die Arbeitsweise
beschrieben. Zuerst wird die Beziehung zwischen der
Spur und dem magnetischen Kopf mit Bezug auf Fig. 55
beschrieben. Es ist festzustellen, daß der Ausdruck
"Spur" die Spur bedeutet, die von dem magnetischen
Kopfspalt 103 zur Zeit des Aufzeichnungsvorgangs auf
dem Aufzeichnungsmedium gezogen wird, und der Aus
druck "Spurbreite" bedeutet die Länge der Spur in der
Richtung der Breite des magnetischen Aufzeichnungs
mediums (für die folgenden Ausführungsbeispiele ver
wendet). In Fig. 55 ist eine Spur 171 auf imaginäre
Weise durch dünne Linien gezeigt, die Abstände ent
sprechend der Spurbreite aufweisen, und andere Ele
mente von Teilen mit Ausnahme des magnetischen Kopfes
sind von der Darstellung ausgenommen. Ausgezogene
Linien zeigen einen Zustand, bei dem ein ausgezeich
netes Wiedergabesignal enthalten werden kann und in
welchem der magnetische Spalt 103 jedes magnetischen
Kopfchips 104 der Mitte jeder Spur folgt. Wenn sich
jedoch die Raumtemperatur oder dergleichen gegenüber
der zur Zeit des Aufzeichnungsvorgangs ändert, findet
eine Wärmeausdehnung/-Zusammenziehung 2ΔWth in der
Richtung der Breite des magnetischen Aufzeichnungs
mediums 170 statt. Als Folge hiervon ändert sich in
unerwünschter Weise die Spurbreite, wie durch die
gestrichelten Linien dargestellt ist (Fig. 55 zeigt
den Fall, in dem die Breite vergrößert wird). Daher
wird ein Teil des Kopfchips 104 unvermeidbar über
einer verschiedenen Spur positioniert oder so posi
tioniert, daß es zwei Spuren überdeckt. In diesem
Fall kann ein zufriedenstellendes Wiedergabesignal
nicht erhalten werden. In diesem Ausführungsbeispiel
wird die vorbeschriebene Struktur verwendet, um den
magnetischen Kopf 105 zu drehen zur Veränderung der
Position jedes magnetischen Spaltes 103 in der Rich
tung der Breite des Aufzeichnungsmediums, so daß eine
vorbestimmte Spur durch den magnetischen Spalt 103
jedes magnetischen Kopfchips 104 verfolgt wird.
Die bestimmte Arbeitsweise wird nun ,beschrieben. Das
Wiedergabesignal wird zur Berechnung der Drehsteuer
größe Δξtr des magnetischen Kopfes verwendet. Ent
sprechend dem Ergebnis der Berechnung wird eine Span
nung an das Betätigungsglied 140 angelegt, um den
magnetischen Kopf 150 um die feste Welle 152 zu
schwenken.
Die Berechnung der Drehsteuergröße Δξtr des magneti
schen Kopfs wird beispielsweise mittels einer Steuer
spur 172, die an einem Ende des magnetischen Auf
zeichnungsmediums 170 aufgezeichnet ist, durchge
führt. Die Steuerspur 172 enthält ein aufgezeichnetes
Steuersignal mit einer Frequenz f1. Eines der mehre
ren auf dem Substrat 100 gebildeten magnetischen
Kopfchips 104 wird als Steuerspurwiedergabe-Kopfchip
104a verwendet. Wenn die Position jedes magnetischen
Spalts 103 mit der Position der Spur zusammenfällt,
wie in Fig. 56 gezeigt ist, kann ein Steuersignal mit
einem regulierten Signalpegel und der Frequenz f1 von
dem Steuerspurwiedergabe-Kopfchip 104a erhalten wer
den. Wenn sich die Spurbreite aufgrund einer Wärme
ausdehnung/-Zusammenziehung in der Breite des magne
tischen Aufzeichnungsmediums geändert hat, weicht die
Steuerspur 172, wie in Fig. 57 gezeigt ist, in der
Breitenrichtung von der Position des Steuerspurwie
dergabe-Kopfchips 104a ab, wodurch die Steuerspur 172
unerwünscht von einem anderen magnetischen Kopf wie
dergegeben wird. In diesem Ausführungsbeispiel werden
die Position des magnetischen Kopfchips, das die
Steuerspur 172 wiedergibt, und der vom magnetischen
Kopf 105 und der Spur gebildete Winkel utr zur Be
rechnung der Drehsteuergröße Δξtr des magnetischen
Kopfes verwendet. Die Position des magnetischen Kopf
chips, das die Steuerspur 172 wiedergibt, kann erhal
ten werden durch elektrische Identifizierung der Po
sition des magnetischen Kopfes, von welchem ein Wie
dergabesignal erhalten wird, das die auf der Steuer
spur aufgezeichnete Frequenz f1 hat.
Es wird angenommen, daß der Abstand zwischen dem ma
gnetischen Kopfchip, das die Steuerspur 172 wieder
gibt, und dem Steuerspurwiedergabe-Kopfchip 104a in
der Richtung, in der die magnetischen Kopfchips an
geordnet sind, gleich ΔL ist, und die Drehsteuergröße
Δξtr des magnetischen Kopfes 105 kann aus Fig. 57
geometrisch wie folgt erhalten werden (die dem
Zeichnungsblatt zugewandte Drehung entgegen dem Uhr
zeigersinn wird hier als positive Richtung angenom
men):
Δξtr = Arc sin {[(Lg + ΔL)/Lg]·sin utr] - utr,
worin utr ein durch die Richtung, in der die magneti
schen Kopfchips angeordnet sind, und die Längsrich
tung der Spur vor der Drehung des magnetischen Kopfes
gebildeter Winkel und Lg der Abstand von der Mitte
des magnetischen Kopfes 105 zum Steuerspurwiedergabe-
Kopfchip 104a sind.
Obwohl das dreiunddreißigste Ausführungsbeispiel an
hand des Falles beschrieben ist, daß die Änderung des
Spurwinkel aufgrund einer Wärmeausdehnung/-Zusammen
ziehung erfolgt, ergibt das vorgenannte Verfahren
eine gleiche Wirkung, wenn sich der Spurwinkel rela
tiv zum magnetischen Kopfaufgrund einer leichten und
starren Drehung des magnetischen Aufzeichnungsmediums
geändert hat.
Die Anzahl der magnetischen Köpfe 105 nach dem drei
unddreißigsten Ausführungsbeispiel, die am Kopfrahmen
150 befestigt sind, ist nicht auf eins begrenzt. Wenn
mehrere magnetische Köpfe 105 in der Richtung ange
ordnet sind, in der das magnetische Aufzeichnungsme
dium bewegt wird, kann eine gleiche Wirkung erzielt
werden, indem das Wiedergabesignal in einem Speicher
oder dergleichen gespeichert wird.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 13 wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt anhand von Fig. 58 hinsichtlich
der Merkmale, die gegenüber dem dreiunddreißigsten
Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind.
Die Positionsbeziehung zwischen dem Stützrahmen für
den Kopfrahmen 150 und dem Betätigungsglied ist nicht
auf diejenige im dreiundreißigsten Ausführungsbei
spiel beschränkt. Beispielsweise können piezoelektri
sche Betätigungsglieder 141a und 141b mit einer bi
morphen Struktur zur Erzielung der gleichen Wirkung
verwendet werden, wie in Fig. 58 gezeigt ist.
Ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
nach Anspruch 14 wird nachfolgend beschrieben. Fig.
59 enthält eine perspektivische Darstellung, die den
magnetischen Kopf nach einem fünfunddreißigsten Aus
führungsbeispiel darstellt. Die Fig. 60 und 61 ent
halten jeweils erläuternde Darstellungen, die die
Arbeitsweise des magnetischen Kopfes nach dem fünf
unddreißigsten Ausführungsbeispiel illustrieren. Die
ses Ausführungsbeispiel bezieht sich auf die Spurver
folgung, wenn die relative Positionsabweichung zwi
schen dem magnetischen Kopf und der Spur relativ
klein ist, so daß sie etwa einige zehn bis hundert mm
beträgt.
Zuerst wird die Struktur beschrieben. Eine Mehrzahl
von magnetischen Kopfchips mit jeweils einem magneti
schen Kern, einer Spule und einem magnetischen Spalt
ist integral mit dem Substrat ausgebildet, so daß der
magnetische Kopf 105 gebildet ist. Die magnetischen
Köpfe 105 sind an einem Kopfrahmen 150 in der Weise
befestigt, daß die magnetischen Kopfchips so angeord
net sind, daß sie einen Winkel utr in bezug auf die
Richtung, in der das magnetische Aufzeichnungsmedium
bewegt wird, bilden. Weiterhin wird der Kopfrahmen
150 elastisch von einem Stützrahmen 151 mittels der
ausgeschnittenen Platten 151a, 151b und einer festen
Welle 152 (entsprechend der in Fig. 53, jedoch hier
weggelassen) getragen. Die feste Welle 152 dient als
die Mitte der Drehung des magnetischen Kopfes 105 und
hat eine Mittelachse, die mit der Mitte der Gleitflä
che 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums des ma
gnetischen Kopfes 105 zusammenfällt. Piezoelektrische
Dreh-Betätigungsglieder 140a und 140b sind zwischen
den ausgeschnittenen Platten 151a, 151b und der inne
ren Bodenfläche 153 des Stützrahmens angeordnet. Wei
terhin befindet sich der Stützrahmen 151 in einer
linearen Führung 160. Lineare piezoelektrische Betä
tigungsglieder 142a und 142b für eine Feinbewegung
sind zwischen der inneren Bodenfläche der linearen
Führung 160 und der Bodenfläche des Stützrahmens 151
angeordnet. Wenn gegenphasige Spannungen an die Betä
tigungsglieder 140a und 140b angelegt werden, kann
der magnetische Kopf 105 zusammen mit dem Kopfrahmen
150 im/entgegen dem Uhrzeigersinn um die feste Welle
152 geschwenkt werden. Wenn gleichphasige Spannungen
an die linearen Betätigungsglieder 142a und 142b für
die Feinbewegung angelegt werden, kann der magneti
sche Kopf 105 zusammen mit dem Stützrahmen 151 in der
Breitenrichtung des magnetischen Aufzeichnungsmediums
versetzt werden.
Die Arbeitsweise der vorgenannten Struktur wird nach
folgend beschrieben. Das vierunddreißigste Ausfüh
rungsbeispiel ist so ausgebildet, daß die Transla
tionsabweichung des Aufzeichnungsmediums in dessen
Breitenrichtung zuerst verändert wird. Die Transla
tionsabweichung findet aufgrund der Tatsache statt,
daß das magnetische Aufzeichnungsmedium starr in der
Richtung seiner Breite abgewichen ist. Um die Trans
lationsabweichung zu modifizieren, wird die Transla
tionssteuergröße aus dem Wiedergabesignal des magne
tischen Aufzeichnungsmediums berechnet. Entsprechend
der berechneten Translationssteuergröße werden
gleichphasige Spannungen an die linearen Betätigungs
glieder 142a und 142b für Feinbewegung angelegt, um
zur Modifizierung der Translationsabweichung den ma
gnetischen Kopf 105 in der Breitenrichtung des magne
tischen Aufzeichnungsmediums zu versetzen. Dann wird
die Drehsteuergröße zur Modifizierung der Abweichung
zwischen der Position jedes magnetischen Spaltes 103
und der Position jeder Spur aus dem Wiedergabesignal
berechnet. Die Abweichung erfolgt aufgrund der durch
Wärmeausdehnung/-Zusammenziehung des magnetischen
Aufzeichnungsmediums bewirkten Änderung der Spurbrei
te. Entsprechend der berechneten Drehsteuergröße wer
den gleichphasige Spannungen jeweils an die Dreh-Be
tätigungsglieder 140a und 140b angelegt, um den ma
gnetischen Kopf 105 um die feste Welle 152 zu schwen
ken. Hierdurch wird erreicht, daß jeder magnetische
Spalt mit jeder Spur zusammenfällt. Als Folge dieses
Vorgangs kann der Spurfolgefehler verändert werden,
so daß ein zufriedenstellendes Wiedergabesignal er
halten wird.
Die Translationssteuergröße und die Drehsteuergröße
werden unter Verwendung von Steuerspuren 172a und
172b, die wie, in Fig. 60 gezeigt an den beiden Enden
des magnetischen Aufzeichnungsmediums angeordnet
sind, berechnet. In den Steuerspuren 172a und 172b
sind Steuersignale mit jeweils der Frequenz f1 aufge
zeichnet. Von den mehreren auf dem Substrat gebilde
ten magnetischen Kopfchips 104 sind zwei als Steuer
spurwiedergabe-Kopfchips ausgewählt. Wenn keine
Translationsabweichung stattfindet und jeder magneti
sche Spalt 103 mit jeder Spur zusammenfällt, können
Steuersignale mit einem regulierten Signalpegel und
der Frequenz f1 von den Steuerspurwiedergabe-Kopf
chips 104a und 104b erhalten werden. Wenn wie in Fig.
61 gezeigt die Translationsabweichung und die Ände
rung der Spurbreite stattfinden, werden die Steuer
spuren 172a und 172 vom magnetischen Kopfchip 104
wiedergegeben mit Ausnahme der Steuerspurwiedergabe-
Kopfchips 104a und 104b. In diesem Ausführungsbei
spiel wird der Abstand zwischen der Position des ma
gnetischen Kopfchips, das die Steuerspuren 172a und
172b wiedergegeben hat, und den Positionen der Steu
erspurwiedergabe-Kopfchips 104a und 104b zur Berech
nung der Translationssteuergröße und der Drehsteuer
größe verwendet. Die Position des magnetischen Kopf
chips, das die Steuerspur 172 wiedergibt, kann durch
elektrische Identifizierung der Position des magneti
schen Kopfes, von dem ein Wiedergabesignal mit der
auf der Steuerspur aufgezeichneten Frequenz f1 erhal
ten wird, erhalten werden.
Unter der Annahme, daß die Abstände vom magnetischen
Kopfchip, das jede Steuerspur 172a und 172b wiederge
geben hat, zu den nächsten Steuerspurwiedergabe-Kopf
chips gleich ΔLa und ΔLb sind, kann die Translations
steuergröße ΔWer nach der folgenden Gleichung berech
net werden (worin die dem Zeichnungsblatt zugewandte
Drehung entgegen dem Uhrzeigersinn als positive Rich
tung angesehen wird):
ΔWer = (ΔLa + ΔLb)/2.
Nachdem die Translationsabweichung modifiziert wurde,
kann die Drehsteuergröße Δξtr aus dem Abstand ΔLa′
zwischen dem magnetischen Kopfchip, das die Steuer
spur 172a wiedergegeben hat, und dem nächsten Steuer
spurwiedergabe-Kopfchip wie folgt berechnet werden:
Δξtr = Arc sin {[(Lg + ΔLa′)/Lg]· sin utr] - utr,
worin utr ein durch die Richtung, in der die magneti
schen Kopfchips angeordnet sind, und die Längsrich
tung der Spur, bevor der Magnetkopf gedreht wurde,
gebildeter Winkel und Lg den Abstand zwischen der
Mitte des magnetischen Kopfes 105 und dem Steuerspur
wiedergabe-Kopfchip 104a darstellen.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Fig. 14 wird nun beschrieben. Anhand der
Fig. 62 erfolgt die Beschreibung nur hinsichtlich
solcher Merkmale, die gegenüber dem fünfunddreißig
sten Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind. Ob
gleich das fünfunddreißigste Ausführungsbeispiel aus
gebildet ist zur Durchführung der Spurverfolgung für
den Fall, daß die relative Positionsabweichung zwi
schen dem magnetischen Kopf und der Spur des magneti
schen Aufzeichnungsmediums klein ist, ist dieses Aus
führungsbeispiel so ausgebildet, daß eine Spurverfol
gung in dem Fall durchgeführt wird, daß die relative
Positionsabweichung vergleichsweise groß ist, bei
spielsweise durch Verwendung eines welligen magneti
schen Aufzeichnungsmediums oder dergleichen.
Dieses Ausführungsbeispiel ist so ausgebildet, daß
ein lineares Betätigungsglied 143 für Grobbewegung
mit einer Schwingspule als ein Betätigungsglied für
translatorische Bewegung mit der Bodenfläche der li
nearen Führung 160 verbunden ist. Durch diese Struk
tur kann eine Spurverfolgung durchgeführt werden,
selbst wenn eine relativ große Positionsabweichung
zwischen dem magnetischen Kopf und der Spur des ma
gnetischen Aufzeichnungsmediums stattfindet. Es ist
festzustellen, daß das Bezugszeichen 161 in Fig. 62
eine Führung für die lineare Führung 160 darstellt.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 14 wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt nur insoweit, als sich unter
schiedliche Merkmale gegenüber dem fünfunddreißigsten
Ausführungsbeispiel in Fig. 59 ergeben.
Die Dreh-Betätigungsglieder 140a, 140b und die Betä
tigungsglieder 142a und 142b für eine Feinbewegung
sind nicht auf die Anordnung entsprechend dem in Fig.
59 gezeigten fünfunddreißigsten Ausführungsbeispiel,
in welchem sie einzeln angeordnet sind, beschränkt.
Beispielsweise kann eine Struktur verwendet werden,
bei der die feste Welle 152 weggelassen ist. In die
sem Fall ist das Dreh-Betätigungsglied auch in der
Lage, den magnetischen Kopf auch translatorisch zu
versetzen, und daher können die linearen Betätigungs
glieder 142a und 142b für eine Feinbewegung weggelas
sen werden. Wenn der magnetische Kopf der vorgenann
ten Struktur translatorisch versetzt wird, ist es
erforderlich, einfach die gleichphasigen Spannungen
an die beiden Dreh-Betätigungsglieder anzulegen. Wenn
die Drehung durchgeführt wird, ist es nur erforder
lich, den für die Translationsbewegung benötigten
Spannungen die gegenphasigen Spannungen zu überla
gern.
Es wird nun ein anderes Ausführungsbeispiel des ma
gnetischen Kopfes nach Anspruch 14 beschrieben. Die
Beschreibung nur hinsichtlich der Merkmale, die ge
genüber dem fünfunddreißigsten Ausführungsbeispiel
unterschiedlich sind.
Die Konfiguration des magnetischen Kopfes 105, der
Dreh-Betätigungsglieder 140a, 140b, der linearen Be
tätigungsglieder 142a, 142b für Feinbewegung und des
linearen Betätigungsgliedes 143 für Grobbewegung ist
nicht auf die in den Fig. 59 und 62 gezeigten fünf
unddreißigsten und sechsunddreißigsten Ausführungs
beispiele beschränkt. Obgleich die Strukturen in den
Fig. 59 und 62 so ausgebildet sind, daß das eine
lineare Betätigungsglied für Feinbewegung mit jeder
der beiden Seiten der Bodenfläche des Stützrahmens
151 verbunden ist, kann dieselbe Wirkung erhalten
werden, selbst wenn dasselbe in der Mitte angeordnet
ist.
Es wird nun ein anderes Ausführungsbeispiel des ma
gnetischen Kopfes nach den Ansprüchen 13 und 14 be
schrieben.
Das Dreh-Betätigungsglied und das lineare Betäti
gungsglied für Feinbewegung sind nicht auf solche
beschränkt, die vom piezoelektrischen Effekt Gebrauch
machen. Beispielsweise können magnetostriktive Betä
tigungsglieder oder photostriktive Betätigungsglieder
eingesetzt werden, um eine gleiche Wirkung zu erhal
ten.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach den Ansprüchen 13 und 14 wird nachfolgend
erläutert.
Die Anzahl der magnetischen Kopfeinheiten mit dem
magnetischen Kopf 105, dem Kopfrahmen 150 zur Befe
stigung des magnetischen Kopfes 105 und jedem Betäti
gungsglied ist nicht auf eins beschränkt. Beispiels
weise kann eine Struktur verwendet werden, bei der
mehrere magnetische Kopfeinheiten in der Richtung der
Breite des magnetischen Aufzeichnungsmediums angeord
net sind. In diesem Fall kann eine Aufzeichnung/Wie
dergabe von Daten auf eine bzw. von einer Mehrheit
von Spuren durchgeführt werden. Weiterhin kann die
Aufzeichnung/Wiedergabe von Daten auf bzw. von ver
schiedenen magnetischen Aufzeichnungsmedien durchge
führt werden.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel eines magne
tischen Kopfes nach Anspruch 15 mit Bezug auf Fig. 63
beschrieben.
Magnetische Köpfe 105a und 105b, die jeweils mehrere
auf einem Substrat gebildete magnetische Kopfchips
104 mit einem magnetischen Kern, einer Spule und ei
nem magnetischen Spalt aufweisen, sind an einem Zwei
spalten-Kopfrahmen 150 befestigt. Die die beiden
Spalten bildenden magnetischen Köpfe 105a und 105b
sind so am Kopfrahmen 150 befestigt, daß der durch
eine Richtung, in der die magnetischen Kopfchips 104
angeordnet sind, und eine Richtung, in der das magne
tische Aufzeichnungsmedium bewegt wird, gebildete
Winkel gleich utr ist. Die Länge l jedes der magneti
schen Köpfe 105a und 105b ist derart, daß die Länge
(l· sin utr), die erhalten wird durch Projektion der
Länge in der Richtung, in der die magnetischen Kopf
chips auf dem Substrat angeordnet sind, auf die Rich
tung der Breite des magnetischen Aufzeichnungsmediums
170, im wesentlichen gleich der halben Breite des
magnetischen Aufzeichnungsmediums 170 ist. Weiterhin
sind die jeweiligen magnetischen Kopfchips 104 in der
Richtung der Breite des magnetischen Aufzeichnungs
mediums 170 festgelegt, so daß sie sich in der Rich
tung, in der das magnetische Aufzeichnungsmedium 170
bewegt wird, nicht überdecken.
Durch Anordnung der magnetischen Köpfe 105 in der
vorbeschriebenen Weise kann die Breite W des Kopfrah
mens 150 im wesentlichen halbiert werden im Vergleich
mit dem Fall, bei dem ein magnetischer Kopf verwendet
wird. Weiterhin kann die Fläche, in der das magneti
sche Aufzeichnungsmedium 170 und der Kopfrahmen 150
gegeneinander gleiten, reduziert werden.
Obgleich das einundvierzigste Ausführungsbeispiel so
ausgebildet ist, daß zwei magnetische Köpfe 105a und
105b zur Bildung der Spalten in derselben Richtung
wie der Breitenrichtung des magnetischen Aufzeich
nungsmediums 170 verwendet werden, ist die Anzahl der
magnetischen Köpfe nicht hierauf beschränkt. Wenn
zwei oder mehr Spalten der magnetischen Köpfer 105
mit jeweils der Länge l vorgesehen sind, erzielt eine
Anordnung, bei der die Größe l·sin utr gleich (Breite
des magnetischen Aufzeichnungsmediums/Anzahl der
Kopfspalten) ist, eine gleiche Wirkung.
Ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
nach Anspruch 16 wird nun mit Bezug auf Fig. 64 be
schrieben.
Bei diesem Ausführungsbeispiel sind zwei magnetische
Köpfe 105a und 105b, die jeweils mehrere auf dem Sub
strat gebildete magnetische Kopfchips 104 mit jeweils
einem magnetischen Kern, einer Spule und einem magne
tischen Spalt aufweisen, an dem Kopfrahmen 150 befe
stigt. Die beiden magnetischen Köpfe 105a und 105b
sind in der Weise ausgebildet, daß der magnetische
Spalt jedes ihrer magnetischen Kopfchips denselben
Azimuthwinkel ua aufweist. Die beiden magnetischen
Köpfe 105a und 105b sind in dem Kopfrahmen 150 so
angeordnet, daß ihre magnetischen Kopfchips 104 in
der Richtung, in der das magnetische Aufzeichnungs
medium bewegt wird, einander nicht überdecken. Unter
der Annahme, daß ein benötigter Azimuthwinkel gleich
u ist, sind die magnetischen Köpfe 105a und 105b in
der Weise befestigt, daß die Richtungen, in welchen
ihre magnetischen Kopfchips 104 jeweils angeordnet
sind, Winkel {90° - (u+ua)} und {90° - (u+ua)}
gegenüber der Richtung der Spur bilden. Durch diese
Struktur können wesentliche Azimuthwinkel von ±u
erhalten werden. Wie beschrieben ist, ist dieses Aus
führungsbeispiel so ausgebildet, daß ein gewünschter
Azimuthwinkel dadurch realisiert wird, daß die Rich
tungen, in denen die magnetischen Köpfe 105a und 105b
mit demselben Azimuthwinkel angeordnet sind, geändert
werden. Daher besteht nicht die Notwendigkeit der
Änderung der Azimuthwinkel der jeweiligen magneti
schen Spalte, so daß der magnetische Kopf leicht her
gestellt werden kann.
Ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
nach Anspruch 17 wird nun beschrieben. Fig. 65 ent
hält eine perspektivische Ansicht, die den magneti
schen Kopf nach dem dreiundvierzigsten Ausführungs
beispiel darstellt, und Fig. 66 enthält eine perspek
tivische Ansicht, die einen wesentlichen Teil des
magnetischen Kopfes darstellt.
Eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips 104 mit dem
magnetischen Kern 101, der Spule 102 und dem magneti
schen Spalt 103 ist integriert auf dem Substrat aus
gebildet, so daß der magnetische Kopf 105 gebildet
wird. Die Gestalt des magnetischen Kopfes auf der an
die Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsme
diums angrenzenden Seite ist derart, daß sie eine
gekrümmte Oberflächen (in diesem Beispiel ein kreis
förmiger Bogen) in der Richtung, in der die magneti
schen Kopfchips 104 angeordnet sind, aufweist. Wei
terhin ist die gekrümmte Oberfläche dem magnetischen
Aufzeichnungsmedium zugewandt. Zusätzlich sind die
magnetischen Kopfchips 104 radial entlang der Gleit
fläche des Aufzeichnungsmediums auf dem Substrat 100
gebildet, derart, daß die Richtung, in welche jede
ihrer Spulen gewunden ist (durch einen Pfeil a ange
zeigt) mit der Richtung der Normallinie des vorge
nannten kreisförmigen Bogens (durch einen Pfeil R
angezeigt) zusammenfällt. Der magnetische Kopf 105
ist so am Kopfrahmen 150 befestigt, daß die Richtung,
in der die magnetischen Kopfchips 104 angeordnet
sind, einen Winkel utr gegenüber der Richtung, in der
das magnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird, bil
det. Weiterhin hat eine Gleitfläche 154 des magneti
schen Kopfrahmens 150 auf dem magnetischen Aufzeich
nungsmedium im wesentlichen die gleiche Krümmung wie
die der Gleitfläche des magnetischen Kopfes 105 auf
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium.
Durch Ausbilden der Gleitfläche auf dem magnetischen
Aufzeichnungsmedium als konvex gekrümmte Oberfläche
kann ein zufriedender Kontaktzustand mit dem magneti
schen Aufzeichnungsmedium realisiert werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach Anspruch 17 wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt anhand von Fig. 67 und bezieht
sich nur auf solche Merkmale, die gegenüber dem drei
undvierzigsten Ausführungsbeispiel unterschiedlich
sind.
Die Ausbildung der magnetischen Kopfchips 104 auf dem
Substrat 100 ist nicht auf die des dreiundvierzigsten
Ausführungsbeispiels beschränkt. In diesem Ausfüh
rungsbeispiel sind die magnetischen Kopfchips 104
abgestuft entlang des kreisförmigen Bogens der Gleit
fläche 91 auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium in
der Weise angeordnet, daß die Windungsrichtungen der
Spulen 102 der jeweiligen magnetischen Kopfchips 104
parallel zueinander sind. Auch in diesem Fall kann
ein gleicher Effekt wie beim dreiundvierzigsten Aus
führungsbeispiel erhalten werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes nach den Ansprüche 10 bis 17 wird nun beschrie
ben.
Die Spule des magnetischen Kopfchips ist nicht auf
die in den vorhergehenden Ausführungsbeispielen ver
wendete wendelförmige Spule beschränkt. Es kann bei
spielsweise eine magnetische Kopfchipanordnung mit
einer spiralförmigen Spule verwendet werden, um eine
gleiche Wirkung wie bei jedem der vorhergehenden Aus
führungsbeispiele zu erhalten.
Wie vorbeschrieben ist, umfaßt die magnetische Struk
tur nach Anspruch 1 das Substrat mit der nutenförmi
gen Ausnehmung mit schrägen Seitenflächen, wobei sich
auf dem Substrat befinden: den ersten leitenden
Durchgang bestehend aus der Mehrzahl der parallelen
und leitenden Durchgänge, die auf den beiden Seiten
flächen und der Bodenfläche der Ausnehmung gebildet
sind; die erste isolierende Schicht, die auf dem er
sten leitenden Durchgang und dem Substrat angeordnet
ist; den magnetischen Kern aus dem magnetischem Mate
rial, das in der Ausnehmung eingeschlossen ist; die
zweite isolierende Schicht auf dem magnetischen Kern;
und den zweiten leitenden Durchgang, der auf der
zweiten isolierenden Schicht gebildet ist zum aufein
anderfolgenden Verbinden der Enden des ersten leiten
den Durchgangs zur Bildung der wendelförmigen Spule.
Daher kann die Anzahl von Windungen der Spule erhöht
werden, während die Notwendigkeit der Vergrößerung
der Spurintervalle eliminiert wird. Als Folge hiervon
kann die Spule leicht hergestellt werden, selbst wenn
der magnetische Kern dicker ausgebildet wird. Weiter
hin können eine Mehrzahl von wendelförmigen Spulen
mit derselben oder einer unterschiedlichen Anzahl von
Windungen auf dem gemeinsamen magnetischen Kern ge
bildet werden.
Die magnetische Struktur nach Anspruch 2 umfaßt das
Substrat mit der Mehrzahl von gratförmigen Vorsprün
gen mit jeweils schrägen Seitenflächen, wobei sich
auf dem Substrat befinden: der erste leitende Durch
gang bestehend aus der Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, von denen jeder auf den ein
ander gegenüberliegenden schrägen Flächen der benach
barten Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen
den schrägen Flächen gebildet ist; die erste isolie
rende Schicht auf dem ersten leitenden Durchgang mit
dem Substrat; den magnetischen Kern aus dem magneti
schen Material, das in der durch die benachbarten
Vorsprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenförmi
gen Ausnehmung eingeschlossen ist; die zweite isolie
rende Schicht auf dem magnetischen Kern; und der
zweite leitende Durchgang, der auf der zweiten iso
lierenden Schicht gebildet ist, um aufeinanderfolgend
die Enden des ersten leitenden Durchgangs zu verbin
den zur Bildung der wendelförmigen Spule, worin der
magnetische Kern durch den Vorsprung getrennt ist, so
daß die mehreren Spulen integral auf demselben Sub
strat gebildet werden. Daher können die magnetischen
Kerne der vielfältigen magnetischen Struktur sicher
durch die auf dem Substrat gebildeten Vorsprünge ge
trennt werden. Da die Spulen durch den Gebrauch
schräger Oberflächen der Vorsprünge gebildet werden,
können die wendelförmigen Spulen sicher auf dem dic
ken magnetischen Kern gebildet werden. Da die magne
tischen Strukturen genau und integral auf demselben
Substrat gebildet werden können, können magnetische
Strukturen mit gleichförmigen Eigenschaften herge
stellt werden. Die Anzahl von Wicklungen der Spule
kann erhöht werden und die Spulen können selbst dann
gebildet werden, wenn der magnetische Kern dick ist.
Weiterhin kann eine Mehrzahl von magnetischen Struk
turen dicht angeordnet werden, während ein Überspre
chen verhindert wird.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 3 umfaßt: das Sub
strat, auf welchem die Mehrzahl von gratförmigen Vor
sprüngen mit jeweils den schrägen Seitenflächen und
den unterschiedlichen Längen zumindest in solcher
Weise angeordnet sind, daß die längeren Vorsprünge
auf den beiden Seiten jedes kurzen Vorsprungs ange
ordnet sind; den ersten leitenden Durchgang, der aus
der Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen
besteht, von denen jeder auf den einander gegenüber
liegenden schrägen Oberflächen des benachbarten kur
zen Vorsprungs und des langen Vorsprungs und auf der
Bodenfläche zwischen den schrägen Oberflächen gebil
det ist; die erste isolierende Schicht auf dem ersten
leitenden Durchgang und dem Substrat; den magneti
schen Kern aus dem magnetischen Material, das in ei
ner von den benachbarten Vorsprüngen und der Boden
fläche gebildeten nutenförmigen Ausnehmung einge
schlossen ist; den aus dem magnetischen Material her
gestellten magnetischen Spalt, der in dem magneti
schen Kern auf der der Gleitfläche des magnetischen
Aufzeichnungsmediums benachbarten Seite ausgebildet
ist; die zweite isolierende Schicht auf dem magneti
schen Kern; und den zweiten leitenden Durchgang, der
auf der zweiten isolierenden Schicht gebildet ist zur
aufeinanderfolgenden Verbindung der Enden des ersten
leitenden Durchgangs für die Umbildung des auf den
beiden Seiten des kurzen Vorsprungs gebildeten ersten
leitenden Durchgangs in die eine wendelförmige Spule,
worin der magnetische Kern durch die langen Vorsprün
ge getrennt ist, so daß die Mehrzahl der magnetischen
Kopfchips integral auf demselben Substrat gebildet
wird. Daher können Spulen vom Reihenparallelwick
lungs-Typ gebildet werden, während eine Vergrößerung
von Intervallen verhindert wird, und die Spulen kön
nen selbst gebildet werden, wenn der magnetische Kern
dicker ausgeführt wird. Da die Spulen für eine Mehr
zahl von Kanälen integral gebildet werden, kann die
relative Position zwischen den jeweiligen magneti
schen Spalten auf einfache Weise genau erhalten wer
den.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 4 umfaßt: das Sub
strat mit der Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen
mit jeweils schrägen Seitenflächen; den ersten lei
tenden Durchgang bestehend aus der Mehrzahl der
parallelen und leitenden Durchgänge, von denen jeder
auf den einander gegenüberliegenden schrägen Oberflä
chen der benachbarten Vorsprünge und der Bodenfläche
zwischen den schrägen Oberflächen gebildet ist; die
erste isolierende Schicht auf dem ersten leitenden
Durchgang und dem Substrat; den ersten magnetischen
Kern aus dem magnetischen Material, das in der von
den benachbarten Vorsprüngen und der Bodenfläche ge
bildeten nutenförmigen Ausnehmung eingeschlossen ist;
den zweiten leitenden Durchgang, der auf dem ersten
magnetischen Kern gebildet ist, während die zweite
isolierende Schicht dazwischenliegt, um aufeinander
folgend die Enden des ersten leitenden Durchgangs zur
Bildung der wendelförmigen Spulen zu verbinden; die
nichtmagnetische isolierende Schicht auf dem ersten
magnetischen Kern auf der der Gleitfläche des magne
tischen Aufzeichnungsmediums benachbarten Seite und
auf dem zweiten leitenden Durchgang zur Bildung des
magnetischen Spaltes; den dritten leitenden Durchgang
bestehend aus der Mehrzahl der parallelen und leiten
den Durchgänge, die auf der nichtmagnetischen isolie
renden Schicht gebildet sind; die dritte isolierende
Schicht auf dem dritten leitenden Durchgang; den
zweiten magnetischen Kern aus dem magnetischen Mate
rial, der so geschichtet ist, daß er die gratförmigen
Vorsprünge mit den jeweils schrägen Oberflächen auf
der nichtmagnetischen isolierenden Schicht und der
dritten isolierenden Schicht bildet; die vierte iso
lierende Schicht, die auf den beiden Seitenflächen
und der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns
gebildet ist; und den vierten leitenden Durchgang,
der auf der vierten isolierenden Schicht angeordnet
ist zur Bildung der wendelförmigen Spulen durch auf
einanderfolgendes Verbinden der Enden des dritten
leitenden Durchgangs, worin die Mehrzahl der magneti
schen Kopfchips integral gebildet wird. Daher kann
ein magnetischer Kopf vorgesehen werden, dessen Win
dungszahl leicht erhöht werden kann, in welchem die
Intervalle beträchtlich verkürzt werden können, und
der eine genaue Länge des magnetischen Spalts und
eine genauere relative Position wiedergibt.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 5 umfaßt: das Sub
strat mit der Mehrzahl der gratförmigen Vorsprünge
mit den jeweils schrägen Seitenflächen an im wesent
lichen denselben Positionen auf seiner oberen und
seiner unteren Oberfläche, wobei das Substrat die
Bodenflächen hat, von denen jede zwischen den benach
barten Vorsprüngen angeordnet ist, deren Länge kürzer
ist als die des Vorsprungs, und die jeweils Endflä
chen aufweisen, die von den Endflächen des Vorsprungs
zurücktreten; den auf der oberen Fläche des Substrats
gebildeten ersten leitenden Durchgang und den auf der
unteren Oberfläche desselben gebildeten dritten lei
tenden Durchgang, wobei der erste leitende Durchgang
und der dritte leitende Durchgang jeweils auf den
einander zugewandten schrägen Flächen der benachbar
ten Vorsprünge angeordnet sind, die auf der oberen
Fläche und der unteren Fläche und der Bodenfläche
zwischen den schrägen Flächen gebildet und aus der
Mehrzahl der parallelen und leitenden Durchgänge zu
sammengesetzt sind; die erste isolierende Schicht auf
dem ersten leitenden Durchgang; die dritte isolieren
de Schicht auf dem dritten leitenden Durchgang; den
auf der oberen Fläche gebildeten ersten magnetischen
Kern und den auf der unteren Fläche gebildeten zwei
ten magnetischen Kern, wobei der erste magnetische
Kern und der zweite magnetische Kern aus dem magneti
schen Material hergestellt sind, das von den oberen
Flächen der ersten und der dritten isolierenden
Schicht zu den beiden Endflächen des Vorsprungs, der
über die beiden Endflächen der Bodenfläche vorsteht,
eingeschlossen ist; den magnetischen Spalt aus nicht
magnetischem Material, der auf der der Gleitfläche
des magnetischen Aufzeichnungsmediums benachbarten
Seite auf dem magnetischen Kern gebildet ist; die
zweite und die vierte isolierende Schicht, die je
weils auf den ersten und den zweiten magnetischen
Kern geschichtet sind, den zweiten leitenden Durch
gang, der auf der zweiten isolierenden Schicht ge
bildet ist, um aufeinanderfolgend die Enden des er
sten leitenden Durchgangs zur Bildung der wendelför
migen Spule zu verbinden; und den auf der unteren
Fläche der vierten isolierenden Schicht gebildeten
vierten leitenden Durchgang zur aufeinanderfolgenden
Verbindung der Enden des dritten leitenden Durchgangs
zur Bildung der wendelförmigen Spule, worin die Mehr
zahl von magnetischen Kopfchips integral gebildet
wird. Daher ermöglicht die Anordnung der Spulen auf
der oberen Fläche des Substrats sowie auf der unteren
Fläche desselben, daß der Abstand zwischen Spulen des
magnetischen Kopfes für die mehreren Kanäle verlän
gert werden kann. Daher kann der gegenseitige Einfluß
der Spulen beträchtlich eliminiert werden. Weiterhin
kann ein magnetischer Kopf vorgesehen werden, dessen
Windungsanzahl auf einfache Weise erhöht werden kann,
in welchem die Intervalle beträchtlich verkürzt wer
den können, und der eine genaue Länge des magneti
schen Spaltes und eine genauere relative Position
wiedergibt.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 6 umfaßt den zwei
ten magnetischen Kern aus dem magnetischen Material
der auf dem ersten und zweiten leitenden Durchgang
gemäß Anspruch 2 gebildet ist, während die nichtma
gnetische isolierende Schicht zur Bildung des magne
tischen Spaltes dazwischentritt, worin die Mehrzahl
der magnetischen Kopfchips integral auf demselben
Substrat gebildet wird. Daher sind magnetische Köpfe
für die mehreren Kanäle in einer Entspur-Struktur
gebildet, in welcher ein erregender Magnetpol und ein
zu erregender Magnetpol angeordnet sind, während die
Einfügung des magnetischen Spaltes leicht durchge
führt werden kann. Insbesondere können Mehrkanal-Ma
gnetköpfe vorgesehen werden, die für einen vertikalen
magnetischen Aufzeichnungsvorgang geeignet sind.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 7 und nach einem
der Ansprüche 1 bis 6 hat eine solche Anordnung, daß
der erste leitende Durchgang von der Bodenfläche der
nutenförmigen Ausnehmung zu den beiden Seitenflächen
und der oberen Fläche derselben gebildet ist. Daher
kann die Zulässigkeit des Positionsfehlers des Kon
taktlochs zur Zeit der Bildung der den Magnetkern
umgebenden wendelförmigen Spule vergrößert werden,
wodurch bewirkt wird, daß die Zuverlässigkeit erhöht
und die Herstellungskosten verringert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 8 und einem der
Ansprüche 1 bis 6 weist die Anordnung auf, daß der
erste leitende Durchgang von der Ausnehmung, die auf
der oberen Fläche der nutenförmigen Ausnehmung gebil
det ist, zu den beiden Seitenflächen und der oberen
Oberfläche derselben gebildet ist. Daher kann die
Zulässigkeit des Positionsfehlers des Kontaktlochs
zur Zeit der Bildung der den Magnetkern umgebenden
wendelförmigen Spule vergrößert werden, wodurch be
wirkt wird, daß die Zuverlässigkeit erhöht und die
Herstellungskosten gesenkt werden. Weiterhin können
die auf der oberen Fläche des Substrats gebildeten
leitenden Durchgänge sicher voneinander getrennt wer
den, und daher kann die Isolierung aufrechterhalten
werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 9 und einem der
Ansprüche 1 bis 8 hat die Anordnung, daß der erste
leitende Durchgang wenigstens in dem Nutenbereich
gebildet ist, der von der Bodenfläche zu den Seiten
flächen der nutenförmigen Ausnehmung gebildet ist.
Daher kann der magnetische Kern gebildet werden, wäh
rend die Bildung von Vorsprüngen und Löchern verhin
dert wird, und demgemäß kann ein magnetischer Kern
mit einem ausgezeichneten magnetischen Wirkungsgrad
erhalten werden. Weiterhin kann die Isolierung zwi
schen den le 07742 00070 552 001000280000000200012000285910763100040 0002004336417 00004 07623itenden Durchgängen, die durch den Nuten
bereich in der Ausnehmung gebildet sind, aufrechter
halten werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 10 umfaßt auf dem
gemeinsamen Substrat hiervon die Mehrzahl der magne
tischen Kopfchips mit jeweils dem magnetischen Kern,
der Spule und dem magnetischen Spalt, worin die
Stromversorgungsleitung, die Vorrichtung zur Herstel
lung der elektrischen Verbindungen zwischen der
Stromversorgungsleitung und jeder Spule der magneti
schen Kopfchips und die Vorrichtung zur Steuerung der
elektrischen Verbindungen integral mit dem Substrat
ausgebildet sind. Daher kann die Anzahl der Verbin
dungen zwischen den Spulen der magnetischen Kopfchips
und einer externen elektrischen Schaltung beträcht
lich herabgesetzt werden. Weiterhin können die Elek
trodenanschlüsse zur Verbindung der Spulen und der
externen elektrischen Schaltung weggelassen werden.
Daher kann die Spurteilung verkürzt werden, die Auf
zeichnungsdichte kann erhöht werden und die Zuverläs
sigkeit kann verbessert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 11 weist die Mehr
zahl der magnetischen Kopfchips auf dem gemeinsamen
Substrat hiervon auf und umfaßt die Wiedergabesignal-
Verstärkungsschaltung, die integral mit dem Substrat
ausgebildet ist. Daher kann der Rauschabstand des
Wiedergabesignals verbessert werden und die Anzahl
der Verbindungen zwischen den Spulen der magnetischen
Kopfchips und einer externen elektrischen Schaltung
kann beträchtlich herabgesetzt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 12 hat auf dem
Substrat von diesem die Mehrzahl der magnetischen
Kopfchips mit jeweils der Spule, wobei der magneti
sche Kopf umfaßt: die Vorrichtung zum Hin- und Herbe
wegen des Substrats in der Richtung, in der die Kopf
chips angeordnet sind, worin das Substrat mit der
Amplitude, die kürzer als die kürzeste Aufzeichnungs
wellenlänge des magnetischen Aufzeichnungsmediums
ist, sowie mit der Geschwindigkeit, die genügend hö
her als die Geschwindigkeit ist, mit der das magneti
sche Aufzeichnungsmedium bewegt wird, so daß das auf
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnete
Signal wiedergegeben wird, in der Richtung hin- und
herbewegt wird, in der die Kopfchips angeordnet sind.
Daher kann ein Wiedergabesignal mit einem ausreichend
hohen Spannungspegel erhalten werden, selbst wenn die
Anzahl der Windungen der Spule zu klein ist und
selbst wenn die Relativgeschwindigkeit zwischen dem
Aufzeichnungsmedium und dem magnetischen Kopf nicht
zufriedenstellend ist. Weiter kann die Größe des Be
tätigungsglieds, das in der Vorrichtung zur Hin- und
Herbewegung erforderlich ist, reduziert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 13 weist die Mehr
zahl der auf dem gemeinsamen Substrat von diesem ge
bildeten magnetischen Kopfchips auf und umfaßt: die
Vorrichtung, die bewirkt, daß die Richtung, in der
die magnetischen Kopfchips auf dem Substrat angeord
net sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in
der das magnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird;
und die Vorrichtung zum Drehen des Substrats um die
zur Aufzeichnungsfläche senkrechte Achse, worin das
Substrat durch diese Vorrichtung gedreht wird, um das
auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeich
nete Signal wiederzugeben, während der magnetische
Spalt von wenigstens einem magnetischen Kopfchip mit
jeder Spur des magnetischen Aufzeichnungsmediums zu
sammenfällt. Daher kann die Wiedergabe durchgeführt
werden, während ein Einfluß der Änderung der Spur
breite aufgrund einer Ausdehnung/Zusammenziehung der
Breite des Bandes, die durch eine Änderung der Tempe
ratur bewirkt wird, und der Einfluß der Änderung des
Spurwinkels eliminiert werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 14 weist die auf
dem gemeinsamen Substrat hiervon gebildete Mehrzahl
von magnetischen Kopfchips auf und umfaßt: die Vor
richtung, die bewirkt, daß die Richtung in der die
magnetischen Kopfchips auf dem Substrat angeordnet
sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in der
das magnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird; die
Vorrichtung zum Drehen des Substrats um die zur Auf
zeichnungsfläche senkrechte Achse; und die Vorrich
tung zum Versetzen des Substrats in der Richtung der
Breite des magnetischen Aufzeichnungsmediums, worin
das Substrat durch diese Vorrichtungen versetzt und
gedreht wird, um das auf dem magnetischen Aufzeich
nungsmedium aufgezeichnete Signal wiederzugeben, wäh
rend der magnetische Spalt von wenigstens einem ma
gnetischen Kopfchip mit der Richtung jeder Spur auf
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium zusammenfällt.
Daher kann die Wiedergabe durchgeführt werden, wäh
rend der Einfluß der Änderung der Spurbreite aufgrund
einer durch Temperaturänderungen bewirkten Ausdeh
nung/Zusammenziehung der Breite des Bandes und der
Einfluß der Änderung des Spurwinkels eliminiert wer
den. Selbst wenn eine Abweichung in der Richtung der
Breite des magnetischen Aufzeichnungsmediums in der
Positionsbeziehung zwischen dem magnetischen Auf
zeichnungsmedium und dem magnetischen Kopf stattfin
det, kann diese weiterhin abgeschwächt werden und die
Wiedergabe kann durchgeführt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 15 der Erfindung
umfaßt: die Mehrzahl von auf dem gemeinsamen Substrat
hiervon gebildeten magnetischen Kopfchips, worin die
Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem
Substrat angeordnet sind, diagonal in bezug auf die
Richtung, in der das magnetische Aufzeichnungsmedium
bewegt wird, ist und die Mehrzahl der Substrate in
der Richtung der Breite des magnetischen Aufzeich
nungsmediums angeordnet ist, wobei das Substrat in
der Richtung, in der die magnetischen Kopfchips an
geordnet sind, eine kürzere Länge hat als die Breite
des Aufzeichnungsmediums beträgt wenn die Länge auf
die Richtung der Breite des magnetischen Aufzeich
nungsmediums projiziert wird. Daher kann die Länge
des magnetischen Kopfes in der Richtung, in der das
magnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird, verkürzt
werden, die Kontaktfläche kann verringert werden und
der Bewegungswiderstand des magnetischen Aufzeich
nungsmediums kann herabgesetzt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 16 umfaßt: die
Mehrzahl der auf dem gemeinsamen Substrat gebildeten
magnetischen Kopfchips, worin die Mehrzahl der Sub
strate, auf denen alle magnetischen Spalte der magne
tischen Kopfchips den gleichen Winkel aufweisen, in
der Richtung angeordnet sind, in der das magnetische
Aufzeichnungsmedium bewegt wird, und die Substrate
sind in der Weise angeordnet, daß wenigstens die zwei
Winkel durch Richtungen, in denen die magnetischen
Kopfchips aus der Richtung, in der das magnetische
Aufzeichnungsmedium bewegt wird, angeordnet sind,
gebildet werden, so daß zumindest die beiden Azimuth
winkel entstehen. Daher kann der magnetische Kopf
leicht mit einem gewünschten Azimuthwinkel versehen
und auf einfache Weise hergestellt werden.
Der magnetische Kopf nach Anspruch 17 umfaßt: die
Mehrzahl der auf dem gemeinsamen Substrat hiervon
gebildeten magnetischen Kopfchips, worin die Gestalt
des Substrats auf der der Gleitfläche des magneti
schen Aufzeichnungsmediums benachbarten Seite die
gekrümmte Oberfläche in der Richtung hat, in der die
magnetischen Kopfchips angeordnet sind, und worin die
gekrümmte Oberfläche zum magnetischen Aufzeichnungs
medium hin vorsteht. Daher kann ein ausgezeichneter
Kontakt des magnetischen Aufzeichnungsmediums in be
zug auf den magnetischen Kopf realisiert werden.
Claims (17)
1. Magnetische Struktur mit einem Substrat (1) mit
einer schräge Seitenflächen (11a, 11b) aufweisen
den nutenförmigen Ausnehmung (11),
dadurch gekennzeichnet,
daß sich auf dem Substrat (1) befinden:
ein erster leitender Durchgang (21), bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflächen (11a, 11b) und der Bodenfläche (11c) der Ausneh mung (11) gebildet sind,
eine erste isolierende Schicht (41), die auf dem ersten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1) angeordnet ist,
ein magnetischer Kern (31) aus magnetischem Ma terial, der in der Ausnehmung (11) eingeschlos sen ist,
eine zweite isolierende Schicht (42) auf dem magnetischen Kern (31), und
ein zweiter leitender Durchgang (22), der auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildet ist zum aufeinanderfolgenden Verbinden von Enden (21a) des ersten leitenden Durchgangs (21) zur Bildung einer wendelförmigen Spule (25, 26).
daß sich auf dem Substrat (1) befinden:
ein erster leitender Durchgang (21), bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflächen (11a, 11b) und der Bodenfläche (11c) der Ausneh mung (11) gebildet sind,
eine erste isolierende Schicht (41), die auf dem ersten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1) angeordnet ist,
ein magnetischer Kern (31) aus magnetischem Ma terial, der in der Ausnehmung (11) eingeschlos sen ist,
eine zweite isolierende Schicht (42) auf dem magnetischen Kern (31), und
ein zweiter leitender Durchgang (22), der auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildet ist zum aufeinanderfolgenden Verbinden von Enden (21a) des ersten leitenden Durchgangs (21) zur Bildung einer wendelförmigen Spule (25, 26).
2. Magnetische Struktur mit einem Substrat (1) mit
einer Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen
(12), die jeweils schräge Seitenflächen
(11a, 11b) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß
sich auf dem Substrat (1) befinden:
ein erster leitender Durchgang (21) bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen (11a, 11b) benachbarter Vorsprünge (12) und auf der Bodenfläche (11c) zwischen den schrägen Flächen (11a, 11b) gebildet ist,
eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1),
ein magnetischer Kern (31) aus magnetischem Ma terial, der in einer von den benachbarten Vor sprüngen (12) und der Bodenfläche (11c) gebilde ten nutenförmigen Ausnehmung (11) eingeschlossen ist,
eine auf dem magnetischen Kern (31) angeordnete zweite isolierende Schicht (42), und
ein auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeter zweiter leitender Durchgang (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von Enden des ersten leitenden Durchgangs (21) zur Bildung einer wendelförmigen Spule, worin der magneti sche Kern (31) durch den Vorsprung (12) getrennt ist, so daß eine Mehrzahl von Spulen integriert auf demselben Substrat (1) gebildet ist.
ein erster leitender Durchgang (21) bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen (11a, 11b) benachbarter Vorsprünge (12) und auf der Bodenfläche (11c) zwischen den schrägen Flächen (11a, 11b) gebildet ist,
eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1),
ein magnetischer Kern (31) aus magnetischem Ma terial, der in einer von den benachbarten Vor sprüngen (12) und der Bodenfläche (11c) gebilde ten nutenförmigen Ausnehmung (11) eingeschlossen ist,
eine auf dem magnetischen Kern (31) angeordnete zweite isolierende Schicht (42), und
ein auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeter zweiter leitender Durchgang (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von Enden des ersten leitenden Durchgangs (21) zur Bildung einer wendelförmigen Spule, worin der magneti sche Kern (31) durch den Vorsprung (12) getrennt ist, so daß eine Mehrzahl von Spulen integriert auf demselben Substrat (1) gebildet ist.
3. Magnetkopf, gekennzeichnet durch
ein Substrat (1), auf dem eine Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen (15, 16) mit jeweils schrägen Seitenflächen (11a, 11b) und unter schiedlichen Längen zumindest in der Weise an geordnet sind, daß sich längere Vorsprünge (15) auf den beiden Seiten von jedem von kurzen Vor sprüngen (16) befinden,
einen ersten leitenden Durchgang (21), bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen (11a, 11b) eines kurzen Vorsprungs (16) und eines benachbarten langen Vorsprungs (15) und auf der Bodenfläche (11c) zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist, eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1),
einen magnetischen Kern (31) aus magnetischem Material, der in einer durch die benachbarten Vorsprünge (15, 16) und die Bodenfläche (11c) gebildeten nutenförmigen Ausnehmung (11) einge schlossen ist,
einen magnetischen Spalt (32) aus magnetischem Material, der in dem magnetischen Kern (31) auf der der Gleitfläche (91) auf einem magnetischen Aufzeichnungsträger benachbarten Seite gebildet ist,
eine zweite isolierende Schicht (42) auf dem magnetischen Kern (31), und
einen auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgang (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von Enden (21a) des ersten leitenden Durchgangs (21) zur Umbil dung des auf den beiden Seiten des kurzen Vor sprungs (16) gebildeten ersten leitenden Durch gangs (21) in eine wendelförmige Spule (27, 28), worin der magnetische Kern (31) durch die langen Vorsprünge (15) getrennt ist, so daß eine Mehr zahl von magnetischen Kopfchips integriert auf demselben Substrat (1) gebildet ist.
ein Substrat (1), auf dem eine Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen (15, 16) mit jeweils schrägen Seitenflächen (11a, 11b) und unter schiedlichen Längen zumindest in der Weise an geordnet sind, daß sich längere Vorsprünge (15) auf den beiden Seiten von jedem von kurzen Vor sprüngen (16) befinden,
einen ersten leitenden Durchgang (21), bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen (11a, 11b) eines kurzen Vorsprungs (16) und eines benachbarten langen Vorsprungs (15) und auf der Bodenfläche (11c) zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist, eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1),
einen magnetischen Kern (31) aus magnetischem Material, der in einer durch die benachbarten Vorsprünge (15, 16) und die Bodenfläche (11c) gebildeten nutenförmigen Ausnehmung (11) einge schlossen ist,
einen magnetischen Spalt (32) aus magnetischem Material, der in dem magnetischen Kern (31) auf der der Gleitfläche (91) auf einem magnetischen Aufzeichnungsträger benachbarten Seite gebildet ist,
eine zweite isolierende Schicht (42) auf dem magnetischen Kern (31), und
einen auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgang (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von Enden (21a) des ersten leitenden Durchgangs (21) zur Umbil dung des auf den beiden Seiten des kurzen Vor sprungs (16) gebildeten ersten leitenden Durch gangs (21) in eine wendelförmige Spule (27, 28), worin der magnetische Kern (31) durch die langen Vorsprünge (15) getrennt ist, so daß eine Mehr zahl von magnetischen Kopfchips integriert auf demselben Substrat (1) gebildet ist.
4. Magnetkopf, gekennzeichnet durch
ein Substrat (1) mit einer Mehrzahl von gratför migen Vorsprüngen (12) mit jeweils schrägen Sei tenflächen (11a, 11b),
einen ersten leitenden Durchgang (21), bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, von denen jeder auf einander gegen überliegenden schrägen Flächen (11a, 11b) benach barter Vorsprünge (12) und der Bodenfläche (11c) zwischen diesen schrägen Flächen (11a, 11b) ge bildet ist,
eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1),
einen ersten magnetischen Kern (35) aus magneti schem Material, der in einer durch die benach barten Vorsprünge (12) und die Bodenfläche (11c) gebildeten nutenförmigen Ausnehmung (11) einge schlossen ist,
einen zweiten leitenden Durchgang (22), der auf dem ersten magnetischen Kern (35) gebildet ist, während eine zweite isolierende Schicht (42) dazwischengefügt ist, um aufeinanderfolgend die Enden des ersten leitenden Durchgangs (21) zu verbinden zur Bildung wendelförmiger Spulen,
eine nichtmagnetische isolierende Schicht auf dem ersten magnetischen Kern (35) auf der der Gleitfläche auf einem magnetischen Aufzeich nungsmedium benachbarten Seite und auf dem zwei ten leitenden Durchgang (22) zur Bildung eines magnetischen Spaltes (32),
einen dritten leitenden Durchgang (62), beste hend aus einer Mehrzahl von parallelen und lei tenden Durchgängen, die auf der nichtmagneti schen isolierenden Schicht gebildet sind,
eine dritte isolierende Schicht (44) auf dem dritten leitenden Durchgang (62),
einen zweiten magnetischen Kern (36) aus magne tischem Material, der so auf der nichtmagneti schen isolierenden Schicht und der dritten iso lierenden Schicht (44) angeordnet ist, daß er gratförmige Vorsprünge mit jeweils geneigten Oberflächen bildet,
eine vierte isolierende Schicht (43) auf den beiden Seitenflächen und der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns (36), und
einen auf der vierten isolierenden Schicht (43) angeordneten vierten leitenden Durchgang (61) zum Bilden wendelförmiger Spulen durch aufein anderfolgendes Verbinden der Enden des dritten leitenden Durchgangs (62), worin eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips integriert gebildet ist.
ein Substrat (1) mit einer Mehrzahl von gratför migen Vorsprüngen (12) mit jeweils schrägen Sei tenflächen (11a, 11b),
einen ersten leitenden Durchgang (21), bestehend aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen, von denen jeder auf einander gegen überliegenden schrägen Flächen (11a, 11b) benach barter Vorsprünge (12) und der Bodenfläche (11c) zwischen diesen schrägen Flächen (11a, 11b) ge bildet ist,
eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21) und dem Substrat (1),
einen ersten magnetischen Kern (35) aus magneti schem Material, der in einer durch die benach barten Vorsprünge (12) und die Bodenfläche (11c) gebildeten nutenförmigen Ausnehmung (11) einge schlossen ist,
einen zweiten leitenden Durchgang (22), der auf dem ersten magnetischen Kern (35) gebildet ist, während eine zweite isolierende Schicht (42) dazwischengefügt ist, um aufeinanderfolgend die Enden des ersten leitenden Durchgangs (21) zu verbinden zur Bildung wendelförmiger Spulen,
eine nichtmagnetische isolierende Schicht auf dem ersten magnetischen Kern (35) auf der der Gleitfläche auf einem magnetischen Aufzeich nungsmedium benachbarten Seite und auf dem zwei ten leitenden Durchgang (22) zur Bildung eines magnetischen Spaltes (32),
einen dritten leitenden Durchgang (62), beste hend aus einer Mehrzahl von parallelen und lei tenden Durchgängen, die auf der nichtmagneti schen isolierenden Schicht gebildet sind,
eine dritte isolierende Schicht (44) auf dem dritten leitenden Durchgang (62),
einen zweiten magnetischen Kern (36) aus magne tischem Material, der so auf der nichtmagneti schen isolierenden Schicht und der dritten iso lierenden Schicht (44) angeordnet ist, daß er gratförmige Vorsprünge mit jeweils geneigten Oberflächen bildet,
eine vierte isolierende Schicht (43) auf den beiden Seitenflächen und der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns (36), und
einen auf der vierten isolierenden Schicht (43) angeordneten vierten leitenden Durchgang (61) zum Bilden wendelförmiger Spulen durch aufein anderfolgendes Verbinden der Enden des dritten leitenden Durchgangs (62), worin eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips integriert gebildet ist.
5. Magnetischer Kopf, gekennzeichnet durch
ein Substrat (1), das an im wesentlichen densel ben Positionen auf seiner oberen Fläche und sei ner unteren Fläche eine Mehrzahl von gratförmi gen Vorsprüngen (12) mit jeweils schrägen Sei tenflächen aufweist, wobei das Substrat (1) Bo denflächen (13) besitzt, von denen jede zwischen benachbarten Vorsprüngen (12) angeordnet ist, deren Länge kürzer als die des Vorsprungs (12) ist und von denen jede Endflächen (93, 94) hat, die gegenüber den Endflächen (91, 92) des Vor sprungs (12) zurücktreten,
einen auf der oberen Fläche des Substrats (1) gebildeten ersten leitenden Durchgang (21) und einen auf der unteren Fläche desselben gebilde ten dritten leitenden Durchgang (61), wobei der erste leitende Durchgang (21) und der dritte leitende Durchgang (61) jeweils auf den einander zugewandten schrägen Flächen von benachbarten Vorsprüngen (12) angeordnet sind, die auf der oberen Fläche und der unteren Fläche sowie der Bodenfläche (13) zwischen den schrägen Flächen gebildet sind, und die aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen zusammen gesetzt sind,
eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21),
eine dritte isolierende Schicht (43) auf dem dritten leitenden Durchgang (61),
einen auf der oberen Fläche gebildeten ersten magnetischen Kern (35) und einen auf der unteren Fläche gebildeten zweiten magnetischen Kern (36), wobei der erste und der zweite magnetische Kern aus magnetischem Material bestehen, das von den oberen Flächen der ersten (41) und dritten (43) isolierenden Schicht zu den beiden über die beiden Endflächen (93, 94) der Bodenfläche (13) vorstehenden Endflächen (91, 92) des Vorsprungs (12) eingeschlossen ist,
einen magnetischen Spalt (32) aus nichtmagneti schem Material, der auf dem magnetischen Kern auf der an die Gleitfläche auf einem magneti schen Aufzeichnungsmedium angrenzenden Seite ausgebildet ist,
eine zweite (42) und eine vierte (44) isolieren de Schicht auf dem ersten (35) bzw. zweiten (36) magnetischen Kern,
einen auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgang (22), um aufeinanderfolgend die Enden des ersten leiten den Durchgangs (21) zur Bildung einer wendelför migen Spule zu verbinden, und
einen auf der unteren Fläche der vierten isolie renden Schicht (44) gebildeten vierten leitenden Durchgang (62), um die Enden des dritten leiten den Durchgangs (61) zur Bildung einer wendelför migen Spule aufeinanderfolgend zu verbinden, wodurch eine Mehrzahl von integrierten magneti schen Kopfchips gebildet ist.
ein Substrat (1), das an im wesentlichen densel ben Positionen auf seiner oberen Fläche und sei ner unteren Fläche eine Mehrzahl von gratförmi gen Vorsprüngen (12) mit jeweils schrägen Sei tenflächen aufweist, wobei das Substrat (1) Bo denflächen (13) besitzt, von denen jede zwischen benachbarten Vorsprüngen (12) angeordnet ist, deren Länge kürzer als die des Vorsprungs (12) ist und von denen jede Endflächen (93, 94) hat, die gegenüber den Endflächen (91, 92) des Vor sprungs (12) zurücktreten,
einen auf der oberen Fläche des Substrats (1) gebildeten ersten leitenden Durchgang (21) und einen auf der unteren Fläche desselben gebilde ten dritten leitenden Durchgang (61), wobei der erste leitende Durchgang (21) und der dritte leitende Durchgang (61) jeweils auf den einander zugewandten schrägen Flächen von benachbarten Vorsprüngen (12) angeordnet sind, die auf der oberen Fläche und der unteren Fläche sowie der Bodenfläche (13) zwischen den schrägen Flächen gebildet sind, und die aus einer Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen zusammen gesetzt sind,
eine erste isolierende Schicht (41) auf dem er sten leitenden Durchgang (21),
eine dritte isolierende Schicht (43) auf dem dritten leitenden Durchgang (61),
einen auf der oberen Fläche gebildeten ersten magnetischen Kern (35) und einen auf der unteren Fläche gebildeten zweiten magnetischen Kern (36), wobei der erste und der zweite magnetische Kern aus magnetischem Material bestehen, das von den oberen Flächen der ersten (41) und dritten (43) isolierenden Schicht zu den beiden über die beiden Endflächen (93, 94) der Bodenfläche (13) vorstehenden Endflächen (91, 92) des Vorsprungs (12) eingeschlossen ist,
einen magnetischen Spalt (32) aus nichtmagneti schem Material, der auf dem magnetischen Kern auf der an die Gleitfläche auf einem magneti schen Aufzeichnungsmedium angrenzenden Seite ausgebildet ist,
eine zweite (42) und eine vierte (44) isolieren de Schicht auf dem ersten (35) bzw. zweiten (36) magnetischen Kern,
einen auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgang (22), um aufeinanderfolgend die Enden des ersten leiten den Durchgangs (21) zur Bildung einer wendelför migen Spule zu verbinden, und
einen auf der unteren Fläche der vierten isolie renden Schicht (44) gebildeten vierten leitenden Durchgang (62), um die Enden des dritten leiten den Durchgangs (61) zur Bildung einer wendelför migen Spule aufeinanderfolgend zu verbinden, wodurch eine Mehrzahl von integrierten magneti schen Kopfchips gebildet ist.
6. Magnetischer Kopf mit einem zweiten magnetischen
Kern aus magnetischem Material, der auf dem er
sten und dem zweiten leitenden Durchgang ange
ordnet ist, nach Anspruch 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine nichtmagnetische isolierende
Schicht zur Bildung des magnetischen Spaltes
zwischengefügt ist, wobei eine Mehrzahl von ma
gnetischen Kopfchips integriert auf demselben
Substrat ausgebildet ist.
7. Magnetischer Kopf nach einem der Ansprüche 1 bis
6, dadurch gekennzeichnet, daß der erste leiten
de Durchgang (21a) von der Bodenfläche einer
nutenförmigen Ausnehmung zu den beiden Seiten
flächen und der oberen Fläche (10) derselben
gebildet ist.
8. Magnetische Struktur und magnetischer Kopf nach
einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß der erste leitende Durchgang (21)
von einer in der oberen Fläche (10) einer nuten
förmigen Ausnehmung (11) gebildeten Ausnehmung
(17) zu den beiden Seitenflächen (11a, 11b) und
der oberen Fläche derselben gebildet ist.
9. Magnetische Struktur und magnetischer Kopf nach
einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekenn
zeichnet, daß der erste leitende Durchgang (21)
zumindest in einem Nutenbereich (18), der sich
von der Bodenfläche (11c) zu den Seitenflächen
(11a, 11b) der nutenförmigen Ausnehmung (11) er
streckt, ausgebildet ist.
10. Magnetischer Kopf, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips (104)
auf einem gemeinsamen Substrat (100) mit jeweils
einem magnetischen Kern (101), einer Spule (102)
und einem magnetischen Spalt (103) vorgesehen
ist, und daß eine Stromversorgungsleitung (110),
eine Vorrichtung zur Herstellung der elektri
schen Verbindungen zwischen der Stromversor
gungsleitung (110) und jeder Spule (102) der
magnetischen Kopfchips (104), und eine Vorrich
tung (124) zum Steuern der elektrischen Verbin
dungen integriert mit dem Substrat (100) ausge
bildet sind.
11. Magnetischer Kopf mit einer Mehrzahl von magne
tischen Kopfchips (104) auf einem gemeinsamen
Substrat (100), gekennzeichnet durch eine inte
griert mit dem Substrat (100) ausgebildete Wie
dergabesignal-Verstärkungsschaltung (130).
12. Magnetischer Kopf mit einer Mehrzahl von magne
tischen Kopfchips (104) auf einem Substrat (100)
mit jeweils einer Spule (102), gekennzeichnet
durch
eine Vorrichtung (140) zum Hin- und Herbewegen
des Substrats (100) in der Richtung, in der die
Kopfchips (104) angeordnet sind, wobei das Sub
strat mit einer Amplitude, die kürzer als die
kürzeste Aufzeichnungswellenlänge des magneti
schen Aufzeichnungsmediums ist, sowie mit einer
Geschwindigkeit, die ausreichend höher als die
Geschwindigkeit ist, mit der das magnetische
Aufzeichnungsmedium bewegt wird, in der Rich
tung, in der die Kopfchips (104) angeordnet
sind, hin- und herbewegt wird, so daß ein auf
dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeich
netes Signal wiedergegeben wird.
13. Magnetischer Kopf mit einer Mehrzahl von magne
tischen Kopfchips (104) auf einem gemeinsamen
Substrat, gekennzeichnet durch
eine Vorrichtung, die bewirkt, daß die Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem Sub strat angeordnet sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in der das magnetische Aufzeich nungsmedium bewegt wird, und
eine Vorrichtung (140a, 140b) zum Drehen des Sub strats um eine zur Aufzeichnungsfläche senkrech te Achse, wobei das Substrat durch diese Vor richtung gedreht wird, um ein auf dem magneti schen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnetes Signal wiederzugeben, während ein magnetischer Spalt wenigstens eines magnetischen Kopfchips mit je der Spur des magnetischen Aufzeichnungsmediums zusammenfällt.
eine Vorrichtung, die bewirkt, daß die Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem Sub strat angeordnet sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in der das magnetische Aufzeich nungsmedium bewegt wird, und
eine Vorrichtung (140a, 140b) zum Drehen des Sub strats um eine zur Aufzeichnungsfläche senkrech te Achse, wobei das Substrat durch diese Vor richtung gedreht wird, um ein auf dem magneti schen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnetes Signal wiederzugeben, während ein magnetischer Spalt wenigstens eines magnetischen Kopfchips mit je der Spur des magnetischen Aufzeichnungsmediums zusammenfällt.
14. Magnetischer Kopf mit einer Mehrzahl von magne
tischen Kopfchips auf einem gemeinsamen
Substrat, gekennzeichnet durch
eine Vorrichtung, die bewirkt, daß die Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem Sub strat angeordnet sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in der das magnetische Aufzeich nungsmedium bewegt wird,
eine Vorrichtung (140a, 140b) zum Drehen des Sub strats um eine zur Aufzeichnungsfläche senkrech te Achse, und
eine Vorrichtung zum Versetzen (142a, 142b) des Substrats in Richtung der Breite des magneti schen Aufzeichnungsmediums,
wobei das Substrat von den Vorrichtungen zum Versetzen und Drehen versetzt und gedreht wird, um ein auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnetes Signal wiederzugeben, während ein magnetischer Spalt von wenigstens einem ma gnetischen Kopfchip mit der Richtung jeder Spur des magnetischen Aufzeichnungsmediums zusammen fällt.
eine Vorrichtung, die bewirkt, daß die Richtung, in der die magnetischen Kopfchips auf dem Sub strat angeordnet sind, diagonal in bezug auf die Richtung ist, in der das magnetische Aufzeich nungsmedium bewegt wird,
eine Vorrichtung (140a, 140b) zum Drehen des Sub strats um eine zur Aufzeichnungsfläche senkrech te Achse, und
eine Vorrichtung zum Versetzen (142a, 142b) des Substrats in Richtung der Breite des magneti schen Aufzeichnungsmediums,
wobei das Substrat von den Vorrichtungen zum Versetzen und Drehen versetzt und gedreht wird, um ein auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnetes Signal wiederzugeben, während ein magnetischer Spalt von wenigstens einem ma gnetischen Kopfchip mit der Richtung jeder Spur des magnetischen Aufzeichnungsmediums zusammen fällt.
15. Magnetischer Kopf mit einer Mehrzahl von magne
tischen Kopfchips auf einem gemeinsamen
Substrat, dadurch gekennzeichnet, daß die Rich
tung, in der die magnetischen Kopfchips (104)
auf dem Substrat angeordnet sind, diagonal in
bezug auf die Richtung ist, in der das magneti
sche Aufzeichnungsmedium (170) bewegt wird, und
daß eine Mehrzahl von Substraten in der Richtung
der Breite des magnetischen Aufzeichnungsmediums
angeordnet ist, wobei das Substrat in der Rich
tung, in der die magnetischen Kopfchips angeord
net sind, eine Länge besitzt, die kürzer als die
Breite des Aufzeichnungsmediums ist, wenn die
Länge in die Richtung der Breite des magneti
schen Aufzeichnungsmediums projiziert wird.
16. Magnetischer Kopf mit einer Mehrzahl von magne
tischen Kopfchips auf einem gemeinsamen
Substrat, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Mehrzahl von Substraten, auf denen alle
magnetischen Spalte der magnetischen Kopfchips
(104) den gleichen Winkel aufweisen, in der
Richtung, in der das magnetische Aufzeichnungs
medium (170) bewegt wird, angeordnet sind, und
daß die Substrate in der Weise angeordnet sind,
daß wenigstens zwei Winkel durch Richtungen, in
denen die magnetischen Kopfchips angeordnet
sind, gegenüber einer Richtung, in der das ma
gnetische Aufzeichnungsmedium bewegt wird, ge
bildet werden, so daß wenigstens zwei Azimuth
winkel bestehen.
17. Magnetischer Aufzeichnungskopf mit einer Mehr
zahl von magnetischen Kopfchips auf einem ge
meinsamen Substrat, dadurch gekennzeichnet, daß
die Gestalt des Substrats auf der der Gleitflä
che auf einem magnetischen Aufzeichnungsmedium
benachbarten Seite eine gekrümmte Oberfläche in
der Richtung aufweist, in der die magnetischen
Kopfchips angeordnet sind, und daß die gekrümmte
Oberfläche zum magnetischen Aufzeichnungsmedium
vorsteht.
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