DE4336417C2 - Magnetkopf - Google Patents
MagnetkopfInfo
- Publication number
- DE4336417C2 DE4336417C2 DE4336417A DE4336417A DE4336417C2 DE 4336417 C2 DE4336417 C2 DE 4336417C2 DE 4336417 A DE4336417 A DE 4336417A DE 4336417 A DE4336417 A DE 4336417A DE 4336417 C2 DE4336417 C2 DE 4336417C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magnetic
- insulating layer
- conductive
- conductive passage
- passage arrangement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 291
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 91
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 36
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 90
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 18
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 16
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 16
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 15
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 15
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 gallium Chemical class 0.000 description 1
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000000191 radiation effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B15/00—Driving, starting or stopping record carriers of filamentary or web form; Driving both such record carriers and heads; Guiding such record carriers or containers therefor; Control thereof; Control of operating function
- G11B15/60—Guiding record carrier
- G11B15/62—Maintaining desired spacing between record carrier and head
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B15/00—Driving, starting or stopping record carriers of filamentary or web form; Driving both such record carriers and heads; Guiding such record carriers or containers therefor; Control thereof; Control of operating function
- G11B15/02—Control of operating function, e.g. switching from recording to reproducing
- G11B15/12—Masking of heads; circuits for Selecting or switching of heads between operative and inoperative functions or between different operative functions or for selection between operative heads; Masking of beams, e.g. of light beams
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/008—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires
- G11B5/00813—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes
- G11B5/00817—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes on longitudinal tracks only, e.g. for serpentine format recording
- G11B5/00821—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes on longitudinal tracks only, e.g. for serpentine format recording using stationary heads
- G11B5/00826—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes on longitudinal tracks only, e.g. for serpentine format recording using stationary heads comprising a plurality of single poles or gaps or groups thereof operative at the same time
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/29—Structure or manufacture of unitary devices formed of plural heads for more than one track
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/35—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only having vibrating elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
- G11B5/4893—Disposition of heads relative to moving tape
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5504—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across tape tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5504—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across tape tracks
- G11B5/5508—Control circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/56—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head support for the purpose of adjusting the position of the head relative to the record carrier, e.g. manual adjustment for azimuth correction or track centering
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/584—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on tapes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0033—Printed inductances with the coil helically wound around a magnetic core
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/008—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires
- G11B5/00813—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes
- G11B5/00817—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes on longitudinal tracks only, e.g. for serpentine format recording
Description
Die Erfindung betrifft einen in einem magnetischen
Aufzeichnungs-/Wiedergabegerät montierten Magnetkopf,
wie einem Videokassettengerät, ein Tonbandgerät, und
insbesondere einen Mehrkanal-Magnetkopf, der für ei
nen Aufzeichnungs-/Widergabevorgang mit hoher Dichte
geeignet ist, bei dem Daten gleichzeitig aufgezeich
net/wiedergegeben werden.
Ein magnetisches Aufzeichnungsgerät wie ein digitales
Videokassettengerät zur Aufzeichnung von Videosigna
len mittels eines PCM(Pulscodemodulations)-Verfahrens
oder ein hochwertiges Videokassettengerät zum Auf
zeichnen hochwertiger Videosignale muß eine große
Menge von Signalen aufzeichnen im Vergleich zu einem
herkömmlichen Haushalts-Videokassettengerät oder ei
nem digitalen Tonbandgerät. Daher müssen im Vergleich
mit den genannten bekannten Geräten Breitbandsignale
aufgezeichnet/wiedergegeben werden. Da ein Mehrspur-
Aufzeichnungsverfahren für die Aufzeichnung/Wieder
gabe der Breitbandsignale wirksam ist, wurde ein
Mehrkanal-Magnetkopf vorgeschlagen. Um die Größe und
das Gewicht des magnetischen Aufzeichnungsgeräts zu
verringern und die Aufzeichnungskapazität zu vergrö
ßern, muß die Spur enger gemacht werden und die rela
tiv Geschwindigkeit zwischen dem magnetischen Auf
zeichnungsmedium und dem Kopf muß herabgesetzt wer
den. Jedoch führt die vorbeschriebene Struktur zu dem
Problem, daß ein Wiedergabesignal mit einem ausrei
chenden Rauschabstand nicht leicht erhalten werden
kann. Daher wurde ein Magnetkopf mit einer Reihenpar
allelwicklung und ein Aufzeichnungs/Wiedergabekopf
vom Kombinationstyp vorgeschlagen, um ein Wiedergabe
signal mit einem ausreichenden Rauschabstand zu er
halten, selbst wenn die relative Geschwindigkeit
nicht ausreichend hoch ist.
Der Mehrkanal-Magnetkopf wird eingeteilt in einen
Magnetkopf, der ein einzelnes Kopfchip von einem
Mehrfachblock-Typ aufweist, das an dessen Basis befe
stigt ist, und einen Magnetkopf, bei dem eine Mehr
zahl von Dünnschicht-Kopfchips auf demselben Substrat
gebildet sind. Dieser Magnetkopf vom Dünnschichttyp
ist vorteilhaft dahingehend, daß die Spuren enger
gemacht und die relative Positionsgenauigkeit zwi
schen den magnetischen Spalten verbessert werden kön
nen. Der Mehrkanal-Dünnschicht-Magnetkopf wurde of
fenbart in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift
Nr. 4-186511, der japanischen Patent-Offenlegungs
schrift Nr. 4-188414, der japanischen Patent-Offenle
gungsschrift Nr. 2-179910, der japanischen Patent-
Offenlegungsschrift Nr. 62-310013, der japanischen
Patent-Offenlegungsschrift Nr. 61-39914 und der japa
nischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 58-94120. Der
Mehrkanal-Magnetkopf vom Aufzeichnungs/Wiedergabe-
Kombinationstyp wurde offenbart in der japanischen
Patent-Offenlegungsschrift Nr. 2-94014.
Der bekannte Mehrkanal-Dünnschicht-Magnetkopf wird
eingeteilt in einen Typ, der in Fig. 45A gezeigt ist
und ein magnetisches Kopfchip mit einer Mehrzahl von
spiralförmigen Spulen aufweist, und einen Typ, der in
Fig. 45B gezeigt ist und ein magnetisches Kopfchip
mit einer wendelförmigen Spule aufweist. In den Fig.
45A und 45B sind ein Substrat 1, eine spiralförmige
Spule 25, eine wendelförmige Spule 26 und ein magne
tischer Kern 31 dargestellt. Das magnetische Kopfchip
mit der spiralförmigen Spule hat den Vorteil, daß es
leicht hergestellt und die Isolierung der Spule
leicht realisiert werden können. Der Umstand, daß die
Fläche vergrößert wird, wenn die Anzahl der Windungen
erhöht wird, um ein zufriedenstellendes Wiedergabe
ausgangssignal zu erhalten, erweitert jedoch in un
erwünschter Weise die Intervalle zwischen den magne
tischen Kopfchips zur Zeit der Integration einer
Mehrzahl der magnetischen Kopfchips und daher ergibt
sich das Problem, daß die Spuren nicht auf einfache
Weise enger gemacht werden können.
Bei dem in Fig. 45B gezeigten magnetischen Kopfchip
mit der wendelförmigen Spule kann die Verengung der
Spur und die Erhöhung der Windungsanzahl leicht rea
lisiert werden. Jedoch verhindert die begrenzte Größe
des Magnetkopfes eine ausreichend große Anzahl von
Windungen und daher besteht das Problem, daß der
Rauschabstand im Wiedergabesignal herabgesetzt wird.
Weiterhin verhindert eine solche Struktur, bei der
die Spule 26 und der magnetische Kern 31 integral
durch ein lithographisches Verfahren gebildet werden,
daß der magnetische Kern 31 zufriedenstellend dick
gemacht werden kann während der Zeit der Bildung der
Spule 26. In diesem Fall tritt ein Problem auf dahin
gehend, daß die Aufzeichnungs-/Wiedergabewirkung
nicht ohne weiteres verbessert werden kann.
Aus der US 47 43 988 ist ein Magnetkopf in Dünn
schichttechnik bekannt, der ein nichtmagnetisches
Substrat mit ausgeformten Rinnen oder Nuten aufweist,
in die untere Spulenhälften abgeschieden sind. Auf
das Substrat und die streifenförmige Leiter der unte
ren Spulenhälfte ist eine isolierende Schicht aufge
bracht, damit leitendes ferromagnetisches Material
zur Bildung von unteren Kernhälften in den Rinnen ab
geschieden werden kann, auf denen unter Zwischen
schaltung einer weiteren isolierenden Schicht die
oberen Spulenhälften gebildet sind. Die obere Spule
wird von einer isolierenden Schicht eingehüllt, und
eine den Spalt bildende Schicht wird auf das gesamte
Substrat aufgebracht. Zwischen den oberen Spulenbe
reichen und einer über der gesamten Anordnung vorge
sehenen oberen Kernhälfte ist jeweils eine dicke Iso
lationsschicht angeordnet.
Die vorliegende Erfindung ist darauf gerichtet, die
vorgenannten Probleme zu überwinden, und demgemäß ist
es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Mag
netkopf zu schaffen, dessen Größe verringert wird und
bei dem ein höherer Integrationsgrad erreicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale
der unabhängigen Ansprüche gelöst.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand von in den
Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise geschnittene perspektivische
Ansicht einer magnetischen Struktur als
erläuternde Darstellung für die Erfindung,
Fig. 2 eine seitliche Querschnittsansicht der
magnetischen Struktur nach Fig. 1,
Fig. 3 eine senkrechte Querschnittsansicht der
magnetischen Struktur nach Fig. 1,
Fig. 4 eine teilweise geschnittene horizontale
Querschnittsansicht der magnetischen Struktur
nach Fig. 1,
Fig. 5 eine Draufsicht auf die magnetische Struktur
nach Fig. 1,
Fig. 6 und Fig. 7 Draufsichten auf magnetische Strukturen als
weitere erläuternde Darstellungen für die
Erfindung,
Fig. 8 bis Fig. 11 seitliche Querschnittsansichten von magneti
schen Strukturen als weitere erläuternde Dar
stellungen für die Erfindung,
Fig. 12 eine Draufsicht auf die magnetische Struktur
nach Fig. 11,
Fig. 13 eine perspektivische Ansicht eines magneti
schen Kopfes nach einem ersten Ausführungs
beispiel der Erfindung,
Fig. 14 eine perspektivische Ansicht eines Substrats
und einer ersten leitenden Durchgangsanord
nung des magnetischen Kopfes nach dem ersten
Ausführungsbeispiel,
Fig. 15 eine Draufsicht auf den magnetischen Kopf
nach dem ersten Ausführungsbeispiel,
Fig. 16 eine perspektivische Ansicht zur Illustration
eines Verfahrens zur Bildung eines magneti
schen Spalts nach dem ersten Ausführungsbei
spiel,
Fig. 17 eine horizontale Querschnittsansicht eines
magnetischen Kopfes nach einem zweiten
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 18 eine seitliche Querschnittsansicht des mag
netischen Kopfes nach dem zweiten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 19 eine perspektivische Ansicht eines Substrats
und einer ersten leitenden
Durchgangsanordnung des magnetischen Kopfes
nach einem dritten Ausführungsbeispiel der
Erfindung,
Fig. 20A und Fig. 20B einen magnetischen Kopf nach einem vierten
Ausführungsbeispiel der Erfindung, worin
Fig. 20A eine perspektivische Ansicht eines
Substrats und einer ersten leitenden Durch
gangsanordnung und Fig. 20B eine perspekti
vische Ansicht eines Zustands, in welchem
magnetisches Material eingeschlossen ist,
darstellen,
Fig. 21 eine perspektivische Ansicht eines magneti
schen Kopfes nach einem fünften Ausführungs
beispiel der Erfindung,
Fig. 22 eine seitliche Querschnittsansicht des magne
tischen Kopfes nach dem fünften Ausführungs
beispiel,
Fig. 23 eine vertikale Querschnittsansicht des magne
tischen Kopfes nach dem fünften Ausführungs
beispiel,
Fig. 24 eine perspektivische Ansicht, die Kontaktlö
cher zum Verbinden eines magnetischen Kerns
des magnetischen Kopfes nach dem fünften Aus
führungsbeispiel illustriert,
Fig. 25 eine seitliche Querschnittsansicht eines mag
netischen Kopfes nach einem sechsten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 26 eine perspektivische Ansicht eines magneti
schen Kopfes nach einem siebenten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 27 eine perspektivische Ansicht eines Substrats
für den magnetischen Kopf nach dem siebenten
Ausführungsbeispiel,
Fig. 28 eine seitliche Querschnittsansicht des magne
tischen Kopfes nach dem siebenten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 29 eine vertikale Querschnittsansicht des magne
tischen Kopfes nach dem siebenten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 30 eine seitliche Querschnittsansicht eines mag
netischen Kopfes nach einem achten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 31 eine vertikale Querschnittsansicht des magne
tischen Kopfes nach dem achten Ausführungs
beispiel,
Fig. 32 eine seitliche Querschnittsansicht eines mag
netischen Kopfes nach einem neunten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 33 eine vertikale Querschnittsansicht des magne
tischen Kopfes nach dem neunten Ausführungs
beispiel,
Fig. 34 eine teilweise geschnittene Draufsicht auf
ein Teil eines magnetischen Kopfes nach der
Erfindung,
Fig. 35A und Fig. 35B seitliche Querschnittsansichten eines Subs
trats einer magnetischen Struktur nach der
Erfindung,
Fig. 36 eine seitliche Querschnittsansicht eines
Teils einer weiteren magnetischen Struktur
nach der Erfindung,
Fig. 37 eine teilweise geschnittene perspektivische
Ansicht einer weiteren magnetischen Struktur
nach der Erfindung,
Fig. 38 eine seitliche Querschnittsansicht der magne
tischen Struktur nach Fig. 37,
Fig. 39 eine teilweise geschnittene perspektivische
Ansicht einer weiteren magnetischen Struktur
nach der Erfindung,
Fig. 40 eine perspektivische Ansicht eines Substrats
für die magnetische Struktur nach Fig. 39,
Fig. 41 eine seitliche Querschnittsansicht der
magnetischen Struktur nach Fig. 39,
Fig. 42 eine horizontale Querschnittsansicht der
magnetischen Struktur nach Fig. 39.
Fig. 43 eine teilweise geschnittene perspektivische
Ansicht einer weiteren magnetischen Struktur
nach der Erfindung,
Fig. 44 eine perspektivische Ansicht eines Substrats
für die magnetische Struktur nach Fig. 43,
und
Fig. 45A Fig. 45B perspektivische Ansichten eines wesentlichen
Teils eines bekannten magnetischen Kopfes
nach dem Stand der Technik.
Eine erläuternde Darstellung einer magnetischen
Struktur, die lediglich zur Erläuterung der weiter
unten beschriebenen Ausführungsbeispiele dient, wird
nun beschrieben. Fig. 1 ist eine teilweise geschnit
tene Ansicht einer magnetischen Struktur. Fig. 2 ist
eine seitliche Querschnittsansicht, Fig. 3 ist eine
vertikale Querschnittsansicht, Fig. 4 ist eine hori
zontale Querschnittsansicht und Fig. 5 ist eine
Draufsicht.
Die magnetische Struktur weist gemäß Fig. 1 ein Sub
strat 1, erste leitende Durchgänge 21, zweite leiten
de Durchgänge 22, magnetische Kerne 31, erste isolie
rende Schichten 41 und zweite isolierende Schichten
42 auf. Die Struktur ist gemäß Fig. 2 in der Weise
ausgebildet, daß eine wendelförmige Spule mit einer
Reihenparallelwicklung, die aus den ersten und den
zweiten leitenden Durchgängen 21 und 22 zusammenge
setzt ist um den magnetischen Kern 31 gewunden ist,
während die ersten und zweiten isolierenden Schichten
41 und 42 dazwischen liegen.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das ein
Silizium-Einkristall-Substrat 1a und eine isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen aufweist, und
das eine Ausnehmung 11 enthält. Die Ausnehmung 11
wird durch Seitenflächen 11a, 11b und eine Bodenflä
che 11c gebildet, wobei die Seitenflächen 11a und 11b
in Bezug auf eine obere Fläche 10 des Substrats
schräg angeordnet sind. Die Bodenfläche 11c liegt im
Wesentlichen parallel zur oberen Fläche 10 des Sub
strats. Die in der Ausnehmung 11 gebildeten ersten
leitenden Durchgänge 21 weisen eine Mehrzahl von
parallelen und leitenden Durchgängen auf, die auf den
Seitenflächen 11a, 11b und der Bodenfläche 11c gebil
det sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen. Die
ersten isolierenden Schichten 41 werden zu dem Zweck
gebildet, daß ein Kurzschluß der ersten leitenden
Durchgänge 21 verhindert und die Wärmeabstrahlung von
denselben vergrößert wird. Die ersten isolierenden
Schichten 41 bestehen aus isolierendem Material wie
SiO2, und haben eine Dicke, die größer ist als die
von jedem ersten leitenden Durchgänge 21. Da die
Dicke der ersten isolierenden Schicht 41 größer als
die des ersten leitenden Durchgangs 21 ist, kann die
Zulässigkeit des Positions- und Dimensionsfehlers der
zweiten leitenden Durchgänge 22 und von
Kontaktlöchern 23 während der Zeit der Bildung der
zweiten leitenden Durchgänge 22 vergrößert werden.
Als Folge hiervon kann die Isolation des magnetischen
Kerns 31 leicht realisiert werden und die Herstel
lungskosten können herabgesetzt werden. Der magneti
sche Kern 31 besteht aus magnetischem Material wie
Permalloy oder Sendust, das in der Ausnehmung 11 ein
geschlossen ist, um eine Dicke aufzuweisen, die ge
ringer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11. Die zwei
te isolierende Schicht 42 besteht aus isolierendem
Material wie SiO2 und ist zu dem Zweck gebildet, daß
ein Kurzschluß in den zweiten leitenden Durchgängen
22 und leitenden Durchgängen 54, 55 und 56 verhindert
wird und die Wärmeabstrahlung von denselben vergrö
ßert wird. Die Kontaktlöcher 23 sind in den zweiten
isolierenden Schichten 42 zu dem Zweck gebildet, daß
die Verbindungen zwischen Endflächen 21a der ersten
leitenden Durchgänge 21 und den zweiten leitenden
Durchgängen 22 hergestellt werden. Die zweiten lei
tenden Durchgänge 22 weisen eine Mehrzahl von
parallelen und leitenden Durchgängen aus Aluminium
oder Kupfer auf, wobei die zweiten leitenden Durch
gänge 22 aufeinanderfolgend die Enden 21a der ersten
leitenden Durchgänge durch die in den zweiten isolie
renden Schichten 42 gebildeten Kontaktlöcher 23 ver
binden.
Da wenigsten ein Teil 22a der zweiten leitenden
Durchgänge 22, wie in Fig. 5 gezeigt, so gebildet
ist, daß sie aufeinanderfolgend jedes andere Ende 21a
der ersten leitenden Durchgänge verbinden, bildet der
Teil 22a des zweiten leitenden Durchgangs 22 einen
Reihenparallelwicklungs-Bereich. Daher werden eine
erste wendelförmige Spule 25 vom Reihenparallelwick
lungstyp und eine zweite Wicklung 56 mit einer rela
tiv kleinen Anzahl von Windungen von den leitenden
Durchgängen 21 und 22 gebildet. Als Folge kann elek
trische Leistung individuell zu den beiden Spulen 25
und 26 geliefert werden, derart, daß die Leistung zu
der ersten Spule 25 über die leitenden Durchgänge 54
und 55 und zu der zweiten Spule 26 durch die leiten
den Durchgänge 56 und 57 zugeführt wird. Weiterhin
können die Wiedergabesignale individuell von den bei
den Spulen 25 und 26 abgenommen werden. Durch Vergrö
ßerung eines Teils des ersten leitenden Durchgangs
21, der dem Teil 22a des zweiten leitenden Durchgangs
22 und der Querschnittsfläche des Teils 22a des zwei
ten leitenden Durchgangs 22 entspricht, kann der zu
lässige elektrische Strom für die zweite Spule 26
vergrößert werden. Als allgemeine Regel benötigt der
Wiedergabevorgang eine Spule, die im Vergleich zum
Aufzeichnungsvorgang eine größere Anzahl von Windun
gen benötigt, während der Aufzeichnungsvorgang eine
Spule benötigt, die im Vergleich zum Wiedergabevor
gang einen leitenden Durchgang mit einer größeren
Querschnittsfläche erfordert. Daher ermöglicht die
Anordnung der beiden Spulen 25 und 26 als Wiedergabe-
bzw. Aufzeichnungsspule die Bildung optimaler Spulen
für die Wiedergabe und Aufzeichnung. Weiterhin kann
ein Vorgang derart durchgeführt werden, daß Leistung
zu der Aufzeichnungsspule zur Zeit eines Wiedergabe
vorgangs geliefert wird, um ein magnetisches Wechsel
feld zu erzeugen, das als Vorspannung zur Erhöhung
der Empfindlichkeit beim Wiedergabevorgang dient.
Weiterhin ermöglicht die Bildung der wendelförmigen
Spule, daß eine Mehrzahl magnetischer Strukturen vom
Reihenparallelwicklungs-Typ dicht angeordnet werden
kann.
Eine weitere erläuternde Darstellung einer magneti
schen Struktur wird nun beschrieben. Die Beschreibung
erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkmale, die sich
von der erläuternden Darstellung nach den Fig. 1 bis
5 unterscheiden.
Obgleich das erste Ausführungsbeispiel in der Weise
ausgebildet ist, daß wenigstens der Teil 22a des
zweiten leitenden Durchgangs 22 aufeinanderfolgend
jedes andere Ende 21a des ersten leitenden Durchgangs
verbindet und wenigstens dieser Teil die Reihenparal
lelwicklungs-Spule bildet, ist die Verbindungsmethode
nicht hierauf begrenzt. Wenn beispielsweise die auf
einanderfolgende Verbindung mit Intervallen von zwei
Enden 21a des ersten leitenden Durchgangs hergestellt
wird, können drei Spulen mit einer unterschiedlichen
Anzahl von Windungen gebildet werden. Daher können
die jeweiligen Spulen als optimale Spulen für die
Verwendung zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Infor
mationen und zur Erzeugung eines magnetischen Vor
spannfeldes ausgebildet werden.
Die benachbarten Enden des ersten leitenden Durch
gangs können, wie in den Draufsichten der Fig. 6 und
7 gezeigt, aufeinanderfolgend verbunden werden. Fig.
6 stellt den Fall dar, daß eine Spule 25 gebildet
ist, während Fig. 7 den Fall darstellt, bei dem zwei
Spulen 25 und 26 gebildet sind. Als Ergebnis der vor
genannten Struktur kann die in Fig. 6 gezeigte Spule
zum Beispiel als Induktivität verwendet werden, wäh
rend die in Fig. 7 gezeigte Spule beispielsweise als
Transformator verwendet werden kann.
Eine weitere erläuternde Darstellung einer magneti
schen Struktur wird nun beschrieben. Fig. 8 enthält
eine seitliche Querschnittsansicht. Die Beschreibung
erfolgt nur hinsichtlich solcher Merkmale, die gegen
über der erläuternden Darstellung nach Fig. 2 unter
schiedlich sind. In dieser Fig. 8 ist die erste iso
lierende Schicht 41 eingeschlossen zum Ausfüllen der
Ausnehmung 11, und der magnetische Kern 31 ist in ei
ner von der ersten isolierenden Schicht 41 gebildeten
Ausnehmung 45 eingeschlossen. Als Folge dieser Struk
tur kann die Isolierung des magnetischen Kerns 31
durch die erste isolierende Schicht 41 sichergestellt
werden. Daher können die Positions- und Dimensionsto
leranzen der Kontaktlöcher 23 vergrößert werden, wo
durch sich eine erhöhte Ausbeute ergibt. Als Folge
hiervon können die Herstellungskosten gesenkt werden.
In Fig. 9 ist eine Ätzsperrschicht 46 aus Aluminium,
Gold, Kupfer, Nickel, Titan oder dergleichen in der
entsprechend Fig. 8 in der Ausnehmung 11 eingeschlos
senen ersten isolierende Schicht 41 gebildet. Durch
Vorsehen der Ätzsperrschicht 46 kann die Ausnehmung
45 durch einen Ätzvorgang genau hergestellt werden.
In Fig. 10, die eine seitliche Querschnittsansicht
enthält, ist die erste isolierende Schicht 41 in
gleicher Weise wie nach Fig. 2 als dünne Schicht auf
dem ersten leitenden Durchgang 21 und dem Substrat 1
ausgebildet. Der magnetische Kern 31 weist einen
rechteckigen Querschnitt in einem Teil der Ausnehmung
11 mit einem trapezförmigen Querschnitt auf, so daß
er eine Dicke hat, die geringer ist als die Tiefe der
Ausnehmung 11. Weiterhin ist die zweite isolierende
Schicht 42 im Unterschied zur Struktur nach Fig. 2
auf der ersten isolierenden Schicht 41 und dem magne
tischen Kern 31 ausgebildet, um die Ausnehmung 11
auszufüllen. Als Folge dieser Struktur können die Po
sitions- und Dimensionstoleranzen der Kontaktlöcher
vergrößert werden. Daher können die Herstellungsko
sten verringert werden.
Eine weitere erläuternde Darstellung einer magneti
schen Struktur wird nun beschrieben. Fig. 11 zeigt
eine seitliche Querschnittsansicht und Fig. 12 ent
hält eine Draufsicht.
Die magnetische Struktur wird gemäß Fig. 1 dadurch
gebildet, daß eine Mehrzahl von Strukturen integriert
wird, von denen jede das Substrat 1, den ersten lei
tenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang
22, den magnetischen Kern 31, die erste isolierende
Schicht 41 und die zweite isolierende Schicht 42 auf
weist, wobei eine wendelförmige Reihenparallelwick
lungs-Spule aus dem ersten leitenden Durchgang 21 und
dem zweiten leitenden Durchgang 22 so gebildet ist,
daß sie um den magnetischen Kern 31 gewunden ist und
die erste isolierende Schicht 41 und die zweite iso
lierende Schicht 42 hierzwischen angeordnet sind.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das ein
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und eine isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen umfaßt und an
seiner Oberfläche eine Mehrzahl von gratförmigen Vor
sprüngen 12 aufweist. Die Bereiche zwischen den grat
förmigen Vorsprüngen 12, d. h. die Bodenflächen 11c,
sind flach ausgebildet. Weiterhin verlaufen die bei
den Seitenflächen 11a und 11b eines gratförmigen Vor
sprungs 12 diagonal in bezug auf den flachen Bereich
11c, und die beiden Seitenflächen 11a, 11b und die
Bodenfläche 11c bilden die Ausnehmung 11. Der in der
Ausnehmung 11 angeordnete erste leitende Durchgang 21
weist eine Mehrzahl von parallelen und leitenden
Durchgängen auf, die auf den Seitenflächen 11a, 11b
und der Bodenfläche 11c ausgebildet sind und aus Alu
minium, Kupfer oder dergleichen bestehen. Der magne
tische Kern 31 ist aus magnetischem Material wie
Permalloy, Sendust oder dergleichen hergestellt und
in der Ausnehmung 11 eingeschlossen, so daß seine
Dicke geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Da
die mehreren magnetischen Kerne 31 durch die Vor
sprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind,
kann ein Übersprechen verhindert werden. Obgleich die
Strukturen der erste isolierenden Schichten 41, der
zweiten isolierenden Schichten 42, der Kontaktlöcher
23 und der leitenden Durchgänge 54 und 55 dieselben
sind wie beim ersten Ausführungsbeispiel, sind die
von den zweiten leitenden Durchgängen 22 und den er
sten leitenden Durchgängen 21 gebildeten Spulen nicht
auf eine Struktur vom Reihenparallelwicklungs-Typ
beschränkt. Es kann eine Einzelwindungsstruktur ver
wendet werden, wie in Fig. 12 gezeigt ist. Die Ein
zelwindungsstruktur kann beispielsweise als Indukti
vität verwendet werden, während die in Fig. 7 gezeig
te Wicklungsstruktur als Transformator eingesetzt
werden kann. Eine Wicklungsstruktur gemäß Fig. 5 kann
als magnetischer Aufzeichnungs/Wiedergabekopf verwen
det werden.
Durch Bildung der Vorsprünge 12 auf dem Substrat 1
mit jeweils den diagonalen Seitenflächen können die
mehreren magnetischen Strukturen integral ausgebildet
werden. Weiterhin können die benachbarten magneti
schen Kerne 31 sicher voneinander getrennt werden.
Zusätzlich kann die wendelförmige Spule sicher herge
stellt werden, selbst wenn der magnetische Kern eine
große Dicke hat, wodurch eine magnetische Struktur
geschaffen wird, die in der Lage ist, gleichzeitig
die Anforderungen hinsichtlich der Erhöhung der Win
dungszahl der Spule, eines dickeren magnetischen
Kerns und einer dichten Anordnung zu erfüllen.
Ein erstes Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes nach der
Erfindung wird nun beschrieben. Fig. 13 enthält
eine perspektivische Ansicht, die den magnetischen
Kopf gemäß einem siebenten Ausführungsbeispiel illu
striert. Fig. 14 enthält eine perspektivische An
sicht, die ein Substrat und einen ersten leitenden
Durchgang des magnetischen Kopfes darstellt, Fig. 15
ist eine Draufsicht und Fig. 16 ist eine perspektivi
sche Ansicht, die das Verfahren zur Bildung magneti
scher Spalte illustriert.
Der magnetische Kopf gemäß diesem Ausführungsbeispiel
enthält, wie in den Fig. 13 und 14 gezeigt ist, das
Substrat 1, erste und zweite leitende
Durchgänge 21, 22, die magnetischen Kerne 31 sowie die
erste und die zweite isolierende Schicht 41 und 42. Ob
gleich die Fig. 13 bis 16 zum besseren Verständnis
einen magnetischen Kopf für zwei Kanäle darstellen,
ist die Struktur selbstverständlich nicht auf zwei
Kanäle beschränkt.
Wie in Fig. 14 gezeigt ist, ist das Substrat 1 ein
isolierendes Substrat, das das Einkristall-Silizium-
Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO2
oder dergleichen umfaßt, und an dessen Oberfläche
mehrere Vorsprünge gebildet sind. Die Vorsprünge wer
den durch abwechselnde lange Vorsprünge 15 und kurze
Vorsprünge 16 gebildet. Die Seitenflächen 11a, 11b eines lan
gen Vorsprungs 15 und die Seitenflächen eines kurzen
Vorsprungs 16 verlaufen schräg in bezug auf den
flachen Bereich. Die Seitenflächen 11a, 11b der langen Vor
sprünge 15, die Seitenflächen der kurzen Vorsprünge
16 und der flache Bereich 17 bilden die Ausnehmung
11. Die ersten leitenden Durchgänge 21 umfassen eine
Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen,
die auf den Seitenflächen der langen Vorsprünge, den
Seitenflächen der kurzen Vorsprünge 16 und dem fla
chen Bereich 17 gebildet sind und aus Aluminium, Kup
fer oder dergleichen bestehen, wobei die ersten lei
tenden Durchgänge 21 in zwei Gruppen aufgeteilt sind,
die auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16
gebildet sind. Der magnetische Kern 31 besteht aus
magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust und
ist in der Vertiefung 11 mit einer Dicke, die gerin
ger ist als die Höhen der Vorsprünge 15 und 16, ein
geschlossen. Der magnetische Kern 31 bildet einen
geschlossenen magnetischen Durchgang auf der der
Gleitfläche eines magnetischen Aufzeichnungsmediums
91 gegenüberliegenden Seite. Die benachbarten magne
tischen Kern 31 sind durch den langen Vorsprung 15
voneinander getrennt. Ein magnetischer Spalt 32 aus
nichtmagnetischem Material wie SiO2 ist von der
Gleitfläche des magnetischen Aufzeichnungsmediums 91
zum kurzen Vorsprung 16 hin gebildet. Zwei Spulen 27
und 28 sind, wie in Fig. 15 gezeigt ist, von den er
sten und zweiten leitenden Durchgängen 21 und 22 auf
den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 gebildet,
wobei die beiden Spulen durch einen leitenden Durch
gang 52 miteinander verbunden sind. Durch diese Ver
bindung der beiden Spulen 27 und 28 wird das externe
induktive Magnetfeld durch die beiden Spulen 27 und
28 aufgehoben. Daher kann ein Einfluß eines externen
magnetischen Feldes, das Rauschen verursacht, be
trächtlich verhindert werden. Elektrodenanschlüsse 51
sind durch leitende Durchgänge 54 und 57 mit den Spu
len verbunden. Durch Vergrößerung der Fläche für je
den der Elektrodenanschlüsse 51 kann die Verbindung
mit einer (nicht gezeigten) externen elektrischen
Schaltung oder dergleichen leicht hergestellt werden.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
verhindert eine Verlängerung der Intervalle zwischen
den magnetischen Köpfen selbst dann, wenn die Anzahl
der Windungen der Spule vergrößert wird. Weiterhin
können die benachbarten magnetischen Kerne 31 durch
die lange Vorsprünge 15 sicher voneinander getrennt
werden. Zusätzlich kann jeder der ersten leitenden
Durchgänge und der zweiten leitenden Durchgänge si
cher miteinander verbunden werden, da der erste lei
tende Durchgang 21 in einer schrägen Fläche verläuft.
Ein Beispiel für ein Verfahren zur Herstellung des
magnetischen Kopfes nach diesem Ausführungsbeispiel
wird nun beschrieben. Eine (100)-oberflächenorien
tierte Siliziumscheibe wird zur Bildung der Vorsprün
ge 15 und 16 einem anisotropen Ätzvorgang unterwor
fen. Da die Seitenflächen der so gebildeten Vorsprün
ge 15 und 16 der (111)-Ebene eines Silizium-Einkri
stalls entsprechen, sind die Seitenflächen schräge
Flächen mit einem Winkel von etwa 55° gegenüber dem
flachen Bereich 17. Nachdem die Vorsprünge 15 und 16
gebildet sind, wird die Siliziumscheibe oxidiert oder
isolierendes Material wie SiO2 wird aufgebracht, so
daß das isolierende Substrat 1 entsteht. Dann wird
das leitende Material wie Aluminium oder Kupfer auf
dem Substrat 1 aufgebracht, beispielsweise durch Gal
vanisieren oder Aufdampfen oder dergleichen, und dann
wird ein Muster des leitenden Materials durch Anwen
dung eines sogenannten lithographischen Verfahrens
hergestellt, so daß der erste leitende Durchgang 21
gebildet wird. Da die Seitenflächen der Vorsprünge 15
und 16 schräg sind, sind die Aufbringung eines Foto
lacks auf die Seitenflächen und deren Belichtung mög
lich. Dann wird das isolierende Material wie SiO2
durch ein Verfahren wie Aufdampfen oder dergleichen
aufgebracht, so daß die erste isolierende Schicht 41
gebildet wird. Dann wird das magnetische Material wie
Sendust oder Permalloy mit einer Dicke, die größer
ist als die Tiefe der Ausnehmung 11 durch ein Verfah
ren wie Aufdampfen aufgebracht, wie in Fig. 16 ge
zeigt ist, so daß die magnetischen Kerne 31a gebildet
werden. Dann wird ein Ätzvorgang durchgeführt, indem
Gebrauch von der Bestrahlung mit fokussierten Ionen
strahlen wie Gallium gemacht wird, oder es wird ein
Laser-unterstütztes Ätzen durchgeführt, so daß die
Seitenflächen 37 jedes der magnetischen Kerne 31a in
dem Teil, in welchem der magnetische Spalt 32 gebil
det wird, entfernt werden, so daß flache Ebenen mit
jeweils einem vorbestimmten Azimuthwinkel entstehen.
Dann wird das nichtmagnetische Material auf die so
gebildete flache Ebene aufgebracht mit einer dem ma
gnetischen Spalt entsprechenden Dicke, so daß die
magnetischen Spalte 32 gebildet werden. Dann wird das
magnetische Material wie Sendust oder Permalloy in
dem Bereich, in dem der magnetische Kern 31a nicht
gebildet ist, durch ein Verfahren wie Galvanisieren
oder Aufdampfen derart aufgebracht, daß es eine Dicke
hat, die größer ist als die Tiefe der Ausnehmung 11.
Dann wird die Oberfläche des magnetischen Materials
beispielsweise durch eine mechanische Bearbeitungs
vorrichtung geschliffen, so daß es eine Dicke erhält,
die gleich der oder geringer als die Tiefe der Aus
nehmung 11 ist, so daß die magnetischen Kerne 31 ge
bildet werden. Als Folge hiervon sind die benachbar
ten magnetischen Kerne 31 sicher durch die langen
Vorsprünge 15 voneinander getrennt und die Endflächen
21a der ersten leitenden Durchgänge 21 erscheinen
außen. Dann werden die zweiten isolierenden Schichten
42 auf der gesamten Oberfläche aufgebracht, die ge
schliffen wird, um eine flache Fläche zu erhalten,
und dann werden die Kontaktlöcher 23 in den isolie
renden Schichten 42 über den Endflächen 21a der er
sten leitenden Durchgänge beispielsweise durch ein
lithographisches Verfahren hergestellt. Dann wird das
leitende Material wie Aluminium oder Kupfer zum Bei
spiel durch Galvanisieren oder Aufdampfen auf den
zweiten isolierenden Schichten 42 und in den Kontakt
löchern 23 niedergeschlagen, so daß der leitende Film
hergestellt wird. Der leitende Film erhält dann durch
ein lithographisches Verfahren ein Muster, so daß die
zweiten leitenden Durchgänge 22, die leitenden Durch
gänge 52, 54 und 57 sowie die Elektrodenanschlüsse 51
gebildet werden.
Obgleich die in Fig. 13 gezeigten Elektrodenanschlüs
se 51 in einer Zickzack-Form angeordnet sind, ist das
Aufbringungsverfahren nicht auf die Zickzack-Ausbil
dung beschränkt. Wenn jeder der magnetischen Kerne 31
eine geschichtete Struktur aus magnetischem Material
und nichtmagnetischem Material aufweist, können die
Wirbelstromverluste reduziert und dadurch die magne
tische Permeabilität verbessert werden.
Ein zweites Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt nur in bezug auf gegenüber dem
ersten Ausführungsbeispiel unterschiedliche Merk
male. Fig. 17 ist eine horizontale Querschnittsan
sicht, die einen magnetischen Kopf mit zwei Kanälen
gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel darstellt. Fig.
18 enthält eine seitliche Querschnittsansicht. Wie in
Fig. 18 dargestellt ist, ist jede Ausnehmung 45 mit
rechteckigem Querschnitt in der ersten isolierenden
Schicht 41 ausgebildet, die in der Ausnehmung 11 mit
trapezförmigem Querschnitt eingeschlossen ist. Der
magnetische Kern 31 besteht aus magnetischem Material
wie Permalloy oder Sendust und ist so in der Ausneh
mung 45 mit dem rechteckigen Querschnitt eingeschlos
sen, daß seine Dicke geringer ist als die Tiefe der
Ausnehmung 11. Als Folge dieser Struktur können die
Positions- und Dimensionstoleranzen der Kontaktlöcher
23 vergrößert und demgemäß die Herstellungskosten
verringert werden. Weiterhin können die magnetischen
Kerne benachbarter Kanäle sicher voneinander getrennt
werden und dadurch wird das Übersprechen herabge
setzt.
Ein drittes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes wird nun beschrieben. Die Be
schreibung anhand der Fig. 19 erfolgt nur hinsicht
lich solcher Merkmale, die gegenüber dem ersten
Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind. Das vorher
gehende erste Ausführungsbeispiel ist gemäß den
Fig. 14 und 16 so ausgebildet, daß der magnetische
Spalt 32 durch nichtmagnetische Materialien herge
stellt wird. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird jede
der Endflächen der kurzen Vorsprünge 16 keilförmig
ausgebildet und erstreckt sich über die ganze Länge
der Gleitfläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsme
diums, so daß der magnetische Spalt 32 gebildet wird.
Das Verfahren zur keilförmigen Ausgestaltung der End
fläche des kurzen Vorsprungs 16 wird durch mechani
sche Bearbeitung oder durch Ätzen durchgeführt. Durch
Anwendung dieses Verfahrens kann der magnetische
Spalt 32 während der Zeit der Bearbeitung des Sub
strats 1 gebildet werden. Daher kann die Herstellung
leicht durchgeführt werden.
Ein viertes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes wird nun beschrieben. Anhand der
Fig. 15, 20A und 20B erfolgt die Beschreibung nur
hinsichtlich solcher Merkmale, die gegenüber dem ersten
Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind.
Obgleich das erste Ausführungsbeispiel in der Wei
se ausgeführt ist, daß die langen Vorsprünge 15 und
die kurzen Vorsprünge 16 einander abwechselnd auf der
Oberfläche des Substrats 1 gebildet sind, ist die
Ausgestaltung nicht hierauf beschränkt. Die Notwen
digkeit liegt nur darin, daß die langen Vorsprünge 15
auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16 ange
ordnet sind. Beispielsweise ist die Ausgestaltung in
den Fig. 20A und 20B dergestalt, daß zwei fortlau
fende lange Vorsprünge 15 auf der Oberfläche des Sub
strats 1 zwischen den kurzen Vorsprüngen 16 gebildet
sind. Die durch die schrägen Flächen der angrenzenden
langen Vorsprünge 15 und den flachen Bereich 18 zwi
schen den langen Vorsprüngen 15 gebildete Ausnehmung
ist mit dem magnetischen Material wie Permalloy oder
Sendust gefüllt, mit einer Dicke, die geringer ist
als die Höhe des Vorsprungs 15, so daß die magneti
sche Schicht 33 gebildet wird. Die so ausgebildete
Struktur ist in der Lage, die benachbarten magneti
schen Kerne 31 durch den Vorsprung 15 voneinander zu
trennen. Weiterhin dient die magnetische Schicht 33
als eine magnetische Abschirmung. Daher entsteht ein
magnetischer Kopf, in welchem das Übersprechen her
abgesetzt werden kann.
Die Breite des langen Vorsprungs 15 und die des kur
zen Vorsprungs 16 brauchen selbstverständlich nicht
gleich zu sein. Wenn die Breite des kurzen Vorsprungs
16 groß ist, wird der Abstand zwischen den Spulen 27
und 28 auf den beiden Seiten des kurzen Vorsprungs 16
gemäß Fig. 15 verlängert. In diesem Fall kann der
gegenseitige Einfluß der Spulen beträchtlich verrin
gert werden.
Ein fünftes Ausführungsbeispiel eines magnetischen Kopfes
wird nun beschrieben. Fig. 21 enthält
eine perspektivische Ansicht, die den magnetischen
Kopf entsprechend dem fünften Ausführungsbeispiel
darstellt. Fig. 22 enthält eine seitliche Quer
schnittsansicht und Fig. 23 eine vertikale Quer
schnittsansicht. Fig. 24 enthält eine perspektivische
Ansicht, die Kontaktlöcher für die Verbindung der
magnetischen Kerne des magnetischen Kopfes
illustriert.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist gemäß Fig. 21 und 22 das Substrat 1, den er
sten leitenden Durchgang 21, den zweiten leitenden
Durchgang 22, erste magnetische Kerne 35, einen drit
ten leitenden Durchgang 61, einen vierten leitenden
Durchgang 62, einen zweiten magnetischen Kern 36, den
magnetischen Spalt 32, die erste isolierende Schicht
41, die zweite isolierende Schicht 42, die dritte
isolierende Schicht 43, die vierte isolierende
Schicht 44 und die Elektrodenanschlüsse 51 auf. Ob
gleich die Fig. 21 bis 24 zum besseren Verständnis
die Struktur des magnetischen Kopfes für zwei Kanäle
darstellen, bezieht sich dieses Ausführungsbeispiel
selbstverständlich auf einen allgemeinen Mehrkanal-
Magnetkopf.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat mit dem
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und der isolierenden
Schicht 1b beispielsweise aus SiO2, und es hat eine
Mehrzahl von auf seiner Oberfläche gebildeten Vor
sprüngen 12. Der Raum zwischen den Vorsprüngen 12 ist
als flacher Bereich 13 ausgebildet. Die beiden Sei
tenflächen 11a und 11b des Vorsprungs 12 verlaufen
schräg in bezug auf den flachen Bereich 13, und die
Seitenflächen 11a, 11b sowie der flache Bereich 13
bilden die Ausnehmung 11. Der erste leitende Durch
gang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und lei
tenden Durchgängen, die auf den Seitenflächen 11a,
11b und der Bodenfläche 13 gebildet sind und aus Alu
minium oder Kupfer bestehen. Der erste magnetische
Kern 35 besteht aus magnetischen Materialien wie Per
malloy oder Sendust und ist in der Ausnehmung 11 ein
geschlossen, so daß seine Dicke geringer ist als die
Höhe des Vorsprungs 12. Da die mehreren ersten magne
tischen Kerne 35 durch die Vorsprünge 12 vollständig
voneinander getrennt sind, kann ein Übersprechen ver
hindert werden. Der zweite leitende Durchgang 22 um
faßt eine Mehrzahl von parallelen und leitenden
Durchgängen, die auf der zweiten isolierenden Schicht
42 gebildet sind und aus Aluminium oder Kupfer beste
hen, wobei der zweite leitende Durchgang 22 aufein
anderfolgend mit den Enden des ersten leitenden
Durchgangs 21 über die Kontaktlöcher 23 verbunden
ist. Die ersten leitenden Durchgänge 21 und die zwei
ten leitenden Durchgänge 22 bilden eine Mehrzahl von
integrierten ersten Spulen, die um den ersten magne
tischen Kern 35 gewunden sind. Die Stromversorgung
und der Empfang des Wiedergabesignals zu bzw. von der
ersten Spule erfolgt über den Elektrodenanschluß 51a.
Der magnetische Spalt 32 ist auf dem zweiten leiten
den Durchgang 22, dem leitenden Durchgang 24 und dem
ersten magnetischen Kern 35 gebildet. Der magnetische
Spalt 32 besteht aus nichtmagnetischen Materialien
und ist zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und
dem zweiten magnetischen Kern 36 gebildet.
Wie in Fig. 24 gezeigt ist, sind ein Kontaktloch 63
zur Herstellung der Verbindung zwischen dem zweiten
leitenden Durchgang 22 und dem vierten leitenden
Durchgang 62 und ein Kontaktloch 64 zur Herstellung
der Verbindung zwischen dem ersten magnetischen Kern
35 und dem zweiten magnetischen Kern 36 in der
Schicht, die aus dem nichtmagnetischem Material zur
Bildung des magnetischen Spaltes 32 besteht, und in
der fünften isolierenden Schicht angeordnet. Der
vierte leitende Durchgang 62 weist eine Mehrzahl von
parallelen leitenden Durchgängen aus Aluminium oder
Kupfer auf, und der vierte leitende Durchgang 62 ist
aufeinanderfolgend mit den Enden der dritten leiten
den Durchgänge 61 über die Kontaktlöcher 65 in der
vierten isolierenden Schicht 44 verbunden. Der zweite
magnetische Kern 36 besteht aus magnetischem Material
wie Permalloy oder Sendust und hat schräge Seitenflä
chen, wobei er so ausgebildet ist, daß er nicht das
Ende des vierten leitenden Durchgangs 62 erreicht.
Eine dritte isolierende Schicht 43 ist zumindest auf
den Seitenflächen und der oberen Fläche des zweiten
magnetischen Kerns 36 gebildet. Der dritte leitende
Durchgang 61 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, die auf den Seitenflächen und
der oberen Fläche des zweiten magnetischen Kerns 36
gebildet sind, wobei die dritte isolierende Schicht
43 hierzwischen angeordnet ist. Jede von einer Mehr
zahl von zweiten Spulen ist integral durch den drit
ten leitenden Durchgang 61 und den vierten leitenden
Durchgang gebildet und um den zweiten magnetischen
Kern 36 gewunden. Die Stromzuführung und der Empfang
des Wiedergabesignals zu bzw. von der zweiten Spule
erfolgt über den Elektrodenanschluß 51b. Da die erste
Spule und die zweiten Spulen über das Kontaktloch 63
miteinander in Reihe verbunden sind, können die
Stromzuführung und der Empfang des Wiedergabesignals
über die Elektrodenanschlüsse 51a und 51b durchge
führt werden. Der erste magnetische Kern 35 und der
zweite magnetische Kern 36 sind durch den magneti
schen Spalt 32 benachbart der Gleitfläche des magne
tischen Aufzeichnungsmediums voneinander getrennt,
während sie auf der der Gleitfläche des magnetischen
Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite über das
Kontaktloch miteinander verbunden sind. Als Folge der
so ausgebildeten Struktur kann ein magnetischer Kopf
gebildet werden, dessen Reihenparallelwicklung leicht
realisiert werden kann, dessen Abstände beträchtlich
verkürzt werden können und bei dem die Genauigkeit
der magnetischen Spaltlänge und der relativen Posi
tion verbessert werden kann.
Bei dem vorbeschriebenen fünften Ausführungsbeispiel
ist die Anordnung derart, daß die fünfte isolierende
Schicht 45 das Kontaktloch 63 zur Herstellung der
Verbindung zwischen dem zweiten leitenden Durchgang
22 und dem vierten leitenden Durchgang 62 und das
Kontaktloch 64 zur Herstellung der Verbindung zwi
schen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten
magnetischen Kern 36 enthält.
Die fünfte iso
lierende Schicht 45 kann das Kontaktloch 63 zur Herstel
lung der Verbindung zwischen dem zweiten leitenden
Durchgang 22 und dem vierten leitenden Durchgang 62
nicht enthalten, und daher sind die erste Spule und die
durch die fünfte isolierende Schicht 45 von dieser
getrennte zweite Spule nicht miteinander verbunden.
Als Alternative hierzu sind Elektrodenanschlüsse wei
terhin auf der zweiten isolierenden Schicht 42 und
der fünften isolierenden Schicht 45 für die erste und
die zweite Spule angeordnet. Da die Verbindung der
ersten Spule und der zweiten Spule über das Kontakt
loch 63 nicht hergestellt werden muß, kann die Zuver
lässigkeit erhöht werden.
Ein sechstes Ausführungsbeispiel des magnetischen Kop
fes wird nun beschrieben. Die Be
schreibung erfolgt unter Bezug auf Fig. 25 nur hin
sichtlich solcher Merkmale, die unterschiedlich ge
genüber dem fünften Ausführungsbeispiel sind.
In diesem Ausführungsbeispiel ist bei dem magneti
schen Kopf gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel wei
terhin ein zweites Substrat 2 vorgesehen. Das zweite
Substrat 2 ist beispielsweise dadurch gebildet, daß
entsprechend dem ersten Substrat eine isolierende
Schicht 2b aus einem isolierenden Material wie SiO2
auf ein Einkristall-Silizium-Substrat 2a aufgebracht
ist. Das zweite Substrat 2 gibt die Möglichkeit, daß
die benachbarten zweiten magnetischen Kerne 36 sicher
voneinander getrennt sind, so daß das Übersprechen
verhindert werden kann. Weiterhin können die zweiten
magnetischen Kerne 36 und der dritte leitende Durch
gang 61 geschützt werden.
Fig. 26 enthält eine
perspektivische Ansicht, die einen magnetischen Kopf
nach einem siebenten Ausführungsbeispiel darstellt,
Fig. 27 enthält eine perspektivische Ansicht, die ein
Substrat des magnetischen Kopfes nach diesem Ausfüh
rungsbeispiel darstellt, Fig. 28 enthält eine seitli
che Querschnittsansicht des magnetischen Kopfes und
Fig. 29 enthält eine vertikale Querschnittsansicht.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist gemäß Fig. 28 das Substrat 1, den ersten lei
tenden Durchgang 21, den zweiten leitenden Durchgang
22, den ersten magnetischen Kern 35, den dritten lei
tenden Durchgang 61, den vierten leitenden Durchgang
62, den zweiten magnetischen Kern 36, den magneti
schen Spalt 32, die erste isolierende Schicht 41, die
zweite isolierende Schicht 42, die dritte isolierende
Schicht 43 und die vierte isolierende Schicht 44 auf.
Obgleich die Fig. 26 bis 29 zum leichteren Verständ
nis den magnetischen Kopf für zwei Kanäle darstellen,
bezieht sich die Struktur selbstverständlich allge
mein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.
Wie Fig. 27 zeigt, ist das Substrat 1 ein isolieren
des Substrat, das das Einkristall-Silizium-Substrat
1a und isolierende Schichten 1b und 1c aus SiO2 um
faßt, wobei das Substrat 1 mehrere gratförmige Vor
sprünge 12 auf den beiden vertikalen Oberflächen an
entsprechenden Positionen besitzt. Der Raum zwischen
den gratförmigen Vorsprüngen ist als flacher Bereich
13 ausgebildet. Die beiden Seitenflächen des gratför
migen Vorsprungs 12 verlaufen schräg in bezug auf den
flachen Bereich 13. Die beiden Seitenflächen des
gratförmigen Vorsprungs 12 und der flache Bereich 13
bilden die Ausnehmung. Die Länge des flachen Bereichs
13 ist kürzer als die des gratförmigen Vorsprungs 12.
Weiterhin sind eine vordere Endfläche 93 und eine
hintere Endfläche 94 gegenüber Endflächen 91 und 92
der Vorsprünge zurückgesetzt. Wie in Fig. 28 gezeigt
ist, bildet eine Mehrzahl von parallelen und leiten
den Durchgängen auf den beiden Seitenflächen der
gratförmigen Vorsprünge 12 und den Bodenflächen 13,
die aus Aluminium oder Kupfer bestehen, den ersten
leitenden Durchgang 21 auf der oberen Fläche des Sub
strats 1. Weiterhin ist ein dritter leitender Durch
gang 61 in der unteren Fläche des Substrats 1 ausge
bildet. Der auf der oberen Fläche des Substrats 1
gebildete erste magnetische Kern 35 und der auf der
unteren Fläche desselben gebildete zweite magnetische
Kern 36 bestehen aus magnetischem Material wie Per
malloy oder Sendust und sind eingeschlossen, so daß
ihre Dicke geringer ist als die Höhe des Vorsprungs
12. Wie in Fig. 29 gezeigt ist, sind der erste magne
tische Kern 35 und der zweite magnetische Kern 36
benachbart der Gleitfläche 91 des magnetischen Auf
zeichnungsmediums durch den magnetischen Spalt 32
voneinander getrennt, während sie auf der der Gleit
fläche 91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums ent
gegengesetzten Seite 92 miteinander verbunden sind.
Der magnetische Spalt 32 besteht aus nichtmagneti
schem Material und ist angrenzend an die Gleitfläche
91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums zwischen dem
ersten magnetischen Kern 35 und dem zweiten magneti
schen Kern 36 ausgebildet. Da die mehreren ersten
magnetischen Kerne 35 und die zweiten magnetische
Kerne 36 durch die Vorsprünge 12 vollständig vonein
ander getrennt sind, kann das Übersprechen verhindert
werden. Das Kontaktloch 23 ist in der zweiten isolie
renden Schicht 42 ausgebildet zur Herstellung der
Verbindung zwischen einem Ende des ersten leitenden
Durchgangs 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22.
Das Kontaktloch 65 ist in der vierten isolierenden
Schicht 44 ausgebildet zur Herstellung der Verbindung
zwischen dem Ende des dritten leitenden Durchgangs 61
und dem vierten leitenden Durchgang 62. Der zweite
leitende Durchgang 22 und der vierte leitende Durch
gang 62 werden durch parallele und leitende Durchgän
ge aus Aluminium oder Kupfer gebildet, wobei der
zweite leitende Durchgang 22 aufeinanderfolgend mit
den Enden der ersten leitenden Durchgänge 21 über die
Kontaktlöcher 23 verbunden ist. Der vierte leitende
Durchgang 62 ist aufeinanderfolgend mit den Enden der
dritten leitenden Durchgänge 61 über die Kontaktlö
cher 65 verbunden. Die ersten leitenden Durchgänge 21
und die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden mehre
re integrierte erste Spulen, die um den ersten magne
tischen Kern 35 gewunden sind. Die dritten leitenden
Durchgänge 61 und die vierten leitenden Durchgänge 62
bilden mehrere integrierte zweite Spulen, die um den
zweiten magnetischen Kern 36 gewunden sind. Als Folge
dieser Struktur kann der Abstand zwischen der ersten
Spule und der zweiten Spule verlängert werden. Daher
kann der gegenseitige Einfluß der Spulen beträchtlich
vermindert werden. Weiterhin ein magnetischer Kopf
gebildet werden, bei dem die Reihenparallelwicklung
leicht realisiert werden kann, die Abstände beträcht
lich verkürzt werden können und die Genauigkeit der
magnetischen Spaltlänge und der relativen Position
verbessert werden kann.
Fig. 30 enthält eine
seitliche Querschnittsansicht, die den magnetischen
Kopf nach einem achten Ausführungsbeispiel dar
stellt, und Fig. 33 enthält eine vertikale Quer
schnittsansicht.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist das Substrat 1, den ersten leitenden Durchgang
21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den ersten
magnetischen Kern 35, den zweiten magnetischen Kern
36, den magnetischen Spalt 32, die erste isolierende
Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42 und die
dritte isolierende Schicht 43 auf. Obgleich die Fig.
30 und 31 zum leichteren Verständnis die Struktur
eines magnetischen Kopfes für zwei Kanäle darstellen,
bezieht sich dieses Ausführungsbeispiel selbstver
ständlich allgemein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.
Das Substrat ist ein isolierendes Substrat, das das
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und die isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen umfaßt, und auf
seiner Oberfläche ist eine Mehrzahl von Vorsprüngen
12 gebildet. Der Raum zwischen den Vorsprüngen 12 ist
als flacher Bereich 13 ausgestaltet. Die beiden Sei
tenflächen des Vorsprungs 12 verlaufen schräg in be
zug auf den flachen Bereich 13, wobei die beiden Sei
tenflächen der Vorsprünge 12 und der flachen Bereich
13 die Ausnehmung 11 bilden. Der erste leitende
Durchgang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflä
chen der Vorsprünge 12 und der Bodenfläche 13 gebil
det sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen. Der
erste magnetische Kern 35 besteht aus magnetischem
Material wie Permalloy oder Sendust und ist in der
Ausnehmung 11 eingeschlossen mit einer Dicke, die
geringer ist als die Höhe des Vorsprungs 12. Das die
mehreren ersten magnetischen Kerne 35 durch die Vor
sprünge 12 vollständig voneinander getrennt sind,
kann das Übersprechen verhindert werden. Das Kontakt
loch 23 ist in der zweiten isolierenden Schicht 42
ausgebildet für die Herstellung der Verbindung zwi
schen dem Ende des ersten leitenden Durchgangs 21 und
dem zweiten leitenden Durchgang 22. Der zweite lei
tende Durchgang 22 umfaßt eine Mehrzahl von paralle
len und leitenden Durchgängen, die auf der zweiten
isolierenden Schicht 42 gebildet sind und aus Alumi
nium oder Kupfer bestehen, wobei der zweite leitende
Durchgang 22 aufeinanderfolgend mit den Enden der
ersten leitenden Durchgänge 21 durch die Kontaktlö
cher 23 verbunden ist. Die ersten leitenden Durchgän
ge 21 und die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden
mehrere integrierte Spulen, die um den ersten magne
tischen Kern 35 gewunden sind. Der zweite magnetische
Kern 36 besteht aus magnetischem Material wie Permal
loy oder Sendust. Der magnetische Spalt 32 aus nicht
magnetischem Material ist an einer an die Gleitfläche
91 des magnetischen Aufzeichnungsmediums angrenzenden
Stelle zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und
dem zweiten magnetischen Kern 36 ausgebildet. Der
zweite magnetische Kern 36 ist mit dem ersten magne
tischen Kern 35 auf der der Gleitfläche 91 des magne
tischen Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite
durch das magnetische Material verbunden. Die dritte
isolierende Schicht 43 ist zwischen dem leitenden
Durchgang, zum Beispiel dem zweiten leitenden Durch
gang 22, und dem zweiten magnetischen Kern vorgese
hen, so daß das Auftreten eines Kurzschlusses in dem
leitenden Durchgang, beispielsweise dem zweiten lei
tenden Durchgang 22, verhindert wird und die Wärme
abstrahlung von demselben vergrößert wird. Als Ergeb
nis der so ausgebildeten Struktur kann ein magneti
scher Kopf gebildet werden, bei dem die Reihenparal
lelwicklung leicht realisiert werden kann, die Ab
stände beträchtlich verkürzt werden können und die
Genauigkeit der magnetischen Spaltlänge und der rela
tiven Position verbessert werden kann.
Fig. 32 enthält eine seitliche Querschnittsansicht
die den magnetischen Kopf entsprechend einem neunten
Ausführungsbeispiel darstellt, und Fig. 33
enthält eine vertikale Querschnittsansicht.
Der magnetische Kopf nach diesem Ausführungsbeispiel
weist das Substrat 1, den ersten leitenden Durchgang
21, den zweiten leitenden Durchgang 22, den ersten
magnetischen Kern 35, den zweiten magnetischen Kern
36, den magnetischen Spalt 32, die erste isolierende
Schicht 41, die zweite isolierende Schicht 42 und die
dritte isolierende Schicht 43 auf. Obgleich Fig. 32
zum leichteren Verständnis die Struktur des magneti
schen Kopfes für zwei Kanäle wiedergibt, bezieht sich
dieses Ausführungsbeispiel selbstverständlich allge
mein auf einen Mehrkanal-Magnetkopf.
Das Substrat 1 ist ein isolierendes Substrat, das das
Einkristall-Silizium-Substrat 1a und die isolierende
Schicht 1b aus SiO2 oder dergleichen umfaßt, und es
ist mit einer Mehrzahl von auf seiner Oberfläche ge
bildeten Vorsprüngen 12 versehen. Der Raum zwischen
den Vorsprüngen 12 ist als flacher Bereich 13 ausge
bildet. Die beiden Seitenflächen des Vorsprungs 12
verlaufen schräg in bezug auf den flachen Bereich 13,
wobei die beiden Seitenflächen der Vorsprünge 12 und
der flache Bereich 13 die Ausnehmung 11 bilden. Auf
der Bodenfläche 13 der Ausnehmung 11 befindet sich
der zweite magnetische Kern 36 aus magnetischem Mate
rial wie Permalloy oder Sendust. Der erste leitende
Durchgang 21 umfaßt eine Mehrzahl von parallelen und
leitenden Durchgängen, die auf den beiden Seitenflä
chen des Vorsprungs 12 und der dritten isolierenden
Schicht 43 gebildet sind und aus Aluminium oder Kup
fer bestehen. Der erste magnetische Kern 35 besteht
aus magnetischem Material wie Permalloy oder Sendust
und ist derart in der Ausnehmung 11 eingeschlossen,
daß seine Dicke geringer ist als die Höhe des Vor
sprungs 12. Da die mehreren ersten magnetischen Kerne
35 durch die Vorsprünge 12 vollständig voneinander
getrennt sind, kann das Übersprechen verhindert wer
den. Der zweite leitende Durchgang 22 umfaßt eine
Mehrzahl von parallelen und leitenden Durchgängen,
die auf der zweiten isolierenden Schicht 42 gebildet
sind und aus Aluminium oder Kupfer bestehen, wobei
der zweite leitende Durchgang 22 aufeinanderfolgend
mit den Enden der ersten leitenden Durchgänge 21 ver
bunden ist. Die ersten leitenden Durchgänge 21 und
die zweiten leitenden Durchgänge 22 bilden eine Spu
le, die um den ersten magnetischen Kern 35 gewunden
ist. Der magnetische Spalt 32 aus dem nichtmagneti
schen Material ist an einer an die Gleitfläche 91 des
magnetischen Aufzeichnungsmediums angrenzenden Posi
tion zwischen dem ersten magnetischen Kern 35 und dem
zweiten magnetischen Kern 36 gebildet. Der zweite
magnetische Kern 36 ist mit dem ersten magnetischen
Kern 31 auf der der Gleitfläche 91 des magnetischen
Aufzeichnungsmediums entgegengesetzten Seite durch
das magnetische Material verbunden. Als ein Ergebnis
der so ausgebildeten Struktur kann ein magnetischer
Kopf gebildet werden, in welchem eine Reihenparallel
wicklung leicht realisiert werden kann, die Abstände
beträchtlich verkürzt werden können und die Genauig
keit der magnetischen Spaltlänge und der relativen
Position verbessert werden kann.
Ob
gleich jedes der vorhergehenden Ausführungsbeispiele
so wiedergegeben ist, daß das Substrat 1 ein isolie
rendes Substrat ist, das das Einkristall-Silizium-
Substrat 1a und die isolierende Schicht 1b aus SiO2
oder dergleichen umfaßt, kann das Substrat 1a aus
einem Material wie Metall, Glas oder Harz hergestellt
sein. Das Material der isolierenden Schicht 1b ist
nicht auf SiO2 beschränkt.
Das Substrat kann aus isolierendem Material bestehen
wie Saphir, Glas, Keramik oder einem Metalloxid. In
diesem Fall kann die isolierende Schicht 1b weggelas
sen werden und die Isolation zwischen dem Substrat
und dem zweiten leitenden Durchgang 22 kann stets
aufrechterhalten werden. Weiterhin kann eine ausge
zeichnete Wärmeleitfähigkeit erhalten werden, wodurch
sich eine ausgezeichnete Wärmeabstrahlungswirkung
ergibt. Weiterhin wird durch den Verzicht auf die
isolierende Schicht 1b der Herstellungsprozeß verein
facht, so daß die Herstellungskosten verringert wer
den können.
Bei jedem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele
werden die Kontaktlöcher, von denen jedes in der
zweiten isolierenden Schicht zur Herstellung der Ver
bindung zwischen der Endfläche 21a des ersten leiten
den Durchgangs 21 und dem zweiten leitenden Durchgang
22 gebildet ist, jeweils in den Verbindungsbereichen
zwischen den Endflächen 21a des ersten leitenden
Durchgangs und den Enden des zweiten leitenden Durch
gangs 22 gebildet. In Fig. 34
stellt ein Kontaktloch 23 die Verbindungen der in
derselben Linie angeordneten Verbindungsbereiche dar.
Als Folge dieser Struktur können die Positions- und
Dimensionstoleranzen des Kontaktlochs 23 zur Zeit der
Bildung des Kontaktlochs 23 vergrößert werden. Daher
kann die Verbindung zwischen dem ersten leitenden
Durchgang 21 und dem zweiten leitenden Durchgang 22
sicher hergestellt und die Herstellungskosten können
verringert werden.
Die Vorsprünge 12, 15 und 16 und die Bodenfläche der
Ausnehmung 11 auf dem Substrat sind nicht auf die
flachen Oberflächen beschränkt, die in jedem der vor
hergehenden Ausführungsbeispiele gezeigt sind. Bei
spielsweise können gekrümmte Oberflächen mit schrägen
Oberflächen wie in Fig. 35A gezeigt verwendet werden,
um eine gleiche Wirkung zu erhalten. Eine andere, in
Fig. 35B gezeigte Struktur kann verwendet werden, bei
der Seitenflächen 11a, 11b sowie die Bodenflächen 11c
und 13c gekrümmt sind. In diesem Fall ist es bevor
zugt, daß das Substrat 1 aus einem nichtkristallinen
Material wie Glas oder Harz besteht.
In jedem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele wurde
die Dicke der ersten isolierenden Schicht 41 oder die
der dritten isolierenden Schicht 43 so gewählt, daß
sie größer ist als die Dicke des ersten leitenden
Durchgangs 21 und die des dritten leitenden Durch
gangs 62. Die Dicke kann geringer sein als die des
ersten leitenden Durchgangs 21 und die des dritten
leitenden Durchgangs 62, um eine magnetische Struktur
und einen magnetischen Kopf zu schaffen, mit denen
gleiche Wirkungen wie bei jedem der vorhergehenden
Ausführungsbeispiele erhalten werden.
In einer anderen Ausführungsform nach Fig. 36 ist die
magnetische Schicht 1c aus magnetischem Material wie
Permalloy oder Sendust unterhalb der isolierenden
Schicht 1b des Substrats 1 gebildet. Da die magneti
sche Schicht 1c als eine magnetische Abschirmung
dient, kann das Übersprechen zwischen den Kanälen
verhindert werden.
In einer weiteren Ausführungsform wird beispielsweise
eine Schutzschicht aus isolierendem Material wie Glas
oder Harz auf dem zweiten leitenden Durchgang 22 oder
dem vierten leitenden Durchgang 62 gebildet. Die
Schutzschicht schützt die Oberfläche des magnetischen
Kopfes vor der Umgebung, und daher kann die Zuverläs
sigkeit verbessert werden.
Fig. 37 enthält eine teilweise geschnittene perspek
tivische Ansicht und eines Ausschnittes aus einer ma
gnetischen Struktur. Fig. 38 enthält eine seitliche
Querschnittsansicht.
Im Gegensatz zu vorherigen Ausführungsbeispielen, bei
denen der erste leitende Durchgang 21 durch die bei
den Seitenflächen der Ausnehmung 11 und die Bodenflä
che gebildet ist, reicht gemäß Fig. 37 und 38 der
erste leitende Durchgang 21a bis zur oberen Fläche 10
des Substrats 1. Weiterhin ist der zweite leitende
Durchgang 22 mit dem auf der oberen Fläche 10 des
Substrats 1 gebildeten Teil des leitenden Durchgangs
21a verbunden. Als Folge hiervon kann die Position
des Kontaktlochs auf der zweiten isolierenden Schicht
42 über der oberen Fläche 10 des Substrats liegen.
Durch Positionierung des Kontaktlochs 23 über der
oberen Fläche 10 des Substrats kann die Isolierung
des ersten leitenden Durchgangs 21 und des zweiten
leitenden Durchgangs 22 gegenüber dem magnetischen
Kern 31 sicher hergestellt werden. Weiterhin können
die Positions- und Dimensionstoleranzen des Kontakt
lochs 23 vergrößert werden, wodurch die Herstellungs
kosten verringert werden.
Fig. 39 ist eine perspektivische Ansicht, die die ma
gnetische Struktur teilweise geschnitten darstellt,
Fig. 40 enthält eine perspektivische Ansicht, die ein
Teil eines Substrats der magnetischen Struktur dar
stellt, Fig. 41 enthält eine seitliche Querschnitts
ansicht und Fig. 42 eine horizontale Querschnittsan
sicht eines Teils der magnetischen Struktur.
Dabei ist eine Ausnehmung, das heißt ein Nutenbereich
17' in der oberen Fläche 10 des Substrats 1 gebildet.
Eine Mehrzahl von Nutenbereichen 17' ist parallel
verlaufend an die schräge Fläche der Ausnehmung 11
des Substrats angrenzend zu der oberen Fläche 10 des
Substrats ausgebildet. Der erste leitende Durchgang
21 bedeckt den Nutenbereich 17' in der oberen Fläche
des Substrats, die beiden Seitenflächen und die Bo
denfläche der Ausnehmung 11. Der erste leitende
Durchgang 21 und der zweite leitende Durchgang 22
sind durch das auf dem Nutenbereich 17' gebildete
Kontaktloch 23 in der zweiten isolierenden Schicht 42
miteinander verbunden. Als Folge dieser Struktur kön
nen der erste leitende Durchgang 21 und der zweite
leitende Durchgang 22 sicher gegenüber dem magneti
schen Kern 31 isoliert werden. Weiterhin können die
Positions- und Dimensionstoleranzen des Kontaktlochs
vergrößert werden, wodurch die Herstellungskosten
verringert werden können. Weiterhin können die mehre
ren ersten leitenden Durchgänge 21 auf der Oberfläche
10 des Substrats durch die Nutenbereiche 17' sicher
gegeneinander isoliert werden.
Fig. 43 enthält eine perspektivische Ansicht eines
Teils einer magnetischen Struktur, teilweise ge
schnitten, und Fig. 44 eine perspektivische Ansicht
eines Teils des Substrats der magnetischen Struktur
nach einer weiteren Ausführungsform.
Gemäß Fig. 44 wird ein Nutenbereich 18 von den beiden
Seitenflächen und der Bodenfläche der Ausnehmung 11
gebildet. Es sind mehrere Nutenbereiche 18' parallel
in der Längsrichtung der Ausnehmung ausgebildet. Der
erste leitende Durchgang 21 ist in dem Nutenbereich
18' ausgebildet, wie in Fig. 43 gezeigt ist. Daher
können die ersten leitenden Durchgänge sicher gegen
einander isoliert werden. Die Dicke des ersten lei
tenden Durchgangs 21 ist im Wesentlichen gleich der
Tiefe des Nutenbereichs 18'. Als Folge hiervon stel
len die Bodenfläche und die beiden Seitenflächen der
Ausnehmung 11 flache Oberflächen dar, nachdem der er
ste leitende Durchgang 21 gebildet ist, so daß Erhe
bungen und Löcher, die beim ersten Ausführungsbei
spiel auftreten, vermieden werden. Als Folge hiervon
weisen die in der Ausnehmung 11 gebildete erste iso
lierende Schicht 41 und der der Ausnehmung im Sub
strat zugewandte magnetische Kern 31 flache Oberflä
chen auf, nachdem der erste leitende Durchgang 21 ge
bildet ist. Als Folge dieser Struktur können Erhebun
gen und Vertiefungen, die beim ersten Ausführungsbei
spiel auftreten, bei dem magnetischen Kern 31 vermie
den werden. Daher kann der Verlust des durch den ma
gnetischen Kern hindurchgehenden Magnetischen Flusses
verringert werden, wodurch ein magnetischer Kern mit
einem ausgezeichneten magnetischen Wirkungsgrad er
halten wird.
Claims (6)
1. Magnetkopf mit einem Substrat, auf dem eine
Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen mit je
weils schrägen Seitenflächen angeordnet ist,
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorsprünge unterschiedliche Längen auf weisen und in der Weise angeordnet sind, daß sich längere Vorsprünge (15) beidseitig von kur zen Vorsprüngen (16) befinden, daß ein magneti scher Spalt (32) aus nichtmagnetischem Material in dem magnetischen Kern (31) auf der der Gleit fläche (91) auf einem magnetischen Aufzeich nungsträger benachbarten Seite gebildet ist,
wobei der magnetische Kern (31) durch die langen Vorsprünge (15) getrennt ist, derart, daß eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips integriert auf demselben Substrat (1) gebildet ist.
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorsprünge unterschiedliche Längen auf weisen und in der Weise angeordnet sind, daß sich längere Vorsprünge (15) beidseitig von kur zen Vorsprüngen (16) befinden, daß ein magneti scher Spalt (32) aus nichtmagnetischem Material in dem magnetischen Kern (31) auf der der Gleit fläche (91) auf einem magnetischen Aufzeich nungsträger benachbarten Seite gebildet ist,
wobei der magnetische Kern (31) durch die langen Vorsprünge (15) getrennt ist, derart, daß eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips integriert auf demselben Substrat (1) gebildet ist.
2. Magnetkopf mit einem Substrat, auf dem eine
Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen mit je
weils schrägen Seitenflächen angeordnet ist,
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, gekennzeichnet durch
eine nichtmagnetische isolierende Schicht auf dem magnetischen Kern (35) auf der der Gleitflä che auf einem magnetischen Aufzeichnungsmedium benachbarten Seite und auf der zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zur Bildung eines ma gnetischen Spaltes (32),
eine dritte leitende Durchgangsanordnung (62), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, die auf der nichtmagnetischen iso lierenden Schicht (32) gebildet sind,
eine dritte isolierende Schicht (44) auf der dritten leitenden Durchgangsanordnung (62),
einen weiteren magnetischen Kern (36) aus magne tischem Material, der so auf der nichtmagneti schen isolierenden Schicht und der dritten iso lierenden Schicht (44) angeordnet ist, daß er gratförmige Vorsprünge mit jeweils geneigten Oberflächen bildet,
eine vierte isolierende Schicht (43) auf den beiden Seitenflächen und der oberen Fläche des weiteren magnetischen Kerns (36), und
eine auf der vierten isolierenden Schicht (43) angeordnete vierte leitende Durchgangsanordnung (61) zum Bilden wendelförmiger Spulen durch auf einanderfolgendes Verbinden der Enden der drit ten leitenden Durchgangsanordnung (62), wobei eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips inte griert gebildet ist.
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, gekennzeichnet durch
eine nichtmagnetische isolierende Schicht auf dem magnetischen Kern (35) auf der der Gleitflä che auf einem magnetischen Aufzeichnungsmedium benachbarten Seite und auf der zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zur Bildung eines ma gnetischen Spaltes (32),
eine dritte leitende Durchgangsanordnung (62), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, die auf der nichtmagnetischen iso lierenden Schicht (32) gebildet sind,
eine dritte isolierende Schicht (44) auf der dritten leitenden Durchgangsanordnung (62),
einen weiteren magnetischen Kern (36) aus magne tischem Material, der so auf der nichtmagneti schen isolierenden Schicht und der dritten iso lierenden Schicht (44) angeordnet ist, daß er gratförmige Vorsprünge mit jeweils geneigten Oberflächen bildet,
eine vierte isolierende Schicht (43) auf den beiden Seitenflächen und der oberen Fläche des weiteren magnetischen Kerns (36), und
eine auf der vierten isolierenden Schicht (43) angeordnete vierte leitende Durchgangsanordnung (61) zum Bilden wendelförmiger Spulen durch auf einanderfolgendes Verbinden der Enden der drit ten leitenden Durchgangsanordnung (62), wobei eine Mehrzahl von magnetischen Kopfchips inte griert gebildet ist.
3. Magnetkopf mit einem Substrat, auf dem eine
Mehrzahl von gratförmigen Vorsprüngen mit je
weils schrägen Seitenflächen angeordnet sind,
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, gekennzeichnet durch
eine dritte leitende Durchgangsanordnung (61) aus einer Mehrzahl von Durchgängen,
eine dritte isolierende Schicht (43) auf der dritten leitenden Durchgangsanordnung (61),
einen weiteren magnetischen Kern (36),
eine vierte isolierende Schicht (44) auf dem weiteren magnetischen Kern (36),
eine auf der vierten isolierenden Schicht (44) gebildeten vierten leitenden Durchgangsanordnung (62), um die Enden der dritten leitenden Durch gangsanordnung (61) zur Bildung einer wendelför migen Spule aufeinanderfolgend zu verbinden,
wobei das Substrat (1) an im wesentlichen den selben Positionen auf seiner oberen und unteren Fläche die Vorsprünge (12) und Bodenflächen (13) aufweist und die Länge der Bodenflächen (13) kürzer als die der Vorsprünge (12) ist, von de nen jede Endflächen (91, 92) hat, die gegenüber den Endflächen (93, 94) der Bodenflächen (13) herausragen, wobei die erste leitende Durch gangsanordnung (21) und der eine magnetische Kern (35) auf der oberen Fläche des Substrats (1) und die dritte leitende Durchgangsanordnung (61) in entsprechender Weise wie die erste Durchgangsanordnung (21) und der weitere Kern (36) auf der unteren Fläche des Substrats gebil det sind, wobei die magnetischen Kerne (35, 36) aus magnetischem Material bestehen, das in den Raum von den oberen Flächen der ersten (41) und dritten (43) isolierenden Schicht zu den beiden über die beiden Endflächen (93, 94) der Boden fläche (13) vorstehenden Endflächen (91, 92) des Vorsprunges (12) eingefüllt ist, und wobei ein magnetischer Spalt (32) aus nichtmagnetischem Material zwischen den magnetischen Kernen (35, 36) auf der an die Gleitfläche auf einem magne tischen Aufzeichnungsmedium angrenzenden Seite ausgebildet ist.
einer ersten leitenden Durchgangsanordnung (21), bestehend aus einer Mehrzahl von leitenden Durchgängen, von denen jeder auf gegenüberlie genden schrägen Flächen der Vorsprünge und auf der Bodenfläche zwischen diesen schrägen Flächen gebildet ist,
einer ersten isolierenden Schicht (41) auf der ersten leitenden Durchgangsanordnung (21) und dem Substrat (1),
einem magnetischen Kern aus magnetischem Materi al, der in einer durch die benachbarten Vor sprünge und die Bodenfläche gebildeten nutenför migen Ausnehmung eingeschlossen ist,
einer zweiten isolierenden Schicht (42) auf dem magnetischen Kern, und
einer auf der zweiten isolierenden Schicht (42) gebildeten zweiten leitenden Durchgangsanordnung (22) zum aufeinanderfolgenden Verbinden von En den (21a) der ersten leitenden Durchgangsanord nung (21) zur Bildung mindestens einer wendel förmigen Spule, gekennzeichnet durch
eine dritte leitende Durchgangsanordnung (61) aus einer Mehrzahl von Durchgängen,
eine dritte isolierende Schicht (43) auf der dritten leitenden Durchgangsanordnung (61),
einen weiteren magnetischen Kern (36),
eine vierte isolierende Schicht (44) auf dem weiteren magnetischen Kern (36),
eine auf der vierten isolierenden Schicht (44) gebildeten vierten leitenden Durchgangsanordnung (62), um die Enden der dritten leitenden Durch gangsanordnung (61) zur Bildung einer wendelför migen Spule aufeinanderfolgend zu verbinden,
wobei das Substrat (1) an im wesentlichen den selben Positionen auf seiner oberen und unteren Fläche die Vorsprünge (12) und Bodenflächen (13) aufweist und die Länge der Bodenflächen (13) kürzer als die der Vorsprünge (12) ist, von de nen jede Endflächen (91, 92) hat, die gegenüber den Endflächen (93, 94) der Bodenflächen (13) herausragen, wobei die erste leitende Durch gangsanordnung (21) und der eine magnetische Kern (35) auf der oberen Fläche des Substrats (1) und die dritte leitende Durchgangsanordnung (61) in entsprechender Weise wie die erste Durchgangsanordnung (21) und der weitere Kern (36) auf der unteren Fläche des Substrats gebil det sind, wobei die magnetischen Kerne (35, 36) aus magnetischem Material bestehen, das in den Raum von den oberen Flächen der ersten (41) und dritten (43) isolierenden Schicht zu den beiden über die beiden Endflächen (93, 94) der Boden fläche (13) vorstehenden Endflächen (91, 92) des Vorsprunges (12) eingefüllt ist, und wobei ein magnetischer Spalt (32) aus nichtmagnetischem Material zwischen den magnetischen Kernen (35, 36) auf der an die Gleitfläche auf einem magne tischen Aufzeichnungsmedium angrenzenden Seite ausgebildet ist.
4. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß die erste leitende
Durchgangsanordnung (21) von der Bodenfläche ei
ner nutenförmigen Ausnehmung zu den Seitenflä
chen und der oberen Fläche (10) derselben gebil
det ist.
5. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß die erste leitende
Durchgangsanordnung (21) von einer in der oberen
Fläche (10) einer nutenförmigen Ausnehmung (11)
gebildeten Ausnehmung (17') zu den Seitenflächen
(11a, 11b) und der Bodenfläche derselben gebil
det ist.
6. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß die erste leitende
Durchgangsanordnung (21) zumindest in einem Nu
tenbereich (18'), der sich von der Bodenfläche
(11c) zu den Seitenflächen (11a, 11b) der nuten
förmigen Ausnehmung (11) erstreckt, ausgebildet
ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28141992 | 1992-10-20 | ||
JP5233136A JP2943579B2 (ja) | 1992-10-20 | 1993-09-20 | 磁気構造体並びにこれを用いた磁気ヘッドおよび磁気記録ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4336417A1 DE4336417A1 (de) | 1994-04-21 |
DE4336417C2 true DE4336417C2 (de) | 1999-10-21 |
Family
ID=26530868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4336417A Expired - Fee Related DE4336417C2 (de) | 1992-10-20 | 1993-10-19 | Magnetkopf |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6236538B1 (de) |
JP (1) | JP2943579B2 (de) |
DE (1) | DE4336417C2 (de) |
GB (1) | GB2271880B (de) |
Families Citing this family (91)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5684660A (en) * | 1995-02-17 | 1997-11-04 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film coil head assembly with protective planarizing cocoon structure |
FR2745111B1 (fr) | 1996-02-15 | 1998-03-13 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique verticale a bobinage integre et son procede de realisation |
KR100250225B1 (ko) * | 1996-11-19 | 2000-04-01 | 윤종용 | 집적회로용 인덕터 및 그 제조방법 |
US6122149A (en) * | 1997-06-24 | 2000-09-19 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic microactuator and inductive sensor having shaped pole configuration |
JP3576783B2 (ja) * | 1997-12-26 | 2004-10-13 | Tdk株式会社 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
US6269533B2 (en) * | 1999-02-23 | 2001-08-07 | Advanced Research Corporation | Method of making a patterned magnetic recording head |
US7773340B2 (en) * | 1999-02-23 | 2010-08-10 | Advanced Research Corporation | Patterned magnetic recording head having a gap pattern with substantially elliptical or substantially diamond-shaped termination pattern |
US6858439B1 (en) | 1999-03-15 | 2005-02-22 | Aviva Biosciences | Compositions and methods for separation of moieties on chips |
CN1185492C (zh) * | 1999-03-15 | 2005-01-19 | 清华大学 | 可单点选通式微电磁单元阵列芯片、电磁生物芯片及应用 |
TW496775B (en) * | 1999-03-15 | 2002-08-01 | Aviva Bioscience Corp | Individually addressable micro-electromagnetic unit array chips |
JP3856591B2 (ja) | 1999-04-28 | 2006-12-13 | Tdk株式会社 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
US6441994B1 (en) * | 1999-07-15 | 2002-08-27 | Seagate Technology Llc | High frequency response writer with recessed shared pole and vertical coils |
JP4746232B2 (ja) * | 1999-09-20 | 2011-08-10 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | バックグラウンド磁界発生器を備えた磁気記録ヘッド |
US6989960B2 (en) * | 1999-12-30 | 2006-01-24 | Advanced Research Corporation | Wear pads for timing-based surface film servo heads |
US6496328B1 (en) | 1999-12-30 | 2002-12-17 | Advanced Research Corporation | Low inductance, ferrite sub-gap substrate structure for surface film magnetic recording heads |
US6819527B1 (en) * | 2000-03-23 | 2004-11-16 | Hitachi Global Storage Technologies, Inc. | Magnetic head with lower coil traces connected to integrally formed vertical interconnects and upper coil traces through plural insulating layer arrangement |
US6501619B1 (en) * | 2000-04-27 | 2002-12-31 | Shipley Company, L.L.C. | Inductive magnetic recording head having inclined magnetic read/write pole and method of making same |
JP2001312804A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Mitsumi Electric Co Ltd | マルチチャンネル磁気抵抗効果型ヘッド装置 |
US20060029955A1 (en) | 2001-03-24 | 2006-02-09 | Antonio Guia | High-density ion transport measurement biochip devices and methods |
US20050196746A1 (en) * | 2001-03-24 | 2005-09-08 | Jia Xu | High-density ion transport measurement biochip devices and methods |
US20050058990A1 (en) * | 2001-03-24 | 2005-03-17 | Antonio Guia | Biochip devices for ion transport measurement, methods of manufacture, and methods of use |
US20040146849A1 (en) * | 2002-01-24 | 2004-07-29 | Mingxian Huang | Biochips including ion transport detecting structures and methods of use |
WO2002077259A2 (en) * | 2001-03-24 | 2002-10-03 | Aviva Biosciences Corporation | Biochips including ion transport detecting structures and methods of use |
US20050009004A1 (en) * | 2002-05-04 | 2005-01-13 | Jia Xu | Apparatus including ion transport detecting structures and methods of use |
US20020171975A1 (en) * | 2001-05-15 | 2002-11-21 | Plumer Martin L. | Writing element with no return path |
US8986944B2 (en) * | 2001-10-11 | 2015-03-24 | Aviva Biosciences Corporation | Methods and compositions for separating rare cells from fluid samples |
US7166443B2 (en) | 2001-10-11 | 2007-01-23 | Aviva Biosciences Corporation | Methods, compositions, and automated systems for separating rare cells from fluid samples |
DE60237531D1 (de) | 2001-10-11 | 2010-10-14 | Aviva Biosciences Corp | Verfahren zum trennen von seltenen zellen von fluidproben |
US8980568B2 (en) * | 2001-10-11 | 2015-03-17 | Aviva Biosciences Corporation | Methods and compositions for detecting non-hematopoietic cells from a blood sample |
CA2485099C (en) * | 2002-05-04 | 2017-09-26 | Aviva Biosciences Corporation | Apparatus including ion transport detecting structures and methods of use |
JP2003338012A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-28 | Sony Corp | 磁気記録ヘッド装置、磁気再生ヘッド装置及び磁気ヘッド装置並びにこれらを用いたテープドライブ装置及びディスクドライブ装置 |
KR100818266B1 (ko) * | 2002-09-13 | 2008-03-31 | 삼성전자주식회사 | 고주파 집적회로에 사용되는 인덕터 |
US20040085684A1 (en) * | 2002-11-05 | 2004-05-06 | Basra Vijay K. | Magnetic read/write head |
JP3842767B2 (ja) * | 2002-11-22 | 2006-11-08 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘッド |
JP2004227704A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Sony Corp | ヘッド装置、記録再生装置及び磁気記録方法 |
JP3950828B2 (ja) * | 2003-03-14 | 2007-08-01 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
US7106544B2 (en) * | 2003-05-09 | 2006-09-12 | Advanced Research Corporation | Servo systems, servo heads, servo patterns for data storage especially for reading, writing, and recording in magnetic recording tape |
US8144424B2 (en) | 2003-12-19 | 2012-03-27 | Dugas Matthew P | Timing-based servo verify head and magnetic media made therewith |
US20050152066A1 (en) * | 2004-01-08 | 2005-07-14 | Imation Corp. | System with matrix array of write heads and array of magnetoresistive (MR) read heads |
US7342748B2 (en) * | 2004-01-08 | 2008-03-11 | Imation Corp. | System with matrix array of write heads and matrix array of magnetoresistive (MR) read heads |
JP4080432B2 (ja) * | 2004-01-29 | 2008-04-23 | ソニー株式会社 | 磁気ヘッド装置及びリニアテープドライブ装置 |
US7283317B2 (en) * | 2004-01-30 | 2007-10-16 | Advanced Research Corporation | Apparatuses and methods for pre-erasing during manufacture of magnetic tape |
JP4152903B2 (ja) * | 2004-02-02 | 2008-09-17 | ソニー株式会社 | 磁気ヘッド装置及びリニアテープドライブ装置 |
US7248433B1 (en) * | 2004-02-02 | 2007-07-24 | Western Digital (Fremont), Inc. | Magnetic head with stitched top pole layer and single layer coil or solenoidal coil |
US20100321824A1 (en) * | 2004-02-18 | 2010-12-23 | Dugas Matthew P | Magnetic recording head having secondary sub-gaps |
US7450341B2 (en) * | 2004-05-04 | 2008-11-11 | Advanced Research Corporation | Intergrated thin film subgap subpole structure for arbitrary gap pattern magnetic recording heads and method of making the same |
US7229908B1 (en) * | 2004-06-04 | 2007-06-12 | National Semiconductor Corporation | System and method for manufacturing an out of plane integrated circuit inductor |
FR2877485A1 (fr) * | 2004-11-04 | 2006-05-05 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'enregistrement et/ou de lecture a tetes magnetiques multiples azimutees |
FR2877484A1 (fr) * | 2004-11-04 | 2006-05-05 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'enregistrement et/ou de lecture a tetes magnetiques multiples a entrefers azimutes |
US7663839B2 (en) * | 2005-05-16 | 2010-02-16 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording with encasing layer |
US9754712B2 (en) | 2005-09-22 | 2017-09-05 | Radial Electronics, Inc. | Embedded magnetic components and methods |
US10522279B2 (en) | 2005-09-22 | 2019-12-31 | Radial Electronics, Inc. | Embedded high voltage transformer components and methods |
US10431367B2 (en) | 2005-09-22 | 2019-10-01 | Radial Electronics, Inc. | Method for gapping an embedded magnetic device |
US7477128B2 (en) | 2005-09-22 | 2009-01-13 | Radial Electronics, Inc. | Magnetic components |
US10049803B2 (en) | 2005-09-22 | 2018-08-14 | Radial Electronics, Inc. | Arrayed embedded magnetic components and methods |
EP2041299A4 (de) * | 2006-07-14 | 2010-01-13 | Aviva Biosciences Corp | Verfahren und zusammensetzungen für den nachweis seltener zellen aus einer biologischen probe |
US7791834B2 (en) | 2006-08-14 | 2010-09-07 | International Business Machines Corporation | Magnetic head having a ratio of back gap width to front gap width in about a defined range |
US7382569B2 (en) * | 2006-10-11 | 2008-06-03 | Intenational Business Machines Corporation | Progressive track width head and method |
US8035926B2 (en) * | 2007-11-01 | 2011-10-11 | International Business Machines Corporation | System including a pivot assembly for adjusting misalignment and skew between a read/write head and a flexible data storage media |
US7884452B2 (en) | 2007-11-23 | 2011-02-08 | Alpha And Omega Semiconductor Incorporated | Semiconductor power device package having a lead frame-based integrated inductor |
US7868431B2 (en) * | 2007-11-23 | 2011-01-11 | Alpha And Omega Semiconductor Incorporated | Compact power semiconductor package and method with stacked inductor and integrated circuit die |
US7884696B2 (en) * | 2007-11-23 | 2011-02-08 | Alpha And Omega Semiconductor Incorporated | Lead frame-based discrete power inductor |
US8217748B2 (en) * | 2007-11-23 | 2012-07-10 | Alpha & Omega Semiconductor Inc. | Compact inductive power electronics package |
WO2009094516A1 (en) * | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Advanced Research Corporation | Recording heads with embedded tape guides and magnetic media made by such recording heads |
US8068302B2 (en) * | 2008-03-28 | 2011-11-29 | Advanced Research Corporation | Method of formatting magnetic media using a thin film planar arbitrary gap pattern magnetic head |
US8004793B2 (en) | 2008-08-28 | 2011-08-23 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Nanometer scale magnetization |
WO2011014836A2 (en) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | Advanced Research Corporation | Erase drive systems and methods of erasure for tape data cartridge |
US9754714B2 (en) | 2009-07-31 | 2017-09-05 | Radial Electronics, Inc. | Embedded magnetic components and methods |
CN102738128B (zh) * | 2011-03-30 | 2015-08-26 | 香港科技大学 | 大电感值集成磁性感应器件及其制造方法 |
JP5727836B2 (ja) * | 2011-03-30 | 2015-06-03 | 株式会社東芝 | 磁気記憶素子、磁気記憶装置、磁壁移動方法 |
JP5815353B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2015-11-17 | 株式会社フジクラ | コイル配線素子およびコイル配線素子の製造方法 |
JP2014007339A (ja) | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Ibiden Co Ltd | インダクタ部品、その製造方法及びプリント配線板 |
US8742539B2 (en) | 2012-07-27 | 2014-06-03 | Infineon Technologies Austria Ag | Semiconductor component and method for producing a semiconductor component |
DE102012220022B4 (de) * | 2012-11-02 | 2014-09-25 | Festo Ag & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung einer Spule und elektronisches Gerät |
US20140247269A1 (en) * | 2013-03-04 | 2014-09-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | High density, low loss 3-d through-glass inductor with magnetic core |
US9449628B2 (en) | 2013-05-01 | 2016-09-20 | International Business Machines Corporation | Quasi-statically oriented, bi-directional tape recording head |
US9129614B2 (en) | 2013-05-01 | 2015-09-08 | International Business Machines Corporation | Magnetic head having canted arrays |
US9208809B2 (en) | 2013-05-01 | 2015-12-08 | International Business Machines Corporation | Magnetic head and system having offset arrays |
US8810957B1 (en) | 2013-09-05 | 2014-08-19 | International Business Machines Corporation | Quasi-statically tilted head having dilated transducer pitch |
US9214164B2 (en) | 2013-09-16 | 2015-12-15 | International Business Machines Corporation | Miniskirt tape head having quasi-statically tilted transducer arrays |
US9218838B2 (en) | 2013-12-12 | 2015-12-22 | International Business Machines Corporation | Quasi-statically tilted head having offset reader/writer transducer pairs |
US9007712B1 (en) | 2013-12-16 | 2015-04-14 | International Business Machines Corporation | Backward compatible head for quasi-static tilted reading and/or recording |
US10128325B2 (en) * | 2014-03-26 | 2018-11-13 | Wafertech, Llc | Inductor structures for integrated circuits |
KR20160032581A (ko) * | 2014-09-16 | 2016-03-24 | 삼성전기주식회사 | 인덕터 어레이 칩 및 그 실장기판 |
US10163557B2 (en) * | 2015-12-17 | 2018-12-25 | Intel Corporation | Helical plated through-hole package inductor |
US10854236B1 (en) | 2019-09-11 | 2020-12-01 | International Business Machines Corporation | Dynamic tape guide bearing tilt mechanism |
US11056139B2 (en) | 2019-09-11 | 2021-07-06 | International Business Machines Corporation | Semi-flexible structure for micro-positioning a write/read head |
US10957362B1 (en) | 2019-09-11 | 2021-03-23 | International Business Machines Corporation | Non-interfering micro-positioning system utilizing piezoelectric elements |
US10872625B1 (en) * | 2019-11-21 | 2020-12-22 | Western Digital Technologies, Inc. | Helical coils design and process for dual writer magnetic recording |
US10878841B1 (en) | 2019-11-25 | 2020-12-29 | Western Digital Technologies, Inc. | Dual writer for advanced magnetic recording |
US10839831B1 (en) | 2019-12-30 | 2020-11-17 | Western Digital Technologies, Inc. | Dual writer designs with SOT and STT assisted recording |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4607305A (en) * | 1983-02-08 | 1986-08-19 | Ampex Corporation | Monolithic multichannel multistack magnetic transducer assembly and method of manufacturing thereof |
US4743988A (en) * | 1985-02-01 | 1988-05-10 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Thin-film magnetic head |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB650997A (en) | 1947-06-06 | 1951-03-07 | Western Electric Co | Improvements in magnetic recorders |
GB695150A (en) | 1951-02-26 | 1953-08-05 | Thermionic Products Ltd | Improvements in or relating to electromagnetic transducing apparatus |
DE1095014B (de) | 1956-07-04 | 1960-12-15 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Halterung der Magnetkoepfe fuer magnetische Speichertrommeln |
US3881244A (en) | 1972-06-02 | 1975-05-06 | Texas Instruments Inc | Method of making a solid state inductor |
NL7211910A (de) | 1972-09-01 | 1974-03-05 | ||
JPS51117020A (en) * | 1975-04-07 | 1976-10-14 | Hitachi Ltd | Magnetic head and production method of it |
DE2721452A1 (de) * | 1977-05-12 | 1978-11-16 | Siemens Ag | Integrierte magnetkopfstruktur und verfahren zu ihrer herstellung |
FR2443733A1 (fr) | 1978-12-08 | 1980-07-04 | Thomson Csf | Tete de lecture magnetique et lecteur muni d'une telle tete |
JPS5584016A (en) | 1978-12-19 | 1980-06-24 | Sony Corp | Magnetic head and its manufacture |
GB2057177B (en) | 1979-08-23 | 1984-07-11 | Rca Corp | Multichannel magnetic head for a transducer system |
EP0032230A3 (de) * | 1980-01-14 | 1982-01-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Integrierter Magnetwandler und dessen Herstellungsverfahren |
US4374402A (en) * | 1980-06-27 | 1983-02-15 | Burroughs Corporation | Piezoelectric transducer mounting structure and associated techniques |
US4357640A (en) | 1980-10-24 | 1982-11-02 | Nortronics Company, Inc. | Thin film magnetic transducer |
US4477853A (en) | 1981-04-15 | 1984-10-16 | Eastman Kodak Company | Multitrack magnetic head |
US4550492A (en) | 1981-04-15 | 1985-11-05 | Eastman Kodak Company | Method of manufacturing a multitrack magnetic head |
DE3273539D1 (en) | 1981-06-08 | 1986-11-06 | Hitachi Ltd | Azimuthal magnetic recording and reproducing apparatus |
US4439793A (en) | 1981-10-22 | 1984-03-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thin film head array |
JPS59222A (ja) * | 1982-06-25 | 1984-01-05 | Fujitsu Ltd | 二値化信号の量子化方法 |
JPS592221A (ja) | 1982-06-28 | 1984-01-07 | Canon Inc | 薄膜磁気ヘツド |
FR2559297B1 (fr) | 1984-02-03 | 1990-01-12 | Commissariat Energie Atomique | Nouveau patin de vol pour tetes magnetiques d'enregistrement |
EP0197158B1 (de) | 1984-10-05 | 1993-01-13 | Olympus Optical Co., Ltd. | Kombinierter magnetkopf |
US4825532A (en) | 1988-04-13 | 1989-05-02 | Eastman Kodak Company | Method for making a multi-head magnetic head assembly |
JPH0785293B2 (ja) | 1988-09-28 | 1995-09-13 | ティアツク株式会社 | 複合形磁気ヘッド |
JPH0298806A (ja) | 1988-10-06 | 1990-04-11 | Canon Inc | マルチトラック薄膜磁気ヘッド |
JP2720477B2 (ja) | 1988-10-18 | 1998-03-04 | ソニー株式会社 | 映像信号再生装置 |
JP2629328B2 (ja) | 1988-12-29 | 1997-07-09 | ソニー株式会社 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
US5008765A (en) | 1989-01-17 | 1991-04-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method and apparatus for reading or writing on tape using a servo positioned multiple channel head |
JPH0782630B2 (ja) | 1989-02-28 | 1995-09-06 | 三菱電機株式会社 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
US5189580A (en) * | 1989-06-30 | 1993-02-23 | Ampex Corporation | Ultra small track width thin film magnetic transducer |
US5122917A (en) * | 1990-06-01 | 1992-06-16 | Iomega Corporation | Unitary read-write head array for magnetic media |
FR2663772B1 (fr) | 1990-06-26 | 1995-07-21 | Thomson Csf | Dispositif d'enregistrement magnetique a pluralite de tetes magnetiques. |
JPH04206012A (ja) | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マルチチャンネル薄膜磁気ヘッドおよびマルチチャンネル薄膜磁気ヘッド装置 |
JPH04360006A (ja) | 1991-06-07 | 1992-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
GB2265045B (en) | 1992-02-28 | 1995-11-29 | Sony Broadcast & Communication | Magnetic tape replay apparatus |
-
1993
- 1993-09-20 JP JP5233136A patent/JP2943579B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-14 US US08/136,123 patent/US6236538B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-19 DE DE4336417A patent/DE4336417C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-20 GB GB9321666A patent/GB2271880B/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-03-28 US US08/829,479 patent/US5883760A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4607305A (en) * | 1983-02-08 | 1986-08-19 | Ampex Corporation | Monolithic multichannel multistack magnetic transducer assembly and method of manufacturing thereof |
US4743988A (en) * | 1985-02-01 | 1988-05-10 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Thin-film magnetic head |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
JP 1-235015 A In: Patents Abstracts of Japan, P-975, Vol. 13, No. 563, 14.12.1989 * |
JP 4-48403 A In: Patents Abstracts of Japan, P-1361, Vol. 16, No. 231, 28.5.92 * |
JP 60-237619 A In: Patents Abstracts of Japan, P-449, Vol. 10, No. 106, 22.4.1986 * |
JP 61-85613 A in: Patents Abstracts of Japan, P-494, Vol. 10, No. 260, 5.9.1986 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2943579B2 (ja) | 1999-08-30 |
JPH06195625A (ja) | 1994-07-15 |
US6236538B1 (en) | 2001-05-22 |
DE4336417A1 (de) | 1994-04-21 |
US5883760A (en) | 1999-03-16 |
GB9321666D0 (en) | 1993-12-08 |
GB2271880A (en) | 1994-04-27 |
GB2271880B (en) | 1997-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4336417C2 (de) | Magnetkopf | |
DE4020206C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Dünnschicht-Magnetwandlers | |
DE2950943A1 (de) | Mehrkanal-magnetwandlerkopf und verfahren zu dessen herstellung | |
DE3527468C2 (de) | ||
DE3007175A1 (de) | Magnetwandlerkopf und verfahren zu seiner herstellung | |
DD294126A5 (de) | Duennfilmtransformator und mit einem derartigen transformator versehener magnetkopf | |
DE4322698A1 (de) | Dünnfilm-Magnetkopf | |
DE2407633C3 (de) | ||
DE10002377A1 (de) | Spule und Spulensystem zur Integration in eine mikroelektronische Schaltung sowie mikroelektronische Schaltung | |
DE3603039A1 (de) | Duennfilm-magnetkopf und verfahren zu dessen herstellung | |
DE3702212C2 (de) | ||
DE3541762A1 (de) | Magnetischer wandlerkopf und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2315713A1 (de) | Magnetkopf | |
DE4112722A1 (de) | Lotrechter magnetischer duennschicht-aufzeichnungs- und wiedergabekopf | |
DE2160970A1 (de) | Mehrspurmagnetkopf und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE1499819C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Mehrfach-Magnetkopfeinheit und danach hergestellte Mehrfach-Magnetkopfeinheit | |
DE19806598C2 (de) | Magnetkopf | |
DE3300219C2 (de) | Mehrspurmagnetkopf | |
DE3104930C2 (de) | ||
DE3007046A1 (de) | Mehrspuren-duennfilmmagnetkopf | |
DE1807658A1 (de) | Magnetkopf | |
DE2315277A1 (de) | Mehrspur-magnetkopfanordnung | |
DE4030188C2 (de) | Magnetkopf | |
DE69721397T2 (de) | Matrix-Magnetkopf zur Aufzeichnung/Wiedergabe und Herstellungsverfahren | |
EP0085855B1 (de) | Dünnschicht-Mehrspur-Magnetkopf hoher Spurdichte |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |