DE4391446C2 - Laserstrahl-Scanner - Google Patents
Laserstrahl-ScannerInfo
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- DE4391446C2 DE4391446C2 DE4391446A DE4391446A DE4391446C2 DE 4391446 C2 DE4391446 C2 DE 4391446C2 DE 4391446 A DE4391446 A DE 4391446A DE 4391446 A DE4391446 A DE 4391446A DE 4391446 C2 DE4391446 C2 DE 4391446C2
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/108—Scanning systems having one or more prisms as scanning elements
Description
Die Erfindung betrifft einen Laserstrahl-Scanner gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Die Fortschritte in der Lasertechnik haben zu zahlreichen
neuen Anwendungen in der Industrie und bei Verbrauchern ge
führt. Die üblichen Laserstrahl-Scanner sind unter anderem
polygonale Spiegelscanner, galvanometrische Scanner, holo
graphische Scanner und akusto-optische Strahlablenker. Mo
derne Laserstrahl-Scanner lassen sich in zwei Kategorien
unterteilen: präobjektive Scanner und postobjektive Scanner.
Letztere sind dadurch gekennzeichnet, daß sie eine gekrümmte
Kurve oder Bildebene abtasten. Demgegenüber tasten präobjek
tive Scanner gerade Linien oder eine flache Bildebene ab.
Die Erfindung betrifft vornehmlich präobjektive Scanner,
kann aber auch bei postobjektiven Systemen Verwendung fin
den.
Die meisten bekannten Laserstrahl-Scanner finden mannigfache
Verwendung, beispielsweise als Laserprinter, Lesegeräte für
Strichcodierungen. Moderne Laserdrucker benutzen be
kannte Laserstrahl-Scanner mit einem rotierenden Spiegel,
der den Laserstrahl auf eine rotierende Trommel richtet. Der
Laserstrahl schreibt mehrere hundert Punkte pro Inch auf
eine photoempfindliche Oberfläche der Trommel. Die Trommel
wird dann gedreht und die photoempfindliche Fläche mit Toner
behandelt, der sich an die Abschnitte anlegt, die vorher ab
getastet wurden. Die Trommel wird dann gedreht, um das To
nerbild auf einen Aufzeichnungsträger, wie Papier, zu über
tragen.
Moderne Strichcodeleser benutzen einen Laserstrahl-Scanner
mit einem Spiegel, der den Laserstrahl in einem Abtast
schritt über das Strichcode-Etikett an einem Produkt führt.
Das am Scanner ausgetretene Licht wird an dem Etikett re
flektiert und von einer Photodiode ausgewertet. Das optische
Signal wird dann in ein elektrisches Signal zur Verarbeitung
umgewandelt.
Die Verwendung eines rotierenden polygonalen Spiegels oder
eines Flachspiegels ist eine wesentliche Komponente in mo
dernen Scannern, um den Laserstrahl genau auf eine gezielte
Abtastbahn zu richten. Wesentliche Gesichtspunkte für einen
brauchbaren Scanner sind dabei die Abtastgeschwindigkeit,
die gewünschte Systemgenauigkeit, der verfügbare Abtast
winkel sowie die Auflösung des Systems, die Fähigkeit belie
bige Bildpunkte anzusteuern, der elektrische Leistungsbedarf
sowie die Kosten.
Fig. 1 zeigt einen konventionellen Laserstrahl-Scanner 10
mit einem rotierenden polygonalen Spiegel 12, der in Pfeil
richtung 14 im Uhrzeigersinn rotiert. Der Scanner 10 besitzt
eine Laserquelle 16 zur Abgabe eines Laserstrahls 18. Ein
Laserexpander 20 liegt zwischen der Laserquelle 16 und dem
Spiegel 12 und expandiert den Laserstrahl 18 in einen Laser
strahl 22, der einen größeren Querschnitt besitzt. Der ex
pandierte Laserstrahl 22 wird auf eine Fläche 24 des rotie
renden polygonalen Spiegels 12 gelenkt. Der Laserstrahl 22
hat Randstrahlen 26a und 26b, die an der Fläche 24 des Spie
gels 12 reflektiert werden und einen Laserstrahl 28 liefern.
Der Scanner 10 weist ferner eine Abtastlinse 30 auf, die den
Laserstrahl 28 auf den Abtastpunkt 32 auf einer Abtastzeile
34 fokussiert. In konventionellen Scannern ist der Laser
punkt 32 etwa 85 bis 140 µ groß, wenn es sich um einen La
serdrucker handelt.
Der Laserstrahl 28 fällt auf die Abtastlinse 30 in unter
schiedlichen Winkeln, wenn der Spiegel 12 rotiert. Rotiert
der Spiegel beispielsweise im Uhrzeigersinn, so wandert der
Laserstrahl 28 von einer gestrichelt dargestellten Anfangs
position (Laserstrahl 36) in eine ebenfalls gestrichelt dar
gestellte Endposition (Laserstrahl 38). Ein Abtastschritt
des Laserstrahls 28 resultiert in einer Abtastung vom Punkt
a zu Punkt b längs der Abtastzeile 34 in einer Richtung.
Der polygonale Spiegel 12 rotiert in einer einzigen Rich
tung, die eine Einwegabtastung auf der Abtastzeile 34 be
wirkt. Hat der Laserpunkt 32 die Abtastebene vom Punkt a bis
zum Punkt b überquert, so springt der Laserpunkt 32 zum
Punkt a zurück, so daß also die Rückkehrbewegung (wenn also
der Laserstrahl auf der Abtastzeile 34 vom Punkt b zum Punkt
a zurückkehrt) nicht zur Abtastung verwendet wird.
Ein rotierender polygonaler Spiegel 12 ist die am häufigsten
benutzte Abtastkomponente in vielen modernen Laserscannern.
Dummerweise ist nun diese Komponente der Funktion und den
Kosten nach mit wesentlichen Nachteilen behaftet. Der poly
gonale Spiegel wird für gewöhnlich auf einer Motorwelle be
festigt, die dem Spiegel die gewünschte Winkelgeschwindig
keit verleiht. Bei höheren Gewichten des Spiegels und/oder
höheren Winkelgeschwindigkeiten gerät der Spiegel infolge
Lagerungenauigkeiten ins Taumeln. Darunter leidet die
Farbqualität und oft resultiert daraus ein bedeutender
Abtastfehler. Mit diesem Fehler ist die Abweichung des
Laserstrahlpunktes vom gewünschten Abtastpfad gemeint. Von
den Taumelbewegungen des Spiegels verursachte Abtastfehler
erhöhen sich mit dem Abstand infolge der Strahldivergenz bei
der Reflektion an der Spiegelfläche. Um die mit den Taumel
bewegungen einhergehenden Nachteile zu vermeiden, lassen
sich Präzisionsmotore mit sehr festen Wellen verwenden oder
man führt Korrekturwerte ein, um die von den Taumelbewegun
gen veranlaßten Abtastfehler zu kompensieren. In diesem
Sinne wird auf Optical Scanning by Gerald Marshall, Kapitel
2; Polygonale Scanner, Randy J. Sherman, S. 63-123, verwie
sen. Präzisionsmotoren oder Fehlerkorrekturwerte erhöhen je
doch die Herstellungskosten des Systems erheblich.
Ein anderer bei rotierenden polygonalen Spiegeln auftreten
der Nachteil besteht in dem engen Abtastwinkel. Der Abtast
winkel ist unmittelbar von der Flächenbreite des polygonalen
Spiegels abhängig. Laserstrahl-Scanner mit polygonalen Spie
geln bedürfen einer Abwägung zwischen der Abtastgeschwin
digkeit und dem Abtastwinkel. Spiegel mit wenigen, aber
breiten Flächen erzeugen einen vernünftigen Abtastwinkel,
jedoch nur bei niedriger Abtastgeschwindigkeit. Andererseits
können polygonale Spiegel mit einer größeren Anzahl von Flä
chen mit höherer Geschwindigkeit abtasten, jedoch nur mit
einem kleinen Abtastwinkel. Man kann natürlich auch die
Spiegelabmessungen vergrößern, um mehr "breite" Seiten zu
erhalten, doch führt dies zu höheren Kosten und zu entspre
chend großen Antriebsmotoren.
In U. S. Patentschrift 5,074,628 ist ein Laserscanner erläu
tert, der den vorgenannten Abtastfehler reduziert. Es wird
ein Prisma eingesetzt, um den Laserstrahl kontinuierlich ab
zulenken und einen konischen Laserstrahl zu erzeugen, der
aufgefangen wird und einen eingeschriebenen Kreis erzeugt.
Der eingeschriebene Kreis wird von einer planzylindrischen
Linse und einer Abtastlinse fokussiert, um in einer oder meh
reren Richtungen eine Abtastung auf mehreren unterschiedli
chen Abtastbahnen zu liefern. Die planzylindrische Linse zum
Fokussieren des eingeschriebenen Kreises erzeugt eine im we
sentlichen kurze Abtastzeile (im Gegensatz zu einem ellipti
schen oder kreisförmigen Abtastpunkt), die in vielen Anwen
dungen wünschenswert ist, wie in linearen Detektoranordnun
gen.
Die vorliegende Erfindung richtet sich im wesentlichen da
rauf, die mit den beschriebenen Taumelbewegungen einherge
henden Nachteile zu vermindern oder zu eliminieren, wie den
Abtastfehler und die Einschränkungen des Abtastwinkels zu
vermeiden. Außerdem soll es mit der Erfindung möglich sein,
einen im wesentlichen elliptischen oder kreisförmigen Ab
tastpunkt von sehr kleiner Größe zu erzeugen, indem die
Aberrationen die verringert werden, um für die Abtastung
eine sehr hohe Auflösung zu erzielen.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nach
stehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines bekannten
Scanners mit rotierendem polygonalem Spiegel,
Fig. 2 ein Prisma, an dem gezeigt wird, wie eine signi
fikante Taumelbewegung zu einer unwesentlichen
Strahlverlagerung unterdrückt wird,
Fig. 3 eine Darstellung des Verhältnisses zwischen einer
signifikanten Prismataumelbewegung, die in eine
unwesentliche Ausgangsstrahlverschiebung trans
formiert wird, die von der Prismabewegung in Fig.
2 veranlaßt ist,
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Ausführungs
form eines erfindungsgemäßen Laserstrahl-Scanners,
Fig. 5 eine schematische Darstellung des in Fig. 4 dar
gestellten Scanners mit einer zusätzlichen Laser
strahl-Nachstellung und
Fig. 6a und 66 vergrößerte Laserabtastpunkte, die von den Scan
nern der Fig. 4 und 5 geliefert werden.
Fig. 2 zeigt schematisch einen Laserstrahl-Scanner 40 mit
einer Laserquelle 42 und einem Prisma 44. Fig. 2 soll die
Vorteile zeigen, wenn man als Strahlablenker ein Prisma und
nicht einen polygonalen Spiegel verwendet. Ein wesentlicher
Vorteil des Prismas liegt darin, daß die mit Taumelbewegun
gen verbundenen Fehler, wie den vorgenannten Abtastfehler
wesentlich verringert werden können.
Die Quelle 42 emittiert einen Laserstrahl 46', der am Prisma
44 gebrochen und abgelenkt wird. Das Prisma 44 ist in einer
Lage dargestellt, in der es gegenüber einer Ursprungslage 46
(gestrichelt) verschwenkt ist. Diese Schwenkung wird von der
Taumelbewegung veranlaßt und ist stark überzeichnet, um die
Vorteile des Prismas zu zeigen, mit dem die beim Taumeln
auftretenden Probleme gemeistert werden. Das Prisma 44 ist
um einen "Taumel" θ1 gegenüber der Normalen n geschwenkt.
Der auftreffende Laserstrahl 46' tritt in das Prisma 44 unter
dem Taumelwinkel θ1 ein und wird im Prisma gebrochen. Der in
terne Brechungswinkel θ2 wird nach dem Snellius'schen Gesetz
wie folgt berechnet;
n1 sin θ1 = n2 sin θ2
wobei n1 = 1, Brechungsindex des freien Raums,
n2 = Brechungsindex des Prismamaterials.
n2 = Brechungsindex des Prismamaterials.
Der gebrochene Strahl 48 tritt durch das Prisma 44 unter ei
nem Winkel (θ1 - θ2) hindurch, der kleiner als θ2 ist. Der
Strahl 48 wird dann an der zweiten Fläche des Prismas 44
nochmals gebrochen und tritt als Strahl 50 aus. Ein Aus
trittsstrahl, der das (bei Abwesenheit einer Taumelbewegung)
Prisma in seiner unverdrehten Lage 46 durchsetzt, ist gestri
chelt darge
stellt und mit 52 bezeichnet. Die Austrittsstrahlen 50 und
52 sind immer parallel zueinander, wegen der Prismen inne
wohnenden internen Brechung. Der Versatz ∈ω, d. h. der Ab
stand zwischen den beiden Austrittsstrahlen 50 und 52 kann
für den Winkel (θ1 - θ2) wie folgt berechnet werden:
Eω = ysin (θ1 - θ2)
wobei y die Dicke des Prismas am Zentrum ist.
Ein aus dieser Darstellung hervorgehender Vorteil der Er
findung liegt darin, daß der durch Taumeln veranlaßte Winkel
(d. h. ∈ω) wesentlich verringert wird und im Abstand vom
Prisma 44 konstant bleibt, da die Austrittsstrahlen 50 und
52 immer parallel zueinander liegen. Dies ist ein wesentli
cher Vorteil gegenüber polygonalen Spiegeln, bei denen der
Taumelfehler porportional mit zunehmendem Abstand vom Spie
gel ansteigt.
Der Versatz ∈ω ist mit dem Abtastfehler verknüpft. In einem
Scanner mit Prisma gemäß Fig. 2 ist der Versatz ∈ω prak
tisch vernachlässigbar. Für einen Versuch lieferte eine
Laserquelle 42 einen Helium-Neon-Laserstrahl von der Wellen
länge λ = 632,8 nm und wurde ein Prisma mit sieben Dioptrin
bei einem Brechungsindex von 1,515 und einer Dicke y = 3,67
mm benutzt. Eine "Dioptrie" ist definiert als die Abweichung
eines Laserstrahls um einen Zentimeter (1 cm) in einer Ent
fernung von einhundert Zentimeter (100 cm) von der Aus
trittsseite des Prismas. Ein Prisma mit einem Melles Griot
Schott Glas BK7 hat sich für diese Versuche als zufrieden
stellend erwiesen. Das Prisma hat einen Durchmesser von 10
mm und eine Höhe am schmalen Ende von 3 mm. Das Prisma wurde
unter verschiedenen unterschiedlichen Winkeln gedreht, um
die Taumelbewegung zu imitieren. Das Verhältnis zwischen dem
Taumelwinkel θ1 und dem Versatzfehler ∈ω ist in Fig. 3 dar
gestellt. Wie erwartet ist das Verhältnis linear. Für einen
signifikanten 20 sec Taumelwinkel beträgt der Versatz des
Austrittsstrahls nur ±0,12 µ. Dieser Versatz ist geringer
als 1/1000 des Laserpunktdurchmessers, der bei einem Laser
druck beispielsweise 130 bis 140 µ trägt. Somit ist trotz
einer recht signifikanten Taumelbewegung im Deflektorprisma
der resultierende Winkel praktisch vernachlässigbar, der
durch die Taumelbewegung veranlaßt ist.
Fig. 4 zeigt schematisch einen Laserstrahl-Scanner 60 gemäß
einer Ausführungsform der Erfindung. Der Scanner 60 besitzt
eine Quelle 62, eine Deflektoreinrichtung 64, eine sphärische
Linse 66 und einen sphärischen Reflektor 68. Die Quelle 62
emittiert einen Laserstrahl 70, der vorzugsweise gebündelt
längs einer Achse 75 auf die Deflektoreinrichtung 64 trifft.
Die Quelle 62 kann eine Laserdiode, ein Helium-Neon-Laser,
ein Kohlenstoffdioxid-Laser oder eine andere Laserquelle
sein. Alternativ können auch andere Strahlungsquellen (im elek
tromagnetischen Spektrum) benutzt werden. Für die Laser
quelle 62 kann ein Laserstrahlgenerator, ein Strahlexpander
zum Vergrößern der Querschnittsfläche und eine Sammellinse
zum Bündeln des Laserstrahls vorgesehen sein. Gemäß Dar
stellung soll die Quelle 62 einen vorzugsweise gebündelten
Laserstrahl 70 liefern.
Die Deflektoreinrichtung 64 besitzt eine rotierende Hohl
welle 72, die vom Motor 74 angetrieben ist. Am einen Ende
der Hohlwelle 72 ist in der Deflektoreinrichtung 64 ein Prisma 76
angeordnet. Die Hohlwelle 72 und das Prisma 76 werden vom
Motor 74 drehbar um die Drehachse 75 angetrieben. Das Prisma
76 kann einseitig sein, wie das Glas BK7, kann aber auch
mehrseitig sein. Der Laserstrahl 70 tritt in das Prisma 76
ein und verläßt es als
Laserstrahl 78 unter einem Winkel α zur Achse 75 in Richtung
der Sammellinse 66. Der gebrochene Laserstrahl 78 wird
ebenfalls gebündelt. Der Ablenkwinkel α des Laserstrahls 70
bestimmt sich nach dem dioptischen Wert des Prismas 76. Ein
bevorzugtes Prisma aus Glas BK7 hat einen Wert von 7 Diop
trin, d. h. der Laserstrahl wird in einer Entfernung von 100
cm von der Aussetzfläche des Prisma 76 aus der Achse 75 um 7
cm abgelenkt.
Die Sammellinse 66 wird vorzugsweise so angeordnet, daß sie
nicht mit der Achse 75 fluchtet, sondern wenigstens einen
Teil des abgelenkten Laserstrahls 78 auffängt. Wird das
Prisma 76 um die Achse 75 gedreht, so folgt der abgelenkte
Laserstrahl 78 mindestens einem Teil einer im wesentlichen
kreisförmigen Bahn auf der Sammellinse 66. Der Radius der
kreisförmigen Laserstrahlbahn auf der sphärischen Linse 66
ist R. Die Linse 66 konvergiert den vom Prisma 76 eintre
tenden Laserstrahl 78, der dann als Laserstrahl 80 auf den
sphärischen Reflektor 68 austritt. Der Laserstrahl 80 ist
konisch geformt und konvergiert in einem Fokus O' (der eine
Abbildung des Objektes O ist) hinter dem sphärischen Reflek
tor 68, wie dargestellt.
Der Reflektor 68 ist positioniert, um den konvergierenden,
konisch geformten Laserstrahl 80 aufzufangen, bevor der den
Fokuspunkt O' erreicht. Der sphärische Reflektor 68 orien
tiert den konvergierenden Laserstrahl 80 auf den Laserab
tastpunkt 82 auf einer Abtastzeile 83. Der Reflektor 68 hat
einen Krümmungsmittelpunkt h auf der Rotationsachse 75 und
einen Krümmungsradius Rr entsprechend der folgenden Glei
chung
wobei
a = Abstand zwischen dem Mittelpunkt der sphärischen Linse (66) und ihrem Fokuspunkt O',
b = Abstand zwischen dem Abtastpunkt (82) und dem Mittelpunkt des sphärischen Reflektors (68),
R = Radius der Laserstrahlkreisbahn auf der sphärischen Linse (66),
f# = die effektive f-Zahl im Abtastpunkt (82), nämlich das Verhältnis von f (Länge des Randstrahls vom Reflektor (68) zum Abtastpunkt (82)) zu Phi (effektiver Durchmesser des Reflektors) und
N = Anzahl der während einer Umdrehung des Prismas längs der Laserstrahlkreis bahn auf der Linse projizierten nebeneinander liegenden Laserstrahlen.
a = Abstand zwischen dem Mittelpunkt der sphärischen Linse (66) und ihrem Fokuspunkt O',
b = Abstand zwischen dem Abtastpunkt (82) und dem Mittelpunkt des sphärischen Reflektors (68),
R = Radius der Laserstrahlkreisbahn auf der sphärischen Linse (66),
f# = die effektive f-Zahl im Abtastpunkt (82), nämlich das Verhältnis von f (Länge des Randstrahls vom Reflektor (68) zum Abtastpunkt (82)) zu Phi (effektiver Durchmesser des Reflektors) und
N = Anzahl der während einer Umdrehung des Prismas längs der Laserstrahlkreis bahn auf der Linse projizierten nebeneinander liegenden Laserstrahlen.
Die Kombination des Prismas 76, der Linse 66 und des Re
flektors 68 bietet erhebliche Vorteile über bekannte Scan
ner. Das wichtigste und bisher unerreichte Merkmal dieser
Kombination liegt in ihrer Fähigkeit, eine mathematisch
perfekte Abtastzeilen-Geradlinigkeit zu erzeugen, da der
Krümmungsradius Rr des Reflektors 68 und die Lage des Krüm
mungsmittelpunktes h genau bestimmbar sind. Das heißt, der
Krümmungsmittelpunkt h liegt auf der Drehachse 75 und der
Krümmungsradius Rr ist durch die Gleichung (1) bestimmt.
Zusätzlich verringert der Laserstrahl-Scanner 60 den Ab
tastfehler mit Hilfe des Prismas 76 wesentlich oder eli
miniert ihn wirksam.
Ein weiterer wesentlicher Vorteil des Scanners 60 liegt
darin, daß man einen sehr kleinen Laserstrahlpunkt 82 bei
einem sehr breiten Abtastwinkel erzielt. Ein kleiner Ab
tastpunkt und ein großer Abtastwinkel ergeben einen Scanner
mit sehr hoher Auflösung. Der große Abtastwinkel wird da
durch erreicht, weil der Laserstrahl 80 auf der sphärischen
Linse 66 frei eine volle Kreisbahn abfahren kann.
Um die Vorteile des Scanners 60 besser zu erläutern, soll
nachstehend ein Beispiel gegeben werden, indem für einen
bestimmten Satz Parameter der Krümmungsradius, die Größe des
Abtastpunktes, die Auflösung und die Abtastlänge berechnet
werden sollen. Es werden folgende Parameter zugrundegelegt:
α = 20°
R = 30 mm
λ (Wellenlänge des Laserstrahls 70) = 632,8 nm
b = 204 mm
a = 82 mm
f# = 50
δ (Formfaktor) = 1,27
RS (Abtastradius) = 250 mm
H = 45 mm.
α = 20°
R = 30 mm
λ (Wellenlänge des Laserstrahls 70) = 632,8 nm
b = 204 mm
a = 82 mm
f# = 50
δ (Formfaktor) = 1,27
RS (Abtastradius) = 250 mm
H = 45 mm.
Werden diese Werte in die Gleichung (1) eingesetzt, so er
gibt sich der Krümmungsradius Rr mit 81 mm. Dieser Krüm
mungsradius liefert eine mathematisch perfekte Abtastzeile.
Der Fokussierabstand m des Reflektors 68 ist gleich dem
Krümmungsradius Rr geteilt durch zwei (d. h. m = Rr/2), also
40,5 mm.
Die Größe s des Laserstrahlpunktes 82 wird wie folgt be
rechnet:
s = δ λ f# = 40 µm (2)
Bevor die Auflösung und Abtastlänge berechnet werden, sei
darauf hingewiesen, daß die Größe des Laserstrahlpunktes 82
mit nur 40 µm bemerkenswert gering ist. Im Vergleich zu
Punktgrößen von 130 bis 140 µm bei konventionellen Scannern
ist die mit dem Scanner 60 erzeugte Punktgröße von 40 µm
mehr als dreifach kleiner. Sogar noch kleinere Punkte können
erfindungsgemäß erzeugt werden. Wird der Scanner 60 bei
spielsweise für Mikroskopiezwecke verwendet, so kann für den
Abtastpunkt eine Größenordnung von weniger als 5 µm erzielt
werden.
Die Auflösung n bestimmt sich nach folgender Gleichung:
n = ß/θs (3)
wobei ß der Abtastwinkel und θs die Winkelauflösung ist. Die
Winkelauflösung θs entspricht der Punktgröße s geteilt durch
den Abtastradius Rs (d. h. θs = s/Rs) und beträgt 0,16 × 10-3
Radians. Ein vernünftiger Wert für einen Abtastwinkel ß =
±30° wird hier angenommen, da der Scanner für einen breiten
Abtastwinkel ausreichend Freiheit besitzt. Setzt man die
Werte für den Abtastwinkel und die Winkelauflösung in die
Gleichung (3) ein, so erhält man eine außerordentlich hohe
Auflösung von 6544 Punkten/Abtastung.
Die Abtastlänge L der Abtastzeile errechnet sich wie folgt:
L = 2 ß Rs = 262 mm = 10 Inches (4)
Eine Abtastlänge von 10 Inch ist mehr als ausreichend für
die meisten Laseranwendungen, wie Laserdrucker.
Schließlich läßt sich die Laserstrahl-Eintrittsöffnung Dt
wie folgt bestimmen:
Dt = 2Rsin(θ/2), wobei θ = 2 π/19
= 9,88 mm (5)
oder
Dt = 2Rsin(π/N), wobei N = 19
= 9,88 mm
Aus dem obigen Beispiel läßt sich ersehen, daß der Scanner
60 eine sehr hohe Auflösung liefert und die durch Taumelbe
wegungen hervorgerufenen Effekte wie den Abtastfehler wirk
sam eliminiert. Ferner liefert der Scanner eine mathematisch
perfekte Abtastzeile.
Fig. 5 zeigt eine schematische Ansicht eines Scanners 90
ähnlich dem in Fig. 4 mit Hinzufügung einer Strahländerung
92. Diese liegt zwischen der Quelle 62 und dem Prisma 76 und
weist vorzugsweise zwei anamorphe Prismen 94 und 96 auf, die
den Zweck haben, die Form des erzeugten Laserstrahlpunktes
zu ändern. Diese Änderung wird in den Fig. 6a und 6b erläu
tert.
Fig. 6a zeigt einen Laserstrahlpunkt 82, wie er vom Scanner
60 in Fig. 4 erzeugt wird. Der Punkt 82 ist elliptisch und
seine größere Achse fällt mit der Abtastzeile 83 zusammen.
Die elliptische Form wird oft gewünscht, da sie eine reich
liche Überlappung in der Abtastrichtung zwischen benach
barten Abtastpunkten erlaubt. Die elliptische Form hat auch
einen minimalen Überlappungsbereich rechtwinklig zur Ab
tastrichtung zwischen den Abtastpunkten an benachbarten Ab
tastzeilen 83 zur Folge. Die vertikale minimale Punktüber
lappung ist in diesem Fall das Resultat, das vom Eliminieren
des Abtastfehlers herrührt. Somit besitzt ein elliptischer
Abtastpunkt 82 beide wünschenswerte Eigenschaften.
Im Vergleich zeigt hierzu Fig. 6b einen im wesentlichen
kreisförmigen Abtastpunkt 100, der vom Scanner 90 in Fig. 5
erzeugt wird. Die Kreisgestalt des Punktes 100 erhält man
durch Einschaltung der Strahländerungsanordnung 92. Für
viele Scannerzwecke wird ein kreisförmiger Abtastpunkt einem
elliptischen vorgezogen.
Die Erfindung wurde unter Verwendung von einem oder zwei
Prismen erläutert, doch lassen sich auch mehr als zwei Pris
men verwenden.
Die Vorteile der Erfindung sind vielfach. So erzeugen er
findungsgemäß gebaute Scanner eine mathematisch perfekte
gerade Abtastzeile frei von Abtastfehlern. Solche Scanner
sind besonders genau und weisen eine hohe Wiederholbarkeit
auf. Die Erfindung liefert ferner einen Abtastpunkt mit sehr
kleinen Abmessungen hoher Qualität. Hierzu wird auf die ein
gangsseitigen Ausführungen und die dazugehörigen Beispiele
verwiesen. Ferner liefert die erfindungsgemäße Ausführungs
form eine verhältnismäßig große Abtastlänge in Folge des
reichlich bemessenen Abtastwinkels. Infolge der kleineren
Punktgröße und des größeren Abtastwinkels besitzen erfin
dungsgemäße Scanner eine sehr hohe Auflösung.
Die Erfindung befriedigt ferner jeglichen Bedarf für höhere
Abtastgeschwindigkeiten, da die Prismen für den Antriebs
motor ein praktisch vernachlässigbare Belastung darstellen.
Somit können kleinere und billigere Motoren zum Antrieb der
Prismen verwendet werden. Dies steht im Gegensatz zu be
kannten Scannern, die verhältnismäßig schwere polygonale
Spiegel mit aufwendigen Motorbauformen benutzen müssen.
Somit leistet die Erfindung auch eine wesentliche Kostener
sparnis. Mit einem Prisma als Ablenkeinrichtung läßt sich
der Fehler durch Taumelbewegungen praktisch eliminieren. Es
bedarf deshalb keiner speziell gebauten Präzisionsanordnung
zum Antrieb der Prismen. Die Antriebsmotoren sind sehr bil
lig. Im Hinblick auf die erfindungsgemäße Abtastgenauigkeit
lassen sich die Toleranzanforderungen verringern und damit
die Herstellkosten drastisch senken.
Die Erfindung ist anwendbar in vielen Bereichen, wie Laser
drucker, Lesen von Strichcodierungen, Auslesen von Daten aus
einem Film, medizinischen Anwendungen, Mikroskopen und Pho
toübertragung.
Claims (4)
1. Laserstrahl-Scanner mit einer Laserstrahlquelle zum
Emittieren eines Laserstrahls, mit mindestens einem in einer
angetriebenen Hohlwelle angeordneten Prisma zum Ablenken des
Laserstrahls und einer sphärischen Linse zum Konvergieren
des aus einem Prisma austretenden Laserstrahls, der umge
lenkt wird, um längs einer Abtastzeile einen Abtastpunkt zu
bilden, dadurch gekennzeichnet, daß das Prisma (76) um
eine Drehachse (75) derart drehbar angetrieben ist, daß
der vom Prisma abgelenkte Laserstrahl mindestens einen Teil
einer im wesentlichen kreisförmigen Bahn auf der sphärischen
Linse (66) durchwandert, der von der sphärischen Linse (66)
konvergierte Laserstrahl von einem sphärischen Reflektor
(68) umgelenkt und in einem Abtastpunkt (82) fokussiert
wird, und der sphärische Reflektor (68) einen Krümmungsmit
telpunkt besitzt, der auf der Drehachse liegt und einen
Krümmungsradius Rr entsprechend folgender Gleichung besitzt:
wobei a = Abstand zwischen dem Mittelpunkt der sphärischen Linse (66) und ihrem Fokus punkt O',
b = Abstand zwischen dem Abtastpunkt (82) und dem Mittelpunkt des sphärischen Reflektors (68),
R = Radius der Laserstrahlkreisbahn auf der sphärischen Linse (66),
f# = die effektive f-Zahl im Abtastpunkt (82) nämlich das Verhältnis von f (Länge des Randstrahls vom Reflektor (68) zum Ab tastpunkt (82)) zu Phi (effektiver Durch messer des Reflektors) und
N = Anzahl der während einer Umdrehung des Prismas längs der Laserstrahlkreisbahn auf der Linse projizierten nebeneinander liegenden Laserstrahlen.
wobei a = Abstand zwischen dem Mittelpunkt der sphärischen Linse (66) und ihrem Fokus punkt O',
b = Abstand zwischen dem Abtastpunkt (82) und dem Mittelpunkt des sphärischen Reflektors (68),
R = Radius der Laserstrahlkreisbahn auf der sphärischen Linse (66),
f# = die effektive f-Zahl im Abtastpunkt (82) nämlich das Verhältnis von f (Länge des Randstrahls vom Reflektor (68) zum Ab tastpunkt (82)) zu Phi (effektiver Durch messer des Reflektors) und
N = Anzahl der während einer Umdrehung des Prismas längs der Laserstrahlkreisbahn auf der Linse projizierten nebeneinander liegenden Laserstrahlen.
2. Scanner nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das Prisma (76) mehrseitig ist.
3. Scanner nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß ferner zwischen der Laserstrahlquelle (62) und dem Pris
ma (76) eine Strahlveränderungsanordnung (92) angeordnet
ist, um auf der Abtastzeile einen im wesentlichen kreisför
migen Laserabtastpunkt zu bilden.
4. Scanner nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Strahlveränderungsanordnung (92) aus zwei anamorphen
Prismen (94, 96) besteht.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/859,025 US5227910A (en) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | High resolution laser beam scanner and method for operation thereof |
PCT/US1993/002088 WO1993020471A1 (en) | 1992-03-27 | 1993-03-09 | High resolution laser beam scanner and method for operation thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4391446C2 true DE4391446C2 (de) | 1998-10-29 |
Family
ID=25329805
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4391446T Pending DE4391446T1 (de) | 1992-03-27 | 1993-03-09 | Laserstrahl-Scanner hoher Auflösung und Betriebsverfahren |
DE4391446A Expired - Fee Related DE4391446C2 (de) | 1992-03-27 | 1993-03-09 | Laserstrahl-Scanner |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4391446T Pending DE4391446T1 (de) | 1992-03-27 | 1993-03-09 | Laserstrahl-Scanner hoher Auflösung und Betriebsverfahren |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5227910A (de) |
AU (1) | AU3796793A (de) |
DE (2) | DE4391446T1 (de) |
GB (1) | GB2271437B (de) |
WO (1) | WO1993020471A1 (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |