DE4417251A1

DE4417251A1 - Pressure balancing micro=valve

Info

Publication number: DE4417251A1
Application number: DE19944417251
Authority: DE
Inventors: Armin Dipl Ing Schuelke; Werner Dipl Phys Dr Uhler
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1994-05-17
Filing date: 1994-05-17
Publication date: 1995-11-23

Abstract

The micro-valve has a chamber with an inlet port (8) and a ground plate (10). An outlet port (9) is placed in the ground plate which has a closure element (1) in the outlet port. The closure element is attached to a cover plate (7) by connectors (3,4). The cover plate is formed as a deformable membrane. By closure of the outlet port the membrane deforms itself in such a way that the elastic connectors exert a force on the closure element.

Description

State of the art

Die Erfindung geht aus von einem druckausgeglichenen Mikroventil nach der Gattung des Hauptanspruchs. Es ist schon ein druckaus geglichenes Mikroventil aus DE-OS 39 19 876 bekannt. Das Mikro ventil ist als Sitzventil ausgebildet, wobei ein in Richtung der Achse der Austrittsöffnung bewegbares Schließglied angeordnet ist, das den Durchfluß steuert. Das Schließglied ist über eine verformbare Ringmembran mit einem Ventilgehäuse verbunden. Das Schließglied ist derart ausgebildet, daß ein auf das Schließ glied einwirkender Druck an gegenüberliegenden Flächen des Schließgliedes angreift, so daß sich die Kräfte auf das Schließ glied ausgleichen.The invention is based on a pressure-balanced microvalve according to the genus of the main claim. It's already a printout compared micro valve from DE-OS 39 19 876 known. The mic valve is designed as a seat valve, one in the direction of Axle of the outlet opening movable closing member is arranged is that controls the flow. The closing link is over a deformable ring membrane connected to a valve housing. The Closing member is designed such that a closing member acting pressure on opposite surfaces of the Closing member attacks, so that the forces on the closing compensate limb.

Advantages of the invention

Das erfindungsgemäße Mikroventil mit den Merkmalen der Ansprüche 1 und 2 hat demgegenüber den Vorteil, daß ein Mikroventil mit nahezu vollständigen Druckausgleich und den Eigenschaften eines Flachschieberventils, herstellbar ist. Besonders für Mikro ventile, die auf Silizium aufgebaut sind, sind relativ große laterale Bewegungen des Schließgliedes erreichbar, wodurch große Durchflüsse regelbar sind. Durch die Ausbildung der Grundplatte als Membran ist es möglich, auslaßseitige Druckschwankungen im Druckausglich zu berücksichtigen, so daß das Schließglied in be zug auf die Auslaßseite nahezu druckausgeglichen ist. Durch den Druckausgleich ist es möglich, ein Öffnen bzw. Schließen des Mikroventils ohne Einwirkung oder mit geringer Einwirkung der Betätigungsmittel aufgrund der elastischen Verbindungselemente zu ermöglichen. Die Betätigungsmittel sind klein ausgebildet, da zum Öffnen bzw. Schließen des Mikroventils keine großen Kräfte notwendig sind, da die am Schließglied angreifenden Kräfte nahezu ausgeglichen sind. Dadurch sind die Betätigungsmittel einfach und kostengünstig auszuführen. Da die Betätigungsmittel eine kleine Bauform aufweisen, ist das Mikroventil besonders klein auszubilden.The microvalve according to the invention with the features of the claims 1 and 2 has the advantage that a micro valve with almost complete pressure equalization and the properties of a Flat slide valve, can be manufactured. Especially for micro valves built on silicon are relatively large lateral movements of the closing member achievable, making large Flows are adjustable. By forming the base plate as a membrane, it is possible to discharge pressure fluctuations in the To take pressure compensation into account, so that the closing member in be train on the outlet side is almost pressure balanced. By the Pressure equalization, it is possible to open or close the Microvalve with no or little influence of the Actuating means due to the elastic connecting elements to enable. The actuating means are small, because no great forces to open or close the microvalve are necessary because the forces acting on the locking member are almost balanced. As a result, the actuating means simple and inexpensive to carry out. Because the actuating means have a small design, the micro valve is special to train small.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 und 2 angegebenen Mikroventile möglich. Eine vorteilhafte Weiterbildung des Mikroventils nach Anspruch 1 besteht darin, die Grundplatte mindestens teilweise als verformbare Membran auszubilden. Dadurch wird ein Druckausgleich des Schließgliedes in bezug auf die Auslaßseite erreicht. Dadurch wird eine weiter verkleinerte Bauform des Mikroventils erreicht.By the measures listed in the subclaims advantageous developments and improvements in the claim 1 and 2 specified micro valves possible. An advantageous one Further development of the microvalve according to claim 1 consists in the base plate at least partially as a deformable membrane to train. This will equalize the pressure of the closing element reached with respect to the outlet side. This makes one more reduced size of the microvalve achieved.

Besonders vorteilhaft ist, daß das als Platte ausgebildete Schließglied eine Durchflußöffnung aufweist, mit der die Aus strömöffnung des Mikroventils geöffnet bzw. verschlossen wird. Dadurch ist es möglich, die Bauform des Mikroventils in gewissen Grenzen unabhängig von der Größe der Ausströmöffnung und der An ordnung der Ausströmöffnung so klein wie möglich zu halten.It is particularly advantageous that the plate Closing member has a flow opening with which the off flow opening of the microvalve is opened or closed. This makes it possible to design the microvalve in certain ways Limits regardless of the size of the outflow opening and the type order to keep the outflow opening as small as possible.

In vorteilhafter Weise wird das Mikroventil verbessert, indem in der Durchlaßöffnung des Schließgliedes und in der Ausströmöff nung jeweils ein Gitter angeordnet ist. Auf diese Weise ist es möglich, eine große Ausströmöffnung mittels einer geringen lateralen Bewegung des Schließgliedes zu öffnen bzw. zu schließen. The microvalve is advantageously improved by the passage opening of the closing member and in the outflow opening a grid is arranged. That way it is possible a large outflow opening by means of a small one to open or close the lateral movement of the closing member shut down.

Eine Verbesserung des Mikroventils wird erreicht, indem das Schließglied über Federelemente mit steifen Stegen verbunden ist, wobei die steifen Stege an der verformbaren Membran der Deckplatte der Ventilkammer befestigt sind. Dadurch ist es mög lich, die Höhe der Ventilkammer unabhängig von der Größe und der Steifigkeit der Federelemente zu wählen, ohne die Funktions fähigkeit des Mikroventils zu beeinflussen.An improvement of the micro valve is achieved by the Locking element connected to rigid webs via spring elements is, the rigid webs on the deformable membrane of the Cover plate of the valve chamber are attached. This makes it possible Lich, the height of the valve chamber regardless of the size and the Stiffness to choose the spring elements without the functional ability to influence the microvalve.

Weiterhin ist es von Vorteil, die Federelemente schräg gegen die Vertikale zu stellen und somit durch die Anordnung der Federele mente bei einer lateralen Bewegung des Schließgliedes die verti kale Bewegung des Schließgliedes auf die Ausströmöffnung vorzu geben. Auf diese Weise ist eine andere Gestaltung der Federele mente z. B. mit kleinerer Baugröße möglich.Furthermore, it is advantageous to slant the spring elements against the To put vertical and thus by the arrangement of the Federele elements with a lateral movement of the closing member kale movement of the closing member on the outflow opening give. In this way, a different design of the Federele elements z. B. possible with a smaller size.

Eine weitere vorteilhafte Aufhängung des Schließgliedes besteht darin, das Schließglied bei vorhandener Deckplatte mit biegewei chen Stegen an der Deckplatte zu haltern. Eine zusätzliche vor teilhafte Ausführungsform besteht darin, zusätzlich das Schließ glied mit Federelementen an den Seitenwänden der Ventilkammer zu befestigen. Bei fehlender Deckplatte wird in vorteilhafter Weise das Schließglied nur mit den Federelementen an den Seitenwänden der Ventilkammer aufgehängt.A further advantageous suspension of the closing member exists in it, the locking member with existing cover plate with bending Chen webs to hold on the cover plate. An additional before partial embodiment is, in addition, the closing member with spring elements on the side walls of the valve chamber fasten. In the absence of a cover plate is advantageous the locking member only with the spring elements on the side walls suspended from the valve chamber.

Eine weitere vorteilhafte Ausbildung des Mikroventils besteht darin, das Schließglied als Drehschieber auszubilden. Somit wird die Ausströmöffnung über rotatorische Bewegungen geöffnet bzw. geschlossen.Another advantageous embodiment of the microvalve exists in forming the closing member as a rotary slide. Thus the outflow opening is opened via rotary movements or closed.

drawing

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung darge stellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 ein Mikroventil im horizontalen Querschnitt, Fig. 2 ein Mikroventil im vertikalen Querschnitt, Fig. 3 ein Mikroventil mit ausgelenktem Schließglied im horizontalen Quer schnitt, Fig. 4 ein Mikroventil mit ausgelenktem Schließglied im vertikalen Querschnitt, Fig. 5 eine besondere Ausführung des Schließgliedes, Fig. 6 ein Mikroventil mit einer Membran als Grundplatte, Fig. 7 ein Mikroventil mit zwei Membranen, Fig. 8 ein Mikroventil ohne Deckplatte, Fig. 9 ein Mikroventil mit be sonderer Aufhängung des Schließgliedes und Fig. 10 ein Mikro ventil mit Drehschieber als Schließglied.Embodiments of the invention are shown in the drawing and Darge explained in more detail in the following description. In the drawings Fig. 1 is a microvalve in horizontal cross section, FIG. 2 is a microvalve in vertical cross section, Fig. 3, a micro valve having a deflected closure member cut in the horizontal cross, Fig. 4, a micro valve having a deflected closure member in vertical cross section, Fig. 5 a special Design of the closing element, Fig. 6 a microvalve with a membrane as the base plate, Fig. 7 a microvalve with two membranes, Fig. 8 a microvalve without a cover plate, Fig. 9 a microvalve with special suspension of the closing element and Fig. 10 a microvalve with rotary slide as closing element.

Description of the embodiments

Fig. 1 zeigt das Mikroventil im horizontalen Querschnitt, wobei von der Ventilkammer nur ein Rahmen 6 dargestellt ist. In der Mitte der Ventilkammer ist das Schließglied 1 in Form einer Platte 1, die rechteckförmig ausgebildet ist, angeordnet. Die Platte 1 weist eine rechteckförmige Durchflußöffnung 2 auf. In der rechteckförmigen Durchflußöffnung 2 ist ein weiteres Durch laßgitter 12 angeordnet, das vorzugsweise aus parallel ange ordneten Streben besteht. An jeder schmalen Außenkante der Platte 1 ist in einem festgelegten Abstand seitlich versetzt je weils ein Steg 4 dargestellt. Die Platte 1 ist über jeweils zwei Federelemente 3, die an den Ecken der Platte 1 befestigt sind, mit jeweils einem Steg 4 verbunden. Fig. 1 zeigt weiterhin schematisch dargestellte Betätigungsmittel 5, mit denen die Platte 1 bewegt wird. Vorzugsweise sind weitere Betätigungs mittel 17 auf der den Betätigungsmitteln 5 gegenüberliegenden Seite des Schließgliedes 1 angeordnet. Mit den weiteren Betäti gungsmitteln 17 wird das Schließglied ebenfalls bewegt. Durch die Anordnung weiterer Betätigungsmittel 17 wird die Dynamik des Schließgliedes beim Schließen und Öffnen erhöht. Im Allgemeinen reichen die Betätigungsmittel 5 alleine zum Schließen und Öffnen des Mikroventils aus. Als Betätigungsmittel 5 und als weitere Betätigungsmittel 17 eignen sich elektrostatische, elektro magnetische oder piezoelektrische Antriebe. Der Rahmen 6 der Ventilkammer ist auf einer Grundplatte 10 aufgebracht. Fig. 1 shows the microvalve in horizontal cross section, only one frame 6 of the valve chamber being shown. In the middle of the valve chamber, the closing member 1 is arranged in the form of a plate 1 , which is rectangular. The plate 1 has a rectangular flow opening 2 . In the rectangular flow opening 2 , a further passage grille 12 is arranged, which preferably consists of struts arranged in parallel. On each narrow outer edge of the plate 1 , a web 4 is shown laterally offset at a fixed distance. The plate 1 is connected via two spring elements 3 , which are attached to the corners of the plate 1 , each with a web 4 . Fig. 1 also shows schematically illustrated actuating means 5 with which the plate 1 is moved. Preferably, further actuating means 17 are arranged on the actuating means 5 opposite side of the closing member 1 . With the further actuation supply means 17 , the closing member is also moved. The arrangement of further actuating means 17 increases the dynamics of the closing element when closing and opening. In general, the actuating means 5 alone are sufficient to close and open the microvalve. As actuating means 5 and as further actuating means 17 are suitable electrostatic, electromagnetic or piezoelectric drives. The frame 6 of the valve chamber is applied to a base plate 10 .

Fig. 2 zeigt das Mikroventil der Fig. 1 im vertikalen Quer schnitt A-A. Dabei ist deutlich die Ventilkammer zu erkennen, die aus dem umlaufenden Rahmen 6, der Grundplatte 10 und einer gegenüber der Grundplatte 10 liegenden Deckplatte 7, die als verformbare Membran ausgebildet ist, gebildet ist. Die Ventil kammer weist zwei Einströmöffnungen 8 auf, die in Seitenwänden des Rahmens 6 eingebracht sind. In der Mitte der Grundplatte 10 ist eine Ausströmöffnung 9 angeordnet. Die Ausströmöffnung 9 weist vorzugsweise ein Durchlaßgitter 11 auf, das beispielsweise aus Streben entsprechend dem weiteren Durchlaßgitter 12 des Schließgliedes 1 besteht. Je nach Ausführung können entsprechend viele Ein- und Ausströmöffnungen 8, 9 angeordnet sein. Fig. 2 shows the microvalve of Fig. 1 in the vertical cross section AA. The valve chamber can be clearly seen, which is formed from the peripheral frame 6 , the base plate 10 and a cover plate 7 lying opposite the base plate 10 , which is designed as a deformable membrane. The valve chamber has two inflow openings 8 , which are introduced into side walls of the frame 6 . An outflow opening 9 is arranged in the middle of the base plate 10 . The outflow opening 9 preferably has a passage grille 11 which consists, for example, of struts corresponding to the further passage grille 12 of the closing element 1 . Depending on the design, a corresponding number of inflow and outflow openings 8 , 9 can be arranged.

In einem festgelegten Abstand über der Ausströmöffnung 9 ist das Schließglied 1 angeordnet, das über die Federelemente 3 und die Stege 4 mit der Membran 7 verbunden ist. Der Abstand zwischen dem Schließglied 1 und der Ausströmöffnung 9 ist so gewählt, daß das Schließglied 1 und die Ausströmöffnung 9 in vertikaler Rich tung durchflossen wird. Dies ist schematisch durch die darge stellten Pfeile angedeutet.The closing member 1 is arranged at a fixed distance above the outflow opening 9 and is connected to the membrane 7 via the spring elements 3 and the webs 4 . The distance between the closing member 1 and the outflow opening 9 is selected so that the closing member 1 and the outflow opening 9 is flowed through in the vertical direction Rich. This is indicated schematically by the Darge arrows.

Fig. 3 zeigt das Schließglied 1, das durch Einwirkung der Betä tigungsmittel 5 aus seiner Ruhelage verschoben ist und an den Betätigungsmitteln 5 ansteht. Die Stege 4 werden dabei nicht verformt. Gegen die Federwirkung der Federelemente 3 kann das Schließglied 1 von den Betätigungsmitteln 5 aus der Ruhelage be wegt werden. Die Betätigungsmittel 5 können auch so ausgebildet sein, daß das Schließglied 1 weg von den Betätigungsmitteln 5 bewegbar ist. Die Federwirkung der Federelemente 3 erlaubt dem Schließglied 1 neben der lateralen Bewegung in Richtung auf die Betätigungsmittel 5 auch eine vertikale Bewegung in Richtung auf die Ausströmöffnung 9. Die Ausströmöffnung 9, die in der Grund platte 10 eingebracht ist, ist, da sie vom Schließglied 1 über deckt ist, gestrichelt eingezeichnet. Fig. 3 zeigt ein ge schlossenes Mikroventil, wobei das Schließglied 1 gegen die Aus strömöffnung 9 verschoben ist. Fig. 3 shows the closing member 1 , which is displaced by the action of the actuating means 5 from its rest position and is applied to the actuating means 5 . The webs 4 are not deformed. Against the spring action of the spring elements 3 , the closing member 1 can be moved by the actuating means 5 from the rest position. The actuating means 5 can also be designed such that the closing member 1 can be moved away from the actuating means 5 . In addition to the lateral movement in the direction of the actuating means 5 , the spring action of the spring elements 3 also allows the closing member 1 to move vertically in the direction of the outflow opening 9 . The outflow opening 9 , which is introduced into the base plate 10 , is shown in dashed lines because it is covered by the closing member 1 . Fig. 3 shows a closed micro-valve, the closing member 1 being displaced against the flow opening 9 .

Fig. 4 zeigt den Schnitt B-B der Fig. 3. Es ist die Ventilkam mer dargestellt, die eine Grundplatte 10, einen Rahmen 6 und eine Deckplatte 7 aufweist. Die Deckplatte 7 ist als verformbare Membran ausgebildet. An der Membran 7 ist über steife Stege 4 und Federelemente 3 das Schließglied 1 aufgehängt. Mithilfe der Betätigungsmittel 5 ist das Schließglied 1 lateral gegen die Ausströmöffnung 9 verschoben und vertikal auf die Grundplatte 10 gesetzt, so daß die Ausströmöffnung 9 verschlossen ist. Die Deckplatte 7 ist durch den anliegenden Druck nach oben gewölbt. Das Schließglied 1 bewegt sich beim Verschließen der Ausström öffnung 9 sowohl parallel als auch senkrecht zur Grundplatte 10. Fig. 4 shows the section BB of Fig. 3. The Ventilkam is shown mer, which has a base plate 10 , a frame 6 and a cover plate 7 . The cover plate 7 is designed as a deformable membrane. The closing member 1 is suspended from the membrane 7 via rigid webs 4 and spring elements 3 . With the aid of the actuating means 5 , the closing member 1 is laterally displaced against the outflow opening 9 and placed vertically on the base plate 10 , so that the outflow opening 9 is closed. The cover plate 7 is arched upwards by the applied pressure. The closing member 1 moves when closing the outflow opening 9 both parallel and perpendicular to the base plate 10 .

Die Anordnung entsprechend der Fig. 1 bis 4 funktioniert wie folgt: Fig. 1 und 2 zeigen das Mikroventil in geöffnetem Zu stand. Über die Einströmöffnungen 8 strömen Gase oder Fluide in die Ventilkammer ein. Diese folgen aufgrund der vorgegebenen An ordnung der Fließrichtung, die durch die Pfeile in Fig. 2 dar gestellt ist. Dabei wird das Schließglied 1 in vertikaler Rich tung durchströmt. Die Deckplatte 7 befindet sich bei diesem Zu stand in entspannter, horizontaler Anordnung entsprechend Fig. 2. Das Durchlaßgitter 11 der Ausströmöffnung 9 und das weitere Durchlaßgitter 12 der Platte 1 sind so übereinander angeordnet, daß ein ungehinderter Durchfluß erfolgt. The arrangement according to FIGS. 1 to 4 works as follows: FIGS. 1 and 2 show the microvalve in the open state. Gases or fluids flow into the valve chamber via the inflow openings 8 . These follow due to the predetermined order of the flow direction, which is represented by the arrows in FIG. 2. The closing member 1 is flowed through in the vertical direction Rich. The cover plate 7 is in this To stand in a relaxed, horizontal arrangement corresponding to FIG. 2. The passage grille 11 of the outflow opening 9 and the further passage grille 12 of the plate 1 are arranged one above the other so that an unimpeded flow takes place.

Soll nun das Mikroventil geschlossen werden, so werden die Be tätigungsmittel 5 eingesetzt und das Schließglied 1 wird z. B. durch elektrostatische Kräfte in Richtung auf die Betätigungs mittel 5 gezogen. Dabei wird das Schließglied 1, wie in Fig. 3 dargestellt ist, lateral gegenüber der Ausströmöffnung 9 bewegt. Dadurch wird die Durchströmung des Mikroventils verringert, wo durch sich ein erhöhter Druck in der Ventilkammer aufbaut. Der erhöhte Druck drückt das Schließglied 1 auf die Grundplatte 10 im Bereich der Ausströmöffnung 9, wie in Fig. 4 dargestellt, und verschließt die Ausströmöffnung 9.If the microvalve is now to be closed, the actuating means 5 are used and the closing element 1 is used, for. B. pulled by electrostatic forces in the direction of the actuating means 5 . The closing member 1 , as shown in FIG. 3, is moved laterally relative to the outflow opening 9 . This reduces the flow through the microvalve, where an increased pressure builds up in the valve chamber. The increased pressure presses the closing member 1 onto the base plate 10 in the region of the outflow opening 9 , as shown in FIG. 4, and closes the outflow opening 9 .

Die vertikale Bewegung wird zudem durch die Verwendung spe zieller Federelemente 3 unterstützt, die gegenüber der Vertika len in der Weise gekippt angeordnet sind, daß bei einer late ralen Bewegung des Schließgliedes 1 automatisch eine vertikale Bewegung des Schließgliedes 1 in Richtung auf die Ausström öffnung erfolgt.The vertical movement is also supported by the use of special spring elements 3 , which are arranged tilted relative to the verticals in such a way that a vertical movement of the closing member 1 automatically results in a vertical movement of the closing member 1 in the direction of the outflow opening.

Weiterhin ist in Fig. 4 die Auswölbung der Deckplatte 7 darge stellt, die durch den erhöhten Druck in der Ventilkammer erzeugt wird. Dadurch, daß die Membran 7 sich entgegengesetzt zum Schließglied 1 verformt, übt die Membran 7 über die Stege 4 und die elastischen Federelemente 3 eine vertikal nach oben ge richtete Kraft auf das Schließglied 1 aus. Diese Kraft ist dem erhöhten Druck, der durch das Verschließen der Ausströmöffnung 9 auf das Schließglied 1 erzeugt wurde, entgegengesetzt. Damit werden die Kräfte, die auf das Schließglied 1 wirken ausge glichen. Auf diese Weise wird, erreicht, daß ein Abschalten der Betätigungsmittel 5 ausreicht, um das Schließglied 1 in seine Ausgangsstellung zurückfedern zu lassen.Furthermore, 4, the bulge of the cover plate 7 is shown in Fig. Darge is generated by the increased pressure in the valve chamber. Characterized in that the membrane 7 deforms in the opposite direction to the closing member 1 , the membrane 7 exerts a vertically upward force on the closing member 1 via the webs 4 and the elastic spring elements 3 . This force is opposed to the increased pressure which was generated by closing the outflow opening 9 on the closing member 1 . So that the forces acting on the closing member 1 are balanced out. In this way it is achieved that switching off the actuating means 5 is sufficient to allow the closing member 1 to spring back into its starting position.

Damit sind keine zusätzlichen Betätigungsmittel notwendig, die das Schließglied 1 von der Grundplatte 10 wegziehen. Auf diese Weise kann das Schließglied 1 mit geringen Kräften bewegt wer den. Deshalb können Betätigungsmittel 5 verwendet werden, die eine kleine Bauform aufweisen und sich deshalb für mikro mechanische Anordnungen besonders eignen.This means that no additional actuating means are required which pull the closing member 1 away from the base plate 10 . In this way, the closing member 1 can be moved with low forces. Therefore, actuating means 5 can be used which have a small design and are therefore particularly suitable for micro-mechanical arrangements.

Zusätzlich können jedoch wie in Fig. 1 dargestellt, weitere Be tätigungsmittel 17 eingesetzt werden, um das Öffnen der Aus strömöffnung 9 zu beschleunigen.In addition, however, as shown in FIG. 1, further actuation means 17 can be used to accelerate the opening of the flow opening 9 .

Fig. 5 zeigt ein Mikroventil 1 mit Ausnehmungen im Schließglied 1 im Querschnitt. Das Mikroventil weist eine Grundplatte 10 auf, auf der ein Rahmen 6 angeordnet ist. Es ist ein Schließglied 1 in Form einer Platte dargestellt. Das Schließglied 1 ist über Federelemente 3 mit Stegen 4 verbunden. Zur Bewegung des Schließgliedes 1 sind schematisch Betätigungsmittel 5 ange ordnet. In diesem Ausführungsbeispiel ist das Schließglied 1 als Platte mit Ausnehmungen 13 ausgebildet. Die Ausnehmungen 13 sind in Form von V-förmigen Kerben, die seitlich in die Platte 1 hin einragen, ausgebildet. Von den Stegen 4 ausgehend weisen die Federelemente 3 in die Ausnehmungen 13 hinein und sind am Ende der Ausnehmungen 13 mit der Platte 1 befestigt. Auf diese Weise ist es möglich, die Stege 4 nah an das Schließglied 1 anzuordnen und trotzdem lange Federelemente 3 zu verwenden. Dadurch wird eine kleine Bauform des Mikroventils möglich, ohne die hänge der elastischen Federelemente 3 zu verkürzen und damit die Federwir kung der Federelemente 3 zu beeinträchtigen. Bei entsprechender Ausbildung und Anzahl der Stege 4, wenn z. B. für jedes Federele ment 3 ein Steg 4 angeordnet wird, ist es möglich die Stege 4 ebenfalls in den Ausnehmungen 13 unterzubringen und damit eine noch kleinere Bauform des Mikroventils zu ermöglichen. Das be schriebene Schließglied 1 mit den Ausnehmungen 13 kann für alle Bauformen des Mikroventils verwendet werden. Fig. 5 shows a micro valve 1 with recesses in the closing member 1 in cross section. The microvalve has a base plate 10 on which a frame 6 is arranged. A closing member 1 is shown in the form of a plate. The closing member 1 is connected to webs 4 via spring elements 3 . For moving the closing member 1 , actuating means 5 are schematically arranged. In this embodiment, the closing member 1 is designed as a plate with recesses 13 . The recesses 13 are in the form of V-shaped notches which protrude laterally into the plate 1 . Starting from the webs 4 , the spring elements 3 point into the recesses 13 and are fastened to the plate 1 at the end of the recesses 13 . In this way it is possible to arrange the webs 4 close to the closing member 1 and still use long spring elements 3 . This makes a small design of the microvalve possible without shortening the slopes of the elastic spring elements 3 and thus affecting the spring effect of the spring elements 3 . With appropriate training and number of webs 4 when z. B. for each Federele element 3 a web 4 is arranged, it is possible to also accommodate the webs 4 in the recesses 13 and thus to enable an even smaller design of the microvalve. The closing member 1 with the recesses 13 can be used for all designs of the microvalve.

Fig. 6 zeigt ein Mikroventil, das eine Ventilkammer aufweist. Die Ventilkammer besteht aus einer Grundplatte 10, auf der ein Rahmen 6 aufgebracht ist und die mit einer Deckplatte 7 abge deckt ist. Die Grundplatte 10 ist als verformbare Membran ausge bildet und weist eine Ausströmöffnung 9 auf. In den Rahmen 6 sind zwei Einströmöffnungen 8 eingebracht. An der Deckplatte 7 sind zwei Stege 4 befestigt. Zwischen den Stegen 4 ist das Schließglied 1, das eine Durchflußöffnung 2 aufweist, ange ordnet. Das Schließglied 1 ist über jeweils zwei Federelemente 3 mit je einem Steg 4 verbunden. Fig. 6 shows a micro valve having a valve chamber. The valve chamber consists of a base plate 10 on which a frame 6 is applied and which is covered with a cover plate 7 . The base plate 10 is formed as a deformable membrane and has an outflow opening 9 . Two inflow openings 8 are introduced into the frame 6 . Two webs 4 are fastened to the cover plate 7 . Between the webs 4 , the closing member 1 , which has a flow opening 2 , is arranged. The closing member 1 is connected via two spring elements 3 , each with a web 4 .

Die Anordnung nach Fig. 6 funktioniert wie folgt:
Bei geöffnetem Mikroventil fließt durch die zwei dargestellten Einströmöffnungen 8 ein Fluid in die Ventilkammer ein und fließt in vertikaler Richtung durch die Durchflußöffnung 2 und die Ausströmöffnung 9, wie durch die dargestellten Pfeile ange deutet ist. Wird nun über eine Bewegung des Schließgliedes 1 die Ausströmöffnung 9 verschlossen, so erhöht sich der Druck in der Ventilkammer und die Grundplatte 10, die als Membran ausgebildet ist, wölbt sich nach unten, so daß die Ausströmöffnung 9 sich aus der Ruheposition weg vom Schließglied 1 bewegt. Gleichzeitig bewegt sich das Schließglied 1 weiter von der Deckplatte 7 weg, so daß die Ausströmöffnung 9 geschlossen bleibt. Zugleich erhöht sich bei verschlossenem Mikroventil die durch den Druck erzeugte Kraft auf das Schließglied 1 in Richtung auf die Ausströmöffnung 9. Dadurch, daß sich die Ausströmöffnung 9 von der Deckplatte 7 weg bewegt und damit auch das Schließglied 1 bei verschlossenem Mikroventil weiter von der Deckplatte 7 entfernt ist, als bei nicht verformter Grundplatte 10, werden die Federelemente 3 ge streckt und üben aufgrund ihrer Elastizität eine Rückstellkraft auf das Schließglied 1 aus. Die Federelemente sind so ausgebil det, daß die Rückstellkraft der durch den Druck erzeugten Kraft auf das Schließglied 1 entgegengesetzt gerichtet und ungefähr gleich groß ist, so daß ein Ausgleich der Kräfte, die auf das Schließglied 1 wirken, erreicht wird.The arrangement according to FIG. 6 works as follows:
When the microvalve is open, a fluid flows into the valve chamber through the two inflow openings 8 shown and flows in the vertical direction through the flow opening 2 and the outflow opening 9 , as indicated by the arrows shown. If the outflow opening 9 is now closed by a movement of the closing element 1 , the pressure in the valve chamber increases and the base plate 10 , which is designed as a membrane, bulges downward, so that the outflow opening 9 moves away from the closing element 1 from the rest position emotional. At the same time, the closing member 1 moves further away from the cover plate 7 , so that the outflow opening 9 remains closed. At the same time, when the microvalve is closed, the force generated by the pressure on the closing element 1 increases in the direction of the outflow opening 9 . Characterized in that the outflow opening 9 moves away from the cover plate 7 and thus the closing member 1 is further away from the cover plate 7 when the microvalve is closed than when the base plate 10 is not deformed, the spring elements 3 are stretched and exercise a restoring force due to their elasticity on the closing member 1 . The spring elements are so ausgebil det that the restoring force of the force generated by the pressure on the closing member 1 is opposite and approximately the same size, so that a compensation of the forces acting on the closing member 1 is achieved.

Fig. 7 zeigt eine Ventilkammer, die aus einer Grundplatte 10 besteht, die als Membran ausgebildet ist. Auf der Grundplatte 10 ist ein Rahmen 6 angeordnet, der mit einer Deckplatte 7, die ebenfalls als Membran ausgebildet ist, abgedeckt ist. In der Mitte der Grundplatte 10 ist eine Ausströmöffnung 9 einge bracht. Über der Ausströmöffnung 9 ist ein Schließglied 1 darge stellt, das über jeweils zwei Federelemente 3 mit zwei gegen überliegenden Stegen 4 verbunden ist. Die Stege 4 sind an der Deckplatte 7 befestigt. In den Rahmen 6 sind zwei Einströmöff nungen 8, die sich in diesem Ausführungsbeispiel gegenüber liegen, eingebracht. Fig. 7 shows a valve chamber which consists of a base plate 10 which is designed as a membrane. A frame 6 is arranged on the base plate 10 and is covered with a cover plate 7 , which is also designed as a membrane. In the middle of the base plate 10 , an outflow opening 9 is introduced. Above the outflow opening 9 is a closing member 1 Darge, which is connected via two spring elements 3 with two opposite webs 4 . The webs 4 are attached to the cover plate 7 . In the frame 6 two Einströmöff openings 8 , which are opposite in this embodiment, introduced.

Die Anordnung nach Fig. 7 funktioniert wie folgt:
Bei geöffnetem Mikroventil fließt ein Fluid über die Einström öffnungen 8 in die Ventilkammer ein und durchströmt die Durch flußöffnung 2 und die Ausströmöffnung 9 in vertikaler Richtung. Diese Flußrichtung ist schematisch in Form von Pfeilen darge stellt. Wird das Mikroventil durch Bewegung des Schließgliedes 1 verschlossen, so erhöht sich der Druck in der Ventilkammer. Die Folge davon ist, daß sich sowohl die Deckplatte 7, die als Mem bran ausgebildet ist, als auch die Grundplatte 10, die als Mem bran ausgebildet ist, nach oben bzw. nach unten verformen. Durch den erhöhten Druck in der Ventilkammer wird das Schließglied 1 auf die Ausströmöffnung 9 gedrückt. Durch die Verformung der Grundplatte 10 wird die Ausströmöffnung 9 aus ihrer Ruheposition nach unten weg vom Schließglied 1 bewegt. Zugleich wird von der Deckplatte 7 über die Stege 4 und die Federelemente 3 eine Kraft auf das Schließglied 1 ausgeübt, die dem Druck auf das Schließ glied 1 entgegengesetzt und ungefähr gleich groß ist. Auf diese Weise wird der Druck auf das Schließglied 1 durch die Kraft, die über die Federelemente 3 auf das Schließglied 1 ausgeübt wird, ausgeglichen. . The arrangement of Figure 7 works as follows:
When the microvalve is open, a fluid flows through the inflow openings 8 into the valve chamber and flows through the flow opening 2 and the outflow opening 9 in the vertical direction. This flow direction is shown schematically in the form of arrows Darge. If the microvalve is closed by moving the closing member 1 , the pressure in the valve chamber increases. The result of this is that both the cover plate 7 , which is designed as a membrane, and the base plate 10 , which is designed as a membrane, deform upwards or downwards. Due to the increased pressure in the valve chamber, the closing member 1 is pressed onto the outflow opening 9 . Due to the deformation of the base plate 10 , the outflow opening 9 is moved downward from its rest position away from the closing member 1 . At the same time, a force is exerted on the closing member 1 by the cover plate 7 via the webs 4 and the spring elements 3, which force opposes the pressure on the closing member 1 and is approximately the same size. In this way, the pressure on the closure member 1 by the force exerted by the spring elements 3 on the closure member 1 is balanced.

Fig. 8 zeigt ein Mikroventil, das aus einer Grundplatte 10 be steht, die teilweise als Membran ausgebildet ist und eine Aus strömöffnung 9 aufweist. Über der Ausströmöffnung 9 ist das Schließglied 1 angeordnet, das über zwei seitlich angebrachte Federelemente 3 mit der Grundplatte 10 verbunden ist. Die Anord nung nach Fig. 8 funktioniert wie folgt:
Bei geöffnetem Mikroventil wird die Durchflußöffnung 2 und die Ausströmöffnung 9 in vertikaler Richtung durchflossen. Die Durchflußrichtung ist schematisch mit Pfeilen in der Fig. 8 dargestellt. Wird die Ausströmöffnung 9 mit dem Schließglied 1 verschlossen, so erhöht sich der Druck auf die Grundplatte 10 und diese wölbt sich nach unten. Die Folge davon ist, daß die Ausströmöffnung 9 weg vom Schließglied 1 bewegt wird und das Schließglied 1 folgt dieser Bewegung, so daß die Federelemente 3 gedehnt werden und eine Rückstellkraft auf das Schließglied 1 ausüben, die dem Druck auf das Schließglied 1 entgegengesetzt und ungefähr gleich groß ist. Fig. 8 shows a microvalve, which consists of a base plate 10 be, which is partially designed as a membrane and has a flow opening 9 from. The closing member 1 is arranged above the outflow opening 9 and is connected to the base plate 10 by means of two laterally attached spring elements 3 . The arrangement according to FIG. 8 works as follows:
When the microvalve is open, the flow opening 2 and the outflow opening 9 are flowed through in the vertical direction. The direction of flow is shown schematically with arrows in FIG. 8. If the outflow opening 9 is closed with the closing member 1 , the pressure on the base plate 10 increases and this bulges downward. The result of this is that the outflow opening 9 is moved away from the closing member 1 and the closing member 1 follows this movement, so that the spring elements 3 are stretched and exert a restoring force on the closing member 1 which opposes the pressure on the closing member 1 and is approximately the same is great.

Fig. 9 zeigt ein Mikroventil mit einer Ventilkammer, die eine Grundplatte 10 aufweist, in der eine Ausströmöffnung 9 einge bracht ist. Auf der Grundplatte 10 ist ein Rahmen 6 angeordnet, auf dem die Deckplatte 7 in Form einer Membran aufgebracht ist. Über der Ausströmöffnung 9 ist ein Schließglied 1 angeordnet, wobei das Schließglied über Federelemente 3 am Rahmen 6 be festigt ist. Zugleich ist das Schließglied 1 über biegeweiche Stege 4, die gegen die Vertikale gekippt angeordnet sind, mit der Deckplatte 7 verbunden. In einer besonderen Ausführung können auch die Federelemente 3 entfallen und das Schließglied 1 ist nur über biegeweiche Stege 4 an der Deckplatte 7 aufgehängt. Die biegeweichen Stege 4 sind so ausgebildet, daß eine laterale und vertikale Bewegung des Schließgliedes 1 in Richtung auf die Aus strömöffnung 9 möglich ist. Der Rahmen 6 weist zwei Einströmöff nungen 8 auf. Fig. 9 shows a microvalve with a valve chamber which has a base plate 10 in which an outflow opening 9 is introduced. A frame 6 is arranged on the base plate 10 , on which the cover plate 7 is applied in the form of a membrane. Above the outflow opening 9 , a closing member 1 is arranged, the closing member being fastened to the frame 6 via spring elements 3 . At the same time, the closing member 1 is connected to the cover plate 7 via flexible webs 4 , which are arranged tilted against the vertical. In a special embodiment, the spring elements 3 can also be omitted and the closing member 1 is only suspended on the cover plate 7 via flexible webs 4 . The flexible webs 4 are designed so that a lateral and vertical movement of the closing member 1 in the direction of the flow opening 9 is possible. The frame 6 has two Einströmöff openings 8 .

Im geöffneten Zustand wird das Mikroventil entsprechend den dar gestellten Pfeilen durchströmt. Nach dem Schließen des Mikroven tils verformt sich die Deckplatte 7 in der Weise, daß das Schließglied 1 eine Kraft über die Stege 4 erfährt, die dem Druck auf das Schließglied 1 entgegengesetzt und gleich groß ist. Somit wird bei geschlossenem Mikroventil ein Ausgleich der auf das Schließglied 1 einwirkenden Kräfte erreicht.In the open state, the microvalve is flowed through according to the arrows shown. After closing the Mikroven valve, the cover plate 7 deforms in such a way that the closing member 1 experiences a force via the webs 4 , which opposes the pressure on the closing member 1 and is of the same size. Thus, when the microvalve is closed, the forces acting on the closing member 1 are balanced.

Fig. 10 zeigt ein Mikroventil, das eine Grundplatte 10 auf weist, in der eine Ausströmöffnung 9 eingebracht ist. Die Grund platte 10 ist als Membran ausgebildet. Auf der Grundplatte 10 ist umlaufend ein Rahmen 6 angeordnet. Es ist ein Schließglied 1 über der Ausströmöffnung 9 angeordnet, das eine Durchflußöffnung 2 aufweist. Das Schließglied 1 ist als kreisförmige Platte aus gebildet. Das Schließglied 1 ist über seitlich angebrachte Fe derelemente 3 am Rahmen 6 befestigt. Das Schließglied 1 ist als Drehschieber ausgebildet und ist über einen Drehpunkt 16 gegen ein Verschieben gegenüber der Grundplatte 10 gesichert. Der Drehpunkt 16 kann auch zur Einleitung des zur Betätigung notwen digen Drehmomentes dienen. Fig. 10 shows a microvalve which has a base plate 10 in which an outflow opening 9 is introduced. The base plate 10 is designed as a membrane. A frame 6 is arranged all round on the base plate 10 . A closing member 1 is arranged above the outflow opening 9 and has a flow opening 2 . The closing member 1 is formed as a circular plate. The closing member 1 is attached to the frame 6 via laterally attached Fe derelemente 3 . The closing member 1 is designed as a rotary slide and is secured against displacement relative to the base plate 10 via a pivot point 16 . The fulcrum 16 can also be used to initiate the torque required for actuation.

Eine andere Ausführung besteht darin, den Drehschieber 1 über einen Torsionsfaden an der Deckplatte 7 der Ventilkammer auf zu hängen. Wird das Mikroventil über ein Drehen des Drehschiebers 1 geschlossen, so erhöht sich der Druck auf den Drehschieber 1 in Durchflußrichtung, die in dem gezeigten Beispiel in die Zeichen ebene hineinführt. Die Folge davon ist, daß sich die Grundplatte 10 weg vom Drehschieber 1 bewegt und der Drehschieber 1 der Grundplatte 10 folgt und so Rückstellkräfte über die Federele mente 3 auf den Drehschieber 1 ausgeübt werden, so daß die durch den Druck induzierte Kraft auf den Drehschieber 1 über die Rück stellkräfte der Federelemente ausgeglichen wird, bzw. die Rück stellkräfte über einen Torsionsfaden übertragen werden.Another embodiment is to hang the rotary valve 1 via a torsion thread on the cover plate 7 of the valve chamber. If the microvalve is closed by rotating the rotary valve 1 , the pressure on the rotary valve 1 increases in the flow direction, which in the example shown leads into the plane of the drawing. The result of this is that the base plate 10 moves away from the rotary valve 1 and the rotary valve 1 follows the base plate 10 and restoring forces are exerted via the Federele elements 3 on the rotary valve 1 , so that the force induced by the pressure on the rotary valve 1st is compensated via the restoring forces of the spring elements, or the restoring forces are transmitted via a torsion thread.

Die Verwendung des Drehschiebers 1 ist nicht auf das darge stellte Beispiel in Fig. 10 beschränkt, sondern kann ent sprechend auf die Fig. 1 bis 9 angewendet werden.The use of the rotary valve 1 is not limited to the example presented in FIG. 10, but can accordingly be applied to FIGS . 1 to 9.

Die Form und die Anzahl der Ausströmöffnung 9, der Durchflußöff nung 2 und des Schließgliedes 1 sind nicht auf die dargestellten Beispiele begrenzt, sondern können entsprechend den Anwendungen ausgebildet werden.The shape and number of the outflow opening 9 , the flow opening 2 and the closing member 1 are not limited to the examples shown, but can be designed according to the applications.

Weiterhin ist das Mikroventil auch als im Normalzustand ge schlossenes Mikroventil darstellbar, das über die Betätigungs mittel 5 geöffnet wird. Zusätzlich können auch bei dem im Nor malzustand geschlossenen Mikroventil weitere Betätigungsmittel 17 vorgesehen sein, die ein schnelleres Schließen der Ausström öffnung 9 ermöglichen. Das Schließen und/oder Öffnen der Mikro ventile der Fig. 1 bis 9 erfolgt über die Betätigungsmittel 5 und/oder über die weiteren Betätigungsmittel 17, die nicht ex plizit dargestellt sind.Furthermore, the microvalve can also be represented as a closed microvalve in the normal state, which is opened via the actuating means 5 . In addition, further actuating means 17 can also be provided in the micro valve, which is closed in the normal state, which enable the outflow opening 9 to close more quickly. The closing and / or opening of the micro valves of FIGS . 1 to 9 takes place via the actuating means 5 and / or via the further actuating means 17 , which are not shown explicitly.

Die Federelemente 3 und/oder die Stege 4 der Fig. 1 bis 10 sind vorzugsweise so gegen die Vertikale geneigt, daß eine hori zontale Bewegung des Schließgliedes gleichzeitig eine vertikale Bewegung des Schließgliedes in Richtung auf oder weg von der Ausströmöffnung erzeugt, je nachdem, ob es sich um ein normaler weise offenes oder geschlossenes Mikroventil handelt.The spring elements 3 and / or the webs 4 of FIGS. 1 to 10 are preferably inclined against the vertical that a horizontal movement of the closing member simultaneously generates a vertical movement of the closing member in the direction of or away from the outflow opening, depending on whether it is a normally open or closed microvalve.

Das Mikroventil kann z. B. mit Hilfe von mikromechanischen Ätz verfahren aus Silizium oder nach dem LIGA-Verfahren hergestellt werden. Die Federelemente 3, die schräg gegen die Vertikale ge neigt sind, werden vorzugsweise nach dem LIGA-Verfahren herge stellt. Die Herstellung des Mikroventils nach dem LIGA-Verfahren mit Nickel bietet in Verbindung mit einem elektromagnetischen Betätigungsmittel den Vorteil, daß Nickel sich zur magnetische Flußführung eignet. Das Mikroventil kann aus einem Ober- und Un terteil hergestellt werden, wie aus den Fig. 2 und 4 zu er kennen ist. Die Grundplatte 10 und der Rahmen 6 stellen getrennt gefertigte Teile dar. Die Grundplatte 10 und der Rahmen 6 samt Stegen, Federelementen und Schließglied können durch gestufte Abformung hergestellt werden, wobei der Rahmen 6 eine Abformung auf der Membran 7 erfordert.The microvalve can e.g. B. with the help of micromechanical etching process made of silicon or by the LIGA process. The spring elements 3 , which are inclined ge against the vertical, are preferably produced by the LIGA method. The manufacture of the microvalve according to the LIGA process with nickel in conjunction with an electromagnetic actuating means has the advantage that nickel is suitable for magnetic flux guidance. The microvalve can be made from an upper and lower part, as is known from FIGS . 2 and 4. The base plate 10 and the frame 6 represent separately manufactured parts. The base plate 10 and the frame 6 together with webs, spring elements and closing element can be produced by means of stepped molding, the frame 6 requiring molding on the membrane 7 .

Claims

1. Pressure-balanced microvalve with a valve chamber with an inflow opening ( 8 ) and with a base plate ( 10 ) in which an outflow opening ( 9 ) is introduced, and with a closing member ( 1 ) in the region of the outflow opening ( 9 ) in the valve chamber , wherein the closing member ( 1 ) via elastic connecting elements ( 3 , 4 ) is held, and with actuating means ( 5 , 17 ) with which the closing member ( 1 ) is movable to the flow opening ( 9 ) with the closing member ( 1 ) to close or open, characterized in that the closing member ( 1 ) via the connecting elements ( 3 , 4 ) on a cover plate ( 7 ) of the Ven tilkammer is attached, that the cover plate ( 7 ) is designed as a deformable membrane that the diaphragm ( 7 ) deforms when the outflow opening ( 9 ) is closed so that the elastic connecting elements ( 3 , 4 ) exert a force on the closing member ( 1 ), which relieves the pressure on the closed closing member counteract song ( 1 ).

2. Pressure-balanced microvalve with a base plate ( 10 ) with an outflow opening ( 9 ) and with a closing member ( 1 ), which are held on the base plate ( 10 ) via elastic connecting elements ( 3 , 4 ) and with actuating means ( 5 ) to close or open the outflow opening ( 9 ) with the closing member ( 1 ), characterized in that the microvalve flows in the direction from the closing member ( 1 ) to the outflow opening ( 9 ) in that the base plate ( 10 ) is partially ver formable membrane is formed, that the membrane and thus the outflow opening (9) are moved away during closing of the outflow opening (9) from a rest position, and that the closing member (1) of the outflow opening (9) under the action of actuating means (5) and with Utilization of the elasticity of the connecting elements ( 3, 4 ) follows and the outflow opening ( 9 ) remains closed.

3. Pressure-balanced microvalve according to claim 1, characterized in that the base plate ( 10 ) is at least partially designed as a membrane, that the membrane deforms when the outflow opening ( 9 ) is closed from a rest position and thus the outflow opening ( 9 ) from Closing member ( 1 ) moves away, and that the closing member ( 1 ) follows the outflow opening ( 9 ) by the action of the actuating means and by utilizing the elasticity of the connecting elements ( 3 , 4 ).

4. Pressure-balanced microvalve according to one of claims 1 to 3, characterized in that the closing member ( 1 ) is designed as a plate and has a passage opening ( 2 ).

5. Pressure-balanced microvalve according to claim 4, characterized in that the outflow opening ( 9 ) has a passage grille ( 11 ), that the closing member ( 1 ) in the passage opening ( 2 ) has a further passage grille ( 12 ), and that the flow opening ( 9 ) by moving the further passage grille ( 12 ) relative to the passage grille ( 11 ) can be closed.

6. Pressure-balanced microvalve according to one of claims 1 and 3 to 5, characterized in that as connecting elements ( 3 , 4 ) on the cover plate ( 7 ) rigid webs ( 4 ) are attached, and that from the webs ( 4 ) starting elastic spring elements ( 3 ) are connected to the closing member ( 1 ).

7. Pressure-balanced microvalve according to one of claims 1 to 6, characterized in that the closing member ( 1 ) since Liche recesses ( 13 ) that the connecting elements ( 3 , 4 ) are arranged in the recesses ( 13 ) and in the recesses ( 13 ) are connected to the closing member ( 1 ).

8. Pressure-balanced microvalve according to one of claims 1 to 7, characterized in that the connecting elements ( 3 , 4 ) are arranged tilted relative to the vertical that with the lateral movement of the closing member ( 1 ) automatically a vertical movement of the closing member ( 1 ) is introduced in the direction of the outflow opening ( 9 ).

9. Pressure-balanced microvalve according to one of claims 1 to 5, 7 and 8, characterized in that the closing member ( 1 ) with flexible webs ( 4 ) on the cover plate ( 7 ) and / or with spring elements ( 3 ) laterally on the frame ( 6 ) the valve chamber is hung on.

10. Pressure-balanced microvalve according to one of claims 1 to 9, characterized in that the closing member ( 1 ) is designed as a rotary slide valve.

11. Pressure-balanced microvalve according to one of claims 1 to 10, characterized in that the microvalve is normally closed stood closed.