DE4440976A1 - Optische Sende- und Empfangseinrichtung mit einem oberflächenemittierenden Laser - Google Patents
Optische Sende- und Empfangseinrichtung mit einem oberflächenemittierenden LaserInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine optische Sende- und
Empfangseinrichtung mit einem oberflächenemittierenden Laser
nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Bei einer optischen Sende- und Empfangseinrichtung muß eine
Übertragungsfaser an ein Sendeelement, üblicherweise eine
Laserdiode, und an eine Photodiode als Empfangselement
angekoppelt werden. In der Übertragungsfaser werden
gleichzeitig die Sende- und Empfangssignale in
entgegengesetzter Richtung übertragen. Die Sende- und
Empfangssignale werden bei gleicher Wellenlänge über einen
Strahlteiler und bei unterschiedlichen Wellenlängen über
einen wellenlängenselektiven Verzweiger getrennt. Um
möglichst geringe Koppelverluste zu erhalten, muß die Faser
sowohl an die Laserdiode als auch an die Empfangsdiode
optimal angekoppelt werden. Zur Ankopplung eines Lasers mit
waagerecht liegendem Resonator und Lichtaustrittsfläche an
der Stirnseite an eine Einmodenfaser muß wegen der
unterschiedlichen Strahlcharakteristiken von beiden eine
Strahltransformation durchgeführt werden. Hierzu wird üb
licherweise eine Abbildung mit einer oder zwei Linsen
verwendet. Das erforderliche Vergrößerungsverhältnis M liegt
entsprechend dem Verhältnis der Modenfelddurchmesser von
Laser und Faser bei etwa drei bis fünf. Bei einem neueren
Laserdiodentyp, dem Vertical Cavity Surface Emittig Laser
(VCSEL) ist der Resonatorraum und die Abstrahlrichtung
senkrecht zur Chipoberfläche. Der Modenfelddurchmesser ist
an den Modenfelddurchmesser einer Einmodenfaser angepaßt, um
eine gute Kopplung zu erreichen. Das Vergrößerungsverhältnis
ist in diesem Fall M = 1. Toleranzen in der Position des
Lasers sind bei einem VCSEL von der gleichen Größenordnung,
wie die Toleranzen einer Faser-Faser-Kopplung.
Oberflächenemittierende Laser (VCSEL) sind mehr noch als
stirnflächenemittierende Laser sehr empfindlich gegenüber
Rückreflexionen an externen Reflexionsflächen in den
Laserresonator. Eine sehr kritische Reflexionsfläche wäre
eine Faserstirnfläche, die unmittelbar vor dem
Lichtaustrittsfenster des Lasers angebracht wäre, wie es zum
Erreichen eines guten Koppelwirkungsgrades erforderlich
wäre. Soll ein VCSEL in einem Transceiver-Modul eingesetzt
werden, so muß zwischen der Übertragungsfaser und dem Laser
ein Element zur Richtungstrennung eingebracht werden. Dieses
Element läßt sich bei der Stirnflächenkopplung zwischen
Laser und Faser aus Platzgründen nicht anbringen.
Aus der DE 39 14 835 C1 ist eine Anordnung zur Ankopplung
eines Lichtwellenleiters an ein optisches Sende- oder
Empfangselement bekannt.
Eine Justierung in der zur optischen Achse lateralen Ebene
wird dadurch erreicht, daß Lichtwellenleiter und optisches
Sende- oder Empfangselement auf verschiedenen Trägern
fixiert sind, die mit ihren Trägeroberflächen verschiebbar
aufeinander liegen und daß das Lichtbündel durch zweimalige
Spiegelung an je einer auf einem Träger befindlichen
Spiegelebene vom Lichtwellenleiter zum optisch aktiven
Element oder umgekehrt gelangt. Durch Verschieben der Träger
wird eine laterale Justierung durchgeführt. Der Träger, der
das Sende- oder Empfangselement trägt, kann aus einem
Substrat und einem darauf aufgebrachten Teil bestehen, das
eine durchgehende Öffnung aufweist, durch die der
Lichtstrahl tritt. Eine Anwendung der Anordnung in allen
Übertragungssystemen mit Lichtwellenleitern, in Duplexern
mit Lichtein- oder -auskopplung ist möglich. Für den Fall
der Ankopplung an ein Sendeelement, insbesondere an einen
kantenemittierenden Laser, kann auf dem Träger mit der Faser
ein Empfangselement vorgesehen sein.
Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der
Erfindung, eine optische Sende- und Empfangseinrichtung
anzugeben, bei der der Justageaufwand verringert und die
Montage vereinfacht ist.
Die Aufgabe wird durch eine Erfindung mit den Merkmalen der
Patentansprüche 1 und 2 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen
angegeben.
Es wird eine Lösung vorgeschlagen, bei der eine justagefreie
Montage aller Komponenten eines Transceiver-Moduls mit VCSEL
möglich ist und die Ankopplung ohne schädliche
Rückreflexionen auf den Laser erfolgt. Außerdem werden
Vorschläge für eine reflexionsarme Ankopplung einer
Monitordiode zur Regelung der Lichtleistung gemacht. Die
hierbei erforderlichen Haltestrukturen können
mikromechanisch im Großnutzen kostengünstig hergestellt
werden.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der
Zeichnungen beschrieben. Es zeigen
Fig. 1 einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Anordnung
mit Monitordiode auf dem Träger der Laserdiode;
Fig. 1a einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Anordnung
mit Monitordiode auf dem Träger der Übertragungsfaser;
Fig. 2 Aufbau zur Justage der Anordnung;
Fig. 3 erfindungsgemäße Anordnung, wobei der dritte Träger
mit seiner Stirnseite zum ersten Träger ausgerichtet ist und
Fig. 4 erfindungsgemäße Anordnung, deren dritter Träger
gegenüber der Anordnung nach Fig. 1 vertikal und horizontal
gespiegelt ist.
Ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Lösung
ist in Fig. 1 dargestellt. In einem ersten Träger T1, der
aus einkristallinem Silizium besteht, wird durch anisotropes
Ätzen eine Vertiefung V1 erzeugt, die einen ebenen Boden B1
besitzt, auf welchem eine senkrecht strahlende Laserdiode
VCSEL montiert ist. Die Seitenflächen der Vertiefung haben
infolge des anisotropen Ätzprozesses einen Neigungswinkel
von α = arctan (√) = 54,7°. Zur Erleichterung der
Positionierung wird die Laserdiode bei der Montage an die
Fußlinien von mindestens zwei rechtwinklig zueinander
liegenden Seitenflächen angelegt.
Über dem Träger T1 ist ein zweiter Träger T2 angebracht, der
für die Wellenlänge λ₁ des Laserlichtes transparent ist.
Beispielsweise kann dieser zweite Träger ebenfalls aus
Silizium bestehen. Es ist aber auch ein anderes
transparentes Material möglich, das mikromechanisch
strukturierbar ist. Auf der Unterseite des Trägers T2 wird
in dem Bereich über der aktiven Fläche der VCSEL eine
schräge Fläche SF strukturiert, deren Neigungswinkel δ
gegenüber der Unterseite des Trägers T2 so groß ist, daß das
senkrecht aus der VCSEL austretende Sendelichtbündel L1 an
der geneigten Grenzfläche SF unter den Winkel γ₁₂ gebrochen
wird. Auf der Oberseite des Trägers T2 ist eine Linse Li
angebracht. Diese Linse kann vorteilhafterweise eine planar
aufgebrachte Fresnellinse oder eine holographische Linse
sein. Es sind aber auch andere Linsenarten möglich, wie zum
Beispiel eine Kugellinse, die in einer mikromechanisch
geformten Vertiefung sitzt, oder eine durch Trockenätzen
erzeugte Linse. Die Linse Li wandelt das zunächst divergente
Lichtbündel L1 in ein konvergentes Bündel um. Infolge der
Lichtbrechung an der oberen Grenzfläche des Trägers T2 wird
der Mittelstrahl des Lichtbündels unter dem Winkel
γ₁₁ = arcsin ((n₂/no) * sin(γ₁₂))
gebrochen, wobei no der Brechungsindex im Außenraum und n₂
der Brechungsindex im Träger T2 ist.
Über dem Träger T2 ist ein weiterer Träger T3 angebracht,
der wie der Träger T1 ebenfalls aus einkristallinem Silizium
besteht. In diesem Träger T3 sind zwei Vertiefungen V31 und
V32 anisotrop geätzt. Die Vertiefung V31 ist eine V-Nut zur
Aufnahme der Übertragungsfaser Fa. Die Breite dieser V-Nut
ist dabei zweckmäßigerweise so groß, daß die unterste
Mantellinie der Faser gerade in der Ebene der Unterseite von
T3 zu liegen kommt. Die Stirnseite S3 der V-Nut ist mit
einem wellenlängenselektiven Filter Fi1 beschichtet. Dieses
Filter ist so ausgelegt, daß die Sendewellenlänge λ₁
reflektiert und die Empfangswellenlänge λ₂ durchgelassen
wird. Das Sendelichtbündel L1 wird an der unter dem Winkel α
geneigten Stirnfläche S31 dann in waagerechte Richtung
reflektiert und in die Übertragungsfaser Fa eingekoppelt,
wenn der Winkel γ₁₁ der folgenden Beziehung gehorcht:
γ₁₁ = 2*α-90° = 19,5°
Hieraus errechnet sich der Winkel γ₁₂ zu 5,5°, wenn für den
Träger T2 der Brechungsindex von Silizium mit 3,4777
(λ = 1550 nm) eingesetzt wird. Der Neigungswinkel δ, der
erforderlich ist, um an der Grenzfläche SF den Winkel γ₁₁ =
5,5° zu erzeugen, errechnet sich aus der transzendenten
Gleichung
(n₂/no)*sin(δ-γ₁₁)-sin δ = 0.
Durch Iteration erhält man mit den oben angegebenen Werten
für n₂, no und γ₁₁ einen Neigungswinkel von δ = 8,71°.
Statt durch Brechung an der geneigten Fläche kann der für
die richtige Lichtführung erforderliche Winkel γ₁₂ auch
durch andere Mittel erreicht werden. Beispielsweise kann auf
der Oberfläche des VCSEL ein refraktives oder diffraktives
Ablenkungselement wie zum Beispiel ein Fresnelelement oder
ein Hologramm aufgebracht werden, das die Lichtrichtung um
den Winkel γ₁₁ ablenkt, so daß durch Brechung an der
Unterseite des Trägers T2 im Träger T2 der Winkel γ₁₂
erreicht wird. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, den
VCSEL-Chip selbst unter dem Winkel γ₁₁ geneigt zu montieren.
Dies kann durch Schrägstellung des Bodens der Vertiefung V1
geschehen.
Da die Modenfelddurchmesser von VCSEL und Faser von
annähernd gleicher Größe sind, muß die Linse Li so ausgelegt
sein, daß eine 1:1-Abbildung mit M = 1 entsteht. Etwaige
Unterschiede in den Modenfelddurchmessern können durch
Anpassung des Abbildungsverhältnisses leicht kompensiert
werden. Für ein Vergrößerungsverhältnis von M = 1 müssen
auch die optischen Weglängen für die Gegenstands- und
Bildweite gleich groß sein. Bei der Berechnung der optischen
Weglängen muß jeweils der Brechungsindex des durchlaufenen
Materials berücksichtigt werden. Die Gegenstandsweite kann
durch die Wahl der Dicke des Trägers 2 an die Bildweite im
Raum vor der Faser Fa angepaßt werden. Da die
Koppeltoleranzen eines VCSEL in der Größe der Faser-
Koppeltoleranzen sind, kann hier auf eine aktive Justage
verzichtet werden. Die Koppeltoleranzen liegen in lateraler
Richtung für Faser und VCSEL bei ca. 2-3 µm. In axialer
Richtung liegen sie bei etwa 30 µm. Diese Toleranzen sind
durch mikromechanisch strukturierte Silizium-Haltestrukturen
einzuhalten, so daß eine justagefreie Montage möglich ist.
Zur justagefreien Montage der drei Träger T1-T3
aufeinander dienen mikromechanisch erzeugte Anschläge oder
Vertiefungen Va, in die Justagekörper JK gelegt werden.
Das aus der Übertragungsfaser austretende
Empfangslichtbündel L2 mit der Wellenlänge λ₂ durchdringt
das Filter Fi1 und wird an der Grenze zum Silizium unter dem
Winkel
γ₂₁ = α + β₃,
wobei β₃ der Brechungswinkel an der Stirnfläche S31 mit
β₃ = arcsin((no/n₃)*sin(90°-α))
ist, gegen die Flächennormale der Substratoberfläche von T3
in das Silizium hineingebrochen. Dabei ist no der
Brechungsindex in der V-Nut V31 und n₃ = 3,4777 der
Brechungsindex im Siliziumträger T3. Mit no = 1 für Luft
erhält man β₃ = 9,6° und γ₂₁ = 64,3°. Das Lichtbündel L2
trifft auf die Seitenfläche S31 der Vertiefung V31 unter
einem Einfallswinkel von
α₃ = 180°-2*α-β₃ = 61,0°.
Da dieser Winkel α₃ größer als der Grenzwinkel der
Totalreflexion beim Übergang Silizium/Luft von
αg = arc sin(no/n₃) = 16,7°
ist, wird das Lichtbündel L2 unter dem Winkel
γ₂₂ = α₃-α= 6,3°
gegen die Flächennormale der Trägeroberfläche gebrochen. Der
Winkel γ₂ ist kleiner als αg, so daß das Lichtbündel L2 auf
der Oberfläche des Siliziumträgers T3 austreten kann. An der
Austrittsstelle des Lichtbündels L2 wird die Empfangsdiode
PD montiert. Die Position für die Photodiode ergibt sich aus
den oben genannten Winkeln, dem Abstand der beiden
Vertiefungen V31 und V32 voneinander und mit geringer
Abhängigkeit von der Dicke des Trägers T3. Die Position der
Lichtaustrittsfläche von L2 hängt dagegen nicht von der
axialen Position der Faser Fa in der V-Nut V31 ab. Die
Position der Lichtaustrittsfläche kann daher relativ zu den
mikromechanisch erzeugten Vertiefungen V31 und V32 durch
Marken oder Anschläge gekennzeichnet werden. Diese Marken
oder Anschläge können durch photolithographische Technik
sehr genau zu den Vertiefungen V31 und V32 ausgerichtet
werden.
Zur Regelung der Lichtleistung des Sendelasers muß mit einer
Monitordiode MD die Laserleitung gemessen werden. Auch die
Monitordiode muß dabei reflexionsarm angekoppelt werden.
Erfindungsgemäß wird unter der Laserdiode VCSEL eine schmale
V-Nut Vm anisotrop geätzt. Eine Stirnseite Sm1 dieser V-Nut
liegt dabei unterhalb der unteren Lichtaustrittsfläche der
VCSEL und die andere Stirnfläche Sm2 unterhalb der neben der
VCSEL angebrachten Monitordiode MD. Die Seitenwände der
Monitor-V-Nut Vm sind verspiegelt, so daß das Monitorsignal
nach mehreren Reflexionen in die Monitordiode gelangt.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung liegt
darin, daß hierbei eine sehr hohe nahe Übersprechdämpfung
erreicht werden kann. Eine hohe nahe Übersprechdämpfung ist
erforderlich, damit das Sendesignal aus dem Laser nicht
infolge ungenügender Richtungstrennung in die in der Nähe
des Senders befindliche Empfangsdiode trifft und diese beim
Empfang schwacher Nutzsignale stört. Filterschichten haben
im allgemeinen nur eine begrenzte Fähigkeit zur Trennung
verschiedener Wellenlängen. Daher wird ein kleiner Anteil
des Sendelichtbündels L1 die Filterschicht S31 auch
durchdringen. Der Strahlverlauf dieses Störlichtes ist als
S1′ gestrichelt dargestellt. Dieses Lichtbündel trifft aber
unter dem Winkel
γ₁₃′ = α-β₃ = 45,2°
gegen die Flächennormale auf die Oberfläche des Trägers T3
auf. Dieser Winkel ist aber größer als der Grenzwinkel der
Totalreflexion αg = 16,7°, so daß das direkte Störlicht vom
Sender nicht in die Empfangsdiode gelangen kann.
In einer Variante des ersten Ausführungsbeispiels wird das
Filter Fi1 so ausgelegt, daß noch ein geringer Teil des
Sendelichtes das Filter durchdringt, während der größte Teil
reflektiert wird. Dieses das Filter durchdringende
Lichtbündel L1′ wird erfindungsgemäß als Regelsignal
benutzt. Die Monitordiode MD′ wird dann nicht auf dem Träger
T1 sondern in einer Aussparung V33 auf dem Träger T2
montiert. Dies ist in der Fig. 1 gestrichelt dargestellt.
Auf eine aktive Justage der Faser zum Sendelichtbündel L1
kann wegen der im Vergleich zu einem
stirnflächenemittierenden Laser größeren Modenfeld eines
VCSEL verzichtet werden. Die erforderliche Genauigkeit im
Bereich von 2-3 µm wird durch Justagekörper JK in
Vertiefungen Va oder durch mikromechanisch erzeugte
Anschläge in den einander gegenüberliegenden Oberflächen der
Träger T1 bis T3 erreicht. Der Träger T2 kann dabei als
lichtdurchlässiger hermetisch dichter Deckel des Gehäuses G
dienen. Ebenso kann auch ein zusätzliches hermetisch dichtes
Fenster Fe zwischen den Trägern T2 und T3 eingesetzt werden
(Siehe Fig. 2).
In einem zweiten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Lösung wird der Träger T3 nicht mit seiner Unterseite
sondern mit seiner Stirnseite zum Träger T2 ausgerichtet.
Das zweite erfindungsgemäße Ausführungsbeispiel ist in der
Fig. 3 dargestellt. Die Träger T1 und T2 sind wie im ersten
Ausführungsbeispiel aufgebaut. Die Faser Fa wird auch hier
wieder in einer V-Nut V31 in einem Träger T3 geführt und ist
auch in dieser V-Nut axial justierbar. Die Stirnseite S31
ist ebenfalls mit einer wellenlängenselektiven Filterschicht
Fi2 belegt. Im Unterschied zur Filterschicht F11 im ersten
Ausführungsbeispiel ist die Filterschicht Fi2 für die
Sendewellenlänge λ₁ durchlässig und für die
Empfangswellenlänge λ₂ reflektierend. Das unter einem Winkel
von γ₁₁ = 19,5° aus dem Träger T2 austretende Lichtbündel L1
trifft auf die Seitenwand S31 einer von der
entgegengesetzten Seite in den Träger T3 anisotrop geätzten
Vertiefung V32, deren der Seitenwand S32 gegenüberliegender
Teil, beispielsweise durch Sägen, entfernt worden ist. Da
die beiden Seitenflächen S32 und S31 parallel zueinander
sind, wird das Sendelichtbündel S1 durch die zweimalige
Brechung parallel versetzt und trifft dann in die
Übertragungsfaser Fa. Im Unterschied zum ersten
Ausführungsbeispiel muß hier nicht durch besondere Maßnahmen
die Lichtstrahlrichtung im Träger T2 geneigt werden, sondern
kann senkrecht bleiben. Der Träger T3 wird dann senkrecht
zur Flächennormalen des Trägers T2 montiert. Die
Empfangsdiode PD wird über der Stirnfläche S31 der Faser-V-
Nut V31 montiert. Das aus der Faser austretende
Empfangssignal hat in diesem Ausführungsbeispiel nur einen
sehr kurzen Lichtweg bis zum Auftreffen auf die
Empfangsdiode. Dadurch fächert es weniger auf, so daß eine
kleinflächigere Photodiode eingesetzt werden kann.
Ein drittes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Lösung
ist in der Fig. 4 dargestellt. Hier ist der Träger T3
ähnlich wie im ersten Ausführungsbeispiel aufgebaut, aber
gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel vertikal und
horizontal gespiegelt. Die Filterschicht Fi2 muß wie im
Ausführungsbeispiel 2 für die Sendewellenlänge transparent
und für die Empfangswellenlänge reflektierend sein. Die
Photodiode PD für das Empfangssignal wird wie beim
Ausführungsbeispiel 2 im Bereich über der Stirnfläche der V-
Nut V31 montiert. Wie im Ausführungsbeispiel 2 hat man auch
hier den Vorteil, daß der Weg zwischen Faserstirnfläche und
Photodiode sehr kurz ist, was eine geringe Strahlaufweitung
zur Folge hat und daher eine sehr kleinflächige Photodiode,
die für hohe Frequenzen geeignet ist, erlaubt. Der
Richtungswinkel γ₁₂ des Strahlbündels im Träger T2 ist für
das Trägermaterial Silizium 5,5°. An diesen Richtungswinkel
wird durch Maßnahmen, wie im ersten Ausführungsbeispiel
beschrieben, der Richtungswinkel γ₂₁ des Strahlbündels im
Träger T3 angepaßt. Der gegenüber dem ersten
Ausführungsbeispiel hier längere Lichtweg im Träger T3 für
das Sendelichtbündel muß durch eine entsprechende Dicke des
Trägers T2 kompensiert werden.
Der Träger T2 mit der Linse Li wird im Großnutzen für viele
Einzel-Module hergestellt und alle Linsen gemeinsam zu den
Lasern in einem einzigen Justage- und Montageprozeß
montiert. Hier ist eine passive Justage mittels Marken oder
eine justagefreie Montage durch mikromechanisch
strukturierte Anschläge möglich. Die Vertiefungen V2 im
Träger T2 sind dabei so gestaltet, daß die
optoelektronischen und elektronischen Bauelemente wie die
Laserdiode LD, die Monitordiode MD oder hier nicht
dargestellt elektronische Bausteine zur Ansteuerung des
Lasers hermetisch dicht eingeschlossen sind. Nach der
gemeinsamen Verbindung der Trägersubstrate T1 und T2 werden
diese durch Sägen oder durch Brechen an mikromechanisch
erzeugten Sollbruchlinien vereinzelt. Die Lage der Säge
bzw. Bruchlinien liegt dabei so, daß die Position der
Vertiefungen V1 und V2 sowie der Linsen Li nicht berührt
werden.
Die Monitordiode MD kann auch auf der Unterseite oder
Oberseite der Träger T2 oder T3 montiert werden, wobei in
dem jeweils benachbarten Träger entsprechende Aussparungen
vorzusehen sind. Zur Ankopplung der Monitordiode kann auf
dem Träger T2 eine weitere Linse Lim vorgesehen werden.
Claims (6)
1. Optische Sende- und Empfangseinrichtung mit einem
Sendeelement (LD), das auf einem ersten Träger (T1) fixiert
ist, mit einem Empfangselement (PD) und einer
Übertragungsfaser (Fa), die auf einem dritten Träger (T3)
fixiert sind und mit einem zweiten Träger (T2), der sich
zwischen dem ersten und dem dritten Träger (T1, T3)
befindet, mit V-Nuten und Vertiefungen in den Trägern (T1,
T2, T3), die durch anisotropes Ätzen hergestellt sind, mit
mindestens einer Spiegelfläche am dritten Träger (T3),
dadurch gekennzeichnet,
daß der dritte Träger (T3) für Licht mit der Wellenlänge des vom Sendeelement (LD) ausgesendeten Lichtes transparent ist, daß eine Monitordiode (MD) vorgesehen ist, die auf der Oberfläche des ersten Trägers (T1) in einer Aussparung des zweiten Trägers (T2) montiert ist,
daß das Sendeelement (LD) eine oberflächenemittierende Laserdiode ist und
daß die Anordnung zwischen der brechend wirksamen Oberfläche des zweiten Trägers (T2) und dem Sendeelement derart gewählt ist, daß der Strahl durch den zweiten Träger (T2) auf die Spiegelfläche (S31) und von dort auf die Übertragungsfaser (Fa) trifft.
daß der dritte Träger (T3) für Licht mit der Wellenlänge des vom Sendeelement (LD) ausgesendeten Lichtes transparent ist, daß eine Monitordiode (MD) vorgesehen ist, die auf der Oberfläche des ersten Trägers (T1) in einer Aussparung des zweiten Trägers (T2) montiert ist,
daß das Sendeelement (LD) eine oberflächenemittierende Laserdiode ist und
daß die Anordnung zwischen der brechend wirksamen Oberfläche des zweiten Trägers (T2) und dem Sendeelement derart gewählt ist, daß der Strahl durch den zweiten Träger (T2) auf die Spiegelfläche (S31) und von dort auf die Übertragungsfaser (Fa) trifft.
2. Optische Sende- und Empfangseinrichtung mit einem
Sendeelement (LD), das auf einem ersten Träger (T1) fixiert
ist, mit einem Empfangselement (PD) und einer
Übertragungsfaser (Fa), die auf einem dritten Träger (T3)
fixiert sind und mit einem zweiten Träger (T2), der sich
zwischen dem ersten und dem dritten Träger (T1, T3)
befindet, mit V-Nuten und Vertiefungen in den Trägern (T1,
T2, T3), die durch anisotropes Ätzen hergestellt sind, mit
mindestens einer Spiegelfläche am dritten Träger (T3),
dadurch gekennzeichnet, daß der dritte Träger (T3) für Licht
mit der Wellenlänge des vom Sendeelement (LD) ausgesendeten
Lichtes transparent ist, daß eine Monitordiode (MD)
vorgesehen ist, die auf der Oberfläche des zweiten Trägers
(T2) in einer Aussparung des dritten Trägers (T3) montiert
ist, daß das Sendeelement (LD) eine oberflächenemittierende
Laserdiode ist und daß die Anordnung zwischen der brechend
wirksamen Oberfläche des zweiten Trägers (T2) und dem
Sendeelement derart gewählt ist, daß der Strahl durch den
zweiten Träger (T2) auf die Spiegelfläche (S31) und von dort
auf die Übertragungsfaser (Fa) trifft.
3. Optische Sende- und Empfangseinrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die optische Achse der
Übertragungsfaser einen Winkel von 90° mit der Oberfläche
der Träger (T1, T2) einschließt.
4. Optische Sende- und Empfangseinrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß am zweiten
Träger (T2) im Bereich des Eintritts des Strahls aus dem
Sendeelement (LD) eine Abschrägung der Oberfläche des
zweiten Trägers (T2) vorgesehen ist.
5. Optische Sende- und Empfangseinrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf der
emittierenden Oberfläche des Sendeelementes ein Hologramm
oder eine Fresnellinse vorgesehen ist.
6. Optische Sende- und Empfangseinrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das
Sendeelement (LD) gegen die Oberfläche der Träger geneigt am
Träger (T1) angebracht ist.
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