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Brevets

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Numéro de publicationDE50313348 D1
Type de publicationOctroi
Numéro de demandeDE2003513348
Date de publication3 févr. 2011
Date de dépôt14 mai 2003
Date de priorité29 mai 2002
Autre référence de publicationDE10223954A1, EP1507888A2, EP1507888B1, US7294553, US20060084236, WO2003102264A2, WO2003102264A3
Numéro de publication03513348, 2003513348, DE 50313348 D1, DE 50313348D1, DE-D1-50313348, DE03513348, DE2003513348, DE50313348 D1, DE50313348D1
InventeursMirko Vogt
DéposantInfineon Technologies Ag
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Plasmaangeregtes chemisches gasphasenabscheide-verfahren zum abscheiden von siliziumnitrid oder siliziumoxinitrid in einem mim-kondensator
DE 50313348 D1
Résumé  disponible en
Description  disponible en
Revendications  disponible en
Classifications
Classification internationaleC23C16/34, C23C16/455, H01L21/314, C23C16/505, C23C16/42, H01L21/02, H01L21/318, C23C16/30
Classification coopérativeH01L21/3185, C23C16/308, C23C16/345, H01L28/40
Classification européenneC23C16/30E, H01L21/318B, C23C16/34C