DE60132063T2

DE60132063T2 - Datenwiedergabegerät

Info

Publication number: DE60132063T2
Application number: DE60132063T
Authority: DE
Inventors: Naoki Minato-ku Kimura
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 2000-10-23
Filing date: 2001-10-23
Publication date: 2008-12-18
Anticipated expiration: 2021-10-24
Also published as: EP1202084A3; EP1202084B1; EP1202084A2; DE60132063D1; US20020048431A1; JP2002131586A; US20050100275A1; JP3902394B2; US6853776B2; US7140131B2

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
ERFINDUNGSGEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Modul für die optische Nachrichtenübermittlung in einer optischen Nachrichtenübermittlung und insbesondere ein Modul für die optische Nachrichtenübermittlung mit einem Spiegel, der ein Signallicht reflektiert und umlenkt und ein Herstellungsverfahren hierfür.
BESCHREIBUNG DES STANDES DER TECHNIK
Eines der herkömmlichen Module für die optische Nachrichtenübermittlung, das einen Spiegel zum Reflektieren eines weitergeleiteten Lichts hat, der mitten durch einen optischen Wellenleiter vorgesehen ist, um das weitergeleitete Licht mit einem Lichtempfangselement zu koppeln, ist beispielsweise das Modul für die optische Nachrichtenübermittlung, das in dem offengelegten japanischen Patent (Kokai) Nr. Heisei 10-224310 offenbart ist, das in der 10 dargestellt ist.
Die herkömmliche, in dem offengelegten japanischen Patent (Kokai) Nr. Heisei 10-224310 offenbarte Technik dient dazu, ein Modul für die optische Nachrichtenübermittlung zur Durchführung einer bidirektionalen Nachrichtenübermittlung unter Verwendung von Signallicht derselben Wellenlänge mit einer kleinen Größe und einfachen Struktur zu realisieren. In der Struktur ist auf einem optischen Wellenleitersubstrat ein optischer Wellenleiter vom Y-Verzweigungstyp ausgebildet, mitten durch einen Wellenleiter auf der Verzweigungsseite ist ein Spiegel vorgesehen, um ein weitergeleitetes Licht zur Seite der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats zu reflektieren, wobei ein Lichtempfangselement vorgesehen ist, das dem Überkreuzungsteil zwischen dem einen Wellenleiterzweig und dem Spiegel zugewandt ist, und ein lichtemittierendes Element ist vorgesehen, das dem Überkreuzungsteil zwischen dem anderen Wellenleiterzweig und dem Spiegel zugewandt ist.
Weil ein optischer Wellenleiter vom Y-Verzweigungstyp, der winzig und mit hoher Präzision hergestellt werden kann, auf dem optischen Wellenleitersubstrat verwendet wird und das Lichtempfangselement und das lichtemittierende Element auf die Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats gepackt sein können, kann ein Modul für die optische Nachrichtenübermittlung zur Durchführung einer bidirektionalen Nachrichtenübermittlung unter Verwendung von Signallicht derselben Wellenlänge mit kleiner Baugröße und einfacher Konstruktion realisiert werden.
Ein weiteres Beispiel ist das herkömmliche Modul für die optische Nachrichtenübermittlung zur Durchführung einer bidirektionalen Nachrichtenübermittlung, das zwei Lichtsignale mit unterschiedlichen Wellenlängen verwendet, das in dem offengelegten japanischen Patent (Kokai) Nr. Heisei 11-068705 offenbart ist und in der 11 dargestellt ist.
Der in dem offengelegten japanischen Patent Nr. Heisei 11-068705 offenbarte Stand der Technik dient zur Verringerung des Nebensprechlichts, das die Leckage eines LD-(Laserdioden)-Lichts als durchgelassenes Licht in einem PD-(Photodiode)-Licht als einem empfangenen Licht ist, auf ein Niveau, welches in der praktischen Verwendung kein Problem verursacht. In dem Modul ist auf einem ebenen Substrat ein optischer Wellenleiterzweig ausgebildet, in dem Verzweigungsteil des optischen Wellenleiterzweigs ist ein dielektrisches Mehrschichtfilter zum Verzweigen eines Eingangslichts in dessen Eindringrichtung und eine Reflexionsrichtung gemäß seiner Wellenlänge, in die Nut eingesetzt und eine Übertragungs-LD und eine Empfangs-PD, die mit dem optischen Wellenleiterzweig gekoppelt sind, sind in dem ebenen Substrat vorgesehen.
Mit einer Eindringwellenlänge des dielektrischen Mehrschichtfilters, die auf eine Empfangswellenlänge der Empfangs-PD gesetzt ist, und einer Blockierwellenlänge des dielektrischen Mehrschichtfilters, die auf eine Übertragungswellenlänge der Übertragungs-LD gesetzt ist, und indem die Übertragungs-LD und die Empfangs-PD an Positionen einander gegenüberliegend mit dem dielektrischen Mehrschichtfilter dazwischen angeordnet sind, wird eine bidirektionale, optische WDM-(Wellenlängenteilungsmultiplex)-Nachrichtenübertragung durchgeführt.
Ein weiteres Beispiel von herkömmlichen Modulen für die optische Nachrichtenübertragung ist in dem offengelegten japanischen Patent (Kokai) Nr. Heisei 11-237529 offenbart, das in der 12 dargestellt ist.
Das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß dem Stand der Technik wie in dem offengelegten japanischen Patent Nr. Heisei 11-237529 offenbart, hat eine Konstruktion, bei der auf der Oberseite eines Si-Substrats ein Puffer und eine Plattierung ausgebildet sind, die schräge Flächen haben, wobei ein Signallicht nach oben abgelenkt wird und von einer PD empfangen wird, indem die Reflexion verursacht durch eine Differenz der Brechungsindizes zwischen Luft an den schrägen Flächen und der Plattierung verwendet werden.
Die vorstehend beschriebenen herkömmlichen Module für die optische Nachrichtenübertragung haben jedoch die folgenden Probleme.
Bei den herkömmlichen Modulen zur optischen Nachrichtenübertragung, die eine Nut mit geringer Breite haben, sind, weil bei einer Konstruktion, bei der ein Spiegel und ein Filter in die enge Nut einzusetzen sind, erstens hohe Arbeitskosten für deren Herstellung erforderlich und darüber hinaus ist die Automation des Herstellungsvorgangs schwierig, wodurch die Herstellungskosten extrem hoch werden.
Weil der Stand der Technik, der in dem offengelegten japanischen Patent Nr. Heisei 10-224310 offenbart ist, beispielsweise eine Konstruktion hat, bei der ein Spiegel in eine Nut eingesetzt ist, die schräg ausgebildet ist und der in dem offengelegten japanischen Patent Nr. Heisei 11-068705 offenbarte Stand der Technik eine Konstruktion hat, bei der ein dielektrisches Mehrschichtfilter in eine Nut eingesetzt ist, die an einem Zweigteil eines optischen Wellenleiterzweigs vorgesehen ist, erfordern beide eine extrem schwierige Arbeit, um das Filter oder dergleichen in eine enge Nut einzusetzen.
Zweitens benötigen die herkömmlichen Module für die optische Nachrichtenübermittlung, bei denen ein Signallicht, das an einem Filter an einem Nutteil eindringt, von einer PD empfangen wird, eine Nut, die so ausgebildet ist, dass sie eine extrem geringe Breite hat, um den Verlust des empfangenen Signallichts an dem Nutteil zu unterdrücken. Zu diesem Zweck sollte als ein einzusetzendes dielektrisches Mehrschichtfilter ein Filter verwendet werden, dessen Material dünn und weich ist, so wie beispielsweise Polyimid, wodurch die Handhabung des Filters beim Einsetzen schwieriger wird als bei einem Filter aus einem harten Material, so dass die Automatisierung des Filtereinsetzvorgangs schwierig wird.
Drittens sollte in den herkömmlichen Modulen zur optischen Nachrichtenübermittlung, die ein Signallicht ausgeben, welches an einem Filter an einem Nutteil eines optischen Wellenleiters zu einer externen optischen Fiber reflektiert wird, weil die Neigung des Filters relativ zu der Endfläche des Wellenleiters die Kopplungseigenschaften zwischen einem am Filter reflektierten Licht und dem optischen Wellenleiter stark beeinträchtigt, das Filter sehr sorgfältig eingesetzt sein, damit es zur Endfläche des Wellenleiters nicht geneigt ist, wodurch die Verringerung der Montagekosten schwierig ist.
Viertens benötigen die herkömmlichen Module für die optische Nachrichtenübertragung, bei denen ein Signallicht von innerhalb eines Substrats reflektiert und von einer PD empfangen wird, die an der Oberfläche des Substrats angeordnet ist, wobei die Reflexion verursacht durch die Differenz der Brechungsindizes zwischen Luft und einer Plattierung für die Reflexion des Signallichts verwendet wird, Luft innerhalb eines Nutteils, der die Reflexionsfläche hat. Für den Fall, dass beispielsweise ein Modul für die optische Nachrichtenübertragung mit einem transparenten Harz oder dergleichen abgedeckt ist, könnte, weil der Brechungsindex des transparenten Harzes näher an dem einer Plattierung als an dem der Luft ist, keine Reflexion an der schrägen Fläche erzielt werden. Daher ist die vereinfachte Abdichtung durch transparente Harze und die Verwendung einer Packung, die durch Schützen eines optischen Systems mit transparenten Harzen und durch Vergießen des gesamten Systems erzielt wird, unmöglich, was zu einer Begrenzung der Packverfahren führt.
Die JP 10 010343 offenbart ein optisches Wellenleiterfilter, bei dem ein Dünnschichtfilter in eine V-Nut eingebettet ist, die dazu ausgebildet ist, einen optischen Wellenleiter auf einem Wellenleitersubstrat zu schneiden.
Die JP 62 098306 offenbart ein bidirektionales Übertragungsmodul, bei dem eine geneigte Spiegeloberfläche gegenüber einer Aussparungsoberfläche eines optischen Wellenleiterendes mit einem Filter, ausgebildet ist.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die vorstehend beschriebenen Nachteile der herkömmlichen Techniken zu lösen und ein Modul für die optische Nachrichtenübertragung zu schaffen, das mit einem einfachen Vorgang und geringen Kosten hergestellt werden kann, und ein Herstellungsverfahren hierfür, zu schaffen.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die vorstehend beschriebenen Nachteile der herkömmlichen Techniken zu lösen und ein optisches Kommunikationsmodul zu schaffen, bei dem keine enge Nut vorgesehen werden muss und bei dem es möglich ist, ein Packverfahren unter Verwendung von transparenten Harzen zu wählen, weil das Signallicht selbst dann vollständig reflektiert werden kann, wenn die Nut von transparentem Harz abgedeckt ist, und ein Herstellungsverfahren hierfür zu schaffen.
Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung ist ein Modul für die optische Nachrichtenübertragung zur Übertragung eines Lichtsignals gemäß Anspruch 1 vorgesehen.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Moduls für die optische Nachrichtenübertragung für die Übertragung eines Lichtsignals gemäß Anspruch 8 vorgesehen.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die vorliegende Erfindung geht vollständig aus der folgenden detaillierten Beschreibung und aus den begleitenden Zeichnungen der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung hervor, die jedoch nicht zur Begrenzung der Erfindung verwendet werden sollte, sondern nur zur Erläuterung und zum Verständnis dient.
In den Zeichnungen zeigt:
1A eine Draufsicht auf die Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einem Beispiel;
1B eine Ansicht im Schnitt der Konstruktion des Moduls für die optische Nachrichtenübertragung gemäß 1A;
2A eine Draufsicht auf die Konstruktion eines Moduls für die optische Nachrichtenübertragung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2B eine Ansicht im Schnitt der Konstruktion des Moduls für die optische Nachrichtenübertragung gemäß der Ausführungsform aus 2A;
3A eine Ansicht zur Verwendung bei der Erläuterung eines Ablaufs des Herstellungsverfahrens für das Modul für die optische Nachrichtenübertragung;
3B eine Ansicht zur Verwendung bei der Erläuterung des Ablaufs des Herstellungsverfahrens für das Modul für die optische Nachrichtenübertragung;
3C eine Ansicht zur Verwendung bei der Erläuterung des Ablaufs des Herstellungsverfahrens des Moduls für die optische Nachrichtenübertragung;
3D eine Ansicht zur Verwendung bei der Erläuterung des Ablaufs des Herstellungsverfahrens eines Moduls für die optische Nachrichtenübertragung;
4 eine Ansicht zur Verwendung bei der Erläuterung einer Ausführungsform zum Ausbilden eines Umlenkspiegels in einem Zustand eines Wafers bei dem Herstellungsverfahren für das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung;
5A eine Ansicht zur Verwendung bei der Erläuterung des Herstellungsverfahrens eines anderen Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung;
5B eine Ansicht zur Verwendung bei der Erläuterung eines Herstellungsverfahrens für ein anderes Modul zur optischen Nachrichtenübertragung;
5C eine Ansicht zur Erläuterung des Herstellungsverfahrens eines weiteren Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung;
6A eine Draufsicht auf eine Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einem Beispiel;
6B eine Ansicht im Schnitt durch die Konstruktion des Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß 6A;
7A eine Draufsicht, die die Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einem weiteren Beispiel zeigt;
7B eine Ansicht im Schnitt der Konstruktion des Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß 7A;
8A eine Draufsicht auf eine Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
8B eine Ansicht im Schnitt der Konstruktion des Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß der Ausführungsform aus 8A;
9A eine Draufsicht auf eine Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
9B eine Schnittansicht der Konstruktion des Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß der Ausführungsform aus 9A;
10 eine Ansicht eines Beispiels der Konstruktion eines herkömmlichen Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung;
11 eine Ansicht eines Beispiels der Konstruktion eines herkömmlichen Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung;
12 eine Ansicht eines Beispiels der Konstruktion eines herkömmlichen Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
Im Folgenden wird im Einzelnen die bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung anhand der begleitenden Zeichnungen beschrieben. In der folgenden Beschreibung sind zahlreiche spezifische Einzelheiten angegeben, um ein gründliches Verständnis der vorliegenden Erfindung zu schaffen. Es ist für den Fachmann jedoch klar zu ersehen, dass die vorliegende Erfindung ohne diese spezifischen Details in die Praxis umgesetzt werden kann. In anderer Hinsicht sind allgemein bekannte Strukturen nicht im Einzelnen gezeigt, um die vorliegende Erfindung nicht unnötig unübersichtlich zu machen.
Die 1A und 1B sind Ansichten, die die Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einem Beispiel zeigen. Das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß diesem Beispiel führt nur den Empfang eines Signallichts durch.
Mit Bezug auf die 1A und 1B hat das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß diesem Beispiel ein optisches Wellenleitersubstrat 10 und ein Lichtempfangselement 30. Zusätzlich sind auf dem optischen Wellenleitersubstrat 10 ein optischer Wellenleiter 11, ein Umlenkspiegel 20 und eine Wellenleiterendfläche 14 ausgebildet. Der Umlenkspiegel 20 und die Wellenleiterendfläche 14 bilden die entsprechenden Oberflächen eines Nutteils, der auf dem optischen Wellenleitersubstrat 10 ausgebildet ist, um zwei Oberflächen zu haben.
Der Umlenkspiegel 20 reflektiert ein Signallicht, das er von dem optischen Wellenleiter 11 empfangen hat, zur Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10, damit dieses auf eine Lichtempfangsfläche 31 des Lichtempfangselements 30 auftrifft. Der Umlenkspiegel 20 kann durch schräges Schneiden des Substrats, wie in den 1A und 1B gezeigt, und nachfolgendem Metallisieren der Oberfläche mit einem Metallfilm aus Au gebildet werden. Anders ausgedrückt, ein schräger Teil wird durch Dampfabscheidung, Flammenbeschichtung oder ein anderes Verfahren mit Metall beschichtet, um den Spiegel 20 zu bilden.
Das Lichtempfangselement 30 ist auf dem optischen Wellenleitersubstrat 10 so montiert, dass es mit dem von dem optischen Wellenleiter 11 auftreffenden Signallicht koppelt und von dem Umlenkspiegel 20 reflektiert wird.
Bei dem Signallicht-Empfangsvorgang dieses Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung wird zunächst ein empfangenes Lichtsignal, das von dem optischen Wellenleiter 11 eingegeben worden ist, vom Umlenkspiegel 20 reflektiert und zur Oberflächenseite des optischen Wellenleitersubstrats 10 geschickt, wodurch das Licht von der Lichtempfangsoberfläche 31 des Lichtempfangselements 30 empfangen wird.
Wie im Vorstehenden beschrieben, ermöglicht das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung, dass das Lichtempfangselement 30 auf der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10 montiert ist, indem es eine Konstruktion hat, bei der ein Lichtweg durch den Umlenkspiegel 20 zur Seite der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10 hin abgelenkt wird.
Die 2A und 2B sind Ansichten, die die Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen. Das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß der vorliegenden Ausführungsform führt eine Übertragung und einen Empfang von Signallicht unterschiedlicher Wellenlängen durch.
Mit Bezug auf die 2A und 2B hat das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein optisches Wellenleitersubstrat 10a, ein Lichtempfangselement 30, ein lichtemittierendes Element 40 und ein Filter 50. Das optische Wellenleitersubstrat 10a hat einen ersten optischen Wellenleiter 12, einen zweiten optischen Wellenleiter 13, den Umlenkspiegel 20 und eine Wellenleiterendfläche 14.
Der Umlenkspiegel 20 reflektiert ein von dem zweiten optischen Wellenleiter 13 empfangenes Signallicht zur Seite der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10a hin, so dass dieses auf die Lichtempfangsoberfläche 31 des Lichtempfangselements 30 auftrifft. Der Umlenkspiegel 20 kann durch schräges Schneiden des Substrats wie in den 2A und 2B gezeigt, und nachfolgendes Metallisieren der Oberfläche mit einem Metallfilm wie beispielsweise aus Au, hergestellt sein.
Das lichtemittierende Element 40, das ein Signallicht emittiert, ist am optischen Wellenleitersubstrat 10a so montiert, dass es mit dem ersten optischen Wellenleiter 12 koppelt.
An der Wellenleiterendfläche 14 ist das Filter 50 angeklebt, um Signallicht von dem ersten optischen Wellenleiter 12, das von dem lichtemittierenden Element 40 emittiert worden ist, so zu reflektieren, dass es mit dem zweiten optischen Wellenleiter 13 gekoppelt wird.
Als Filter 50 ist eine dielektrische Mehrfachschicht, die Signallicht reflektiert und ein Eindringen von Licht entsprechend seiner Wellenlänge zulässt, durch Verdampfung abgeschieden. Dann reflektiert das Filter ein übertragenes Signallicht mit einer Wellenlänge von λ1, das von dem lichtemittierenden Element 40 emittiert worden ist und lässt zu, dass ein empfangenes Signallicht mit einer Wellenlänge von λ2, das von dem zweiten optischen Wellenleiter 13 empfangen worden ist, durchgeht.
Daher wird das übertragene Signallicht mit der Wellenlänge λ1, das vom ersten optischen Wellenleiter 12 gesandt worden ist, vom Filter 50 reflektiert, mit dem zweiten optischen Wellenleiter 13 gekoppelt und nach außen übertragen. Andererseits wird das empfangene Signallicht mit der Wellenlänge von λ2, das von dem zweiten optischen Wellenleiter 13 empfangen worden ist, durch das Filter 50 hindurchgehen und zum Lichtempfangselement 30 gesandt.
Das Lichtempfangselement 30 ist auf dem optischen Wellenleitersubstrat 10a so montiert, dass das empfangene Lichtsignal mit der Wellenlänge λ2, das von dem zweiten optischen Wellenleiter 13 auftrifft und durch das Filter 50 hindurchgeht, von dem Umlenkspiegel 20 umgelenkt wird und dann an das Lichtempfangselement gekoppelt wird.
Als Nächstes erfolgt eine Beschreibung der Funktionsweise des Übertragens und Empfangens eines Signallichts an dem Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
Bei dem Lichtsignal-Empfangsvorgang geht als Erstes das empfangene Signallicht, welches von dem zweiten optischen Wellenleiter 13 auftrifft und das eine Wellenlänge von λ2 hat, durch das Filter 50 hindurch, wird an dem Umlenkspiegel 20 reflektiert und zur Seite der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10a so gesandt, dass die Lichtempfangsfläche 31 des Lichtempfangselements 30 das Licht empfängt.
Bei dem Signallichtübertragungsvorgang wird zunächst das übertragene Signallicht, welches von dem lichtemittierenden Element 40 emittiert worden ist und die Wellenlänge von λ1 hat, durch den ersten optischen Wellenleiter 12 geführt, vom Filter 50 reflektiert, mit dem zweiten optischen Wellenleiter 13 gekoppelt und zu einem Übertragungspfad geleitet.
Durch die Verwendung einer Konstruktion, die bewirkt, dass ein empfangenes Signallicht durch das Filter 50 hindurchgeht, vom Spiegel 20 reflektiert wird und von dem Lichtempfangselement 30 empfangen wird und ferner bewirkt, dass ein übertragenes Signallicht von dem lichtemittierenden Element 40 vom Filter 50 reflektiert wird und zu einem externen Übertragungspfad geleitet wird, realisiert das Modul zur optischen Nachrichtenübertragung gemäß der vorliegenden Ausführungsform zusätzlich zu dem Effekt, der durch die erste Ausführungsform erzielt wird, eine Signallichtübertragung und -empfang, wobei ein Licht mit einer Wellenlänge von λ1 übertragen und ein Licht mit einer Wellenlänge von λ2 empfangen wird.
Als Nächstes erfolgt die Beschreibung eines Verfahrens zur Herstellung der Module für die optische Nachrichtenübertragung gemäß der vorliegenden Erfindung wie vorstehend beschrieben. Da die vorliegende Erfindung insbesondere dadurch gekennzeichnet ist, dass sie den Spiegel 20 hat, der ein Signallicht umlenkt, wird ein Verfahren zur Herstellung des Umlenkspiegels 20 beschrieben.
Die 3A bis 3D sind Ansichten zur Verwendung bei der Erläuterung des Herstellungsverfahrens des Moduls für die optische Nachrichtenübertragung, die einen Vorgang zum Ausbilden des Umlenkspiegels 20 zeigen.
Mit Bezug auf die 3A bis 3D wird zunächst der optische Wellenleiter 11 auf dem optischen Wellenleitersubstrat 10 gebildet (3A). Die Anzahl der Wellenleiter ist nicht auf einen begrenzt und dieser Vorgang ist auch für den Fall der gleiche, bei dem zwei Wellenleiter, der erste optische Wellenleiter 12 und der zweite optische Wellenleiter 13, wie bei der in den 2A und 2B gezeigten Ausführungsform vorgesehen sind.
Dann wird eine Schneidklinge 70 zum Schneiden in das optische Wellenleitersubstrat 10 vertikal eingeführt, um die Wellenleiterendfläche 14 zu bilden (3B).
Darauf folgend wird die Schneidklinge 70 schräg in das optische Wellenleitersubstrat 10 eingeführt, um eine schräge Fläche für einen Umlenkspiegel zu bilden (3C).
Zum Schluss wird die schräge Fläche mit einem Metallfilm wie beispielsweise aus Au metallisiert, um den Umlenkspiegel 20 fertigzustellen (3D).
Da die jeweiligen optischen Wellenleitersubstrate 10 in einem Wafer 90, wie in der 4 gezeigt, zum Zeitpunkt der Herstellung des optischen Wellenleitersubstrats 10 fluch ten, können die Umlenkspiegel 20 zusammen im Stadium des Wafers 90 hergestellt werden, indem die Schneidklinge gerade in den Wafer 90 eingeführt wird.
Für den Wafer 90, der ein Material aus optischem Wellenleitersubstrat 10 ist, können verschiedene Arten von Halbleitermaterialien, wie beispielsweise Silicium, GaAs und InP verwendet werden. Als Material für das optische Wellenleitersubstrat 10 kann anders als diese Materialien eine Keramikplatte, eine Polymerplatte, eine Metallplatte oder dergleichen verwendet werden. In jedem Fall kann das optische Wellenleitersubstrat 10 und das optische Kommunikationsmodul durch das vorstehend beschriebene Herstellungsverfahren hergestellt werden.
Als Nächstes wird ein anderes Verfahren zur Herstellung des Umlenkspiegels 20 beschrieben.
Die 5A bis 5C sind Ansichten zur Verwendung bei der Erläuterung eines weiteren Herstellungsverfahrens für ein Modul zur optischen Nachrichtenübertragung. Im vorliegenden Fall wird durch Verwendung eines Schneidmessers 71 mit einer Breite größer als die des Schneidmessers 70 bei dem vorstehend beschriebenen Herstellungsverfahren wie in den 3A bis 3D gezeigt, das Substrat auf einmal und nicht auf zwei getrennte Male wie beim vorstehenden Beispiel abgeschnitten.
Genauer gesagt, wird zuerst der optische Wellenleiter 11 auf dem optischen Wellenleitersubstrat 10 gebildet (5A).
Dann wird durch Einführen des Schneidmessers 71 zum Einschneiden in das optische Wellenleitersubstrat 10 gleichzeitig die Wellenleiterendfläche 14 und die schräge Fläche des Umlenkspiegels 20 gebildet (5B). Hierbei ist das Schneidmesser 71 so gestaltet, dass es bezüglich des Winkels mit der schrägen Fläche übereinstimmt, um gleichzeitig die Wellenleiterendfläche 14 und die schräge Fläche des Umlenkspiegels 20 zu bilden.
Zum Schluss wird die schräge Fläche des Umlenkspiegels 20 mit einem Metallfilm wie beispielsweise aus Au, beschichtet, um den Umlenkspiegel 20 fertigzustellen (5C).
Zusätzlich kann im vorliegenden Fall ähnlich wie bei dem vorhergehenden Fall, wie in den 3A bis 3D gezeigt, der Umlenkspiegel im Status des Wafers durch gerades Einsetzen des Schneidmessers in den Wafer 90 auf einmal hergestellt werden, da zum Zeitpunkt der Herstellung des optischen Wellenleitersubstrats 10 die jeweiligen optischen Wellenleitersubstrate 10 auf dem Wafer 90 wie in der 4 gezeigt, zueinander fluchten.
In dem Herstellungsverfahren für das Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß den vorstehend beschriebenen Beispielen kann eine ausreichende Reflexion des Signallichts selbst dann erzielt werden, wenn der Nutteil beispielsweise durch ein transparentes Harz abgedeckt ist, weil der Umlenkspiegel 20 durch Metallisieren der schrägen Fläche gebildet ist. Es ist daher möglich, verschiedene Packungsverfahren unter Verwendung von transparenten Harzen für ein Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung auszuwählen.
Darüber hinaus ermöglicht die Ausbildung eines Umlenkspiegels 20 direkt auf dem optischen Wellenleitersubstrat eine gemeinsame Ausbildung der Spiegel 20 im Status des Wafers 90 und beseitigt weiterhin die Notwendigkeit von aufwendiger Arbeit zum Einsetzen des Spiegels bei den herkömmlichen Herstellungsverfahren. Somit ist die Automation des Montagevorgangs erleichtert, um eine drastische Verringerung der Montagekosten zu realisieren.
Zusätzlich wird das empfangene Signallicht, welches durch das Filter 50 hindurchgeht, nicht durch einen optischen Wellenleiter empfangen, wie dies bei der herkömmlichen Technik erfolgt, sondern direkt von einem Lichtempfangselement, nachdem es vom Spiegel 20 reflektiert worden ist. Es ist daher möglich, die Nutbreite an dem Umlenkspiegelteil mehr als bei herkömmlichen Konstruktionen zu vergrößern.
Weiter wird bei jedem der vorstehend beschriebenen Fälle die Arbeit für das Einsetzen des Filters 50, die herkömmlicherweise mühsam war, erleichtert, weil die Form der Nut an dem Umlenkspiegel 20 ein Dreieck ist, dessen Breite größer wird, während die Tiefe kleiner wird.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass wegen der Verwendung der Konstruktion, bei der ein Filter an einer Wellenleiterendfläche befestigt ist, das Filter an der Wellenleiterendfläche fest montiert werden kann. Ein weiterer Vorteil ist, dass, weil die Dicke des Filters wie gewünscht vergrößert werden kann, ein Filter verwendet werden kann, das ein Substrat aus einem so harten Material wie Glas verwendet, um die Verarbeitbarkeit des Filterbefestigungsvorgangs zu verbessern und die Verringerung der Montagekosten und die Massenproduktion durch Automatisierung des Filterbefestigungsvorgangs zu realisieren.
Als Nächstes wird ein weiteres Beispiel im Einzelnen anhand der Zeichnungen beschrieben.
Die 6A und 6B sind Ansichten, die eine Konstruktion des Moduls zur optischen Nachrichtenübermittlung zeigen. Das Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß dem vorliegenden Beispiel führt nur den Empfang eines Signallichts durch.
Das vorliegende Beispiel ist nicht dadurch gekennzeichnet, dass das Lichtempfangselement 30 das gesamte empfangene Signallicht empfängt, welches durch den optischen Wellenleiter 11 eingegeben worden ist, sondern dass der Empfang unnötigen Störlichts durch die Befestigung des Filters 50 an der Wellenleiterendfläche 14 verhindert ist.
Auf dem Filter 50 ist eine dielektrische Mehrfachschicht durch Verdampfung abgeschieden, die ein Signallicht reflektiert oder zulässt, dass dieses in Abhängigkeit von seiner Wellenlänge hindurchgeht. Als Ergebnis lässt das Filter 50 ein empfangenes Signallicht (Wellenlänge λ2) durch und reflektiert ein eingehendes Störlicht mit einer Wellenlänge (Wellenlänge λ1), die sich von der des empfangenen Signallichts unterscheidet.
Das empfangene Signallicht mit der Wellenlänge λ2, das durch den optischen Wellenleiter 11 eingegeben worden ist, geht durch das Filter 50 hindurch und wird von dem Umlenkspiegel 20 zur Seite der Oberfläche eines optischen Wellenleitersubstrats 10b hin reflektiert und von der Lichtempfangsoberfläche 31 des Lichtempfangselements 30 empfangen. Andererseits wird das eingehende Störlicht mit einer Wellenlänge von λ1, das durch den optischen Wellenleiter 11 eingeht, nicht auf dem Lichtempfangselement 30 auftreffen, weil es vom Filter 50 reflektiert wird.
Indem die Wellenleiterendfläche 14 zum Wellenleiter 11 schräg ausgebildet ist, verhindert das vorliegende Beispiel, dass ein vom Filter 50 reflektiertes eingehendes Störlicht in den optischen Wellenleiter 11 zurückkehrt.
Wie im Vorstehenden beschrieben, ermöglicht gemäß dem vorliegenden Beispiel das Vorsehen des Filters 50 an der Wellenleiterendfläche 14 einen Empfang von allein einem empfangenen Signallicht und schneidet ein eingehendes Störlicht ab.
Die 7A und 7B zeigen eine Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß einem weiteren Beispiel. Das Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß dem vorliegenden Beispiel führt nur die Emission eines Signallichts durch.
Bei dem vorliegenden Beispiel wird durch ein Überwachungslichtempfangselement 32, das an der Rückseite des lichtemittierenden Elements 40 vorgesehen ist, die Intensität eines Signallichts, das von dem lichtemittierenden Element 40 emittiert wird, geeignet eingestellt. Das überwachende Lichtempfangselement 32 ist auf der Oberfläche eines optischen Wellenleitersubstrats 10c montiert, um das rückwärtige Ausgangslicht des lichtemittierenden Elements 40 zu empfangen, das von dem Umlenkspiegel 20 reflektiert worden ist.
Das lichtemittierende Element 40 ist auf dem optischen Wellenleitersubstrat 10c so montiert, dass es mit dem optischen Wellenleiter 11 koppelt. Das rückwärtige Ausgangslicht des lichtemittierenden Elements 40 wird durch den Umlenkspiegel 20 zur Seite der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10c reflektiert, von einer Lichtempfangsoberfläche 33 des überwachenden Lichtempfangselements 32 empfangen und zur Steuerung des Lichts verwendet, das von dem lichtemittierenden Element 40 ausgegeben wird.
Wie vorstehend beschrieben, ermöglicht gemäß dem vorliegenden Beispiel die Anordnung des Umlenkspiegels 20 und des überwachenden Lichtempfangselements 32 an der Rückseite des lichtemittierenden Elements 40 die Überwachung und geeignete Steuerung des Lichts, das am lichtemittierenden Element ausgegeben wird.
Die 8A und 8B sind Ansichten, die ein Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen. Das Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß der vorliegenden Ausführungsform überträgt und empfängt Signallicht derselben Wellenlänge (λ1).
Die vorliegende Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass an der Wellenleiterendfläche 14 anstatt des Filters 50 der vorstehenden Ausführungsform ein Halbspiegel 22 befestigt ist.
Auf dem Halbspiegel 22 ist eine dielektrische Mehrfachschicht durch Dampfabscheidung abgeschieden, die sowohl die Hälfte eines empfangenen Signallichts als auch die Hälfte eines gesendeten Signallichts mit derselben Wellenlänge λ1 reflektiert und erlaubt, dass die andere Hälfte durch diesen hindurchgeht.
Das empfangene Signallicht mit der Wellenlänge λ1, das durch den zweiten optischen Wellenleiter 13 eingegeben worden ist (die Hälfte des Signals) geht durch den Halbspiegel 22 hindurch, wird vom Umlenkspiegel 20 zur Seite der Oberfläche eines opti schen Wellenleitersubstrats 10d reflektiert und von der Lichtempfangsoberfläche 31 des Lichtempfangselements 30 empfangen.
Das übertragene Signallicht mit der Wellenlänge λ1, das von dem lichtemittierenden Element 40 emittiert worden ist, wird durch den ersten optischen Wellenleiter 12 geleitet, vom Halbspiegel 22 reflektiert (die Hälfte des Signals), um mit dem zweiten optischen Wellenleiter 13 zu koppeln und auf einen Übertragungspfad geleitet zu werden.
Das Lichtempfangselement 30 ist an der Verlängerung des zweiten optischen Wellenleiters 13 angeordnet, einer Position zum Koppeln mit einem empfangenen Signallicht, das von dem zweiten optischen Wellenleiter 13 auftrifft, und an einer Position entfernt von der Verlängerung des ersten optischen Wellenleiters 12. Diese Anordnung verhindert, dass das übertragene Signallicht, welches durch den Halbspiegel 22 hindurchgeht, vom Lichtempfangselement 30 empfangen wird.
Wie vorstehend beschrieben, ermöglicht die Befestigung des Halbspiegels 22 an der Wellenleiterendfläche 14 bei der vorliegenden Ausführungsform das Übertragen und den Empfang von Signallicht derselben Wellenlänge.
Die 9A und 9B sind Ansichten, die die Konstruktion eines Moduls zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen. Das Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß der vorliegenden Ausführungsform überträgt und empfängt Signallicht mit unterschiedlichen Wellenlängen.
Die vorliegende Ausführungsform unterscheidet sich von der zweiten Ausführungsform dadurch, dass an der Rückseite des lichtemittierenden Elements 40 das überwachende Lichtempfangselement 32 angeordnet ist, um den Ausgang des lichtemittierenden Elements 40 ähnlich wie bei der vierten Ausführungsform zu steuern, und dass an dem Auslassteil des zweiten optischen Wellenleiters 13 an der Übertragungsseite eine V- förmige Nut 16 für die Fiberführung ausgebildet ist, und in der Nut eine Fiber 60 angeordnet ist.
Die vorliegende Ausführungsform hat somit zwei Nutteile mit Umlenkspiegeln 20 und 21, einen ersten Nutteil an der Seite des lichtemittierenden Elements 40, der der gleiche ist wie der des Beispiels wie in den 6A und 6B gezeigt, und einen zweiten Nutteil an der Seite des Lichtempfangselements 30, der der gleiche wie der in den 2A und 2B gezeigten zweiten Ausführungsform ist.
Der Umlenkspiegel 21, der an der Seite des lichtemittierenden Elements 40 vorgesehen ist, reflektiert ein Licht, das an der Rückseite des lichtemittierenden Elements 40 ausgegeben wird, damit dieses auf die Lichtempfangsfläche 33 des überwachenden Lichtempfangselements 32 auftrifft, das auf der Seite der Oberfläche eines optischen Wellenleitersubstrats 10e angeordnet ist.
Der Umlenkspiegel 21, der auf der Seite des lichtemittierenden Elements 40 vorgesehen ist, kann auf die gleiche Weise wie der Umlenkspiegel 20 auf der Seite des Lichtempfangselements 30 hergestellt sein und kann durch schräges Schneiden des Substrats wie in den 9A und 9B dargestellt, und nachfolgendes Metallisieren der Oberfläche mit einem Metallfilm wie beispielsweise Au, hergestellt werden.
An dem Auslassteil des optischen Wellenleiters 11 auf der Seite des Übertragungswegs ist die Fiber 60 so angeordnet, dass sie mit dem zweiten optischen Wellenleiter 13 koppelt. Die Positionierung der Fiber 60 in einer Richtung vertikal zur optischen Achse kann durch eine V-förmige Nut 16 durchgeführt werden, die in dem optischen Wellenleitersubstrat 10e ausgebildet ist, und indem in der Richtung der optischen Achse das Ende der Fiber 60 auf die Wellenleiterendfläche 15 geklebt wird, so dass die Fiber auf dem optischen Wellenleitersubstrat ohne Einstellung der optischen Achse montiert werden kann.
Ein empfangenes Signallicht (Wellenlänge λ2), das von der Fiber 60 auftrifft, geht durch das Filter 50 hindurch, wird von dem Umlenkspiegel 20 auf die Seite der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10e reflektiert und von der Lichtempfangsfläche 31 des Lichtempfangselements 30 empfangen.
Ein übertragenes Signallicht (Wellenlänge λ1), das von dem lichtemittierenden Element 40 emittiert worden ist, wird durch den ersten optischen Wellenleiter 12 geleitet, von dem Filter 50 reflektiert, durch den zweiten optischen Wellenleiter 13 und die Fiber 60 geführt und zu dem Übertragungspfad geleitet.
Nachdem es zur Seite der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats 10e vom Umlenkspiegel 21 reflektiert worden ist, wird ein am lichtemittierenden Element nach rückwärts ausgegebenes Licht von der Lichtempfangsfläche 33 des überwachenden Lichtempfangselements 32 empfangen und zur Steuerung des Lichts verwendet, das vom lichtemittierenden Element 40 ausgegeben wird.
Wie vorstehend beschrieben, erzeugt die vorliegende Ausführungsform zusätzlich zu der Wirkung, die durch die vorhergehenden Ausführungsformen erzielt worden ist, eine Wirkung, dass Licht, welches am lichtemittierenden Element 40 ausgegeben wird, überwacht werden kann, weil das überwachende Lichtempfangselement 32 an der Rückseite des lichtemittierenden Elements 40 angeordnet ist. Weil die Fiber 60 in der V-förmigen Nut 16, die zur Fiberführung an dem Auslassteil des zweiten optischen Wellenleiters 13 an der Übertragungspfadseite ausgebildet ist, angeordnet ist, kann darüber hinaus die Fiber 60 an dem optischen Wellenleitersubstrat ohne Einstellung einer optischen Achse montiert werden.
Zusätzlich können die vorstehend beschriebenen Ausführungsformen auch in verschiedenen Kombinationen realisiert werden.
Wie im Vorstehenden beschrieben, erzielt das Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß der vorliegenden Erfindung die folgenden Wirkungen.
Erstens sind die Anzahl der Teile und die Montageschritte des Moduls zur optischen Nachrichtenübermittlung verringert, um eine Verringerung der Herstellungskosten des Moduls zur optischen Nachrichtenübermittlung zu realisieren.
Das Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet keine Konstruktion, bei der ein Spiegel in eine Nut eingesetzt ist, die in einem optischen Wellenleitersubstrat ausgebildet ist, sondern eine Struktur, bei der ein Umlenkspiegel, der mit einem Lichtempfangselement gekoppelt wird, direkt an dem optischen Wellenleitersubstrat ausgebildet ist, wodurch das Einsetzen des Spiegels unnötig ist, so dass die Anzahl der Teile und Montageschritte reduziert ist. Da keine der mühseligen Arbeiten zum Einsetzen des Spiegels erforderlich ist, ist insbesondere eine drastische Reduktion der Montagekosten möglich. Zusätzlich kann als Lichtempfangselement ein kostengünstiges Empfangselement mit auf der Oberfläche auftreffendem Licht verwendet werden und ferner ist die Automation des Montagevorgangs zum Montieren eines Spiegels an der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats einfach, um eine drastische Kostenreduktion und die Massenherstellung zu realisieren.
Zweitens ist die Montage eines Filters, das ein Hindurchgehen des Signallichts oder Reflektieren desselben gemäß dessen Wellenlänge ermöglicht, an einem Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung erleichtert.
In dem Modul zur optischen Nachrichtenübermittlung gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Filtermontagearbeit einfach, da die Form der Nut an dem Umlenkspiegelteil ein Dreieck ist und deren Breite größer wird, wenn die Tiefe kleiner wird. Herkömmlicherweise war mühselige Arbeit erforderlich, um ein Filter in eine enge Nut einzusetzen.
Drittens kann, wegen der Konstruktion, bei der ein Filter an einer Wellenleiterendfläche befestigt ist, das Filter so montiert werden, dass es relativ zur Wellenleiterendfläche nicht schräg ist.
Da viertens ein Filter dick ausgeführt werden kann, weil die Breite der Nut groß ist, kann ein Filter unter Verwendung eines Substrats aus einem so harten Material wie Glas, verwendet werden, wodurch die Bearbeitbarkeit des Filterbefestigungsvorgangs verbessert werden kann und die Montagekosten reduziert werden können und die Massenherstellung durch Automatisierung des Filterbefestigungsvorgangs realisiert werden kann.
Fünftens erzielt das Modul zur Nachrichtenübermittlung gemäß der vorliegenden Erfindung eine ausreichende Reflexion eines Signallichts selbst dann, wenn ein Nutteil durch transparentes Harz abgedeckt ist, weil eine schräge Fläche, die Signallicht reflektiert, metallisiert ist, wodurch zahlreiche Arten von Packungsverfahren unter Verwendung von transparenten Harzen gewählt werden können.

Claims

Modul für optische Nachrichtenübermittlung mittels Lichtsignalen, mit einem Wellenleitersubstrat (10) mit einem ersten optischen Wellenleiter (12) zum Leiten eines ersten Signallichtes mit einer ersten Wellenlänge und einem zweiten optischen Wellenleiter (13) zum Leiten des ersten Signallichtes und eines zweiten Signallichtes mit einer zweiten Wellenlänge, wobei das Wellenleitersubstrat ferner aufweist einen ausgesparten Teil, der an der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats ausgebildet ist, wobei der erste und der zweite Wellenleiter in einer Oberfläche dieser Aussparung enden und wobei an dem Wellenleitersubstrat gegenüber der Aussparungsoberfläche in welcher die ersten und zweiten Wellenleiter enden, eine Spiegeloberfläche (20) ausgebildet ist, die zu der Wellenleiterachse und der Aussparungsoberfläche geneigt ist, wobei der Spiegel so ausgebildet ist, dass er das zweite Lichtsignal, welches von der Aussparungsoberfläche auftritt, reflektiert und es auf ein Lichtempfangselement (30) auftreffen lässt, das an der Oberfläche des Wellenleitersubstrats angeordnet ist, wobei an der Aussparungsoberfläche ein Filter (50) vorgesehen ist, welches ein Signallicht des zweiten Signallichtes durchlässt und ein Signallicht des ersten Signallichtes nicht hindurchlässt, wobei das optische Kommunikationsmodul dadurch gekennzeichnet ist, dass die Aussparung mit der Aussparungsoberfläche und der Spiegeloberfläche als zwei Oberflächen einer V-förmigen Nut ausgebildet sind, die in der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats ausgebildet ist.
Modul für optische Nachrichtenübermittlung durch Lichtsignale mit einem Wellenleitersubstrat (10) mit einem ersten optischen Wellenleiter (12) zum Leiten eines ersten Signallichtes und einem zweiten optischen Wellenleiter (13) zum Leiten des ersten Signallichtes und einem zweiten Signallicht, wobei das Wellenleitersubstrat ferner aufweist einen ausgesparten Teil, der an der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats ausgebildet ist, wobei die ersten und zweiten Wellenleiter in einer Oberfläche der Aussparung enden und wobei an dem Wellenleitersubstrat gegenüber der Aussparungsoberfläche eine Spiegeloberfläche (20) ausgebildet ist, in welcher die ersten und zweiten Wellenleiter enden, wobei die Spiegeloberfläche mit Bezug zu der Wellenleiterachse und der Aussparungsoberfläche geneigt ist, der Spiegel so ausgebildet ist, dass er das zweite Signallicht, welches von der Aussparungsfläche auftrifft, reflektiert und es auf ein Lichtempfangselement (30) auftreffen lässt, das an der Oberfläche des Wellenleitersubstrats ausgebildet ist, wobei das optische Kommunikationsmodul dadurch gekennzeichnet ist, dass an der Aussparungsoberfläche ein Halbspiegel (22) angeordnet ist, der einen Teil des auf ihn auftreffenden Signallichtes hindurchlässt und einen weiteren Teil des auftreffenden Lichtes reflektiert, und dass die Aussparung mit der Aussparungsoberfläche und der Spiegeloberfläche als die zwei Oberflächen einer V-förmigen Nut ausgebildet ist, die in der Oberfläche des optischen Wellenleitersubstrats ausgebildet ist.
Optisches Kommunikationsmodul nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Spiegel (20) durch Beschichten der ersten Oberfläche mit einem Metallfilm ausgebildet ist.
Optisches Kommunikationsmodul nach Anspruch 2, wobei das erste Signallicht und das zweite Signallicht die gleiche Wellenlänge haben und der Halbspiegel (22) die Hälfte des ersten Signallichtes und des zweiten Signallichtes reflektiert und die andere Hälfte desselben hindurchtreten lässt.
Optisches Kommunikationsmodul nach Anspruch 1 oder 2, weiterhin mit einem lichtemittierenden Element (40), das das erste Signallicht emittiert.
Optisches Kommunikationsmodul nach Anspruch 6, weiterhin mit: einem zweiten Lichtempfangselement (32), das ein rückwärtiges Ausgangslicht von dem lichtemittierenden Element (40) empfängt.
Optisches Kommunikationsmodul nach Anspruch 1 oder 2, weiterhin mit: einer optischen Fiber (60), die an den zweiten optischen Wellenleiter anschliesst und das erste Signallicht und das zweite Signallicht leitet, und eine zweite V-förmige Nut an der Oberfläche eines optischen Wellenleitersubstrats (10), in welcher die optische Fiber (60) angeordnet ist.
Verfahren zur Herstellung eines optischen Kommunikationsmoduls zur Nachrichtenübermittlung durch Lichtsignale mit den Schritten: Ausbilden eines ersten Wellenleiters (12) zum Leiten eines ersten Signallichtes und Ausbilden eines zweiten Wellenleiters (13) zum Leiten des ersten Signallichtes auf die Oberfläche eines Substrats (10), Ausbilden einer Aussparung an dem Substrat mit einer Oberfläche, in der der erste und zweite Wellenleiter enden, Ausbilden einer Spiegeloberfläche (20) an dem Substrat gegenüber der Aussparungsoberfläche, wobei die Spiegeloberfläche zu der Wellenleiterachse und der Aussparungsfläche geneigt ist, und Ausbilden eines Filters (50) oder eines Halbspiegels (22) an der Aussparungsoberfläche, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass die Aussparungsoberfläche und die Spiegeloberfläche als die zwei Oberflächen einer V-förmigen Nut, die in der Oberfläche des Substrats ausgebildet ist, geformt sind.
Verfahren zur Herstellung eines optischen Kommunikationsmoduls nach Anspruch 8, wobei das Filter (50) durch Abscheiden einer dielektrischen Mehrfachschicht durch Verdampfung ausgebildet ist, die ein Signallicht reflektiert und Licht gemäß ihrer Wellenlänge hindurchlässt.