DE60303065T2 - Optischer Aufzeichnungsträger - Google Patents

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Masaki Aoshima
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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen optischen Datenträger, und speziell einen optischen Datenträger, der mehrere Aufzeichnungsschichten aufweist, und bei welchem die Aufzeichnungseigenschaften und Wiedergabeeigenschaften der jeweiligen Aufzeichnungsschichten verbessert werden können.
  • BESCHREIBUNG DES STANDS DER TECHNIK
  • Optische Datenträger, wie CD, DVD und dergleichen, sind in weitem Ausmaß als Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen digitaler Daten eingesetzt worden. Derartige optische Aufzeichnungsmedien benötigen eine Verbesserung ihrer Fähigkeit, große Datenmengen aufzuzeichnen, und es wurden verschiedene Vorschläge gemacht, um deren Datenaufzeichnungskapazität zu erhöhen.
  • Einer dieser Vorschläge besteht in einem optischen Datenträger, der zwei Aufzeichnungsschichten aufweist, und ein derartiger optischer Datenträger wurde bereits in der Praxis als optischer Datenträger eingesetzt, der dazu ausgebildet ist, nur das Lesen von Daten zu ermöglichen, beispielsweise die DVD-Video und die DVD-ROM.
  • Ein optischer Datenträger, der nur zum Lesen von Daten ausgelegt ist, und mit zwei Aufzeichnungsschichten versehen ist, wird durch Zusammenlaminieren zweier Substrate, die jeweils Prepits (Vorerhöhungen) aufweisen, und eine Aufzeichnungs schicht auf ihrer Oberfläche bilden, über eine Zwischenschicht zusammenlaminiert.
  • Weiterhin wurde kürzlich ein optischer Datenträger vorgeschlagen, der zwei Aufzeichnungsschichten aufweist, im Zusammenhang mit optischen Datenträgern, bei welchen Daten durch den Benutzer überschrieben werden können (siehe die japanische offengelegte Patentanmeldung Nr. 2001-243655 usw.).
  • Ein überschreibbarer optischer Datenträger, der zwei Aufzeichnungsschichten aufweist, wird durch Zusammenlaminieren von Aufzeichnungsschichten gebildet, die jeweils einen Aufzeichnungsfilm aufweisen, der sandwichartig zwischen dielektrischen Schichten (Schutzschichten) angeordnet ist, über eine Zwischenschicht.
  • In jenem Fall, in welchem Daten auf einem überschreibbaren optischen Datenträger aufgezeichnet werden sollen, der zwei Aufzeichnungsschichten aufweist, wird der Phasenzustand einer der Aufzeichnungsschichten dadurch geändert, dass der Fokus eines Laserstrahls auf der einen der Aufzeichnungsschichten geändert wird, die Leistung des Laserstrahls auf eine Aufzeichnungsleistung Pw eingestellt wird, deren Pegel ausreichend höher ist als eine Wiedergabeleistung Pr, und der Laserstrahl auf die Aufzeichnungsschicht projiziert wird, um eine Aufzeichnungsmarkierung in einem vorbestimmten Bereich der Aufzeichnungsschicht auszubilden.
  • Da der Reflexionskoeffizient der so hergestellten Aufzeichnungsmarkierung sich von jenem leerer Bereiche unterscheidet, in welchen keine Aufzeichnungsmarkierung vorgesehen ist, ist es möglich, in einer der Aufzeichnungsschichten aufgezeichnete Daten dadurch wiederzugeben, dass der Fokus des Laser strahls auf die Aufzeichnungsschicht eingestellt wird, der Laserstrahl projiziert wird, dessen Leistung auf die Wiedergabeleistung Pr eingestellt ist, und die Lichtmenge erfasst wird, die von der Aufzeichnungsschicht reflektiert wird.
  • Auf diese Weise wird bei dem überschreibbaren optischen Datenträger, der zwei Aufzeichnungsschichten aufweist, infolge der Tatsache, dass Daten in einer der Aufzeichnungsschicht aufgezeichnet werden, und in der Aufzeichnungsschicht aufgezeichnete Daten dadurch wiedergegeben werden, dass der Fokus des Laserstrahls auf die Aufzeichnungsschicht eingestellt wird, und der Laserstrahl auf die Aufzeichnungsschicht projiziert wird dann, wenn Daten in der weiter von der Lichteinfallsebene entfernten Aufzeichnungsschicht (nachstehend als die "L1-Schicht" bezeichnet) aufgezeichnet werden sollen, und Daten hieraus wiedergegeben werden sollen, der Laserstrahl über die näher an der Lichteinfallsebene liegende Aufzeichnungsschicht (nachstehend als "L0-Schicht" bezeichnet) auf die L1-Schicht projiziert.
  • Damit daher auf gewünschte Weise Daten in der L1-Schicht aufgezeichnet und Daten aus der L1-Schicht wiedergegeben werden können, ist es daher erforderlich, dass die L0-Schicht einen ausreichend hohen Lichttransmissionsfaktor für den Laserstrahl aufweist, und muss die L0-Schicht einen dünnen reflektierenden Film aufweisen.
  • Wird jedoch der in der L0-Schicht vorgesehene reflektierende Film dünner ausgebildet, so wird die durch den Laserstrahl erzeugte Wärme, die in dem Aufzeichnungsfilm hervorgerufen wird, der in der L0-Schicht vorgesehen ist, nicht ausreichend abgestrahlt. Wird andererseits der in der L0-Schicht vorgesehene reflektierende Film dicker ausgebildet, so wird unver meidlich der Lichttransmissionsfaktor der L0-Schicht verringert.
  • Falls die L0-Schicht keine ausreichend guten Wärmeabstrahleigenschaften aufweist, wird infolge der Tatsache, dass die durch die Bestrahlung mit dem Laserstrahl erzeugte Wärme zu stark in dem Aufzeichnungsfilm gespeichert wird, der in der L0-Schicht vorgesehen ist, die Breite einer in dem Aufzeichnungsfilm aufgezeichneten Aufzeichnungsmarkierung größer, so dass Daten in ihr nicht in gewünschter Weise aufgezeichnet werden können. Wenn die Wärmeabstrahleigenschaften der L0-Schicht besonders gering sind, so erfolgt bei dem Aufzeichnungsfilm, der vorher in den amorphen Zustand umgewandelt wurde, eine erneute Kristallisierung in einem Aufzeichnungsfilm, der ein Phasenänderungsmaterial enthält, und ist es unmöglich, eine Aufzeichnungsmarkierung mit gewünschter Form auszubilden.
  • Angesichts der voranstehenden Umstände war es schwierig, gleichzeitig die Aufzeichnungseigenschaften und die Wiedergabeeigenschaften der L0-Schicht und der L1-Schicht zu verbessern.
  • Die gleichen Probleme treten auch in einem einmal beschreibbaren optischen Datenträger auf, der zwei oder mehr Aufzeichnungsschichten aufweist, und in einem optischen Datenträger, der nur eine L1-Schicht zum Lesen von Daten aufweist, und daher wurde es wünschenswert, diese Probleme zu lösen.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Daher besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung eines optischen Datenträgers, der mehrere Aufzeichnungsschichten aufweist, und bei welchem die Aufzeichnungseigenschaften und die Wiedergabeeigenschaften der jeweiligen Aufzeichnungsschichten verbessert werden können.
  • Die voranstehenden und weitere Ziele der vorliegenden Erfindung können durch einen optischen Datenträger erreicht werden, der ein Substrat aufweist, eine Lichtdurchlassschicht, und mehrere Aufzeichnungsschichten zwischen dem Substrat und der Lichtdurchlassschicht, und Daten in den mehreren Aufzeichnungsschichten aufzeichnen kann, und in den mehreren Aufzeichnungsschichten aufgezeichnete Daten wiedergeben kann, durch Projizieren eines Laserstrahls über die Lichtdurchlassschicht auf die mehreren Aufzeichnungsschichten, wobei zumindest eine Aufzeichnungsschicht mit Ausnahme einer am weitesten von der Lichtdurchlassschicht entfernten Aufzeichnungsschicht einen reflektierenden Film enthält, der Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist.
  • Es ist erforderlich, einen reflektierenden Film aus einem Material auszubilden, das einen hohen Lichttransmissionsfaktor aufweist, und eine hohe Wärmeleitfähigkeit, um gleichzeitig die Aufzeichnungseigenschaften und die Wiedergabeeigenschaften der L0-Schicht und der L1-Schicht zu verbessern, und Ag ist ein typisches Material, welches derartige Eigenschaften aufweist. Allerdings korrodiert Ag leicht. Wenn der in der L0-Schicht enthaltene reflektierende Film aus Ag hergestellt wird, ist daher die Speicherungsverlässlichkeit des optischen Datenträgers gering. Da gemäß der vorliegenden Erfindung zumindest eine Aufzeichnungsschicht mit Ausnahme einer am weitesten von der Lichtdurchlassschicht entfernten Aufzeichnungsschicht einen reflektierenden Film enthält, der Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist, wird ermöglicht, den Lichttransmissionsfaktor und die Wärmeleitfähigkeit des in der L0-Schicht enthaltenen reflektierenden Films zu verbessern, während eine Korrosion des reflektierenden Films verhindert wird, wodurch ermöglicht wird, die Aufzeichnungseigenschaften und die Wiedergabeeigenschaften der jeweiligen Aufzeichnungsschichten zu verbessern, und die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers zu verbessern.
  • Da die Energie pro Flächeneinheit des Punkts eines Laserstrahls bei einem optischen Datenträger der nächsten Generation hoch ist, bei welchem die Dicke der Lichtdurchlassschicht auf 30 μm bis 200 μm eingestellt ist, und Daten darin aufgezeichnet und aus dieser wiedergegeben werden, durch Sammeln eines Laserstrahls mit einer Wellenlänge kleiner oder gleich 450 nm, unter Verwendung einer Objektivlinse mit einer numerischen Apertur größer oder gleich 0,7, ist es bei dem optischen Datenträger der nächsten Generation erforderlich, dass er ein hohes Wärmeabstrahlvermögen aufweist, so dass die vorliegende Erfindung besonders wirksam bei dem optischen Datenträger der nächsten Generation eingesetzt werden kann.
  • Weiterhin wird gemäß der vorliegenden Erfindung ermöglicht, da der reflektierende Film Ag als primären Bestandteil und kostengünstigen C als Zusatzstoff aufweist, eine Erhöhung der Materialkosten des optischen Datenträgers zu verhindern.
  • Bei der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, dass der reflektierende Film, der in der zumindest einen Aufzeichnungsschicht mit Ausnahme der am weitesten von der Lichtdurchlassschicht entfernten Aufzeichnungsschicht vorhanden ist, 0,5 Atom-% bis 5,0 Atom-% C enthält. Wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film zugefügt wird, 5,0 Atom-% überschreitet, ist es schwierig, einen reflektierenden Film auszubilden, der einen ausreichend hohen Lichttransmissionsfaktor und ausreichend hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, und andererseits wird, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wird, kleiner als 0,5 Atom-% ist, die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers gering.
  • Bei der vorliegenden Erfindung ist es noch eher vorzuziehen, dass der reflektierende Film 1,0 Atom-% bis 4,0 Atom-% C aufweist, und ist es speziell zu bevorzugen, dass der reflektierende Film etwa 2,5 Atom-% C enthält. Wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wird, kleiner oder gleich 4,0 Atom-% ist, ist es möglich, einen reflektierenden Film auszubilden, dass einen Lichttransmissionsfaktor nahe jenem eines reflektierenden Films aufweist, der aus reinem Ag besteht, und wenn andererseits die Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wird, 2,0 Atom-% übersteigt, ist die Verbesserung der Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers gering, selbst wenn die Menge an C erhöht wird. Wenn der reflektierende Film etwa 2,5 Atom-% C enthält, wird ermöglicht, einen reflektierenden Film auszubilden, der im Wesentlichen den gleichen Lichttransmissionsfaktor aufweist wie ein reflektierender Film, der aus reinem Ag besteht, und einen optischen Datenträger mit hoher Speicherverlässlichkeit zu erzielen.
  • Bei einem bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält jede der mehreren Aufzeichnungsschichten ein Phasenänderungsmaterial.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält jede der mehreren Aufzeichnungsschichten ein Material des Systems SbTe.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält jede der mehreren Aufzeichnungsschichten ein Material des Systems SbTe, das durch folgende Formel repräsentiert wird: (SbxTe1-x)1-yMy, wobei M ein anderes Element als Sb und Te ist, x größer oder gleich 0,55 und kleiner oder gleich 0,7 ist, und y größer oder gleich 0 und kleiner oder gleich 0,25 ist.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist M eines oder mehrere der Elemente, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die besteht aus In, Ag, Au, Bi, Se, Al, P, Ge, H, Si, C, V, W, Ta, Zn, Mn, Ti, Sn, Pd, N, O und Seltenerdelementen.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist jede der mehreren Aufzeichnungsschichten einen ersten Aufzeichnungsfilm auf, der eine Art von Element enthält, das ausgewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus Si, Ge, Sn, Mg, C, Al, Zn, In, Cu und Bi, als primären Bestandteil, und einen zweiten Aufzeichnungsfilm, der in der Nähe des ersten Aufzeichnungsfilms angeordnet ist, und eine Art eines Elements enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Cu, Al, Zn, Si und Ag, und sich von dem Element unterscheidet, das in dem ersten Aufzeichnungsfilm als primärer Bestandteil enthalten ist, wobei jenes Element, das in dem ersten Aufzeichnungsfilm als primärer Bestandteil enthalten ist, und jenes Element, das in dem zweiten Aufzeichnungsfilm als primärer Bestandteil enthalten ist, gemischt werden, wenn der erste Aufzeichnungsfilm und der zweite Auf zeichnungsfilm durch einen Laserstrahl bestrahlt werden, wodurch eine Aufzeichnungsmarkierung ausgebildet wird.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält der erste Aufzeichnungsfilm ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Si, Ge, Sn, Mg, In, Zn, Bi und Al besteht, als primären Bestandteil, und enthält der zweite Aufzeichnungsfilm Cu als primären Bestandteil.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält der erste Aufzeichnungsfilm ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Si, Ge, Sn, Mg und Al besteht, als primären Bestandteil.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Al, Si, Zn, Mg, Au, Sn, Ge, Ag, P, Cr, Fe und Ti, dem zweiten Aufzeichnungsfilm hinzugefügt, der Cu als primären Bestandteil enthält.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Al, Zn, Sn und Au, dem zweiten Aufzeichnungsfilm hinzugefügt, der Cu als primären Bestandteil enthält.
  • Bei einem anderen bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält der erste Aufzeichnungsfilm ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Si, Ge, C, Sn, Zn und Cu, als primären Bestandteil, und enthält der zweite Aufzeichnungsfilm Al als primären Bestandteil.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Mg, Au, Ti und Cu, dem zweiten Aufzeichnungsfilm hinzugefügt, der Al als primären Bestandteil enthält.
  • Bei einem anderen bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält der erste Aufzeichnungsfilm ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Si, Ge, C und Al, als primären Bestandteil, und enthält der zweite Aufzeichnungsfilm Zn als primären Bestandteil.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Mg, Cu und Al, dem zweiten Aufzeichnungsfilm hinzugefügt, der Zn als primären Bestandteil enthält.
  • Bei einem weiteren bevorzugten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind der erste Aufzeichnungsfilm und der zweite Aufzeichnungsfilm so ausgebildet, dass ihre Gesamtdicke 2 nm bis 40 nm beträgt.
  • Bei der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, dass die Lichtdurchlassschicht eine Dicke von 30 μm bis 200 μm aufweist.
  • Die voranstehenden und weitere Ziele und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung deutlicher, die unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erfolgt.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine schematische Querschnittsansicht, die den Aufbau eines optischen Datenträgers zeigt, der eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 2 ist eine schematische, vergrößerte Querschnittsansicht des in 1 gezeigten optischen Datenträgers.
  • 3 ist eine Zeichnung, die einen Schritt eines Verfahrens zur Herstellung eines optischen Datenträgers zeigt, der eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist.
  • 4 ist eine Zeichnung, die einen Schritt eines Verfahrens zur Herstellung eines optischen Datenträgers zeigt, der eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist.
  • 5 ist eine Zeichnung, die einen Schritt eines Verfahrens zur Herstellung eines optischen Datenträgers zeigt, der eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist.
  • 6 ist eine Zeichnung, die einen Schritt eines Verfahrens zur Herstellung eines optischen Datenträgers zeigt, der eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist.
  • 7 ist eine schematische Querschnittsansicht, die einen optischen Datenträger zeigt, der eine andere bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 8 ist eine schematische, vergrößerte Querschnittsansicht des in 7 gezeigten optischen Datenträgers.
  • 9 ist ein Diagramm, welches zeigt, wie sich der Lichttransmissionsfaktor eines reflektierenden Films in Abhängigkeit von der Menge an C ändert, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wird.
  • 10 ist ein Diagramm, welches zeigt, wie sich die Rate der Verringerung des Reflexionskoeffizienten eines reflektierenden Films in Abhängigkeit von der Menge an C ändert, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wird.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • 1 ist eine schematische Querschnittsansicht, die den Aufbau eines optischen Datenträgers zeigt, der eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt, und 2 ist eine schematische, vergrößerte Querschnittsansicht des in 1 gezeigten optischen Datenträgers.
  • Wie in den 1 und 2 gezeigt ist, ist ein optischer Datenträger 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform als ein überschreibbarer optischer Datenträger ausgebildet, und weist ein scheibenartiges Halterungssubstrat 11 auf, eine lichtdurchlässige Zwischenschicht 12, eine Lichtdurchlassschicht 13, eine L0-Schicht 20, die zwischen der lichtdurchlässigen Schicht 12 und der Lichtdurchlassschicht 13 vorgesehen ist, und eine L1-Schicht, die zwischen dem Halterungssubstrat 11 und der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 vorgesehen ist.
  • Die L0-Schicht 20 und die L1-Schicht 30 sind Aufzeichnungsschichten, in denen Daten aufgezeichnet werden, so dass der optische Datenträger 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform zwei Aufzeichnungsschichten aufweist.
  • Die L0-Schicht 20 bildet eine Aufzeichnungsschicht nahe an einer Lichteinfallsebene 13a, und wie in den 1 und 2 gezeigt ist, wird die L0-Schicht 20 so ausgebildet, dass ein reflektierender Film 21, ein zweiter dielektrischer Film 22, ein L0-Aufzeichnungsfilm 23 und ein erster dielektrischer Film 24 von der Seite des Halterungssubstrats 11 aus zusammenlaminiert werden.
  • Andererseits bildet die L1-Schicht 30 eine Aufzeichnungsschicht entfernt von der Lichteinfallsebene 13a, und ist, wie in den 1 und 2 gezeigt, die L1-Schicht 30 so ausgebildet, dass ein reflektierender Film 31, ein vierter dielektrischer Film 32, ein L1-Aufzeichnungsfilm 33 und ein dritter dielektrischer Film 34 zusammenlaminiert werden.
  • Falls Daten in der L1-Schicht 30 aufgezeichnet werden sollen, und in der L1-Schicht 30 aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden sollen, wird ein Laserstrahl L darauf projiziert, durch die L0-Schicht 20, die näher an der Lichtdurchlassschicht 13 liegt.
  • Daher muss die L0-Schicht 20 einen hohen Lichttransmissionsfaktor aufweisen. Konkret weist die L0-Schicht 20 einen Lichttransmissionsfaktor auf, der größer oder gleich 30 ist, in Bezug auf den Laserstrahl L, der zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Daten eingesetzt wird, und weist vorzugsweise einen Lichttransmissionsfaktor größer oder gleich 40% auf.
  • Damit Daten mit hoher Dichte aufgezeichnet werden können, ist es erforderlich, den Durchmesser des Laserstrahls L zu verringern, und aus diesem Grund weist der Laserstrahl L, der zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Daten verwendet wird, eine Wellenlänge auf, die kleiner oder gleich 500 nm ist, und weist vorzugsweise eine Wellenlänge von 200 bis 450 nm auf.
  • Das Halterungssubstrat 11 dient als Halterung zur Sicherstellung der mechanischen Festigkeit, welche der optische Datenträger 10 benötigt.
  • Das Material, das zur Ausbildung des Halterungssubstrats 11 verwendet wird, ist nicht speziell eingeschränkt, soweit das Halterungssubstrat 11 als die Halterung für den optischen Datenträger 10 dienen kann. Das Halterungssubstrat 11 kann aus Glas, Keramik, Harz oder dergleichen bestehen. Hierbei wird Harz vorzugsweise dazu eingesetzt, das Halterungssubstrat 11 auszubilden, da sich Harz einfach ausformen lässt. Erläuternde Beispiele für Harze, die zur Ausbildung des Halterungssubstrats 11 geeignet sind, umfassen Polycarbonatharz, Acrylharz, Epoxyharz, Polystyrolharz, Polyethylenharz, Polypropylenharz, Silikonharz, Fluorpolymere, Acrylnitrilbutadienstyrolharz, Urethanharz und dergleichen. Unter diesen wird am bevorzugesten Polycarbonatharz zur Ausbildung des Halterungssubstrats 11 eingesetzt, unter dem Gesichtspunkt einer einfachen Bearbeitung, der optischen Eigenschaften und dergleichen, und daher ist bei der vorliegenden Ausführungsform das Halterungssubstrat 11 aus Polycarbonatharz hergestellt. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist es, da der Laserstrahl L über die Lichteinfallsebene 13a projiziert wird, die gegenüberliegend dem Halterungssubstrat 11 liegt, unnötig, dass das Halterungssubstrat 11 Lichtdurchlasseigenschaften aufweist.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform weist das Halterungssubstrat 11 eine Dicke von etwa 1,1 mm auf.
  • Wie in 1 gezeigt, sind Nuten 11a und Erhöhungen 11b abwechselnd auf der Oberfläche des Halterungssubstrats 11 vorgesehen. Die Nuten 11a und/oder die Erhöhungen 11b dienen als Führungsspur für den Laserstrahl L, wenn Daten aufgezeichnet werden sollen, oder Daten wiedergegeben werden sollen.
  • Für die Tiefe der Nut 11a gibt es keine spezielle Einschränkung, und sie ist vorzugsweise auf 10 nm bis 40 nm eingestellt. Der Abstand der Nuten 11a ist nicht speziell eingeschränkt, und ist vorzugsweise auf 0,2 μm bis 0,4 μm eingestellt.
  • Die lichtdurchlässige Zwischenschicht 12 dient dazu, die L0-Schicht 20 und die L1-Schicht 30 voneinander zu beabstanden, um eine physikalisch und optisch ausreichende Entfernung.
  • Wie in 1 gezeigt, sind Nuten 12a und Erhöhungen 12b abwechselnd auf der Oberfläche der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 vorgesehen. Die Nuten 12a und/oder die Erhöhungen 12b, die auf der Oberfläche der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 vorgesehen sind, dienen als Führungsspur für den Laserstrahl L, wenn Daten aufgezeichnet oder wiedergegeben werden sollen.
  • Die Tiefe der Nut 12a und der Abstand der Nuten 12a können im Wesentlichen ebenso eingestellt werden wie bei den Nuten 11a, die auf der Oberfläche des Halterungssubstrats 11 vorgesehen sind.
  • Es ist vorzuziehen, die lichtdurchlässige Zwischenschicht 12 so auszubilden, dass sie eine Dicke von 10 μm bis 50 μm aufweist, und sie weist bevorzugter eine Dicke von 15 μm bis 40 μm auf.
  • Für das Material zur Ausbildung der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 gibt es keine spezielle Einschränkung, und es wird vorzugsweise ein bei Bestrahlung mit Ultraviolettlicht aushärtbares Acrylharz zur Ausbildung der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 eingesetzt.
  • Bei der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 ist es erforderlich, dass sie einen ausreichend hohen Lichttransmissionsfaktor aufweist, da der Laserstrahl L durch die lichtdurchlässige Zwischenschicht 12 hindurchgeht, wenn Daten in der L1-Schicht 30 aufgezeichnet werden sollen, und in der L1-Schicht 30 aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden sollen.
  • Die Lichtdurchlassschicht 13 dient dazu, den Laserstrahl L durchzulassen, und die Lichteinfallsebene 13a wird durch eine ihrer Oberflächen gebildet.
  • Es ist vorzuziehen, die Lichtdurchlassschicht 13 so auszubilden, dass sie eine Dicke von 30 μm bis 200 μm aufweist.
  • Für das Material zur Ausbildung der Lichtdurchlassschicht 13 gibt es keine spezielle Einschränkung, und ähnlich wie bei der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 wird vorzugsweise ein bei Bestrahlung mit Ultraviolettlicht aushärtbares Acrylharz zur Ausbildung der Lichtdurchlassschicht 13 verwendet.
  • Die Lichtdurchlassschicht 13 muss einen ausreichend hohen Lichttransmissionsfaktor aufweisen, da der Laserstrahl L durch die lichtdurchlässige Zwischenschicht 13 hindurchgeht, wenn Daten in der L1-Schicht 30 aufgezeichnet werden sollen, und in der L1-Schicht 30 aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden sollen.
  • Sowohl der L0-Aufzeichnungsfilm 23 der L0-Schicht 20 als auch der L1-Aufzeichnungsfilm 33 der L1-Schicht 30 besteht aus einem Phasenänderungsmaterial. Unter Nutzung des Unterschieds der Reflexionskoeffizienten zwischen jenem Fall, in welchem der L0-Aufzeichnungsfilm 23 und der L1-Aufzeichnungsfilm 33 in einer kristallinen Phase vorliegen, und jenem Fall, in welchem sie in einer amorphen Phase vorliegen, werden Daten in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 und dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 aufgezeichnet, und werden Daten aus dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 und dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 wiedergegeben.
  • Für das Material zur Ausbildung des L0-Aufzeichnungsfilms 23 und des L1-Aufzeichnungsfilms 33 gibt es keine spezielle Einschränkung, jedoch ist ein Material vorzuziehen, das eine Änderung von einer amorphen Phase in eine kristalline Phase in kurzer Zeit durchführen kann, um ein direktes Überschreiben von Daten mit hoher Geschwindigkeit zu ermöglichen. Erläuternde Beispiele für Materialien, die eine derartige Eigenschaft aufweisen, umfassen ein Material des Systems SbTe.
  • Als das Material des Systems SbTe kann SbTe allein eingesetzt werden, oder kann ein Material des Systems SbTe verwendet werden, welchem Zusatzstoffe hinzugefügt sind, um die Zeit zu verkürzen, die zum Kristallisieren benötigt wird, und die Langzeit-Speicherfähigkeit des optischen Datenträgers 10 zu verbessern.
  • Konkret ist es vorzuziehen, den L0-Aufzeichnungsfilm 23 und den L1-Aufzeichnungsfilm 33 aus einem Material des Systems SbTe auszubilden, das durch die Zusammensetzungsformel: (SbxTe1-x)1-yMy repräsentiert wird, wobei M ein Element mit Ausnahme von Sb und Te ist, x größer oder gleich 0,55 und kleiner oder gleich 0,9 ist, und y größer oder gleich 0 und kleiner oder gleich 0,25 ist, wobei es noch eher vorzuziehen ist, den L0-Aufzeichnungsfilm 23 und den L1-Aufzeichnungsfilm 33 aus einem Material des Systems SbTe herzustellen, das durch die voranstehend geschilderte Zusammensetzungsformel angegeben wird, wobei x größer oder gleich 0,65 und kleiner oder gleich 0,85 ist, und y größer oder gleich 0 und kleiner oder gleich 0,25 ist.
  • Zwar gibt es für M keine spezielle Einschränkung, jedoch ist es vorzuziehen, dass das Element M eines oder mehrere der Elemente ist, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die besteht aus In, Ag, Au, Bi, Se, Al, P, GE, H, Si, C, V, W, Ta, Zn, Mn, Ti, Sn, Pd, N, O und Seltenerdelementen, um die Zeit zu verkürzen, die für die Kristallisierung benötigt wird, und um die Speicherungsverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 zu verbessern. Besonders bevorzugt ist das Element M eines oder mehrere der Elemente, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die aus Ag, In, Ge und Seltenerdelementen besteht, um die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 zu verbessern.
  • Da der Laserstrahl L durch den L0-Aufzeichnungsfilm 23 hindurchgeht, wenn Daten in der L1-Schicht 30 aufgezeichnet werden sollen, und in der L1-Schicht 30 aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden sollen, ist es erforderlich, dass der L0-Aufzeichnungsfilm 23 einen hohen Lichttransmissionsfaktor aufweist, so dass es vorzuziehen ist, den L0-Aufzeichnungsfilm 23 so auszubilden, dass er dünner ist als der L1-Aufzeichnungsfilm 33.
  • Konkret ist es vorzuziehen, den L1-Aufzeichnungsfilm 33 so auszubilden, dass er eine Dicke von 3 bis 20 nm aufweist, und den L0-Aufzeichnungsfilm 23 so auszubilden, dass er eine Dicke von 3 nm bis 10 nm aufweist.
  • Falls die Dicke des L0-Aufzeichnungsfilms 23 und des L1-Aufzeichnungsfilms 33 kleiner ist als 3 nm, tritt bei dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 und dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 nicht einfach eine Kristallisierung auf, da ein Phasenänderungsmaterial nicht einfach kristallisiert, wenn es extrem dünn ausgebildet ist. Wenn andererseits die Dicke des L0-Aufzeichnungsfilms 23 10 nm überschreitet, wird der Lichttransmissionsfaktor des L0-Aufzeichnungsfilms 23 verringert, und werden die Eigenschaften in Bezug auf das Aufzeichnen von Daten in der L1-Schicht 30 und die Eigenschaften in Bezug auf die Wiedergabe von Daten aus der L1-Schicht 30 beeinträchtigt.
  • Der erste dielektrische Film 24 und der zweite dielektrische Film 22 dienen als Schutzschichten für den Schutz des L0-Aufzeichnungsfilms 23, und der dritte dielektrische Film 34 und der vierte dielektrische Film 32 dienen als Schutzschichten für den Schutz des L1-Aufzeichnungsfilms 33.
  • Für die Dicke sowohl des ersten dielektrischen Films 24, des zweiten dielektrischen Films 22, des dritten dielektrischen Films 34 als auch des vierten dielektrischen Films 32 gibt es keine spezielle Einschränkung, und vorzugsweise wird eine Dicke von 1 nm bis 50 nm vorgesehen. Wenn die Dicke sowohl des ersten dielektrischen Films 24, des zweiten dielektrischen Films 22, des dritten dielektrischen Films 34 als auch des vierten dielektrischen Films 32 kleiner ist als 1 nm, dienen sowohl der erste dielektrische Film 24, der zweite dielektrische Film 22, der dritte dielektrische Film 34 als auch der vierte dielektrische Film 32 nicht ausreichend als Schutzschicht, und können bei einem nachstehend geschilderten Initialisierungsprozess eine Spaltbildung erfahren, und werden die Eigenschaften (die Eigenschaften in Bezug auf wiederholtes Überschreiben) des optischen Datenträgers 10 bei wiederholtem direkten Überschreiben beeinträchtigt. Wenn andererseits die Dicke sowohl des ersten dielektrischen Films 24, des zweiten dielektrischen Films 22, des dritten dielektrischen Films 34 als auch des vierten dielektrischen Films 32 einen Wert von 50 nm überschreitet, ist eine beträchtliche Zeit zu deren Ausbildung erforderlich, wodurch der Produktionswirkungsgrad des optischen Datenträgers 10 verringert wird, und ein gewisses Risiko in der Hinsicht besteht, dass eine Spaltbildung bei dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 und dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 auftritt, infolge interner mechanischer Spannungen.
  • Der erste dielektrische Film 24, der zweite dielektrische Film 22, der dritte dielektrische Film 34 und der vierte dielektrische Film 32 können einen Aufbau aus einer Schicht oder einen Mehrschichtaufbau aufweisen, was mehrere dielektrische Filme einschließt. Wenn beispielsweise der erste dielektrische Film 24 aus zwei dielektrischen Filmen besteht, die aus Materialien bestehen, welche unterschiedliche Brechungsindices aufweisen, kann ein Lichtinterferenzeffekt vergrößert werden.
  • Für das Material zur Ausbildung des ersten dielektrischen Films 24, des zweiten dielektrischen Films 22, des dritten dielektrischen Films 34 und des vierten dielektrischen Films 32 gibt es keine spezielle Einschränkung, jedoch ist es vorzuziehen, den ersten dielektrischen Film 24, den zweiten dielektrischen Film 22, den dritten dielektrischen Film 34 und den vierten dielektrischen Film 32 als Oxid, Sulfid, Nitrid von Al, Si, Ce, Zn, Ta, Ti und dergleichen herzustellen, beispielsweise aus Al2O3, AlN, SiO2, Si3N4, CeO2, ZnS, TaO und dergleichen, oder als Kombination hiervon, und ist es noch eher vorzuziehen, dass sie ZnS·SiO2 als primären Bestandteil enthalten. Mit ZnS·SiO2 ist eine Mischung aus ZnS und SiO2 gemeint.
  • Der reflektierende Film 21, der in der L0-Schicht 20 vorgesehen ist, dient dazu, den Laserstrahl L zu reflektieren, der in die Lichteinfallsebene 13a eintritt, um diesen von der Lichteinfallsebene 13a auszusenden, und wirksam Wärme, die in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 durch die Bestrahlung mit dem Laserstrahl L erzeugt wird, abzustrahlen.
  • Wenn Daten in der L1-Schicht 30 aufgezeichnet werden sollen, und in der L1-Schicht 30 aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden sollen, trifft der Laserstrahl L, der auf die Lichteinfallsebene 13a auftritt, auf die L1-Schicht 30 über den reflektierenden Film 31 auf. Daher ist es erforderlich, den reflektierenden Film 21 aus einem Material herzustellen, das einen hohen Lichttransmissionsfaktor und hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist. Darüber hinaus ist es erforderlich, den reflektierenden Film 21 aus einem Material herzustellen, das eine Langzeitspeicherverlässlichkeit aufweist.
  • Daher wird bei der vorliegenden Ausführungsform der reflektierende Film 21 aus einem Material hergestellt, das Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist.
  • Wenn der reflektierende Film 21 aus einem Material hergestellt wird, das Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist, ist es möglich, wesentlich die Langzeitspeicherverlässlichkeit des reflektierenden Films 21 zu verbessern, ohne den inhärenten hohen Lichttransmissionsfaktor und die hohe Wärmeleitfähigkeit von Ag zu beeinträchtigen. Darüber hinaus werden durch Hinzufügen von C zum reflektierenden Film 21 die Materialkosten nicht erhöht.
  • Wenn der reflektierende Film 21 aus einem Material besteht, welches Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist, kann daher ein reflektierender Film, der einen hohen Lichttransmissionsfaktor und hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, ausgebildet werden, und kann die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 verbessert werden.
  • Bei einer Untersuchung, die von den Erfindern der vorliegenden Erfindung durchgeführt wurde, stellte sich heraus, dass der Lichttransmissionsfaktor und die Wärmeleitfähigkeit des reflektierenden Films 21 dazu neigten, abzunehmen, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wurde, erhöht wurde, und stellte sich weiterhin heraus, dass dann, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wurde, kleiner oder gleich einem vorbestimmten Wert war, die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 verbessert wurde, wenn die Menge an dem reflektierenden Film 21 hinzugefügtem C zunahm, und dass dann, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wurde, den vorbestimmten Wert überschritt, eine Verbesserung der Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 nicht deutlich war, selbst wenn die Menge an C erhöht wurde, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wurde.
  • Spezieller ist es, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wird, 5,0 Atom-% überschreitet, schwierig, den reflektierenden Film 21 so auszubilden, dass er einen hohen Lichttransmissionsfaktor und eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, und wird andererseits, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wird, kleiner ist als 0,2 Atom-%, die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 gering. Daher ist es vorzuziehen, dass der reflektierende Film 21 0,5 Atom-% bis 5,0 Atom-% an C enthält.
  • Wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wird, kleiner oder gleich 4,0 Atom-% ist, ist es möglich, den reflektierenden Film 21 so auszubilden, dass er einen Lichttransmissionsfaktor nahe jenem eines reflektierenden Films 21 aufweist, der aus reinem Ag besteht, und ist andererseits, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wird, 2,0 Atom-% überschreitet, die Verbesserung der Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 gering, selbst wenn die Menge an C erhöht wird. Wenn der reflektierende Film 21 etwa 2,5 Atom-% C enthält, wird darüber hinaus ermöglicht, den reflektierenden Film 21 so auszubilden, dass er im Wesentlichen denselben Lichttransmissionsfaktor aufweist wie ein reflektierender Film 21, der aus reinem Ag besteht, und einen optischen Datenträger 10 zu erzielen, der eine hohe Speicherverlässlichkeit aufweist. Daher ist es besonders bevorzugt, dass der reflektierende Film 21 1,0 Atom-% bis 4,0 Atom-% C enthält, und ist es speziell vorzuziehen, dass der reflektierende Film 21 etwa 2,5 Atom-% C enthält.
  • Da der Lichttransmissionsfaktor und die Wärmeleitfähigkeit des reflektierenden Films 21 sich ändern, in Abhängigkeit von der Menge an C, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wird, wird die Dicke des reflektierenden Films 21 auf Grundlage der Menge an C festgelegt, die dem reflektierenden Film 21 hinzugefügt wird, aber normalerweise ist die Dicke des reflektierenden Films 21 vorzugsweise kleiner als 20 nm, und bevorzugter kleiner als 5 nm bis 15 nm.
  • Der reflektierende Film 31, der in der L1-Schicht 30 vorgesehen ist, dient dazu, den Laserstrahl L zu reflektieren, der durch die Lichteinfallsebene 13a einfällt, damit er von der Lichteinfallsebene 13a ausgesandt wird, und zum wirksamen Abstrahlen von Wärme, die in dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 durch die Bestrahlung mit dem Laserstrahl L erzeugt wird.
  • Der reflektierende Film 31 ist vorzugsweise so ausgebildet, dass er eine Dicke von 20 nm bis 200 nm aufweist. Ist der reflektierende Film 31 dünner als 20 nm, strahlt er nicht ausreichend Wärme ab, die in dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 erzeugt wird. Ist andererseits der reflektierende Film 31 dicker als 200 nm, wird die Produktivität des optischen Datenträgers 10 verringert, da eine lange Zeit zur Ausbildung des reflektierenden Films 31 benötigt wird, und das Risiko einer Spaltbildung bei dem reflektierenden Film 31 infolge interner mechanischer Spannungen und dergleichen vorhanden ist.
  • Für das Material zur Ausbildung des reflektierenden Films 31 gibt es keine spezielle Einschränkung. Der reflektierende Film 31 kann aus dem gleichen Material wie jenem hergestellt werden, das zur Ausbildung des reflektierenden Films 21 verwendet wird, aber anders als bei dem Fall der Ausbildung des reflektierenden Films 21, der in der L0-Schicht 20 vorgesehen ist, ist es nicht erforderlich, den Lichttransmissionsfaktor des Materials zu berücksichtigen, wenn das Material zur Ausbildung des reflektierenden Films 31 ausgesucht wird.
  • Der optische Datenträger 10 mit der voranstehend geschilderten Ausbildung kann beispielsweise folgendermaßen hergestellt werden.
  • Die 3 bis 6 zeigen die Schritte eines Verfahrens zur Herstellung des optischen Datenträgers 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
  • Wie in 3 gezeigt, wird zuerst das Halterungssubstrat 11, welches auf seiner Oberfläche Nuten 11a und Erhöhungen 11b aufweist, durch einen Spritzgussvorgang unter Verwendung einer Stanzvorrichtung 40 hergestellt.
  • Dann werden, wie in 4 gezeigt, der reflektierende Film 31, der vierte dielektrische Film 32, der L1-Aufzeichnungsfilm 33 und der dritte dielektrische Film 34 aufeinander folgend im Wesentlichen auf der gesamten Oberfläche des Halterungssubstrats 11 hergestellt, auf welcher die Nuten 11a und die Erhöhungen 11b vorgesehen sind, durch einen Gasphasenwachstumsprozess, beispielsweise einen Sputter-Prozess, wodurch die L1-Schicht 30 ausgebildet wird. Der L1-Aufzeichnungsfilm 33 befindet sich normalerweise im amorphen Zustand unmittelbar nach Ausbildung durch einen Sputter-Prozess oder dergleichen.
  • Weiterhin wird, wie in 5 gezeigt, ein bei Ultraviolettbestrahlung aushärtbares Harz auf die L1-Schicht 30 aufgebracht, durch ein Schleuderbeschichtungsverfahren, um einen Beschichtungsfilm auszubilden, und wird die Oberfläche des Beschichtungsfilms durch Ultraviolettbestrahlung über eine Stanzvorrichtung 41 bestrahlt, während sie von der Stanzvorrichtung 41 abgedeckt ist, wodurch die lichtdurchlässige Zwischenschicht 12 ausgebildet wird, die auf ihrer Oberfläche mit Nuten 12a und Erhöhungen 12b versehen ist.
  • Dann werden, wie in 6 gezeigt, der reflektierende Film 21, der zweite dielektrische Film 22, der L0-Aufzeichnungs film 23 und der erste dielektrische Film 24 aufeinander folgend im Wesentlichen auf der gesamten Oberfläche der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 ausgebildet, auf welcher die Nuten 12a und die Erhöhungen 12b vorgesehen sind, durch einen Gasphasenwachstumsprozess, beispielsweise einen Sputter-Prozess, wodurch die L0-Schicht 20 ausgebildet wird. Der L0-Aufzeichnungsfilm 23 befindet sich normalerweise im amorphen Zustand unmittelbar nach seiner Ausbildung durch einen Sputter-Prozess oder dergleichen.
  • Weiterhin wird ein bei Ultraviolettbestrahlung aushärtbares Harz auf die L0-Schicht 20 durch ein Schleuderbeschichtungsverfahren aufgebracht, um einen Beschichtungsfilm auszubilden, und wird die Oberfläche des Beschichtungsfilms mit Ultraviolettlicht bestrahlt, wodurch die Lichtdurchlassschicht 13 ausgebildet wird.
  • Hiermit ist die Herstellung des optischen Datenträgers 10 beendet.
  • Der optische Datenträger 10 wird dann auf einen Drehtisch einer Laserbeleuchtungseinrichtung (nicht gezeigt) aufgesetzt, und dann wird, während der Drehtisch gedreht wird, der optische Datenträger 10 ständig durch einen Laserstrahl L bestrahlt, der einen derartigen rechteckigen Strahlquerschnitt aufweist, bei welchem die Länge in Richtung entlang einer Spur (Umfangsrichtung des optischen Datenträgers 10) kurz ist, und die Länge in Richtung senkrecht zur Spur groß ist (Radialrichtung des optischen Datenträgers 10), auf solche Art und Weise, dass die Position, die mit dem Laserstrahl bestrahlt wird, in Richtung senkrecht zur Spur bei jeder Drehung des optischen Datenträgers 10 versetzt wird, wodurch im Wesentlichen die gesamte Oberfläche des L0-Aufzeichnungsfilms 23 und des L1-Aufzeichnungsfilms 33 durch den Laserstrahl L mit rechteckigem Querschnitt bestrahlt wird.
  • Dies führt dazu, dass das Phasenänderungsmaterial, das in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 und dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 vorhanden ist, auf eine Temperatur erwärmt wird, die größer oder gleich dessen Kristallisierungstemperatur ist, wobei dann eine Abkühlung erfolgt, wodurch im Wesentlichen die gesamten Oberflächen des L0-Aufzeichnungsfilms 23 und des L1-Aufzeichnungsfilms 33 kristallin ausgebildet werden. Bei der vorliegenden Beschreibung wird dieser Prozess als ein "Initialisierungsprozess" bezeichnet. In diesem Zustand sind keine Daten in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 und dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 aufgezeichnet, und befinden sich der L0-Aufzeichnungsfilm 23 und der L1-Aufzeichnungsfilm 33 in einem Zustand, in welchem keine Aufzeichnung vorhanden ist.
  • Nachdem der Initialisierungsprozess auf die geschilderte Art und Weise fertig gestellt wurde, wird ein optischer Datenträger 10 erhalten, welcher den L0-Aufzeichnungsfilm 23 und den L1-Aufzeichnungsfilm 33 enthält, in welchen keine Daten aufgezeichnet sind.
  • Wenn Daten in dem auf die geschilderte Art und Weise ausgebildeten optischen Datenträger 10 aufgezeichnet werden sollen, wird die Lichteinfallsebene 13a der Lichtdurchlassschicht 13 mit einem Laserstrahl L bestrahlt, dessen Intensität moduliert ist, und wird der Brennpunkt des Laserstrahls L auf den L0-Aufzeichnungsfilm 23 oder den L1-Aufzeichnungsfilm 33 eingestellt.
  • Wenn ein vorbestimmter Bereich des L0-Aufzeichnungsfilms 23 oder des L1-Aufzeichnungsfilms 33 durch die Bestrahlung mit dem Laserstrahl L auf eine Temperatur erwärmt wurde, die größer oder gleich dem Schmelzpunkt des Phasenänderungsmaterials ist, und dann eine schnelle Abkühlung erfolgt, nimmt der Bereich einen amorphen Zustand ein. Wenn andererseits ein vorbestimmter Bereich des L0-Aufzeichnungsfilms 23 oder des L1-Aufzeichnungsfilms 33 durch die Bestrahlung mit dem Laserstrahl L auf eine Temperatur erwärmt wird, die größer oder gleich der Kristallisierungstemperatur des Phasenänderungsmaterials ist, und dann eine allmähliche Abkühlung erfolgt, nimmt der Bereich einen kristallinen Zustand ein. Eine Aufzeichnungsmarkierung wird durch den Bereich in dem amorphen Zustand des L0-Aufzeichnungsfilms 23 oder des L1-Aufzeichnungsfilms 33 ausgebildet. Die Länge der Aufzeichnungsmarkierung und die Länge des leeren Bereichs zwischen der Aufzeichnungsmarkierung und der benachbarten Aufzeichnungsmarkierung in Richtung der Spur bilden Daten, die in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 oder dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 aufgezeichnet sind.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform weist der reflektierende Film 21, der in der L0-Schicht 20 enthalten ist, Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff auf, und weist einen hohen Lichttransmissionsfaktor auf. Wenn Daten in dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 aufgezeichnet werden, können daher die Daten in dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 auf die gewünschte Art und Weise aufgezeichnet werden. Wenn andererseits Daten in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 aufgezeichnet werden, wird infolge der Tatsache, dass der reflektierende Film 21, der in der L0-Schicht 20 vorgesehen ist, eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, durch die Bestrahlung mit dem Laserstrahl erzeugte Wärme nicht übermäßig in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 gespei chert, der in der L0-Schicht 20 vorgesehen ist, wodurch ermöglicht wird, Daten in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 auf die gewünschte Art und Weise aufzuzeichnen.
  • Wenn andererseits Daten, die in dem optischen Datenträger 10 aufgezeichnet sind, wiedergegeben werden sollen, wird die Lichteinfallsebene 13a der Lichtdurchlassschicht 13 mit einem Laserstrahl L bestrahlt, dessen Intensität moduliert ist, und wird der Brennpunkt des Laserstrahls L auf den L0-Aufzeichnungsfilm 23 oder den L1-Aufzeichnungsfilm 33 eingestellt.
  • Da die Reflexionskoeffizienten des L0-Aufzeichnungsfilms 23 und des L1-Aufzeichnungsfilms 33 sich voneinander unterscheiden, zwischen einem Bereich im amorphen Zustand und einem Bereich im kristallinen Zustand, wird ermöglicht, Daten wiederzugeben, die in dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 oder dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 aufgezeichnet sind, durch Erfassung der Lichtmenge, die von dem L0-Aufzeichnungsfilm 23 oder dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 reflektiert wird.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform wird ermöglicht, da der reflektierende Film 21, der in der L0-Schicht 20 vorgesehen ist, Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist, und einen hohen Lichttransmissionsfaktor und eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, Daten wiederzugeben, die in dem L1-Aufzeichnungsfilm 33 aufgezeichnet sind.
  • Da bei der vorliegenden Ausführungsform der reflektierende Film 21, der in der L0-Schicht 20 vorhanden ist, aus einem Material besteht, welches Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff enthält, wird ermöglicht, den Lichttransmissionsfaktor und die Wärmeleitfähigkeit des reflektierenden Films 21 zu verbessern, der in der L0-Schicht 20 vorgesehen ist, wobei verhindert wird, dass der reflektierende Film 21 korrodiert, wodurch wiederum ermöglicht wird, die Aufzeichnungseigenschaften und die Wiedergabeeigenschaften des L0-Aufzeichnungsfilms 23 und des L1-Aufzeichnungsfilms 33 zu verbessern, und die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 10 zu verbessern.
  • 7 ist eine schematische Querschnittsansicht, die einen optischen Datenträger zeigt, der eine weitere, bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • Wie in 7 gezeigt, ist ein optischer Datenträger 50 gemäß dieser Ausführungsform als ein einmal beschreibbarer optischer Datenträger ausgebildet, und weist ein scheibenförmiges Halterungssubstrat 11 auf, eine lichtdurchlässige Zwischenschicht 12, eine Lichtdurchlassschicht 13, eine L0-Schicht 60, die zwischen der lichtdurchlässigen Schicht 12 und der Lichtdurchlassschicht 13 vorgesehen ist, und eine L1-Schicht 70, die zwischen dem Halterungssubstrat 11 und der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 vorgesehen ist.
  • Die L0-Schicht 60 und die L1-Schicht 70 sind Aufzeichnungsschichten, in denen Daten aufgezeichnet werden, und der optische Datenträger 50 gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist zwei Aufzeichnungsschichten auf.
  • Die L0-Schicht 60 bildet eine Aufzeichnungsschicht nahe an einer Lichteinfallsebene 13a, und ist so ausgebildet, dass ein reflektierender Film 61, ein zweiter dielektrischer Film 62, ein erster L0-Aufzeichnungsfilm 63a, ein zweiter L0-Aufzeichnungsfilm 63b und ein erster dielektrischer Film 64 von der Seite des Halterungssubstrats 11 aus zusammenlaminiert werden.
  • Andererseits bildet die L1-Schicht 70 eine Aufzeichnungsschicht entfernt von der Lichteinfallsebene 13a, und ist so ausgebildet, dass ein reflektierender Film 71, ein vierter dielektrischer Film 72, ein erster L1-Aufzeichnungsfilm 73a, ein zweiter L1-Aufzeichnungsfilm 73b und ein dritter dielektrischer Film 74 zusammenlaminiert sind.
  • Wenn Daten in der L1-Schicht 70 aufgezeichnet werden sollen, und in der L1-Schicht 70 aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden sollen, wird ein Laserstrahl L über die L0-Schicht 60 projiziert, die nahe an der Lichtdurchlassschicht 13 angeordnet ist.
  • Der optische Datenträger 50 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist ebenso ausgebildet wie der optische Datenträger 10, der in 1 gezeigt ist, mit Ausnahme der Tatsache, dass die L0-Schicht 60 anstelle der L0-Schicht 20 vorgesehen ist, und die L1-Schicht 70 anstelle der L1-Schicht 30 vorgesehen ist.
  • Weiterhin weist die L0-Schicht 60 des optischen Datenträgers 50 gemäß der vorliegenden Ausführungsform die gleiche Ausbildung auf wie die L0-Schicht 20 des optischen Datenträgers 10, der in 1 gezeigt ist, mit Ausnahme der Tatsache, dass der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a, der ein Element aufweist, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Si, Ge, Mg, Al und Sn, als primären Bestandteil, und der zweite L0-Aufzeichnungsfilm 63b, der Cu als primären Bestandteil enthält, anstelle des L0-Aufzeichnungsfilms 23 vorgesehen sind, der ein Phasenänderungsmaterial enthält.
  • Der reflektierende Film 61, der in der L0-Schicht 60 vorgesehen ist, enthält daher Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff.
  • Entsprechend ist die L1-Schicht 70 des optischen Datenträgers 50 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ebenso ausgebildet wie die L1-Schicht 30 des optischen Datenträgers 10 gemäß 1, mit Ausnahme der Tatsache, dass der erste L1-Aufzeichnungsfilm 73a, der ein Element enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Si, Ge, Mg, Al und Sn, als primären Bestandteil, und der zweite L1 Aufzeichnungsfilm 73b, der Cu als primären Bestandteil enthält, anstelle des L1-Aufzeichnungsfilms 33 vorhanden sind, der ein Phasenänderungsmaterial aufweist.
  • Daher enthält der reflektierende Film 71, der in der L1-Schicht 70 vorgesehen ist, Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff.
  • Cu, das in dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b oder dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b als Hauptbestandteil enthalten ist, mischt sich daher schnell mit dem Element, das in dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a oder dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a enthalten ist, bei Bestrahlung mit einem Laserstrahl L, wodurch ermöglicht wird, Daten schnell in der L0-Schicht 60 oder der L1-Schicht 70 aufzuzeichnen.
  • Um die Aufzeichnungsempfindlichkeit des ersten L0-Aufzeichnungsfilms 63a oder des ersten L1-Aufzeichnungsfilms 73a zu erhöhen, können ein oder mehrere Elemente, ausgewählt aus einer Gruppe, die besteht aus Mg, Al, Cu, Ag und Au, darüber hinaus dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a oder dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a zugefügt sein.
  • Um die Speicherverlässlichkeit und die Aufzeichnungsempfindlichkeit des zweiten L0-Aufzeichnungsfilms 63b oder des zweiten L1-Aufzeichnungsfilms 73b zu erhöhen, kann zumindest ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Al, Si, Zn, Mg und Au, darüber hinaus zusätzlich bei dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b oder dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b vorgesehen sein. Die Menge des Elements bzw. der Elemente, das bzw. die dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b oder dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b zugefügt werden, ist vorzugsweise größer oder gleich 1 Atom-% und kleiner als 50 Atom-%.
  • Es ist vorzuziehen, den ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a und den zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b so auszubilden, dass deren Gesamtdicke 2 nm bis 15 nm beträgt, und darüber hinaus ist es vorzuziehen, den ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a und den zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b so auszubilden, dass deren Gesamtdicke 2 nm bis 40 nm beträgt.
  • Wenn die Gesamtdicke des ersten L0-Aufzeichnungsfilms 63a und des zweiten L0-Aufzeichnungsfilms 63b, oder die Gesamtdicke des ersten L1-Aufzeichnungsfilms 73a und des zweiten L1-Aufzeichnungsfilms 73b kleiner ist als 2 nm, ist die Änderung des Reflexionskoeffizient vor und nach der Bestrahlung mit dem Laserstrahl L gering, so dass kein Wiedergabesignal mit hoher Intensität erhalten werden kann.
  • Wenn andererseits die Gesamtdicke des ersten L0-Aufzeichnungsfilms 63a und des zweiten L0-Aufzeichnungsfilms 63b 15 nm überschreitet, wird die Lichtdurchlässigkeit der L0-Schicht 60 verringert, und werden die Aufzeichnungseigen schaft und die Wiedergabeeigenschaft der L1-Schicht 70 beeinträchtigt.
  • Wenn die Gesamtdicke des ersten L1-Aufzeichnungsfilms 73a und des zweiten L1-Aufzeichnungsfilms 73b den Wert von 40 nm überschreitet, ist darüber hinaus die Mischungsrate des Elements, das in dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73b als Hauptbestandteil enthalten ist, und jenes Elements, das in dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b enthalten ist, gering, so dass es schwierig wird, Daten mit hoher Geschwindigkeit aufzuzeichnen.
  • Weiterhin ist es vorzuziehen, das Verhältnis der Dicke des ersten L0-Aufzeichnungsfilms 63a zur Dicke des zweiten L0-Aufzeichnungsfilms 63b (Dicke des ersten L0-Aufzeichnungsfilms 63a geteilt durch die Dicke des zweiten L0-Aufzeichnungsfilms 63b), und das Verhältnis der Dicke des ersten L1-Aufzeichnungsfilms 73a zur Dicke des zweiten L1-Aufzeichnungsfilms 73b (Dicke des ersten L1-Aufzeichnungsfilms 73a geteilt durch die Dicke des zweiten L1-Aufzeichnungsfilms 73b) so festzulegen, dass es von 0,2 bis 5,0 reicht.
  • Der optische Datenträger 50 mit der voranstehend geschilderten Ausbildung kann beispielsweise folgendermaßen hergestellt werden.
  • Wie in 3 gezeigt, wird zuerst das Halterungssubstrat 11, welches Nuten 11a und Erhöhungen 11b auf seiner Oberfläche aufweist, durch einen Spritzgussprozess unter Verwendung einer Stanzvorrichtung 40 hergestellt.
  • Dann werden, ähnlich wie in 4 gezeigt, der reflektierende Film 71, der vierte dielektrische Film 72, der zweite L1-Aufzeichnungsfilm 73b, der erste L1-Aufzeichnungsfilm 73a und der dritte dielektrische Film 74 nacheinander im Wesentlichen auf der gesamten Oberfläche des Halterungssubstrats 11 ausgebildet, auf welcher die Nuten 11a und die Erhöhungen 11b vorgesehen sind, durch einen Gasphasenwachstumsprozess, wie beispielsweise einen Sputter-Prozess, wodurch die L1-Schicht 70 ausgebildet wird.
  • Dann wird ähnlich wie in 5 gezeigt, ein bei Ultraviolettbestrahlung aushärtendes Harz auf die L1-Schicht 70 aufgebracht, durch ein Schleuderbeschichtungsverfahren, um einen Beschichtungsfilm auszubilden, und wird die Oberfläche des Beschichtungsfilms mit Ultraviolettstrahlung über eine Stanzvorrichtung 41 bestrahlt, während sie von der Stanzvorrichtung 41 abgedeckt ist, wodurch die lichtdurchlässige Zwischenschicht 12 ausgebildet wird, die auf ihrer Oberfläche Nuten 12a und Erhöhungen 12b aufweist.
  • Dann werden, ähnlich wie in 6 gezeigt, der reflektierende Film 61, der zweite dielektrische Film 62, der zweite L0-Aufzeichnungsfilm 63b, der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a und der erste dielektrische Film 64 hintereinander im Wesentlichen auf der gesamten Oberfläche der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 hergestellt, auf welcher die Nuten 12a und die Erhöhungen 12b vorgesehen sind, durch einen Gasphasenwachstumsprozess, wie beispielsweise einem Sputter-Prozess, wodurch die L0-Schicht 60 ausgebildet wird.
  • Dann wird ein durch Ultraviolettstrahlen aushärtbares Harz auf die L0-Schicht 60 aufgebracht, durch ein Schleuderbeschichtungsverfahren, um einen Beschichtungsfilm auszubilden, und wird die Oberfläche des Beschichtungsfilms mit Ultravio lettstrahlung bestrahlt, wodurch die Lichtdurchlassschicht 13 ausgebildet wird.
  • Damit ist die Herstellung des optischen Datenträgers 50 fertig gestellt.
  • Wenn Daten in dem wie voranstehend geschildert ausgebildeten optischen Datenträger 50 aufgezeichnet werden sollen, wird die Lichteinfallsebene 13a der Lichtdurchlassschicht 13 mit einem Laserstrahl L bestrahlt, dessen Intensität moduliert ist, und wird der Brennpunkt des Laserstrahls L auf den ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a und den zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b eingestellt, oder auf den ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a und den zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b.
  • Dies führt dazu, dass jenes Element, das in dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a als Hauptbestandteil enthalten ist, und Cu, das in dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b als Hauptbestandteil enthalten ist, oder jenes Element, das in dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a als Hauptbestandteil enthalten ist, und Cu, das in dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b als Hauptbestandteil enthalten ist, miteinander vermischt werden, so dass, wie in 8 gezeigt, eine Aufzeichnungsmarkierung M ausgebildet wird.
  • Auf diese Weise werden Aufzeichnungsmarkierungen M in der L0-Schicht 60 oder der L1-Schicht 70 ausgebildet, und werden dort Daten aufgezeichnet.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform enthält der reflektierende Film 61, der in der L0-Schicht 60 vorgesehen ist, Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff, und weist einen hohen Lichttransmissionsfaktor auf, so dass dann, wenn Daten in der L1-Schicht 70 aufgezeichnet werden, ermöglicht wird, Daten in der L1-Schicht 70 auf die gewünschte Art und Weise aufzuzeichnen. Wenn andererseits Daten in der L0-Schicht 60 aufgezeichnet werden, wird infolge der Tatsache, dass der reflektierende Film 61, der in der L0-Schicht 60 vorgesehen ist, ein hohes Wärmeleitvermögen aufweist, Wärme, die durch die Bestrahlung mit dem Laserstrahl erzeugt wird, nicht in starkem Ausmaß in dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a und dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b gespeichert, die in der L0-Schicht 60 enthalten sind, was es ermöglicht, Daten in der L0-Schicht 60 auf gewünschte Art und Weise aufzuzeichnen.
  • Wenn andererseits in dem optischen Datenträger 50 aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden sollen, wird die Lichteinfallsebene 13a der Lichtdurchlassschicht 13 mit einem Laserstrahl L bestrahlt, dessen Intensität moduliert ist, und wird der Brennpunkt des Laserstrahls L auf die L0-Schicht 60 oder die L1-Schicht 70 eingestellt.
  • Da der Reflexionskoeffizient der Aufzeichnungsmarkierung M, die durch Mischung des Elements, das in dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a als Hauptbestandteil enthalten ist, mit Cu, das in dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b als Hauptbestandteil enthalten ist, erhalten wird, oder jenes Elements, das in dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a als Hauptbestandteil enthalten ist, und von Cu, das in dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b als Hauptbestandteil enthalten ist, wesentlich von dem Reflexionskoeffizienten jenes Bereichs verschieden ist, der den Bereich umgibt, in welchem die Aufzeichnungsmarkierung M ausgebildet wird, wird ermöglicht, ein stark wiedergegebenes Signal (Verhältnis von C zu N) zu erhalten, durch Erfassung der Lichtmenge, die von der L0-Schicht 60 oder der L1-Schicht 70 reflektiert wird.
  • Da bei der vorliegenden Ausführungsform der reflektierende Film 61, der in der L0-Schicht 60 vorgesehen ist, aus einem Material besteht, welches Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist, wird ermöglicht, den Lichttransmissionsfaktor und das Wärmeleitvermögen des reflektierenden Films 61, der in der L0-Schicht 60 enthalten ist, zu verbessern, wobei verhindert wird, dass der reflektierende Film 61 korrodiert, so dass es ermöglicht wird, die Aufzeichnungseigenschaften und die Wiedergabeeigenschaften der L0-Schicht 60 und der L1-Schicht 70 zu verbessern, und die Speicherverlässlichkeit des optischen Datenträgers 50 zu verbessern.
  • ARBEITSBEISPIELE
  • Nachstehend werden Arbeitsbeispiele erläutert, um die Vorteile der vorliegenden Erfindung genauer zu erläutern.
  • Arbeitsbeispiel 1
  • Ein optischer Datenträger wurde als Probe auf folgende Art und Weise hergestellt.
  • Ein scheibenförmiges Polycarbonatsubstrat mit einer Dicke von 1,1 mm und einem Durchmesser von 120 mm wurde zuerst durch einen Spritzgussprozess hergestellt. Keine Nuten oder Erhöhungen wurden auf der Oberfläche des Polycarbonatsubstrats ausgebildet.
  • Dann wurde das Polycarbonatsubstrat auf eine Sputter-Einrichtung aufgelegt, und wurden aufeinander folgend auf dem Polycarbonatsubstrat unter Einsatz des Sputter-Prozesses ein reflektierender Film, der Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff, mit einer Dicke von 8 nm, ein zweiter dielektrischer Film, der eine Mischung aus ZnS und SiO2 aufwies, und eine Dicke von 32 nm aufwies, ein zweiter Aufzeichnungsfilm, der Si als primären Bestandteil aufwies, und eine Dicke von 5 nm aufwies, ein erster Aufzeichnungsfilm, der Cu als Hauptbestandteil aufwies, und eine Dicke von 5 nm aufwies, und ein erster dielektrischer Film, der die Mischung aus ZnS und SiO2 aufwies, und eine Dicke von 30 nm aufwies, hergestellt, unter Verwendung des Sputter-Prozesses.
  • Weiterhin wurde der erste dielektrische Film dadurch beschichtet, dass das Schleuderbeschichtungsverfahren eingesetzt wurde, mit einer Harzlösung, die dadurch hergestellt wurde, dass ein unter Ultraviolettbestrahlung aushärtendes Acrylharz in einem Lösungsmittel gelöst wurde, um eine Beschichtungsschicht auszubilden, und die Beschichtungsschicht durch Ultraviolettstrahlung bestrahlt wurde, wodurch das bei Ultraviolettbestrahlung aushärtende Acrylharz ausgehärtet wurde, um eine Schutzschicht mit einer Dicke von 100 μm auszubilden.
  • Das Molverhältnis von ZnS zu SiO2 in der Mischung aus ZnS und SiO2, die in der ersten dielektrischen Schicht und der zweiten dielektrischen Schicht vorhanden war, betrug 80:20.
  • Auf diese Weise wurden sieben optische Datenträgerproben mit unterschiedlichen Anteilen von C hergestellt, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurden.
  • Jede der so hergestellten Proben für einen optischen Datenträger wurden mit einem Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 405 nm über die Lichtdurchlassschicht bestrahlt, und es wurde die Menge an Laserlicht erfasst, die aus dem Polycarbonatsubstrat herausgelangt, wodurch der Lichttransmissionsfaktor des reflektierenden Films der Probe für den optischen Datenträger gemessen wurde.
  • Die Ergebnisse der Messungen sind in 9 gezeigt.
  • Wie aus 9 hervorgeht, stellte sich heraus, dass in jenem Fall, in welchem die Menge an C, die dem reflektierenden Film zugefügt wurde, kleiner oder gleich etwa 2,5 Atom-% war, der Lichttransmissionsfaktor des reflektierenden Films im Wesentlichen ebenso groß war wie bei einem reflektierenden Film, der aus Ag bestand, wogegen dann, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurde, etwa 2,5 Atom-% überschritt, der Lichttransmissionsfaktor des reflektierenden Films allmählich abnahm, mit Zunahme der Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurde, wobei dann, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurde, etwa 5,0 Atom-% überschritt, der Lichttransmissionsfaktor des reflektierenden Films kleiner als 40 wurde.
  • Arbeitsbeispiel 2
  • Proben wurden auf folgende Art und Weise hergestellt.
  • Ein scheibenförmiges Polycarbonatsubstrat mit einer Dicke von 1,1 mm und einem Durchmesser von 120 mm wurde zuerst durch einen Spritzgussprozess hergestellt. Es waren keine Nuten oder Erhöhungen auf der Oberfläche des Polycarbonatsubstrats vorhanden.
  • Dann wurde das Polycarbonatsubstrat auf eine Sputter-Einrichtung aufgesetzt, und wurde ein reflektierender Film, der Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff enthielt, und eine Dicke von 100 nm aufwies, auf dem Polycarbonatsubstrat unter Verwendung des Sputter-Prozesses hergestellt.
  • Auf diese Weise wurden sechs Proben hergestellt, mit unterschiedlichen Anteilen an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurden.
  • Der reflektierende Film jeder der so hergestellten Proben wurde mit einem Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 405 nm bestrahlt, und es wurde das Ausmaß des Laserstrahls erfasst, das von dem reflektierenden Film reflektiert wurde, wodurch der Reflexionskoeffizient Rco des reflektierenden Films der Probe gemessen wurde.
  • Weiterhin wurde jede der Proben auf einer Temperatur von 80°C und einer relativen Feuchte von 85% 50 Stunden lang gehalten, wodurch ein Speichertest bei jeder der Proben durchgeführt wurde. Nach diesem Test wurde der reflektierende Film jeder der Proben erneut mit einem Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 405 nm bestrahlt, und wurde das Ausmaß des Laserstrahls erfasst, das von dem reflektierenden Film reflektiert wurde, wodurch der Reflexionskoeffizient Rc des reflektierenden Films der Probe gemessen wurde, die dem Speichertest ausgesetzt wurde.
  • Auf Grundlage der so gemessenen Reflexionskoeffizienten des reflektierenden Films jeder der Proben wurde die Rate der Verringerung des Reflexionskoeffizienten bewertet. Die Rate der Verringerung des Reflexionskoeffizienten wurde definiert als (Rco – Rc) × 100/Rco (%).
  • Die Ergebnisse der Bewertung sind in 10 dargestellt.
  • Wie aus 10 hervorgeht, stellte sich heraus, dass der Reflexionskoeffizient nach dem Speichertest niedriger war als der Reflexionskoeffizient vor dem Speichertest bei jeder der Proben. Dies kann so verstanden werden, dass Ag, das in dem reflektierenden Film jeder der Proben vorhanden war, durch den Speichertest korrodiert wurde.
  • Weiterhin stellte sich heraus, dass die Rate der Verringerung des Reflexionskoeffizienten kleiner wurde, wenn die Menge an C zunahm, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurde, und dass dann, wenn die Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurde, kleiner war als etwa 2,0 Atom-%, die Rate der Verringerung des Reflexionskoeffizienten deutlich bei zunehmender Menge an C, die dem reflektierenden Film hinzugefügt wurde, abnahm.
  • Arbeitsbeispiel 3
  • Proben wurden auf folgende Art und Weise hergestellt.
  • Ein scheibenförmiges Polycarbonatsubstrat mit einer Dicke von 1,1 mm und einem Durchmesser von 120 mm wurde zuerst durch einen Spritzgussprozess hergestellt. Es waren keine Nuten oder Erhöhungen auf der Oberfläche des Polycarbonatsubstrats vorhanden.
  • Dann wurde das Polycarbonatsubstrat auf eine Sputter-Einrichtung aufgesetzt, und wurde ein reflektierender Film, der Ag als primären Bestandteil und 2,5 Atom-% C als Zusatzstoff enthielt, und eine Dicke von 100 nm aufwies, auf dem Polycarbonatsubstrat unter Einsatz des Sputter-Prozesses hergestellt, wodurch eine Probe #1 hergestellt wurde.
  • Ein entsprechend hergestelltes Polycarbonatsubstrat wurde auf eine Sputter-Einrichtung aufgesetzt, und ein reflektierender Film, der Ag als primären Bestandteil und 5,0 Atom-% C als Zusatzstoff enthielt, und eine Dicke von 100 nm aufwies, auf dem Polycarbonatsubstrat unter Verwendung des Sputter-Prozesses hergestellt, wodurch eine Probe #2 hergestellt wurde.
  • Ein entsprechend hergestelltes Polycarbonatsubstrat wurde auf eine Sputter-Einrichtung aufgesetzt, und ein reflektierender Film, der Ag als primären Bestandteil und 5,0 Atom-% Sn als Zusatzstoff enthielt, und eine Dicke von 100 nm aufwies, wurde auf dem Polycarbonatsubstrat ausgebildet, wodurch ein Vergleichsbeispiel #1 hergestellt wurde.
  • Ein entsprechend hergestelltes Polycarbonatsubstrat, das ebenso hergestellt wurde, wurde auf eine Sputter-Einrichtung aufgesetzt, und ein reflektierender Film, der Ag als primären Bestandteil und 10,0 Atom-% W als Zusatzstoff enthielt, und eine Dicke von 100 nm aufwies, wurde auf dem Polycarbonatsubstrat unter Verwendung des Sputter-Prozesses hergestellt, wodurch ein Vergleichsbeispiel #2 hergestellt wurde.
  • Das elektrische Leitvermögen des reflektierenden Films sowohl der Proben #1 und #2 als auch der Vergleichsproben #1 und #2 wurde durch ein Verfahren mit vier Sonden gemessen, und das Wärmeleitvermögen des reflektierenden Films bei jeder Probe wurde berechnet unter Verwendung des Wiedemann-Franz-Gesetzes.
  • Die Messung und die Berechnungsergebnisse sind in Tabelle 1 dargestellt.
  • Tabelle 1
    Figure 00440001
  • Wie aus Tabelle 1 hervorgeht, stellte sich heraus, dass der reflektierende Film, der Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufwies, ein erheblich höheres Wärmeleitvermögen aufwies als der reflektierende Film, der Ag als primären Bestandteil und Sn als Zusatzstoff aufwies, oder der reflektierende Film, der Ag als primären Bestandteil und W als Zusatzstoff aufwies.
  • Aus den Arbeitsbeispielen 1 bis 3 ergab sich, dass es vorzuziehen war, einen reflektierenden Film aus einem Material herzustellen, welches Ag als primären Bestandteil und 0,5 Atom-% bis 5,0 Atom-% C als Zusatzstoff aufwies, und dass bevorzugter ein reflektierender Film ausgebildet werden sollte, der aus einem Material besteht, welches Ag als primären Bestandteil und 1,0 Atom-% bis 4,0 Atom-% C als Zusatzstoff aufweist, um einen reflektierenden Film auszubilden, der einen hohen Lichttransmissionsfaktor aufweist, eine hohe Wärmeleitfähigkeit, und eine hervorragende Speicherverlässlichkeit. Weiterhin stellte sich heraus, dass es besonders zu be vorzugen war, einen reflektierenden Film aus einem Material herzustellen, das Ag als primären Bestandteil und etwa 2,5 Atom-% C als Zusatzstoff aufwies, um einen reflektierenden Film auszubilden, der einen hohen Lichttransmissionsfaktor aufwies, ein hohes Wärmeleitvermögen, und eine hervorragende Speicherverlässlichkeit.
  • Die vorliegende Erfindung wurde daher unter Bezugnahme auf spezielle Ausführungsformen dargestellt und beschrieben. Allerdings wird darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung keinesfalls auf die Einzelheiten der beschriebenen Anordnungen beschränkt ist, sondern sich Änderungen und Modifikationen vornehmen lassen, ohne vom Umfang der beigefügten Patentansprüche abzuweichen.
  • So weist beispielsweise bei der in den 1 und 2 gezeigten Ausführungsform der optische Datenträger 10 den L0-Aufzeichnungsfilm 23 und den L1-Aufzeichnungsfilm 33 auf, die ein Material des Systems SbTe enthalten, jedoch ist es nicht unbedingt erforderlich, dass der optische Datenträger 10 den L0-Aufzeichnungsfilm 23 und den L1-Aufzeichnungsfilm 33 enthält, die ein Material des Systems SbTe enthalten, so dass der optische Datenträger 10 einen L0-Aufzeichnungsfilm und einen L1-Aufzeichnungsfilm enthalten kann, die ein anderes Phasenänderungsmaterial aufweisen.
  • Weiterhin sind zwar bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a und der zweite L0-Aufzeichnungsfilm 63b der L0-Schicht 60 in Kontakt miteinander vorgesehen, jedoch ist es nicht absolut erforderlich, dass der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a und der zweite L0-Aufzeichnungsfilm 63b der L0-Schicht 60 in Kontakt miteinander stehen, sondern ist es ausreichend, dass der zweite L0- Aufzeichnungsfilm 63b so in der Nähe des ersten L0-Aufzeichnungsfilms 63a angeordnet ist, dass die Ausbildung eines Mischungsbereichs ermöglicht wird, welcher das Element des primären Bestandteils des ersten L0-Aufzeichnungsfilms 63a und das Element des primären Bestandteil des zweiten L0-Aufzeichnungsfilms 63b enthält, wenn der Bereich mit einem Laserstrahl bestrahlt wird. Weiterhin können ein oder mehrere andere Filme, beispielsweise dielektrische Filme, zwischen dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a und dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b angeordnet sein.
  • Weiterhin sind zwar bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform der erste L1-Aufzeichnungsfilm 73a und der zweite L1-Aufzeichnungsfilm 73b der L1-Schicht 70 in Kontakt miteinander ausgebildet, jedoch ist es nicht unbedingt erforderlich, den ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a und den zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b der L1-Schicht 70 in Kontakt miteinander auszubilden, sondern reicht es aus, wenn der zweite L1-Aufzeichnungsfilm 73b so in der Nähe des ersten L1-Aufzeichnungsfilms 73a angeordnet ist, dass die Ausbildung eines gemischten Bereichs ermöglicht wird, der den primären Elementbestandteil des ersten L1-Aufzeichnungsfilms 73a und dem primären Elementbestandteil des zweiten L1-Aufzeichnungsfilms 73b enthält, wenn der Bereich mit einem Laserstrahl bestrahlt wird. Weiterhin können ein oder mehrere andere Filme, beispielsweise ein dielektrischer Film, zwischen dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a und dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b angeordnet sein.
  • Weiterhin enthält zwar bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform die L0-Schicht 60 den ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a und den zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b, jedoch kann die L0-Schicht 60 einen oder mehrere Aufzeichnungs filme enthalten, welche dasselbe Element als Hauptbestandteil aufweisen wie jenes, das in dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a als Hauptbestandteil vorhanden ist, oder einen oder mehrere Aufzeichnungsfilme, welche dasselbe Element als Hauptbestandteil enthalten wie jenes, das in dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b als Hauptbestandteil enthalten ist, zusätzlich zu dem ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a und dem zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b.
  • Weiterhin weist zwar bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform die L1-Schicht 70 den ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a und den zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b auf, jedoch kann die L1-Schicht 70 einen oder mehrere Aufzeichnungsfilme aufweisen, welche dasselbe Element als Hauptbestandteil enthalten wie jenes, das in dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a als Hauptbestandteil enthalten ist, oder einen oder mehrere Aufzeichnungsfilme, welche dasselbe Element als Hauptbestandteil enthalten wie jenes, das in dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b als Hauptbestandteil enthalten ist, zusätzlich zu dem ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a und dem zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b.
  • Weiterhin enthält zwar bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform sowohl der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a als auch der erste L1-Aufzeichnungsfilm 73a ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Si, Ge, Mg, Al und Sn, als Hauptbestandteil, und enthält sowohl der zweite L0-Aufzeichnungsfilm 63b als auch der zweite Aufzeichnungsfilm 73b Cu als Hauptbestandteil, jedoch ist es nicht absolut erforderlich, dass sowohl der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a als auch der erste L1-Aufzeichnungsfilm 73a ein Element enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus Si, Ge, Mg, Al und Sn, als Hauptbestandteil, und sowohl der zwei te L0-Aufzeichnungsfilm 63b als auch der zweite Aufzeichnungsfilm 73b Cu als Hauptbestandteil enthält. Sowohl der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a als auch der erste L1-Aufzeichnungsfilm 73a kann ein anderes Element als Si, Ge, Mg, Al und Sn als Hauptbestandteil enthalten, und sowohl der zweite L0-Aufzeichnungsfilm 63b als auch der zweite Aufzeichnungsfilm 73b kann ein anderes Element als Cu als Hauptbestandteil enthalten.
  • Weiterhin ist zwar bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform der erste L0-Aufzeichnungsfilm 63a an der Seite der Lichtdurchlassschicht 13 angeordnet, und ist der zweite L0-Aufzeichnungsfilm 63b an der Seite des Halterungssubstrats 11 angeordnet, jedoch ist es möglich, den ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a an der Seite des Halterungssubstrats 11 anzuordnen, und den zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b an der Seite der Lichtdurchlassschicht 13 anzuordnen.
  • Weiterhin ist zwar bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform der erste L1-Aufzeichnungsfilm 73a an der Seite der Lichtdurchlassschicht 13 angeordnet, und ist der zweite L1-Aufzeichnungsfilm 73b an der Seite des Halterungssubstrats 11 angeordnet, jedoch ist es möglich, den ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a an der Seite des Halterungssubstrats 11 anzuordnen, und den zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b an der Seite der Lichtdurchlassschicht 13 anzuordnen.
  • Weiterhin weist zwar der optische Datenträger 10 den L0-Aufzeichnungsfilm 23 und den L1-Aufzeichnungsfilm 33 bei der in den 1 und 2 gezeigten Ausführungsform auf, und weist der optische Datenträger 50 die L0-Schicht 60 und die L1-Schicht 70 bei der in den 7 und 8 gezeigten Ausführungsform auf, jedoch ist es nicht absolut erforderlich, dass der optische Datenträger zwei Aufzeichnungsschichten aufweist, sondern kann der optische Datenträger auch drei oder mehr Aufzeichnungsschichten aufweisen.
  • Weiterhin ist zwar bei der voranstehend geschilderten Ausführungsform der reflektierende Film 21 der L0-Schicht 20 oder der reflektierende Film 61 der L0-Schicht 60 auf der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 vorgesehen, jedoch ist es möglich, eine Schutzschicht mit einer Dicke von 2 nm bis 150 nm vorzusehen, die aus einem Material zur Ausbildung des ersten dielektrischen Films 24, 64 besteht, zwischen der lichtdurchlässigen Zwischenschicht 12 und dem reflektierenden Film 21, oder dem reflektierenden Film 61, und körperlich den reflektierenden Film 21 oder den reflektierenden Film 61 und die lichtdurchlässige Zwischenschicht 12 zu trennen, wodurch verhindert wird, dass die lichtdurchlässige Zwischenschicht 12 durch Wärmeeinwirkung beschädigt wird, wenn Daten in der L0-Schicht 20 oder der L0-Schicht 60 aufgezeichnet werden.
  • Weiterhin ist zwar bei der voranstehend beschriebenen Ausführungsform die Lichtdurchlassschicht 13 auf der Oberfläche des ersten dielektrischen Films 24 der L0-Schicht 20 oder des ersten dielektrischen Films 64 der L0-Schicht 60 vorgesehen, jedoch ist es möglich, einen lichtdurchlässigen Wärmeabstrahlfilm vorzusehen, der eine Dicke von 10 nm bis 200 nm aufweist, und aus einem Material besteht, das eine höhere Wärmeleitfähigkeit aufweist als das Material, aus welchem der erste dielektrische Film 24, 64 besteht, zwischen dem ersten dielektrischen Film 24 der L0-Schicht 20 oder dem ersten dielektrischen Film 64 der L0-Schicht 60 und der Lichtdurchlassschicht 13, um die Wärmeabstrahleigenschaften der L0-Schicht 20 oder der L0-Schicht 60 zu verbessern, und ist es darüber hinaus möglich, einen dielektrischen Film, der einen anderen Brechungsindex aufweist als der lichtdurchlässige Wärmeabstrahlfilm, zwischen dem lichtdurchlässigen Wärmeabstrahlfilm und der Lichtdurchlassschicht 13 vorzusehen, um die Lichtinterferenzwirkung zu verstärken.
  • Weiterhin weist zwar der optische Datenträger 10 den L0-Aufzeichnungsfilm 23 und den L1-Aufzeichnungsfilm 33 auf, die jeweils ein Phasenänderungsmaterial enthalten, bei der in den 1 und 2 gezeigten Ausführungsform, und weist der optische Datenträger 50 die L0-Schicht 60 auf, welche den ersten L0-Aufzeichnungsfilm 63a und den zweiten L0-Aufzeichnungsfilm 63b aufweist, die jeweils ein anorganisches Element als Hauptbestandteil enthalten, und die L1-Schicht 70, welche den ersten L1-Aufzeichnungsfilm 73a und den zweiten L1-Aufzeichnungsfilm 73b enthält, die jeweils ein anorganisches Element als Hauptbestandteil enthalten, jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf optische Datenträger mit einem derartigen Aufbau beschränkt, und kann in weitem Ausmaß bei einem optischen Datenträger eingesetzt werden, der mehrere Aufzeichnungsschichten aufweist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ermöglicht, einen optischen Datenträger zur Verfügung zu stellen, der mehrere Aufzeichnungsschichten aufweist, und bei welchem die Aufzeichnungseigenschaften und Wiedergabeeigenschaften der jeweiligen Aufzeichnungsschichten verbessert werden können.

Claims (7)

  1. Optischer Datenträger, der ein Substrat aufweist, eine Lichtdurchlassschicht, und mehrere Aufzeichnungsschichten zwischen dem Substrat und der Lichtdurchlassschicht, und Daten in den mehreren Aufzeichnungsschichten aufzeichnen kann, und in den mehreren Aufzeichnungsschichten aufgezeichnete Daten wiedergeben kann, durch Projizieren eines Laserstrahls über die Lichtdurchlassschicht auf die mehrfachen Aufzeichnungsschichten, wobei zumindest eine Aufzeichnungsschicht mit Ausnahme einer am weitesten von der Lichtdurchlassschicht entfernten Aufzeichnungsschicht einen reflektierenden Film enthält, der Ag als primären Bestandteil und C als Zusatzstoff aufweist.
  2. Optischer Datenträger nach Anspruch 1, bei welchem jede der mehreren Aufzeichnungsschichten ein Phasenänderungsmaterial enthält.
  3. Optischer Datenträger nach Anspruch 1, bei welchem jede der mehreren Aufzeichnungsschichten einen ersten Aufzeichnungsfilm aufweist, der eine Art eines Elements enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Si, Ge, Sn, Mg, C, Al, Zn, In, Cu und Bi besteht, als primären Bestandteil, und einen zweiten Aufzeichnungsfilm, der in der Nähe des ersten Aufzeichnungsfilms angeordnet ist, und eine Art eines Elements aus der Gruppe aufweist, die aus Cu, Al, Zn, Si und Ag besteht, und sich von dem Element unterscheidet, das in dem ersten Aufzeichnungsfilm vorgesehen ist, als primären Bestandteil, wobei das Element, das in dem ersten Aufzeichnungsfilm als ein primärer Bestandteil enthalten ist, und das Element, das in dem zweiten Aufzeichnungsfilm als ein primärer Bestandteil enthalten ist, gemischt werden, wenn der erste Aufzeichnungsfilm mit einem Laserstrahl bestrahlt werden, wodurch eine Aufzeichnungsmarkierung ausgebildet wird.
  4. Optischer Datenträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welchem der reflektierende Film, der in der zumindest einen Aufzeichnungsschicht vorgesehen ist, 0,5 Atomprozent bis 5,0 Atomprozent C enthält.
  5. Optischer Datenträger nach Anspruch 4, bei welchem der reflektierende Film, der in der zumindest einen Aufzeichnungsschicht vorgesehen ist, 1,0 Atomprozent bis 4,0 Atomprozent C enthält.
  6. Optischer Datenträger nach Anspruch 5, bei welchem der reflektierende Film, der in der zumindest einen Aufzeichnungsschicht vorgesehen ist, etwa 2,5 Atomprozent C enthält.
  7. Optischer Datenträger nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welchem die Lichtdurchlassschicht eine Dicke von 30 μm bis 200 μm aufweist.
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