DE60332576D1 - Vorrichtung und Verfahren zur Röntgenanalyse mit gleichzeitiger optischer Bildgebung - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur Röntgenanalyse mit gleichzeitiger optischer BildgebungInfo
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- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002089305 | 2002-03-27 | ||
JP2002253699 | 2002-08-30 | ||
JP2002257453A JP3996821B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-09-03 | X線分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60332576D1 true DE60332576D1 (de) | 2010-07-01 |
Family
ID=27808423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60332576T Expired - Lifetime DE60332576D1 (de) | 2002-03-27 | 2003-03-17 | Vorrichtung und Verfahren zur Röntgenanalyse mit gleichzeitiger optischer Bildgebung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6965663B2 (de) |
EP (1) | EP1348949B1 (de) |
JP (1) | JP3996821B2 (de) |
DE (1) | DE60332576D1 (de) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10230990A1 (de) * | 2002-07-10 | 2004-02-05 | Elisabeth Katz | Vorrichtung zur Durchführung einer Online-Elementanalyse |
US7375359B1 (en) * | 2003-05-22 | 2008-05-20 | Thermo Niton Analyzers Llc | Portable X-ray fluorescence instrument with tapered absorption collar |
US7375358B1 (en) * | 2003-05-22 | 2008-05-20 | Thermo Niton Analyzers Llc | Radiation shield for portable x-ray fluorescence instruments |
GB2428868B (en) * | 2005-10-28 | 2008-11-19 | Thermo Electron Corp | Spectrometer for surface analysis and method therefor |
CA2650857C (en) * | 2006-05-25 | 2014-08-19 | Thermo Niton Analyzers Llc | Portable x-ray fluorescence instrument with tapered absorption collar |
EP1956633A3 (de) * | 2007-02-06 | 2009-12-16 | FEI Company | Teilchenoptische Vorrichtung zum gleichzeitigen Beobachten einer Probe mit Teilchen und Photonen |
US7916834B2 (en) * | 2007-02-12 | 2011-03-29 | Thermo Niton Analyzers Llc | Small spot X-ray fluorescence (XRF) analyzer |
JP5269521B2 (ja) * | 2008-08-22 | 2013-08-21 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線分析装置及びx線分析方法 |
BRPI0919997A2 (pt) * | 2008-10-30 | 2015-12-15 | Inspired Surgical Technologies Inc | sistema processador de feixe de raios x |
US7972062B2 (en) * | 2009-07-16 | 2011-07-05 | Edax, Inc. | Optical positioner design in X-ray analyzer for coaxial micro-viewing and analysis |
JP5461924B2 (ja) * | 2009-08-28 | 2014-04-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線分析装置及びx線分析方法 |
JP5292323B2 (ja) * | 2010-01-25 | 2013-09-18 | 株式会社リガク | 微小部x線計測装置 |
JP5589555B2 (ja) * | 2010-05-20 | 2014-09-17 | 日亜化学工業株式会社 | X線分析装置 |
DE102011005732B4 (de) * | 2011-03-17 | 2013-08-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Einrichtung zur Röntgenspektroskopie |
JP5833327B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2015-12-16 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線管及びx線分析装置 |
EP2573796B1 (de) * | 2011-09-22 | 2014-05-07 | Carl Zeiss Microscopy Limited | Teilchenstrahlsystem mit hohlem Lichtleiter |
JP6096419B2 (ja) * | 2012-04-12 | 2017-03-15 | 株式会社堀場製作所 | X線検出装置 |
JP6096418B2 (ja) * | 2012-04-12 | 2017-03-15 | 株式会社堀場製作所 | X線検出装置 |
JP5907824B2 (ja) * | 2012-06-29 | 2016-04-26 | 株式会社リガク | X線画像化装置及びx線画像化方法 |
DE102013102270A1 (de) * | 2013-03-07 | 2014-09-11 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Optischer Spiegel, Röntgenfluoreszenzanalysegerät und Verfahren zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
JP6082634B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2017-02-15 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 蛍光x線分析装置 |
JP6081260B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-02-15 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 蛍光x線分析装置 |
DE202014105158U1 (de) * | 2014-05-09 | 2014-11-24 | Otto-Von Guericke-Universität Magdeburg Technologie-Transfer-Zentrum | Vorrichtung zur Elementaranalyse an Mikroskopen |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57129156U (de) * | 1981-02-04 | 1982-08-12 | ||
JPS60144646A (ja) * | 1984-01-07 | 1985-07-31 | Agency Of Ind Science & Technol | カソ−ドルミネツセンス観察・分析装置 |
JPS60253956A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-14 | Rigaku Denki Kogyo Kk | 励起線による微小部分析装置 |
US4686631A (en) * | 1985-02-08 | 1987-08-11 | Ruud Clayton O | Method for determining internal stresses in polycrystalline solids |
JPH06205768A (ja) * | 1992-08-18 | 1994-07-26 | Philips Electron Nv | X線検査装置 |
EP0781992B1 (de) * | 1995-12-21 | 2006-06-07 | Horiba, Ltd. | Röntgenfluoreszenzanalysegerät |
JP3284045B2 (ja) * | 1996-04-30 | 2002-05-20 | キヤノン株式会社 | X線光学装置およびデバイス製造方法 |
-
2002
- 2002-09-03 JP JP2002257453A patent/JP3996821B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-03-17 EP EP03005494A patent/EP1348949B1/de not_active Expired - Fee Related
- 2003-03-17 DE DE60332576T patent/DE60332576D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-25 US US10/396,847 patent/US6965663B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030215060A1 (en) | 2003-11-20 |
JP2004144478A (ja) | 2004-05-20 |
EP1348949B1 (de) | 2010-05-19 |
JP3996821B2 (ja) | 2007-10-24 |
EP1348949A2 (de) | 2003-10-01 |
EP1348949A3 (de) | 2003-11-19 |
US6965663B2 (en) | 2005-11-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |