DE69432396T2 - Beschleunigungsmessaufnehmer - Google Patents

Beschleunigungsmessaufnehmer Download PDF

Info

Publication number
DE69432396T2
DE69432396T2 DE69432396T DE69432396T DE69432396T2 DE 69432396 T2 DE69432396 T2 DE 69432396T2 DE 69432396 T DE69432396 T DE 69432396T DE 69432396 T DE69432396 T DE 69432396T DE 69432396 T2 DE69432396 T2 DE 69432396T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
acceleration
detection element
acceleration detection
movable electrode
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69432396T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69432396D1 (de
Inventor
Masahiro Hitachi-shi Matsumoto
Seikou Hitachioota-shi Suzuki
Masayuki Hitachinaka-shi Miki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE69432396D1 publication Critical patent/DE69432396D1/de
Publication of DE69432396T2 publication Critical patent/DE69432396T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001—Core members of the connector
    • H01L2224/45099—Material
    • H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805—Shape
    • H01L2224/4809—Loop shape
    • H01L2224/48091—Arched
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481—Disposition
    • H01L2224/48135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Beschleunigungssensor, und spezieller betrifft sie eine Steuervorrichtung für einen Kraftfahrzeug-Airbag unter Verwendung eines Beschleunigungssensors.
  • Ein bekannter Beschleunigungssensor wird dadurch hergestellt, dass Glas oder Silicium aufgeschichtet wird, wie es in JP-A-3-134570 beschrieben ist.
  • Das Dokument JP-B-4-55267 (entsprechend dem US-Patent Nr. US-A-4679434) offenbart einen Beschleunigungssensor mit einem flachen Träger, auf dem ein Beschleunigungsdetektionselement und eine elektronische Schaltung zum Erfassen einer Änderung der elektrostatischen Kapazität des Beschleunigungsdetektionselements montiert sind. Der Träger ist in einem Metallgehäuse untergebracht. Der Beschleunigungssensor wird durch Schrauben, die durch in Metallflanschen im Gehäuse ausgebildete Montagelöcher einzuführen sind, an seinem Ort befestigt.
  • Die durch den Beschleunigungssensor zu erfassende Beschleunigungsrichtung verläuft rechtwinklig zur Montagefläche des Beschleunigungssensors. Ferner macht die Verwendung des Metallgehäuses den Beschleunigungssensor schwer. Diese Konstruktion führt zu verschiedenen Einschränkungen betreffend die Montage des Beschleunigungssensors in einem System unter Verwendung desselben.
  • Bei einem Airbagsystem wird z. B. die Steuereinheit desselben im Allgemeinen in einer horizontalen Richtung eines Fahrzeugs montiert, wohingegen die Richtung der durch den Beschleunigungssensor zu erfassenden Beschleunigung mit der Längsrichtung des Fahrzeugs übereinstimmt.
  • Demgemäß ist es bei einer derartigen Anordnung aufgrund der Tatsache, dass die Richtung der durch den Beschleunigungssensor zu erfassenden Beschleunigung rechtwinklig zur Montagefläche des Beschleunigungssensors verläuft, erforderlich, den Sensor rechtwinklig zur Längsrichtung des Fahrzeugs zu montieren. Dies erfordert komplizierte mechanische Anordnungen zum Montieren des Sensors.
  • Darüber hinaus neigt der Sensor wegen seines relativ großen Eigengewichts zu mechanischer Resonanz (was einen Fehler bei der Erfassung der Beschleunigung verursacht).
  • JP-A-5-340963 offenbart einen Beschleunigungssensor, bei dem das Beschleunigungsdetektionselement ebenfalls auf einer Grundplatte in solcher Weise montiert ist, dass die Richtung der zu erfassenden Beschleunigung rechtwinklig zur Grundplatte verläuft. Die Grundplatte selbst ist jedoch rechtwinklig zum Metallträger des Gehäuses des Beschleunigungssensors montiert, so dass die Richtung der durch den Sensor zu erfassenden Beschleunigung parallel zur Montagefläche des Sensors verläuft. Jedoch führt diese Konstruktion immer noch zu einer komplizierten und voluminösen Vorrichtung.
  • EP-B-0369352 offenbart einen Beschleunigungsmesser vom Kapazitätstyp mit drei parallelen Siliciumplatten, deren Zentrale einen beweglichen Elektrodenteil enthält. Die Platten sind in allen Gebieten zwischen ihnen mit Ausnahme derjenigen benachbart zur beweglichen Elektrode unter Verwendung thermischer Oxidfilme gegeneinander isoliert. Es existiert keine Erörterung eines Verfahrens zum Montieren des Beschleunigungsmessers.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, einen Beschleunigungssensor zu schaffen, der einige der obigen Nachteile lindert.
  • Gemäß einer ersten Erscheinungsform der Erfindung ist ein Beschleunigungssensor mit Folgendem geschaffen:
    einem Beschleunigungsdetektionselement (102, 1103, 1601, 1602, 1603);
    einer Signalverarbeitungsvorrichtung (103), die so ausgebildet ist, dass sie eine elektrische Informationsausgabe des Elements in ein elektrisches Signal, das der durch das Element detektierten Beschleunigung entspricht, konvertiert;
    einer Umgebevorrichtung, die aus einer Abdeckung (101, 1102) und einem Träger (109, 1101) aufgebaut ist und das Beschleunigungsdetektionselement und die Signalverarbeitungsvorrichtung umgibt, wobei das Beschleunigungsdetektionselement und die Signalverarbeitungsvorrichtung auf dem Träger befestigt sind; mit
    einem auf dem Träger angeordneten Lötfleck (104, 106, 1105, 1107), der elektrisch mit der Signalverarbeitungsvorrichtung verbunden ist;
    wobei die Umgebevorrichtung mit dem Lötfleck auf einer Leiterplatte (108) befestigt ist, der mit der Leiterplatte durch Lot (105, 107, 1106, 1108) in Verbindung steht und dadurch fixiert und elektrisch mit der Leiterplatte verbunden ist, und wobei die Leiterplatte so angeordnet ist, dass eine Messrichtung im Wesentlichen parallel zu der Leiterplatte verläuft, und die Signalverarbeitungsvorrichtung (103) mit der Leiterplatte über den Lötfleck 8104, 106, 1105, 1107) in elektrischer Verbindung steht.
  • Demgemäß ist das Beschleunigungsdetektionselement dieses Beschleunigungssensors so angeordnet, dass die Richtung der durch den Beschleunigungssensor zu erfassenden Beschleunigung parallel zu einer Montagefläche des Beschleunigungssen sors verläuft. Demgemäß verläuft die Richtung der Beschleunigung, wie sie durch den an der Montagefläche montierten Beschleunigungssensor zu messen ist, parallel zur Fläche, wodurch die Montage des Beschleunigungssensors vereinfacht ist.
  • Ferner kann das Beschleunigungsdetektionselement durch die Montagefläche oder einen Träger, auf dem es montiert ist, und eine auf dem Träger montierte Abdeckung, die das Beschleunigungsdetektionselement umgeben, luftdicht abgedichtet werden, wobei das Gewicht des Beschleunigungssensors ohne Verwendung eines Metallgehäuses verringert wird. Demgemäß tritt selbst dann, wenn der Beschleunigungssensor an einer gedruckten Leiterplatte mit geringer mechanischer Stabilität befestigt wird, keine oder wenig Resonanz des Beschleunigungssensors auf.
  • Das Element kann über eine bewegliche Elektrode verfügen, die zwischen einem Paar festliegender Elektroden angebracht ist. Vorzugsweise verfügt das Element über mindestens eine Stirnfläche, die im Wesentlichen parallel zur durch die Bewegung der beweglichen Elektrode erfassbaren Beschleunigungsrichtung verläuft, wobei das Element auf solche Weise an der Basis montiert ist, dass das Ende oder die Stirnfläche auf der Basis liegt. Die Stirnfläche kann durch z. B. ein Befestigungsmittel wie einen Kleber von der Basis getrennt sein.
  • Vorzugsweise wird die bewegliche Elektrode durch einen flexiblen Trägerstab gehalten, der sich ausgehend von ihr zum anderen der entgegengesetzten Enden erstreckt.
  • Durch Positionieren des Endes des Trägerstabs der beweglichen Elektrode entfernt von der Basis werden Schwingungseffekte auf das Beschleunigungsdetektionselement verringert.
  • Vorzugsweise verfügt das Element über ein Paar Stirnflächen, die jeweils im Wesentlichen parallel zur durch die Bewegung der beweglichen Elektrode erfassbaren Beschleunigungsrichtung verlaufen. Eine erste Stirnfläche des Paars von Stirnflächen liegt am weitesten vom Trägerstab entfernt, und das Element ist so an der Basis montiert, dass die erste Stirnfläche auf der Basis liegt.
  • Vorzugsweise verfügt das Beschleunigungsdetektionselement über mindestens ein elektrisches Verbindungsendstück oder elektrischen Verbindungsanschluss, der am anderen der entgegengesetzten Enden liegt.
  • Vorzugweise befindet sich der mindestens eine elektrische Verbindungsanschluss für elektrische Verbindung mit dem Beschleunigungsdetektionselement in einem Endbereich desselben, das entfernt vom Ende oder der Stirnfläche liegt, die sich auf der Basis befindet. Vorzugsweise verfügt der Sensor über mindestens einen ersten und einen zweiten elektrischen Verbindungsanschluss für elektrische Verbindung zur beweglichen Elektrode bzw. zur festliegenden Elektrode sowie möglicherweise einen dritten elektrischen Verbindungsanschluss für Verbindung mit einer zweiten festliegenden Elektrode.
  • Die obigen Ausgestaltungen sorgen für relativ einfachen Zugriff zu den Anschlüssen, und sie erlauben ein einfacheres Anschließen von z. B. Leitungen an diese.
  • Das Beschleunigungsdetektionselement kann durch elastomeren Kleber, wie Siliconkautschuk, an der Basis befestigt werden. Dies sorgt für eine relativ sichere Befestigung, während auch für eine gewisse Isolation des Beschleunigungsdetektionselements gegenüber externen Schwingungen gesorgt ist.
  • Vorzugsweise ist die Basis eine Keramikbasis, wie eine Keramikplatte, und der Sensor verfügt ferner über eine an dieser angebrachte Signalverarbeitungseinrichtung, die durch elektrische Anschlussmaßnahmen mit dem Beschleunigungsdetektionselement verbunden ist, wobei die Signalverarbeitungseinrichtung so ausgebildet ist, dass sie ein elektrisches Informationsausgangssignal des Elements in ein elektrisches Signal wandelt, das mit der durch das Element erfassten Beschleunigung in Zusammenhang steht.
  • Vorteilhafterweise verfügt die Keramikbasis in ihrem Inneren oder an ihrem Äußeren über die elektrischen Anschlussmittel. Anders gesagt, kann die Keramikbasis auch eine Leiterplatte mit Bahnen oder anderen darin oder darauf liegenden Schaltungselementen sein. Vorzugsweise verbinden die elektrischen Verbindungsmittel die Signalverarbeitungseinrichtung mit der beweglichen und der festen Elektrode.
  • Vorzugsweise verfügt das Element über mindestens einen ersten und einen zweiten elektrischen Verbindungsanschluss für elektrische Verbindung zur beweglichen bzw. zur festliegenden Elektrode, und die Anschlüsse sind unter Verwendung von Lot direkt mit den elektrischen Anschlussmitteln auf der Basis verbunden.
  • Gemäß einer zweiten Erscheinungsform ist durch die Erfindung eine elektrische Vorrichtung mit einem Beschleunigungssensor, wie er oben beschrieben ist, mit Montage auf einer Leiterplatte unter Verwendung eines Lötflecks geschaffen, wobei der Lötfleck auch für elektrische Verbindung zwischen der Leiterplatte und dem Beschleunigungssensor sorgen kann.
  • Auf diese Weise kann für eine kompaktere Baugruppe für den in der elektrischen Vorrichtung vorhandenen Beschleunigungssensor gesorgt werden. Eine derartige Baugruppe kann z. B. ein leiterbahnfreier Chipträger sein.
  • Der Beschleunigungssensor kann auf solche Weise an der Leiterplatte montiert werden, dass die Basis (z. B. eine Grundplatte) im Wesentlichen rechtwinklig zu ihr verläuft. Auf diese Weise kann die Richtung der Beschleunigungserfassung entweder parallel oder rechtwinklig zur Leiterplatte, je nach Bedarf, gewählt werden.
  • Bei einer Ausführungsform verfügt die bewegliche Elektrode über eine erste Halbleiterschicht, die zwischen einer ersten und einer zweiten Isolierschicht angebracht ist, wobei ein Paar der festliegenden Elektroden jeweils auf Flächen der ersten und der zweiten Isolierschicht benachbart zur beweglichen Elektrode vorhanden ist. Der Beschleunigungssensor verfügt ferner über eine zweite und eine dritte Halbleiterschicht, die jeweils auf einer Fläche der ersten und der zweiten Isolierschicht entfernt von der beweglichen Elektrode angebracht sind, wobei jede der festliegenden Elektroden mit einer anderen der zweiten und der dritten Halbleiterschicht verbunden ist.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist durch die Erfindung ein Beschleunigungssensor mit einem auf einer Keramikbasis montierten Beschleunigungsdetektionselement und mit einer Signalverarbeitungseinrichtung geschaffen, die auf der Basis montiert ist und elektrisch durch elektrische Verbindungsmittel mit dem Beschleunigungsdetektionselement verbunden ist. Die Basis verfügt über elektrische Bahnen, die Teil der elektrischen Verbindungsmittel sind, und die Signalverarbeitungseinrichtung ist so ausgebildet, dass sie die vom Element ausgegebene elektrische Information in ein elektrisches Signal wandelt, das mit der durch das Element erfassten Beschleunigung in Beziehung steht.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist eine elektrische Vorrichtung mit einer Leiterplatte und einem auf dieser montierten Beschleunigungssensor geschaffen. Der Beschleunigungssensor verfügt über ein auf einem Keramikträger montiertes Beschleunigungsdetektionselement sowie eine Signalverarbeitungseinrichtung, die auf dem Keramikträger montiert ist und durch elektrische Verbindungsmittel elektrisch mit dem Beschleunigungsdetektionselement verbunden ist.
  • Die Signalverarbeitungseinrichtung ist so ausgebildet, dass sie vom Beschleunigungsdetektionselement ausgegebene elektrische Information in ein elektrisches Signal wandelt, das mit der durch das Beschleunigungsdetektionselement erfassten Beschleunigung in Beziehung steht.
  • Der Keramikträger verfügt über einen auf ihm angebrachten Lötfleck. Der Lötfleck ist elektrisch sowohl mit der Signalverarbeitungseinrichtung als auch der Leiterplatte verbunden, und die elektrische Verbindung zur Leiterplatte erfolgt durch direkten Kontakt des Lötflecks mit ihr.
  • Die Erfindung ist bei Sensoren mit Beschleunigungselementen verschiedener abweichender Typen anwendbar, wie vom Dehnungsmesstyp und vom piezoelektrischen Typ, jedoch ist sie insbesondere bei solchen vom kapazitiven Typ anwendbar.
  • Gemäß einer dritten Erscheinungsform ist durch die Erfindung ein Steuersystem für einen Kraftfahrzeug-Airbag mit einem Beschleunigungssensor oder einer elektrischen Vorrichtung gemäß einem der obigen Gesichtspunkte geschaffen.
  • Nun werden Ausführungsformen der Erfindung durch nicht beschränkende Beispiele unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. In den Zeichnungen ist Folgendes dargestellt:
  • 1 ist eine allgemeine Schnittansicht eines Beschleunigungssensors gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
  • 2 ist eine detailliertere Schnittansicht eines Beschleunigungsdetektionselements im Beschleunigungssensor der 1.
  • 3 ist eine Schnittansicht, die eine erste Montagekonstruktion des Beschleunigungsdetektionselements der 2 zeigt.
  • 4 ist eine Schnittansicht, die eine modifizierte Montagekonstruktion des Beschleunigungsdetektionselements der 2 zeigt.
  • 5 ist eine Schnittansicht, die eine andere Form des Beschleunigungsdetektionselements und seiner Montagekonstruktion zeigt, wie sie beim Sensor der 1 verwendet werden kann.
  • 6 ist eine Schnittansicht, die eine andere Konfiguration und Montagekonstruktion des Beschleunigungsdetektionselements der 5 zeigt.
  • 7 ist eine Schnittansicht, die eine andere Montagekonstruktion des Beschleunigungsdetektionselements der 2 zeigt.
  • 8 ist eine Schnittansicht, die noch eine andere Montagekonstruktion des Beschleunigungsdetektionselements der 2 zeigt.
  • 9 ist eine Schnittansicht eines Beschleunigungssensors gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
  • 10 ist eine perspektivische Ansicht eines Dreiachsen-Beschleunigungssensors mit einer Ausführungsform der Erfindung.
  • 11 ist eine Schnittansicht einer Steuereinheit eines Airbagsystems unter Verwendung eines Beschleunigungssensors gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
  • 12 ist ein Blockdiagramm eines Airbag-Steuersystems.
  • Nun wird ein Beschleunigungssensor gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die 1 beschrieben. Die 1 ist eine allgemeine schematische Schnittansicht des Beschleunigungssensors gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform. Dieser Beschleunigungssensor verfügt über einen Keramikträger oder eine Grundplatte 109, ein auf dem Keramikträger 109 montiertes Beschleunigungsdetektionselement 102 zum Erfassen einer Beschleunigung mit einer Richtung parallel zum Keramikträger 109 (als Richtung eines Pfeils A dargestellt), eine elektronische Schaltung 103 (oder eine Signalverarbeitungseinrichtung), die auf dem Keramikträger 109 montiert ist, um vom Beschleunigungsdetektionselement 102 ausgegebene Information in ein der Beschleunigung entsprechendes elektrisches Signal zu wandeln, und eine Keramikabdeckung 101, die mit dem Keramikträger 109 verbunden ist, um dadurch das Beschleunigungsdetektionselement 102 und die elektronische Schaltung 103 luftdicht einzuschließen.
  • Das Beschleunigungsdetektionselement 102 verfügt über entgegengesetzte Enden 110 und 111 in einer Richtung rechtwinklig zur Messrichtung A. Bei dieser Ausführungsform sind beide Enden Stirnflächen, jedoch muss dies nicht der Fall sein. Das Beschleunigungsdetektionselement ist an einem ersten Ende 110 der entgegengesetzten Enden auf der Basis 109 montiert.
  • Die Verdrahtung zwischen der elektronischen Schaltung 103 und der Außenseite der Beschleunigungssensors erfolgt durch auf den Keramikträger 109 aufgedruckte Leitermuster (oder Kontaktflecke) 104 und 106. Die Leitermuster 104 und 106 werden auch als Lötflecke zum Befestigen des Keramikträgers 109 an einer Leiterplatte 108 und zum Ausführen einer Verdrahtung zu dieser verwendet.
  • D. h., dass, wie es in der 1 dargestellt ist, Verlötungen 105 und 107 zwischen dem Leitermuster 104 und der Leiterplatte 108 bzw. zwischen dem Leitermuster 106 und der Leiterplatte 108 vorhanden sind, um dadurch für eine Befestigung des Keramikträgers 109 an der Leiterplatte 108 und eine Verdrahtung zu dieser zu sorgen.
  • Die elektrische Verbindung zwischen der Schaltung 103 und dem Sensor 102 und/oder den Mustern 104, 106 kann durch Verdrahten oder durch Bahnen erfolgen, die im oder am Träger 109 vorhanden sind.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf die 2 ein Beschleunigungsdetektionselement beschrieben, das dadurch hergestellt wurde, dass Glas oder Silicium aufgeschichtet wurde. Die 2 zeigt eine Schnittstruktur des Beschleunigungsdetektionselements, das so ausgebildet ist, dass es die Beschleunigung in der Richtung des Pfeils A erfasst. Das Beschleunigungsdetektionselement besteht aus Glasschichten 204 und 208 sowie einer Siliciumschicht 206. Die zentrale Siliciumschicht 206 ist mit einem Trägerstab 210 und einer durch diesen gehaltenen beweglichen Elektrode 202 versehen, die so ausgebildet ist, dass sie sich beschleunigungsabhängig bewegt.
  • Die obere und die untere Glasschicht 204 und 208 sind mit festliegenden Elektroden 201 bzw. 209 versehen, die der beweglichen Elektrode 202 gegenüberstehen. Die festliegenden Elektroden 201 und 209 sowie die bewegliche Elektrode 202 sind mit Kontaktflecken 203, 207 bzw. 205 verbunden, um für elektrische Verbindung nach außen zu sorgen.
  • Demgemäß bewegt sich, wenn eine Beschleunigung in der Stapelrichtung der Schichten 204, 206 und 208 auf das Beschleunigungsdetektionselement einwirkt, die bewegliche Elektrode 202 in dieser Richtung der zu erfassenden Beschleunigung. Im Ergebnis ändert sich die elektrostatische Kapazität oder die Kapazität zwischen der beweglichen Elektrode und der festliegenden Elektrode 201, und es ändert sich auch die elektrostatische Kapazität zwischen der beweglichen Elektrode 202 und der festliegenden Elektrode 109. Demgemäß werden derartige Änderungen der elektrostatischen Kapazität erfasst, um dadurch ein der Beschleunigung entsprechendes Ausgangssignal zu erhalten.
  • Die Vorrichtung kann ferner über eine einzelne festliegende Elektrode verfügen, wobei die elektrostatische Kapazität zwischen der festliegenden und der beweglichen Elektrode gemessen wird.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf die 3 eine erste Montagekonstruktion für ein Beschleunigungsdetektionselement 102 gemäß der Erfindung beschrieben. Das in der 3 dargestellte Beschleunigungsdetektionselement 102 ist dasselbe wie das in der 2 dargestellte. Um für Parallelität und Haftfestigkeit des Beschleunigungsdetektionselements 102 beim Befestigen desselben an einem Keramikträger 109 zu sor gen, ist die Länge desselben in seiner Schichtungsrichtung erhöht, um die Verbindungsfläche des Beschleunigungsdetektionselements 102 zu vergrößern, die mit dem Keramikträger 109 zu verbinden ist.
  • Die Verbindungsfläche des Beschleunigungsdetektionselements 102 wird mittels eines elastomeren Klebers, z. B. Siliconkautschuk 504, mit dem Keramikträger 109 verbunden. Die Verbindungsfläche des Beschleunigungsdetektionselements 102 wird so ausgewählt, dass der Trägerstab 210 am weitesten von ihr entfernt liegt, um dadurch jeglichen Einfluss auf das Beschleunigungsdetektionselement 102 aufgrund mechanischer Beanspruchungen zu verringern, wie sie vom Keramikträger 109 her wirken. Die Verdrahtung vom Beschleunigungsdetektionselement 102 zum Keramikträger 109 erfolgt durch Drahtbonden von Golddrähten 501, 502 und 503 an die Kontaktflecke 203, 205 bzw. 207.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf die 4 eine zweite Montagekonstruktion eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsdetektionselements beschrieben. Die 4 ist eine Schnittansicht des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors. Dieser Beschleunigungssensor verfügt über einen Keramikträger 109, ein auf diesem montiertes Beschleunigungsdetektionselement 102 zum Erfassen einer Beschleunigung mit einer Richtung parallel zum Keramikträger 109, eine auf dem Keramikträger 109 montierte elektronische Schaltung 604 zum Wandeln von vom Beschleunigungsdetektionselement 102 ausgegebener Information in ein der Beschleunigung entsprechendes elektrisches Signal sowie eine Keramikabdeckung (nicht dargestellt), die mit dem Keramikträger 109 verbunden ist, um dadurch das Beschleunigungsdetektionselement 102 und die elektronische Schaltung 604 luftdicht einzuschließen. Die Verdrahtung zwischen der elektronischen Schaltung 604 und der Außenseite des Beschleunigungssensors erfolgt durch elektrische Verbin dungsmittel wie ein Leitermuster (z. B. Bahnen), das auf den Keramikträger 109 aufgedruckt ist. Ferner kann das Leitermuster über einen Golddraht durch Drahtbonden mit der Keramikabdeckung verbunden sein.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf die 5 eine andere Form eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsdetektionselements beschrieben. Zunächst wird die in der 5 dargestellte Struktur des Beschleunigungsdetektionselements beschrieben. Das Beschleunigungsdetektionselement besteht aus Siliciumschichten 802, 805 und 808 sowie Glasschichten 803 und 806. Die zentrale Siliciumschicht 805 ist mit einer beweglichen Elektrode 810 versehen, die so ausgebildet ist, dass sie sich abhängig von der Beschleunigung bewegt, sowie einem Trägerstab 809 zum Halten der beweglichen Elektrode 810. Die Glasschichten 803 und 806 sind mit festliegenden Elektroden 811 bzw. 812 versehen, die der beweglichen Elektrode 810 gegenüberstehen.
  • Demgemäß bewegt sich, wenn eine Beschleunigung in der Stapelrichtung der Schichten auf das Beschleunigungsdetektionselement einwirkt, die bewegliche Elektrode 810 in dieser zu erfassenden Beschleunigungsrichtung. Im Ergebnis ändern sich die elektrostatische Kapazität zwischen der beweglichen Elektrode 810 und der festliegenden Elektrode 811 sowie diejenige zwischen der beweglichen Elektrode 810 und der festliegenden Elektrode 812. Demgemäß werden derartige Änderungen der elektrostatischen Kapazität erfasst, um dadurch ein der Beschleunigung entsprechendes Ausgangssignal zu erhalten.
  • Die Verdrahtung von den festliegenden Elektroden 811 und 812 zur Außenseite erfolgt durch die Siliciumschichten 802 und 809 sowie durch auf diese vorhandene Kontaktflecke oder elektrische Verbindungsanschlüsse 801 und 807. Die Verdrah tung von der beweglichen Elektrode 810 nach außen erfolgt durch einen auf der Siliciumschicht 805 vorhandenen Kontaktfleck 804.
  • Das Beschleunigungsdetektionselement wird durch direktes Auflöten der Kontaktflecke auf den Keramikträger 109 unter Verwendung von Lot 814, 815 und 816 an diesem befestigt. So wird der Keramikträger auch als Leiterplatte verwendet.
  • Ferner ist die Länge des Beschleunigungsdetektionselements in seiner Schichtungsrichtung erhöht, um dadurch die Verbindungsfläche zu vergrößern und demgemäß die Verbindungsfestigkeit des Beschleunigungsdetektionselements am Keramikträger 109 zu erhöhen.
  • Außerdem ist die Verbindungsfläche des Beschleunigungsdetektionselements so ausgewählt, dass der Trägerstab 809 am weitesten von ihr entfernt liegt, um dadurch den Einfluss mechanischer Beanspruchungen zu verringern, wie sie vom Keramikträger 109 auf das Beschleunigungsdetektionselement einwirken.
  • Die 6 zeigt eine Montagekonstruktion für ein Beschleunigungsdetektionselement, die der in der 5 dargestellten ähnlich ist. Jedoch sind bei der in der 6 veranschaulichten Ausführungsform die elektrischen Verbindungsanschlüsse 801, 804 und 807 auf den Flächen der Siliciumschichten 802, 805 und 808 auf demjenigen Endbereich des Elements vorhanden, der entfernt von der Keramikplatte 109 liegt. Das Beschleunigungsdetektionselement wird unter Verwendung eines Siliconkautschukklebers 813 an der Keramikplatte 109 befestigt, und eine Verdrahtung erfolgt, was jedoch nicht dargestellt ist, durch Drahtbonden von Golddrähten an die Kontaktflecke 801, 804 und 807 vom Beschleunigungsdetektionselement zur Keramikplatte 109.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf die 7 eine fünfte Montagekonstruktion eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsdetektionselements 102 beschrieben. Das in der 7 dargestellte Beschleunigungsdetektionselement 102 ist dasselbe wie das in der 2 dargestellte. Das Beschleunigungsdetektionselement wird durch Siliconkautschuk 906 mit einem Keramikträger 907 verbunden. Leitermuster oder Kontaktflecke 904 und 908, die auf dem Keramikträger 907 vorhanden sind, werden durch Lötstellen 905 und 909 mit dem Keramikträger 109 verbunden. So wird das Beschleunigungsdetektionselement 102 am Keramikträger 109 befestigt. Die Verdrahtung vom Beschleunigungsdetektionselement 102 zum Keramikträger 109 erfolgt durch Drahtbonden von Golddrähten 901, 902 und 903 von Kontaktflecken 203, 205 und 207 zum Leitermuster 904 sowie durch die Lötstelle 905 vom Leitermuster 904 zum Keramikträger 109.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf die 8 eine sechste Montagekonstruktion eines erfindungsgemäßen Beschleunigungsdetektionselements 102 beschrieben. Das in der 8 dargestellte Beschleunigungsdetektionselement 102 ist dasselbe wie das in der 2 dargestellte. Bei dieser Montagekonstruktion ist ein vertikales Element 1005 auf einem Keramikträger 109 vorhanden, und das Beschleunigungsdetektionselement 102 ist durch Siliconkautschuk 1004 an das vertikale Element 1005 angeklebt. Golddrähte 1001, 1002 und 1003 sind zwischen den Kontaktflecken 203, 205 und 207 sowie dem vertikalen Element 1005 angeschlossen. Gemäß dieser Montagekonstruktion verbessert das Anbringen des auf dem Keramikträger 109 stehenden vertikalen Elements 1005 die vertikale Montagegenauigkeit des Beschleunigungsdetektionselements 102.
  • Nun wird ein Beschleunigungssensor gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die 9 beschrieben. Die 9 ist eine Schnittansicht des Beschleunigungssensors gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform, der so ausgebildet ist, dass er die Beschleunigung in der Richtung des Pfeils A erfasst. Dieser Beschleunigungssensor verfügt über einen Keramikträger 1101, ein auf diesem montiertes Beschleunigungsdetektionselement 1103 zum Erfassen einer Beschleunigung mit einer Richtung rechtwinklig zum Keramikträger 1101, eine auf dem Keramikträger 1101 montierte elektronische Schaltung 1104 zum Umwandeln von vom Beschleunigungsdetektionselement 1103 ausgegebener Information in ein der Beschleunigung entsprechendes Signal sowie eine Keramikabdeckung 1102, die mit dem Keramikträger 1101 verbunden ist, um dadurch das Beschleunigungsdetektionselement 1103 und die elektronische Schaltung 1104 luftdicht einzuschließen.
  • Die elektrische Verbindung zwischen der elektronischen Schaltung 1104 und dem Äußeren des Beschleunigungssensors erfolgt durch ein Leitermuster oder einen Kontaktfleck 1105, der auf das Keramikträger 1101 aufgedruckt ist. Das Leitermuster 1105 und ein anderes Leitermuster oder ein Kontaktfleck 1107, der auf der Keramikabdeckung 1102 vorhanden ist, werden ebenfalls als Lötflecke zum Befestigen des Keramikträgers 1101 und der Keramikabdeckung 1102 an einer Leiterplatte 108 verwendet. D. h., dass, wie es in der 9 dargestellt ist, die Lötstellen 1106 und 1108 zwischen dem Leitermuster 1105 und der Leiterplatte 108 bzw. zwischen dem Leitermuster 1107 und der Leiterplatte 108 vorhanden sind.
  • Nun wird ein Dreiachsen-Beschleunigungssensor, der eine Ausführungsform der Erfindung enthält, unter Bezugnahme auf die 10 beschrieben. Dieser Dreiachsen-Beschleunigungssensor verfügt über einen Keramikträger 1604 und drei Beschleunigungsdetektionselemente 1601, 1602 und 1603, die so auf dem Keramikträger 1604 montiert sind, dass die durch die Be schleunigungsdetektionselemente 1601, 1602 und 1603 zu erfassenden Beschleunigungsrichtungen rechtwinklig zueinander zeigen (wie durch Pfeile D, B bzw. C dargestellt).
  • Obwohl es in der 10 nicht dargestellt ist, kann der Dreiachsensensor auch eine elektronische Schaltung und eine keramische Abdeckung enthalten. Die Beschleunigungsdetektionselemente 1601, 1602 und 1603 erfassen die Beschleunigung in zueinander rechtwinkligen Richtungen, und die elektronische Schaltung wandelt von den Beschleunigungsdetektionselementen 1601, 1602 und 1603 ausgegebene Information in elektrische Signale um, um dadurch die Beschleunigung in einer der drei orthogonalen Richtungen zu erfassen.
  • Nun wird ein den erfindungsgemäßen Beschleunigungssensor verwendendes Airbagsystem unter Bezugnahme auf die 11 und 12 beschrieben. Die 11 ist eine Schnittansicht einer Steuereinheit des Airbagsystems, wobei die Beschleunigungsrichtung durch einen Pfeil A dargestellt ist, und die 12 ist ein Blockdiagramm des Airbag-Steuersystems.
  • Das Airbagsystem besteht aus einem Gehäuse 1701 und einer in diesem montierten Leiterplatte 1704. Auf der Leiterplatte 1704 sind ein Beschleunigungssensor 1703 und eine elektronische Schaltung 1702 montiert. Das Airbagsystem ist dadurch gekennzeichnet, dass der Beschleunigungssensor 1703 durch Oberflächenmontage auf der Leiterplatte 1704 angebracht ist.
  • Ferner ist der Beschleunigungssensor 1703 an einer Position befestigt, die nahe bei einer Befestigungsposition der am Gehäuse 1701 befestigten Leiterplatte 1704 liegt, um jeglichen Einfluss durch Resonanz der Leiterplatte 1704 zu verringern.
  • Gemäß der 12 besteht das Airbagsystem aus einem Be schleunigungssensor 1801 zum Erfassen einer Beschleunigung oder einer Fahrzeugkollision, einen Mikrocomputer 1802 zum Berechnen der Stärke der Kollision aus dem Ausgangssignal des Beschleunigungssensors 1801 und zum Bestimmen, ob ein Airbag aufgeblasen werden sollte oder nicht, und einer Treiberschaltung 1803 zum Verstärken des Ausgangssignals des Mikrocomputers 1802, um den Airbag anzusteuern (Ausgangssignal E).
  • Obwohl die Beschleunigungssensoren, wie sie hier unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben sind, vom Typ mit elektrostatischer Kapazität sind, können bei der Erfindung, wo es zweckdienlich ist, beliebige andere Typen von Beschleunigungssensoren verwendet werden, wie solche vom Dehnungsmesstyp oder vom piezoelektrischen Typ.
  • Während die Erfindung durch spezielle Ausführungsformen veranschaulicht wurde, ist sie nicht auf diese beschränkt.

Claims (12)

  1. Beschleunigungssensor mit einem Beschleunigungsdetektionselement (102, 1103, 1601, 1602, 1603); einer Signalverarbeitungsvorrichtung (103), die so ausgebildet ist, dass sie eine elektrische Informationsausgabe des Elements in ein elektrisches Signal, das der durch das Element detektierten Beschleunigung entspricht, konvertiert; einer Umgebevorrichtung, die aus einer Abdeckung (101, 1102) und einem Träger (109, 1101) aufgebaut ist und das Beschleunigungsdetektionselement und die Signalverarbeitungsvorrichtung umgibt, wobei das Beschleunigungsdetektionselement und die Signalverarbeitungsvorrichtung auf dem Träger befestigt sind; dadurch gekennzeichnet, dass ein auf dem Träger angeordneter Lötfleck (104, 106, 1105, 1107) elektrisch mit der Signalverarbeitungsvorrichtung verbunden ist; wobei die Umgebevorrichtung mit dem Lötfleck auf einer Leiterplatte (108) befestigt ist, der mit der Leiterplatte durch Lot (105, 107, 1106, 1108) in Verbindung steht und dadurch fixiert und elektrisch mit der Leiterplatte verbunden ist, und wobei die Leiterplatte so angeordnet ist, dass eine Messrichtung im wesentlichen parallel zu der Leiterplatte verläuft, und die Signalverarbeitungsvorrichtung (103) mit der Leiterplatte über den Lötfleck (104, 106, 1105, 1107) in elektrischer Verbindung steht.
  2. Sensor nach Anspruch 1, wobei das Beschleunigungsdetektionselement (102, 1103, 1601, 1602, 1603) eine bewegliche Elektrode (202, 801) aufweist, die neben einer festliegenden Elektrode (201, 209, 811, 812) angebracht ist, so dass eine Bewegung des Sensors in Messrichtung bewirkt, dass sich die bewegliche Elektrode relativ zu der festliegenden Elektrode bewegt, wobei das Beschleuni gungsdetektionselement in einer senkrecht zu der Bewegungsrichtung verlaufenden Richtung entgegengesetzte Enden (110, 111) aufweist.
  3. Sensor nach Anspruch 2, wobei die bewegliche Elektrode von einem flexiblen Trägerstab (210, 809) getragen wird, der von der beweglichen Elektrode zum anderen (111) der gegenüberliegenden Enden verläuft.
  4. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Beschleunigungsdetektionselement durch ein elastomeres Klebmittel (504, 813, 906, 104) an dem Träger angebracht ist.
  5. Sensor nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei elektrische Verbindungsvorrichtungen die Signalverarbeitungsvorrichtung mit der beweglichen Elektrode und der festliegenden Elektrode verbinden.
  6. Sensor nach Anspruch 5, wobei die elektrischen Verbindungsvorrichtungen elektrische Bahnen auf dem Träger beinhalten.
  7. Sensor nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Beschleunigungsdetektionselement ein erstes (804) und ein zweites (801, 807) elektrisches Verbindungsendstück jeweils zur elektrischen Verbindung mit der beweglichen Elektrode bzw. der festliegenden Elektrode aufweist, und die Endstücke mit einem Lot direkt mit dem Lötfleck auf dem Träger verbunden sind.
  8. Sensor nach einem der Ansprüche 2 bis 7, wobei die bewegliche Elektrode eine erste Halbleiterschicht (805) aufweist, die zwischen einer ersten (803) und einer zweiten (806) Isolierschicht angeordnet ist, wobei jeweils eine festliegende Elektrode eines Paars festliegender Elektroden (811, 812) auf einer Fläche der ersten bzw. zweiten Isolierschicht neben der beweglichen Elektrode vorgesehen ist, und der Beschleunigungssensor weiterhin eine zweite (802) und dritte (808) Halbleiterschicht aufweist, die auf den von der beweglichen Elektrode entfernten Flächen der ersten bzw. zweiten Isolierschicht, angebracht sind, wobei jede der festliegenden Elektroden mit einer unterschiedlichen der zweiten und dritten Halbleiterschicht verbunden ist.
  9. Steuereinheit mit einem Beschleunigungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
  10. Airbagsystem mit einem Beschleunigungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8.
  11. Beschleunigungssensor oder Steuereinheit oder Airbagsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Abdeckung aus Keramik gebildet ist, und das Beschleunigungsdetektionselement und die Signalverarbeitungsvorrichtung hermetisch in der Umgebevorrichtung eingeschlossen sind.
  12. Beschleunigungssensor oder Steuereinheit oder Airbagsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit mehreren Beschleunigungsdetektionselementen, die auf der Platte so befestigt sind, dass ihre Detektionsrichtungen im rechten Winkel zueinander stehen.
DE69432396T 1993-12-27 1994-12-21 Beschleunigungsmessaufnehmer Expired - Fee Related DE69432396T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33104093 1993-12-27
JP33104093 1993-12-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69432396D1 DE69432396D1 (de) 2003-05-08
DE69432396T2 true DE69432396T2 (de) 2004-03-04

Family

ID=18239167

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69432396T Expired - Fee Related DE69432396T2 (de) 1993-12-27 1994-12-21 Beschleunigungsmessaufnehmer

Country Status (4)

Country Link
US (5) US6305223B1 (de)
EP (1) EP0660119B1 (de)
KR (1) KR100349210B1 (de)
DE (1) DE69432396T2 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004022831A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004022822A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004022808A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004022830A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5554806A (en) * 1994-06-15 1996-09-10 Nippondenso Co., Ltd. Physical-quantity detecting device
DE19800802A1 (de) * 1998-01-13 1999-07-15 Cit Alcatel Steckverbinder mit elektronischem Bauelement
WO2000055648A1 (en) * 1999-03-17 2000-09-21 Input/Output, Inc. Hydrophone assembly
US7152473B1 (en) 2000-03-17 2006-12-26 Input/Output, Inc. Integrated and multi-axis sensor assembly and packaging
US8629005B1 (en) 2000-11-28 2014-01-14 Knowles Electronics, Llc Methods of manufacture of bottom port surface mount silicon condenser microphone packages
US7434305B2 (en) 2000-11-28 2008-10-14 Knowles Electronics, Llc. Method of manufacturing a microphone
JP2002357619A (ja) * 2001-06-01 2002-12-13 Mitsubishi Electric Corp 加速度センサ及びその製造方法
CA2366030A1 (en) * 2001-12-20 2003-06-20 Global E Bang Inc. Profiling system
US20070121423A1 (en) * 2001-12-20 2007-05-31 Daniel Rioux Head-mounted display apparatus for profiling system
JP2005106584A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Mitsubishi Electric Corp 加速度センサユニット
US6946955B2 (en) * 2004-01-21 2005-09-20 Golder Thomas J Initial movement indicator system and method for a wheeled ground vehicle
JP2006208360A (ja) * 2004-12-27 2006-08-10 Tokyo Keiso Co Ltd 伝達時間計測装置
US7373835B2 (en) * 2005-01-31 2008-05-20 Sanyo Electric Industries, Ltd. Semiconductor sensor
JP2006214898A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及び電子機器
JP2007033079A (ja) * 2005-07-22 2007-02-08 Advics:Kk マルチチップセンサ
JP4740678B2 (ja) * 2005-07-27 2011-08-03 Ｏｋｉセミコンダクタ株式会社 半導体装置
US7671478B2 (en) * 2005-09-02 2010-03-02 Honeywell International Inc. Low height vertical sensor packaging
WO2009031285A1 (ja) 2007-09-03 2009-03-12 Panasonic Corporation 慣性力センサ
US8421214B2 (en) * 2007-10-10 2013-04-16 Vishay General Semiconductor Llc Semiconductor device and method for manufacturing a semiconductor device
US8191428B2 (en) * 2007-12-28 2012-06-05 Ypoint Capital, Inc. Thermal effect and off-center load compensation of a sensor
DE102008042366A1 (de) * 2008-09-25 2010-04-01 Robert Bosch Gmbh Sensor und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
FR2938974B1 (fr) * 2008-11-25 2011-01-21 Tronic S Microsystems Composant microelectromecanique et procede de fabrication
CN101634662B (zh) * 2009-08-07 2011-01-26 北京大学 微加速度计及其制备方法
JP5527015B2 (ja) * 2010-05-26 2014-06-18 セイコーエプソン株式会社 素子構造体、慣性センサー、電子機器
US9075078B2 (en) * 2010-09-28 2015-07-07 Infineon Technologies Ag Microelectromechanical accelerometer with wireless transmission capabilities
US8991253B2 (en) 2010-09-28 2015-03-31 Infineon Technologies Ag Microelectromechanical system
US20120085170A1 (en) * 2010-10-07 2012-04-12 Letterneau James C Shock Resistant Mounting for High G Shock Accelerometer
US8919199B2 (en) * 2010-12-01 2014-12-30 Analog Devices, Inc. Apparatus and method for anchoring electrodes in MEMS devices
US8387457B2 (en) * 2011-01-11 2013-03-05 Delphi Technologies, Inc. Collision sensor housing and module
US8987840B2 (en) * 2011-02-01 2015-03-24 Honeywell International Inc. Edge-mounted sensor
US8375793B2 (en) * 2011-02-10 2013-02-19 Dytran Instruments, Inc. Accelerometer for high temperature applications
US9374643B2 (en) 2011-11-04 2016-06-21 Knowles Electronics, Llc Embedded dielectric as a barrier in an acoustic device and method of manufacture
US8991251B1 (en) * 2011-11-21 2015-03-31 Western Digital (Fremont), Llc Hybrid capacitive and piezoelectric motion sensing transducer
US8683870B2 (en) * 2012-03-15 2014-04-01 Meggitt (Orange County), Inc. Sensor device with stepped pads for connectivity
US9078063B2 (en) 2012-08-10 2015-07-07 Knowles Electronics, Llc Microphone assembly with barrier to prevent contaminant infiltration
KR101240918B1 (ko) * 2012-09-06 2013-03-11 주식회사 티엘아이 보호캡에 플레이트 전극이 마련되는 관성 센서 패키지 및 그의 제작방법
JP2014092531A (ja) * 2012-11-07 2014-05-19 Seiko Epson Corp 物理量検出装置、電子機器および移動体
JP2014126495A (ja) 2012-12-27 2014-07-07 Seiko Epson Corp センサー、電子機器、および移動体
US9837935B2 (en) * 2013-10-29 2017-12-05 Honeywell International Inc. All-silicon electrode capacitive transducer on a glass substrate
US9709595B2 (en) 2013-11-14 2017-07-18 Analog Devices, Inc. Method and apparatus for detecting linear and rotational movement
US9599471B2 (en) 2013-11-14 2017-03-21 Analog Devices, Inc. Dual use of a ring structure as gyroscope and accelerometer
US10746548B2 (en) 2014-11-04 2020-08-18 Analog Devices, Inc. Ring gyroscope structural features
US9794661B2 (en) 2015-08-07 2017-10-17 Knowles Electronics, Llc Ingress protection for reducing particle infiltration into acoustic chamber of a MEMS microphone package
JP2018190580A (ja) * 2017-05-01 2018-11-29 ホシデン株式会社 近接センサ
US11656077B2 (en) 2019-01-31 2023-05-23 Analog Devices, Inc. Pseudo-extensional mode MEMS ring gyroscope

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2720484A1 (de) * 1976-05-06 1977-11-24 Alert O Drive Pty Ltd Beschleunigungsempfindliche einrichtung
DE2655604C2 (de) * 1976-12-08 1984-11-29 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verzögerungsaufnehmer zur Auslösung von Insassenschutzvorrichtungen im Kraftfahrzeug
JPS607740A (ja) * 1983-06-28 1985-01-16 Narumi China Corp 半導体装置
US4679434A (en) * 1985-07-25 1987-07-14 Litton Systems, Inc. Integrated force balanced accelerometer
US4835067A (en) 1988-01-21 1989-05-30 Electro Alloys Corp. Corrosion resistant electroplating process, and plated article
JPH0623782B2 (ja) * 1988-11-15 1994-03-30 株式会社日立製作所 静電容量式加速度センサ及び半導体圧力センサ
JPH0311653A (ja) * 1989-06-07 1991-01-18 Nec Yamagata Ltd 半導体装置
EP0459723B1 (de) * 1990-05-30 1996-01-17 Hitachi, Ltd. Halbleiterbeschleunigungsmesser und Kraftfahrzeugsteuerungssystem mit einem solchen
US5253526A (en) * 1990-05-30 1993-10-19 Copal Company Limited Capacitive acceleration sensor with free diaphragm
JP2772739B2 (ja) 1991-06-20 1998-07-09 いわき電子株式会社 リードレスパッケージの外部電極構造及びその製造方法
US5239871A (en) * 1990-12-17 1993-08-31 Texas Instruments Incorporated Capacitive accelerometer
US5241133A (en) * 1990-12-21 1993-08-31 Motorola, Inc. Leadless pad array chip carrier
JPH04268725A (ja) * 1991-02-25 1992-09-24 Canon Inc 力学量検出センサおよびその製造方法
JPH04312006A (ja) 1991-04-11 1992-11-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd チップ型表面波デバイスとその製造方法
US5233873A (en) * 1991-07-03 1993-08-10 Texas Instruments Incorporated Accelerometer
US5233871A (en) * 1991-11-01 1993-08-10 Delco Electronics Corporation Hybrid accelerometer assembly
US5345823A (en) * 1991-11-12 1994-09-13 Texas Instruments Incorporated Accelerometer
JPH05164775A (ja) * 1991-12-17 1993-06-29 Atsugi Unisia Corp 加速度センサ
JP2720697B2 (ja) 1992-04-14 1998-03-04 株式会社村田製作所 加速度センサ
US5212345A (en) * 1992-01-24 1993-05-18 Pulse Engineering, Inc. Self leaded surface mounted coplanar header
DE9202533U1 (de) * 1992-02-27 1992-04-23 Mannesmann Kienzle Gmbh, 7730 Villingen-Schwenningen, De
FR2689642A1 (fr) * 1992-04-03 1993-10-08 Commissariat Energie Atomique Capteur d'accélération du type capacitif omnidirectionnel dans un plan principal.
JPH05333056A (ja) * 1992-05-27 1993-12-17 Hitachi Ltd 加速度センサ
JP2725952B2 (ja) * 1992-06-30 1998-03-11 三菱電機株式会社 半導体パワーモジュール
FR2710741B1 (fr) * 1993-09-30 1995-10-27 Commissariat Energie Atomique Capteur électronique destiné à la caractérisation de grandeurs physiques et procédé de réalisation d'un tel capteur.
US5503016A (en) * 1994-02-01 1996-04-02 Ic Sensors, Inc. Vertically mounted accelerometer chip
US5554806A (en) 1994-06-15 1996-09-10 Nippondenso Co., Ltd. Physical-quantity detecting device
US5747874A (en) 1994-09-20 1998-05-05 Fujitsu Limited Semiconductor device, base member for semiconductor device and semiconductor device unit
US5535626A (en) * 1994-12-21 1996-07-16 Breed Technologies, Inc. Sensor having direct-mounted sensing element
FR2734641B1 (fr) * 1995-05-24 1997-08-14 Sextant Avionique Accelerometre electromagnetique
JP3423855B2 (ja) * 1996-04-26 2003-07-07 株式会社デンソー 電子部品搭載用構造体および電子部品の実装方法
JP3576727B2 (ja) * 1996-12-10 2004-10-13 株式会社デンソー 表面実装型パッケージ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004022831A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004022822A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004022808A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug
DE102004022830A1 (de) * 2004-05-08 2005-12-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug

Also Published As

Publication number Publication date
KR950019738A (ko) 1995-07-24
US6561030B2 (en) 2003-05-13
EP0660119A1 (de) 1995-06-28
US6463804B2 (en) 2002-10-15
US6566742B1 (en) 2003-05-20
US6388887B1 (en) 2002-05-14
US20020029637A1 (en) 2002-03-14
EP0660119B1 (de) 2003-04-02
DE69432396D1 (de) 2003-05-08
US20010023615A1 (en) 2001-09-27
KR100349210B1 (ko) 2002-12-26
US6305223B1 (en) 2001-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69432396T2 (de) Beschleunigungsmessaufnehmer
DE60034451T2 (de) Mehrachsige integrierte sensorschaltung und sensorpackung
DE3631647C2 (de) Anordnung zur Aufnahme von Biegungen und Deformationen in einem mechanischem Teil oder einer Struktur
DE4242789A1 (de)
DE10296983B4 (de) Zusammengesetzter Sensor für das Detektieren einer Winkelgeschwindigkeit und einer Beschleunigung
DE4135369C2 (de)
DE102008017156A1 (de) Mikromechanischer Beschleunigungssensor
DE19637079A1 (de) Anordnung zur Beschleunigungsmessung
EP0325674A1 (de) Wandlerelement zur Messung einer Drehbeschleunigung
DE4011910C2 (de)
DE60226240T2 (de) Beschleunigungsaufnehmer
EP0710843B1 (de) Kapazitiver Beschleunigungssensor
DE112010003992T5 (de) Piezoelektrischer beschleunigungssensor
DE4440078A1 (de) Piezoelektrischer Beschleunigungsaufnehmer
EP0557917A1 (de) Beschleunigungsgeber
DE19747001C2 (de) Dehnungsmeßstreifen sowie ein mit diesen Dehnungsmeßstreifen hergestellter mechanisch-elektrischer Wandler
DE19903585A1 (de) Halbleitersensor und Halbleitersensorchip mit Gehäuse
DE19738358A1 (de) Beschleunigungssensor
DE4341662C2 (de) Beschleunigungssensor
DE3742385A1 (de) Beschleunigungsempfindliches elektronisches bauelement
DE60221103T2 (de) Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel mit wenigstens einer empfindlichen Achse in der Sensorebene
EP1373847A1 (de) Kapazitives mikrosystem zur erfassung mechanischer verformungen, verwendung und betriebsverfahren
DE3742673A1 (de) Mikro-spannungssensor
DE112021003405T5 (de) Trägheitskraftsensor
DE3740688A1 (de) Mikromechanischer beschleunigungssensor mit hoher achsenselektivitaet

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee