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TECHNISCHES
GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen elektrisch leitenden Kontakteinheitsaufbau,
und ein Verfahren zu seiner Herstellung, der zur Verwendung in Kontaktsonden
und Sondenkarten zur Prüfung
von Halbleitervorrichtungen und Wafern, Steckstellen in Formen wie
LGA (Land Grid Array), BGA (Ball Grid Array), CSP (Chip Side Package)
und blanken Chips, und Steckverbindern geeignet ist.
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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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Herkömmlich wurden
in Kontaktsonden zur Durchführung
von elektrischen Prüfungen
an elektrisch leitenden Mustern von Platinen und Teilen von elektronischen
Komponenten (Unterbrechung/Kurzschluss-Prüfungen, Umgebungsprüfungen und
Einbrennprüfungen),
Steckstellen (einschließlich
Paketen) für
Halbleitervorrichtungen (LGA, BGA, CSP und blanke Chips), und Steckverbindern
verschiedenste Formen von elektrisch leitenden Kontakteinheiten verwendet.
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Wenn
eine derartige Steckstelle für
Halbleitervorrichtungen verwendet wird, ist es nötig, den Umstand in Betracht
zu ziehen, dass die Signalfrequenzen für Halbleitervorrichtungen in
den letzten Jahren deutlich zugenommen haben und so hoch wie Hunderte
MHz sein können.
Eine Steckstelle für Halbleitervorrichtungen,
die bei einem derartigen hohen Frequenzpegel tätig sind, muss elektrisch leitende
Kontakteinheiten mit niedriger Induktivität und geringem Widerstand verwenden
und hinsichtlich des Anbringungsraums von einer höchst kompakten
Gestaltung sein.
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In
JP-A-10 019 926 ist ein elektrisch leitender Kontakteinheitsaufbau
nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 beschrieben. Ein Verfahren zur
Herstellung eines elektrisch leiten den Kontakteinheitsaufbaus nach
dem Oberbegriff von Anspruch 6 ist ebenfalls aus JP-A-10 019 926
bekannt.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, einen wie in Anspruch 1
und im unabhängigen
Verfahrensanspruch 6 beanspruchten elektrisch leitenden Kontakteinheitsaufbau
bereitzustellen, der eine niedrige elektrische Induktivität und einen
geringen Widerstand aufweist, um die Erfordernisse beim Hochfrequenzbetrieb
zu erfüllen,
und eine höchst kompakte
Gestaltung zeigt.
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Somit
wird ein geringer elektrischer Widerstand bewerkstelligt, da im
Gegensatz zur Anordnung, die ein elektrisch leitendes Nadelelement
und eine elektrisch leitende Spiralfeder verwendet, keine Teile
vorhanden sind, die unterschiedliche Bestandteile verbinden, und
kann eine niedrige elektrische Induktivität bewerkstelligt werden, da
die Spiralfeder eng gewickelt und mit einem elektrisch gut leitenden Material
oberflächenbearbeitet
ist, wodurch entlang der axialen Richtung des eng gewickelten Abschnitts der
Spiralfeder ein gerader elektrischer Weg bereitgestellt wird. Da
die Elektrodenstiftabschnitte durch die Zusammenarbeit zwischen
den verjüngten
Abschnitten der Durchgangsöffnung
und den verjüngten Elektrodenstiftabschnitten
zurückgehalten
und positioniert werden, kann die axiale Länge auf ein Mindestmaß verringert
werden und wird die Kontakteinheit im Gegensatz zur Anordnung, die
ein Nadelelement mit einer geraden Öffnung gleitfähig stützt, besser
für eine
kompakte Gestaltung geeignet gemacht.
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Vorzugsweise
umfasst der Abschnitt mit verringertem Durchmesser einen an jedem
axialen Ende der Durchgangsöffnung
bereitgestellten verjüngten Öffnungsabschnitt,
und ist das Paar von Elektrodenstiftabschnitten so in der Form verjüngt und
eng gewickelt, dass es durch die verjüngten Öffnungsabschnitte an einem
Lösen gehindert
wird. Somit kann das Zurückhalten
und Positionieren der beiden Elektrodenstiftab schnitte der elektrisch
leitenden Kontakteinheit, die zwei bewegliche Enden aufweist, bewerkstelligt
werden, und können
die oben erwähnten Vorteile
erhalten werden.
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Nach
einer bevorzugten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung weist der Abschnitt mit verringertem Durchmesser
einen kleineren Innendurchmesser als den Außendurchmesser des Spiralfederabschnitts
auf, und ist er an jedem axialen Ende der Durchgangsöffnung bereitgestellt,
und weist der andere des Paars von Elektrodenstiftabschnitten eine
zylinderförmige
Form auf, die einen kleineren Durchmesser als der Abschnitt mit
verringertem Durchmesser aufweist. Daher kann der Elektrodenstiftabschnitt,
der eine zylinderförmige
Form aufweist, dann, wenn das zu kontaktierende Objekt eine konvexe
Oberfläche
aufweist, wie dies bei einer Lotperle der Fall ist, mit einer bestimmten
Führungstätigkeit
an das zu kontaktierende Objekt angelegt werden, und kann ein stabiler
Kontakt mit einem Objekt wie etwa einer Lotperle erzielt werden.
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Wenn
der Spiralfederabschnitt mit einer gleichmäßigen Steigung gewickelt ist,
kann er durch einen einfachen Wicklungsvorgang gebildet werden, da
die Kontakteinheit aus eng gewickelten Abschnitten und einem Abschnitt
mit gleichmäßiger Steigung besteht.
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Wenn
die Elektrodenstiftabschnitte jeweils mit einer Vorspannung eng
gewickelt sind, kann der Kontakt zwischen den benachbarten Wicklungen
des Spulendrahts verbessert werden.
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Wenn
die Oberflächenbearbeitung
nach der Bildung des Spiralfederabschnitts und der Elektrodenstiftabschnitte
aus einem Drahtelement durchgeführt
wird, kann der Herstellungsvorgang vereinfacht werden, und kann
der Kontaktwiderstand der eng gewickelten Abschnitte auf ein Mindestmaß verringert werden.
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Wenn
die Oberflächenbearbeitung
sowohl vor als auch nach der Bildung des Spiralfederabschnitts und
der Elektrodenstiftabschnitte aus einem Drahtelement durchgeführt wird,
kann der Kontaktwiderstand der eng gewickelten Abschnitte auf ein
Mindestmaß verringert
werden.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine vergrößerte geschnittene
Seitenansicht eines wesentlichen Teils einer Steckstelle für Halbleitervorrichtungen,
die die vorliegende Erfindung verkörpert;
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2(a) ist eine bruchstückhafte perspektivische Ansicht
eines wesentlichen Teils, die den Spulendraht zeigt, der goldbeschichtet
ist;
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2(b) ist eine 2(a) ähnliche
Ansicht, die den Spulendraht zeigt, nachdem er eng gewickelt wurde;
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2(c) ist eine 2(b) ähnliche
Ansicht, die den Spulendraht zeigt, nachdem er erneut goldbeschichtet
wurde;
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3 ist
eine 1 ähnliche
Ansicht, die die Steckstelle für
Halbleitervorrichtungen, welche die vorliegende Erfindung verkörpert, während der
Verwendung zeigt;
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4 ist
eine 1 ähnliche
Ansicht, die eine zweite Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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5 ist
eine 3 ähnliche
Ansicht, die die zweite Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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6 ist
eine Ansicht, die eine dritte Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung zeigt;
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7(a) ist eine bruchstückhafte perspektivische Ansicht
eines wesentlichen Teils eines Spulendrahts im Anschluss an einen
Wicklungsvorgang; und
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7(b) ist eine ähnliche
Ansicht im Anschluss an einen Goldbeschichtungsvorgang.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Nun
wird die vorliegende Erfindung im Folgenden in Form von konkreten
Ausführungsformen unter
Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen ausführlicher beschrieben.
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1 ist
eine vergrößerte geschnittene
Seitenansicht eines wesentlichen Teils einer Steckstelle für Halbleitervorrichtungen,
die die vorliegende Erfindung verkörpert. Die veranschaulichte
Steckstelle umfasst ein isolierendes Trägerelement, das zum Beispiel
aus einem Paar von isolierenden Platten 1 besteht, die
aus einem Kunststoffmaterial hergestellt sind und übereinander
geschichtet sind. Das Trägerelement,
das die beiden isolierenden Platten 1 einstückig kombiniert,
ist mit einer Durchgangsöffnung 2 versehen,
die sich entlang der Dicke der isolierenden Platten 1 erstreckt,
und eine elektrisch leitende Kontakteinheit 3 in der Form
einer Spiralfeder ist gleichachsig in der Durchgangsöffnung 2 aufgenommen.
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Die
Durchgangsöffnung 2 umfasst
einen linearen und geraden Öffnungsabschnitt,
der einen gleichmäßigen Durchmesser
aufweist und sich in einem axialen Zwischenabschnitt über eine
bestimmte axiale Länge
erstreckt, und verjüngte Öffnungsabschnitte 2a,
die mit jedem axialen Ende des Zwischenabschnitts der Durchgangsöffnung 2 verbunden
sind und jeweils ein offenes äußeres Ende
aufweisen. Jeder verjüngte Öffnungsabschnitt 2a öffnet sich über einen
geraden kleinen Öffnungsabschnitt 2b,
der einen gleichmäßigen Durchmesser und
eine vorgeschriebene Länge
aufweist, zur Außenseite
hin.
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Die
elektrisch leitende Kontakteinheit in der Form einer Spiralfeder
ist durch Wickeln eines aus einem Federmaterial hergestellten Spulendrahts
zu einer Spule gebildet und umfasst einen Spiralfederabschnitt 4,
der mit einem bestimmten radialen Spiel im linearen und geraden
Abschnitt der Durchgangsöffnung 2 aufgenommen
ist und mit einer vorgeschriebenen Steigung gewickelt ist, und ein
Paar von Elektrodenstiftabschnitten 5a und 5b,
die jeweils aus einem eng gewickelten Abschnitt bestehen, der mehrere
Wicklungen beinhaltet, neben dem entsprechenden axialen Ende des
Spiralfederabschnitts 4 bereitgestellt ist, und einen gleichen
Durchmesser wie der Spiralfederabschnitt 4 und einen verjüngten Abschnitt,
der sich zum Spulenende hin erstreckt, aufweist. Der verjüngte Abschnitt
eines jeden der Elektrodenstiftabschnitte 5a oder 5b weist
in Bezug auf die verjüngten Öffnungsabschnitte 2a der
Durchgangsöffnung 2 eine
komplementäre
Form auf, und das spitze Ende beinhaltet einen Abschnitt, der einen kleineren
Durchmesser als der gerade kleine Öffnungsabschnitt 2b aufweist,
damit das spitze Ende aus dem geraden kleinen Lochabschnitt 2b vorspringen
kann.
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Die
elektrisch leitende Kontakteinheit 3 in der Form einer
Spiralfeder ist in der Durchgangsöffnung 2 aufgenommen,
wobei der Spiralfederabschnitt 4 unter Kompression angeordnet
ist. Zum Beispiel werden die beiden isolierenden Platten 1 übereinander angeordnet,
während
die Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b in den
entsprechenden Teilen der Durchgangsöffnung 2, die in den
isolierenden Platten 1 gebildet sind, aufgenommen sind,
so dass die elektrisch leitende Kontakteinheit 3 in der
Form einer Spiralfeder in den isolierenden Platten 1 zusammengesetzt werden
kann, während
der Spiralfederabschnitt 4 unter eine Vorspannung gesetzt
wird. Es ist auch möglich,
die elektrisch leitende Kontakteinheit 3 ohne Zusammendrücken des
Spiralfederabschnitts 4 in der Durchgangsöffnung 2 anzuordnen.
Dies vereinfacht die Tätigkeit
des Zusammensetzens.
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Da
die Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b verjüngt sind,
werden die Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b infolge
der Führungstätigkeit
der verjüngten Öffnungsabschnitte 2a für die Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b einfach
durch leichtes Einsetzen ihrer freien Enden in die Öffnungen
der entsprechenden Abschnitte der Durchgangsöffnung 2 der isolierenden
Platten 1 gut sitzend in den verjüngten Öffnungsabschnitten 2a aufgenommen,
wenn die beiden isolierenden Platten 1 übereinander angeordnet werden.
Daher wird die Tätigkeit
des Zusammensetzens im Gegensatz zum Stand der Technik, der erforderte,
dass jeder nadelförmige
Elektrodenstift in eine entsprechende Öffnung eingesetzt wird, wesentlich vereinfacht.
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Wenn
die beiden isolierenden Platten 1 durch Verwendung von
Gewindebolzen oder dergleichen in einen engen Kontakt miteinander
zusammengesetzt werden, schiebt die elastische Kraft des Spiralfederabschnitts 4 die
verjüngten
Abschnitte der Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b gegen
die verjüngten
Flächen
der entsprechenden verjüngten Öffnungsabschnitte 2a,
die zu den verjüngten
Abschnitten der Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b komplementär sind.
Infolge des Eingriffs zwischen den einander gegenüberstehenden
verjüngten
Flächen
kann die seitliche Verschiebung der freien Enden der Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b vorteilhaft
auf ein Mindestmaß verringert
werden. Wenn mehrere derartige elektrisch leitende Kontakteinheiten
in einer Matrix angeordnet sind, wie dies bei einer Steckstelle der
Fall ist, kann das vorspringende Ende jedes Elektrodenstiftabschnitts 5a oder 5b während der
Tätigkeit
des Zusammensetzens daher ohne jegliche Anstrengung mit einer hohen
Genauigkeit in einem ebenen Koordinatensystem angeordnet werden.
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Somit
kann jeder Elektrodenstiftabschnitt 5a oder 5b der
elektrisch leitenden Kontakteinheit 3 in der Form einer
Spiralfeder, die in der Durchgangsöffnung 2 aufgenommen
ist, in einem Ruhezustand um eine vorgeschriebene Länge aus
der Durchgangsöffnung 2 vorspringen.
Wenn die Steckstelle in Verwendung steht, sind die Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b mit
dem Schaltkreismuster 6a der Platine 6 und einer
Klemme 7a einer Halbleitervorrichtung, die zum Beispiel
aus einer Lotperle einer BGA 7 bestehen kann, in Kontakt
gebracht.
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Durch
das Ausüben
einer Vorspannung auf die elektrisch leitende Kontakteinheit 3 in
der Form einer Spiralfeder kann die Schwankung in der Belastung
infolge der Schwankung in der Ablenkung jeder elektrisch leitenden
Kontakteinheit oder der Schwankung in der Höhe des zu prüfenden Objekts
(Schaltkreismuster 6a oder Klemme 7a) vorteilhaft
auf ein Mindestmaß verringert
werden.
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2 zeigt die Weise der Herstellung der elektrisch
leitenden Kontakteinheit 3 in der Form einer Spiralfeder
nach der vorliegenden Erfindung. Als erstes wird wie in 2(a) gezeigt ein Spulendraht 3a, der
wie früher
erwähnt
aus einem Federmaterial hergestellt ist, mit Gold, das ein elektrisch
gut leitendes Material ist, beschichtet und über der gesamten äußeren Oberfläche des
Spulendrahts 3a eine Goldbeschichtungsschicht 8a gebildet.
Das Beschichtungsmaterial ist nicht auf Gold beschränkt, sondern kann
auch aus Nickel oder Kupfer bestehen.
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Dann
wird der goldbeschichtete Spulendraht 3a einem Wicklungsvorgang
unterzogen und so ausgeformt, dass er wie in 1 veranschaulicht
den Spiralfederabschnitt 4 und die Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b aufweist.
Die Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b sind wie
in 2(b) veranschaulicht jeweils
eng gewickelt, und die benachbarten Wicklungen des Spulendrahts 3a im
eng gewickelten Abschnitt sind durch Ausüben einer Vorspannung auf den
Spulendraht 3a dazu gebracht, dass sie aneinander stoßen. Als
Ergebnis stehen die benachbarten Wicklungen des Spulendrahts 3a in
jedem der Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b,
die aus eng gewickelten Abschnitten bestehen, über die Goldbeschichtungsschicht 8a miteinander
in Kontakt, wobei zwischen ihnen eine bestimmte Vorspannungskraft wirkt.
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Unter
Bezugnahme auf 2(c) wird im Zustand, der in 2(b) veranschaulicht ist, ein zusätzlicher
Goldbeschichtungsvorgang auf den Aufbau angewendet und über der
gesamten äußeren Umfangsfläche jedes
eng gewickelten Abschnitts eine zweite Goldbeschichtungsschicht 8b gebildet.
Auch in diesem Fall ist das Beschichtungsmaterial nicht auf Gold beschränkt, sondern
kann es auch aus Nickel oder Kupfer bestehen. Als Ergebnis sind
die benachbarten Wicklungen des Spulendrahts 3a nicht nur
durch die mechanische Vorspannungskraft, sondern auch durch die
zweite Goldbeschichtungsschicht 8b, die in der axialen
Richtung der Spule fortlaufend ausgebildet ist, miteinander verbunden.
Dies stellt nicht nur einen engen Kontakt zwischen den benachbarten Wicklungen
des Spulendrahts 3a sicher, sondern verringert auch den
elektrischen Widerstand, der sich sonst rein auf den engen Kontakt
zwischen den benachbarten Wicklungen des Spulendrahts 3a verlässt.
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3 zeigt
eine Steckstelle, die eine Anzahl von elektrisch leitenden Kontakteinheiten 3 in
der Form einer Spiralfeder verwendet, welche den oben beschriebenen
Aufbau aufweisen. In diesem Fall kann der elektrische Widerstand
stabilisiert werden, da das elektrische Signal nur durch die elektrisch
leitende Kontakteinheit 3 in der Form einer Spiralfeder geleitet
wird und zwischen der Platine 6 und der BGA 7 kein
Verbindungsteil wie etwa eine Lotverbindung vorhanden ist. Der Spiralfederabschnitt 4 ist
nötig, um
die Kontakteinheit in einen elastischen Kontakt mit dem Objekt, auf
das zugegriffen werden soll, zu bringen, und die elektrische Induktivität H steht
durch die Beziehung H = AN2/L, wobei A ein
Koeffizient und L die Länge
der Feder ist, in einer Beziehung zur Anzahl der Wicklungen N des
Spulendrahts 3a. Daher ist ersichtlich, dass N so klein
als möglich
sein sollte, um die elektrische Induktivität auf ein Mindestmaß zu verringern;
und der Federabschnitt besteht vorzugsweise aus etwa zwei Wicklungen,
kann aber aus bis zu 10 Wicklungen bestehen.
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Da
die benachbarten Wicklungen des Spulendrahts in den Elektrodenstiftabschnitten 5a und 5b unter
einer Vorspannung in einem engen Kontakt miteinander stehen, und
der Aufbau völlig
durch die zweite Goldbeschichtungsschicht 5b bedeckt ist,
die sich fortlaufend in der axialen Richtung der Spule erstreckt,
erstreckt sich der Weg der elektrischen Leitung in jedem der Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b geradlinig
entlang der axialen Richtung der Spule. Daher fließt der elektrische
Strom nicht entlang eines spiralförmigen Wegs, auch wenn der
Spulendraht zu einer Spule gewickelt ist, und trägt dies zur Verringerung im
elektrischen Widerstand und in der Induktivität bei.
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Da
der gerade kleine Öffnungsabschnitt 2b das
Klemmenende des verjüngten Öffnungsabschnitts 2a der
Durchgangsöffnung 2 mit
der Außenseite
verbindet, werden die freien Enden der verjüngten Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b nicht
versehentlich durch das Klemmenende des verjüngten Öffnungsabschnitts 2a der
Durchgangsöffnung 2 gefangen
werden. Infolge der Form des geraden kleinen Öffnungsabschnitts 2b ist
für die Öffnung eine
bestimmte Dicke sichergestellt, und verhindert dies eine versehentliche
Beschädigung
an der Öffnung
durch den Kontakt mit der Klemme, die aus einer Lotperle besteht.
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4 zeigt
eine zweite Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Die Teile, die jenen der vorhergehenden
Ausfüh rungsform
entsprechen, sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und sind nicht
erneut beschrieben. In dieser Ausführungsform ist wie in der Zeichnung
ersichtlich ein Anschlag 11, der gleichermaßen aus
einem isolierenden Material hergestellt ist, über die obere Oberfläche der
oberen isolierenden Platte 1 geschichtet, und ist eine Öffnung 11a in
Positionierung mit der Durchgangsöffnung 2 durch den
Anschlag 11 geführt.
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Der
untere Elektrodenstiftabschnitt 5a in der Zeichnung ist
in einer ähnlichen
Weise wie in der vorhergehenden Ausführungsform verjüngt, doch
der obere Elektrodenstiftabschnitt 5c besteht aus einem zylinderförmigen Abschnitt,
der einen kleineren Durchmesser als der Spiralfederabschnitt 4 aufweist, und
ist in der Öffnung 11a aufgenommen.
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Die
Verwendungsweise dieser elektrisch leitenden Kontakteinheit 13 in
der Form einer Spiralfeder in einer Steckstelle ist in 5 veranschaulicht, die 3 ähnlich ist.
Wie früher
erwähnt
greift die untere Oberfläche
der BGA 7 mit der oberen Oberfläche des Anschlags 11 ein,
da der Anschlag 11 über
die obere Oberfläche
der isolierenden Platte 1 geschichtet ist, wodurch die
Position der BGA 7 bestimmt wird. Daher wird die Weite
des Eindringens der Klemme 7a in die Öffnung 11a vorteilhaft
gesteuert, und kann der Elektrodenstiftabschnitt 5c stets
mit einer konstanten Belastung mit der Klemme 7a eingreifen.
Daher kann der Kontaktdruck der elektrisch leitenden Einheit verglichen
mit dem Fall, bei dem der Anschlag 11 nicht verwendet wird,
stabilisiert werden, und kann ein stabiler Kontaktzustand aufrechterhalten
werden, wenn eine große
Anzahl von identischen Produkten geprüft wird.
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Auch
in der zweiten Ausführungsform
können
der elektrische Widerstand und die Induktivität verringert werden, da der
elektrische Strom in den Elektrodenstiftabschnitten 5a und 5c nicht
entlang eines spiralförmigen
Wegs fließt.
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6 zeigt
eine dritte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Die Teile, die jenen der vorhergehenden
Ausführungsformen
entsprechen, sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und sind nicht
erneut beschrieben.
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In
der dritten Ausführungsform
gibt es keinen verjüngten Öffnungsabschnitt 2a,
der mit dem Zwischenabschnitt der Durchgangsöffnung 2 verbunden ist.
Statt dessen ist eine Rückhalteplatte 12 über die untere
Oberfläche
der unteren isolierenden Platte 1 geschichtet, um zu verhindern,
dass sich der untere verjüngte
Elektrodenstiftabschnitt 5a löst. Die Rückhalteplatte 12 ist
mit einer kleinen Öffnung 12b ausgebildet,
die einen kleineren Durchmesser als der Spiralfederabschnitt 4 aufweist,
und die elektrisch leitende Kontakteinheit 3 in der Form
einer Spiralfeder, die in der Durchgangsöffnung 2 aufgenommen
ist, wird durch den axial dazwischenliegenden Teil des verjüngten Elektrodenstiftabschnitts 5a,
der auf den Rand der kleinen Öffnung 12b trifft,
an einem Lösen gehindert.
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Der
Elektrodenstiftabschnitt 5b am oberen Ende des Spiralfederabschnitts 4 besteht
aus einem eng gewickelten geraden Abschnitt, der einen gleichen
Durchmesser wie der Spiralfederabschnitt 4 aufweist. Daher
kann die elektrisch leitende Kontakteinheit 3 in der Form
einer Spiralfeder durch derartiges Anordnen des Aufbaus, dass der
verjüngte
Elektrodenstiftabschnitt 5a wie in der Zeichnung gezeigt nach
unten gerichtet ist, ohne jegliche Unbequemlichkeit in einer ähnlichen
Weise wie in den anderen Ausführungsformen
verwendet werden, auch wenn die Einheit in einer Richtung nicht
zurückgehalten wird.
Wie es bei den vorhergehenden Ausführungsformen der Fall war,
fließt
der elektrische Strom auch in diesem Fall in den Elektrodenstiftabschnitten 5a und 5b nicht
entlang eines spiralförmigen
Wegs, und können
der elektrische Widerstand und die Induktivität verringert werden.
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Da
es nicht nötig
ist, dass der verjüngte Öffnungsabschnitt 2a gebildet
wird, sind die Vorgänge der
Bildung und des Zusammensetzens vereinfacht. Zum Beispiel kann während eines
Zeitraums, in dem Produkte eines gleichen Modells geprüft werden müssen, eine
gleiche Relaisplatte einstückig
an der oberen Oberfläche
der oberen isolierenden Platte 1 angebracht gehalten werden,
wobei der obere Elektrodenstiftabschnitt 5b konstant mit
einer Klemme an der Relaisplatte in Kontakt gehalten wird. Da nur
der untere Elektrodenstiftabschnitt 5a auf jedes der Produkte,
die geprüft
werden sollen, zugreifen muss, ist der elektrisch leitenden Kontakteinheit 3 in
der Form einer Spiralfeder gestattet, eine zyklische Kompression
zu erfahren, ohne Gefahr zu laufen, dass die Kontakteinheit vom
Aufbau entfernt wird. Dies trägt
zu einer Kostenverringerung bei.
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Die
Goldbeschichtungsschicht 8a wurde in der Ausführungsform,
die in 2 veranschaulicht ist, vor
dem Wicklungsvorgang gebildet, doch kann der Spulendraht 3a dem
Wicklungsvorgang ohne jeglichen Goldbeschichtungsvorgang unterzogen
werden, so dass über
der Oberfläche
des Aufbaus nur eine einzelne Goldbeschichtungsschicht (die der zweiten
Goldbeschichtungsschicht 8b entspricht) gebildet wird.
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Zum
Beispiel kann der Spulendraht 3a wie in 7(a) gezeigt einem Wicklungsvorgang unterzogen
werden, um einen Spiralfederabschnitt 4 und Elektrodenstiftabschnitte 5a und 5b zu
bilden, die nur aus eng gewickelten Abschnitten bestehen, wie es
in den vorhergehenden Ausführungsformen
der Fall war. Im Zustand, der in 7(a) veranschaulicht
ist, wird ein Goldbeschichtungsvorgang auf den Aufbau angewendet
und über
der gesamten äußeren Umfangsfläche jedes
eng gewickelten Abschnitts eine Goldbeschichtungsschicht 8b gebildet.
Auch in diesem Fall ist das Beschichtungsmaterial nicht auf Gold beschränkt, sondern
kann es aus Nickel oder Kupfer bestehen.
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In
jedem Fall kann das Material für
den Spulendraht 3a ohne Rücksicht auf die elektrische
Leitfähigkeit
frei gewählt
werden, und kann es aus einem billigen Federmaterial bestehen.