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Brevets

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Brevet citant Date de dépôt Date de délivrance Cessionnaire d'origine Titre
US477853213 août 198518 oct. 1988CFM Technologies Limited PartnershipProcess and apparatus for treating wafers with process fluids
US491176120 avr. 198827 mars 1990CFM Technologies Research AssociatesProcess and apparatus for drying surfaces
US49171233 oct. 198817 avr. 1990CFM Technologies Limited PartnershipApparatus for treating wafers with process fluids
US49845973 nov. 198915 janv. 1991CFM Technologies Research AssociatesApparatus for rinsing and drying surfaces
US528665718 déc. 199115 févr. 1994Verteq, Inc.Single wafer megasonic semiconductor wafer processing system
US614308719 févr. 19997 nov. 2000CFMT, Inc.Methods for treating objects
US634810126 sept. 200019 févr. 2002CFMT, Inc.Methods for treating objects
US751828816 août 200714 avr. 2009System for megasonic processing of an article

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