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Brevets

Référencé par

Brevet citant Date de dépôt Date de délivrance Cessionnaire d'origine Titre
US478382125 nov. 19878 nov. 1988The Regents of The University of CaliforniaIC processed piezoelectric microphone
US539989729 nov. 199321 mars 1995Raytheon CompanyMicrostructure and method of making such structure
US576761218 déc. 199516 juin 1998NGK Insulators, Ltd.Piezoelectric/electrostrictive film element with a diaphragm having at least one stress releasing end section
US58893537 nov. 199730 mars 1999NGK Insulators, Ltd.Piezoelectric/electrostrictive film element with a diaphram having at least one stress releasing end section
US594094721 janv. 199824 août 1999NGK Insulators, Ltd.Method of making a piezoelectric/electrostrictive film element with a diaphragm having at least one stress releasing end section

Dessins