WO1997017619A1

WO1997017619A1 - Transporteur, changeur de position et dispositif de prelevement pour circuits integres

Info

Publication number: WO1997017619A1
Application number: PCT/JP1995/002393
Authority: WO
Inventors: Yutaka Watanabe; Hiroshi Okuda; Kazuyuki Yamashita; Makoto Sagawa; Haruki Nakajima; Shigenori Kawano
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 1995-11-06
Filing date: 1995-11-24
Publication date: 1997-05-15
Also published as: KR970704156A; KR100230070B1; TW350991B; DE19581894T1; DE19581894C2; US6074158A; US6135699A

Description

明細書

I C搬送装置、 I C姿勢変換装置及び I C取出装置桉術分野

この発明は、一般的には、半導体デバイス、特に代表例である I C (半導体集積回路）を試験するための I C試験装置（一般に I Cテスタと呼ばれる）において I Cを試験するために搬送し、かつ試験済みの I Cを分類処理するために使用される半導体デバイス搬送処理装置（一般に I cハンドラと呼ばれる）に関し、詳しく言うと、被試験 I C (一般に D U Tと呼ばれる）を I Cテスタのテスト部に搬送する際に用いられる I C搬送装置及び I C姿勢変換装置、並びに I Cをマガジンから取り出す際に用いられる I C取出装置に関する。背景技術

I cが使われ始めた初期の段階では、 I Cの端子は長方形のパッケージの両長辺側から突出され、ほぼ直角に下方へ折り曲げられた、全体としてコ字状のいわゆるデュアルインライン型（D I P ) の I Cが主流であった。このため、この種の I Cを収納する容器は断面ほぼ長方形の筒体である棒状のマガジンと呼ばれる I C収納容器が用いられていた。従って、被試験 I Cをテスト部へ搬送する I C 搬送装置は棒状のマガジンを水平状態から傾斜した状態に支持できる構造を有しており、搬送時に棒状のマガジンを傾斜させ、内部の I Cを自重によって自然滑走させていた。即ち、 I Cの自重による自然落下力を利用して I Cを搬送する手法が採られていた。

しかるに、 I Cの集積度の向上から端子の数が増大したことと、端子の構造が多様化したことにより、自然落下方式では円滑な搬送が困難になってきた。このため最近の傾向として水平搬送方式を採る I Cハンドラが主流になっている。水平搬送方式とは皿状のトレイに I Cを収納し、このトレイから I Cを真空吸着へッドによって吸着し、この真空吸着へッドを水平搬送手段によって X— Y方向に移動させ、 I Cハンドラ内に設けた I Cテスタのテスト部に I Cを搬送する方式を指す。

水平搬送方式を採ることにより、真空吸着手段によつて容易に吸着できるように I Cのパッケージが偏平形状とされる以外は、どのような形状のパッケージであっても真空吸着手段によって吸着できる形状であれば、例えば Q F Pのようにパッケージの 4辺に端子が導出されている構造の I Cでも、端子構造に無関係に、容易に搬送することができる。つまり、汎用性の高い I Cハンドラを構成することができる。

ところで、水平搬送方式の I Cハンドラを運用する場合、 I Cは全てトレイに収納した状態で取り扱われる。つまり、装 Sの外部でもユーザ用のトレイに格納した状態で流通し保管される。トレィは上面が開放されているため、 I Cをこぼし易く、取扱いが面倒である。

これに対し、棒状のマガジンは筒体であるため、両端の開口部分を塞ぐことによって I Cがこぼれ落ちることを容易に防止することができる。従って、流通段階では棒状のマガジンの方が取扱いが容易である。従って、マガジンに収納できる形状の I Cはできるだけマガジンに収納して取り扱う方が間違いがなく、かつ安全である。

このような背景から、最近では「特願平 6— 1 7 1 9 1 1号」で提案されているように棒状のマガジンに収納されている I Cでも、卜レイに収納されている I Cでも試験するために搬送し、処理することができる水平搬送方式の I Cハンドラが実用化され始めている。水平搬送方式の I Cハンドラにおいては、ハンドラ内部に水平搬送手段を用いなければならないから、マガジンに収納されている I Cでも、卜レイに収納されている I Cでも搬送して試験できる構成にするためには、マガジンに収納されている I Cをトレイに積み替える I Cの積み替え手段を設けなければならない。

マガジンから I Cを取り出すには一般にはマガジンを傾斜させ、この傾斜したマガジンから I Cを流し出してトレイに積み替えることになる。このため傾斜した姿勢にある I Cを水平な姿勢にある卜レイに積み替える必要があり、その姿勢の変換が大きな障害となる。

図 1 5に先に提案したマガジン · 卜レイ兼用型の水平搬送方式 I Cハンドラに使用されたマガジン · 卜レイ積み替え部分、即ち姿勢変換部の構成を示す。トレイに収納した I Cを試験する場合は、トレィ供給部 2 0から被試験 I Cを収納したユーザ用卜レイ 2 1が卜レイ変換部 3 0に送り込まれ、卜レイ変換部 3 0において、ユーザ用卜レイ 2 1からテス卜卜レイ 3 1に I Cを積み替える。この I Cの積み替えは水平搬送手段 4 0によって行われる。つまり、水平搬送手段 4 0は真空吸着へッド 4 1を具備し、この真空吸着へッド 4 1をエアシリンダ 4 2によって上下動させると共に X— Y駆動手段（図示せず）によって水平面内を任意の位置に移動させ、ユーザ用卜レイ 2 1からテスト卜レイ 3 1に I Cを積み替える。

ここで、ユーザ用卜レイ 2 1からテス卜トレイ 3 1に I Cを積み替える理由について簡単に説明する。ユーザ用卜レイ 2 1は I Cを格納して工場内あるいは市場を流通させるための卜レイである。このためプラスチック材料等により作られ、 I Cを収納する凹部の形状も収納する I Cの形状より大きめに作られ、出し入れが容易に行える構造になっている。

これに対し、テスト卜レイ 3 1は、 I Cテス夕のテスト部 1 0に至る経路において被試験 I Cに高温または低温の熱ストレスを与えるため、この熱ストレスに耐え得る材質で作られる。一般には金属フレームに I Cを収納する凹部が形成された I Cキャリアを 1 6乃至 6 4個程度装着して構成される。 I Cキャリアは耐熱性樹脂材料で形成され、いったん被試験 I Cが挿入されると I Cを正確に位置決めして把持し、ロックする機構及びロックした I Cの端子を I Cキャリアの裏側に露出させ、テスト部 1 0において、この黟出した端子に I Cテスタに接続されたテスト用コンタク卜を接触させる機能等が付加されている。

このように、テスト卜レイ 3 1には各種の機能が要求されることからユーザ用トレイ 2 1からテストトレイ 3 1に I Cを積み替えている。なお、 2 2はトレイ供給部 2 0からユーザ用トレイ 2 1を取り出し、このユーザ用卜レイ 2 1をトレィ変換部 3 0に運び込むための卜レイ搬送手段を示す。

一方、 5 0はマガジン供給部を示す。マガジン供給部 5 0には棒状のマガジン 5 1が積み重ねられて格納されている。マガジン供給部 5 0に格納されている最上段のマガジン 5 1が取り出され、昇降手段 5 2上に載置される。昇降手段 5 2 は回動可能に支持されており、その回動動作により載置されたマガジン 5 1の一端側（図示の例では右側）を上方へ持ち上げ、マガジン 5 1を傾斜した姿勢に保持する。昇降手段 5 2の傾斜状態においての下端部には可動ストッパ 5 2 Aが設けられており、この可動ストツバ 5 2 Aによりマガジン 5 1が所定の傾斜位 gに設定されるまでの間 I Cの流出を阻止する。マガジン 5 1が所定の傾斜位置に設定されてマガジン 5 1とその下流に設けたバッファレール 5 3とが連結された状態になると、可動ストッパ 5 2 Aが解放され、マガジン 5 1から I Cがバッファレール 5 3に流れ出る。

バッファレール 5 3にも下端部分に可動ストッパ 5 3 Aが設けられている。この可動ストツバ 5 3 Aはバッファレール 5 3の最下段に位置する I Cを受け止めておく動作を行う。バッファレール 5 3の下流側には I Cが流れる方向と直交する方向（横方向）に移動するエスケープレール 5 4が設けられている。エスケ一プレール 5 4には、例えば I Cを受け取る 4つのほぼ平行な溝が併設されており、各溝に I Cを 1個受け取るごとにエスケープレール 5 4は横方向に移動して合計で 4個の I Cを受け取る。 I Cを受け取る溝の長さは I Cのパッケージの長さに一致しており、ノソファレール 5 3から I Cを流し込むことにより、エスケ一プレール 5 4の 1つの溝に 1個の I Cが取り込まれる。この状態でバッファレ一ル 5 3に設けた可動ストッパ 5 3 Aにより、ノ、'ッファレール 5 3の最下段の I C を抑え付け、エスケープレール 5 4を横方向に移動させる。エスケープレール 5 4の横方向の移動により、エスケープレール 5 4に取り込んだ Iじと、バッファレール 5 3側の I Cは、仮にパッケージ同士がパッケージに形成されるバリ等によって連結状態にあっても、その連結状態が解かれ、確実に分離される。エスケ —プレール 5 4の全ての溝に I Cが取り込まれると、エスケープレール 5 4はさらに横方向に移動し、姿勢変換装 6 0に I Cを引き渡す。

姿勢変換装置 6 0は、上端が軸支されて垂直面内を回動面とするアーム 6 1と、このアーム 6 1の下端に支持された駆動手段 6 3と、この駆動手段 6 3の下部に直線往復移動可能に支持された真空吸着へッド 6 2と、アーム 6 1を回転角 Θ の範囲で往復回動させる、例えば回転型エアシリンダ 6 4とによって構成することができる。駆動手段 6 3は例えばエアシリンダでよく、真空吸着ヘッド 6 2をアーム 6 1の軸線方向に直線往復駆動する。

回転角 0は真空吸着へッド 6 2の先端の面がエスケープレール 5 4に支持されている I Cのパッケージ平面と平行する角度位置と、水平面に待機している搬送架台 6 5の平面と平行する角度位置との間を結ぶ角度に選定される。真空吸着へッド 6 2はエスケープレール 5 4に支持されている I Cと対向する角度位置で I Cを吸着し、この吸着した状態でアーム 6 1が回転型エアシリンダ 6 4によって角度 0だけ回動される。この回動動作により、 I Cの姿勢は水平姿勢に変換される。この状態で真空吸着へッド 6 2は駆動手段 6 3の駆動動作によって下方へ降下し、搬送架台 6 5に I Cを移し替える。

搬送架台 6 5の上面には、 4辺が上向きの、外側へ傾斜した傾斜面で囲まれている位置決め用凹部が形成されており、この位置決め用凹部に I Cを落とし込むことにより、搬送経路の次に位置する水平搬送手段 7 0に対する I Cの位置が規定される。つまり、搬送架台 6 5は姿勢変換装置 6 0から I Cを受け取ると、矢印 X方向に移動し、水平搬送手段 7 0の搬送開始点 Aの位置で停止する。搬送開始点 Aの上部には真空吸着へッド 7 1が待機している。この真空吸着へッド 7 1 が I Cを吸着して卜レイ変換部 3 0に I Cを搬送し、テストトレイ 3 1に I Cを落とし込む。従って、搬送架台 6 5の位置決め用凹部により I Cの位置を規定することは作業性の向上に大いに役立つ。

なお、バッファレール 5 3の下流側に設けたエスケープレール 5 4には、 I C の収納溝が例えば 4乃至 8本程度横方向（エスケープレールの移動方向）において併設されており、これら 4〜 8本の各溝にバッファレール 5 3から 1個ずつ I Cを落とし込む。即ち、 I Cを 1個落とし込むごとに、エスケープレール 5 4を 1本分ずつ横方向にピッチ送りし、全ての I C収納溝に I Cが落とし込まれた時点でエスケープレール 5 4をさらに横方向へ移動させ、かつ姿勢変換装置 6 0を動作させる。従って、姿勢変換装置 6 0にも真空吸着ヘッド 6 2が 4〜8本分設けられており、一度に 4〜 8個の I Cの姿勢を変換する。また、水平搬送手段 7 0も 4〜8個の真空吸着へッド 7 1を具備しており、 4〜8個の I Cを一度にテスト卜レイ 3 1に運び込む構成となっているが、この個数に限定されるものではない。上述したように、先に提案した卜レイ ·マガジン兼用型 I Cハンドラでは、特にマガジン 5 1からバッファレール 5 3、エスケープレール 5 4を介して供給される被試験 I Cをテスト卜レイ 3 1まで搬送する手段として、搬送架台 6 5と、水平搬送手段 7 0とを設けているため装置の構成要素が多くなり、コスト高となる欠点がある。また、マガジン 5 1から供給される I Cの搬送経路が長くなるため、 I Cの搬送に要する時間が長くなる。その結果として、マガジン 5 1に収納された I Cの試験時間が長くなるという欠点がある。発明の開示

この発明の 1つの目的は、半導体デバイスを収納する棒状のマガジンから供給される被試联半導体デバイスの試験時間を短くすることができる半導体デバイス搬送装置及びこの半導体デバイス搬送装 Sと協働する半導体デバイス姿勢変換装置を提供することである。

この発明の他の目的は、比較的高速に半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換することができる半導体デバイス姿勢変換装 Sを提供することである。

この発明のさらに他の目的は、半導体デバイスを収納する棒状のマガジンを水平姿勢に保持した状態でこのマガジンから半導体デバイスを効率よく送り出すことができる半導体デバイス取出装置を提供することである。

この発明の第 1の面によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する姿勢変換装 Sにより水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段により吸着して水平搬送手段によりテス卜トレィ上に移動させ、テストトレイ上の任意の収納凹部に上記吸着した半導体デバイスを落下させるようにした半導体デバイス搬送装置が提供される。

この発明による半導体デバイス搬送装置においては、傾斜状態に支持された棒状の半導体デバイス収納用マガジンの下端部に半導体デバイス姿勢変換手段が設けられ、この半導体デバイス姿勢変換手段から直接テストトレイに被試験半導体デバイスを積み替えるように構成されている。この構成によれば、半導体デバイスの搬送経路を短くすることができる。その結果、 I Cの試験に要する時間を短くすることができる。また、構成が簡単化されるので、コストを低滅することができる。

この発明の好ましい第 1の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを傾斜が漸次水平状態に変化する姿勢変換レールに送り込み、この姿勢変換レールによって半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテスト卜レイに搬送するようにした半導体デバイス姿勢変換装置が提供される。

この発明の好ましい第 2の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを、下端部が軸支された傾斜姿勢にある姿勢変換用可動レールに送り込み、この姿勢変換用可動レールに所定個数の半導体デバイスが送り込まれるごとに上記姿勢変換用可動レールを水平姿勢に回動させて、半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテストトレイに搬送するようにした半導体デバイス姿勢変換装置が提供される。この発明の好ましい第 3の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを、下端部が軸支された傾斜姿勢にある姿勢変換用可動レールに送り込み、この姿勢変換用可動レールに所定個数の半導体デバイスが送り込まれるごとに上記姿勢変換用可動レールを水平姿勢に回動させて、半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換すると共に、水平姿勢にある上記姿勢変換用可動レ一ルを水平方向に上記エスケープレールから遠ざかる方向に移動させ、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテストトレイに搬送するようにした半導体デバイス姿勢変換装 Sが提供される。

この発明の好ましい第 4の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装匿において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを、上端部が軸支された傾斜姿勢にある姿勢変換用可動レールに送り込み、この姿勢変換用可動レールに所定個数の半導体デバィスが送り込まれるごとに上記姿勢変換用可動レールを水平姿勢に回動させて、半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢に保持された半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテストトレイに搬送するようにした半導体デバイス姿勢変換装置が提供される。

この発明の好ましい第 5の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバィス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールにより分離された半導体デバイスを 1個ずつ受け取り、その受け取る位置を精度よく位置決めする傾斜姿勢にある位置決め手段を設け、この位置決め手段に支持された傾斜姿勢の半導体デバイスを、垂直面内において回動自在に支持されたデバイス吸着手段により吸着し、この吸着手段の姿勢を水平面に対して鉛直姿勢に回動させて、吸着した半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをテス卜卜レイに搬送するようにした半導体デバイス姿勢変換装置が提供される。

この発明の好ましい第 6の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に傾斜姿勢にあるバッファレールを設け、このバッファレールの下端に、この下端に位置する半導体デバイスを抑えて流出を阻止し、必要に応じて半導体デバイスをバッファレールから排出させる制御を行う可動ストッパを設け、上記バッファレールの下流側に、回転軸芯を中心にして回転し、直径方向に対向する少なくとも一対の回転アームを備えた姿勢変換用回転体を設け、上記一対の回転アームには、その一方が上記バッファレールの傾斜角度と同じ傾斜角度になるように配列されたときに、他方の回転アームが水平姿勢を取るように、それぞれ同じ上向きの傾斜角を与え、一方の回転アームが上記バッファレールの下流に連結されて、傾斜した姿勢の半導体デバイスを受け取り、回転アームの 1 8 0 ° の回転により、回転アームに支持した半導体デバイスの傾斜姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテストトレイに搬送するようにした半導体デバイス姿勢変換装置が提供される。この発明の好ましい第 7の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装 fiにおいて、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスを複数個保持する、傾斜姿勢にあるバッファレールを設け、このバッファレールに保持された半導体デバイスの最下端の半導体デバイスを抑え、必要に応じて解放して半導体デバイスを排出させる可動ストッパを上記バッファレールの下端に設け、上記バッファレールの下流側に、上記半導体デバイス収納用マガジン及び上記バッファレールの軸線と水平面とがなす角度を 2等分した角度に回転軸芯を有し、かつ直径方向に対向する一対の回転アームを備えた姿勢変換用回転体を設け、上記一対の回転アームには、その一方が上記バッファレールの下端に連結されて上記バッファレールと同一軸線上に配置されたときに、他方の回転アームが水平面と平行する姿勢に配置される傾斜角を持たせ、上記各回転アームには、上記バッファレールの下端に連結されて上記バッファレールから半導体デバイスが送り込まれたときにこのデバイスの内側面を吸着するデバイス吸着手段を設け、このデバィス吸着手段によって吸着した半導体デバイスの姿勢を回転アームの 1 8 0 ° の回転により水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスの下側に、上記デバイス吸着手段から切り離された半導体デバイスを水平姿勢で受け取り、かつその受け取る位 Sを規制する位 S決め手段を設けた半導体デバイス姿勢変換装 S が提供される。

この発明の好ましい第 8の実施例によれば、棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によって内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離する、傾斜姿勢にあるエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを保持する可動ストッパを上記エスケープレールに設け、上記エスケープレールの下流位置に水平姿勢で配置された位置決め手段を設け、上記エスケープレールと上記位置決め手段とは、上記可動ストッパを解放することにより送り出される半導体デバイスの先端が上記位置決め手段に形成された位置決め用凹部の端部壁に当接して傾斜姿勢に留まる位置関係に配置し、上記エスケープレールと上記位置決め手段とを相対的に離れる方向に移動させる駆動手段を設け、この駆動手段を作動させて傾斜姿勢にある半導体デバイスを上記位置決め用凹部に落とし込み、水平姿勢に変換するようにした半導体デバイス姿勢変換装置が提供される。

この発明の第 2の面によれば、水平姿勢に支持した棒状の半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを送り出す駆動手段と、この駆動手段で押し出された半導体デバイスを複数個収納するバッファレールと、このバッファレールの出口部近傍に設けられた可動ストツバと、上記バッファレールから押し出された半導体デバイスを 1個ずつ受け入れて水平姿勢で位置決めした状態に保持する位置決め手段とを具備する半導体デバイス取出装置が提供される。 la の ffi な

図 1はマガジン · トレイ兼用型の I Cハンドラに適用したこの発明による姿勢変換部の第 1の実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 2は図 1に示したマガジン、バッファレール、エスケープレール及び姿勢変換レールの配置関係を詳細に示す斜視図である。

図 3はこの発明による姿勢変換部の第 2の実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 4は図 3に示したマガジン、バッファレール、エスケープレール及び姿勢変換用可動レールの配置関係を詳細に示す斜視図である。

図 5はこの発明による姿勢変換部の第 3の実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 6はこの発明による姿勢変換部の第 4の実施例の構成を説明するための概略側面図である。図 7はこの発明による姿勢変換部の第 5の実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 8はこの発明による姿勢変換部の第 6の実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 9は一部分を除去した図 8の平面図である。

図 1 0はこの発明による姿勢変換部の第 7の実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 1 1は一部分を除去した図 1 0の右側面図である。

図 1 2はこの発明による姿勢変換部の第 8の実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 1 3は一部分を除去した図 1 2の平面図である。

図 1 4はこの発明による I C取出装置の一実施例の構成を説明するための概略側面図である。

図 1 5は先願のマガジン · トレイ兼用型の I Cハンドラの構成を説明するための概略側面図である。発明をま施するための慕良の形 ϋ

以下、この発明の実施例について添付図面を参照して詳細に説明する。

図 1はマガジン · 卜レイ兼用型の水平搬送方式 I Cハンドラに適用したこの発明による姿勢変換部の第 1の実施例の構成を示す。図 1において、トレィ供給部 2 0からユーザ用トレイ 2 1を卜レイ搬送手段 2 2によりトレィ変換部 3 0に搬送し、トレィ変換部 3 0でユーザ用トレイ 2 1からテス卜卜レイ 3 1に被試験 I Cを積み替える部分の構成は、図 1 5を参照して説明した従来例と同じ構成であるので、その説明を省略する。

この発明ではトレイ変換部 3 0に近接して姿勢変換装置 1 6 0を設け、この姿勢変換装置 1 6 0によって傾斜姿勢の被試驗 I Cを直接水平姿勢に変換し、水平搬送手段によりテストトレィ 3 1に積み込むように構成したものであり、この点と姿勢変換装 1 6 0の構成に特に特徴を有するものである。

図 1に示す実施例は姿勢変換装置 1 6 0を姿勢変換レール 1 6 1によって構成した場合を示す。この姿勢変換レール 1 6 1は、エスケープ機構を構成するエスケープレール 5 4と対接する側（上流側）ではマガジン 5 1の傾斜、従ってエスケ一プレール 5 4の傾斜、と同一の傾斜を持ち、テスト卜レイ 3 1と対接する反対側（下流側）では水平状態となるように、その途中において漸次傾斜角を緩くした形状を有する。

エスケープレール 5 4と、マガジン 5 1、バッファレール 5 3及び姿勢変換レ —ル 1 6 1との関係を図 2に詳細に示す。図 2の例ではエスケープレール 5 4に 4本の I C収納溝 5 4 Bを併設した場合を示す。各 I C収納 « 5 4 Βにはその下端部に可動ストッパ 5 4 Aが設けられ、この可動ストッパ 5 4 Aによってバッファレール 5 3から流し込まれた被試験 I Cがエスケープレール 5 4の各溝 5 4 B 内に支持される。 I C収納溝 5 4 Bの一つに I Cが送り込まれるのと同期してェスケープレール 5 4は、例えばパルスモータ P Mによって I C収納溝 5 4 Bの 1 ピッチ分ずつ矢印 X方向に移動し、次々と各 I C収納溝 5 4 B内に I Cを受け取る。全ての I C収納溝 5 4 Bに I Cが取り込まれると、エスケープレール 5 4はさらに矢印 X方向に移動し、姿勢変換装置 1 6 0を構成する姿勢変換レール 1 6 1の上端と対接する。エスケープレール 5 4が姿勢変換レール 1 6 1の上端と対接した状態で可動ストッパ 5 4 Aを下方へ移動させて I C収納溝 5 4 Bから引つ込ませ、エスケープレール 5 4に保持していた被試験 I Cを姿勢変換レール 1 6 1の上端に流し込む。流し込まれた I Cは姿勢変換レール 1 6 1を自重で滑走する間に姿勢変換レール 1 6 1の傾斜に従って、斜めの姿勢から徐々に水平な姿勢に変換される。

姿勢変換レール 1 6 1の下端部は閉塞されており、従って自重で滑走する I C はそのパッケージの先端がこの閉塞端部に突き当たる。よって姿勢変換された I ま、この閉塞端部によって位置を精度よく規定することができる。

上述のように姿勢変換レール 1 6 1の下端部で位置合わせが行われることにより、姿勢変換レール 1 6 1の下端部からテスト卜レイ 3 1 (図 1参照）へ I Cを搬送する水平搬送手段として、図 1に示すように、トレイ変換部 3 0においてュ —ザ用卜レイ 2 1からテストトレイ 3 1へ I Cを運び出す水平搬送手段 4 0を用いることができる。つまり、トレィ変換部 3 0に停止中のテストトレィ 3 1に、姿勢変換装置 1 6 0を近接して配置したから、水平搬送手段 4 0をユーザ用トレィ 2 1から供給される I Cとマガジン 5 1から供給される I Cの双方を運ぶ搬送手段として兼用することができる。その上、水平搬送手段 4 0の真空吸着ヘッド 4 1は姿勢変換レール 1 6 1の下端部に停止した I Cを、 I Cの重心位 gと吸着へッド 4 1の軸芯位匾を合致させた状態で吸着することができるから、上記姿勢変換レール 1 6 1の下端部での位 fi合わせによってテス卜卜レイ 3 1に I Cを確実に積み込むことができる。

図 3はこの発明による姿勢変換部の第 2の実施例の構成を示す。なお、トレイ搬送側の構成はこの発明の要旨ではないので、図 3以降の図面にはトレイ搬送側の構成を省略して示す。図 3に示す第 2の実施例では、姿勢変換装置 1 6 0は姿勢変換用可動レール 1 6 2とこの姿勢変換用可動レール 1 6 2を回動させるためのエアシリンダ 1 6 3とによって構成されている。姿勢変換用可動レール 1 6 2 はエスケープレール 5 4の下流側に設けられており、この実施例では姿勢変換用可動レール 1 6 2の下流側が軸支され、上流側が上下方向に回動できるように支持されている。姿勢変換用可動レール 1 6 2の上流側の上下方向への回動はエアシリンダ 1 6 3によって行われ、エスケープレール 5 4の下端部と対向する図示する斜めの位 fiと、仮想線で示す水平位置とに回動される。即ち、エスケープレ —ル 5 4の下端部と対向する斜めの位置においてエスケープレール 5 4から姿勢変換用可動レール 1 6 2上に I Cを受入れ、その後エアシリンダ 1 6 3の駆動力によって姿勢変換用可動レール 1 6 2を水平位置に回動させ、受け入れた I Cに水平の姿勢を取らせる。よって、 I Cは斜めの姿勢から水平の姿勢へと姿勢が変換される。

エスケープレール 5 4と、マガジン 5 1、バッファレール 5 3及び姿勢変換用可動レール 1 6 2との関係を図 4に詳細に示す。この実施例でも、上記第 1の実施例と同様に、エスケープレール 5 4及び姿勢変換用可動レール 1 6 2は 4本の I C収納溝 5 4 B及び 4本の I C受入れ用レールをそれぞれ具備し、エスケープレール 5 4の各 I C収納溝 5 4 Bに I Cを 1個ずつ取り込むと、エスケープレール 5 4は姿勢変換用可動レール 1 6 2の上流位置に移動し、可動ストッパ 5 4 A を外すことによりエスケープレール 5 4から姿勢変換用可動レール 1 6 2に I C が流し込まれる。姿勢変換用可動レール 1 6 2は下端が閉塞板 1 6 2 Aによって閉塞されており、この閉塞板 1 6 2 Aに I Cのパッケージ先端が突き当たることによって I Cの位置が揃えられる。 I Cの位置が揃えられた状態でエアシリンダ 1 6 3を駆動して姿勢変換用可動レール 1 6 2の上流側を下方へ降下させ、水平位置に達した時点でエアシリンダ 1 6 3の駆動を停止する。かくして姿勢変換用可動レール 1 6 2は水平姿勢に保持される。この水平位置において、水平搬送手段 4 0の真空吸着へッド 4 1を姿勢変換用可動レール 1 6 2の上部に移動させ、 I Cを吸着してテス卜トレイ 3 1に運び込む。

この第 2の実施例においても、姿勢変換用可動レール 1 6 2の下端部で被試験 I Cの位置合わせが行われるから、姿勢変換用可動レール 1 6 2の下端部からテストトレィ 3 1 (図 1参照）へ I Cを搬送する水平搬送手段として、トレィ変換部 3 0においてュ一ザ用トレイ 2 1からテストトレイ 3 1へ I Cを運び出す水平搬送手段 4 0を兼用することができる。また、水平搬送手段 4 0の真空吸着へッド 4 1は姿勢変換用可動レール 1 6 2の下端部に停止した I Cを、 I Cの重心位 Sと吸着ヘッド 4 1の軸芯位置を合致させた状態で吸着することができるから、上記姿勢変換用可動レール 1 6 2の下端部での位置合わせによってテス卜トレイ 3 1に I Cを確実に積み込むことができる。

図 5はこの発明による姿勢変換部の第 3の実施例の構成を示す。この実施例では、姿勢変換装置 1 6 0は、上記第 2の実施例と同様構成の姿勢変換用可動レール 1 6 2及びこの姿勢変換用可動レール 1 6 2を回動させるためのエアシリンダ 1 6 3と、姿勢変換用可動レール 1 6 2を載置する搬送架台 1 6 4と、この搬送架台 1 6 4をトレイ変換部 3 0の方向へ駆動するエアシリンダ 1 6 4 Aとによつて構成されている。搬送架台 1 6 4上に搭載された姿勢変換用可動レール 1 6 2 がその傾斜姿勢位 Sにおいてエスケープレール 5 4から被試験 I Cを受け取り、水平姿勢位 Sに回動された後、搬送架台 1 6 4をエアシリンダ 1 6 4 Aによって僅かの距離だけトレィ変換部 3 0に向かって移動させる。その後水平搬送手段 4 0の真空吸着へッド 4 1を姿勢変換用可動レール 1 6 2の上部に移動させて I C を吸着し、テストトレィ 3 1に運び込む。

このように姿勢変換用可動レール 1 6 2を水平姿勢に変換した後でトレィ変換部 3 0に近づく方向に僅かの距離移動させると、水平搬送手段 4 0の真空吸着へッド 4 1を姿勢変換用可動レール 1 6 2上の被試験 I Cの所定位 gに充分近づけることができるという利点が得られる。つまり、図 3及び図 4に示した第 2の実施例では、姿勢変換用可動レール 1 6 2が水平姿勢に回動されたときに、姿勢変換用可動レール 1 6 2の上流側の一部がエスケープレール 5 4の下側に入り込む配置状態になっている。このため、エスケープレール 5 4が水平搬送手段 4 0の姿勢変換用可動レール 1 6 2上面への接近に対して障害となる恐れがあるが、上記第 3の実施例の構成によればエスケープレール 5 4は水平搬送手段 4 0の接近に対して何等障害とならない。他の構成及び動作は上記第 2の実施例と同じであるのでその説明を省略する。

図 6はこの発明による姿勢変換部の第 4の実施例の構成を示す。この実施例でも、上記第 2の実施例と同様に、姿勢変換装置 1 6 0は姿勢変換用可動レール 1 6 2とこの姿勢変換用可動レール 1 6 2を回動させるためのエアシリンダ 1 6 3 とによって構成されているが、上記第 2の実施例とは逆に、姿勢変換用可動レール 1 6 2の上流側を軸支し、下流側をエアシリンダ 1 6 3によって上下に回動させる構成としたものである。この構成によれば、姿勢変換用可動レール 1 6 2が水平姿勢に回動されたときに、姿勢変換用可動レール 1 6 2の上流側がエスケープレール 5 4の下側に入り込まなくなる。このため、図 5に示した第 3の実施例の場合のように搬送架台 1 6 4を設けなくても、エスケープレール 5 4に邪魔されずに水平搬送手段 4 0の真空吸着へッド 4 1を姿勢変換用可動レール 1 6 2の上部の所定位置に充分近づけることができる。他の構成及び動作は上記第 2の実施例と同じであるのでその説明を省略する。

図 7はこの発明による姿勢変換部の第 5の実施例の構成を示す。この実施例では、姿勢変換装置 1 6 0は、固定レール 1 6 5と、上端が軸支されて垂直面内を回動面とするアーム 6 1と、このアーム 6 1を所定の回転角の範囲で往復駆動させる、例えば回転型エアシリンダ 6 4とによって構成されている。そしてアーム 6 1の下端に水平搬送手段 4 0の真空吸着へッド 4 1を直線往復艇動するエアシリンダ 4 2を支持する。換言すれば、水平搬送手段 4 0のエアシリンダ 4 2及び真空吸着へッド 4 1を所定の回転角の範囲で往復駆動できるように構成したものである。

固定レール 1 6 5はエスケープレール 5 4の下流側に、エスケープレール 5 4 の傾斜とほぼ同じ傾斜姿勢で固定されている。この固定レール 1 6 5は下端部が閉塞されており、エスケープレール 5 4から流し込まれた I Cの位置を揃える機能が付加されている。一方、水平搬送手段 4 0に支持されて移動する真空吸着へッド 4 1は、このへッド 4 1を直線往復駆動するエアシリンダ 4 2が図示する実線位 Sと仮想線位置との間の所定の角度だけ回動できるようにアーム 6 1及び回転型エアシリンダ 6 4を介して水平搬送手段 4 0に軸支されているので、エアシリンダ 4 2の回動に伴って、実線位置と仮想線位置との間を図示矢印で示すように往復回動することになる。

上記構成において、水平搬送手段 4 0は、真空吸着ヘッド 4 1を固定レール 1 6 5の例えば僅か下流側に位 gするように移動させる。この位 gで回転型エアシリンダ 6 4を駆動して真空吸着へッド 4 1を反時計方向（上向き）に回動させ、真空吸着へッド 4 1の先端の面を固定レール 1 6 5に支持されている I Cパッケ —ジ平面と平行な姿勢に回動させる。この真空吸着へッド 4 1の吸着面と I Cパッケージの吸着される面とが互いに平行した状態で、エアシリンダ 4 2を駆動して真空吸着へッド 4 1を押し出すことにより、傾斜した姿勢にある固定レール 1 6 5上の I Cを吸着する。 I Cの吸着後、再びエアシリンダ 4 2を駆動して真空吸着ヘッド 4 1を所定の距離だけ引っ込め、次に回転型エアシリンダ 6 4を駆動して真空吸着へッド 4 1を時計方向に回動させて垂直姿勢に戻し、吸着した I C の姿勢を水平姿勢に変換する。

水平姿勢の I Cを吸着した状態で真空吸着へッド 4 1は水平搬送手段 4 0により水平方向に移動されてトレイ変換部 3 0の上の所定位置で停止される。この停止位置でエアシリンダ 4 2を駆動して真空吸着へッド 4 1を押し出し、 I Cの吸着を解除してトレイ変換部 3 0に停止しているテストトレイ 3 1に I Cを落とし込む。従って、この実施例によれば、 I Cの姿勢変換と I Cのテストトレイ 3 1 への搬送を同時に行うことができ、効率よく I Cをテストトレイ 3 1に積み込むことができる。他の構成及び動作は上記第 2の実施例と同じであるのでその説明を省略する。図 8及び図 9はこの発明による姿勢変換部の第 6の実施例の構成を示す。この実施例では、図 9に示すように回転軸芯を中心にして 90 ° の角度間隔で直径方向外側へ突出する 4つの回転アーム 166 A、 166B、 166 C、 166Dを設けた平面ほぼ十字形状の姿勢変換用回転体と、この姿勢変換用回転体を所定の角度（この実施例では 90° ) ずつ回転させるためのパルスモータ 167とによつて姿勢変換装 160を構成したものである。各回転アームは、図 8に示すように、回転軸芯を中心として 180° の角度離間された直径方向に対向する一対の回転アーム 166A、 1668及び166(3、 166Dの一方（図 8では 16 6 A) がバッファレール 53の傾斜角度と同じ傾斜角度になるように配列されたときに、他方の回転アーム（図 8では 166B) が水平姿勢を取るように、それぞれ同じ上向きの镇斜角が与えられている。即ち、直径方向に対向する一対の回転アームの一方の傾斜がバッファレール 53の延長方向の軸線と一致し、他方の回転アームが水平姿勢を保持するように各回転アームに同じ上向きの傾斜角を与える。従って、この状態を満足させるために姿勢変換用回転体の回転軸芯の周囲の本体部分の平面は図 8に示すように水平面から傾斜した状態で回転するように支持されている。

各回転アーム 166 A、 166B、 166C、 166 Dには被試 I Cを収納する I C収納凹部が形成されており、各回転アームがパルスモータ 167によつてバッファレール 53と整列した位置に回動されると、バッファレール 53から各回転アームの I C収納凹部に 1個の I Cが流し込まれ、 I Cを受け取ることができる。また、各回転アームが 180。回転した位 Sでは I C収納凹部内の I C は水平姿勢を取るから、水平搬送手段 40 (図 3参照）の真空吸着ヘッド 41に I Cを吸着させることができる。よって、水平搬送手段 40でテストトレィ 31 に I Cを運び込むことができる。なお、回転アーム 166A〜166Dの周縁には姿勢変換用回転体の回転時に I Cが遠心力で飛び出すことを防止するためのガイド 168が設けられている。水平搬送手段 40の真空吸着へッド 41により I Cが吸着された後は姿勢変換用回転体の回転アームの I C収納凹部内に I Cが存在しないから、図 9に示すように、ガイド 168は、ノソファレール 53の近傍位置から回転方向に水平搬送手段 40の真空吸着へッド 41により吸着される水平姿勢位置までのほぼ 1 8 0 ° の角度範囲に設けるだけで十分である。

このように所定の傾斜角を持たせた回転アーム 1 6 6 A〜1 6 6 Dを用いることにより、回転アーム 1 6 6 A〜l 6 6 Dには姿勢変換機能の他に、エスケープレール 5 4の機能を持たせることができる。つまり、回転アーム 1 6 6 A〜 1 6 6 Dに形成する I C収納凹部の長さを I C 1個分の長さに選定することにより、バッファレール 5 3には最下流の I Cを抑えるための可動ストッパ 5 3 Aを 1個設ければよい。可動ストツバ 5 3 Aを下向きに移動させて抑えていた I Cを解放すると、この I Cは対向位 Sにある回転アームの I C収納凹部に流し込まれる。 I Cの流れが停止した時点で可動ストッパ 5 3 Aを元に戻し、バッファレール 5 3の最下流の位置にある I Cを抑え付ける。この状態でパルスモータ 1 6 7によつて回転アームを回転させることにより、回転アームに収納された I Cを回転させることができ、例えばバッファレール 5 3に収納されている I Cとの機械的な結合（パッケージ相互がバリ等で連結されている状態）があってもこれを除去することができる。

このように、この実施例によれば I Cを 1個ずつに分離するために設けていたエスケープレール 5 4を省略することができるから、 I Cがエスケープレール 5 4中を移動する時間を省くことができる。また、構成が簡素化される。さらに、回転式であるから、 I Cを高速で姿勢変換し、テストトレイ 3 1に引き渡すことができ、作業性が向上する。

図 1 0及び図 1 1はこの発明による姿勢変換部の第 7の実施例の構成を示す。この実施例では、対向する脚部（傾斜面）にそれぞれ回転アーム 1 6 6 A、 1 6 6 Bが取り付けられているほぼ等脚台形状の姿勢変換用回転体と、この姿勢変換用回転体によって水平姿勢に変換された I Cを受入れて位置決めする位置決め手段 1 7 0と、姿勢変換用回転体を所定の角度範囲（この実施例では 1 8 0 ° ) で往復回動させるための回転型エアシリンダ 1 7 2とによって姿勢変換装置 1 6 0 を構成したものである。これら回転アーム 1 6 6 A、 1 6 6 Bにはそれぞれ I C を受け入れるための I C収納部が脚部に沿って（上底から下底方向に沿って）形成されている。

姿勢変換用回転体の対向する脚部、従って対向する一対の回転アーム 1 6 6 A 、 1 6 6 Bは円錐面に沿って回動する。よって、この実施例では姿勢変換用回転体の回転軸、従つて回転アーム 1 6 6 A、 1 6 6 Bの回転軸をマガジン 5 1の傾斜角と水平面とがなす角度の 2等分線上に配置し、一方の回転アーム（図 1 0では 1 6 6 A) の傾斜面がバッファレール 5 3の延長方向の軸線、従ってマガジン 5 1の延長方向の軸線と一致したときに、他方の回転アーム（図 1 0では 1 6 6 B ) の傾斜面が水平姿勢を保持するように、回転アーム 1 6 6 A、 1 6 6 Bの傾斜角をマガジン 5 1の傾斜角と水平面とがなす角度の 1 Z 2に設定してある。これによって、図示するように上部側に位爨する回転アーム（1 6 6 A) はマガジン 5 1の延長軸線と同一軸線上に配置され、他方の回転アーム（1 6 6 B ) は下部位置において水平姿勢に配直される。

さらに、この実施例では I Cの端子面（端子が突出する面）を上向きに、背面 (端子が突出しない面）を下向きにして I Cをマガジン 5 1から流出させ、バッファレ一ル 5 3を通じて回転アーム 1 6 6 A又は 1 6 6 Bの I C収納部に案内する。回転アーム 1 6 6 A及び 1 6 6 Bの I C収納部にはそれぞれ真空吸着へッド

1 6 9 A、 1 6 9 Bが装着されており、 I C収納部に流し込まれた I Cの背面を吸着、保持する。これによつて、 I Cは強固に保持され、姿勢変換用回転体の回動時に外部へ飛び出すことがない。

I Cを吸着した状態で回転アーム 1 6 6 A及び 1 6 6 Bは回転型エアシリンダ

1 7 2の回転駆動力により 1 8 0 ° 回転され、上部位 Sでバッファレール 5 3から背面を下側にして受け取った I Cを下部位置で端子面を下向きにした水平姿勢に変換する。 I Cを吸着した回転アームが 1 8 0 ° 回転した下部位置には位置決め手段 1 7 0が配置されており、水平姿勢に変換された I Cはこの位 S決め手段 1 7 0と所定の距離をおいて対向した状態となる。この状態で I Cを吸着している真空吸着ヘッド（図では 1 6 9 B ) の吸着力を一時遮断し、 I Cを位置決め手段 1 7 0の凹部 1 7 1に落とし込む。

位置決め手段 1 7 0は、図 1 1に示すように、姿勢変換用回転体の回転円の接線方向に複数の凹部 1 7 1が併設されており、これら凹部 1 7 1の配列方向に、従って接線方向に移動できるように支持されている。回転アーム 1 6 6八及び1 6 6 Bは回転型エアシリンダ 1 7 2の回転駆動力により 1 8 0 ° の往復回動を行うから、回転アーム 1 6 6 A及び 1 6 6 Bから交互に I Cが位置決め手段 1 7 0 の凹部 1 7 1に供給される。 I Cが 1個供給されるごとに位置決め手段 1 7 0は凹部 1 7 1の 1列分ずつ移動し、空の凹部を回転アーム 1 6 6八又は1 6 6 Bが到来する下部位置に送り込む。全ての凹部 1 7 1に I Cが収納されると、位置決め手段 1 7 0は、特に図示しないが、回転アーム 1 6 6 A、 1 6 6 Bの下部位置から離れた位置に移動し、その位置で水平搬送手段 4 0 (図 3参照）に I Cを引き渡す。水平搬送手段 4 0は上述した動作により位置決め手段 1 7 0の凹部 1 7 1に収納された I Cをテス卜トレイに搬送する。なお、図 1 0において 1 7 3 A 、 1 7 3 Bは真空吸着へッド 1 6 9 A、 1 6 9 Bを真空吸引源に接統するためのホースを示す。また、回転型エアシリンダ 1 7 2の回転駆動力により回転アーム 1 6 6 A及び 1 6 6 Bに 1 8 0 ° の往復回動を行わせたが、例えばステップモー夕により回転アーム 1 6 6八及び1 6 6 Bをいずれかの方向に 1 8 0 ° ずつ回転させるようにしてもよい。

この実施例においても I Cを 1個ずつに分離するために設けていたエスケープレール 5 4を省略することができるから、 I Cがエスケープレール 5 4中を移動する時間を省くことができ、また、構成を簡素化することができる。さらに、回転式であるから、 I Cを高速で姿勢変換し、テストトレイ 3 1に引き渡すことができ、作業性が向上する。

図 1 2及び図 1 3はこの発明による姿勢変換部の第 8の実施例の構成を示す。この実施例では、傾斜したエスケープレール 5 4から直接 I Cを受け入れて水平姿勢に変換し、かつ I Cを位置決めする位置決め手段 1 7 0により姿勢変換装置 1 6 0を構成するとともに、エスケープレール 5 4の可動ストッパ 5 4 Aに下流側へ突出した延長突片 5 4 Cを設けたものである。つまり、バッファレール 5 3 からエスケープレール 5 4に取り込んだ I Cは傾斜姿勢にあるが、この傾斜姿勢の I Cをそのまま位置決め手段 1 7 0の凹部 1 7 1に斜めに落とし込む。この際 I Cはエスケープレール 5 4の可動ストッパ 5 4 Aの下流側へ突出した延長突片 5 4 C上を移動して位置決め手段 1 7 0の凹部 1 7 1に落下するから、図 1 2に示されるように、 I Cの先端側が位置決め手段 1 7 0の凹部 1 7 1の先端側の位置決め壁面に当接した状態では I Cの後端側はまだ延長突片 5 4 C上にある。よつて、この I Cの先端側が凹部 1 7 1の位置決め壁面に当接した状態で位置決め手段 1 7 0を図 1 2及び図 1 3に示す矢印 X方向に移動させ、 I Cの後端側を可動ストッパ 5 4 Aの延長突片 5 4 C上から凹部 1 7 1内へ落下させ、 I Cの全体を凹部 1 7 1に落とし込む。かくして、 I Cは水平姿勢に変換され、かつ凹部 1 7 1によって位決めされる。

この実施例ではバッファレール 5 3の下流に位置するエスケープレール 5 4には、図 1 3に示すように、 8個の I Cを受け止めることができる I C収納溝 5 4 Bが併置されている。バッファレール 5 3力 ^ら各 I C収納溝 5 4 Bに I Cを収納するごとにエスケープレール 5 4を 1ピッチ分横に移動させる。全ての I C収納溝 5 4 Bに I Cを収納すると、エスケープレール 5 4は位 g決め手段 1 7 0の上部に移動され、各 I C収納溝 5 4 Bに設けられた可動ストッパ 5 4 Aを下方へ引いて I Cを流し出す。これによつて、上述したように I Cは延長突片 5 4 Cによつて位置決め手段 1 7 0の凹部 1 7 1の先端側壁面にその先端側が当たる姿勢で落下する。 I Cの先端側が凹部 1 7 1の先端側壁面に当接した状態では I Cの後端側は突片 5 4 C上に残っており、従って I Cは傾斜した姿勢で停止する（図 1 2の状態）。この状態で位 S決め手段 1 7 0を矢印 X方向に移動させることにより、 I Cの全体を凹部 1 7 1に落とし込むことができる。なお、位置決め手段 1 7 0を矢印 X方向に移動させる代わりに、エスケープレール 5 4或いは可動ストッパ 5 4 Aを矢印 X方向とは逆向きに移動させてもよい。位 S決め手段 1 7 0を矢印 X方向に移動させた後、凹部 1 7 1内の I Cは図示しないが水平搬送手段によってテス卜トレイへ搬送される。なお、水平搬送手段によって位置決め手段 1 7 0から 8個の I Cを一度にテストトレイに運び込む動作は、既に説明した各実施例と同じであるのでその説明を省略する。

図 1 4はこの発明による I C取出装 Sの一実施例の構成を示す。図示の実施例では I C取出装 Sは、マガジン 5 1を水平姿勢に配置し、この水平姿勢に配置したマガジン 5 1の上面側に形成された長手方向のスリツトを通じて I C駆動片 1 7 3を挿入し、この I C駆動片 1 Ί 3を矢印 X方向に移動させてマガジン 5 1内の I Cを矢印 X方向に移動させ、マガジン 5 1の内部から I Cを排出させるように構成されている。マガジン 5 1の先端側にはバッファレール 5 3を配置し、ノッファレール 5 3 の出口側にエスケープレール 5 4を配する。また、通常のようにバッファレール 5 3の出口近傍に可動ストッパ 5 3 Aが取り付けられ、バッファレール 5 3に受け入れられた I Cを出口近傍で抑えるようにしている。エスケープレール 5 4 には、上述した実施例の場合と同様に、複数個の I C収納部が横方向（I Cが送り込まれる方向とは直角な方向）に併置されており、 I Cを 1個受け取るごとに横方向に I C 1個分に相当するスペース分移動する。この移動により受け取った I Cとバッファレール 5 3側の I Cとのバリ等による機械的な係合を解くことができる。ノヽ'ッファレール 5 3からエスケープレール 5 4に I Cを送り込むとき、 I Cはエスケープレール 5 4の閉塞端に押し当てられるため、送り方向に対して位置が揃えられる。その結果、エスケープレール 5 4に、例えば 8個の I Cが収容された後、このエスケープレール 5 4を所定の位置に移動し、エスケープレール 5 4に収納されている I Cを水平搬送手段の真空吸着へッド 4 1によって吸着してテストトレイに運び込む際に、 I Cの位置が揃っているためその作業がスムーズに、確実に行える。

I C駆動片 1 7 3は図 1 4の例ではパルスモータ 1 7 4によって駆動されるべルト 1 7 5に支持され、パルスモータ 1 7 4を間欠的に駆動することにより、 I Cを 1個分ずつマガジン 5 1から送り出すことができる。この実施例では 2つの I C駆動片 1 7 3がほぼ等距離間隔でベルト 1 7 5に支持されている。マガジン 5 1から全ての I Cがバッファレール 5 3に送り出された時点でマガジン 5 1の交換を行う。マガジン 5 1を交換し、 I Cが収納されている新しいマガジン 5 1 をバッファレール 5 3に接铳し終えるタイミングで、ベルト 1 7 5に取り付けた他方の I C駆動片 1 7 3がマガジン 5 1のスリッ卜に入り込み、 I Cの取り出しが再開される。

上述したように、この発明による I C搬送装置及び I C姿勢変換装置を I Cハンドラに適用することにより、傾斜したマガジンから供給される傾斜姿勢にある I Cを水平姿勢に変換してテス卜卜レイへ搬送することが可能となる。従って、棒状のマガジンに収納されている I Cを水平搬送方式を採る I Cハンドラにて I Cテスタのテスト部へ搬送することができる。その結果、マガジンを収納容器とする I Cでも、卜レイを収納容器とする I Cでも試験を行うことができるマガジン · トレイ兼用型の I Cテス夕を構成することができる。しかも、この発明によれば、姿勢変換装置で I Cの姿勢を水平姿勢に変換した位 fiから直接テストトレィへ I Cを運び込む構成としたから、先に提案したトレイ ·マガジン兼用型 I C ハンドラと比較して、 I Cの搬送時間が短縮され、マガジンに収納された I Cの試験時間を短縮することができる。また、姿勢変換手段とテスト卜レイとの間の搬送機構を簡素化することができるから、コストを低滅することができる。なお、上記各実施例では半導体デバイスの代表例である I Cをマガジンから取り出し、搬送し、姿勢変換する場合について説明したが、 I C以外の他の半導体デバイスをマガジンから取り出し、搬送し、姿勢変換する場合にもこの発明が同様に適用できることは言うまでもない。

Claims

請求の範囲

1 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する姿勢変換装置により水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段により吸着して水平搬送手段によりテスト卜レイ上に移動させ、テストトレイ上の任意の収納凹部に上記吸着した半導体デバイスを落下させる構成としたことを特徴とする半導体デバイス搬送装置。

2 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを傾斜が漸次水平状態に変化する姿勢変換レールに送り込み、この姿勢変換レールによって半導体デバィスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテストトレイに搬送する構成としたことを特徴とする半導体デバイス姿勢変換装置。

3 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを、下端部が軸支された傾斜姿勢にある姿勢変換用可動レールに送り込み、この姿勢変換用可動レールに所定個数の半導体デバイスが送り込まれるごとに上記姿勢変換用可動レールを水平姿勢に回動させて、半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテス卜トレイに搬送する構成としたことを特徴とする半導体デバイス姿勢変換装置。

4 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを、下端部が軸支された傾斜姿勢にある姿勢変換用可動レールに送り込み、この姿勢変換用可動レールに所定個数の半導体デバイスが送り込まれるごとに上記姿勢変換用可動レールを水平姿勢に回動させて、半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換すると共に、水平姿勢にある上記姿勢変換用可動レールを水平方向に上記エスケープレ —ルから遠ざかる方向に移動させ、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテストトレイに搬送する構成としたことを特徴とする半導体デバイス姿勢変換装置。

5 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバィスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを、上端部が軸支された傾斜姿勢にある姿勢変換用可動レールに送り込み、この姿勢変換用可動レールに所定個数の半導体デバイスが送り込まれるごとに上記姿勢変換用可動レールを水平姿勢に回動させて、半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢に保持された半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテス卜卜レイに搬送する構成としたことを特徴とする半導体デバイス姿勢変換装置。

6 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離するエスケープレールを設け、このエスケープレールにより分離された半導体デバイスを 1個ずつ受け取り、その受け取る位置を精度よく位 B決めする傾斜姿勢にある位置決め手段を設け、この位置決め手段に支持された傾斜姿勢の半導体デバイスを、垂直面内において回動自在に支持されたデバイス吸着手段により吸着し、この吸着手段の姿勢を水平面に対して鉛直姿勢に回動させて、吸着した半導体デバイスの姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをテストトレイに搬送する構成としたことを特徵とする半導体デゾィス姿勢変換装置。

7 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に傾斜姿勢にあるバッファレールを設け、このバッファレールの下端に、この下端に位置する半導体デバイスを抑えて流出を阻止し、必要に応じて半導体デバイスをバッファレールから排出させる制御を行う可動ストッパを設け、上記バッファレールの下流側に、回転軸芯を中心にして回転し、直径方向に対向する少なくとも一対の回転アームを備えた姿勢変換用回転体を設け、上記一対の回転アームには、その一方が上記バッファレールの傾斜角度と同じ傾斜角度になるように配列されたときに、他方の回転ァ一ムが水平姿勢を取るように、それぞれ同じ上向きの傾斜角を与え、一方の回転ァームが上記バッファレールの下流に連結されて、傾斜した姿勢の半導体デバイスを受け取り、回転アームの 1 8 0 ° の回転により、回転アームに支持した半導体デバィスの傾斜姿勢を水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デバイスをデバイス吸着手段に吸着させてテストトレイに搬送する構成としたことを特徴とする半導体デバイス姿勢変換装 S。

8 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスを複数個保持する、傾斜姿勢にあるバッファレールを設け、このバッファレールに保持された半導体デパイスの最下端の半導体デバイスを抑え、必要に応じて解放して半導体デバイスを排出させる可動ス卜ッパを上記バッファレールの下端に設け、上記バッファレールの下流側に、上記半導体デバイス収納用マガジン及び上記バッファレールの軸線と水平面とがなす角度を 2等分した角度に回転軸芯を有し、かつ直径方向に対向する一対の回転ァ —ムを備えた姿勢変換用回転体を設け、上記一対の回転アームには、その一方が上記バッファレールの下端に連結されて上記バッファレールと同一軸線上に配置されたときに、他方の回転アームが水平面と平行する姿勢に配 Sされる傾斜角を持たせ、上記各回転アームには、上記バッファレールの下端に連結されて上記バッファレールから半導体デバイスが送り込まれたときにこのデバイスの内側面を吸着するデバイス吸着手段を設け、このデバイス吸着手段によつて吸着した半導体デバイスの姿勢を回転アームの 1 8 0 ° の回転により水平姿勢に変換し、この水平姿勢にある半導体デパイスの下側に、上記デバィス吸着手段から切り離された半導体デバイスを水平姿勢で受け取り、かつその受け取る位置を規制する位置決め手段を設けた構成としたことを特徴とする半導体デバイス姿勢変換装置。

9 . 棒状の半導体デバイス収納用マガジンを傾斜させて支持し、この傾斜によつて内部に収納した半導体デバイスを自然滑走させて、上記半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを排出させ、この排出した半導体デバイスの姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に変換する半導体デバイス姿勢変換装置において、上記半導体デバイス収納用マガジンの下流側に上記半導体デバイス収納用マガジンから排出される半導体デバイスの列を 1個ずつに分離する、傾斜姿勢にあるエスケープレールを設け、このエスケープレールによって分離された半導体デバイスを保持する可動ストッパを上記エスケープレールに設け、上記エスケープレールの下流位置に水平姿勢で配置された位置決め手段を設け、上記エスケープレ —ルと上記位置決め手段とは、上記可動ストッパを解放することにより送り出される半導体デバイスの先端が上記位置決め手段に形成された位置決め用凹部の端部壁に当接して傾斜姿勢に留まる位置関係に配置し、上記エスケープレールと上記位置決め手段とを相対的に離れる方向に移動させる駆動手段を設け、この駆動手段を作動させて傾斜姿勢にある半導体デバイスを上記位置決め用凹部に落とし込み、水平姿勢に変換する構成としたことを特徴とする半導体デバイス姿勢変換装置。

1 0 . 水平姿勢に支持した棒状の半導体デバイス収納用マガジンから半導体デバイスを送り出す駆動手段と、この駆動手段で押し出された半導体デバイスを複数個収納するバッファレールと、このバッファレールの出口部近傍に設けられた可動ストツバと、上記バッファレールから押し出された半導体デバイスを 1個ずつ受け入れて水平姿勢で位置決めした状態に保持する位置決め手段とを具備することを特徴とする半導体デバイス取出装置。