Beschreibung
Integrierter Speicher mit Speicherzellen und Referenzzellen sowie Betriebsverfahren für einen solchen Speicher
Die Erfindung betrifft einen integrierten Speicher mit Speicherzellen und Referenzzellen sowie ein Betriebsverfahren für einen solchen Speicher.
In der US 5,844,832 A und m der US 5,572,459 A sind ferro- ele tπsche Speicher (FRAM beziehungsweise FeRAM) beschrieben, die Speicherzellen vom 1-Transιstor/l-Kondensator-Typ aufweisen. Der Speicherkondensator weist em ferroelektri- sches Dielektrikum auf, dessen Polarisation zum Speichern un- terschiedlicher logischer Zustande auf unterschiedliche Werte eingestellt wird. Durch Einstellen der Polarisation des Dielektrikums wird die Kapazität des Speicherkondensators beeinflußt. Da die genannten Speicherzellen bei einem Lesezugriff aufgrund ihrer beschrankten Kapazität nur geringe Potential- Veränderungen auf den mit ihnen verbundenen Bitleitungen bewirken können, weisen diese Speicher differentielle Lesever- starker auf, wie sie beispielsweise auch bei DRAMs (Dynamic Random Access Me ories) zum Einsatz kommen. Jeder Lesever- starker ist mit einem Paar von Bitleitungen verbunden. Bei einem Lesezugriff auf eine der Speicherzellen wird diese über eine der Bitleitungen elektrisch mit dem zugehörigen Lesever- starker verbunden, wahrend die andere Bitleitung des mit diesem Leseverstarker verbundenen Bitleitungspaares eine Referenzzelle mit dem zweiten Eingang des Leseverstarkers elek- tπsch verbindet.
Die Referenzzellen sind im wesentlichen wie die normalen Speicherzellen der FRAMs aufgebaut und dienen der Erzeugung eines Referenzpotentials auf der entsprechenden zweiten Bit- leitung. Der Leseverstarker verstärkt dann die sich einstellende Potentlaidifferenz zwischen den beiden Bitleitungen. Um das gewünschte Referenzpotential auf der zweiten Bitleitung
zu erzeugen, ist es notwendig, m der Referenzzelle zuvor eine entsprechende Referenzinformation zu speichern. Hierzu sind sowohl m der US 5,572,459 A als auch m der US 5,844,832 A die Referenzzellen im Vergleich zu den norma- len Speicherzellen modifiziert, indem sie über zusätzliche Transistoren mit Potentialleitungen verbunden sind, die zur Zufuhrung der gewünschten Referenzinformation dienen. Diese zusätzlichen Transistoren sind mit einem Schaltungsknoten innerhalb der Speicherzelle verbunden, der sich zwischen dem jeweiligen Auswahltransistor und dem Speicherkondensator der Referenzzelle befindet.
Die oben erwähnten, durch einen zusatzlichen Transistor modifizierten Speicherzellen weisen den Nachteil auf, daß sie aufgrund des zusätzlich vorhandenen Transistors nicht völlig identisch wie die normalen Speicherzellen aufgebaut sind. Dies hat zur Folge, daß die Referenzzellen nicht im gleichen Raster wie die normalen Speicherzellen hergestellt werden können. Hierdurch ergibt sich ein aufwendigerer Herstellungs- prozeß des Speichers.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen integrierten Speicher der beschriebenen Art anzugeben, dessen Speicherzellen und Referenzzellen m einem regelmäßigen Raster angeord- net werden können. Außerdem soll ein Betriebsverfahren für einen solchen Speicher angegeben werden.
Diese Aufgaben werden mit einem integrierten Speicher gemäß Patentanspruch 1 sowie mit einem Betriebsverfahren gemäß Pa- tentanspruch 9 gelost. Vorteilhafte Aus- und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhangigen Patentansprüche.
Der integrierte Speicher weist identisch aufgebaute Speicherzellen und Referenzzellen auf. Die zweiten Schaltelemente dienen zur Zufuhrung der Referenzinformation m die Referenzzellen. Da die zweiten Schaltelemente nicht mit einem Schaltungsknoten innerhalb der Referenzzelle, sondern mit einem
Schaltungsknoten auf der zugehörigen Bitleitung verbunden sind, müssen die Referenzzellen gegenüber den Speicherzellen nicht modifiziert werden. Dies ermöglicht zum einen die Herstellung des die Speicherzellen und Referenzzellen aufweisen- den Speicherzellenfeldes m einem regelmäßigen Raster, dessen Ausdehnung durch die minimalen Abmessungen der Speicherzellen vorgegeben ist. Zum anderen ergibt sich der Vorteil, daß das Einschreiben und Auslesen der Referenzinformation m die Referenzzellen auf gleiche Weise erfolgt, wie das Einschreiben beziehungsweise Auslesen von Daten m die Speicherzellen. Da das genaue Verhalten der Speicherzellen bei einem Zugriff auch von Schwankungen des Herstellungsprozesses abhangt, wird das Zugriffsverhalten der Referenzzellen, die identisch wie die Speicherzellen aufgebaut sind, aufgrund derartiger Em- flusse m gleicher Weise beeinflußt wie dasjenige der Speicherzellen. Somit ist gewährleistet, daß die von den Referenzzellen zur Verfugung gestellte Referenzinformation auch für unterschiedliche Herstellungsbedingungen des Speichers an das veränderte Zugriffsverhalten der normalen Speicherzellen angepaßt ist.
Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind die Referenzzellen und die ersten Schaltelemente an einem dem Leseverstarker gegenüberliegenden Ende der jeweiligen Bitleitung angeordnet. Hierdurch ergibt sich eine schaltungstechnisch vorteilhafte Anordnung, bei der relativ wenige Steuersignale zur Ansteue- rung der ersten Schaltelemente benotigt werden. Um das Raster des Zellenfeldes beizubehalten, können die ersten Schaltelemente ebenfalls m diesem Raster angeordnet werden.
Nach einer anderen Weiterbildung der Erfindung sind die ersten Schaltelemente am dem Leseverstarker zugewandten Ende der jeweiligen Bitleitung angeordnet. Dies hat den Vorteil, daß bei den Leseverstarkern oftmals ausreichend Platz zur Verfugung steht und sich die Schaltelemente daher problemloser anordnen lassen, auch wenn aufgrund von sehr kleinen
Speicherzellen das Raster des Speicherzellenfeldes sehr klein wird.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Figuren naher er- läutert, die Ausfuhrungsbeispiele darstellen. Es zeigen:
Figur 1 ein erstes Ausfuhrungsbeispiel des integrierten Speichers,
Figur 2 eine Variante des integrierten Speichers aus
Figur 1,
Figur 3 ein weiteres Ausfuhrungsbeispiel des integrierten Speichers,
Figur 4 eine Variante des Ausfuhrungsbeispiels aus Figur 3 und
Figur 5 den Aufbau einer Speicherzelle und einer Refe- renzzelle der unterschiedlichen Ausfuhrungsbeispiele .
Obwohl im folgenden die Erfindung anhand von Ausfuhrungsbei- spielen erläutert wird, die einen ferroelektπschen Speicher vom Typ FRAM betreffen, ist die Erfindung auf solche Speicher nicht beschrankt. Sie eignet sich zur Anwendung bei allen integrierten Speichern, die differentielle Leseverstarker sowie damit verbundene Bitleitungspaare aufweisen, an die neben den normalen Speicherzellen auch Referenzzellen angeschlossen sind. Beispielsweise eignet sich die Erfindung auch zur Anwendung bei DRAMs.
Figur 1 zeigt einen Ausschnitt eines Speicherzellenfeldes eines integrierten Speichers vom Typ FRAM. Gezeigt sind zwei Bitleitungspaare BLi, bBli, die mit je einem differentiellen Leseverstarker SAi verbunden sind. Die Leseverstarker SAi verstarken bei einem Lesezugriff auf dem jeweiligen Bitlei-
tungspaar vorhandene Spannungen und geben diese verstärkt an Datenleitungspaare LDQi, bLDQi weiter. Bei einem Schreibzu¬ griff übertragen sie eine Spannung vom Datenleitungspaar zum jeweiligen Bitleitungspaar . Obwohl m Figur 1 nur zwei Bit- leitungspaare BLi, bBLi dargestellt sind, weist der Speicher eine Vielzahl von Bitleitungspaaren mit entsprechenden Lese- verstarkern SAi auf. Obwohl bei den hier geschilderten Aus- fuhrungsbeispielen das "Folded Bitlme-Konzept" dargestellt wird, bei dem die beiden Bitleitungen jedes Bitleitungspaares parallel zueinander verlaufen, ist die Erfindung ebensogut auf nach dem "Open Bitlme-Konzept" aufgebaute Speicher anwendbar, bei denen die beiden Bitleitungen eines Bitleitungs- paares auf verschiedenen Seiten des zugehörigen Leseverstar- kers angeordnet sind.
In Kreuzungspunkten der Bitleitungen mit Wortleitungen WLi sind normale Speicherzellen MC angeordnet. Weiterhin ist eine Vorladeleitung PRE vorhanden, die mit Gates von Transistoren verbunden ist, über die jede der Bitleitungen BLi, bBli mit einem Vorladepotential verbunden ist. Der Speicher weist weiterhin Referenzzellen RC auf, die m Kreuzungspunkten der Bitleitungen BLi, bBLi mit Referenzwortleitungen REFWL, bREFWL angeordnet sind. Die Referenzzellen RC sind mit den Bitleitungen m Schaltungsknoten A verbunden.
Die Speicherzellen MC und die Referenzzellen RC sind identisch aufgebaut. Figur 5 zeigt ihren Aufbau. Sie weisen e- weils einen Auswahltransistor T und einen Speicherkondensator C mit ferroelektrischem Dielektrikum auf. Die eine Elektrode des Speicherkondensators C ist mit einem Plattenpotential PL und die andere Elektrode ist über den Auswahltransistor T mit der entsprechenden Bitleitung BLi verbunden. Das Gate des Auswahltransistors T ist mit einer der Wortleitungen WLi beziehungsweise einer der Referenzwortleitungen REFWL verbunden. Für die Referenzzellen RC ist m Figur 5 auch der Schal-
tungsknoten A eingezeichnet, an dem die Referenzzelle mit der zugehörigen Bitleitung BLi verbunden ist.
Figur 1 ist zu entnehmen, daß die Bitleitungen BLi, bBLi die- ses Ausfuhrungsbeispiels m zwei Bereiche unterteilt sind, nämlich einen ersten Bereich, m dem sie mit den Speicherzel¬ len MC verbunden sind, und einen zweiten Bereich, m dem sie mit den Referenzzellen RC verbunden sind. Die beiden Bereiche der Bitleitungen sind über erste Schaltelemente Sl miteman- der verbunden. Weiterhin ist eine erste Potentialleitung Pl mit dem Ende der Bitleitungen BLi, bBLi über zweite Schaltelemente S2 verbunden. Die ersten Sl und zweiten S2 Schaltelemente sind bei den hier betrachteten Ausfuhrungsbeispielen n- Kanal-Transistoren. Die Gates der vier ersten Schaltelemente Sl sind mit einer Referenzleseleitung REFRD und die Gates der zweiten Schaltelemente S2 mit einer Referenzschreibleitung REFWB verbunden.
Im folgenden wird ein Lesezugriff auf den m Figur 1 darge- stellten Speicher beschrieben. Zunächst wird über die Vor- ladeleitung dafür gesorgt, daß alle Bitleitungen BLi, bBLi auf das Vorladepotential vorgeladen werden. Anschließend werden die mit dem Vorladepotential verbundenen Transistoren wieder gesperrt. Dann wird eine der Wortleitungen WLi auf ein hohes Potential gebracht, wahrend die übrigen Wortleitungen auf niedrigem Potential bleiben. Hierdurch werden die beiden mit der aktivierten Wortleitung WLi verbundenen Speicherzellen MC ausgewählt, indem ihre Speicherkondensatoren C über ihren Auswahltransistor T elektrisch leitend mit der zugeho- rigen Bitleitung verbunden werden. Gleichzeitig zur Aktivierung einer der Wortleitungen WLi wird diejenige der Refe- renzwortleitungen REFWL, bREFWL auf einen hohen Pegel gebracht, die den Referenzzellen RC zugeordnet ist, die nicht mit den gleichen Bitleitungen verbunden sind, wie die gerade auszulesenden Speicherzellen MC. Beispielsweise wird gleichzeitig die Wortleitung WL0 und die Referenzwortleitung bREFWL aktiviert. Ferner ist zu diesem Zeitpunkt die Referenzlese-
leitung REFRD auf einem hohen Pegel und die Referenzschrei- bleitung REFWB auf einem niedrigen Pegel. Somit ist die je¬ weils auszulesende Speicherzelle MC mit dem einen Eingang des zugehörigen Leseverstarkers SAi und die entsprechende Refe- renzzelle RC mit dem anderen Eingang dieses Leseverstarkers verbunden. In Abhängigkeit des m der Speicherzelle MC ge¬ speicherten Datums beziehungsweise der m der Referenzzelle gespeicherten Referenzinformation wird das Potential der mit diesen verbundenen Bitleitung BLi beziehungsweise bBLi unter- schiedlich beeinflußt. Der Leseverstarker SAi verstärkt anschließend die sich daraufhin einstellende Potentialdifferenz an seinen Eingängen.
Da es sich bei den beschriebenen Speicherzellen MC und Refe- renzzelle RC um solche handelt, deren Speicherinhalt bei einem Lesezugriff zerstört wird, ist es notwendig, am Ende des Lesezugriffs die zuvor ausgelesene Information wieder m die Zellen zurückzuschreiben. Da es gewünscht ist, einerseits m die Referenzzellen RC immer die gleiche Referenzinformation einzuschreiben, andererseits (je nach zu speicherndem Datum) m die Speicherzellen MC jedoch mal eine logische "1" und mal eine logische "0" eingeschrieben werden muß, wird für das Ruckschreiben bei diesem Ausfuhrungsbeispiel die Referenzleseleitung REFRD auf ein niedriges Potential gebracht, so daß die ersten Schaltelemente Sl wieder sperren. Die Referenzzellen RC sind damit von den Leseverstarkern SAi abgekoppelt. Das Ruckschreiben des aus der Speicherzelle MC ausgelesenen Datums erfolgt aber - wie bei FRAMs oder auch DRAMs üblich - durch den Leseverstarker SAi, indem einfach die von diesem verstärkte Information m der Speicherzelle MC gespeichert wird. Dagegen erfolgt das Ruckschreiben der Referenzinformation m die Referenzzellen RC durch Leitendschalten der zweiten Schaltelemente S2 über die Referenzschreibleitung REFWB. Auf der ersten Potentialleitung Pl liegt ein entsprechendes Referenzpotential VRef an, das über das jeweilige zweite
Schaltelement S2 m die immer noch über die Referenzwortlei-
tung bREFWL ausgewählten Referenzzellen RC geschrieben wird. Nun ist der Lesezugriff abgeschlossen.
Ein Schreibzugriff erfolgt auf an sich bekannte Weise, indem die entsprechenden Speicherzellen MC über ihre Wortleitungen WLi selektiert werden und das gewünschte Datum vom Datenlei- tungspaar LDQi, bLDQi über den Leseverstarker SAi zum Bitlei- tungspaar BLi, bBLi übertragen wird. Dabei können die ersten Schaltelemente Sl gesperrt bleiben und es erfolgt keine Aus- wähl einer der Referenzwortleitungen REFWL, bREFWL.
Beim hier vorgestellten Ausfuhrungsbeispiel sind die ersten Sl und zweiten S2 Schaltelemente sowie die Referenzzellen RC im selben Raster wie die Speicherzellen MC angeordnet. Hier- durch ergibt sich eine einfach herzustellende, kompakte Speicherarchitektur .
Figur 2 zeigt eine Abwandlung des m Figur 1 dargestellten Ausfuhrungsbeispiels . Bei den im folgenden anhand der Figuren 2 bis 4 erläuterten Ausfuhrungsbeispielen wird auf bereits m der Figur 1 erläuterte Komponenten und deren Funktion nur eingegangen, sofern Unterschiede bestehen. Der m Figur 2 dargestellte Speicher weist zusätzlich dritte Schaltelemente S3 m Form von n-Kanal-Transistoren auf. Das eine dritte Schaltelement S3 verbindet die Bitleitungen BLO und BLI miteinander und das andere Schaltelement S3 die Bitleitungen bBLO und bBLi. Die Gates der dritten Schaltelemente S3 sind mit je einer Steuerleitung SHT, bSHT verbunden. Die dritten Schaltelemente S3 sind im zweiten Bereich der Bitleitungen BLi, bBLi angeordnet, der sich zwischen den ersten Sl und zweiten S2 Schaltelementen befindet. Ein weiterer Unterschied gegenüber dem Ausfuhrungsbeispiel m Figur 1 besteht darin, daß über die zweiten Schaltelemente S2 nur das erste Bitlei- tungspaar BLO, bBLO mit der ersten Potentialleitung BLI ver- bunden ist, wahrend das zweite Bitleitungspaar BLI, bBLi über seine zweiten Schaltelemente mit einer zweiten Potentialleitung P2 verbunden ist.
Die beiden Potentialleitungen Pl, P2 sind mit e einem Aus¬ gang eines Wechsel-Flip-Flops FF verbunden, so daß sie gegen¬ sätzliche Potentiale aufweisen. Die dritten Schaltelemente S3 und die beiden Potentialleitungen Pl, P2 dienen der Erzeugung des bei einem Lesezugriff auf eine der Speicherzellen MC not¬ wendigen Referenzpotentials . Beim Einschreiben der Referenzinformation über die zweiten Schaltelemente S2 m die Referenzzellen RC wird m die Referenzzellen RC des ersten Bit- leitungspaares BLO, bBLO eine Referenzinformation geschrieben, die mvers zu derjenigen ist, die die Referenzzellen RC des zweiten Bitleitungspaares BLI, bBLi geschrieben wird. Das Flip-Flop FF dient zur Erzeugung dieser beiden mversen Referenzinformationen auf den Potentialleitungen Pl, P2. Über einen Takteingang C des Flip-Flops FF wird ein Wechsel m der Polarität seiner Ausgangssignale m regelmäßigen zeitlichen Abstanden bewirkt. Hierdurch wird verhindert, daß m die Referenzzellen RC immer derselbe logische Zustand eingeschrieben wird, was zu einer Ermüdung der entsprechenden Referenz- zelle RC beziehungsweise des ferroelektrischen Dielektrikum ihres Speicherkondensators C fuhren wurde. Mit dem Flip-Flop FF ist es möglich, jeweils unterschiedliche logische Zustande m die Referenzzellen RC der beiden Bitleitungspaare zu schreiben, die mit der Taktung des Flip-Flops FF m größeren zeitlichen Abstanden alternieren. Die mversen Referenzinformationen Können bei anderen Ausfuhrungsbeispielen statt mit einem Flipflop auch auf andere Weise zugeführt werden. Insbesondere können sie statisch zugeführt werden, ohne daß sich ihre Polarität ändert.
Wird beim Speicher gemäß Figur 2 bei einem Lesezugriff beispielsweise wieder die Wortleitung WL0 und die Referenzwort- leitung bREFWL aktiviert, erzeugen die beiden aktivierten Referenzzellen RC aufgrund ihres gegensatzlichen logischen Pe- gels ein jeweils unterschiedliches Potential auf den entsprechenden Bitleitungen bBLi, mit denen sie über die ersten Schaltelemente Sl leitend verbunden sind. Anschließend er-
folgt über die diesen beiden Bitleitungen zugeordnete Steuer- leitung bSHT ein Leitendschalten des entsprechenden dritten Schaltelementes S3. Das den beiden anderen Bitleitungen BLi zugeordnete dritte Schaltelement S3 bleibt dagegen gesperrt. Das leitende dritte Schaltelement S3 schließt die beiden mit ihm verbundenen Bitleitungen bBLi kurz. Hierdurch erfolgt ein Potentialausgleich zwischen diesen beiden Bitleitungen, wodurch das gewünschte Referenzpotential erzeugt wird. Nun werden die beiden Leseverstarker SAi aktiviert, die jeweils die Potentialdifferenz zwischen dem Referenzpotential und dem sich auf der mit der jeweiligen aktivierten Speicherzelle MC elektrisch verbundenen Bitleitung BLi einstellenden Potential verstarken .
Das Ruckschreiben am Ende des Lesezugriffs erfolgt beim Speicher gemäß Figur 2 ahnlich wie bei demjenigen aus Figur 1. Zuvor wird jedoch das dritte Schaltelement S3 über die Steu- erleitung bSHT wieder gesperrt. Wahrend des Ruckschreibens der Referenzinformation m die Referenzzellen RC sind wieder- um die ersten Schaltelemente Sl gesperrt und die zweiten Schaltelemente S2 leitend.
Die Figuren 3 und 4 zeigen Ausfuhrungsbeispiele des integrierten Speichers, bei dem die ersten Schaltelemente Sl, die zweiten Schaltelemente S2 und die Potentialleitungen Pl, P2 am den Leseverstarkern SAi zugewandten Ende der Bitleitungen BLi, bBLi angeordnet sind. Sowohl m Figur 3 als auch m Figur 4 sind die Bitleitungen BLi, bBLi also über die ersten Schaltelemente Sl mit den Leseverstarkern SAi verbunden. Auf diese Weise wird em zusammenhangendes Speicherzellen- feld der Speicherzellen MC mit den Referenzzellen RC ermöglicht, da die ersten Schaltelemente Sl nun die Bitleitungen nicht mehr in Bereiche unterteilen, die entweder mit den Speicherzellen, oder mit den Referenzzellen verbunden sind. Da der Regel der Nahe der Leseverstarker SAi ausreichend Platz zur Verfugung steht, ist die Realisierung gemäß Figur 3 und 4 unter Umstanden problemloser möglich als gemäß
Figur 1 und 2, auch wenn der Speicher mit sehr kleinen Struk¬ turgroßen erzeugt wird. Ausreichend Platz der Nahe der Leseverstarker SAi steht insbesondere dann zur Verfugung, wenn diese über entsprechende Multiplexer (nicht dargestellt) e- weils mit mehreren Bitleitungspaaren verbunden sind.
Der Speicher gemäß Figur 3 unterscheidet sich von demjenigen m Figur 1 und der Speicher m Figur 4 unterscheidet sich von demjenigen m Figur 2 weiterhin darin, daß die mit den Bit- leitungen BLO und BLI verbundenen ersten Schaltelemente Sl mit einer ersten Auswahlleitung MUX und die beiden anderen ersten Schaltelemente Sl mit einer zweiten Auswahlleitung bMUX verbunden sind. Em weiterer Unterschied besteht darin, daß die mit den Bitleitungen BLO und BLI verbundenen zweiten Schaltelemente S2 an ihren Gates mit einer ersten Referenz- schreibleitung REFWB und die mit den Bitleitungen bBLO und bBLi verbundenen zweiten Schaltelemente S2 an ihren Gates mit einer zweiten Referenzschreibleitung bREFWB verbunden sind.
Em Lesezugriff auf den Speicher m Figur 3 erfolgt beispielsweise wieder durch Aktivierung der Wortleitung WLO und der Referenzwortleitung bREFWL. Außerdem wird die erste Aus- wahlleitung MUX und die zweite Auswahlleitung bMUX auf einen hohen Pegel gebracht, wahrend die oeiden Referenzschreiblei- tungen REFWB, bREFWB e niedriges Potential haben. Es sind dann alle ersten Schaltelemente Sl leitend und alle zweiten Schaltelemente S2 gesperrt. Nach dem Verstarken des sich einstellenden Differenzsignals durch die Leseverstarker SAi erfolgt em Ruckschreiben m die Speicherzellen MC und die Re- ferenzzellen RC dadurch, daß die Referenzzellen RC von den
Leseverstarkern abgekoppelt werden, indem die entsprechenden ersten Schaltelemente Sl sperren. Dies erfolgt, indem die zweite Auswahlleitung bMUX einen niedrigen Pegel annimmt, wahrend die erste Auswahlleitung MUX einen hohen Pegel be- halt. Anschließend nimmt die zweite Referenzschreibleitung bREFWB einen hohen Pegel an, so daß die mit diesem verbundenen zweiten Schaltelemente S2 leiten. Die erste Referenz-
schreibleitung REFWB bleibt dabei auf niedrigem Pegel. Nun erfolgt, da die Wortleitung WLO und die Referenzwortleitung bREFWL weiterhin aktiviert sind, über die mit den Bitleitungen BLi verbundenen ersten Schaltelemente Sl ein Ruckschrei- ben der vom Leseverstarker SAi verstärkten Information m die Speicherzellen MC und gleichzeitig em Übertragen der gewünschten Referenzinformation von der ersten Potentialleitung Pl über die mit den Bitleitungen bBLi verbundenen zweiten Schaltelemente S2 in die beiden ausgewählten Referenzzellen RC.
Der m Figur 4 dargestellte Speicher generiert das am Leseverstarker SAi benotigte Referenzpotential wiederum auf die bezüglich Figur 2 bereits beschriebene Art durch Auslesen zweier Referenzzellen RC, denen zueinander mverse Informationen gespeichert sind und anschließendes Kurzschließen über das entsprechende dritte Schaltelement S3. Da die dritten Schaltelemente S3 m Figur 4 direkt an den Leseverstarkern SAi angeordnet sind, ist es für das Kurzschließen der aus den Referenzzellen RC ausgelesenen Referenzinformationen notwendig, daß zuvor die ersten Schaltelemente Sl leitend geschaltet worden sind. Die dritten Schaltelemente S3 können jedoch auch auf der von den Leseverstarkern SAi abgewandten Seite der ersten Schaltelemente Sl angeordnet sein, so daß die ersten Schaltelemente Sl erst leitend geschaltet werden müssen, wenn der Kurzschluß über das entsprechende dritte Schaltelement S3 bereits erfolgt ist. Die Ansteuerung der ersten und zweiten Schaltelemente Sl, S2 Figur 4 erfolgt äquivalent wie m Figur 3.
Bei den Ausfuhrungsbeispielen gemäß Figur 2 und Figur 4 ist es wichtig, daß nach dem Kurzschließen der beiden die Referenzinformationen fuhrenden Bitleitungen durch das entsprechende dritte Schaltelement S3 letzteres wieder gesperrt wird, bevor die Leseverstarker SAi aktiviert werden und die festgestellte Potentialdifferenz verstarken. Andernfalls kommt es beim Auslesen zueinander mverser Informationen aus
den beiden zeitgleich auszulesenden Speicherzellen MC zu einem Kurzschluß zwischen den beiden dann mverse Pegel treibenden Leseverstarkern SAi .
Bei den hier geschilderten Ausfuhrungsbeispielen erfolgt jeweils das Ruckschreiben der aus den Speicherzellen MC ausgelesenen Daten über die Leseverstarker SAi und das Ruckschreiben der aus den Referenzzellen RC ausgelesenen Referenzinformation über die entsprechenden Potentialleitungen Pl, P2 je- weils gleichzeitig. Außerdem erfolgt bei allen Ausfuhrungsbeispielen das Auslesen der Daten aus den Speicherzellen MC und der Referenzinformation aus den Referenzzellen RC sowie das Kurzschließen der mit den Referenzzellen RC verbundenen Bitleitung über die dritten Schaltelemente S3 jeweils gleich- zeitig.
Die Ausfuhrungsbeispiele gemäß Figur 1 und Figur 2 haben den weiteren Vorteil, daß beim Ruckschreiben der Referenzinformation m die Referenzzellen RC nicht die gesamte Kapazität der Bitleitungen BLi, bBLi mit der jeweiligen Potentialleitung
Pl, P2 verbunden wird, sondern nur der sehr kurze Bereich der Bitleitungen, der mit den Referenzzellen RC verbunden ist. Hierdurch kann das Rückschreiben der Referenzinformation über die zweiten Schaltelemente S2 mit geringen Verlusten und sehr kurzer Zeit erfolgen.