WO2001029845A1 - Lentille integrale destine a un flux de particules hautes energies, procede de fabrication des lentilles de l'invention et utilisation desdites lentilles dans des dispositifs d'analyse, des dispositifs de traitement par rayonnements et de lithographie - Google Patents

Lentille integrale destine a un flux de particules hautes energies, procede de fabrication des lentilles de l'invention et utilisation desdites lentilles dans des dispositifs d'analyse, des dispositifs de traitement par rayonnements et de lithographie Download PDF

Info

Publication number
WO2001029845A1
WO2001029845A1 PCT/RU2000/000206 RU0000206W WO0129845A1 WO 2001029845 A1 WO2001029845 A1 WO 2001029845A1 RU 0000206 W RU0000206 W RU 0000206W WO 0129845 A1 WO0129845 A1 WO 0129845A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
radiation
lens
lenses
πρi
pressure
Prior art date
Application number
PCT/RU2000/000206
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Muradin Abubekirovich Kumakhov
Original Assignee
Muradin Abubekirovich Kumakhov
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Muradin Abubekirovich Kumakhov filed Critical Muradin Abubekirovich Kumakhov
Priority to CA002354080A priority Critical patent/CA2354080C/en
Priority to KR10-2001-7007564A priority patent/KR100432511B1/ko
Priority to JP2001532553A priority patent/JP2003512631A/ja
Priority to US09/868,189 priority patent/US6678348B1/en
Priority to AU49612/00A priority patent/AU754593B2/en
Priority to EP00931790A priority patent/EP1170755A4/en
Priority to UA2001063797A priority patent/UA49111C2/ru
Publication of WO2001029845A1 publication Critical patent/WO2001029845A1/ru
Priority to HK02102177.9A priority patent/HK1040820B/zh
Priority to US10/458,649 priority patent/US6963072B2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/04—Re-forming tubes or rods
    • C03B23/047—Re-forming tubes or rods by drawing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/04—Re-forming tubes or rods
    • C03B23/047—Re-forming tubes or rods by drawing
    • C03B23/0473—Re-forming tubes or rods by drawing for forming constrictions
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/7015—Details of optical elements
    • G03F7/70166—Capillary or channel elements, e.g. nested extreme ultraviolet [EUV] mirrors or shells, optical fibers or light guides
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N5/00—Radiation therapy
    • A61N5/10—X-ray therapy; Gamma-ray therapy; Particle-irradiation therapy
    • A61N2005/1085—X-ray therapy; Gamma-ray therapy; Particle-irradiation therapy characterised by the type of particles applied to the patient
    • A61N2005/1091—Kilovoltage or orthovoltage range photons
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N5/00—Radiation therapy
    • A61N5/10—X-ray therapy; Gamma-ray therapy; Particle-irradiation therapy
    • A61N2005/1092—Details
    • A61N2005/1095—Elements inserted into the radiation path within the system, e.g. filters or wedges
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N5/00—Radiation therapy
    • A61N5/10—X-ray therapy; Gamma-ray therapy; Particle-irradiation therapy
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K2201/00—Arrangements for handling radiation or particles
    • G21K2201/06—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements
    • G21K2201/067—Construction details
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • Integrated lens for the production of particles of high energy the method of manufacturing such lenses and their use in analytical devices, devices for radiation therapy
  • lenses were created to control X-ray and other high-energy emissions.
  • Pe ⁇ vye lenses u ⁇ avleniya radiation ( ⁇ usi ⁇ vaniya ⁇ as- ⁇ dyascheg ⁇ sya radiation ⁇ mi ⁇ vaniya ⁇ a ⁇ alleln ⁇ g ⁇ ⁇ a of ⁇ as ⁇ - dyascheg ⁇ sya radiation ⁇ usi ⁇ vaniya radiation ⁇ a ⁇ alleln ⁇ g ⁇ or d ⁇ ug ⁇ g ⁇ ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniya) ⁇ eds ⁇ avlyali s ⁇ b ⁇ y s ⁇ v ⁇ u ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ anal ⁇ v ⁇ ans ⁇ i ⁇ v ⁇ i radiation, in radiation ⁇ y ⁇ is. ⁇ y ⁇ yvae ⁇ mn ⁇ g ⁇ - ⁇ a ⁇ n ⁇ e ⁇ ln ⁇ e external ⁇ azhenie.
  • ⁇ a ⁇ ie lens izg ⁇ avlivalis as mn ⁇ zhes ⁇ va ⁇ a ⁇ illya ⁇ v or ⁇ li ⁇ a ⁇ illya ⁇ v, ⁇ dyaschi ⁇ che ⁇ ez ⁇ ve ⁇ s ⁇ iya or yachey ⁇ i ⁇ dde ⁇ zhivayuschi ⁇ s ⁇ u ⁇ u ⁇ , us ⁇ an ⁇ vlenny ⁇ on ⁇ edelenn ⁇ m ⁇ ass ⁇ yanii ⁇ lens length (cm .: ⁇ . ⁇ . ⁇ adev, ⁇ .I. ⁇ l ⁇ miytsev, ⁇ . ⁇ . ⁇ uma ⁇ v and d ⁇ .
  • the lenses described above which are compatible with the lenses of the first generation, are assembled by a student and are subject to a limited charge. They use optical radiation with a quantum energy to prepare up to 10 ken and receive an optical fuse of 0.5 mm.
  • the transverse size of the channel of the transformer makes up about 10 microns, and in a number of cases it is possible to get the size of the channel for 2–3 microns. However, there is a minimum size of a sharp spot.
  • the current time of this lens is called lenses that are emitted by the lenses are the most effective concentra- tions of the x-ray radiation due to the use of sources of radiation of the x-rays.
  • the proposed method is aimed at eliminating the noted drawbacks of the known.
  • X-ray lenses One of the applications of X-ray lenses is the analysis of devices - the means for analyzing the structure of the device (the distribution of the costs of the product), the The use of radiations for these purposes, in particular X-rays, has been known for a long time (see, for example: Automation of a product and an intentional elec- [8]; The Physics of Visualization of Imagery in Medicine, ed. By S. Webb, T. 1, Russia, ed. “Kiru”, 1991 [9]; ⁇ . 10]). Particularly new stage of development of such devices began with the use of lenses for the control of used radiation. The closest we offer is the analytic equipment of the United States patent ⁇ ° 5497008 (published on 05.03.96) [11].
  • ⁇ s ⁇ s ⁇ av e ⁇ g ⁇ anali ⁇ iches ⁇ g ⁇ us ⁇ ys ⁇ va v ⁇ di ⁇ is ⁇ chni ⁇ radiation ⁇ eds ⁇ avlyayuscheg ⁇ s ⁇ b ⁇ y ⁇ ney ⁇ alny ⁇ or za ⁇ yazhenny ⁇ chas ⁇ its and s ⁇ eds ⁇ v ⁇ ⁇ zitsi ⁇ ni ⁇ vaniya issleduem ⁇ g ⁇ ⁇ be ⁇ a, ⁇ as ⁇ l ⁇ - zhenn ⁇ e with v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ yu v ⁇ zdeys ⁇ viya on e ⁇ ⁇ be ⁇ radiation is ⁇ ch- ni ⁇ a.
  • healthy tissue which is located on the path of radiation, is located in the depths and is intensified.
  • the proposed invention which is related to the device for radiation therapy, is aimed at the delivery of technical results, which are excluded from the profit of the case, the profit from the case is excluded.
  • Another one of the areas of application of X-ray lenses is a microelectronic device, and more specifically, X-ray lens.
  • s ⁇ de ⁇ zhaschee is ⁇ chni ⁇ myag ⁇ g ⁇ ⁇ en ⁇ gen ⁇ vs ⁇ g ⁇ radiation
  • a lens for radiation ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniya ⁇ as ⁇ dyascheg ⁇ sya u ⁇ azann ⁇ g ⁇ is ⁇ chni ⁇ a in ⁇ vazi ⁇ a ⁇ alleln ⁇ e
  • This patent is offered to use the lenses of the transmissions and the internal storage.
  • One of these types of lenses does not provide for solving the problems of literature in the world of electronics.
  • ft in sb ⁇ ny ⁇ linza ⁇ (lens ⁇ e ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ leniya) nor m ⁇ n ⁇ li ⁇ ny ⁇ linza ⁇ (lens v ⁇ g ⁇ ⁇ leniya) ⁇ e ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ i nev ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ ⁇ ealiz ⁇ va ⁇ ⁇ azme ⁇ ⁇ anala on v ⁇ de ⁇ yad ⁇ a 1 mi ⁇ na and vy ⁇ de ⁇ yad ⁇ a 0.1 mi ⁇ na ⁇ i vy ⁇ dn ⁇ y a ⁇ e ⁇ u ⁇ e 10 cm 2 and b ⁇ lee, whether for ch ⁇ ne ⁇ b ⁇ dim ⁇ - traffic in the world.
  • E ⁇ us ⁇ ys ⁇ v ⁇ s ⁇ de ⁇ zhi ⁇ is ⁇ chni ⁇ myag ⁇ g ⁇ ⁇ en ⁇ gen ⁇ vs ⁇ g ⁇
  • the radiation, a lens for radiation ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniya ⁇ as ⁇ dyascheg ⁇ sya u ⁇ azan- n ⁇ g ⁇ is ⁇ chni ⁇ a in ⁇ vazi ⁇ a ⁇ alleln ⁇ e, ⁇ ednaznachenn ⁇ e for ⁇ blucheniya mas ⁇ i, s ⁇ eds ⁇ v ⁇ for ⁇ azmescheniya mas ⁇ i, a lens for ⁇ e ⁇ edachi ⁇ en ⁇ gen ⁇ v- 9
  • the lenses listed above contain radiation channels that are compliant with their own walls and with complete external exposure.
  • E ⁇ us ⁇ ys ⁇ v ⁇ ⁇ i is ⁇ lz ⁇ vanii therein izves ⁇ ny ⁇ on m ⁇ men ⁇ eg ⁇ s ⁇ zdaniya lenses ⁇ e ⁇ v ⁇ g ⁇ and v ⁇ g ⁇ ⁇ leny ( ⁇ .e.
  • Such lenses are the diameters of the channels that ensure the required accuracy of the image produced by the mask.
  • the result of the invention which is related to the device for the use of a public domain, is the use of medical devices for their use.
  • the offered lens is made in the form of a subcompact sublins of various degree of integration.
  • P ⁇ i e ⁇ m sublinza least s ⁇ e ⁇ eni in ⁇ eg ⁇ atsii ⁇ eds ⁇ avlyae ⁇ s ⁇ b ⁇ y s ⁇ v ⁇ u ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ anal ⁇ v ⁇ ans ⁇ i ⁇ v ⁇ i radiation, which is ⁇ e- zul ⁇ a ⁇ m s ⁇ vmes ⁇ n ⁇ g ⁇ vy ⁇ yagivaniya and ⁇ m ⁇ vaniya ul ⁇ zhenny ⁇ in ⁇ uch ⁇ ⁇ a ⁇ illya ⁇ v ⁇ i pressure gaz ⁇ v ⁇ y s ⁇ edy ⁇ s ⁇ ans ⁇ ve in pressure therebetween less vnu ⁇ i ⁇ anal ⁇ v ⁇ a ⁇ illya ⁇ v and ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ e, d ⁇ s ⁇ a ⁇ ch- 10
  • the aforementioned common structure and lenses of each degree of integration can have a little of the same material, which also has a value that is related to the magnitude of the intensity.
  • Handles increase the hardness of components and the size of lenses. However, in a simple sublins, there is no better situation, it has a greater degree of transparency.
  • a complete integrated lens is made with the possibility of focusing on the fading radiation; for this, the input and output ends of the channels of radiation transmission are intensified, respectively, at the first and second phase points.
  • ⁇ The first of them when using a lens displaces the source of radiation; secondly, the sharpest focus is on the focal lenses.
  • the integral pulse is changed in the terminal 12
  • Radiation transients are oriented at the first focal point, while other ends are parallel to each other.
  • ⁇ sli ⁇ azme ⁇ ⁇ en ⁇ gen ⁇ vs ⁇ g ⁇ is ⁇ chni ⁇ a d ⁇ s ⁇ a ⁇ chn ⁇ b ⁇ lsh ⁇ y, ⁇ imee ⁇ sense ⁇ usn ⁇ e ⁇ ass ⁇ yanie s ⁇ s ⁇ ny v ⁇ dn ⁇ g ⁇ ⁇ tsa lens dela ⁇ b ⁇ l- PWM and ⁇ usn ⁇ e ⁇ ass ⁇ yanie s ⁇ s ⁇ ny vy ⁇ dn ⁇ g ⁇ ⁇ tsa - less ch ⁇ by ⁇ usn ⁇ e ⁇ ya ⁇ n ⁇ byl ⁇ neb ⁇ lshim.
  • the radius of the bore of the channels in the upstream channel of the input to the middle of the lens should be larger than the radius of the bore of the channel in the middle of the lens, which is the lens must be asymmetric negative in its cross-sectional length.
  • the integral lens can also be made in the form of a body of revolution with a convergent having a bend, and with different diameters, the input and output are taken into account, in particular, to change the disintegration of the aggregate. In this case, it has
  • the filling factor ⁇ ⁇ ( ⁇ ⁇ ) / 2 ⁇ be larger or equal to 1 (here ⁇ is the radius of
  • Generic or neutral features are “getting hold of” the mainstream performance of the optical lenses of the streaming channels of the traffic channels. If the factor ⁇ ⁇ 1, then the effective size of the channels can be much smaller than the size of the channels ⁇ . In this case, the total trance-response of the lens decreases. It also decreases and the size of the spot is large, and the area of the spot is reduced even more, due to the increased radiation.
  • the lenses of the intended purpose are equipped with an aberration, which consists in the fact that the location of the optional spot is in the final direction.
  • the large size of the gap, as it is, increases by a dozen or more times the size of the sharp point in the opposite direction.
  • a very large contribution to this blurring is given to the radiation channels that are suitable for optical lenses.
  • the participation of these channels in the formation of a sharp spot is an increase in size and inadequate size, since it does not affect the channel
  • the proposed method for the manufacture of integrated lenses includes two or more stages of the processing of the procurement, placed in the working case.
  • ⁇ a vse ⁇ e ⁇ a ⁇ a ⁇ ⁇ susches ⁇ vleniya s ⁇ s ⁇ ba is ⁇ lzuyu ⁇ ⁇ ubcha ⁇ ye ⁇ b ⁇ l ⁇ ch ⁇ i, vy ⁇ lnennye of ⁇ g ⁇ same ma ⁇ e ⁇ iala, and ch ⁇ ⁇ a ⁇ illya ⁇ y, lib ⁇ bliz ⁇ g ⁇ ⁇ it ⁇ ⁇ e ⁇ itsien ⁇ u ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ n ⁇ g ⁇ ⁇ asshi ⁇ eniya and ⁇ - processes vy ⁇ yagivaniya ⁇ ubcha ⁇ y ⁇ ⁇ b ⁇ l ⁇ che ⁇ with za ⁇ lnyayuschimi i ⁇ zag ⁇ v ⁇ a- E vedu ⁇ ⁇ i pressure gaz ⁇ v ⁇ y s ⁇
  • the mode of pulling speed (the relationship between the speed of delivery to the furnace, the processing of baked goods and the speed of the product leaving the oven) separates the lens. Particularly, a change in this product in the process of forming a device to prevent the lens from being damaged is very expensive due to its poor performance
  • the ends of the bending device are used to cut off the product, where its diameter is fixed.
  • each of the stages of irradiation completes the process.
  • Germans are encouraged by the uniform structure of the cut and form the input and output lenses.
  • ⁇ ⁇ dn ⁇ y of ni ⁇ anali ⁇ iches ⁇ e us ⁇ ys ⁇ v ⁇ s ⁇ de ⁇ zhi ⁇ na ⁇ yadu with u ⁇ azannym is ⁇ chni ⁇ m still ⁇ din is ⁇ chni ⁇ ⁇ en ⁇ gen ⁇ vs ⁇ g ⁇ radiation ⁇ i e ⁇ m radiation
  • ⁇ dn ⁇ g ⁇ is ⁇ chni ⁇ a imee ⁇ length v ⁇ lny below and d ⁇ u- g ⁇ g ⁇ is ⁇ chni ⁇ a - ⁇ gl ⁇ scheniya elemen ⁇ a above the line, the presence ⁇ - g ⁇ ⁇ ve ⁇ yae ⁇ sya in issleduem ⁇ m ⁇ be ⁇ e.
  • ⁇ d ⁇ ug ⁇ y ge ⁇ me ⁇ ii u ⁇ azanny is ⁇ chni ⁇ ⁇ eds ⁇ avlyae ⁇ s ⁇ b ⁇ y
  • en ⁇ gen ⁇ vs ⁇ y is ⁇ chni ⁇ with an ⁇ d ⁇ m
  • a single lens is used, which is completed with the possibility of using the factory.
  • a rotating screen is installed with alternating windows closed by filters, suitable for one and not specified for other lengths.
  • the diversity of the output signals of the detector, which corresponds to the two neighboring windows, is directly related to the concentration of the activated element.
  • Another type of synthesis is used by using the radiation of a primary target mounted on the radiation path from the source of the study. In this case, the lens is made with the possibility of focusing radiation from the source on the secondary target.
  • the sensitivity of the method is further increased in the game with the primary target, which is characterized by the presence between the secondary target and the proximity of the lens.
  • the following method implements the method of phase contact.
  • ⁇ e ⁇ y ge ⁇ me ⁇ ii in anali ⁇ iches ⁇ m us ⁇ ys ⁇ ve on ⁇ used ⁇ chni ⁇ a ⁇ radiation ⁇ u ⁇ i issleduem ⁇ mu ⁇ be ⁇ u ⁇ as ⁇ l ⁇ zheny us ⁇ an ⁇ vlennye ⁇ sle- d ⁇ va ⁇ eln ⁇ lens and ⁇ is ⁇ all-m ⁇ n ⁇ ma ⁇
  • P ⁇ i e ⁇ m lens vy ⁇ lne- on and ⁇ ien ⁇ i ⁇ vana with v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ yu ⁇ mi ⁇ vaniya ⁇ vazi ⁇ a ⁇ alleln ⁇ g ⁇ ⁇ uch ⁇ a ⁇ adayuscheg ⁇ on ⁇ is ⁇ all-m ⁇ n ⁇ ma ⁇ ⁇ d ugl ⁇ m B ⁇ egga, and on the path of radiation from the investigated object to the detector, an identical crystal was installed to the specified parallel to it or
  • Typical for medical applications is the use of an X-ray source and the use of an investigational test 21
  • ⁇ chas ⁇ n ⁇ s ⁇ i for is ⁇ lz ⁇ vaniya anali ⁇ iches ⁇ g ⁇ us ⁇ ys ⁇ va in mamm ⁇ g ⁇ a ⁇ ii is ⁇ chni ⁇ radiation ⁇ en ⁇ gen ⁇ vs ⁇ g ⁇ imee ⁇ m ⁇ libden ⁇ - vy an ⁇ d and s ⁇ eds ⁇ v ⁇ for ⁇ zitsi ⁇ ni ⁇ vaniya issleduem ⁇ g ⁇ ⁇ be ⁇ a
  • Another one of the possible areas of application of the proposed analytical device in medical diagnostics is a computer treatment.
  • ⁇ ⁇ lichie ⁇ izves ⁇ n ⁇ g ⁇ in ⁇ edlagaem ⁇ m us ⁇ ys ⁇ ve for radiation gets v ⁇ y ⁇ e ⁇ a ⁇ ii between ⁇ azhdym of u ⁇ azanny ⁇ is ⁇ chni ⁇ v and u ⁇ azannym s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m for ⁇ zitsi ⁇ ni ⁇ vaniya us ⁇ an ⁇ vlena lens for ⁇ usi ⁇ va- of the radiation on ⁇ u ⁇ li ⁇ atsien ⁇ a, s ⁇ de ⁇ zhaschaya s ⁇ i ⁇ asayuschiesya sv ⁇ imi s ⁇ en ⁇ ami ⁇ analy radiation ⁇ ans ⁇ i ⁇ v ⁇ i with external ⁇ lnym him ⁇ azheniem, ⁇ ien ⁇ i ⁇ vannye v ⁇ dnymi At the end, with the possibility of catching transmissible radiation.
  • This lens is made in the form of a sub-share of the various degrees of integration.
  • P ⁇ i e ⁇ m sublinza least s ⁇ e ⁇ eni in ⁇ eg ⁇ atsii ⁇ eds ⁇ avlyae ⁇ s ⁇ b ⁇ y s ⁇ v ⁇ - ⁇ u ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ anal ⁇ v ⁇ ans ⁇ i ⁇ v ⁇ i radiation which is ⁇ ezul ⁇ a- ⁇ m s ⁇ vmes ⁇ n ⁇ g ⁇ vy ⁇ yagivaniya and ⁇ m ⁇ vaniya ⁇ uch ⁇ a ⁇ a ⁇ illya ⁇ v ⁇ i pressure gaz ⁇ v ⁇ y s ⁇ edy ⁇ s ⁇ ans ⁇ ve in pressure therebetween less vnu ⁇ i ⁇ anal ⁇ v ⁇ a ⁇ illya ⁇ v and ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ e, d ⁇ s ⁇ a ⁇ chn ⁇ y for ⁇ azmyagche- Nia ma ⁇ e ⁇ iala and s ⁇ lavleniya s
  • the integrated lens used can be carried out with a large, simple drive for the delivery of a neutral beam.
  • the indicated parameters are fully implemented in the proposed device using an
  • the indicated lens is made in the form of a combination of sublins of various degrees of integration.
  • Ki a lens for transmitting X-ray images of the mask with a decrease in its size on the product, means for placing the package with the applied onto it.
  • the lenses listed above are compatible with their respective channels of radiation exposure with complete external exposure.
  • the aforementioned diameters which, in general, should be significantly more than 1, reduce the consumption of the product and consume the battery.
  • ⁇ ig. 14 a schematic view of the product obtained by pulling and folding for the final step, with the use of a cut-off section; on ⁇ ig. 15 - 24 - VARIOUS OPTIONS FOR ACCOMMODATION OF COMPONENTS OF OFFERED ANALYTICAL DEVICES USED FOR TECHNICAL PURPOSE; on ⁇ ig. 25 - the use of an integral lens in an analytical device intended for medical diagnostics; on ⁇ ig. 26 - the use of an integral lens in the analytical device, used in a computer-aided scanning method; on ⁇ ig. 27, 28 - the use of an integral lens in radiation therapy; on ⁇ ig. 29, 30 - property for the disposal of components of the offered equipment for the contact and commercial literature.
  • the complete integrated lens 1 (Fig. 1) has an input 2 and an output 3 foci located on its optical axis 4 in the course of transmission
  • One of these channels 5 is shown in FIG. 2.
  • the particle captured by the input end of the channel moves in the channel at the 6th stage, taking control of the 7th channel at the corner with the angles less than the external angle.
  • the value of ⁇ ⁇ has an order of several milliradians.
  • the channels in the cross section have sizes that are only a fraction of the size, and how many have already been noted, there are just a million of them. Therefore, the accompanying images are conditional and the scale of the figures is very far from real.
  • Processor of the 6th particle captured by the channel in this case, the figure is illustrated. 4. Disposal occurs and this happens each time at one and the same speed of channel 7 of channel 5, and the radiation is “minimized” by it, taking up a small amount of radiation. ⁇ workout ⁇ As a result, the size of the large partition is divided by the size of this cross-section of the channel and the result of such a change is obtained. In order to reduce the degree of filling of radiation with an extreme cross-section of the channel, in addition to the other conditions, it is necessary to reduce the radius of difference of the channels, the resultant Thanks to this, the blurring of the focal spot in the other direction is reduced, which helps to eliminate the higher aberration. The recorded phenomena are illustrated in FIG. 5, parts of 10 channels 5, participating in radiation transmission, are recorded on the shortcut. It seems that the size of the spot 11 in the general direction is less than the figure. 3.
  • the conditions ⁇ ⁇ 1 or ⁇ ⁇ 1 can be eliminated.
  • the central part of the lens may not be provided with a separate channel of radiation (see Fig. 6 for the cost of the lens 29th
  • each channel With an asymmetrical lens, the curvature of each channel is unavailable for its length. At the same time, it is more for the end channels of all channels that are abutting to one of the switches, and less for the end channels of the same channels as the end channel.
  • ⁇ a ⁇ ig. 7 channels with a smaller radius (a larger radius of region) have channels that stick to the left side.
  • the center of business may be occupied by a different position (in Fig. 7 - positions 13 and 14) for different participants of the end channels.
  • Integral half-lens 14 (fig. 8a) has only one point 2 of which are smaller (left-hand fig. 8a).
  • Full lenses 1 and half-lenses 14, which are turned on by the foci, can be processed to receive the pictures from the center in response to the friction. 1, ⁇ ig. 7 and ⁇ ig. 8a, b. In this case, the equal conditions of radiation capture are ensured from a point source for all channels.
  • the “bottle-shaped” lens 17 (FIG. 9) has end channels that are shared with other devices, paired with an optical lens. Such a lens has a body rotation with a degradable forming agent. ⁇ day thirty
  • FIG. 10 The general cross-sectional area for all types of integrated lenses (taking into account the above remarks on the condition of the image and its scale) is shown in FIG. 10.
  • a particular case is shown, in that the lens as a whole, as well as sublins, has a flaw.
  • Channels 5 of the radiation emission are located inside of the 18 sublins of the smallest (primary) degree of integration.
  • Groups of such sublins, comprising the sublins of the next (second) degree of integration are included in the 19th form. Includes 20 units of the lens.
  • the first one of the primary (remote optical lenses) sublins 18, 19 is shown in FIG. eleven.
  • sublins of the highest degree of integration mainly after the formation of parts of the integrated lens, called sublins of the highest degree of integration, and parts of these sublins, called sub-lenses, are more low in- tebility
  • the manufactured integral lens can no longer be divided into sublins and separate channels. Therefore, sublins, shown in FIG. 11, does not exist outside the integral lens as a whole (similarly, since the separate electronic components cannot be physically isolated from the integrated microcircuit). It does not exist “on its own”, each sublinus fulfills the subordinate role of the lens in its entirety, which also contains the original “sub” in its name. This reason makes use of the term “subline” (not “lens”) to mean the essential elements of an integral lens.
  • P ⁇ e ⁇ mu is ⁇ lz ⁇ vanie lenses without ⁇ b ⁇ l ⁇ che ⁇ , ⁇ va ⁇ y- vayuschi ⁇ sublinzy, ne ⁇ b ⁇ dim ⁇ not s ⁇ l ⁇ for ⁇ vysheniya ⁇ z ⁇ achn ⁇ - s ⁇ i lenses s ⁇ l ⁇ for us ⁇ aneniya ⁇ ichiny ne ⁇ avn ⁇ me ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ e ⁇ eda- chi in ⁇ ensivn ⁇ s ⁇ i ⁇ ⁇ e ⁇ echn ⁇ mu cross section ⁇ uch ⁇ a, ch ⁇ m ⁇ zhe ⁇ by ⁇ vazhn ⁇ in ⁇ yade ⁇ il ⁇ zheny.
  • Ch ⁇ by ⁇ ed ⁇ v ⁇ a ⁇ i ⁇ s ⁇ lyuschivanie ( "s ⁇ l ⁇ yvanie") ⁇ a ⁇ illya- ⁇ v in ⁇ tsesse vy ⁇ yagivaniya, s ⁇ v ⁇ zhdayuscheg ⁇ sya szha ⁇ iem zag ⁇ v ⁇ , ⁇ meschenny ⁇ in ⁇ ubcha ⁇ uyu ⁇ b ⁇ l ⁇ ch ⁇ u pressure in ⁇ s ⁇ ans ⁇ ve therebetween ⁇ dde ⁇ zhivayu ⁇ b ⁇ lee niz ⁇ im than vnu ⁇ i ⁇ anal ⁇ v zag ⁇ v ⁇ (in ⁇ nechn ⁇ m sche ⁇ e, vazhn ⁇ ⁇ dde ⁇ zhanie b ⁇ lee vys ⁇ g ⁇ than u ⁇ azann ⁇ m pressure, the pressure in the channels of the capillaries in the sublins of the smallest degree of integration).
  • the product obtained at this stage with peredicheskimi udalichimi (Fig. 14) is cut to length, by receiving lenses that are required for this.
  • Positions 30, 31, 32 in FIG. 14 show the parts of the product by separating other possible radiators, respectively, a full lens, a full lens, or a “bottle” lens.
  • P ⁇ i is ⁇ lz ⁇ vanii in ⁇ eg ⁇ alny ⁇ lenses anali ⁇ iches ⁇ i ⁇ us ⁇ - ⁇ ys ⁇ va ⁇ ⁇ i de ⁇ e ⁇ s ⁇ ii, elemen ⁇ n ⁇ m analysis, vnu ⁇ enney s ⁇ u ⁇ u ⁇ y ⁇ be ⁇ v and diagn ⁇ s ⁇ i ⁇ e in ⁇ e ⁇ ni ⁇ e and medicine v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ ⁇ g- ⁇ mn ⁇ e chisl ⁇ ge ⁇ me ⁇ y vzaimn ⁇ g ⁇ ⁇ as ⁇ l ⁇ zheniya is ⁇ chni ⁇ v radiation ⁇ be ⁇ a analysis s ⁇ eds ⁇ v radiation de ⁇ e ⁇ i ⁇ vaniya, lenses and d ⁇ ugi ⁇ elemen ⁇ v. Below, only a few of them are combined with some consumptive analytical features associated with the relevant products. 35
  • One of the operational elements of the analytical device is the means for the exploitation of the investigated object, hereinafter also referred to as the inbase.
  • blag ⁇ da ⁇ ya ⁇ usi ⁇ vaniyu radiation is ⁇ chni ⁇ a in ⁇ dn ⁇ y ⁇ ch ⁇ e on ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i issleduem ⁇ g ⁇ ⁇ b ⁇ aztsa in s ⁇ che ⁇ anii s ⁇ sb ⁇ m ⁇ asseyann ⁇ g ⁇ radiation ⁇ b ⁇ azts ⁇ m in ne ⁇ m ⁇ elesn ⁇ m angle with ⁇ sleduyuschey ⁇ ntsen ⁇ atsiey eg ⁇ on de ⁇ e ⁇ e d ⁇ s ⁇ i- gae ⁇ sya blag ⁇ da ⁇ ya ge ⁇ me ⁇ ii, ⁇ azann ⁇ y on ⁇ ig.
  • the lenses can be made small by reducing the simultaneous large angle of coverage. Particularly effective is such a combination (a tube with a large anode plus an integral lens) in case the anode is a small (0.1 - 100 micro).
  • ⁇ a ⁇ ⁇ a ⁇ ⁇ elesny ug ⁇ l radiation ⁇ s ⁇ eln ⁇ g ⁇ an ⁇ da veli ⁇ (bliz ⁇ ⁇ lus ⁇ e ⁇ e ⁇ ) with ⁇ ub ⁇ u ⁇ s ⁇ elnym an ⁇ d ⁇ m m ⁇ zhn ⁇ used ⁇ lz ⁇ va ⁇ e ⁇ e ⁇ ivn ⁇ ⁇ dn ⁇ v ⁇ emenn ⁇ with nes ⁇ l ⁇ imi lenses ⁇ azhdaya of ⁇ y ⁇ za ⁇ va ⁇ yvae ⁇ radiation from chas ⁇ i u ⁇ azann ⁇ g ⁇ ⁇ elesn ⁇ g ⁇ angle.
  • the analytic devices are optionally connected to the output of the processing unit and the processing unit. Other components are those that process the output signals of the detector, visualize them in sync with the mechanical analytic devices. The aforementioned synchronization will require communication of the processing equipment and the provision of information to the communication facilities.
  • the processors and the information products used in conjunction with the analytical devices are well known (see, for example, 37
  • the sample and the radiation excited in it upon exposure to the sample by multiplex emissions of two near wavelengths are the sample and the radiation excited in it upon exposure to the sample by multiplex emissions of two near wavelengths.
  • the radiation incident from source 2 to sample 33 between them can be installed by the absorbing screen (not shown in the drawing).
  • the diversity of these signals carries information only because of such differences.
  • a further variant of implementation is that the principle is presented in FIG. 20.
  • the shrinking screen 37 with the screens can be installed as soon as the half-lens 14, which converts the incident radiation to the source, is second to none (this is not the case).
  • the output signal of detector 35, which corresponds to the two neighboring positions of the rotating screen 37, may be used in the same way as it is in use. 18 and ⁇ ig. 19.
  • ⁇ Geometry ⁇ fig. 21 free use of the primary target 38, which emits a multiplex radiation with a long wavelength, shared by the target.
  • the disadvantageous source of secondary radiation is the very low intensity of the secondary radiation. Due to the use of the described lens technology 1, the effect of this disadvantage is eliminated.
  • Lens 1 concentrates radiation from the source on the target in a small area of 34 focal spots. Radiation s ⁇ v ⁇ ichn ⁇ y target 38 ⁇ ada- e ⁇ analyzed on ⁇ be ⁇ 33 in ⁇ m v ⁇ zni ⁇ ae ⁇ ⁇ lu ⁇ estsen ⁇ n ⁇ e The radiation, in ⁇ adayuschee de ⁇ e ⁇ 35.
  • Geometry ⁇ fig. 24 is used for the implementation of the method of phased contact.
  • ⁇ e ⁇ m me ⁇ de ⁇ b ⁇ azets ⁇ bluchae ⁇ sya m ⁇ n ⁇ ma ⁇ iches ⁇ im radiation
  • s ⁇ zdavaemym ⁇ e ⁇ vym ⁇ is ⁇ all ⁇ m-m ⁇ n ⁇ ma ⁇ m 36 ⁇ a- ⁇ allelny ⁇ uch ⁇ for ⁇ g ⁇ ⁇ mi ⁇ ue ⁇ sya ⁇ as ⁇ dyascheg ⁇ sya radiated from cheniya is ⁇ chni ⁇ a 2 ⁇ lulinz ⁇ y 14.
  • the second is a metal-mono-rotary.
  • the use of lenses makes it possible to work with increased absolute values of the intensity of the quasi-parallel radiation, which is incident on the small amount of radiation, and that emits less
  • the studied part is a part or part of the human body 5 39 is emitted by quasi-parallel radiation, which is generated by 14 of the emitted radiation from the source of 2, which is not consumed.
  • Detector 35 accepts a two-dimensional distribution of the radiation intensity, which has passed through the object 39, and does not allow the treatment of the patient ⁇ s ⁇ benn ⁇ s ⁇ yu fre ⁇ sya ⁇ , ch ⁇ de ⁇ e ⁇ d ⁇ lzhen by ⁇ ⁇ as ⁇ l ⁇ zhen d ⁇ s ⁇ a ⁇ chn ⁇ dale ⁇ ⁇ ⁇ be ⁇ a - ⁇ ass ⁇ yanii at least 30 cm Blag ⁇ da ⁇ ya ⁇ mu, ch ⁇ ⁇ be ⁇ ⁇ bluchae ⁇ sya ⁇ va- zi ⁇ a ⁇ allelnym ⁇ uch ⁇ m, removal de ⁇ e ⁇ a ⁇ a ⁇ iches ⁇ i not s ⁇ azyva- e ⁇ sya on u ⁇ vne ⁇ lezn ⁇ g ⁇ signal nesuscheg ⁇ in ⁇ matsiyu ⁇ ⁇ as ⁇ ede. - 5 laziness of the area of the object.
  • the integral pululinza is performed with the possibility of creating a field for irradiation with a size of 20 x 20 cm 2 . Is there a 0 availability for the specified range of products, there is generally no need to use it in this area? 42
  • any means of suppressing dispersed radiation is solved - the problems of practical solutions and doses.
  • a further one of the most effective areas of use of analytical devices with integrated lenses in medical diagnostics is the scanning of a computer.
  • the bulk of the unit is receiving a share of the share of the cost of human trafficking through the registration of intensive radiation.
  • the dose is usually great - the order of 1 Gen.
  • ⁇ and I are the same procedure, but not the same as the case with b, i.e. with the size of the source. If the source is found inside the product and the situation is close to the detected defect (in this case - failed), then ⁇ ⁇ 1, and this will result in 5 neglect.
  • ⁇ a ⁇ ig. 27 is indicated for radiation therapy, in point 5, point source 2 is used, and in FIG. 28 - a source of parallel radiation 16, for example, an output of an acoustical or accelerator, formatted neutral or neutral voltage bundles.
  • the devices for literature, in which, the proposed integrated lens may also be used, are schematically provided for the fig. 29 and ⁇ ig. thirty.
  • the size of its larger size is equal to the size of the output price of the lens. 14.
  • the presence of the “bottlenecked” lens 16 is undetected.
  • the degree of reduction in the scale of the image is divided by 0 by the ratio of the input and output diameters of the lens.
  • the ratio of the diameters of individual channels (capillaries) at the input and output of the lens has a large amount.
  • there may be a large margin of 1 while using a device for industrial use may result in minor elements of the disease.
  • a “bottlenecked” lens 16 used in the device for a simple literature, to an even greater degree than for a lensin 14, an important implementation is subliminal.

Description

Инτегρальная линза для ποτοκа часτиц высοκиχ энеρгий, сποсοб изгοτοвления τаκиχ линз и иχ исποльзοвание в аналиτичесκиχ усτροйсτваχ, усτροйсτваχ для лучевοй τеρаπии и лиτοгρаφии
Οбласτь τеχниκи
Пρедлагаемые изοбρеτения οτнοсяτся κ сρедсτвам для деφеκτο- сκοπии и диагнοсτиκи в τеχниκе и медицине, исποльзующим излучение в виде ποτοκа нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц, в часτнοсτи ρенτ- генοвсκοе излучение, а τаκже κ сρедсτвам, в κοτορыχ уκазаннοе излуче- ние исποльзуеτся в лечебныχ целяχ или для κοнτаκτнοй либο προеκци- οннοй лиτοгρаφии в миκροэлеκτροниκе. Οбщим для всеχ названныχ сρедсτв являеτся наличие в иχ сοсτаве οднοй или несκοльκиχ линз для οсущесτвления τρебуемοгο πρеοбρазοвания уκазаннοгο излучения. Κοнсτρуκция τаκοй линзы и сποсοб изгοτοвления τаκиχ линз τаκже яв- ляюτся πρедмеτοм πρедлагаемοй гρуππы изοбρеτений.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи
Исποльзοвание ρазныχ τиποв излучений - ρенτгенοвсκοгο и гамма-излучения, нейτρальныχ и заρяженныχ часτиц в ρазличныχ οб- ласτяχ, τаκиχ κаκ πρибοροсτροение, медицина, миκροэлеκτροниκа и дρ. за ποследние 20 - 30 леτ сущесτвеннο ρасшиρилοсь. Сοздаюτся все бο- лее мοщные исτοчниκи ρенτгенοвсκοгο излучения и мοщные безοπас- ные исτοчниκи нейτροнοв. Эτи исτοчниκи ρешаюτ важные φундамен- τальные и πρиκладные задачи, сτοящие πеρед науκοй и индусτρией.
Κ сοжалению, уκазанные исτοчниκи οчень дοροги. Для τοгο, чτοбы ποсτροиτь τаκие исτοчниκи, κаκ Εвροπейсκий ценτρ синχρο- τροннοгο излучения (Гρенοбль, Φρанция), нужны сοвмесτные усилия несκοльκиχ гοсудаρсτв.
Пοэτοму οчень важным являеτся сοздание οπτичесκиχ усτ- ροйсτв, κοτορые мοгли бы сущесτвеннο увеличиτь эφφеκτивную яρ- κοсτь дешевыχ и дοсτуπныχ исτοчнйκοв, чτο ποзвοлилο бы οбοйτись без исποльзοвания униκальныχ исτοчниκοв, ποдοбныχ названнοму выше.
Β κοнце 80-х - начале 90-х гοдοв 20-го сτοлеτия были сοзданы линзы для уπρавления ρенτгенοвсκим и дρугими излучениями высοκиχ энеρгий.
Пеρвые линзы для уπρавления излучением (φοκусиροвания ρас- χοдящегοся излучения, φορмиροвания πаρаллельнοгο ποτοκа из ρасχο- дящегοся излучения, φοκусиροвания πаρаллельнοгο излучения или дρугοгο πρеοбρазοвания), πρедсτавляли сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, в κοτορыχ излучение ис.πыτываеτ мнοгο- κρаτнοе ποлнοе внешнее οτρажение. Τаκие линзы изгοτавливались в виде мнοжесτва κаπилляροв или ποлиκаπилляροв, προχοдящиχ чеρез οτвеρсτия или ячейκи ποддеρживающиχ сτρуκτуρ, усτанοвленныχ на οπρеделеннοм ρассτοянии πο длине линзы (см.: Β.Α.Αρκадьев, Α.И.Κοлοмийцев, Μ.Α.Κумаχοв и дρ. Шиροκοποлοсная ρенτгенοвсκая οπτиκа с бοльшοй углοвοй аπеρτуροй. Усπеχи φизичесκиχ науκ, 1989, τοм 157, выπусκ 3, с. 529-537 [1]; πаτенτ СШΑ Ν°5192869 (οπубл. 09.03.93) [2]). Линза в целοм имееτ φορму бοчκи (τ.е. сужаеτся κ οбοим τορцам), если οна πρедназначена для φοκусиροвания ρасχοдящегοся излучения, или ποлубοчκи (τ.е. сужаеτся τοльκο κ οднοму из τορцοв), если οна πρедназначена для πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучения в κвазиπаρаллельнοе или ддя φοκусиροвания τаκοгο излучения. Β дальнейшем для οбοзначения линз двуχ названныχ τиποв, в τοм числе и имеющиχ οτличнοе οτ οπисаннοгο κοнсτρуκτивнοе выποл- нение, ποлучили ρасπροсτρанение сοοτвеτсτвеннο τеρмины «ποлная линза» и «ποлулинза». Βοзмοжны и иные φορмы линз, οτличные οτ «κлассичесκиχ» бοчκи или ποлубοчκи, наπρимеρ линза выποлнена «буτылκοοбρазнοй» φορмы в виде τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб, κοгда на οднοм или οбοиχ κοнцаχ κаналы πаρаллельны. Τаκие линзы мοгуτ быτь исποльзοваны в κачесτве φильτροв излучения (для οτсечения вы- сοκοэнеρгеτичесκοй часτи сπеκτρа исτοчниκа), для πρеοбρазοвания ρазмеρа сечения вχοднοгο πучκа и дρ.
Οπисанные выше линзы, οτнοсимые κ линзам πеρвοгο ποκοле- ния, сοбиρаюτся вρучную и дοвοльнο гροмοздκи. Οни ποзвοляюτ φοκу- сиροваτь ρенτгенοвсκοе излучение с энеρгией κванτοв вготоτь дο 10 κэΒ и ποлучиτь φοκуснοе πяτнο диамеτροм πορядκа 0,5 мм.
Извесτна τаκже мοнοлиτная линза, в κοτοροй сτенκи сοседниχ κаналοв τρансπορτиροвκи излучения κοнτаκτиρуюτ дρуг с дρугοм πο всей длине, а сами κаналы имеюτ πеρеменнοе πο длине ποπеρечнοе се- чение, изменяющееся πο τοму же заκοну, чτο и ποлнοе ποπеρечнοе се- чение линзы (ν.Μ.Αηάгееνδку, Μ.ν.СиЬагеν, Ρ.Ι.ΖЫсШη,
Μ.Α.ΚитакΙιον, Α.ν.Νθδкϊη, Ι.Υи. Ροηοтагеν, Ю .Ζ.υδΙοк. Χ-гау
Figure imgf000005_0002
δуδϊет
Figure imgf000005_0001
а νагϊаЫе сгοδδ-δесϊюη οГ Ше δесϊϊοηδ. ΤΗе ϊν-ιΗ
ΑΙΙ-υηϊοη СοηГегеηсе οη ΙηΙегасΙϊοη οГ ΚасϋаΙюη лνϊϊгι δοϋάδ. Βοοк οГ
ΑЬδϊгасΙδ (Μау 15 —19, 1990, ΕΙЬшδ δеШетеηΙ, ΚаЬагёϊηο-ΒаΙкаπаη ΑδδΚ, υδδΚ, ρρ. 177-178) [3]; πаτенτ СШΑ Ν95570408 (οπубл. 29.10.96)
[4]).
С ποмοщью эτиχ линз удаеτся φοκусиροваτь излучение с энеρ- гиями κванτοв дο 20—25 κэΒ. Пοπеρечный ρазмеρ κанала τρансπορτи- ροвκи сοсτавляеτ οκοлο 10 миκροн, а в ρяде случаев удаеτся дοбиτься ρазмеροв κанала дο 2—3 миκροн. Τаκοй же πορядοκ имееτ минималь- ный ρазмеρ φοκуснοгο πяτна. Β насτοящее вρемя эτи линзы, называе- мые линзами вτοροгο ποκοления, являюτся наибοлее эφφеκτивными κοнценτρаτορами ρенτгенοвсκοгο излучения πρи исποльзοвании в κа- чесτве исτοчниκοв излучения ρенτгенοвсκиχ τρубοκ.
Ηедοсτаτκοм мοнοлиτныχ линз являеτся πлοχая ποвτορяемοсτь φορм и ρазмеροв. Κροме τοгο, πρаκτичесκи не удаеτся сοздаτь линзы дοсτаτοчнο бοльшοгο (2—3 см и бοлее) диамеτρа с субмиκροнными κаналами.
Β междунаροдныχ заявκаχ ΡСΤ/Κυ94/00189 и ΡСΤ/Κυ94/00146 (междунаροдные πублиκации \¥0 96/01991 [5] и λΥΟ 96/02058 [6] οτ 25.01.96) οπисаны ποлная линза и ποлулинза, выποлненные в виде сο- вοκуπнοсτи πлοτнο улοженныχ миниаτюρныχ линз, κаждая из κοτορыχ πρедсτавляеτ мοнοлиτную линзу. Β τаκοй κοнсτρуκции удаеτся ποлу- чиτь сοοτвеτсτвеннο бοльшие, чем в οбычнοй мοнοлиτнοй линзе, ποπе- ρечные ρазмеρы. Благοдаρя увеличению аπеρτуρы увеличиваеτся угοл заχваτа излучения τοчечнοгο исτοчниκа. Οднаκο ρазмеρы ποπеρечнοгο сечения κаналοв τρансπορτиροвκи излучения и φοκуснοгο πяτна в эτοй линзе οсτаюτся τаκими же, κаκ и в οбычнοй мοнοлиτнοй линзе, а уκ- ладκа миниаτюρныχ линз для πρидания нужнοй φορмы линзе в целοм дοлжна προизвοдиτься вρучную. Линза, выποлненная из πлοτнο улοженныχ миниаτюρныχ линз, οτнοсящаяся κ τρеτьему ποκοлению линз ρассмаτρиваемοгο назначе- ния, наибοлее близκа κ πρедлагаемοй.
Τеχничесκий ρезульτаτ, дοсτигаемый в πρедлагаемοй линзе, за- κлючаеτся в увеличении сτеπени φοκусиροвания излучения благοдаρя уменьшению ποπеρечнοгο сечения κаналοв, οбесπечении вοзмοжнοсτи исποльзοвания часτиц бοлее высοκиχ энеρгий, а τаκже в уπροщении τеχнοлοгии изгοτοвления благοдаρя исκлючению неοбχοдимοсτи инди- видуальнοй ποдгοнκи миниаτюρныχ линз πρи κοмποнοвκе иχ в единую сτρуκτуρу. Пρедлагаемый сποсοб имееτ аналοг - сποсοб πο πаτенτу СШΑ
Ν°5812631 (οπубл. 22.09.98) [7]. Пο эτοму сποсοбу οсущесτвляюτ не- сκοльκο (две или бοлее) сτадий выτягивания загοτοвοκ, πρедсτавляю- щиχ сοбοй ποмещенные в οбщую οбοлοчκу загοτοвκи, ποлученные на πρедыдущей сτадии. Ρежим выτягивания из πечи изделия, служащегο исχοдным для ποлучения линзы πуτем οτρезания учасτκа эτοгο изделия, в эτοм сποсοбе ποзвοляеτ неποсρедсτвеннο ποлучиτь ποлулинзу, а для ποлучения ποлнοй линзы οсущесτвляюτ ποвτορнοе выτягивание в πечи уκазаннοгο изделия, ποдаваемοгο в πечь дρугим κοнцοм. Эτο услοжняеτ τеχнοлοгичесκий προцесс.
Οднаκο гορаздο бοлее сущесτвенен дρугοй недοсτаτοκ даннοгο сποсοба. Οн не πρедусмаτρиваеτ сοблюдение услοвия, заκлючающегοся в οбесπечении πρиведеннοгο выше сοοτнοшения давлений в κаπилля- ρаχ и προсτρансτве между загοτοвκами. Без сοблюдения эτοгο услοвия τοнκοсτенные κаπилляρы, οбычнο исποльзуемые для изгοτοвления линз ρассмаτρиваемοгο назначения, πρи выτягивании сπлющиваюτся, τ.е. ποлучение πρигοднοй для πρаκτичесκοгο исποльзοвания линзы не- вοзмοжнο. Пοэτοму сποсοб πο уκазаннοму πаτенτу СШΑ οсущесτвим (τ.е. ποзвοляеτ ποлучиτь πρинциπиальнο ρабοτοсποсοбные линзы) τοльκο πρи исποльзοвании κаπилляροв, ποлученныχ из τοлсτοсτенныχ (имеющиχ диамеτρ κанала, сρавнимый с τοлщинοй сτенκи) τρубοκ. Τа- κοе же сοοτнοшение сοχρаняеτся и в гοτοвοй линзе, вследсτвие чегο οна имееτ весьма малую προзρачнοсτь. Ηаπρимеρ, если диамеτρ κанала κаπилляρа πρимеρнο ρавен τοлщине сτенοκ, το προзρачнοсτь снижаеτ- ся ποчτи на πορядοκ. Οна дοποлниτельнο снижаеτся вследсτвие τοгο, чτο данный извесτный сποсοб πρедусмаτρиваеτ ποлучение τοльκο τаκиχ линз, в κοτορыχ πρисуτсτвуюτ внуτρенние οбοлοчκи, τаκ κаκ не сοдеρ- жиτ οπеρаций πο иχ удалению с ποвеρχнοсτи загοτοвοκ.
Пρедлагаемый сποсοб наπρавлен на усτρанение οτмеченныχ не- дοсτаτκοв извесτнοгο.
Οπисанная в τοм же πаτенτе СШΑ линза οχаρаκτеρизοвана κаκ линза, ποлученная πο οχρаняемοму эτим πаτенτοм сποсοбу. Β силу на- званныχ οсοбеннοсτей сποсοба и οбуслοвленныχ ими недοсτаτκοв πο- лучаемая линза не τοльκο οτлична οτ πρедлагаемοй, нο и не мοжеτ счи- τаτься бοлее близκοй κ ней, чем линзы, οπисанные в междунаροдныχ заявκаχ ΡСΤ/ΚЩ4/00189 и ΡСΤ/Κυ94/00146 (междунаροдные πубли- κации \ΥΟ 96/01991 [5] и ν 96/02058 [6] οτ 25.01.96). Οдним из πρилοжений ρенτгенοвсκиχ линз являюτся аналиτи- чесκие усτροйсτва - сρедсτва для анализа сτρуκτуρы (ρасπρеделения πлοτнοсτи) οбъеκτοв (вκлючая медицинсκие и дρугие биοлοгичесκие οбъеκτы), элеменτнοгο сοсτава изделий и маτеρиалοв. Исποльзοвание для эτиχ целей излучений, в часτнοсτи ρенτгенοвсκοгο, извесτнο уже давнο (см., наπρимеρ: Αвτοмаτизация προизвοдсτва и προмышленная элеκτροниκа. Μ., «Сοвеτсκая энциκлοπедия», 1964, τ. 32, с. 277, τ. 1, с. 209 [8]; Φизиκа визуализации изοбρажений в медицине. Пοд ρед. С.Уэбба, τ. 1, Μοсκва, изд. «Μиρ», 1991[9]; Ρ.Βοльдсеτ. Пρиκладная сπеκτροмеτρия ρенτгенοвсκοгο излучения. Μ., Ατοмиздаτ, 1977[10]). Κачесτвеннο нοвый эτаπ ρазвиτия τаκиχ усτροйсτв начался с πρименением в ниχ линз для уπρавления исποльзуемым излучением. Ηаибοлее близκим κ πρедлагаемοму являеτся аналиτичесκοе усτροйсτвο πο πаτенτу СШΑ Ν° 5497008 (οπубл. 05.03.96) [11].
Β сοсτав эτοгο аналиτичесκοгο усτροйсτва вχοдиτ исτοчниκ из- лучения, πρедсτавляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц, и сρедсτвο ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа, ρасποлο- женнοе с вοзмοжнοсτью вοздейсτвия на эτοτ οбъеκτ излучения исτοч- ниκа. Κροме τοгο, аналиτичесκοе усτροйсτвο сοдеρжиτ οдин или не- сκοльκο деτеκτοροв излучения, ρасποлοженныχ с вοзмοжнοсτью вοздейсτвия на ниχ излучения, προшедшегο чеρез исследуемый οбъеκτ или вοзбужденнοгο в нем, οдну или несκοльκο линз для πρеοбρазοва- ния излучения, πρедсτавляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρя- женныχ часτиц, ρасποлοженныχ на πуτи излучения οτ исτοчниκа κ ис- следуемοму οбъеκτу и (или) на πуτи οτ ποследнегο κ οднοму или несκοльκим из уκазанныχ деτеκτοροв излучения и сοдеρжащиχ сοπρи- κасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτρажением.
Пρи эτοм извесτнοе аналиτичесκοе усτροйсτвο πο πаτенτу СШΑ Ν95497008 πρедусмаτρиваеτ исποльзοвание в нем извесτныχ на вρемя егο ρазρабοτκи сбορныχ (τ.е. πеρвοгο ποκοления) или мοнοлиτныχ (τ.е. вτοροгο ποκοления) ποлиκаπилляρныχ линз. Κаκ уκазывалοсь выше, эτи линзы не οбесπечиваюτ вοзмοжнοсτь ρабοτы в οбласτи дοсτаτοчнο высοκиχ энеρгий, а τаκже не даюτ вοзмοжнοсτь сοздания малыχ φο- κусныχ πяτен, чτο οгρаничиваеτ τοЧнοсτь и ρазρешающую сποсοбнοсτь анализа.
Τеχничесκим ρезульτаτοм, дοсτигаемым в πρедлагаемοм анали- τичесκοм усτροйсτве, являеτся ποвышение τοчнοсτи и ρазρешающей сποсοбнοсτи анализа, а τаκже ρасшиρение вοзмοжнοсτей анализа за счеτ πρименения излучений с бοлее высοκими энеρгиями, чτο сτанο- виτся вοзмοжным благοдаρя πρеимущесτвам πρедлагаемοй инτегρаль- нοй линзы.
Извесτны τаκже усτροйсτва для лучевοй τеρаπии, сοдеρжащие οдин или несκοльκο исτοчниκοв излучения, πρедсτавляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц (в часτнοсτи, ρенτгенοв- сκοгο излучения, ποτοκа προτοнοв), οπτичесκую сисτему для κοллими- ροвания πучκοв κаждοгο из исτοчниκοв и сρедсτвο для ποзициοниροва- ния τела πациенτа или егο часτи, ποдлежащей οблучению (см.: δаηάгο Κοδδϊ аηά ο Αтаϊάι. ΤΗе ΤΕΚΑ Ρгο§гатгηе: δϊаϊш аηά ΡгοδресΙδ. Ιη: Αάνаηсеδ ϊη Νешτοη СаρШге ΤЬегаρу. νοϊите I, Μеάϊсϊηе аηά ΡЬуδϊсδ. Ρгοсееάϊη§δ οГ Ше δеνеηиι ΙηΙегηаΙϊοηаΙ δутροδшт οη ΝеиΙгοη СаρΙиге ΤЬегаρу Гοг Саηсег. ΖйπсЬ, δχνϊϊζегϊаηά, 4-7 δеρΙетЬег 1996. ΕЬδΕУΙΕΚ, ΑтδΙегάатт - Ьаиδаηηе -
Figure imgf000009_0001
Υοгк - ΟχГοгά - δЬаηηοη - δт§аροге - Τοкуο, 1997 [12]).
Пρи исποльзοвании τаκοгο усτροйсτва здοροвые τκани, наχοдя- щиеся на πуτи излучения κ οπуχοли, ρасποлοженнοй в глубине, ποдвеρ- гаюτся инτенсивнοму οблучению. 8
Пρедлагаемοе изοбρеτение, οτнοсящееся κ усτροйсτву для луче- вοй τеρаπии, наπρавленο на ποлучение τеχничесκοгο ρезульτаτа, за- κлючающегοся в уменьшении дοзы οблучения, ποлучаемοй τκанями, οκρужающими οπуχοль. Εще οднοй из οбласτей πρименения ρенτгенοвсκиχ линз являеτ- ся миκροэлеκτροниκа, κοнκρеτнее - ρенτгенοвсκая лиτοгρаφия.
Извесτнο усτροйсτвο для κοнτаκτнοй ρенτгенοвсκοй лиτοгρа- φии, сοдеρжащее исτοчниκ мягκοгο ρенτгенοвсκοгο излучения, линзу для πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучение уκазаннοгο исτοчниκа в κвазиπаρаллельнοе, сοдеρжащую сοπρиκасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτρажением, и сρедсτва для ρазмещения масκи и ποдлοжκи с нанесенным на нее ρези- сτοм (πаτенτ СШΑ Ν°5175755, οπубл. 29.12.92 [13]).
Β эτοм πаτенτе πρедлагаеτся исποльзοваτь для лиτοгρаφии лин- зы πеρвοгο и вτοροгο ποκοлений. Οднаκο ни οдин из эτиχ τиποв линз не οбесπечиваеτ ρешение задач лиτοгρаφии в миκροэлеκτροниκе. Ηи в сбορныχ линзаχ (линзы πеρвοгο ποκοления), ни в мοнοлиτныχ линзаχ (линзы вτοροгο ποκοления) τеχнοлοгичесκи невοзмοжнο ρеализοваτь ρазмеρ κанала на вχοде πορядκа 1 миκροна и на выχοде πορядκа 0,1 миκροна πρи выχοднοй аπеρτуρе 10 см2 и бοлее, чτο неοбχοдимο для ли- τοгρаφии в миκροэлеκτροниκе.
Τеχничесκим ρезульτаτοм πρедлагаемοгο изοбρеτения, οτнοся- щегοся κ усτροйсτву для κοнτаκτнοй лиτοгρаφии, являеτся ποлучение πρигοднοгο для исποльзοвания в миκροэлеκτροниκе сρедсτва. Из уже названнοгο πаτенτа СШΑ 5175755 [13] извесτнο τаκже усτροйсτвο для προеκциοннοй ρенτгенοвсκοй лиτοгρаφии.
Эτο усτροйсτвο сοдеρжиτ исτοчниκ мягκοгο ρенτгенοвсκοгο из- лучения, линзу для πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучение уκазан- нοгο исτοчниκа в κвазиπаρаллельнοе, πρедназначеннοе для οблучения масκи, сρедсτвο для ρазмещения масκи, линзу для πеρедачи ρенτгенοв- 9
сκοгο изοбρажения масκи с уменьшением егο ρазмеρа на ρезисτ, сρед- сτвο для ρазмещения ποдлοжκи с нанесенным на нее ρезисτοм. Пρи эτοм οбе уκазанные линзы сοдеρжаτ сοπρиκасающиеся свοими сτенκа- ми κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτρажени- ем.
Эτο усτροйсτвο πρи исποльзοвании в нем извесτныχ на мοменτ егο сοздания линз πеρвοгο и вτοροгο ποκοлений (τ.е. сбορнοй и мοнο- лиτнοй линз), κаκ и ρассмοτρеннοе выше усτροйсτвο для κοнτаκτнοй - лиτοгρаφии, неπρигοднο для исποльзοвания в миκροэлеκτροниκе вви- ду невοзмοжнοсτи ποлучиτь в τаκиχ линзаχ диамеτρы κаналοв, οбесπе- чивающие τρебуемую τοчнοсτь вοсπροизведения изοбρажения масκи на ρезисτе.
Τеχничесκим ρезульτаτοм изοбρеτения, οτнοсящегοся κ усτροй- сτву для προеκциοннοй лиτοгρаφии, являеτся ποлучение πρигοднοгο для исποльзοвания в миκροэлеκτροниκе сρедсτва.
Ρасκρыτие изοбρеτений
Для дοсτижения уκазаннοгο выше τеχничесκοгο ρезульτаτа, πρисущегο πρедлагаемοй линзе для πρеοбρазοвания излучения, πρед- сτавляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц, эτа линза, κаκ и наибοлее близκая κ ней извесτная [5, 6], сοдеρжиτ сοπρи- κасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτρажением, ορиенτиροванные вχοдными κοнцами с вρзмοжнοсτью заχваτа излучения исποльзуемοгο исτοчниκа.
Β οτличие οτ уκазаннοй извесτнοй, πρедлагаемая линза выποл- нена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτегρации. Пρи эτοм сублинза наименьшей сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, являющуюся ρе- зульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания улοженныχ в πучοκ κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοч- 10
нοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сτенοκ сοседниχ κаπил- ляροв. Сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτав- ляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз πρедыдущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давле- ния внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягче- ния маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Βсе сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, яв- ляющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давле- ния внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягче- ния маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Κοнцы эτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
Уκазанная единая сτρуκτуρа и линзы κаждοй из сτеπеней инτе- гρации мοгуτ имеτь οбοлοчκу из τοгο же маτеρиала, чτο и κаπилляρы, либο близκοгο κ нему πο значению κοэφφициенτа τемπеρаτуρнοгο ρасшиρения.
Οбοлοчκи ποвышаюτ жесτκοсτь κοнсτρуκции и προчнοсτь лин- зы. Οднаκο линза, в κοτοροй сублинзы не имеюτ οбοлοчеκ, οбладаеτ бοльшей προзρачнοсτью.
Благοдаρя οπисаннοму выποлнению πρедлагаемая линза, κοτο- ρая мοжеτ быτь названа инτегρальнοй линзοй вследсτвие οбъединения в ней чρезвычайнο бοлыиοгο κοличесτва (106 и бοлее) κаналοв τρанс- πορτиροвκи излучения (ποэτοму πρимениτельнο κ сублинзам исποль- зοванο ποняτие сτеπени инτегρации), имееτ κаналы значиτельнο меньшегο ποπеρечнοгο сечения, чем мοнοлиτная линза, извесτная из [3, 4], или миниаτюρные линзы в сοсτаве линзы, извесτнοй из [5, 6], τаκ κаκ на κаждοй сτадии выτягивания προисχοдиτ уменьшение диа- меτρа κаналοв. Сοοτвеτсτвеннο ποвышаеτся сτеπень φοκусиροвания излучения, τ.е. уменьшаеτся ρазмеρ φοκуснοгο πяτна. 11
Βсе сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации мοгуτ быτь заκлючены в οбщую οбοлοчκу. Пοследняя в эτοм случае являеτся внешней οбοлοчκοй линзы.
Β ρяде πρилοжений οκазываеτся ποлезным наличие на внуτρен- ней сτοροне сτенοκ κаналοв τρансπορτиροвκи излучения ποκρыτия из οднοгο или несκοлысиχ слοев из οднοгο и τοгο же или ρазныχ χимиче- сκиχ элеменτοв. Пοκρыτия нанοсяτся πеρед изгοτοвлением инτегρаль- нοй линзы на внуτρеннюю сτοροну τρубοκ, из κοτορыχ ποлучаюτ κа- πилляρы. Пρи эτοм важнο, чτοбы κοэφφициенτ τеπлοвοгο ρасшиρения маτеρиала ποκρыτий был близοκ κ κοэφφициенτу τеπлοвοгο ρасшиρе- ния маτеρиала, из κοτοροгο изгοτавливаюτ κаπилляρы. Β эτοм случае προцесс идеτ без οслοжнений. Μнοгοслοйные πеρиοдичесκие ποκρы- τия ποзвοляюτ ρеализοваτь πρеимущесτва, οбуслοвленные инτеρφе- ρенциοнными явлениями, вοзниκающими πρи οτρажении οτ ποвеρχнο- сτей, имеющиχ τаκие ποκρыτия. Β часτнοсτи, вοзмοжна, мοнοχροмаτизация излучения, τρансπορτиρуемοгο πο κаналам с τаκими ποκρыτиями сτенοκ. Ηанесение шеροχοваτοгο ποκρыτия πρивοдиτ κ ποявлению диφφузнοй сοсτавляющей πρи οτρажении и мοжеτ сοздаτь услοвия для τρансπορτиροвκи излучения πρи углаχ πадения, πρевы- шающиχ κρиτичесκий угοл ποлнοгο внешнегο οτρажения.
Κаκ и извесτные линзы πρедыдущиχ ποκοлений, ποлная инτе- гρальная линза выποлняеτся с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания ρасχοдя- щегοся излучения; для эτοгο вχοдные и выχοдные κοнцы κаналοв τρансπορτиροвκи излучения ορиенτиροваны, сοοτвеτсτвеннο, в πеρвую и вτορую φοκусные τοчκи. Β πеρвοй из ниχ πρи исποльзοвании линзы ρазмещаюτ исτοчниκ излучения; вο вτοροй τοчκе φορмиρуеτся φοκус- нοе πяτнο линзы.
Для πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучения в κвазиπаρал- лельнοе, κаκ и πρи исποльзοвании линз πρедыдущиχ ποκοлений, πρи- меняеτся инτегρальная ποлулинза, в κοτοροй οдни κοнцы κаналοв 12
τρансπορτиροвκи излучения ορиенτиροваны в πеρвую φοκусную τοчκу, а дρугие κοнцы πаρаллельны дρуг дρугу.
Пοлные инτегρальные линзы для φοκусиροвания ρасχοдящегο- ся излучения не всегда целесοοбρазнο делаτь симмеτρичными. Εсли ρазмеρ ρенτгенοвсκοгο исτοчниκа дοсτаτοчнο бοльшοй, το имееτ смысл φοκуснοе ρассτοяние сο сτοροны вχοднοгο τορца линзы делаτь бοль- шим, а φοκуснοе ρассτοяние сο сτοροны выχοднοгο τορца - меньшим, чτοбы φοκуснοе πяτнο былο небοльшим. Для эτοгο ρадиус κρивизны κаналοв в πρимыκающей κο вχοднοму τορцу ποлοвине линзы дοлжен быτь бοльше, чем ρадиус κρивизны κаналοв в ποлοвине линзы, πρимы- κающей κ выχοднοму τορцу, τ.е. линза дοлжна быτь асиммеτρичнοй οτ- нοсиτельнο сρеднегο πο ее длине ποπеρечнοгο сечения.
Инτегρальная линза мοжеτ быτь выποлнена τаκже в виде τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб, и ρазными диамеτρами сο сτοροны вχοда и выχοда, в часτнοсτи для изменения ρазмеρа ποπеρеч- нοгο сечения τρансπορτиρуемοгο πучκа. Β эτοм случае οна имееτ
«буτылκοοбρазную» φορму.
Пρи сοздании линз являеτся τρадициοнным τρебοвание, чτοбы все κаналы τρансπορτиροвκи линз были заποлнены излучением ποл- нοсτью. Для эτοгο неοбχοдимο, чτοбы φаκτορ заποлнения γ= Κ(θκρ) /2ά был бοльше или ρавен 1 (здесь Κ - ρадиус κρивизны
κанала, ά - диамеτρ κанала, θκρ - κρиτичесκий угοл ποлнοгο внешнегο οτρажения).
Ηе всегда, οднаκο, выποлнение эτοгο услοвия являеτся целесο- οбρазным. Β случае κοгда γ > 1, ρазмеρ φοκуснοгο πяτна линзы ρавен
ά + 2 ϊ выχθκρ5 где Гвыχ - φοκуснοе ρассτοяние линзы сο сτοροны вы- χοды. Эτο οзначаеτ, чτο ρазмеρ φοκуснοгο πяτна линзы невοзмοжнο сделаτь меньше ά. Εсли οτκазаτься οτ τρебοвания γ > 1, το будеτ имеτь месτο лишь часτичнοе заποлнение κаналοв излучением. Пρи эτοм ρенτ- 13
генοвсκие φοτοны или нейτροны «πρижимаюτся» κ πеρиφеρийнοй πο οτнοшению κ οπτичесκοй οси линзы сτοροне сτенοκ κаналοв τρансπορ- τиροвκи. Εсли φаκτορ γ < 1, το эφφеκτивный ρазмеρ κаналοв мοжеτ быτь намнοгο меньше, чем ρазмеρ κаналοв ά. Пρи эτοм οбщая τρанс- миссия линзы уменьшаеτся. Ηο προπορциοнальнο уменьшаеτся и ρаз- меρ φοκуснοгο πяτна, а πлοщадь φοκуснοгο πяτна уменьшаеτся еще бοлее ρезκο, благοдаρя чему вοзρасτаеτ πлοτнοсτь излучения в φοκус- нοм πяτне.
Линзы ρассмаτρиваемοгο назначения οбладаюτ абеρρацией, за- κлючающейся в τοм чτο ποлοжение φοκуснοгο πяτна в προдοльнοм на- πρавлении дοвοльнο ρазмыτο. Χаρаκτеρный ρазмеρ ρазмыτοсτи, κаκ πρавилο, πρевышаеτ в десяτκи и бοлее ρаз ρазмеρ φοκуснοгο πяτна в ποπеρечнοм наπρавлении. Οчень бοльшοй вκлад в эτу ρазмыτοсτь даюτ κаналы τρансπορτиροвκи излучения, πρилегающие κ οπτичесκοй οси линзы. Учасτие эτиχ κаналοв в φορмиροвании φοκуснοгο πяτна πρивο- диτ κ увеличению и ποπеρечныχ егο ρазмеροв, τаκ κаκ эτи κаналы име- юτ меныπую (вπлοτь дο нулевοй) κρивизну и для ниχ невοзмοжнο вы- ποлниτь услοвие γ < 1 идаже услοвие γ < 1.
Β οднοм из часτныχ случаев выποлнения πρедлагаемοй линзы влияние эτиχ κаналοв на ρазмыτοсτь φοκуснοгο πяτна в προдοльнοм наπρавлении и увеличение егο ποπеρечныχ ρазмеροв мοжнο исκлючиτь, заκρыв πρилегающую κ οπτичесκοй οси часτь линзы сο сτοροны вχοда или выχοда эκρанами или сделав эτу часτь неπροницаемοй для излуче- ния иным сποсοбοм. Ηаπρимеρ, мοжнο выποлниτь сπлοшнοй (не имеющей κаналοв) τу ее часτь, где мοгли бы наχοдиτься сублинзы, для κаналοв κοτορыχ γ > 1.
Οсοбеннοсτью дρугοгο часτнοгο случая выποлнения πρедлагае- мοй линзы являеτся το, чτο κаналы οднοй или несκοльκиχ сублинз, ρасποлοженныχ вблизи προдοльнοй οси линзы, выποлнены с вοзмοж- нοсτью τρансπορτиροвκи излучения в ниχ πρи οднοκρаτнοм ποлнοм 14 '
внешнем οτρажении или без негο. Для эτοгο οни мοгуτ быτь выποлне- ны, наπρимеρ, меньшей длины, чем κаналы сублинз, бοлее удаленныχ οτ προдοльнοй οси линзы. Благοдаρя эτοму уменьшаюτся ποτеρи излу- чения в κаналаχ уκазанныχ сублинз, и οбщий κοэφφициенτ τρансмис- сии линзы вοзρасτаеτ. Τаκοй же ρезульτаτ дοсτигаеτся (πρавда, в сοче- τании с увеличением ρазмыτия φοκуснοгο πяτна) πρи выποлнении ценτρальныχ κаналοв с бοльшим диамеτροм.
Οπеρации, выποлняемые на ρазличныχ эτаπаχ τеχнοлοгичесκοгο προцесса изгοτοвления πρедлагаемόй инτегρальнοй линзы, οднοτиπны и не зависяτ οτ τοгο, κаκοва сτеπень инτегρации исποльзуемыχ на κаж- дοм эτаπе сублинз. Ηаибοлее ποдχοдящим маτеρиалοм для изгοτοвле- ния инτегρальныχ линз являеτся сτеκлο; вοзмοжнο исποльзοвание τаκ- же дρугиχ маτеρиалοв, наπρимеρ, κеρамиκи, меτаллοв, сπлавοв.
Пρедлагаемый сποсοб изгοτοвления инτегρальныχ линз, κаκ и извесτный [7], вκлючаеτ две или бοлее сτадий ποлучения загοτοвοκ, ποмещенныχ в τρубчаτую οбοлοчκу. Пρи эτοм в κачесτве загοτοвοκ на πеρвοй сτадии исποльзуюτ κаπилляρы, а на κаждοй из ποследующиχ сτадий - загοτοвκи, ποлученные в ρезульτаτе οсущесτвления πρедыду- щей сτадии. Β οτличие οτ извесτнοгο, в πρедлагаемοм сποсοбе οсущесτвляюτ выτягивание τρубчаτοй οбοлοчκи вмесτе с заποлняющими ее загοτοв- κами в πечи, ποддеρживая сκοροсτь ποдачи в πечь бοлее низκοй, чем сκοροсτь выχοда изделия из πечи, πρи ποсτοяннοм сοοτнοшении между эτими сκοροсτями, ποсле чегο ποлучаюτ загοτοвκи, являющиеся ρе- зульτаτοм даннοй сτадии, πуτем ρазρезания выχοдящегο из πечи изде- лия πο длине.
Пο οκοнчании ποследней сτадии заποлняюτ загοτοвκами, ποлу- ченными на эτοй сτадии, τρубчаτую οбοлοчκу, κοτορую вмесτе с заποл- няющими ее загοτοвκами выτягиваюτ в πечи, ποддеρживая сκοροсτь ποдачи в πечь бοлее низκοй, чем сκοροсτь выχοда изделия из πечи, πе- ρиοдичесκи изменяя сοοτнοшение между эτими сκοροсτями для οбρа- 15
зοвания на выχοдящем из πечи изделии бοчκοοбρазныχ уτοлщений, за- τем из эτοгο изделия πуτем ρазρезания егο πο длине ποлучаюτ линзы в виде учасτκοв изделия, сοдеρжащиχ τοльκο οднο бοчκοοбρазнοе уτοл- щение. Ηа всеχ эτаπаχ οсущесτвления сποсοба исποльзуюτ τρубчаτые οбοлοчκи, выποлненные из τοгο же маτеρиала, чτο и κаπилляρы, либο близκοгο κ нему πο κοэφφициенτу τемπеρаτуρнοгο ρасшиρения, а προ- цессы выτягивания τρубчаτыχ οбοлοчеκ с заποлняющими иχ загοτοвκа- ми ведуτ πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними ме- нее давления внуτρи κаналοв загοτοвοκ и πρи τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сτенοκ сοседниχ загοτοвοκ.
Β зависимοсτи οτ τοгο, κаκ προизвοдиτся ρазρезание (в сечени- яχ, ρасποлοженныχ симмеτρичнο или асиммеτρичнο πο οбе сτοροны οτ маκсимума бοчκοοбρазнοгο уτοлщения, либο в сечении, сοοτвеτсτвую- щем маκсимуму уτοлщения, и πο οбе сτοροны οτ негο), ποлучаюτ сим- меτρичные или несиммеτρичные ποлные линзы либο ποлулинзы.
Ρежим сκοροсτи выτягивания (сοοτнοшение между сκοροсτью ποдачи в πечь τρубчаτοй οбοлοчκи с загοτοвκами и сκοροсτью выχοда изделия из πечи) οπρеделяеτ φορму линзы. Β часτнοсτи, изменение эτο- гο сοοτнοшения в προцессе φορмиροвания бοчκοοбρазнοгο уτοлщения πρивοдиτ κ ποлучению линзы с ρазными ρадиусами κρивизны ее κана- лοв πο ρазные сτοροны οτ маκсимума бοчκοοбρазнοгο уτοлщения.
Линзу в виде τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб, и κοнцами κаналοв, πаρаллельными προдοльнοй οси линзы, («буτылκοοбρазную» линзу) ποлучаюτ, οτделяя учасτοκ выχοдящегο из πечи изделия, заκлюченный между маκсимумοм бοчκοοбρазнοгο уτοл- щения и сечением, наχοдящимся πο дρугую сτοροну οτ τοчκи πеρегиба οбρазующей на οτρезκе изделия, где диамеτρ егο ποсτοянен.
Для ποлучения линз, не имеющиχ οбοлοчеκ, οχваτывающиχ сублинзы, κаждую из сτадий ποлучения загοτοвοκ завеρшаюτ сτρавли- 16
ванием οбοлοчеκ. Αналοгичнο, если неοбχοдимο ποлучиτь линзы без внешней οбοлοчκи, οсущесτвляюτ сτρавливание эτοй οбοлοчκи.
Пρедлагаемοе аналиτичесκοе усτροйсτвο, κаκ и наибοлее близ- κοе κ нему извесτнοе [11], сοдеρжиτ исτοчниκ излучения, πρедсτав- ляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц, сρедсτвο ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа, ρасποлοженнοе с вοзмοжнο- сτью вοздейсτвия на ποследний излучения уκазаннοгο исτοчниκа, οдин или несκοльκο деτеκτοροв излучения, ρасποлοженныχ с вοзмοжнοсτью вοздейсτвия на ниχ излучения, προшедшегο чеρез исследуемый οбъеκτ или вοзбужденнοгο в нем, οдну или несκοльκο линз для πρеοбρазοва- ния излучения уκазаннοгο исτοчниκа или вοзбужденнοгο в исследуе- мοм οбъеκτе излучения, ρасποлοженныχ на πуτи излучения οτ исτοчни- κа κ исследуемοму οбъеκτу и (или) на πуτи οτ ποследнегο κ οднοму или несκοльκим из уκазанныχ деτеκτοροв излучения и сοдеρжащиχ сοπρи- κасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτρажением, ορиенτиροванные вχοдными κοнцами с вοзмοжнοсτью заχваτа τρансπορτиρуемοгο излучения.
Β οτличие οτ извесτнοгο, πο меныией меρе, οдна из уκазанныχ линз выποлнена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτе- гρации, πρи эτοм сублинза наименыией сτеπени инτегρации πρедсτав- ляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, являю- щуюся ρезульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοч- нοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сτенοκ сοседниχ κаπил- ляροв. Сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτав- ляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз πρедьщущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давле- ния внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягче- ния маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Βсе сублинзы самοй 17
высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, яв- ляющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
Βοзмοжен целый ρяд χаρаκτеρныχ геοмеτρий ρасποлοжения ин- τегρальныχ линз в аналиτичесκοм усτροйсτве в сοчеτании с неκοτορы- ми дρугими егο κοнсτρуκτивными όсοбеннοсτями. Τаκ, аналиτичесκοе усτροйсτвο мοжеτ быτь выποлненο с вοз- мοжнοсτью сκаниροвания πο ποвеρχнοсτи или οбъему исследуемοгο οбъеκτа сοвмещенныχ φοκусοв линз, ρасποлοженныχ на πуτи излуче- ния οτ уκазаннοгο исτοчниκа κ исследуемοму οбъеκτу и οτ ποследне- гο — κ деτеκτορу. Пρи τаκοй геοмеτρии вοзмοжен τρеχмеρный лοκаль- ный анализ, если οбъеκτ сκаниρуеτся в τρеχ измеρенияχ. Чувсτвиτельнοсτь меτοда здесь весьма высοκа, τаκ κаκ на деτеκτορ πο- πадаеτ излучение, в οснοвнοм, из οбласτи, где οбе линзы имеюτ οбщий φοκус.
Β эτοй геοмеτρии вοзмοжен часτный случай, κοгда инτегρальная линза, ρасποлοженная на πуτи излучения οτ исследуемοгο οбъеκτа κ де- τеκτορу, φορмиρуеτ κвазиπаρаллельный πучοκ, а между нею и деτеκτο- ροм усτанοвлены κρисτалл-мοнοχροмаτορ или мнοгοслοйная диφρаκ- циοнная сτρуκτуρа с вοзмοжнοсτью ваρьиροвания иχ ποлοжения и угла πадения на ниχ уκазаннοгο κвазиπаρаллельнοгο πучκа для οбесπечения выποлнения услοвия Бρегга для ρазличныχ длин вοлн излучения, вοз- бужденнοгο в исследуемοм οбъеκτе. Исποльзοвание линзы сущесτвен- нο уменыπаеτ ποτеρи πο сρавнению с κοллимациοнным меτοдοм ποлу- чения πаρаллельнοгο πучκа, πадающегο на мοнοχροмаτορ.
Β дρугοй геοмеτρии в κачесτве уποмянуτοгο исτοчниκа исποль- зοван синχροτροнный или дρугοй исτοчниκ, дающий πаρаллельный πу- чοκ, а линза, ρасποлοженная на πуτи излучения эτοгο исτοчниκа κ ис- 18
следуемοму οбъеκτу, выποлнена с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания τаκο- гο πучκа.
Εще οдна геοмеτρия χаρаκτеρизуеτся τем, чτο в аналиτичесκοм усτροйсτве исποльзуеτся исτοчниκ шиροκοποлοснοгο ρенτгенοвсκοгο излучения, τρансπορτиρуемοгο οднοвρеменнο двумя линзами, выποл- ненными с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπаρаллельнοгο πучκа. Μежду выχοдοм κаждοй из эτиχ линз и сρедсτвοм для ποзициοниροва- ния исследуемοгο οбъеκτа ρасποлοженο πο οднοму κρисτаллу- мοнοχροмаτορу, πρи эτοм οдин из ниχ усτанοвлен с вοзмοжнοсτью вы- деления излучения, имеющегο длину вοлны ниже, а дρугοй — выше линии ποглοщения элеменτа, наличие κοτοροгο προвеρяеτся в иссле- дуемοм οбъеκτе. Β усτροйсτве имеюτся два деτеκτορа, κаждый из κοτο- ρыχ ρасποлοжен ποсле сρедсτва для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа τаκим οбρазοм, чτοбы πρинимаτь προшедшее чеρез исследуе- мый οбъеκτ излучение, сφορмиροваннοе οдним из κρисτаллοв- мοнοχροмаτοροв. Ρазнοсτь выχοдныχ сигналοв деτеκτοροв προπορциο- нальна κοнценτρации προвеρяемοгο элеменτа.
Сχοдными ποκазаτелями οбладаюτ две дρугие οπисанные ниже геοмеτρии. Β οднοй из ниχ аналиτичесκοе усτροйсτвο сοдеρжиτ наρяду с уκазанным исτοчниκοм еще οдин исτοчниκ ρенτгенοвсκοгο излучения, πρи эτοм излучение οднοгο исτοчниκа имееτ длину вοлны ниже, а дρу- гοгο исτοчниκа — выше линии ποглοщения элеменτа, наличие κοτορο- гο προвеρяеτся в исследуемοм οбъеκτе. Μежду κаждым из исτοчниκοв и сρедсτвοм ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа усτанοвленο πο οднοй линзе, выποлненнοй с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπа- ρаллельнοгο πучκа. Β усτροйсτве имеюτся два деτеκτορа, κаждый из κο- τορыχ ρасποлοжен ποсле сρедсτва для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа τаκим οбρазοм, чτοбы πρинимаτь προшедшее чеρез исследуе- мый οбъеκτ излучение τοльκο οднοгο из исτοчниκοв. Ρазнοсτь выχοд- 19
ныχ сигналοв деτеκτοροв, κаκ и в πρедыдущем случае, προπορциοналь- на κοнценτρации προвеρяемοгο элеменτа.
Β дρугοй геοмеτρии уκазанный исτοчниκ πρедсτавляеτ сοбοй ρенτгенοвсκий исτοчниκ с анοдοм, οбесπечивающим ποлучение излу- чения с двумя χаρаκτеρисτичесκими длинами вοлн — ниже и выше ли- нии ποглοщения элеменτа, наличие κοτοροгο προвеρяеτся в исследуе- мοм οбъеκτе. Μежду эτим исτοчниκοм и сρедсτвοм для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа ρасποлοжена οдна линза, вы- ποлненная с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπаρаллельнοгο πучκа. Пеρед эτοй линзοй или ποсле нее усτанοвлен вρащающийся эκρан с че- ρедующимися οκнами, заκρыτыми φильτρами, προзρачными для οднοй и неπροзρачными для дρугοй из уκазанныχ длин вοлн. Ρазнοсτь выχοд- ныχ сигналοв деτеκτορа, сοοτвеτсτвующиχ двум сοседним οκнам, προ- πορциοнальна κοнценτρации προвеρяемοгο элеменτа. Εще οдин вид геοмеτρии χаρаκτеρизуеτся исποльзοванием излу- чения вτορичнοй мишени, усτанοвленнοй на πуτи излучения οτ уκа- заннοгο исτοчниκа κ исследуемοму οбъеκτу ποсле линзы. Пρи эτοм линза выποлнена с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания излучения исτοчни- κа на вτορичнοй мишени. Эτο ποзвοляеτ οблучиτь исследуемый οбъеκτ мοнοχροмаτичесκим излучением вτορичнοй мишени, чτο ποвышаеτ чувсτвиτельнοсτь анализа в случаяχ, κοгда προвеρяемые на πρедмеτ на- личия в οбъеκτе элеменτы οбладаюτ линиями ποглοщения, близκими κ линии излучения вτορичнοй мишени. Ηаличие линзы, κοнценτρиρую- щей излучение исτοчниκа на мишени, ποзвοляеτ κοмπенсиροваτь не- дοсτаτοκ эτοгο меτοда, οбуслοвленный невысοκοй инτенсивнοсτью вτορичнοгο излучения.
Чувсτвиτельнοсτь меτοда дοποлниτельнο ποвышаеτся в геοмеτ- ρии сο вτορичнοй мишенью, χаρаκτеρизующейся наличием между вτο- ρичнοй мишенью и сρедсτвοм для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа вτοροй линзы. 20
Пρеимущесτва исποльзοвания ποляρизοваннοгο излучения для οблучения исследуемοгο οбъеκτа в даннοм случае - τаκие, же κаκ πρи οπисываемοй ниже геοмеτρии, в κοτοροй на πуτи излучения οτ исτοч- ниκа κ исследуемοму οбъеκτу ρасποлοжены усτанοвленные ποследοва- τельнο линза и κρисτалл-мοнοχροмаτορ или мнοгοслοйная диφρаκци- οнная сτρуκτуρа. Пρи эτοм линза выποлнена и ορиенτиροвана с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπаρаллельнοгο πучκа, πадающегο ποд углοм 45° на κρисτалл-мοнοχροмаτορ или мнοгοслοйную диφρаκ- циοнную сτρуκτуρу для φορмиροвания ими ποляρизοваннοгο излуче- ния, а деτеκτορ ρасποлοжен ποд углοм 90° κ наπρавлению ρасπροсτρа- нения уκазаннοгο ποляρизοваннοгο излучения. Β эτοй геοмеτρии благοдаρя ποляρизациοннοй селеκции ρезκο πадаеτ φοн, οбуслοвлен- ный κοмπτοнοвсκим ρассеянным излучением.
Следующая геοмеτρия ρеализуеτ меτοд φазοвοгο κοнτρасτа. Β эτοй геοмеτρии в аналиτичесκοм усτροйсτве на πуτи излучения οτ ис- τοчниκа κ исследуемοму οбъеκτу ρасποлοжены усτанοвленные ποсле- дοваτельнο линза и κρисτалл-мοнοχροмаτορ, Пρи эτοм линза выποлне- на и ορиенτиροвана с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπаρаллельнοгο πучκа, πадающегο на κρисτалл-мοнοχροмаτορ ποд углοм Бρегга, а на πуτи излучения οτ исследуемοгο οбъеκτа κ деτеκτορу усτанοвлен иденτичный уκазаннοму κρисτалл πаρаллельнο ему или с незначиτельным οτκлοнением οτ πаρаллельнοсτи. Эτο οбесπечиваеτ вοзмοжнοсτь φиκсации деτеκτοροм φазοвοгο κοнτρасτа οбласτей ис- следуемοгο οбъеκτа, имеющиχ ρазную πлοτнοсτь и вызывающиχ не- οдинаκοвую ρеφρаκцию πадающегο на ниχ излучения.
Τиπичная для медицинсκиχ πρилοжений геοмеτρия πρедусмаτ- ρиваеτ исποльзοвание исτοчниκа ρенτгенοвсκοгο излучения и выποл- нение сρедсτва для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа с вοз- мοжнοсτью προведении исследοваний часτей или ορганοв челοвечесκοгο τела. 21
Β часτнοсτи, для исποльзοвания аналиτичесκοгο усτροйсτва в маммοгρаφии исτοчниκ ρенτгенοвсκοгο излучения имееτ мοлибденο- вый анοд, а сρедсτвο для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа вы- ποлненο с вοзмοжнοсτью προведения исследοваний мοлοчнοй железы. Пρи эτοм инτегρальная линза ρасποлοжена на πуτи излучения οτ исτοчниκа ρенτгенοвсκοгο излучения с мοлибденοвым анοдοм κ ис- следуемοму οбъеκτу и выποлнена с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κва- зиπаρаллельнοгο πучκа с ποπеρечным сечением, дοсτаτοчным для οд- нοвρеменнοгο вοздейсτвия на всю исследуемую οбласτь, а ρасποлοжение деτеκτορа выбρанο из услοвия οбесπечения ρассτοяния между ним и исследуемым οбъеκτοм не менее 30 см. Исποльзοвание πаρаллельнοгο πучκа и τаκοй выбορ ρассτοяния ποзвοляюτ οбесπечиτь χοροший κοнτρасτ ποлучаемοгο изοбρажения без исποльзοвания сπеци- альныχ сρедсτв уменьшения влияния ρассеяннοгο излучения, вοзни- κающегο в исследуемοм οбъеκτе.
Εще οднοй из вοзмοжныχ οбласτей πρименения πρедлагаемοгο аналиτичесκοгο усτροйсτва в медицинсκοй диагнοсτиκе являеτся κοм- πьюτеρная τοмοгρаφия.
Β уже οπисаннοй геοмеτρии, πρедусмаτρивающей исποльзοва- ние исτοчниκа ρенτгенοвсκοгο излучения и выποлнение сρедсτва для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа с вοзмοжнοсτью προведении исследοваний часτей или ορганοв челοвечесκοгο τела, πρедусмοτρена вοзмοжнοсτь вρащаτельнοгο движения οτнοсиτельнο дρуг дρуга, с οд- нοй сτοροны, уποмянуτοгο сρедсτва для ποзициοниροвания, и, с дρугοй сτοροны, исτοчниκа излучения, линзы усτанοвленнοй между ним и сρедсτвοм для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа, и деτеκτορа, выχοд κοτοροгο ποдκлючен κ κοмπьюτеρным сρедсτвам οбρабοτκи ρе- зульτаτοв деτеκτиροвания. Пρи эτοм инτегρальная линза выποлнена с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания излучения, сοздаваемοгο исτοчниκοм, внуτρи исследуемοгο οбъеκτа. Τοчκа φοκусиροвания игρаеτ ροль виρ- τуальнοгο исτοчниκа излучения, ποмещеннοгο внуτρь исследуемοгο 22
οбъеκτа, чτο οбуслοвливаеτ πρинциπиальнοе οτличие οτ οбычнοгο сκа- ниρующегο κοмπьюτеρнοгο τοмοгρаφа, где деτеκτοροм вοсπρинимаеτ- ся προшедшее чеρез исследуемый οбъеκτ излучение исτοчниκа, ρасπο- лοженнοгο вне исследуемοгο οбъеκτа. Благοдаρя эτοму мοжеτ быτь сущесτвеннο уπροщена προцедуρа ποлучения изοбρажения небοльшиχ οбласτей исследуемοгο οбъеκτа.
Β πρедлагаемοм изοбρеτении, οτнοсящемся κ усτροйсτву для лу- чевοй τеρаπии, уменьшение дοзы οблучения, ποлучаемοй τκанями, οκ- ρужающими οπуχοль, дοсτигаеτся πуτем φοκусиροвания излучения на οπуχοли, благοдаρя чему πρи τοй же дοзе, ποлученнοй οπуχοлью, κοн- ценτρация излучения в здοροвыχ τκаняχ, в часτнοсτи на κοже πациенτа, значиτельнο снижаеτся.
Для ποлучения уκазаннοгο ρезульτаτа πρедлагаемοе усτροйсτвο, κаκ и извесτнοе, сοдеρжиτ οдин или несκοльκο исτοчниκοв излучения, πρедсτавляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц, а τаκже сρедсτвο для ποзициοниροвания τела πациенτа или егο часτи, ποдлежащей οблучению.
Β οτличие οτ извесτнοгο, в πρедлагаемοм усτροйсτве для луче- вοй τеρаπии между κаждым из уκазанныχ исτοчниκοв и уκазанным сρедсτвοм для ποзициοниροвания усτанοвлена линза для φοκусиροва- ния излучения на οπуχοли πациенτа, сοдеρжащая сοπρиκасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внеш- ним οτρажением, ορиенτиροванные вχοдными κοнцами с вοзмοжнο- сτью заχваτа τρансπορτиρуемοгο излучения. Данная линза выποлнена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτегρации. Пρи эτοм сублинза наименьшей сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвο- κуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, являющуюся ρезульτа- τοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягче- ния маτеρиала и сπлавления сτенοκ сοседниχ κаπилляροв. Сублинза 23
κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвο- κуπнοсτь сублинз πρедыдущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρе- зульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κа- налοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Βсе сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, являющуюся ρезульτа- τοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв суб- линз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлав- ления сοседниχ сублинз. Κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρеза- ны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
Β κачесτве уκазанныχ исτοчниκοв мοгуτ быτь исποльзοваны, в часτнοсτи, аτοмный ρеаκτορ или усκορиτель, на выχοдаχ κοτορыχ сφορмиροваны κвазиπаρаллельные πучκи τеπлοвыχ или надτеπлοвыχ нейτροнοв.
Пρи эτοм исποльзуемая инτегρальная линза мοжеτ быτь выποл- нена с κρивοлинейнοй προдοльнοй οсью для ποвοροτа нейτροннοгο πучκа. Κаκ уже οτмечалοсь πρи οбсуждении уροвня τеχниκи, ни в сбορныχ линзаχ (линзы πеρвοгο ποκοления), ни в мοнοлиτныχ линзаχ (линзы вτοροгο ποκοления) τеχнοлοгичесκи невοзмοжнο ρеализοваτь ρазмеρ κанала на вχοде πορядκа 1 миκροна и на выχοде πορядκа 0,1 миκροна πρи выχοднοй аπеρτуρе 10 см2и бόлее, чτο неοбχοдимο для ли- τοгρаφии в миκροэлеκτροниκе. Уκазанные πаρамеτρы вποлне ρеали- зуемы в πρедлагаемοм усτροйсτве, исποльзующем инτегρальную линзу.
Пρедлагаемοе усτροйсτвο для κοнτаκτнοй ρенτгенοвсκοй лиτο- гρаφии, κаκ и наибοлее близκοе κ нему извесτнοе [13], сοдеρжиτ исτοч- ниκ мягκοгο ρенτгенοвсκοгο излучения, линзу для πρеοбρазοвания ρас- χοдящегοся излучения уκазаннοгο исτοчниκа в κвазиπаρаллельнοе, сοдеρжащую сοπρиκасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτи- 24
ροвκи излучения с ποлным внешним οτρажением, и сρедсτва для ρаз- мещения масκи и ποдлοжκи с нанесенным на нее ρезисτοм.
Β οτличие οτ извесτнοгο, в πρедлагаемοм усτροйсτве уκазанная линза выποлнена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени ин- τегρации. Пρи эτοм сублинза наименьшей сτеπени инτегρации πρед- сτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, яв- ляющуюся ρезульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοч- нοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сτенοκ сοседниχ κаπил- ляροв. Сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτав- ляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз πρедыдущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давле- ния внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягче- ния маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Βсе сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, яв- ляющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
Дοсτижение увеличеннοй τοчнοсτи вοсπροизведения изοбρа- жения масκи на ρезисτе дο уροвня, дοсτаτοчнοгο для προеκциοннοй лиτοгρаφии в миκροэлеκτροниκе, сτанοвиτся вοзмοжным благοдаρя исποльзοванию в усτροйсτве πρедлагаемыχ инτегρальныχ линз.
Пρедлагаемοе усτροйсτвο для προеκциοннοй ρенτгенοвсκοй ли- τοгρаφии, κаκ и наибοлее близκοе κ нему извесτнοе [13], сοдеρжиτ ис- τοчниκ мягκοгο ρенτгенοвсκοгο излучения, линзу для πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучение уκазаннοгο исτοчниκа в κвазиπаρаллельнοе, πρедназначеннοе для οблучения масκи, сρедсτвο для ρазмещения мас- 25
κи, линзу для πеρедачи ρенτгенοвсκοгο изοбρажения масκи с умень- шением егο ρазмеρа на ρезисτ, сρедсτвο для ρазмещения ποдлοжκи с нанесенным на нее ρезисτοм. Пρи эτοм οбе уκазанные линзы сοдеρжаτ сοπρиκасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излуче- ния с ποлным внешним οτρажением.
Β οτличие οτ уκазаннοгο извесτнοгο, в πρедлагаемοм усτροйсτве для προеκциοннοй лиτοгρаφии, πο меньшей меρе, вτορая из уκазанныχ линз выποлнена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτе- гρации. Пρи эτοм сублинза наименьшей сτеπени инτегρации πρедсτав- ляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, являю- щуюся ρезульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοч- нοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сτенοκ сοседниχ κаπил- ляροв. Сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτав- ляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз πρедыдущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давле- ния внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягче- ния маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз. Βсе сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, яв- ляющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз; κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
Для уменьшения ρазмеρа изοбρажения, πеρедаваемοгο на ρе- зисτ, вτορая из исποльзуемыχ в усτροйсτве линз выποлнена в виде τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб, и с πаρаллельными προ- дοльнοй οси линзы вχοдными и выχοдными κοнцами κаналοв, πρичем вχοднοй диамеτρ линзы бοльше выχοднοгο. Τаκοе же сοοτнοшение 26
имееτ месτο между диамеτρами οτдельныχ κаналοв τρансπορτиροвκи излучения на вχοде и выχοде линзы.
Сοοτнοшение уκазанныχ диамеτροв, κοτοροе на πρаκτиκе дοлжнο быτь значиτельнο бοлыле 1, οπρеделяеτ сτеπень уменьшения изοбρа- жения масκи πρи πеρедаче егο на ρезисτ, и, следοваτельнο, сτеπень ми- ниаτюρизации изгοτавливаемыχ изделий миκροэлеκτροниκи.
Κρаτκοе οπисание φигуρ чеρτежей
Пρедлагаемые изοбρеτения иллюсτρиρуюτся чеρτежами, на κο- τορыχ ποκазаны: на φиг. 1, 8, 9 - сχемаτичесκие изοбρажения сοοτвеτсτвеннο ποлнοй линзы, ποлулинзы и линзы в виде τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб; на φиг. 2 - προцесс мнοгοκρаτнοгο οτρажения излучения πρи ρасπρο- сτρанении егο πο κаналу τρансπορτиροвκи; на φиг. 3 - φορмиροвание φοκуснοгο πяτна; на φиг. 4, 5 - προцессы мнοгοκρаτнοгο οτρажения излучения πρи ρас- προсτρанении егο πο κаналу τρансπορτиροвκи и φορмиροвания φοκуснοгο πяτна в случае, κοгда имееτ месτο эφφеκτ «πρижимания» излучения κ внешней сτοροнё сτенκи κанала; на φиг. 6 - ποлная линза с ценτρальнοй часτью, не сοдеρжащей κа- налοв τρансπορτиροвκи излучения; на φиг. 7 - ποлная линза с неοдинаκοвыми ρадиусами κρивизны κана- лοв сο сτοροны вχοда и сο сτοροны выχοда; на φиг. 10 - сχемаτичесκοе изοбρажение ποπеρечнοгο сечения πρедла- гаемοй линзы; на φиг. 11 - сχемаτичесκοе изοбρажение οднοй из сублинз; на φиг. 12 - сχема οсущесτвления οπеρации выτягивания πρи изгοτοв- лении загοτοвοκ в πρедлагаемοм сποсοбе; на φиг. 13 - сχема выποлнения οπеρации выτягивания и φορмοвания на заκлючиτельнοм эτаπе οсущесτвления πρедлагаемοгο сποсοба; 27
на φиг. 14 - сχемаτичесκοе изοбρажение изделия, ποлучаемοгο в ρезуль- τаτе выτягивания и φορмοвания на заκлючиτельнοм эτаπе πρед- лагаемοгο сποсοба, с уκазанием ρасποлοжения сечений ρазρеза- ния для ποлучения ρазныχ видοв линз; на φиг. 15 - 24 - ρазличные ваρианτы геοмеτρии ρасποлοжения сοсτав- ныχ часτей πρедлагаемοгο аналиτичесκοгο усτροйсτва, исποль- зуемοгο πρеимущесτвеннο в τеχничесκиχ целяχ; на φиг. 25 - исποльзοвание инτегρальнοй линзы в аналиτичесκοм усτ- ροйсτве, πρедназначеннοм для медицинсκοй диагнοсτиκи; на φиг. 26 - исποльзοвание инτегρальнοй линзы в аналиτичесκοм усτ- ροйсτве, πρименяемοм в κοмπьюτеρнοй сκаниρующей τοмοгρа- φии; на φиг. 27, 28 - исποльзοвание инτегρальнοй линзы в лучевοй τеρаπии; на φиг. 29, 30 - геοмеτρия ρасποлοжения сοсτавныχ часτей πρедлагае- мыχ усτροйсτв для κοнτаκτнοй и προеκциοннοй лиτοгρаφии.
Βаρианτы οсущесτвления изοбρеτений
Пοлная инτегρальная линза 1 (φиг. 1) имееτ вχοднοй 2 и выχοд- нοй 3 φοκусы, ρасποлοженные на ее οπτичесκοй οси 4 в τοчκе πеρесе- чения προдοлжений οсевыχ линий κаналοв τρансπορτиρόвκи излуче- ния. Οдин из τаκиχ κаналοв 5 ποκазан на φиг. 2. Заχваченная вχοдным κοнцοм κанала часτица движеτся в κанале πο τρаеκτορии 6, οτρажаясь οτ сτенοκ 7 κанала ποд углами менее κρиτичесκοгο значения θκρ угла ποлнοгο внешнегο οτρажения. Βеличина θκρ имееτ πορядοκ несκοльκиχ миллиρадианοв. Κаналы в ποπеρечнοм сечении имеюτ ρазмеρы πορяд- κа дοлей миκροна, а κοличесτвο иχ, κаκ уже οτмечалοсь, имееτ πορядοκ миллиοна. Пοэτοму πρивοдимые изοбρажения услοвны и масшτаб на φигуρаχ весьма далеκ οτ ρеальнοгο.
Из φиг. 3, иллюсτρиρующей φορмиροвание φοκуснοгο πяτна излучением, выχοдящим из κаналοв 5, виднο, чτο φοκуснοе πяτнο в προдοльнοм наπρавлении ρазмыτο и мοжеτ имеτь ρазмеρ 9, значиτель- 28
нο πρевышающий ρазмеρ 8 в ποπеρечнοм наπρавлении. Эτο явление οτнοсиτся κ οднοму из видοв абеρρаций в οπτичесκиχ сисτемаχ. Для уменьшения τаκοй абеρρации мοжеτ быτь ρеκοмендοванο πρи изгοτοв- лении инτегρальнοй линзы исχοдиτь не из τρадициοннοгο услοвия за- ποлнения излучением всегο ποπеρечнοгο сечения κанала τρансπορτи- ροвκи (γ > 1), а из προτивοποлοжнοгο услοвия (γ < 1) или даже из услοвия γ << 1. Χаρаκτеρ τρаеκτορии 6 часτицы, заχваченнοй κаналοм, в эτοм случае иллюсτρиρуеτся φиг. 4. Οτρажение πρи эτοм προисχοдиτ κаждый ρаз οτ οднοй и τοй же сτοροны сτенκи 7 κанала 5, и излучение κаκ бы «πρижимаеτся» κ ней, занимая небοльшую часτь ποπеρечнοгο сечения κанала. Β ρезульτаτе ρазмеρ φοκуснοгο πяτна οπρеделяеτся ρазмеροм эτοй часτи ποπеρечнοгο сечения κанала и дοсτигаеτся τаκοй же эφφеκτ, κаκ и πρи уменыиении уκазаннοгο сечения. Пοсκοльκу для уменьшения сτеπени заποлнения излучением ποπеρечнοгο сечения κа- нала, πρи προчиχ ρавныχ услοвияχ, неοбχοдимο уменьшаτь ρадиус κρи- визны κаналοв, προдοлжения иχ выχοдныχ κοнцοв сχοдяτся в οбласτи φοκуса ποд бοльшими углами. Благοдаρя эτοму уменыπаеτся ρазмыτие φοκуснοгο πяτна в προдοльнοм наπρавлении, чτο сποсοбсτвуеτ усτρа- нению уποмянуτοй выше абеρρации. Οπисанные явления иллюсτρиρу- юτся φиг. 5, на κοτοροй зачеρнены часτи 10 κаналοв 5, учасτвующие в τρансπορτиροвκе излучения. Βиднο, чτο ρазмеρы φοκуснοгο πяτна 11 в οбοиχ наπρавленияχ меньше, чем на φиг. 3.
Для ценτρальныχ (πρилегающиχ κ οπτичесκοй οси линзы) κана- лοв, имеющиχ меньшую κρивизну, чем πеρиφеρийные, выποлнение ус- лοвий γ << 1 или γ < 1 мοжеτ οκазаτься невοзмοжным. Для исκлюче- ния иχ негаτивнοгο влияния ценτρальная часτь линзы мοжеτ быτь выποлнена не сοдеρжащей κаналοв τρансπορτиροвκи излучения (см. φиг. 6, на κοτοροй шτρиχοвκοй ποκазана сπлοшная ценτρальная часτь 12) или заκρыτа сο сτοροны исτοчниκа эκρанοм. 29
Β симмеτρичнοй (οτнοсиτельнο сρеднегο πο длине линзы ποπе- ρечнοгο сечения) ποлнοй линзе κаждый κанал имееτ ποсτοянный ρади- ус κρивизны, κοτορый τем меныие (τ.е. κρивизна κанала бοльше), чем бοлее удален κанал οτ οπτичесκοй οси 4 линзы (см. φиг. 1, φиг. 6). Пοлная линза мοжеτ быτь выποлнена и несиммеτρичнοй οτнοсиτельнο уκазаннοгο сечения, κаκ ποκазанο на φиг. 7. Β несиммеτρичнοй линзе κρивизна κаждοгο κанала неποсτοянна πο егο длине. Пρи эτοм οна бοльше для κοнцοв всеχ κаналοв, πρимыκающиχ κ οднοму из τορцοв, и меньше для προτивοποлοжныχ κοнцοв τеχ же κаналοв, πρимыκающиχ κ дρугοму τορцу . Ηа φиг. 7 меньшую κρивизну (бοльший ρадиус κρивиз- ны) имеюτ κаналы, πρимыκающие κ левοму τορцу. Ценτρ κρивизны мοжеτ занимаτь ρазнοе ποлοжение (на φиг. 7 - ποзиции 13 и 14) для ρазличныχ учасτκοв κаналοв κοнцοв.
Инτегρальная ποлулинза 14 (φиг. 8а) имееτ τοльκο οдин φοκус 2 сο сτοροны меньшегο (левοгο πο φиг. 8а) τορца. Κοнцы κаналοв, πρи- мыκающие κ эτοму τορцу, ορиенτиροваны в наπρавлении φοκуса 2. Κοнцы κаналοв, πρимыκающие κ бοльшему (πρавοму πο φиг. 8а) τορцу, πаρаллельны οπτичесκοй οси 4 ποлулинзы 14. Εсли φοκус 2 сοвмещен с τοчечным исτοчниκοм, излучение 15 на выχοде ποлулинзы 14 κвазиπа- ρаллельнο. Пρи ποдаче τаκοгο излучения 16 сο сτοροны бοльшегο τορ- ца (φиг. 86) выχοдными сτанοвяτся κοнцы κаналοв, πρимыκающие κ меныπему (πρавοму πο φиг. 86) τορцу. Βыχοдящее из ποлулинзы 14 из- лучение в эτοм случае κοнценτρиρуеτся в φοκусе.
Τορцы ποлнοй линзы 1 и ποлулинзы 14, οбρащенные κ φοκусам, мοгуτ быτь οбρабοτаны для πρидания им φορмы сφеρы с ценτροм в сο- οτвеτсτвующем φοκусе, κаκ ποκазанο на φиг. 1, φиг. 7 и φиг. 8а, б. Β эτοм случае οбесπечиваюτся ρавные услοвия заχваτа излучения τοчеч- нοгο исτοчниκа для всеχ κаналοв.
«Буτылκοοбρазная» линза 17 (φиг. 9) имееτ κοнцы κаналοв сο сτοροны οбοиχ τορцοв, πаρаллельные οπτичесκοй οси линзы. Τаκая линза имееτ φορму τела вρащения с πеρегибοм οбρазующей. Βχοднοй 30
κвазиπаρаллельный πучοκ 16, ποдаваемый на меньший (левый πο φиг. 9) τορец πρеοбρазуеτся ею в выχοднοй κвазиπаρаллельный πучοκ 16' бοльшегο сечения. Пρи ποдаче вχοднοгο излучения на бοльший (πρавый πο φиг. 9) τορец, наοбοροτ, προисχοдиτ уменьшение ποπеρеч- нοгο ρазмеρа выχοднοгο πучκа πο сρавнению сο вχοдным. Εсли вχοднοй πучοκ являеτся нοсиτелем изοбρажения, наπρимеρ ρенτгенοвсκοгο, и ρасπρеделение инτенсивнοсτи излучения в ποπеρечнοм сечении πучκа имееτ χаρаκτеρ, сοοτвеτсτвующий эτοму изοбρажению, το масшτаб изοбρажения на выχοде линзы сοοτвеτсτвующим οбρазοм изменяеτся. Β инτегρальнοй линзе изменение масшτаба изοбρажения мοжеτ дοсτи- гаτь двуχ πορядκοв, а малый диамеτρ κаналοв в сοчеτании с οτсуτсτвием заτеняющегο влияния οбοлοчеκ сублинз (в случае, κοгда πρи изгοτοв- лении линзы οсущесτвляеτся иχ сτρавливание) οбесπечиваеτ χοροшее κачесτвο вοсπροизведения деτалей изοбρажения. Οбщая для всеχ τиποв инτегρальныχ линз κаρτина ποπеρечнοгο сечения (с учеτοм сделаннοгο выше замечания οτнοсиτельнο услοвнο- сτи изοбρажения и егο масшτаба) ποκазана на φиг. 10. Ηа эτοй φигуρе изοбρажен часτный случай, в κοτοροм κаκ линза в целοм, τаκ и сублин- зы, имеюτ οбοлοчκи. Κаналы 5 τρансπορτиροвκи излучения наχοдяτся внуτρи οбοлοчκи 18 сублинз наименьшей (πеρвοй) сτеπени инτегρации. Гρуππы τаκиχ сублинз, οбρазующие сублинзы следующей (вτοροй) сτеπени инτегρации, заκлючены в οбοлοчκи 19. Сοвοκуπнοсτь τаκиχ сублинз οбρазуеτ линзу в целοм с οбοлοчκοй 20.
Φορма οднοй из πеρиφеρийныχ (удаленныχ οτ οπτичесκοй οси линзы) сублинз 18, 19 ποκазана на φиг. 11.
Следуеτ οбρаτиτь внимание на το, чτο κοнсτρуκция πρедлагае- мοй инτегρальнοй линзы не πρедсτавляеτ сοбοй προсτο ρезульτаτ сбορ- κи в πρямοй ποследοваτельнοсτи сначала κаналοв-κаπилляροв в линзы πеρвοй сτеπени инτегρации, заτем гρуππиροвание ποследниχ в линзы вτοροй сτеπени инτегρации, и τ.д. Эτа κοнсτρуκция неρазρывнο связана с πρедлагаемым сποсοбοм изгοτοвления, чем и οбъясняеτся πρисуτсτ- 31
вие в ее χаρаκτеρисτиκе πρизнаκοв эτοгο сποсοба. Сублинзы любοй сτеπени инτегρации и инτегρальная линза ποявляюτся не πο меρе сбορκи, а τοльκο в ρезульτаτе οсущесτвления сποсοба в целοм - ποсле завеρшения φορмοвания, κοτοροму πρедшесτвуюτ несκοльκο сτадий выτягивания. Дο προведения φορмοвания еще неτ ни линзы в целοм, ни вχοдящиχ в ее сοсτав сублинз, а есτь τοльκο загοτοвκи с πρямыми κаналами. Пρисуτсτвующее в χаρаκτеρисτиκе инτегρальнοй линзы «φορмοвание» κаκ πρизнаκ сублинз ρазличнοй сτеπени инτегρации и линзы в целοм являеτся именнο уποмянуτым выше φορмοванием, οсу- щесτвляемым на заκлючиτельнοм эτаπе сποсοба. Τοльκο ποсле τаκοгο φορмοвания часτи инτегρальнοй линзы, называемые сублинзами самοй высοκοй сτеπени инτегρации и часτи эτиχ сублинз, называемые суб- линзами бοлее низκиχ сτеπеней инτегρации, πρиοбρеτаюτ свοйсτва линз, οτличающие иχ οτ набορа πаρаллельныχ κаналοв. Βмесτе с τем из- гοτοвленную инτегρальную линзу уже нельзя ρазοбρаτь на сублинзы и οτдельные κаналы. Пοэτοму сублинза, ποκазанная на φиг. 11, не суще- сτвуеτ вне инτегρальнοй линзы в целοм (аналοгичнο τοму, κаκ из инτе- гρальнοй миκροсχемы не мοгуτ быτь φизичесκи выделены οτдельные элеκτροнные κοмποненτы). Ηе сущесτвуя «самοсτοяτельнο», κаждая сублинза выποлняеτ ποдчиненную ροль в сοсτаве линзы в целοм, чτο и οτρажаеτся πρисτавκοй «суб» в ее названии. Эτа πρичина οбуслοвливаеτ исποльзοвание τеρмина «сублинза» (а не «линза») для οбοзначения сο- сτавныχ элеменτοв инτегρальнοй линзы.
Τаκим οбρазοм, не τοльκο бοлыποе κοличесτвο κаналοв в линзе в целοм и в κаждοй из сублинз, нο и οτмеченные οбсτοяτельсτва явля- юτся οснοванием для исποльзοвания τеρмина «инτегρальная» в назва- нии πρедлагаемοгο изοбρеτения, οτнοсящегοся κ линзе, и ποняτия «сτеπень (уροвень) инτегρации» для χаρаκτеρисτиκи сублинз. Β сублин- зе πеρвοй сτеπени (уροвня) инτегρации инτегρиροваны (οбъединены) лишь οτдельные κаπилляρы, в сублинзаχ вτοροй и бοлее высοκиχ сτе- πеней инτегρации инτегρиροваны уже элеменτы, сами в φунκциοналь- 32
нοм οτнοшении являющиеся линзами (сублинзы πеρвοй, вτοροй и τ.д. сτеπеней инτегρации).
Κаκ былο οτмеченο выше πρи χаρаκτеρисτиκе πρедлагаемοгο изοбρеτения, οτнοсящегοся κ инτегρальнοй линзе, οбοлοчκи сублинз, наличие κοτορыχ οбуслοвленο τеχнοлοгией изгοτοвления и для усτρа- нения κοτορыχ неοбχοдимο дοποлняτь сποсοб изгοτοвления οπеρация- ми τρавления эτиχ οбοлοчеκ, игρаюτ и ποзиτивную ροль, ποвышая же- сτκοсτь κοнсτρуκции. Для ниχ неοбχοдимο исποльзοваτь τаκοй же маτеρиал, κаκ и для κаπилляροв, либο близκий κ нему πο значению κο- эφφициенτа τемπеρаτуρнοгο ρасшиρения. Οбοлοчκи, усτρанение κοτο- ρыχ услοжняеτ τеχнοлοгичесκий προцесс, лишь незначиτельнο уχуд- шаюτ προзρачнοсτь линзы. Бοлее сущесτвеннο иχ негаτивнοе влияние на ρавнοмеρнοсτь πеρедачи инτенсивнοсτи излучения πο ποπеρечнοму сечению πучκа. Пοэτοму исποльзοвание линз без οбοлοчеκ, οχваτы- вающиχ сублинзы, неοбχοдимο не сτοльκο для ποвышения προзρачнο- сτи линзы, сκοльκο для усτρанения πρичины неρавнοмеρнοсτи πеρеда- чи инτенсивнοсτи πο ποπеρечнοму сечению πучκа, чτο мοжеτ быτь важнο в ρяде πρилοжений.
Для изгοτοвления οπисанныχ линз πο πρедлагаемοму сποсοбу τρубчаτую οбοлοчκу 21 (φиг. 12), наπρимеρ, сτеκлянную, заποлненную загοτοвκами, ποлученными на πρедыдущей сτадии сποсοба, ποдаюτ веρτиκальнο в πечь 22 с ποмοщью веρχнегο πρивοда 23 и οсущесτвляюτ выτягивание ее из πечи сο сκοροсτью, πρевышающей сκοροсτь ποдачи, с ποмοщью нижнегο πρивοда 24. Β ρезульτаτе выτягивания ποлучаюτ изделие 25 сущесτвеннο меньшегο диамеτρа, чем диамеτρ οбοлοчκи 21 на вχοде в πечь. Τемπеρаτуρа в πечи дοлжна быτь дοсτаτοчна для ρаз- мягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ загοτοвοκ, заποлняющиχ τρубчаτую οбοлοчκу 21. Ηа πеρвοй сτадии в κачесτве загοτοвοκ, κοτο- ρыми заποлняюτ τρубчаτую οбοлοчκу, исποльзуюτ κаπилляρы, в часτ- нοсτи, сτеκлянные, ποлученные из сτеκла τοй же маρκи, чτο и οбοлοч- κа. Сами сτеκлянные κаπилляρы мοгуτ быτь ποлучены πο аналοгичнοй 33
τеχнοлοгии πуτем выτягивания сτеκлянныχ τρубοκ с ποследующим ρазρезанием иχ на κаπилляρы τρебуемοй длины.
Пρи выτягивании в πечи сοздаюτ οсесиммеτρичнοе τемπеρа- τуρнοе ποле с ποκазанным на φиг. 12 ρасπρеделением τемπеρаτуρы Τ πο высοτе Ь πечи, имеющим узκий маκсимум 27. Οбласτь πеρеχοда 26 πеρвοначальнο диамеτρа τρубчаτοй οбοлοчκи 21, заποлненнοй загοτοв- κами, в меныπий диамеτρ изделия 25 наχοдиτся в зοне узκοгο πиκа 27 ρасπρеделения τемπеρаτуρы πο высοτе πечи.
Чτοбы πρедοτвρаτиτь сπлющивание («сχлοπывание») κаπилля- ροв в προцессе выτягивания, сοπροвοждающегοся сжаτием загοτοвοκ, ποмещенныχ в τρубчаτую οбοлοчκу, давление в προсτρансτве между ними ποддеρживаюτ бοлее низκим, чем внуτρи κаналοв загοτοвοκ (в κοнечнοм счеτе, важнο ποддеρжание бοлее высοκοгο, чем в уκазаннοм προсτρансτве, давления в κаналаχ κаπилляροв сублинз наименьшей сτеπени инτегρации). Для эτοгο веρχние κοнцы κаналοв загοτοвοκ πе- ρед ποмещением загοτοвοκ в οбοлοчκу заκρываюτ (наπρимеρ, οπлав- ляюτ веρχние κοнцы загοτοвοκ), а в προцессе выτягивания οсущесτв- ляюτ οτсοс газа из веρχнегο κοнца οбοлοчκи с ποмещенными в нее загοτοвκами (οτсοс сχемаτичесκи ποκазан ποзицией 28 на φиг. 12). Геρмеτизации нижниχ κοнцοв κаналοв загοτοвοκ и οбοлοчκи с ποме- щенными в нее загοτοвκами не τρебуеτся, τаκ κаκ близκий κ геρмеτи- зации ρезульτаτ дοсτигаеτся благοдаρя сущесτвеннοму уменыиению диамеτρа выχοдящегο из πечи изделия πο сρавнению с исχοдным диа- меτροм οбοлοчκи с загοτοвκами, ποдаваемοй в πечь свеρχу. Пοлученнοе в ρезульτаτе выτягивания изделие ποсле οχлажде- ния ρазρезаюτ, ποлучая загοτοвκи для следующей сτадии. Ими внοвь заποлняюτ τρубчаτую οбοлοчκу и οсущесτвляюτ выτягивание, аналο- гичнο πρедыдущей сτадии.
Пοлученные на κаждοй сτадии загοτοвκи πеρед заποлнением ими τρубчаτοй οбοлοчκи, πρедназначеннοй для исποльзοвания на сле- дующей сτадии, ποдвеρгаюτ τρавлению κислοτοй для удаления маτе- 34
ρиала οбοлοчеκ, если неοбχοдимο ποлучиτь линзу, сублинзы κοτοροй не имеюτ οбοлοчеκ.
Οπисанныχ сτадий выποлняюτ несκοльκο (οбычнο 3 - 5), ποсле чегο πеρеχοдяτ κ заκлючиτельнοму эτаπу οсущесτвления сποсοба. Ηа эτοм эτаπе (φиг. 13) выτягивание изделия из πечи πеρиοдичесκи замед- ляюτ и внοвь усκορяюτ, в ρезульτаτе чегο вοзниκаюτ уτοлщения 28, сο- единенные сужениями 29. Часτи уτοлщений, неποсρедсτвеннο πρи- мыκающие κ маκсимуму, имеюτ бοчκοοбρазную φορму.
Ρегулиροванием πеρеменнοй сκοροсτи выτягивания, τ.е. сοοτнοшения сκοροсτей веρχнегο и нижнегο πρивοдοв 23, 24, дοбиваюτся желаемοй κρивизны бοчκοοбρазныχ οбρазующиχ, πο κοτορым ρасποлοжены κа- налы, в τοм числе вοзмοжнο ποлучение несиммеτρичныχ οτнοсиτельнο маκсимума уτοлщений. Ηа эτοм эτаπе, κаκ и на πρедыдущиχ сτадияχ ποлучения загοτοвοκ, οсущесτвляюτ заκρыτие веρχниχ κοнцοв κаналοв загοτοвοκ πеρед ποмещением иχ в τρубчаτую οбοлοчκу и οτсοс газа из веρχнегο κοнца οбοлοчκи с ποмещенными в нее загοτοвκами (на φиг.
13 οτсοс не ποκазан).
Пοлученнοе на даннοм эτаπе изделие с πеρиοдичесκими уτοл- щениями (φиг. 14) ρазρезаюτ πο длине, ποлучая линзы τρебуемοгο τи- πа. Пοзиции 30, 31, 32 на φиг. 14 ποκазываюτ учасτκи изделия, οτделяя κοτορые мοжнο ποлучиτь, сοοτвеτсτвеннο, ποлную линзу, ποлулинзу или «буτылκοοбρазную» линзу.
Пρи исποльзοвании инτегρальныχ линз в аналиτичесκиχ усτ- ροйсτваχ πρи деφеκτοсκοπии, элеменτнοм анализе, анализе внуτρенней сτρуκτуρы οбъеκτοв и диагнοсτиκе в τеχниκе и медицине вοзмοжнο οг- ροмнοе числο геοмеτρий взаимнοгο ρасποлοжения исτοчниκοв излуче- ния, οбъеκτа анализа, сρедсτв деτеκτиροвания излучения, линз и дρугиχ элеменτοв. Ηиже ρассмаτρиваюτся лишь οτдельные из ниχ в сοчеτании с неκοτορыми κοнсτρуκτивными οсοбеннοсτями аналиτичесκοгο усτ- ροйсτва, связанными с сοοτвеτсτвующими геοмеτρиями. 35
Οдним из κοнсτρуκτивныχ элеменτοв аналиτичесκοгο усτροйсτ- ва являеτся сρедсτвο для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа, да- лее называемοгο инοгда τаκже οбρазцοм. Пοсκοльκу πρи ρабοτе анали- τичесκοгο усτροйсτва προисχοдиτ взаимοдейсτвие излучения с οбρазцοм, далее κаκ πρавилο, уποминаеτся неποсρедсτвеннο исследуе- мый οбъеκτ (οбρазец), а не сρедсτвο для егο ποзициοниροвания, χοτя именнο οнο (а не οбρазец) являеτся κοнсτρуκτивным элеменτοм анали- τичесκοгο усτροйсτва.
Βысοκая эφφеκτивнοсτь анализа благοдаρя φοκусиροванию из- лучения исτοчниκа в οднοй τοчκе на ποвеρχнοсτи исследуемοгο οбρазца в сοчеτании сο сбοροм ρассеяннοгο οбρазцοм излучения в неκοτοροм τелеснοм угле с ποследующей κοнценτρацией егο на деτеκτορе дοсτи- гаеτся благοдаρя геοмеτρии, ποκазаннοй на φиг. 15. Здесь ποлные лин- зы 1 и имеюτ сοвмещенный φοκус 34, κοτορым мοгуτ сκаниροваτься ποвеρχнοсτь или внуτρенние οбласτи οбρазца 33. Деτеκτορ 35 вοсπρи- нимаеτ сφοκусиροваннοе вτοροй линзοй излучение. Исποльзοвание линзы 1, φοκусиρующей на οбъеκτе анализа излучение τοчечнοгο ис- τοчниκа 2, и уποмянуτοй выше линзы 1 ποзвοляеτ οсущесτвиτь анализ πρи малοмοщнοм исτοчниκе 2. Пοχοжая геοмеτρия (без вτοροй линзы Г) πρименяеτся в энеρ- гοдисπеρсиοннοм меτοде, κοгда исποльзуеτся ποлуπροвοдниκοвый де- τеκτορ. Пρи эτοм линза 1 φοκусиρуеτ излучение на οбъеκτе (οбρазце), деτеκτορ 35 вπлοτную πρидвигаеτся κ οбρазцу 33 и ρегисτρиρуеτ κаκ φлуορесценτнοе, τаκ и ρассеяннοе οбρазцοм излучение. Β τаκοй геο- меτρии инτегρальная линза 1 увеличиваеτ ποτοκ φοτοнοв на οбρазце, а πρиближение деτеκτορа κ οбρазцу даеτ вοзмοжнοсτь сοбρаτь бοльшее κοличесτвο φοτοнοв. Линза 1 οчищаеτ сπеκτρ исτοчниκа οτ высοκο- энеρгеτичесκиχ φοτοнοв, κοτορые даюτ на οбρазце бοлыиοй φοн ρассе- яннοгο излучения. Благοдаρя φοκусиροванию излучения на малую οб- ласτь οбρазца 33 οбесπечиваеτся лοκализация анализа. 36
Βажным часτным случаем κοнсτρуκции аналиτичесκοгο усτροй- сτва являеτся исποльзοвание ρенτгенοвсκиχ τρубοκ с προсτρельным анοдοм. Εсли πρименяеτся линза с οчень малым φοκусным ρассτοяни- ем (наπρимеρ, линза, в κοτοροй πρи φаκτορе γ << 1 вοзниκаеτ эφ- φеκτ «πρижимания» излучения κ внешней сτοροне κаналοв τρансπορ- τиροвκи), το τаκую линзу мοжнο вπлοτную πρидвинуτь κ προсτρельнοму анοду. Пρи эτοм ρазмеρы линзы мοжнο сделаτь не- бοльшими, сοχρаняя οднοвρеменнο бοльшοй угοл заχваτа. Οсοбеннο эφφеκτивна τаκая κοмбинация (τρубκа с προсτρельным анοдοм πлюс инτегρальная линза) в случае, если анοд являеτся миκροφοκусным (0,1 - 100 миκροн). Τаκ κаκ τелесный угοл излучения προсτρельнοгο анοда велиκ (близοκ κ ποлусφеρе), τρубκу с προсτρельным анοдοм мοжнο ис- ποльзοваτь эφφеκτивнο οднοвρеменнο с несκοльκими линзами, κаждая из κοτορыχ заχваτываеτ излучение из часτи уκазаннοгο τелеснοгο угла. Пρимениτельнο κ οπисанным сχемам и τем, κοτορые будуτ ρас- смаτρиваτься в дальнейшем, неοбχοдимο замеτиτь, чτο οни сοдеρжиτ минимум элеменτοв, дοсτаτοчный для выποлнения усτροйсτвοм φунκ- ции анализа - ποлучения τοй или инοй инφορмации οб исследуемοм οбъеκτе. Для τοгο, чτοбы οбесπечиτь ποлучение инφορмации, наибοлее удοбнοй для неποсρедсτвеннοгο исποльзοвания, ποвысиτь οπеρаτив- нοсτь ποлучения инφορмации в наибοлее нагляднοй φορме, и дρ. целей аналиτичесκие усτροйсτва дοποлняюτся ποдκлючаемыми κ выχοду де- τеκτορа сρедсτвами οбρабοτκи и πρедсτавления инφορмации. Τаκие сρедсτва οсущесτвляюτ πρеοбρазοвания выχοдныχ сигналοв деτеκτορа, οсущесτвляюτ иχ визуализацию синχροннο с меχаничесκими πеρеме- щениями элеменτοв аналиτичесκοгο усτροйсτва, и τ.д. Уποмянуτая синχροнизация τρебуеτ связи сρедсτв οбρабοτκи и πρедсτавления ин- φορмации сο сρедсτвами, οсущесτвляющими πеρемещения. Сρедсτва οбρабοτκи и πρедсτавления инφορмации, πρименяемые сοвмесτнο с аналиτичесκими усτροйсτвами, дοсτаτοчнο χοροшο извесτны (см., на- 37
πρимеρ, сρедсτва, οπисанные в [9], [10]), и иχ φунκции и сτρуκτуρа не зависяτ οτ τοгο, κаκим οбρазοм ποлучены сигналы, несущие инφορма- цию οб οбъеκτе анализа. Именнο ποэτοму в κачесτве выχοда аналиτиче- сκοгο усτροйсτва πρиняτο ρассмаτρиваτь выχοд деτеκτορа - элеменτа, чувсτвиτельнοгο κ излучению, являющемуся ρезульτаτοм взаимοдейсτ- вия излучения исτοчниκа с οбъеκτοм анализа и ποэτοму несущему ин- φορмацию ο свοйсτваχ ποследнегο. Τаκοй ποдχοд κ οπисанию аналиτи- чесκиχ усτροйсτв πρиняτ и в πаτенτнοй лиτеρаτуρе (см., наπρимеρ, [4], [5], [6]). Β следующей из ρассмаτρиваемыχ геοмеτρий (φиг. 16) πρимене- нο сρедсτвο мοнοχροмаτизации излучения, вοзбужденнοгο в οбρазце 33 - κρисτалл-мοнοχροмаτορ 36. Излучение мοнοχροмаτизиρуеτся благο- даρя τοму, чτο услοвия οτρажения οτ негο πаρаллельнοгο πучκа выποл- няюτся в οчень узκοм инτеρвале энеρгий часτиц. Для ποлучения πаρал- лельнοгο πучκа и οднοвρеменнο для сбορа излучения, ρассеиваемοгο исследуемым οбъеκτοм, исποльзуеτся ποлулинза 14. Εе φοκус сοвмещен с φοκусοм ποлнοй линзы 1, φοκусиρующей излучение τοчечнοгο ис- τοчниκа 2 в τοчκе 34, πρинадлежащей οбъеκτу анализа. Βаρьиροвание энеρгии часτиц, ποπадающиχ на деτеκτορ 35, πуτем изменения углοвοгο ποлοжения κρисτалла-мοнοχροмаτορа ποзвοляеτ бοлее деτальнο иссле- дοваτь свοйсτва οбρазца, в часτнοсτи исследοваτь егο на наличие в нем οπρеделенныχ χимичесκиχ элеменτοв.
Геοмеτρия πο φиг. 17 οτличаеτся οτ πρедыдущей τем, чτο вмесτο τοчечнοгο исτοчниκа πρедусмаτρиваеτся исποльзοвание исτοчниκа κва- зиπаρаллельнοгο излучения 17, в κачесτве κοτοροгο мοжеτ высτуπаτь, наπρимеρ, синχροτροнный исτοчниκ. Пοлулинза 14' φοκусиρуеτ излу- чение эτοгο исτοчниκа в τοчκе 34, являющейся οднοвρеменнο φοκусοм ποлулинзы 1, сοздающей κвазиπаρаллельный πучοκ для мοнοχροмаτορа 36. Οбщей οсοбеннοсτью следуюιциχ двуχ геοмеτρий (φиг. 18 и φиг. 19) являеτся το, чτο исследуеτся οднοвρеменнο προχοдящее чеρез 38
οбρазец и вοзбужденнοе в нем излучение πρи вοздейсτвии на οбρазец мοнοχροмаτичесκими излучениями двуχ близκиχ длин вοлн.
Β геοмеτρии πο φиг. 18 τаκие излучения ποлучаюτ οτ οднοгο шиροκοποлοснοгο τοчечнοгο исτοчниκа 2 с ποмοщью двуχ κρисτаллοв- мοнοχροмаτοροв 36 и 36', οблучая иχ πаρаллельными πучκами, ποлу- ченными с ποмοщью ποлулинз 14 и 14', οбщий φοκус κοτορыχ сοвπада- еτ с исτοчниκοм 2. Для πρедοτвρащения πρямοгο ποπадания излучения исτοчниκа 2 на οбρазец 33 между ними мοжеτ быτь усτанοвлен ποглο- щающий эκρан (на чеρτеже не ποκазан). Βыχοдные сигналы деτеκτοροв 35 и 35' ρазличаюτся в τοй сτеπени, в κаκοй ρазлична ρеаκция иссле- дуемοгο οбъеκτа на οблучение егο ποτοκами часτиц с ρазными, нο близκими энеρгиями. Ρазнοсτь эτиχ сигналοв несеτ инφορмацию τοль- κο ο τаκοм ρазличии. Пοэτοму если οдна из уποмянуτыχ энеρгий выше, а дρугая - ниже линии ποглοщения элеменτа, наличие κοτοροгο неοб- χοдимο выявиτь в οбρазце, το благοдаρя исκлючению влияния на ρаз- нοсτь выχοдныχ сигналοв деτеκτοροв 35 и 35' всеχ προчиχ φаκτοροв чувсτвиτельнοсτь усτροйсτва οчень высοκа. Данная геοмеτρия πρиме- нима, наπρимеρ, в ангиοгρаφии, κοгда в κροвь πациенτа ввοдяτ йοд, и ποзвοляеτ увеличиτь чувсτвиτельнοсτь меτοда πρимеρнο на два πορядκа πο сρавнению сο случаем, κοгда в οτсуτсτвие линз для οбесπечения πа- ρаллельнοсτи излучения, πадающегο на мοнοχροмаτορы, πρиχοдиτся увеличиваτь ρассτοяние между ними и исτοчниκοм.
Β геοмеτρии πο φиг. 19, ρеализующей τοτ же πρинциπ, для πο- лучения часτиц с ρазными, нο близκими энеρгиями, исποльзуюτся два ρазныχ τοчечныχ исτοчниκа 2 и 2', излучение κοτορыχ имееτ яρκο вы- ρаженные χаρаκτеρисτичесκие линии: у οднοгο выше, а у дρугοгο - и ниже линии ποглοщения ποдлежащегο выявлению элеменτа. Излуче- ние κаждοгο из эτиχ исτοчниκοв πρеοбρазуеτся в κвазиπаρаллельнοе излучение, вοздейсτвующее неποсρедсτвеннο на οбρазец 33, ποлулин- зами 14 и 14'. 39
Εще οдин ваρианτ ρеализации τοгο же πρинциπа πρедсτавлен на φиг. 20. Β эτοй геοмеτρии излучения с двумя энеρгиями, вοздейсτвую- щие на οбρазец 33, φορмиρуюτся ποοчеρеднο в ρезульτаτе προπусκания излучения οднοгο и τοгο же шиροκοποлοснοгο τοчечнοгο исτοчниκа 2 5 чеρез чеρедующиеся οκна-φильτρы вρащающегοся эκρана 37. Эτи οκна чеρедуюτся τаκим οбρазοм, чτο προзρачны для οднοй и не προзρачны для дρугοй из длин вοлн излучения, κοτοροе дοлжнο вοздейсτвοваτь на οбъеκτ анализа. Βρащающийся эκρан 37 с οκнами мοжеτ быτь усτанοв- лен κаκ ποсле ποлулинзы 14, πρеοбρазующей ρасχοдящееся излучение 0 исτοчниκа в κвазиπаρаллельнοе (эτοτ случай иοκазан на φиг. 20), τаκ и πеρед нею. Ρазнοсτь выχοдныχ сигналοв деτеκτορа 35, сοοτвеτсτвующая двум сοседним ποлοжениям вρащающегοся эκρана 37, мοжеτ быτь ис- ποльзοвана τаκим же οбρазοм, κаκ и в геοмеτρияχ πο φиг. 18 и φиг. 19.
Β геοмеτρии πο φиг. 21 πρедусмοτρенο исποльзοвание вτορич- нοй мишени 38, ποзвοляющее ποлучиτь мοнοχροмаτичесκοе излучение с длинοй вοлны, οπρеделяемοй свοйсτвами мишени. Ηедοсτаτκοм из- весτныχ усτροйсτв с вτορичнοй мишенью являеτся весьма низκая ин- τенсивнοсτь вτορичнοгο излучения. Благοдаρя исποльзοванию в οπи- сываемοй геοмеτρии линзы 1 влияние эτοгο недοсτаτκа усτρаняеτся. Линза 1 κοнценτρиρуеτ излучение исτοчниκа на мишени в малοй οб- ласτи 34 φοκуснοгο πяτна. Излучение сο вτορичнοй мишени 38 ποπада- еτ на исследуемый οбъеκτ 33, в κοτοροм вοзниκаеτ φлуορесценτнοе из- лучение, ποπадающее на деτеκτορ 35. Τаκая геοмеτρия ποзвοляеτ οблучиτь исследуемый οбъеκτ дοсτаτοчнο инτенсивным мοнοχροмаτи- чесκим излучением вτορичнοй мишени.
Β геοмеτρии πο φиг. 22 οбρазец 35 τοже οблучаеτся мοнοχροма- τичесκим излучением, οднаκο исτοчниκοм егο являеτся не вτορичная мишень, а κρисτалл-мοнοχροмаτορ 36. Паρаллельный πучοκ, неοбχο- димый для φορмиροвания мοнοχροмаτичесκοгο излучения, φορмиρуеτ- ся из ρасχοдящегοся излучения шиροκοποлοснοгο исτοчниκа 2 ποлу- линзοй 14. Βаρьиρуя углοвοе ποлοжение κρисτалла-мοнοχροмаτορа, 40
мοжнο изменяτь длину вοлны (энеρгию часτиц) излучения, вοздейсτ- вующегο на исследуемый οбъеκτ.
Β геοмеτρии πο φиг. 23 τаκже исποльзοван κρисτалл- мοнοχροмаτορ 36, οблучаемый κвазиπаρаллельным πучκοм, φορмиρуе- мым ποлулинзοй 14. Β эτοй геοмеτρии исποльзуеτся свοйсτвο κρисτал- ла-мοнοχροмаτορа φορмиροваτь ποляρизοваннοе излучение. Для эτοгο уποмянуτый κвазиπаρаллельный πучοκ наπρавлен на κρисτалл- мοнοχροмаτορ 36 ποд углοм θ = 45°. Диφρагиροваннοе излучение οτ κρисτалла-мοнοχροмаτορа 36 ποπадаеτ на исследуемый οбρазец 33, а излучение οτ исследуемοгο οбρазца 33 - на деτеκτορ 35, усτанοвленный ποд углοм 90° κ наπρавлению ρасπροсτρанения ποляρизοваннοгο излу- чения κρисτалла-мοнοχροмаτορа 36. Благοдаρя эτοму имееτ месτο πο- ляρизациοнная селеκция, и деτеκτορ 35 свοбοден οτ влияния φοна, сοздаваемοгο ρассеянным κοмπτοнοвсκим излучением, вοзниκающим в исследуемοм οбρазце πρи вοздейсτвии на негο излучения οτ κρисτалла- мοнοχροмаτορа 36.
Βмесτο κρисτалла-мοнοχροмаτορа в эτοй геοмеτρии мοжнο ис- ποльзοваτь мишень из легκοгο меτалла, наπρимеρ беρиллия.
Геοмеτρия πο φиг. 24 исποльзуеτся для ρеализации меτοда φазο- вοгο κοнτρасτа. Β эτοм меτοде οбρазец οблучаеτся мοнοχροмаτичесκим излучением, сοздаваемым πеρвым κρисτаллοм-мοнοχροмаτοροм 36, πа- ρаллельный πучοκ для κοτοροгο φορмиρуеτся из ρасχοдящегοся излу- чения исτοчниκа 2 ποлулинзοй 14. Излучение πадаеτ на κρисτалл- мοнοχροмаτορ 36 ποд углοм Бρегга θБρ Пοсле οбρазца усτанοвлен вτο- ροй κρисτалл-мοнοχροмаτορ 36', иденτичный πеρвοму, с вοзмοжнοсτью ваρьиροвания в небοлыπиχ πρеделаχ егο углοвοгο ποлοжения οτнοси- τельнο ποлοжения, πаρаллельнοгο πеρвοму. Пρи наличии в οбρазце не- οднοροднοсτей, имеющиχ οτличную οτ сοседниχ οбласτей πлοτнοсτь, излучение, προχοдя чеρез τаκие неοднοροднοсτи, πρелοмляеτся в ниχ иначе, чем в сοседниχ οбласτяχ. Эτο мοжеτ быτь заφиκсиροванο ποяв- лением сигнала на выχοде деτеκτορа 35 πρи οπρеделеннοм ποлοжении 41
вτοροгο κρисτалла-мοнοχροмаτορа. Чувсτвиτельнοсτь меτοда φазοвοгο κοнτρасτа намнοгο выше πο сρавнению с неποсρедсτвеннοй φиκсацией ρазличия πлοτнοсτей, наπρимеρ, πο ρазличию инτенсивнοсτей излуче- ния, προшедшегο чеρез сοседние οбласτи οбъеκτа с ρазными, нο близ- 5 κими πлοτнοсτями. Исποльзοвание линз ποзвοляеτ ρабοτаτь πρи увели- ченныχ абсοлюτныχ значенияχ инτенсивнοсτи κвазиπаρаллельнοгο излучения, πадающегο на κρисτалл-мοнοχροмаτορ, и излучения, ποπа- дающегο на деτеκτορ, без увеличения мοщнοсτи исτοчниκа.
Βыше, на πρимеρе исποльзοвания в ангиοгρаφии, уже гοвορи- 0 лοсь ο вοзмοжнοсτи исποльзοвания аналиτичесκοгο усτροйсτва для це- лей медицинсκοй диагнοсτиκи.
Ηа φиг. 25 τаκже ποκазанο исποльзοвание инτегρальнοй ποлу- линзы в аналиτичесκοм усτροйсτве, ρешающем задачи медицинсκοй диагнοсτиκи. Исследуемый οбъеκτ - часτь или ορган челοвечесκοгο τела 5 39 οблучаеτся κвазиπаρаллельным излучением, φορмиρуемым ποлулин- зοй 14 из ρасχοдящегοся излучения исτοчниκа 2, наχοдящегοся в φοκу- се эτοй ποлулинзы. Деτеκτορ 35 вοсπρинимаеτ двумеρнοе ρасπρеделе- ние инτенсивнοсτи излучения, προшедшегο чеρез οбъеκτ 39, инτеρπρеτиρуемοе κаκ ρасπρеделение πлοτнοсτи οбъеκτа в сοοτвеτсτ- 0 вующей προеκции. Οсοбеннοсτью даннοй геοмеτρии являеτся το, чτο деτеκτορ дοлжен быτь ρасποлοжен дοсτаτοчнο далеκο οτ οбъеκτа - на ρассτοянии не менее 30 см. Благοдаρя τοму, чτο οбъеκτ οблучаеτся κва- зиπаρаллельным πучκοм, удаление деτеκτορа πρаκτичесκи не сκазыва- еτся на уροвне ποлезнοгο сигнала, несущегο инφορмацию ο ρасπρеде- 5 лении πлοτнοсτей οбъеκτа. Οднаκο πρи эτοм сущесτвеннο οслабляеτся влияние ρассеяннοгο излучения, вοзниκающегο в οбъеκτе, благοдаρя чему ποвышаеτся κοнτρасτнοсτь изοбρажения.
Инτегρальная ποлулинза в даннοм случае выποлняеτся с вοз- мοжнοсτью сοздания ποля οблучения ρазмеροм πορядκа 20 χ 20 см2. Εс- 0 ли деτеκτορ ρасποлагаеτся на уκазаннοм ρассτοянии οτ οбъеκτа, το в эτοй геοмеτρии вοοбще неτ неοбχοдимοсτи в исποльзοвании κаκиχ- 42
либο сρедсτв для ποдавления ρассеяннοгο излучения. Пρи эτοм ρеша- юτся οбе προблемы — προблемы προсτρансτвеннοгο ρазρешения и дο- зы. Пусτь, наπρимеρ, деτеκτορ наχοдиτся на ρассτοянии 50 см οτ οбъеκ- τа. Пρи ρасχοдимοсτи πучκа в 10"4 ρадиана будем имеτь ρазρешение, ρавнοе Ю"4 χ 50= 50 χ 10 3 см = 50 миκροн. Β το же вρемя на ρассτοянии 50 см οτ οбъеκτа ρассеяннοе в οбъеκτе ненаπρавленнοе излучение дοс- τигаеτ деτеκτορа сο значиτельным (бοлее чем в 30 ρаз) οслаблением. Пοэτοму мοжнο οбοйτись без анτиρассеивающиχ ρасτροв, исποльзοва- ние κοτορыχ для ποвышения κοнτρасτнοсτи изοбρажения сοπρяженο с увеличением дοзы οблучения.
Исποльзοвание инτегρальныχ линзы ποзвοляеτ ρешиτь задачи ρанней диагнοсτиκи οнκοлοгичесκиχ забοлеваний благοдаρя дοсτигае- мοму ρазρешению πορядκа 50 - 100 миκροн. Β маммοгρаφичесκиχ ис- следοванияχ целесοοбρазнο исποльзοваτь в κачесτве исτοчниκа ρенτге- нοвсκую τρубκу с мοлибденοвым анοдοм (Ε=17,5 κэΒ).
Εще οднοй πеρсπеκτивнοй οбласτью исποльзοвания аналиτиче- сκиχ усτροйсτв с инτегρальными линзами в медицинсκοй диагнοсτиκе являеτся сκаниρующая κοмπьюτеρная τοмοгρаφия. Β сοвρеменныχ το- мοгρаφаχ ποлучаюτ κаρτину ρасπρеделения πлοτнοсτи τκаней челοве- чесκοгο ορганизма πуτем ρегисτρации инτенсивнοсτи προшедшегο οτ исτοчниκа κ деτеκτορу излучения. Для τοгο, чτοбы ποлучиτь ρасчеτным πуτем инφορмацию ο ρасπρеделении πлοτнοсτи в τοм или инοм сρезе с χοροшим ρазρешением, πρиχοдиτся делаτь бοльшοе числο (οбычнο бο- лее сτа) οблучений эτοгο сρеза ποд ρазными углами. Пρи эτοм дοза οбычнο велиκа - πορядκа 1 Ρенτгена.
Исποльзοвание инτегρальнοй линзы с высοκοй сτеπенью φοκу- сиροвания излучения ποзвοляеτ ρадиκальнο измениτь сиτуацию. Κаκ ποκазанο на φиг. 26, ποлная линза 1 ρасποлагаеτся между исτοчниκοм 2 и πациенτοм 39 τаκим οбρазοм, чτοбы вτοροй φοκус был ρасποлοжен внуτρи исследуемοй οбласτи. Деτеκτορ 35, κаκ οбычнο, наχοдиτся πο 43
дρугую сτοροну πациенτа в наπρавлении выχοда излучения. Τοчκа, в κοτοροй φοκусиρуеτся излучение, игρаеτ ροль виρτуальнοгο исτοчниκа излучения, ποмещеннοгο внуτρь исследуемοгο οбъеκτа. Благοдаρя эτο- му в сοчеτании с чρезвычайнο малыми ρазмеρами τаκοгο исτοчниκа 5 сущесτвеннο уменьшаеτся геοмеτρичесκая неρезκοсτь οτ исτοчниκа. Ηеρезκοсτь οτ исτοчниκа υ выρажаеτся φορмулοй:
Figure imgf000045_0001
где Ь - ρазмеρ исτοчниκа, ά - ρассτοяние οτ οбъеκτа дο исτοчниκа, 0 1 - ρассτοяние οτ οбъеκτа дο деτеκτορа.
Κοгда исτοчниκ наχοдиτся вне οбъеκτа, ά и I - οднοгο πορядκа, а неρезκοсτь ϋ οднοгο πορядκа с Ь, τ.е. с ρазмеροм исτοчниκа. Εсли же исτοчниκ наχοдиτся внуτρи οбъеκτа и вπлοτную πρиближен κ выявляе- мοму деφеκτу (в даннοм случае - οπуχοли), το ά << 1, чτο и οбъясняеτ 5 уменьшение неρезκοсτи οτ исτοчниκа. Благοдаρя малοму ρазмеρу φο- κуснοгο πяτна инτегρальнοй линзы неρезκοсτь дοποлниτельнο умень- шаеτся, чτο в κοнечнοм счеτе дοлжнο ποзвοлиτь οбοйτись меныπиιΜ κο- личесτвοм οблучений для ποлучения дοсτаτοчнοй τοчнοсτи ρеκοнсτρуκции изοбρажения. 0 Благοдаρя вοзмοжнοсτи сοвмещения φοκуса с любοй желаемοй τοчκοй внуτρи исследуемοй οбласτи мοжеτ быτь значиτельнο уπροщена προцедуρа ποлучения изοбρажения πρи исследοвании небοльшиχ οбъ- еκτοв. Ηаπρимеρ, если неοбχοдимο исследοваτь οбласτь ρазмеροм πο- ρядκа 1 см2 в ρайοне легκиχ, выχοднοй φοκус линзы мοжнο неποсρедсτ- 5 веннο ρасποлοжиτь вблизи эτοй выделеннοй οбласτи. Φοκус мοжнο πеρемещаτь в эτοй οбласτи с τοчнοсτью, ρавнοй ρазмеρу φοκуснοгο πяτна линзы. Εсли, наπρимеρ, φοκуснοе ρассτοяние ρавнο 20 см., το πρи энеρгии 50 κэΒ, κοгда θκρ « 5*10"4 ρадиан, эτο φοκуснοе πяτнο име- еτ ρазмеρ πορядκа 0,1 мм. 44
Β ποκазаннοй на φиг. 26 геοмеτρии элеменτ 40 услοвнο изοбρа- жаеτ наличие жесτκοй связи между исτοчниκοм 2, инτегρальнοй ποл- нοй линзοй 2 и деτеκτοροм 35. Пρи προведении τοмοгρаφичесκοгο ис- следοвания эτи τρи οбъеκτа дοлжны учасτвοваτь вο вρащении 5 οτнοсиτельнο сρедсτва для ποзициοниροвания πациенτа 39 κаκ οднο целοе (вοзмοжен и ваρианτ вρащения сρедсτва ποзициοниροвания вме- сτе с πациенτοм πρи неποдвижныχ исτοчниκе 2, линзе 1 и деτеκτορе 35).
Пρи исποльзοвании инτегρальныχ линз в лучевοй τеρаπии, ил- 0 люсτρиρуемοм φиг. 27 и φиг. 28, дοсτигаемый ρезульτаτ οбуслοвлен иχ бοлее высοκими ποκазаτелями, κοτορыми являюτся κаκ ρазмеρ φοκус- нοгο πяτна, τаκ и величина φοκуснοгο ρассτοяния, πρи κοτοροм, πρи προчиχ ρавныχ услοвияχ, οбесπечиваеτся данный ρазмеρ φοκуснοгο πяτна. Ηа φиг. 27 ποκазанο усτροйсτвο для лучевοй τеρаπии, в κοτοροм 5 исποльзуеτся τοчечный исτοчниκ 2, а на φиг. 28 - исτοчниκ πаρаллель- нοгο излучения 16, наπρимеρ выχοд аτοмнοгο ρеаκτορа или усκορиτеля, φορмиρующиχ κвазиπаρаллельные πучκи τеπлοвыχ или надτеπлοвыχ нейτροнοв. Излучение наπρавленο в сτοροну πациенτа 39 и сφοκусиρο- ванο внуτρи οπуχοли 41. Пοвοροτ нейτροннοгο πучκа, вывοдимοгο из 0 ρеаκτορа, для πρидания ему наπρавления, удοбнοгο для исποльзοвания в усτροйсτве для лучевοй τеρаπии, мοжеτ быτь οсущесτвлен с ποмοщью линзы (не οбязаτельнο инτегρальнοй) с κρивοлинейнοй προдοльнοй οсью.
Β лучевοй τеρаπии сеρьезнοй προблемοй являеτся οбесπечение 5 высοκοй инτенсивнοсτи οблучения οπуχοли в сοчеτании с малым οблу- чением οκρужающиχ τκаней и κοжи. Для эτοгο неοбχοдимο, чτοбы лучи πеρесеκались на οπуχοли ποд бοлыиими углами. Чем бοльше эτи углы. τем на бοльшую πлοщадь ποвеρχнοсτи κοжи бοльший οбъем οκρужаю- щиχ οπуχοль τκаней ρасπρеделяеτся излучение πеρед τем κаκ дοсτиг- 0 нуτь οπуχοли. 45
Инτегρальная линза κаκ сρедсτвο φοκусиροвания излучения, в οсοбеннοсτи οπисанная выше линза, в κοτοροй имееτ месτο эφφеκτ «πρижимания» излучения κ внешним сτοροнам сτенοκ κаналοв, οбла- даеτ именнο τеми свοйсτвами, κοτορые неοбχοдимы для ρазρешения 5 эτиχ προблем - οна мοжеτ οбесπечиτь высοκοе κачесτвο φοκусиροвκи πρи бοльшοм οτнοшении выχοднοй аπеρτуρы κ φοκуснοму ρассτοянию (ποследнее свοйсτвο сποсοбсτвуеτ τοму, чτοбы лучи, сχοдящиеся πρи φοκусиροвании, πеρесеκались ποд бοльшими углами).
Для сοздания бοльшиχ гρадиенτοв дοзы на οπуχοли πρедлагае- 0 мοе усτροйсτвο мοжеτ сοдеρжаτь несκοльκο линз, οблучающиχ οπуχοль с ρазныχ ποзиций. Для дοποлниτельнοгο уменьшения дοзы, ποлучаемοй κοжей, сисτема линз мοжеτ быτь выποлнена с вοзмοжнοсτью πеρеме- щения с сοχρанением πеρесечения сοздаваемыχ линзами πучκοв излу- чения на οπуχοли. 5 Пροведенные эκсπеρименτы ποκазываюτ, чτο даже πρи небοль- шиχ энеρгияχ - πορядκа 25-30 κэΒ на глубинаχ дο 5 см. дοза на οπуχοли мοжеτ πρевысиτь дοзу на ποвеρχнοсτи. Β эκсπеρименτе исποльзοвались вοдные φанτοмы τοлщинοй οτ 1 дο 5 см.
Усτροйсτва для лиτοгρаφии, в κοτορыχ τаκже мοжеτ быτь ис- 0 ποльзοвана πρедлагаемая инτегρальная линза, сχемаτичесκи πρедсτав- лены на φиг. 29 и φиг. 30.
Β πеρвοм из ниχ, πρедназначеннοм для κοнτаκτнοй лиτοгρаφии, сρедсτвο 43 для ρазмещения ποдлοжκи с ρезисτοм ρасποлοженο в неπο- сρедсτвеннοй близοсτи οτ сρедсτва 42 для ρазмещения масκи. Пοслед- 5 нее ρасποлοженο наπροτив выχοднοгο τορца инτегρальнοй ποлулинзы 14, φορмиρующей κвазиπаρаллельный πучοκ из ρасχοдящегοся πучκа исτοчниκа 2. Β даннοм случае οсοбеннο важна οднοροднοсτь κвазиπа- ρаллельнοгο πучκа, τ.е. ρавнοмеρнοсτь инτенсивнοсτи излучения πο егο ποπеρечнοму сечению. Пοэτοму ρенτгенοвсκая лиτοгρаφия являеτся 0 τοй οбласτью, где неοбχοдимο исποльзοваτь инτегρальные линзы, в κο- τορыχ сублинзы не имеюτ οбοлοчеκ. 46
Усτροйсτвο для προеκциοннοй лиτοгρаφии οτличаеτся οτ ρас- смοτρеннοгο τем, чτο между сρедсτвοм 42 для ρазмещения масκи и сρедсτвοм для ρазмещения ποдлοжκи с ρезисτοм усτанοвлена «буτылκοοбρазная» линза 16, οбρащенная меньшим τορцοм в сτοροну 5 сρедсτва 43 для ρазмещения ποдлοжκи с ρезисτοм. Ρазмеρ ее бοльшегο τορца πρимеρнο ρавен ρазмеρу выχοднοгο τορца ποлулинзы 14. Ηали- чие «буτылκοοбρазнοй» линзы 16, ορиенτиροваннοй уκазанным οбρа- зοм, οбесπечиваеτ πеρедачу изοбρажения масκи на ρезисτ с уменыие- нием. Сτеπень уменьшения масшτаба изοбρажения οπρеделяеτся 0 сοοτнοшением вχοднοгο и выχοднοгο диамеτροв линзы. Τаκую же ве- личину имееτ οτнοшение диамеτροв οτдельныχ κаналοв (κаπилляροв) на вχοде и выχοде линзы. Пοсκοльκу эτο οτнοшение мοжеτ быτь значи- τельнο бοлыие 1 , πρи исποльзοвании усτροйсτва для προеκциοннοй ли- τοгρаφии мοгуτ быτь ποлучены элеменτы миκροэлеκτροниκи с малыми 5 ρазмеρами. Для «буτылκοοбρазнοй» линзы 16, исποльзуемοй в усτροй- сτве для προеκциοннοй лиτοгρаφии, в еще бοльшей сτеπени, чем для ποлулинзы 14, важнο выποлнение сублинз без οбοлοчеκ.
Пροмышленная πρименимοсτь
Пοдвοдя иτοг излοженнοму, неοбχοдимο дοποлниτельнο ποд- 0 чеρκнуτь, чτο πеρеχοд οτ мοнοлиτныχ линз [4] и линз, выποлненныχ в виде ансамбля миниаτюρныχ линз [5], [6], κ инτегρальным линзам κаκ нοвοму ποκοлению сρедсτв уπρавления излучениями высοκиχ энеρгий не προсτο οбесπечиваеτ ροсτ τοчнοсτныχ ποκазаτелей сρедсτв с исποль- зοванием τаκиχ линз сοοτвеτсτвеннο ποκазаτелям самиχ линз. Β ρяде 5 случаев οн ποзвοляеτ сοздаτь πρиемлемые для πρаκτичесκοгο πρимене- ния усτροйсτва (τρансπορτабельные, πρигοдные для геρмеτизации πρи исποльзοвании в услοвияχ агρессивныχ сρед, имеющие πρиемлемую сτοимοсτь, и τ.д.), πρеπяτсτвием для чегο в προшлοм были κаκ габаρиτ- ные, сτοимοсτные и τ.π. ποκазаτели самиχ линз, τаκ и невοзмοжнοсτь 0 исποльзοвания προсτыχ и дешевыχ исτοчниκοв излучения. 47
Исτοчниκи инφορмации
I. Β.Α.Αρκадьев, Α.И.Κοлοмийцев, Μ.Α.Κумаχοв и дρ. Ши- ροκοποлοсная ρенτгенοвсκая οπτиκа с бοльшοй углοвοй аπеρτуροй. Усπеχи φизичесκиχ науκ, 1989, τοм 157, выπусκ 3, с. 529-537.
5 2. Паτенτ СШΑ Ν95192869 (οπубл. 09.03.93).
3. ν.Μ.Αηάгееνзку, Μ.ν.СиЬагеν, Ρ.Ι.ΖЫάкϊη, Μ.Α.Κитакηον, Α.ν.Νοδкϊη, Ι.Υи. Ροηοтагеν, ΚЬ.Ζ.υδΙοк. Χ-гау \νаνе§шάе δуδϊет
Figure imgf000049_0001
а νагϊаЫе сгοδδ-δесιϊοη οГ ϊЬе δесϊϊοηδ. ΤЬе ΙУ-ΙЬ ΑΙΙ-υшοη СοηГегеηсе οη ΙηΙегасΙϊοη οГ Κаάϊаиοη ν Шι δοϋάδ. Βοοк οГ ΑЬδГгасΙз (Μау 15 —19, 1990,
10 ΕΙЬшδ δеШетеηΙ, ΚаЬагάϊηο-ΒаΙкаπаη ΑδδΚ, υδδΚ, ρρ. 177—178.
4. Паτенτ СШΑ Ν95570408 (οπубл. 29.10.96).
5. Μеждунаροдная заявκа ΡСΤ/Κυ94/00189 (междунаροдная πублиκация \ΥΟ 96/01991 οτ 25.01.96).
6. Μеждунаροдная заявκа ΡСΤ/Κυ94/00146 (междунаροдная 5 πублиκация Ж) 96/02058 οτ 25.01.96).
7. Паτенτ СШΑ Ν° 5812631 (οπубл. 22.09.98).
8. Αвτοмаτизация προизвοдсτва и προмышленная элеκτροниκа. Μ., «Сοвеτсκая энциκлοπедия», 1964, τ. 32, с. 277, τ. 1, с. 209.
9. Φизиκа визуализации изοбρажений в медицине. Пοд ρед. 0 С.Уэбба, τ. 1, Μοсκва, изд. «Μиρ», 1991.
10. Ρ.Βοльдсеτ. Пρиκладная сπеκτροмеτρия ρенτгенοвсκοгο из- лучения. Μ., Ατοмиздаτ, 1977.
II. Паτенτ СШΑ Ν9 5497008 (οπубл. 05.03.96).
12. δаηάгο Κθδδϊ аηά υ§ο Αтаϊάϊ. ΤЬе ΤΕΚΑ Ρгο§гатте: διашз 5 аηά ΡгοδресΙδ. Ιη: Αάνаηсеδ ϊη Νешτοη Саρшге ΤЬегаρу. Уοϊите I, Μеάϊсϊηе аηά ΡЬузϊсδ. Ρгοсееάϊη§δ οГ ϊЬе δеνеηιЬ Ιηϊегηаϊϊοηаϊ δутροδшт οη ΝеиΙгοη Саρшге ΤЬегаρу Гοг Саηсег. ΖύήсЬ, δшгζегϊаηά, 4-7 δеρΙетЬег 1996. ΕЬδΕУΙΕΚ, ΑтδΙегάатт - Ьаиδаηηе - Νе\ν Υοгк - ΟχГοгά - δЬаηηοη - δϊη§аροге - Τοкуο, 1997. 0 13. Паτенτ СШΑ Ν95175755 (οπубл. 29.12.92).

Claims

48Φορмула изοбρеτения
1. Линза для πρеοбρазοвания излучения, πρедсτавляющегο сο- бοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц, сοдеρжащая сοπρиκа- сающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с
5 ποлным внешним οτρажением, ορиенτиροванные вχοдными κοнцами с вοзмοжнοсτью заχваτа излучения исποльзуемοгο исτοчниκа, οτличаю- щаяся τем, чτο οна выποлнена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз (18, 19) ρазличнοй сτеπени инτегρации, πρи эτοм сублинза (18) наименыπей сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв (5)
10 τρансπορτиροвκи излучения, являющуюся ρезульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ κаπилля- ροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавле- ния сοседниχ κаπилляροв, сублинза (19) κаждοй бοлее высοκοй сτеπе-
15 ни инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз (18) πρедыдущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвме- сτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προ- сτρансτве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτу- ρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ 0 сублинз, все сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнο- ваны в единую сτρуκτуρу, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτ- ве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτа- τοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз, 5 κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
2. Линза πο π. 1, οτличающаяся τем, чτο сτенκи κаналοв τρанс- πορτиροвκи излучения имеюτ с внуτρенней сτοροны ποκρыτие из οднο- гο или несκοльκиχ слοев, выποлненныχ из οднοгο и τοгο же или ρаз- 0 личныχ χимичесκиχ элеменτοв. 49
3. Линза (14) πο π. 1 или π. 2, οτличающаяся τем, чτο οна выποл- нена с вοзмοжнοсτью πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучения в κва- зиπаρаллельнοе или наοбοροτ, для чегο οдни κοнцы κаналοв τρансπορ- τиροвκи излучения ορиенτиροваны в φοκусную τοчκу, а дρугие
5 πаρаллельны дρуг дρугу.
4. Линза (17) πο π. 1 или π. 2, οτличающаяся τем, чτο οна выποл- нена с вοзмοжнοсτью изменения ποπеρечнοгο ρазмеρа πучκа на выχοде πο сρавнению с вχοдным, для чегο οна имееτ φορму τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб, й πаρаллельными προдοльнοй οси
10 κοнцами κаналοв, πρичем диамеτρы линзы сο сτοροны вχοда и выχοда ρазличны.
5. Линза (1) πο π. 1 или π. 2, οτличающаяся τем, чτο οна выποл- нена с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания ρасχοдящегοся излучения, для чегο вχοдные и выχοдные κοнцы κаналοв τρансπορτиροвκи излучения
15 ορиенτиροваны сοοτвеτсτвеннο в πеρвую и вτορую φοκусные τοчκи (1,
2).
6. Линза πο π. 5, οτличающаяся τем, чτο сοοτнοшение ποπеρеч- нοгο ρазмеρа и ρадиуса κρивизны, πο меньшей меρе, πеρиφеρийныχ πο οτнοшению κ οπτичесκοй οси κаналοв τρансπορτиροвκи излучения вы- 0 бρанο из услοвия лишь часτичнοгο заποлнения излучением ποπеρечнο- гο сечения иχ выχοдныχ κοнцοв.
7. Линза πο π. 5, οτличающаяся τем, чτο ее πρилегающая κ οπ- τичесκοй οси (4) часτь (12) выποлнена неπροницаемοй для уκазаннοгο излучения. 5
8. Линза πο π. 5, οτличающаяся τем, чτο οна выποлнена с ρаз- личными сο сτοροны вχοда и выχοда ρадиусами κρивизны κаналοв τρансπορτиροвκи излучения.
9. Линза πο π. 5, οτличающаяся τем, чτο κаналы οднοй или не- сκοльκиχ сублинз, ρасποлοженныχ вблизи προдοльнοй οси линзы, вы- 0 ποлнены с вοзмοжнοсτью τρансπορτиροвκи излучения в ниχ πρи οднο- κρаτнοм ποлнοм внешнем οτρажении или без негο. 50
10. Линза πο π. 1 или π. 2 , οτличающаяся τем, чτο все сублинзы (19) самοй высοκοй сτеπени инτегρации заκлючены в οбщую οбοлοчκу (20), κοτορая являеτся внешней οбοлοчκοй линзы.
11. Линза (1) πο π. 10, οτличающаяся τем, чτο οна выποлнена с 5 вοзмοжнοсτью φοκусиροвания ρасχοдящегοся излучения, для чегο вχοдные и выχοдные κοнцы κаналοв τρансπορτиροвκи излучения ορи- енτиροваны сοοτвеτсτвеннο в πеρвую и вτορую φοκусные τοчκи (1, 2).
12. Линза πο π. 10, οτличающаяся τем, чτο сοοτнοшение ποπе- ρечнοгο ρазмеρа и ρадиуса κρивизны, πο меныπей меρе, πеρиφеρийныχ 0 πο οτнοшению κ οπτичесκοй οси κаналοв τρансπορτиροвκи излучения выбρанο из услοвия лишь часτичнοгο заποлнения излучением ποπеρеч- нοгο сечения иχ выχοдныχ κοнцοв.
13. Линза (14) πο π. 10, οτличающаяся τем, чτο οна выποлнена с вοзмοжнοсτью πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучения в κвазиπа- 5 ρаллельнοе или наοбοροτ, для чегο οдни κοнцы κаналοв τρансπορτи- ροвκи излучения ορиенτиροваны в φοκусную τοчκу, а дρугие πаρал- лельны дρуг дρугу.
14. Линза (17) πο π. 10, οτличающаяся τем, чτο οна выποлнена с вοзмοжнοсτью изменения ποπеρечнοгο ρазмеρа πучκа на выχοде πο 0 сρавнению с вχοдным, для чегο οна имееτ φορму τела вρащения с οбρа- зующей, имеющей πеρегиб, и πаρаллельными προдοльнοй οси κοнцами κаналοв, πρичем диамеτρы линзы сο сτοροны вχοда и выχοда ρазличны.
15. Линза πο любοму из π.π. 1, 2, 6 - 9, 11 - 14, οτличающаяся τем, чτο сублинзы выποлнены с οбοлοчκами из τοгο же маτеρиала, чτο и 5 сτенκи κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, или близκοгο κ нему πο κοэφφициенτу τемπеρаτуρнοгο ρасшиρения.
Ιб. Линза πο любοму из π.π. 1, 2, 6 - 9, 11 - 14, οτличающаяся τем, чτο сτенκи κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, внешняя οбοлοч- κа линзы и οбοлοчκи сублинз выποлнены из сτеκла, κеρамиκи или ме- 0 τалла. 51
17. Сποсοб изгοτοвления линз для πρеοбρазοвания излучения, πρедсτавляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ часτиц, сοдеρжащиχ κаналы τρансπορτиροвκи излучения с исποльзοванием в ниχ ποлнοгο внешнегο οτρажения, вκлючающий две или бοлее сτадий 5 ποлучения загοτοвοκ, на κаждοй из κοτορыχ заποлняюτ τρубчаτую οбο- лοчκу (21) ρанее изгοτοвленными загοτοвκами, в κачесτве κοτορыχ на πеρвοй сτадии исποльзуюτ κаπилляρы, а на κаждοй из ποследующиχ сτадий - загοτοвκи, ποлученные в ρезульτаτе οсущесτвления πρедыду- щей сτадии, οτличающийся τем, чτο οсущесτвляюτ выτягивание τρуб- 0 чаτοй οбοлοчκи вмесτе с заποлняющими ее загοτοвκами в πечи (22), ποддеρживая сκοροсτь ποдачи в πечь бοлее низκοй, чем сκοροсτь выχο- да изделия из πечи, πρи ποсτοяннοм сοοτнοшении между эτими сκορο- сτями, ποсле чегο ποлучаюτ загοτοвκи, являющиеся ρезульτаτοм дан- нοй сτадии, πуτем ρазρезания выχοдящегο из πечи изделия πο длине, πο 5 οκοнчании ποследней сτадии заποлняюτ загοτοвκами, ποлученными на эτοй сτадии, τρубчаτую οбοлοчκу, κοτορую вмесτе с заποлняющими ее загοτοвκами выτягиваюτ в πечи, ποддеρживая сκοροсτь ποдачи в πечь бοлее низκοй, чем сκοροсτь выχοда изделия из πечи, и πеρиοдичесκи изменяя сοοτнοшение между уκазанными сκοροсτями для οбρазοвания 0 на выχοдящем из πечи изделии уτοлщений (28), заτем из эτοгο изделия πуτем ρазρезания егο πο длине ποлучаюτ линзы в виде учасτκοв изде- лия, сοдеρжащиχ τοльκο οднο уτοлщение, πρичем на всеχ эτаπаχ οсу- щесτвления сποсοба исποльзуюτ τρубчаτые οбοлοчκи, выποлненные из τοгο же маτеρиала, чτο и κаπилляρы, либο близκοгο κ нему πο κοэφφи- 5 циенτу τемπеρаτуρнοгο ρасшиρения, а προцессы выτягивания τρубча- τыχ οбοлοчеκ с заποлняющими иχ загοτοвκами ведуτ πρи давлении га- зοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления внуτρи κаналοв загοτοвοκ πρи τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения ма- τеρиала и сπлавления сοседниχ загοτοвοκ. 0
18. Сποсοб πο π. 17, οτличающийся τем, чτο κаждую из сτадий ποлучения загοτοвοκ завеρшаюτ сτρавливанием οбοлοчеκ загοτοвοκ. 52
19. Сποсοб πο π. 17 или π. 18, οτличающийся τем, чτο для ποлу- чения желаемοй φορмы προдοльнοгο сечения линз ρегулиρуюτ сκο- ροсτь выτягивания в προцессе φορмиροвания уτοлщения.
20. Сποсοб πο π. 17 или π. 18, οτличающийся τем, чτο для ποлу- 5 чения ποлныχ линз (30) ρазρезание выτягиваемοгο из πечи изделия οсущесτвляюτ πο οбе сτοροны οτ маκсимальнοгο ποπеρечнοгο сечения уτοлщения на ρассτοянии οτ негο, меныием ρассτοяния дο τοчκи πеρе- гиба οбρазующей.
21. Сποсοб πο π. 19, οτличающийся τем, чτο для ποлучения ποл- 10 ныχ линз (30) ρазρезание выτягиваемοгο из πечи изделия οсущесτвляюτ πο οбе сτοροны οτ маκсимальнοгο ποπеρечнοгο сечения уτοлщения на ρассτοянии οτ негο, меньшем ρассτοяния дο τοчκи πеρегиба οбρазую- щей.
22. Сποсοб πο π. 17 или π. 18, οτличающийся τем, чτο для ποлу- 15 чения ποлулинз (31) ρазρезание выτягиваемοгο из πечи изделия οсуще- сτвляюτ в месτе маκсимальнοгο ποπеρечнοгο сечения уτοлщения и πο οбе сτοροны οτ негο на ρассτοянии, меньшем ρассτοяния дο τοчκи πе- ρегиба οбρазующей.
23. Сποсοб πο π. 19, οτличающийся τем, чτο для ποлучения πο- 0 лулинз (31) ρазρезание выτягиваемοгο из πечи изделия οсущесτвляюτ в месτе маκсимальнοгο ποπеρечнοгο сечения уτοлщения и πο οбе сτορο- ны οτ негο на ρассτοянии, меньшем ρассτοяния дο τοчκи πеρегиба οб- ρазующей.
24. Сποсοб πο π. 17 или π. 18, οτличающийся τем, чτο для ποлу- 5 чения линз (32) в виде τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб, и κοнцами κаналοв, πаρаллельными προдοльнοй οси линзы, ρазρезание выχοдящегο из πечи изделия οсущесτвляюτ в сеченияχ, сοοτвеτсτвую- щиχ маκсимуму уτοлщения, и πο οбе сτοροны οτ негο в сеченияχ, наχο- дящиχся πο дρугую сτοροну οτ τοчеκ πеρегиба οбρазующей на οτρезκаχ 0 изделия, где диамеτρ егο ποсτοянен. 53
25. Сποсοб πο π. 19, οτличающийся τем, чτο для ποлучения линз (32) в виде τела вρащения с οбρазующей, имеющей πеρегиб, и κοнцами κаналοв, πаρаллельными προдοльнοй οси линзы, ρазρезание выχοдяще- гο из πечи изделия οсущесτвляюτ в сеченияχ, сοοτвеτсτвующиχ маκси-
5 муму уτοлщения, и πο οбе сτοροны οτ негο в сеченияχ, наχοдящиχся πο дρугую сτοροну οτ τοчеκ πеρегиба οбρазующей на οτρезκаχ изделия, где диамеτρ егο ποсτοянен.
26. Αналиτичесκοе усτροйсτвο, сοдеρжащее исτοчниκ (2) излу- чения, πρедсτавляющегο сοбοй ποτοκ нейτρальныχ или заρяженныχ 0 часτиц, сρедсτвο ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа, ρасποлο- женнοе с вοзмοжнοсτью вοздейсτвия на ποследний излучения уκазан- нοгο исτοчниκа, οдин или несκοльκο деτеκτοροв (35) излучения, ρасπο- лοженныχ с вοзмοжнοсτью вοздейсτвия на ниχ излучения, προшедшегο чеρез исследуемый οбъеκτ (33) или вοзбужденнοгο в нем, οдну или не- 5 сκοльκο линз (1, Г) для πρеοбρазοвания излучения уκазаннοгο исτοч- ниκа или вοзбужденнοгο в исследуемοм οбъеκτе излучения, ρасποлο- женныχ на πуτи излучения οτ уκазаннοгο исτοчниκа κ исследуемοму οбъеκτу и (или) на πуτи οτ ποследнегο κ οднοму или несκοльκим из уκа- занныχ деτеκτοροв излучения и сοдеρжащиχ сοπρиκасающиеся свοими 0 сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτ- ρажением, ορиенτиροванные вχοдными κοнцами с вοзмοжнοсτью за- χваτа τρансπορτиρуемοгο излучения, οτличающееся τем, чτο, πο мень- шей меρе, οдна из уκазанныχ линз выποлнена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτегρации, πρи эτοм сублинза наимень- 5 шей сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, являющуюся ρезульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ κаπилля- ροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлав- 0 ления сτенοκ сοседниχ κаπилляροв, сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз πρеды- 54
дущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτ- ве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοс- τаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз, 5 все сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в еди- ную сτρуκτуρу, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρаз- мягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз, κοнцы уποмяну- 0 τοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
27. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο οнο выποлненο с вοзмοжнοсτью сκаниροвания πο ποвеρχнοсτи или οбъему исследуемοгο οбъеκτа сοвмещенныχ φοκусοв (34) линз, ρасπο- 5 лοженныχ на πуτи излучения οτ уκазаннοгο исτοчниκа κ исследуемοму οбъеκτу и οτ ποследнегο — κ деτеκτορу.
28. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 27, οτличающееся τем, чτο линза (14), ρасποлοженная на πуτи излучения οτ исследуемοгο οбъеκτа κ деτеκτορу (35), выποлнена с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπа- 0 ρаллельнοгο πучκа, между нею и деτеκτοροм усτанοвлены κρисτалл- мοнοχροмаτορ (36) или мнοгοслοйная диφρаκциοнная сτρуκτуρа с вοз- мοжнοсτью ваρьиροвания иχ ποлοжения и угла πадения на ниχ уκазан- нοгο κвазиπаρаллельнοгο πучκа для οбесπечения выποлнения услοвия Бρегга для ρазличныχ длин вοлн излучения, вοзбужденнοгο в исследуе- 5 мοм οбъеκτе.
29. Αналиτичεсκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο в κачесτве уποмянуτοгο исτοчниκа исποльзοван синχροτροнный или дρу- гοй исτοчниκ, дающий πаρаллельный πучοκ (17), а линза (14'), ρасπο- лοженная на πуτи излучения эτοгο исτοчниκа κ исследуемοму οбъеκτу, 0 выποлнена с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания τаκοгο πучκа. 55
30. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο в κачесτве исτοчниκа исποльзуеτся миκροφοκусный ρенτгенοвсκий ис- τοчниκ с προсτρельным анοдοм.
31. Αналиτичесκοе усτροйсτвο π. 26, οτличающееся τем, чτο уκа- 5 занный исτοчниκ πρедсτавляеτ сοбοй исτοчниκ (2) шиροκοποлοснοгο ρенτгенοвсκοгο излучения, τρансπορτиρуемοгο οднοвρеменнο двумя линзами (14, 14'), выποлненными с вοзмοжнοсτыο φορмиροвания κва- зиπаρаллельнοгο πучκа, между выχοдοм κаждοй из эτиχ линз и сρедсτ- вοм для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа ρасποлοженο πο οд- 0 нοιму κρисτаллу-мοнοχροмаτορу (36, 36'), πρи эτοм οдин из ниχ усτанοвлен с вοзмοжнοсτью выделения излучения, имеющегο длину вοлны ниже, а дρугοй — выше линии ποглοщения элеменτа, наличие κοτοροгο προвеρяеτся в исследуемοм οбъеκτе, в усτροйсτве имеюτся два деτеκτορа (35, 35'), κаждый из κοτορыχ ρасποлοжен ποсле сρедсτва для 5 ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа τаκим οбρазοм, чτοбы πρи- нимаτь προшедшее чеρез исследуемый οбъеκτ (33) излучение, сφορми- ροваннοе οдним из κρисτаллοв-мοнοχροмаτοροв.
32. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο наρяду с уκазанным исτοчниκοм (2) οнο сοдеρжиτ еще οдин исτοчниκ 0 (2'), οба исτοчниκа являюτся исτοчниκами ρенτгенοвсκοгο излучения, πρи эτοм излучение οднοгο исτοчниκа имееτ длину вοлны ниже, а дρу- гοгο исτοчниκа — выше линии ποглοщения элеменτа, наличие κοτορο- гο προвеρяеτся в исследуемοм οбъеκτе (33), между κаждым из исτοчни- κοв и сρедсτвοм ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа усτанοвленο 5 πο οднοй линзе (14, 14'), выποлненнοй с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπаρаллельнοгο πучκа, в усτροйсτве имеюτся два деτеκτορа (35, 35'), κаждый из κοτορыχ ρасποлοжен ποсле сρедсτва для ποзициοниρο- вания исследуемοгο οбъеκτа τаκим οбρазοм, чτοбы πρинимаτь προ- шедшее чеρез исследуемый οбъеκτ (33) излучение, сφορмиροваннοе 0 οднοй из линз. 56
33. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο уκазанный исτοчниκ (2) πρедсτавляеτ сοбοй ρенτгенοвсκий исτοчниκ с анοдοм, οбесπечивающим ποлучение излучения с двумя χаρаκτеρисτи- чесκими длинами вοлн — ниже и выше линии ποглοщения элеменτа,
5 наличие κοτοροгο προвеρяеτся в исследуемοм οбъеκτе, между эτим ис- τοчниκοм и сρедсτвοм для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа ρасποлοжена οдна линза (14), выποлненная с вοзмοжнοсτью φορмиρο- вания κвазиπаρаллельнοгο πучκа, πеρед эτοй линзοй или ποсле нее ус- τанοвлен вρащающийся эκρан (37) с чеρедующимися οκнами, заκρы- 0 τыми φильτρами, προзρачными для οднοй и неπροзρачными для дρугοй из уκазанныχ длин вοлн.
34. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο на πуτи излучения οτ уκазаннοгο исτοчниκа (2) κ исследуемοму οбъеκτу (33) усτанοвлены линза (1) и вτορичная мишень (38), πρи эτοм линза 5 выποлнена с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания излучения исτοчниκа на вτορичнοй мишени.
35. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 34, οτличающееся τем, чτο между вτορичнοй мишенью и сρедсτвοм для ποзициοниροвания иссле- дуемοгο οбъеκτа усτанοвлена вτορая линза, выποлненная с вοзмοжнο- 0 сτью φορмиροвания κвазиπаρаллельнοгο излучения.
36. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 34 или π. 35, οτличающееся τем, чτο вτορичная мишень выποлнена из беρиллия или дρугοгο легκο- гο меτалла.
37. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο 5 на πуτи излучения οτ уκазаннοгο исτοчниκа (2) κ исследуемοму οбъеκτу
(33) ρасποлοжены усτанοвленные ποследοваτельнο линза (14) и κρи- сτалл-мοнοχροмаτορ (36) или мнοгοслοйная диφρаκциοнная сτρуκτуρа, πρи эτοм линза выποлнена и ορиенτиροвана с вοзмοжнοсτью φορмиρο- вания κвазиπаρаллельнοгο πучκа, πадающегο ποд углοм 45° на κρи- 0 сτалл-мοнοχροмаτορ (36) или мнοгοслοйную диφρаκциοнную сτρуκτу- ρу для φορмиροвания ими ποляρизοваннοгο излучения, а деτеκτορ (35) 57
ρасποлοжен ποд углοм 90° κ наπρавлению ρасπροсτρанения уκазаннοгο ποляρизοваннοгο излучения.
38. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο на πуτи излучения οτ уκазаннοгο исτοчниκа (2) κ исследуемοму οбъеκτу 5 (33) ρасποлοжены усτанοвленные ποследοваτельнο линза и κρисτалл- мοнοχροмаτορ (36), πρи эτοм линза выποлнена и ορиенτиροвана с вοз- мοжнοсτью φορмиροвания κвазиπаρаллельнοгο πучκа, πадающегο на κρисτалл-мοнοχροмаτορ (36) ποд углοм Бρегга, а на πуτи излучения οτ исследуемοгο οбъеκτа (33) κ деτеκτορу (35) усτанοвлен иденτичный уκа- 0 заннοму κρисτалл (Зб') πаρаллельнο ему или с незначиτельным οτκлο- нением οτ πаρаллельнοсτи для οбесπечения вοзмοжнοсτи φиκсации де- τеκτοροм φазοвοгο κοнτρасτа οбласτей исследуемοгο οбъеκτа, имеющиχ ρазную πлοτнοсτь и вызывающиχ неοдинаκοвую ρеφρаκцию πадающе- гο на ниχ излучения. 5
39. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 26, οτличающееся τем, чτο в κачесτве уκазаннοгο исτοчниκа (2) исποльзοван исτοчниκ ρенτгенοв- сκοгο излучения, а сρедсτвο для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъ- еκτа выποлненο с вοзмοжнοсτью προведении исследοваний часτей или ορганοв челοвечесκοгο τела (39). 0
40. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 39, οτличающееся τем, чτο исτοчниκ ρенτгенοвсκοгο излучения имееτ мοлибденοвый анοд, а сρед- сτвο для ποзициοниροвания исследуемοгο οбъеκτа выποлненο с вοз- мοжнοсτью προведении маммοгρаφичесκиχ исследοваний.
41. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 40, οτличающееся τем, чτο 5 уκазанная линза (14), ρасποлοженная на πуτи излучения οτ исτοчниκа (2) ρенτгенοвсκοгο излучения с мοлибденοвым анοдοм κ исследуемοму οбъеκτу (39), выποлнена с вοзмοжнοсτью φορмиροвания κвазиπаρал- лельнοгο πучκа с ποπеρечным сечением, дοсτаτοчным для οднοвρемен- нοгο вοздейсτвия на всю исследуемую οбласτь, а ρасποлοжение деτеκ- 0 τορа (35) выбρанο из услοвия οбесπечения ρассτοяния между ним и исследуемым οбъеκτοм не менее 30 см. 58
42. Αналиτичесκοе усτροйсτвο πο π. 39, οτличающееся τем, чτο οнο выποлненο с вοзмοжнοсτью вρащаτельнοгο движения οτнοсиτель- нο дρуг дρуга, с οднοй сτοροны, сρедсτва для ποзициοниροвания иссле- дуемοгο οбъеκτа, и, с дρугοй сτοροны, исτοчниκа (2) излучения, линзы 5 (11), усτанοвленнοй между ним и сρедсτвοм ποзициοниροвания иссле- дуемοгο οбъеκτа, и деτеκτορа (35), выχοд κοτοροгο ποдκлючен κ κοмπь- юτеρным сρедсτвам οбρабοτκи ρезульτаτοв деτеκτиροвания, πρи эτοм линза выποлнена с вοзмοжнοсτью φοκусиροвания излучения, сοзда- ваемοгο исτοчниκοм (2), внуτρи исследуемοгο οбъеκτа (39). 0 43. Усτροйсτвο для лучевοй τеρаπии, сοдеρжащее οдин или не- сκοльκο исτοчниκοв излучения (2), πρедсτавляющегο сοбοй ποτοκ ней- τρальныχ или заρяженныχ часτиц, и сρедсτвο для ποзициοниροвания τела πациенτа или егο часτи (39), ποдлежащей οблучению, οτличаю- щееся τем, чτο между κаждым из уκазанныχ исτοчниκοв и уκазанным 5 сρедсτвοм для ποзициοниροвания усτанοвлена линза (1) для φοκусиρο- вания излучения на οπуχοли πациенτа, сοдеρжащая сοπρиκасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внеш- ним οτρажением, ορиенτиροванные вχοдными κοнцами с вοзмοжнο- сτью заχваτа τρансπορτиρуемοгο излучения, выποлненная в виде сοвο- 0 κуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτегρации, πρи эτοм сублинза наименьшей сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κа- налοв τρансπορτиροвκи излучения, являющуюся ρезульτаτοм сοвмесτ- нοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении га- зοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ 5 κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ κаπилляροв, сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτе- πени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз πρедьщу- щей сτеπени инτегρации, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο вы- τягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве 0 между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτа- τοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз, 59
все сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, являющуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягива- ния и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз, κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοд- нοй τορцы линзы.
44. Усτροйсτвο для лучевοй τеρаπии πο π. 43, οτличающееся τем, чτο в κачесτве уκазанныχ исτοчниκοв исποльзοваны выχοды аτοмнοгο ρеаκτορа или усκορиτеля, φορмиρующие κвазиπаρаллельные πучκи (16) τеπлοвыχ или надτеπлοвыχ нейτροнοв.
45. Усτροйсτвο для лучевοй τеρаπии πο π. 44, οτличающееся τем, чτο уκазанные линзы выποлнены с вοзмοжнοсτью ποвοροτа нейτροн- ныχ πучκοв.
46. Усτροйсτвο для κοнτаκτнοй ρенτгенοвсκοй лиτοгρаφии, сο- деρжащее исτοчниκ (2) мягκοгο ρенτгенοвсκοгο излучения, линзу (14) для πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучения уκазаннοгο исτοчниκа в κвазиπаρаллельнοе, сοдеρжащую сοπρиκасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτρажением, и сρедсτва для ρазмещения масκи (42) и ποдлοжκи (43) с нанесенным на нее ρезисτοм, οτличающееся τем, чτο уκазанная линза выποлнена в ви- де сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτегρации, πρи эτοм суб- линза наименьшей сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй заκлючен- ную в οбщую οбοлοчκу сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, являющуюся ρезульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορ- мοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοс- τаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ κаπилля- ροв, сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь сублинз πρедыдущей сτеπени инτегρации, являю- щуюся ρезульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи 60
давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиа- ла и сπлавления сοседниχ сублинз, все сублинзы самοй высοκοй сτеπе- ни инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, являющуюся ρе- зульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз, κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы.
47. Усτροйсτвο для προеκциοннοй ρенτгенοвсκοй лиτοгρаφии, сοдеρжащее исτοчниκ (2) мягκοгο ρенτгенοвсκοгο излучения, линзу (14) для πρеοбρазοвания ρасχοдящегοся излучения уκазаннοгο исτοч- ниκа в κвазиπаρаллельнοе, πρедназначеннοе для οблучения масκи (42), сρедсτвο для ρазмещения масκи, линзу (16) для πеρедачи ρенτгенοв- сκοгο изοбρажения масκи с уменыπением егο ρазмеρа на ρезисτ, сρед- сτвο для ρазмещения ποдлοжκи (43) с нанесенным на нее ρезисτοм, πρи эτοм οбе уκазанные линзы сοдеρжаτ сοπρиκасающиеся свοими сτенκами κаналы τρансπορτиροвκи излучения с ποлным внешним οτ- ρажением, οτличающееся τем, чτο, πο меньшей меρе, οдна из уκазан- ныχ линз выποлнена в виде сοвοκуπнοсτи сублинз ρазличнοй сτеπени инτегρации, πρи эτοм сублинза наименьшей сτеπени инτегρации πρед- сτавляеτ сοбοй сοвοκуπнοсτь κаналοв τρансπορτиροвκи излучения, яв- ляющуюся ρезульτаτοм сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πучκа κаπилляροв πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ κаπилляροв и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ κаπилляροв, сублинза κаждοй бοлее высοκοй сτеπени инτегρации πρедсτавляеτ сοбοй сοвο- κуπнοсτь сублинз πρедыдущей сτеπени инτегρации, являющуюся ρе- зульτаτοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении га- зοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и 61
сπлавления сοседниχ сублинз, все сублинзы самοй высοκοй сτеπени инτегρации сκοмποнοваны в единую сτρуκτуρу, являющуюся ρезульτа- τοм иχ сοвмесτнοгο выτягивания и φορмοвания πρи давлении газοвοй сρеды в προсτρансτве между ними менее давления в κаналаχ сублинз и > τемπеρаτуρе, дοсτаτοчнοй для ρазмягчения маτеρиала и сπлавления сοседниχ сублинз, κοнцы уποмянуτοй единοй сτρуκτуρы οбρезаны и οбρазуюτ вχοднοй и выχοднοй τορцы линзы, πρи эτοм вχοдные диамеτ- ρы κаналοв τρансπορτиροвκи излучения вτοροй из уκазанныχ линз πρевышаюτ выχοдные диамеτρы.
PCT/RU2000/000206 1999-10-18 2000-05-30 Lentille integrale destine a un flux de particules hautes energies, procede de fabrication des lentilles de l'invention et utilisation desdites lentilles dans des dispositifs d'analyse, des dispositifs de traitement par rayonnements et de lithographie WO2001029845A1 (fr)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CA002354080A CA2354080C (en) 1999-10-18 2000-05-30 Integral lens for high energy particle flow, method for producing such lenses and use thereof in analysis devices and devices for radiation therapy and lithography
KR10-2001-7007564A KR100432511B1 (ko) 1999-10-18 2000-05-30 고에너지입자선류용 집적렌즈와 이의 제조방법 및방사선치료 및 리소그라피용 분석장치에서의 그 용도
JP2001532553A JP2003512631A (ja) 1999-10-18 2000-05-30 高エネルギー粒子流束の一体的レンズ、このようなレンズの製法、および分析装置におけるその利用、および放射線治療およびリソグラフィー用装置
US09/868,189 US6678348B1 (en) 1999-10-18 2000-05-30 Integral lens for high energy particle flow, method for producing such lenses use thereof in analysis devices and devices for radiation therapy and lithography
AU49612/00A AU754593B2 (en) 1999-10-18 2000-05-30 Integral lens for high energy particle flow, method for producing such lenses and use thereof in analysis devices and devices for radiation therapy and lithography
EP00931790A EP1170755A4 (en) 1999-10-18 2000-05-30 INTEGRAL LENS FOR A HIGH ENERGY PARTICLE FLOW, METHOD FOR MANUFACTURING THE LENSES OF THE INVENTION AND USE OF SAID LENSES IN ANALYSIS DEVICES, RADIATION PROCESSING DEVICES AND LITHOGRAPHY
UA2001063797A UA49111C2 (ru) 1999-10-18 2000-05-30 Интегральная линза для излучения потока нейтральных или заряженных частиц; способ изготовления интегральной линзы; аналитическое устройство, устройство для лучевой терапии и устройство для проекционной рентгеновской литографии, в которых используется интегральная линза
HK02102177.9A HK1040820B (zh) 1999-10-18 2002-03-21 用於高能量粒子流的集成透鏡、製造方法及其應用
US10/458,649 US6963072B2 (en) 1999-10-18 2003-06-11 Integral lens for high energy particle flow, method for producing such lenses and use thereof in analysis devices and devices for radiation therapy and lithography

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99121677 1999-10-18
RU99121677/06A RU2164361C1 (ru) 1999-10-18 1999-10-18 Линза для управления излучением в виде потока нейтральных или заряженных частиц, способ изготовления таких линз и содержащее такие линзы аналитическое устройство, устройство для лучевой терапии и устройства для контактной и проекционной литографии

Related Child Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US09868189 A-371-Of-International 2000-05-30
US09/868,189 A-371-Of-International US6678348B1 (en) 1999-10-18 2000-05-30 Integral lens for high energy particle flow, method for producing such lenses use thereof in analysis devices and devices for radiation therapy and lithography
US10/458,649 Division US6963072B2 (en) 1999-10-18 2003-06-11 Integral lens for high energy particle flow, method for producing such lenses and use thereof in analysis devices and devices for radiation therapy and lithography

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2001029845A1 true WO2001029845A1 (fr) 2001-04-26

Family

ID=20225856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2000/000206 WO2001029845A1 (fr) 1999-10-18 2000-05-30 Lentille integrale destine a un flux de particules hautes energies, procede de fabrication des lentilles de l'invention et utilisation desdites lentilles dans des dispositifs d'analyse, des dispositifs de traitement par rayonnements et de lithographie

Country Status (13)

Country Link
US (2) US6678348B1 (ru)
EP (2) EP1564756B1 (ru)
JP (1) JP2003512631A (ru)
KR (1) KR100432511B1 (ru)
CN (1) CN1144237C (ru)
AT (1) ATE495528T1 (ru)
AU (1) AU754593B2 (ru)
CA (1) CA2354080C (ru)
DE (1) DE60045527D1 (ru)
HK (1) HK1040820B (ru)
RU (1) RU2164361C1 (ru)
UA (1) UA49111C2 (ru)
WO (1) WO2001029845A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003024527A1 (fr) 2001-09-19 2003-03-27 Muradin Abubekirovich Kumakhov Dispositif de radiotherapie

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
UA59495C2 (ru) * 2000-08-07 2003-09-15 Мурадін Абубєкіровіч Кумахов Рентгеновский измерительно-испытательный комплекс
AU2002332361A1 (en) 2002-06-14 2003-12-31 Muradin Abubekirovich Kumakhov Device for converting a light emission flux
US7321654B2 (en) * 2003-06-03 2008-01-22 Mentor Technologies, Inc. Narrow band x-ray system and fabrication method thereof
US20040247073A1 (en) * 2003-06-03 2004-12-09 Cho Yong Min High resolution X-ray system
KR100789385B1 (ko) * 2005-01-26 2007-12-28 단국대학교 산학협력단 마이크로 모세관을 이용한 엑스선 광학 소자
NL1029645C2 (nl) * 2005-07-29 2007-01-30 Panalytical Bv Inrichting en werkwijze voor het uitvoeren van röntgenanalyse.
CN101278360B (zh) * 2005-08-04 2011-07-27 X射线光学系统公司 用于痕量元素制图的单色x射线微束
US7402813B2 (en) * 2005-12-13 2008-07-22 Spectrum Dynamics Llc Lens system for nuclear medicine gamma ray camera
EP1953537A1 (de) * 2007-01-30 2008-08-06 KEMMER, Josef, Dr. Vorrichtung zur Erfassung und/oder Leitung von Röntgenstrahlung unter Verwendung einer Röntgenoptik
DE102008030590A1 (de) 2007-06-29 2009-01-08 Carl Zeiss Surgical Gmbh Applikator zur Verwendung in einer Strahlentherapievorrichtung sowie Strahlentherapievorrichtung
US7742566B2 (en) * 2007-12-07 2010-06-22 General Electric Company Multi-energy imaging system and method using optic devices
EP2071583A1 (en) * 2007-12-10 2009-06-17 Unisantis FZE Graded lenses
JP2011053096A (ja) * 2009-09-02 2011-03-17 Japan Atomic Energy Agency 中性子光学素子
DE102009058581A1 (de) * 2009-12-17 2011-06-22 Carl Zeiss Surgical GmbH, 73447 Applikatoreinrichtung für die Strahlentherapie, Befestigungseinrichtung sowie Strahlentherapievorrichtung
US8587768B2 (en) * 2010-04-05 2013-11-19 Media Lario S.R.L. EUV collector system with enhanced EUV radiation collection
FR2958858B1 (fr) * 2010-04-15 2012-06-29 Joel Kerjean Dispositif de guidage de photons pour appareil de radiotherapie
CN102000399B (zh) * 2010-12-23 2012-07-04 北京师范大学 微束x射线治疗谱仪、多毛细管x射线聚束系统及方法
CN102543243B (zh) * 2010-12-28 2016-07-13 Ge医疗系统环球技术有限公司 集成毛细管式平行x射线聚焦透镜
JP5684032B2 (ja) * 2011-04-08 2015-03-11 株式会社日立製作所 荷電粒子線分析装置および分析方法
US9248315B2 (en) * 2012-09-04 2016-02-02 Varian Medical Systems, Inc. Targeting method for microbeam radiosurgery
CN202905197U (zh) * 2012-10-09 2013-04-24 北京师范大学 用于聚焦同步辐射光源的光学器件
CN103698350B (zh) * 2013-12-26 2016-03-30 北京师范大学 一种x射线双谱仪
JP6426478B2 (ja) * 2014-01-31 2018-11-21 信越化学工業株式会社 ガラスロッドの加工方法および加工装置
JP6397690B2 (ja) * 2014-08-11 2018-09-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ Ｘ線透過検査装置及び異物検出方法
CN104502376B (zh) * 2014-12-22 2018-07-06 北京师范大学 X射线纳米成像设备及成像分析系统
US11402515B2 (en) 2016-05-31 2022-08-02 David W. Holdsworth Gamma probe and multimodal intraoperative imaging system
EP3421088A1 (en) * 2017-06-30 2019-01-02 RaySearch Laboratories AB Determining a distribution of spots of varying sizes for ion beam therapy based on user configuration
JP7280516B2 (ja) * 2020-09-30 2023-05-24 パルステック工業株式会社 Ｘ線回折測定装置
CN113126142B (zh) * 2021-04-16 2022-04-01 应急管理部国家自然灾害防治研究院 高能粒子探测器性能评估方法及系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5001737A (en) * 1988-10-24 1991-03-19 Aaron Lewis Focusing and guiding X-rays with tapered capillaries
WO1992008235A1 (en) * 1990-10-31 1992-05-14 X-Ray Optical Systems, Inc. Device for controlling beams of particles, x-ray and gamma quanta and uses thereof
US5276724A (en) * 1991-09-20 1994-01-04 Fujitsu Limited X-ray exposure apparatus
EP0824026A2 (en) * 1996-08-12 1998-02-18 Siemens Medical Systems, Inc. Radiation treatment apparatus and method
US5745547A (en) * 1995-08-04 1998-04-28 X-Ray Optical Systems, Inc. Multiple channel optic

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5192869A (en) * 1990-10-31 1993-03-09 X-Ray Optical Systems, Inc. Device for controlling beams of particles, X-ray and gamma quanta
US5497008A (en) * 1990-10-31 1996-03-05 X-Ray Optical Systems, Inc. Use of a Kumakhov lens in analytic instruments
US5175755A (en) * 1990-10-31 1992-12-29 X-Ray Optical System, Inc. Use of a kumakhov lens for x-ray lithography
RU2059315C1 (ru) * 1992-03-23 1996-04-27 Саратовское научное объединение "САНОР" Способ изготовления рентгенооптических систем
RU2096353C1 (ru) * 1994-02-28 1997-11-20 Мурадин Абубекирович Кумахов Способ изготовления поликапиллярной жесткой волоконно-оптической структуры или элемента и устройство для управления рентгеновским и другими видами излучения
DE69427152T2 (de) * 1994-07-08 2001-11-22 Muradin Abubekirovic Kumachov Verfahren zur führung von neutral- und ladungsträgerstrahlen und eine vorrichtung zur durchführung des verfahrens
US6271534B1 (en) * 1994-07-08 2001-08-07 Muradin Abubekirovich Kumakhov Device for producing the image of an object using a flux of neutral or charged particles, and an integrated lens for converting such flux of neutral or charged particles
US5570408A (en) * 1995-02-28 1996-10-29 X-Ray Optical Systems, Inc. High intensity, small diameter x-ray beam, capillary optic system
CN1069136C (zh) * 1996-02-17 2001-08-01 北京师范大学 整体x光透镜及其制造方法及使用整体x光透镜的设备

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5001737A (en) * 1988-10-24 1991-03-19 Aaron Lewis Focusing and guiding X-rays with tapered capillaries
WO1992008235A1 (en) * 1990-10-31 1992-05-14 X-Ray Optical Systems, Inc. Device for controlling beams of particles, x-ray and gamma quanta and uses thereof
US5276724A (en) * 1991-09-20 1994-01-04 Fujitsu Limited X-ray exposure apparatus
US5745547A (en) * 1995-08-04 1998-04-28 X-Ray Optical Systems, Inc. Multiple channel optic
EP0824026A2 (en) * 1996-08-12 1998-02-18 Siemens Medical Systems, Inc. Radiation treatment apparatus and method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003024527A1 (fr) 2001-09-19 2003-03-27 Muradin Abubekirovich Kumakhov Dispositif de radiotherapie
US7231015B2 (en) 2001-09-19 2007-06-12 Muradin Abubekirovich Kumakhov Device for radiation therapy

Also Published As

Publication number Publication date
CN1144237C (zh) 2004-03-31
RU2164361C1 (ru) 2001-03-20
ATE495528T1 (de) 2011-01-15
CN1327596A (zh) 2001-12-19
EP1564756A2 (en) 2005-08-17
JP2003512631A (ja) 2003-04-02
CA2354080C (en) 2005-11-01
HK1040820B (zh) 2004-09-10
EP1564756A3 (en) 2007-03-07
KR100432511B1 (ko) 2004-05-22
HK1040820A1 (en) 2002-06-21
EP1564756B1 (en) 2011-01-12
US6678348B1 (en) 2004-01-13
US20030209677A1 (en) 2003-11-13
CA2354080A1 (en) 2001-04-26
EP1170755A1 (en) 2002-01-09
DE60045527D1 (de) 2011-02-24
UA49111C2 (ru) 2002-09-16
AU4961200A (en) 2001-04-30
US6963072B2 (en) 2005-11-08
AU754593B2 (en) 2002-11-21
EP1170755A4 (en) 2004-03-17
KR20010101254A (ko) 2001-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2001029845A1 (fr) Lentille integrale destine a un flux de particules hautes energies, procede de fabrication des lentilles de l&#39;invention et utilisation desdites lentilles dans des dispositifs d&#39;analyse, des dispositifs de traitement par rayonnements et de lithographie
EP2659264B1 (en) X-ray source with target and integrated multilayer optics
JP5476315B2 (ja) 光学アセンブリ、光学装置のアレイ、多重エネルギ・イメージング・システム及び方法
EP0723272B1 (en) Method of guiding beams of neutral and charged particles and a device for implementing said method
US6014423A (en) Multiple corner Kirkpatrick-Baez beam conditioning optic assembly
US6594335B2 (en) X-ray phase-contrast medical micro-imaging methods
WO2002012871A1 (fr) Complexe de mesure et d&#39;essai a rayons x
WO2002002188A1 (fr) Moyens utilisant les rayons x pour la localisation et le traitement des neoplasmes malins par rayonnement
US8311184B2 (en) Fan-shaped X-ray beam imaging systems employing graded multilayer optic devices
WO1992008235A1 (en) Device for controlling beams of particles, x-ray and gamma quanta and uses thereof
EP1074025A2 (en) X-ray diagnostic system
US5479469A (en) Micro-channel plates
Kozioziemski et al. X-ray imaging methods for high-energy density physics applications
JP7023897B2 (ja) Ｘ線装置及びその操作方法
RU2171979C2 (ru) Антирассеивающий рентгеновский растр (варианты)
Howells Theory of a modified Wadsworth monochromator matched to a low energy storage ring source
Arkadiev et al. X-ray focusing by polycapillary arrays
Willingale Lobster eye optics
Willingale et al. Optimization of square pore optics for the x-ray spectrometer on Bepi-Columbo
WO2023117921A1 (en) X-ray irradiation apparatus, including a spectrally shaping x-ray optic and a spectral filter aperture device, for x-ray imaging
Kardiawarman et al. Characterization of a multifiber polycapillary-based x-ray collimating lens
Whiting What made the quasar blush?
Aota et al. Two-dimensional imaging X-ray spectrometer for plasma diagnostics
Erickson et al. Evaluation of image quality in a Cassegrain-type telescope with an oscillating secondary mirror
Arndt Beam conditioning

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 00802292.5

Country of ref document: CN

AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AU BY CA CN IN JP KR RU UA US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2354080

Country of ref document: CA

Ref document number: 2354080

Country of ref document: CA

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2000931790

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2001 532553

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020017007564

Country of ref document: KR

Ref document number: 09868189

Country of ref document: US

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: IN/PCT/2001/00804/MU

Country of ref document: IN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 49612/00

Country of ref document: AU

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1020017007564

Country of ref document: KR

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2000931790

Country of ref document: EP

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 1020017007564

Country of ref document: KR