WO2001080410A1

WO2001080410A1 - Spannungswandler

Info

Publication number: WO2001080410A1
Application number: PCT/EP2001/004123
Authority: WO
Inventors: Jenoe Tihanyi
Original assignee: Infineon Technologies Ag
Priority date: 2000-04-13
Filing date: 2001-04-10
Publication date: 2001-10-25
Also published as: EP1287606B1; TW508485B; EP1287606A1; US20030067286A1; DE50115341D1; US6639388B2

Abstract

Spannungswandler, der folgende Merkmale aufweist: ein Eingangsklemmenpaar (EK1, EK2) zum Anlegen einer Eingangsspannung (V1); eine parallel zu dem Eingangsklemmenpaar (EK1, EK2) geschaltete Reihenschaltung eines ersten Schalters (S, T1) und eines Tiefpassfilters (TP), wobei das Tiefpassfilter (TP) Ausgangsklemmen (AK1, AK2) zum Anschliessen einer Last (RL) aufweist; eine parallel zu dem Tiefpassfilter (TP) geschaltete Freilaufschaltung (FS). Die Freilaufschaltung (FS) weist einen zweiten Schalter (T2) mit einem Steueranschluss (G) und einer zwischen einem ersten Laststreckenanschluss (S) und einem zweiten Laststreckenanschluss (D) ausgebildeten Laststrecke auf, der als MOS-Transistor ausgebildet ist, dessen Body-Zone floatend angeordnet oder über einen ohmschen Widerstand an dessen Source-Zone angeschlossen ist.

Description

Beschreibung

Spannungswandler

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Spannungswandler

(bück Converter) gemäß den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1.

Ein derartiger Spannungswandler ist beispielsweise aus B. Mu- rari, F. Bertotti, G.A. Vignola: "Smart Power ICs - Technologies an Applications", Springer Verlag, Berlin, 1996, Seite 287 oder aus U. Tietze, Ch. Schenk: "Halbleiterschaltungstechnik", 9. Auflage, Springer Verlag, Berlin, 1991, Seite 564, bekannt. Der Aufbau und die Funktionsweise eines derar- tigen Spannungswandlers nach dem Stand der Technik wird nachfolgend anhand der beigefügten Figur 1 erläutert .

Aufgabe eines Spannungswandlers ist es, eine Gleichspannung VI in eine niedrigere Gleichspannung V2 zur Versorgung einer Last R_L umzusetzen. Dazu ist bei dem bekannten Spannungswandler eine Reihenschaltung eines Schalters S, einer Spule L und eines Kondensators C parallel zu der Gleichspannungsquelle VI geschaltet, wobei die Last parallel zu dem Kondensator C angeschlossen ist. Eine Diode DI ist parallel zu der Reihen- schaltung aus Spule und Kapazität C geschaltet. Ist der

Schalter S geschlossen, so fließt ein Strom von der Spannungsquelle VI über die Spule L auf die Kapazität C und über die Last R_L, der Strom durch die Kapazität steigt dabei kontinuierlich an. Über der Diode liegt die Gleichspannung VI an, wobei die Diode DI bei geschlossenem Schalter S sperrt. Wird der Schalter S anschließend geöffnet, kehrt sich die ü- ber der Spule L anliegende Spannung um, wobei der Strom durch die Spule L seine Richtung beibehält und abzunehmen beginnt . Die Umkehr der Spannung über der Spule bewirkt, dass das Po- tential an dem Knoten, der dem Schalter und der Spule gemeinsam ist, absinkt. Die Diode DI wird dadurch leitend und übernimmt den von der Spule L aμf den Kondensator C und über die Last R_L fließenden Strom. Die Reihenschaltung aus Spule L und Kondensator C wirkt als Tiefpassfilter und wandelt die mittels des Schalters S getaktet an diese Reihenschaltung angelegte Spannung VI in eine kontinuierliche AusgangsSpannung V2 um, die geringer als die Eingangsspannung VI ist. Der Wert der Ausgangsspannung V2 ist über die Frequenz, mit der der Schalter ein- und ausgeschaltet wird und über die Zeitdauer, für welche der Schalter S jeweils geöffnet und geschlossen ist, einstellbar.

Problematisch, insbesondere bei sehr hohen Schaltfrequenzen, ist, dass nach dem Öffnen des Schalters S, wenn die Diode DI leitet, Ladung in dem pn-Übergang der Diode DI gespeichert wird. Diese gespeicherte Ladung bewirkt, dass die Diode DI auch nach dem Schließen des Schalters S, wenn die Diode DI sperren soll, noch kurzzeitig leitet bis die gespeicherte Ladung abgeflossen ist. Dies führt zu Schaltverlusten, die mit steigender Schaltfrequenz zunehmen. Im übrigen sind bei leitender Diode DI die an der Diode DI hervorgerufenen Verluste unerwünscht.

Zur Reduzierung dieser Verluste ist es bekannt, anstelle der Diode einen Feldeffekttransistor, insbesondere einen MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field-Effect-Transistor) , zu ver- wenden, der angesteuert durch eine Ansteuerschaltung immer dann leiten soll, wenn der Schalter sperrt. Die dazu verwendeten MOSFET weisen eine integrierte Freilaufdiode auf, die parallel zu der Drain-Source-Strecke des MOSFET liegt und deren Verschaltung der Verschaltung der Diode DI nach Figur 1 entspricht. Diese Freilaufdiode ist dadurch ausgebildet, dass bei bekannten MOSFET die Source-Zone und die Body-Zone zur Erzielung einer hohen Spannungsfestigkeit des FET kurzgeschlossen sind. Derartige FET sperren nur bei Anlegen einer Flussspannung in Drain-Source-Richtung (Vorwärtsrichtung) , wenn keine Ansteuerspannung zwischen Gate und Source anliegt, wobei diese Flussspannung bei n-Kanal-FET eine positive Spannung und bei p-Kanal-FET eine negative Spannung ist in Drain- Source-Richtung ist. Die Spannungsfestigkeit kann bei Leistungs-FET bis zu einigen hundert Volt betragen. Bei Anlegen einer Spannung in Rückwärtsrichtung, d.h. bei Anlegen einer negativen Drain-Source-Spannung bei n-Kanal-FET und einer positiven Drain-Source-Spannung bei p-Kanal-FET leiten die bekannten FET bereits bei Erreichen der Einsatzspannung der Freilaufdiode . Dieser Effekt ist bei Verwendung bekannter FET als Ersatz für die Diode in Spannungswandlern erwünscht.

Zur Vermeidung von Querströmen, also von Strömen, die über den Schalter und direkt über den FET abfließen dürfen der Schalter und der FET nicht gleichzeitig leiten. Kurz nach dem Öffnen des Schalters, wenn der FET leiten soll aber noch nicht vollständig leitet, übernimmt die integrierte Freilauf - diode des FET den Strom von der Spule bis der FET vollständig leitet. Die an dem vollständig leitenden FET anfallenden Verluste sind geringer als bei Verwendung einer Diode gemäß Figur 1 als Freilaufelement .

Allerdings wird auch bei derartigen Spannungswandlern eine Ladung in der Freilaufdiode des FET gespeichert, wobei die Ladung bewirkt, dass auch nach Sperren des FET die Freilauf - diode noch kurzzeitig leitet bis die gespeicherte Ladung abgeflossen ist. Dies führt zu Schaltverlusten, die insbesonde- re bei hohen Schaltfrequenzen erheblich sein können.

Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher einen Spannungs- wandler zur Verfügung zu stellen, bei dem die Schaltverluste gegenüber bekannten Spannungswandlern reduziert sind.

Dieses Ziel wird durch einen Spannungswandler gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.

Gemäß der Erfindung weist die FreilaufSchaltung einen zweiten spannungsgesteuerten Schalter mit einem Steueranschluss und einer zwischen einem ersten und zweiten Laststreckenanschluss ausgebildeten Laststrecke auf, wobei der zweite Schalter als MOSFET ausgebildet ist, dessen Body-Zone floatend ausgebildet, das heißt nicht an ein definiertes Potential angeschlossen, oder über einen ohmschen Widerstand an die Source-Zone angeschlossen ist. Der Gate-Anschluss eines solchen MOSFET bildet den Steueranschluss des zweiten Schalters, die Source- und Drain-Anschlüsse bilden die ersten und zweiten Laststreckenanschlüsse und die Drain-Source-Strecke des MOSFET bildet die Laststrecke des zweiten Schalters.

Bei dem in dem erfindungsgemäßen Spannungswandler als Freilaufelement eingesetzten MOS-Transistor ist durch die floatende Anordnung der Body-Zone kein Kurzschluss zwischen der Body-Zone und der Source-Zone vorhanden. Der den zweiten Schalter bildende MOS-Transistor sperrt somit nicht nur bei Anlegen einer Spannung in Vorwärtsrichtung, das heißt bei einer positiven Drain- Source-Spannung bei einem n-leitenden MOSFET und einer negativen Drain-Source-Spannung bei einem p- leitenden MOSFET, sondern auch bei Anlegen einer Spannung in Rückwärtsrichtung, das heißt bei einer negativen Drain- Source-Spannung bei einem n-leitenden MOSFET und einer positiven Drain-Source-Spannung bei einem p-leitenden MOSFET, wenn jeweils keine Gate-Source-Spannung anliegt. Derartige Transistoren werden auch als "in Rückwärtsrichtung sperrende FET" (rückwärtssperrende FET, Reverse-Blocking FET, RB-FET) bezeichnet. Die Sperrspannung derartiger MOSFET in Rückwärtsrichtung (Source-Drain-Richtung) ist üblicherweise kleiner als die Sperrspannung in Vorwärtsrichtung (Drain-Source- Richtung) . Die Sperrspannung in Source-Drain-Richtung liegt wenigstens im Bereich von einigen Volt und ist höher als die Einsatzspannung einer integrierten Freilaufdiode bei herkömmlichen MOSFET.

Bei Verwendung eines derartigen MOSFET als zweiter Schalter wird nach Öffnen des ersten Schalters, wenn der MOSFET lei- tend angesteuert wird, keine Ladung in dem MOSFET gespeichert, die bei anschließendem Sperren des MOSFET zu Schalt - Verlusten führen könnte . Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, bei einem als zweiten Schalter verwendeten rückwärtssperrenden FET mit floatend angeordneter Body-Zone ein Gleichπchterele- ment zwischen dessen ersten Laststreckenanschluss, das heißt den Source-Anschluss, und dessen Steueranschluss, das heißt den Gate-Anschluss , zu schalten. Wird bei dem erfmdungsgema- ßen Spannungswandler der erste Schalter geöffnet so wechselt die über der Laststrecke des ruckwartssperrenden FET anliegende Spannung ihr Vorzeichen und der rückwärtssperrende FET wird angesteuert durch das Gleichπchterelement leitend. Da bei dem ruckwartssperrenden FET keine Freilaufdiode mit pn- Übergang unmittelbar zwischen den ersten und zweiten Laststreckenanschluss geschaltet ist, treten Ladungsspeicheref- fekte, die zu Schaltverlusten bei einem späteren Sperren des als MOSFET ausgebildeten zweiten Schalters führen könnten, nicht auf. Auf die Freilaufdiode kann bei dieser Ausführungsform deshalb verzichtet werden, weil der, rückwärtssperrende MOSFET, der als zweiter Schalter verwendet, wird, nach dem Öffnen des ersten Schalters angesteuert durch das Gleich- richterelement sofort leitend wird.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist eine Schottky-Diode parallel zu der Laststrecke des zweiten Schalters geschaltet ist. Wird bei einem derartigen Spannungswandler der erste Schalter geöffnet so wechselt die über der Laststrecke des zweiten Schalters anliegende Spannung ihr Vorzeichen und die parallel zu der Laststrecke des zweiten Schalters geschaltete Schottky-Diode wird leitend und übernimmt den Strom einer m dem Tiefpassfllter vorhandenen Induktivität. Wenn der zweite Schalter anschließend angesteuert durch eine Ansteuerschal - tung leitend wird, dann übernimmt der zweite Schalter diesen Strom, wobei die Schottky-Diode sofort sperrt, wenn die Spannung über der Laststrecke des zweiten Schalters unter den Wert der Einsatzspannung der Schottky-Diode abfällt. In der Schottky-Diode wird keine Ladung gespeichert, die nach einem Sperren des zweiten Schalters zu Schaltverlusten führen können.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist eine Ansteuerschaltung vorgesehen, die an den Steueranschluss des zweiten Schalters angeschlossen ist, um den zweiten Schalter anzusteuern. Bei Verwendung eines rückwärtssperrenden FET mit ei- nem Gleichrichterelement zwischen dem Source-Anschluss und dem Gate-Anschluss, dient die Ansteuerschaltung dazu, die in dem FET vorhandene Gate-Kapazität - welche über das Gleichrichterelement aufgeladen wird, um den MOSFET leitend anzusteuern - über die Ansteuerschaltung zu entladen, um den MOSFET dadurch zu sperren.

Bei Verwendung eines rückwärtssperrenden FET mit parallel geschalteter Schottky-Diode und ohne Gleichrichterelement zwischen Source und Gate dient die Ansteuerschaltung sowohl da- zu, den FET anzusteuern, um ihn leitend zu machen, als auch dazu, den FET anzusteuern, um ihn zu sperren.

Vorteilhafterweise ist auch der erste Schalter als Feldeffekttransistor, insbesondere als MOSFET, ausgebildet, der durch eine Ansteuerschaltung angesteuert ist. Zweckmäßigerweise ist eine Ansteuerschaltung mit zwei Ausgängen zum Ansteuern des ersten und zweiten Schalters vorgesehen, wobei die Ansteuerschaltung derart ausgebildet ist, dass sichergestellt ist, dass nur jeweils einer der beiden Schalter lei- tet . Dadurch werden Querströme, also Ströme, die direkt über den ersten und zweiten Schalter unter Kurzschließen des Tiefpassfilters und der Last an die Spannungsquelle zurückfließen, vermieden.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung erfolgt die Ansteu- erung des ersten und/oder zweiten Schalters abhängig von einer an den Ausgangsklemmen abgreifbaren AusgangsSpannung . Die AusgangsSpannung kann dadurch bei Änderungen der an die Ausgangsklemmen angeschlossenen Last nachgeregelt werden. Anstelle der AusgangsSpannung kann der Ansteuerschaltung auch ein von einem Strom durch die Spule der Tiefpassanordnung ab- hängiges Signal zugeführt werden.

Der erfindungsgemäße Spannungswandler wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Figuren näher erläutert . In den Figuren zeigt :

Fig. 1 einen Spannungswandler nach dem Stand der Technik;

Fig. 2 einen erfindungsgemäßen Spannungswandler gemäß einer ersten Ausführungsform;

Fig. 3 einen erfindungsgemäßen Spannungswandler gemäß einer zweiten Ausführungsform;

Fig. 4 ein Ersatzschaltbild eines MOSFET, der als zweiter Schalter dient,

Fig. 5 einen Querschnitt durch einen in Rückwärtsrichtung sperrenden MOSFET gemäß einem Ausführungsbeispiel,

Fig. 6 eine Kennlinie eines MOSFET gemäß der Figuren 4 und 5.

In den Figuren bezeichnen, sofern nicht anders angegeben, gleiche Bezugszeichen gleiche Bauteile und Größen mit glei- eher Bedeutung.

Der in Fig. 2 dargestellte erfindungsgemäße Spannungswandler weist ein Eingangsklemmenpaar EKl, EK2 zum Anlegen einer Eingangsspannung VI auf, wobei eine der beiden Eingangsklemmen in dem Ausführungsbeispiel an ein Bezugspotential GND, üblicherweise Masse, angeschlossen ist. Parallel zu den Eingangsklemmen EKl, EK2 ist eine Reihenschaltung eines ersten Schal- ters Tl und eines Tiefpassfilters TP geschaltet, wobei das Tiefpassfilter TP ein Ausgangsklemmenpaar AK1 , AK2 zum Bereitstellen einer AusgangsSpannung V2 für eine Last R_L aufweist. Der erste Schalter Tl ist in dem Ausführungsbeispiel als MOSFET ausgebildet, dessen Drain-Source-Strecke D-S zwischen der ersten Eingangsklemme EKl und dem Tiefpassfilter TP verschaltet ist und dessen Gate-Elektrode G an eine Ausgangsklemme AK3 einer Ansteuerschaltung IC angeschlossen ist. Die Ansteuerschaltung dient zur Ansteuerung des MOSFET Tl. Das Tiefpassfilter TP ist in dem Ausführungsbeispiel als LC-

Glied, das heißt als Reihenschaltung einer Induktivität L und einer Kapazität C ausgebildet, wobei die Kapazität C parallel zu den Ausgangsklemmen AK1 , AK2 angeschlossen ist.

Parallel zu dem Tiefpassfilter TP ist eine FreilaufSchaltung FS geschaltet, die erfindungsgemäß einen zweiten spannungsgesteuerten Schalter T2 mit einem Steueranschluss G und einer zwischen einem ersten Laststreckenanschluss S und einem zweiten Laststreckenanschluss D ausgebildeten Laststrecke auf- weist. Der zweite Schalter T2 ist als rückwärtssperrender n- Kanal-FET ausgebildet, d.h. er sperrt sowohl bei Anlegen einer positiven Spannung zwischen dem Drain-Anschluss D und dem Source-Anschluss S auch bei Anlegen einer positiven Spannung zwischen der Source-Elektrode S und der Drain-Elektrode D, also in Rückwärtsrichtung. Dazu ist eine Body-Zone im Inneren des Transistors T2 floatend angeordnet oder über einen ohm- schen Widerstand an eine Source-Zone angeschlossen was anhand von Figur 5 noch erläutert werden wird. Die floatende Anordnung der Body-Zone ist in Figur 2 durch den nicht verschalte- ten Anschluss B der Body-Zone, der auch als Substratanschluss bezeichnet wird, ersichtlich.

Die Drain-Source-Strecke D-S des Transistors T2 ist parallel zu dem LC-Glied geschaltet ist. Eine Diode Dl als Gleichrich- terelement ist zwischen den Source-Anschluss S und den Gate- Anschluss G des zweiten Transistors T2 geschaltet. Liegt bei dem erfindungsgemäßen Spannungswandler eine Eingangsspannung VI an dem Eingangsklemmenpaar EKl, EK2 an und leitet zunächst der erste Transistor Tl und sperrt der zweite Transistor T2 , so liegt über der Drain-Source-Strecke D-S des zweiten Transistors T2 annäherungsweise die gesamte Eingangsspannung VI an. Bei leitendem ersten Transistor Tl fließt ein Strom über die Spule L auf die Kapazität C und über die Last R_L. Der Strom durch die Spule L steigt dabei kontinuierlich an. Sperrt der erste Transistor Tl , so behält der Strom durch die Spule L seine Richtung bei, die über der Spule L anliegende Spannung wechselt jedoch ihr Vorzeichen. Dadurch sinkt das Potential an dem der Spule L und dem ersten bzw. zweiten Transistor Tl, T2 gemeinsamen Knoten Kl auf einen Wert unter den Wert des Bezugspotentials GND ab. Die zwischen den Sour- ce-Anschluss S und den Gate-Anschluss G des zweiten Transistors T2 geschaltete Diode Dl leitet und lädt das Gate G des zweiten Transistors T2 auf ein gegenüber dem Potentialwert an dem Knoten Kl positives Potential auf. Der zweite Transistor T2 leitet dadurch und schließt den Stromkreis zwischen dem Kondensator, bzw. der Last R_L und der Spule L.

Die Diode Dl ermöglicht die Verwendung eines ruckwartssperrenden FET T2 als zweiten Schalter, bei dem keine Freilaufdiode unmittelbar zwischen den Source-Anschluss S und den Drain -Anschluss D geschaltet ist. Auf die Freilaufdiode kann deshalb verzichtet werden, weil unmittelbar nach dem Sperren des ersten Transistors Tl , wenn das Potential an dem Knoten Kl absinkt, der zweite Transistor T2 angesteuert durch die Diode Dl leitend wird.

Fig. 4 zeigt ein Ersatzschaltbild eines rückwärtssperrenden MOSFET T2 , wie er als zweiter Schalter bei dem erfindungsgemäßen Spannungswandler Verwendung findet Bei diesem MOSFET, bei dem der Source-Bereich S und der Body-Bereich B nicht kurzgeschlossen sind, ist eine Zenerdiode ZI in Sperrrichtung zwischen dem Source-Anschluss S und dem Body-Bereich B eines FET M gebildet. Des weiteren ist eine Diode D3 in Flussrich- tung zwischen dem Body-Bereich B und dem Dram-Anschluss D ausgebildet. Liegt bei einem derartigen Bauelement keine Steuerspannung U_GS zwischen dem Gate-Anschluss und dem Source-Anschluss S an, so sperrt der FET M. Bei Anlegen einer po- sitiven Spannung zwischen dem Dram-Anschluss D und dem Source-Anschluss S ist die Diode D3 m Sperrrichtung gepolt, so dass auch kein Strom unter Umgehung des FET M fließen kann. Liegt eine negative Drain-Source-Spannung U_Ds an, ist die Diode D3 m Flussrichtung und die Zenerdiode ZI m Sperrπch- tung gepolt. Ab Erreichen der Durchbruchspannung der Zenerdiode ZI fließt ein Strom über die Zenerdiode ZI und die Diode D3 unter Umgehung des FET M. Die Durchbruchspannung der Zenerdiode ZI beträgt einige Volt und ist wesentlich größer als die Einsatzspannung von Freilaufdioden, die bei herkömmlichen MOSFET m Flussrichtung zwischen dem Source-Anschluss und dem Dram-Anschluss ausgebildet sind. Der zweite Transistor T2 sperrt also auch m Source-Drain-Richtung .

Figur 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel zur Realisierung eines solchen in Rückwärtsrichtung sperrenden MOSFET.

Der MOSFET weist vorzugsweise eine Vielzahl gleichartig aufgebauter Transistorzellen auf, die gemeinsam verschaltet sind und von denen jede die Funktion eines Transistors erfüllt. Die Stromfestigkeit des Transistors steigt dabei mit der Anzahl der vorhandenen Transistorzellen, von denen Figur 1 lediglich eine vollständig dargestellt ist. Der zellenartige Aufbau eines MOS-Transistors ist im übrigen hinlänglich bekannt und beispielsweise Stengl/Tihanyi : "Leistungs- MOSFET-Praxis" , Pflaum Verlag, München, 1992, Seite 34 beschrieben.

Der Fig. 5 dargestellte MOSFET ist als n-leitender MOSFET ausgebildet. Die aktiven Bereiche dieses MOS-Transistors sind in einem Halbleiterkörper 100 realisiert, der ein stark n- dotierte Zone, beispielsweise ein Substrat 10, aufweist, auf welches, beispielsweise durch Epitaxie, eine schwächer n- dotierte Schicht 12 aufgebracht ist. In diese Schicht 12 ist ausgehend von einer Vorderseite 101 des Halbleiterkörpers 100 eine p-dotierte Wanne 14 eingebracht, welche die Body-Zone des MOS-Transistors bildet. In dieser p-dotierten Body-Zone 14 ist eine stark n-dotierte Zone 16 ausgebildet.

Die stark n-dotierte Zone 16 bildet die Source-Zone des MOS- Transistors und ist durch eine Source-Elektrode S, beispielsweise aus Metall oder Polysilizium, kontaktiert. Das stark dotierte Substrat 10 und die schwächer dotierte Zone 12 bilden die Drain-Zone des MOS-Transistors, die an einer Rückseite des Halbleiterkörpers durch eine elektrisch leitende Schicht 11, beispielsweise eine Metallisierung, kontaktiert ist. Die schwächer n-dotierte Zone 12 dient als Driftstrecke des Transistors.

Zur Ausbildung eines leitenden Kanals in der zwischen der Source-Zone 16 und der Driftzone 12 angeordneten Body-Zone 14 ist eine Gate-Elektrode 20 vorgesehen, die durch eine Isola- tionsschicht gegenüber der Source-Elektrode S und dem Halbleiterkörper 100 isoliert ist.

Bei dem dargestellten MOS-Transistor ist die Body-Zone 14 des MOS-Transistors floatend angeordnet, d.h. diese Zone ist an kein definiertes Potential bzw. an keinen extern verschalteten Anschluss des Transistors angeschlossen. Die Body-Zone 14 ist insbesondere nicht mit der Source-Zone 16 kurzgeschlossen. Zwischen der Source-Zone 16 und der Body-Zone 14 ist e- benso wie zwischen der Driftzone 12 und der Body-Zone 14 ein pn-Übergang vorhanden, der die Zenerdiode ZI bildet

Durch die Abfolge der n-dotierten Drain-Zone 10, 12, der p- dotierten Body-Zone 14 und der n-dotierten Source-Zone 16 ist in dem MOS-Transistor ein parasitärer Bipolartransistor ge- bildet, wobei die Basis dieses Bipolartransistors durch die Body-Zone 14 gebildet ist. Dieser Bipolartransistor ist bei dem dargestellten n-leitenden MOS-Transistor ein npn- Transistor und bei einem p-leitenden MOS-Transistor e pnp- Transistor .

Das Schaltsymbol eines solchen npn-Bipolartransistors ist zur Veranschaulichung Fig. 5 eingezeichnet. Dieser Bipolartransistor beemflusst die Spannungsfestigkeit des Bauteils bei Anlegen einer Spannung zwischen dem Dram-Anschluss D und dem Source-Anschluss S.

Bei Anlegen einer solchen Spannung gelangen bei einem n- leitenden Transistor p-Ladungsträger , d.h. Löcher, die Body-Zone 14 wo diese aufgrund des dort herrschenden elektrischen Feldes neue Ladungsträger erzeugen, was bei steigender Spannung schließlich zum Durchbruch des Transistors führt. Um die Wirkung dieser m die Body-Zone 14 gelangten Löcher zu reduzieren, ist vorteilhafterweise eine Rekombinationszone 30 in der Body-Zone 14 vorgesehen. Diese Rekombinationszone 30 besteht vorzugsweise aus einem Metall, z.B. Aluminium, Platin, Titan oder Wolfram, oder aus einem Silizid und ist plat- tenförmig, quaderförmig, streifenförmig oder ähnlich ausgebildet. Die Rekombinationszone 30 fördert die Rekombination von in die Body-Zone 14 gelangten Löcher mit Elektronen an der Oberfläche der Rekombinationszone 30. Die Drain-Source- Spannung, bei welcher em Spannungsdurchbruch des MOS- Transistors auftritt ist dadurch gegenüber einer Ausführungsform, bei welcher keine Rekombinationszone 30 vorgesehen ist, erhöht .

Bei herkömmlichen MOS-Transistoren sind die Body-Zone und die Source-Zone kurzgeschlossen, um die Anhäufung von Löchern m der Body-Zone zu verhindern. Die Durchbruchspannung eines MOS-Transistors gemäß Figur 5 ohne derartigen Kurzschluss, also mit floatend angeordneter Body-Zone, kann durch Vorsehen der Rekombinationszone 30 der Durchbruchspannung eines MOS- Transistors mit Kurschluss zwischen Body-Zone und Source-Zone entsprechen. Bei einer Alternative der erfindungsgemäßen Halbbrückenschaltung ist vorgesehen, dass die Body-Zone 14 des MOS- Transistors, der den zweiten Schalter bildet, über einen sehr großen ohmschen Widerstand - insbesondere einen Widerstand im Kilo-Ohm- bis Mega-Ohm-Bereich - an die Source-Zonen 16 angeschlossen sind. Bezugnehmend auf Figur 5 kann ein solcher ohmscher Widerstand zwischen der Source-Zone 16 und der Body- Zone durch "Störung" des pn-Übergangs zwischen der Source- Zone 16 und der Body-Zone 14 erzeugt werden. Diese Störung des Kristallgitters kann beispielsweise durch Implantation von Atomen, beispielsweise Argon-Atomen, in dem Bereich des pn-Übergangs zwischen Source 16 und Body 14 oder durch "Beschießen" des pn-Übergangs mit Helium erzeugt werden.

Figur 6 zeigt die Kennlinie eines n-leitenden MOS-Transistors gemäß der Figuren 4 und 5. Dargestellt ist der Drain-Source- Strom IDS über der Drain-Source-Spannung UDS bei einer Gate- Source-Spannung UGS>0V und einer Gate-Source-Spannung UGS=0V.

Betrachtet man die Kennlinie, so wird deutlich, dass der MOS- Transistor im Sperrfall, wenn also keine Gate-Source-Spannung UGS anliegt, das heißt UGS=0V ist, bei Anlegen einer positiven Drain-Source-Spannung UDS bis zu einer Spannung UBT+, der Durchbruchspannung der Diode DS , sperrt und bei höheren Span- nung in den Durchbruch geht. Der Transistor sperrt auch bei negativen Drain-Source-Spannungen UDS bis zu einer Spannung ÜBT-, der Durchbruchspannung der Zenerdiode ZI wenn keine Gate-Source-Spannung anliegt. Der Transistor sperrt somit in Vorwärtsrichtung, d.h. bei positiven Drain-Source-Spannungen UDS bis zu einer Spannung UBT+ und in Rückwärtsrichtung, d.h. bei negativen Drain-Source-Spannungen UDS bis zu einer Spannung ÜBT- .

Die Spannung ÜBT- bis zu welcher der MOS-Transistor in Rück- wärtsrichtung sperrt, ist üblicherweise geringer, als die

Sperrspannung UBT+ in Vorwärtsrichtung. Dies resultiert aus dem üblicherweise nicht symmetrischen Aufbau von Leistungs- transistoren, wie dies auch in Figur 2 veranschaulicht ist. Bei diesem Transistor ist zwischen der stark dotierten Zone 10 der Drain-Zone und der Body-Zone 14 eine schwächer dotierte Zone 12 ausgebildet, die als Driftstrecke wirkt und die bei einem n-Kanal -MOSFET bei Anlegen einer positiven Drain- Source-Spannung UDS zwischen dem Drain-Anschluss D und dem Source-Anschluss S einen Teil dieser Drain-Source-Spannung UDS übernimmt. Die Sperrspannung in Vorwärtsrichtung ist dabei maßgeblich von der Dotierung dieser Schicht 12 und der Dicke dieser Schicht 12 zwischen der stark dotierten Zone 10 und der Body-Zone 14 abhängig. Zwischen der Source-Zone 16 und der Body-Zone 14 ist in dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 5 keine solche schwächer dotierte Zone ausgebildet, was dazu führt, dass bei einem n-leitenden MOSFET bei Anlegen ei- ner negativen Drain-Source-Spannung bzw. bei einer positiven Spannung zwischen dem Source-Anschluss S und dem Drain- Anschluss D die bis zum Erreichen des Durchbruchs anlegbare Spannung geringer ist.

Wird ein Bauelement gemäß Fig. 4 als zweiter Transistor T2 bei dem erfindungsgemäßen Spannungswandler eingesetzt, so wird der MOSFET M über die Diode Dl so schnell leitend, dass die Spannung in Source-Drain-Richtung des Transistors T2 den Wert der Durchbruchspannung der Zenerdiode ZI nicht erreicht. Die Diode D3 wird nicht leitend und speichert somit keine Ladung, die bei Sperren des MOSFET M zu Schaltungsverlusten führen könnte .

In der Diode Dl wird zwar eine Ladung gespeichert, wenn der zweite Schalter T2 angesteuert wird, da diese Diode jedoch lediglich zum Aufladen des Gate G des zweiten Transistors T2 dient, kann sie entsprechend kleinflächig ausgestaltet sein, so dass die gespeicherte Ladung sehr gering ist und damit sehr schnell abgeführt werden kann, wenn der zweite Transis- tor T2 sperren soll. Hierdurch treten lediglich sehr geringe Schaltverluste auf. Bei der bisherigen Betrachtung wurde davon ausgegangen, dass die Eingangsspannung VI eine positive Spannung zwischen der ersten Eingangsklemme EKl und der zweiten Eingangsklemme EK2 ist. Der erfindungsgemäße Spannungswandler funktioniert selbstverständlich auch für negative Eingangsspannungen, wobei die Polung der Diode Dl dann zu vertauschen ist. Die als n-Kanal Feldeffekttransistoren ausgebildeten MOSFET Tl , T2 können selbstverständlich auch als p-Kanal-Feldeffekttransis- toren ausgebildet sein.

Um den zweiten Transistor T2 zu sperren, ist dessen Gate-An- schluss Gl an eine zweite Ausgangsklemme AK4 der Ansteuerschaltung IC angeschlossen, welche das Gate G des zweiten Transistors T2 beispielsweise nach Bezugspotential GND ent- lädt, um den zweiten Transistor zu sperren.

Die Ansteuerschaltung IC ist derart ausgebildet, dass sichergestellt ist, dass nur jeweils einer der beiden Transistoren Tl, T2 leitet und um somit zu verhindern, dass der Strom di- rekt über den ersten Transistor Tl und den zweiten Transistor T2 unter Kurzschließen des Tiefpassfilters TP und der Last R_L nach Bezugspotential GND abfließt. In eingeschwungenem Zustand ist die Ausgangsspannung V2 bei gleichbleibender Last R_L annäherungsweise konstant. Das Tiefpassfilter TP wandelt somit die getaktet an das Tiefpassfilter TP angelegte Eingangsspannung VI in eine niedrigere Ausgangsspannung V2 um. Der Wert der Ausgangsspannung V2 ist dabei über die Schalt - frequenz des ersten Transistors, das heißt über die Frequenz, mit der der erste Transistor ein- und ausgeschaltet wird, und über die Schaltdauer, das heißt die Dauer, während derer der erste Transistor Tl nach dem Einschalten jeweils geschlossen bleibt, einstellbar.

Um bei Änderungen der Last R_L die Ausgangsspannung V2 über die Schaltfrequenz und die Schaltdauer nachregeln zu können, ist die erste Ausgangsklemme AK1 an eine Eingangsklemme EK3 der Ansteuerschaltung IC angeschlossen, wobei die Ansteuer- Schaltung IC den Wert der Ausgangsspannung V2 bei der Generierung der Schaltfrequenz und/oder der Schaltdauer berücksichtigt .

Fig. 3 zeigt eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Spannungswandlers, bei dem eine Schottky-Diode D2 parallel zur Laststrecke eines zweiten Schalters T2 geschaltet ist, der in dem Ausführungsbeispiel als rückwärtssperrender FET T2 ausgebildet ist, wobei die Drain-Source-Strecke D-S des FET T2 parallel zu dem LC-Glied geschaltet ist. Die

Schottky-Diode ist parallel zu der Drain-Source-Strecke des Transistors T2 geschaltet.

Liegt bei dem erfindungsgemäßen Spannungswandler eine Ein- gangsspannung VI an dem Eingangsklemmenpaar EKl, EK2 an und leitet zunächst der erste Transistor Tl und sperrt der zweite Transistor T2 , so liegt über der Drain-Source-Strecke D-S des zweiten Transistors T2 annäherungsweise die gesamte Eingangsspannung VI an. Die dabei in Sperrrichtung gepolte Schottky- Diode D2 sperrt.

Bei leitendem ersten Transistor Tl fließt ein Strom über die Spule L auf die Kapazität C und über die Last R_L. Der Strom durch die Spule L steigt dabei kontinuierlich an. Sperrt an- schließend der erste Transistor Tl , behält der Strom durch die Spule L seine Richtung bei, die über der Spule L anliegende Spannung wechselt jedoch ihr Vorzeichen. Dadurch sinkt das Potential an dem der Spule L und dem ersten bzw. zweiten Transistor Tl, T2 gemeinsamen Knoten Kl auf einen Wert unter den Wert des Bezugspotentials GND ab. Die Schottky-Diode D2 beginnt zu leiten und übernimmt den Strom I_L durch die Spule. Angesteuert durch die Ansteuerschaltung IC beginnt nach dem Sperren des ersten Transistors Tl auch der zweite Transistor T2 zu leiten. Der zweite Transistor T2 und die Schottky-Diode D2 sind vorzugsweise so aufeinander abgestimmt, dass die über der Laststrecke D-S des zweiten Transistor T2 abfallende Spannung geringer ist als die Flussspannung der Schottky- Diode D2 , wenn der zweite Transistor T2 vollständig leitet. Dann nämlich sperrt die Schottky-Diode D2 sofort nach dem Leiten des zweiten Transistors T2 , wobei in der Schottky- Diode D2 keine Ladung gespeichert bleibt, die nach dem Sper- ren des zweiten Transistors T2 -angesteuert durch die Ansteuerschaltung IC- zu Schaltverlusten führen könnte.

Der zweite Transistor T2 ist ein rückwärtssperrender FET, dessen Ersatzschaltbild beispielhaft in Fig. 4 dargestellt und oben erläutert ist.

Wird ein Bauelement gemäß Fig. 4 bzw. gemäß Fig. 5 bei dem erfindungsgemäßen Spannungswandlers eingesetzt, so wird bedingt durch die parallel zur Laststrecke geschaltete Schott- ky-Diode D2 , die Durchbruchspannung der Zenerdiode ZI nicht erreicht, so dass auch in der Diode D3 keine Ladung gespeichert wird, die bei Sperren des MOSFET M zu Schaltungsverlus- ten führen könnte.

Die beiden Transistoren Tl, T2 sind in dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 an eine gemeinsame Ansteuerschaltung IC zur Ansteuerung angeschlossen. Die Ansteuerschaltung ist derart ausgebildet, dass sichergestellt ist, dass nur jeweils einer der beiden Transistoren Tl, T2 leitet und um somit zu verhindern, dass der Strom direkt über den ersten Transistor Tl und den zweiten Transistor T2 unter Kurzschließen des Tiefpassfilters TP und der Last R nach Bezugspotential GND abfließt. Die Ansteuerschaltung IC macht den ersten Transistor Tl leitend und sperrt den zweiten Transistor T2 , wenn die Spule L Strom aufnehmen soll, und macht den zweiten Transistor T2 leitend und sperrt den ersten Transistor Tl, wenn die Stromaufnahme der Spule L abgeschlossen werden soll.

Die Ansteuerschaltung IC ist vorzugsweise als integrierte Schaltung ausgebildet, in welcher auch die Diode Dl, die zur Ansteuerung des zweiten Transistors T2 dient, integriert sein kann. Bezugszeichenliste

10 Substrat

100 Halbleiterkörper 101 Vorderseite des Halbleiterkörpers

12 Epitaxieschicht

14 Body-Zone

16 Source-Zone

20 Gate-Elektrode 30 Rekombinationszone

40 Isolationsschicht

50 Source-Elektrode

70 Drain-Elektrode

AKl, AK2 Ausgangsklemmen des Spannungswandlers AK3 , AK4 Ausgangsklemmen der Ansteuerschaltung

B Substrat

C Kapazität

D Drain-Anschluss

Dl, D3 Dioden

D2 Schottky-Diode

DI Diode

EKl , EK2 Eingangsklemmen des Spannungswandler

EK3 Eingangsklemme der Ansteuerschaltung

FS FreilaufSchaltung

G Gate-Anschluss

GND Bezugspotential

IC Ansteuerschaltung

IDS Drain-Source-Strom

II Spulenstrom

L Induktivität

M MOSFET

RL Last

S Schalter

S Source-Anschluss

Tl erster Transistor

T2 zweiter Transistor

TP Tiefpass ÜBT- negative Sperrspannung

UBT+ positive Sperrspannung

U_DS Drain-Source-Spannung

UDS Drain-Source-Spannung

U_Gs Gate-Source-Spannung

UGS Gate-Source-Spannung

VI Eingangsspannung

V2 Ausgangsspannung

ZI Zenerdiode

Claims

Patentansprüche

1. Spannungswandler, der folgende Merkmale aufweist:

ein Eingangsklemmenpaar (EKl, EK2) zum Anlegen einer EingangsSpannung (VI) ;

eine parallel zu dem Eingangsklemmenpaar (EKl, EK2 ) geschaltete Reihenschaltung eines ersten Schalters (S, Tl) und eines Tiefpassfilters (TP) , wobei das Tiefpassfilter (TP) Ausgangsklemmen (AKl, AK2) zum Anschließen einer Last (R_L) aufweist;

eine parallel zu dem Tiefpassfilter (TP) geschaltete Freilaufschaltung (FS) ;

d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die FreilaufSchaltung (FS) einen zweiten Schalter (T2) mit einem Steuerschluss (G) und einer zwischen einem ersten Laststreckenanschluss (S) und einem zweiten Laststreckenanschluss (D) ausgebildeten Laststrecke aufweist, der als MOS- Transistor ausgebildet ist, dessen Body-Zone floatend angeordnet oder über einen ohmschen Widerstand an dessen Source- Zone angeschlossen ist .

2. Spannungswandler nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass ein Gleichrichterelement (Dl) zwischen den ersten Laststreckenanschluss (S) und den Steueranschluss (G) des zweiten Schalters (T2) geschaltet ist.

4. Spannungswandler nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass eine Schottky-Diode (D2) parallel zu der Laststrecke (D-S) des zweiten Schalters (T2) geschaltet ist.

5. Spannungswandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass das Tiefpassfilter (TP) eine Reihenschaltung einer Spule (L) und eines Kondensators (C) aufweist, wobei der Kondensator (C) parallel zu den Ausgangsklemmen (AKl, AK2) geschaltet ist .

6. Spannungswandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass der erste Schalter (Tl) als Transistor, insbesondere als Feldeffekttransistor ausgebildet ist .

7. Spannungswandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass eine Ansteuerschaltung (IC) mit einer ersten Ausgangsklemme (AK3 ) zur Ansteuerung des ersten Schalters (Tl) vorgesehen ist.

8. Spannungswandler nach Anspruch 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass der erste Schalter (Tl) durch die Ansteuerschaltung (IC) ab- hängig von der an den Ausgangsklemmen (AKl, AK2) abgreifbaren Ausgangsspannung (V2) oder abhängig von einem Strom durch die Spule (L) der Tiefpassanordnung angesteuert ist.

9. Spannungswandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass er eine an den Steueranschluss (G) des zweiten Schalters (T2) angeschlossene Ansteuerschaltung (IC) zum Ansteuern des zweiten Schalters (T2) abhängig von einem Schaltzustand des ersten Schalters (Tl) aufweist.

10. Spannungswandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass eine Ansteuerschaltung (IC) für beide Schalter (Tl, T2) vorgesehen ist.

11. Spannungswandler nach Anspruch 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die Ansteuerschaltung (IC) bewirkt, dass die beiden Schalter (Tl, T2) nicht gleichzeitig leiten.

12. Spannungswandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem eine Rekombinationszone in der Body-Zone des als zweiter Schalter eingesetzten MOSFET ausgebildet ist.