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Brevets

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Numéro de publicationWO2002068321 A2
Type de publicationDemande
Numéro de demandePCT/US2002/003882
Date de publication6 sept. 2002
Date de dépôt6 févr. 2002
Date de priorité27 févr. 2001
Autre référence de publicationUS6780001, US20030099737, US20050016251, US20060138076, WO2002068321A3
Numéro de publicationPCT/2002/3882, PCT/US/2/003882, PCT/US/2/03882, PCT/US/2002/003882, PCT/US/2002/03882, PCT/US2/003882, PCT/US2/03882, PCT/US2002/003882, PCT/US2002/03882, PCT/US2002003882, PCT/US200203882, PCT/US2003882, PCT/US203882, WO 02068321 A2, WO 02068321A2, WO 2002/068321 A2, WO 2002068321 A2, WO 2002068321A2, WO-A2-02068321, WO-A2-2002068321, WO02068321 A2, WO02068321A2, WO2002/068321A2, WO2002068321 A2, WO2002068321A2
InventeursBenjamin N. Eldridge, Stuart W. Wenzel
DéposantFormfactor, Inc.
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  Patentscope, Espacenet
Outil de forme pour la realisation d'un moule a ressort micro-electronique profile
WO 2002068321 A2
Résumé
La présente invention concerne un outil de forme à une ou des dents de gaufrage, et de préférence, une pluralité de telles dents de gaufrage, disposées sur un support sensiblement plan. Chaque dent de gaufrage est configurée de manière à former une couche sacrificielle permettant d'obtenir une surface profilée pour la réalisation d'une structure de ressort micro-électronique. Chaque dent de gaufrage présente une zone en saillie correspondant à la base d'un ressort micro-électronique, et une portion inclinée correspondant à un profil de poutre d'un ressort micro-électronique. L'invention concerne plusieurs procédés de réalisation d'un outil de forme. Ces procédés comprennent un procédé d'élimination de la matière, un procédé de moulage, un procédé d'estampage à répétition, des procédés de flexion de soies, et des procédés d'assemblage de segments.
Description  disponible en Anglais
Revendications  disponible en Anglais
Citations de brevets
Brevet cité Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
WO2001009952A2 *28 juil. 20008 févr. 2001Formfactor, Inc.Ensembles d'interconnexion et procedes
US6250933 *20 janv. 200026 juin 2001Advantest Corp.Contact structure and production method thereof
Référencé par
Brevet citant Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
WO2004056698A3 *18 déc. 200311 nov. 2004Commissariat Energie AtomiqueProcede de realisation d'une micro-structure suspendue plane, utilisant une couche sacrificielle en materiau polymere et composant obtenu
US83727316 mars 200712 févr. 2013Seiko Epson CorporationDevice fabrication by ink-jet printing materials into bank structures, and embossing tool
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
19 déc. 2002DFPERequest for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
10 déc. 2003121Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
15 janv. 2004REGReference to national code
Ref country code: DE
Ref legal event code: 8642
28 avr. 2004122Ep: pct application non-entry in european phase
4 avr. 2006NENPNon-entry into the national phase in:
Ref country code: JP
4 avr. 2006WWWWipo information: withdrawn in national office
Country of ref document: JP