WO2003067935A1 - Dispositif d'affichage et procede de fabrication de ce dernier - Google Patents

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Toshifumi Tomimatsu
Michiya Kobayashi
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Description

明 細 書
表示装置及びその製造方法
技術分野
こ の発明は、 表示装置及びその製造方法に係 り 、 特に有機 エ レク ト ロルミ ネセ ンス ( E L ) 表示装置などの 自 己発光型 表示装置及びその製造方法に関する。
背景技術
近年、 平面表示装置と して、 有機 E L表示装置が注目 され ている。 この有機 E L表示装置は、 自 己発光性を有する こ と から、 視野角が広く 、 バッ ク ライ ト を必要とせず薄型化が可 能であ り 、 消費電力が抑え られ、 且つ応答速度が速いと いつ た特徴を有 している。 こ の有機 E L表示装置は、 ア レイ基板 に複数の有機 E L素子をマ ト リ ッ ク ス状に配置する こ と によ り 構成される。 有機 E L素子は、 アノ ー ド電極と 力 ソー ド電 極と の間に発光機能を有する有機化合物を含む有機発光層を 挟持 した構造を有している。
こ の有機 E L素子は、 水分に対して非常に敏感であるため 、 1 p p m程度のわずかな水分でも破壊され、 表示デバイ ス と しての表示性能を維持できな く なる。 こ のため、 有機 E L 素子が外気と触れないよ う に構成する こ と が必要と なる。 し たがって、 一般的な製造過程においては、 ア レイ基板は、 露 点管理された窒素ガスなどの不活性ガス環境下で乾燥材料を 付加 した封止基板によって封止される。 このと き、 ア レイ基 板と封止基板と は、 数 + μ m前後の粒状スぺーサを混入した シール材料を介 して貼り 合わせられている。 シール材料中に 含まれるスぺーサは、 ア レイ基板に配置された有機 E L素子 と封止基板に配置された乾燥材料と の接触を防止する よ ぅ ァ レイ基板と封止基板と の間に所定のギヤ ップを形成している ァ レイ基板と封止基板と をシール材料によ って貼り 合わせ る場合、 両基板に圧力を加えた状態で紫外線を照射する こ と によってシール材料を硬化させる。 この と き 、 シール材料に 混入 している粒状ス ぺーサがシール材料周辺に形成された駆 動回路を押圧するおそれがあ り 、 これに起因 して駆動回路を 破損する と いつた問題が発生する。 特に、 近年、 生産数が伸 ぴている小型携帯端末に採用される表示装置では、 額縁サイ ズに余裕がないため、 十分なマージンを確保する こ と が困難 である。 こ のため、 小型携帯端末用表示装置では、 上述 した よ う な問題が発生しやすく 、 信頼性を低下させるおそれがあ る。
また、 単一のマザ一基板から複数の有機 E L表示装置を切 り 出す際、 スク ライ ブライ ンに沿って支点と なる ものが存在 しない。 このため、 切 り 出された有機 E L表示装置の基板端 部に欠けな どの不良を発生しやすく 、 高精度に切 り 出 しにく いといつた問題もある。
発明の開示
こ の発明は、 上記問題点を解決するためになされたもので あ り 、 その 目的は、 信頼性及び加工精度を向上する こ と が可 能な表示装置及びその製造方法を提供する こ と にある。
こ の発明の第 1 の様態によ る表示装置は、 マ ト リ ク ス状に配置された複数の画素を有する表示エ リ ア を備えた第 1 基板と、
前記第 1 基板に対向 して配置された第 2基板と 、 を備え、 前記第 1 基板は、
前記表示エリ ァにおいて前記画素をそれぞれ分離する と と もに、 前記第 2 基板から離間 して配置される隔壁と、
前記表示エ リ アの外周において、 前記第 1 基板と前記第 2 基板との間に所定のギャ ップを形成する よ う 額縁状に配置さ れ、 前記隔壁と ほぼ同 じ高さ を有する支持部と、
を備えたこ と を特徴とする。
この発明の第 2 の様態によ る表示装置の製造方法は、 表示エ リ ァにマ ト リ タ ス状に配置された複数の表示画素及 び前記各表示画素を分離する隔壁と を備えた第 1 基板と 、 前 記第 1 基板に対向配置される第 2 基板と、 前記第 1 基板及び 前記第 2 基板を封止するシール材と、 を備えた表示装置の製 造方法において、
複数の表示装置に対応 した表示エ リ ァを有するマザ一基板 に、 各表示エ リ アの外周に前記隔壁と略同一の高さ を有する 支持部を形成する工程と、
前記マザ一基板の前記各表示エ リ アに対向 し、 前記隔壁と 離間 し且つ前記支持部と接する よ う第 2基板を配置した状態 で前記シール材によ り 封止する工程と、
前記マザ一基板を前記各表示ェ リ ァに対応 して分断して前 記第 1 基板を切 り 出す工程と、 を備えたこ と を特徴とする。
こ の発明の第 3 の様態によ る表示装置の製造方法は、 表示エ リ ァにマ ト リ タ ス状に配置された複数の表示画素及 ぴ前記各表示画素を分離する隔壁と を備えた第 1 基板と、 前 記第 1 基板に対向配置される第 2 基板と、 前記第 1 基板及び 前記第 2基板を封止するシール材と、 を備えた表示装置の製 造方法において、
複数の表示装置に対応した表示ェ リ ァを有する第 1 マザ一 基板に、 各表示エ リ ァの外周に前記隔壁と略同一の高さ を有 する支持部を形成する工程と、
前記第 1 マザ一基板の前記各表示エ リ アに対向 し、 前記隔 壁と離間 し且つ前記支持部と接する よ う第 2 マザ一基板を配 置 した状態で前記シール材によ り 封止する工程と、
刖記第 1 マザ一基板及び前記第 2 マザ一基板を前記各表示 ェ リ ァに対応して分断して、 それぞれシール材で封止された 第 1 基板及び第 2基板を切 り 出す工程と、 を備えたこ と を特 徴とする。
図面の簡単な説明
図 1 は、 この発明の一実施の形態に係る有機 E L表示装置 の構成を概略的に示す図である。
図 2 は、 図 1 に示 した有機 E L表示装置の構造を概略的に 示す断面図である。
図 3 は、 図 1 に示した有機 E L表示装置における有機 E L 素子及び駆動制御素子の構造を概略的に示す断面図である。
図 4 は、 有機 E L表示装置の製造方法を説明するための斜 視図である。
図 5 は、 有機 E L表示装置の製造方法を説明するための断 面図である。
図 6 は、 有機 E L表示装置の他の製造方法を説明するため の斜視図である。
図 7 は、 有機 E L表示装置の他の製造方法を説明するため の断面図である。
図 8 は、 支持部と駆動回路と の位置関係の一例を示す図で める。
図 9 は、 島状の支持部を配置 した場合のア レイ基板の構造 を概略的に示す図である。
発明を実施するための最良の形態
以下、 この発明の一実施の形態に係る表示装置及びその製 造方法について図面を参照 して説明する。
こ の実施の形態では、 表示装置と して自 己発光型表示装置 、 例えば有機 E L (エ レク ト ロルミ ネ ッセ ンス) 表示装置を 例に して説明する。
すなわち、 図 1 及び図 2 に示すよ う に、 有機 E L表示装置 1 は、 表示素子と しての有機 E L素子をマ ト リ ク ス状に配置 した第 1 基板と してのア レイ基板 1 0 0 と 、 ア レイ基板 1 0 0 に対向 して配置された第 2基板と しての封止基板 2 0 0 と を備えている。 ア レイ基板 1 0 0 の画像を表示する表示エ リ ァ 1 0 2 は、 赤、 緑、 青にそれぞれ発光する 3種類の発行部 すなわち画素を備えて構成される。 各画素は、 隔壁 1 3 0 に よってそれぞれ分離されている。 また、 各画素は、 自 己発光 型表示素子と して有機 E L素子 4 0 を含んで構成されている 。 封止基板 2 0 0 は、 ア レイ基板 1 0 0 の表示エ リ ア 1 0 2 を密封する。
有機 E L素子 4 0 は、 第 1 電極 6 0 と、 第 2電極 6 6 と、 発光層 と しての有機発光層 6 4 と、 によって構成される。 第 .1 電極 6 0 は、 画素毎に独立島状に形成され、 それぞれ電気 的に絶縁されてレ、る。 第 2 電極 6 6 は、 第 1 電極 6 0 に対向 して配置され、 複数の画素に共通に形成されている。 有機発 光層 6 4 は、 これら第 1 電極 6 0 と第 2電極 6 6 との間に保 持されてい る。
ア レイ基板 1 0 0 は、 表示エ リ ア 1 0 2 の各画素において 、 例えば N型薄膜 ト ラ ンジス タで構成される画素スィ ツチ 1 0及び例えば P型薄膜 ト ラ ンジス タ で構成される駆動制御素 子 2 0 と、 蓄積容量素子 3 0 と、 有機 E L素子 4 0 と、 を備 えている。 有機 E L素子 4 0 は、画素スィ ッ チ 1 0 を介 して 選択される。 有機 E L素子 4 0 に対する励起電力は、 駆動制 御素子 2 0 によ り制御される。
また、 ア レイ基板 1 0 0 は、 有機 E L素子 4 0 の行方向に 沿って配置された複数の走査線 Y と、 有機 E L素子 4 0 の列 方向に沿って配置された複数の信号線 X と、 有機 E L素子 4 0 の第 1 電極側に電源を供給するための電源供給線 P と、 を 備えている。 さ らに、 ア レイ基板 1 0 0 は、 表示エ リ ア 1 0 2 の外周すなわち周辺エ リ ァ 1 0 4 において、 走査線 Yに駆 動信号を供給する走査線駆動回路 1 0 7 と、 信号線 Xに駆動 信号を供給する信号線駆動回路 1 0 8 と、 を備えている。
走査線 Yは、 走査線駆動回路 1 0 7 に接続されている。 信 号線 Yは、 信号線駆動回路 1 0 8 に接続されている。 画素ス イ ッチ 1 0 は、 走査線 Y と信号線 X と の交差部近傍に配置さ れている。 駆動制御素子 2 0 は、 有機 E L素子 4 0 と直列に 接続されている。 蓄積容量素子 3 0 は、 画素スィ ッチ 1 0 と 直列に、 且つ駆動制御素子 2 0 と並列に接続されている。 蓄 積容量素子 3 0 の両電極は、 駆動制御素子 2 0 のゲー ト電極 及びソース電極にそれぞれ接続されている。
電源供給線 Ρ は、 周辺エ リ ア 1 0 4 に配置された図示 しな い第 1 電極電源線に接続されている。 有機 E L素子 4 0 の第 2電極側端は、 周辺エ リ ァ 1 0 4 に配置されコモ ン電位を供 給する図示 しない第 2 電極電源線に接続されている。
よ り 詳細に説明する と、 画素スィ ッチ 1 0 は、 この実施の 形態では Ν型薄膜 ト ラ ンジス タ で構成されている。 画素スィ ツチ 1 0 において、 ゲー ト電極は走査線 Υに接続され、 ソー ス電極は信号線 Xに接続され、 ド レイ ン電極は蓄積容量.素子 3 0 の一端及び駆動制御素子 2 0 のゲー ト電極に接続されて いる。 駆動制御素子 2 0 において、 ソース電極は電源供給線 Ρ に接続され、 ドレイ ン電極は有機 E L素子 4 0 の第 1 電極 6 0 に接続されている。 蓄積容量素子 3 0 の他端は、 電源供 給線 Ρ に接続されている。
画素スィ ッチ 1 0 は、 対応走査線 Υを介 して選択された と き に対応信号線 Xの駆動信号を蓄積容量素子 3 0 に書き込み 、 駆動制御素子 2 0 の駆動を制御する。 駆動制御素子 2 0 の ゲー ト電圧は、 駆動信号に基づいて調整される。 この駆動制 御素子 2 0 によ り 、 電源供給線 Ρ から有機 E L素子 4 0 に所 望の駆動電流が供給される。 図 3 は、 ア レイ基板 1 0 0 の駆動制御素子 2 0及び有機 E L素子 4 0 の略断面図である。
すなわち、 駆動制御素子 2 0 は、 ガラス基板な どの絶縁性 支持基板 1 2 0 上に配置されたポ リ シリ コ ン半導体層 2 0 P を備えている。 この駆動制御素子 2 0 において、 ゲー ト電極 2 0 Gは、 ポ リ シリ コ ン半導体層 2 0 P上にグー ト絶縁膜 5 2 を介して配置されている。 ソース電極 2 O S は、 ゲー ト絶 縁膜 5 2 及び層間絶縁膜 5 4 を貫通する コ ンタク トホール 9 3 を介してポリ シリ コ ン半導体層 2 0 Pのソース領域 2 0 P S に コ ンタ ク ト している。 ド レイ ン電極 2 0 Dは、 ゲー ト絶 縁膜 5 2 及び層間絶縁膜 5 4 を貫通する コ ンタ ク トホール 9 4 を介してポ リ シリ コ ン半導体層 2 0 P の ド レイ ン領域 2 0 P D にコ ンタ ク ト してレヽる。
有機 E L素子 4 ◦ は、 層間絶縁膜 5 4上に配置された絶縁 膜 5 6上に配置されている。 1 画素分の有機 E L素子 4 0 は 、 表示エ リ ア内で格子状に配置された隔壁 1 3 0 によ って区 画されている。 この隔壁 1 3 0 は、 例えば親水性を有する酸 化シ リ コ ン膜 ( S i O ) 等の親水膜と 、 撥水性を有する樹脂 レジス ト 等の撥水膜と、 によ って形成されている。 各画素に おいて、 第 1 電極 6 0 は、 隔壁 1 3 0 によって隣接する画素 と電気的に絶縁されている。 隔壁 1 3 0 は、 第 1 電極 6 0 の 外周に重なる よ う に配置されている。 このため、 隔壁 1 3 0 の親水膜から露出 した電極部分が実質的に第 1 電極と して機 能する
の有機 E L素子 4 0 において、 下部に配置された 極 6 0 は、 こ こ では陽極と して機能し、 絶縁膜 5 6 上に配置 されている。 こ の第 1 電極 6 0 は、 絶縁膜 5 6 を貫通する コ ンタ ク トホール 9 5 を介して駆動制御素子 2 0 の ドレイ ン電 極 2 0 D に接続されている。 また、 こ の第 1 電極 6 0 は、 I T O ( I n d i u m T i n O x i d e : イ ンジウ ム . テ イ ン ' オキサイ ド) や I Z O (イ ンジウ ム . ジンク . ォキサ ィ ド) などの光透過性導電部材によ って形成される。
第 1 電極 6 0 と第 2電極 6 6 と の間に挟持された有機発光 層 6 4 は、 各色共通に形成されるホール輸送層やエ レク ト ロ ン輸送層、 及び、 各色毎に形成される発光層を含む 3 層の積 層構造であっても良い し、 これら 3層を機能的に複合 した 2 層または単層で構成されても良い。 例えば、 ホール輸送層は 、 陽極及び発光層間に配置され、 芳香族ァ ミ ン誘導体、 ポリ チォフ ニ ン誘導体、 ポ リ ア - リ ン誘導体な どの薄膜によって 形成される。 発光層は、 ホール輸送層及び陰極間に配置され 、 赤、 緑、 または青に発光する有機化合物によって形成され る。 こ の発光層は、 例えば高分子系材料を採用 して形成する 場合には、 P P V (ポ リ ノヽ。ラフェニ レンビエ レン) や、 ポリ フルオレン誘導体またはその前駆体などを積層 して構成され てレヽる。
有機 E L素子 4 0 において、 上部に配置された第 2 電極 6 6 は、 こ こ では陰極と して機能 し、 各有機 E L素子 4 0 の有 機発光層 6 4上に共通に配置されている。 こ の第 2電極 6 6 は、 例えば C a (カルシウ ム) 、 A 1 (アルミ ニ ウム) 、 B a (バリ ウ ム) 、 A g (銀) な どの遮光性金属膜によ って形 成される。
封止基板 2 0 0 は、 少な く と も表示エ リ ア 1 0 2 に対応し た領域にわたって形成された凹部 2 0 2 を備えている。 こ の よ う な構造を有する封止基板 2 0 0 は、 凹部 2 0 2 に配置さ れた乾燥剤 2 0 4 を備えている。 この乾燥剤 2 0 4 は、 有機 E L素子 4 0 な どから発散された水分を吸収する。
ア レイ基板 1 0 0 は、 さ らに、 表示エ リ ア 1 0 2 の外周を 囲むよ う に額縁状に配置された支持部 3 0 0 を備えている。 この支持部 3 0 0 は、 表示エ リ ア 1 0 2 において、 ア レイ基 板 1 0 0 と封止基板 2 0 0 と の間に所定のギャ ップを形成す る よ う な高 さ を有している。 支持部 3 0 0 の高さ は、 隔壁 1 3 0 の高さ と ほぼ同等である。 こ の支持部 3 0 0 が周辺エ リ ァ 1 0 4 において封止基板 2 0 0 を支持した と き、 表示エ リ ァ 1 0 2 において、 ア レイ基板 1 0 0 上の隔壁 1 3 0 は、 封 止基板 2 0 0 力 ら離間 している。 つま り 、 封止基板 2 0 0 が 表示エ リ ア 1 0 2 に対向する凹部 2 0 2 を有しているため、 隔壁 1 3 0 と支持部 3 0 0 とがほぼ同等の高さであっても、 隔壁 1 3 0 が封止基板 2 0 0 の乾燥剤 2 0 4 に接触する こ と はない。
また、 こ の支持部 3 0 0 は、 例えば図 1 に示すよ う に、 表 示エ リ ア 1 0 2 を囲むよ う な一連のループ状に形成されてい る。 これに よ り 、 封止基板 2 0 0 が周辺エ リ ア 1 0 4 におい てア レイ基板 1 0 0 上の支持部 3 0 0 で支持された際に、 表 示エ リ ア 1 0 2 が封止される。
支持部 3 0 0 は、 例えば樹脂レジス ト によって形成されて いる。 この支持部 3 0 0 は、 表示エ リ ア 1 0 2 に配置された 隔壁 1 3 0 と 同一材料で形成しても良い。 この場合、 支持部 3 0 0 は隔壁 1 3 0 と 同一工程で形成 して も良い。 特に、 隔 壁 1 3 0 の撥水膜と支持部 3 0 0 を同一材料でしかも同一ェ 程で形成しても良い。 このよ う に形成する こ と によ り 、 支持 部 3 0 ◦ を形成するための製造工程数を増加する必要がな く 、 製造歩留ま り の低下を防止する こ と ができ る。
また、 支持部 3 0 0 と封止基板 2 0 0 でア レイ基板 1 0 0 の表示エ リ ア 1 0 2 を封止 したこ と によ り 、 外部からの水分 が密封空間内に浸入するのを抑制する こ と ができ る。 これに よ り 、 有機 E L素子 4 0 の劣化を抑制する こ とができ る。 特 に、 隔壁 1 3 0及び支持部 3 0 0 を同一工程で形成した場合 には、 水分の浸入をよ り 防止する こ と ができ る。
こ の よ う なア レイ基板 1 0 0及ぴ封止基板 2 0 0 は、 シー ノレ材 4 0 0 によ って封止される。 このシーノレ材 4 0 0 は、 感 光性樹脂、 例えば紫外線硬化型樹脂によって形成される。 ま た、 こ のシール材 4 0 0 は、 乾燥剤を混入 した感光性榭脂に よって形成 しても良い。 このよ う なシール材 4 0 0 を適用 し た場合、 こ のシール材 4 0 0 を支持部 3 0 0 の両側に配置す る こ と で、 外部からの水分の浸入を防止する こ と ができ る と と もに、 密封空間内の水分も効果的に除去する こ と ができ る 。 シール材 4 0 0 に乾燥剤を混入 した場合には、 必ずしも封 止基板 2 0 0 の凹部 2 0 2 に乾燥剤 2 0 4 を配置する必要は ない。
また、 ア レイ 基板 1 0 0 と封止基板 2 0 0 と のギャ ップは 、 支持部 3 0 0 によって均一に保つこ とができ る。 さ らに、 表示エリ ァ 1 0 2 の外周に支持部 3 0 0 を配置したこ と によ り 、 表示装置全体の機械的強度も向上させる こ と ができ る。 支持部 3 0 0 によ ってア レイ基板 1 0 0 と封止基板 2 0 0 と の間の所定ギャ ップに形成された密封空間には、 窒素ガス などの不活性ガスが充填されている。 また、 この密封空間は 、 封止基板 2 0 0 に配置された乾燥剤 2 0 4 によ り 、 有機 E L素子 4 0 に悪影饗を与えない程度の低湿度に維持されてい る。
このよ う に構成された有機 E L素子 4 0 では、 第 1 電極 6 2 と第 2 電極 6 6 と の間に挟持された有機発光層 6 4 に電子 及びホールを注入し、 これらを再結合させる こ と によ り 励起 子を生成 し、 この励起子の失活時に生じる所定波長の光放出 によ り発光する。 こ の E L発光は、 ア レイ基板 1 0 0 の下面 側すなわち第 1 電極 6 0側から出射される。
次に、 上述した構成の有機 E L素子の製造方法について説 明する。 こ こでは、 1 枚のマザ一基板から複数の有機 E L表 示装置に対応するァ レイ基板を切 り 出す場合の製造方法につ いて説明する。
すなわち、 図 4及ぴ図 5 に示すよ う に、 ア レイ 基板用のマ ザ一基板 5 0 0 上に、 複数の有機 E L表示装置に対応 した表 示エ リ ア 1 0 2 を形成する。 すなわち、 マザ一基板 5 0 0上 に、 半導体層、 金属層、 絶縁層な どの薄膜の成膜、 これら薄 膜のパターユングな どの処理を繰り 返し行 う。 これによ り 、 表示エ リ ア 1 0 2毎、 画素スィ ッチ 1 0 、 駆動制御素子 2 0 、 駆動回路 1 0 7 、 1 0 8 等を構成する T F Tのポリ シリ コ ン半導体層や、 ゲー ト電極、 蓄積容量素子 3 0 、 ゲー ト絶縁 膜 5 2 、 層間絶縁膜 5 4 な どを形成する。
続いて、 T F Tのソース電極及び ド レイ ン電極などを形成 する。 こ の と き 、 画素スィ ッチ 1 0 の ソース電極は、 信号線 X と一体に形成される。 続いて、 これら T F T上に絶縁膜 5 6 を形成した後に、 絶縁膜 5 6 上に各表示素子 4 0 に対応す る位置に第 1 電極 6 0 を独立島状に形成する。 こ の と き 、 駆 動制御素子 2 0 の ド レイ ン電極 2 0 Dは、 第 1 電極 6 0 に電 気的に接続されている。
続いて、 表示エ リ ア 1 0 2 に、 表示素子 4 0 の各々 を電気 的に分離する隔壁 1 3 0 を形成する。 まず、 親水性を有する 材料を成膜した後に選択的に除去する こ と によ り 、 第 1 電極 6 0 を部分的に露出する開 口 を設けた親水膜を形成する。 そ の後、 撥水性を有する材料を成膜した後に選択的に除去する こ と によ り 、 親水膜の開口 を露出する開口 を備えた撥水膜を 形成する。 隔壁 1 3 0 に囲まれた複数の有機 E L素子 4 0 は 、 例えば列ごと に同一の色に発光する。 また、 こ の撥水膜を 形成する工程では、 同時に、 表示エ リ ア 1 ◦ 2 の外周に隔壁 1 3 0 と略同一の高さ を有する矩形枠状の支持部 3 0 0 を形 成する。
続いて、 隔壁 1 3 0 の開 口 によ り 露出された第 1 電極 6 0 上に、 例えばイ ンク ジエ ツ ト方式によ り発光材料を塗布する こ と によ り 、 有機発光層 6 4 を形成する。 続いて、 有機発光 層 6 4上に、 第 2電極 6 6 を形成する。 これによ り 、 有機 E L素子 4 0 を形成する。
一方、 封止基板 2 0 0 の四部 2 0 2 には、 乾燥剤 2 0 4 を 配置する。 続いて、 マザ一基板 5 0 0 上にシール材 4 0 0 を 塗布する。 こ こでは、 例えば支持部 3 0 0上に額縁状にシー ル材 4 0 0 を塗布する。 そ して、 露点管理された雰囲気内に おいて、 マザ一基板 5 0 0 の各表示エ リ ア 1 0 2 に対向する よ う に複数の封止基板 2 0 0 を封着する。 これによ り 、 マザ 一基板 5 0 0 と封止基板 2 0 0 と の間の密封空間に有機 E L 素子 4 0 を封止する。 この と き、 マザ一基板 5 0 0 上の支持 部 3 0 0 は、 封止基板 5 0 0 を支持している。 こ のため、 支 持部 3 0 0上に塗布されたシール材 4 0 0 は、 支持部 3 0 0 の両側に位置 してマザ一基板 5 0 0 と封止基板 2 0 0 と を接 着する。
こ の後、 マザ一基板 5 0 0 を有機 E L表示装置毎に単個サ ィズに切 り 出す。 すなわち、 鋭利なダイ ヤモン ド等の硬質部 材によって形成されたスク ライバによ り 、 マザ一基板 5 0 0 の表面に所定のカ ツ ト ライ ンをス ク ライプして、 カ ツ ト ライ ンに沿ったク ラ ック を形成する。 このカ ツ ト ライ ンに沿った ク ラ ックすなわちスク ライ プライ ン S L を形成した後、 プレ イ クバー と称する ゴム製の棒状部材によ り 、 スク ライ ブライ ン S Lに沿って均一に衝撃を加える。 これによ り 、 ス ク ライ ブライ ン S Lに沿って基板内部にク ラ ック を進行させ、 マザ 一基板 5 0 0 を分断する。
こ のよ う に、 1 枚のマザ一基板 5 0 0 から複数の有機 E L 表示装置を切 り 出す場合、 支持部 3 0 0 は、 スク ライ ブライ ン S Lの近傍に配置される こ と が望ま しい。 これによ り 、 マ ザ一基板 5 0 0 の切 り 出 し工程では、 支持部 3 0 0 が支点と な り 、 ス ク ライ ブ不良の発生を防止する こ と が可能と なる と と もに、 額縁サイズに余裕がない小型携帯端末用表示装置に おいても高精度に切 り 出すこ と が可能と なる。 また、 支持部 3 0 ◦ は、 ス ク ライ ブライ ン S L と ほぼ平行に配置される こ とがさ らに望ま しく 、 このよ う な配置によ ってさ らに高精度 なマザ一基板の分断が可能と なる。 さ らに、 図 5 に示 したよ う に、 複数の有機 E L表示装置が隣接するマザ一基板 5 0 0 の中央部付近では、 スク ライ プラ イ ン S L の両側に支持部 3 0 0 が位置 している こ とが望ま しい。 このよ う な配置によつ て、 さ ら に高精度なマザ一基板の分断が可能と なる。
また、 こ の支持部 3 0 0 は、 封止基板 2 0 0 の外周に沿つ た位置に額縁状に所定の幅を持って配置されてお り 、 こ の支 持部 3 0 0 を介 してア レイ基板 1 0 0及び封止基板 2 0 0 が 封着されている。 このため、 表示装置と しての全体の強度を 向上する こ とが可能と なる。
次に、 上述した構成の有機 E L素子の他の製造方法につい て説明する。 こ こでは、 2枚のマザ一基板を用いて複数の有 機 E L表示装置用セルを形成した後に、 それぞれのマザ一基 板から複数の有機 E L表示装置に対応するア レイ基板及び封 止基板を切 り 出す場合の製造方法について説明する。
すなわち、 図 6及ぴ図 7 に示すよ う に、 ア レイ基板用のマ ザ一基板 (第 1 マザ一基板) 5 0 0上に、 複数の表示エ リ ア 1 0 2及び駆動回路 1 0 7 、 1 0 8 を形成する。 続いて、 マ ザ一基板 5 0 0 上に、 各表示エ リ ア 1 0 2 の外周に指示部 3 0 0 を形成する。 続いて、 封止基板用マザ一基板 (第 2 マザ 一基板) 6 0 0 の各凹部 2 0 2 に、 乾燥剤 2 0 4 を配置する 。 続いて、 封止基板 2 0 0 に額縁状にシール材 4 0 0 を塗布 する。 そ して、 露点管理された雰囲気内でマザ一基板 5 0 ◦ にマザ一基板 6 0 0 を封着する。 この後、 マザ一基板 5 0 0 及び 6 0 0 を表示エ リ ア 1 0 2 毎に単個サイ ズに分断する。 これによ り 、 それぞれシール材 4 0 0 で封止されたア レイ基 板 1 0 0 及び封止基板 2 0 0 を備える有機 E L表示装置が切 り 出 される。
このよ う な製造方法においても、 先に説明 した製造方法と 同様の効果が得られる。
なお、 こ の発明は、 上述 した実施の形態だけに限定される ものではな く 、 その要旨を逸脱しない範囲で様々 に変形可能 である。
例えば、 額縁サィズに余裕が少ない小型携帯端末用表示装 置では、 ギャ ップ形成用の支持部 3 0 0 は、 表示エ リ ア 1 0 2 の外周に配置された各種駆動回路上に配置されても良い。 すなわち、 図 8 に示すよ う に、 支持部 3 0 0 は、 走査線駆動 回路や信号線駆動回路な どの各種駆動回路 7 0 0 の上に配置 されている。 この場合、 ア レイ基板 1 0 0 と封止基板 2 0 0 と をシール材 4 0 0 で封止する際や、 マザ一基板 5 0 0 ( 6 0 0 ) をス ク ライブする際、 支持部 3 0 0 を介して駆動回路 7 0 0 に圧力が力 Dえ られる。
従来のよ う に、 支持部 3 0 0 を配置する こ と な く シール材 4 0 0 にフ ァイ ノくを含有させてギャ ップを形成するための機 械的強度を確保していた構造では、 上述 したよ う な圧力が加 え られた際に、 駆動回路 7 0 0 にファイバが突き刺さ って駆 動回路 7 0 ◦ を破損するおそれがあった。
これに対 して、 図 8 に示したよ う に、 表示エ リ ア 1 0 2 の 外周にわたって支持部 3 0 0 を配置した構造では、 加え られ た圧力を支持部 3 0 0全体に分散する こ とができ、 駆動回路 7 0 0 の破損を防止する こ とができ る。 したがって、 額縁サ ィズが小さ な表示装置であっても、 高い信頼性を確保する こ とができ る。
上述した実施の形態では、 支持部 3 ◦ ◦ は、 表示エ リ ア 1 0 2 を囲むよ う に一連のループ状に形成 したが、 島状に配置 しても良い。 すなわち、 図 9 に示すよ う に、 表示エリ ア 1 0 2 の外周に沿って支持部 3 0 0 を島状に配置 し、 この支持部 3 0 0 に沿ってシール材 4 0 0 を設けても良い。
また、 支持部 3 0 0 は、 乾燥剤を含む樹脂材料によ って形 成 しても良い。 これによ り 、 外気に含まれる水分がア レイ基 板 1 0 0 と封止基板 2 0 0 と の間の密封空間内に浸入する こ と を効果的に防止する こ とが可能と なる。 この場合には、 必 ずしもシール材 4 0 0 に乾燥剤を含有させる必要はな く 、 ま た、 封止基板 2 0 0 の凹部 2 0 2 に乾燥剤 4 0 0 を配置する 必要もない。
また、 上述した実施の形態では、 ア レイ基板の下部に配置 された第 1 電極側から E L発光を取り 出すいわゆる下面発光 方式に適用 した場合について説明 したが、 こ の発明は、 上部 に配置した第 2電極側から E L発光を取り 出すいわゆる上面 発光方式にも適用でき る。
以上説明 したよ う に、 こ の表示装置及びその製造方法によ れば、 信頼性及び加工精度を向上する こ と が可能と なる。 ま た、 表示装置全体の機械的強度向上させる こ とが可能と なる 。 さ らに、 外部から水分等がシール材料を介 して浸入する の を確実に抑制する こ と が可能と な り 、 表示装置の劣化を効果 的に抑制する こ と が可能と なる。 また、 ア レイ基板と封止基 板と のギャ ップを均一に保持する こ と が可能と なる。
産業上の利用可能性
以上説明 したよ う に、 この発明によれば、 信頼性及び加工 精度を向上する こ と が可能な表示装置及びその製造方法を提 供する こ と ができ る。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . マ ト リ ク ス状に配置された複数の画素を有する 表示エ リ アを備えた第 1 基板と、
前記第 1 基板に対向 して配置された第 2 基板と 、 を備え、 前記第 1 基板は、
前記表示エ リ ァにおいて前記画素をそれぞれ分離する と と もに、 前記第 2基板から離間 して配置される隔壁と、
前記表示エ リ アの外周において、 前記第 1 基板と前記第 2 基板と の間に所定のギャ ップを形成する よ う 額縁状に配置さ れ、 前記隔壁と ほぼ同 じ高さ を有する支持部と、
を備えた こ と を特徴とする表示装置。
2 . 前記支持部は、 前記隔壁と 同一材料によって形成 されたこ と を特徴とする請求項 1 に記載の表示装置。
3 . 前記支持部は、 前記第 1 基板の前記表示エ リ アを 前記第 2基板と の間に封止する よ うループ状に形成されたこ と を特徴とする請求項 1 に記載の表示装置。
4 . 前記支持部は、 前記表示エ リ アの外周に島状に形 成されたこ と を特徴とする請求項 1 に記載の表示装置。
5 . 前記支持部は、 前記画素を駆動するための駆動回 路上に配置されたこ と を特徴とする請求項 1 に記載の表示装 置。
6 . 前記第 2基板は、 乾燥剤を備えたこ と を特徴とす る請求項 1 に記載の表示装置。
7 . 前記支持部は、 乾燥剤を含む樹脂によ って形成さ れたこ と を特徴とする請求項 1 に記載の表示装置。
8 . 前記画素は、 自 己発光型表示素子を含むこ と を特 徴とする請求項 1 に記載の表示装置。
9 . 前記自 己発光型表示素子は、 画素毎に独立島状に 形成された第 1 電極と、 前記第 1 電極に対向 して配置され全 画素に共通に形成された第 2電極と、 前記第 1 電極と前記第 2電極と の間に保持された発光層 と、 によ って構成されたこ と を特徴とする請求項 8 に記載の表示装置。
1 0 . 前記第 2基板は、 前記表示エ リ アに対向する凹部 を有する こ と を特徴とする請求項 1 に記載の表示装置。
1 1 . 前記支持部の両側に、 前記第 1 基板と前記第 2 基板 と を封止するシール材が配置されたこ と を特徴とする請求項 1 に記載の表示装置。
1 2 . 前記シール材は、 乾燥剤を含有する樹脂によ っ て形 成されたこ と を特徴とする請求項 1 1 に記載の表示装置。
1 3 . 表示エ リ アにマ ト リ ク ス状に配置された複数の表 示画素及び前記各表示画素を分離する隔壁と を備えた第 1 基 板と 、 前記第 1 基板に対向配置される第 2 基板と 、 前記第 1 基板及び前記第 2基板を封止するシール材と、 を備えた表示 装置の製造方法において、
複数の表示装置に対応した表示エリ ァを有するマザ一基板 に、 各表示エ リ アの外周に前記隔壁と略同一の高さ を有する 支持部を形成する工程と、
前記マザ一基板の前記各表示エ リ アに対向 し、 前記隔壁と 離間 し且つ前記支持部と接する よ う第 2基板を配置した状態 で前記シール材によ り 封止する工程と、 前記マザ一基板を前記各表示エ リ アに対応 して分断して前 記第 1 基板を切 り 出す工程と、 を備えたこ と を特徴とする表 示装置の製造方法。
1 4 . 前記隔壁と前記支持部と は同一工程で形成される こ と を特徴とする請求項 1 3 に記載の表示装置の製造方法。
1 5 . 前記シール材は、 前記支持部の両側に配置される こ と を特徴とする請求項 1 3 に記載の表示装置の製造方法。
1 6 . 前記支持部は、 前記マザ一基板を分断するため のス ク ライブライ ン近傍に配置される こ と を特徴とする請求項 1 3 に記載の表示装置の製造方法。
1 7 . 前記支持部は、 前記マザ一基板を分断するため のス ク ライ ブライ ンに略平行に配置される こ と を特徴とする請求 項 1 3 に記載の表示装置の製造方法。
1 8 . 表示エ リ アにマ ト リ ク ス状に配置された複数の表 示画素及び前記各表示画素を分離する隔壁と を備えた第 1 基 板と、 前記第 1 基板に対向配置される第 2 基板と 、 前記第 1 基板及び前記第 2基板を封止するシール材と、 を備えた表示 装置の製造方法において、
複数の表示装置に対応した表示エ リ アを有する第 1 マザ一 基板に、 各表示エ リ アの外周に前記隔壁と略同一の高 さ を有 する支持部を形成する工程と、
前記第 1 マザ一基板の前記各表示エ リ アに対向 し、 前記隔 壁と離間 し且つ前記支持部と接する よ う 第 2 マザ一基板を配 置した状態で前記シール材によ り 封止する工程と、
前記第 1 マザ一基板及び前記第 2マザ一基板を前記各表示 エ リ アに対応して分断して、 それぞれシー ル材で封止された 第 1 基板及び第 2基板を切 り 出す工程と、 を備えたこ と を特 徴とする表示装置の製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005078817A2 (en) * 2004-02-04 2005-08-25 Eastman Kodak Company Manufacture of flat panel light emitting devices

Families Citing this family (89)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6932760B1 (en) * 2002-11-21 2005-08-23 Stryker Corporation Autoclavable coupler for endoscopic camera system
US7792489B2 (en) 2003-12-26 2010-09-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device, electronic appliance, and method for manufacturing light emitting device
CN100452420C (zh) * 2003-12-30 2009-01-14 乐金显示有限公司 双板型有机电致发光器件及其制造方法
KR100615212B1 (ko) 2004-03-08 2006-08-25 삼성에스디아이 주식회사 평판 표시 장치
JP4486840B2 (ja) * 2004-03-26 2010-06-23 オプトレックス株式会社 表示装置及びその製造方法
JP2005340020A (ja) * 2004-05-27 2005-12-08 Hitachi Displays Ltd 有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびその製造方法
US7316756B2 (en) * 2004-07-27 2008-01-08 Eastman Kodak Company Desiccant for top-emitting OLED
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US7573547B2 (en) * 2004-09-27 2009-08-11 Idc, Llc System and method for protecting micro-structure of display array using spacers in gap within display device
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7701631B2 (en) 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US7184202B2 (en) * 2004-09-27 2007-02-27 Idc, Llc Method and system for packaging a MEMS device
TWI291309B (en) * 2004-10-28 2007-12-11 Pioneer Corp Organic electroluminescent display panel and method for manufacturing same
US7719496B2 (en) * 2004-11-23 2010-05-18 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic thin film transistor, method of manufacturing the same, and flat panel display device with the organic thin film transistor
US7916263B2 (en) 2004-12-02 2011-03-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
JP5244293B2 (ja) * 2004-12-02 2013-07-24 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
JPWO2006088185A1 (ja) * 2005-02-21 2008-08-07 京セラ株式会社 El表示装置およびその製造方法
JP2006277989A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Mitsubishi Electric Corp 表示装置の製造方法
US20060273309A1 (en) * 2005-06-03 2006-12-07 Jian Wang Workpiece including electronic components and conductive members
JP2007052395A (ja) * 2005-07-21 2007-03-01 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 表示装置
KR100636502B1 (ko) * 2005-08-31 2006-10-18 삼성에스디아이 주식회사 원장단위 검사가 가능한 유기 전계발광표시장치 및 그검사방법
US20070120478A1 (en) * 2005-11-28 2007-05-31 Au Optronics Corporation Double-sided display device and method of making same
TWI328213B (en) * 2005-12-16 2010-08-01 Chi Mei El Corp Plate display and pixel circuitry
US8038495B2 (en) 2006-01-20 2011-10-18 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and manufacturing method of the same
KR100673765B1 (ko) 2006-01-20 2007-01-24 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100635514B1 (ko) 2006-01-23 2006-10-18 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
JP4456092B2 (ja) 2006-01-24 2010-04-28 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP4624309B2 (ja) * 2006-01-24 2011-02-02 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100685853B1 (ko) 2006-01-25 2007-02-22 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
KR100688796B1 (ko) * 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제작 방법
KR100688795B1 (ko) 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100671641B1 (ko) 2006-01-25 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
US8164257B2 (en) 2006-01-25 2012-04-24 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display and method of fabricating the same
KR100671647B1 (ko) 2006-01-26 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치
KR100732808B1 (ko) * 2006-01-26 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치의 제조방법
JP4633674B2 (ja) 2006-01-26 2011-02-16 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100671643B1 (ko) * 2006-01-27 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법
KR100688790B1 (ko) * 2006-01-27 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100688789B1 (ko) * 2006-01-27 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법
KR100671639B1 (ko) * 2006-01-27 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
US7880382B2 (en) * 2006-03-08 2011-02-01 Toppan Printing Co., Ltd. Organic electroluminescence panel and manufacturing method of the same
KR100732817B1 (ko) 2006-03-29 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
WO2007120887A2 (en) * 2006-04-13 2007-10-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc Packaging a mems device using a frame
KR100703458B1 (ko) * 2006-04-20 2007-04-03 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제작 방법
KR101274785B1 (ko) * 2006-06-30 2013-06-13 엘지디스플레이 주식회사 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20080055243A (ko) * 2006-12-15 2008-06-19 삼성전자주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법
TWI306364B (en) * 2006-12-29 2009-02-11 Ind Tech Res Inst Flexible display panel device
JP2008218004A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Hitachi Displays Ltd 有機el表示装置
JP4952318B2 (ja) 2007-03-19 2012-06-13 セイコーエプソン株式会社 エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
KR101383713B1 (ko) * 2007-03-21 2014-04-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 제조 방법
JP5007598B2 (ja) * 2007-04-12 2012-08-22 ソニー株式会社 表示装置およびその製造方法
US8716850B2 (en) 2007-05-18 2014-05-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method for manufacturing the same
KR101378852B1 (ko) * 2007-09-12 2014-03-27 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
JP2009123645A (ja) * 2007-11-19 2009-06-04 Hitachi Displays Ltd 有機el表示装置およびその製造方法
KR100889682B1 (ko) * 2008-01-30 2009-03-19 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법
JP5099452B2 (ja) * 2008-12-15 2012-12-19 カシオ計算機株式会社 発光パネル及びその製造方法
GB2467547B (en) * 2009-02-04 2011-09-14 Cambridge Display Tech Ltd Organic optoelectronic devices and methods of making the same
KR101065402B1 (ko) * 2009-08-13 2011-09-16 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치
US8379392B2 (en) 2009-10-23 2013-02-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light-based sealing and device packaging
KR101074812B1 (ko) * 2010-01-05 2011-10-19 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광 표시 장치와 그 제조 방법
KR101127591B1 (ko) * 2010-04-01 2012-03-23 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시 장치 및 그 제조방법
JP5748192B2 (ja) * 2010-04-27 2015-07-15 Necライティング株式会社 有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法、および有機エレクトロルミネッセンス照明装置
KR20120065136A (ko) 2010-12-10 2012-06-20 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치와 이의 제조 방법 및 이의 제조 설비
JP5812887B2 (ja) * 2012-01-31 2015-11-17 株式会社沖データ 表示モジュール、表示装置、表示モジュールの製造方法、および表示装置の製造方法
TW201347167A (zh) * 2012-05-15 2013-11-16 Innocom Tech Shenzhen Co Ltd 有機發光二極體顯示裝置
JPWO2013172040A1 (ja) 2012-05-18 2016-01-12 株式会社Joled 表示パネルと表示パネルの製造方法
KR20140016170A (ko) * 2012-07-30 2014-02-07 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 밀봉체 및 유기 전계 발광 장치
US8883527B2 (en) * 2012-09-06 2014-11-11 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Organic light-emitting diode display panel and manufacturing method for the same
KR20140061095A (ko) * 2012-11-13 2014-05-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR102060061B1 (ko) * 2013-04-29 2019-12-30 삼성디스플레이 주식회사 유기 전계 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102134842B1 (ko) * 2013-07-12 2020-07-17 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 디스플레이 장치
KR20150011235A (ko) * 2013-07-22 2015-01-30 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조 방법
JP2015072770A (ja) * 2013-10-02 2015-04-16 株式会社ジャパンディスプレイ 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法
CN104037363A (zh) * 2014-06-17 2014-09-10 深圳市华星光电技术有限公司 基板的封装方法
CN104505465B (zh) * 2014-12-04 2016-06-29 深圳市华星光电技术有限公司 Oled封装结构及其封装方法
KR102360092B1 (ko) * 2015-01-22 2022-02-09 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR20180014363A (ko) * 2016-07-29 2018-02-08 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR102572341B1 (ko) 2016-07-29 2023-08-30 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
CN106784379A (zh) * 2016-12-29 2017-05-31 长春海谱润斯科技有限公司 一种有机发光显示面板及其制造方法
JP2018160538A (ja) * 2017-03-22 2018-10-11 富士通株式会社 電子機器
EP3632869B1 (en) * 2017-05-31 2021-06-23 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Method for producing glass panel unit, and method for producing glass window
KR102326221B1 (ko) * 2017-07-31 2021-11-12 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치 및 그 제조 방법
CN111149433A (zh) * 2017-09-29 2020-05-12 夏普株式会社 显示设备、显示设备的制造方法以及曝光装置
CN111165073A (zh) * 2017-09-29 2020-05-15 夏普株式会社 显示器件、曝光装置、显示器件的制造方法
KR102545065B1 (ko) * 2017-12-29 2023-06-16 엘지디스플레이 주식회사 전계 발광 표시장치
CN108598286B (zh) * 2018-07-03 2020-10-13 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种oled显示面板以及封装方法
CN110112323B (zh) 2019-06-14 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 一种oled封装结构、封装方法及显示器件
CN110429206B (zh) * 2019-08-07 2021-11-23 京东方科技集团股份有限公司 封装盖板、显示装置、显示面板及显示面板的封装方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1154285A (ja) * 1997-07-31 1999-02-26 Idemitsu Kosan Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子
JPH11121165A (ja) * 1997-10-17 1999-04-30 Chisso Corp 有機el素子
JP2000100561A (ja) * 1998-09-21 2000-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機エレクトロルミネセンス素子
JP2000173766A (ja) * 1998-09-30 2000-06-23 Sanyo Electric Co Ltd 表示装置
JP2000195675A (ja) * 1998-12-24 2000-07-14 Toppan Printing Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板および有機エレクトロルミネッセンス表示素子
JP2001076866A (ja) * 1999-09-08 2001-03-23 Toray Ind Inc 有機電界発光装置
JP2001126866A (ja) * 1999-10-22 2001-05-11 Stanley Electric Co Ltd 有機el表示装置の製造方法および該方法により製造された有機el表示装置
JP2001237067A (ja) * 2000-02-22 2001-08-31 Sharp Corp 有機発光素子の製造方法
JP2001345175A (ja) * 2000-06-01 2001-12-14 Stanley Electric Co Ltd 有機el表示装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09134781A (ja) * 1995-11-09 1997-05-20 Sharp Corp 薄膜エレクトロルミネッセンスパネルおよびその製造方法
CN1239396A (zh) * 1998-04-08 1999-12-22 Lg电子株式会社 有机电致发光装置
JP2000003783A (ja) * 1998-06-12 2000-01-07 Tdk Corp 有機el表示装置
JP2000195660A (ja) * 1998-12-25 2000-07-14 Tdk Corp 有機el素子
JP4246830B2 (ja) * 1999-01-14 2009-04-02 Tdk株式会社 有機el素子
JP2001102167A (ja) * 1999-09-29 2001-04-13 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロルミネッセンス表示装置
US6833668B1 (en) * 1999-09-29 2004-12-21 Sanyo Electric Co., Ltd. Electroluminescence display device having a desiccant
JP4776769B2 (ja) * 1999-11-09 2011-09-21 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置の作製方法
JP3928944B2 (ja) * 2001-08-23 2007-06-13 東北パイオニア株式会社 有機el表示パネル
JP3823916B2 (ja) * 2001-12-18 2006-09-20 セイコーエプソン株式会社 表示装置及び電子機器並びに表示装置の製造方法
TW515062B (en) * 2001-12-28 2002-12-21 Delta Optoelectronics Inc Package structure with multiple glue layers
JP3901127B2 (ja) * 2002-06-07 2007-04-04 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1154285A (ja) * 1997-07-31 1999-02-26 Idemitsu Kosan Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子
JPH11121165A (ja) * 1997-10-17 1999-04-30 Chisso Corp 有機el素子
JP2000100561A (ja) * 1998-09-21 2000-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機エレクトロルミネセンス素子
JP2000173766A (ja) * 1998-09-30 2000-06-23 Sanyo Electric Co Ltd 表示装置
JP2000195675A (ja) * 1998-12-24 2000-07-14 Toppan Printing Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板および有機エレクトロルミネッセンス表示素子
JP2001076866A (ja) * 1999-09-08 2001-03-23 Toray Ind Inc 有機電界発光装置
JP2001126866A (ja) * 1999-10-22 2001-05-11 Stanley Electric Co Ltd 有機el表示装置の製造方法および該方法により製造された有機el表示装置
JP2001237067A (ja) * 2000-02-22 2001-08-31 Sharp Corp 有機発光素子の製造方法
JP2001345175A (ja) * 2000-06-01 2001-12-14 Stanley Electric Co Ltd 有機el表示装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1473975A4 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005078817A2 (en) * 2004-02-04 2005-08-25 Eastman Kodak Company Manufacture of flat panel light emitting devices
WO2005078817A3 (en) * 2004-02-04 2005-10-06 Eastman Kodak Co Manufacture of flat panel light emitting devices

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003228302A (ja) 2003-08-15
US20060197446A1 (en) 2006-09-07
US20040150319A1 (en) 2004-08-05
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US7193366B2 (en) 2007-03-20
TW200308181A (en) 2003-12-16
CN100364133C (zh) 2008-01-23

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