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Brevets

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Numéro de publicationWO2004095135 A3
Type de publicationDemande
Numéro de demandePCT/US2004/011287
Date de publication9 déc. 2004
Date de dépôt12 avr. 2004
Date de priorité17 avr. 2003
Autre référence de publicationCN1774667A, EP1614000A2, EP1614000A4, EP1614000B1, US7414794, US7570431, US8018657, US8094379, US8599488, US8810915, US8953250, US9086636, US20060017900, US20070076303, US20090262322, US20090317751, US20120075609, US20140055762, US20140320833, US20150109595, WO2004095135A2
Numéro de publicationPCT/2004/11287, PCT/US/2004/011287, PCT/US/2004/11287, PCT/US/4/011287, PCT/US/4/11287, PCT/US2004/011287, PCT/US2004/11287, PCT/US2004011287, PCT/US200411287, PCT/US4/011287, PCT/US4/11287, PCT/US4011287, PCT/US411287, WO 2004/095135 A3, WO 2004095135 A3, WO 2004095135A3, WO-A3-2004095135, WO2004/095135A3, WO2004095135 A3, WO2004095135A3
InventeursW Thomas Novak
DéposantNippon Kogaku Kk, W Thomas Novak
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  Patentscope, Espacenet
Dispositif optique d'elements a mise au point automatique destine a etre utilise en lithographie par immersion
WO 2004095135 A3
Résumé
L'invention concerne une unité à mise au point automatique destiné à équiper un appareil lithographique en vue d'obtenir qu'un fluide présent sur une surface cible d'une pièce à travailler et un modèle d'image soient projetés sur ladite surface cible au travers dudit fluide. L'unité à mise au point automatique comprend un élément optique, telle qu'une lentille de projection, disposée à l'opposé et au-dessus de la surface cible. Une source lumineuse de mise au point automatique est arrangé pour protéger de manière oblique un faisceau lumineux selon un angle spécifié, de sorte que ce faisceau lumineux traverse le fluide et soit réfléchi par la surface cible de la pièce à travailler au niveau d'une position de réflexion située en dessous de l'élément optique. Un récepteur reçoit et analyse la lumière réfléchie. Des lentilles de correction peuvent être disposées sur le parcours optique du faisceau lumineux pour corriger la propagation de ce dernier.
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Classifications
Classification internationaleG03F9/00, G03F7/20
Classification coopérativeG03F7/70641, G03F9/7026, G03F7/2041, G03F9/7034, G03F7/70958, G03F7/70341, G03F7/70258
Classification européenneG03F9/70B6L, G03F7/70F24, G03F9/70B6F, G03F7/70L10F, G03F7/70P10B, G03F7/20F
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
4 nov. 2004AKDesignated states
Kind code of ref document: A2
Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW
4 nov. 2004ALDesignated countries for regional patents
Kind code of ref document: A2
Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG
29 déc. 2004121Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
26 sept. 2005WWEWipo information: entry into national phase
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14 oct. 2005WWEWipo information: entry into national phase
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17 oct. 2005WWEWipo information: entry into national phase
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28 déc. 2005WWPWipo information: published in national office
Ref document number: 1020057019798
Country of ref document: KR
11 janv. 2006WWPWipo information: published in national office
Ref document number: 2004759834
Country of ref document: EP
26 janv. 2006WWPWipo information: published in national office
Ref document number: 11234279
Country of ref document: US