WO2005104293A1 - フォトニック結晶デバイス - Google Patents

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WO2005104293A1
WO2005104293A1 PCT/JP2005/007014 JP2005007014W WO2005104293A1 WO 2005104293 A1 WO2005104293 A1 WO 2005104293A1 JP 2005007014 W JP2005007014 W JP 2005007014W WO 2005104293 A1 WO2005104293 A1 WO 2005104293A1
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WO
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photonic crystal
lattice
crystal device
dielectric
substrate
Prior art date
Application number
PCT/JP2005/007014
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English (en)
French (fr)
Inventor
Ushio Sangawa
Tomoyasu Fujishima
Hiroshi Kanno
Kazuyuki Sakiyama
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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Filing date
Publication date
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Priority to US12/501,093 priority patent/US7764861B2/en

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/201Filters for transverse electromagnetic waves
    • H01P1/203Strip line filters
    • H01P1/2039Galvanic coupling between Input/Output
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/2005Electromagnetic photonic bandgaps [EPB], or photonic bandgaps [PBG]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/201Filters for transverse electromagnetic waves
    • H01P1/2013Coplanar line filters

Definitions

  • the present invention relates to a photonic crystal device having a variable photonic crystal structure.
  • a photonic crystal having the simplest structure is manufactured by alternately laminating two types of dielectric thin films having mutually different dielectric constants.
  • the configuration of the one-dimensional photonic crystal disclosed in Non-Patent Document 1 will be described with reference to FIG.
  • the illustrated one-dimensional photonic crystal 1201 has a low dielectric constant layer 1202 and a high dielectric constant layer 1203 alternately stacked.
  • the low dielectric constant layer 1202 and the high dielectric constant layer 1203 are formed from a dielectric material that transmits an electromagnetic wave 1204.
  • a unit lattice (lattice constant a) of a photonic crystal is formed by a pair of a low dielectric constant layer 1202 and a high dielectric constant layer 1203, and a plurality of unit lattices are formed in the z-axis direction.
  • a one-dimensional periodic structure is formed by arranging along.
  • the frequency band (forbidden frequency band) in which the electromagnetic wave 1204 cannot be transmitted is called a photonic band gap (Photonic Band Gap: PBG).
  • PBG has properties similar to the band gap of electrons in a normal crystal, and depends on the structure of the photonic crystal.
  • the frequency band of the PBG in the one-dimensional photonic crystal 1201 changes depending on the dielectric constant of the low dielectric constant layer 1202 and the high dielectric constant layer 1203 and the magnitude of the lattice constant a.
  • a certain interfacial force also causes an electromagnetic wave 1204 to be reflected from each interface.
  • the reflected waves all reinforce each other, and the photonic crystal 1201 as a whole produces a strong reflected wave.
  • the photonic crystal 1201 has zero transmitted waves due to the fact that it is a passive circuit and the law of conservation of energy, so that a PBG is formed.
  • the characteristics of the photonic crystal are applied not only in the optical field but also in various fields.
  • the high frequency field it is being applied as a structure for improving the radiation characteristics of an antenna and reducing crosstalk between lines.
  • Non-Patent Document 1 John D. Joannopoulos, Robert D. Meadeand Joshua N. Winn, Toshitaka Fujii, Mitsuteru Inoue "Photonic Crystals: One Fitting the Flow of Light", Corona, first published October 23, 2000 1st print, ISBN4- 339- 00727-7, page 42 Figure 3 Disclosure of the invention
  • the conventional photonic crystal has a problem that the lattice constant a cannot be dynamically changed. That is, the appearance frequency of PBG cannot be changed at any time.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and a main object of the present invention is to provide a photonic crystal device that can easily change an appearance frequency band of a PBG. .
  • the photonic crystal device of the present invention includes a first dielectric substrate having a first lattice structure in which a dielectric constant periodically changes in a first plane; A second dielectric substrate having a second lattice structure in which the dielectric constant periodically changes in a plane, and a relative position between the first lattice structure and the second lattice structure; A movable portion that changes a photonic band structure formed by the first lattice structure and the second lattice structure by changing a physical arrangement relationship, wherein the first dielectric substrate and the A second dielectric substrate is laminated.
  • the semiconductor device further includes a third dielectric substrate arranged at a position facing at least one of the first and second dielectric substrates.
  • the third dielectric substrate has a dielectric layer and a conductor pattern supported by the dielectric layer.
  • a ground conductor layer is further provided, and at least one of the first and second dielectric substrates is located between the third dielectric substrate and the ground conductor layer.
  • At least a part of the conductor pattern functions as a microstrip line.
  • At least a part of the conductor pattern functions as a microstrip antenna.
  • the movable section is provided on the first and second dielectric substrates. At least one can be rotated.
  • the movable portion can rotate the third dielectric substrate.
  • the dielectric substrate rotated by the movable portion has a disk shape.
  • the movable section has a motor.
  • first and second grating structures are each
  • first and second lattice structures each include the first and second lattice structures.
  • the uneven pattern force formed on the first and second dielectric substrates is formed.
  • each of the first and second lattice structures is a one-dimensional lattice.
  • each of the first and second lattice structures is a combination of a plurality of one-dimensional lattices arranged in different directions.
  • the first and second lattice structures each include a curved pattern that is curved in the plane.
  • the first and second dielectric substrates have a different lattice structure for each in-plane region.
  • At least one of the first and second dielectric substrates has a conductor line for transmitting an electromagnetic wave.
  • the photonic crystal device of the present invention can change the relative positional relationship between at least two dielectric substrates having a lattice structure, so that a photonic band formed by a composite lattice structure is formed.
  • the structure can be dynamically controlled. As a result, the frequency band in which the photonic band structure appears can be freely changed.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a photonic crystal device according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 shows a lattice pattern of a photonic crystal device according to Embodiment 1 of the present invention. It is a top view.
  • FIG. 3 is a diagram schematically illustrating a specific configuration example of the photonic crystal device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a graph showing the frequency dependence of the passing loss that the grating pattern shown in FIG.
  • FIG. 6 is a perspective view of the one-dimensional lattice substrate according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view showing another example of the one-dimensional lattice substrate in Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 8 is a plan view showing a fine structure of a two-dimensional lattice pattern included in the photonic crystal device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a plan view showing a two-dimensional lattice pattern of the photonic crystal in Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 10 is a plan view showing another example of the two-dimensional lattice pattern of the photonic crystal in Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 11 is a perspective view showing a lattice rotating mechanism according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 12 is a perspective view showing a method of rotating a grid using a hand as a power source.
  • FIG. 13 is a perspective view showing a lattice rotating mechanism according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 14 is a perspective view showing a lattice rotating mechanism according to Embodiment 4 of the present invention.
  • FIG. 15 is a perspective view showing a lattice rotating mechanism according to Embodiment 5 of the present invention.
  • FIG. 16 is a perspective view showing a lattice rotating mechanism according to Embodiment 6 of the present invention.
  • FIG. 17 is a perspective view showing a photonic crystal device according to Embodiment 7 of the present invention.
  • FIG. 18 is a perspective view showing a photonic crystal device according to Embodiment 8 of the present invention.
  • FIG. 19 is a perspective view showing a photonic crystal device according to Embodiment 9 of the present invention.
  • FIG. 20 is a perspective view showing a configuration of an apparatus incorporating a photonic crystal device according to Embodiment 9 of the present invention.
  • FIG. 21 is a perspective view showing a modified example of the photonic crystal device according to Embodiment 9 of the present invention.
  • FIG. 22 is a perspective view showing another modified example of the photonic crystal device according to Embodiment 9 of the present invention.
  • FIG. 23 is a perspective view showing a photonic crystal device according to Embodiment 10 of the present invention.
  • FIG. 24 are perspective views showing various examples of a circuit board according to Embodiment 10 of the present invention. [FIG.
  • FIG. 25 (a), (b), (c) and (d) are perspective views each showing a modified example of the photonic crystal device in the tenth embodiment of the present invention.
  • FIG. 26 (a), (b), (c), and (d) are perspective views each showing another modified example of the photonic crystal device in Embodiment 10 of the present invention.
  • FIG. 27 is a perspective view showing still another modification of the photonic crystal device according to Embodiment 10 of the present invention.
  • FIG. 28 is a perspective view showing a conventional one-dimensional photonic crystal.
  • the photonic crystal device of the present invention has a first dielectric substrate having a first lattice structure in which a dielectric constant periodically changes in a first plane, and a dielectric constant in a second plane.
  • a photonic band structure is formed by a combination (lamination) of the first and second lattice structures, and the photonic band structure can be dynamically changed. Wear. More specifically, the photonic crystal device of the present invention includes a movable portion that can change a relative arrangement relationship between the stacked first lattice structure and the second lattice structure. By adjusting the relative positional relationship between the first lattice structure and the second lattice structure, it is possible to change the photonic band structure.
  • first and second dielectric substrates are in a rotatable state.
  • the first and second dielectric substrates may have, for example, a force having a one-dimensional or two-dimensional lattice structure in which conductor lines are periodically arranged on the surface, or may have another periodic structure. .
  • first and second dielectric substrates may be referred to as “first lattice substrate” and “second lattice substrate”, respectively.
  • the “lattice substrate” broadly includes a substrate whose effective permittivity changes periodically in a direction parallel to the surface. This period is defined according to the operating frequency of the photonic crystal device of the present invention. More specifically, the above-mentioned period is a design parameter determined based on the usage state of the photonic crystal device using the following equations. This period is set to be equal to or less than half the effective propagation wavelength of the electromagnetic wave passing through the photonic crystal device at the upper limit of the operating frequency.
  • a lattice substrate whose effective permittivity changes periodically along a certain direction parallel to the surface of the dielectric substrate is referred to as a “one-dimensional lattice substrate”.
  • a lattice substrate in which the effective permittivity periodically changes along a different direction in each region is also referred to as a ⁇ one-dimensional lattice substrate '' in this specification. I do.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a photonic crystal device 101 of the present embodiment.
  • the photonic crystal device 101 has a structure in which four plate-like or layer-like members (hereinafter, referred to as “plate-like members”) are stacked.
  • Each of the four plate members is a circuit board ( The first lattice substrate (thickness: t2) 104, the second lattice substrate (thickness: t3) 105, and the ground plate 106.
  • t2 The first lattice substrate
  • t3 the second lattice substrate
  • ground plate 106 the ground plate 106.
  • each of the plate-like members is described as being widely separated, but actually, these members are arranged in a state of being close to or in contact with each other.
  • the circuit board 102 has a dielectric base (dielectric layer) and a linear conductor line 103 formed on the upper surface thereof.
  • Each of the first and second lattice substrates 104 and 105 has a dielectric base (dielectric layer) and a one-dimensional lattice provided on one surface.
  • the ground plate 106 is formed from a conductive material such as a metal.
  • the thicknesses tl, t2, and t3 of the circuit board 102, the first lattice substrate 104, and the second lattice substrate 105 are determined so as to satisfy the following equation (1).
  • f [GHz] is the upper limit of the operating frequency of the photonic crystal device of the present invention
  • is the average dielectric constant of each substrate.
  • the upper limits of tl, t2, and t3 are determined based on Equation 1 above.
  • the lower limit of the force is defined by mechanical strength. If the dielectric base is too thin, the mechanical strength of the substrate is significantly reduced.
  • the dielectric base of the circuit board 102, the first lattice substrate 104, and the second lattice substrate 105 is formed of a dielectric material exhibiting low dielectric loss at an operating frequency in order to suppress energy dissipation due to dielectric loss. It is preferred to be ⁇ .
  • the dielectric material of the substrates 102, 104, and 105 may be, for example, fluorine resin, alumina ceramics, fused quartz, sapphire, It is preferably selected from silicon and GaAs.
  • the dielectric bases of the laminated substrates 102, 104, and 105 have the same dielectric constant and It preferably has a magnetic permeability.
  • the conductor line 103 of the circuit board 102 operates as a microstrip line with the ground plate 106 as a ground.
  • the high-frequency signal also receives one end force of the conductor line 103 and outputs the other end force of the conductor line 103.
  • a uniform dielectric layer ( It is assumed that the thickness t2 + t3) is inserted between the circuit board 102 and the ground plate 106.
  • the conductor line 103 is formed on the upper surface of a single dielectric substrate having a thickness of tl + t2 + t3, and operates similarly to the microstrip line in which the ground plate 106 is attached to the lower surface. Will be.
  • the dielectric portion of the microstrip line has the photonic crystal, and the force of the band structure of the photonic crystal is changed later.
  • the first lattice substrate 104 and the second lattice substrate 105 are variably controlled by changing the relative positional relationship.
  • a microstrip line is capable of transmitting signals in a wide frequency band, and does not exhibit particularly remarkable wavelength selectivity.
  • the energy of the electromagnetic field generated when a high-frequency signal propagates through the microstrip line is mainly confined inside the dielectric layer sandwiched between the conductor line 103 and the ground plate 106, so that the photonic crystal Structure exists in the dielectric part! Accordingly, the propagation state of a signal flowing through the conductor line 103 can be greatly affected. By utilizing this, it is possible to provide a function of preventing propagation of a high-frequency signal in a specific wavelength band.
  • Each of the first lattice substrate 104 and the second lattice substrate 105 shown in Fig. 1 has a disk shape of the same size and has an axis passing through the center of the substrate (hereinafter, referred to as "z axis"). )). Both the first lattice substrate 104 and the second lattice substrate 105 are parallel in an xy plane perpendicular to the z-axis.
  • the first and second lattice substrates 104 and 105 of the present embodiment each have a one-dimensional lattice structure in which stripe-shaped conductor lines are periodically arranged.
  • the angle formed by the two sets of striped conductor lines can be changed to an arbitrary size.
  • the surface of the first lattice substrate 104 on which the one-dimensional lattice structure is formed (the lower surface) faces the surface of the second lattice substrate 105 on which the one-dimensional lattice structure is formed (the upper surface).
  • FIG. 2 is a diagram showing a composite lattice pattern obtained by the first and second lattice substrates 104 and 105, and is a plan view in which this lattice pattern is projected on an xy plane.
  • the grid spacing of the first grid substrate 104 is dl
  • the grid spacing of the second grid substrate 105 is d2.
  • the arrangement period and arrangement direction of points where the two lattice patterns intersect depend on the lattice intervals dl, d2, and the angle ⁇ .
  • the lattice vectors al and a2 are respectively given by the following equations.
  • the lattice pattern shown in FIG. 2 corresponds to a two-dimensional orthorhombic lattice having lattice constants
  • the wave number vector has translational symmetry in the reciprocal lattice space in units of a reciprocal lattice vector corresponding to al and a2.
  • the ratio of the wave vector of a high-frequency signal propagating on a microstrip line formed on a uniform dielectric substrate to the wave vector of an electromagnetic wave propagating in free space at the same frequency depends on the frequency dependence of the dielectric substrate. , It cannot have a strong frequency dependence. However, when a lattice structure of a photonic crystal is added to a dielectric substrate, translation symmetry of a wave number vector occurs, so that the ratio of the wave number vector has a strong frequency dependence and direction dependence.
  • PBG photonic band gap
  • the frequency range of the PBG is an electric field formed by a high-frequency signal propagating on the microstrip line. It depends on the magnitude of the interaction between the magnetic field and the lattice points (unit lattice). The greater this interaction, and consequently the higher the scattered wave intensity, the more PBG occurs over a wider frequency range.
  • the frequency range of the PBG depends on the translational symmetry in the reciprocal lattice space.
  • the symmetry is determined by the lattice structure. Therefore, the PBG can be changed by changing the lattice structure.
  • the change in the lattice structure can be performed by changing the relative arrangement relationship (typically, the angle ⁇ ) between the first lattice substrate 104 and the second lattice substrate 105.
  • the two-layer lattice structures located at different levels are combined to form a photonic crystal structure.
  • the two-layer lattice structures need not be in contact with each other. That is, the distance g between the two lattice planes can be set freely within a range satisfying the following relationship.
  • an upper limit value h of the entire substrate thickness is estimated from the right-hand side of the equation (1).
  • tl, t2, and t3 are determined from the mechanical strength.
  • an appropriate d can be determined. For example, when an alumina substrate is used, the situation is as follows in a situation where a high-frequency signal having a frequency of about 30 GHz is processed.
  • the dielectric substrate used in the present embodiment has a dielectric constant of 2.17 and a dielectric tangent of 0.001.
  • the total thickness (tl + t2 + t3) of the dielectric layers of the microstrip line is set to 127 + 127 m.
  • the upper layer thickness of 127 m is the thickness of the circuit board 102 tl and the first grid substrate.
  • the value is the sum of the thickness t2 of the second lattice substrate 105 and the thickness t2 of the second lattice substrate 105.
  • the ground plate is omitted for simplicity, and the thickness of the grid pattern is ignored.
  • the width of the conductor line 103 on the circuit board 102 is set to about 0.8 mm so that the impedance becomes 50 ⁇ .
  • Each of these conductor lines can be formed by patterning 18 / zm thick copper foil by photolithography.
  • the angle between the longitudinal direction of the conductor line 103 and the lattice direction on the first lattice substrate 104 is set to 0 1
  • the angle between the longitudinal direction of the conductor line 103 and the lattice direction on the second lattice substrate 105 is Angle ⁇ 2.
  • a grid pattern can be defined by a set of two angles (01, ⁇ 2).
  • the characteristics of the photonic crystal in the arrangement shown in FIGS. 4 (a) to 4 (c) were determined by electromagnetic field analysis.
  • the analysis was performed using an electromagnetic field analysis simulator IE3DRelease 10 manufactured by Zeland Softwarelnc.
  • IE3DRelease 10 manufactured by Zeland Softwarelnc.
  • a substrate structure plane size: 5 mm x 10 mm
  • the number of mesh divisions required for performing the calculation was set to 20 lines / one wavelength. This “one wavelength” is equal to the wavelength (approximately 3.4 mm) of an electromagnetic wave propagating at 50 GHz in a space filled with the same dielectric as the dielectric constituting the dielectric substrate.
  • FIG. 5 is a graph showing the frequency dependence of the passing loss (Insertion loss) obtained for the conductor line 103 of the photonic crystal device on which each of the lattice patterns shown in FIGS. 4A to 4C is formed. It is.
  • the frequency range where the pass loss is relatively high corresponds to PBG.
  • the PBG has a photonic crystal centered around a frequency corresponding to a half wavelength of a high-frequency signal.
  • the wave number in a crystal largely depends on the wave propagation direction in a reciprocal lattice space.
  • the above difference occurs because the direction of the conductor line 103 with respect to the lattice determines the propagation direction of the wave (high-frequency signal). Therefore, even after the relative positional relationship between the first lattice substrate and the lower one-dimensional lattice substrate is fixed, the PBG is dynamically and adaptively changed by changing the direction of the conductor line 103 with respect to both substrates. It is also possible
  • first grid substrate 104 and the second grid substrate 105 do not need to be in contact with each other.
  • Another dielectric layer may be present between the lower surface of the first lattice substrate 104 and the upper surface of the second lattice substrate 105.
  • the lattice pattern of the first lattice substrate 104 is a force formed on the lower surface of the dielectric base.
  • This lattice pattern may be formed on the upper surface of the dielectric base. It may be formed on both the upper surface and the lower surface.
  • the ground plate 106 does not need to be formed from a component that can be separated from the second grid substrate 105.
  • the ground plate 106 may be fixed to the lower surface of the second grid substrate 105.
  • FIG. 6 shows another example of a lattice substrate that can be used in the photonic crystal device of the present invention.
  • This one-dimensional lattice substrate has a periodic dielectric constant modulation structure on the surface.
  • This dielectric constant modulation structure is manufactured by forming stripe-shaped grooves arranged at regular intervals on the upper surface of a dielectric substrate 107 having a dielectric constant of ⁇ 1, and filling the grooves with a material having a dielectric constant of ⁇ 2.
  • Figure 7 shows a grid substrate in which the inside of the groove of the dielectric substrate 107 is not filled. Is shown.
  • FIG. 8 is a plan view showing another example of the lattice pattern.
  • This grating pattern has a microstructure with a higher spatial frequency in addition to the basic periodic arrangement.
  • FIG. 8 shows a lattice pattern obtained by superimposing the lattice pattern of the first lattice substrate 104 and the lattice pattern of the second lattice substrate 105.
  • the frequency of the PBG is determined by the lattice vector, even if it has a fine structure, if the lattice vector is invariable, a large change does not occur in the appearance frequency band of the PBG.
  • the distribution of atoms in a unit cell in a normal crystal determines the structural factors of Laue spots in X-ray diffraction experiments.
  • by providing a microstructure in a photonic crystal it is possible to change the “microstructure” such as the PBG bandwidth and the wavenumber in a frequency band close to the PBG.
  • FIG. 9 is a plan view showing still another example of the lattice pattern.
  • This lattice pattern is constituted by a periodic arrangement of curved lines.
  • the lattice symmetry of the photonic crystal has a distribution in the plane of the dielectric substrate.
  • the PBG can be changed so that the actual crystal band structure changes with strain applied to the crystal.
  • the orientation and position of the distribution of lattice strain are two variables that express the state in addition to the two lattice vectors.
  • the control of the distribution and orientation of the lattice strain adjusts the relative positional relationship between the first lattice substrate 104 and the second lattice substrate 105 by not only “rotational movement” but also “translational movement”. It can be done by doing.
  • FIG. 10 is a plan view showing still another example of the lattice pattern.
  • This lattice pattern has a different lattice structure depending on the region.
  • a “polycrystalline” photonic crystal can be formed.
  • a transmitter, a frequency synthesizer, and the like require a high-frequency circuit in which elements operating in a plurality of frequency bands are mixed.
  • a circuit part operating in each frequency band is arranged in a crystal region that expresses PBG in the operating frequency band.
  • the photonic crystal device of the present embodiment has a movable part (movable mechanism) that changes the “angle ⁇ ” shown in FIG.
  • the rectangular second grid substrate 105 and the ground plate 106 are integrated, and are immovable together with the circuit board 102. In these, only the first grid substrate 104 fixed to a casing (not shown) can rotate.
  • the first lattice substrate 104 includes a dielectric substrate 301 provided with a circular opening, and a dielectric substrate 301.
  • the thickness of the dielectric substrate 301 is equal to the thickness of the rotating grating 302, and the dielectric substrate portion of the rotating grating 302 is formed of the same dielectric material as the dielectric material forming the dielectric substrate 301. Is preferred.
  • the inner diameter of the opening of the dielectric substrate 301 is slightly larger than the outer diameter of the rotating lattice 302, so that the rotating element 302 can rotate smoothly.
  • the rotating lattice 302 has a pivot 303 on the upper surface.
  • the circuit board 102 is provided with a slit 304 through which the pivot 303 penetrates.
  • the groove width of the slit 304 defines the shape of the slit 304 so that the pivot 303 can move a part of the circumference with the rotation of the rotating lattice 302 larger than the outer diameter of the pivot 303.
  • the rotating grating 302 When the rotating grating 302 is rotated in this manner, the translation symmetry of the grating pattern (FIG. 2) formed by the first grating substrate 104 and the second grating substrate 105 changes. Accordingly, the structure of the photonic crystal formed by the first lattice substrate 104 and the second lattice substrate 105 changes dynamically. For example, when adjusting the passage characteristic of the conductor line 103 for a high-frequency signal, by rotating the rotating grating 302 by the pivot 303, the frequency band in which the PBG appears can be changed to a desired range.
  • a signal having a frequency f When both unnecessary signals having the frequency f ′ are input to the conductor line 103, the appearance frequency of the PBG can be adjusted to f by rotating the rotating grating 302. When such an adjustment is made, it becomes possible to extract a signal from which unnecessary signals have been removed by the function of the PBG.
  • a communication device includes a non-linear element such as a transmitter
  • the frequency and intensity of an unnecessary signal generated by the non-linear element vary from product to product. Therefore, in order to guarantee the accuracy of communication quality, it is necessary to make adjustments to remove unnecessary signals for each communication device when manufacturing the communication device. Variations in characteristics that occur from device to device are particularly large when handling high-frequency signals in the millimeter-wave band, which causes an increase in the manufacturing cost of communication equipment in the millimeter-wave band.
  • the photonic crystal device according to the present invention When the photonic crystal device according to the present invention is used as a variable filter and inserted into a high-frequency circuit, the photonic crystal structure is variable, so that unnecessary signals can be removed in different frequency ranges depending on each device. Becomes easier.
  • the photonic crystal structure is changed for initial adjustment at the time of manufacturing the device, it is sufficient to drive the rotating grating 302 manually.
  • FIG. 12 schematically shows how the rotating grating 302 is rotated with the hand 3101.
  • FIG. 13 shows an embodiment of a photonic crystal device provided with a rotation mechanism using a motor as a power source.
  • the configuration of the present embodiment is the same as the configuration of the photonic crystal device shown in FIG. 11 except for the rotation mechanism. Therefore, in the following, this embodiment Only the rotation mechanism in the state will be described.
  • the motor 3204 is attached to a pivot 3202 force motor 3204 in which the rotational axis force is also eccentric.
  • Pivot 3202 is connected to pivot 303 via crank 3203.
  • a fixed shaft 3201 is provided near the center of the crank 3203.
  • the rotation of the crank 3203 changes the position of the pivot 303, so that the one-dimensional lattice substrate rotates.
  • the control accuracy of the rotation angle of the grid pattern is determined by the control accuracy of the pivot 303. It is desirable that the motor 3204 can control the rotation angle with high accuracy.
  • a stepping motor such as a nose motor is suitable.
  • the number of rotations of the motor 3204 required to make the pivot 303 make one reciprocation (hereinafter referred to as "reduction ratio") is one. Therefore, positioning of rotating grating 302 shown in FIG. 11 can be performed at high speed.
  • FIG. 14 shows another embodiment of a photonic crystal device provided with a rotation mechanism using a motor as a power source.
  • the configuration of the present embodiment is also the same as the configuration of the photonic crystal device shown in FIG. 11 except for the rotation mechanism. For this reason, only the rotation mechanism in the present embodiment will be described below.
  • a small spur gear 3301 is connected to the motor 3204.
  • a large spur gear 3302 is fixed to the rotating lattice 302 via a pivot 303.
  • the large spur gear 3302 is engaged with the small spur gear 3301.
  • FIG. Figure 15 shows a photonic crystal device with a rotating mechanism powered by a motor.
  • 7 shows still another embodiment of the vise.
  • the configuration of the present embodiment is also the same as the configuration of the photonic crystal device shown in FIG. 11 except for the rotation mechanism. Therefore, only the rotation mechanism in the present embodiment will be described below.
  • the worm gear 3401 is connected to the output shaft of the motor 3204. ⁇ Ohm gear 3401 is engaged with large spur gear 3302. According to such a mechanism, since the reduction ratio is very large, the rotation angle of the rotating grating can be controlled with high accuracy even if the rotation accuracy of the motor 3204 is low. Therefore, an inexpensive motor such as a servomotor may be used.
  • a larger driving force can be applied to rotating grating 302 as compared with the examples shown in FIGS.
  • the rotating lattice 302 also receives a frictional force with another substrate force, the configuration of the present embodiment is effective.
  • FIG. 16 shows still another embodiment of a photonic crystal device provided with a rotation mechanism using a motor as a power source.
  • the configuration of the present embodiment is also the same as the configuration of the photonic crystal device shown in FIG. 11 except for the rotation mechanism. Therefore, only the rotation mechanism in the present embodiment will be described below.
  • an ultrasonic motor 3501 composed of a piezoelectric material on a circular arc is incorporated.
  • the upper surface of the piezoelectric body in the ultrasonic motor 3501 is in contact with the lower surface of the circuit board 102.
  • a traveling wave for the bending mode of the piezoelectric body is generated in the longitudinal direction of the piezoelectric body.
  • a driving force is generated in a direction opposite to the traveling direction of the traveling wave due to a frictional force between the upper surface of the piezoelectric body and the lower surface of the circuit board 102. With this driving force, the rotating grid 302 can be rotated.
  • This embodiment has an advantage that the required number of components is relatively reduced.
  • FIG. 17 shows a photonic crystal device of the present invention functioning as a microstrip antenna.
  • the circuit board of the photonic crystal device of the present embodiment is provided with an antenna 701 connected to the end of the microstrip line.
  • a normal microstrip antenna has a large E-plane directivity in a direction parallel to the surface of the dielectric substrate. For this reason, in a microstrip antenna, power leakage occurs and directivity is low immediately.
  • the photonic crystal is disposed between the antenna 701 and the ground plate, it is possible to suppress the E-plane directivity parallel to the substrate surface. Also, by forming a PBG in a band including the resonance frequency of the antenna 701, good communication characteristics can be realized in all operation modes.
  • FIG. 18 shows a photonic crystal device of the present invention functioning as a variable band stop filter.
  • the photonic crystal device (small variable filter) 3604 of the present embodiment is inserted into a part of a well-known high-frequency circuit having a configuration similar to the configuration shown in FIG. Only signals in the frequency range can be filtered and attenuated.
  • a MEMS motor 3601 is used as a power source.
  • MEMS is an abbreviation for Micro-Electro-Mechanical System.
  • the MEMS motor 3601 is manufactured using a known semiconductor process. Since the device area in which the PBG can be expressed in the millimeter wave band is 10 mm X IO mm or less, a motor miniaturized by MEMS technology can be suitably used.
  • the small variable filter 3604 can be mounted on a circuit board by a known surface mounting technique. Specifically, first, a motherboard 3603 having a concave portion or an opening having a shape and a size capable of accommodating the small variable filter 3604 is prepared. It is preferable that the thickness of the motherboard 360 3 be substantially equal to the thickness of the small variable filter 3604. The small variable filter 3604 is inserted into the above-mentioned concave portion or opening of the mother board 3603. After that, the ground plate 106 of the small variable filter 3604 is electrically connected to the ground of the motherboard 3603 via solder or silver paste. Next, the conductor line 103 of the small variable filter 3604 is connected to the signal line of the motherboard 3603 by wire bonding 3602. In the example shown in FIG.
  • the present invention can be used in various applications as long as it acts on a laminated dielectric substrate functioning as an electromagnetic field photonic crystal formed by a signal propagating along a substrate.
  • a ninth embodiment of the photonic crystal device according to the present invention will be described with reference to FIG. 19 and FIG.
  • the photonic crystal device of the present embodiment differs from the photonic crystal device shown in FIG. 1 in that a circuit board 102 is inserted between first and second lattice substrates 104 and 105. Otherwise, they have the same configuration.
  • the high-frequency signal guided by the conductor line 103 on the circuit board 102 forms an electromagnetic field not only below the conductor line 103 but also above it. For this reason, as shown in FIG. 19, a pair of one-dimensional gratings 104 and 105 are arranged so as to sandwich the circuit board 102 from above and below, so that PBG can be developed.
  • the method and mechanism for changing the relative arrangement of the lattice substrates 104 and 105 are as described above.
  • FIG. 20 shows a schematic configuration of the present embodiment.
  • the ground plate 106, the second lattice substrate 105, and the circuit substrate 102 are fixed in a stacked state, and form one small substrate 1301.
  • a non-linear element such as a millimeter-wave IC 1302 is mounted on the upper surface of the small substrate 1301.
  • the conductor line 103 is connected to the input / output port of the nonlinear circuit element so that high-frequency signals can be input / output.
  • the millimeter-wave IC 1302 can be, for example, a transmitter, an up-converter, a down-converter, a frequency synthesizer, or an amplifier.
  • the number of input / output ports varies depending on the type of element.
  • FIG. 20 shows an example having two input / output ports for simplicity.
  • a cap 1303 is provided on the small substrate 1301 so as to cover the millimeter wave IC 1302.
  • the cap 1303 has a disk-shaped upper surface and a cylindrical side surface that rotatably supports the upper surface.
  • a first lattice substrate 104 is fixed so that the lattice pattern faces the conductor line 103.
  • the individual difference in the performance of the nonlinear element is large. Specifically, the output level of unnecessary signals generated in the nonlinear element and the frequency range thereof differ depending on the element.
  • a radio wave absorber is usually attached to the back surface of the cap 1303 to eliminate unnecessary waves.
  • the amount of the radio wave absorber and the bonding position have to be adjusted according to the individual difference by a trial and error method, which increases the manufacturing cost.
  • the appearance frequency band of the PBG is adjusted. can do. As a result, it is possible to appropriately suppress the output of unnecessary components from the device. Such fine adjustment can be performed even after the small substrate 1301 is mounted on the motherboard.
  • the first lattice substrate 104 may be driven manually or by a motor.
  • the conductor line 103 forms a microstrip line together with the ground plate 106, but a coplanar line 1401 may be used as shown in FIG.
  • a coplanar line 1401 may be used as shown in FIG.
  • the ground plate 106 is required.
  • Figure 22 shows a slot line. The slot line does not require the ground plate 106.
  • a one-dimensional lattice is not formed on the circuit board.
  • a one-dimensional lattice is formed on the circuit board together with the conductor lines.
  • a conductor line is formed on one of the first and second dielectric substrates, and the dielectric substrate also functions as a “circuit substrate”.
  • the photonic crystal structure is formed by bringing a dielectric substrate having another lattice structure close to such a circuit substrate (a dielectric substrate having both a lattice structure and a conductor line). Form.
  • a one-dimensional lattice structure 1601 is provided near the conductor line 103 of the circuit board 102, and the circuit board 102 also functions as the first lattice substrate 104 .
  • the one-dimensional lattice structure 1601 is suitably formed from a pattern of conductive layers periodically arranged at intervals of about the wavelength of a high-frequency signal.
  • a second grid substrate (second dielectric substrate) 105 rotatably supported is arranged between the circuit board 102 and the ground plate 106.
  • the second lattice substrate 105 in the present embodiment has the same configuration as the second lattice substrate 105 in other embodiments.
  • the lattice structure of the second lattice substrate 105 (stripe-shaped conductor lines) and the one-dimensional lattice structure of the circuit substrate 102 16 01 Can change the photonic crystal structure formed. As a result, it becomes possible to change the frequency range in which the PBG appears and control the waveguide characteristics of the high-frequency signal.
  • a rectangular conductor is periodically arranged in the vicinity of the conductor line 103.
  • the shape of the conductor to be arranged is not limited to a rectangle, but is arbitrary. Since the frequency band in which the PBG appears depends on the shape of the arranged conductors and the arrangement period, it is appropriately optimized according to the frequency band in which the PBG appears.
  • the unit structures arranged along the conductor line 103 need not be conductors. The important point is that a lattice structure in which the effective permittivity changes periodically along the conductor line 103 is formed.
  • FIGS. 24 (a) to 24 (c) show examples in which the conductor line 103 itself or a periodic structure is provided near the conductor line 103, respectively.
  • a periodic arrangement of openings is formed in the conductor line 103 in FIG. 24 (a).
  • via holes 1701 periodically arranged are provided below the conductor line 103 in FIG. 24 (b).
  • an opening need not be formed in the conductor line 103 in which a circular opening is formed periodically in the conductor line 103.
  • a lattice structure can be formed only by arranging the via holes 1701 periodically near the conductor line 103.
  • An array of dielectric strips is provided!
  • FIGS. 25 (a) to 25 (d) show examples in which a one-dimensional lattice structure is provided along a coplanar line. Each black region in the figure indicates a portion having electrical conductivity.
  • a periodic structure is provided in the conductor at the center of the coplanar line.
  • a periodic structure is provided in the outer conductor of the line.
  • a dielectric periodic structure is provided on the line.
  • a periodic array of via holes is provided below the conductor at the center of the line. The position of the via hole is not limited to below the line center conductor, but may be provided below the line outer conductor.
  • ground plate 106 When operating these coplanar lines as grounded coplanar lines, ground plate 106 is required, but when operating as a normal coplanar line, ground plate 106 is unnecessary.
  • FIGS. 26 (a) to 26 (d) show examples in which a one-dimensional lattice structure is provided along the slot line.
  • the conductors are periodically arranged in the slots.
  • a periodic structure is provided at the edge of the conductor that defines the end of the slot.
  • a periodic arrangement of via holes is added.
  • dielectrics are periodically arranged on the slots.
  • the one-dimensional lattice substrate 105 is provided at a position facing the surface (lower surface) of the circuit board 102 where the conductor pattern is not formed.
  • a one-dimensional lattice substrate 105 may be provided at a position facing the surface (upper surface) of the substrate 102 on which the conductor pattern is formed.
  • the photonic crystal structure can be changed and the frequency range of the PBG can be controlled.
  • Force The photonic crystal device of the present invention can also function as follows.
  • the "movable part" in the present specification is a mechanism that can change the position, orientation, tilt angle, and the like of the dielectric substrate so as to change the photonic crystal structure formed by the two lattice structures. If there is, the specific structure is not limited to the structure disclosed in this specification.
  • the photonic crystal device of the present invention can change the frequency of the PBG (photonic band gap), it can be suitably used, for example, as a variable filter in the field of high-frequency circuits.

Abstract

 本発明のフォトニック結晶デバイスは、第1の面内において誘電率が周期的に変化する第1の格子構造を有する第1の誘電体基板104と、第2の面内において誘電率が周期的に変化する第2の格子構造を有する第2の誘電体基板105と、第1の格子構造と第2の格子構造との間の相対的な配置関係を変化させることにより、第1の格子構造および第2の格子構造によって形成されるフォトニックバンド構造を変化させる可動部(ピボット303)とを備え、第1の誘電体基板104および第2の誘電体基板105が積層されている。                                                                       

Description

明 細 書
フォトニック結晶デバイス
技術分野
[0001] 本発明は、可変フォトニック結晶構造を備えるフォトニック結晶デバイスに関してい る。
背景技術
[0002] 1〜3次元格子を有する種々のフォトニック結晶が報告されて!、る。最も単純な構造 を有するフォトニック結晶は、誘電率が相互に異なる 2種類の誘電体薄膜を交互に積 層することによって作製されて 、る。
[0003] 図 28を参照しながら、非特許文献 1に開示されている 1次元フォトニック結晶の構 成を説明する。図示されている 1次元フォトニック結晶 1201は、交互に積層された低 誘電率層 1202および高誘電率層 1203を有して!/ヽる。低誘電率層 1202および高 誘電率層 1203は、電磁波 1204を透過する誘電材料から形成されて 、る。
[0004] 図 28の例では、フォトニック結晶の単位格子 (格子定数 a)がー対の低誘電率層 12 02および高誘電率層 1203によって形成されており、複数の単位格子が z軸方向に 沿って配列することにより、 1次元の周期構造が形成されている。
[0005] 以下、 1次元フォトニック結晶 1201の動作を説明する。
[0006] z軸方向に伝播してきた電磁波 1204が 1次元フォトニック結晶 1201の下面に垂直 に入射すると、電磁波 1204の周波数によっては 1次元フォトニック結晶 1201を透過 することができな 、。このように電磁波 1204が透過できな 、周波数域 (禁止周波数 帯)は、フォトニックバンドギャップ(Photonic Band Gap: PBG)と称される。 PBGは、通 常の結晶内における電子のバンドギャップに類した性質を有しており、フォトニック結 晶の構造に依存する。 1次元フォトニック結晶 1201における PBGの周波数帯は、低 誘電率層 1202および高誘電率層 1203の誘電率、ならび格子定数 aの大きさに依 存して変化する。
[0007] PBGが現れる理由は、以下の通りである。
[0008] 1次元フォトニック結晶 1201における低誘電率相 1202と高誘電率の相 1203との 界面では、入射した電磁波 1204の一部が反射され反射波が生成される。 1次元フォ トニック結晶 1201には多数の界面が存在するので、多数の反射波が生じる。電磁波 1204の波長と格子間隔 aが整合し、反射波が同位相で重ね合わせられる場合、各 反射波は干渉し、減衰することなく強め合うことになる。この場合に、電磁波 1204の 伝搬方向に沿って充分に多くの単位格子が存在していると、入射した電磁波 1204 は略完全に反射されることになる。より詳細には、ある界面力も反射波と、その界面に 隣接する他の界面力 の反射波との間に存在する位相差が ± 2 πの整数倍となると き、電磁波 1204の各界面からの反射波は全て強め合い、フォトニック結晶 1201全 体として強い反射波を生じることになる。
[0009] 十分な個数の単位格子を配置すれば、フォトニック結晶 1201は、受動回路である こととエネルギ保存則より、透過波はゼロとなるため、 PBGが形成される。
[0010] フォトニック結晶の特徴は、光学分野のみならず、様々な方面で適用されている。
例えば、高周波分野においては、アンテナの放射特性の改善や、線路間のクロスト ークの低減構造として適用されつつある。
[0011] 誘電体基板上に導電体パターンを形成したマイクロストリップアンテナの特性をフォ トニック結晶によって改善することが検討されて 、る。通常のマイクロストリップアンテ ナでは、その強い Ε面指向性により、誘電体基板の表面に平行な方向に放射される 電磁波の電界成分が誘電体基板の表面波モードと結合しやすい。このため、放射に 寄与しない電力漏洩が生じやすぐ誘電体基板のエッジで回折波を生じるので、アン テナ指向性が乱れるという問題がある。
[0012] このような問題を解決するには、フォトニック結晶をアンテナ周囲に配置することが 有効である。 PBGをアンテナの動作周波数に一致させておけば、誘電体基板の表 面に平行な方向には電磁波が伝搬することができないため、放射に寄与しない電力 漏洩を抑制することが可能である。
非特許文献 1: JohnD. Joannopoulos、 RobertD. MeadeandJoshuaN. Winn著 、藤井 壽崇、井上 光輝 共訳「フォトニック結晶一光の流れを型にはめ込む一」、 コロナ社、 2000年 10月 23日発行初版第 1刷、 ISBN4- 339- 00727- 7、 42頁図 3 発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0013] し力しながら、従来のフォトニック結晶には、格子定数 aを動的に変化させることがで きないという問題がある。すなわち、 PBGの出現周波数を随時変化させることができ ない。
[0014] 本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、 P BGの出現周波数帯を容易に変化させることができるフォトニック結晶デバイスを提供 することにある。
課題を解決するための手段
[0015] 本発明のフォトニック結晶デバイスは、第 1の面内において誘電率が周期的に変化 する第 1の格子構造(a first lattice structure)を有する第 1の誘電体基板と、第 2の面 内において誘電率が周期的に変化する第 2の格子構造(a second lattice structure )を有する第 2の誘電体基板と、前記第 1の格子構造と前記第 2の格子構造との間の 相対的な配置関係を変化させることにより、前記第 1の格子構造および前記第 2の格 子構造によって形成されるフォトニックバンド構造を変化させる可動部とを備え、前記 第 1の誘電体基板および前記第 2の誘電体基板が積層されている。
[0016] 好ましい実施形態において、前記第 1および第 2の誘電体基板の少なくとも一方に 対向する位置に配置された第 3の誘電体基板を更に備えている。
[0017] 好ま 、実施形態にぉ 、て、前記第 3の誘電体基板は、誘電体層と、前記誘電体 層に支持された導体パターンとを有して 、る。
[0018] 好ましい実施形態において、接地導体層を更に備え、前記第 1および第 2の誘電 体基板の少なくとも一方は、前記第 3の誘電体基板と前記接地導体層との間に位置 している。
[0019] 好ましい実施形態において、前記導体パターンの少なくとも一部はマイクロストリツ プ線路として機能する。
[0020] 好ま 、実施形態にぉ 、て、前記導体パターンの少なくとも一部はマイクロストリツ プアンテナとして機能する。
[0021] 好ましい実施形態において、前記可動部は、前記第 1および第 2の誘電体基板の 少なくとも一方を回転させることができる。
[0022] 好ま 、実施形態にぉ 、て、前記可動部は、前記第 3の誘電体基板を回転させる ことができる。
[0023] 好ましい実施形態において、前記可動部によって回転させられる誘電体基板は円 板形状を有している。
[0024] 好ましい実施形態において、前記可動部はモータを有している。
[0025] 好ましい実施形態において、前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、前記第
1および第 2の誘電体基板上に設けられた導体パターンから形成されている。
[0026] 好ましい実施形態において、前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、前記第
1および第 2の誘電体基板に形成された凹凸パターン力 形成されている。
[0027] 好ましい実施形態において、前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、 1次元 格子である。
[0028] 好ましい実施形態において、前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、異なる 方位に配列した複数の 1次元格子の組み合わせである。
[0029] 好ましい実施形態において、前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、前記面 内で湾曲した曲線パターンを含んでいる。
[0030] 好ま 、実施形態にお!、て、前記第 1および第 2の誘電体基板は、前記面内の領 域ごとに異なる格子構造を有している。
[0031] 好ましい実施形態において、前記第 1および第 2の誘電体基板の少なくとも一方は 電磁波を伝播させる導体線路を有して!/、る。
発明の効果
[0032] 本発明のフォトニック結晶デバイスは、格子構造を有する少なくとも 2枚の誘電体基 板の相対的な配置関係を変化させることができるため、複合した格子構造によって形 成されるフォトニックバンド構造を動的に制御することが可能になる。これにより、フォ トニックバンド構造の出現する周波数帯を自由に変化させることができるようになる。 図面の簡単な説明
[0033] [図 1]本発明の実施形態 1におけるフォトニック結晶デバイスを示す斜視図である。
[図 2]本発明の実施形態 1におけるフォトニック結晶デバイスの格子パターンを示す 平面図である。
圆 3]本発明の実施形態 1におけるフォトニック結晶デバイスの具体的構成例を模式 的に示す図である。
圆 4]本発明の実施形態 1におけるフォトニック結晶デバイスの格子パターンを示す 平面図であり、 (a)は、 ( 0 1、 0 2) = (45° 、45° )の場合を示し、(b)は(0 1、 Θ 2) = (67. 5° 、67. 5° )の場合を示し、(c)は(0 1、 Θ 2) = (22. 5° 、 22. 5° )の場 合を示している。
圆 5]図 3に示す格子パターンが高周波信号に及ぼす通過損失の周波数依存性を 示すグラフである。
圆 6]本発明の実施形態 1における 1次元格子基板の斜視図である。
圆 7]本発明の実施形態 1における 1次元格子基板の他の例を示す斜視図である。 圆 8]本発明の実施形態 1におけるフォトニック結晶デバイスが有する 2次元格子バタ ーンの微細構造を示す平面図である。
[図 9]本発明の実施形態 1におけるフォトニック結晶の 2次元格子パターンを示した平 面図である。
[図 10]本発明の実施形態 1におけるフォトニック結晶の 2次元格子パターンの他の例 を示した平面図である。
圆 11]本発明の実施形態 2における格子回転機構を示す斜視図である。
圆 12]手を動力源とする格子回転の回転方法を示す斜視図である。
圆 13]本発明の実施形態 3における格子回転機構を示す斜視図である。
圆 14]本発明の実施形態 4における格子回転機構を示す斜視図である。
圆 15]本発明の実施形態 5における格子回転機構を示す斜視図である。
圆 16]本発明の実施形態 6における格子回転機構を示す斜視図である。
圆 17]本発明の実施形態 7におけるフォトニック結晶デバイスを示す斜視図である。 圆 18]本発明の実施形態 8におけるフォトニック結晶デバイスを示す斜視図である。 圆 19]本発明の実施形態 9におけるフォトニック結晶デバイスを示す斜視図である。 圆 20]本発明の実施形態 9におけるフォトニック結晶デバイスを内蔵する装置の構成 を示す斜視図である。 圆 21]本発明の実施形態 9におけるフォトニック結晶デバイスの改変例を示す斜視図 である。
圆 22]本発明の実施形態 9におけるフォトニック結晶デバイスの他の改変例を示す斜 視図である。
圆 23]本発明の実施形態 10におけるフォトニック結晶デバイスを示す斜視図である。
[図 24] (a)、 (b)、および (c)は、それぞれ、本発明の実施形態 10における回路基板 の種々の例を示す斜視図である。
[図 25] (a)、(b)、(c)、および (d)は、それぞれ、本発明の実施形態 10におけるフォト ニック結晶デバイスの改変例を示す斜視図である。
[図 26] (a)、(b)、(c)、および (d)は、それぞれ、本発明の実施形態 10におけるフォト ニック結晶デバイスの他の改変例を示す斜視図である。
[図 27]本発明の実施形態 10におけるフォトニック結晶デバイスの更に他の改変例を 示す斜視図である。
[図 28]従来の 1次元フォトニック結晶を示す斜視図である。
符号の説明
101 フォトニック結晶デバイス
102 回路基板 (第 3の誘電体基板)
103 導体線路
104 第 1格子基板 (第 1の誘電体基板)
105 第 2格子基板 (第 2の誘電体基板)
106 接地板
301 誘電体基板
302 回転格子
303 ピボット
304 すり割
3101 手
3201 固定軸
3202 ピボット 3203 クランク
3204 モータ
3301 小平歯車
3302 大平歯車
3401 ウォームギア
3501 超音波モータ
3601 MEMSモータ
3602 ワイヤボンディング
3603 マザ一ボード
3604 小型可変フィルタ
701 アンテナ
1301 小型基板
1302 ミリ波 IC
1303 キャップ
1401 コプレナ線路
1501 スロット線路
1601 1次元格子構造
1701 ビアホーノレ
1201 従来の 1次元フォトニック結
1202 低誘電率層
1203 高誘電率層
1204 電磁波
発明を実施するための最良の形態
[0035] 本発明のフォトニック結晶デバイスは、第 1の面内において誘電率が周期的に変化 する第 1の格子構造を有する第 1の誘電体基板と、第 2の面内において誘電率が周 期的に変化する第 2の格子構造を有する第 2の誘電体基板とを備えている。
[0036] 本発明では、第 1および第 2の格子構造の組み合わせ (積層)によってフォトニック バンド構造を形成し、しかも、このフォトニックバンド構造を動的に変化させることがで きる。より詳細に説明すると、本発明のフォトニック結晶デバイスは、積層された第 1の 格子構造と第 2の格子構造との間の相対的な配置関係を変化させ得る可動部を備え ており、第 1の格子構造と第 2の格子構造との間の相対的な配置関係を調節すること により、上記のフォトニックバンド構造を変化させることを可能にしている。
[0037] 好ましい実施形態では、第 1および第 2の誘電体基板の少なくとも一方が回転可能 な状態にある。第 1および第 2の誘電体基板は、例えば表面に導体線が周期的に配 列された 1次元または 2次元の格子構造を有している力 他の周期的構造を有してい てもよい。
[0038] 本明細書では、上述の第 1および第 2の誘電体基板を、それぞれ、「第 1格子基板」 および「第 2格子基板」と称する場合がある。ここで、「格子基板」とは、表面に平行な 方向に周期的に実効的な誘電率が変化する基板を広く含むものとする。この周期は 、本発明のフォトニック結晶デバイスの動作周波数に応じて規定される。より詳細には 、上記の周期は、フォトニック結晶デバイスの使用状況に基づいて後述の諸式を用い て決定される設計パラメータである。この周期は、動作周波数の上限値において、フ オトニック結晶デバイス中を通過する電磁波の実効的伝搬波長の半分以下に設定さ れる。
[0039] なお、誘電体基板の表面に平行な一定の方向に沿って周期的に実効誘電率が変 化する格子基板を、「1次元格子基板」と称することとする。誘電体基板の表面を複数 の領域に区分した場合において、各領域で異なる方向に沿って実効誘電率が周期 的に変化する格子基板も、本明細書では「1次元格子基板」と称することとする。
[0040] 以下、図面を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの好ま 、実施 形態を説明する。
[0041] (実施形態 1)
まず、図 1を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 1の実施形態 を説明する。図 1は、本実施形態のフォトニック結晶デバイス 101の概略構成を示す 斜視図である。
[0042] フォトニック結晶デバイス 101は、 4つの板状または層状の部材 (以下、「板状部材」 という。)が積層された構造を有している。 4つの板状部材は、それぞれ、回路基板( 厚さ: tl) 102、第 1格子基板 (厚さ: t2) 104、第 2格子基板 (厚さ: t3) 105、および 接地板 106である。図 1では、板状部材のそれぞれが広く離れているように記載され ているが、実際には、これらの部材は近接または接触する状態で配置される。
[0043] 回路基板 102は、誘電体ベース (誘電体層)と、その上面に形成された直線状の導 体線路 103とを有している。第 1および第 2格子基板 104、 105は、いずれも、誘電体 ベース (誘電体層)と、一方の面に設けられた 1次元格子とを有している。接地板 106 は、金属などの導電性材料から形成されている。
[0044] 回路基板 102、第 1格子基板 104、および第 2格子基板 105の厚さ tl、 t2、および t3は、次の式(1)を満足するように決定される。
tl +t2+t3<h =6. 74tan— 1 ε Z (f { ε —1 }1/2) · · · (式 1) max r r
[0045] ここで、 f [GHz]は、本発明のフォトニック結晶デバイスの動作周波数の上限値であ り、 ε 各基板の平均誘電率である。
[0046] tl、 t2、 t3の上限は上記の式 1に基づいて決定される力 下限は機械的強度によ つて規定される。誘電体ベースが極端に薄くなりすぎると、基板の機械的強度が著し く低下するためである。
[0047] 回路基板 102、第 1格子基板 104、および第 2格子基板 105における誘電体べ一 スは、誘電損失によるエネルギ散逸を抑制するため、動作周波数で低い誘電損失を 示す誘電体材料から形成されることが好ま ヽ。周波数がミリ波帯の高周波信号を本 実施形態のフォトニック結晶デバイスで処理する場合、基板 102、 104、 105の誘電 体材料は、例えば、フッ素榭脂、アルミナセラミックス、溶融石英、サファイア、高抵抗 シリコン、および GaAsから好適に選択される。基板 102、 104、 105の表面で発生す る平行平板モードの電磁波の電力漏洩を抑制するためには、積層される基板 102、 104、 105の誘電体ベースは、いずれも、同一の誘電率および透磁率を有しているこ とが好ましい。
[0048] 回路基板 102の導体線路 103は、接地板 106をグランドとするマイクロストリップ線 路として動作する。図 1のフォトニック結晶デバイスでは、高周波信号を導体線路 103 の一端力も受けとり、導体線路 103の他端力も出力することになる。
[0049] ここで、第 1格子基板 104および第 2格子基板 105の代わりに、一様な誘電体層 ( 厚さ t2+t3)が回路基板 102と接地板 106との間に挿入されている場合を考える。こ の場合は、 tl +t2+t3の厚さを有する単一の誘電体基板の上面に導体線路 103が 形成され、下面に接地板 106が貼り付けられたマイクロストリップ線路と同様に動作す ることになる。
[0050] これに対し、本実施形態のフォトニック結晶デバイス 101では、マイクロストリップ線 路の誘電体部分がフォトニック結晶を有しており、し力も、このフォトニック結晶のバン ド構造が、後に詳しく説明するように、第 1格子基板 104および第 2格子基板 105の 相対的な配置関係を変化させることにより、可変に制御される。
[0051] 一般に、マイクロストリップ線路は、広い範囲の周波数帯の信号を伝送することが可 能であり、特に顕著な波長選択性を示しはしない。しかし、マイクロストリップ線路を高 周波信号が伝搬しているときに発生する電磁界のエネルギは、主に導体線路 103と 接地板 106に挟まれた誘電体層の内部に閉じ込められるため、フォトニック結晶構造 が誘電体部分の中に存在して!/ヽると、導体線路 103を流れる信号の伝搬状態に大き な影響を与えることができる。このことを利用すると、特定波長帯域の高周波信号の 伝搬を阻止する機能を付与することができる。
[0052] 図 1に示される第 1格子基板 104および第 2格子基板 105は、いずれも、同一サイ ズの円盤形状を有しており、基板中心を通る軸 (以下、「z軸」と称する。)の周りに回 転することができる。第 1格子基板 104および第 2格子基板 105は、いずれも、 z軸に 垂直な xy面内に平行である。
[0053] 本実施形態の第 1および第 2格子基板 104、 105は、いずれも、ストライプ状の導体 線が周期的に配列された 1次元格子構造を有しているため、第 1および第 2格子基 板 104、 105の一方を z軸周りに回転させると、 2組のストライプ状導体線がなす角度 を任意の大きさに変化させることができる。図 1に示す例では、第 1格子基板 104の 1 次元格子構造が形成されている面 (下面)が、第 2格子基板 105の 1次元格子構造が 形成されて ヽる面(上面)と対向して 、る。
[0054] 図 2は、第 1および第 2格子基板 104、 105によって得られる複合的な格子パターン を示す図であり、この格子パターンを xy面に投影した平面図である。ここで、第 1格子 基板 104の格子間隔を dl、第 2格子基板 105の格子間隔を d2とする。図中、角度 Θ は、交差するストライプ状導体線がなす角度である。
[0055] 図 2に示されるように、 2つの 1次元格子が交差すると、 2次元モアレ縞が形成される 。図 2において、両格子パターンが交差する点(以下、「格子点」と称する。)の配列周 期および配列方向は、格子間隔 dl、 d2および角度 Θに依存している。
[0056] 第 1格子基板 104上に固定された直交座標系において、各格子ベクトル alおよび a2は、それぞれ、以下の式で与えられる。
al= (d2/sin 0 , 0)
a2= (dl/tan 0 , dl)
[0057] 各格子ベクトルの大きさ |al|および |a2|は、以下の式で与えられる。
|al|=d2/sin 0
|a2|=dl/sin θ
[0058] 図 2に示される格子パターンは、格子定数 |al|、 |a2|を有する 2次元の斜方格子に 相当する。
[0059] フォトニック結晶の格子点と電磁界とが相互作用をする場合、フォトニック結晶の並 進対称性から、磁界分布はブロッホ関数で表されることになる。その波数ベクトルは、 逆格子空間において、 al、 a2に対応する逆格子ベクトルを単位とした並進対称性を 有するようになる。
[0060] 均一な誘電体基板に形成されたマイクロストリップ線路上を伝搬する高周波信号の 波数ベクトルと、同一周波数で自由空間中を伝播する電磁波の波数ベクトルの比は 、誘電体基板が周波数依存性を示さないかぎり、強い周波数依存性を有し得ない。 しかし、誘電体基板中にフォトニック結晶の格子構造を付加すると、波数ベクトルの 並進対称性が発生するため、波数ベクトルの比は強い周波数依存性および方向依 存性を有することになる。し力も、格子点とマイクロストリップ線路上を伝播する電磁界 との相互作用により、各格子点によって散乱波が発生し、それらの散乱波が同相共 振条件 (ブラッグの反射条件)を満足すると、その波数ベクトルでの電磁波の伝搬が 不可能となる伝搬不可周波数帯、すなわち、フォトニックバンドギャップ (PBG)が形 成される。
[0061] PBGの周波数域は、マイクロストリップ線路上を伝播する高周波信号が形成する電 磁界と格子点 (単位格子)との相互作用の大きさに依存する。この相互作用が大きく なり、その結果として散乱波強度が強くなるほど、広い周波数域で PBGが発生する。
[0062] PBGの周波数域は、逆格子空間における並進対称性に依存する。また、その対称 性が格子構造によって決定される。このため、格子構造を変化させることにより、 PBG を変化させることができる。前述のように、格子構造の変化は、第 1格子基板 104と第 2格子基板 105との相対的な配置関係 (典型的には、角度 Θ )を変化させることにより 、実行可能である。
[0063] 本実施形態では、異なるレベルに位置する 2層の格子構造が複合してフォトニック 結晶構造が形成される力 2層の格子構造は相互に接している必要は無い。すなわ ち、 2つの格子面の間隔 gは、以下の関係を満たす範囲で自由に設定可能である。
0≤g≤h - (tl +t2+t3) · · · (式 2)
max
[0064] 設定の方法は、まず、式(1)の右辺カゝら基板全体厚さの上限値 h を見積もる。
max
次に、機械的強度から tl、 t2、 t3を決定する。そして、最後に gの上限値が式(2)の 右辺より決定されるので、適当な dを決定することができる。例えば、アルミナ基板を 用いる場合、周波数 30GHz程度の高周波信号を処理する状況下では、以下のよう になる。
[0065] まず、 h 1. lmmであるので、(tl +t2+t3)の上限値を 600 /z mとする。
max
アルミナ基板の機械的強度を考えると、 tl、 t2、 t3は、いずれも 150 mは必要であ る。したがって、 2層の格子面間隔(交差部における間隔)は、 Omm以上 150 /ζ πι( = 600 m— 150 mX 3)以下の範囲に設定される。
[0066] (格子基板の構成例)
次に、図 3を参照しつつ、フォトニック結晶構造を形成する格子基板を説明する。
[0067] 本実施形態で用いる誘電体基板は、比誘電率 2. 17、誘電正接 0. 001の誘電体 材料力 形成されている。マイクロストリップ線路の誘電体層の合計厚さ(tl +t2+t 3)は、 127+ 127 mに設定している。上部層の厚さ 127 mは、回路基板 102の 厚さ tlと第 1格子基板。 104の厚さ t2とを合計した値であり、下部層の厚さ 127 /z m は、第 2格子基板 105の厚さ t3に等しい。なお、図 3では、簡単のため、接地板の記 載は割愛し、また格子パターンの厚さは無視して 、る。 [0068] 格子基板 104、 105の格子線幅(導体線路の幅)は、いずれも、 0. 3mmであり、格 子定数 dl、 d2は、いずれも lmm (=ストライプ幅 0. 3mm+格子間隔 0. 7mm)に設 定している。一方、回路基板 102上の導体線路 103の幅は、インピーダンスが 50 Ω となるよう〖こ 0. 8mmに設定している。これらの導体線路は、いずれも、厚さ 18 /z mの 銅箔を写真製版技術によってパターユングすることによって形成され得る。
[0069] 導体線路 103の長手方向と第 1格子基板 104上の格子方向との間の角度を 0 1と し、導体線路 103の長手方向と第 2格子基板 105上の格子方向との間の角度 Θ 2と する。このとき、 2つの角度のセット( 0 1、 Θ 2)によって格子パターンを規定すること ができる。
[0070] 図 4 (a)は、( 0 1、 0 2) = (45° 、 45° )の格子パターンを示しており、図 4 (b)は、
( 0 1、 0 2) = (67. 5° 、67. 5° )の格子パターンを示しており、図 4 (c)は、( 0 1、 0 2) = (22. 5° 、22. 5° )の格子パターンを示している。
[0071] 図 4 (a)から (c)に示す配置におけるフォトニック結晶の特性を電磁界解析により求 めた。解析は、 ZelandSoftwarelnc.社製の電磁界解析シミュレター IE3DRelease 10により行った。解析モデルとしては、図 3示す寸法を有する基板構造 (平面サイズ: 5mm X 10mm)を用いた。計算を遂行する上で必要となるメッシュ分割数は 20本/ 1波長に設定した。この「1波長」は、誘電体基板を構成する誘電体と同一の誘電体 によって満たされた空間を 50GHzで伝搬する電磁波の波長(約 3. 4mm)に等しい。
[0072] 図 5は、図 4 (a)から (c)に示す各格子パターンが形成されたフォトニック結晶デバイ スの導体線路 103について求めた通過損失(Insertion loss)の周波数依存性を示す グラフである。
[0073] 図 5から明らかなように、通過損失が相対的に高い周波数域が存在し、この周波数 域は格子パターンによって変化している。通過損失が相対的に高い周波数域は、 P BGに対応している。
[0074] 図 5に示されるように、(0 1、 0 2) = (45° 、45° )の場合における PBGに比べ、(
0 1、 0 2) = (67. 5° 、67. 5° )の場合における PBGが低周波側にシフトしている 。また、(0 1、 Θ 2) = (67. 5° 、 67. 5° )の場合における PBGに _b匕べ、(0 1、 Θ 2 ) = (22. 5° 、22. 5° )の場合における PBGが低周波側にシフトしている。 [0075] これは、導体線路 103を伝搬する高周波信号が感じるフォト ック結晶の格子間隔 カ (0 1、 0 2) = (45° 、45° )→(67. 5° 、67. 5° )→
(22. 5° 、 22. 5° )の順に大きくなつていることに起因する。 PBGは、フォトニック結 晶の格子間隔が高周波信号の半波長に相当する周波数を中心に有して!/、る。
[0076] 図 4 (b)の格子パターンを図 4 (c)の格子パターンと比較するとわ力るように、 ( Θ 1、
Θ 2) = (67. 5° 、67. 5° )の格子ノ ターンと( 0 1、 0 2) = (22. 5° 、22. 5° )の 格子パターンとは、格子の方位が異なる点を除けば、同一のフォトニック結晶を形成 する。しかし、図 5に示されるように、 PBGは、大きく異なる周波数帯に出現している。
[0077] 一般に、結晶中の波数は、逆格子空間中での波の伝搬方向にも大きく依存する。
ここでは、格子に対する導体線路 103の向きが波(高周波信号)の伝搬方向を決め ているため、上記の相違が発生する。したがって、第 1格子基板および下側一次元 格子基板の相対的な配置関係を固定した後でも、これら両基板に対する導体線路 1 03の向きを変えることにより、 PBGを動的かつ適応的に変化させることも可能である
[0078] なお、第 1格子基板 104と第 2格子基板 105は、接触している必要は無い。第 1格 子基板 104の下面と、第 2格子基板 105の上面との間に、他の誘電体層が存在して ちょい。
[0079] 図 1に示す例では、第 1格子基板 104の格子パターンは、誘電体ベースの下面に 形成されている力 この格子パターンは誘電体ベースの上面に形成されてよいし、ま た、上面および下面の両方に形成されていてもよい。また、接地板 106は、第 2格子 基板 105から分離可能な部品から形成される必要は無ぐ接地板 106が第 2格子基 板 105の下面に固定されていても良い。
[0080] (格子基板の他の構成例)
図 6は、本発明のフォトニック結晶デバイスに用いることのできる格子基板の他の例 を示している。この 1次元格子基板は、表面に周期的な誘電率変調構造を有してい る。この誘電率変調構造は、誘電率 ε 1の誘電体基板 107の上面に一定周期で並 んだストライプ状の溝を形成し、この溝を誘電率 ε 2の材料で埋め込むことによって 作製されている。図 7は、誘電体基板 107の溝の内部は埋められていない格子基板 の例を示している。
[0081] 図 8は、格子パターンの他の例を示す平面図である。この格子パターンは、基本的 な周期的配列に加え、より高い空間周波数を有する微細構造を備えている。図 8は、 第 1格子基板 104の格子パターンと、第 2格子基板 105の格子パターンとを重ねるこ とによって得られる格子パターンを示している。
[0082] PBGの周波数は、格子ベクトルで決定されるため、微細構造を有していても、格子 ベクトルが不変であれば、 PBGの出現周波数帯に大きな変化は生じない。通常の結 晶における単位格子内の原子の分布は、 X線回折実験におけるラウエ斑点の構造因 子を決定する。同様に、フォトニック結晶に微細構造を設けることにより、 PBGの帯域 幅や PBGに近接する周波数帯における波数などの「微細構造」を変化させることが 可能となる。
[0083] 図 9は、格子パターンの更に他の例を示す平面図である。この格子パターンは、曲 線の周期的配列によって構成されている。この場合、フォトニック結晶における格子 の対称性は、誘電体基板の面内で分布を持つこととなる。例えば、実際の結晶のバ ンド構造が結晶に加えられた歪によって変化するように、 PBGを変化させることがで きる。図 9に示す格子パターンを有する誘電体基板を用いて形成したフォトニック結 晶では、その状態を表現する変数として、 2つの格子ベクトル以外に格子歪の分布の 方位と位置がある。格子歪の分布と方位の制御は、第 1格子基板 104と第 2格子基 板 105との間にある相対的な配置関係を「回転移動」だけではなく「平行移動」によつ て調節することによって行なうことができる。
[0084] 図 10は、格子パターンの更に他の例を示す平面図である。この格子パターンは、 領域に応じて異なる格子構造を有して 、る。このように格子構造を有する誘電体基 板を用いることにより、「多結晶性」のフォトニック結晶を形成することができる。
[0085] 発信器や周波数シンセサイザなどは、複数の周波数帯で動作する素子が混在する 高周波回路を必要とする。このような高周波回路では、各周波数帯で動作する回路 部位を、その動作周波数帯で PBGを発現する結晶領域に配置することが好ま 、。 そうすることにより、誘電体基板の表面を介する各周波数成分の漏洩を阻止できるた め、動的に高いアイソレーション特性が実現できる。 [0086] (実施形態 2)
以下、図 11を参照しつつ、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 2の実施形 態を説明する。本実施形態のフォトニック結晶デバイスは、図 2に示される「角度 Θ」 を変化させる可動部(可動機構)を有して 、る。
[0087] 本実施形態では、矩形の第 2格子基板 105および接地板 106が一体化され、回路 基板 102と共に不動である。これらは、不図示の筐体に固定されている力 第 1格子 基板 104のみが回転可能である。
[0088] 第 1格子基板 104は、円形の開口部が設けられた誘電体基板 301と、誘電体基板
301の開口部内に配置された円盤状の回転格子 302とに分かれている。誘電体基 板 301の厚さは回転格子 302の厚さに等しく、回転格子 302の誘電体基板部分は、 誘電体基板 301を形成する誘電体材料と同一の誘電体材料から形成されていること が好ましい。
[0089] 誘電体基板 301の開口部の内径は、回転格子 302の外径より若干大きぐ回転格 子 302のスムーズな回転が可能である。回転格子 302は、ピボット 303を上面に有し ている。回路基板 102には、このピボット 303を貫通させるすり割 304が設けられてい る。すり割 304の溝幅は、ピボット 303の外径よりも大きぐ回転格子 302の回転に伴 つて円周の一部をピボット 303が移動できるようにすり割 304の形状が規定されてい る。
[0090] すり割 304から上部が露出したピボット 303を手動または外部駆動源によって横方 向に押すことにより、すり割り 304の内壁面に沿ってピボット 303をスライドさせると、ピ ボット 303の動きに応じて回転格子 302を z軸周りに回動させることができる。
[0091] このようにして回転格子 302を回動させると、第 1格子基板 104と第 2格子基板 105 とによって形成される格子パターン(図 2)の並進対称性が変化する。これに伴い、第 1格子基板 104と第 2格子基板 105とによって形成されるフォトニック結晶の構造がダ イナミックに変化することになる。例えば、高周波信号に対する導体線路 103の通過 特性を調整するとき、ピボット 303によって回転格子 302を回動させると、 PBGの出 現周波数帯を所望の範囲に変化させることができる。
[0092] このような構成を有するフォトニック結晶デバイスによれば、周波数 fを有する信号と 周波数 f'を有する不要信号の両方が導体線路 103に入力するとき、回転格子 302を 回転させることによって PBGの出現周波数を fに合わせることができる。このような調 節を行なうと、 PBGの働きにより、不要信号が除去された信号を取り出すことが可能 になる。
[0093] 通信装置には、発信器などの非線形素子が内蔵されているが、この非線形素子に よって発生する不要信号の発生周波数や強度には、製品毎にばらつきがある。した がって、通信品質の精度を保証するためには、通信装置を製造する際、個々の通信 装置ごとに不要な信号を適切に取り除く調整が必要になる。装置毎に発生する特性 のばらつきは、特にミリ波帯の高周波信号を扱う場合に大きぐこのことが、ミリ波帯の 通信機器の製造コストを増大させる原因となっている。
[0094] 本発明によるフォトニック結晶デバイスを可変フィルタとして用い、高周波回路に挿 入すると、フォトニック結晶構造が可変であるため、個々の装置に応じて異なる周波 数域で不要信号を除去することが容易になる。このように装置製造時における初期 調整のためにフォトニック結晶構造を変化させる場合は、回転格子 302の駆動を手 動で行えば充分である。図 12は回転格子 302の回転を手 3101で行う様子を模式的 に示している。
[0095] (実施形態 3)
近年、複数周波数帯における信号の送受を 1台の通信機器で行なうマルチモード 端末が開発されている。このような端末では、動作モードによって回路中に発生する 不要信号の出現周波数が変化する。したがって、動作モードに応じて、 PBGの出現 周波数帯を動的かつ適応的に変化させることが好ましい。このような場合、本発明の フォトニック結晶デバイスを内蔵する装置が動作している最中に、そのフォトニック結 晶構造を動的に変化させることが求められる。そのような場合は、手動ではなぐモー タなどの駆動素子を用いて回転格子 302を駆動することが好ましい。
[0096] 以下、図 13を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 3の実施形 態を説明する。図 13は、モータを動力源とする回転機構を備えたフォトニック結晶デ バイスの実施形態を示す。本実施形態の構成は、回転機構を除けば、図 11に示す フォトニック結晶デバイスの構成と同一である。このため、以下においては、本実施形 態における回転機構のみを説明する。
[0097] 本実施形態では、図 13に示すように、モータ 3204の回転軸力も偏心したピボット 3 202力モータ 3204に取り付けられている。ピボット 3202は、クランク 3203を介して、 ピボット 303に連結されている。クランク 3203の中央付近には固定軸 3201が設けら れている。モータ 3204が所定角度だけ回転すると、ピボット 3203の位置が変化し、 クランク 3203を固定軸 3201の周りに回動させる。クランク 3203の回動により、ピボッ ト 303の位置が変化するため、 1次元格子基板が回転する。格子パターンの回転角 度の制御精度は、ピボット 303の制御精度によって決まる。モータ 3204は、回転角 度を高い精度で制御できるものであることが望ましい。そのようなモータとしては、ノ ルスモータなどのステッピングモータが好適である。
[0098] この機構によると、ピボット 303を 1往復させるのに必要なモータ 3204の回転数(以 下、「減速比」という。)は 1である。このため、図 11に示す回転格子 302の位置決め を高速に行なうことができる。
[0099] (実施形態 4)
以下、図 14を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 4の実施形 態を説明する。図 14は、モータを動力源とする回転機構を備えたフォトニック結晶デ バイスの他の実施形態を示す。本実施形態の構成も、回転機構を除けば、図 11に 示すフォトニック結晶デバイスの構成と同一である。このため、以下においては、本実 施形態における回転機構のみを説明する。
[0100] 本実施形態では、モータ 3204に小平歯車 3301が接続されている。回転格子 302 には、ピボット 303を介して大平歯車 3302が固定されている。大平歯車 3302は小 平歯車 3301と係合している。
[0101] このような機構によると、モータ 3204の回転運動が大平歯車 3302を介し回転格子
302の回転運動に変換される。回転格子 302の回転角度の制御精度を高めるには、 モータ 3204としてステッピングモータを用いることが好まし!/、。
[0102] (実施形態 5)
以下、図 15を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 5の実施形 態を説明する。図 15は、モータを動力源とする回転機構を備えたフォトニック結晶デ バイスの更に他の実施形態を示す。本実施形態の構成も、回転機構を除けば、図 1 1に示すフォトニック結晶デバイスの構成と同一である。このため、以下においては、 本実施形態における回転機構のみを説明する。
[0103] 本実施形態では、モータ 3204の出力軸にウォームギア 3401が接続されている。ゥ オームギア 3401は大平歯車 3302と係合している。このような機構によると、減速比 が非常に大きいため、モータ 3204の回転精度が低くても、回転格子の回転角度を 高い精度で制御できる。このため、サーボモータなどの安価なモータを用いてもよい
[0104] 本実施形態によれば、図 13および図 14に示す例に比べ、より大きな駆動力を回転 格子 302に与えることができる。回転格子 302が他の基板力も摩擦力を受ける場合、 本実施形態の構成が有効である。
[0105] (実施形態 6)
以下、図 16を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 6の実施形 態を説明する。図 16は、モータを動力源とする回転機構を備えたフォトニック結晶デ バイスの更に他の実施形態を示す。本実施形態の構成も、回転機構を除けば、図 1 1に示すフォトニック結晶デバイスの構成と同一である。このため、以下においては、 本実施形態における回転機構のみを説明する。
[0106] 本実施形態では、円弧上の圧電体から構成された超音波モータ 3501を内蔵して いる。超音波モータ 3501における圧電体の上面は、回路基板 102の下面と接触し ている。圧電体に交流信号を加えると、圧電体のたわみモードに対する進行波が圧 電体の長手方向に生じる。この進行波が発生すると、圧電体の上面と回路基板 102 の下面との間の摩擦力により、進行波の進行方向と反対方向の駆動力が発生する。 この駆動力により、回転格子 302を回転させることができる。本実施形態では、必要 な部品点数が相対的に少なくなる利点がある。
[0107] (実施形態 7)
図 17を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 7の実施形態を説 明する。図 17は、マイクロストリップアンテナとして機能する本発明のフォトニック結晶 デバイスを示している。 [0108] 本実施形態のフォトニック結晶デバイスの回路基板には、マイクロストリップ線路の 終端に接続されたアンテナ 701が設けられている。
[0109] 前述したように、通常のマイクロストリップアンテナは、誘電体基板の表面に平行な 方向に大きな E面指向性を有している。このため、マイクロストリップアンテナでは、電 力漏洩が生じやすぐ指向性も低い。しかし、本実施形態によれば、アンテナ 701と 接地板との間にフォトニック結晶が配置されているため、基板面に平行な E面指向性 を抑制することが可能となる。また、アンテナ 701の共振周波数を含む帯域に PBGを 形成することにより、全ての動作モードで良好な通信特性を実現できる。
[0110] (実施形態 8)
図 18を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 8の実施形態を説 明する。図 18は、可変帯域阻止フィルタとして機能する本発明のフォトニック結晶デ バイスを示している。
[0111] 本実施形態のフォトニック結晶デバイス (小型可変フィルタ) 3604は、図 14に示す 構成と同様の構成を有している力 公知の高周波回路の一部に挿入されることにより 、所望の周波数域の信号のみを濾波し、減衰させることができる。
[0112] 本実施形態では、動力源として MEMSモータ 3601を用いている。 MEMSは、 Mi cro- Electro- MechanicalSystemの略語である。 MEMSモータ 3601は、公知の 半導体プロセスを用いて作製される。ミリ波帯で PBGを発現させることのできるデバイ ス面積は、 10mm X I Omm以下であるため、 MEMS技術によって小型化されたモ ータを好適に用いることができる。
[0113] 小型可変フィルタ 3604の回路基板への実装は、公知の表面実装技術により行なう ことができる。具体的には、まず、小型可変フィルタ 3604を収容可能な形状および 大きさの凹部また開口部を備えるマザ一ボード 3603を用意する。マザ一ボード 360 3の厚さは、小型可変フィルタ 3604の厚さに略等しいことが好ましい。このようなマザ 一ボード 3603の上記凹部または開口部に、小型可変フィルタ 3604を挿入する。そ の後、半田または銀ペーストを介して、小型可変フィルタ 3604の接地板 106をマザ 一ボード 3603のグランドと電気的に接続する。次に、ワイヤボンディング 3602により 小型可変フィルタ 3604の導体線路 103をマザ一ボード 3603の信号線に接続する。 [0114] 図 18に示す例では、回転格子 302の上には導体線路 103のみが形成されている 力 他の回路素子が回転格子 302上に形成されていてもよい。本発明は、基板に沿 つて伝播する信号によって形成される電磁界カ フォトニック結晶として機能する積 層誘電体基板に作用するものであれば、多様な用途に用いることができる。
[0115] (実施形態 9)
図 19および図 20を参照しながら、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 9の 実施形態を説明する。本実施形態のフォトニック結晶デバイスが、図 1に示すフォト- ック結晶デバイスと異なる点は、第 1および第 2格子基板 104、 105の間に回路基板 102が挿入されている点にあり、他の点では同一の構成を有している。
[0116] 回路基板 102上の導体線路 103によって導かれる高周波信号は、導体線路 103 の下側のみならず、上側にも電磁界を形成する。このため、図 19に示すように、回路 基板 102を上下から挟み込むように一対の 1次元格子 104、 105を配置して、 PBG を発現させることができる。格子基板 104、 105の相対的な配置関係を変化させる方 法および機構は、前述した通りである。
[0117] 図 20は、本実施形態の概略構成を示している。
[0118] 接地板 106、第 2格子基板 105、および回路基板 102は、積層された状態で固定さ れており、一枚の小型基板 1301を形成している。小型基板 1301の上面には、ミリ波 IC1302などの非線形素子が実装されている。また、高周波信号の入出力が行える よう非線形回路素子の入出力ポートに導体線路 103が接続されている。
[0119] ミリ波 IC1302は、例えば発信器、アップコンバータ、ダウンコンバータ、周波数シン セサイザ、アンプであり得る。入出力ポートの数は、素子の種類に応じて異なる力 図 20では、簡単のため、 2つ入出力ポートを有する例が示されている。
[0120] 小型基板 1301をマザ一ボードへ実装する方法は、図 18を参照しながら説明したよ うに行なうことができる。小型基板 1301上には、ミリ波 IC1302を被覆するようにキヤ ップ 1303が設けられている。キャップ 1303は、円盤状の上面部と、この上面部を回 転可能に支持する円柱状側面部とを有している。キャップ 1303の上面部の裏側に は、格子パターンが導体線路 103に対向するように第 1格子基板 104が固定されて いる。 [0121] ミリ波帯では、非線形素子の性能の個体差が大きい。具体的には、非線形素子で 発生する不要な信号の出力レベルや、その周波数域が素子に応じて異なる。そのた め、通常はキャップ 1303の裏面に電波吸収体を貼り付け、不要波を除供することが 行われる。しカゝしながら、試行錯誤法により、個体差に応じて電波吸収体の量や接着 位置の調整を行わざるを得ず、製造コストが高くなるという問題がある。
[0122] 本実施形態では、小型基板に非線形素子を実装し、金属キャップで封止した後で も、第 1格子基板 104を回転させることが可能であるため、 PBGの出現周波数帯を調 整することができる。その結果、デバイスからの不要成分の出力を適切に抑圧するこ とが可能となる。このような微調整は、小型基板 1301をマザ一ボード上に実装した後 においてでも可能である。
[0123] 第 1格子基板 104の駆動は手動によっても、またモータによって行っても良い。
[0124] 本実施形態では、導体線路 103が接地板 106とともにマイクロストリップ線路を形成 するが、図 21に示すように、コプレナ線路 1401を用いてもよい。コプレナ線路 1401 をグランデッドコプレナ線路として用いる場合、接地板 106が必要である力 通常のコ プレナ線路として用いる場合は、接地板 106を省略できる。図 22は、スロット線路を 示している。スロット線路も接地板 106が不要である。
[0125] (実施形態 10)
図 23を参照しつつ、本発明によるフォトニック結晶デバイスの第 10の実施形態を説 明する。上記各実施形態では、回路基板には 1次元格子が形成されていないが、本 実施形態では、回路基板上に導体線路ととも 1次元格子を形成している。言い換える と、第 1および第 2誘電体基板の一方に導体線路を形成し、その誘電体基板を「回路 基板」としても機能させる。また、本実施形態では、このような回路基板 (格子構造と 導体線路の両方を有する誘電体基板)に、他の格子構造を有する誘電体基板を近 接させること〖こより、フォトニック結晶構造を形成する。
[0126] 一般に、回路基板の導体線路に沿って高周波信号が伝播するとき、その高周波信 号の形成する電磁界が導体線路の近傍に局在している。このため、格子構造が導体 線路から離れていると、高周波信号の伝搬特性を規定するフォトニック結晶の影響が 小さくなる。また、回路基板にミリ波帯 ICを設けた場合でも、電磁界の分布が局在す る傾向にある。このような場合、高周波信号の伝搬特性制御は、電磁界の分布が局 在して 、る領域またはその近傍にフォトニック結晶構造を形成することが好ま 、。
[0127] 本実施形態では、図 23に示すように、回路基板 102の導体線路 103の近傍に 1次 元格子構造 1601が設けられおり、回路基板 102が第 1格子基板 104としても機能す る。 1次元格子構造 1601は、高周波信号の波長程度の間隔で周期的に配列された 導電体層のパターンから好適に形成される。
[0128] 回路基板 102と接地板 106との間には、回転可能に支持された第 2格子基板 (第 2 の誘電体基板) 105が配置されている。本実施形態における第 2格子基板 105は、 他の実施形態における第 2格子基板 105と同様の構成を有している。
[0129] このような第 2格子基板 105を回路基板 102に対して回転させることにより、第 2格 子基板 105の格子構造 (ストライプ状導体線)と、回路基板 102の 1次元格子構造 16 01とによって形成されるフォトニック結晶構造を変化させることができる。その結果、 P BGが出現する周波数域を変化させ、高周波信号の導波特性を制御することが可能 になる。
[0130] 本実施形態では、図 23に示すように、導体線路 103の近傍に矩形導体を周期的 に配列している力 配列する導体の形状は矩形に限定されず、任意である。 PBGの 出現する周波帯域は、配列する導体の形状や配列周期に依存するため、 PBGの出 現する周波数域に応じて適宜最適化される。
[0131] 導体線路 103に沿って配列する単位構造は、導体である必要もな 、。重要な点は 、導体線路 103に沿って実効的な誘電率が周期的に変化する格子構造が形成され ていることにある。
[0132] 図 24 (a)から (c)は、それぞれ、導体線路 103そのもの、または導体線路 103の近 傍に周期的構造を設けた例を示している。図 24 (a)の導体線路 103には開口部の 周期的配列が形成されている。図 24 (b)の導体線路 103の下方には、周期的に配 列されたビアホール 1701が設けられている。図 24 (b)の例では、導体線路 103に円 形の開口部が周期的に形成されている力 導体線路 103に開口部が形成されてい る必要はない。導体線路 103の近傍にビアホール 1701が周期的に配列されるだけ で、格子構造を形成することができる。図 24 (c)の導体線路 103の上には、周期的に 配列された誘電体片が設けられて!/、る。
[0133] 図 25 (a)から (d)は、いずれも、コプレナ線路に沿って 1次元格子構造を付与した 例を示している。図中の黒い領域は、いずれも、電気導電性を有している部分を示し ている。図 25 (a)の例では、コプレナ線路中央の導体に周期構造を設けている。図 2 5 (b)の例では、線路外導体に周期構造を設けている。図 25 (c)の例では、線路上 に誘電体の周期構造を設けている。図 25 (d)の例では、線路中央の導体の下方に ビアホールの周期的配列を設けている。ビアホールの位置は、線路中央導体の下方 に限定されず、線路外導体の下方に設けてもよい。
[0134] これらのコプレナ線路をグランデッドコプレナ線路として動作させる場合、接地板 10 6が必要であるが、通常のコプレナ線路として動作させる場合には、接地板 106は不 要である。
[0135] 図 26 (a)から (d)は、いずれも、スロット線路に沿って 1次元格子構造を付与した例 を示している。図 26 (a)の例は、スロット中に導体を周期的に配置している。図 26 (b) の例では、スロットの端部を規定する導体のエッジに周期的構造を設けている。図 26 (c)の例では、ビアホールの周期的配列を付カ卩している。図 26 (d)の例では、スロット 上に誘電体を周期的に配列して 、る。
[0136] これらの実施形態では、 1次元格子基板 105が回路基板 102の導体パターンが形 成されていない面(下面)に対向する位置に設けられているが、図 27に示すように、 回路基板 102の導体パターンが形成されている面(上面)に対向する位置に 1次元 格子基板 105を設けてもよい。
[0137] 以上の各実施形態では、第 1または第 2格子基板 104、 105の少なくとも一方を動 かすことにより、フォトニック結晶構造を変化させ、 PBGの周波数域を制御することを 可能にしている力 本発明のフォトニック結晶デバイスは、以下のように機能させるこ とも可能である。
[0138] すなわち、回路基板 102、第 1格子基板 104、および第 2格子基板 105の少なくと も一方を他の基板から大きく引き離した状態 (オフ状態)と、これらの基板を近接させ た状態 (オン状態)との間で遷移できるようにしてもよい。このようにすると、 PBGが存 在しない状態と PBGが存在する状態との間をスィッチすることが可能になる。 [0139] 本明細書における「可動部」は、 2つの格子構造によって形成されるフォトニック結 晶構造を変化させるように誘電体基板の位置、方位、傾斜角度などを変化させること ができる機構であれば、その具体的な構造は本明細書に開示した構造に限定されな い。
産業上の利用可能性
[0140] 本発明のフォトニック結晶デバイスは、 PBG (フォトニックバンドギャップ)の周波数 を変化させることができるため、例えば高周波回路の分野における可変フィルタなど として好適に用いられ得る。

Claims

請求の範囲
[1] 第 1の面内において誘電率が周期的に変化する第 1の格子構造 (a first lattice structure)を有する第 1の誘電体基板と、
第 2の面内において誘電率が周期的に変化する第 2の格子構造 (a second lattice structure)を有する第 2の誘電体基板と、
前記第 1の格子構造と前記第 2の格子構造との間の相対的な配置関係を変化させ ることにより、前記第 1の格子構造および前記第 2の格子構造によって形成されるフォ トニックバンド構造を変化させる可動部と、
を備え、
前記第 1の誘電体基板および前記第 2の誘電体基板が積層されているフォトニック 結晶デバイス。
[2] 前記第 1および第 2の誘電体基板の少なくとも一方に対向する位置に配置された第
3の誘電体基板を更に備えて 、る請求項 1に記載のフォトニック結晶デバイス。
[3] 前記第 3の誘電体基板は、誘電体層と、前記誘電体層に支持された導体パターン とを有している請求項 2に記載のフォトニック結晶デバイス。
[4] 接地導体層を更に備え、
前記第 1および第 2の誘電体基板の少なくとも一方は、前記第 3の誘電体基板と前 記接地導体層との間に位置している、請求項 3に記載のフォトニック結晶デバイス
[5] 前記導体パターンの少なくとも一部はマイクロストリップ線路として機能する請求項 4 に記載のフォトニック結晶デバイス。
[6] 前記導体パターンの少なくとも一部はマイクロストリップアンテナとして機能する請求 項 4に記載のフォトニック結晶デバイス。
[7] 前記可動部は、前記第 1および第 2の誘電体基板の少なくとも一方を回転させるこ とができる、請求項 1に記載のフォトニック結晶デバイス。
[8] 前記可動部は、前記第 3の誘電体基板を回転させることができる、請求項 4に記載 のフォトニック結晶デバイス。
[9] 前記可動部によって回転させられる誘電体基板は円板形状を有している請求項 7 に記載のフォトニック結晶デバイス。
[10] 前記可動部によって回転させられる誘電体基板は円板形状を有している請求項 8 に記載のフォトニック結晶デバイス。
[11] 前記可動部はモータを有している請求項 1に記載のフォトニック結晶デバイス。
[12] 前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、前記第 1および第 2の誘電体基板上 に設けられた導体パターン力も形成されている、請求項 1に記載のフォトニック結晶 デバイス。
[13] 前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、前記第 1および第 2の誘電体基板に 形成された凹凸パターン力も形成されている、請求項 1に記載のフォトニック結晶デ バイス。
[14] 前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、 1次元格子である請求項 1に記載の フォトニック結晶デバイス。
[15] 前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、異なる方位に配列した複数の 1次元 格子の組み合わせである請求項 1に記載のフォトニック結晶デバイス。
[16] 前記第 1および第 2の格子構造は、それぞれ、前記面内で湾曲した曲線パターンを 含んでいる請求項 14に記載のフォトニック結晶デバイス。
[17] 前記第 1および第 2の誘電体基板は、前記面内の領域ごとに異なる格子構造を有 して 、る、請求項 1に記載のフォトニック結晶デバイス。
[18] 前記第 1および第 2の誘電体基板の少なくとも一方は、電磁波を伝播させる導体線 路を有して 、る、請求項 1に記載のフォトニック結晶デバイス。
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