WO2006133782A1 - Verfahren zum bestimmen von korrekturwerten zum korrigieren von positionsmessfehlern bei einer maschine mit zumindest einer translatorischen bewegungsachse - Google Patents

Verfahren zum bestimmen von korrekturwerten zum korrigieren von positionsmessfehlern bei einer maschine mit zumindest einer translatorischen bewegungsachse Download PDF

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WO2006133782A1
WO2006133782A1 PCT/EP2006/004641 EP2006004641W WO2006133782A1 WO 2006133782 A1 WO2006133782 A1 WO 2006133782A1 EP 2006004641 W EP2006004641 W EP 2006004641W WO 2006133782 A1 WO2006133782 A1 WO 2006133782A1
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correction values
head
error
position data
machine
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PCT/EP2006/004641
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Ulrich Staaden
Günter Grupp
Eugen Aubele Aubele
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Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh
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    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
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    • G01D5/24471—Error correction
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    • G—PHYSICS
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    • G01D18/008—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00 with calibration coefficients stored in memory

Definitions

  • the present invention relates to a method for determining correction values for correcting position measurement errors in a machine having at least one translatory movement axis, in particular in a coordinate measuring machine, the machine having a movable head, in particular a receptacle for a probe or a tool, and first position-measuring devices, to determine a spatial position of the head, with the steps:
  • the invention further relates to a machine, in particular a coordinate measuring machine, with a head movable along at least one translatory movement axis and with first position-measuring devices for determining a spatial position of the probe, wherein the first position-measuring devices provide first position data of the head, further comprising a unit for correcting the first Position data, the unit including a memory for storing correction values representing a fault history dependent on the positions of the head along a trajectory.
  • Such a method and such a machine are known for example from DE 1 638 032 Al, which relates to a coordinate measuring machine.
  • Coordinate measuring machines are typically used to measure the object shape of a measurement object with high accuracy. measure up. For example, the object form of workpieces for quality control is checked with coordinate measuring machines.
  • the coordinate measuring machine has a displacement mechanism, which makes it possible to move a so-called probe within the measuring volume. The probe is brought into a defined position to the measurement object and then the spatial coordinates of the measuring point from the position of the probe are determined in the measuring volume.
  • the present invention is independent of the type of "probing.” It relates to all coordinate measuring machines and, moreover, to all related machines in which a head is moved by means of a displacement mechanism along at least one translational movement axis Also applicable to machine tools, EDM machines or robots, for example, the head is a tool holder.
  • the current spatial position of the head is in the known coordinate measuring machines with the help of so-called Wein- Embodiments determined. Often these are glass scales on which a scale is applied. Position data for the position of the head are read off the measuring standards with the aid of suitable sensors.
  • the accuracy of this error correction depends on how "fine-meshed" the network of correction values is.The larger the intervals at which correction values are determined, the more likely it is that position-specific errors (so-called short-period errors) are not recognized and accordingly can not be corrected For high accuracy, therefore, a "fine-meshed" network of correction values is desirable.
  • DE 101 62 849 A1 it is proposed to move a scale which is shorter than the measuring volume relative to the position of a plurality of spaced-apart sensors, wherein in each case one of the sensors is selected for the measurement. Disadvantage of this proposal is that a large number of sensors is needed, which is correspondingly expensive.
  • DE 196 21 015 C2 also proposes to increase the accuracy in the region of joints of a composite scale by using a plurality of sensors. Furthermore, it is known to characterize the joints of scales by special code fields (DE 38 18 044 Al) or provide adjustment screws with which the distance of the scale parts can be adjusted in the region of a joint (DE 27 27 769 C2). In all cases, the additional expense increases the manufacturing cost of the coordinate measuring machine.
  • this object is achieved by a method of the aforementioned type, in which a defined number of correction values is determined for each section of the movement path, the defined number in each section of the movement path varying as a function of the course of the error.
  • a coordinate measuring machine more generally a machine according to the invention, has a unit for correcting the first position data, wherein the unit is designed to store a defined number of correction values for each section of the movement path and wherein the defined number for each section of the movement path depends on the Error history varies.
  • the present invention thus uses the known way of providing correction values in order to computationally correct position measurement errors.
  • the measurement accuracy of the new coordinate measuring machine is no longer directly dependent on the quality of the measuring standards.
  • the present invention therefore makes it possible to use even lower quality standards, whereby the manufacturing cost can be reduced. Even a later exchange of a "bad” measure of Even a later exchange of a "bad” scale is no longer necessary.
  • the present invention solves the hitherto practiced approach, according to which correction values are always determined at regular intervals. Instead, the invention proceeds to adapt the number of correction values (more precisely, the correction value density) to the actual error profile. If the course of the error is relatively uniform, the distance of the correction values (more precisely: the distance between two positions at which correction values are determined) can be relatively large. On the other hand, if the error course has strong fluctuations, it is advantageous to select the spacing of the correction values correspondingly small. In particular, with the new method a relatively large number of closely spaced correction values are determined where position-specific errors occur, for example at joints of multi-part scales. However, apart from position-specific errors, the distance of the correction values can be selected to be larger, that is to say only a smaller number of correction values are required in the corresponding section of the movement path.
  • the present invention uses only there a fine-meshed network of correction values, where this actually contributes to increase the accuracy of measurement.
  • a fine-meshed network of correction values does not significantly improve the measurement accuracy, the number of correction values is reduced in contrast.
  • the present invention makes it possible to reduce the size of the correction value tables without affecting the measurement accuracy of the coordinate measuring machine. device is deteriorated.
  • the time required to receive and determine the correction values can be significantly reduced, and it is nevertheless possible to use material measures with larger manufacturing tolerances.
  • the present invention thus makes it possible, on the one hand, to use cheaper dimensional standards.
  • the time required to accommodate a suitable correction value table is significantly reduced. Both factors help to reduce the manufacturing costs of a coordinate measuring machine, without its measurement accuracy is reduced. The stated task is therefore completely solved.
  • position-specific errors are determined on the basis of the error profile, and in a section with a position-specific error, more correction values are determined than in a section without position-specific errors.
  • the error profile is specifically analyzed for position-specific errors and the number of correction values is increased in the range of such an error.
  • the embodiment has the advantage that position-specific errors are taken into account not only at known joints of a multi-part scale, but generally. Thus, manufacturing tolerances between the ends of a scale can be detected and corrected. The accuracy of the new coordinate measuring machine is therefore uniformly high over the entire measuring range.
  • the first and second position data are recorded in the region of a position-specific error with smaller relative distances than away from a position-specific error.
  • This embodiment is based on the previous embodiment in that the first and second position data are recorded in the region of a position-specific error with a higher data density (support point density). There are thus finer resolution position data available to determine the correction values with a correspondingly finer resolution. Alternatively, however, it would also be possible to obtain the increased number of correction values in the region of a position-specific error by intelligent interpolation methods, for example by means of spline interpolation.
  • supplementary first and second position data are recorded in the region of a position-specific error in order to determine supplementary correction values.
  • the higher support point density in the region of a position-specific error is realized by selectively recording further position data in the region of the error.
  • This embodiment makes it possible to initially record position data relatively quickly for the entire measuring range. Supplementary data are then recorded only where it makes sense, for example in a second pass, in which the head is again targeted in the area of a recognized position-specific error.
  • the head is initially moved to equidistant spatial positions and there are respectively recorded first and second position data.
  • the error curve then obtained is then examined for position-specific errors. Where such errors are detected, the head is moved a second time and the supplemental first and second position data are acquired at smaller relative distances. This allows a particularly fast and yet accurate determination of correction values.
  • a position-specific error is assumed in each case where the error course has a change in the course, which is much stronger than a mean change in course.
  • This embodiment includes a particularly simple way to identify position-specific errors regardless of the cause of the error.
  • it is possible to identify position-specific errors that occur at unknown locations, for example, away from joints.
  • the adjacent correction values are compared with one another in order to identify position-specific errors. This embodiment is based on a comparison of the correction values with each other in order to identify the position-specific errors, which is relatively easy to implement.
  • the initially obtained correction values are smoothed in a first processing step, which can be done for example with an FIR filter.
  • a first processing step which can be done for example with an FIR filter.
  • the slope of the smoothed error curve is examined, which mathematically corresponds to the evaluation of the derivation of the error profile. In this way, local excursions of the error course can be localized very accurately.
  • the error profile is subjected to a frequency analysis, wherein a position-specific error is assumed if the error profile has a spatial frequency that is higher than a defined reference frequency.
  • the frequency analysis is performed in sections, since the occurrence of a high spatial frequency in a section of the trajectory indicates that there is a position-specific error in this section.
  • Frequency analysis is a very quick and effective way to determine if the error history has position-specific rashes. A particular advantage is that it can be determined very quickly whether position-specific errors occur in the course of the error at all.
  • the frequency analysis is carried out with the aid of a Fourier analysis of the error profile and / or with the aid of filter elements, at the output of which a threshold value decider is arranged.
  • the head is moved continuously along the movement path, the first and second position data being recorded simultaneously.
  • the first and second position data are recorded with a high support point density and still relatively quickly.
  • this embodiment is particularly suitable for determining a fine-meshed network of correction values.
  • the head is moved stepwise along the path of movement, wherein the first and second position data are respectively recorded when the head stops.
  • This embodiment requires over the aforementioned alternative more time when traversing the trajectory. On the other hand, it is easier here to synchronize the recording of the first and second position data. This refinement is therefore particularly preferred when precise synchronization of the first and second position-measuring devices represents a high outlay.
  • the correction values are stored in a correction value file, wherein the number of the stored correction values varies as a function of the course of the error.
  • This embodiment is particularly preferred when the head is moved continuously along the trajectory, but it can also be used in stepwise process. With this embodiment, the size of the correction value file is reduced, and especially if, after the recording of the first and second position data shows that the existing support point density is not needed. This embodiment is particularly suitable for older or inexpensive coordinate measuring machines with limited storage space.
  • FIG. 2 shows a simplified representation of a fault course in the coordinate measuring machine from FIG. 1,
  • FIG. 3 shows a schematic flow diagram for explaining a first exemplary embodiment of the method according to the invention.
  • FIG. 4 shows a schematic flow diagram for explaining a second exemplary embodiment of the method according to the invention.
  • an embodiment of a coordinate measuring machine is designated in its entirety by the reference numeral 10.
  • the coordinate measuring machine 10 is shown here in portal construction.
  • the invention is not limited to this and can also be used in coordinate measuring machines of a different type, for example in coordinate measuring machines with a horizontal arm.
  • the invention as already mentioned, are also used in all other machines in which a head along at least a translational trajectory is moved and where the positions of the head must be determined.
  • the coordinate measuring machine 10 has a base 12 on which a portal 14 is arranged to be movable.
  • the travel direction of the portal 14 is referred to as Y-axis, for example.
  • a carriage 16 On the traverse of the portal 14, a carriage 16 is arranged, which is movable in the X direction.
  • Reference numerals 20, 22, 24 dimensional standards are referred to, here in the form of glass scales.
  • Reference numeral 26 denotes the measurement volume in which the probe 28 of the coordinate measuring machine 10 can be moved.
  • a measurement object 30 is shown symbolically, which is to be measured with the coordinate measuring machine 10.
  • an evaluation and control unit which controls the traversing movements of the probe 28 along the three coordinate axes X, Y and Z and also determines the spatial coordinates of a probed measuring point.
  • the movements of the probe 28 can optionally be controlled manually, including a control panel 34 is provided, or can be performed automatically by means of the control unit 32.
  • the control unit 32 includes a processor 36 and at least one memory 38, in which an operating and evaluation program and correction values 40 are stored. With help the correction values 40, the evaluation and control unit 32 corrects measuring errors that are based on inaccuracies of the scales 20, 22, 24 and on other causes of the error.
  • the reference numeral 42 a laser interferometer is shown in simplified form, which is required only when measuring the coordinate measuring machine 10. With the aid of the laser interferometer 42, the position of the probe 28 in the measurement volume 26 can be determined precisely.
  • the obtained position data (second position data within the meaning of the present invention) are compared with the (first) position data which the evaluation and control unit 32 receives from the device's own scales 20, 22, 24. From the respective difference correction values are calculated, which are stored in the memory 38.
  • the recording of the first and second position data takes place when the head 28 is moved along defined trajectories.
  • a trajectory is indicated at reference numeral 44.
  • FIG. 2 shows in simplified form an error course 50 which results when the individual correction values 52 are connected to each other with an interpolating spline.
  • the error course 50 is shown here over the Y axis, which corresponds to a movement of the head 28 along the movement path 44. It should be understood, however, that the present invention is not limited to one-dimensional error history, but may be applied to correction values taken along orthogonal axes of motion. With two dashed lines 54, 56 a correction value interval is indicated, in which the majority of the correction values 52 lies. However, the correction value 58 and some adjacent correction values are outside this error interval.
  • the error pattern 50 at reference numeral 58 has a local outlier indicative of a position-specific error, such as a shockwave on the corresponding scale 20, 22, 24.
  • correction values having a higher correction value density are stored in the memory 38 of the evaluation and control unit 32, which is illustrated in FIG. 2 by supplementary correction values 60. Due to the closer spacing of the correction values 58, 60, a finer resolution is obtained here, which ultimately leads to a higher accuracy in the area around the position-specific error.
  • FIG. 3 shows a first exemplary embodiment for explaining the new method.
  • the head 28 is moved continuously along the movement path 44 (step 70).
  • the first and second position data are recorded (reference numerals 72, 74).
  • the correction values are determined from the difference of the position data (reference numeral 76).
  • the multiplicity of correction values result in a course of errors, as shown in simplified form in reference numeral 50 in FIG.
  • This error history can now be analyzed to identify location-specific errors.
  • this step is carried out with the aid of a Fourier analysis, for example with an FFT (Fast Fourier Transformation), which is performed in sections over the sections 62, 64, 66. (An FFT requires 2 N equidistant readings.)
  • FFT Fast Fourier Transformation
  • the correction values are stored in the memory 38 in such a way that a higher number of correction values are stored in the region of the identified position-specific errors than they are outside them.
  • the size of the correction value file therefore depends on the error history 50.
  • FIG. 4 shows a further exemplary embodiment of the new method, in which case the head 28 is moved stepwise along the path of movement 44 here.
  • reference numeral 82 is a first Feed step shown. After the head 28 has come to rest in its new position, the first position data (reference numeral 72) and the second position data (74) are read. With this procedure, it is not necessary to exactly synchronize the recording of the first and second position data.
  • the determination of the correction values can take place according to step 76.
  • the position-specific errors are searched (Ref. No. 86).
  • the search of the position-specific errors in this case is done by smoothing the correction values from step 76 with an FIR filter to suppress statistical fluctuations (noise).
  • the smoothed curve is examined for steep slopes and / or curvatures.
  • the height of the window can also be adjusted in a sliding manner to the course of the correction values. If individual correction values emerge from the window, such as the Correction value 58 in FIG. 2, this indicates a position-specific error.
  • the error profile 50 can be filtered with a filter, in particular a digital filter.
  • the filter is set to pass high frequencies and / or specific frequencies for certain causes of error while suppressing "normal" changes in the error pattern 50.
  • a threshold discriminator (not shown here) which outputs a signal, when the error history 50 includes the corresponding frequencies.
  • the head 28 When a position-specific error has been detected, the head 28 is moved to a location which is some position values Y before the detected error (reference numeral 88). From here, in turn, a gradual feed of the head 28 (reference numeral 90). After each stop of the head 28, supplementary first and second position data are read in (reference numeral 92). At reference numeral 94, a query is made as to whether all supplementary position data has been recorded. If this is not the case, the head 28 is advanced again. Otherwise, the determination of the supplementary correction values (reference numeral 96) takes place on the basis of the supplementary first and second position data.

Abstract

Zum Korrigieren von Positionsmessfehlern werden bei einem Koordinatenmessgerät oder einer anderen Maschine mit zumindest einer translatorischen Bewegungsachse Korrekturwerte (52, 60) aufgenommen, indem der verfahrbare Kopf der Maschine entlang einer definierten Bewegungsbahn verfahren wird. Dabei werden mit Hilfe von ersten und zweiten Positionsmesseinrichtungen erste und zweite Positionsdaten aufgenommen. Die ersten Positionsdaten stammen von Positionsmesseinrichtungen der Maschine. Die zweiten Positionsdaten stellen eine Referenzmessung dar. Die Korrekturwerte (52, 60) werden anhand der ersten und zweiten Positionsdaten bestimmt. Gemäss einem Aspekt der Erfindung wird für jeden Abschnitt (62, 64, 66) der Bewegungsbahn eine definierte Anzahl von Korrekturwerten (52, 60) bestimmt, wobei die definierte Anzahl in jedem Abschnitt (62, 64, 66) in Abhängigkeit von dem Fehlerverlauf (50) variiert.

Description

Verfahren zum Bestimmen von Korrekturwerten zum Korrigieren von
Positionsmessfehlern bei einer Maschine mit zumindest einer translatorischen Bewegungsachse
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen von Korrekturwerten zum Korrigieren von Positionsmessfehlern bei einer Maschine mit zumindest einer translatorischen Bewegungsachse, insbesondere bei einem Koordinatenmessgerät, wobei die Maschine einen verfahrbaren Kopf, insbesondere eine Aufnahme für einen Tastkopf oder ein Werkzeug, und erste Positionsmesseinrichtungen aufweist, um eine Raumposition des Kopfes zu bestimmen, mit den Schritten:
Verfahren des Kopfes entlang einer definierten Bewegungsbahn, wobei der Kopf entlang der Bewegungsbahn eine Vielzahl von Positionen einnimmt, Aufnehmen einer Vielzahl von ersten Positionsdaten an den Positionen des Kopfes mit Hilfe der ersten Positionsmesseinrichtungen ,
Aufnehmen einer Vielzahl von zweiten Positionsdaten an den Positionen des Kopfes mit Hilfe einer zweiten Positionsmesseinrichtung, und
Bestimmen einer Vielzahl von Korrekturwerten anhand der ersten und zweiten Positionsdaten, wobei die Korrekturwerte einen von den Positionen des Kopfes abhängigen Fehlerverlauf repräsentieren.
Die Erfindung betrifft ferner eine Maschine, insbesondere ein Koordinatenmessgerät , mit einem entlang von zumindest einer translatorischen Bewegungsachse verfahrbaren Kopf und mit ersten Positionsmesseinrichtungen zum Bestimmen einer Raumposition des Tastkopfes, wobei die ersten Positionsmesseinrichtungen erste Positionsdaten des Kopfes liefern, ferner mit einer Einheit zum Korrigieren der ersten Positionsdaten, wobei die Einheit einen Speicher zum Abspeichern von Korrekturwerten beinhaltet, die einen von den Positionen des Kopfes entlang einer Bewegungsbahn abhängigen Fehlerverlauf repräsentieren.
Ein solches Verfahren und eine solche Maschine sind beispielsweise aus DE 1 638 032 Al bekannt, die ein Koordinatenmessgerät betrifft.
Koordinatenmessgeräte werden typischerweise eingesetzt, um die Objektform eines Messobjekts mit hoher Genauigkeit zu ver- messen. Beispielsweise wird mit Koordinatenmessgeräten die Objektform von Werkstücken zur Qualitätskontrolle überprüft. Das Koordinatenmessgerät besitzt eine Verschiebemechanik, die es ermöglicht, einen sogenannten Tastkopf innerhalb des Messvolumens zu verfahren. Der Tastkopf wird in eine definierte Position zu dem Messobjekt gebracht und anschließend werden die Raumkoordinaten des Messpunktes aus der Stellung des Tastkopfes im Messvolumen bestimmt.
Am Tastkopf ist häufig ein Taststift angeordnet, der dient dazu, den gewählten Messpunkt am Messobjekt anzutasten, um die Bestimmung der Raumkoordinaten auszulösen. Alternativ hierzu gibt es jedoch auch Köpfe, die das Messobjekt berührungslos erfassen, beispielsweise mit optischen Mitteln. Die vorliegende Erfindung ist von der Art der „Antastung" unabhängig. Sie bezieht sich auf alle Koordinatenmessgeräte und darüber hinaus auch auf alle damit verwandten Maschinen, bei denen ein Kopf über eine Verschiebemechanik entlang von zumindest einer translatorischen Bewegungsachse verfahren wird. So ist die Erfindung beispielsweise auch bei Werkzeugmaschinen, Erodiermaschinen oder Robotern anwendbar. Der Kopf ist dann beispielsweise eine Werkzeugaufnahme .
Der Einfachheit halber wird die Erfindung im folgenden jedoch für den bevorzugten Anwendungsfall eines Koordinatenmessgerätes dargestellt, da hier die Anforderungen an die Messgenauigkeit bei der Positionserfassung besonders hoch sind.
Die jeweils aktuelle Raumposition des Kopfes wird bei den bekannten Koordinatenmessgeräten mit Hilfe von sogenannten Maß- Verkörperungen bestimmt. Häufig handelt es sich hierbei um Glasmaßstäbe, auf denen eine Skala aufgebracht ist. Positionsdaten für die Position des Kopfes werden an den Maßverkörperungen mit Hilfe einer geeigneten Sensorik abgelesen.
Bekanntermaßen ist die Genauigkeit bei der Bestimmung der Raumposition des Kopfes jedoch begrenzt. Mit anderen Worten ist jede Messung mit Messfehlern behaftet. Die Messfehler haben verschiedene Ursachen. Hierzu gehört die begrenzte Genauigkeit, mit der Maßverkörperungen hergestellt werden können. Dies gilt insbesondere bei großen Koordinatenmessgeräten, bei denen die Maßverkörperungen aus mehreren Teilen zusammengesetzt werden müssen. Aber auch bei kleineren Koordinatenmessgeräten wirken sich schon geringe Fertigungstoleranzen bei den Maßverkörperungen auf die Messgenauigkeit des Gerätes aus. Es kommt vor, dass aus einer Vielzahl von „gleichen" Maßverkörperungen nur wenige für die gewünschte Genauigkeit eines Koordinatenmessge- rätes geeignet sind. Teilweise stellen sich Mängel bei den Maßverkörperungen erst nach deren Einbau in das Koordinaten- messgerät heraus, was besonders nachteilig ist, da die „schlechten" Maßverkörperungen nachträglich ausgetauscht werden müssen. Die Herstellungskosten eines Koordinatenmessgerätes hängen daher erheblich von der Qualität und den Kosten der Maßverkörperungen ab.
Um die trotzdem verbleibenden Messfehler zu reduzieren, ist es bekannt, Fehler- oder Korrekturtabellen aufzunehmen und in einem Speicher des Koordinatenmessgerätes bereitzustellen. Hierzu wird der Kopf des Koordinatenmessgerätes entlang von definierten Bewegungsbahnen verfahren. Dabei werden die Positi- onen des Kopfes sowohl mit den Positionsmesseinrichtungen des Koordinatenmessgerätes selbst als auch mit zweiten Positionsmesseinrichtungen aufgenommen. Als zweite Positionsmesseinrichtungen in diesem Sinne dienen üblicherweise Laserinterferometer und sogenannte Neigungswaagen. Die Positionsdaten dieser zweiten Positionsmesseinrichtungen werden als „wahre" Positionsdaten angenommen, und aus dem Vergleich mit den ersten Positionsdaten des Koordinatenmessgerätes werden Korrekturwerte ermitteln. Diese Korrekturwerte werden bei den Messungen berücksichtigt. Ein solches Verfahren ist beispielsweise in der eingangs genannten DE 1 638 032 Al beschrieben.
Die Genauigkeit dieser Fehlerkorrektur hängt unter anderem davon ab, wie „feinmaschig" das Netz der Korrekturwerte ist. Je größer die Abstände sind, an denen Korrekturwerte bestimmt werden, desto eher besteht die Möglichkeit, dass positionsspezifische Fehler (sogenannte kurzperiodische Fehler) nicht erkannt und dementsprechend nicht korrigiert werden. Für eine hohe Genauigkeit ist daher ein „feinmaschiges" Netz an Korrekturwerten wünschenswert.
Die Bestimmung entsprechend vieler Korrekturwerte ist jedoch zeitaufwändig, insbesondere bei großen Koordinatenmessgeräten, wie sie beispielsweise eingesetzt werden, um ganze Kraftfahrzeuge zu vermessen. Darüber hinaus benötigen große Korrekturwerttabellen viel Speicherplatz in der Steuer- und Auswerteeinheit des Koordinatenmessgerätes. Beide Faktoren tragen zu hohen Herstellungskosten bei. Andererseits sind gerade große Koordinatenmessgeräte mit zusammengesetzten Maßverkörperungen besonders anfällig für positionsspezifische Fehler, insbesondere an den Stoßstellen der mehrteiligen Maßstäbe. Es gibt eine Reihe von Vorschlägen, um solche Fehler zu vermeiden oder zumindest zu reduzieren.
Einen breiteren Überblick über den Stand der Technik gibt hier die DE 197 24 732 Al, die einen modular aufgebauten Maßstab beschreibt, bei dem die Stoßstellen des zusammengesetzten Maßstabes so gelegt sind, dass sie möglichst weit entfernt von den Stoßstellen eines dazugehörigen Trägerkörpers liegen. Hier wird also versucht, die Qualität von zusammengesetzten Maßstäben zu verbessern .
In DE 101 62 849 Al ist vorgeschlagen, einen Maßstab, der kürzer ist als das Messvolumen, relativ zur Position von mehreren, voneinander beabstandeten Sensoren zu bewegen, wobei jeweils einer der Sensoren für die Messung ausgewählt wird. Nachteil dieses Vorschlages ist es, dass eine Vielzahl von Sensoren benötigt wird, was entsprechend teuer ist. Auch DE 196 21 015 C2 schlägt vor, die Genauigkeit im Bereich von Stoßstellen eines zusammengesetzten Maßstabes dadurch zu erhöhen, dass mehrere Sensoren verwendet werden. Des Weiteren ist es bekannt, die Stoßstellen von Maßstäben durch spezielle Codefelder zu kennzeichnen (DE 38 18 044 Al) oder Einstellschrauben vorzusehen, mit denen der Abstand der Maßstabsteile im Bereich einer Stoßstelle justiert werden kann (DE 27 27 769 C2). In allen Fällen erhöht der zusätzliche Aufwand die Herstellungskosten des Koordinatenmessgerätes . Vor diesem Hintergrund ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren anzugeben, das eine Reduzierung der Herstellungskosten eines Koordinateninessgerätes ermöglicht, ohne dass sich dies nachteilig auf die Messgenauigkeit auswirkt. Es ist ferner eine Aufgabe, ein entsprechendes Koordina- tenmessgerät anzugeben.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird diese Aufgabe durch ein Verfahren der eingangs genannten Art gelöst, bei dem für jeden Abschnitt der Bewegungsbahn eine definierte Anzahl von Korrekturwerten bestimmt wird, wobei die definierte Anzahl in jedem Abschnitt der Bewegungsbahn in Abhängigkeit von dem Fehlerverlauf variiert.
Ein erfindungsgemäßes Koordinatenmessgerät , allgemeiner eine erfindungsgemäße Maschine, besitzt eine Einheit zum Korrigieren der ersten Positionsdaten, wobei die Einheit dazu ausgebildet ist, für jeden Abschnitt der Bewegungsbahn eine definierte Anzahl von Korrekturwerten abzuspeichern und wobei die definierte Anzahl für jeden Abschnitt der Bewegungsbahn in Abhängigkeit von dem Fehlerverlauf variiert.
Die vorliegende Erfindung geht damit den an sich bekannten Weg, Korrekturwerte bereitzustellen, um Positionsmessfehler rechnerisch zu korrigieren. Dadurch ist die Messgenauigkeit des neuen Koordinatenmessgerätes nicht mehr unmittelbar von der Qualität der Maßverkörperungen abhängig. Die vorliegende Erfindung ermöglicht es daher, auch qualitativ schlechtere Maßstäbe einzusetzen, wodurch die Herstellungskosten gesenkt werden können. Auch ein späterer Austausch eines „schlechten" Maßsta- Auch ein späterer Austausch eines „schlechten" Maßstabes ist nicht mehr notwendig.
Andererseits löst sich die vorliegende Erfindung von dem bislang praktizierten Ansatz, wonach Korrekturwerte stets in gleichmäßigen Abständen bestimmt werden. Die Erfindung geht stattdessen den Weg, die Anzahl der Korrekturwerte (genauer: die Korrekturwertdichte) dem tatsächlichen Fehlerverlauf anzupassen. Ist der Fehlerverlauf relativ gleichmäßig, kann der Abstand der Korrekturwerte (genauer: der Abstand zwischen zwei Positionen, an denen Korrekturwerte bestimmt werden) relativ groß sein. Besitzt der Fehlerverlauf hingegen starke Schwankungen, ist es vorteilhaft, den Abstand der Korrekturwerte entsprechend klein zu wählen. Insbesondere werden mit dem neuen Verfahren relativ viele, dicht beieinander liegende Korrekturwerte dort bestimmt, wo positionsspezifische Fehler auftreten, beispielsweise an Stoßstellen von mehrteiligen Maßstäben. Abseits von positionsspezifischen Fehlern kann der Abstand der Korrekturwerte dagegen größer gewählt werden, das heißt in dem entsprechenden Abschnitt der Bewegungsbahn wird nur eine geringere Anzahl von Korrekturwerten benötigt.
Die vorliegende Erfindung verwendet also nur dort ein feinmaschiges Netz an Korrekturwerten, wo dies auch tatsächlich zur Erhöhung der Messgenauigkeit beiträgt. In Bereichen, wo ein feinmaschiges Netz von Korrekturwerten die Messgenauigkeit nicht nennenswert verbessert, wird die Anzahl der Korrekturwerte demgegenüber reduziert. Infolge dessen ermöglicht die vorliegende Erfindung, die Größe der Korrekturwerttabellen zu reduzieren, ohne dass die Messgenauigkeit des Koordinatenmess- gerätes verschlechtert wird. Darüber hinaus kann die Zeit, die zur Aufnahme und Bestimmung der Korrekturwerte benötigt wird, deutlich reduziert werden und es können trotzdem Maßverkörperungen mit größeren Fertigungstoleranzen eingesetzt werden.
Die vorliegende Erfindung ermöglicht also einerseits die Verwendung von billigeren Maßverkörperungen. Andererseits wird die Zeit, die zur Aufnahme einer geeigneten Korrekturwerttabelle benötigt wird, deutlich reduziert. Beide Faktoren tragen dazu bei, die Herstellungskosten eines Koordinatenmessgerätes zu senken, ohne dass dessen Messgenauigkeit herabgesetzt wird. Die genannte Aufgabe ist daher vollständig gelöst.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung werden positionsspezifische Fehler anhand des Fehlerverlaufs ermittelt und in einem Abschnitt mit einem positionsspezifischen Fehler werden mehr Korrekturwerte bestimmt als in einem Abschnitt ohne positionsspezifischen Fehler.
In dieser Ausgestaltung wird der Fehlerverlauf gezielt nach positionsspezifischen Fehlern analysiert und die Anzahl der Korrekturwerte wird im Bereich eines solchen Fehlers erhöht. Die Ausgestaltung besitzt den Vorteil, dass positionsspezifische Fehler nicht nur an bekannten Stoßstellen eines mehrteiligen Maßstabes, sondern generell berücksichtigt werden. So können auch Fertigungstoleranzen zwischen den Enden eines Maßstabes erkannt und korrigiert werden. Die Genauigkeit des neuen Koordinatenmessgerätes ist daher über den gesamten Messbereich gleichmäßig hoch. In einer weiteren Ausgestaltung werden die ersten und zweiten Positionsdaten im Bereich eines positionsspezifischen Fehlers mit geringeren relativen Abständen aufgenommen als abseits eines positionsspezifischen Fehlers.
Diese Ausgestaltung knüpft an die vorhergehende Ausgestaltung an, indem die ersten und zweiten Positionsdaten im Bereich eines positionsspezifischen Fehlers mit einer höheren Datendichte (Stützstellendichte) aufgenommen werden. Es stehen somit feiner aufgelöste Positionsdaten zur Verfügung, um die Korrekturwerte mit einer entsprechend feineren Auflösung zu bestimmen. Alternativ hierzu wäre es jedoch auch möglich, die erhöhte Anzahl an Korrekturwerten im Bereich eines positionsspezifischen Fehlers durch intelligente Interpolationsverfahren, beispielsweise mit Hilfe einer Spline-Interpolation zu erhalten.
In einer weiteren Ausgestaltung werden im Bereich eines positionsspezifischen Fehlers ergänzende erste und zweite Positionsdaten aufgenommen, um ergänzende Korrekturwerte zu bestimmen.
In dieser Ausgestaltung wird die höhere Stützstellendichte im Bereich eines positionsspezifischen Fehlers dadurch realisiert, dass im Bereich des Fehlers gezielt weitere Positionsdaten aufgenommen werden. Diese Ausgestaltung ermöglicht es, zunächst Positionsdaten für den gesamten Messbereich relativ schnell aufzunehmen. Nur dort, wo es sinnvoll ist, werden dann ergänzende Daten aufgenommen, beispielsweise in einem zweiten Durchgang, in dem der Kopf nochmals gezielt in den Bereich eines erkannten positionsspezifischen Fehlers verfahren wird. Diese Ausgestaltung ist besonders effizient und bietet eine hohe, gleichmäßige Genauigkeit.
In dem letztgenannten Fall ist es besonders bevorzugt, wenn der Kopf zunächst an äquidistante Raumpositionen verfahren wird und dort jeweils erste und zweite Positionsdaten aufgenommen werden. Die dann erhaltene Fehlerkurve wird anschließend auf positionsspezifische Fehler untersucht. Dort, wo solche Fehler erkannt werden, wird der Kopf ein zweites Mal hingefahren und es werden die ergänzenden ersten und zweiten Positionsdaten mit geringeren relativen Abständen aufgenommen. Damit wird eine besonders schnelle und trotzdem genaue Bestimmung von Korrekturwerten ermöglicht.
In einer weiteren Ausgestaltung wird ein positionsspezifischer Fehler jeweils dort angenommen, wo der Fehlerverlauf eine Verlaufsänderung aufweist, die wesentlich stärker ist als eine mittlere Verlaufsänderung.
Diese Ausgestaltung beinhaltet einen besonders einfachen Weg, um positionsspezifische Fehler unabhängig von der Fehlerursache zu identifizieren. Insbesondere lassen sich damit positionsspezifische Fehler identifizieren, die an unbekannten Stellen auftreten, beispielsweise abseits von Stoßstellen.
In einer weiteren Ausgestaltung werden die benachbarten Korrekturwerte miteinander verglichen, um positionsspezifische Fehler zu identifizieren. Diese Ausgestaltung beruht auf einem Vergleich der Korrekturwerte miteinander, um die positionsspezifischen Fehler zu identifizieren, was relativ einfach zu realisieren ist.
In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung werden die zunächst erhaltenen Korrekturwerte in einem ersten Verarbeitungsschritt geglättet, was beispielsweise mit einem FIR-Filter erfolgen kann. Anschließend wird die Steigung des geglätteten Fehlerverlaufs untersucht, was mathematisch der Auswertung der Ableitung des Fehlerverlaufs entspricht. Auf diese Weise lassen sich lokale Ausschläge des Fehlerverlaufs sehr genau lokalisieren.
In einer anderen bevorzugten Ausgestaltung wird überprüft, ob die einzelnen Korrekturwerte innerhalb eines gleitenden Fensters liegen, wobei die Breite und Höhe des Fensters so an den Verlauf der Korrekturwerte angepasst wird, dass sich lokale Ausreißer schnell zeigen.
In einer weiteren, ebenfalls bevorzugten Ausgestaltung wird der Fehlerverlauf einer Frequenzanalyse unterzogen, wobei ein positionsspezifischer Fehler angenommen wird, wenn der Fehlerverlauf eine Ortsfrequenz aufweist, die höher ist als eine definierte Referenzfrequenz. Besonders bevorzugt erfolgt die Frequenzanalyse abschnittweise, da das Auftreten einer hohen Ortsfrequenz in einem Abschnitt der Bewegungsbahn darauf hindeutet, dass in diesem Abschnitt ein positionsspezifischer Fehler vorliegt. Eine Frequenzanalyse ist eine sehr schnelle und effektive Möglichkeit, um festzustellen, ob der Fehlerverlauf positionsspezifische Ausschläge aufweist. Ein besonderer Vorteil ist, dass hierbei sehr schnell festgestellt werden kann, ob in dem Fehlerverlauf überhaupt positionsspezifische Fehler auftreten.
Besonders bevorzugt ist es, wenn die Frequenzanalyse mit Hilfe einer Fourieranalyse des Fehlerverlaufs und/oder mit Hilfe von Filterelementen erfolgt, an deren Ausgang ein Schwellen- wertentscheider angeordnet ist.
Mit diesen beiden Möglichkeiten kann der Fehlerverlauf sehr schnell und automatisiert auf das Vorhandensein von hohen Ortsfrequenzen untersucht werden, so dass sich positionsspezifische Fehler entsprechend schnell erkennen lassen.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird der Kopf entlang der Bewegungsbahn kontinuierlich verfahren, wobei die ersten und zweiten Positionsdaten zeitgleich aufgenommen werden.
Mit dieser Ausgestaltung werden die ersten und zweiten Positionsdaten mit einer hohen Stützstellendichte und trotzdem relativ schnell aufgenommen. Damit ist diese Ausgestaltung besonders geeignet, um ein feinmaschiges Netz von Korrekturwerten zu bestimmen .
In einer alternativen Ausgestaltung wird der Kopf entlang der Bewegungsbahn schrittweise verfahren, wobei die ersten und zweiten Positionsdaten jeweils aufgenommen werden, wenn der Kopf anhält.
Diese Ausgestaltung erfordert gegenüber der zuvor genannten Alternative mehr Zeit beim Durchfahren der Bewegungsbahn. Andererseits ist es hier einfacher, die Aufnahme der ersten und zweiten Positionsdaten zu synchronisieren. Diese Ausgestaltung ist daher besonders dann bevorzugt, wenn eine genaue Synchronisierung der ersten und zweiten Positionsmesseinrichtungen einen hohen Aufwand darstellt.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden die Korrekturwerte in einer Korrekturwertdatei abgespeichert, wobei die Anzahl der abgespeicherten Korrekturwerte in Abhängigkeit von dem Fehlerverlauf variiert.
Diese Ausgestaltung ist besonders bevorzugt, wenn der Kopf entlang der Bewegungsbahn kontinuierlich verfahren wird, sie kann jedoch auch bei schrittweisem Verfahren eingesetzt werden. Mit dieser Ausgestaltung wird die Größe der Korrekturwertdatei reduziert, und zwar vor allem dann, wenn sich nach der Aufnahme der ersten und zweiten Positionsdaten zeigt, dass die damit vorhandene Stützstellendichte nicht benötigt wird. Diese Ausgestaltung eignet sich vor allem für ältere oder kostengünstige Koordinatenmessgeräte mit begrenztem Speicherplatz.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 ein Ausführungsbeispiel eines Koordinatenmessgerätes mit der neuen Messwertkorrektur,
Figur 2 eine vereinfachte Darstellung eines Fehlerverlaufs bei dem Koordinatenmessgerät aus Figur 1,
Figur 3 ein schematisches Flussdiagramm zur Erläuterung eines ersten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens, und
Figur 4 ein schematisches Flussdiagramm zur Erläuterung eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens .
In Figur 1 ist ein Ausführungsbeispiel eines Koordinatenmessgerätes in seiner Gesamtheit mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet. Das Koordinatenmessgerät 10 ist hier in Portalbauweise dargestellt. Die Erfindung ist hierauf jedoch nicht beschränkt und kann ebenso bei Koordinatenmessgeräten anderer Bauart verwendet werden, beispielsweise bei Koordinatenmessgeräten mit einem horizontalen Ausleger. Darüber hinaus kann die Erfindung, wie bereits eingangs erwähnt, auch bei allen anderen Maschinen eingesetzt werden, bei denen ein Kopf entlang von zumindest einer translatorischen Bewegungsbahn verfahren wird und bei denen die Positionen den Kopfes bestimmt werden müssen.
Das Koordinatenmessgerät 10 besitzt eine Basis 12, auf der ein Portal 14 verfahrbar angeordnet ist. Die Verfahrrichtung des Portals 14 wird beispielsweise als Y-Achse bezeichnet. Auf der Traverse des Portals 14 ist ein Schlitten 16 angeordnet, der in X-Richtung verfahrbar ist. An dem Schlitten 16 sitzt eine in Z- Richtung verfahrbare Pinole 18. Mit den Bezugsziffern 20, 22, 24 sind Maßverkörperungen bezeichnet, hier in Form von Glasmaßstäben. Bezugsziffer 26 bezeichnet das Messvolumen, in dem der Tastkopf 28 des Koordinatenmessgerätes 10 verfahren werden kann.
Innerhalb des Messvolumens 26 ist symbolisch ein Messobjekt 30 dargestellt, das mit dem Koordinatenmessgerät 10 vermessen werden soll.
Bei der Bezugsziffer 32 ist eine Auswerte- und Steuereinheit dargestellt, die die Verfahrbewegungen des Tastkopfes 28 entlang der drei Koordinatenachsen X, Y und Z steuert und außerdem die Raumkoordinaten eines angetasteten Messpunktes bestimmt. Die Verfahrbewegungen des Tastkopfes 28 können wahlweise manuell gesteuert werden, wozu ein Bedienpult 34 vorgesehen ist, oder auch automatisch mit Hilfe der Steuereinheit 32 durchgeführt werden.
Die Steuereinheit 32 beinhaltet einen Prozessor 36 und zumindest einen Speicher 38, in dem ein Betriebs- und Auswerteprogramm sowie Korrekturwerte 40 abgespeichert sind. Mit Hilfe der Korrekturwerte 40 korrigiert die Auswerte- und Steuereinheit 32 Messfehler, die auf Ungenauigkeiten der Maßstäbe 20, 22, 24 und auf anderen Fehlerursachen beruhen.
Bei der Bezugsziffer 42 ist ein Laserinterferometer vereinfacht dargestellt, das nur beim Einmessen des Koordinatenmessgerätes 10 benötigt wird. Mit Hilfe des Laserinterferometers 42 lässt sich die Position des Tastkopfes 28 im Messvolumen 26 genau bestimmen. Die erhaltenen Positionsdaten (zweite Positionsdaten im Sinne der vorliegenden Erfindung) werden mit den (ersten) Positionsdaten verglichen, die die Auswerte- und Steuereinheit 32 von den geräteeigenen Maßstäben 20, 22, 24 erhält. Aus der jeweiligen Differenz werden Korrekturwerte berechnet, die im Speicher 38 hinterlegt werden. Die Aufnahme der ersten und zweiten Positionsdaten erfolgt, wenn der Kopf 28 entlang von definierten Bewegungsbahnen verfahren wird. Beispielhaft ist hier eine Bewegungsbahn bei Bezugsziffer 44 angedeutet.
In Figur 2 ist ein Fehlerverlauf 50 vereinfacht dargestellt, der sich ergibt, wenn man die einzelnen Korrekturwerte 52 mit einem interpolierenden Spline miteinander verbindet. Der Fehlerverlauf 50 ist hier über der Y-Achse dargestellt, was einer Verfahrbewegung des Kopfes 28 entlang der Bewegungsbahn 44 entspricht. Es versteht sich jedoch, dass die vorliegende Erfindung nicht auf einen eindimensionalen Fehlerverlauf beschränkt ist, sondern auch bei Korrekturwerten angewendet werden kann, die entlang von orthogonalen Bewegungsachsen aufgenommen werden . Mit zwei gestrichelten Linien 54, 56 ist ein Korrekturwertintervall angedeutet, in dem die Mehrzahl der Korrekturwerte 52 liegt. Der Korrekturwert 58 und einige benachbarte Korrekturwerte liegen jedoch außerhalb dieses Fehlerintervalls. Mit anderen Worten besitzt der Fehlerverlauf 50 bei Bezugsziffer 58 einen lokalen Ausreißer, der auf einen positionsspezifischen Fehler, beispielsweise auf eine Stoßwelle an dem entsprechenden Maßstab 20, 22, 24, hindeutet.
Nach der vorliegenden Erfindung werden daher im Speicher 38 der Auswerte- und Steuereinheit 32 Korrekturwerte mit einer höheren Korrekturwertdichte (geringere räumliche Abstände voneinander) abgespeichert, was in Figur 2 anhand von ergänzenden Korrekturwerten 60 dargestellt ist. Aufgrund der engeren Abstände der Korrekturwerte 58, 60 erhält man hier eine feinere Auflösung, was letztlich zu einer höheren Genauigkeit im Bereich um den positionsspezifischen Fehler führt.
Mit anderen Worten ist die Anzahl der Korrekturwerte 52, 60 in jedem Abschnitt der Bewegungsbahn 44 von dem Fehlerverlauf 50 abhängig. In den Abschnitten 62 und 64 ist die Korrekturwertdichte hier nur halb so groß wie im Abschnitt 66. Darüber hinaus kann die Anzahl der Korrekturwerte auch noch weiter variieren, was beispielhaft dargestellt ist, indem bei der Bezugsziffer 68 ein Korrekturwert fehlt. Dieser ist aufgrund des relativ linearen Verlaufs und aufgrund der geringen Unterschiede der benachbarten Korrekturwerte nicht erforderlich. Ggf. kommt man mit einer Interpolation zu einem gleichwertigen Ergebnis. Figur 3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel zur Erläuterung des neuen Verfahrens. Der Kopf 28 wird in diesem Fall kontinuierlich entlang der Bewegungsbahn 44 verfahren (Schritt 70). Zeitgleich werden die ersten und zweiten Positionsdaten aufgenommen (Bezugsziffern 72, 74). Anschließend werden die Korrekturwerte aus der Differenz der Positionsdaten bestimmt (Bezugsziffer 76). Die Vielzahl der Korrekturwerte ergibt einen Fehlerverlauf, wie er in Figur 2 bei Bezugsziffer 50 vereinfacht dargestellt ist.
Dieser Fehlerverlauf kann nun analysiert werden, um positionsspezifische Fehler zu identifizieren. Bei dem in Figur 3 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt dieser Schritt mit Hilfe einer Fourieranalyse, beispielsweise mit einer FFT (Fast Fou- rier Transformation) , die abschnittsweise über den Abschnitten 62, 64, 66 durchgeführt wird. (Eine FFT erfordert dabei 2N äquidistante Messwerte.)
Ergibt die Analyse, dass in dem untersuchten Abschnitt relativ hohe Ortsfrequenzen vorhanden sind, deutet dies auf eine starke lokale Schwankung des Fehlerverlaufs hin. Gemäß Schritt 80 erfolgt in diesem Fall ein Abspeichern der Korrekturwerte im Speicher 38 derart, dass im Bereich der identifizierten positionsspezifischen Fehler eine höhere Anzahl an Korrekturwerten abgespeichert wird als abseits davon. Die Größe der Korrekturwertdatei hängt daher vom Fehlerverlauf 50 ab.
Figur 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel des neuen Verfahrens, wobei der Kopf 28 hier entlang der Bewegungsbahn 44 schrittweise verfahren wird. Bei Bezugsziffer 82 ist ein erster Vorschubschritt dargestellt. Nachdem der Kopf 28 in seiner neuen Position zur Ruhe gekommen ist, werden die ersten Positionsdaten (Bezugsziffer 72) und die zweiten Positionsdaten (74) eingelesen. Bei dieser Vorgehensweise ist es nicht erforderlich, das Aufnehmen der ersten und zweiten Positionsdaten exakt zu synchronisieren.
Bei Bezugsziffer 84 erfolgt eine Entscheidung, ob der Kopf 28 seine vorgesehene Endposition erreicht hat. Wenn dies nicht der Fall ist, wird der Kopf 28 gemäß Schritt 82 erneut um eine definierte Strecke verfahren. Anschließend erfolgt die erneute Aufnahme von ersten und zweiten Positionsdaten.
Wenn alle ersten und zweiten Positionsdaten eingelesen sind, kann die Bestimmung der Korrekturwerte gemäß Schritt 76 erfolgen. Anschließend werden die positionsspezifischen Fehler gesucht (Bezugsziffer 86). Beispielsweise erfolgt die Suche der positionsspezifischen Fehler in diesem Fall, indem die Korrekturwerte aus Schritt 76 mit einem FIR-Filter geglättet werden, um statistische Schwankungen (Rauschen) zu unterdrücken. Im Anschluss daran wird der geglättete Kurvenverlauf auf starke Steigungen und/oder Krümmungen untersucht.
In einem alternativen Ausführungsbeispiel wird ein Fenster mit einer Länge von beispielsweise 10 Korrekturwerten und einer Höhe, wie sie in Figur 2 mit Hilfe der Linien 54, 56 dargestellt ist, gleitend über die Vielzahl der Korrekturwerte geschoben. Die Höhe des Fensters kann auch gleitend an den Verlauf der Korrekturwerte angepasst werden. Treten einzelne Korrekturwerte aus dem Fenster heraus, wie beispielsweise der Korrekturwert 58 in Figur 2, deutet dies auf einen positionsspezifischen Fehler hin.
In einer weiteren Alternative kann der Fehlerverlauf 50 mit einem Filter gefiltert werden, insbesondere einem digitalen Filter. Das Filter ist so eingestellt, dass hohe Frequenzen und/oder spezifische Frequenzen für bestimmte Fehlerursachen durchgelassen werden, während „normale" Veränderungen des Fehlerverlaufs 50 unterdrückt werden. Am Ausgang des Filters ist ein Schwellenwertentscheider (hier nicht dargestellt) angeordnet, der ein Signal abgibt, wenn der Fehlerverlauf 50 die entsprechenden Frequenzen beinhaltet.
Das Ergebnis dieser Frequenzanalyse ist in etwa mit der Fourie- ranalyse vergleichbar, die bei dem Ausführungsbeispiel in Figur 3 erwähnt wurde .
Wenn ein positionsspezifischer Fehler erkannt wurde, wird der Kopf 28 an eine Stelle verfahren, die um einige Positionswerte Y vor dem erkannten Fehler liegt (Bezugsziffer 88). Von hier aus erfolgt wiederum ein schrittweiser Vorschub des Kopfes 28 (Bezugsziffer 90). Nach jedem Stopp des Kopfes 28 werden ergänzende erste und zweite Positionsdaten eingelesen (Bezugsziffer 92). Bei Bezugsziffer 94 erfolgt eine Abfrage, ob alle ergänzenden Positionsdaten aufgenommen wurden. Wenn dies nicht der Fall ist, wird der Kopf 28 wieder vorgeschoben. Andernfalls erfolgt die Bestimmung der ergänzenden Korrekturwerte (Bezugsziffer 96) anhand der ergänzenden ersten und zweiten Positionsdaten.

Claims

Patentansprüche
Verfahren zum Bestimmen von Korrekturwerten (52, 60) zum Korrigieren von Positionsmessfehlern bei einer Maschine mit zumindest einer translatorischen Bewegungsachse (X, Y, Z), insbesondere bei einem Koordinatenmessgerät (10), wobei die Maschine einen verfahrbaren Kopf (28) und erste Positionsmesseinrichtungen (20, 22, 24) aufweist, um eine Raumposition des Kopfes (28) zu bestimmen, mit den Schritten:
Verfahren des Kopfes (28) entlang einer definierten Bewegungsbahn (44), wobei der Kopf (28) entlang der Bewegungsbahn (44) eine Vielzahl von Positionen einnimmt,
Aufnehmen (72; 72') einer Vielzahl von ersten Positionsdaten an den Positionen des Kopfes (28) mit Hilfe der ersten Positionsmesseinrichtungen (20, 22,24),
Aufnehmen (74; 74') einer Vielzahl von zweiten Positionsdaten an den Positionen des Kopfes (28) mit Hilfe einer zweiten Positionsmesseinrichtung (42), und
Bestimmen einer Vielzahl von Korrekturwerten (52, 60) anhand der ersten und zweiten Positionsdaten, wobei die Korrekturwerte (52, 60) einen von den Positionen des Kopfes (28) abhängigen Fehlerverlauf (50) repräsentieren, dadurch gekennzeichnet, dass für jeden Abschnitt (62, 64, 66) der Bewegungsbahn (44) eine definierte Anzahl von Korrekturwerten (52, 60) bestimmt wird, wobei die definierte Anzahl in jedem Abschnitt (62, 64, 66) der Bewegungsbahn in Abhängigkeit von dem Fehlerverlauf (50) variiert.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass anhand des Fehlerverlaufs (50) positionsspezifische Fehler (58) ermittelt werden und dass in einem Abschnitt (66) mit einem positionsspezifischen Fehler (58) mehr Korrekturwerte (52, 60) bestimmt werden als in einem Abschnitt (62, 64) ohne positionsspezifischen Fehler.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Positionsdaten im Bereich eines positionsspezifischen Fehlers (58) mit geringeren relativen Abständen aufgenommen werden als abseits eines positionsspezifischen Fehlers (58).
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich eines positionsspezifischen Fehlers (58) ergänzende erste und zweite Positionsdaten aufgenommen werden, um ergänzende Korrekturwerte (60) zu bestimmen.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein positionsspezifischer Fehler (58) jeweils dort angenommen wird, wo der Fehlerverlauf (50) eine Verlaufsänderung aufweist, die wesentlich stärker ist als eine mittlere Verlaufsänderung (54, 56).
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass benachbarte Korrekturwerte miteinander verglichen werden, um positionsspezifische Fehler (58) zu identifizieren .
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Fehlerverlauf (50) einer Frequenzanalyse (78) unterzogen wird, wobei ein positionsspezifischer Fehler (58) angenommen wird, wenn der Fehlerverlauf (50) eine Ortsfrequenz aufweist, die höher ist als eine definierte Referenzfrequenz.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenzanalyse (78) mit Hilfe einer Fourieranalyse des Fehlerverlaufs und/oder mit Hilfe von Filterelementen erfolgt, an deren Ausgang ein Schwellenwertentscheider angeordnet ist.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf (28) entlang der Bewegungsbahn (44) kontinuierlich verfahren wird, wobei die ersten und zweiten Positionsdaten (72, 74) zeitgleich aufgenommen werden .
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf (28) entlang der Bewegungsbahn schrittweise verfahren wird, wobei die ersten und zweiten Positionsdaten (72', 74') jeweils aufgenommen werden, wenn der Kopf (28) anhält.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrekturwerte (52, 60) in einer Korrekturwertdatei (40) abgespeichert werden, wobei die Anzahl der abgespeicherten Korrekturwerte (52, 60) in Abhängigkeit von dem Fehlerverlauf (50) variiert.
12. Computerprogrammprodukt mit Programmcode, der dazu ausgebildet ist, ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11 auszuführen, wenn der Programmcode auf einem Computer ausgeführt wird.
13. Maschine, insbesondere Koordinatenmessgerät (10), mit einem entlang von zumindest einer translatorischen Bewegungsachse (X, Y, Z) verfahrbaren Kopf (28) und mit ersten Positionsmesseinrichtungen (22, 24, 26) zum Bestimmen einer Raumposition des Kopfes (28), wobei die ersten Positionsmesseinrichtungen (22, 24, 26) erste Positionsdaten des Kopfes (28) liefern, ferner mit einer Einheit (32) zum Korrigieren der ersten Positionsdaten, wobei die Einheit (32) einen Speicher (38) zum Abspeichern von Korrekturwerten (52, 60) beinhaltet, die einen von den Positionen des Kopfes (28) entlang einer Bewegungsbahn (44) abhängigen Fehlerverlauf (50) repräsentieren, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit (32) dazu ausgebildet ist, für jeden Abschnitt (62, 64, 66) der Bewegungsbahn eine definierte Anzahl von Korrekturwerten (52, 60) abzuspeichern, wobei die definierte Anzahl für jeden Abschnitt (62, 64, 66) der Bewegungsbahn in Abhängigkeit von dem Fehlerverlauf (50) variiert.
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