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Brevets

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Numéro de publicationWO2007044786 A2
Type de publicationDemande
Numéro de demandePCT/US2006/039681
Date de publication19 avr. 2007
Date de dépôt11 oct. 2006
Date de priorité11 oct. 2005
Autre référence de publicationUS7636168, US20070086013, WO2007044786A3
Numéro de publicationPCT/2006/39681, PCT/US/2006/039681, PCT/US/2006/39681, PCT/US/6/039681, PCT/US/6/39681, PCT/US2006/039681, PCT/US2006/39681, PCT/US2006039681, PCT/US200639681, PCT/US6/039681, PCT/US6/39681, PCT/US6039681, PCT/US639681, WO 2007/044786 A2, WO 2007044786 A2, WO 2007044786A2, WO-A2-2007044786, WO2007/044786A2, WO2007044786 A2, WO2007044786A2
InventeursLega Xavier Colonna De, Groot Peter De
DéposantZygo Corporation
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  Patentscope, Espacenet
Procédé et système d'interférométrie à décomposition spectrale
WO 2007044786 A2
Résumé
La présente invention concerne, dans un mode de réalisation général, un procédé consistant à diriger une lumière de mesure pour sa réflexion sur une surface de mesure et à combiner la lumière de mesure réfléchie avec une lumière de référence, la lumière de mesure et celle de référence provenant d'une source commune, une différence de longueur de trajet optique non nulle existant entre la lumière de mesure et celle de référence étant supérieure à la longueur de cohérence de la lumière de mesure. Le procédé consiste également à effectuer une décomposition spectrale de la lumière combinée sur un détecteur multiélément pour déceler un motif d'intensité variable dans l'espace, à déterminer des données spatiales de la surface de mesure selon le motif d'intensité variable dans l'espace, et à produire les données spatiales.
Description  disponible en Anglais
Revendications  disponible en Anglais
Citations de brevets
Brevet cité Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
WO2003036229A1 *25 oct. 20011 mai 2003Toray Engineering Co., Ltd.Procede de mesure de forme superficielle et dispositif associe
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Classifications
Classification internationaleG01B11/02, G01J3/45, G01B9/02
Classification coopérativeG01B9/0209, G01B9/02044, G01B9/02037, G01B2290/70, G01B9/02072, G01B9/02022
Classification européenneG01B9/02
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
18 juil. 2007121Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
12 avr. 2008NENPNon-entry into the national phase in:
Ref country code: DE
5 nov. 2008122Ep: pct application non-entry in european phase
Ref document number: 06825737
Country of ref document: EP
Kind code of ref document: A2