WO2008015105A1 - Vacuum pump - Google Patents

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WO2008015105A1
WO2008015105A1 PCT/EP2007/057436 EP2007057436W WO2008015105A1 WO 2008015105 A1 WO2008015105 A1 WO 2008015105A1 EP 2007057436 W EP2007057436 W EP 2007057436W WO 2008015105 A1 WO2008015105 A1 WO 2008015105A1
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electrical
vacuum pump
potting compound
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Heinrich Engländer
Christian Harig
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Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
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    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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    • F04D19/02—Multi-stage pumps
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/46—Bases; Cases
    • H01R13/52—Dustproof, splashproof, drip-proof, waterproof, or flameproof cases

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pump with a gas-tight electrical housing passage.
  • the vacuum pump according to the invention has a vacuum-tight housing and an electrical component within the housing.
  • the gas-tight electrical feedthrough for establishing an electrical connection between the electrical component and the housing outer side is formed by a housing opening, a potting compound body seated on the housing opening with an electrical line between the housing inner side and the housing outer side a sealing ring between the opening edge of the housing opening and the potting compound body and a fixation for fixing the potting compound body to the housing.
  • the electrical line may, according to a preferred embodiment, have a circuit board located in the potting compound.
  • the electrical line is thus partially realized in the form of a conductor on a printed circuit board.
  • the electrical line may further each have an inner housing to the housing and a housing outside of the potting compound body protruding electrical connector.
  • the two electrical connectors may be interconnected by the printed circuit board, but may be electrically connected to each other in other ways.
  • the circuit board has electronic components.
  • electronic components all electronic components are conceivable that can serve a gain, interference suppression or other manipulation of electrical signals, such as amplifiers, suppression chokes and capacitors, integrated circuits for signal processing, etc.
  • the electronic component is preferably a readable pump data memory in which pump-specific functional parameters, for example a fault history of the relevant vacuum pump, are stored and can be called up at any time.
  • a vacuum pump 10 is shown schematically, which may be designed as a positive displacement pump, but in particular as a high vacuum turbomolecular pump is formed with a magnetic bearing.
  • the vacuum pump 10 has a gas-tight electrical feedthrough 20 for producing an electrical connection between the electrical components 14, 16, 18 and the outside of the housing.
  • the feedthrough 20 is essentially formed by a housing opening 22 in the housing wall 13, a potting compound body 24 seated on the housing opening 22 from the outside, an elastic sealing ring 26 between an opening edge 28 of the housing opening 22, and a potting compound Housing 30 formed fixation 32 and an electrical line 34 is formed.
  • the sealing ring 26 is seated in a ring groove 27 in the potting compound body 24th
  • the potting material is an epoxy resin.
  • the epoxy resin can be admixed with fine-grained admixtures which positively change the thermal expansion, the thermal conductivity and / or other physical parameters.
  • the fixing 32 By the fixing 32 forming cup-shaped Vergussmassen housing 30 which is fixed on the outside of the housing 30, for example, screwed, the potting compound body 24 is pressed onto the opening edge 28 and thereby a gas-tight and vacuum-tight seal between the opening edge 28 and the potting compound -Body 24 produced.

Abstract

The invention relates to a vacuum pump (10) having a vacuum-tight housing (12) and having a gas-tight electrical leadthrough (20) for producing an electrical connection between an electrical component (14, 16, 18) within the housing (12) and the housing outer side. The leadthrough (20) is formed by a housing opening (22), by a sealing compound body (24) which is seated on the opening, by an electrical line in the sealing compound body (24), by a sealing ring (26) between the opening edge of the housing opening (22) and the sealing compound body (24), and by a fixing (32) for fastening the sealing compound body (24) to the housing (12).

Description

Vakuumpumpe vacuum pump
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe mit einer gasdichten elektrischen Gehäuse-Durchführung.The invention relates to a vacuum pump with a gas-tight electrical housing passage.
Vakuumpumpen weisen in alier Regel innerhalb des vakuumdichten Gehäuses elektrische Bauteile auf, beispielsweise einen elektrischen Antriebsmotor, elektrische Sensoren, eine Magnetlagerung etc. Die elektrischen vakuumseitigen Bauteile müssen über elektrische Leitungen mit der Gehäuseaußenseite verbunden werden. Hierzu müssen die elektrischen Leitungen durch eine gasdichte elektrische Durchführung von der Gehäuseinnenseite zur Gehäuseaußenseϊte geführt werden. — y —Vacuum pumps have in alier rule within the vacuum-tight housing electrical components, such as an electric drive motor, electrical sensors, a magnetic bearing, etc. The electrical vacuum-side components must be connected via electrical lines to the outside of the housing. For this purpose, the electrical lines must be performed by a gas-tight electrical conduction from the inside of the housing to Gehäuseausßenseϊte. - y -
Aus dem Stand der Technik sind Durchführungen bekannt, die aus einer Kontaktplatte bestehen, die durch sie hindurchtretende Kontaktstifte aufweisen und eine entsprechende Gehäuse-Öffnung verschließen. Die Kontaktplatte wird durch einen Dichtring gegenüber dem Öffnungs-Rand des Gehäuses abgedichtet. Die Abdichtung der Kontaktstifte in der Kontaktplatte ist schwierig und bei mechanischer Belastung der Kontaktstifte unzuverlässig.Bushings are known from the prior art, which consist of a contact plate having passing through them contact pins and close a corresponding housing opening. The contact plate is sealed by a sealing ring against the opening edge of the housing. The sealing of the contact pins in the contact plate is difficult and unreliable under mechanical stress of the pins.
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, eine Vakuumpumpe mit einer zuverlässigen gasdichten elektrischen Gehäuse-Durchführung zu schaffen.The object of the invention is in contrast to provide a vacuum pump with a reliable gas-tight electrical housing implementation.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Patentanspruches 1.This object is achieved by a vacuum pump having the features of patent claim 1.
Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist ein vakuumdichtes Gehäuse und ein elektrisches Bauteil innerhalb des Gehäuses auf. Die gasdichte elektrische Durchführung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen dem elektrischen Bauteil und der Gehäuse-Außenseite wird gebildet von einer Gehäuse-Öffnung, einem auf der Gehäuse-Öffnung sitzenden Vergussmasse- Körper mit einer elektrischen Leitung zwischen der Gehäuse-Innenseite und der Gehäuse-Außenseite, einem Dichtring zwischen dem Öffnungsrand der Gehäuse- Öffnung und dem Vergussmasse-Körper sowie einer Fixierung zur Befestigung des Vergussmasse-Körpers an dem Gehäuse. Die Durchführung besteht also im wesentlichen aus drei Teilen, nämlich dem Vergussmasse-Körper, in den alle elektrischen Leitungen eingegossen sind, dem Dichtπng, der zwischen dem Vergussmasse-Körper und dem Öffnungsrand eine gasdichte und vakuumdichte Abdichtung sicherstellt, und einer Vergussmassen-Körper-Fixierung, mit der der Vergussmasse-Körper auf den Öffnungsrand der Gehäuse-Öffnung dauerhaft gedrückt wird.The vacuum pump according to the invention has a vacuum-tight housing and an electrical component within the housing. The gas-tight electrical feedthrough for establishing an electrical connection between the electrical component and the housing outer side is formed by a housing opening, a potting compound body seated on the housing opening with an electrical line between the housing inner side and the housing outer side a sealing ring between the opening edge of the housing opening and the potting compound body and a fixation for fixing the potting compound body to the housing. The implementation thus consists essentially of three parts, namely the potting compound body in which all the electrical lines are cast, the Dichtπng, which ensures a gas-tight and vacuum-tight seal between the potting compound body and the opening edge, and a Vergussmassen body fixation with which the potting compound body is pressed permanently onto the opening edge of the housing opening.
Die Vergussmasse weist eine gewisse Elastizität auf, die sicherstellt, dass die elektrische Leitung bzw. die elektrischen Leitungen gasdicht und vakuumdicht den Vergussmasse-Körper durchdringen. Bevorzugt treten die elektrische Leitung bzw. die elektrischen Leitungen sowohl proximal als auch distal jedenfalls geringfügig aus dem Vergussmasse-Körper heraus, so dass elektrische Verbindungsleitungen daran angeschlossen werden können. Die Abdichtung zwischen dem Vergussmasse-Körper und dem Öffnungs-Rand erfolgt zuverlässig durch einen Dichtring,The potting compound has a certain elasticity, which ensures that the electrical line or the electrical lines are gas-tight and vacuum-tight penetrate the potting compound body. Preferably, the electrical line or the electrical lines occur at least slightly out of the potting compound body, both proximally and distally, so that electrical connection lines can be connected thereto. The sealing between the potting compound body and the opening edge is reliably carried out by a sealing ring,
Die Dicke des Vergussmasse-Körpers sollte mindestens 5 mm, bevorzugterweise mindestens 10 mm betragen, um eine ausreichend lange Dichtstrecke zwischen der elektrischen Leitung und der Vergussmasse sicherzustellen.The thickness of the potting compound body should be at least 5 mm, preferably at least 10 mm, to ensure a sufficiently long sealing distance between the electrical line and the potting compound.
Durch das Vergießen aller elektrischer Leitungen in einem monolithischen elastischen Vergussmasse-Körper kann auch bei Durchführung von vielen elektrischen Leitungen auf relativ einfache Weise eine zuverlässige vakuumdichte Durchführung realisiert werden. Dies ist insbesondere für Vakuumpumpen mit Magnetlagerung von großer Bedeutung, da hierbei häufig 50 und mehr elektrische Leitungen durch das vakuumdichte Gehäuse hindurchgeführt werden müssen.By casting all electrical lines in a monolithic elastic potting compound body, a reliable vacuum-tight implementation can be realized in a relatively simple manner even when performing many electrical lines. This is particularly important for vacuum pumps with magnetic bearing of great importance, as this often 50 and more electrical lines must be passed through the vacuum-tight housing.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung sitzt der Vergussmasse-Körper von außen auf den Öffnungs-Rand der Gehäuse-Öffnung auf. Während des Betriebes wird der Vergussmasse-Körper durch den Differenzdruck zwischen dem von außen wirkenden atmosphärischen Luftdruck und dem in dem Gehäuse vorherrschenden Vakuum auf den Gehäuse-Öffnungsrand gedrückt. Hierdurch wird die Abdichtung zwischen dem Vergussmasse-Körper und dem Gehäuse- Öffnungsrand während des Betriebes der Vakuumpumpe zusätzlich gestärkt.According to a preferred embodiment of the potting compound body sits on the outside of the opening edge of the housing opening. During operation, the potting body is pressed by the differential pressure between the outside atmospheric pressure and the prevailing vacuum in the housing on the housing opening edge. As a result, the seal between the potting compound body and the housing opening edge is additionally strengthened during operation of the vacuum pump.
Vorzugsweise ist die Fixierung ein Vergussmassen-Gehäuse, das die Vergussmasse nahezu vollständig aufnimmt und gegen den Gehäuse- Öffnungsrand drückt. Das Vergussmassen-Gehäuse weist lediglich eine proximale und eine distale Öffnung für die elektrische Leitung bzw. die elektrischen Leitungen auf. Das Vergussmassen-Gehäuse hat primär die Funktion, den Vergussmassen-Körper zu fixieren, hat jedoch primär keine abdichtende Funktion. Dennoch kann das Vergussmassen-Gehäuse auch abdichtend wirken.Preferably, the fixation is a Vergussmassen case that almost completely absorbs the potting compound and presses against the housing opening edge. The Vergussmassen housing has only a proximal and a distal opening for the electrical line or the electrical Lines on. The Vergussmassen housing has primarily the function of fixing the Vergussmassen body, but primarily has no sealing function. Nevertheless, the Vergussmassen housing can also have a sealing effect.
Die elektrische Leitung kann gemäß einer bevorzugten Ausführungsform eine in der Vergussmasse liegende Platine aufweisen. Die elektrische Leitung ist also teilweise in Form einer Leiterbahn auf einer Leiterbahn-Platine realisiert. Die elektrische Leitung kann ferner jeweils einen zur Gehäuse-Innenseite und einen zur Gehäuse-Außenseite aus dem Vergussmasse-Körper herausragenden elektrischen Stecker aufweisen. Die beiden elektrischen Stecker können durch die Leiterbahn-Platine miteinander verbunden sein, können jedoch auch auf andere Weise elektrisch miteinander verbunden sein.The electrical line may, according to a preferred embodiment, have a circuit board located in the potting compound. The electrical line is thus partially realized in the form of a conductor on a printed circuit board. The electrical line may further each have an inner housing to the housing and a housing outside of the potting compound body protruding electrical connector. The two electrical connectors may be interconnected by the printed circuit board, but may be electrically connected to each other in other ways.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung weist die Leiterplatten-Platine elektronische Bauelemente auf. Als elektronische Bauelemente sind alle elektronischen Bauelemente denkbar, die einer Verstärkung, Entstörung oder einer anderen Manipulation elektrischer Signale dienen können, wie beispielsweise Verstärker, Entstör-Drosseln und Kondensatoren, integrierte Schaltkreise zur Signalaufbereitung etc.According to a preferred embodiment, the circuit board has electronic components. As electronic components, all electronic components are conceivable that can serve a gain, interference suppression or other manipulation of electrical signals, such as amplifiers, suppression chokes and capacitors, integrated circuits for signal processing, etc.
Vorzugsweise ist das elektronische Bauelement ein auslesbarer Pumpendaten- Speicher, in dem pumpenspezifische Funktionsparameter, beispielsweise eine Fehlerhistorie der betreffenden Vakuumpumpe, gespeichert werden und jederzeit abgerufen werden können.The electronic component is preferably a readable pump data memory in which pump-specific functional parameters, for example a fault history of the relevant vacuum pump, are stored and can be called up at any time.
Vorzugsweise ist das Vergussmassen-Material ein Epoxydharz. Epoxydharze sind vakuumdicht, elastisch und bei relativ niedrigen Temperaturen, bei denen elektronische Bauteile nicht zerstört werden, gießbar.Preferably, the potting material is an epoxy resin. Epoxy resins are vacuum-tight, elastic, and castable at relatively low temperatures where electronic components are not destroyed.
Im Folgenden wird anhand der Zeichnung ein Ausführungsbetspiel der Erfindung näher erläutert. Die Figur zeigt schematisch eine Vakuumpumpe und in einer ausschnittsweisen Schnittdarstellung das Vakuumpumpen-Gehäuse mit einer gasdichten elektrischen Durchführung.In the following an Ausführungsbetspiel the invention is explained in detail with reference to the drawing. The figure shows schematically a vacuum pump and in a partial sectional view of the vacuum pump housing with a gas-tight electrical feedthrough.
In der Figur ist schematisch eine Vakuumpumpe 10 dargestellt, die als Verdrängerpumpe ausgebildet sein kann, insbesondere jedoch als Hochvakuum- Turbomolekularpumpe mit einer Magnetlagerung ausgebildet ist.In the figure, a vacuum pump 10 is shown schematically, which may be designed as a positive displacement pump, but in particular as a high vacuum turbomolecular pump is formed with a magnetic bearing.
Die Vakuumpumpe 10 weist ein vakuumdichtes Metall-Gehäuse 12 mit einer Gehäusewand 13 auf, in dem mehrere elektrische Bauteile 14, 16, 18 angeordnet sind, nämlich ein elektrischer Antriebsmotor 14, eine Hagnetlagerung 16 sowie Pumpen-Sensoren 18. Der Antriebsmotor 14 treibt über eine Welle 17 einen Pumpenrotor der Turbomolekularpumpe an.The vacuum pump 10 has a vacuum-tight metal housing 12 with a housing wall 13, in which a plurality of electrical components 14, 16, 18 are arranged, namely an electric drive motor 14, a Hagnetlagerung 16 and pump sensors 18. The drive motor 14 drives via a Wave 17 to a pump rotor of the turbomolecular pump.
Die Vakuumpumpe 10 weist eine gasdichte elektrische Durchführung 20 zur Hersteilung einer elektrischen Verbindung zwischen den elektrischen Bauteilen 14, 16, 18 und der Gehäuse-Außenseite auf. Die Durchführung 20 wird im wesentlichen gebildet von einer Gehäuse-Öffnung 22 in der Gehäusewand 13, einem auf der Gehäuse-Öffnung 22 von außen aufsitzenden Vergussmasse- Körper 24, einem elastischen Dichtring 26 zwischen einem Öffnungsrand 28 der Gehäuse-Öffnung 22, einer als Vergussmassen-Gehäuse 30 ausgebildeten Fixierung 32 und einer elektrischen Leitung 34 gebildet. Der Dichtring 26 sitzt in einer Ring-Nut 27 in dem Vergussmasse-Körper 24.The vacuum pump 10 has a gas-tight electrical feedthrough 20 for producing an electrical connection between the electrical components 14, 16, 18 and the outside of the housing. The feedthrough 20 is essentially formed by a housing opening 22 in the housing wall 13, a potting compound body 24 seated on the housing opening 22 from the outside, an elastic sealing ring 26 between an opening edge 28 of the housing opening 22, and a potting compound Housing 30 formed fixation 32 and an electrical line 34 is formed. The sealing ring 26 is seated in a ring groove 27 in the potting compound body 24th
Die elektrische Leitung 34 wird von einem proximalen elektrischen Stecker 40, einem distalen elektrischen Stecker 42, einer Leiterplatine 44 mit Leiterbahnen und elektrischen Bauelementen 46, 47, 48 gebildet. Die elektrischen Bauelemente 46 - 48 sind ein integrierter Schaltkreis 46 sowie Passiv- Bauelemente 47, 48. Die Stecker 40, 42 weisen jeweils mehr als 50 Steckerstifte auf, die jeweils einzeln mit Leiterbahnen auf der Platine 44 verbunden sind. In dem integrierten Schaltkreis 46 sind Funktionsparameter und Daten der Vakuumpumpe 10 gespeichert. Die Funktionsparameter sind pumpenspezifisch und enthalten eine Fehlerhistorie der Vakuumpumpe 10, die über den distalen Stecker 42 durch ein geeignetes Lesegerät 50 über eine an den Stecker 42 ansteckbare elektrische Datenleitung 52 ausgelesen werden können.The electrical line 34 is formed by a proximal electrical connector 40, a distal electrical connector 42, a printed circuit board 44 with tracks and electrical components 46, 47, 48. The electrical components 46 - 48 are an integrated circuit 46 and passive components 47, 48. The plug 40, 42 each have more than 50 pins, each of which is individually connected to traces on the board 44. In the integrated circuit 46, functional parameters and data of the vacuum pump 10 are stored. The functional parameters are pump-specific and contain a fault history of the vacuum pump 10, which can be read out via the distal plug 42 by a suitable reading device 50 via an electrical data line 52 which can be plugged onto the plug 42.
Alle Teile der elektrischen Leitung 34 sind in dem Vergussmasse-Körper 24 gasdicht eingegossen. Das Vergussmassen-Material ist ein Epoxydharz. Dem Epoxydharz können feinkörnige Beimengungen betgemischt sein, die die Wärmeausdehnung, die Wärmeleitfähigkeit und/oder andere physikalische Parameter positiv verändern.All parts of the electrical line 34 are poured gas-tight in the potting compound body 24. The potting material is an epoxy resin. The epoxy resin can be admixed with fine-grained admixtures which positively change the thermal expansion, the thermal conductivity and / or other physical parameters.
Durch das eine Fixierung 32 bildende topfförmige Vergussmassen-Gehäuse 30, das auf der Außenseite des Gehäuses 30 fixiert, beispielsweise verschraubt ist, wird der Vergussmasse-Körper 24 auf den Öffnungsrand 28 gedrückt und dadurch eine gasdichte und vakuumdichte Abdichtung zwischen dem Öffnungsrand 28 und dem Vergussmasse-Körper 24 hergestellt. By the fixing 32 forming cup-shaped Vergussmassen housing 30 which is fixed on the outside of the housing 30, for example, screwed, the potting compound body 24 is pressed onto the opening edge 28 and thereby a gas-tight and vacuum-tight seal between the opening edge 28 and the potting compound -Body 24 produced.

Claims

— 1 —Patentansprüche - 1 patent claims
1. Vakuumpumpe (10) mit1. Vacuum pump (10) with
einem vakuumdichten Gehäuse ( 12),a vacuum-tight housing (12),
einem elektrischen Bauteil (14, 16, 18) innerhalb des Gehäuses (12),an electrical component (14, 16, 18) within the housing (12),
einer gasdichten elektrischen Durchführung (20) zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen dem elektrischen Bauteil (14, 16, 18) und der Gehäuse-Außenseite,a gas-tight electrical feedthrough (20) for establishing an electrical connection between the electrical component (14, 16, 18) and the outside of the housing,
wobei die Durchführung (20) gebildet wird vonwherein the passage (20) is formed by
einer Gehäuseöffnung (22),a housing opening (22),
einem auf der Gehäuseöffnung (22) sitzenden Vergussmasse-Körper (24) mit einer elektrischen Leitung (34) zwischen der Gehäuse- Innenseite und der Gehäuse-Außenseite,a potting compound body (24) which is seated on the housing opening (22) and has an electrical line (34) between the inside of the housing and the outside of the housing,
einem Dichtring (26) zwischen dem Öffnungsrand (28) der Gehäuseöffnung (22) und dem Vergussmasse-Körper (24), unda sealing ring (26) between the opening edge (28) of the housing opening (22) and the potting compound body (24), and
einer Fixierung (32) zur Befestigung des Vergussmasse-Körpers (24) an dem Gehäuse (12).a fixation (32) for fixing the potting compound body (24) to the housing (12).
2. Vakuumpumpe (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Vergussmasse-Körper (24) von außen auf die Gehäuseöffnung (22) aufgesetzt ist. 2. Vacuum pump (10) according to claim 1, characterized in that the potting compound body (24) from the outside to the housing opening (22) is placed.
3. Vakuumpumpe (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Fixierung (32) ein Vergussmasse-Gehäuse (30) ist.3. Vacuum pump (10) according to claim 1 or 2, characterized in that the fixation (32) is a potting compound housing (30).
4. Vakuumpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Leitung (34) eine in dem Vergussmasse-Körper (24) liegende Platine (44) aufweist.4. Vacuum pump (10) according to any one of claims 1-3, characterized in that the electrical line (34) has a in the potting compound body (24) lying circuit board (44).
5. Vakuumpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 - 4, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Leitung (34) zur Innenseite und zur Außenseite jeweils einen elektrischen Stecker (40, 42) aufweist.5. Vacuum pump (10) according to any one of claims 1-4, characterized in that the electrical line (34) to the inside and the outside each having an electrical connector (40, 42).
6. Vakuumpumpe (10) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Platine (44) elektronische Bauelemente (46, 47, 48) aufweist.6. Vacuum pump (10) according to claim 4 or 5, characterized in that the board (44) has electronic components (46, 47, 48).
7. Vakuumpumpe (10) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein elektronisches Bauelement (46) als auslesbarer Pumpendaten-Speicher ausgebildet ist.7. Vacuum pump (10) according to claim 6, characterized in that an electronic component (46) is designed as a readable pump data memory.
8. Vakuumpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 - 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Material des Vergussmassen-Körpers (24) ein Epoxydharz ist. 8. Vacuum pump (10) according to any one of claims 1-7, characterized in that the material of the Vergussmassen body (24) is an epoxy resin.
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