Recherche Images Maps Play YouTube Actualités Gmail Drive Plus »
Connexion
Les utilisateurs de lecteurs d'écran peuvent cliquer sur ce lien pour activer le mode d'accessibilité. Celui-ci propose les mêmes fonctionnalités principales, mais il est optimisé pour votre lecteur d'écran.

Brevets

  1. Recherche avancée dans les brevets
Numéro de publicationWO2010068625 A3
Type de publicationDemande
Numéro de demandePCT/US2009/067147
Date de publication10 sept. 2010
Date de dépôt8 déc. 2009
Date de priorité12 déc. 2008
Autre référence de publicationCN102246271A, CN102246271B, US8066857, US20100147680, WO2010068625A2
Numéro de publicationPCT/2009/67147, PCT/US/2009/067147, PCT/US/2009/67147, PCT/US/9/067147, PCT/US/9/67147, PCT/US2009/067147, PCT/US2009/67147, PCT/US2009067147, PCT/US200967147, PCT/US9/067147, PCT/US9/67147, PCT/US9067147, PCT/US967147, WO 2010/068625 A3, WO 2010068625 A3, WO 2010068625A3, WO-A3-2010068625, WO2010/068625A3, WO2010068625 A3, WO2010068625A3
InventeursYouming Li, Jeffrey Birkmeyer
DéposantFujifilm Corporation
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  Patentscope, Espacenet
Anode profilée et connexion anode-blindage pour le dépôt physique en phase vapeur sous vide
WO 2010068625 A3
Résumé
La présente invention concerne un appareil de dépôt physique en phase vapeur qui comprend une chambre à vide comportant des parois latérales, une cathode, une alimentation en puissance radiofréquence, un support de substrat, un blindage et une anode. La cathode se situe à l'intérieur de la chambre à vide et la cathode est conçue pour inclure une cible de pulvérisation. L'alimentation en puissance radiofréquence est conçue pour appliquer de la puissance à la cathode. Le support de substrat se situe à l'intérieur et se trouve électriquement isolé des parois latérales de la chambre à vide. Le blindage se situe à l'intérieur et se trouve électriquement relié aux parois latérales de la chambre à vide. L'anode se situe à l'intérieur et se trouve électriquement reliée aux parois latérales de la chambre à vide. L'anode comprend un corps annulaire et un rebord annulaire qui se projette vers l'intérieur depuis le corps annulaire, ledit rebord annulaire étant positionné de manière à définir un volume sous la cible, afin de générer un plasma.
Citations de brevets
Brevet cité Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
JP2007042818A * Titre non disponible
JPH05263237A * Titre non disponible
KR100517474B1 * Titre non disponible
Classifications
Classification internationaleH01L21/203
Classification coopérativeH01J37/3408, C23C14/08, C23C14/35, H01J37/3438, H01J37/3447
Classification européenneC23C14/35, H01J37/34M2A, C23C14/08, H01J37/34O12, H01J37/34O6
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
11 août 2010121Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
Ref document number: 09832446
Country of ref document: EP
Kind code of ref document: A2
6 juin 2011WWEWipo information: entry into national phase
Ref document number: 2011540827
Country of ref document: JP
6 juin 2011ENPEntry into the national phase in:
Ref document number: 2011540827
Country of ref document: JP
Kind code of ref document: A
14 juin 2011NENPNon-entry into the national phase in:
Ref country code: DE
24 juin 2011ENPEntry into the national phase in:
Ref document number: 20117014639
Country of ref document: KR
Kind code of ref document: A
11 janv. 2012122Ep: pct app. not ent. europ. phase
Ref document number: 09832446
Country of ref document: EP
Kind code of ref document: A2